JP2002198732A - High frequency oscillation circuit and wireless communication unit - Google Patents

High frequency oscillation circuit and wireless communication unit

Info

Publication number
JP2002198732A
JP2002198732A JP2000391476A JP2000391476A JP2002198732A JP 2002198732 A JP2002198732 A JP 2002198732A JP 2000391476 A JP2000391476 A JP 2000391476A JP 2000391476 A JP2000391476 A JP 2000391476A JP 2002198732 A JP2002198732 A JP 2002198732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oscillation
frequency
electrode
emitter
inductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000391476A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshiaki Ando
敏晃 安藤
Makoto Sakakura
真 坂倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000391476A priority Critical patent/JP2002198732A/en
Publication of JP2002198732A publication Critical patent/JP2002198732A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve problems in a conventional common collector high frequency oscillation circuit that it deteriorates a C/N characteristic of the oscillation circuit and increases the mount area due to a parasitic capacitance between a lower face of a capacitor and an IC substrate because an MIM(Metal- Insulator-Metal) capacitor is adopted for feedback capacitors between emitters and bases of an oscillation transistor(TR). SOLUTION: Base electrodes 32, 34, 36, 38 and emitter electrodes 33, 35, 37 of the oscillation TR are placed interdigitally to form the feedback capacitors with capacitors formed between the bases and emitter electrodes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話、衛星通
信等の無線通信機器における、電圧制御発振器等の高周
波発振回路に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-frequency oscillation circuit such as a voltage controlled oscillator in a wireless communication device such as a portable telephone and a satellite communication.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術について図を用いて説明す
る。
2. Description of the Related Art A conventional technique will be described with reference to the drawings.

【0003】図8(a)は、従来例の高周波発振回路の
等価回路図であり、図8(b)は、発振トランジスタ及
びベース−エミッタ間コンデンサ部の構成図である。
FIG. 8A is an equivalent circuit diagram of a conventional high-frequency oscillation circuit, and FIG. 8B is a configuration diagram of an oscillation transistor and a base-emitter capacitor section.

【0004】図8(a)において、101はコレクタ接
地クラップ発振回路、1はベース−エミッタ間コンデン
サ、2は発振トランジスタ、3は発振出力結合コンデン
サ、4はエミッタ抵抗、5はエミッタ−グランド間コン
デンサ、6は発振出力端子、7、8はベースバイアス抵
抗、9、12は共振回路結合コンデンサ、10は共振用
インダクタ、11は共振用バリキャップ、13は制御電
圧印加用インダクタ、14は制御電圧印加端子、15は
バイアス印加端子である。
In FIG. 8A, 101 is a collector-ground clap oscillation circuit, 1 is a base-emitter capacitor, 2 is an oscillation transistor, 3 is an oscillation output coupling capacitor, 4 is an emitter resistor, and 5 is an emitter-ground capacitor. , 6 are oscillation output terminals, 7 and 8 are base bias resistors, 9 and 12 are resonance circuit coupling capacitors, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, and 14 is a control voltage application. A terminal 15 is a bias application terminal.

【0005】また、図8(b)において、102は発振
トランジスタ及びベース−エミッタ結合コンデンサ部、
201、202は配線層層間膜、203はトランジスタ
電極層層間膜、204はシリコン基板、205、209
はコンデンサ電極、206はコンデンサ内部誘電体層、
207、210、211は接続配線、208、215、
216、217は配線層間コンタクト、212コレクタ
端子、213エミッタ端子、214ベース端子、218
コレクタ電極、219エミッタ電極、220ベース電
極、221はコレクタ領域、222はエミッタ領域、2
23はベース領域である。
In FIG. 8B, reference numeral 102 denotes an oscillation transistor and a base-emitter coupling capacitor unit.
201 and 202 are wiring layer interlayer films, 203 is a transistor electrode layer interlayer film, 204 is a silicon substrate, 205 and 209
Is a capacitor electrode, 206 is a capacitor internal dielectric layer,
207, 210, 211 are connection wirings, 208, 215,
216 and 217 are wiring interlayer contacts, 212 collector terminals, 213 emitter terminals, 214 base terminals, 218
Collector electrode, 219 emitter electrode, 220 base electrode, 221 is a collector region, 222 is an emitter region,
23 is a base area.

【0006】従来の高周波発振回路ではトランジスタ2
のエミッタ及びベース電極はシリコン基板204のエミ
ッタ領域222及び、ベース領域223より各々をエミ
ッタ電極219及びベース電極220に引き出し、コン
タクト216、217を介して端子213、214に接
続されていた。
In a conventional high frequency oscillation circuit, a transistor 2
The emitter and base electrodes are drawn out from the emitter region 222 and the base region 223 of the silicon substrate 204 to the emitter electrode 219 and the base electrode 220, respectively, and connected to the terminals 213 and 214 via the contacts 216 and 217.

【0007】そしてベース−エミッタ間コンデンサ1
は、エミッタの接続配線210を介し接続されたコンデ
ンサ電極209と、ベースからの接続配線211、配線
間コンタクト208、接続配線207を介し接続された
コンデンサ電極205、及びコンデンサ内部誘電体層2
06にて形成されたMIM(メタル−インシュレータ−
メタル)コンデンサにより形成されていた。
Then, a base-emitter capacitor 1
Are a capacitor electrode 209 connected via an emitter connection wire 210, a connection wire 211 from a base, an inter-wire contact 208, a capacitor electrode 205 connected via a connection wire 207, and a capacitor internal dielectric layer 2
06 MIM (metal insulator)
(Metal) capacitors.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、コンデンサの単位面積当たりの容量値
が小さくコンデンサの大きさが大きくなるという課題を
有していた。
However, the above-described configuration has a problem that the capacitance per unit area of the capacitor is small and the size of the capacitor is large.

【0009】また、コンデンサの面積が大きいため、コ
ンデンサ電極の下面とシリコン基板間、あるいは接続配
線とシリコン基板間の寄生容量によりC/N等が劣化す
るという課題を有していた。
Further, since the area of the capacitor is large, there is a problem that the C / N and the like are deteriorated due to the parasitic capacitance between the lower surface of the capacitor electrode and the silicon substrate or between the connection wiring and the silicon substrate.

【0010】また、このような高周波発振回路は、一般
にはIC内に形成され、このICをパッケージに収納す
ることにより用いられるが、パッケージングにおいて、
外部への入出力端子と、IC内部との接続を行うボンデ
ィングワイヤの寄生容量により、C/Nが劣化したり、
ゲインが低下したりするという課題を有していた。
[0010] Such a high-frequency oscillation circuit is generally formed in an IC, and is used by housing the IC in a package.
Due to the parasitic capacitance of the bonding wire that connects the input / output terminal to the outside and the inside of the IC, C / N deteriorates,
There is a problem that the gain is reduced.

【0011】本発明は、上記のような課題に鑑みてなさ
れたものであり、C/N等の特性劣化のない高周波発振
回路を小面積で得ることを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to obtain a high-frequency oscillation circuit having a small area without deterioration in characteristics such as C / N.

【0012】また、本発明は、パッケージに実装された
際に、該回路のゲインやC/Nが劣化することのない高
周波発信回路等を得ることを目的とするものである。
Another object of the present invention is to provide a high-frequency transmission circuit or the like that does not deteriorate the gain and C / N of the circuit when mounted on a package.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、第1の本発明(請求項1に対応)は、積層体内に
設けられた複数のエミッタ相当電極、複数のベース相当
電極およびコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造
の発振用素子とを備え、前記複数のベース相当電極は、
前記複数のエミッタ相当電極とインターデジタルに挟ま
れて前記積層体に配置されており、前記エミッタ相当電
極と、前記ベース相当電極との間に形成された寄生容量
が、前記発振用素子の発振時の帰還容量として機能する
ことを特徴とする高周波発信回路である。
In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention (corresponding to claim 1) comprises a plurality of emitter-equivalent electrodes, a plurality of base-equivalent electrodes provided in a laminate. An oscillation element having a transistor structure having a collector equivalent electrode, wherein the plurality of base equivalent electrodes are:
The parasitic capacitance formed between the emitter-equivalent electrode and the base-equivalent electrode is disposed between the emitter-equivalent electrode and the base-equivalent electrode. This is a high-frequency transmission circuit characterized by functioning as a feedback capacitance of a high-frequency oscillator.

【0014】また、第2の本発明(請求項2に対応)
は、エミッタ相当電極、ベース相当電極およびコレクタ
相当電極を有するトランジスタ構造の発振用素子と、一
端が前記発振用素子のエミッタ相当電極に接続され、他
端が接地されたコンデンサと、一端が前記エミッタ相当
電極に、前記コンデンサと並列になるように接続され、
他端が前記発振用素子の出力側に接続された抵抗と、一
端が前記抵抗に直列に接続されるとともに、他端が接地
されたインダクタとを備え、前記インダクタは、前記発
振用素子の発振周波数において、ハイインピーダンスの
インダクタンスとなるよう構成されていることを特徴と
する高周波発振回路である。
Further, the second invention (corresponding to claim 2)
An oscillation element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode; a capacitor having one end connected to the emitter equivalent electrode of the oscillation element and the other end grounded; Connected to the equivalent electrode in parallel with the capacitor,
The other end includes a resistor connected to the output side of the oscillation element, and one end connected in series with the resistor, and an inductor grounded at the other end. A high-frequency oscillation circuit characterized by being configured to have a high-impedance inductance at a frequency.

【0015】また、第3の本発明(請求項3に対応)
は、前記インダクタは、前記高周波発振回路を収納する
パッケージと前記高周波発信回路とを接続するボンディ
ングワイヤとして実現されていることを特徴とする上記
本発明である。
Further, the third invention (corresponding to claim 3)
The present invention is characterized in that the inductor is realized as a bonding wire for connecting the package accommodating the high-frequency oscillation circuit and the high-frequency oscillation circuit.

【0016】また、第4の本発明(請求項4に対応)
は、積層体内に設けられたエミッタ相当電極、ベース相
当電極およびコレクタ相当電極を有するトランジスタ構
造の発振用素子と、一端が前記発振用素子のエミッタ相
当電極に接続され、他端が接地されたコンデンサと、一
端が前記エミッタ相当電極に接続され、他端が接地して
いる第1のインダクタとを備え、前記コンデンサと前記
第1のインダクタとは並列に接続されており、前記第1
のインダクタは、前記発振用素子の発振周波数において
インピーダンスが高く、直流電流に対して所定のエミッ
タ抵抗となるような高いシート抵抗をもつ配線にて構成
されていることを特徴とする高周波発振回路である。
A fourth aspect of the present invention (corresponding to claim 4)
A oscillating element having a transistor structure having an emitter-equivalent electrode, a base-equivalent electrode, and a collector-equivalent electrode provided in the laminate, and a capacitor having one end connected to the emitter-equivalent electrode of the oscillation element and the other end grounded. And a first inductor having one end connected to the emitter-corresponding electrode and the other end grounded, wherein the capacitor and the first inductor are connected in parallel,
Is a high frequency oscillation circuit characterized in that the inductor has a high impedance at the oscillation frequency of the oscillation element and is formed of a wiring having a high sheet resistance so as to be a predetermined emitter resistance with respect to a direct current. is there.

【0017】また、第5の本発明(請求項5に対応)
は、積層体内に設けられたエミッタ相当電極、ベース相
当電極およびコレクタ相当電極を有するトランジスタ構
造の発振用素子と、一端が前記ベース相当電極に接続さ
れ、他端から電力の供給をうける第1のインダクタとを
備え、前記第1のインダクタは、前記発振用素子の発振
周波数においてインピーダンスが高く、熱雑音の比較的
低い所定のバイアス抵抗となるような高いシート抵抗を
もつ配線にて構成されていることを特徴とする高周波発
振回路である。
The fifth invention (corresponding to claim 5)
A oscillating element having a transistor structure having an emitter-corresponding electrode, a base-corresponding electrode, and a collector-corresponding electrode provided in the laminated body; An inductor is provided, and the first inductor is configured by a wiring having a high sheet resistance so as to be a predetermined bias resistance having a high impedance at an oscillation frequency of the oscillation element and a relatively low thermal noise. A high-frequency oscillation circuit characterized by the following.

【0018】また、第6の本発明(請求項6に対応)
は、一端が前記ベース相当電極に接続され、他端が接地
された第2のインダクタをさらに備え、前記第2のイン
ダクタは、前記発振用素子の発振周波数においてインピ
ーダンスが高く、熱雑音の比較的低い所定のバイアス抵
抗となるような高いシート抵抗をもつ配線にて構成され
ていることを特徴とする上記本発明である。
The sixth invention (corresponding to claim 6)
Further includes a second inductor having one end connected to the base-corresponding electrode and the other end grounded, wherein the second inductor has a high impedance at the oscillation frequency of the oscillation element and has a relatively low thermal noise. The present invention is characterized in that the present invention is configured by a wiring having a high sheet resistance so as to have a low predetermined bias resistance.

【0019】また、第7の本発明(請求項7に対応)
は、エミッタ相当電極、ベース相当電極およびコレクタ
相当電極を有するトランジスタ構造の発振用素子と、一
端が前記エミッタ相当電極に接続され、他端が接地され
た、熱雑音が低い比較的抵抗値の小さい抵抗と、一端が
前記抵抗に直列に接続されるとともに、他端が前記高周
波発振回路の入力側と接続されたインダクタとを備え、
前記インダクタは、前記発振用素子の発振周波数におい
て、ハイインピーダンスとなるよう構成されていること
を特徴とする高周波発信回路である。
Further, a seventh aspect of the present invention (corresponding to claim 7)
Is an oscillator element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode, and one end connected to the emitter equivalent electrode and the other end grounded, with low thermal noise and relatively low resistance. A resistor, having one end connected in series to the resistor and the other end connected to the input side of the high-frequency oscillation circuit;
The high frequency transmission circuit is characterized in that the inductor is configured to have high impedance at the oscillation frequency of the oscillation element.

【0020】また、第8の本発明(請求項8に対応)
は、前記インダクタは、前記高周波発振回路を収納する
パッケージと、前記高周波発信回路とを接続するボンデ
ィングワイヤとして実現されていることを特徴とする上
記本発明である。
The eighth invention (corresponding to claim 8)
The present invention is characterized in that the inductor is realized as a bonding wire for connecting the package accommodating the high-frequency oscillation circuit and the high-frequency oscillation circuit.

【0021】また、第9の本発明(請求項9に対応)
は、エミッタ相当電極、ベース相当電極およびコレクタ
相当電極を有するトランジスタ構造の発振用素子と、一
端が前記発振用素子のコレクタ相当電極に直列に接続さ
れたコンデンサとを備え、前記コンデンサは、前記発振
用素子の発信周波数において、インピーダンスが低くな
ることを特徴とする高周波発信回路である。
The ninth invention (corresponding to claim 9)
Comprises an oscillation element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode, and a capacitor having one end connected in series to the collector equivalent electrode of the oscillation element. The high frequency transmission circuit is characterized in that the impedance becomes low at the transmission frequency of the device.

【0022】また、第10の本発明(請求項9に対応)
は、前記コンデンサは、前記高周波発振回路を収納する
パッケージに設けられた、前記コレクタ相当電極と接続
された電源入力となる第1の端子と、一端が接地されて
いる、前記第1の端子と並列に接続された第2の端子と
の間の寄生容量として実現されていることを特徴とする
上記本発明である。
The tenth aspect of the present invention (corresponding to claim 9)
The capacitor is provided in a package that houses the high-frequency oscillation circuit, a first terminal serving as a power input connected to the collector equivalent electrode, and a first terminal having one end grounded. The present invention is characterized in that the present invention is realized as a parasitic capacitance between the second terminal and the second terminal connected in parallel.

【0023】また、第11の本発明(請求項11に対
応)は、前記第2の端子は、前記第1の端子の両側また
は片側に隣接して設けられた、少なくとも2つの端子で
あることを特徴とする上記本発明である。
According to an eleventh aspect of the present invention (corresponding to claim 11), the second terminal is at least two terminals provided adjacent to both sides or one side of the first terminal. The present invention is characterized in that:

【0024】また、第12の本発明(請求項12に対
応)は、エミッタ相当電極、ベース相当電極およびコレ
クタ相当電極を有するトランジスタ構造の発振用素子
と、前記発振用素子を格納するパッケージと、前記パッ
ケージに設けられた、一端がボンディングワイヤを介し
て前記発振用素子のエミッタ相当電極と接続された、発
振出力となる第1の端子と、前記パッケージに設けられ
た、一端が接地されている、前記第1の端子と隣接して
設けられた第2の端子とを備え、前記第1の端子と前記
第2の端子との間は寄生容量を有し、前記ボンディング
ワイヤはインダクタを形成し、前記寄生容量および前記
インダクタは、前記発振用素子以下の帯域の周波数の信
号を通過させるローパスフィルタを形成することを特徴
とする高周波発振回路である。
According to a twelfth aspect of the present invention (corresponding to claim 12), there is provided an oscillation element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode, a package for storing the oscillation element, A first terminal provided on the package, one end of which is connected to an emitter-equivalent electrode of the oscillation element via a bonding wire and serving as an oscillation output; and one end provided on the package is grounded A second terminal provided adjacent to the first terminal, a parasitic capacitance is provided between the first terminal and the second terminal, and the bonding wire forms an inductor. Wherein the parasitic capacitance and the inductor form a low-pass filter that passes a signal having a frequency in a band equal to or lower than the oscillation element. A.

【0025】また、第13の本発明(請求項13に対
応)は、エミッタ相当電極、ベース相当電極およびコレ
クタ相当電極を有する、2つのトランジスタ構造の発振
用素子と、前記2つの発振用素子を格納するパッケージ
と、前記パッケージに設けられた、一端が第1のボンデ
ィングワイヤを介して一方の前記高周波発信回路の前記
発振用素子のエミッタ相当電極に接続された、発振出力
となる第1の端子と、前記パッケージに設けられた、一
端が第2のボンディングワイヤを介して、他方の前記高
周波発信回路の前記発振用素子の発振出力と前記一方の
前記高周波発信回路の前記発振用素子のエミッタ相当電
極に接続され、他端が接地された第2の端子とを備え、
前記第1のボンディングワイヤおよび第2のボンディン
グワイヤは磁界結合してバランを形成し、前記第1の端
子から、片相出力が得られることを特徴とする高周波発
振回路である。
A thirteenth aspect of the present invention (corresponding to claim 13) relates to an oscillation element having two transistor structures having an electrode equivalent to an emitter, an electrode equivalent to a base, and an electrode equivalent to a collector, and the two oscillation elements. A package to be stored, and a first terminal serving as an oscillation output, one end of which is connected to an emitter-corresponding electrode of the oscillation element of one of the high-frequency oscillation circuits via a first bonding wire provided on the package. One end of the high-frequency oscillation circuit provided on the package via a second bonding wire, corresponding to the oscillation output of the oscillation element of the other high-frequency oscillation circuit and the emitter of the oscillation element of the one high-frequency oscillation circuit. A second terminal connected to the electrode and having the other end grounded;
The first bonding wire and the second bonding wire are magnetically coupled to form a balun, and a single-phase output is obtained from the first terminal.

【0026】また、第14の本発明(請求項14に対
応)は、第1から第13のいずれかの本発明の高周波発
振回路を搭載したことを特徴とする無線通信機器であ
る。
A fourteenth aspect of the present invention (corresponding to claim 14) is a wireless communication apparatus characterized by mounting the high-frequency oscillation circuit according to any one of the first to thirteenth aspects.

【0027】以上のような本発明は、例えば、トランジ
スタにおいてエミッタ電極及びベース電極をインターデ
ジタルに配置し、ベース−エミッタ間の帰還容量を発振
の条件を満たす容量値とする。
In the present invention as described above, for example, an emitter electrode and a base electrode are arranged in an interdigital manner in a transistor, and the feedback capacitance between the base and the emitter is set to a capacitance value satisfying the oscillation condition.

【0028】これにより、C/N等の特性劣化のない占
有面積が小さい高周波発振回路を得ることができる。
Thus, it is possible to obtain a high-frequency oscillation circuit having a small occupied area without deteriorating characteristics such as C / N.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0030】(実施の形態1)図1(a)は本発明の実
施の形態1による高周波発振回路の等価回路を示す図で
ある。
(Embodiment 1) FIG. 1A is a diagram showing an equivalent circuit of a high-frequency oscillation circuit according to Embodiment 1 of the present invention.

【0031】図1(a)において、1010はコレクタ
接地クラップ発振回路、1はベース−エミッタ間コンデ
ンサ、2は発振トランジスタ、3は発振出力結合コンデ
ンサ、4はエミッタ抵抗、5はエミッタ−グランド間コ
ンデンサ、6は発振出力端子、7、8はベースバイアス
抵抗、9、12は共振回路結合コンデンサ、10は共振
用インダクタ、11は共振用バリキャップ、13は制御
電圧印加用インダクタ、14は制御電圧印加端子、15
はバイアス印加端子である。
In FIG. 1A, reference numeral 1010 denotes a collector grounded clap oscillation circuit, 1 denotes a base-emitter capacitor, 2 denotes an oscillation transistor, 3 denotes an oscillation output coupling capacitor, 4 denotes an emitter resistor, and 5 denotes an emitter-ground capacitor. , 6 are oscillation output terminals, 7 and 8 are base bias resistors, 9 and 12 are resonance circuit coupling capacitors, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, and 14 is a control voltage application. Terminal, 15
Is a bias application terminal.

【0032】次に、図1(b)は、本実施の形態による
高周波発振回路の発振トランジスタの構成図である。図
1(b)において、30は半導体基板からなる積層体内
に形成される発振トランジスタ構造、31、39はコレ
クタ電極、32、34、36、38はベース電極、3
3、35、37はエミッタ電極、41、42、43はシ
リコン基板エミッタ領域、44はシリコン基板ベース領
域、45はシリコン基板コレクタ領域、46はシリコン
基板p型サブストレートである。
Next, FIG. 1B is a configuration diagram of the oscillation transistor of the high-frequency oscillation circuit according to the present embodiment. In FIG. 1B, reference numeral 30 denotes an oscillation transistor structure formed in a laminate made of a semiconductor substrate; 31, 39, a collector electrode; 32, 34, 36, 38, a base electrode;
Reference numerals 3, 35 and 37 are emitter electrodes, 41, 42 and 43 are silicon substrate emitter regions, 44 is a silicon substrate base region, 45 is a silicon substrate collector region, and 46 is a silicon substrate p-type substrate.

【0033】また、図1(c)は、本実施の形態による
高周波発振回路の上面を模式的に示す図である。図1
(c)において、150はトランジスタ電極接続構造、
151、159はコレクタ端子、152、154、15
6、158はベース端子、153、155、157はエ
ミッタ端子、161、162,163は端子接続配線で
ある。
FIG. 1C is a diagram schematically showing the upper surface of the high-frequency oscillation circuit according to the present embodiment. FIG.
In (c), 150 is a transistor electrode connection structure,
151, 159 are collector terminals, 152, 154, 15
6, 158 are base terminals; 153, 155, 157 are emitter terminals; 161, 162, 163 are terminal connection wirings.

【0034】構造は以下のようになっている。1010
のような発振回路においてトランジスタ2の電極は、発
振トランジスタ構造30のようになっており、p型サブ
ストレート46上にコレクタ領域45が形成され、その
内側にベース領域44、及びエミッタ領域41、42、
43が形成されている。
The structure is as follows. 1010
In the oscillation circuit described above, the electrode of the transistor 2 has an oscillation transistor structure 30, a collector region 45 is formed on a p-type substrate 46, and a base region 44 and emitter regions 41 and 42 are formed inside the collector region 45. ,
43 are formed.

【0035】コレクタ電極31、39は外側から引き出
され、ベース電極32、34、36、38とエミッタ電
極33、35、37は交互に各々の領域より引き出され
ている。
The collector electrodes 31, 39 are drawn out from the outside, and the base electrodes 32, 34, 36, 38 and the emitter electrodes 33, 35, 37 are drawn out from the respective regions alternately.

【0036】また、電極31〜39はアルミの配線層の
端子51〜59にコンタクトを介し接続されている。コ
レクタ電極31、39はアルミの配線層にて端子接続配
線63にて接続されている。同様にベース電極は端子接
続配線62にて、エミッタ電極は端子接続配線61にて
接続されている。
The electrodes 31 to 39 are connected to terminals 51 to 59 of an aluminum wiring layer via contacts. The collector electrodes 31 and 39 are connected by a terminal connection wiring 63 in an aluminum wiring layer. Similarly, the base electrode is connected by the terminal connection wiring 62, and the emitter electrode is connected by the terminal connection wiring 61.

【0037】ベース−エミッタ間の全容量はベース電極
32、34、36、38とエミッタ電極33、35、3
7及びベース端子152、154、156、158とエ
ミッタ端子153、155、157間にて形成される容
量となる。電極の長さ、間隔、厚みを調整することによ
り容量値の調整を行う。
The total capacitance between the base and the emitter is based on the base electrodes 32, 34, 36 and 38 and the emitter electrodes 33, 35 and 3
7 and a capacitor formed between the base terminals 152, 154, 156, 158 and the emitter terminals 153, 155, 157. The capacitance value is adjusted by adjusting the length, interval, and thickness of the electrode.

【0038】上記の構成によれば、従来ベース−エミッ
タ間の容量を、サブストレート間に寄生容量をもつMI
Mコンデンサにて形成していたものをトランジスタの電
極間の容量を用いるため、実装面積をより小さくして、
C/N等の特性劣化のない高周波発振回路を得ることが
出来る。
According to the above configuration, the capacitance between the base and the emitter is conventionally reduced to the MI having the parasitic capacitance between the substrates.
Since the capacitance between the electrodes of the transistor is used instead of the one formed by the M capacitor, the mounting area is made smaller,
It is possible to obtain a high-frequency oscillation circuit without deterioration of characteristics such as C / N.

【0039】(実施の形態2)図2(a)は本発明の実
施の形態2による高周波発振回路の等価回路図を示す。
図2(a)において、1010はコレクタ接地クラップ
発振回路、1はベース−エミッタ間コンデンサ、2は発
振トランジスタ、3は発振出力結合コンデンサ、4はエ
ミッタ抵抗、5はエミッタ−グランド間コンデンサ、6
は発振出力端子、7、8はベースバイアス抵抗、9、1
2は共振回路結合コンデンサ、10は共振用インダク
タ、11は共振用バリキャップ、13は制御電圧印加用
インダクタ、14は制御電圧印加端子、15はバイアス
印加端子、16はエミッタ抵抗出力、17はインダクタ
である。
(Embodiment 2) FIG. 2A is an equivalent circuit diagram of a high-frequency oscillation circuit according to Embodiment 2 of the present invention.
In FIG. 2A, reference numeral 1010 denotes a common collector clap oscillation circuit, 1 denotes a base-emitter capacitor, 2 denotes an oscillation transistor, 3 denotes an oscillation output coupling capacitor, 4 denotes an emitter resistor, 5 denotes an emitter-ground capacitor, 6
Is an oscillation output terminal, 7, 8 are base bias resistors, 9, 1
2 is a resonance circuit coupling capacitor, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, 14 is a control voltage application terminal, 15 is a bias application terminal, 16 is an emitter resistance output, and 17 is an inductor. It is.

【0040】また、図2(b)は、本発明の実施の形態
2による高周波発振回路を含むICのパッケージングの
外観を示す図である。図2(b)において、70はIC
のパッケージング構造、71はICチップ、72はパッ
ケージ、73はエミッタ抵抗出力パッド、74はボンデ
ィングワイヤ、75はグランド接続端子である。
FIG. 2B is a diagram showing the appearance of the packaging of an IC including the high-frequency oscillation circuit according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 2B, reference numeral 70 denotes an IC.
Reference numeral 71 denotes an IC chip, 72 denotes a package, 73 denotes an emitter resistance output pad, 74 denotes a bonding wire, and 75 denotes a ground connection terminal.

【0041】以上のような構成を有する本発明の実施の
形態2による高周波発振回路の動作は、以下のようにな
っている。
The operation of the high-frequency oscillation circuit according to the second embodiment of the present invention having the above configuration is as follows.

【0042】1010のようなコレクタ接地発振回路に
おいて、発振トランジスタ2のエミッタ抵抗4に直列に
発振周波数においてインピーダンスの高いインダクタ1
7を接続する。
In a common-collector oscillation circuit such as 1010, an inductor 1 having a high impedance at an oscillation frequency is connected in series with an emitter resistor 4 of an oscillation transistor 2.
7 is connected.

【0043】図2(b)に示すICのパッケージングに
おいては、エミッタ抵抗出力16に相当するエミッタ抵
抗出力パッド73に、ボンディングワイヤ74をグラン
ド接続端子75に接続し、このボンディングワイヤ74
によりインダクタ17を形成する。グランド接続端子7
5は実装基板のグランドに接続されている。
In the packaging of the IC shown in FIG. 2B, a bonding wire 74 is connected to an emitter resistance output pad 73 corresponding to the emitter resistance output 16 and a ground connection terminal 75.
Thus, the inductor 17 is formed. Ground connection terminal 7
Reference numeral 5 is connected to the ground of the mounting board.

【0044】コンデンサ5に並列に接続されているエミ
ッタ抵抗4によりコンデンサ5の等価的なQ値が劣化す
るが、エミッタ抵抗4に直列にインダクタ17を接続す
ることにより、発振周波数においてコンデンサ5に並列
に接続されるインピーダンスが高くなり等価的なQ値が
向上する。
Although the equivalent Q value of the capacitor 5 is degraded by the emitter resistor 4 connected in parallel to the capacitor 5, the inductor 17 is connected in series with the emitter resistor 4 so that the inductor Q is connected in parallel to the capacitor 5 at the oscillation frequency. And the equivalent Q value is improved.

【0045】上記の構成によれば、従来発振トランジス
タのエミッタ−グランド間のコンデンサの等価的なQ値
が劣化していたものが、Q値が向上し、C/N等の特性
劣化のない高周波発振回路を得ることが出来る。
According to the above configuration, the equivalent Q value of the capacitor between the emitter and the ground of the oscillation transistor has been deteriorated in the past, but the Q value has been improved and the high frequency without the characteristic deterioration such as C / N has been improved. An oscillation circuit can be obtained.

【0046】なお、上記の実施の形態においては、イン
ダクタ17を、パッケージ72のボンディングワイヤ7
4として設けていたが、パッケージ72内の他の部材と
して設けてもよい。
In the above embodiment, the inductor 17 is connected to the bonding wire 7 of the package 72.
Although provided as 4, it may be provided as another member in the package 72.

【0047】また、上記の実施の形態においては、コレ
クタ接地発振回路101としては、実施の形態1、また
は後述する各実施の形態による高周波発振回路を用いる
ことにより、より効率の高い高周波発振回路を得られる
が、従来例の高周波発振回路を用いてもよい。
In the above-described embodiment, a high-efficiency high-frequency oscillating circuit can be realized by using the high-frequency oscillating circuit according to the first embodiment or each of the later-described embodiments as the common-collector oscillating circuit 101. However, a conventional high-frequency oscillation circuit may be used.

【0048】(実施の形態3)図3(a)は本発明の実
施の形態3による高周波発振回路の等価回路を示す図で
ある。
(Embodiment 3) FIG. 3A is a diagram showing an equivalent circuit of a high-frequency oscillation circuit according to Embodiment 3 of the present invention.

【0049】図3(a)において、1012は発振回
路、1、5は帰還容量、2は発振トランジスタ、3は発
振出力結合コンデンサ、4はエミッタ抵抗、6は発振出
力端子、7はベースバイアス抵抗、9、12は共振回路
結合コンデンサ、10は共振用インダクタ、11は共振
用バリキャップ、13は制御電圧印加用インダクタ、1
4は制御電圧印加端子、15はバイアス印加端子、16
はIC上インダクタ等価回路、17はインダクタであ
る。
In FIG. 3A, 1012 is an oscillation circuit, 1 and 5 are feedback capacitors, 2 is an oscillation transistor, 3 is an oscillation output coupling capacitor, 4 is an emitter resistor, 6 is an oscillation output terminal, and 7 is a base bias resistor. , 9, and 12 are resonance circuit coupling capacitors, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, 1
4 is a control voltage application terminal, 15 is a bias application terminal, 16
Is an inductor equivalent circuit on an IC, and 17 is an inductor.

【0050】また、図3(b)は、本発明の実施の形態
3による高周波発振回路の構成図である。図3(b)に
おいて、1020は半導体基板からなる積層体内に形成
される発振トランジスタ及びベース−バイアス端子間イ
ンダクタ部、201、202は配線層層間膜、203は
トランジスタ電極層層間膜、204はシリコン基板、2
05はバイアス印加パッド、206はIC上インダク
タ、207、215、216、217は配線層間コンタ
クト、211は接続配線、212はコレクタ端子、21
3はエミッタ端子、214はベース端子、218はコレ
クタ電極、219はエミッタ電極、220はベース電
極、221はコレクタ領域、222はエミッタ領域、2
23はベース領域である。
FIG. 3B is a configuration diagram of a high-frequency oscillation circuit according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 3B, reference numeral 1020 denotes an oscillation transistor and an inductor portion between a base and a bias terminal which are formed in a stacked body made of a semiconductor substrate; 201 and 202, an interlayer film of a wiring layer; 203, an interlayer film of a transistor electrode layer; Substrate, 2
05 is a bias application pad, 206 is an inductor on an IC, 207, 215, 216, and 217 are wiring interlayer contacts, 211 is a connection wiring, 212 is a collector terminal, 21
3 is an emitter terminal, 214 is a base terminal, 218 is a collector electrode, 219 is an emitter electrode, 220 is a base electrode, 221 is a collector region, 222 is an emitter region,
23 is a base area.

【0051】以上のような構成を有する本発明の実施の
形態3による高周波発振回路の動作は以下のようになっ
ている。
The operation of the high frequency oscillation circuit according to the third embodiment of the present invention having the above-described configuration is as follows.

【0052】101のようなコレクタ接地発振回路にお
いて、発振トランジスタ2のベースバイアス抵抗7に直
列に発振周波数においてインピーダンスの高いインダク
タ17を接続する。
In a common-collector oscillation circuit such as 101, an inductor 17 having a high impedance at the oscillation frequency is connected in series to the base bias resistor 7 of the oscillation transistor 2.

【0053】ベース抵抗が大きいと熱雑音によりC/N
特性が劣化するため、比較的低い抵抗7(例えば100
Ω)に直列に、発振周波数において十分インピーダンス
の高いインダクタ17を接続する。
If the base resistance is large, C / N
Since the characteristics are deteriorated, a relatively low resistance 7 (for example, 100
) Is connected in series with an inductor 17 having sufficiently high impedance at the oscillation frequency.

【0054】IC上に発振回路を作成する場合はシート
抵抗の大きな配線層201にてインダクタ206を構成
し、等価的に直列抵抗成分を含む回路を構成する。
When an oscillation circuit is formed on an IC, the inductor 206 is formed by the wiring layer 201 having a large sheet resistance, and a circuit including a series resistance component is equivalently formed.

【0055】インダクタ206の接続は、ベース領域2
23よりベース電極220、コンタクト217を介して
接続されたベース端子214から接続配線211、コン
タクト207を通じインダクタ206の一端を接続し、
他端をバイアス印加パッド205に接続する。
The connection of the inductor 206 is made in the base region 2
23, one end of an inductor 206 is connected from a base terminal 214 connected via a base electrode 220 and a contact 217 to a connection wiring 211 and a contact 207;
The other end is connected to the bias application pad 205.

【0056】インダクタ206は例えばシート抵抗10
0mΩ/スクエアの場合、スパイラルインダクタを線間
10μm、線幅10μmで8ターン巻くと10nH、5
0Ωとなる。線幅を細くすることにより抵抗値を上げる
ことができる。
The inductor 206 has, for example, a sheet resistance of 10
In the case of 0 mΩ / square, when the spiral inductor is wound 8 turns with a line interval of 10 μm and a line width of 10 μm, 10 nH, 5
It becomes 0Ω. The resistance value can be increased by reducing the line width.

【0057】上記の構成によれば、従来発振トランジス
タのベース抵抗が大きくノイズの発生源となっていたも
のがC/N等の特性劣化のない高周波発振回路を得るこ
とが出来る。
According to the above configuration, a high-frequency oscillation circuit free from deterioration of characteristics such as C / N can be obtained, which has conventionally been a source of noise due to a large base resistance of the oscillation transistor.

【0058】またIC上で形成する抵抗は温度特性が悪
いため抵抗を削減することにより温度特性を向上するこ
とができる。
Further, since the resistance formed on the IC has poor temperature characteristics, the temperature characteristics can be improved by reducing the resistance.

【0059】なお、上記の実施の形態においては、配線
層層間膜201上に1つのIC上インダクタ206を備
えるものとして説明を行ったが、図4(b)に示す、発
振トランジスタ及びベース−バイアス端子間インダクタ
部1021のように、配線層層間膜201のさらに上部
に、バイアス印加パッド224、IC上インダクタ22
5および配線層間コンタクト226を備えた配線層層間
膜227を設けて、配線層間IC上インダクタ206と
配線層間コンタクト226とを接続して、図4(a)に
示す発振回路1013の等価回路図のように、2つのイ
ンダクタを直列接続したインダクタ17aを備えた構成
としてもよい。この場合、さらにC/N比を向上させる
ことができる。
In the above-described embodiment, the description has been made assuming that one on-IC inductor 206 is provided on the wiring interlayer film 201. However, the oscillation transistor and the base-bias shown in FIG. As in the inter-terminal inductor portion 1021, the bias application pad 224 and the inductor 22
5 and a wiring interlayer film 227 having wiring interlayer contacts 226 is provided to connect the inductor 206 on the wiring interlayer IC and the wiring interlayer contact 226, thereby providing an equivalent circuit diagram of the oscillation circuit 1013 shown in FIG. As described above, a configuration including the inductor 17a in which two inductors are connected in series may be adopted. In this case, the C / N ratio can be further improved.

【0060】また、上記の実施の形態においては、IC
上インダクタ206は、ベース端子214と接続するも
のとして説明を行ったが、エミッタ端子216と接続す
るようにしてもよい。この場合、実施の形態2の発振回
路と同様の効果が得られ、エミッタ−グランド間のQ値
を向上できる効果がある。
In the above embodiment, the IC
Although the upper inductor 206 has been described as being connected to the base terminal 214, it may be connected to the emitter terminal 216. In this case, the same effect as that of the oscillation circuit according to the second embodiment can be obtained, and the Q value between the emitter and the ground can be improved.

【0061】(実施の形態4)図5(a)は本発明の実
施の形態4による高周波発振回路の等価回路図を示す。
(Embodiment 4) FIG. 5A is an equivalent circuit diagram of a high frequency oscillation circuit according to Embodiment 4 of the present invention.

【0062】図5(a)において、1014は発振回
路、1、5は帰還容量、2は発振トランジスタ、3は発
振出力結合コンデンサ、4はエミッタ抵抗、6は発振出
力端子、7、8はベースバイアス抵抗、9、12は共振
回路結合コンデンサ、10は共振用インダクタ、11は
共振用バリキャップ、13は制御電圧印加用インダク
タ、14は制御電圧印加端子、15はバイアス印加端子
である。
In FIG. 5A, 1014 is an oscillation circuit, 1 and 5 are feedback capacitors, 2 is an oscillation transistor, 3 is an oscillation output coupling capacitor, 4 is an emitter resistor, 6 is an oscillation output terminal, and 7 and 8 are bases. Bias resistors 9, 12 are resonance circuit coupling capacitors, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, 14 is a control voltage application terminal, and 15 is a bias application terminal.

【0063】また、図5(b)は、本発明の実施の形態
4による高周波発振回路を含むICのパッケージングの
外観を示す図である。図5(b)において、50はIC
のパッケージング構造、51はICチップ、52はパッ
ケージ、53はバイアス印加パッド、54はボンディン
グワイヤ、55はグランド接続端子、56はバイアス印
加端子、57はパッケージ端子間容量である。
FIG. 5B is a diagram showing the appearance of the packaging of an IC including a high-frequency oscillation circuit according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 5B, reference numeral 50 denotes an IC.
51, an IC chip, 52, a package, 53, a bias application pad, 54, a bonding wire, 55, a ground connection terminal, 56, a bias application terminal, and 57, a capacitance between package terminals.

【0064】以上のような構成を有する本発明の実施の
形態4による高周波発振回路の動作は、以下のようにな
っている。
The operation of the high-frequency oscillation circuit according to the fourth embodiment of the present invention having the above-described configuration is as follows.

【0065】1014のようなIC上に構成されたコレ
クタ接地発振回路のICのパッケージングにおいて、バ
イアス印加端子15に相当するバイアス印加パッド53
よりボンディングワイヤ54にてパッケージのバイアス
印加端子56に接続する。
In packaging an IC of a common-collector oscillation circuit constituted on an IC such as 1014, a bias application pad 53 corresponding to the bias application terminal 15 is provided.
The bonding wire 54 is connected to a bias applying terminal 56 of the package.

【0066】パッケージの設計において、バイアス印加
端子56と隣接するグランド接続端子55の寄生容量で
あるパッケージ端子間容量57の容量値が、発振周波数
においてインピーダンスが低くなるように端子長を調整
する。
In designing the package, the terminal length is adjusted so that the capacitance value of the capacitance 57 between the package terminals, which is the parasitic capacitance of the ground connection terminal 55 adjacent to the bias application terminal 56, has a low impedance at the oscillation frequency.

【0067】発振回路は電源からのノイズによりC/N
特性が劣化する。そのため電源ラインにバイパスコンデ
ンサを形成することによりノイズ成分の除去を行う。
The oscillation circuit has a C / N ratio due to noise from the power supply.
The characteristics deteriorate. Therefore, a noise component is removed by forming a bypass capacitor in the power supply line.

【0068】上記の構成によれば、従来発振回路の電源
ラインに高周波ノイズが混入した場合、ノイズによりC
/N特性の劣化が起こるが、ノイズ成分をパッケージの
端子端において低減することにより、C/N等の特性劣
化のない高周波発振回路を得ることが出来る。
According to the above configuration, when high-frequency noise is mixed in the power supply line of the conventional oscillation circuit, C
Although the / N characteristic deteriorates, a high-frequency oscillation circuit free from characteristic deterioration such as C / N can be obtained by reducing the noise component at the terminal end of the package.

【0069】なお、上記の実施の形態においては、寄生
容量57を、パッケージ52のバイアス印加端子56お
よびグランド接続端子55の間に生ずるものとして設け
ていたが、パッケージ52内の他の部材中に生ずるもの
として設けてもよい。
In the above-described embodiment, the parasitic capacitance 57 is provided between the bias application terminal 56 and the ground connection terminal 55 of the package 52. It may be provided as a result.

【0070】また、上記の実施の形態においては、コレ
クタ接地発振回路1014の他に、実施の形態1または
3の高周波発振回路1011,1013を用いることに
より、より効率の高い高周波発振回路を得られるが、従
来例の高周波発振回路を用いてもよい。
Further, in the above embodiment, by using the high-frequency oscillation circuits 1011 and 1013 of the first or third embodiment in addition to the common-collector oscillation circuit 1014, a more efficient high-frequency oscillation circuit can be obtained. However, a conventional high-frequency oscillation circuit may be used.

【0071】(実施の形態5)図6(a)は本発明の実
施の形態5による高周波発振回路の等価回路図を示す。
(Embodiment 5) FIG. 6A is an equivalent circuit diagram of a high frequency oscillation circuit according to Embodiment 5 of the present invention.

【0072】図6(a)において、1015は発振回
路、1、5は帰還容量、2は発振トランジスタ、3は発
振出力結合コンデンサ、4はエミッタ抵抗、6は発振出
力端子、7、8はベースバイアス抵抗、9、12は共振
回路結合コンデンサ、10は共振用インダクタ、11は
共振用バリキャップ、13は制御電圧印加用インダク
タ、14は制御電圧印加端子、15はバイアス印加端子
である。
In FIG. 6A, 1015 is an oscillation circuit, 1 and 5 are feedback capacitors, 2 is an oscillation transistor, 3 is an oscillation output coupling capacitor, 4 is an emitter resistor, 6 is an oscillation output terminal, and 7 and 8 are bases. Bias resistors 9, 12 are resonance circuit coupling capacitors, 10 is a resonance inductor, 11 is a resonance varicap, 13 is a control voltage application inductor, 14 is a control voltage application terminal, and 15 is a bias application terminal.

【0073】また、図6(b)は、本発明の実施の形態
4による高周波発振回路を含むICのパッケージングの
外観を示す図である。図6(b)において、80はIC
のパッケージング構造、51はICチップ、52はパッ
ケージ、53は発振出力パッド、54はボンディングワ
イヤ、55はグランド接続端子、56は発振回路出力端
子、57はパッケージ端子間容量である。
FIG. 6B is a diagram showing the appearance of the packaging of an IC including a high-frequency oscillation circuit according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 6B, reference numeral 80 denotes an IC.
51, an IC chip, 52, a package, 53, an oscillation output pad, 54, a bonding wire, 55, a ground connection terminal, 56, an oscillation circuit output terminal, and 57, a capacitance between package terminals.

【0074】以上のような構成を有する本発明の実施の
形態6による高周波発振回路の動作は以下のようになっ
ている。
The operation of the high-frequency oscillation circuit having the above configuration according to the sixth embodiment of the present invention is as follows.

【0075】1015のようなIC上に構成されたコレ
クタ接地発振回路のICのパッケージングにおいて、発
振出力端子6に相当する発振出力パッド53よりボンデ
ィングワイヤ54にて発振回路出力端子56に接続す
る。発振回路出力端子56と隣接するグランド接続端子
55をグランドに接続する。
In the packaging of an IC having a common-collector oscillation circuit formed on an IC such as 1015, an oscillation output pad 53 corresponding to the oscillation output terminal 6 is connected to an oscillation circuit output terminal 56 via a bonding wire 54. The ground connection terminal 55 adjacent to the oscillation circuit output terminal 56 is connected to the ground.

【0076】以上のように、ボンディングワイヤ54と
パッケージ端子間容量とによりローパスフィルタ81を
形成する。
As described above, the low-pass filter 81 is formed by the bonding wire 54 and the capacitance between the package terminals.

【0077】ボンディングワイヤ54は長さと形状を調
整し、また、パッケージ端子間容量57は端子長の調整
を行い、発振周波数を通過するようにインダクタ値と容
量値を調整する。
The length and shape of the bonding wire 54 are adjusted, and the capacitance 57 between the package terminals adjusts the terminal length, and adjusts the inductor value and the capacitance value so as to pass the oscillation frequency.

【0078】上記の構成によれば、従来発振回路の出力
において高いレベルの高調波が出力されていたが、高調
波レベルの低い高周波発振回路を、外部に別途回路を設
けることなく実現することが出来る。
According to the above configuration, a high-level harmonic is output at the output of the oscillation circuit in the related art. However, a high-frequency oscillation circuit having a low harmonic level can be realized without providing a separate circuit externally. I can do it.

【0079】また、上記の実施の形態においては、コレ
クタ接地発振回路1015のかわりに、実施の形態1ま
たは3の高周波発振回路1011,1013を用いるこ
とにより、より効率の高い高周波発振回路を得られる
が、従来例の高周波発振回路を用いてもよい。
Further, in the above-described embodiment, a high-efficiency high-frequency oscillation circuit can be obtained by using high-frequency oscillation circuits 1011 and 1013 of the first or third embodiment instead of common-collector oscillation circuit 1015. However, a conventional high-frequency oscillation circuit may be used.

【0080】(実施の形態6)図7(a)は本発明の実
施の形態6による高周波発振回路の等価回路図を示す。
(Embodiment 6) FIG. 7A is an equivalent circuit diagram of a high-frequency oscillation circuit according to Embodiment 6 of the present invention.

【0081】図7(a)において、1016はバランス
出力発振回路、1、5、16は帰還容量、2、17は発
振トランジスタ、3、18は発振出力結合コンデンサ、
4、19はエミッタ抵抗、6、20は発振出力端子、
7、8、21,22はベースバイアス抵抗、9、12、
23,25は共振回路結合コンデンサ、10は共振用イ
ンダクタ、11、24は共振用バリキャップ、13、2
6は制御電圧印加用インダクタ、14は制御電圧印加端
子、15はバイアス印加端子である。
In FIG. 7A, 1016 is a balanced output oscillation circuit, 1, 5, 16 are feedback capacitors, 2, 17 are oscillation transistors, 3, 18 are oscillation output coupling capacitors,
4 and 19 are emitter resistors, 6 and 20 are oscillation output terminals,
7, 8, 21, and 22 are base bias resistors, 9, 12,
23 and 25 are resonance circuit coupling capacitors; 10 is a resonance inductor; 11 and 24 are resonance varicaps;
6 is a control voltage application inductor, 14 is a control voltage application terminal, and 15 is a bias application terminal.

【0082】また、図7(b)は、本発明の実施の形態
6による高周波発振回路を含むICのパッケージングの
外観を示す図である。図7(b)において、90はIC
のパッケージング構造、51はICチップ、52はパッ
ケージ、53、56は発振出力パッド、54、57はボ
ンディングワイヤ、55はグランド接続端子、58は発
振回路出力端子である。
FIG. 7B is a diagram showing the appearance of the packaging of an IC including a high-frequency oscillation circuit according to the sixth embodiment of the present invention. In FIG. 7B, 90 is an IC
Reference numeral 51 denotes an IC chip, 52 denotes a package, 53 and 56 denote oscillation output pads, 54 and 57 denote bonding wires, 55 denotes a ground connection terminal, and 58 denotes an oscillation circuit output terminal.

【0083】以上のような構成を有する本発明の実施の
形態6による高周波発振回路の構造は、以下のようにな
っている。
The structure of the high frequency oscillation circuit according to the sixth embodiment of the present invention having the above-described structure is as follows.

【0084】101のような発振出力端子6,20より
バランス信号として信号を取り出すIC上に構成された
バランス出力発振回路ICのパッケージングにおいて、
発振出力端子6に相当する発振出力パッド56よりボン
ディングワイヤ57にて発振回路出力端子58に接続す
る。
In the packaging of a balanced output oscillation circuit IC configured on an IC for extracting a signal as a balanced signal from the oscillation output terminals 6 and 20 such as 101,
An oscillation output pad 56 corresponding to the oscillation output terminal 6 is connected to an oscillation circuit output terminal 58 by a bonding wire 57.

【0085】また、発振出力端子20に相当する発振出
力パッド53よりボンディングワイヤ54にてグランド
接続端子55に接続する。グランド接続端子55はグラ
ンドに接続されている。ボンディングワイヤ57とボン
ディングワイヤ54は磁界結合しバラン91を構成す
る。
Further, an oscillation output pad 53 corresponding to the oscillation output terminal 20 is connected to a ground connection terminal 55 by a bonding wire 54. The ground connection terminal 55 is connected to the ground. The bonding wire 57 and the bonding wire 54 are magnetically coupled to form a balun 91.

【0086】上記の構成によれば、従来発振回路の出力
においてIC外部でバランス−アンバランスの変換素子
が必要であったが、外部変換回路なしに片相出力の高周
波発振回路を得ることが出来る。
According to the above configuration, a balanced-unbalanced conversion element is conventionally required outside the IC at the output of the oscillation circuit. However, a single-phase output high-frequency oscillation circuit can be obtained without an external conversion circuit. .

【0087】また、上記の実施の形態においては、コレ
クタ接地発振回路1016の他に、、実施の形態1また
は3の高周波発振回路1011,1103を二重化して
用いることにより、より効率の高い高周波発振回路を得
られるが、従来例の高周波発振回路を用いてもよい。
In the above-described embodiment, in addition to the common-collector oscillation circuit 1016, the high-frequency oscillation circuits 1011 and 1103 of the first or third embodiment are used in duplicate, so that more efficient high-frequency oscillation is achieved. Although a circuit can be obtained, a conventional high-frequency oscillation circuit may be used.

【0088】また、上記の各実施の形態による高周波発
振回路を、携帯電話、衛星通信等の無線通信機器に用い
ることにより、C/N比の向上、受信時の感度の向上、
送信時には送信される信号に含まれるノイズを低減する
という効果が得られる。
Further, by using the high-frequency oscillation circuit according to each of the above-described embodiments in a radio communication device such as a mobile phone or a satellite communication, it is possible to improve the C / N ratio and the sensitivity at the time of reception.
At the time of transmission, an effect of reducing noise included in a transmitted signal is obtained.

【0089】なお、上記の各実施の形態において、発振
回路は、ベース、コレクタ、エミッタを有する発振トラ
ンジスタを有するものとして説明を行ったが、本発明は
これに限定するものではなく、ゲート、ソース、ドレイ
ンを有するFETを用いてもよい。要するに、本発明の
高周波発振回路は、エミッタ相当電極、ベース相当電極
およびコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造(三
極)の発振用素子であれば、その種類に限定することな
く実施することが可能である。
In each of the above embodiments, the oscillation circuit has been described as having an oscillation transistor having a base, a collector, and an emitter. However, the present invention is not limited to this. Alternatively, an FET having a drain may be used. In short, the high-frequency oscillation circuit of the present invention can be implemented without being limited to the type of an oscillation element having a transistor structure (triode) having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode. is there.

【0090】[0090]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、IC上で
コレクタ接地発振回路を作成する場合において、サブス
トレート間に寄生容量を持つMIM容量を使用せずに発
振動作を行わせることができ、回路面積が小さく、C/
N等の特性劣化のない高周波発振回路を得ることができ
る。
As described above, according to the present invention, when a common-collector oscillation circuit is formed on an IC, an oscillation operation can be performed without using an MIM capacitor having a parasitic capacitance between substrates. Possible, the circuit area is small, C /
It is possible to obtain a high-frequency oscillation circuit without deterioration of characteristics such as N.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)本発明の実施の形態1を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態1を示す構成図 (c)本発明の実施の形態1の上面を模式的に示す図FIG. 1A is an equivalent circuit diagram showing the first embodiment of the present invention. FIG. 1B is a configuration diagram showing the first embodiment of the present invention. Figure

【図2】(a)本発明の実施の形態2を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態2を示す構成図2A is an equivalent circuit diagram showing a second embodiment of the present invention. FIG. 2B is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図3】(a)本発明の実施の形態3を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態3を示す構成図3A is an equivalent circuit diagram showing a third embodiment of the present invention. FIG. 3B is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図4】(a)本発明の実施の形態3の他の構成例を示
す等価回路図 (b)本発明の実施の形態3の他の構成例を示す図
4A is an equivalent circuit diagram showing another configuration example of the third embodiment of the present invention. FIG. 4B is a diagram showing another configuration example of the third embodiment of the present invention.

【図5】(a)本発明の実施の形態4を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態4を示す構成図FIG. 5A is an equivalent circuit diagram showing a fourth embodiment of the present invention. FIG. 5B is a configuration diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図6】(a)本発明の実施の形態5を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態5を示す構成図FIG. 6A is an equivalent circuit diagram showing a fifth embodiment of the present invention. FIG. 6B is a configuration diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図7】(a)本発明の実施の形態6を示す等価回路図 (b)本発明の実施の形態6を示す構成図7A is an equivalent circuit diagram showing a sixth embodiment of the present invention. FIG. 7B is a configuration diagram showing a sixth embodiment of the present invention.

【図8】(a)従来の高周波発振回路を示す等価回路図 (b)従来の高周波発振回路を示す構成図8A is an equivalent circuit diagram showing a conventional high-frequency oscillation circuit. FIG. 8B is a configuration diagram showing a conventional high-frequency oscillation circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベース−エミッタ間コンデンサ 2 発振トランジスタ 3 発振出力結合コンデンサ 4 エミッタ抵抗 5 エミッタ−グランド間コンデンサ 6 発振出力端子 7、8 ベースバイアス抵抗 9、12 共振回路結合コンデンサ 10 共振用インダクタ 11 共振用バリキャップ 13 制御電圧印加用インダクタ 14 制御電圧印加端子 15 バイアス印加端子 30 発振トランジスタ構造 31、39 コレクタ電極 32、34、36、38 ベース電極 33、35、37 エミッタ電極 41、42、43 シリコン基板エミッタ領域 44 シリコン基板ベース領域 45 シリコン基板コレクタ領域 46 シリコン基板p型サブストレート 50 トランジスタ電極接続構造 151、159 コレクタ端子 152、154、156、158 ベース端子 153、155、157 エミッタ端子 61、62,63 端子接続配線 1010 コレクタ接地クラップ発振回路 REFERENCE SIGNS LIST 1 Base-emitter capacitor 2 Oscillation transistor 3 Oscillation output coupling capacitor 4 Emitter resistor 5 Emitter-ground capacitor 6 Oscillation output terminal 7, 8 Base bias resistor 9, 12 Resonance circuit coupling capacitor 10 Resonance inductor 11 Resonance varicap 13 Control voltage application inductor 14 Control voltage application terminal 15 Bias application terminal 30 Oscillation transistor structure 31, 39 Collector electrode 32, 34, 36, 38 Base electrode 33, 35, 37 Emitter electrode 41, 42, 43 Silicon substrate emitter region 44 Silicon Substrate base region 45 Silicon substrate collector region 46 Silicon substrate p-type substrate 50 Transistor electrode connection structure 151, 159 Collector terminal 152, 154, 156, 158 Base terminal 153, 1 5,157 emitter terminal 61, 62, and 63 terminal connection wiring 1010 collector ground Clapp oscillator

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5J081 AA03 AA11 BB01 CC20 CC30 CC42 DD03 DD20 EE02 EE03 EE09 EE18 FF02 FF21 FF26 GG01 JJ12 JJ18 KK02 KK09 KK22 LL02 MM01 MM07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5J081 AA03 AA11 BB01 CC20 CC30 CC42 DD03 DD20 EE02 EE03 EE09 EE18 FF02 FF21 FF26 GG01 JJ12 JJ18 KK02 KK09 KK22 LL02 MM01 MM07

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 積層体内に設けられた複数のエミッタ相
当電極、複数のベース相当電極およびコレクタ相当電極
を有するトランジスタ構造の発振用素子とを備え、 前記複数のベース相当電極は、前記複数のエミッタ相当
電極とインターデジタルに挟まれて前記積層体に配置さ
れており、 前記エミッタ相当電極と、前記ベース相当電極との間に
形成された寄生容量が、前記発振用素子の発振時の帰還
容量として機能することを特徴とする高周波発信回路。
An oscillation element having a transistor structure having a plurality of emitter-corresponding electrodes, a plurality of base-corresponding electrodes, and a collector-corresponding electrode provided in a laminated body, wherein the plurality of base-corresponding electrodes are connected to the plurality of emitters A parasitic capacitance formed between the equivalent electrode and the base equivalent electrode is interposed between the equivalent electrode and the interdigital, and a parasitic capacitance formed between the emitter equivalent electrode and the base equivalent electrode serves as a feedback capacitance during oscillation of the oscillation element. A high-frequency transmission circuit characterized by functioning.
【請求項2】 エミッタ相当電極、ベース相当電極およ
びコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造の発振用
素子と、 一端が前記発振用素子のエミッタ相当電極に接続され、
他端が接地されたコンデンサと、 一端が前記エミッタ相当電極に、前記コンデンサと並列
になるように接続され、他端が前記発振用素子の出力側
に接続された抵抗と、 一端が前記抵抗に直列に接続されるとともに、他端が接
地されたインダクタとを備え、 前記インダクタは、前記発振用素子の発振周波数におい
て、ハイインピーダンスのインダクタンスとなるよう構
成されていることを特徴とする高周波発振回路。
2. An oscillation element having a transistor structure having an emitter-corresponding electrode, a base-corresponding electrode, and a collector-corresponding electrode; one end connected to the emitter-corresponding electrode of the oscillation element;
A capacitor whose other end is grounded, one end of which is connected to the emitter equivalent electrode so as to be in parallel with the capacitor, and the other end of which is connected to the output side of the oscillation element; and one end of which is connected to the resistor. An inductor connected in series and having the other end grounded, wherein the inductor is configured to be a high impedance inductance at the oscillation frequency of the oscillation element. .
【請求項3】 前記インダクタは、前記高周波発振回路
を収納するパッケージと前記高周波発信回路とを接続す
るボンディングワイヤとして実現されていることを特徴
とする請求項2に記載の高周波発信回路。
3. The high-frequency oscillation circuit according to claim 2, wherein the inductor is realized as a bonding wire that connects the package accommodating the high-frequency oscillation circuit and the high-frequency oscillation circuit.
【請求項4】 積層体内に設けられたエミッタ相当電
極、ベース相当電極およびコレクタ相当電極を有するト
ランジスタ構造の発振用素子と、 一端が前記発振用素子のエミッタ相当電極に接続され、
他端が接地されたコンデンサと、 一端が前記エミッタ相当電極に接続され、他端が接地し
ている第1のインダクタとを備え、 前記コンデンサと前記第1のインダクタとは並列に接続
されており、 前記第1のインダクタは、前記発振用素子の発振周波数
においてインピーダンスが高く、直流電流に対して所定
のエミッタ抵抗となるような高いシート抵抗をもつ配線
にて構成されていることを特徴とする高周波発振回路。
4. An oscillating element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode provided in the laminate, one end connected to the emitter equivalent electrode of the oscillation element,
A capacitor having the other end grounded; and a first inductor having one end connected to the emitter-corresponding electrode and the other end grounded, wherein the capacitor and the first inductor are connected in parallel. The first inductor is configured by a wiring having a high impedance at an oscillation frequency of the oscillation element and having a high sheet resistance so as to have a predetermined emitter resistance with respect to a direct current. High frequency oscillation circuit.
【請求項5】 積層体内に設けられたエミッタ相当電
極、ベース相当電極およびコレクタ相当電極を有するト
ランジスタ構造の発振用素子と、 一端が前記ベース相当電極に接続され、他端から電力の
供給をうける第1のインダクタとを備え、 前記第1のインダクタは、前記発振用素子の発振周波数
においてインピーダンスが高く、熱雑音の比較的低い所
定のバイアス抵抗となるような高いシート抵抗をもつ配
線にて構成されていることを特徴とする高周波発振回
路。
5. An oscillating element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode provided in a laminate, and one end connected to the base equivalent electrode and receiving power from the other end. A first inductor, wherein the first inductor has a high impedance at the oscillation frequency of the oscillation element and a wiring having a high sheet resistance so as to be a predetermined bias resistance with relatively low thermal noise. A high-frequency oscillation circuit characterized by being performed.
【請求項6】 一端が前記ベース相当電極に接続され、
他端が接地された第2のインダクタをさらに備え、 前記第2のインダクタは、前記発振用素子の発振周波数
においてインピーダンスが高く、熱雑音の比較的低い所
定のバイアス抵抗となるような高いシート抵抗をもつ配
線にて構成されていることを特徴とする請求項5に記載
の高周波発振回路。
6. One end is connected to the base equivalent electrode,
A second inductor having the other end grounded, wherein the second inductor has a high impedance at an oscillation frequency of the oscillation element and a high sheet resistance that becomes a predetermined bias resistance with relatively low thermal noise. The high-frequency oscillation circuit according to claim 5, wherein the high-frequency oscillation circuit is configured by a wiring having:
【請求項7】 エミッタ相当電極、ベース相当電極およ
びコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造の発振用
素子と、 一端が前記エミッタ相当電極に接続され、他端が接地さ
れた、熱雑音が低い比較的抵抗値の小さい抵抗と、 一端が前記抵抗に直列に接続されるとともに、他端が前
記高周波発振回路の入力側と接続されたインダクタとを
備え、 前記インダクタは、前記発振用素子の発振周波数におい
て、ハイインピーダンスとなるよう構成されていること
を特徴とする高周波発信回路。
7. An oscillation element having a transistor structure having an emitter-corresponding electrode, a base-corresponding electrode, and a collector-corresponding electrode, and a relatively low-resistance thermal noise having one end connected to the emitter-corresponding electrode and the other end grounded. A resistor having a small value, an inductor having one end connected in series to the resistor and the other end connected to the input side of the high-frequency oscillation circuit, wherein the inductor has an oscillation frequency of the oscillation element, A high frequency transmission circuit characterized by being configured to have high impedance.
【請求項8】 前記インダクタは、前記高周波発振回路
を収納するパッケージと、前記高周波発信回路とを接続
するボンディングワイヤとして実現されていることを特
徴とする請求項7に記載の高周波発信回路。
8. The high-frequency oscillation circuit according to claim 7, wherein the inductor is realized as a bonding wire that connects the package that houses the high-frequency oscillation circuit and the high-frequency oscillation circuit.
【請求項9】 エミッタ相当電極、ベース相当電極およ
びコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造の発振用
素子と、 一端が前記発振用素子のコレクタ相当電極に直列に接続
されたコンデンサとを備え、 前記コンデンサは、前記発振用素子の発信周波数におい
て、インピーダンスが低くなることを特徴とする高周波
発信回路。
9. An oscillation element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode; and a capacitor having one end connected in series to the collector equivalent electrode of the oscillation element. And a high-frequency transmission circuit having a low impedance at the transmission frequency of the oscillation element.
【請求項10】 前記コンデンサは、前記高周波発振回
路を収納するパッケージに設けられた、前記コレクタ相
当電極と接続された電源入力となる第1の端子と、一端
が接地されている、前記第1の端子と並列に接続された
第2の端子との間の寄生容量として実現されていること
を特徴とする請求項9に記載の高周波発信回路。
10. The capacitor according to claim 1, wherein the capacitor includes a first terminal provided as a power supply input connected to the electrode corresponding to the collector, the first terminal being provided in a package accommodating the high-frequency oscillation circuit, and one end being grounded. 10. The high frequency transmission circuit according to claim 9, wherein the high frequency transmission circuit is realized as a parasitic capacitance between the first terminal and a second terminal connected in parallel.
【請求項11】 前記第2の端子は、前記第1の端子の
両側または片側に隣接して設けられた、少なくとも2つ
の端子であることを特徴とする請求項10に記載の高周
波発信回路。
11. The high frequency transmission circuit according to claim 10, wherein the second terminal is at least two terminals provided adjacent to both sides or one side of the first terminal.
【請求項12】 エミッタ相当電極、ベース相当電極お
よびコレクタ相当電極を有するトランジスタ構造の発振
用素子と、 前記発振用素子を格納するパッケージと、 前記パッケージに設けられた、一端がボンディングワイ
ヤを介して前記発振用素子のエミッタ相当電極と接続さ
れた、発振出力となる第1の端子と、 前記パッケージに設けられた、一端が接地されている、
前記第1の端子と隣接して設けられた第2の端子とを備
え、 前記第1の端子と前記第2の端子との間は寄生容量を有
し、 前記ボンディングワイヤはインダクタを形成し、 前記寄生容量および前記インダクタは、前記発振用素子
以下の帯域の周波数の信号を通過させるローパスフィル
タを形成することを特徴とする高周波発振回路。
12. An oscillation element having a transistor structure having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode, a package for storing the oscillation element, and one end provided on the package via a bonding wire. A first terminal connected to an emitter equivalent electrode of the oscillation element and serving as an oscillation output, and one end provided on the package, one end of which is grounded;
A second terminal provided adjacent to the first terminal; a parasitic capacitance between the first terminal and the second terminal; a bonding wire forming an inductor; The high-frequency oscillation circuit according to claim 1, wherein the parasitic capacitance and the inductor form a low-pass filter that passes a signal having a frequency in a band equal to or lower than the oscillation element.
【請求項13】 エミッタ相当電極、ベース相当電極お
よびコレクタ相当電極を有する、2つのトランジスタ構
造の発振用素子と、 前記2つの発振用素子を格納するパッケージと、 前記パッケージに設けられた、一端が第1のボンディン
グワイヤを介して一方の前記高周波発信回路の前記発振
用素子のエミッタ相当電極に接続された、発振出力とな
る第1の端子と、 前記パッケージに設けられた、一端が第2のボンディン
グワイヤを介して、他方の前記高周波発信回路の前記発
振用素子の発振出力と前記一方の前記高周波発信回路の
前記発振用素子のエミッタ相当電極に接続され、他端が
接地された第2の端子とを備え、 前記第1のボンディングワイヤおよび第2のボンディン
グワイヤは磁界結合してバランを形成し、前記第1の端
子から、片相出力が得られることを特徴とする高周波発
振回路。
13. An oscillation element having two transistor structures, having an emitter equivalent electrode, a base equivalent electrode, and a collector equivalent electrode, a package for storing the two oscillation elements, and one end provided in the package. A first terminal serving as an oscillation output connected to an emitter-corresponding electrode of the oscillation element of one of the high-frequency oscillation circuits via a first bonding wire; A second connection, which is connected to an oscillation output of the oscillation element of the other high-frequency oscillation circuit and an emitter equivalent electrode of the oscillation element of the one high-frequency oscillation circuit via a bonding wire, and has the other end grounded; And a first bonding wire and a second bonding wire are magnetically coupled to form a balun. High-frequency oscillator, characterized in that the single-phase output is obtained.
【請求項14】 請求項1から13のいずれかに記載の
高周波発振回路を搭載したことを特徴とする無線通信機
器。
14. A wireless communication device comprising the high-frequency oscillation circuit according to claim 1.
JP2000391476A 2000-12-22 2000-12-22 High frequency oscillation circuit and wireless communication unit Pending JP2002198732A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000391476A JP2002198732A (en) 2000-12-22 2000-12-22 High frequency oscillation circuit and wireless communication unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000391476A JP2002198732A (en) 2000-12-22 2000-12-22 High frequency oscillation circuit and wireless communication unit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002198732A true JP2002198732A (en) 2002-07-12

Family

ID=18857605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000391476A Pending JP2002198732A (en) 2000-12-22 2000-12-22 High frequency oscillation circuit and wireless communication unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002198732A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110247171A (en) * 2019-07-04 2019-09-17 深圳迈睿智能科技有限公司 Antenna and its operating circuit and manufacturing method
JP2020048321A (en) * 2018-09-19 2020-03-26 Tdk株式会社 Gate drive circuit for semiconductor switching element

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020048321A (en) * 2018-09-19 2020-03-26 Tdk株式会社 Gate drive circuit for semiconductor switching element
JP7150237B2 (en) 2018-09-19 2022-10-11 Tdk株式会社 Gate drive circuits for semiconductor switching devices
CN110247171A (en) * 2019-07-04 2019-09-17 深圳迈睿智能科技有限公司 Antenna and its operating circuit and manufacturing method
CN110247171B (en) * 2019-07-04 2024-05-17 深圳迈睿智能科技有限公司 Antenna, operating circuit thereof and manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005508096A (en) Circuit configuration for DC bias capacitor
JP2002064345A (en) High frequency passive circuit provided with via hole, and high frequency amplifier
US20090243110A1 (en) Voltage controlled oscillator
EP0949754A2 (en) High-frequency power amplifier circuit and high-frequency power amplifier module
JP2002043813A (en) Directional coupler, high-frequency circuit module, and radio communication equipment
JP2004281625A (en) Semiconductor device
JP2001338838A (en) Multi-functional electronic parts, its manufacturing method, and voltage-controlled oscillator equipped therewith
US6815796B2 (en) Composite module and process of producing same
US7081799B2 (en) Bipolar transistor, oscillation circuit, and voltage controlled oscillator
US7362193B2 (en) Oscillator and an integrated circuit
WO2000075990A1 (en) High impedance matched rf power transistor
JPH08330517A (en) Integrated circuit device and resonant circuit
US6674632B2 (en) Mobile telephone device with passive integrated module
JP2002198732A (en) High frequency oscillation circuit and wireless communication unit
JP3744828B2 (en) Semiconductor device
JP4299488B2 (en) High frequency module and manufacturing method thereof
JPH10256850A (en) Semiconductor device and high frequency power amplifier
US20050045988A1 (en) Integrated circuit package having inductance loop formed from a bridge interconnect
JP2004363425A (en) Passive element incorporating board
US20230336129A1 (en) Amplifier circuit
JPH11127030A (en) Resonance circuit for oscillation circuit ic and oscillation circuit
TW517447B (en) Semiconductor electronic circuit unit
TW200522503A (en) High frequency oscillator
JPS6364081B2 (en)
JPH09162357A (en) High frequency semiconductor device