JP2002199166A - Method for correcting jitter in two-way scan scanner, two-way scan scanner capable of jitter correction, and sample carrier - Google Patents

Method for correcting jitter in two-way scan scanner, two-way scan scanner capable of jitter correction, and sample carrier

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JP2002199166A
JP2002199166A JP2000390725A JP2000390725A JP2002199166A JP 2002199166 A JP2002199166 A JP 2002199166A JP 2000390725 A JP2000390725 A JP 2000390725A JP 2000390725 A JP2000390725 A JP 2000390725A JP 2002199166 A JP2002199166 A JP 2002199166A
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jitter
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俊一 瀬戸
Yoshihiro Seto
義弘 瀬戸
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a jitter correction method which easily corrects jitters in a two-way scan scanner at a low cost. SOLUTION: A sample for correction data generation where a regular pattern is formed is scanned by laser light; emitted light is detected photoelectrically to generate digital data for correction data generation, and data which minimizes the extent of bias of each scanning line of digital data for correction data generation is determined and stored as jitter correction data on the basis of digital data for correction data generation, and a marked sample is put on a sample stage and is scanned by laser light; and light emitted from the marked material is detected, photoelectrically and jitter correction data stored in a memory is used to perform correction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、双方向走査スキャ
ナにおけるジッターの補正方法、ジッターを補正可能な
双方向走査スキャナおよびサンプルキャリアに関するも
のであり、さらに詳細には、簡易に、かつ、低コスト
で、双方向走査スキャナにおけるジッターを補正するこ
とのできるジッターの補正方法、簡易に、かつ、低コス
トで、ジッターを補正することのできる高分解能の双方
向走査スキャナおよび簡易に、かつ、低コストで、ジッ
ターを補正するための補正データを生成することのでき
る双方向走査スキャナ用のサンプルキャリアに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner, a bidirectional scanning scanner capable of correcting jitter, and a sample carrier, and more particularly, to a simple and low-cost scanner. Jitter correction method capable of correcting jitter in bidirectional scanning scanner, high resolution bidirectional scanning scanner capable of correcting jitter easily and at low cost, and simple and low cost The present invention relates to a sample carrier for a bidirectional scanning scanner capable of generating correction data for correcting jitter.

【0002】[0002]

【従来の技術】放射線が照射されると、放射線のエネル
ギーを吸収して、蓄積、記録し、その後に、特定の波長
域の電磁波を用いて励起すると、照射された放射線のエ
ネルギーの量に応じた光量の輝尽光を発する特性を有す
る輝尽性蛍光体を、放射線の検出材料として用い、放射
性標識を付与した物質を、生物体に投与した後、その生
物体あるいはその生物体の組織の一部をサンプルとし、
このサンプルを、輝尽性蛍光体層が設けられた蓄積性蛍
光体シートと一定時間重ね合わせることにより、放射線
エネルギーを輝尽性蛍光体に、蓄積、記録し、しかる後
に、電磁波によって、輝尽性蛍光体層を走査して、輝尽
性蛍光体を励起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光
を光電的に検出して、ディジタル画像信号を生成し、画
像処理を施して、クロムTなどの表示手段上あるいは写
真フイルムなどの記録材料上に、画像を再生するように
構成されたオートラジオグラフィ検出システムが知られ
ている(たとえば、特公平1−60784号公報、特公
平1−60782号公報、特公平4−3952号公報な
ど)。
2. Description of the Related Art When irradiated with radiation, the energy of the radiation is absorbed, stored, recorded, and then excited using electromagnetic waves in a specific wavelength range. A stimulable phosphor having a characteristic of emitting a stimulating amount of radiated light is used as a radiation detecting material, and a substance provided with a radioactive label is administered to an organism, and then the organism or a tissue of the organism is treated. Partly as a sample,
This sample is superimposed on a stimulable phosphor sheet provided with a stimulable phosphor layer for a certain period of time, whereby radiation energy is accumulated and recorded on the stimulable phosphor, and thereafter, the radiation energy is stimulated by electromagnetic waves. Scans the stimulable phosphor layer to excite the stimulable phosphor, photoelectrically detects the stimulable light emitted from the stimulable phosphor, generates a digital image signal, and performs image processing. An autoradiography detection system configured to reproduce an image on a display means such as chrome T or on a recording material such as a photographic film is known (for example, Japanese Patent Publication No. 1-60784, Japanese Patent Publication No. No. 1-60782, Japanese Patent Publication No. 4-3952, etc.).

【0003】蓄積性蛍光体シートを画像の検出材料とし
て使用するオートラジオグラフィ検出システムは、写真
フイルムを用いる場合とは異なり、現像処理という化学
的処理が不必要であるだけでなく、得られた画像データ
に画像処理を施すことによって、所望のように、画像を
再生し、あるいは、コンピュータによる定量解析が可能
になるという利点を有している。
An autoradiography detection system using a stimulable phosphor sheet as a material for detecting an image, unlike the case of using a photographic film, not only does not require a chemical treatment called a development process, but also obtains an obtained image. By performing image processing on image data, there is an advantage that an image can be reproduced or quantitative analysis can be performed by a computer as desired.

【0004】他方、オートラジオグラフィシステムにお
ける放射性標識物質に代えて、蛍光物質を標識物質とし
て使用した蛍光検出(fluorescence) システムが知られ
ている。このシステムによれば、蛍光画像を読み取るこ
とによって、遺伝子配列、遺伝子の発現レベル、蛋白質
の分離、同定、あるいは、分子量、特性の評価などをお
こなうことができ、たとえば、電気泳動させるべき複数
のDNA断片を含む溶液中に、蛍光色素を加えた後に、
複数のDNA断片をゲル支持体上で電気泳動させ、ある
いは、蛍光色素を含有させたゲル支持体上で、複数のD
NA断片を電気泳動させ、あるいは、複数のDNA断片
を、ゲル支持体上で、電気泳動させた後に、ゲル支持体
を蛍光色素を含んだ溶液に浸すなどして、電気泳動され
たDNA断片を標識し、励起光によって、蛍光色素を励
起して、生じた蛍光を検出することによって、画像を生
成し、ゲル支持体上のDNAを分布を検出したり、ある
いは、複数のDNA断片を、ゲル支持体上で、電気泳動
させた後に、DNAを変性(denaturation) し、次い
で、サザン・ブロッティング法により、ニトロセルロー
スなどの転写支持体上に、変性DNA断片の少なくとも
一部を転写し、目的とするDNAと相補的なDNAもし
くはRNAを蛍光色素で標識して調製したプローブと変
性DNA断片とをハイブリダイズさせ、プローブDNA
もしくはプローブRNAと相補的なDNA断片のみを選
択的に標識し、励起光によって、蛍光色素を励起して、
生じた蛍光を検出することにより、画像を生成し、転写
支持体上の目的とするDNAを分布を検出したりするこ
とができる。さらに、標識物質により標識した目的とす
る遺伝子を含むDNAと相補的なDNAプローブを調製
して、転写支持体上のDNAとハイブリダイズさせ、酵
素を、標識物質により標識された相補的なDNAと結合
させた後、蛍光基質と接触させて、蛍光基質を蛍光を発
する蛍光物質に変化させ、励起光により、生成された蛍
光物質を励起して、生じた蛍光を検出することによっ
て、画像を生成し、転写支持体上の目的とするDNAの
分布を検出したりすることもできる。この蛍光検出シス
テムは、放射性物質を使用することなく、簡易に、遺伝
子配列などを検出することができるという利点がある。
[0004] On the other hand, a fluorescence detection system using a fluorescent substance as a labeling substance instead of a radioactive labeling substance in an autoradiography system is known. According to this system, by reading a fluorescent image, gene sequence, gene expression level, separation and identification of protein, or evaluation of molecular weight and properties can be performed. After adding a fluorescent dye to the solution containing the fragments,
A plurality of DNA fragments are electrophoresed on a gel support, or a plurality of DNA fragments are placed on a gel support containing a fluorescent dye.
After the NA fragment is subjected to electrophoresis, or a plurality of DNA fragments are subjected to electrophoresis on a gel support, the gel support is immersed in a solution containing a fluorescent dye, etc. By labeling, exciting a fluorescent dye with excitation light, and detecting the generated fluorescence, an image is generated, and the distribution of DNA on the gel support is detected. After electrophoresis on a support, the DNA is denaturated, and then at least a part of the denatured DNA fragment is transferred onto a transfer support such as nitrocellulose by Southern blotting to obtain the desired DNA. A probe prepared by labeling DNA or RNA complementary to the DNA to be labeled with a fluorescent dye and a denatured DNA fragment is hybridized, and the probe DNA
Alternatively, only the DNA fragment complementary to the probe RNA is selectively labeled, and the excitation light excites the fluorescent dye,
By detecting the generated fluorescence, an image can be generated and the distribution of the target DNA on the transfer support can be detected. Further, a DNA probe complementary to the DNA containing the target gene labeled with the labeling substance is prepared, hybridized with the DNA on the transcription support, and the enzyme is reacted with the complementary DNA labeled with the labeling substance. After binding, it is brought into contact with a fluorescent substrate to convert the fluorescent substrate into a fluorescent substance that emits fluorescence, and the excitation light excites the generated fluorescent substance and detects the generated fluorescence to generate an image. However, the distribution of the target DNA on the transcription support can also be detected. This fluorescence detection system has an advantage that a gene sequence or the like can be easily detected without using a radioactive substance.

【0005】さらに、近年、スライドガラス板やメンブ
レンフィルタなどの担体表面上の異なる位置に、ホルモ
ン類、腫瘍マーカー、酵素、抗体、抗原、アブザイム、
その他のタンパク質、核酸、cDNA、DNA、RNA
など、生体由来の物質と特異的に結合可能で、かつ、塩
基配列や塩基の長さ、組成などが既知の特異的結合物質
を、スポッター装置を用いて、滴下して、多数の独立し
たスポットを形成し、次いで、ホルモン類、腫瘍マーカ
ー、酵素、抗体、抗原、アブザイム、その他のタンパク
質、核酸、cDNA、DNA、mRNAなど、抽出、単
離などによって、生体から採取され、あるいは、さら
に、化学的処理、化学修飾などの処理が施された生体由
来の物質であって、蛍光物質、色素などの標識物質によ
って標識された物質をハイブリダイズさせたマイクロア
レイに、励起光を照射して、蛍光物質、色素などの標識
物質から発せられた蛍光などの光を光電的に検出して、
生体由来の物質を解析するマイクロアレイ画像検出シス
テムが開発されている。このマイクロアレイ画像検出シ
ステムによれば、スライドガラス板やメンブレンフィル
タなどの担体表面上の異なる位置に、数多くの特異的結
合物質のスポットを高密度に形成して、標識物質によっ
て標識された生体由来の物質をハイブリダイズさせるこ
とによって、短時間に、生体由来の物質を解析すること
が可能になるという利点がある。
In recent years, hormones, tumor markers, enzymes, antibodies, antigens, abzymes,
Other proteins, nucleic acids, cDNA, DNA, RNA
Such as, a specific binding substance that can specifically bind to a substance derived from a living body, and has a known base sequence, base length, and composition, is dropped using a spotter apparatus, and a large number of independent binding substances are dropped. A spot is formed, and then, a hormone, a tumor marker, an enzyme, an antibody, an antigen, an abzyme, another protein, a nucleic acid, a cDNA, a DNA, an mRNA, or the like, is collected from a living body by extraction, isolation, or the like. Excitation light is applied to a microarray that is a substance derived from a living body that has been subjected to chemical treatment, chemical modification, etc., and that has been hybridized with a substance that is labeled with a labeling substance such as a fluorescent substance or dye. Substances, photoelectrically detect light such as fluorescence emitted from labeling substances such as dyes,
A microarray image detection system for analyzing a substance derived from a living body has been developed. According to this microarray image detection system, a large number of specific binding substance spots are formed at different positions on a carrier surface such as a slide glass plate or a membrane filter at a high density, and a biological substance labeled with a labeling substance is formed. By hybridizing the substance, there is an advantage that a substance derived from a living body can be analyzed in a short time.

【0006】また、メンブレンフィルタなどの担体表面
上の異なる位置に、ホルモン類、腫瘍マーカー、酵素、
抗体、抗原、アブザイム、その他のタンパク質、核酸、
cDNA、DNA、RNAなど、生体由来の物質と特異
的に結合可能で、かつ、塩基配列や塩基の長さ、組成な
どが既知の特異的結合物質を、スポッター装置を用い
て、滴下して、多数の独立したスポットを形成し、次い
で、ホルモン類、腫瘍マーカー、酵素、抗体、抗原、ア
ブザイム、その他のタンパク質、核酸、cDNA、DN
A、mRNAなど、抽出、単離などによって、生体から
採取され、あるいは、さらに、化学的処理、化学修飾な
どの処理が施された生体由来の物質であって、放射性標
識物質によって標識された物質をハイブリダイズさせた
マクロアレイを、輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍光体層が
形成された蓄積性蛍光体シートと密着させて、輝尽性蛍
光体層を露光し、しかる後に、輝尽性蛍光体層に励起光
を照射し、輝尽性蛍光体層から発せられた輝尽光を光電
的に検出して、生体由来の物質を解析する放射性標識物
質を用いたマクロアレイ検出システムも開発されてい
る。
[0006] In addition, hormones, tumor markers, enzymes, and the like can be located at different positions on the surface of a carrier such as a membrane filter.
Antibodies, antigens, abzymes, other proteins, nucleic acids,
Using a spotter, a specific binding substance that can specifically bind to a substance derived from a living body, such as cDNA, DNA, or RNA, and has a known base sequence, base length, or composition, is dropped using a spotter device. Form a number of independent spots, followed by hormones, tumor markers, enzymes, antibodies, antigens, abzymes, other proteins, nucleic acids, cDNAs, DNs
A, mRNA, etc., a substance derived from a living body that has been collected from a living body by extraction, isolation, or the like, or that has been further subjected to a chemical treatment, a chemical modification, or the like, and that has been labeled with a radioactive labeling substance. The macroarray hybridized with the above is brought into close contact with the stimulable phosphor sheet on which the stimulable phosphor layer containing the stimulable phosphor is formed, and the stimulable phosphor layer is exposed, and then the luminescent phosphor layer is exposed. A macroarray detection system using a radioactive labeling substance that irradiates the stimulable phosphor layer with excitation light, photoelectrically detects the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor layer, and analyzes substances derived from living organisms Has also been developed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】これらのシステムは、
いずれも、サンプルに、励起光を照射して、輝尽性蛍光
体や蛍光物質などの標識物質を励起し、輝尽性蛍光体か
ら放出された輝尽光や蛍光物質から放出された蛍光など
を光電的に検出して、標識物質の画像データや発光量デ
ータなどの生化学解析用のデータを生成するものであ
り、これらのシステムのために用いられるデータ生成装
置は、スキャナを用いたものと、二次元センサを用いた
ものに大別される。
SUMMARY OF THE INVENTION These systems are:
In each case, the sample is irradiated with excitation light to excite a labeled substance such as a stimulable phosphor or a fluorescent substance, and the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor or the fluorescence emitted from the fluorescent substance is emitted. Is used to generate data for biochemical analysis such as image data and luminescence amount data of the labeling substance, and the data generator used for these systems is a scanner that uses a scanner. And two-dimensional sensors.

【0008】二次元センサを用いる場合に比し、スキャ
ナを用いる場合には、高解像度で、データを生成するこ
とができるという利点がある。
[0008] When a scanner is used, there is an advantage that data can be generated with high resolution as compared with the case where a two-dimensional sensor is used.

【0009】この場合、サンプルに対して、主走査方向
に、励起光を往復動させて、サンプルを励起光によっ
て、走査するように構成された双方向走査スキャナを用
いて、生化学解析用のデータを生成すると、効率的であ
るため、双方向走査スキャナを用いるのが一般的であ
る。
In this case, a bidirectional scanning scanner configured to reciprocate the excitation light in the main scanning direction with respect to the sample and scan the sample with the excitation light is used for biochemical analysis. Generating data is efficient, so it is common to use a bidirectional scanning scanner.

【0010】かかる双方向走査スキャナにおいては、主
走査方向において、サンプルステージと光学系が、高速
で往復運動される結果、走査機構の機械精度や移動され
る負荷などによって、往路と復路とで、相対的な移動速
度にばらつきが生じ、また、データのサンプリングタイ
ミングがずれるために、生成されたデータに、いわゆる
ジッターが発生するという問題があった。
In such a bidirectional scanning scanner, the sample stage and the optical system are reciprocated at a high speed in the main scanning direction. There has been a problem that a variation occurs in a relative moving speed and a so-called jitter occurs in generated data due to a shift in data sampling timing.

【0011】ことに、マイクロアレイシステムの場合に
は、スライドガラス板などの表面上で、特異的結合物質
とハイブリダイズした生体由来の物質を標識している蛍
光物質からの蛍光を光電的に検出して、データを生成す
る際、S/N比を向上させるために、共焦点光学系を用
いることが望ましく、そのためには、サンプルを載置す
るステージを、主走査方向に、往復動させることが光学
的に有利であり、その結果、ジッターが顕著に発生しや
すく、深刻な問題となっていた。
In particular, in the case of a microarray system, on the surface of a slide glass plate or the like, fluorescence from a fluorescent substance labeling a biological substance hybridized with a specific binding substance is photoelectrically detected. When generating data, it is desirable to use a confocal optical system in order to improve the S / N ratio. For this purpose, it is necessary to reciprocate the stage on which the sample is placed in the main scanning direction. It is optically advantageous, and as a result, jitter is apt to occur remarkably, which is a serious problem.

【0012】さらに、コストダウンのために、タイミン
グベルトなどを用いて、サンプルステージを主走査方向
に往復動するように構成する場合に、タイミングベルト
の伸びなどによって、ジッターが発生しやすく、ジッタ
ーの発生を効果的に防止する方法の開発が望まれてい
た。
Further, when the sample stage is configured to reciprocate in the main scanning direction by using a timing belt or the like for cost reduction, jitter is easily generated due to elongation of the timing belt and the like. The development of a method for effectively preventing the occurrence has been desired.

【0013】したがって、本発明は、簡易に、かつ、低
コストで、双方向走査スキャナにおけるジッターを補正
することのできるジッターの補正方法、簡易に、かつ、
低コストで、ジッターを補正することのできる高分解能
の双方向走査スキャナおよび簡易に、かつ、低コスト
で、ジッターを補正するための補正データを生成するこ
とのできる双方向走査スキャナ用のサンプルキャリアを
提供することを目的とするものである。
Therefore, the present invention provides a method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner which can be easily and inexpensively corrected.
A low-cost, high-resolution bi-directional scanning scanner capable of correcting jitter and a sample carrier for a bi-directional scanning scanner capable of easily and inexpensively generating correction data for correcting jitter. The purpose is to provide.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明のかかる目的は、
サンプルがセットされたサンプルステージとレーザ光と
を、主走査方向において、互いに往復動するように、相
対的に移動するとともに、前記主走査方向に直交する副
走査方向に、相対的に移動させて、前記レーザ光によっ
て、前記サンプルを走査し、前記サンプルから放出され
る光を光電的に検出するように構成された双方向走査ス
キャナにおけるジッターの補正方法であって、前記サン
プルステージに対して、相対的に固定され、規則的なパ
ターンが形成された補正データ生成用のサンプルを、前
記レーザ光によって走査し、前記補正データ生成用のサ
ンプルから放出された光を光電的に検出して、アナログ
データを生成し、前記アナログデータをディジタル化し
て、補正データ生成用のディジタルデータを生成し、前
記補正データ生成用のディジタルデータに基づいて、前
記補正データ生成用のディジタルデータの走査ラインご
との偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正データ
として決定して、前記双方向走査スキャナのメモリに記
憶させ、前記サンプルステージに、標識物質によって標
識されているサンプルを載置し、前記レーザ光によっ
て、前記サンプルを走査して、前記標識物質を励起し、
前記標識物質から放出された光を光電的に検出して、ア
ナログデータを生成し、前記アナログデータをディジタ
ル化して得たサンプルのディジタルデータを、前記双方
向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジッター
補正データを用いて、補正することを特徴とする双方向
走査スキャナにおけるジッターの補正方法によって達成
される。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is as follows.
The sample stage on which the sample is set and the laser light are relatively moved so as to reciprocate in the main scanning direction, and are relatively moved in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. A method of correcting jitter in a bidirectional scanning scanner configured to scan the sample by the laser light and photoelectrically detect light emitted from the sample, with respect to the sample stage, A sample for correction data generation in which a relatively fixed and regular pattern is formed is scanned with the laser light, and light emitted from the sample for correction data generation is photoelectrically detected, and analog Generating data, digitizing the analog data, generating digital data for generating correction data, and generating the correction data. Based on the digital data, the data for minimizing the amount of deviation of the digital data for generating the correction data for each scan line is determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, and On the stage, a sample labeled with a labeling substance is placed, and the laser beam scans the sample to excite the labeling substance,
The light emitted from the labeling substance is photoelectrically detected, analog data is generated, and digital data of a sample obtained by digitizing the analog data is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. This is achieved by a method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner, wherein the correction is performed using jitter correction data.

【0015】本発明によれば、レーザ光に対して、主走
査方向において、互いに往復動するように、相対的に移
動されるとともに、主走査方向に直交する副走査方向
に、相対的に移動されるサンプルステージに対して、相
対的に固定され、規則的なパターンが形成された補正デ
ータ生成用のサンプルを、レーザ光により、走査し、補
正データ生成用のサンプルから放出された光を光電的に
検出して、アナログデータを生成し、アナログデータを
ディジタル化して、ジッターを含み、走査ラインごとに
偏倚を有する補正データ生成用のディジタルデータを生
成し、補正データ生成用のディジタルデータに基づい
て、補正データ生成用のディジタルデータの走査ライン
ごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正デー
タとして決定しているから、ジッター補正データを用い
て、サンプルのディジタルデータを補正することによっ
て、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小化
することが可能になり、本発明によれば、こうして得た
ジッター補正データを、双方向走査スキャナのメモリに
記憶させ、サンプルステージに、標識物質によって標識
されているサンプルを載置し、レーザ光によって、サン
プルを走査して、標識物質を励起し、標識物質から放出
された光を光電的に検出して、アナログデータを生成
し、アナログデータをディジタル化して得たサンプルの
ディジタルデータを、メモリに記憶された前記ジッター
補正データを用いて、補正するように構成されているか
ら、共焦点光学系を用いて、S/N比を向上させるため
に、サンプルステージを、主走査方向に、高速で往復動
させる場合にも、また、コストを低減するために、タイ
ミングベルトを用いる場合にも、簡易に、サンプルのデ
ィジタルデータ中のジッターを最小化することが可能に
なる。
According to the present invention, the laser light is relatively moved in the main scanning direction so as to reciprocate in the main scanning direction, and is relatively moved in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. The sample for correction data generation, which is relatively fixed to the sample stage to be formed and has a regular pattern, is scanned by a laser beam, and the light emitted from the sample for correction data generation is photoelectrically scanned. And generating analog data, digitizing the analog data, generating digital data for generating correction data including jitter and having a deviation for each scan line, based on the digital data for generating correction data. Thus, data that minimizes the amount of deviation of digital data for generating correction data for each scan line is determined as jitter correction data. Further, by correcting the digital data of the sample using the jitter correction data, it is possible to minimize the jitter in the digital data of the sample. According to the present invention, the jitter correction data thus obtained is The sample that is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner is placed on the sample stage, and the sample that is labeled with the labeling substance is placed on the sample stage. Is photoelectrically detected, analog data is generated, and digital data of a sample obtained by digitizing the analog data is corrected using the jitter correction data stored in the memory. In order to improve the S / N ratio using a confocal optical system, the sample stage is moved in the main scanning direction. Even when reciprocated at a speed and in order to reduce costs, even in the case of using a timing belt, easily becomes a jitter in the digital data of the sample can be minimized.

【0016】本発明の好ましい実施態様においては、前
記サンプルステージと前記レーザ光とを、主走査方向に
おいて、相対的に、一往復させて、前記レーザ光によっ
て、前記補正データ生成用のサンプルを走査し、前記補
正データ生成用のサンプルから放出された光を光電的に
検出して、アナログデータを生成し、前記アナログデー
タをディジタル化して、往路に対応する第一ライン目の
ディジタルデータと、復路に対応する第二ライン目のデ
ィジタルデータよりなる補正データ生成用のディジタル
データを生成し、前記補正データ生成用のディジタルデ
ータに基づいて、第一ライン目の前記ディジタルデータ
に対する第二ライン目の前記ディジタルデータの偏倚量
を最小化するデータを、ジッター補正データとして決定
して、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶さ
せ、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された
前記ジッター補正データを用いて、偶数番目の走査ライ
ンに対応する前記サンプルの前記ディジタルデータを補
正するように構成されている。
In a preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser beam are reciprocated once in the main scanning direction, and the sample for correction data generation is scanned by the laser beam. Then, light emitted from the sample for generating the correction data is photoelectrically detected, analog data is generated, the analog data is digitized, and digital data on the first line corresponding to the outward path and the return path are output. Generating digital data for correction data generation consisting of digital data of the second line corresponding to the digital data for the first line, based on the digital data for correction data generation, Data that minimizes the amount of deviation of digital data is determined as jitter correction data, The bidirectional scanning scanner is configured to correct the digital data of the sample corresponding to the even-numbered scan line using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. ing.

【0017】本発明の好ましい実施態様によれば、サン
プルステージとレーザ光とを、主走査方向において、相
対的に、一往復させて、レーザ光によって、補正データ
生成用のサンプルを走査し、補正データ生成用のサンプ
ルから放出された光を光電的に検出して、アナログデー
タを生成し、アナログデータをディジタル化して、往路
に対応する第一ライン目のディジタルデータと復路に対
応する第一ライン目のディジタルデータよりなる補正デ
ータ生成用のディジタルデータを生成し、補正データ生
成用のディジタルデータに基づいて、第一ライン目のデ
ィジタルデータに対する第二ライン目のディジタルデー
タの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正データ
として決定して、双方向走査スキャナのメモリに記憶さ
せ、ジッター補正データを用いて、偶数番目の走査ライ
ンに対応するサンプルのディジタルデータを補正するよ
うに構成されており、第一ライン目のディジタルデータ
に対する第二ライン目のディジタルデータの偏倚量を最
小化するデータを、ジッター補正データとして決定し、
このジッター補正データを用いて、偶数番目の走査ライ
ンに対応するサンプルのディジタルデータを補正するだ
けで、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小
化することができるから、共焦点光学系を用いて、S/
N比を向上させるために、サンプルステージを、主走査
方向に、高速で往復動させる場合にも、また、コストを
低減するために、タイミングベルトを用いる場合にも、
簡易に、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最
小化することが可能になる。
According to a preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser light are caused to reciprocate once in the main scanning direction, and the laser light is used to scan a sample for generating correction data, thereby correcting the correction data. The light emitted from the sample for data generation is photoelectrically detected, analog data is generated, the analog data is digitized, and the digital data of the first line corresponding to the forward path and the first line corresponding to the return path Generating digital data for generating correction data composed of the digital data of the first line, and minimizing a deviation amount of the digital data of the second line with respect to the digital data of the first line based on the digital data for generating the correction data The data is determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, and The digital data of the sample corresponding to the even-numbered scan line is corrected by using the digital data of the second line with respect to the digital data of the first line. Data is determined as jitter correction data,
By using the jitter correction data to correct the digital data of the sample corresponding to the even-numbered scan lines, the jitter in the digital data of the sample can be minimized. S /
Even when the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction to improve the N ratio, or when a timing belt is used to reduce cost,
It is possible to simply minimize the jitter in the digital data of the sample.

【0018】本発明の別の好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、主走査方
向および副走査方向に、相対的に移動させて、前記レー
ザ光によって、前記補正データ生成用のサンプルを走査
し、前記補正データ生成用のサンプルから放出された光
を光電的に検出して、アナログデータを生成し、前記ア
ナログデータをディジタル化して、補正データ生成用の
ディジタルデータを生成し、前記補正データ生成用のデ
ィジタルデータに基づいて、(2N−1)番目のライン
のディジタルデータ(Nは1以上の整数)に対する2N
番目のラインのディジタルデータの偏倚量を最小化する
データを、それぞれ、ジッター補正データとして決定し
て、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶させ、
前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記
ジッター補正データを用いて、2N番目のラインに対応
する前記サンプルの前記ディジタルデータを補正するよ
うに構成されている。
In another preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved in a main scanning direction and a sub-scanning direction, and the laser beam is used to move the sample stage and the laser beam. Scanning the sample, photoelectrically detecting light emitted from the sample for correction data generation, generating analog data, digitizing the analog data, generating digital data for correction data generation, On the basis of the digital data for generating the correction data, 2N to the digital data (N is an integer of 1 or more) of the (2N-1) th line
Data that minimizes the amount of deviation of the digital data of the second line is determined as jitter correction data, and is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner;
The digital data of the sample corresponding to the 2Nth line is corrected using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner.

【0019】本発明の別の好ましい実施態様によれば、
サンプルステージとレーザ光を、主走査方向および副走
査方向に、相対的に移動させて、レーザ光によって、補
正データ生成用のサンプルを走査し、補正データ生成用
のサンプルから放出された光を光電的に検出して、アナ
ログデータを生成し、アナログデータをディジタル化し
て、補正データ生成用のディジタルデータを生成し、補
正データ生成用のディジタルデータに基づいて、(2N
−1)番目のラインのディジタルデータ(Nは1以上の
整数)に対する2N番目のラインのディジタルデータの
偏倚量を最小化するデータを、それぞれ、ジッター補正
データとして決定して、双方向走査スキャナのメモリに
記憶させ、ジッター補正データを用いて、2N番目のラ
インに対応するサンプルのディジタルデータを補正する
ように構成されているから、共焦点光学系を用いて、S
/N比を向上させるために、サンプルステージを、主走
査方向に、高速で往復動させる場合にも、また、コスト
を低減するために、タイミングベルトを用いる場合に
も、簡易に、かつ、より高精度で、サンプルのディジタ
ルデータ中のジッターを最小化することが可能になる。
According to another preferred embodiment of the present invention,
The sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction, and the laser beam scans the correction data generation sample, and the light emitted from the correction data generation sample is photoelectrically converted. , Analog data is generated, the analog data is digitized, digital data for generating correction data is generated, and (2N) is generated based on the digital data for generating correction data.
-1) Data that minimizes the deviation of the digital data of the 2Nth line with respect to the digital data of the 1st line (N is an integer of 1 or more) are respectively determined as jitter correction data, Since the digital data of the sample corresponding to the 2N-th line is stored in the memory and the jitter correction data is used to correct the digital data, the confocal optical system is used to correct
In a case where the sample stage is reciprocated at a high speed in the main scanning direction in order to improve the / N ratio, and also in a case where a timing belt is used in order to reduce the cost, the sample stage is simply and more easily. It is possible to minimize jitter in digital data of a sample with high accuracy.

【0020】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、大きな移
動ピッチで、副走査方向に、相対的に移動させて、前記
ジッター補正データを、4以上のラインを含む前記サン
プルのディジタルデータのデータ領域ごとに、生成し、
前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶させるよう
に構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved in a sub-scanning direction at a large moving pitch, and the jitter correction data is transferred to four or more lines. Generating for each data area of the digital data of the sample including,
The bidirectional scanning scanner is configured to be stored in the memory.

【0021】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルのディジタルデータのデータ領域によっ
て、発生するジッターが異なる場合にも、ジッター補正
データを、4以上のラインを含むサンプルのディジタル
データのデータ領域ごとに、生成して、サンプルのディ
ジタルデータを補正しているから、共焦点光学系を用い
て、S/N比を向上させるために、サンプルステージ
を、主走査方向に、高速で往復動させる場合にも、ま
た、コストを低減するために、タイミングベルトを用い
る場合にも、簡易に、かつ、より高精度で、サンプルの
ディジタルデータ中のジッターを最小化することが可能
になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, even when the generated jitter differs depending on the data area of the sample digital data, the jitter correction data is stored in the data area of the sample digital data including four or more lines. Each time the sample stage is generated and the digital data of the sample is corrected, the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction using a confocal optical system in order to improve the S / N ratio. In this case, and when a timing belt is used to reduce the cost, it is possible to easily and more accurately minimize the jitter in the digital data of the sample.

【0022】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記補正データ生成用のサンプルに形成された前記
規則的なパターンが、蛍光物質によって形成され、前記
レーザ光によって、前記蛍光物質が励起されて、前記補
正データ生成用のサンプルから放出された蛍光を光電的
に検出して、前記補正データ生成用のディジタルデータ
を生成するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed of a fluorescent material, and the laser light excites the fluorescent material, The apparatus is configured to photoelectrically detect fluorescence emitted from the correction data generation sample and generate the correction data generation digital data.

【0023】本発明のさらに別の好ましい実施態様にお
いては、前記補正データ生成用のサンプルに形成された
前記規則的なパターンが、可視濃淡パターンによって形
成され、前記補正データ生成用のサンプルによって反射
された前記レーザ光を光電的に検出して、前記補正デー
タ生成用のディジタルデータを生成するように構成され
ている。
In another preferred embodiment of the present invention, the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed by a visible shading pattern and reflected by the correction data generation sample. The laser beam is photoelectrically detected to generate digital data for generating the correction data.

【0024】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージを、主走査方向に往復移動さ
せつつ、副走査方向に移動させて、前記補正データ生成
用のサンプルを、前記レーザ光によって走査し、前記補
正データ生成用のサンプルから放出された光を光電的に
検出して、アナログデータを生成し、前記アナログデー
タをディジタル化して、補正データ生成用のディジタル
データを生成し、前記補正データ生成用のディジタルデ
ータに基づいて、前記補正データ生成用のディジタルデ
ータの走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータを、
ジッター補正データとして決定して、前記双方向走査ス
キャナのメモリに記憶させ、前記サンプルステージに、
標識物質によって標識されているサンプルを載置し、前
記サンプルステージを、主走査方向に往復移動させつ
つ、副走査方向に移動させて、前記レーザ光によって、
前記サンプルを走査して、前記標識物質を励起し、前記
標識物質から放出された光を光電的に検出して、アナロ
グデータを生成し、前記アナログデータをディジタル化
して得たサンプルのディジタルデータを、前記双方向走
査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補正
データを用いて、補正するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the sample for correction data generation is scanned by the laser light by moving the sample stage in the sub-scanning direction while reciprocating in the main scanning direction. Detecting photoelectrically emitted light from the correction data generation sample, generating analog data, digitizing the analog data, generating digital data for correction data generation, and generating the correction data Data for minimizing the amount of deviation of the digital data for correction data generation for each scan line based on the digital data for
Determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, the sample stage,
A sample labeled with a labeling substance is placed, and the sample stage is moved in the sub-scanning direction while reciprocating in the main scanning direction, and is moved by the laser light.
Scanning the sample, exciting the labeling substance, photoelectrically detecting light emitted from the labeling substance, generating analog data, and converting digital data of the sample obtained by digitizing the analog data. The bidirectional scanning scanner is configured to perform correction using the jitter correction data stored in the memory.

【0025】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、S/N比を向上させるために、共焦点光学系を用い
る場合にも、簡易に、サンプルのディジタルデータ中の
ジッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, even when a confocal optical system is used to improve the S / N ratio, it is possible to easily minimize the jitter in the digital data of the sample. Will be possible.

【0026】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記レーザ光を、主走査方向に往復移動させつつ、
副走査方向に移動させて、前記補正データ生成用のサン
プルを、前記レーザ光によって走査し、前記補正データ
生成用のサンプルから放出された光を光電的に検出し
て、アナログデータを生成し、前記アナログデータをデ
ィジタル化して、補正データ生成用のディジタルデータ
を生成し、前記補正データ生成用のディジタルデータに
基づいて、前記補正データ生成用のディジタルデータの
走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッタ
ー補正データとして決定して、前記双方向走査スキャナ
のメモリに記憶させ、前記サンプルステージに、標識物
質によって標識されているサンプルを載置し、前記レー
ザ光を、主走査方向に往復移動させつつ、副走査方向に
移動させ、前記レーザ光によって、前記サンプルを走査
して、前記標識物質を励起し、前記標識物質から放出さ
れた光を光電的に検出して、アナログデータを生成し、
前記アナログデータをディジタル化して得たサンプルの
ディジタルデータを、前記双方向走査スキャナの前記メ
モリに記憶された前記ジッター補正データを用いて、補
正するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the laser light is reciprocated in the main scanning direction while
Moved in the sub-scanning direction, scan the sample for correction data generation by the laser light, photoelectrically detect the light emitted from the sample for correction data generation, generate analog data, The analog data is digitized to generate digital data for generating correction data, and a deviation amount of the digital data for generating correction data for each scan line is minimized based on the digital data for generating correction data. Data is determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, a sample marked with a labeling substance is placed on the sample stage, and the laser light is reciprocated in the main scanning direction. While moving, the sample is scanned by the laser beam while being moved in the sub-scanning direction, and the labeling substance is scanned. Excited, the light emitted from the labeling substance is photoelectrically detecting generates analog data,
The digital data of the sample obtained by digitizing the analog data is corrected using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner.

【0027】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光の主走査方向
の相対的な移動速度に応じて、それぞれ、ジッター補正
データを生成して、前記双方向走査スキャナの前記メモ
リに記憶させるように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, jitter correction data is generated in accordance with the relative movement speed of the sample stage and the laser beam in the main scanning direction, respectively, and the jitter correction data is generated. It is configured to be stored in the memory.

【0028】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルステージとレーザ光の主走査方向の相対的
な移動速度に応じて、それぞれ、ジッター補正データを
生成して、双方向走査スキャナのメモリに記憶させるよ
うに構成されているから、より高精度で、サンプルのデ
ィジタルデータ中のジッターを最小化することが可能に
なる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, jitter correction data is respectively generated in accordance with the relative movement speed of the sample stage and the laser beam in the main scanning direction, and the jitter correction data is generated in the memory of the bidirectional scanning scanner. Since it is configured to be stored, it is possible to minimize the jitter in the digital data of the sample with higher accuracy.

【0029】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、主走査方
向に、特定の移動速度で、相対的に移動させて、ジッタ
ー補正データを生成し、前記双方向走査スキャナの前記
メモリに記憶させ、前記サンプルステージと前記レーザ
光を、主走査方向に、前記特定の移動速度とは異なる移
動速度で、相対的に移動させて、前記サンプルのディジ
タルデータを生成したときは、前記双方向走査スキャナ
の前記メモリに記憶された前記ジッター補正データを補
正して、ジッター補正データを生成し、前記サンプルの
ディジタルデータを補正するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved in a main scanning direction at a specific moving speed to generate jitter correction data, The sample stage and the laser light were stored in the memory of the scanning scanner, and the sample stage and the laser beam were relatively moved in the main scanning direction at a moving speed different from the specific moving speed to generate digital data of the sample. When the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner is corrected, jitter correction data is generated, and the digital data of the sample is corrected.

【0030】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向に、特
定の移動速度で、相対的に移動させて、ジッター補正デ
ータを生成して、双方向走査スキャナのメモリに記憶さ
せ、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向に、特
定の移動速度とは異なる移動速度で、移動させて、サン
プルのディジタルデータを生成したときは、双方向走査
スキャナのメモリに記憶されたジッター補正データを補
正して、ジッター補正データを生成し、サンプルのディ
ジタルデータを補正するように構成されており、サンプ
ルステージとレーザ光を、主走査方向に、特定の移動速
度で、相対的に移動させた場合にのみ、ジッター補正デ
ータを生成し、相対的な移動速度が異なるときは、双方
向走査スキャナのメモリに記憶されたジッター補正デー
タを補正して、サンプルのディジタルデータのジッター
を補正しているので、簡易に、サンプルのディジタルデ
ータ中のジッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific moving speed, to generate jitter correction data, and to perform bidirectional scanning. When digital data of a sample is generated by moving the sample stage and the laser beam in the main scanning direction at a moving speed different from a specific moving speed, and storing the sample stage and the laser beam in the memory of the scanner, the memory of the bidirectional scanning scanner is used. It is configured to correct the jitter correction data stored in the memory, generate the jitter correction data, and correct the digital data of the sample.The sample stage and the laser beam are moved at a specific moving speed in the main scanning direction. Jitter correction data is generated only when the camera is relatively moved, and when the relative movement speed is different, the data of the bidirectional scanning scanner is used. It corrects the jitter compensation data stored in the re, because to correct the jitter of the digital data samples, a simple, consisting of jitter in the digital data of the sample can be minimized.

【0031】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光が、主走査方
向に相対的に移動される際の画素ピッチに応じて、それ
ぞれ、ジッター補正データを生成して、前記双方向走査
スキャナの前記メモリに記憶させるように構成されてい
る。
In a further preferred aspect of the present invention, the sample stage and the laser beam generate jitter correction data in accordance with a pixel pitch when relatively moved in the main scanning direction, respectively. The bidirectional scanning scanner is configured to be stored in the memory.

【0032】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルステージとレーザ光が、主走査方向に相対
的に移動される際の画素ピッチに応じて、それぞれ、ジ
ッター補正データを生成して、双方向走査スキャナのメ
モリに記憶させるように構成されているから、より高精
度で、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小
化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser beam respectively generate jitter correction data according to the pixel pitch when relatively moved in the main scanning direction. Since the data is stored in the memory of the counter-scanning scanner, the jitter in the digital data of the sample can be minimized with higher accuracy.

【0033】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、主走査方
向に、特定の画素ピッチで、相対的に移動させて、ジッ
ター補正データを生成し、前記双方向走査スキャナの前
記メモリに記憶させ、前記サンプルステージと前記レー
ザ光を、主走査方向に、前記特定の画素ピッチとは異な
る画素ピッチで、相対的に移動させて、前記サンプルの
ディジタルデータを生成したときは、前記双方向走査ス
キャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補正デー
タを補正して、ジッター補正データを生成し、前記サン
プルのディジタルデータを補正するように構成されてい
る。
In a further preferred aspect of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved at a specific pixel pitch in the main scanning direction to generate jitter correction data, Stored in the memory of the scanning scanner, the sample stage and the laser light, in the main scanning direction, at a pixel pitch different from the specific pixel pitch, relatively moved, to generate digital data of the sample When the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner is corrected, jitter correction data is generated, and the digital data of the sample is corrected.

【0034】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向に、特
定の画素ピッチで、相対的に移動させて、ジッター補正
データを生成して、双方向走査スキャナのメモリに記憶
させ、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向に、
特定の画素ピッチとは異なる画素ピッチで、相対的に移
動させて、サンプルのディジタルデータを生成したとき
は、双方向走査スキャナのメモリに記憶されたジッター
補正データを補正して、ジッター補正データを生成し、
サンプルのディジタルデータを補正するように構成され
ており、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向
に、特定の画素ピッチで、相対的に移動させた場合にの
み、ジッター補正データを生成し、画素ピッチが異なる
ときは、メモリに記憶されたジッター補正データを補正
して、サンプルのディジタルデータのジッターを補正し
ているので、簡易に、サンプルのディジタルデータ中の
ジッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific pixel pitch to generate jitter correction data, and perform bidirectional scanning. The sample stage and the laser beam are stored in the memory of the scanner,
When digital data of a sample is generated by relatively moving at a pixel pitch different from a specific pixel pitch, the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner is corrected, and the jitter correction data is converted. Generate
It is configured to correct the digital data of the sample, and generates the jitter correction data only when the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific pixel pitch. When the pitch is different, the jitter in the digital data of the sample is corrected by correcting the jitter correction data stored in the memory, so that the jitter in the digital data of the sample can be easily minimized. Become.

【0035】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、必要に応じて、ジッター補正データを生成し、前記
メモリに記憶するように構成されている。
In a further preferred embodiment of the present invention, jitter correction data is generated as required and stored in the memory.

【0036】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、タイミングベルトの伸びが、経時的に偏かするなど
の原因で、発生するジッターが異なるようになっても、
適宜、ジッター補正データを生成して、メモリに記憶
し、新たなジッター補正データを用いて、サンプルのデ
ィジタルデータを補正することによって、より高精度
で、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小化
することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, even if the generated jitter differs due to the elongation of the timing belt being deviated with time, etc.
As appropriate, generate jitter correction data, store it in memory, and correct the digital data of the sample using the new jitter correction data, thereby minimizing jitter in the digital data of the sample with higher accuracy. It becomes possible.

【0037】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージに、蛍光物質によって標識さ
れているサンプルを載置し、レーザ光によって、前記サ
ンプルを走査して、前記蛍光物質を励起し、前記蛍光物
質から放出された蛍光を光電的に検出して、アナログデ
ータを生成し、前記アナログデータをディジタル化して
得たサンプルのディジタルデータを、前記双方向走査ス
キャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補正デー
タを用いて、補正するように構成されている。
In a further preferred embodiment of the present invention, a sample labeled with a fluorescent substance is placed on the sample stage, and the sample is scanned with a laser beam to excite the fluorescent substance. Fluorescence emitted from a fluorescent substance is photoelectrically detected, analog data is generated, and digital data of a sample obtained by digitizing the analog data is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. It is configured to perform correction using the correction data.

【0038】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージに、前記サンプルとして、放
射性標識物質によって標識されている輝尽性蛍光体層を
備えた蓄積性蛍光体シートを載置し、レーザ光によっ
て、前記輝尽性蛍光体層を走査して、前記輝尽性蛍光体
層に含まれた輝尽性蛍光体を励起し、前記輝尽性蛍光体
から放出された輝尽光を光電的に検出して、アナログデ
ータを生成し、前記アナログデータをディジタル化して
得たサンプルのディジタルデータを、前記双方向走査ス
キャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補正デー
タを用いて、補正するように構成されている。
In a further preferred embodiment of the present invention, a stimulable phosphor sheet having a stimulable phosphor layer labeled with a radioactive label is placed on the sample stage as the sample, and a laser is provided. By scanning the stimulable phosphor layer with light, the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer is excited, and the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor is photo-emitted. The digital data of a sample obtained by digitally detecting the analog data, digitizing the analog data, and correcting the digital data using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. Is configured.

【0039】本発明の前記目的はまた、標識物質によっ
て標識されたサンプルがセットされるサンプルステージ
と、レーザ光を発する少なくとも1つのレーザ励起光源
を備え、前記サンプルステージと、前記レーザ光とが、
主走査方向において、互いに往復動するように、相対的
に移動されるとともに、前記主走査方向に直交する副走
査方向に、相対的に移動され、前記レーザ光によって、
前記サンプルを走査し、前記サンプルから放出される光
を光電的に検出するように構成された双方向走査スキャ
ナであって、さらに、前記標識物質から放出された光を
光電的に受光して、アナログデータを生成する光検出器
と、前記少なくとも1つのレーザ励起光源から発せられ
た前記レーザ光を、前記サンプルステージに集光させる
とともに、前記標識物質から放出された光を、前記光検
出器に導く集光光学系と、前記光検出器により生成され
たアナログデータをディジタル化するA/D変換器と、
データ処理装置と、メモリとを備え、前記データ処理装
置が、前記サンプルステージに対して、相対的に固定さ
れ、規則的なパターンが形成された補正データ生成用の
サンプルが、前記少なくとも1つのレーザ励起光源から
発せられたレーザ光によって、走査され、前記補正デー
タ生成用のサンプルから放出された光が、前記光検出器
によって、光電的に検出されて、アナログデータが生成
され、前記A/D変換器によりディジタル化されて、生
成された補正データ生成用のディジタルデータに基づい
て、前記補正データ生成用のディジタルデータの走査ラ
インごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正
データとして決定して、前記メモリに記憶させ、前記サ
ンプルステージに載置され、標識物質によって標識され
たサンプルが、前記少なくとも1つのレーザ励起光源か
ら発せられたレーザ光によって走査されて、前記標識物
質が励起され、前記標識物質から放出された光を、前記
光検出器によって、光電的に検出されて、アナログデー
タが生成され、前記A/D変換器によりディジタル化さ
れて、生成された前記サンプルのディジタルデータを、
前記メモリに記憶された前記ジッター補正データを用い
て、補正するように構成されたことを特徴とする双方向
走査スキャナによって達成される。
The object of the present invention also includes a sample stage on which a sample labeled with a labeling substance is set, and at least one laser excitation light source for emitting laser light, wherein the sample stage and the laser light are:
In the main scanning direction, they are relatively moved so as to reciprocate with each other, and are relatively moved in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and by the laser light,
A bidirectional scanning scanner configured to scan the sample and photoelectrically detect light emitted from the sample, further comprising photoelectrically receiving light emitted from the labeling substance, A photodetector that generates analog data, and the laser light emitted from the at least one laser excitation light source is focused on the sample stage, and light emitted from the labeling substance is transmitted to the photodetector. A condensing optical system for guiding, an A / D converter for digitizing analog data generated by the photodetector,
A data processing device, and a memory, wherein the data processing device is fixed relative to the sample stage and a sample for generating correction data in which a regular pattern is formed is the at least one laser. Scanning is performed by a laser beam emitted from an excitation light source, and light emitted from the correction data generation sample is photoelectrically detected by the photodetector to generate analog data. Based on the generated digital data for correction data generated by the converter, the data for minimizing the amount of deviation of the digital data for correction data generation for each scan line is determined as jitter correction data. The sample stored in the memory, placed on the sample stage, and labeled with the labeling substance is Scanning by laser light emitted from at least one laser excitation light source, the labeling substance is excited, light emitted from the labeling substance is photoelectrically detected by the photodetector, and analog data is converted. Digital data of the sample generated and digitized by the A / D converter,
The present invention is attained by a bidirectional scanning scanner configured to perform correction using the jitter correction data stored in the memory.

【0040】本発明によれば、双方向走査スキャナは、
標識物質によって標識されたサンプルがセットされるサ
ンプルステージと、レーザ光を発する少なくとも1つの
レーザ励起光源を備え、サンプルステージとレーザ光と
が、主走査方向において、互いに往復動するように、相
対的に移動されるとともに、主走査方向に直交する副走
査方向に、相対的に移動され、レーザ光によって、サン
プルを走査し、サンプルから放出される光を光電的に検
出するように構成され、さらに、標識物質から放出され
た光を光電的に受光して、アナログデータを生成する光
検出器と、少なくとも1つのレーザ励起光源から発せら
れたレーザ光を、サンプルステージに集光させるととも
に、標識物質から放出された光を、光検出器に導く集光
光学系と、光検出器により生成されたアナログデータを
ディジタル化するA/D変換器と、データ処理装置と、
メモリとを備え、データ処理装置が、サンプルステージ
に対して、相対的に固定され、規則的なパターンが形成
された補正データ生成用のサンプルを、レーザ光によっ
て走査し、補正データ生成用のサンプルから放出された
光を、光検出器が光電的に検出して、アナログデータを
生成し、A/D変換器によりディジタル化して、ジッタ
ーを含み、走査ラインごとに偏倚を有する補正データ生
成用のディジタルデータを生成し、補正データ生成用の
ディジタルデータに基づいて、補正データ生成用のディ
ジタルデータの走査ラインごとの偏倚量を最小化するデ
ータを、ジッター補正データとして決定して、メモリに
記憶させ、サンプルステージに載置され、標識物質によ
って標識されたサンプルを、レーザ光によって、走査し
て、標識物質を励起し、標識物質から放出された光を、
光検出器が光電的に検出して、生成されたアナログデー
タを、A/D変換器によってディジタル化して、生成さ
れたサンプルのディジタルデータを、メモリに記憶され
たジッター補正データを用いて、補正するように構成さ
れているから、共焦点光学系を用いて、S/N比を向上
させるために、サンプルステージを、主走査方向に、高
速で往復動させる場合にも、また、コストを低減するた
めに、タイミングベルトを用いる場合にも、簡易に、ス
キャナによって生成されたサンプルのディジタルデータ
中のジッターを最小化することが可能になる。
According to the present invention, the bidirectional scanning scanner comprises:
A sample stage on which a sample labeled by the labeling substance is set; and at least one laser excitation light source for emitting laser light. The sample stage and the laser light are relatively moved so as to reciprocate with each other in the main scanning direction. And moved relatively in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, scans the sample with the laser light, and is configured to photoelectrically detect light emitted from the sample, A photodetector that photoelectrically receives light emitted from a labeling substance to generate analog data, and condenses laser light emitted from at least one laser excitation light source on a sample stage, Optical system that guides the light emitted from the detector to the photodetector and digitizes the analog data generated by the photodetector / D converter, and a data processing device,
A memory, and a data processing device scans the sample for correction data generation, which is fixed relative to the sample stage and has a regular pattern, by using a laser beam, and obtains a sample for correction data generation. The light emitted from the photodetector is photoelectrically detected by a photodetector, generates analog data, is digitized by an A / D converter, includes jitter, and has a bias for each scan line. Digital data is generated, and based on the digital data for generating the correction data, data for minimizing the deviation amount of the digital data for generating the correction data for each scan line is determined as jitter correction data and stored in the memory. The sample placed on the sample stage and labeled with the labeling substance is scanned by laser light to excite the labeling substance. And the light emitted from the labeling substance,
The photodetector photoelectrically detects and digitizes the generated analog data by an A / D converter, and corrects the digital data of the generated sample using the jitter correction data stored in the memory. In order to improve the S / N ratio using a confocal optical system, the cost can be reduced even when the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction. Therefore, even when a timing belt is used, it is possible to easily minimize the jitter in the digital data of the sample generated by the scanner.

【0041】本発明の好ましい実施態様においては、前
記データ処理装置が、前記サンプルステージと前記レー
ザ光が、主走査方向に、相対的に、一往復されて、前記
レーザ光によって、前記補正データ生成用のサンプルが
走査され、前記補正データ生成用のサンプルから放出さ
れた光が、前記光検出器によって、光電的に検出され
て、生成されたアナログデータが、前記A/D変換器に
よって、ディジタル化されて、生成された往路に対応す
る第一ライン目のディジタルデータと復路に対応する第
一ライン目のディジタルデータよりなる補正データ生成
用のディジタルデータに基づいて、第一ライン目の前記
ディジタルデータに対する第二ライン目の前記ディジタ
ルデータの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正
データとして決定して、前記メモリに記憶させるととも
に、前記ジッター補正データを用いて、偶数番目の走査
ラインに対応する前記サンプルの前記ディジタルデータ
を補正するように構成されている。
In a preferred embodiment of the present invention, the data processing device is configured such that the sample stage and the laser light are reciprocated once in the main scanning direction, and the correction data generation is performed by the laser light. Sample is scanned, light emitted from the correction data generation sample is photoelectrically detected by the photodetector, and the generated analog data is digitally converted by the A / D converter. The digital data of the first line is generated based on the generated digital data of the first line corresponding to the outward path and the generated digital data of the first line corresponding to the return path. Data that minimizes the deviation of the digital data on the second line with respect to the data is determined as jitter correction data. , Together it is stored in the memory, by using the jitter compensation data, and is configured to correct the digital data of the sample corresponding to the even-numbered scanning lines.

【0042】本発明の好ましい実施態様によれば、デー
タ処理装置が、サンプルステージとレーザ光を、主走査
方向に、相対的に、一往復させて、レーザ光によって、
補正データ生成用のサンプルを走査し、補正データ生成
用のサンプルから放出された光を、光検出器によって、
光電的に検出して、生成されたアナログデータを、A/
D変換器によって、ディジタル化して、生成された往路
に対応する第一ライン目のディジタルデータと復路に対
応する第二ライン目のディジタルデータよりなる補正デ
ータ生成用のディジタルデータに基づき、第一ライン目
のディジタルデータに対する第二ライン目のディジタル
データの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正デ
ータとして決定して、スキャナのメモリに記憶させ、ジ
ッター補正データを用いて、偶数番目の走査ラインに対
応するサンプルのディジタルデータを補正するように構
成されており、第一ライン目のディジタルデータに対す
る第二ライン目のディジタルデータの偏倚量を最小化す
るデータを、ジッター補正データとして決定し、このジ
ッター補正データを用いて、偶数番目の走査ラインに対
応するサンプルのディジタルデータを補正するだけで、
サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小化する
ことができるから、共焦点光学系を用いて、S/N比を
向上させるために、サンプルステージを、主走査方向
に、高速で往復動させる場合にも、また、コストを低減
するために、タイミングベルトを用いる場合にも、簡易
に、サンプルのディジタルデータ中のジッターを最小化
することが可能になる。
According to a preferred embodiment of the present invention, the data processing device makes the sample stage and the laser beam reciprocate once in the main scanning direction relatively to each other, and
A sample for correction data generation is scanned, and light emitted from the sample for correction data generation is detected by a photodetector.
The analog data generated by photoelectrically detecting and generating the A / A
A first line is generated based on digital data for correction data generation, which is digitized by the D converter and is generated by digital data of the first line corresponding to the forward path and digital data of the second line corresponding to the return path. The data that minimizes the deviation of the digital data of the second line with respect to the digital data of the eye is determined as jitter correction data, stored in the memory of the scanner, and is used for the even-numbered scan line using the jitter correction data. The digital data of the corresponding sample is configured to be corrected, and data that minimizes the deviation of the digital data of the second line with respect to the digital data of the first line is determined as jitter correction data. Using the correction data, the samples corresponding to the even-numbered scan lines are Ijitarudeta only to compensate for,
Since the jitter in the digital data of the sample can be minimized, in order to improve the S / N ratio using a confocal optical system, the sample stage is required to reciprocate at high speed in the main scanning direction. In addition, when a timing belt is used to reduce cost, it is possible to easily minimize jitter in digital data of a sample.

【0043】本発明の別の好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルステージと前
記レーザ光が、主走査方向および副走査方向に、相対的
に移動されて、前記補正データ生成用のサンプルが走査
され、前記補正データ生成用のサンプルから放出された
光が、前記光検出器によって光電的に検出されて、生成
されたアナログデータが、前記A/D変換器によってデ
ィジタル化されて、生成された補正データ生成用のディ
ジタルデータに基づいて、(2N−1)番目のラインの
ディジタルデータ(Nは1以上の整数)に対する2N番
目のラインのディジタルデータの偏倚量を最小化するデ
ータを、それぞれ、ジッター補正データとして決定し
て、前記メモリに記憶させるとともに、前記ジッター補
正データを用いて、2N番目のラインに対応する前記サ
ンプルの前記ディジタルデータを補正するように構成さ
れている。
In another preferred embodiment of the present invention, the data processing device is arranged such that the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction, and Is scanned, light emitted from the correction data generation sample is photoelectrically detected by the photodetector, and the generated analog data is digitized by the A / D converter. Based on the generated correction data generation digital data, the data minimizing the deviation of the 2N-th line digital data with respect to the (2N-1) -th line digital data (N is an integer of 1 or more) Are respectively determined as jitter correction data, and are stored in the memory. Th is configured to correct the digital data of the sample corresponding to the line.

【0044】本発明の別の好ましい実施態様によれば、
データ処理装置が、サンプルステージとレーザ光を、主
走査方向および副走査方向に、相対的に移動させて、補
正データ生成用のサンプルを走査し、補正データ生成用
のサンプルから放出された光を、光検出器によって光電
的に検出して、生成されたアナログデータを、A/D変
換器によってディジタル化して、生成された補正データ
生成用のディジタルデータに基づいて、(2N−1)番
目のラインのディジタルデータ(Nは1以上の整数)に
対する2N番目のラインのディジタルデータの偏倚量を
最小化するデータを、ジッター補正データとして決定し
て、それぞれ、スキャナのメモリに記憶させるととも
に、ジッター補正データを用いて、2N番目のラインに
対応するサンプルのディジタルデータを補正するように
構成されているから、共焦点光学系を用いて、S/N比
を向上させるために、サンプルステージを、主走査方向
に、高速で往復動させる場合にも、また、コストを低減
するために、タイミングベルトを用いる場合にも、簡易
に、かつ、より高精度で、サンプルのディジタルデータ
中のジッターを最小化することが可能になる。
According to another preferred embodiment of the present invention,
The data processing device relatively moves the sample stage and the laser light in the main scanning direction and the sub-scanning direction, scans the correction data generation sample, and emits light emitted from the correction data generation sample. The analog data generated by photoelectrically detected by the photodetector and digitized by the A / D converter is digitized by the A / D converter, and based on the generated digital data for generating correction data, the (2N-1) th Data that minimizes the deviation of the digital data of the 2Nth line with respect to the digital data of the line (N is an integer of 1 or more) is determined as jitter correction data, and is stored in the memory of the scanner, respectively. Since the digital data of the sample corresponding to the 2Nth line is corrected using the data, When the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction to improve the S / N ratio by using the confocal optical system, and when the timing belt is used to reduce the cost. In addition, it is possible to easily and more accurately minimize the jitter in the digital data of the sample.

【0045】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルステージと前
記レーザ光を、大きな移動ピッチで、副走査方向に、相
対的に移動させて、前記ジッター補正データを、4以上
のラインを含む前記サンプルのディジタルデータのデー
タ領域ごとに、生成し、前記メモリに記憶させるように
構成されている。
[0045] In a further preferred aspect of the present invention, the data processing device relatively moves the sample stage and the laser beam in a sub-scanning direction at a large moving pitch, and stores the jitter correction data. And for each data area of the digital data of the sample including four or more lines, and is stored in the memory.

【0046】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、サンプルのディジタルデータのデータ領域によっ
て、発生するジッターが異なる場合にも、ジッター補正
データを、4以上のラインを含むサンプルのディジタル
データのデータ領域ごとに、生成して、サンプルのディ
ジタルデータを補正しているから、簡易に、かつ、より
高精度で、サンプルのディジタルデータ中のジッターを
最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, even when the generated jitter differs depending on the data area of the digital data of the sample, the jitter correction data is stored in the data area of the digital data of the sample including four or more lines. Each time, the digital data of the sample is generated and corrected, so that the jitter in the digital data of the sample can be easily and more accurately minimized.

【0047】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記補正データ生成用のサンプルに形成された前記
規則的なパターンが、蛍光物質によって形成され、前記
データ処理装置が、前記レーザ光によって、前記蛍光物
質が励起されて、前記補正データ生成用のサンプルから
放出された蛍光を光電的に検出して、前記補正データ生
成用のディジタルデータを生成するように構成されてい
る。
In a further preferred aspect of the present invention, the regular pattern formed on the sample for generating the correction data is formed of a fluorescent material, and the data processing device is configured to control the fluorescent light by the laser light. When the substance is excited, the fluorescence emitted from the sample for generating the correction data is photoelectrically detected to generate digital data for generating the correction data.

【0048】本発明のさらに別の好ましい実施態様にお
いては、前記補正データ生成用のサンプルに形成された
前記規則的なパターンが、可視濃淡パターンによって形
成され、前記データ処理装置が、前記補正データ生成用
のサンプルによって反射された前記レーザ光を光電的に
検出して、前記補正データ生成用のディジタルデータを
生成するように構成されている。
In still another preferred embodiment of the present invention, the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed by a visible light and shade pattern, and the data processing device is configured to execute the correction data generation The laser beam reflected by the sample is photoelectrically detected to generate digital data for generating the correction data.

【0049】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルステージと前
記レーザ光の主走査方向の相対的な移動速度に応じて、
それぞれ、ジッター補正データを生成して、前記メモリ
に記憶させるように構成されている。
[0049] In a further preferred aspect of the present invention, the data processing device is configured to control the relative movement speed of the sample stage and the laser beam in the main scanning direction.
Each is configured to generate jitter correction data and store it in the memory.

【0050】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、データ処理装置は、サンプルステージとレーザ光の
主走査方向の相対的な移動速度に応じて、それぞれ、ジ
ッター補正データを生成して、スキャナのメモリに記憶
させるように構成されているから、共焦点光学系を用い
て、S/N比を向上させるために、サンプルステージ
を、主走査方向に、高速で往復動させる場合にも、ま
た、コストを低減するために、タイミングベルトを用い
る場合にも、簡易に、かつ、より高精度で、サンプルの
ディジタルデータ中のジッターを最小化することが可能
になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the data processing device generates the jitter correction data according to the relative moving speed of the laser beam in the main scanning direction with respect to the sample stage, and generates the jitter correction data. When the sample stage is reciprocated at a high speed in the main scanning direction in order to improve the S / N ratio by using the confocal optical system, Even when a timing belt is used to reduce the cost, it is possible to easily and more accurately minimize the jitter in the digital data of the sample.

【0051】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、主走査方
向に、特定の移動速度で、相対的に移動させた際に、前
記データ処理装置が、ジッター補正データを生成して、
前記メモリに記憶させ、前記サンプルステージを、主走
査方向に、前記特定の移動速度とは異なる移動速度で、
移動させて、前記サンプルのディジタルデータが生成さ
れたときは、前記データ処理装置が、前記メモリに記憶
された前記ジッター補正データを補正して、ジッター補
正データを生成し、前記サンプルのディジタルデータを
補正するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, when the sample stage and the laser beam are relatively moved at a specific moving speed in the main scanning direction, the data processing device may perform jitter correction. Generate data,
Stored in the memory, the sample stage, in the main scanning direction, at a moving speed different from the specific moving speed,
When moved, when the digital data of the sample is generated, the data processing device corrects the jitter correction data stored in the memory to generate jitter correction data, and converts the digital data of the sample. It is configured to correct.

【0052】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、データ処理装置は、サンプルステージとレーザ光
を、主走査方向に、特定の移動速度で、相対的に移動さ
せて、ジッター補正データを生成して、メモリに記憶さ
せ、サンプルステージを、主走査方向に、特定の移動速
度とは異なる移動速度で、相対的に移動させて、サンプ
ルのディジタルデータが生成されたときは、メモリに記
憶されたジッター補正データを補正して、ジッター補正
データを生成し、サンプルのディジタルデータを補正す
るように構成されており、サンプルステージとレーザ光
を、主走査方向に、特定の移動速度で、相対的に移動さ
せた場合にのみ、ジッター補正データを生成し、相対的
な移動速度が異なるときは、メモリに記憶されたジッタ
ー補正データを補正して、サンプルのディジタルデータ
のジッターを補正しているので、共焦点光学系を用い
て、S/N比を向上させるために、サンプルステージ
を、主走査方向に、高速で往復動させる場合にも、ま
た、コストを低減するために、タイミングベルトを用い
る場合にも、簡易に、サンプルのディジタルデータ中の
ジッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the data processing apparatus generates the jitter correction data by relatively moving the sample stage and the laser beam at a specific moving speed in the main scanning direction. When digital data of a sample is generated by relatively moving the sample stage in the main scanning direction at a moving speed different from a specific moving speed, the sample stage is stored in the memory. The jitter correction data is corrected, jitter correction data is generated, and the digital data of the sample is corrected.The sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific moving speed. Jitter correction data is generated only when the camera is moved, and when the relative movement speed is different, the jitter correction data stored in the memory is corrected. Since the jitter of the digital data of the sample is corrected, even when the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction in order to improve the S / N ratio by using the confocal optical system, Further, even when a timing belt is used to reduce the cost, it is possible to easily minimize the jitter in the digital data of the sample.

【0053】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルステージと前
記レーザ光が、主走査方向に相対的に移動される際の画
素ピッチに応じて、それぞれ、ジッター補正データを生
成して、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶さ
せるように構成されている。
[0053] In a further preferred aspect of the present invention, the data processing device may perform jitter correction according to a pixel pitch when the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction. It is configured to generate data and store the data in the memory of the bidirectional scanning scanner.

【0054】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、データ処理装置は、サンプルステージとレーザ光
が、主走査方向に相対的に移動される際の画素ピッチに
応じて、それぞれ、ジッター補正データを生成して、メ
モリに記憶させるように構成されているから、共焦点光
学系を用いて、S/N比を向上させるために、サンプル
ステージを、主走査方向に、高速で往復動させる場合に
も、また、コストを低減するために、タイミングベルト
を用いる場合にも、簡易に、かつ、より高精度で、サン
プルのディジタルデータ中のジッターを最小化すること
が可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the data processing apparatus stores the jitter correction data according to the pixel pitch when the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction. When the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction in order to improve the S / N ratio by using the confocal optical system, it is configured to generate and store it in the memory. In addition, even when a timing belt is used to reduce costs, it is possible to easily and more accurately minimize jitter in digital data of a sample.

【0055】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記サンプルステージと前記レーザ光を、主走査方
向に、特定の画素ピッチで、相対的に移動させた際に、
前記データ処理装置が、ジッター補正データを生成し
て、前記メモリに記憶させ、前記サンプルステージを、
主走査方向に、前記特定の画素ピッチとは異なる画素ピ
ッチで、移動させて、前記サンプルのディジタルデータ
が生成されたときは、前記データ処理装置が、前記メモ
リに記憶された前記ジッター補正データを補正して、ジ
ッター補正データを生成し、前記サンプルのディジタル
データを補正するように構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, when the sample stage and the laser beam are relatively moved at a specific pixel pitch in the main scanning direction,
The data processing apparatus generates jitter correction data, stores the jitter correction data in the memory,
When the digital data of the sample is generated by moving in the main scanning direction at a pixel pitch different from the specific pixel pitch and the digital data of the sample is generated, the data processing device converts the jitter correction data stored in the memory. The correction is performed to generate jitter correction data, and the digital data of the sample is corrected.

【0056】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、データ処理装置は、サンプルステージとレーザ光
を、主走査方向に、特定の画素ピッチで、相対的に移動
させて、ジッター補正データを生成して、メモリに記憶
させ、サンプルステージとレーザ光を、主走査方向に、
特定の画素ピッチとは異なる画素ピッチで、相対的に移
動させて、サンプルのディジタルデータが生成されたと
きは、メモリに記憶されたジッター補正データを補正し
て、ジッター補正データを生成し、サンプルのディジタ
ルデータを補正するように構成されており、サンプルス
テージとレーザ光を、主走査方向に、特定の画素ピッチ
で、相対的に移動させた場合にのみ、ジッター補正デー
タを生成し、画素ピッチが異なるときは、メモリに記憶
されたジッター補正データを補正して、サンプルのディ
ジタルデータのジッターを補正しているので、共焦点光
学系を用いて、S/N比を向上させるために、サンプル
ステージを、主走査方向に、高速で往復動させる場合に
も、また、コストを低減するために、タイミングベルト
を用いる場合にも、簡易に、サンプルのディジタルデー
タ中のジッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the data processing apparatus generates the jitter correction data by relatively moving the sample stage and the laser beam at a specific pixel pitch in the main scanning direction. And store it in a memory, and the sample stage and the laser beam are
When digital data of a sample is generated by relatively moving at a pixel pitch different from a specific pixel pitch, the jitter correction data stored in the memory is corrected, and the jitter correction data is generated. The jitter correction data is generated only when the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific pixel pitch. Is different, the jitter correction data stored in the memory is corrected to correct the jitter of the digital data of the sample. Therefore, the confocal optical system is used to improve the S / N ratio. When the stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction, or when a timing belt is used to reduce cost. Easily becomes a jitter in the digital data of the sample can be minimized.

【0057】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、さらに、前記少なくとも1つのレーザ励起光源の側
の前記サンプルステージの表面に、前記蛍光を発する物
質の規則的なパターンが形成され、前記データ処理装置
が、前記メモリに記憶されたジッター補正データを更新
可能に構成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, a regular pattern of the fluorescent substance is formed on the surface of the sample stage on the side of the at least one laser excitation light source, and the data processing apparatus Are configured to be able to update the jitter correction data stored in the memory.

【0058】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、さらに、少なくとも1つのレーザ励起光源の側のサ
ンプルステージの表面に、蛍光を発する物質の規則的な
パターンが形成され、データ処理装置が、メモリに記憶
されたジッター補正データを更新可能に構成されている
から、タイミングベルトの伸びが、経時的に変化するな
どの原因で、発生するジッターが異なるようになって
も、適宜、ジッター補正データを生成して、メモリに記
憶し、新たなジッター補正データを用いて、サンプルの
ディジタルデータを補正することによって、共焦点光学
系を用いて、S/N比を向上させるために、サンプルス
テージを、主走査方向に、高速で往復動させる場合に
も、また、コストを低減するために、タイミングベルト
を用いる場合にも、簡易に、かつ、より高精度で、サン
プルのディジタルデータ中のジッターを最小化すること
が可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, a regular pattern of a fluorescent substance is formed on the surface of the sample stage on the side of the at least one laser excitation light source. It is configured to be able to update the jitter correction data stored in the, so even if the generated jitter changes due to the elongation of the timing belt and changes over time, the jitter correction data can be Generate and store in memory and correct the digital data of the sample using the new jitter correction data, thereby improving the S / N ratio using confocal optics. Even when reciprocating at high speed in the main scanning direction, or when using a timing belt to reduce costs, simple And, with higher accuracy, so the jitter in the digital data of the sample can be minimized.

【0059】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルとして、前記
サンプルステージに載置され、蛍光物質によって標識さ
れたサンプルを、レーザ光によって、走査して、前記蛍
光物質を励起し、前記蛍光物質から放出された蛍光を、
前記光検出器によって光電的に検出して、生成されたア
ナログデータを、前記A/D変換器によってディジタル
化して、生成された前記サンプルのディジタルデータ
を、前記メモリに記憶された前記ジッター補正データを
用いて、補正するように構成されている。
[0059] In a further preferred aspect of the present invention, the data processing device scans, with a laser beam, a sample mounted on the sample stage as the sample and labeled with a fluorescent substance, thereby obtaining the fluorescence. Exciting the substance, the fluorescence emitted from the fluorescent substance,
The analog data generated by photoelectrically detected by the photodetector is digitized by the A / D converter, and the generated digital data of the sample is converted into the jitter correction data stored in the memory. Is configured to perform correction.

【0060】本発明のさらに別の好ましい実施態様にお
いては、前記データ処理装置が、前記サンプルとして、
前記サンプルステージに載置され、放射性標識物質によ
って標識された輝尽性蛍光体層を備えた蓄積性蛍光体シ
ートの前記輝尽性蛍光体層を、レーザ光によって、走査
して、前記輝尽性蛍光体層に含まれた輝尽性蛍光体を励
起し、前記輝尽性蛍光体から放出された輝尽光を、前記
光検出器によって光電的に検出して、生成されたアナロ
グデータを、前記A/D変換器によってディジタル化し
て、生成された前記サンプルのディジタルデータを、前
記メモリに記憶された前記ジッター補正データを用い
て、補正するように構成されている。
[0060] In still another preferred embodiment of the present invention, the data processing device comprises:
The stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet provided with the stimulable phosphor layer placed on the sample stage and labeled with a radioactive labeling substance is scanned by a laser beam, and the stimulable phosphor layer is scanned. Exciting the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer, the stimulable light emitted from the stimulable phosphor is photoelectrically detected by the photodetector, and the generated analog data is output. The digital data of the sample generated by digitizing by the A / D converter is corrected by using the jitter correction data stored in the memory.

【0061】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記データ処理装置が、前記サンプルステージにセ
ットされ、前記サンプルを保持するサンプル保持部を備
えたサンプルキャリアの表面に形成された規則的なパタ
ーンが、前記少なくとも1つのレーザ励起光源から発せ
られたレーザ光によって、走査され、前記補正データ生
成用のサンプルから放出された光が、前記光検出器によ
って、光電的に検出されて、アナログデータが生成さ
れ、前記A/D変換器によりディジタル化されて、生成
された補正データ生成用のディジタルデータに基づい
て、前記補正データ生成用のディジタルデータの走査ラ
インごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正
データとして決定して、前記メモリに記憶させるように
構成されている。
[0061] In a further preferred aspect of the present invention, the data processing apparatus is set on the sample stage, and has a regular pattern formed on the surface of a sample carrier having a sample holding section for holding the sample. Scanning with laser light emitted from the at least one laser excitation light source, and light emitted from the correction data generation sample is photoelectrically detected by the photodetector to generate analog data. Then, based on the generated digital data for correction data generated by the A / D converter, data for minimizing the amount of deviation of the digital data for correction data generation for each scan line, The data is determined as jitter correction data and stored in the memory.

【0062】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、データ処理装置が、サンプルステージにセットさ
れ、サンプルを保持するサンプル保持部を備えたサンプ
ルキャリアの表面に形成された規則的なパターンが、少
なくとも1つのレーザ励起光源から発せられたレーザ光
によって、走査され、補正データ生成用のサンプルから
放出された光が、光検出器によって、光電的に検出され
て、アナログデータが生成され、A/D変換器によりデ
ィジタル化されて、生成された補正データ生成用のディ
ジタルデータに基づいて、補正データ生成用のディジタ
ルデータの走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータ
を、ジッター補正データとして決定して、メモリに記憶
させるように構成されているから、タイミングベルトの
伸びが、経時的に変化するなどの原因で、発生するジッ
ターが異なるようになっても、適宜、きわめて容易に、
ジッター補正データを生成して、メモリに記憶し、新た
なジッター補正データを用いて、サンプルのディジタル
データを補正することによって、共焦点光学系を用い
て、S/N比を向上させるために、サンプルステージ
を、主走査方向に、高速で往復動させる場合にも、ま
た、コストを低減するために、タイミングベルトを用い
る場合にも、簡易に、かつ、より高精度で、サンプルの
ディジタルデータ中のジッターを最小化することが可能
になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, the data processing device is set on the sample stage and has at least a regular pattern formed on the surface of the sample carrier provided with the sample holder for holding the sample. Scanning is performed by laser light emitted from one laser excitation light source, light emitted from a sample for generating correction data is photoelectrically detected by a photodetector, and analog data is generated, and A / D is generated. Based on the digital data generated by the converter and generated for the correction data, the data for minimizing the deviation of the digital data for the correction data for each scan line is determined as the jitter correction data. , The timing belt elongation changes over time. Responsible for Runado also jitter occurs becomes different as appropriate, very easily,
In order to improve the S / N ratio by using a confocal optical system by generating jitter correction data, storing the jitter correction data in a memory, and correcting the digital data of the sample using the new jitter correction data, Even when the sample stage is reciprocated at high speed in the main scanning direction, or when a timing belt is used to reduce cost, the digital data of the sample can be easily and more accurately recorded. Can be minimized.

【0063】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記規則的なパターンが、前記サンプルキャリアの
前記サンプル保持部の外側に形成されている。
[0063] In a further preferred aspect of the present invention, the regular pattern is formed outside the sample holding portion of the sample carrier.

【0064】本発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、規則的なパターンが、サンプルキャリアのサンプル
保持部の外側に形成されているから、サンプル保持部に
保持されたサンプルを、レーザ光によって、走査する際
に、規則的なパターンを形成する補正データ生成用のサ
ンプルから、光が放出され、データ中にノイズを生成す
ることを防止して、サンプルのディジタルデータ中のジ
ッターを最小化することが可能になる。
According to a further preferred embodiment of the present invention, since the regular pattern is formed outside the sample holding portion of the sample carrier, the sample held by the sample holding portion is scanned by the laser beam. In this case, light can be emitted from the correction data generation sample that forms a regular pattern to prevent noise from being generated in the data, thereby minimizing jitter in the digital data of the sample. Will be possible.

【0065】本発明の前記目的はまた、サンプルを保持
可能なサンプル保持部を備え、サンプルステージに載置
されるサンプルキャリアであって、前記サンプルステー
ジ側の表面に、規則的なパターンが形成されたことを特
徴とするサンプルキャリアによって達成される。
The object of the present invention is also a sample carrier provided with a sample holding portion capable of holding a sample, the sample carrier being mounted on a sample stage, wherein a regular pattern is formed on the surface on the sample stage side. This is achieved by a sample carrier characterized in that:

【0066】本発明によれば、サンプルを保持可能なサ
ンプル保持部を備え、サンプルステージに載置可能に構
成されたサンプルキャリアは、そのサンプルステージ側
の表面に、励起光の照射を受けたときに、励起されて、
蛍光を発する物質の規則的なパターンを備えているか
ら、必要に応じて、サンプルステージを移動させて、レ
ーザ光によって、規則的なパターンを走査して、規則的
なパターンから放出された光光電的に検出して、アナロ
グデータを生成し、アナログデータをディジタル化し
て、ジッターを含み、走査ラインごとに偏倚を有する補
正データ生成用のディジタルデータを生成し、補正デー
タ生成用のディジタルデータに基づいて、補正データ生
成用のディジタルデータの走査ラインごとの偏倚量を最
小化するデータを、ジッター補正データとして決定する
ことができ、こうして得たジッター補正データを、双方
向走査スキャナのメモリに記憶させ、サンプル保持部
に、標識物質によって標識されているサンプルを保持さ
せて、サンプルステージを移動させ、レーザ光によっ
て、サンプルを走査して、標識物質を励起し、標識物質
から放出された光を光電的に検出して、アナログデータ
を生成し、アナログデータをディジタル化して得たサン
プルのディジタルデータを、双方向走査スキャナのメモ
リに記憶された前記ジッター補正データを用いて、補正
し、ジッターを最小化することができるから、共焦点光
学系を用いて、S/N比を向上させるために、サンプル
ステージを、主走査方向に、高速で往復動させる場合に
も、また、コストを低減するために、タイミングベルト
を用いる場合にも、簡易に、かつ、より高精度に、サン
プルのディジタルデータ中のジッターを最小化すること
が可能になる。
According to the present invention, the sample carrier provided with the sample holding portion capable of holding the sample and configured to be mountable on the sample stage has a structure in which the surface of the sample stage side is irradiated with excitation light. Is excited,
Since it has a regular pattern of a substance that emits fluorescence, the sample stage is moved as necessary, and the regular pattern is scanned by a laser beam, and the photo-electric light emitted from the regular pattern is scanned. And generating analog data, digitizing the analog data, generating digital data for generating correction data including jitter and having a deviation for each scan line, based on the digital data for generating correction data. Thus, data that minimizes the amount of deviation of digital data for generating correction data for each scan line can be determined as jitter correction data, and the jitter correction data thus obtained is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. The sample stage is held by holding the sample labeled with the labeling substance in the sample holding section. The sample is moved by scanning the laser beam to excite the labeling substance, the light emitted from the labeling substance is photoelectrically detected, analog data is generated, and the analog data is digitized. Digital data can be corrected by using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner to minimize the jitter. Therefore, the S / N ratio can be improved by using a confocal optical system. Therefore, even when the sample stage is reciprocated at a high speed in the main scanning direction, or when a timing belt is used to reduce cost, the sample stage can be easily and more accurately sampled. Jitter in digital data can be minimized.

【0067】本発明の好ましい実施態様においては、前
記規則的なパターンが、前記サンプルキャリアの前記サ
ンプル保持部の外側に形成されている。
In a preferred embodiment of the present invention, the regular pattern is formed outside the sample holding section of the sample carrier.

【0068】本発明の好ましい実施態様によれば、規則
的なパターンが、サンプルキャリアのサンプル保持部の
外側に形成されているから、サンプル保持部に保持され
たサンプルを、レーザ光によって、走査する際に、規則
的なパターンを形成する補正データ生成用のサンプルか
ら、光が放出され、データ中にノイズを生成することを
防止して、サンプルのディジタルデータ中のジッターを
最小化することが可能になる。
According to a preferred embodiment of the present invention, since the regular pattern is formed outside the sample holder of the sample carrier, the sample held by the sample holder is scanned by the laser beam. In this case, light is emitted from the correction data generation sample that forms a regular pattern, preventing noise from being generated in the data and minimizing jitter in the digital data of the sample become.

【0069】本発明のさらに好ましい実施態様において
は、前記規則的なパターンが、蛍光物質によって形成さ
れている。本発明のさらに別の好ましい実施態様におい
ては、前記規則的なパターンが、可視濃淡パターンによ
って形成されている。
In a further preferred aspect of the present invention, the regular pattern is formed of a fluorescent substance. In yet another preferred embodiment of the present invention, the regular pattern is formed by a visible shading pattern.

【0070】[0070]

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0071】図1は、本発明の好ましい実施態様にかか
る双方向走査スキャナの略斜視図であり、本実施態様に
かかる双方向走査スキャナは、サンプルに含まれた標識
物質を励起し、標識物質から放出された光を検出して、
生化学解析用のデータを生成するように構成されてい
る。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a bidirectional scanning scanner according to a preferred embodiment of the present invention. The bidirectional scanning scanner according to this embodiment excites a labeling substance contained in a sample, and Detecting the light emitted from the
It is configured to generate data for biochemical analysis.

【0072】図1に示されるように、本実施態様にかか
る双方向走査スキャナは、640nmの波長のレーザ光
4を発する第1のレーザ励起光源1と、532nmの波
長のレーザ光4を発する第2のレーザ励起光源2と、4
73nmの波長のレーザ光4を発する第3のレーザ励起
光源3とを備えている。本実施態様においては、第1の
レーザ励起光源は、半導体レーザ光源によって構成さ
れ、第2のレーザ励起光源2および第3のレーザ励起光
源3は、第二高調波生成(Second Harmonic Generatio
n) 素子によって構成されている。
As shown in FIG. 1, the bidirectional scanning scanner according to the present embodiment includes a first laser excitation light source 1 that emits a laser beam 4 having a wavelength of 640 nm and a second laser excitation light source 1 that emits a laser beam 4 having a wavelength of 532 nm. 2 laser excitation light sources 2 and 4
A third laser excitation light source 3 that emits laser light 4 having a wavelength of 73 nm. In the present embodiment, the first laser excitation light source is constituted by a semiconductor laser light source, and the second laser excitation light source 2 and the third laser excitation light source 3 are configured to generate a second harmonic (Second Harmonic Generatio).
n) Consists of elements.

【0073】第1のレーザ励起光源1により発生された
レーザ光4は、コリメータレンズ5により、平行光とさ
れた後、ミラー6によって反射される。第1のレーザ励
起光源1から発せられ、ミラー6によって反射されたレ
ーザ光4の光路には、640nmのレーザ光4を透過
し、532nmの波長の光を反射する第1のダイクロイ
ックミラー7および532nm以上の波長の光を透過
し、473nmの波長の光を反射する第2のダイクロイ
ックミラー8が設けられており、第1のレーザ励起光源
1により発生されたレーザ光4は、第1のダイクロイッ
クミラー7および第2のダイクロイックミラー8を透過
して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 generated by the first laser excitation light source 1 is collimated by a collimator lens 5 and then reflected by a mirror 6. In the optical path of the laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 and reflected by the mirror 6, the first dichroic mirrors 7 and 532nm transmitting the 640nm laser light 4 and reflecting the 532nm wavelength light are provided. A second dichroic mirror 8 that transmits light having the above wavelength and reflects light having a wavelength of 473 nm is provided. The laser light 4 generated by the first laser excitation light source 1 is used as a first dichroic mirror. The light passes through 7 and the second dichroic mirror 8 and enters the optical head 15.

【0074】他方、第2のレーザ励起光源2より発生さ
れたレーザ光4は、コリメータレンズ9により、平行光
とされた後、第1のダイクロイックミラー7によって反
射されて、その向きが90度変えられて、第2のダイク
ロイックミラー8を透過し、光学ヘッド15に入射す
る。
On the other hand, the laser light 4 generated from the second laser excitation light source 2 is collimated by the collimator lens 9 and then reflected by the first dichroic mirror 7 to change its direction by 90 degrees. Then, the light passes through the second dichroic mirror 8 and enters the optical head 15.

【0075】また、第3のレーザ励起光源3から発生さ
れたレーザ光4は、コリメータレンズ10によって、平
行光とされた後、第2のダイクロイックミラー8により
反射されて、その向きが90度変えられた後、光学ヘッ
ド15に入射する。
The laser light 4 generated from the third laser excitation light source 3 is collimated by the collimator lens 10 and then reflected by the second dichroic mirror 8 to change its direction by 90 degrees. After that, the light enters the optical head 15.

【0076】光学ヘッド15は、ミラー16と、その中
央部に穴17が形成された穴明きミラー18と、レンズ
19を備えており、光学ヘッド15に入射したレーザ光
4は、ミラー16によって反射され、穴明きミラー18
に形成された穴17およびレンズ19を通過して、サン
プルステージ20にセットされたサンプルキャリア21
上に入射する。ここに、サンプルステージ20は、走査
機構(図1においては、図示せず)によって、図1にお
いて、X方向およびY方向に移動可能に構成されてい
る。
The optical head 15 includes a mirror 16, a perforated mirror 18 having a hole 17 formed in the center thereof, and a lens 19. The laser beam 4 incident on the optical head 15 is Reflected and perforated mirror 18
The sample carrier 21 set on the sample stage 20 through the hole 17 and the lens 19 formed in
Incident on top. Here, the sample stage 20 is configured to be movable in the X and Y directions in FIG. 1 by a scanning mechanism (not shown in FIG. 1).

【0077】本実施態様にかかる双方向走査スキャナ
は、スライドガラス板を担体とし、蛍光色素によって選
択的に標識された試料の数多くのスポットが、スライド
ガラス板上に形成されているマイクロアレイを、レーザ
光4によって走査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素か
ら放出された蛍光を光電的に検出して、生化学解析用の
データを生成可能に構成され、さらに、蛍光色素によっ
て、選択的に標識された変性DNAを含む転写支持体を
担体とした蛍光サンプルを、レーザ光4によって走査し
て、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍光を
光電的に検出して、生化学解析用のデータを生成可能に
構成されるとともに、放射性標識物質によって選択的に
標識された試料の数多くのスポットが形成されたメンブ
レンフィルタなどの担体を、輝尽性蛍光体を含む輝尽性
蛍光体層が形成された蓄積性蛍光体シートと密着させ
て、輝尽性蛍光体層を露光して得た放射性標識物質の位
置情報が記録された蓄積性蛍光体シートの輝尽性蛍光体
層を、レーザ光4によって走査して、輝尽性蛍光体を励
起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光を光電的に検
出して、生化学解析用のデータを生成可能に構成されて
いる。
The bidirectional scanning scanner according to this embodiment uses a microarray in which a glass slide plate is used as a carrier and a number of spots of a sample selectively labeled with a fluorescent dye are formed on the glass slide plate. It is configured to scan with light 4 to excite the fluorescent dye, photoelectrically detect the fluorescence emitted from the fluorescent dye, and generate data for biochemical analysis. A fluorescent sample using a transfer support containing a labeled denatured DNA as a carrier is scanned by a laser beam 4 to excite the fluorescent dye, and the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected to perform biochemical analysis. Such as a membrane filter, which is configured to generate data for The body is brought into close contact with the stimulable phosphor sheet on which the stimulable phosphor layer containing the stimulable phosphor is formed, and the position information of the radiolabeled substance obtained by exposing the stimulable phosphor layer is recorded. The stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet is scanned by the laser beam 4 to excite the stimulable phosphor and photoelectrically detect the stimulable light emitted from the stimulable phosphor. Thus, it is configured to be able to generate data for biochemical analysis.

【0078】スライドガラス板を担体として用いたマイ
クロアレイは、たとえば、以下のようにして、生成され
る。
A microarray using a slide glass plate as a carrier is produced, for example, as follows.

【0079】まず、スライドガラス板の表面を、ポリ−
L−リジン溶液などによって、前処理し、次いで、スラ
イドガラス板の表面上の所定の位置に、塩基配列が既知
の互いに異なった複数の特異的結合物質であるcDNA
を、スポッター装置を使用して、滴下する。
First, the surface of the slide glass plate was
Pretreated with an L-lysine solution or the like, and then, at a predetermined position on the surface of the slide glass plate, cDNAs, which are a plurality of specific binding substances having different base sequences and different from each other.
Is dropped using a spotter device.

【0080】他方、検体であるRNAを生体細胞から抽
出し、さらに、RNAから3’末端にポリAを有するm
RNAを抽出する。こうして抽出したポリAを末端に有
するmRNAからcDNAを合成する際に、標識物質で
あるCy−5(登録商標)を存在させて、Cy−5によ
って標識されたプローブDNAを生成する。
On the other hand, RNA as a specimen is extracted from living cells, and RNA having poly A at the 3 ′ end is extracted from the RNA.
Extract the RNA. When synthesizing cDNA from the mRNA having poly A at the end, the probe DNA labeled with Cy-5 is generated in the presence of Cy-5 (registered trademark) as a labeling substance.

【0081】こうして得たCy−5によって標識された
プローブDNAを所定の溶液に調整し、特異的結合物質
であるcDNAが滴下されたスライドガラスの表面上に
静かに載せて、ハイブリダイズさせる。
The probe DNA labeled with Cy-5 thus obtained is prepared into a predetermined solution, and gently placed on the surface of a slide glass onto which cDNA as a specific binding substance has been dropped, and hybridized.

【0082】図2は、こうして得られたマイクロアレイ
22の略斜視図であり、図2において、23は、滴下さ
れたcDNAを示している。
FIG. 2 is a schematic perspective view of the microarray 22 thus obtained. In FIG. 2, reference numeral 23 denotes the dropped cDNA.

【0083】他方、蛍光色素によって標識された変性D
NAの電気泳動画像は、たとえば、次のようにして、転
写支持体に記録される。
On the other hand, modified D labeled with a fluorescent dye
The NA electrophoresis image is recorded on the transfer support, for example, as follows.

【0084】すなわち、まず、目的とする遺伝子からな
るDNA断片を含む複数のDNA断片を、ゲル支持媒体
上で、電気泳動させることにより、分離展開し、アルカ
リ処理によって変性(denaturation) して、一本鎖のD
NAとする。
That is, first, a plurality of DNA fragments including a DNA fragment comprising a target gene are separated and developed by electrophoresis on a gel support medium, and denatured by alkali treatment. Main chain D
NA.

【0085】次いで、公知のサザン・ブロッティング法
により、このゲル支持媒体と転写支持体とを重ね合わ
せ、転写支持体上に、変性DNA断片の少なくとも一部
を転写して、加温処理および紫外線照射によって、固定
する。
Next, the gel support medium and the transfer support are overlaid by a known Southern blotting method, and at least a part of the denatured DNA fragment is transferred onto the transfer support, followed by heating treatment and ultraviolet irradiation. To fix.

【0086】その後、目的とする遺伝子のDNAと相補
的なDNAあるいはRNAを蛍光色素で標識して調製し
たプローブと転写支持体12上の変性DNA断片とを、
加温処理によって、ハイブリタイズさせ、二本鎖のDN
Aの形成(renaturation)またはDNA・RNA結合体
の形成をおこなう。次いで、たとえば、フルオレセイ
ン、ローダミン、Cy−5 などの蛍光色素を用いて、
それぞれ、目的とする遺伝子のDNAと相補的なDNA
あるいはRNAを標識して、プローブが調製される。こ
のとき、転写支持体上の変性DNA断片は固定されてい
るので、プローブDNAまたはプローブRNAと相補的
なDNA断片のみがハイブリタイズして、蛍光標識プロ
ーブを捕獲する。しかる後に、適当な溶液で、ハイブリ
ッドを形成しなかったプローブを洗い流すことにより、
転写支持体上では、目的遺伝子を有するDNA断片のみ
が、蛍光標識が付与されたDNAまたはRNAとハイブ
リッドを形成し、蛍光標識が付与される。こうして、得
られた転写支持体に、蛍光色素により標識された変性D
NAの電気泳動画像が記録される。
Thereafter, a probe prepared by labeling DNA or RNA complementary to the DNA of the gene of interest with a fluorescent dye and the denatured DNA fragment on the transcription support 12 are
It is hybridized by heating treatment and double-stranded DN
A formation (renaturation) or formation of a DNA / RNA conjugate. Then, for example, using a fluorescent dye such as fluorescein, rhodamine, and Cy-5,
DNA complementary to the DNA of the target gene
Alternatively, the RNA is labeled to prepare a probe. At this time, since the denatured DNA fragment on the transcription support is fixed, only the DNA fragment complementary to the probe DNA or the probe RNA hybridizes to capture the fluorescently labeled probe. Thereafter, by washing away the non-hybridized probe with an appropriate solution,
On the transcription support, only the DNA fragment having the target gene forms a hybrid with the fluorescently labeled DNA or RNA, and is labeled with the fluorescent label. The thus obtained transfer support is provided with a modified D labeled with a fluorescent dye.
An electrophoretic image of NA is recorded.

【0087】一方、蓄積性蛍光体シートの輝尽性蛍光体
層には、たとえば、以下のようにして、放射性標識物質
の位置情報が記録される。
On the other hand, in the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet, for example, the positional information of the radioactive labeling substance is recorded as follows.

【0088】メンブレンフィルタなどの担体表面を前処
理し、次いで、メンブレンフィルタなどの担体表面上の
所定の位置に、塩基配列が既知の互いに異なった複数の
特異的結合物質であるcDNAを、スポッター装置を使
用して、滴下する。
The surface of a carrier such as a membrane filter is pre-treated, and cDNAs, which are a plurality of specific binding substances whose base sequences are different from each other, are deposited at predetermined positions on the surface of the carrier such as a membrane filter. Use the device to drip.

【0089】他方、検体であるRNAを生体細胞から抽
出し、さらに、RNAから3’末端にポリAを有するm
RNAを抽出する。こうして抽出したポリAを末端に有
するmRNAからcDNAを合成する際に、放射性標識
物質を存在させて、放射性標識物質によって標識された
プローブDNAを生成する。
On the other hand, RNA as a specimen is extracted from living cells, and RNA having poly A at the 3 ′ end is extracted from the RNA.
Extract the RNA. When synthesizing cDNA from the mRNA having poly A at the end, the probe DNA is labeled with the radiolabeled substance in the presence of a radiolabeled substance.

【0090】こうして得た放射性標識物質によって標識
されたプローブDNAを所定の溶液に調整し、特異的結
合物質であるcDNAが滴下されたメンブレンフィルタ
などの担体表面上に静かに載せて、ハイブリダイズさせ
る。
The probe DNA labeled with the radiolabeled substance thus obtained is prepared into a predetermined solution, and is gently placed on a carrier surface such as a membrane filter onto which cDNA as a specific binding substance has been dropped, and hybridized. .

【0091】次いで、ハイブリダイズされた試料が形成
されたメンブレンフィルタなどの担体表面に、蓄積性蛍
光体シートに形成された輝尽性蛍光体層を重ね合わせ
て、所定時間にわたって、密着状態に保持することによ
って、メンブレンフィルタなどの担体上の放射性標識物
質から放出される放射線の少なくとも一部が、蓄積性蛍
光体シートに形成された輝尽性蛍光体層に吸収され、放
射性標識物質の位置情報が、輝尽性蛍光体層に記録され
る。
Next, the stimulable phosphor layer formed on the stimulable phosphor sheet is superimposed on the surface of a carrier such as a membrane filter on which the hybridized sample is formed, and is kept in close contact for a predetermined time. By doing so, at least part of the radiation emitted from the radiolabeled substance on the carrier such as a membrane filter is absorbed by the stimulable phosphor layer formed on the stimulable phosphor sheet, and the position information of the radiolabeled substance is obtained. Is recorded in the stimulable phosphor layer.

【0092】レーザ光4が、光学ヘッド15から、サン
プル22上に入射すると、サンプル22が、マイクロア
レイや蛍光サンプルの場合には、レーザ光4によって、
蛍光物質が励起されて、蛍光が発せられ、また、サンプ
ル22が、蓄積性蛍光体シートの場合には、輝尽性蛍光
体層に含まれた輝尽性蛍光体が励起され、輝尽光が発せ
られる。
When the laser beam 4 is incident on the sample 22 from the optical head 15, the sample beam 22 is generated by the laser beam 4 when the sample 22 is a microarray or a fluorescent sample.
The fluorescent substance is excited to emit fluorescence, and when the sample 22 is a stimulable phosphor sheet, the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer is excited to stimulate the stimulable phosphor. Is issued.

【0093】サンプル22から発せられた蛍光または輝
尽光25は、光学ヘッド15のレンズ19によって、平
行な光にされ、穴明きミラー17によって反射されて、
4枚のフィルタ28a、28b、28c、28dを備え
たフィルタユニット27のいずれかのフィルタ28a、
28b、28c、28dに入射する。
The fluorescence or stimulating light 25 emitted from the sample 22 is converted into parallel light by the lens 19 of the optical head 15 and reflected by the perforated mirror 17.
Any one of the filters 28a, 28a, 28b, 28c, 28d of the filter unit 27 having four filters 28a, 28b, 28c, 28d.
The light is incident on 28b, 28c, 28d.

【0094】フィルタユニット27は、モータ(図示せ
ず)によって、図1において、左右方向に移動可能に構
成され、使用されるレーザ励起光源の種類によって、所
定のフィルタ28a、28b、28c、28dが、蛍光
または輝尽光25の光路に位置するように構成されてい
る。
The filter unit 27 is configured to be movable in the left-right direction in FIG. 1 by a motor (not shown), and predetermined filters 28a, 28b, 28c, 28d are provided depending on the type of laser excitation light source used. , Or in the optical path of the fluorescent or stimulating light 25.

【0095】ここに、フィルタ28aは、第1のレーザ
励起光源1を用いて、サンプル22に含まれている蛍光
物質を励起し、蛍光を読み取るときに使用されるフィル
タであり、640nmの波長の光をカットし、640n
mよりも波長の長い光を透過する性質を有している。
Here, the filter 28a is a filter used when the first laser excitation light source 1 is used to excite the fluorescent substance contained in the sample 22 and read the fluorescence, and has a wavelength of 640 nm. Cut the light, 640n
It has the property of transmitting light having a wavelength longer than m.

【0096】また、フィルタ28bは、第2のレーザ励
起光源2を用いて、サンプル22に含まれている蛍光色
素を励起し、蛍光を読み取るときに使用されるフィルタ
であり、532nmの波長の光をカットし、532nm
よりも波長の長い光を透過する性質を有している。
The filter 28b is a filter used to excite the fluorescent dye contained in the sample 22 by using the second laser excitation light source 2 and to read the fluorescence. 532nm
It has the property of transmitting light with a longer wavelength than that.

【0097】さらに、フィルタ28cは、第3のレーザ
励起光源3を用いて、サンプル22に含まれている蛍光
色素を励起し、蛍光を読み取るときに使用されるフィル
タであり、473nmの波長の光をカットし、473n
mよりも波長の長い光を透過する性質を有している。
Further, the filter 28c is a filter used when the third laser excitation light source 3 is used to excite the fluorescent dye contained in the sample 22 and read out the fluorescence, and the light having the wavelength of 473 nm is used. And cut 473n
It has the property of transmitting light having a wavelength longer than m.

【0098】また、フィルタ28dは、サンプル22が
蓄積性蛍光体シートである場合に、第1のレーザ励起光
源1を用いて、蓄積性蛍光体シートに含まれた輝尽性蛍
光体を励起し、輝尽性蛍光体から発せられた輝尽光を読
み取るときに使用されるフィルタであり、輝尽性蛍光体
から発光される輝尽光の波長域の光のみを透過し、64
0nmの波長の光をカットする性質を有している。
When the sample 22 is a stimulable phosphor sheet, the filter 28d uses the first laser excitation light source 1 to excite the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor sheet. A filter used to read the stimulable light emitted from the stimulable phosphor, and transmits only light in the wavelength region of the stimulable light emitted from the stimulable phosphor;
It has the property of cutting light having a wavelength of 0 nm.

【0099】したがって、使用すべきレーザ励起光源の
種類、すなわち、サンプルの種類、試料を標識している
蛍光物質の種類に応じて、これらのフィルタ28a、2
8b、28c、28dを選択的に使用することによて、
ノイズとなる波長域の光をカットすることが可能にな
る。
Therefore, these filters 28a, 28a, and 28a are used in accordance with the type of the laser excitation light source to be used, that is, the type of the sample and the type of the fluorescent substance labeling the sample.
By selectively using 8b, 28c, 28d,
It becomes possible to cut off light in a wavelength region that becomes noise.

【0100】フィルタユニット27のフィルタ28a、
28b、28cを透過して、所定の波長域の光がカット
された後、蛍光または輝尽光25は、ミラー29に入射
し、反射されて、レンズ30によって、集光される。
The filter 28a of the filter unit 27,
After passing through 28b and 28c and cutting light in a predetermined wavelength range, the fluorescence or stimulating light 25 enters a mirror 29, is reflected, and is condensed by a lens 30.

【0101】レンズ19とレンズ30は、共焦点光学系
を構成している。このように、共焦点光学系を採用して
いるのは、サンプル22が、スライドガラス板を担体と
したマイクロアレイの場合に、スライドガラス板上に形
成された微小なスポット状試料から放出された蛍光を、
高いS/N比で読み取ることができるようにするためで
ある。
The lens 19 and the lens 30 constitute a confocal optical system. As described above, the confocal optical system is employed because, when the sample 22 is a microarray using a slide glass plate as a carrier, the fluorescence emitted from a minute spot-shaped sample formed on the slide glass plate is used. To
This is to enable reading at a high S / N ratio.

【0102】レンズ30の焦点の位置には、共焦点切り
換え部材31が設けられている。
At the focal position of the lens 30, a confocal switching member 31 is provided.

【0103】図3は、共焦点切り換え部材31の略正面
図である。
FIG. 3 is a schematic front view of the confocal switching member 31.

【0104】図3に示されるように、共焦点切り換え部
材31は、板状をなし、径の異なる3つのピンホール3
2a、32b、32cが形成されている。
As shown in FIG. 3, the confocal switching member 31 has a plate shape and has three pinholes 3 having different diameters.
2a, 32b and 32c are formed.

【0105】最も径の小さいピンホール32aは、サン
プル22が、スライドガラス板を担体としたマイクロア
レイの場合に、マイクロアレイから放出された蛍光の光
路に配置されるものであり、最も径の大きいピンホール
32cは、サンプル22が、転写支持体を担体とした蛍
光サンプルの場合に、転写支持体から放出された蛍光の
光路に配置されるものである。
The pinhole 32a having the smallest diameter is arranged in the optical path of the fluorescent light emitted from the microarray when the sample 22 is a microarray using a slide glass plate as a carrier. Reference numeral 32c denotes a sample arranged on the optical path of the fluorescence emitted from the transfer support when the sample 22 is a fluorescent sample using the transfer support as a carrier.

【0106】また、中間の径を有するピンホール32b
は、サンプル22が、蓄積性蛍光体シートである場合
に、輝尽性蛍光体層から放出された輝尽光の光路に配置
されるものである。
The pinhole 32b having an intermediate diameter
In the case where the sample 22 is a stimulable phosphor sheet, the sample 22 is arranged on the optical path of the stimulable light emitted from the stimulable phosphor layer.

【0107】このように、レンズ30の焦点の位置に、
共焦点切り換え部材31を設けて、サンプル22が、ス
ライドガラス板を担体としたマイクロアレイの場合に、
最も径の小さいピンホール32aを蛍光の光路に位置さ
せているのは、サンプル22が、スライドガラス板を担
体としたマイクロアレイの場合には、レーザ光4によっ
て、蛍光色素を励起した結果、蛍光はスライドガラス板
の表面から放出され、発光点は深さ方向にほぼ一定であ
るため、共焦点光学系を用いて、径の小さいピンホール
32aに結像させることがS/N比を向上させる上で望
ましいからである。
As described above, at the position of the focal point of the lens 30,
By providing the confocal switching member 31, when the sample 22 is a microarray using a slide glass plate as a carrier,
The pinhole 32a having the smallest diameter is positioned in the optical path of the fluorescent light. When the sample 22 is a microarray using a slide glass plate as a carrier, the fluorescent dye is excited by the laser light 4 so that the fluorescent light is Since the light is emitted from the surface of the slide glass plate and the light emitting point is almost constant in the depth direction, it is necessary to form an image on the pinhole 32a having a small diameter using a confocal optical system in order to improve the S / N ratio. Is desirable.

【0108】これに対して、サンプル22が、転写支持
体を担体とした蛍光サンプルの場合に、最も径の大きい
ピンホール32cを蛍光の光路に位置させているのは、
サンプル22が、転写支持体を担体とした蛍光サンプル
の場合には、レーザ光4によって、蛍光色素を励起した
ときに、蛍光色素はゲル支持体の深さ方向に分布してお
り、しかも、発光点が深さ方向に変動するので、共焦点
光学系によって、径の小さいピンホールに結像させるこ
とができず、径の小さいピンホールを用いると、試料か
ら放出された蛍光がカットされ、蛍光を光電的に検出し
たときに、十分な信号強度が得られないため、径の大き
いピンホール32cを用いる必要があるからである。
On the other hand, when the sample 22 is a fluorescent sample using a transfer support as a carrier, the pinhole 32c having the largest diameter is located in the optical path of the fluorescent light.
When the sample 22 is a fluorescent sample using a transfer support as a carrier, when the fluorescent dye is excited by the laser beam 4, the fluorescent dye is distributed in the depth direction of the gel support, and Since the point fluctuates in the depth direction, the confocal optical system cannot form an image on a pinhole with a small diameter.Using a pinhole with a small diameter cuts the fluorescence emitted from the sample, This is because a sufficient signal intensity cannot be obtained when photoelectrically detected is used, and it is necessary to use the pinhole 32c having a large diameter.

【0109】他方、サンプル22が蓄積性蛍光体シート
である場合に、中間の径を有するピンホール32bを輝
尽光の光路に位置させているのは、レーザ光4によっ
て、輝尽性蛍光体層に含まれた輝尽性蛍光体を励起した
ときは、輝尽光の発光点は輝尽性蛍光体層の深さ方向に
分布し、発光点は深さ方向に変動するので、共焦点光学
系によって、径の小さいピンホールに結像させることが
できず、径の小さいピンホールを用いると、試料から放
出された輝尽光がカットされ、輝尽光を光電的に検出し
たときに、十分な信号強度が得られないが、発光点の深
さ方向における分布も、発光点の深さ方向の変動も、ゲ
ル支持体を担体としたマイクロアレイほどではないた
め、中間の径を有するピンホール32bを用いることが
望ましいからである。
On the other hand, when the sample 22 is a stimulable phosphor sheet, the pinhole 32b having an intermediate diameter is located in the optical path of the stimulable phosphor by the laser light 4. When the stimulable phosphor contained in the layer is excited, the emission points of the stimulable phosphor are distributed in the depth direction of the stimulable phosphor layer, and the emission points fluctuate in the depth direction. Due to the optical system, it is not possible to form an image on a pinhole with a small diameter, and if a pinhole with a small diameter is used, the photostimulable light emitted from the sample is cut, and when the photostimulable light is detected photoelectrically. Although a sufficient signal intensity cannot be obtained, the distribution in the depth direction of the light-emitting points and the fluctuation in the depth direction of the light-emitting points are not as large as those of the microarray using the gel support as a carrier. This is because it is desirable to use the hole 32b.

【0110】共焦点切り換え部材31を通過した蛍光あ
るいは輝尽光は、フォトマルチプライア33によって光
電的に検出され、アナログデータが生成される。
The fluorescence or stimulating light that has passed through the confocal switching member 31 is photoelectrically detected by the photomultiplier 33, and analog data is generated.

【0111】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0112】図4は、サンプルステージ20の走査機構
のうち、主走査機構の詳細を示す略斜視図である。
FIG. 4 is a schematic perspective view showing details of the main scanning mechanism among the scanning mechanisms of the sample stage 20.

【0113】図4に示されるように、副走査用モータ
(図示せず)により、図4において、矢印Yで示される
副走査方向に移動可能な可動基板40上には、一対のガ
イドレール41、41が固定されており、サンプルステ
ージ20は、一対のガイドレール41、41に、スライ
ド可能に取り付けられた3つのスライド部材42、42
(図4においては、2つのみ図示されている。)に固定
されている。
As shown in FIG. 4, a pair of guide rails 41 are placed on a movable substrate 40 movable in the sub-scanning direction indicated by an arrow Y in FIG. 4 by a sub-scanning motor (not shown). , 41 are fixed, and the sample stage 20 includes three slide members 42, 42 slidably mounted on a pair of guide rails 41, 41.
(Only two are shown in FIG. 4).

【0114】図4に示されるように、可動基板40上に
は、主走査用モータ43が固定されており、主走査用モ
ータ43の出力軸43aには、プーリ44に巻回された
タイミングベルト45が巻回されるとともに、ロータリ
ーエンコーダ46が取り付けられている。
As shown in FIG. 4, a main scanning motor 43 is fixed on a movable substrate 40, and a timing belt wound around a pulley 44 is mounted on an output shaft 43 a of the main scanning motor 43. 45 is wound, and a rotary encoder 46 is attached.

【0115】したがって、主走査用モータ43を駆動す
ることによって、サンプルステージ20を、一対のガイ
ドレール41、41に沿って、図4において、矢印Xで
示される主走査方向に往復移動させ、一方、副走査用モ
ータ(図示せず)によって、可動基板40を副走査方向
に移動させることによって、サンプルステージ20を二
次元的に移動させ、サンプルステージ20にセットされ
たサンプル22の全面を、レーザ光4によって、走査す
ることが可能になる。
Therefore, by driving the main scanning motor 43, the sample stage 20 is reciprocated along the pair of guide rails 41, 41 in the main scanning direction indicated by the arrow X in FIG. By moving the movable substrate 40 in the sub-scanning direction by a sub-scanning motor (not shown), the sample stage 20 is two-dimensionally moved, and the entire surface of the sample 22 set on the sample stage 20 is subjected to laser irradiation. The light 4 makes it possible to scan.

【0116】ここに、サンプルステージ20の位置は、
ロータリーエンコーダ46により、モニターすることが
できるように構成されている。
Here, the position of the sample stage 20 is
The configuration is such that monitoring can be performed by the rotary encoder 46.

【0117】図5は、スライドガラス板を担体としたマ
イクロアレイを保持し、サンプルステージ20にセット
されるサンプルキャリア21の略斜視図であり、サンプ
ルキャリア21を裏面側から、すなわち、サンプルステ
ージ20に載置される側から見た図面である。
FIG. 5 is a schematic perspective view of a sample carrier 21 which holds a microarray using a slide glass plate as a carrier and is set on a sample stage 20. It is the drawing seen from the mounting side.

【0118】図5に示されるように、サンプルキャリア
21は、1つの板状部材を加工することによって、作ら
れたフレーム体50を備え、フレーム体50には、その
内部に、サンプル22がセット可能な5つの開口部5
1、52、53、54、55が形成されている。
As shown in FIG. 5, the sample carrier 21 has a frame body 50 formed by processing one plate-like member, and the sample body 22 is set inside the frame body 50. 5 possible openings 5
1, 52, 53, 54 and 55 are formed.

【0119】各開口部51、52、53、54、55の
両側のフレーム体50の表面には、矩形状をなした板部
材60、61、62、63、64、65が、それぞれ、
その開口部51、52、53、54、55側の側部領域
が、開口部51、52、53、54、55の長手方向に
沿って、開口部51、52、53、54、55上に突出
するように、取り付けられている。
On the surface of the frame body 50 on both sides of each of the openings 51, 52, 53, 54, 55, rectangular plate members 60, 61, 62, 63, 64, 65 are respectively provided.
The side regions on the side of the openings 51, 52, 53, 54, 55 are placed on the openings 51, 52, 53, 54, 55 along the longitudinal direction of the openings 51, 52, 53, 54, 55. It is mounted so as to protrude.

【0120】図5に示されるように、各開口部51、5
2、53、54、55内には、L字状をなした板ばね5
1a、52a、53a、54a、55aが、サンプルキ
ャリア21の裏面側に向けて、ばね力を作用可能に取り
付けられており、また、各開口部51、52、53、5
4、55の一方の内壁部には、各開口部51、52、5
3、54、55内にセットされたサンプル22を、対向
する他方の内壁部に沿って整列させる板ばね51b、5
2b、53b、54b、55bが取り付けられている。
As shown in FIG. 5, each opening 51, 5
L-shaped leaf springs 5 are provided in 2, 53, 54 and 55.
1 a, 52 a, 53 a, 54 a, 55 a are attached to the back side of the sample carrier 21 so that a spring force can be applied.
Each of the openings 51, 52, 5
The leaf springs 51b, 5b align the sample 22 set in 3, 54, 55 along the other opposing inner wall.
2b, 53b, 54b and 55b are attached.

【0121】サンプルキャリア21は、フレーム体50
の両側部50a、50bが、サンプルステージ20上に
載置されて、サンプルステージ20にセットされるよう
に構成されている。
The sample carrier 21 includes a frame body 50.
Are placed on the sample stage 20 and set on the sample stage 20.

【0122】サンプル22であるスライドガラス板を担
体としたマイクロアレイを、サンプルキャリア21にセ
ットする場合には、サンプル22が、図5において、矢
印Aで示される向きに、各開口部51、52、53、5
4、55内に挿入される。
When the microarray using the slide glass plate as the carrier as the sample 22 is set on the sample carrier 21, the sample 22 is placed in the direction indicated by the arrow A in FIG. 53, 5
4, 55.

【0123】各開口部51、52、53、54、55の
一方の内壁部には、板ばね51b、52b、53b、5
4b、55bが取り付けられているため、サンプル22
は、各開口部51、52、53、54、55内におい
て、対向する他方の内壁部に沿って整列される。
On one inner wall of each of the openings 51, 52, 53, 54, 55, leaf springs 51b, 52b, 53b, 5b are provided.
4b and 55b are attached, the sample 22
Are aligned along the other opposing inner wall in each of the openings 51, 52, 53, 54, 55.

【0124】同時に、各開口部51、52、53、5
4、55内に挿入されたサンプル22に、L字状をなし
た板ばね51a、52a、53a、54a、55aの屈
曲部が当接し、板ばね51a、52a、53a、54
a、55aのばね力により、サンプル22は、それぞ
れ、その開口部51、52、53、54、55側の側部
領域が、開口部51、52、53、54、55の長手方
向に沿って、開口部51、52、53、54、55上に
突出するように、取り付けられている板部材60、6
1、62、63、64、65の表面に付勢されて、サン
プルキャリア21に保持される。
At the same time, the openings 51, 52, 53, 5
The bent portions of the L-shaped leaf springs 51a, 52a, 53a, 54a, and 55a abut on the sample 22 inserted into the sample springs 4 and 55, and the leaf springs 51a, 52a, 53a and 54
Due to the spring force of the openings a, 55a, the side regions on the opening 51, 52, 53, 54, 55 side respectively extend along the longitudinal direction of the openings 51, 52, 53, 54, 55. , Plate members 60, 6 attached to project over openings 51, 52, 53, 54, 55.
1, 62, 63, 64, and 65 are urged to the surface and held on the sample carrier 21.

【0125】図5に示されるサンプルキャリア21にお
いては、フレーム体50の表面に、板部材60、61、
62、63、64、65が、その開口部51、52、5
3、54、55側の側部領域が、開口部51、52、5
3、54、55の長手方向に沿って、開口部51、5
2、53、54、55上に突出するように、取り付けら
れ、サンプル22は、板ばね51a、52a、53a、
54a、55aのばね力によって、それぞれ、板部材6
0、61、62、63、64、65の表面に付勢され
て、サンプルキャリア21に保持されるように構成され
ている。
In the sample carrier 21 shown in FIG. 5, the plate members 60, 61,
62, 63, 64, 65 have openings 51, 52, 5,
The side regions on the side of 3, 54, 55 have openings 51, 52, 5
Along the longitudinal direction of 3, 54, 55, openings 51, 5
2, 53, 54, 55 so as to protrude therefrom, and the sample 22 includes leaf springs 51 a, 52 a, 53 a,
Each of the plate members 6 by the spring force of
It is configured to be urged against the surfaces of 0, 61, 62, 63, 64, 65 and held on the sample carrier 21.

【0126】一方、サンプルキャリア21は、1つの板
状部材を加工することによって作られたフレーム体50
の両側部50a、50bが、サンプルステージ20上に
載置されて、サンプルステージ20にセットされるよう
に構成されている。
On the other hand, the sample carrier 21 has a frame 50 made by processing one plate-like member.
Are placed on the sample stage 20 and set on the sample stage 20.

【0127】したがって、サンプル22がその表面で支
持される板部材60、61、62、63、64、65の
表面と、サンプルキャリア21がサンプルステージ20
によって支持される面とは、つねに、同一平面内にあ
り、したがって、サンプルキャリア21の位置を調整す
るという煩雑な操作を要することなく、5つのサンプル
22を、サンプルステージ20に対して、つねに、同一
の位置的関係で、セットすることが可能になる。
Therefore, the surface of the plate members 60, 61, 62, 63, 64, and 65 on which the sample 22 is supported, and the sample carrier 21
The surfaces supported by are always in the same plane, so that the five samples 22 are always moved relative to the sample stage 20 without the complicated operation of adjusting the position of the sample carrier 21. With the same positional relationship, it is possible to set.

【0128】また、単に、フレーム体50を1つの板状
部材を加工して作り、板部材60、61、62、63、
64、65をフレーム体50の表面に取り付けるだけ
で、5つのサンプル22を、サンプルステージ20に対
して、つねに、同一の位置的関係で、セットすることが
できるから、サンプルキャリア21のコストを大幅に低
減することが可能になる。
Further, the frame body 50 is simply made by processing one plate-like member, and the plate members 60, 61, 62, 63,
By simply mounting the 64 and 65 on the surface of the frame body 50, the five samples 22 can always be set in the same positional relationship with respect to the sample stage 20, so that the cost of the sample carrier 21 is greatly reduced. It becomes possible to reduce to.

【0129】図6は、本発明の好ましい実施態様にかか
る双方向走査スキャナの検出系、駆動系、入力系および
制御系を示すブロックダイアグラムである。
FIG. 6 is a block diagram showing a detection system, a drive system, an input system, and a control system of a bidirectional scanning scanner according to a preferred embodiment of the present invention.

【0130】図6に示されるように、双方向走査スキャ
ナの検出系は、サンプルステージ20にセットされたサ
ンプル22を把持するキャリアの種類を検出するキャリ
アセンサ70を備えている。
As shown in FIG. 6, the detection system of the bidirectional scanning scanner includes a carrier sensor 70 for detecting the type of carrier holding the sample 22 set on the sample stage 20.

【0131】図6に示されるように、双方向走査スキャ
ナの駆動系は、フィルタユニット27を移動させるフィ
ルタユニットモータ71と、共焦点切り換え部材31を
移動させる切り換え部材モータ72と、サンプルステー
ジ20を主走査方向に移動させる副走査用モータ43
と、サンプルステージ20を副走査方向に移動させる副
走査用モータ47を備えている。
As shown in FIG. 6, the drive system of the bidirectional scanning scanner includes a filter unit motor 71 for moving the filter unit 27, a switching member motor 72 for moving the confocal switching member 31, and a sample stage 20. Sub-scanning motor 43 for moving in the main scanning direction
And a sub-scanning motor 47 for moving the sample stage 20 in the sub-scanning direction.

【0132】また、図6に示されるように、双方向走査
スキャナの入力系は、キーボード73を備えており、双
方向走査スキャナの制御系は、コントロールユニット7
5を備えている。
As shown in FIG. 6, the input system of the bidirectional scanning scanner includes a keyboard 73, and the control system of the bidirectional scanning scanner includes a control unit 7
5 is provided.

【0133】図4に示されるように、本実施態様にかか
る双方向走査スキャナは、主走査用モータ43によっ
て、サンプルステージ20が、主走査方向に、高速で往
復運動されるように構成されており、このような双方向
走査スキャナにあっては、一般に、走査機構の機械精度
や移動される負荷などによって、往路と復路とで、相対
的な移動速度にばらつきが生じ、また、データのサンプ
リングタイミングがずれるために、生成されたデータ
に、いわゆるジッターが発生するという問題のあること
が知られている。
As shown in FIG. 4, the bidirectional scanning scanner according to this embodiment is configured such that the sample stage 20 is reciprocated at a high speed in the main scanning direction by the main scanning motor 43. Generally, in such a bidirectional scanning scanner, the relative movement speed varies between the forward path and the return path due to the mechanical accuracy of the scanning mechanism, the load being moved, and the like. It is known that there is a problem that so-called jitter occurs in the generated data due to the timing deviation.

【0134】ことに、本実施態様にかかる双方向走査ス
キャナは、タイミングベルト45を介して、サンプルス
テージ20が、主走査用モータ43により、主走査方向
に、高速で往復運動されるため、タイミングベルトの伸
びなどによって、ジッターが発生しやすいという傾向が
ある。
In the bidirectional scanning scanner according to this embodiment, the sample stage 20 is reciprocated at a high speed in the main scanning direction by the main scanning motor 43 via the timing belt 45. Jitter tends to occur due to belt elongation and the like.

【0135】そこで、本実施態様においては、あらかじ
め、ジッターを補正するためのジッター補正データを生
成し、データ処理装置35のメモリ(図示せず)に記憶
しておき、サンプル22に、レーザ光4を照射して、蛍
光色素あるいは輝尽性蛍光体を励起し、蛍光色素あるい
は輝尽性蛍光体から放出された蛍光あるいは輝尽光を光
電的に検出し、ディジタル化して得たディジタルデータ
を、ジッター補正データを用いて、補正し、ジッターを
最小化したディジタルデータを生成可能に構成されてい
る。
Therefore, in the present embodiment, jitter correction data for correcting the jitter is generated in advance, stored in a memory (not shown) of the data processing device 35, and the laser light 4 To excite the fluorescent dye or stimulable phosphor, photoelectrically detect the fluorescence or stimulable light emitted from the fluorescent dye or stimulable phosphor, and digitize the digital data obtained. It is configured to be able to generate digital data that has been corrected using jitter correction data to minimize jitter.

【0136】図7は、ジッターを補正するためのジッタ
ー補正データを生成する際に使用される補正データ生成
用サンプルの略正面図である。
FIG. 7 is a schematic front view of a correction data generation sample used when generating jitter correction data for correcting jitter.

【0137】図7に示されるように、補正データ生成用
サンプル80には、規則的な基本パターンが形成されて
いる。
As shown in FIG. 7, the correction data generating sample 80 has a regular basic pattern.

【0138】本実施態様においては、補正データ生成用
サンプル80は、色ガラスフィルタによって形成されて
おり、色ガラスフィルタの表面には、クロム蒸着膜81
が形成され、クロム蒸着膜81が形成されていない部分
に、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンが形成さ
れている。
In this embodiment, the correction data generation sample 80 is formed of a color glass filter, and the surface of the color glass filter has a chromium vapor deposited film 81 formed thereon.
Are formed, and a regular basic pattern of a color glass filter is formed in a portion where the chromium deposition film 81 is not formed.

【0139】本実施態様においては、次のようにして、
ジッター補正データが生成される。
In this embodiment, the following is performed.
Jitter correction data is generated.

【0140】まず、サンプルキャリア21に代えて、補
正データ生成用サンプル80がサンプルステージ20に
セットされる。
First, a correction data generation sample 80 is set on the sample stage 20 in place of the sample carrier 21.

【0141】次いで、オペレータにより、補正データ生
成用サンプル走査信号が、キーボード73に入力される
と、補正データ生成用サンプル走査信号は、コントロー
ルユニット75に出力される。
Next, when the operator inputs the correction data generation sample scanning signal to the keyboard 73, the correction data generation sample scanning signal is output to the control unit 75.

【0142】補正データ生成用サンプル走査信号を受け
ると、コントロールユニット75は、フィルタユニット
モータ71に駆動信号を出力して、フィルタ28aが蛍
光25の光路内に位置するように、フィルタユニット2
7を移動させるとともに、切り換え部材モータ72に駆
動信号を出力して、ピンホール32aが蛍光25の光路
内に位置するように、共焦点切り換え部材31を移動さ
せる。
Upon receiving the correction data generation sample scanning signal, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 so that the filter unit 2 is positioned in the optical path of the fluorescent light 25 so that the filter 28 a is positioned in the optical path of the fluorescent light 25.
7 and a drive signal is output to the switching member motor 72 to move the confocal switching member 31 so that the pinhole 32a is positioned in the optical path of the fluorescence 25.

【0143】補正データ生成用サンプル走査信号は、同
時に、コントロールユニット75からデータ処理装置3
5に出力される。
The correction data generation sample scanning signal is sent from the control unit 75 to the data processing device 3 at the same time.
5 is output.

【0144】次いで、コントロールユニット75は、第
1のレーザ励起光源1を起動させ、640nmのレーザ
光4を放出させる。
Next, the control unit 75 activates the first laser excitation light source 1 and emits the laser light 4 of 640 nm.

【0145】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0146】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされた補正データ生
成用サンプル80に入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The light is reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and enters the correction data generation sample 80 set on the sample stage 20.

【0147】本実施態様においては、補正データ生成用
サンプル80は、色ガラスフィルタによって形成されて
おり、色ガラスフィルタの表面には、クロム蒸着膜81
が形成され、クロム蒸着膜81が形成されていない部分
に、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンが形成さ
れているので、クロム蒸着膜81が形成されず、規則的
な基本パターンを形成している色ガラスフィルタの表面
が、レーザ光4によって励起され、蛍光25が放出され
る。
In this embodiment, the correction data generation sample 80 is formed of a color glass filter, and the surface of the color glass filter has a chromium vapor deposited film 81 formed thereon.
Is formed, and a regular basic pattern of a color glass filter is formed in a portion where the chromium vapor-deposited film 81 is not formed. Therefore, the chromium vapor-deposited film 81 is not formed, and a regular basic pattern is formed. The surface of the color glass filter is excited by the laser light 4 and the fluorescence 25 is emitted.

【0148】規則的な基本パターンを形成している色ガ
ラスフィルタの表面から発せられた蛍光25は、レンズ
19によって、平行な光とされ、穴明きミラー18によ
って反射され、フィルタユニット27に入射する。
The fluorescent light 25 emitted from the surface of the color glass filter forming the regular basic pattern is converted into parallel light by the lens 19, reflected by the perforated mirror 18, and incident on the filter unit 27. I do.

【0149】フィルタユニット27は、フィルタ28a
が光路内に位置するように移動されているため、蛍光2
5はフィルタ28aに入射し、640nmの波長の光が
カットされ、640nmよりも波長の長い光のみが透過
される。
The filter unit 27 includes a filter 28a
Has been moved so as to be located in the optical path,
5 enters the filter 28a, cuts light having a wavelength of 640 nm, and transmits only light having a wavelength longer than 640 nm.

【0150】フィルタ28aを透過した蛍光25は、ミ
ラー29によって反射され、レンズ30によって、結像
される。
The fluorescence 25 transmitted through the filter 28a is reflected by the mirror 29 and is imaged by the lens 30.

【0151】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の小さいピンホール32aが光
路内に位置するように移動されているため、蛍光がピン
ホール32a上に結像され、フォトマルチプライア33
によって、光電的に検出されて、アナログデータが生成
される。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a having the smallest diameter is located in the optical path, so that the fluorescent light is focused on the pinhole 32a. , Photomultiplier 33
Is detected photoelectrically, and analog data is generated.

【0152】このように、共焦点光学系を用いて、色ガ
ラスフィルタの表面から発せられた蛍光をフォトマルチ
プライア33に導いて、光電的に検出しているので、デ
ータ中のノイズを最小に抑えることが可能になる。
As described above, the fluorescence emitted from the surface of the color glass filter is guided to the photomultiplier 33 by using the confocal optical system and is photoelectrically detected, so that noise in data is minimized. It becomes possible to suppress.

【0153】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0154】前述のように、サンプルステージ20は、
タイミングベルト45を介して、主走査用モータ43に
よって、図4において、矢印Xで示される主走査方向
に、高速で往復移動されるとともに、副走査用モータ4
7によって、矢印Yで示される副走査方向に、間欠的に
移動されるように構成されており、主走査用モータ43
によって、図7において、右から左に、補正データ生成
用サンプル80、すなわち、サンプルステージ20が移
動され、補正データ生成用サンプル80の表面が、レー
ザ光4によって、左から右に、走査される。
As described above, the sample stage 20
The main scanning motor 43 reciprocates at high speed in the main scanning direction indicated by an arrow X in FIG.
7 so as to be intermittently moved in the sub-scanning direction indicated by arrow Y.
7, the correction data generation sample 80, that is, the sample stage 20, is moved from right to left in FIG. 7, and the surface of the correction data generation sample 80 is scanned by the laser light 4 from left to right. .

【0155】その結果、補正データ生成用サンプル80
に形成された規則的な基本パターンにしたがって、色ガ
ラスフィルタが、レーザ光4によって、左から右に、走
査され、色ガラスフィルタが励起されて、色ガラスフィ
ルタの表面から放出された蛍光25が、フォトマルチプ
ライア33によって、光電的に検出され、補正データ生
成用サンプル80に形成された規則的な基本パターンの
アナログデータが生成される。
As a result, the correction data generation sample 80
According to the regular basic pattern formed in the above, the color glass filter is scanned from left to right by the laser beam 4, the color glass filter is excited, and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is emitted. The analog data of the regular basic pattern detected photoelectrically by the photomultiplier 33 and formed on the correction data generation sample 80 is generated.

【0156】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータは、A/D変換器34によって、デ
ィジタルデータに変換されて、規則的な基本パターンの
第1ライン目のディジタルデータが、データ処理装置3
5に出力される。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34, and the digital data of the first line of the regular basic pattern is converted into the digital data.
5 is output.

【0157】主走査用モータ43により、図7におい
て、右から左に、補正データ生成用サンプル80、すな
わち、サンプルステージ20が移動され、補正データ生
成用サンプル80の表面が、レーザ光4によって、左か
ら右に、走査されると、副走査用モータ47によって、
図7において、上方に、補正データ生成用サンプル8
0、すなわち、サンプルステージ20が、1走査ライン
に対応する距離だけ、間欠的に移動される。
In FIG. 7, the correction data generation sample 80, that is, the sample stage 20, is moved by the main scanning motor 43 from right to left in FIG. When scanning is performed from left to right, by the sub-scanning motor 47,
In FIG. 7, a sample 8 for generating correction data is shown above.
0, that is, the sample stage 20 is intermittently moved by a distance corresponding to one scan line.

【0158】次いで、主走査用モータ43によって、図
7において、左から右に、補正データ生成用サンプル8
0、すなわち、サンプルステージ20が移動され、補正
データ生成用サンプル80の表面が、レーザ光4によっ
て、右から左に、走査されると、補正データ生成用サン
プル80に形成された規則的な基本パターンにしたがっ
て、色ガラスフィルタが励起されて、色ガラスフィルタ
の表面から放出された蛍光25が、フォトマルチプライ
ア33によって、光電的に検出され、補正データ生成用
サンプル80に形成された規則的な基本パターンのアナ
ログデータが生成される。
Then, in FIG. 7, the correction data generation sample 8 is moved by the main scanning motor 43 from left to right in FIG.
0, that is, when the sample stage 20 is moved and the surface of the correction data generation sample 80 is scanned from right to left by the laser light 4, the regular basis formed on the correction data generation sample 80 is obtained. According to the pattern, the color glass filter is excited, and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is photoelectrically detected by the photomultiplier 33, and is regularly formed on the correction data generation sample 80. Analog data of the basic pattern is generated.

【0159】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータは、A/D変換器34によって、デ
ィジタルデータに変換されて、規則的な基本パターンの
第2ライン目のディジタルデータが、データ処理装置3
5に出力される。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34, and the digital data of the second line of the regular basic pattern is converted into the digital data.
5 is output.

【0160】ここに、ジッターは、主走査用モータ43
により、サンプルステージ20が、高速で往復運動され
る際、走査機構の機械精度や移動される負荷などによっ
て、往路と復路とで、相対的な移動速度にばらつきが生
じ、また、データのサンプリングタイミングがずれるこ
とに起因して、発生するものであるので、規則的な基本
パターンの第1ライン目のディジタルデータと、規則的
な基本パターンの第2ライン目のディジタルデータを生
成し、規則的な基本パターンの第1ライン目のディジタ
ルデータと第2ライン目のディジタルデータとに基づ
き、規則的な基本パターンの第2ライン目のディジタル
データのジッターを補正するためのジッター補正データ
を生成して、生成されたジッター補正データに基づい
て、偶数ライン目のデータを補正することによって、デ
ィジタルデータ中のジッターを低減させることが可能に
なる。
Here, the jitter is measured by the main scanning motor 43.
When the sample stage 20 is reciprocated at high speed, the relative movement speed varies between the forward path and the return path due to the mechanical accuracy of the scanning mechanism, the load being moved, and the like. Are generated due to the deviation of the digital data of the first line of the regular basic pattern and the digital data of the second line of the regular basic pattern. Generating jitter correction data for correcting the jitter of the digital data on the second line of the regular basic pattern based on the digital data on the first line and the digital data on the second line of the basic pattern; By correcting the data of the even-numbered lines based on the generated jitter correction data, the jitter in the digital data is corrected. It is possible to reduce the coater.

【0161】したがって、こうして、サンプルステージ
20が、主走査用モータ43によって、図4において、
矢印Xで示される主走査方向に一往復され、レーザ光4
によって、補正データ生成用サンプル80が、一往復分
だけ、走査されて、規則的な基本パターンの第1ライン
目のディジタルデータと、規則的な基本パターンの第2
ライン目のディジタルデータが生成されると、コントロ
ールユニット75は、第1のレーザ励起光源1をオフさ
せて、データ処理装置35に、ジッター補正データ生成
信号を出力する。
Accordingly, the sample stage 20 is thus moved by the main scanning motor 43 in FIG.
The laser beam 4 reciprocates once in the main scanning direction indicated by the arrow X.
Thus, the correction data generation sample 80 is scanned by one round trip so that the digital data of the first line of the regular basic pattern and the second line of the regular basic pattern are scanned.
When the digital data of the line is generated, the control unit 75 turns off the first laser excitation light source 1 and outputs a jitter correction data generation signal to the data processing device 35.

【0162】図8は、本発明の好ましい実施態様にかか
る双方向走査スキャナのデータ処理装置35のブロック
ダイアグラムである。
FIG. 8 is a block diagram of the data processor 35 of the bidirectional scanning scanner according to the preferred embodiment of the present invention.

【0163】図8に示されるように、データ処理装置3
5は、双方向走査スキャナによって生成されたデータを
記憶するデータ記憶部85と、ジッタ補正データを生成
する補正データ生成部86と、補正データ生成部86に
よって、生成されたジッタ補正データを記憶する補正デ
ータ記憶部87と、データにデータ処理を施すデータ処
理部88を備えている。
As shown in FIG. 8, the data processing device 3
Reference numeral 5 denotes a data storage unit 85 that stores data generated by the bidirectional scanning scanner, a correction data generation unit 86 that generates jitter correction data, and a storage unit that stores the jitter correction data generated by the correction data generation unit 86. A correction data storage unit 87 and a data processing unit 88 for performing data processing on data are provided.

【0164】データ処理装置35は、コントロールユニ
ット75から、補正データ生成用サンプル走査信号が入
力されているときは、A/D変換器34から入力され、
データ記憶部85に記憶されたディジタルデータを、補
正データ生成部86に出力させる。
When the sample scanning signal for generating correction data is input from the control unit 75 to the data processing device 35, the data processing device 35 is input from the A / D converter 34,
The digital data stored in the data storage unit 85 is output to the correction data generation unit 86.

【0165】図9は、レーザ光4によって、補正データ
生成用サンプル80を、一往復分だけ、走査することに
よって、色ガラスフィルタが励起され、色ガラスフィル
タの表面から放出された蛍光25が、フォトマルチプラ
イア33によって光電的に検出され、A/D変換器34
によって、ディジタル化されて、データ処理装置35の
補正データ生成部86に入力された基準パターンのディ
ジタルデータを画像化した図面である。
FIG. 9 shows that the correction data generation sample 80 is scanned by the laser beam 4 for one round trip so that the color glass filter is excited and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is emitted. An A / D converter 34 which is photoelectrically detected by a photomultiplier 33
3 is a diagram in which digital data of a reference pattern which has been digitized by the above and input to the correction data generation unit 86 of the data processing device 35 is imaged.

【0166】図9において、Aで示されるパルス状の曲
線は、レーザ光4によって、補正データ生成用サンプル
80の表面に形成された基準パターンが、図7におい
て、左から右に、走査されて、生成された基準パターン
の画像であり、Bで示されるパルス状の曲線は、レーザ
光4によって、補正データ生成用サンプル80の表面に
形成された基準パターンが、右から左に、走査されて、
生成された基準パターンの画像である。
In FIG. 9, the pulse-shaped curve indicated by A is obtained by scanning the reference pattern formed on the surface of the correction data generation sample 80 by the laser beam 4 from left to right in FIG. Is a generated reference pattern image, and a pulse-shaped curve indicated by B is obtained by scanning the reference pattern formed on the surface of the correction data generation sample 80 by the laser light 4 from right to left. ,
It is an image of the generated reference pattern.

【0167】図9に示されるように、Bで示されるパル
ス状の曲線の各パルスの立上がり部の位置は、Aで示さ
れるパルス状の曲線の対応するパルスの立上がり部の位
置から、Δxi(iは、パルスの数を示す正の整数であ
る。)だけ、偏倚し、ジッターが発生している。
As shown in FIG. 9, the position of the rising edge of each pulse of the pulse-shaped curve shown by B is calculated from the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve shown by A by Δxi ( i is a positive integer indicating the number of pulses.), and jitter occurs.

【0168】そこで、補正データ生成部86は、Aで示
されるパルス状の曲線の各パルスの立上がり部の位置か
ら、Bで示されるパルス状の曲線の対応するパルスの立
上がり部の位置が偏倚している偏倚量Δxiの和を求
め、すべてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になるよ
うに、Bで示されるパルス状の曲線を、図9において、
X方向に平行移動させ、すべてのパルスの偏倚量Δxi
の和が最小になる平行移動量を、ディジタルデータのジ
ッターを補正するために用いるジッター補正データとし
て、決定し、補正データ記憶部87に記憶させる。
Therefore, the correction data generating section 86 deviates the position of the rising portion of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve shown by B from the position of the rising portion of each pulse of the pulse-shaped curve shown by A. The sum of the deviations Δxi is calculated, and the pulse-shaped curve indicated by B is shown in FIG. 9 so that the sum of the deviations Δxi of all the pulses is minimized.
Translated in the X direction, and the deviation amounts Δxi of all the pulses
Is determined as the jitter correction data used to correct the jitter of the digital data, and stored in the correction data storage unit 87.

【0169】本実施態様においては、主走査用モータ4
3は、サンプルステージ20を、200mm/秒、40
0mm/秒あるいは800mm/秒の速度で、5ミクロ
ン、10ミクロン、20ミクロン、50ミクロンあるい
は100ミクロンの画素ピッチで移動可能に構成されて
おり、コントロールユニット75は、5ミクロンの画素
ピッチで、サンプルステージ20を、それぞれ、200
mm/秒、400mm/秒および800mm/秒の速度
で、主走査方向に移動させて、ジッター補正データを生
成して、補正データ記憶部87に記憶させ、10ミクロ
ン、20ミクロン、50ミクロンあるいは100ミクロ
ンの画素ピッチで、サンプルステージ20を移動させる
場合には、データ処理部88が、5ミクロンの画素ピッ
チで、サンプルステージ20を、対応する主走査速度
で、主走査方向に移動させて、生成され、補正データ記
憶部87に記憶されているジッター補正データに、所定
の補正係数を乗じて、データのジッター補正に使用する
ように構成されている。
In this embodiment, the main scanning motor 4
3 is a sample stage 20 at 200 mm / sec.
The control unit 75 is configured to be movable at a pixel pitch of 5 microns, 10 microns, 20 microns, 50 microns or 100 microns at a speed of 0 mm / sec or 800 mm / sec. Stage 20 is 200
It is moved in the main scanning direction at speeds of mm / sec, 400 mm / sec, and 800 mm / sec to generate jitter correction data, store it in the correction data storage unit 87, and store it in 10 μm, 20 μm, 50 μm or 100 μm. When the sample stage 20 is moved at a pixel pitch of microns, the data processing unit 88 moves the sample stage 20 at a pixel pitch of 5 microns at a corresponding main scanning speed in the main scanning direction to generate the sample stage 20. The jitter correction data stored in the correction data storage unit 87 is multiplied by a predetermined correction coefficient, and is used for data jitter correction.

【0170】以上のように構成された本実施態様にかか
る双方向走査スキャナは、以下のようにして、スライド
ガラス板を担体とし、蛍光色素によって選択的に標識さ
れた試料の数多くのスポットが、スライドガラス板上に
形成されているマイクロアレイを、レーザ光4によって
走査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された
蛍光を光電的に検出して、生化学解析用のデータを生成
する。
[0170] The bidirectional scanning scanner according to the present embodiment configured as described above has a slide glass plate as a carrier and a large number of spots of a sample selectively labeled with a fluorescent dye as described below. The microarray formed on the slide glass plate is scanned by the laser light 4 to excite the fluorescent dye, and the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis. .

【0171】まず、サンプル22であるスライドガラス
板を担体とした5つのマイクロアレイが、図5におい
て、矢印Aで示される向きに、サンプルキャリア21の
各開口部51、52、53、54、55内に挿入され
る。
First, five microarrays using a slide glass plate as a sample 22 as a carrier are placed in the openings 51, 52, 53, 54, 55 of the sample carrier 21 in the direction indicated by the arrow A in FIG. Is inserted into.

【0172】サンプルキャリア21の各開口部51、5
2、53、54、55の一方の内壁部には、板ばね51
b、52b、53b、54b、55bが取り付けられて
いるから、サンプル22は、それぞれ、各開口部51、
52、53、54、55内において、対向する他方の内
壁部に沿って整列される。
The openings 51, 5 and 5 of the sample carrier 21
A leaf spring 51 is provided on one of the inner wall portions of 2, 53, 54, 55.
Since b, 52b, 53b, 54b, and 55b are attached, the sample 22 has respective openings 51,
Within 52,53,54,55, they are aligned along the other opposing inner wall.

【0173】同時に、各開口部51、52、53、5
4、55内に挿入されたサンプル22に、L字状をなし
た板ばね51a、52a、53a、54a、55aの頂
部が当接し、板ばね51a、52a、53a、54a、
55aのばね力によって、サンプル22は、それぞれ、
その開口部51、52、53、54、55側の側部領域
が、開口部51、52、53、54、55の長手方向に
沿って、開口部51、52、53、54、55上に突出
するように、取り付けられている板部材60、61、6
2、63、64、65の表面に付勢されて、サンプルキ
ャリア21に保持される。
At the same time, the openings 51, 52, 53, 5
The tops of the L-shaped leaf springs 51a, 52a, 53a, 54a, 55a abut against the sample 22 inserted in the insides 4, 55, and the leaf springs 51a, 52a, 53a, 54a,
With the spring force of 55a, the sample 22 respectively
The side regions on the side of the openings 51, 52, 53, 54, 55 are placed on the openings 51, 52, 53, 54, 55 along the longitudinal direction of the openings 51, 52, 53, 54, 55. The plate members 60, 61, 6 attached so as to protrude
It is urged against the surfaces of 2, 63, 64 and 65 and held on the sample carrier 21.

【0174】ここに、フレーム体50の表面に、板部材
60、61、62、63、64、65が、その開口部5
1、52、53、54、55側の側部領域が、開口部5
1、52、53、54、55の長手方向に沿って、開口
部51、52、53、54、55上に突出するように、
取り付けられ、サンプル22は、板ばね51a、52
a、53a、54a、55aのばね力によって、それぞ
れ、板部材60、61、62、63、64、65の表面
に付勢されて、サンプルキャリア21に保持されるよう
に構成され、一方、サンプルキャリア21は、1つの板
状部材を加工することによって作られたフレーム体50
の両側部50a、50bが、サンプルステージ20上に
載置されて、サンプルステージ20にセットされるか
ら、サンプル22がその表面で支持される板部材60、
61、62、63、64、65の表面と、サンプルキャ
リア21がサンプルステージ20によって支持される面
とは、つねに、同一平面内にあり、したがって、サンプ
ルステージ20にセットした後に、サンプルキャリア2
1および各サンプル22の高さ方向の位置を調整すると
いう煩雑な操作を要することなく、5つのサンプル22
を、サンプルステージ20に対して、つねに、同一の位
置的関係で、セットすることが可能になる。
Here, plate members 60, 61, 62, 63, 64, 65 are provided on the surface of the frame body 50 with the openings 5.
The side regions on the 1, 52, 53, 54, 55 side are the openings 5
Along the longitudinal direction of 1, 52, 53, 54, 55, it protrudes above the openings 51, 52, 53, 54, 55,
Attached, the sample 22 includes leaf springs 51a, 52
a, 53a, 54a, and 55a are configured to be urged against the surfaces of the plate members 60, 61, 62, 63, 64, and 65, respectively, and held on the sample carrier 21 by the spring force of the sample carriers 21. The carrier 21 has a frame body 50 formed by processing one plate-like member.
Are placed on the sample stage 20 and set on the sample stage 20, so that the plate member 60 on which the sample 22 is supported on its surface,
The surfaces of the sample carriers 21, 62, 63, 64, 65 and the surface on which the sample carrier 21 is supported by the sample stage 20 are always in the same plane.
One and five samples 22 can be easily adjusted without complicated operations of adjusting the position of each sample 22 in the height direction.
Can always be set to the sample stage 20 with the same positional relationship.

【0175】こうして、スライドガラス板を担体とした
サンプル22である5つのマイクロアレイが保持された
サンプルキャリア21がサンプルステージ20にセット
されると、キャリアセンサ70によって、サンプルキャ
リア21の種類が検出され、キャリア検出信号がコント
ロールユニット75に出力される。
Thus, when the sample carrier 21 holding the five microarrays, which are the samples 22 using the slide glass plate as the carrier, is set on the sample stage 20, the type of the sample carrier 21 is detected by the carrier sensor 70, The carrier detection signal is output to control unit 75.

【0176】キャリアセンサ70からキャリア検出信号
を受けると、コントロールユニット75は、キャリア検
出信号に基づき、切り換え部材モータ72に駆動信号を
出力して、共焦点切り換え部材31を、最も径の小さい
ピンホール32aが光路内に位置するように、移動させ
る。
Upon receiving the carrier detection signal from the carrier sensor 70, the control unit 75 outputs a drive signal to the switching member motor 72 based on the carrier detection signal, and causes the confocal switching member 31 to rotate the pinhole having the smallest diameter. 32a is moved so as to be located in the optical path.

【0177】次いで、オペレータによって、標識物質で
ある蛍光物質の種類およびスタート信号が、キーボード
73に入力されると、キーボード73から指示信号がコ
ントロールユニット75に出力される。
Next, when the operator inputs the type of fluorescent substance as a labeling substance and the start signal to the keyboard 73, an instruction signal is output from the keyboard 73 to the control unit 75.

【0178】たとえば、蛍光物質の種類として、Cy−
5(登録商標)が入力されると、コントロールユニット
75は、入力された指示信号にしたがって、フィルタユ
ニットモータ71に駆動信号を出力して、フィルタユニ
ット27を移動させ、640nmの波長の光をカット
し、640nmよりも波長の長い光を透過する性質を有
するフィルタ28aを光路内に位置させるとともに、第
1のレーザ励起光源1に駆動信号を出力して、オンさせ
る。
For example, the type of fluorescent substance is Cy-
When 5 (registered trademark) is input, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 in accordance with the input instruction signal, moves the filter unit 27, and cuts light having a wavelength of 640 nm. Then, a filter 28a having a property of transmitting light having a wavelength longer than 640 nm is located in the optical path, and a drive signal is output to the first laser excitation light source 1 to be turned on.

【0179】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0180】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされたサンプル22
であるマイクロアレイに入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The sample 22 reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and is set on the sample stage 20.
Is incident on the microarray.

【0181】サンプルステージ20は、主走査用モータ
43によって、図4において、矢印Xで示される主走査
方向に、200mm/秒、400mm/秒あるいは80
0mm/秒の高速で移動され、副走査用モータ47によ
り、図4において、矢印Yで示される副走査方向に移動
されるため、レーザ光4によって、サンプルキャリア2
1にセットされた5つのサンプル22、すなわち、5つ
のマイクロアレイの全面が、順次、走査される。
The sample stage 20 is moved by the main scanning motor 43 in the main scanning direction indicated by the arrow X in FIG.
The sample carrier 2 is moved at a high speed of 0 mm / sec and moved by the sub-scanning motor 47 in the sub-scanning direction indicated by the arrow Y in FIG.
The five samples 22 set to 1, that is, the entire surface of the five microarrays are sequentially scanned.

【0182】レーザ光4の照射を受けると、プローブD
NAを標識している蛍光色素、たとえば、Cy−5が励
起され、蛍光25が放出される。マイクロアレイの担体
として、スライドガラス板が用いられている場合には、
蛍光色素はスライドガラス板の表面にのみ分布している
ので、蛍光25もスライドガラス板の表面からのみ、発
せられる。
When the laser beam 4 is irradiated, the probe D
A fluorescent dye that labels NA, for example, Cy-5 is excited, and fluorescence 25 is emitted. When a slide glass plate is used as a carrier for the microarray,
Since the fluorescent dye is distributed only on the surface of the slide glass plate, the fluorescence 25 is also emitted only from the surface of the slide glass plate.

【0183】スライドガラス板の表面から発せられた蛍
光25は、レンズ19によって、平行な光とされ、穴明
きミラー18によって反射され、フィルタユニット27
に入射する。
The fluorescent light 25 emitted from the surface of the slide glass plate is converted into parallel light by the lens 19, reflected by the perforated mirror 18, and filtered by the filter unit 27.
Incident on.

【0184】フィルタユニット27は、フィルタ28a
が光路内に位置するように移動されているため、蛍光2
5はフィルタ28aに入射し、640nmの波長の光が
カットされ、640nmよりも波長の長い光のみが透過
される。
The filter unit 27 includes a filter 28a
Has been moved so as to be located in the optical path,
5 enters the filter 28a, cuts light having a wavelength of 640 nm, and transmits only light having a wavelength longer than 640 nm.

【0185】フィルタ28aを透過した蛍光25は、ミ
ラー29によって反射され、レンズ30によって、結像
される。
The fluorescence 25 transmitted through the filter 28a is reflected by the mirror 29 and is imaged by the lens 30.

【0186】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の小さいピンホール32aが光
路内に位置するように移動されているため、蛍光25が
ピンホール32a上に結像され、フォトマルチプライア
33によって、光電的に検出されて、アナログデータが
生成される。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a having the smallest diameter is located in the optical path, so that the fluorescent light 25 forms an image on the pinhole 32a. Then, the data is photoelectrically detected by the photomultiplier 33 and analog data is generated.

【0187】このように、共焦点光学系を用いて、スラ
イドガラス板の表面の蛍光色素から発せられた蛍光25
をフォトマルチプライア33に導いて、光電的に検出し
ているので、データ中のノイズを最小に抑えることが可
能になる。
As described above, using the confocal optical system, the fluorescence 25 emitted from the fluorescent dye on the surface of the slide glass plate was used.
Is guided to the photomultiplier 33 and photoelectrically detected, so that noise in data can be minimized.

【0188】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photo multiplier 33 is converted to digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0189】データ処理装置35に送られたサンプル2
2のディジタルデータは、データ処理装置35のデータ
記憶部85に記憶され、サンプルキャリア21に保持さ
れた5つのマイクロアレイのレーザ光4による走査が完
了すると、データ処理部88に出力される。
Sample 2 sent to the data processor 35
The digital data of No. 2 is stored in the data storage unit 85 of the data processing device 35, and is output to the data processing unit 88 when the scanning of the five microarrays held by the sample carrier 21 with the laser light 4 is completed.

【0190】データ記憶部85から、サンプル22のデ
ィジタルデータが入力されると、データ処理部88は、
補正データ記憶部87から、対応する主走査速度のジッ
ター補正データを読み出す。
When the digital data of the sample 22 is input from the data storage unit 85, the data processing unit 88
From the correction data storage unit 87, the jitter correction data of the corresponding main scanning speed is read.

【0191】データ処理部88は、画素ピッチに応じ
て、必要があれば、補正データ記憶部87から読み出し
た対応する主走査速度のジッター補正データを補正し、
ジッター補正データに基づいて、サンプル22の偶数ラ
イン目のディジタルデータを補正する。
The data processing section 88 corrects the jitter correction data of the corresponding main scanning speed read from the correction data storage section 87, if necessary, according to the pixel pitch.
The digital data of the even-numbered line of the sample 22 is corrected based on the jitter correction data.

【0192】データ処理装置35の補正データ記憶部8
7には、5ミクロンの画素ピッチで、サンプルステージ
20を、それぞれ、200mm/秒、400mm/秒お
よび800mm/秒の速度で、主走査方向に移動させ
て、生成されたジッター補正データが記憶されているの
で、5ミクロンの画素ピッチで、サンプルステージ20
を、200mm/秒、400mm/秒または800mm
/秒の速度で、主走査方向に移動させて、サンプリング
22のディジタルデータが生成されたときは、データ処
理部88は、対応するジッター補正データを、補正デー
タ記憶部87から読み出して、サンプリング22のディ
ジタルデータのジッター補正を実行し、他方、10ミク
ロン、20ミクロン、50ミクロンあるいは100ミク
ロンの画素ピッチで、サンプルステージ20を移動させ
て、サンプリング22のディジタルデータが生成された
ときは、データ処理部88は、5ミクロンの画素ピッチ
で、サンプルステージ20を、対応する主走査速度で、
主走査方向に移動させて、生成されたジッター補正デー
タを、補正データ記憶部87から読み出し、所定の補正
係数を乗じて、補正して、サンプリング22のディジタ
ルデータのジッター補正を実行する。
Correction data storage section 8 of data processing device 35
7 stores jitter correction data generated by moving the sample stage 20 in the main scanning direction at a pixel pitch of 5 microns at a speed of 200 mm / sec, 400 mm / sec, and 800 mm / sec, respectively. The sample stage 20 has a pixel pitch of 5 microns.
To 200 mm / sec, 400 mm / sec or 800 mm
When the digital data of the sampling 22 is generated by moving in the main scanning direction at a speed of / sec, the data processing unit 88 reads the corresponding jitter correction data from the correction data storage unit 87, and When the digital data for sampling 22 is generated by moving the sample stage 20 at a pixel pitch of 10, 20, 50, or 100 microns, the data processing is performed. The unit 88 moves the sample stage 20 at a pixel pitch of 5 microns at a corresponding main scanning speed.
By moving the jitter correction data in the main scanning direction, the generated jitter correction data is read from the correction data storage unit 87, multiplied by a predetermined correction coefficient, and corrected, thereby performing the jitter correction of the digital data of the sampling 22.

【0193】ここに、ジッター補正データは、規則的な
基本パターンの第2ライン目のディジタルデータに対応
するBで示されるパルス状の曲線の各パルスの立上がり
部の位置が、規則的な基本パターンの第1ライン目のデ
ィジタルデータに対応するAで示されるパルス状の曲線
の対応するパルスの立上がり部の位置から、偏倚してい
る偏倚量Δxiの和を求め、すべてのパルスの偏倚量Δ
xiの和が最小になるように、Bで示されるパルス状の
曲線を、図9において、X方向に平行移動させ、すべて
のパルスの偏倚量Δxiの和が最小になる平行移動量
を、ディジタルデータのジッターを補正するために用い
るジッター補正データとして、決定して、生成されたも
のであるから、ジッター補正データに基づいて、サンプ
ル22の偶数ライン目のディジタルデータを補正するこ
とによって、サンプル22のディジタルデータ中のジッ
ターを最小化することが可能になる。
Here, the jitter correction data indicates that the position of the rising edge of each pulse of the pulse-shaped curve indicated by B corresponding to the digital data on the second line of the regular basic pattern is the regular basic pattern. From the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve indicated by A corresponding to the digital data of the first line, the sum of the deviating deviation amounts Δxi is obtained, and the deviation amounts Δ of all the pulses are obtained.
The pulse-shaped curve indicated by B is translated in the X direction in FIG. 9 so that the sum of xi is minimized. Since the jitter correction data used to correct the data jitter is determined and generated, the digital data of the even-numbered line of the sample 22 is corrected based on the jitter correction data, thereby obtaining the sample 22. Jitter in the digital data of the digital camera can be minimized.

【0194】一方、蛍光色素によって、選択的に標識さ
れた変性DNAを含む転写支持体を担体とした蛍光サン
プルを、レーザ光4によって走査して、蛍光色素を励起
し、蛍光色素から放出された蛍光を光電的に検出して、
生化学解析用のデータを生成する場合には、図5に示さ
れたサンプルキャリア21に代えて、蛍光色素によっ
て、選択的に標識された変性DNAを含む転写支持体を
担体とした蛍光サンプル22が保持されたサンプルキャ
リア21が、サンプルステージ20にセットされる。
On the other hand, a fluorescent sample using a transfer support containing denatured DNA selectively labeled with a fluorescent dye as a carrier was scanned with a laser beam 4 to excite the fluorescent dye and release it from the fluorescent dye. Fluorescence is detected photoelectrically,
When generating data for biochemical analysis, instead of the sample carrier 21 shown in FIG. 5, a fluorescent sample 22 using a transfer support containing denatured DNA selectively labeled with a fluorescent dye as a carrier is used. Is set on the sample stage 20.

【0195】こうして、蛍光サンプル22が保持された
サンプルキャリア21が、サンプルステージ20にセッ
トされると、キャリアセンサ70によって、サンプルキ
ャリア21の種類が検出され、キャリア検出信号がコン
トロールユニット75に出力される。
Thus, when the sample carrier 21 holding the fluorescent sample 22 is set on the sample stage 20, the type of the sample carrier 21 is detected by the carrier sensor 70, and a carrier detection signal is output to the control unit 75. You.

【0196】キャリアセンサ70からキャリア検出信号
を受けると、コントロールユニット75は、キャリア検
出信号に基づき、切り換え部材モータ72に駆動信号を
出力して、共焦点切り換え部材31を、最も径の大きい
ピンホール32cが光路内に位置するように、移動させ
る。
Upon receiving the carrier detection signal from the carrier sensor 70, the control unit 75 outputs a drive signal to the switching member motor 72 based on the carrier detection signal, and causes the confocal switching member 31 to rotate the pinhole having the largest diameter. 32c is moved so as to be located in the optical path.

【0197】次いで、オペレータによって、標識物質で
ある蛍光物質の種類およびスタート信号が、キーボード
73に入力されると、キーボード73から指示信号がコ
ントロールユニット75に出力される。
Next, when the type of the fluorescent substance as the labeling substance and the start signal are input to the keyboard 73 by the operator, an instruction signal is output from the keyboard 73 to the control unit 75.

【0198】たとえば、試料がローダミンによって標識
されているときは、ローダミンは、532nmの波長の
レーザによって、最も効率的に励起することができるか
ら、コントロールユニット75は第2のレーザ励起光源
2を選択するとともに、フィルタ32bを選択し、フィ
ルタユニットモータ71に駆動信号を出力して、フィル
タユニット27を移動させ、532nmの波長の光をカ
ットし、532nmよりも波長の長い光を透過する性質
を有するフィルタ28bを、蛍光25の光路内に位置さ
せるとともに、第2のレーザ励起光源2に駆動信号を出
力して、オンさせる。
For example, when the sample is labeled with rhodamine, the control unit 75 selects the second laser excitation light source 2 because rhodamine can be most efficiently excited by a laser having a wavelength of 532 nm. At the same time, the filter 32b is selected, a drive signal is output to the filter unit motor 71, the filter unit 27 is moved, light having a wavelength of 532 nm is cut, and light having a wavelength longer than 532 nm is transmitted. The filter 28b is positioned in the optical path of the fluorescent light 25, and outputs a drive signal to the second laser excitation light source 2 to turn it on.

【0199】第2のレーザ励起光源2から発せられた5
32nmの波長のレーザ光4は、コリメータレンズ9に
よって、平行な光とされた後、第1のダイクロイックミ
ラー7に入射して、反射される。
The light emitted from the second laser excitation light source 2
The laser beam 4 having a wavelength of 32 nm is converted into parallel light by the collimator lens 9 and then enters the first dichroic mirror 7 and is reflected.

【0200】第1のダイクロイックミラー7によって反
射されたレーザ光4は、第2のダイクロイックミラー8
を透過し、光学ヘッド15に入射する。
The laser beam 4 reflected by the first dichroic mirror 7 is applied to the second dichroic mirror 8
And enters the optical head 15.

【0201】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされた蛍光サンプル
22に入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The light is reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and enters the fluorescent sample 22 set on the sample stage 20.

【0202】サンプルステージ20は、主走査用モータ
43によって、図4において、矢印Xで示される主走査
方向に、200mm/秒、400mm/秒あるいは80
0mm/秒の高速で移動され、副走査用モータ47によ
り、図4において、矢印Yで示される副走査方向に移動
されるため、レーザ光4によって、サンプルキャリア2
1にセットされた蛍光サンプル22の全面が走査され
る。
The sample stage 20 is moved by the main scanning motor 43 in the main scanning direction indicated by the arrow X in FIG.
The sample carrier 2 is moved at a high speed of 0 mm / sec and moved by the sub-scanning motor 47 in the sub-scanning direction indicated by the arrow Y in FIG.
The entire surface of the fluorescent sample 22 set to 1 is scanned.

【0203】レーザ光4の照射を受けると、試料を標識
している蛍光色素、たとえば、ローダミンが励起され、
蛍光25が放出される。蛍光サンプル22の担体とし
て、転写支持体が用いられている場合には、蛍光色素
は、転写支持体の深さ方向に分布しているため、転写支
持体の深さ方向の所定の範囲から、蛍光25が発せら
れ、発光点の深さ方向の位置も変動する。
When irradiated with the laser beam 4, a fluorescent dye, for example, rhodamine, which labels the sample, is excited,
Fluorescence 25 is emitted. When a transfer support is used as the carrier of the fluorescent sample 22, the fluorescent dye is distributed in the depth direction of the transfer support, so from a predetermined range in the depth direction of the transfer support, The fluorescent light 25 is emitted, and the position of the light emitting point in the depth direction also changes.

【0204】転写支持体を担体とした蛍光サンプル22
から発せられた蛍光25は、レンズ19によって、平行
な光とされ、穴明きミラー18によって反射され、フィ
ルタユニット27に入射する。
Fluorescent sample 22 using transfer support as carrier
The fluorescent light 25 emitted from is converted into parallel light by the lens 19, reflected by the perforated mirror 18, and enters the filter unit 27.

【0205】フィルタユニット27は、フィルタ28b
が光路内に位置するように移動されているため、蛍光2
5はフィルタ28bに入射し、532nmの波長の光が
カットされ、532nmよりも波長の長い光のみが透過
される。
The filter unit 27 includes a filter 28b
Has been moved so as to be located in the optical path,
5 is incident on the filter 28b and cuts off light having a wavelength of 532 nm, and transmits only light having a wavelength longer than 532 nm.

【0206】フィルタ28bを透過した蛍光は、ミラー
29によって反射され、レンズ30によって、集光され
るが、蛍光25は、転写支持体の深さ方向の所定の範囲
から発せられているため、結像はしない。
The fluorescence transmitted through the filter 28b is reflected by the mirror 29 and collected by the lens 30, but the fluorescence 25 is emitted from a predetermined range in the depth direction of the transfer support. No image.

【0207】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の大きいピンホール32cが光
路内に位置するように移動されているため、蛍光25は
最も径の大きいピンホール32cを通過して、フォトマ
ルチプライア33によって、光電的に検出されて、アナ
ログデータが生成される。したがって、スライドガラス
板を担体としたマイクロアレイの表面の蛍光色素から発
せられた蛍光25を、高いS/N比で、検出するため
に、共焦点光学系を用いているにもかかわらず、転写支
持体の深さ方向の所定の範囲から発せられた蛍光25も
高い信号強度で検出することが可能になる。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32c having the largest diameter is located in the optical path. , And is photoelectrically detected by the photomultiplier 33 to generate analog data. Therefore, although a confocal optical system is used to detect the fluorescent light 25 emitted from the fluorescent dye on the surface of the microarray using the slide glass plate as a carrier at a high S / N ratio, the transfer support is performed. Fluorescence 25 emitted from a predetermined range in the depth direction of the body can also be detected with a high signal intensity.

【0208】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photo multiplier 33 is converted to digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0209】データ処理装置35に送られたディジタル
データは、データ処理装置35のデータ記憶部85に記
憶され、サンプルキャリア21に保持された転写支持体
を担体とする蛍光サンプル22のレーザ光4による走査
が完了すると、データ処理部88に出力される。
The digital data sent to the data processing unit 35 is stored in the data storage unit 85 of the data processing unit 35 and is generated by the laser beam 4 of the fluorescent sample 22 using the transfer support held by the sample carrier 21 as a carrier. When the scanning is completed, the data is output to the data processing unit 88.

【0210】データ記憶部85から、サンプル22のデ
ィジタルデータが入力されると、データ処理部88は、
補正データ記憶部87から、対応する主走査速度のジッ
ター補正データを読み出す。
When digital data of the sample 22 is input from the data storage unit 85, the data processing unit 88
From the correction data storage unit 87, the jitter correction data of the corresponding main scanning speed is read.

【0211】データ処理部88は、画素ピッチに応じ
て、必要があれば、補正データ記憶部87から読み出し
た対応する主走査速度のジッター補正データを補正し、
ジッター補正データに基づいて、サンプル22の偶数ラ
イン目のディジタルデータを補正する。
The data processing section 88 corrects the jitter correction data of the corresponding main scanning speed read from the correction data storage section 87, if necessary, according to the pixel pitch.
The digital data of the even-numbered line of the sample 22 is corrected based on the jitter correction data.

【0212】ここに、ジッターは、主走査用モータ43
により、サンプルステージ20が、高速で往復運動され
る際、走査機構の機械精度や移動される負荷などによっ
て、往路と復路とで、相対的な移動速度にばらつきが生
じ、また、データのサンプリングタイミングがずれるこ
とに起因して、発生するものであるので、レーザ光4の
波長にかかわらず、640nmの波長のレーザ光4によ
って、補正データ生成用サンプル80の色ガラスフィル
タを励起し、色ガラスフィルタから放出された蛍光を検
出して、生成された規則的な基本パターンを形成してい
る色ガラスフィルタのディジタルデータに基づいて、生
成され、補正データ記憶部87に記憶されているジッタ
ー補正データを用いて、サンプル22のディジタルデー
タのジッターを補正することができる。
Here, the jitter is measured by the main scanning motor 43.
When the sample stage 20 is reciprocated at high speed, the relative movement speed varies between the forward path and the return path due to the mechanical accuracy of the scanning mechanism, the load being moved, and the like. The color glass filter of the correction data generation sample 80 is excited by the laser light 4 having a wavelength of 640 nm regardless of the wavelength of the laser light 4 because the color glass filter Detects the fluorescent light emitted from, and generates the jitter correction data generated and stored in the correction data storage unit 87 based on the digital data of the color glass filter forming the generated regular basic pattern. This can be used to correct the jitter of the digital data of the sample 22.

【0213】また、ジッター補正データは、規則的な基
本パターンの第2ライン目のディジタルデータに対応す
るBで示されるパルス状の曲線の各パルスの立上がり部
の位置が、規則的な基本パターンの第1ライン目のディ
ジタルデータに対応するAで示されるパルス状の曲線の
対応するパルスの立上がり部の位置から、偏倚している
偏倚量Δxiの和を求めて、Bで示されるパルス状の曲
線のすべてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になるよ
うに、Bで示されるパルス状の曲線を、図9において、
X方向に平行移動させ、すべてのパルスの偏倚量Δxi
の和が最小になる平行移動量を、サンプル22のディジ
タルデータ中のジッターを補正するために用いるジッタ
ー補正データとして、決定して、生成されたものである
から、ジッター補正データに基づき、サンプル22の偶
数ライン目のディジタルデータを補正することによっ
て、サンプル22のディジタルデータ中のジッターを最
小化することが可能になる。
The jitter correction data is such that the rising position of each pulse of the pulse-shaped curve indicated by B corresponding to the digital data on the second line of the regular basic pattern is the regular basic pattern. From the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve indicated by A corresponding to the digital data on the first line, the sum of the deviating deviation amounts Δxi is obtained, and the pulse-shaped curve indicated by B is obtained. In FIG. 9, the pulse-shaped curve indicated by B is changed so that the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses
Translated in the X direction, and the deviation amounts Δxi of all the pulses
Is determined as the jitter correction data used to correct the jitter in the digital data of the sample 22, and the generated parallel movement amount is minimized. By correcting the digital data on the even-numbered line, it is possible to minimize the jitter in the digital data of the sample 22.

【0214】これに対して、放射性標識物質によって選
択的に標識された試料の数多くのスポットが形成された
メンブレンフィルタなどの担体を、輝尽性蛍光体を含む
輝尽性蛍光体層が形成された蓄積性蛍光体シートと密着
させて、輝尽性蛍光体層を露光して得た放射性標識物質
の位置情報が記録された蓄積性蛍光体シートの輝尽性蛍
光体層を、レーザ光4によって走査して、輝尽性蛍光体
を励起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光を光電的
に検出して、生化学解析用のデータを生成する場合に
は、図5に示されたサンプルキャリア21に代えて、輝
尽性蛍光体層が形成された蓄積性蛍光体シートを保持し
たサンプルキャリア21が、サンプルステージ20にセ
ットされる。
On the other hand, a stimulable phosphor layer containing a stimulable phosphor is formed on a carrier such as a membrane filter on which a number of spots of a sample selectively labeled with a radioactive labeling substance are formed. The stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet on which the positional information of the radioactive labeling substance obtained by exposing the stimulable phosphor layer is brought into close contact with the stimulable phosphor sheet, FIG. 5 shows a case in which the stimulable phosphor is excited by scanning with the stimulable phosphor, and the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis. Instead of the sample carrier 21 shown, a sample carrier 21 holding a stimulable phosphor sheet on which a stimulable phosphor layer is formed is set on the sample stage 20.

【0215】輝尽性蛍光体層が形成された蓄積性蛍光体
シートを保持したサンプルキャリア21が、サンプルス
テージ20にセットされると、キャリアセンサ70によ
って、サンプルキャリア21の種類が検出され、キャリ
ア検出信号がコントロールユニット75に出力される。
When the sample carrier 21 holding the stimulable phosphor sheet on which the stimulable phosphor layer is formed is set on the sample stage 20, the type of the sample carrier 21 is detected by the carrier sensor 70, and the carrier is detected. The detection signal is output to the control unit 75.

【0216】キャリアセンサ70からキャリア検出信号
を受けると、コントロールユニット75は、キャリア検
出信号に基づき、切り換え部材モータ72に駆動信号を
出力して、共焦点切り換え部材31を、中間の径を有す
るピンホール32bが光路内に位置するように、移動さ
せる。
Upon receiving the carrier detection signal from the carrier sensor 70, the control unit 75 outputs a drive signal to the switching member motor 72 based on the carrier detection signal, and causes the confocal switching member 31 to move the pin having an intermediate diameter. The hole 32b is moved so as to be located in the optical path.

【0217】次いで、コントロールユニット75は、入
力された指示信号にしたがって、フィルタユニットモー
タ71に駆動信号を出力して、フィルタユニット27を
移動させ、輝尽性蛍光体から発光される輝尽光の波長域
の光のみを透過し、640nmの波長の光をカットする
性質を有するフィルタ28dを光路内に位置させるとと
もに、第1のレーザ励起光源1に駆動信号を出力して、
オンさせる。
Next, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 in accordance with the input instruction signal, moves the filter unit 27, and controls the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor. A filter 28d having a property of transmitting only light in the wavelength range and cutting light having a wavelength of 640 nm is located in the optical path, and outputs a drive signal to the first laser excitation light source 1;
Turn on.

【0218】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0219】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされたサンプル22
である蓄積性蛍光体シートに入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The sample 22 reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and is set on the sample stage 20.
Into the stimulable phosphor sheet.

【0220】サンプルステージ20は、主走査用モータ
43によって、図4において、矢印Xで示される主走査
方向に、200mm/秒、400mm/秒あるいは80
0mm/秒の高速で移動され、副走査用モータ47によ
り、図4において、矢印Yで示される副走査方向に移動
されるため、レーザ光4によって、サンプルキャリア2
1にセットされた蓄積性蛍光体シートの輝尽性蛍光体層
の全面が走査される。
The sample stage 20 is moved by the main scanning motor 43 in the main scanning direction indicated by the arrow X in FIG.
The sample carrier 2 is moved at a high speed of 0 mm / sec and moved by the sub-scanning motor 47 in the sub-scanning direction indicated by the arrow Y in FIG.
The entire surface of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet set to 1 is scanned.

【0221】レーザ光4の照射を受けると、輝尽性蛍光
体層に含まれている輝尽性蛍光体が励起され、輝尽光2
5が放出される。蓄積性蛍光体シートの場合には、輝尽
性蛍光体は輝尽性蛍光体層中に含まれており、ある程
度、輝尽性蛍光体層の深さ方向に分布しているため、輝
尽性蛍光体層の深さ方向の所定の範囲から、輝尽光が発
せられ、発光点の深さ方向の位置も変動する。しかしな
がら、輝尽性蛍光体層は薄いため、転写支持体の場合ほ
ど、発光点は深さ方向に分布してはいない。
Upon irradiation with the laser light 4, the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer is excited, and the stimulable phosphor 2 is irradiated.
5 is released. In the case of the stimulable phosphor sheet, the stimulable phosphor is contained in the stimulable phosphor layer and is distributed to some extent in the depth direction of the stimulable phosphor layer. The photostimulable light is emitted from a predetermined range in the depth direction of the luminescent phosphor layer, and the position of the light emitting point in the depth direction also changes. However, since the stimulable phosphor layer is thin, the light emitting points are not distributed in the depth direction as in the case of the transfer support.

【0222】輝尽性蛍光体層から放出された輝尽光25
は、レンズ19によって、平行な光とされ、穴明きミラ
ー18によって反射されて、フィルタユニット27に入
射する。
Stimulation 25 released from the stimulable phosphor layer
Is converted into parallel light by the lens 19, reflected by the perforated mirror 18, and enters the filter unit 27.

【0223】フィルタユニット27は、フィルタ28d
が光路内に位置するように移動されているため、輝尽光
25はフィルタ28dに入射し、640nmの波長の光
がカットされ、輝尽性蛍光体から発光される輝尽光の波
長域の光のみが透過される。
The filter unit 27 includes a filter 28d
Is moved so as to be located in the optical path, the stimulating light 25 enters the filter 28d, the light having the wavelength of 640 nm is cut, and the stimulating light 25 in the wavelength region of the stimulating light emitted from the stimulable phosphor is emitted. Only light is transmitted.

【0224】フィルタ28dを透過した輝尽光25は、
ミラー29によって反射され、レンズ30によって、集
光されるが、輝尽光は、蓄積性蛍光体シートに形成され
た輝尽性蛍光体層の深さ方向の所定の範囲から発せられ
ているため、結像はしない。
The stimulating luminescence 25 transmitted through the filter 28d is
The light is reflected by the mirror 29 and collected by the lens 30, but the stimulable light is emitted from a predetermined range in the depth direction of the stimulable phosphor layer formed on the stimulable phosphor sheet. No imaging.

【0225】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、中間の径を有するピンホール32bが
光路内に位置するように移動されているため、輝尽光は
中間の径を有するピンホール32bを通過して、フォト
マルチプライア33により、光電的に検出されて、アナ
ログデータが生成される。したがって、スライドガラス
板を担体としたマイクロアレイの表面の蛍光色素から発
せられた蛍光25を、高いS/N比で、検出するため
に、共焦点光学系を用いているにもかかわらず、蓄積性
蛍光体シートに形成された輝尽性蛍光体層の深さ方向の
所定の範囲から発せられた輝尽光25も高い信号強度で
検出することが可能になる。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32b having an intermediate diameter is located in the optical path, so that the photostimulable light has an intermediate diameter. After passing through the pinhole 32b, it is photoelectrically detected by the photomultiplier 33 and analog data is generated. Therefore, although the confocal optical system is used to detect the fluorescence 25 emitted from the fluorescent dye on the surface of the microarray using the slide glass plate as the carrier at a high S / N ratio, the accumulation property is high. The photostimulable light 25 emitted from a predetermined range in the depth direction of the photostimulable phosphor layer formed on the phosphor sheet can be detected with a high signal intensity.

【0226】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photo multiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0227】データ処理装置35に送られたディジタル
データは、データ処理装置35のデータ記憶部85に記
憶され、サンプルキャリア21に保持された蓄積性蛍光
体シートの輝尽性蛍光体層のレーザ光4による走査が完
了すると、データ処理部88に出力される。
The digital data sent to the data processing unit 35 is stored in the data storage unit 85 of the data processing unit 35, and the laser light of the stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet held by the sample carrier 21 is stored. 4 is completed, the data is output to the data processing unit 88.

【0228】データ記憶部85から、サンプル22のデ
ィジタルデータが入力されると、データ処理部88は、
補正データ記憶部87から、対応する主走査速度のジッ
ター補正データを読み出す。
When the digital data of the sample 22 is input from the data storage unit 85, the data processing unit 88
From the correction data storage unit 87, the jitter correction data of the corresponding main scanning speed is read.

【0229】ここに、ジッターは、主走査用モータ43
により、サンプルステージ20が、高速で往復運動され
る際、走査機構の機械精度や移動される負荷などによっ
て、往路と復路とで、相対的な移動速度にばらつきが生
じ、また、データのサンプリングタイミングがずれるこ
とに起因して、発生するものであるので、輝尽性蛍光体
を励起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光25を検
出して、サンプル22のディジタルデータを生成する場
合にも、640nmの波長のレーザ光4によって、補正
データ生成用サンプル80の色ガラスフィルタを励起
し、色ガラスフィルタから放出された蛍光を検出して、
生成された規則的な基本パターンを形成している色ガラ
スフィルタのディジタルデータに基づいて、生成され、
補正データ記憶部87に記憶されているジッター補正デ
ータを用いて、サンプル22のディジタルデータのジッ
ターを補正することができる。
Here, the jitter is measured by the main scanning motor 43.
When the sample stage 20 is reciprocated at high speed, the relative movement speed varies between the forward path and the return path due to the mechanical accuracy of the scanning mechanism, the load being moved, and the like. Is generated due to the displacement of the photostimulable phosphor, so that the stimulable phosphor is excited, the stimulable phosphor 25 emitted from the stimulable phosphor is detected, and digital data of the sample 22 is generated. Also in this case, the color glass filter of the correction data generation sample 80 is excited by the laser light 4 having a wavelength of 640 nm, and the fluorescence emitted from the color glass filter is detected.
Generated based on the digital data of the color glass filter forming the generated regular basic pattern,
The jitter of the digital data of the sample 22 can be corrected using the jitter correction data stored in the correction data storage unit 87.

【0230】ここに、ジッター補正データは、規則的な
基本パターンの第2ライン目のディジタルデータに対応
するBで示されるパルス状の曲線の各パルスの立上がり
部の位置が、規則的な基本パターンの第1ライン目のデ
ィジタルデータに対応するAで示されるパルス状の曲線
の対応するパルスの立上がり部の位置から、偏倚してい
る偏倚量Δxiの和を求め、Bで示されるパルス状の曲
線のすべてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になるよ
うに、Bで示されるパルス状の曲線を、図9において、
X方向に平行移動させ、すべてのパルスの偏倚量Δxi
の和が最小になる平行移動量を、サンプル22のディジ
タルデータのジッターを補正するために用いるジッター
補正データとして、決定して、生成されたものであるか
ら、ジッター補正データに基づいて、サンプル22の偶
数ライン目のディジタルデータを補正することによっ
て、サンプル22のディジタルデータ中のジッターを最
小化することが可能になる。
Here, the jitter correction data is such that the position of the leading edge of each pulse of the pulse-shaped curve indicated by B corresponding to the digital data on the second line of the regular basic pattern is the regular basic pattern. From the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve indicated by A corresponding to the digital data of the first line, the sum of the deviated deviation amounts Δxi is obtained, and the pulse-shaped curve indicated by B is obtained. In FIG. 9, the pulse-shaped curve indicated by B is changed so that the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses
Translated in the X direction, and the deviation amounts Δxi of all the pulses
Is determined as the jitter correction data used to correct the jitter of the digital data of the sample 22, and is generated. Therefore, based on the jitter correction data, By correcting the digital data on the even-numbered line, it is possible to minimize the jitter in the digital data of the sample 22.

【0231】本実施態様においては、クロム蒸着膜81
が形成された色ガラスフィルタによって形成され、クロ
ム蒸着膜81が形成されていない部分に、色ガラスフィ
ルタの規則的な基本パターンが形成された補正データ生
成用サンプル80を、主走査用モータ43によって、主
走査方向に移動させるとともに、副走査用モータ47に
よって、副走査方向に移動させて、補正データ生成用サ
ンプル80を載置したサンプルステージ20が一往復す
る間に、レーザ光4によって、補正データ生成用サンプ
ル80を走査して、規則的な基本パターンを形成する色
ガラスフィルタを励起し、色ガラスフィルタから放出さ
れた蛍光25を光電的に検出し、ディジタル化して、色
ガラスフィルタによって形成されている規則的な基本パ
ターンのディジタルデータを生成するように構成されて
いる。
In this embodiment, the chromium deposition film 81
The correction data generation sample 80 in which the regular basic pattern of the color glass filter is formed in the portion where the chromium vapor deposition film 81 is not formed is formed by the main scanning motor 43. In the main scanning direction, the laser beam 4 is moved by the sub-scanning motor 47 in the sub-scanning direction. The data generation sample 80 is scanned to excite a color glass filter that forms a regular basic pattern, and the fluorescence 25 emitted from the color glass filter is photoelectrically detected, digitized, and formed by the color glass filter. To generate digital data of a regular basic pattern.

【0232】さらに、本実施態様においては、規則的な
基本パターンを形成する色ガラスフィルタが、図7にお
いて、右から左に、レーザ光4によって走査されて、励
起され、放出した蛍光25を検出し、ディジタル化して
得た規則的な基本パターンの第2ライン目のディジタル
データに対応するBで示されるパルス状の曲線の立上が
り部の位置が、規則的な基本パターンを形成する色ガラ
スフィルタが、左から右に、レーザ光4により走査され
て、励起され、放出した蛍光25を検出し、ディジタル
化して得た規則的な基本パターンの第1ライン目のディ
ジタルデータおよび基本パターンの第2ライン目のディ
ジタルデータに基づき、規則的な基本パターンの第2ラ
イン目のディジタルデータに対応するBで示されるパル
ス状の曲線の各パルスの立上がり部の位置が、規則的な
基本パターンの第1ライン目のディジタルデータに対応
するAで示されるパルス状の曲線の対応するパルスの立
上がり部の位置から、偏倚している偏倚量Δxiの和を
求め、Bで示されるパルス状の曲線のすべてのパルスの
偏倚量Δxiの和が最小になるように、Bで示されるパ
ルス状の曲線を、図9において、X方向に平行移動さ
せ、偏倚量Δxiの和が最小になる平行移動量を、デー
タのジッターを補正するために用いるジッター補正デー
タとして、決定するように構成されている。
Further, in this embodiment, a color glass filter forming a regular basic pattern is scanned by a laser beam 4 from right to left in FIG. The position of the rising portion of the pulse-shaped curve indicated by B corresponding to the digital data of the second line of the regular basic pattern obtained by digitization is determined by the color glass filter that forms the regular basic pattern. , From left to right, the first line of the regular basic pattern and the second line of the basic pattern obtained by detecting and digitizing the fluorescent light 25 scanned, excited and emitted by the laser light 4 Based on the digital data of the first line, each pulse of the pulse-shaped curve indicated by B corresponding to the digital data of the second line of the regular basic pattern. The position of the rising edge of the pulse is shifted from the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve indicated by A corresponding to the digital data of the first line of the regular basic pattern. The pulse-shaped curve indicated by B is translated in the X direction in FIG. 9 so that the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses of the pulse-shaped curve indicated by B is minimized. , The amount of translation that minimizes the sum of the deviation amounts Δxi is determined as jitter correction data used to correct data jitter.

【0233】そして、本実施態様においては、スライド
ガラス板を担体としたマイクロアレイおよび転写支持体
を担体とした蛍光サンプル22に、レーザ光4を照射し
て、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍光を
光電的に検出し、ディジタル化して得たサンプル22の
ディジタルデータならびに蓄積性蛍光体シートに形成さ
れた輝尽性蛍光体層に、レーザ光4を照射して、輝尽性
蛍光体を励起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光2
5を光電的に検出し、ディジタル化して得たサンプル2
2のディジタルデータの偶数ライン目を、上述のように
して、生成したジッター補正データによって補正するよ
うに構成されている。
In this embodiment, the microarray using a slide glass plate as a carrier and the fluorescent sample 22 using a transfer support as a carrier are irradiated with laser light 4 to excite the fluorescent dye and emit the fluorescent dye. The laser light 4 is applied to the digital data of the sample 22 and the stimulable phosphor layer formed on the stimulable phosphor sheet by irradiating the stimulable fluorescent light with the digital data of the sample 22 obtained by photoelectrically detecting the generated fluorescence. Exciting the body and stimulating light emitted from the stimulable phosphor 2
Sample 2 obtained by photoelectrically detecting and digitizing 5
The even-numbered line of the second digital data is corrected by the jitter correction data generated as described above.

【0234】したがって、本実施態様によれば、主走査
用モータ43により、サンプルステージ20が、高速で
往復運動される際、走査機構の機械精度や移動される負
荷などによって、往路と復路とで、相対的な移動速度に
ばらつきが生じ、また、データのサンプリングタイミン
グがずれることに起因して、サンプル22のディジタル
データ中に発生するジッターを最小化することが可能に
なる。
Therefore, according to the present embodiment, when the sample stage 20 is reciprocated at a high speed by the main scanning motor 43, the sample stage 20 may have a forward path and a backward path depending on the mechanical accuracy of the scanning mechanism and the load to be moved. In addition, it is possible to minimize the jitter generated in the digital data of the sample 22 due to the variation in the relative moving speed and the shift in the data sampling timing.

【0235】また、本実施態様によれば、スライドガラ
ス板を担体としたマイクロアレイにレーザ光を照射し
て、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍光を
検出して、サンプル22のディジタルデータを生成する
場合、転写支持体を担体とした蛍光サンプル22にレー
ザ光を照射して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出
された蛍光を検出して、サンプル22のディジタルデー
タを生成する場合および蓄積性蛍光体シートに形成され
た輝尽性蛍光体層に、レーザ光4を照射して、輝尽性蛍
光体を励起し、輝尽性蛍光体から放出された輝尽光25
を検出し、て、サンプル22のディジタルデータを生成
する場合のいずれの場合にも、同じジッター補正データ
を用いて、サンプル22のディジタルデータ中のジッタ
ーを補正するように構成されているので、ある波長のレ
ーザ光4を用いて、補正データ生成用サンプル80の色
ガラスフィルタを励起し、色ガラスフィルタから放出さ
れた蛍光を検出して、生成した色ガラスフィルタの規則
的な基本パターンのディジタルデータに基づいて、ジッ
ター補正データを生成して、補正データ記憶部87に記
憶させておくだけで、サンプル22のディジタルデータ
中のジッターを最小化することができ、したがって、煩
雑な操作を要することなく、メモリがいたずらに大型化
することを防止して、主走査用モータ43によって、サ
ンプルステージ20が往復運動される際、往路と復路と
で、移動のされ方が異なることに起因して、サンプル2
2のディジタルデータ中に発生するジッターを最小化す
ることが可能になる。
Further, according to the present embodiment, a microarray using a slide glass plate as a carrier is irradiated with a laser beam to excite a fluorescent dye, detect fluorescence emitted from the fluorescent dye, and When generating data, the fluorescent sample 22 using the transfer support as a carrier is irradiated with laser light to excite the fluorescent dye, detect the fluorescence emitted from the fluorescent dye, and generate digital data of the sample 22. The stimulable phosphor layer formed on the case and the stimulable phosphor sheet is irradiated with a laser beam 4 to excite the stimulable phosphor and to stimulate the stimulable phosphor 25 emitted from the stimulable phosphor.
Is detected, and the digital data of the sample 22 is generated in any case, the same jitter correction data is used to correct the jitter in the digital data of the sample 22. The laser beam 4 of the wavelength is used to excite the color glass filter of the correction data generation sample 80, to detect the fluorescence emitted from the color glass filter, and to generate digital data of a regular basic pattern of the generated color glass filter. , The jitter in the digital data of the sample 22 can be minimized simply by generating the jitter correction data and storing it in the correction data storage unit 87. The main scanning motor 43 prevents the sample stage 2 from being unnecessarily increased in size. When There is reciprocated in forward and the backward path, due to how it was moved to be different, the sample 2
2 can be minimized.

【0236】さらに、本実施態様によれば、補正データ
記憶部87には、5ミクロンの画素ピッチで、サンプル
ステージ20を、それぞれ、200mm/秒、400m
m/秒および800mm/秒の速度で、主走査方向に移
動させて、生成されたジッター補正データが記憶されて
おり、5ミクロンの画素ピッチで、サンプルステージ2
0を、主走査方向に移動させて、サンプリング22のデ
ィジタルデータが生成されたときは、データ処理部88
は、対応するジッター補正データを、補正データ記憶部
87から読み出して、サンプリング22のディジタルデ
ータのジッター補正を実行し、他方、10ミクロン、2
0ミクロン、50ミクロンあるいは100ミクロンの画
素ピッチで、サンプルステージ20を移動させて、サン
プリング22のディジタルデータが生成されたときは、
データ処理部88は、5ミクロンの画素ピッチで、サン
プルステージ20を、対応する主走査速度で、主走査方
向に移動させて、生成されたジッター補正データを、補
正データ記憶部87から読み出し、所定の補正係数を乗
じて、補正し、サンプリング22のディジタルデータの
ジッター補正を実行するように構成されているから、補
正データ記憶部87として、大容量のメモリを用いるこ
となく、効率的に、サンプリング22のディジタルデー
タ中のジッターを大幅に低減させることが可能になる。
Further, according to the present embodiment, the correction data storage unit 87 stores the sample stages 20 at a pixel pitch of 5 μm at 200 mm / sec.
The sample stage 2 is moved in the main scanning direction at a speed of m / sec and 800 mm / sec, and the generated jitter correction data is stored.
0 is moved in the main scanning direction, and when digital data of the sampling 22 is generated, the data processing unit 88
Reads the corresponding jitter correction data from the correction data storage unit 87 and executes the jitter correction of the digital data of the sampling 22,
When the digital data of the sampling 22 is generated by moving the sample stage 20 at a pixel pitch of 0 micron, 50 micron, or 100 micron,
The data processing unit 88 reads the generated jitter correction data from the correction data storage unit 87 by moving the sample stage 20 in the main scanning direction at a corresponding main scanning speed at a pixel pitch of 5 microns, and Is multiplied by the correction coefficient, and the jitter is corrected for the digital data of the sampling 22. Therefore, the sampling data can be efficiently sampled without using a large-capacity memory as the correction data storage unit 87. It is possible to greatly reduce jitter in the 22 digital data.

【0237】図10は、本発明の別の好ましい実施態様
にかかる双方向走査スキャナにおいて、ジッター補正デ
ータを生成するために用いられるジッター補正データ生
成用部材の略正面図である。
FIG. 10 is a schematic front view of a member for generating jitter correction data used for generating jitter correction data in the bidirectional scanning scanner according to another preferred embodiment of the present invention.

【0238】図10に示されるように、本実施態様にか
かるジッター補正データ生成用部材80は、1つのマイ
クロアレイと実質的に同じサイズを有しており、その全
面にわたって、規則的な基本パターンが形成されてい
る。
As shown in FIG. 10, the member 80 for generating jitter correction data according to the present embodiment has substantially the same size as one microarray, and a regular basic pattern is formed over the entire surface thereof. Is formed.

【0239】本実施態様においても、補正データ生成用
サンプル80は、色ガラスフィルタによって形成されて
おり、色ガラスフィルタの表面には、クロム蒸着膜81
が形成され、クロム蒸着膜81が形成されていない部分
に、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンが形成さ
れている。
Also in this embodiment, the correction data generation sample 80 is formed of a color glass filter, and the surface of the color glass filter has a chromium vapor deposited film 81 formed thereon.
Are formed, and a regular basic pattern of a color glass filter is formed in a portion where the chromium deposition film 81 is not formed.

【0240】ジッター補正データの生成にあたっては、
まず、ジッター補正データ生成用部材80が、図5にお
いて、矢印Aで示される向きに、サンプルキャリア21
の開口部51内に挿入され、板ばね51bによって、対
向する他方の内壁部に沿って整列される。
In generating the jitter correction data,
First, the jitter correction data generating member 80 is moved in the direction indicated by the arrow A in FIG.
And is aligned along the other opposing inner wall by the leaf spring 51b.

【0241】同時に、開口部51内に挿入されたジッタ
ー補正データ生成用部材80に、L字状をなした板ばね
51aの頂部が当接し、板ばね51aのばね力によっ
て、その開口部51側の側部領域が、開口部51の長手
方向に沿って、開口部51上に突出するように、取り付
けられている板部材60の表面に付勢されて、サンプル
キャリア21に保持される。
At the same time, the top of the L-shaped leaf spring 51a abuts against the jitter correction data generating member 80 inserted in the opening 51, and the spring force of the leaf spring 51a causes the top of the opening 51 to move. Is urged against the surface of the attached plate member 60 so as to protrude over the opening 51 along the longitudinal direction of the opening 51 and is held by the sample carrier 21.

【0242】こうして、ジッター補正データ生成用部材
80がセットされると、サンプルキャリア21が、サン
プルステージ20にセットされる。
When the member 80 for generating jitter correction data is set in this way, the sample carrier 21 is set on the sample stage 20.

【0243】次いで、オペレータにより、補正データ生
成用サンプル走査信号が、キーボード73に入力される
と、補正データ生成用サンプル走査信号は、コントロー
ルユニット75に出力される。
Next, when the operator inputs a correction data generation sample scanning signal to the keyboard 73, the correction data generation sample scanning signal is output to the control unit 75.

【0244】補正データ生成用サンプル走査信号を受け
ると、コントロールユニット75は、フィルタユニット
モータ71に駆動信号を出力して、フィルタ28aが蛍
光25の光路内に位置するように、フィルタユニット2
7を移動させるとともに、切り換え部材モータ72に駆
動信号を出力して、ピンホール32aが蛍光25の光路
内に位置するように、共焦点切り換え部材31を移動さ
せる。
Upon receiving the correction data generation sample scanning signal, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 so that the filter unit 2 can be positioned in the optical path of the fluorescent light 25.
7 and a drive signal is output to the switching member motor 72 to move the confocal switching member 31 so that the pinhole 32a is positioned in the optical path of the fluorescence 25.

【0245】補正データ生成用サンプル走査信号は、同
時に、コントロールユニット75からデータ処理装置3
5に出力される。
The correction data generation sample scanning signal is sent from the control unit 75 to the data processing device 3 at the same time.
5 is output.

【0246】次いで、コントロールユニット75は、第
1のレーザ励起光源1を起動させ、640nmのレーザ
光4を放出させる。
Next, the control unit 75 activates the first laser excitation light source 1 and emits the laser light 4 of 640 nm.

【0247】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0248】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされた補正データ生
成用サンプル80に入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The light is reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and enters the correction data generation sample 80 set on the sample stage 20.

【0249】本実施態様においても、補正データ生成用
サンプル80は、色ガラスフィルタによって形成されて
おり、色ガラスフィルタの表面には、クロム蒸着膜81
が形成され、クロム蒸着膜81が形成されていない部分
に、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンが形成さ
れているので、クロム蒸着膜81が形成されず、規則的
な基本パターンを形成している色ガラスフィルタの表面
が、レーザ光4によって励起され、蛍光25が放出され
る。
Also in this embodiment, the correction data generation sample 80 is formed of a color glass filter, and the surface of the color glass filter has a chromium vapor deposited film 81 formed thereon.
Is formed, and a regular basic pattern of a color glass filter is formed in a portion where the chromium vapor-deposited film 81 is not formed. Therefore, the chromium vapor-deposited film 81 is not formed, and a regular basic pattern is formed. The surface of the color glass filter is excited by the laser light 4 and the fluorescence 25 is emitted.

【0250】規則的な基本パターンを形成している色ガ
ラスフィルタの表面から発せられた蛍光は、レンズ19
によって、平行な光とされ、穴明きミラー18によって
反射され、フィルタユニット27に入射する。
The fluorescent light emitted from the surface of the color glass filter forming the regular basic pattern is
Is converted into parallel light, is reflected by the perforated mirror 18, and enters the filter unit 27.

【0251】フィルタユニット27は、フィルタ28a
が光路内に位置するように移動されているため、蛍光は
フィルタ28aに入射し、640nmの波長の光がカッ
トされ、640nmよりも波長の長い光のみが透過され
る。
The filter unit 27 includes a filter 28a
Is moved so as to be located in the optical path, the fluorescent light enters the filter 28a, the light having a wavelength of 640 nm is cut, and only the light having a wavelength longer than 640 nm is transmitted.

【0252】フィルタ28aを透過した蛍光は、ミラー
29によって反射され、レンズ30によって、結像され
る。
The fluorescent light transmitted through the filter 28a is reflected by the mirror 29 and is imaged by the lens 30.

【0253】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の小さいピンホール32aが光
路内に位置するように移動されているため、蛍光がピン
ホール32a上に結像され、フォトマルチプライア33
によって、光電的に検出されて、アナログデータが生成
される。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a having the smallest diameter is located in the optical path, so that the fluorescent light is focused on the pinhole 32a. , Photomultiplier 33
Is detected photoelectrically, and analog data is generated.

【0254】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processor 35.

【0255】サンプルステージ20は、タイミングベル
ト45を介して、主走査用モータ43によって、図4に
おいて、矢印Xで示される主走査方向に、高速で往復移
動されるとともに、副走査用モータ47によって、矢印
Yで示される主走査方向に移動されるように構成されて
おり、主走査用モータ43により、図10において、右
から左に、補正データ生成用サンプル80、すなわち、
サンプルステージ20が移動され、補正データ生成用サ
ンプル80の表面が、レーザ光4によって、左から右
に、走査される。
The sample stage 20 is reciprocated at high speed in the main scanning direction indicated by an arrow X in FIG. , And is moved in the main scanning direction indicated by the arrow Y, and the correction data generation sample 80, that is, from right to left in FIG.
The sample stage 20 is moved, and the surface of the correction data generation sample 80 is scanned by the laser light 4 from left to right.

【0256】その結果、補正データ生成用サンプル80
に形成された規則的な基本パターンにしたがって、色ガ
ラスフィルタが、レーザ光4によって、左から右に、走
査され、色ガラスフィルタが励起されて、色ガラスフィ
ルタの表面から放出された蛍光25が、フォトマルチプ
ライア33によって、光電的に検出され、補正データ生
成用サンプル80に形成された規則的な基本パターンの
アナログデータが生成される。
As a result, the correction data generation sample 80
According to the regular basic pattern formed in the above, the color glass filter is scanned from left to right by the laser beam 4, the color glass filter is excited, and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is emitted. The analog data of the regular basic pattern detected photoelectrically by the photomultiplier 33 and formed on the correction data generation sample 80 is generated.

【0257】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータは、A/D変換器34によって、デ
ィジタルデータに変換されて、規則的な基本パターンの
第1ライン目のディジタルデータが、データ処理装置3
5に出力される。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted to digital data by the A / D converter 34, and the digital data of the first line of the regular basic pattern is converted to digital data by the data processing device 3.
5 is output.

【0258】主走査用モータ43により、図10におい
て、右から左に、補正データ生成用サンプル80、すな
わち、サンプルステージ20が移動され、補正データ生
成用サンプル80の表面が、レーザ光4によって、左か
ら右に、走査されると、副走査用モータ47によって、
図10において、上方に、補正データ生成用サンプル8
0、すなわち、サンプルステージ20が、1走査ライン
に対応する距離だけ、間欠的に移動される。
In FIG. 10, the correction data generation sample 80, that is, the sample stage 20, is moved by the main scanning motor 43 from right to left in FIG. When scanning is performed from left to right, by the sub-scanning motor 47,
In FIG. 10, a sample 8 for generating correction data is shown above.
0, that is, the sample stage 20 is intermittently moved by a distance corresponding to one scan line.

【0259】次いで、主走査用モータ43によって、図
10において、左から右に、補正データ生成用サンプル
80、すなわち、サンプルステージ20が移動され、補
正データ生成用サンプル80の表面が、レーザ光4によ
り、右から左に、走査されると、補正データ生成用サン
プル80に形成された規則的な基本パターンにしたがっ
て、色ガラスフィルタが励起されて、色ガラスフィルタ
の表面から放出された蛍光25が、フォトマルチプライ
ア33によって、光電的に検出され、補正データ生成用
サンプル80に形成された規則的な基本パターンのアナ
ログデータが生成される。
Next, the correction data generation sample 80, that is, the sample stage 20, is moved from left to right in FIG. 10 by the main scanning motor 43, and the surface of the correction data generation sample 80 is When scanning from right to left, the color glass filter is excited according to the regular basic pattern formed on the correction data generation sample 80, and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is emitted. The analog data of the regular basic pattern detected photoelectrically by the photomultiplier 33 and formed on the correction data generation sample 80 is generated.

【0260】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータは、A/D変換器34によって、デ
ィジタルデータに変換されて、規則的な基本パターンの
第2ライン目のディジタルデータが、データ処理装置3
5に出力される。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted to digital data by the A / D converter 34, and the digital data of the second line of the regular basic pattern is converted to the digital data by the data processor 3.
5 is output.

【0261】同様な操作が、レーザ光4によって、補正
データ生成用サンプル80の全面が走査され、各ライン
のディジタルデータが生成されるまで、繰り返される。
The same operation is repeated until the entire surface of the correction data generation sample 80 is scanned by the laser beam 4 and digital data of each line is generated.

【0262】補正データ生成用サンプル80に形成され
た規則的な基本パターンのディジタルデータは、順次、
データ生成装置35のデータ記憶手段85に入力され
て、記憶される。
The digital data of the regular basic pattern formed on the correction data generation sample 80 is sequentially
The data is input to the data storage unit 85 of the data generation device 35 and stored.

【0263】こうして、レーザ光4によって、補正デー
タ生成用サンプル80の全面が走査されて、各ラインの
ディジタルデータが生成されると、コントロールユニッ
ト75は、第1のレーザ励起光源1をオフさせて、デー
タ処理装置35に、ジッター補正データ生成信号を出力
する。
Thus, when the entire surface of the correction data generation sample 80 is scanned by the laser light 4 to generate digital data of each line, the control unit 75 turns off the first laser excitation light source 1. , And outputs a jitter correction data generation signal to the data processing device 35.

【0264】図11は、レーザ光4によって、補正デー
タ生成用サンプル80を走査することによって、色ガラ
スフィルタが励起され、色ガラスフィルタの表面から放
出された蛍光25が、フォトマルチプライア33によっ
て光電的に検出され、A/D変換器34によって、ディ
ジタル化されて、データ処理装置35の補正データ生成
部86に入力された基準パターンの(2N−1)番目の
ラインのディジタルデータと2N番目のラインのディジ
タルデータを画像化した図面である。ここに、Nは1以
上の整数である。
FIG. 11 shows that the color glass filter is excited by scanning the correction data generation sample 80 with the laser light 4, and the fluorescence 25 emitted from the surface of the color glass filter is photoelectrically converted by the photomultiplier 33. The digital data of the (2N-1) -th line of the reference pattern and the 2N-th digit of the reference pattern input to the correction data generating unit 86 of the data processing device 35 are digitized by the A / D converter 34 and input to the correction data generating unit 86 It is the drawing which imaged digital data of the line. Here, N is an integer of 1 or more.

【0265】ジッター補正データ生成信号を受けると、
補正データ生成部86は、前記実施態様と同様にして、
Dで示される2N番目のラインのディジタルデータに対
応するパルス状の曲線の各パルスの立上がり部の位置
が、Cで示される(2N−1)番目のラインのディジタ
ルデータに対応するパルス状の曲線の対応するパルスの
立上がり部の位置から、偏倚している偏倚量Δxiの和
を求め、Dで示されるパルス状の曲線のすべてパルスの
偏倚量Δxiの和が最小になるように、Dで示される2
N番目のラインのディジタルデータに対応するパルス状
の曲線を、図11において、X方向に平行移動させ、す
べてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になる平行移動
量を、(2N−1)番目のラインのディジタルデータに
対して、2N番目のラインのディジタルデータのジッタ
ーを補正するために用いるジッター補正データとして、
決定し、補正データ記憶部87に記憶させる。
Upon receiving the jitter correction data generation signal,
The correction data generation unit 86 performs the
The position of the rising edge of each pulse of the pulse-shaped curve corresponding to the digital data of the 2N-th line indicated by D is the pulse-shaped curve corresponding to the digital data of the (2N-1) -th line indicated by C. From the position of the rising edge of the corresponding pulse, the sum of the deviating deviation amounts Δxi is obtained, and the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses in the pulse-like curve indicated by D is minimized. 2
In FIG. 11, the pulse-shaped curve corresponding to the digital data of the N-th line is translated in the X direction, and the translation amount that minimizes the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses is represented by (2N−1). As the jitter correction data used to correct the jitter of the digital data of the 2Nth line with respect to the digital data of the 2nd line,
It is determined and stored in the correction data storage unit 87.

【0266】本実施態様においても、前記実施態様と全
く同様にして、コントロールユニット75は、5ミクロ
ンの画素ピッチで、サンプルステージ20を、それぞ
れ、200mm/秒、400mm/秒および800mm
/秒の速度で、主走査方向に移動させて、ジッター補正
データを生成して、補正データ記憶部87に記憶させ、
10ミクロン、20ミクロン、50ミクロンあるいは1
00ミクロンの画素ピッチで、サンプルステージ20を
移動させる場合には、データ処理部88が、5ミクロン
の画素ピッチで、サンプルステージ20を対応する主走
査速度で、主走査方向に移動させて、生成され、補正デ
ータ記憶部87に記憶されているジッター補正データ
に、所定の補正係数を乗じて、データのジッター補正に
使用するように構成されている。
In this embodiment, the control unit 75 controls the sample stage 20 at 200 mm / sec, 400 mm / sec, and 800 mm / sec with a pixel pitch of 5 μm, in exactly the same manner as in the above embodiment.
At the speed of 1 / sec in the main scanning direction to generate jitter correction data and store it in the correction data storage unit 87;
10 microns, 20 microns, 50 microns or 1
When the sample stage 20 is moved at a pixel pitch of 00 microns, the data processing unit 88 moves the sample stage 20 at a pixel pitch of 5 microns at a corresponding main scanning speed in the main scanning direction to generate the data. The jitter correction data stored in the correction data storage unit 87 is multiplied by a predetermined correction coefficient, and is used for data jitter correction.

【0267】以上のように構成された本実施態様にかか
る双方向走査スキャナは、以下のようにして、スライド
ガラス板を担体とし、蛍光色素によって選択的に標識さ
れた試料の数多くのスポットが、スライドガラス板上に
形成されているマイクロアレイを、レーザ光4によって
走査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された
蛍光を光電的に検出して、生化学解析用のデータを生成
する。
The bidirectional scanning scanner according to the present embodiment configured as described above uses a slide glass plate as a carrier and a large number of spots of a sample selectively labeled with a fluorescent dye as described below. The microarray formed on the slide glass plate is scanned by the laser light 4 to excite the fluorescent dye, and the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis. .

【0268】まず、スライドガラス板を担体としたサン
プル22である5つのマイクロアレイが保持されたサン
プルキャリア21がサンプルステージ20にセットされ
る。
First, a sample carrier 21 holding five microarrays as a sample 22 using a slide glass plate as a carrier is set on a sample stage 20.

【0269】サンプルキャリア21がサンプルステージ
20にセットされると、キャリアセンサ70によって、
サンプルキャリア21の種類が検出され、キャリア検出
信号がコントロールユニット75に出力される。
When the sample carrier 21 is set on the sample stage 20, the carrier sensor 70
The type of the sample carrier 21 is detected, and a carrier detection signal is output to the control unit 75.

【0270】キャリアセンサ70からキャリア検出信号
を受けると、コントロールユニット75は、キャリア検
出信号に基づき、切り換え部材モータ72に駆動信号を
出力して、共焦点切り換え部材31を、最も径の小さい
ピンホール32aが光路内に位置するように、移動させ
る。
Upon receiving the carrier detection signal from the carrier sensor 70, the control unit 75 outputs a drive signal to the switching member motor 72 based on the carrier detection signal, and causes the confocal switching member 31 to move the pinhole having the smallest diameter. 32a is moved so as to be located in the optical path.

【0271】次いで、オペレータによって、標識物質で
ある蛍光物質の種類およびスタート信号が、キーボード
73に入力されると、キーボード73から指示信号がコ
ントロールユニット75に出力される。
Next, when the operator inputs the type of fluorescent substance as a labeling substance and the start signal to the keyboard 73, an instruction signal is output from the keyboard 73 to the control unit 75.

【0272】たとえば、蛍光物質の種類として、Cy−
5(登録商標)が入力されると、コントロールユニット
75は、入力された指示信号にしたがって、フィルタユ
ニットモータ71に駆動信号を出力して、フィルタユニ
ット27を移動させ、640nmの波長の光をカット
し、640nmよりも波長の長い光を透過する性質を有
するフィルタ28aを光路内に位置させるとともに、第
1のレーザ励起光源1に駆動信号を出力して、オンさせ
る。
For example, the type of fluorescent substance is Cy-
When 5 (registered trademark) is input, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 in accordance with the input instruction signal, moves the filter unit 27, and cuts light having a wavelength of 640 nm. Then, a filter 28a having a property of transmitting light having a wavelength longer than 640 nm is located in the optical path, and a drive signal is output to the first laser excitation light source 1 to be turned on.

【0273】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0274】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされたサンプル22
であるマイクロアレイに入射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
The sample 22 reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and is set on the sample stage 20.
Is incident on the microarray.

【0275】サンプルステージ20は、主走査用モータ
43によって、図4において、矢印Xで示される主走査
方向に、200mm/秒、400mm/秒あるいは80
0mm/秒の高速で移動され、副走査用モータ47によ
り、図4において、矢印Yで示される副走査方向に移動
されるため、レーザ光4によって、サンプルキャリア2
1にセットされた5つのサンプル22、すなわち、5つ
のマイクロアレイの全面が、順次、走査される。
The sample stage 20 is moved by the main scanning motor 43 in the main scanning direction indicated by the arrow X in FIG.
The sample carrier 2 is moved at a high speed of 0 mm / sec and moved by the sub-scanning motor 47 in the sub-scanning direction indicated by the arrow Y in FIG.
The five samples 22 set to 1, that is, the entire surface of the five microarrays are sequentially scanned.

【0276】レーザ光4の照射を受けると、プローブD
NAを標識している蛍光色素、たとえば、Cy−5が励
起され、蛍光25が放出される。マイクロアレイの担体
として、スライドガラス板が用いられている場合には、
蛍光色素はスライドガラス板の表面にのみ分布している
ので、蛍光25もスライドガラス板の表面からのみ、発
せられる。
When the laser beam 4 is irradiated, the probe D
A fluorescent dye that labels NA, for example, Cy-5 is excited, and fluorescence 25 is emitted. When a slide glass plate is used as a carrier for the microarray,
Since the fluorescent dye is distributed only on the surface of the slide glass plate, the fluorescence 25 is also emitted only from the surface of the slide glass plate.

【0277】スライドガラス板の表面から発せられた蛍
光25は、レンズ19によって、平行な光とされ、穴明
きミラー18によって反射され、フィルタユニット27
に入射する。
The fluorescent light 25 emitted from the surface of the slide glass plate is converted into parallel light by the lens 19, reflected by the perforated mirror 18, and filtered by the filter unit 27.
Incident on.

【0278】フィルタユニット27は、フィルタ28a
が光路内に位置するように移動されているため、蛍光2
5はフィルタ28aに入射し、640nmの波長の光が
カットされ、640nmよりも波長の長い光のみが透過
される。
The filter unit 27 includes a filter 28a
Has been moved so as to be located in the optical path,
5 enters the filter 28a, cuts light having a wavelength of 640 nm, and transmits only light having a wavelength longer than 640 nm.

【0279】フィルタ28aを透過した蛍光25は、ミ
ラー29によって反射され、レンズ30によって、結像
される。
[0279] The fluorescence 25 transmitted through the filter 28a is reflected by the mirror 29 and is imaged by the lens 30.

【0280】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の小さいピンホール32aが光
路内に位置するように移動されているため、蛍光25が
ピンホール32a上に結像され、フォトマルチプライア
33によって、光電的に検出されて、アナログデータが
生成される。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a having the smallest diameter is located in the optical path, so that the fluorescent light 25 forms an image on the pinhole 32a. Then, the data is photoelectrically detected by the photomultiplier 33 and analog data is generated.

【0281】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photo multiplier 33 is converted to digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0282】データ処理装置35に送られたサンプル2
2のディジタルデータは、データ処理装置35のデータ
記憶部85に記憶され、サンプルキャリア21に保持さ
れた5つのマイクロアレイのレーザ光4による走査が完
了すると、データ処理部88に出力される。
Sample 2 sent to data processing unit 35
The digital data of No. 2 is stored in the data storage unit 85 of the data processing device 35, and is output to the data processing unit 88 when the scanning of the five microarrays held by the sample carrier 21 with the laser light 4 is completed.

【0283】データ記憶部85から、サンプル22のデ
ィジタルデータが入力されると、データ処理部88は、
補正データ記憶部87から、対応する主走査速度のジッ
ター補正データを読み出す。
When digital data of the sample 22 is input from the data storage unit 85, the data processing unit 88
From the correction data storage unit 87, the jitter correction data of the corresponding main scanning speed is read.

【0284】データ処理部88は、画素ピッチに応じ
て、必要があれば、補正データ記憶部87から読み出し
た対応する主走査速度のジッター補正データを補正し、
ジッター補正データに基づいて、サンプル22の(2N
−1)番目のラインのディジタルデータに対して、2N
番目のラインのディジタルデータを、順次、補正する。
The data processing section 88 corrects the jitter correction data of the corresponding main scanning speed read from the correction data storage section 87, if necessary, according to the pixel pitch.
Based on the jitter correction data, (2N
-1) 2N for the digital data of the line
The digital data of the second line is sequentially corrected.

【0285】蛍光色素によって、選択的に標識された変
性DNAを含む転写支持体を担体とした蛍光サンプル
に、レーザ光4を照射して、蛍光色素を励起し、蛍光色
素から放出された蛍光を光電的に検出して得たディジタ
ルデータおよび放射性標識物質によって選択的に標識さ
れた試料の数多くのスポットが形成されたメンブレンフ
ィルタなどの担体を、輝尽性蛍光体を含む輝尽性蛍光体
層が形成された蓄積性蛍光体シートと密着させて、輝尽
性蛍光体層を露光して得た放射性標識物質の位置情報が
記録された蓄積性蛍光体シートに、レーザ光4を照射し
て、輝尽性蛍光体を励起し、輝尽性蛍光体から放出され
た輝尽光を光電的に検出して得たディジタルデータのジ
ッターも、2N番目のラインのジッター補正データを用
いて、前記実施態様と同様にして、補正される。
A fluorescent sample using a transfer support containing denatured DNA selectively labeled with a fluorescent dye as a carrier is irradiated with a laser beam 4 to excite the fluorescent dye and to emit fluorescence emitted from the fluorescent dye. Digital data obtained by photoelectrically detecting and a carrier such as a membrane filter on which a number of spots of a sample selectively labeled with a radioactive labeling substance are formed, a stimulable phosphor layer containing a stimulable phosphor. The stimulable phosphor sheet on which the positional information of the radioactive labeling substance obtained by exposing the stimulable phosphor layer is brought into close contact with the stimulable phosphor sheet on which the The jitter of the digital data obtained by exciting the stimulable phosphor and photoelectrically detecting the stimulable light emitted from the stimulable phosphor is also calculated using the jitter correction data of the 2Nth line. Embodiment Similarly, it is corrected.

【0286】本実施態様によれば、ジッター補正データ
は、規則的な基本パターンの2N番目のラインのディジ
タルデータに対応するDで示されるパルス状の曲線の各
パルスの立上がり部の位置が、規則的な基本パターンの
(2N−1)番目のラインのディジタルデータに対応す
るCで示されるパルス状の曲線の対応するパルスの立上
がり部の位置から、偏倚している偏倚量Δxiの和を求
め、Dで示されるパルス状の曲線のすべてのパルスの偏
倚量Δxiの和が最小になるように、Dで示される2N
番目のラインのディジタルデータに対応するパルス状の
曲線を、図11において、X方向に平行移動させ、すべ
てのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になる平行移動量
を、2N番目のラインのディジタルデータのジッターを
補正するために用いるジッター補正データとして、決定
して、生成されたものであるから、ジッター補正データ
に基づいて、サンプル22の2N番目のラインのディジ
タルデータを補正することによって、サンプル22のデ
ィジタルデータ中のジッターを最小化することが可能に
なる。
According to this embodiment, the position of the rising portion of each pulse of the pulse-shaped curve indicated by D corresponding to the digital data of the 2N-th line of the regular basic pattern is determined by the jitter correction data. From the position of the leading edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve C corresponding to the digital data of the (2N-1) -th line of the basic pattern, 2N indicated by D so that the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses of the pulse-shaped curve indicated by D is minimized.
In FIG. 11, the pulse-shaped curve corresponding to the digital data of the second line is translated in the X direction, and the translation amount at which the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses is minimized is represented by the digital value of the 2Nth line. Since the data is determined and generated as the jitter correction data used to correct the data jitter, the digital data of the 2Nth line of the sample 22 is corrected based on the jitter correction data, thereby It is possible to minimize the jitter in the digital data of No. 22.

【0287】さらに、本実施態様によれば、マイクロア
レイと実質的に同じサイズを有し、その全面にわたっ
て、規則的な基本パターンが形成されているジッター補
正データ生成用部材80の全面を、レーザ光4によって
走査して、蛍光を検出して得たディジタルデータに基づ
いて、規則的な基本パターンの2N番目のラインのディ
ジタルデータに対応するDで示されるパルス状の曲線の
立上がり部の各パルスの位置が、規則的な基本パターン
の(2N−1)番目のラインのディジタルデータに対応
するCで示されるパルス状の曲線の対応するパルスの立
上がり部の位置から、偏倚している偏倚量Δxiの和を
求め、Dで示されるパルス状の曲線のすべてのパルスの
偏倚量Δxiの和が最小になるように、Dで示される2
N番目のラインのディジタルデータに対応するパルス状
の曲線を、図11において、X方向に平行移動させ、す
べてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小になる平行移動
量を、2N番目のラインのディジタルデータのジッター
を補正するために用いるジッター補正データとして、決
定し、サンプル22の2N番目のラインのディジタルデ
ータを補正しているから、走査領域によって、発生する
ジッターが異なっている場合にも、サンプル22のディ
ジタルデータ中のジッターを最小化することが可能にな
る。
Further, according to the present embodiment, the entire surface of the jitter correction data generating member 80 having substantially the same size as the microarray and having a regular basic pattern formed on the entire surface thereof is irradiated with the laser light. 4 and based on the digital data obtained by detecting the fluorescence, based on the digital data obtained by detecting the fluorescence, each pulse at the rising portion of the pulse-shaped curve indicated by D corresponding to the digital data of the 2Nth line of the regular basic pattern The position of the deviation Δxi that deviates from the position of the rising edge of the corresponding pulse of the pulse-shaped curve indicated by C corresponding to the digital data of the (2N−1) th line of the regular basic pattern. The sum is obtained, and the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses of the pulse-shaped curve indicated by D is minimized so that 2
In FIG. 11, the pulse-shaped curve corresponding to the digital data of the Nth line is translated in the X direction, and the translation amount at which the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses is minimized is represented by the 2Nth line. Since it is determined as the jitter correction data used to correct the jitter of the digital data, and the digital data of the 2Nth line of the sample 22 is corrected, even when the generated jitter differs depending on the scanning area, Jitter in the digital data of the sample 22 can be minimized.

【0288】図12は、本発明の他の好ましい実施態様
にかかる双方向走査スキャナのサンプルステージにセッ
トされるサンプルキャリア21の略斜視図である。
FIG. 12 is a schematic perspective view of a sample carrier 21 set on a sample stage of a bidirectional scanning scanner according to another preferred embodiment of the present invention.

【0289】図12に示されるように、本実施態様にお
いては、サンプルキャリア21は、フレーム体50の一
方の側部50aの表面に、規則的な基本濃淡パターン9
0が形成され、サンプルキャリア21を構成するフレー
ム体50の一方の側部50aの表面が、ジッター補正デ
ータ生成用サンプル80を構成している。規則的な濃淡
パターンは、図7と全く同様な規則的な基本パターンに
形成されており、規則的な基本濃淡パターン90は、フ
レーム体50の一方の側部50aのサンプルステージ2
0に当接されない部分に形成されている。
As shown in FIG. 12, in this embodiment, the sample carrier 21 is provided on the surface of one side portion 50a of the frame body 50 with a regular basic light and shade pattern 9.
0 is formed, and the surface of one side portion 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21 constitutes a sample 80 for generating jitter correction data. The regular shading pattern is formed in the same regular basic pattern as that shown in FIG. 7.
It is formed in a portion that is not in contact with zero.

【0290】また、双方向走査スキャナは、副走査用モ
ータ47によって、レーザ光4を、規則的な基本パター
ンが形成されたフレーム体50の一方の側部50aの表
面に照射することができるように構成されている。
In the bidirectional scanning scanner, the laser beam 4 can be irradiated by the sub-scanning motor 47 onto the surface of one side portion 50a of the frame body 50 on which a regular basic pattern is formed. Is configured.

【0291】図13は、本実施態様にかかる双方向走査
スキャナのデータ処理装置のブロックダイアグラムであ
る。
FIG. 13 is a block diagram of a data processing device of the bidirectional scanning scanner according to the present embodiment.

【0292】図13に示されるように、本実施態様にか
かる双方向走査スキャナのデータ処理装置は、さらに、
前記実施態様と同様にして、ジッター補正データ生成用
サンプル80を用いて、補正データ生成部86によって
生成されたジッター補正データを記憶する基準補正デー
タ記憶部95を備えている。
As shown in FIG. 13, the data processing device of the bidirectional scanning scanner according to the present embodiment further comprises:
Similarly to the above-described embodiment, a reference correction data storage unit 95 that stores the jitter correction data generated by the correction data generation unit 86 using the jitter correction data generation sample 80 is provided.

【0293】以上のように構成された本実施態様にかか
る双方向走査スキャナは、以下のようにして、必要に応
じて、ジッター補正データを生成して、補正データ記憶
部87に記憶させるとともに、スライドガラス板を担体
とし、蛍光色素によって選択的に標識された試料の数多
くのスポットが、スライドガラス板上に形成されている
マイクロアレイを、レーザ光4によって走査して、蛍光
色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍光を光電的に
検出して、生化学解析用のデータを生成する。
The bidirectional scanning scanner according to the present embodiment configured as described above generates jitter correction data as necessary and stores it in the correction data storage section 87 as follows. Using a slide glass plate as a carrier, a large number of spots of a sample selectively labeled with a fluorescent dye are scanned by a laser beam 4 on a microarray formed on the slide glass plate to excite the fluorescent dye, Fluorescence emitted from the dye is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis.

【0294】まず、前記実施態様と同様にして、スライ
ドガラス板を担体とした5つのマイクロアレイを保持し
たサンプルキャリア21がサンプルステージ20にセッ
トされる。
First, a sample carrier 21 holding five microarrays using a slide glass plate as a carrier is set on the sample stage 20 in the same manner as in the above embodiment.

【0295】次いで、必要に応じて、ユーザーによっ
て、キーボード73に、補正データ生成用サンプル走査
信号が入力される。
Next, a user inputs a correction data generation sample scanning signal to the keyboard 73 as necessary.

【0296】本実施態様においては、前記実施態様と同
様にして、あらかじめ、ジッター補正データ生成用サン
プル80を用いて、補正データ生成部86により、ジッ
ター補正データが生成され、基準補正データ記憶部95
に記憶されているので、必要に応じて、新たに、ジッタ
ー補正データが生成され、新たに、ジッター補正データ
を生成しないときは、基準補正データ記憶部95に記憶
されているジッター補正データに基づいて、サンプル2
2のディジタルデータが補正されるように構成されてい
る。
In this embodiment, similarly to the above embodiment, the jitter correction data is generated in advance by the correction data generation unit 86 using the jitter correction data generation sample 80, and the reference correction data storage unit 95 is used.
Therefore, if necessary, new jitter correction data is generated. If no new jitter correction data is generated, the jitter correction data is stored in the reference correction data storage unit 95 based on the jitter correction data. And sample 2
The second digital data is configured to be corrected.

【0297】したがって、ユーザーが、キーボード73
に、補正データ生成用サンプル走査信号が入力したとき
に限って、ジッター補正データが生成される。
Therefore, the user operates the keyboard 73
Then, the jitter correction data is generated only when the correction data generation sample scanning signal is input.

【0298】入力された補正データ生成用サンプル走査
信号は、コントロールユニット75に出力され、補正デ
ータ生成用サンプル走査信号を受けると、コントロール
ユニット75は、フィルタユニットモータ71に駆動信
号を出力して、フィルタユニット27を蛍光あるいは輝
尽光25の光路から退避させるとともに、切り換え部材
モータ72に駆動信号を出力して、ピンホール32aが
蛍光25の光路内に位置するように、共焦点切り換え部
材31を移動させる。
The input correction data generation sample scanning signal is output to the control unit 75. Upon receiving the correction data generation sample scanning signal, the control unit 75 outputs a driving signal to the filter unit motor 71, The filter unit 27 is retracted from the optical path of the fluorescence or stimulating light 25, and a driving signal is output to the switching member motor 72 so that the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a is positioned in the optical path of the fluorescence 25. Move.

【0299】補正データ生成用サンプル走査信号は、同
時に、コントロールユニット75からデータ処理装置3
5に出力される。
At the same time, the control unit 75 sends the correction data generation sample scanning signal to the data processing device 3.
5 is output.

【0300】次いで、コントロールユニット75は、副
走査用モータ47に駆動信号を出力して、サンプルキャ
リア21を構成するフレーム体50の一方の側部50a
の表面に形成された規則的な基本濃淡パターン90に、
レーザ光4が照射可能なように、サンプルキャリア21
がセットされたサンプルステージ20を移動させ、その
後、第1のレーザ励起光源1を起動させて、640nm
のレーザ光4を放出させる。
Next, the control unit 75 outputs a drive signal to the sub-scanning motor 47, so that one side 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21 is provided.
The regular basic shading pattern 90 formed on the surface of
The sample carrier 21 is irradiated so that the laser beam 4 can be irradiated.
Is moved, and then the first laser excitation light source 1 is started to operate at 640 nm.
Is emitted.

【0301】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, and then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0302】光学ヘッド15に入射したレーザ光4は、
ミラー16によって反射され、穴明きミラー18に形成
された穴17を通過して、レンズ19によって集光さ
れ、サンプルステージ20にセットされたサンプルキャ
リア21を構成するフレーム体50の一方の側部50a
の表面に形成された規則的な基本濃淡パターン90に入
射する。
The laser beam 4 incident on the optical head 15 is
One side of the frame body 50 that is reflected by the mirror 16, passes through the hole 17 formed in the perforated mirror 18, is condensed by the lens 19, and forms the sample carrier 21 set on the sample stage 20. 50a
Is incident on the regular basic shading pattern 90 formed on the surface of.

【0303】サンプルキャリア21を構成するフレーム
体50の一方の側部50aの表面に形成された規則的な
基本濃淡パターン90に入射したレーザ光4は、サンプ
ルキャリア21の表面によって反射されて、規則的な基
本濃淡パターン90に応じた光量の反射光が生成され
る。
The laser beam 4 incident on the regular basic shading pattern 90 formed on the surface of the one side portion 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21 is reflected by the surface of the sample carrier 21, The amount of reflected light is generated in accordance with the basic gray scale pattern 90.

【0304】規則的な基本濃淡パターン90が形成され
たサンプルキャリア21の表面によって反射されたレー
ザ光4は、レンズ19によって、平行な光とされ、穴明
きミラー18によって反射される。
The laser light 4 reflected by the surface of the sample carrier 21 on which the regular basic shading pattern 90 is formed is converted into parallel light by the lens 19 and reflected by the perforated mirror 18.

【0305】ここに、フィルタユニット27は、蛍光あ
るいは輝尽光25の光路から退避した状態に保持されて
いるので、規則的な基本濃淡パターン90が形成された
サンプルキャリア21の表面によって反射されたレーザ
光4は、ミラー29によって反射され、レンズ30によ
って、結像される。
Here, since the filter unit 27 is held in a state of being retracted from the optical path of the fluorescence or stimulating light 25, the light is reflected by the surface of the sample carrier 21 on which the regular basic shading pattern 90 is formed. The laser light 4 is reflected by the mirror 29 and is imaged by the lens 30.

【0306】レーザ光4の照射に先立って、共焦点切り
換え部材31が、最も径の小さいピンホール32aが光
路内に位置するように移動されているため、規則的な基
本濃淡パターン90が形成されたサンプルキャリア21
の表面によって反射されたレーザ光4が、ピンホール3
2a上に結像され、フォトマルチプライア33によっ
て、光電的に検出されて、アナログデータが生成され
る。
Prior to the irradiation of the laser beam 4, the confocal switching member 31 is moved so that the pinhole 32a having the smallest diameter is located in the optical path, so that a regular basic light and shade pattern 90 is formed. Sample carrier 21
The laser beam 4 reflected by the surface of the pinhole 3
An image is formed on 2a, and is photoelectrically detected by the photomultiplier 33 to generate analog data.

【0307】このように、共焦点光学系を用いて、規則
的な基本濃淡パターン90が形成されたサンプルキャリ
ア21の表面によって反射されたレーザ光4をフォトマ
ルチプライア33に導いて、光電的に検出しているの
で、データ中のノイズを最小に抑えることが可能にな
る。
As described above, by using the confocal optical system, the laser beam 4 reflected by the surface of the sample carrier 21 on which the regular basic density pattern 90 is formed is guided to the photomultiplier 33 and photoelectrically. Since detection is performed, noise in data can be minimized.

【0308】フォトマルチプライア33によって生成さ
れたアナログデータはA/D変換器34によって、ディ
ジタルデータに変換され、データ処理装置35に送られ
る。
The analog data generated by the photomultiplier 33 is converted into digital data by the A / D converter 34 and sent to the data processing device 35.

【0309】サンプルステージ20が、主走査用モータ
43によって、主走査方向に、一往復分だけ移動される
とともに、副走査用モータ47によって、副走査方向に
移動されると、サンプルキャリア21を構成するフレー
ム体50の一方の側部50aの表面に形成された規則的
な基本濃淡パターン90が、レーザ光4によって、一往
復分だけ、走査され、サンプルキャリア21の表面に形
成された規則的な基本濃淡パターン90によって反射さ
れたレーザ光4が、フォトマルチプライア33によって
光電的に検出されて、規則的な基本濃淡パターンのアナ
ログデータが生成され、A/D変換器34によってディ
ジタル化されて、規則的な基本濃淡パターンのディジタ
ルデータが生成される。
When the sample stage 20 is moved by one reciprocation in the main scanning direction by the main scanning motor 43 and is moved in the sub scanning direction by the sub scanning motor 47, the sample carrier 21 is formed. The regular basic shading pattern 90 formed on the surface of the one side portion 50 a of the frame body 50 is scanned by the laser light 4 for one reciprocation, and the regular basic shading pattern 90 formed on the surface of the sample carrier 21 is formed. The laser beam 4 reflected by the basic gray scale pattern 90 is photoelectrically detected by the photomultiplier 33, and analog data of a regular basic gray scale pattern is generated and digitized by the A / D converter 34. Digital data of a regular basic shading pattern is generated.

【0310】したがって、サンプルキャリア21の表面
に形成された規則的な基本濃淡パターン90が、レーザ
光4によって、一往復分だけ、走査されると、規則的な
基本濃淡パターン90の第1ライン目のディジタルデー
タと、規則的な基本濃淡パターン90の第2ライン目の
ディジタルデータが生成され、データ処理装置35に送
られる。
Therefore, when the regular basic gray pattern 90 formed on the surface of the sample carrier 21 is scanned by the laser beam 4 for one reciprocation, the first line of the regular basic gray pattern 90 And the digital data of the second line of the regular basic shading pattern 90 are generated and sent to the data processor 35.

【0311】規則的な基本濃淡パターン90の第1ライ
ン目のディジタルデータと、規則的な基本濃淡パターン
90の第2ライン目のディジタルデータが生成され、デ
ータ処理装置35に送られると、コントロールユニット
75は、第1のレーザ励起光源1をオフさせて、データ
処理装置35に、ジッター補正データ生成信号を出力す
る。
When the digital data of the first line of the regular basic gradation pattern 90 and the digital data of the second line of the regular basic gradation pattern 90 are generated and sent to the data processing unit 35, the control unit The reference numeral 75 turns off the first laser excitation light source 1 and outputs a jitter correction data generation signal to the data processing device 35.

【0312】コントロールユニット75からデータ処理
装置35に、補正データ生成用サンプル走査信号が入力
されているときは、A/D変換器34から入力され、デ
ータ記憶部85に記憶されたディジタルデータは、補正
データ生成部86に出力される。
When the sample scanning signal for generating correction data is input from the control unit 75 to the data processor 35, the digital data input from the A / D converter 34 and stored in the data storage unit 85 is The correction data is output to the correction data generator 86.

【0313】データ処理装置35の補正データ生成部8
6は、コントロールユニット75からジッター補正デー
タ生成信号を受けると、図1ないし図9に示された実施
態様と全く同様にして、図9において、Aで示されるパ
ルス状の曲線の各パルスの立上がり部の位置から、Bで
示されるパルス状の曲線の対応するパルスの立上がり部
の位置が偏倚している偏倚量Δxiの和を求め、すべて
のパルスの偏倚量Δxiの和が最小になるように、Bで
示されるパルス状の曲線を、図9において、X方向に平
行移動させ、すべてのパルスの偏倚量Δxiの和が最小
になる平行移動量を、ディジタルデータのジッターを補
正するために用いるジッター補正データとして、決定
し、補正データ記憶部87に記憶させる。
The correction data generator 8 of the data processor 35
6 receives the jitter correction data generation signal from the control unit 75, and in the same manner as the embodiment shown in FIGS. 1 to 9, the rising of each pulse of the pulse-shaped curve indicated by A in FIG. From the position of the portion, the sum of the deviations Δxi at which the positions of the rising portions of the corresponding pulses of the pulse-shaped curve indicated by B are deviated is determined, and the sum of the deviations Δxi of all the pulses is minimized. , B are translated in the X direction in FIG. 9, and the translation amount that minimizes the sum of the deviation amounts Δxi of all the pulses is used to correct the jitter of the digital data. The data is determined as jitter correction data and stored in the correction data storage unit 87.

【0314】本実施態様においても、主走査用モータ4
3は、サンプルステージ20を、200mm/秒、40
0mm/秒あるいは800mm/秒の速度で、5ミクロ
ン、10ミクロン、20ミクロン、50ミクロンあるい
は100ミクロンの画素ピッチで移動可能に構成されて
おり、コントロールユニット75は、5ミクロンの画素
ピッチで、サンプルステージ20を、それぞれ、200
mm/秒、400mm/秒および800mm/秒の速度
で、主走査方向に移動させて、ジッター補正データを生
成して、補正データ記憶部87に記憶させ、10ミクロ
ン、20ミクロン、50ミクロンあるいは100ミクロ
ンの画素ピッチで、サンプルステージ20を移動させる
場合には、データ処理部88が、5ミクロンの画素ピッ
チで、サンプルステージ20を対応する主走査速度で、
主走査方向に移動させて、生成され、補正データ記憶部
87に記憶されているジッター補正データに、所定の補
正係数を乗じて、データのジッター補正に使用するよう
に構成されている。
In this embodiment, the main scanning motor 4
3 is a sample stage 20 at 200 mm / sec.
The control unit 75 is configured to be movable at a pixel pitch of 5 microns, 10 microns, 20 microns, 50 microns or 100 microns at a speed of 0 mm / sec or 800 mm / sec. Stage 20 is 200
It is moved in the main scanning direction at speeds of mm / sec, 400 mm / sec, and 800 mm / sec to generate jitter correction data, store it in the correction data storage unit 87, and store it in 10 μm, 20 μm, 50 μm or 100 μm. When the sample stage 20 is moved at a pixel pitch of microns, the data processing unit 88 moves the sample stage 20 at a pixel pitch of 5 microns at a corresponding main scanning speed.
It is configured to move in the main scanning direction, multiply the jitter correction data generated and stored in the correction data storage unit 87 by a predetermined correction coefficient, and use the data for jitter correction of the data.

【0315】こうして、ジッター補正データが、補正デ
ータ記憶部87に記憶されると、ユーザーによって、キ
ーボード73にスタート信号が入力される。
[0315] When the jitter correction data is stored in the correction data storage section 87 in this way, a start signal is input to the keyboard 73 by the user.

【0316】スタート信号は、コントロールユニット7
5に出力され、コントロールユニット75は、スタート
信号を受けると、サンプルステージ20を元の位置に復
帰させるとともに、キャリアセンサ70に、サンプルキ
ャリア検出し実施例信号を出力して、サンプルキャリア
21の種類が検出させ、キャリア検出信号を、コントロ
ールユニット75に出力させる。
The start signal is sent to the control unit 7
5, when the control unit 75 receives the start signal, returns the sample stage 20 to the original position, detects the sample carrier and outputs an example signal to the carrier sensor 70, and outputs the type of the sample carrier 21. Is detected, and the control unit 75 outputs a carrier detection signal.

【0317】次いで、ユーザーにより、標識物質である
蛍光物質の種類が、キーボード73に入力されると、キ
ーボード73から指示信号がコントロールユニット75
に出力される。
Next, when the type of the fluorescent substance as the labeling substance is input to the keyboard 73 by the user, an instruction signal is sent from the keyboard 73 to the control unit 75.
Is output to

【0318】標識物質である蛍光物質の種類として、た
とえば、Cy−5(登録商標)が入力されると、コント
ロールユニット75は、入力された指示信号にしたがっ
て、フィルタユニットモータ71に駆動信号を出力し
て、フィルタユニット27を移動させ、640nmの波
長の光をカットし、640nmよりも波長の長い光を透
過する性質を有するフィルタ28aを光路内に位置させ
るとともに、第1のレーザ励起光源1に駆動信号を出力
して、オンさせる。
When Cy-5 (registered trademark) is input as a type of fluorescent substance as a labeling substance, the control unit 75 outputs a drive signal to the filter unit motor 71 in accordance with the input instruction signal. Then, the filter unit 27 is moved to cut light having a wavelength of 640 nm, and a filter 28 a having a property of transmitting light having a wavelength longer than 640 nm is located in the optical path. A drive signal is output and turned on.

【0319】第1のレーザ励起光源1から発せられたレ
ーザ光4は、コリメータレンズ5によって、平行な光と
された後、ミラー6によって反射され、第1のダイクロ
イックミラー7および第2のダイクロイックミラー8を
透過して、光学ヘッド15に入射する。
The laser light 4 emitted from the first laser excitation light source 1 is converted into parallel light by a collimator lens 5, then reflected by a mirror 6, and is reflected by a first dichroic mirror 7 and a second dichroic mirror. 8 and enter the optical head 15.

【0320】こうして、前記実施態様と全く同様にし
て、サンプルステージ20にセットされたサンプルキャ
リア21に保持された5つのマイクロアレイが、レーザ
光4によって、順次、走査され、蛍光色素が励起され
て、蛍光色素から放出された蛍光が光電的に検出され、
生化学解析用のディジタルデータが生成される。
Thus, in the same manner as in the above embodiment, the five microarrays held on the sample carrier 21 set on the sample stage 20 are sequentially scanned by the laser light 4 to excite the fluorescent dye, The fluorescence emitted from the fluorescent dye is detected photoelectrically,
Digital data for biochemical analysis is generated.

【0321】本実施態様においては、サンプル22のデ
ィジタルデータの生成に先立って、ユーザーが、キーボ
ード73に、補正データ生成用サンプル走査信号を入力
し、サンプルキャリア21のフレーム体50の一方の側
面50aに形成された規則的な基本濃淡パターン90に
したがって、ジッター補正データが生成されたときは、
データ処理部88によって、補正データ記憶部87に記
憶された新たなジッター補正データに基づいて、図1な
いし図9に示された実施態様と全く同様にして、サンプ
ル22のディジタルデータ中のジッターが補正される。
In this embodiment, prior to generation of digital data of the sample 22, the user inputs a correction data generation sample scanning signal to the keyboard 73, and the one side surface 50a of the frame body 50 of the sample carrier 21. When the jitter correction data is generated in accordance with the regular basic shading pattern 90 formed in
The data processing unit 88 reduces the jitter in the digital data of the sample 22 based on the new jitter correction data stored in the correction data storage unit 87 in exactly the same manner as the embodiment shown in FIGS. Will be corrected.

【0322】他方、ユーザーが、キーボード73に、補
正データ生成用サンプル走査信号を入力せず、サンプル
22のディジタルデータの生成に先立って、サンプルキ
ャリア21のフレーム体50の一方の側面50aに形成
された規則的な基本濃淡パターン90にしたがって、新
たなジッター補正データが生成されないときは、データ
処理部88は、前記実施態様と全く同様にして、補正デ
ータ生成用のサンプル80を用いて、補正データ生成部
86によって生成され、基準補正データ記憶部95に記
憶されているジッター補正データに基づいて、図1ない
し図9に示された実施態様と全く同様にして、サンプル
22のディジタルデータ中のジッターを補正する。
On the other hand, the user does not input the correction data generating sample scanning signal to the keyboard 73, and is formed on one side surface 50a of the frame body 50 of the sample carrier 21 prior to generating the digital data of the sample 22. When no new jitter correction data is generated according to the regular basic shading pattern 90, the data processing unit 88 uses the correction data generation sample 80 to perform correction data generation in the same manner as in the above embodiment. Based on the jitter correction data generated by the generation unit 86 and stored in the reference correction data storage unit 95, the jitter in the digital data of the sample 22 is exactly the same as in the embodiment shown in FIGS. Is corrected.

【0323】本実施態様によれば、サンプル22のディ
ジタルデータの生成に先立って、必要に応じて、ジッタ
ー補正データを生成して、サンプル22のディジタルデ
ータ中のジッターを補正することができるから、タイミ
ングベルト45に伸びが、経時的に変化し、発生するジ
ッターが異なるようになった場合にも、サンプル22の
ディジタルデータ中のジッターを最小化することが可能
になる。本発明は、以上の実施態様に限定されることな
く、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の
変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含され
るものであることはいうまでもない。
According to the present embodiment, before the digital data of the sample 22 is generated, the jitter in the digital data of the sample 22 can be corrected by generating the jitter correction data as necessary. Even when the elongation of the timing belt 45 changes with time and the generated jitter becomes different, the jitter in the digital data of the sample 22 can be minimized. The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims, which are also included in the scope of the present invention. Needless to say.

【0324】たとえば、図12および図13に示された
実施態様においては、ユーザーが、キーボード73に、
補正データ生成用サンプル走査信号およびジッター補正
データ生成信号を入力することによって、ジッター補正
データが生成されるように構成されているが、スタート
信号が入力されたときに、自動的に、ジッター補正デー
タが生成され、次いで、サンプル22のディジタルが生
成されるように構成することもできる。
For example, in the embodiment shown in FIG. 12 and FIG.
It is configured to generate the jitter correction data by inputting the correction data generation sample scanning signal and the jitter correction data generation signal. However, when the start signal is input, the jitter correction data is automatically generated. Is generated, and then a digital of the sample 22 is generated.

【0325】さらに、図12および図13に示された実
施態様においては、サンプルキャリア21を構成するフ
レーム体50の一方の側面50aの一部に、規則的な基
本濃淡パターン90を形成しているが、サンプルキャリ
ア21に保持されたサンプル22にレーザ光4を照射す
る際に、支障がなければ、規則的な基本濃淡パターン9
0は、サンプルキャリア21の任意の位置に形成するこ
とができ、サンプルキャリア21を構成するフレーム体
50の一方の側面50aの一部に、規則的な基本パター
ン90を形成することは必ずしも必要がなく、さらに
は、たとえば、光学ヘッド15側のサンプルステージ2
0のサンプルキャリア21が載置される部分の外側に、
規則的な基本濃淡パターン90を形成するなど、双方向
走査スキャナ自体に、規則的な基本濃淡パターン90を
形成し、必要に応じて、ジッター補正データを生成する
ようにしてもよい。
Further, in the embodiment shown in FIGS. 12 and 13, a regular basic shading pattern 90 is formed on a part of one side face 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21. However, when the sample 22 held on the sample carrier 21 is irradiated with the laser beam 4, if there is no problem, the regular
0 can be formed at any position of the sample carrier 21, and it is not always necessary to form a regular basic pattern 90 on a part of one side surface 50 a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21. And, for example, the sample stage 2 on the optical head 15 side.
Outside the portion where the 0 sample carrier 21 is placed,
For example, a regular basic gray pattern 90 may be formed in the bidirectional scanning scanner itself, such as forming a regular basic gray pattern 90, and jitter correction data may be generated as necessary.

【0326】また、前記実施態様においては、5ミクロ
ンの画素ピッチで、サンプルステージ20を、それぞ
れ、200mm/秒、400mm/秒および800mm
/秒の速度で、主走査方向に移動させて、ジッター補正
データを生成し、10ミクロン、20ミクロン、50ミ
クロンあるいは100ミクロンの画素ピッチで、サンプ
ルステージ20を移動させる場合には、対応する主走査
速度のジッター補正データに補正係数を乗じて、補正
し、補正されたジッター補正データを用いて、サンプル
のディジタルデータのジッター補正を実行しているが、
各主走査速度および各画素ピッチごとに、ジッター補正
データを生成し、補正データ記憶部87あるいは基準補
正データ記憶部95に記憶させ、主走査速度および画素
ピッチに応じて、対応するジッター補正データを読み出
して、サンプルのディジタルのジッター補正を実行する
ように構成することもできる。
In the above embodiment, the sample stage 20 was moved at a pixel pitch of 5 μm to 200 mm / sec, 400 mm / sec and 800 mm / sec, respectively.
When the sample stage 20 is moved at a pixel pitch of 10 μm, 20 μm, 50 μm or 100 μm by moving the sample stage 20 at a pixel pitch of 10 μm, 20 μm, 50 μm or 100 μm, The jitter correction data of the scanning speed is multiplied by a correction coefficient, corrected, and the jitter correction of the digital data of the sample is performed using the corrected jitter correction data.
For each main scanning speed and each pixel pitch, jitter correction data is generated and stored in the correction data storage unit 87 or the reference correction data storage unit 95, and the corresponding jitter correction data is stored in accordance with the main scanning speed and the pixel pitch. It can also be configured to read out and perform digital jitter correction of the sample.

【0327】さらに、前記実施態様においては、5ミク
ロンの画素ピッチで、サンプルステージ20を、それぞ
れ、200mm/秒、400mm/秒および800mm
/秒の速度で、主走査方向に移動させて、ジッター補正
データを生成しているが、たとえば、5ミクロンの画素
ピッチで、サンプルステージ20を、200mm/秒の
速度で、主走査方向に移動させて、ジッター補正データ
を生成して、補正データ記憶部87あるいは基準補正デ
ータ記憶部95に記憶させ、400mm/秒あるいは8
00mm/秒の速度で、サンプルステージ20を移動さ
せる場合には、補正データ記憶部87あるいは基準補正
データ記憶部95に記憶されたジッター補正データに補
正係数を乗じて、補正し、補正されたジッター補正デー
タを用いて、サンプルのディジタルデータのジッター補
正を実行するように構成することもできる。
Further, in the above embodiment, the sample stage 20 was moved at 200 mm / sec, 400 mm / sec and 800 mm / pixel at a pixel pitch of 5 μm, respectively.
The jitter correction data is generated by moving the sample stage 20 in the main scanning direction at a speed of 200 mm / sec at a pixel pitch of 5 microns. Then, jitter correction data is generated and stored in the correction data storage unit 87 or the reference correction data storage unit 95, and the jitter correction data is stored at 400 mm / sec or 8 mm.
When the sample stage 20 is moved at a speed of 00 mm / sec, the jitter is corrected by multiplying the jitter correction data stored in the correction data storage unit 87 or the reference correction data storage unit 95 by a correction coefficient. The correction data may be used to perform jitter correction of the sample digital data.

【0328】また、図10および図11に示された実施
態様においては、マイクロアレイと実質的に同じサイズ
を有し、その全面に、規則的な基本パターンが形成され
たジッター補正データ生成用サンプル80を用いて、サ
ンプル22のディジタルデータのすべての偶数ラインを
補正可能なジッター補正データを生成しているが、副走
査方向の移動ピッチを大きくして、4以上のラインを有
するサンプル22のディジタルデータのデータ領域ごと
に、ジッター補正データを生成し、補正データ記憶部8
7あるいは基準補正データ記憶部95に記憶させ、サン
プル22のディジタルデータの領域ごとに、異なるジッ
ター補正データを用いて、サンプル22のディジタルデ
ータのジッター補正を実行するように、構成することも
できる。
In the embodiment shown in FIGS. 10 and 11, the jitter correction data generation sample 80 has substantially the same size as the microarray and has a regular basic pattern formed on the entire surface. Is used to generate jitter correction data capable of correcting all even lines of the digital data of the sample 22, but by increasing the moving pitch in the sub-scanning direction, the digital data of the sample 22 having four or more lines The jitter correction data is generated for each data area of
7 or the reference correction data storage unit 95, and the jitter correction of the digital data of the sample 22 may be performed by using different jitter correction data for each area of the digital data of the sample 22.

【0329】さらに、図12および図13に示された実
施態様においては、基準補正データ記憶部95には、ジ
ッター補正データ生成用サンプル80に基づいて生成さ
れ、たジッター補正データが記憶され、サンプル22の
ディジタルデータの生成に先立って、サンプルキャリア
21のフレーム体50の一方の側面50aに形成された
規則的な基本濃淡パターン90にしたがって、ジッター
補正データが生成されないときは、ジッター補正データ
生成用サンプル80に基づいて生成され、基準補正デー
タ記憶部95に記憶されているジッター補正データに基
づいて、サンプル22のディジタルデータ中のジッター
が補正されるように構成されているが、サンプル22の
ディジタルデータの生成に先立って、サンプルキャリア
21のフレーム体50の一方の側面50aに形成された
規則的な基本濃淡パターン90にしたがって、ジッター
補正データが生成されるたびに、生成されたジッター補
正データによって、基準補正データ記憶部95に記憶さ
れているジッター補正データを上書きするように構成す
ることもできる。
Further, in the embodiment shown in FIGS. 12 and 13, the reference correction data storage section 95 stores the jitter correction data generated based on the jitter correction data generation sample 80, and stores the sample. Prior to generation of the digital data of the sample carrier 22, when the jitter correction data is not generated according to the regular basic shading pattern 90 formed on one side surface 50a of the frame body 50 of the sample carrier 21, the jitter correction data The jitter in the digital data of the sample 22 is corrected based on the jitter correction data generated based on the sample 80 and stored in the reference correction data storage unit 95. Prior to data generation, the frame body of the sample carrier 21 0, each time the jitter correction data is generated in accordance with the regular basic shading pattern 90 formed on the one side surface 50a, the generated jitter correction data is used to store the jitter stored in the reference correction data storage unit 95. It is also possible to configure so as to overwrite the correction data.

【0330】また、前記実施態様においては、共焦点切
り換え部材31には、3つの径の異なるピンホール32
a、32b、32cが形成され、蛍光色素によって選択
的に標識された試料の数多くのスポットが、スライドガ
ラス板上に形成されているマイクロアレイを、レーザ光
4によって走査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から
放出された蛍光を光電的に検出して、生化学解析用のデ
ータを生成するときには、ピンホール32aが、輝尽性
蛍光体層を露光して得た放射性標識物質の位置情報が記
録された蓄積性蛍光体シートの輝尽性蛍光体層を、レー
ザ光4によって走査して、輝尽性蛍光体を励起し、輝尽
性蛍光体から放出された輝尽光を光電的に検出して、生
化学解析用のデータを生成するときには、ピンホール3
2bが、ゲル支持体上で、電気泳動され、蛍光色素によ
って選択的に標識された試料を含んだゲル支持体を担体
とする蛍光サンプルを、レーザ光4によって走査して、
蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍光を光電
的に検出して、生化学解析用のデータを生成するときに
は、ピンホール32cが、それぞれ、用いられている
が、共焦点切り換え部材31に、ピンホール32a、3
2bのみを形成し、蛍光色素によって選択的に標識され
た試料の数多くのスポットが、スライドガラス板上に形
成されているマイクロアレイを、レーザ光4によって走
査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放出された蛍
光を光電的に検出して、生化学解析用のデータを生成す
るときには、ピンホール32aを介して、蛍光25を受
光し、輝尽性蛍光体層から放出された輝尽光25を光電
的に検出して、生化学解析用のデータを生成するときに
は、ピンホール32bを介して、輝尽光を受光し、ゲル
支持体から放出された蛍光25を光電的に検出して、生
化学解析用のデータを生成するときには、共焦点切り換
え部材31を、蛍光25の光路から退避させ、フォトマ
ルチプライア33の受光光量が増大するように構成する
こともできるし、また、共焦点切り換え部材31に、ピ
ンホール32aのみを形成し、蛍光色素によって選択的
に標識された試料の数多くのスポットが、スライドガラ
ス板上に形成されているマイクロアレイを、レーザ光4
によって走査して、蛍光色素を励起し、蛍光色素から放
出された蛍光を光電的に検出して、生化学解析用のデー
タを生成するときにのみ、ピンホール32aを介して、
蛍光25を受光し、輝尽性蛍光体層から放出された輝尽
光25を光電的に検出して、生化学解析用のデータを生
成するときおよびゲル支持体から放出された蛍光25を
光電的に検出して、生化学解析用のデータを生成すると
きには、共焦点切り換え部材31を、蛍光25の光路か
ら退避させ、フォトマルチプライア33の受光光量が増
大するように構成することもできる。
Also, in the above embodiment, the confocal switching member 31 has three pinholes 32 having different diameters.
a, 32b, 32c are formed and a number of spots of the sample selectively labeled with a fluorescent dye are scanned by a laser beam 4 on a microarray formed on a slide glass plate to excite the fluorescent dye. When the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis, the pinhole 32a is provided with the position information of the radiolabeled substance obtained by exposing the stimulable phosphor layer. The stimulable phosphor layer of the stimulable phosphor sheet on which is recorded is scanned by the laser light 4 to excite the stimulable phosphor, and the stimulable phosphor emitted from the stimulable phosphor is photoelectrically irradiated. To generate data for biochemical analysis,
2b is electrophoresed on the gel support and scans with a laser light 4 a fluorescent sample using a gel support containing a sample selectively labeled with a fluorescent dye,
When the fluorescent dye is excited and the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected to generate data for biochemical analysis, the pinholes 32c are used, but the confocal switching member 31 is used. And pinholes 32a, 3
A large number of spots of the sample which form only 2b and are selectively labeled with a fluorescent dye are scanned by a laser beam 4 on a microarray formed on a slide glass plate to excite the fluorescent dye, When photoelectrically detecting the fluorescence emitted from the phosphor and generating data for biochemical analysis, the fluorescence 25 is received via the pinhole 32a, and the stimulable luminescence emitted from the stimulable phosphor layer is emitted. When photoelectrically detecting 25 and generating data for biochemical analysis, the photostimulable light is received via the pinhole 32b, and the fluorescence 25 emitted from the gel support is photoelectrically detected. When generating data for biochemical analysis, the confocal switching member 31 may be retracted from the optical path of the fluorescent light 25 to increase the amount of light received by the photomultiplier 33, And, a confocal switching member 31, only to form pinholes 32a, a number of spots of selectively labeled sample by fluorescent dye, a microarray formed on a slide glass plate, the laser beam 4
By scanning, the fluorescent dye is excited, the fluorescence emitted from the fluorescent dye is photoelectrically detected, and only when data for biochemical analysis is generated, via the pinhole 32a,
The fluorescent light 25 is received, and the photostimulable light 25 emitted from the stimulable phosphor layer is photoelectrically detected to generate the data for biochemical analysis, and the fluorescent light 25 emitted from the gel support is photoelectrically detected. When the data for biochemical analysis is to be detected and detected, the confocal switching member 31 can be retracted from the optical path of the fluorescent light 25 so that the amount of light received by the photomultiplier 33 can be increased.

【0331】さらに、図1ないし図9に示された実施態
様および図10および図11に示された実施態様におい
ては、色ガラスフィルタの表面に、クロム蒸着膜81を
形成して、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンを
有するジッター補正データ生成用部材80を生成してい
るが、レーザ光4の照射を受けたときに、励起されて、
蛍光を発する蛍光物質の規則的な基本パターンが形成さ
れていればよく、色ガラスフィルタの表面に、クロム蒸
着膜81を形成して、色ガラスフィルタの規則的な基本
パターンを形成することは必ずしも必要でない。
Further, in the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 and the embodiments shown in FIGS. 10 and 11, a chromium vapor-deposited film 81 is formed on the surface of the color glass filter to form the color glass filter. Generates the jitter correction data generating member 80 having a regular basic pattern of, but when it is irradiated with the laser beam 4, it is excited,
It is sufficient that a regular basic pattern of a fluorescent substance that emits fluorescence is formed, and it is not always necessary to form the chromium deposited film 81 on the surface of the color glass filter to form the regular basic pattern of the color glass filter. Not necessary.

【0332】また、図1ないし図9に示された実施態様
および図10および図11に示された実施態様において
は、色ガラスフィルタの表面に、クロム蒸着膜81を形
成して、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンを有
するジッター補正データ生成用部材80を生成し、図1
2および図13に示された実施態様においては、サンプ
ルキャリア21を構成するフレーム体50の一方の側面
50aの一部に、規則的な基本濃淡パターン90を形成
して、これによって、ジッター補正データ生成用部材8
0を構成しているが、図1ないし図9に示された実施態
様および図10および図11に示された実施態様におい
て、色ガラスフィルタの表面に、クロム蒸着膜81を形
成して、色ガラスフィルタの規則的な基本パターンを有
するジッター補正データ生成用部材80を用いる代わり
に、図12および図13に示された実施態様と同様に、
規則的な基本濃淡パターンが形成されたジッター補正デ
ータ生成用部材80を用いて、ジッター補正データ生成
用部材80の表面から反射されたレーザ光4を光電的に
検出して、ジッター補正データを生成するように構成す
ることもでき、さらに、図12および図13に示された
実施態様において、サンプルキャリア21を構成するフ
レーム体50の一方の側面50aの一部に、規則的な基
本濃淡パターン90を形成する代わりに、サンプルキャ
リア21を構成するフレーム体50の一方の側面50a
の一部に、たとえば、蛍光物質層を形成し、蛍光物質層
の表面に、クロム蒸着膜81を形成することによって、
蛍光物質の規則的な基本パターンを形成し、蛍光物質の
規則的な基本パターンから放出された蛍光25を光電的
に検出して、ジッター補正データを生成するように構成
することもできる。
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 and the embodiments shown in FIGS. 10 and 11, a chromium vapor-deposited film 81 is formed on the surface of a color glass filter to form a color glass filter. A jitter correction data generation member 80 having a regular basic pattern of FIG.
In the embodiment shown in FIG. 2 and FIG. 13, a regular basic shading pattern 90 is formed on a part of one side face 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21, thereby providing the jitter correction data. Generation member 8
0, but in the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 and the embodiments shown in FIGS. 10 and 11, a chromium vapor-deposited film 81 is formed on the surface of a color glass filter to form a color filter. Instead of using the member 80 for generating jitter correction data having a regular basic pattern of a glass filter, as in the embodiment shown in FIGS.
The jitter correction data is generated by photoelectrically detecting the laser beam 4 reflected from the surface of the jitter correction data generation member 80 using the jitter correction data generation member 80 having the regular basic shading pattern formed thereon. In the embodiment shown in FIGS. 12 and 13, a part of one side surface 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21 is provided with a regular basic gray pattern 90. Is formed, one side surface 50a of the frame body 50 constituting the sample carrier 21 is formed.
For example, by forming a fluorescent material layer on a part of the chromium, and forming a chromium deposited film 81 on the surface of the fluorescent material layer,
It is also possible to form a regular basic pattern of the fluorescent substance, photoelectrically detect the fluorescence 25 emitted from the regular basic pattern of the fluorescent substance, and generate jitter correction data.

【0333】さらに、前記実施態様においては、いずれ
も、双方向走査スキャナは、サンプリングステージ20
が、主走査用モータ43によって、主走査方向に、往復
動されるとともに、副走査用モータ47によって、副走
査方向に移動され、サンプル22の全面が、レーザ光4
によって走査されるように構成されているが、双方向走
査スキャナを、光学ヘッド15が、主走査方向に、往復
動されるとともに、副走査方向に移動されるように構成
し、レーザ光4によって、サンプル22の全面が走査さ
れるように構成することもできる。
Further, in each of the above embodiments, the bidirectional scanning scanner is provided with the sampling stage 20.
Is reciprocated in the main scanning direction by the main scanning motor 43 and is moved in the sub scanning direction by the sub scanning motor 47 so that the entire surface of the sample 22 is
The bidirectional scanning scanner is configured so that the optical head 15 is reciprocated in the main scanning direction and is moved in the sub-scanning direction. , The entire surface of the sample 22 can be scanned.

【0334】[0334]

【発明の効果】本発明によれば、簡易に、かつ、低コス
トで、双方向走査スキャナにおけるジッターを補正する
ことのできるジッターの補正方法、簡易に、かつ、低コ
ストで、ジッターを補正することのできる高分解能の双
方向走査スキャナおよび簡易に、かつ、低コストで、ジ
ッターを補正するための補正データを生成することので
きる双方向走査スキャナ用のサンプルキャリアを提供す
ることが可能になる。
According to the present invention, a jitter correction method capable of correcting jitter in a bidirectional scanning scanner simply and at low cost, and a jitter correction method easily and at low cost. It is possible to provide a high-resolution bidirectional scanning scanner capable of generating a correction data for correcting a jitter easily and at low cost, and a sample carrier for the bidirectional scanning scanner capable of generating correction data for correcting jitter. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の好ましい実施態様にかかる双
方向走査スキャナの略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a bidirectional scanning scanner according to a preferred embodiment of the present invention.

【図2】図2は、マイクロアレイの略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a microarray.

【図3】図3は、共焦点切り換え部材の略正面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic front view of a confocal switching member.

【図4】図4は、サンプルステージの走査機構のうち、
主走査機構の詳細を示す略斜視図である。
FIG. 4 shows a scanning mechanism of a sample stage.
FIG. 3 is a schematic perspective view illustrating details of a main scanning mechanism.

【図5】図5は、スライドガラス板を担体としたマイク
ロアレイを保持し、サンプルステージにセットされるサ
ンプルキャリアの略斜視図であり、サンプルキャリアを
裏面側から、すなわち、サンプルステージに載置される
側から見た図面である。
FIG. 5 is a schematic perspective view of a sample carrier set on a sample stage holding a microarray using a slide glass plate as a carrier. The sample carrier is placed from the back side, that is, placed on the sample stage. It is a drawing viewed from the side where

【図6】図6は、本発明の好ましい実施態様にかかる双
方向走査スキャナの検出系、駆動系、入力系および制御
系を示すブロックダイアグラムである。
FIG. 6 is a block diagram showing a detection system, a drive system, an input system, and a control system of the bidirectional scanning scanner according to the preferred embodiment of the present invention.

【図7】図7は、ジッターを補正するためのジッター補
正データを生成する際に使用されるジッター補正データ
生成用部材の略正面図である。
FIG. 7 is a schematic front view of a member for generating jitter correction data used when generating jitter correction data for correcting jitter.

【図8】図8は、本発明の好ましい実施態様にかかる双
方向走査スキャナのデータ処理装置のブロックダイアグ
ラムである。
FIG. 8 is a block diagram of a data processing device of a bidirectional scanning scanner according to a preferred embodiment of the present invention.

【図9】図9は、レーザ光によって、補正データ生成用
サンプルを、一往復分だけ、走査することによって、色
ガラスフィルタが励起され、色ガラスフィルタの表面か
ら放出された蛍光が、フォトマルチプライアによって光
電的に検出され、A/D変換器によって、ディジタル化
されて、データ処理装置の補正データ生成部に入力され
た基準パターンのディジタルデータを画像化した図面で
ある。
FIG. 9 is a diagram showing an example in which a correction data generation sample is scanned by a laser beam for one round trip so that a color glass filter is excited, and fluorescence emitted from the surface of the color glass filter is photomultiplied. 5 is a diagram in which digital data of a reference pattern, which is photoelectrically detected by a prior, is digitized by an A / D converter, and input to a correction data generation unit of the data processing device, is imaged.

【図10】図10は、本発明の別の好ましい実施態様に
かかる双方向走査スキャナにおいて、ジッター補正デー
タを生成するために用いられるジッター補正データ生成
用部材の略正面図である。
FIG. 10 is a schematic front view of a member for generating jitter correction data used for generating jitter correction data in a bidirectional scanning scanner according to another preferred embodiment of the present invention.

【図11】図11は、レーザ光によって、補正データ生
成用サンプルを走査することによって、色ガラスフィル
タが励起され、色ガラスフィルタの表面から放出された
蛍光が、フォトマルチプライアによって光電的に検出さ
れ、A/D変換器によって、ディジタル化されて、デー
タ処理装置の補正データ生成部に入力された基準パター
ンの(2N−1)目と2N番目のラインのディジタルデ
ータを画像化した図面である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration in which a color glass filter is excited by scanning a correction data generation sample with laser light, and fluorescence emitted from the surface of the color glass filter is photoelectrically detected by a photomultiplier; The digital data of the (2N-1) -th and 2N-th lines of the reference pattern, which are digitized by the A / D converter and input to the correction data generation unit of the data processing device, are imaged. .

【図12】図12は、本発明の他の好ましい実施態様に
かかる双方向走査スキャナのサンプルステージにセット
されるサンプルキャリアの略斜視図である。
FIG. 12 is a schematic perspective view of a sample carrier set on a sample stage of a bidirectional scanning scanner according to another preferred embodiment of the present invention.

【図13】図13は、本発明の他の好ましい実施態様に
かかる双方向走査スキャナのデータ処理装置のブロック
ダイアグラムである。
FIG. 13 is a block diagram of a data processing device of a bidirectional scanning scanner according to another preferred embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1のレーザ励起光源 2 第2のレーザ励起光源 3 第3のレーザ励起光源 4 レーザ光 5 コリメータレンズ 6 ミラー 7 第1のダイクロイックミラー 8 第2のダイクロイックミラー 9 コリメータレンズ 10 コリメータレンズ 15 光学ヘッド 16 ミラー 17 穴 18 穴明きミラー 19 レンズ 20 サンプルステージ 21 サンプルキャリア 22 サンプル 23 滴下されたcDNA 25 蛍光または輝尽光 27 フィルタユニット 28a、28b、28c、28d フィルタ 29 ミラー 30 レンズ 31 共焦点切り換え部材 32a、32b、32c、32d、32e ピンホール 33 フォトマルチプライア 34 A/D変換器 35 データ処理装置 40 可動基板 41、41 一対のガイドレール 42 スライド部材 43 主走査用モータ 43a 主走査用モータの出力軸 44 プーリ 45 タイミングベルト 46 ロータリーエンコーダ 47 副走査用モータ 50 フレーム体 51、52、53、54、55 開口部 51a、52a、53a、54a、55a 板ばね 51b、52b、53b、54b、55b 板ばね 60、61、62、63、64、65 板部材 70 キャリアセンサ 71 フィルタユニットモータ 72 切り換え部材モータ 73 キーボード 75 コントロールユニット 80 ジッター補正データ生成用部材 81 クロム蒸着膜 85 データ記憶部 86 補正データ生成部 87 補正データ記憶部 88 データ処理部 90 規則的な基本パターン 95 基準補正データ記憶部 REFERENCE SIGNS LIST 1 first laser excitation light source 2 second laser excitation light source 3 third laser excitation light source 4 laser light 5 collimator lens 6 mirror 7 first dichroic mirror 8 second dichroic mirror 9 collimator lens 10 collimator lens 15 optical head Reference Signs List 16 mirror 17 hole 18 perforated mirror 19 lens 20 sample stage 21 sample carrier 22 sample 23 dropped cDNA 25 fluorescence or stimulating light 27 filter unit 28a, 28b, 28c, 28d filter 29 mirror 30 lens 31 confocal switching member 32a, 32b, 32c, 32d, 32e Pinhole 33 Photomultiplier 34 A / D converter 35 Data processing device 40 Movable substrate 41, 41 A pair of guide rails 42 Slide member 43 Main scanning module 43a Output shaft of main scanning motor 44 Pulley 45 Timing belt 46 Rotary encoder 47 Sub-scanning motor 50 Frame body 51, 52, 53, 54, 55 Opening 51a, 52a, 53a, 54a, 55a Leaf spring 51b, 52b , 53b, 54b, 55b Leaf spring 60, 61, 62, 63, 64, 65 Plate member 70 Carrier sensor 71 Filter unit motor 72 Switching member motor 73 Keyboard 75 Control unit 80 Jitter correction data generation member 81 Chrome evaporated film 85 Data Storage unit 86 Correction data generation unit 87 Correction data storage unit 88 Data processing unit 90 Regular basic pattern 95 Reference correction data storage unit

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 37/00 102 G06T 1/00 460A 5C072 G06T 1/00 460 C12M 1/00 A 5C077 H04N 1/40 H04N 1/04 E // C12M 1/00 1/40 101Z C12N 15/09 C12N 15/00 F Fターム(参考) 2G043 AA03 AA04 BA16 CA03 DA02 DA05 DA09 EA01 EA19 FA01 FA06 GA04 GA08 GB18 GB19 GB21 HA01 HA02 HA09 JA03 KA09 LA02 MA04 NA06 2G058 AA09 CC09 CD11 GA01 GD03 4B024 AA11 AA19 CA01 CA04 CA11 CA12 HA12 4B029 AA07 AA23 BB15 BB16 BB17 BB20 CC03 CC08 FA15 5B047 AA17 AB02 BA01 BB08 CA06 CB07 DA10 DB01 DC06 DC11 5C072 AA01 BA17 CA06 EA02 KA01 NA02 RA20 UA09 UA11 VA01 VA10 WA01 5C077 LL02 MM08 MM27 MP01 PP05 PP57 PP71 PQ22 RR01 SS01Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) G01N 37/00 102 G06T 1/00 460A 5C072 G06T 1/00 460 C12M 1/00 A 5C077 H04N 1/40 H04N 1/04 E // C12M 1/00 1/40 101Z C12N 15/09 C12N 15/00 FF term (reference) 2G043 AA03 AA04 BA16 CA03 DA02 DA05 DA09 EA01 EA19 FA01 FA06 GA04 GA08 GB18 GB19 GB21 HA01 HA02 HA09 JA03 KA09 LA02 MA04 NA06 2G058 AA09 CC09 CD11 GA01 GD03 4B024 AA11 AA19 CA01 CA04 CA11 CA12 HA12 4B029 AA07 AA23 BB15 BB16 BB17 BB20 CC03 CC08 FA15 5B047 AA17 AB02 BA01 BB08 CA06 CB07 DA10 DB01 DC06 DC11 5C0701 A02 BA01 VA02 VA01 VA02 MM08 MM27 MP01 PP05 PP57 PP71 PQ22 RR01 SS01

Claims (36)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 サンプルがセットされたサンプルステー
ジとレーザ光とを、主走査方向において、互いに往復動
するように、相対的に移動するとともに、前記主走査方
向に直交する副走査方向に、相対的に移動させて、前記
レーザ光によって、前記サンプルを走査し、前記サンプ
ルから放出される光を光電的に検出するように構成され
た双方向走査スキャナにおけるジッターの補正方法であ
って、前記サンプルステージに対して、相対的に固定さ
れ、規則的なパターンが形成された補正データ生成用の
サンプルを、前記レーザ光によって走査し、前記補正デ
ータ生成用のサンプルから放出された光を光電的に検出
して、アナログデータを生成し、前記アナログデータを
ディジタル化して、補正データ生成用のディジタルデー
タを生成し、前記補正データ生成用のディジタルデータ
に基づいて、前記補正データ生成用のディジタルデータ
の走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッ
ター補正データとして決定して、前記双方向走査スキャ
ナのメモリに記憶させ、前記サンプルステージに、標識
物質によって標識されているサンプルを載置し、前記レ
ーザ光によって、前記サンプルを走査して、前記標識物
質を励起し、前記標識物質から放出された光を光電的に
検出して、アナログデータを生成し、前記アナログデー
タをディジタル化して得たサンプルのディジタルデータ
を、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された
前記ジッター補正データを用いて、補正することを特徴
とする双方向走査スキャナにおけるジッターの補正方
法。
A laser beam is moved relative to a sample stage on which a sample is set and a laser beam so as to reciprocate in the main scanning direction, and is moved in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner configured to move the sample, scan the sample with the laser light, and photoelectrically detect light emitted from the sample, The sample for correction data generation, which is fixed relative to the stage and has a regular pattern, is scanned by the laser light, and light emitted from the sample for correction data generation is photoelectrically detected. Detecting, generating analog data, digitizing the analog data, generating digital data for generating correction data, Based on the digital data for generating the positive data, data that minimizes the deviation of the digital data for generating the correction data for each scan line is determined as jitter correction data and stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. Then, a sample labeled with a labeling substance is placed on the sample stage, the sample is scanned by the laser light, the labeling substance is excited, and light emitted from the labeling substance is photoelectrically converted. Detecting, generating analog data, and correcting the digital data of the sample obtained by digitizing the analog data using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. A method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner.
【請求項2】 前記サンプルステージと前記レーザ光と
を、主走査方向において、相対的に、一往復させて、前
記レーザ光によって、前記補正データ生成用のサンプル
を走査し、前記補正データ生成用のサンプルから放出さ
れた光を光電的に検出して、アナログデータを生成し、
前記アナログデータをディジタル化して、往路に対応す
る第一ライン目のディジタルデータと、復路に対応する
第二ライン目のディジタルデータよりなる補正データ生
成用のディジタルデータを生成し、前記補正データ生成
用のディジタルデータに基づいて、第一ライン目の前記
ディジタルデータに対する第二ライン目の前記ディジタ
ルデータの偏倚量を最小化するデータを、ジッター補正
データとして決定して、前記双方向走査スキャナの前記
メモリに記憶させ、前記双方向走査スキャナの前記メモ
リに記憶された前記ジッター補正データを用いて、偶数
番目の走査ラインに対応する前記サンプルの前記ディジ
タルデータを補正することを特徴とする請求項1に記載
の双方向走査スキャナにおけるジッターの補正方法。
2. The method according to claim 1, wherein the sample stage and the laser light are reciprocated once in the main scanning direction to scan the correction data generation sample with the laser light. Photoelectrically detect the light emitted from the sample to generate analog data,
The analog data is digitized to generate digital data for generating correction data including digital data on the first line corresponding to the forward path and digital data on the second line corresponding to the return path, Data that minimizes the deviation of the digital data on the second line with respect to the digital data on the first line is determined as jitter correction data based on the digital data of the first line, and the memory of the bidirectional scanning scanner is determined. And correcting the digital data of the sample corresponding to an even-numbered scan line using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. A method for correcting jitter in the bidirectional scanning scanner as described in the above.
【請求項3】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、主走査方向および副走査方向に、相対的に移動させ
て、前記レーザ光によって、前記補正データ生成用のサ
ンプルを走査し、前記補正データ生成用のサンプルから
放出された光を光電的に検出して、アナログデータを生
成し、前記アナログデータをディジタル化して、補正デ
ータ生成用のディジタルデータを生成し、前記補正デー
タ生成用のディジタルデータに基づいて、(2N−1)
番目のラインのディジタルデータ(Nは1以上の整数)
に対する2N番目のラインのディジタルデータの偏倚量
を最小化するデータを、それぞれ、ジッター補正データ
として決定して、前記双方向走査スキャナの前記メモリ
に記憶させ、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記
憶された前記ジッター補正データを用いて、2N番目の
ラインに対応する前記サンプルの前記ディジタルデータ
を補正することを特徴とする請求項1に記載の双方向走
査スキャナにおけるジッターの補正方法。
3. The method according to claim 1, wherein the sample stage and the laser beam are relatively moved in a main scanning direction and a sub-scanning direction, and the laser beam scans a sample for the correction data generation. Detects light emitted from the sample for photoelectrically, generates analog data, digitizes the analog data, generates digital data for generating correction data, and converts the digital data for generating the correction data into digital data. Based on (2N-1)
Digital data of the Nth line (N is an integer of 1 or more)
Are determined as jitter correction data, and are stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, and are stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. 2. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the digital data of the sample corresponding to the 2N-th line is corrected using the obtained jitter correction data.
【請求項4】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、大きな移動ピッチで、副走査方向に、相対的に移動
させて、前記ジッター補正データを、4以上のラインを
含む前記サンプルのディジタルデータのデータ領域ごと
に、生成し、前記双方向走査スキャナの前記メモリに記
憶させることを特徴とする請求項1に記載の双方向走査
スキャナにおけるジッターの補正方法。
4. The sample stage and the laser beam are relatively moved in a sub-scanning direction at a large moving pitch, and the jitter correction data is converted into data of digital data of the sample including four or more lines. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the jitter is generated for each area and stored in the memory of the bidirectional scanning scanner.
【請求項5】 前記補正データ生成用のサンプルに形成
された前記規則的なパターンが、蛍光物質によって形成
され、前記レーザ光によって、前記蛍光物質が励起され
て、前記補正データ生成用のサンプルから放出された蛍
光を光電的に検出して、前記補正データ生成用のディジ
タルデータを生成することを特徴とする請求項1ないし
4にいずれか1項に記載の双方向走査スキャナにおける
ジッターの補正方法。
5. The method according to claim 1, wherein the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed of a fluorescent material, and the laser light excites the fluorescent material, and the laser light excites the regular pattern. 5. A method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the emitted fluorescence is photoelectrically detected to generate digital data for generating the correction data. .
【請求項6】 前記補正データ生成用のサンプルに形成
された前記規則的なパターンが、可視濃淡パターンによ
って形成され、前記補正データ生成用のサンプルによっ
て反射された前記レーザ光を光電的に検出して、前記補
正データ生成用のディジタルデータを生成することを特
徴とする請求項1ないし4にいずれか1項に記載の双方
向走査スキャナにおけるジッターの補正方法。
6. The method according to claim 1, wherein the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed by a visible shading pattern, and the laser beam reflected by the correction data generation sample is photoelectrically detected. 5. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the digital data for generating the correction data is generated.
【請求項7】 前記サンプルステージを、主走査方向に
往復移動させつつ、副走査方向に移動させて、前記補正
データ生成用のサンプルを、前記レーザ光によって走査
し、前記補正データ生成用のサンプルから放出された光
を光電的に検出して、アナログデータを生成し、前記ア
ナログデータをディジタル化して、補正データ生成用の
ディジタルデータを生成し、前記補正データ生成用のデ
ィジタルデータに基づいて、前記補正データ生成用のデ
ィジタルデータの走査ラインごとの偏倚量を最小化する
データを、ジッター補正データとして決定して、前記双
方向走査スキャナのメモリに記憶させ、前記サンプルス
テージに、標識物質によって標識されているサンプルを
載置し、前記サンプルステージを、主走査方向に往復移
動させつつ、副走査方向に移動させて、前記レーザ光に
よって、前記サンプルを走査して、前記標識物質を励起
し、前記標識物質から放出された光を光電的に検出し
て、アナログデータを生成し、前記アナログデータをデ
ィジタル化して得たサンプルのディジタルデータを、前
記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジ
ッター補正データを用いて、補正することを特徴とする
請求項1ないし6のいずれか1項に記載の双方向走査ス
キャナにおけるジッターの補正方法。
7. The correction data generating sample is scanned by the laser light by moving the sample stage in the sub-scanning direction while reciprocating in the main scanning direction, and scanning the correction data generating sample. Detecting light emitted from photoelectrically, generates analog data, digitizes the analog data, generates digital data for correction data generation, based on the digital data for correction data generation, Data that minimizes the amount of deviation of the digital data for the correction data for each scanning line is determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, and labeled on the sample stage with a labeling substance. The sample stage is placed, and the sample stage is reciprocated in the main scanning direction while the sub-scanning is performed. Moving in the direction, scanning the sample with the laser light, exciting the labeling substance, photoelectrically detecting light emitted from the labeling substance, generating analog data, and generating the analog data. 7. The digital data of a sample obtained by digitizing is corrected using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. A method for correcting jitter in the bidirectional scanning scanner as described in the above.
【請求項8】 前記レーザ光を、主走査方向に往復移動
させつつ、副走査方向に移動させて、前記補正データ生
成用のサンプルを、前記レーザ光によって走査し、前記
補正データ生成用のサンプルから放出された光を光電的
に検出して、アナログデータを生成し、前記アナログデ
ータをディジタル化して、補正データ生成用のディジタ
ルデータを生成し、前記補正データ生成用のディジタル
データに基づいて、前記補正データ生成用のディジタル
データの走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータ
を、ジッター補正データとして決定して、前記双方向走
査スキャナのメモリに記憶させ、前記サンプルステージ
に、標識物質によって標識されているサンプルを載置
し、前記レーザ光を、主走査方向に往復移動させつつ、
副走査方向に移動させ、前記レーザ光によって、前記サ
ンプルを走査して、前記標識物質を励起し、前記標識物
質から放出された光を光電的に検出して、アナログデー
タを生成し、前記アナログデータをディジタル化して得
たサンプルのディジタルデータを、前記双方向走査スキ
ャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補正データ
を用いて、補正することを特徴とする請求項1ないし6
のいずれか1項に記載の双方向走査スキャナにおけるジ
ッターの補正方法。
8. The correction data generating sample is scanned by the laser light by moving the laser light in the sub-scanning direction while reciprocating in the main scanning direction to scan the correction data generating sample. Detecting light emitted from photoelectrically, generates analog data, digitizes the analog data, generates digital data for correction data generation, based on the digital data for correction data generation, Data that minimizes the amount of deviation of the digital data for the correction data for each scanning line is determined as jitter correction data, stored in the memory of the bidirectional scanning scanner, and labeled on the sample stage with a labeling substance. Placed on the sample, the laser light, while reciprocating in the main scanning direction,
Move in the sub-scanning direction, scan the sample with the laser light, excite the labeling substance, photoelectrically detect light emitted from the labeling substance, generate analog data, and generate the analog data. 7. The digital data of a sample obtained by digitizing data is corrected using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner.
The method for correcting jitter in the bidirectional scanning scanner according to any one of the above.
【請求項9】 前記サンプルステージと前記レーザ光の
主走査方向の相対的な移動速度に応じて、それぞれ、ジ
ッター補正データを生成して、前記双方向走査スキャナ
の前記メモリに記憶させることを特徴とする請求項1な
いし8のいずれか1項に記載の双方向走査スキャナにお
けるジッターの補正方法。
9. A jitter correction data is generated according to a relative moving speed of the sample stage and the laser beam in the main scanning direction, and is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. 9. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein:
【請求項10】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、主走査方向に、特定の移動速度で、相対的に移動さ
せて、ジッター補正データを生成し、前記双方向走査ス
キャナの前記メモリに記憶させ、前記サンプルステージ
と前記レーザ光を、主走査方向に、前記特定の移動速度
とは異なる移動速度で、相対的に移動させて、前記サン
プルのディジタルデータを生成したときは、前記双方向
走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジッター補
正データを補正して、ジッター補正データを生成し、前
記サンプルのディジタルデータを補正することを特徴と
する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の双方向走
査スキャナにおけるジッターの補正方法。
10. The jitter correction data is generated by relatively moving the sample stage and the laser beam in the main scanning direction at a specific moving speed, and the jitter correction data is stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. When the sample stage and the laser light are relatively moved in the main scanning direction at a moving speed different from the specific moving speed to generate digital data of the sample, the bidirectional scanning scanner is used. 9. The apparatus according to claim 1, wherein the jitter correction data stored in the memory is corrected to generate jitter correction data, and the digital data of the sample is corrected. A method for correcting jitter in a directional scanning scanner.
【請求項11】 前記サンプルステージと前記レーザ光
が、主走査方向に相対的に移動される際の画素ピッチに
応じて、それぞれ、ジッター補正データを生成して、前
記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶させることを
特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載の
双方向走査スキャナにおけるジッターの補正方法。
11. The memory of the bidirectional scanning scanner, wherein the sample stage and the laser beam respectively generate jitter correction data according to a pixel pitch when the laser beam is relatively moved in a main scanning direction. 11. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the jitter is stored in the bidirectional scanning scanner.
【請求項12】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、主走査方向に、特定の画素ピッチで、相対的に移動
させて、ジッター補正データを生成し、前記双方向走査
スキャナの前記メモリに記憶させ、前記サンプルステー
ジと前記レーザ光を、主走査方向に、前記特定の画素ピ
ッチとは異なる画素ピッチで、相対的に移動させて、前
記サンプルのディジタルデータを生成したときは、前記
双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジッ
ター補正データを補正して、ジッター補正データを生成
し、前記サンプルのディジタルデータを補正することを
特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載の
双方向走査スキャナにおけるジッターの補正方法。
12. The sample stage and the laser beam are relatively moved at a specific pixel pitch in the main scanning direction to generate jitter correction data and store the jitter correction data in the memory of the bidirectional scanning scanner. When the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a pixel pitch different from the specific pixel pitch to generate digital data of the sample, the bidirectional scanning scanner is used. 11. The apparatus according to claim 1, wherein the jitter correction data stored in the memory is corrected to generate jitter correction data, and the digital data of the sample is corrected. 12. A method for correcting jitter in a directional scanning scanner.
【請求項13】 必要に応じて、ジッター補正データを
生成し、前記メモリに記憶することを特徴とする請求項
1ないし12のいずれか1項に記載の双方向走査スキャ
ナにおけるジッターの補正方法。
13. The method of correcting a jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein jitter correction data is generated as necessary and stored in said memory.
【請求項14】 前記サンプルステージにセットされ、
前記サンプルを保持するサンプル保持部を備えたサンプ
ルキャリアの表面に形成された規則的なパターンを、前
記レーザ光によって走査し、前記補正データ生成用のサ
ンプルから放出された光を、前記光検出器が光電的に検
出して、アナログデータを生成し、前記A/D変換器に
よりディジタル化して、補正データ生成用のディジタル
データを生成し、前記補正データ生成用のディジタルデ
ータに基づいて、前記補正データ生成用のディジタルデ
ータの走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータを、
ジッター補正データとして決定して、前記メモリに記憶
させることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか
1項に記載の双方向走査スキャナにおけるジッターの補
正方法。
14. The method according to claim 14, wherein the sample stage is set to:
A regular pattern formed on the surface of a sample carrier having a sample holding unit for holding the sample is scanned by the laser light, and light emitted from the correction data generation sample is detected by the photodetector. Detects photoelectrically, generates analog data, digitizes the analog data with the A / D converter, generates digital data for generating correction data, and generates the correction data based on the digital data for generating correction data. Data that minimizes the amount of deviation for each scan line of digital data for data generation,
14. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to claim 1, wherein the data is determined as jitter correction data and stored in the memory.
【請求項15】 前記規則的なパターンが、前記サンプ
ルキャリアの前記サンプル保持部の外側に形成されたこ
とを特徴とする請求項14に記載の双方向走査スキャナ
におけるジッターの補正方法。
15. The method according to claim 14, wherein the regular pattern is formed outside the sample holder of the sample carrier.
【請求項16】 前記サンプルステージに、蛍光物質に
よって標識されているサンプルを載置し、レーザ光によ
って、前記サンプルを走査して、前記蛍光物質を励起
し、前記蛍光物質から放出された蛍光を光電的に検出し
て、アナログデータを生成し、前記アナログデータをデ
ィジタル化して得たサンプルのディジタルデータを、前
記双方向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジ
ッター補正データを用いて、補正することを特徴とする
請求項1ないし15のいずれか1項に記載の双方向走査
スキャナにおけるジッターの補正方法。
16. A sample labeled with a fluorescent substance is placed on the sample stage, and the sample is scanned with a laser beam to excite the fluorescent substance and to emit fluorescence emitted from the fluorescent substance. The photoelectrically detected analog data is generated, and the digital data of the sample obtained by digitizing the analog data is corrected using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to any one of claims 1 to 15, wherein:
【請求項17】 前記サンプルステージに、前記サンプ
ルとして、放射性標識物質によって標識されている輝尽
性蛍光体層を備えた蓄積性蛍光体シートを載置し、レー
ザ光によって、前記輝尽性蛍光体層を走査して、前記輝
尽性蛍光体層に含まれた輝尽性蛍光体を励起し、前記輝
尽性蛍光体から放出された輝尽光を光電的に検出して、
アナログデータを生成し、前記アナログデータをディジ
タル化して得たサンプルのディジタルデータを、前記双
方向走査スキャナの前記メモリに記憶された前記ジッタ
ー補正データを用いて、補正することを特徴とする請求
項1ないし15のいずれか1項に記載の双方向走査スキ
ャナにおけるジッターの補正方法。
17. A stimulable phosphor sheet provided with a stimulable phosphor layer labeled with a radioactive label substance as the sample on the sample stage, and the stimulable phosphor sheet is irradiated with a laser beam. By scanning the body layer, exciting the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer, photoelectrically detecting the stimulable light emitted from the stimulable phosphor,
The digital data of a sample obtained by generating analog data and digitizing the analog data is corrected by using the jitter correction data stored in the memory of the bidirectional scanning scanner. 16. The method for correcting jitter in a bidirectional scanning scanner according to any one of 1 to 15.
【請求項18】 標識物質によって標識されたサンプル
がセットされるサンプルステージと、レーザ光を発する
少なくとも1つのレーザ励起光源を備え、前記サンプル
ステージと、前記レーザ光とが、主走査方向において、
互いに往復動するように、相対的に移動されるととも
に、前記主走査方向に直交する副走査方向に、相対的に
移動され、前記レーザ光によって、前記サンプルを走査
し、前記サンプルから放出される光を光電的に検出する
ように構成された双方向走査スキャナであって、さら
に、前記標識物質から放出された光を光電的に受光し
て、アナログデータを生成する光検出器と、前記少なく
とも1つのレーザ励起光源から発せられた前記レーザ光
を、前記サンプルステージに集光させるとともに、前記
標識物質から放出された光を、前記光検出器に導く集光
光学系と、前記光検出器により生成されたアナログデー
タをディジタル化するA/D変換器と、データ処理装置
と、メモリとを備え、前記データ処理装置が、前記サン
プルステージに対して、相対的に固定され、規則的なパ
ターンが形成された補正データ生成用のサンプルが、前
記少なくとも1つのレーザ励起光源から発せられたレー
ザ光によって、走査され、前記補正データ生成用のサン
プルから放出された光が、前記光検出器によって、光電
的に検出されて、アナログデータが生成され、前記A/
D変換器によりディジタル化されて、生成された補正デ
ータ生成用のディジタルデータに基づいて、前記補正デ
ータ生成用のディジタルデータの走査ラインごとの偏倚
量を最小化するデータを、ジッター補正データとして決
定して、前記メモリに記憶させ、前記サンプルステージ
に載置され、標識物質によって標識されたサンプルが、
前記少なくとも1つのレーザ励起光源から発せられたレ
ーザ光によって走査されて、前記標識物質が励起され、
前記標識物質から放出された光を、前記光検出器によっ
て、光電的に検出されて、アナログデータが生成され、
前記A/D変換器によりディジタル化されて、生成され
た前記サンプルのディジタルデータを、前記メモリに記
憶された前記ジッター補正データを用いて、補正するよ
うに構成されたことを特徴とする双方向走査スキャナ。
18. A sample stage on which a sample labeled with a labeling substance is set, and at least one laser excitation light source that emits laser light, wherein the sample stage and the laser light are arranged in a main scanning direction.
In order to reciprocate, they are relatively moved, and are relatively moved in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. The laser beam scans the sample and is emitted from the sample. A bidirectional scanning scanner configured to photoelectrically detect light, further comprising: a photodetector that photoelectrically receives light emitted from the labeling substance and generates analog data; and The laser light emitted from one laser excitation light source is condensed on the sample stage, and the light emitted from the labeling substance is condensed by an optical condensing optical system that guides the light to the photodetector. An A / D converter for digitizing the generated analog data, a data processing device, and a memory, wherein the data processing device is configured to: A sample for correction data generation, which is fixed and regularly patterned, is scanned by laser light emitted from the at least one laser excitation light source and emitted from the sample for correction data generation. Light is photoelectrically detected by the photodetector to generate analog data,
Based on the digital data generated by the D converter and generated for the correction data, the data for minimizing the deviation of the digital data for the correction data for each scan line is determined as the jitter correction data. Then, stored in the memory, placed on the sample stage, a sample labeled with a labeling substance,
The labeling substance is excited by being scanned by the laser light emitted from the at least one laser excitation light source,
The light emitted from the labeling substance is photoelectrically detected by the photodetector, and analog data is generated.
The digital data of the sample generated and digitized by the A / D converter is corrected by using the jitter correction data stored in the memory. Scanning scanner.
【請求項19】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージと前記レーザ光が、主走査方向に、相対的に、
一往復されて、前記レーザ光によって、前記補正データ
生成用のサンプルが走査され、前記補正データ生成用の
サンプルから放出された光が、前記光検出器によって、
光電的に検出されて、生成されたアナログデータが、前
記A/D変換器によって、ディジタル化されて、生成さ
れた往路に対応する第一ライン目のディジタルデータと
復路に対応する第一ライン目のディジタルデータよりな
る補正データ生成用のディジタルデータに基づいて、第
一ライン目の前記ディジタルデータに対する第二ライン
目の前記ディジタルデータの偏倚量を最小化するデータ
を、ジッター補正データとして決定して、前記メモリに
記憶させるとともに、前記ジッター補正データを用い
て、偶数番目の走査ラインに対応する前記サンプルの前
記ディジタルデータを補正するように構成されたことを
特徴とする請求項18に記載の双方向走査スキャナ。
19. The data processing device, wherein the sample stage and the laser beam are relatively positioned in a main scanning direction.
One reciprocation, the laser light scans the sample for correction data generation, the light emitted from the sample for correction data generation, by the photodetector,
The analog data that has been photoelectrically detected and generated is digitized by the A / D converter, and the generated digital data on the first line corresponding to the forward path and the first digital data corresponding to the return path are generated. Based on the digital data for generating the correction data consisting of the digital data of, the data that minimizes the deviation of the digital data of the second line with respect to the digital data of the first line is determined as jitter correction data. 19. The apparatus according to claim 18, wherein the digital data of the sample corresponding to the even-numbered scan line is corrected using the jitter correction data while being stored in the memory. Directional scanning scanner.
【請求項20】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージと前記レーザ光が、主走査方向および副走査方
向に、相対的に移動されて、前記補正データ生成用のサ
ンプルが走査され、前記補正データ生成用のサンプルか
ら放出された光が、前記光検出器によって光電的に検出
されて、生成されたアナログデータが、前記A/D変換
器によってディジタル化されて、生成された補正データ
生成用のディジタルデータに基づいて、(2N−1)番
目のラインのディジタルデータ(Nは1以上の整数)に
対する2N番目のラインのディジタルデータの偏倚量を
最小化するデータを、それぞれ、ジッター補正データと
して決定して、前記メモリに記憶させるとともに、前記
ジッター補正データを用いて、2N番目のラインに対応
する前記サンプルの前記ディジタルデータを補正するよ
うに構成されたことを特徴とする請求項18に記載の双
方向走査スキャナ。
20. The data processing apparatus, wherein the sample stage and the laser beam are relatively moved in a main scanning direction and a sub-scanning direction to scan a sample for generating the correction data. Light emitted from the sample for generation is photoelectrically detected by the photodetector, and the generated analog data is digitized by the A / D converter to generate the generated correction data. Based on the digital data, the data that minimizes the deviation of the 2N-th line digital data with respect to the (2N-1) -th line digital data (N is an integer of 1 or more) is determined as jitter correction data. Then, while being stored in the memory, the jitter correction data is used to store the sample corresponding to the 2Nth line. The bidirectional scanning scanner according to claim 18, wherein the scanner is configured to correct the digital data.
【請求項21】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージと前記レーザ光を、大きな移動ピッチで、副走
査方向に、相対的に移動させて、前記ジッター補正デー
タを、4以上のラインを含む前記サンプルのディジタル
データのデータ領域ごとに、生成し、前記メモリに記憶
させるように構成されたことを特徴とする請求項18に
記載の双方向走査スキャナ。
21. The data processing device, wherein the sample stage and the laser beam are relatively moved at a large moving pitch in a sub-scanning direction, and the jitter correction data includes four or more lines. 19. The bidirectional scanning scanner according to claim 18, wherein the bidirectional scanning scanner is configured to generate and store the digital data for each sample in the memory.
【請求項22】 前記補正データ生成用のサンプルに形
成された前記規則的なパターンが、蛍光物質によって形
成され、前記データ処理装置が、前記レーザ光によっ
て、前記蛍光物質が励起されて、前記補正データ生成用
のサンプルから放出された蛍光を光電的に検出して、前
記補正データ生成用のディジタルデータを生成すること
を特徴とする請求項18ないし21のいずれか1項に記
載の双方向走査スキャナ。
22. The regular pattern formed on the sample for generating the correction data is formed of a fluorescent substance, and the data processing device excites the fluorescent substance by the laser beam, and performs the correction. 22. Bidirectional scanning according to any one of claims 18 to 21, wherein fluorescence emitted from a sample for data generation is photoelectrically detected to generate digital data for generating the correction data. Scanner.
【請求項23】 前記補正データ生成用のサンプルに形
成された前記規則的なパターンが、可視濃淡パターンに
よって形成され、前記データ処理装置が、前記補正デー
タ生成用のサンプルによって反射された前記レーザ光を
光電的に検出して、前記補正データ生成用のディジタル
データを生成することを特徴とする請求項18ないし2
1のいずれか1項に記載の双方向走査スキャナ。
23. The laser beam reflected by the correction data generation sample, wherein the regular pattern formed on the correction data generation sample is formed by a visible shading pattern, and the data processing apparatus reflects the laser light reflected by the correction data generation sample. 18. The digital data for generating the correction data is generated by photoelectrically detecting the correction data.
2. The bidirectional scanning scanner according to claim 1.
【請求項24】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージと前記レーザ光の主走査方向の相対的な移動速
度に応じて、それぞれ、ジッター補正データを生成し
て、前記メモリに記憶させるように構成されたことを特
徴とする請求項18ないし23のいずれか1項に記載の
双方向走査スキャナ。
24. A data processing apparatus, wherein the data processing device generates jitter correction data according to a relative moving speed of the sample stage and the laser beam in a main scanning direction, and stores the data in the memory. The bidirectional scanning scanner according to any one of claims 18 to 23, wherein the scanning is performed.
【請求項25】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、主走査方向に、特定の移動速度で、相対的に移動さ
せた際に、前記データ処理装置が、ジッター補正データ
を生成して、前記メモリに記憶させ、前記サンプルステ
ージを、主走査方向に、前記特定の移動速度とは異なる
移動速度で、移動させて、前記サンプルのディジタルデ
ータが生成されたときは、前記データ処理装置が、前記
メモリに記憶された前記ジッター補正データを補正し
て、ジッター補正データを生成し、前記サンプルのディ
ジタルデータを補正するように構成されたことを特徴と
する請求項18ないし23のいずれか1項に記載の双方
向走査スキャナ。
25. When the sample stage and the laser beam are relatively moved in the main scanning direction at a specific moving speed, the data processing device generates jitter correction data and When the sample stage is moved in the main scanning direction at a moving speed different from the specific moving speed, and the digital data of the sample is generated, the data processing device stores the digital data in the memory. 24. The apparatus according to claim 18, wherein the jitter correction data stored in the memory is corrected to generate jitter correction data, and the digital data of the sample is corrected. Bi-directional scanning scanner.
【請求項26】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージと前記レーザ光が、主走査方向に相対的に移動
される際の画素ピッチに応じて、それぞれ、ジッター補
正データを生成して、前記双方向走査スキャナの前記メ
モリに記憶させるように構成されたことを特徴とする請
求項18ないし25のいずれか1項に記載の双方向走査
スキャナ。
26. The data processing device, according to a pixel pitch when the sample stage and the laser beam are relatively moved in a main scanning direction, respectively, generates jitter correction data, The bidirectional scanning scanner according to any one of claims 18 to 25, wherein the bidirectional scanning scanner is configured to be stored in the memory of the bidirectional scanning scanner.
【請求項27】 前記サンプルステージと前記レーザ光
を、主走査方向に、特定の画素ピッチで、相対的に移動
させた際に、前記データ処理装置が、ジッター補正デー
タを生成して、前記メモリに記憶させ、前記サンプルス
テージを、主走査方向に、前記特定の画素ピッチとは異
なる画素ピッチで、移動させて、前記サンプルのディジ
タルデータが生成されたときは、前記データ処理装置
が、前記メモリに記憶された前記ジッター補正データを
補正して、ジッター補正データを生成し、前記サンプル
のディジタルデータを補正するように構成されたことを
特徴とする請求項18ないし25のいずれか1項に記載
の双方向走査スキャナ。
27. When the sample stage and the laser beam are relatively moved at a specific pixel pitch in the main scanning direction, the data processing device generates jitter correction data, and When the digital data of the sample is generated by moving the sample stage in the main scanning direction at a pixel pitch different from the specific pixel pitch, the data processing apparatus 26. The apparatus according to claim 18, wherein the jitter correction data stored in the memory is corrected to generate jitter correction data, and the digital data of the sample is corrected. Bi-directional scanning scanner.
【請求項28】 さらに、前記少なくとも1つのレーザ
励起光源の側の前記サンプルステージの表面に、前記蛍
光を発する物質の規則的なパターンが形成され、前記デ
ータ処理装置が、前記メモリに記憶されたジッター補正
データを更新可能に構成されたことを特徴とする請求項
18ないし27のいずれか1項に記載の双方向走査スキ
ャナ。
28. A regular pattern of the fluorescent substance is formed on a surface of the sample stage on the side of the at least one laser excitation light source, and the data processing device is stored in the memory. The bidirectional scanning scanner according to any one of claims 18 to 27, wherein the jitter correction data is configured to be updated.
【請求項29】 前記データ処理装置が、前記サンプル
として、前記サンプルステージに載置され、蛍光物質に
よって標識されたサンプルを、レーザ光によって、走査
して、前記蛍光物質を励起し、前記蛍光物質から放出さ
れた蛍光を、前記光検出器によって光電的に検出して、
生成されたアナログデータを、前記A/D変換器によっ
てディジタル化して、生成された前記サンプルのディジ
タルデータを、前記メモリに記憶された前記ジッター補
正データを用いて、補正するように構成されたことを特
徴とする請求項18ないし28のいずれか1項に記載の
双方向走査スキャナ。
29. The data processing device, as the sample, is mounted on the sample stage and scans a sample labeled with a fluorescent substance with a laser beam to excite the fluorescent substance, Fluorescence emitted from the, photoelectrically detected by the photodetector,
It is configured that the generated analog data is digitized by the A / D converter, and the generated digital data of the sample is corrected using the jitter correction data stored in the memory. The bidirectional scanning scanner according to any one of claims 18 to 28, wherein:
【請求項30】 前記データ処理装置が、前記サンプル
として、前記サンプルステージに載置され、放射性標識
物質によって標識された輝尽性蛍光体層を備えた蓄積性
蛍光体シートの前記輝尽性蛍光体層を、レーザ光によっ
て、走査して、前記輝尽性蛍光体層に含まれた輝尽性蛍
光体を励起し、前記輝尽性蛍光体から放出された輝尽光
を、前記光検出器によって光電的に検出して、生成され
たアナログデータを、前記A/D変換器によってディジ
タル化して、生成された前記サンプルのディジタルデー
タを、前記メモリに記憶された前記ジッター補正データ
を用いて、補正するように構成されたことを特徴とする
請求項18ないし28のいずれか1項に記載の双方向走
査スキャナ。
30. The stimulable fluorescent light of a stimulable phosphor sheet comprising a stimulable phosphor layer which is mounted on the sample stage as the sample as the sample and is labeled with a radioactive labeling substance. The body layer is scanned by a laser beam to excite the stimulable phosphor contained in the stimulable phosphor layer, and the photostimulable light emitted from the stimulable phosphor is detected by the light detection. A / D converter converts the generated analog data into digital data by using the A / D converter, and generates the digital data of the sample using the jitter correction data stored in the memory. 29. The bidirectional scanning scanner according to claim 18, wherein the bidirectional scanning scanner is configured to perform correction.
【請求項31】 前記データ処理装置が、前記サンプル
ステージにセットされ、前記サンプルを保持するサンプ
ル保持部を備えたサンプルキャリアの表面に形成された
規則的なパターンが、前記少なくとも1つのレーザ励起
光源から発せられたレーザ光によって、走査され、前記
補正データ生成用のサンプルから放出された光が、前記
光検出器によって、光電的に検出されて、アナログデー
タが生成され、前記A/D変換器によりディジタル化さ
れて、生成された補正データ生成用のディジタルデータ
に基づいて、前記補正データ生成用のディジタルデータ
の走査ラインごとの偏倚量を最小化するデータを、ジッ
ター補正データとして決定して、前記メモリに記憶させ
るように構成されたことを特徴とする請求項18ないし
30のいずれか1項に記載の双方向走査スキャナ。
31. The at least one laser excitation light source, wherein the data processing device is set on the sample stage and a regular pattern formed on a surface of a sample carrier provided with a sample holding unit for holding the sample is provided. Scanning by the laser light emitted from the light source, light emitted from the sample for generating the correction data is photoelectrically detected by the photodetector to generate analog data, and the A / D converter Based on the generated digital data for correction data generation, data for minimizing the deviation of the digital data for correction data generation for each scan line is determined as jitter correction data, 31. The apparatus according to claim 18, wherein said memory is configured to be stored in said memory. A bidirectional scanning scanner according to claim 1.
【請求項32】 前記規則的なパターンが、前記サンプ
ルキャリアの前記サンプル保持部の外側に形成されたこ
とを特徴とする請求項31に記載の双方向走査スキャ
ナ。
32. The bidirectional scanning scanner according to claim 31, wherein the regular pattern is formed outside the sample holder of the sample carrier.
【請求項33】 サンプルを保持可能なサンプル保持部
を備え、サンプルステージに載置されるサンプルキャリ
アであって、前記サンプルステージ側の表面に、規則的
なパターンが形成されたことを特徴とするサンプルキャ
リア。
33. A sample carrier mounted on a sample stage, comprising a sample holding portion capable of holding a sample, wherein a regular pattern is formed on a surface on the sample stage side. Sample carrier.
【請求項34】 前記規則的なパターンが、前記サンプ
ルキャリアの前記サンプル保持部の外側に形成されたこ
とを特徴とする請求項33に記載のサンプルキャリア。
34. The sample carrier according to claim 33, wherein the regular pattern is formed outside the sample holder of the sample carrier.
【請求項35】 前記規則的なパターンが、蛍光物質に
よって形成されたことを特徴とする請求項33または3
4に記載のサンプルキャリア。
35. The method according to claim 33, wherein the regular pattern is formed of a fluorescent material.
5. The sample carrier according to 4.
【請求項36】 前記規則的なパターンが、可視濃淡パ
ターンによって形成されたことを特徴とする請求項33
または34に記載のサンプルキャリア。
36. The method according to claim 33, wherein the regular pattern is formed by a visible shading pattern.
Or the sample carrier of 34.
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