JP2002188640A - Manufacturing method for dynamic pressure bearing device - Google Patents

Manufacturing method for dynamic pressure bearing device

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JP2002188640A
JP2002188640A JP2000388369A JP2000388369A JP2002188640A JP 2002188640 A JP2002188640 A JP 2002188640A JP 2000388369 A JP2000388369 A JP 2000388369A JP 2000388369 A JP2000388369 A JP 2000388369A JP 2002188640 A JP2002188640 A JP 2002188640A
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JP
Japan
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dynamic pressure
bearing
stainless steel
oxide film
nitriding treatment
Prior art date
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Application number
JP2000388369A
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Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Narita
隆行 成田
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Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable effective and fine elimination of an oxide film produced by nitriding treatment. SOLUTION: By carrying out a process in which the surface of a stainless material 21' is dipped into nitrate liquid 31, dirt adhering on the surface of the stainless material 21', an oxide film produced by nitriding or the like are removed so as to form a passive film to improve corrosion resistance by simple work and to completely prevent conventional peeling phenomenon of a layer of a mill scale.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、軸部材と軸受部材
とを、潤滑流体の動圧によって相対回転可能に支承させ
るようにした動圧軸受装置の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a dynamic pressure bearing device in which a shaft member and a bearing member are rotatably supported by a dynamic pressure of a lubricating fluid.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、動圧軸受装置は、対向配置され
た軸部材と軸受部材(スリーブ)との両動圧面間に潤滑
流体を注入しておき、その潤滑流体に動圧を発生させて
軸部材と軸受部材とを相対回転可能に支承させる構成を
備えたものであるが、それらのうちの軸受部材として
は、通常、加工容易性などの観点から銅合金が用いられ
ている。一方、軸部材としては、上述した軸受部材を構
成する銅合金との熱膨張性を一致させるなどの理由か
ら、ステンレス材、特にオーステナイト系のステンレス
材が用いられることがある。
2. Description of the Related Art Generally, a hydrodynamic bearing device is configured such that a lubricating fluid is injected between both dynamic pressure surfaces of a shaft member and a bearing member (sleeve) which are arranged opposite to each other, and a dynamic pressure is generated in the lubricating fluid. The shaft member and the bearing member are provided so as to be rotatable relative to each other, and a copper alloy is usually used as the bearing member from the viewpoint of ease of processing and the like. On the other hand, as the shaft member, a stainless steel material, particularly an austenitic stainless steel material, may be used for the reason that the thermal expansion properties of the copper alloy constituting the above-mentioned bearing member are made to match.

【0003】このとき、軸部材の表面は、耐久性等の点
から、なるべく硬度を高くしておくことが望ましいが、
上述したオーステナイト系ステンレス材を採用した場合
には、焼き入れなどの熱処理によっては表面硬度を上げ
ることができない。従って、その場合には、表面に窒化
処理を施して窒化層を形成することが従来から行われて
いる。その窒化処理としては、塩浴窒化、イオン窒化、
ガス窒化の3種類が一般に知られている。
At this time, it is desirable to make the surface of the shaft member as hard as possible from the viewpoint of durability and the like.
When the austenitic stainless steel described above is employed, the surface hardness cannot be increased by heat treatment such as quenching. Therefore, in that case, a nitriding treatment is conventionally performed on the surface to form a nitrided layer. The nitriding treatment includes salt bath nitriding, ion nitriding,
Three types of gas nitriding are generally known.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たいずれの窒化処理によっても、形成された窒化層の最
表層部分に、Feを主成分とする酸化被膜(黒皮
層)が形成されてしまう。この酸化被膜は、一般的にポ
ーラス状をなしていることから剥離を起こしやすく、そ
の剥離した部分に水分が溜まると、そこから浸食が急速
に進むことが多い。特に、動圧軸受装置では、剥離した
酸化被膜が、微小間隔(ギャップ)からなる軸受部内に
侵入してくると、異物となって動圧面の摩耗を増大さ
せ、軸受寿命を低下させる原因にもなる。
However, by any of the above-described nitriding treatments, an oxide film (black scale layer) containing Fe 3 O 4 as a main component is formed on the outermost layer of the formed nitrided layer. I will. This oxide film is generally porous, and thus easily peels off. When moisture accumulates in the peeled portion, erosion often proceeds rapidly therefrom. In particular, in a dynamic pressure bearing device, when the peeled oxide film enters a bearing portion having a minute gap (gap), the oxide film becomes a foreign substance, increases wear of the dynamic pressure surface, and reduces the life of the bearing. Become.

【0005】このようなことから、窒化処理によって生
成される酸化被膜を、切削加工や研削加工によって除去
することも考えられるが、その場合には、溝部分やR面
での加工に多大の手間がかかることとなって、生産性が
著しく低下するという問題を招来する。また、バレル処
理によって効率的に加工を行うことも考えられるが、被
加工物どうしの衝突によって、傷や打痕が発生しやすい
上、溝や穴の内部の酸化被膜は除去することができない
という問題がある。
[0005] From such a situation, it is conceivable to remove the oxide film formed by the nitriding treatment by cutting or grinding, but in such a case, it takes much time and labor to process the groove and the R surface. This causes a problem that productivity is significantly reduced. In addition, it is conceivable that the processing is efficiently performed by barrel processing. However, the collision of the workpieces easily causes scratches and dents, and the oxide film inside the grooves and holes cannot be removed. There's a problem.

【0006】そこで本発明は、窒化処理によって生成さ
れる酸化皮膜を、効率的かつ良好に除去することができ
るようにした動圧軸受の製造方法を提供することを目的
とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a dynamic pressure bearing capable of efficiently and satisfactorily removing an oxide film formed by a nitriding treatment.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にかかる動圧軸受の製造方法では、窒化処理
後におけるステンレス素材の表面を硝酸液に浸す工程を
行うことによって、ステンレス素材の表面表面上に付着
している汚れや、窒化処理によって生成された酸化被膜
などを、硝酸による溶解作用によって完全に除去してい
る。そして、それにより高度に清浄化されたステンレス
素材の表面に、クロムの酸化などによって不働態被膜を
形成させ、ステンレス素材の表面を不活性化させる。そ
の結果、硝酸液に浸すという簡易な作業で、耐食性の向
上が図られるとともに、従来のような黒皮層の剥離現象
が完全に防止されるようになっている。
In order to achieve the above object, in the method of manufacturing a dynamic pressure bearing according to the present invention, a step of immersing the surface of the stainless steel material after nitriding in a nitric acid solution is performed. The dirt adhering to the surface and the oxide film formed by the nitriding treatment are completely removed by the dissolving action of nitric acid. Then, a passivation film is formed on the highly purified surface of the stainless steel material by oxidation of chromium or the like, thereby inactivating the surface of the stainless steel material. As a result, the corrosion resistance is improved by a simple operation of dipping in a nitric acid solution, and the conventional peeling phenomenon of the black scale layer is completely prevented.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
るが、それに先立って、本発明にかかる動圧軸受装置を
備えたハードディスク駆動装置(HDD)の全体構造を
図面に基づいて説明しておく。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below. Prior to this, the entire structure of a hard disk drive (HDD) equipped with a hydrodynamic bearing device according to the present invention will be described with reference to the drawings. Keep it.

【0009】図2に示されている軸回転のHDD用スピ
ンドルモータの全体は、固定部材としてのステータ組1
と、そのステータ組1に対して図示上側から組み付けら
れた回転部材としてのロータ組2とから構成されてい
る。このうちステータ組1は、図示を省略した固定基台
側にネジ止めされる固定フレーム11を有している。こ
の固定フレーム11は、軽量化を図るためにアルミ系金
属材料から形成されているが、当該固定フレーム11の
略中央部分には、軸受保持部材を構成している環状の円
筒状胴部を備えた軸受ホルダー12が、立設するように
して一体的に形成されている。
The entire spindle rotating HDD spindle motor shown in FIG. 2 is composed of a stator set 1 as a fixing member.
And a rotor set 2 as a rotating member assembled to the stator set 1 from above in the figure. The stator set 1 has a fixed frame 11 screwed to a fixed base (not shown). The fixed frame 11 is formed of an aluminum-based metal material to reduce the weight, but is provided with an annular cylindrical body constituting a bearing holding member at a substantially central portion of the fixed frame 11. Bearing holder 12 is integrally formed so as to stand upright.

【0010】上記軸受ホルダー12の内周壁面側には、
中空円筒状に形成された固定軸受部材としての軸受スリ
ーブ13が挿入されており、図示を省略した接着剤によ
り固定されている。なお、この軸受スリーブ13は、上
記軸受ホルダー12に対して圧入又は焼バメによって接
合させることもできる。このような軸受スリーブ13
は、小径の軸受孔の加工等を容易化するために、リン青
銅などの銅系の合金材料から形成されていて、後述する
軸部材としての回転軸21との間の熱膨張係数どうし
が、ほぼ同一となるように設定されている。
On the inner peripheral wall side of the bearing holder 12,
A bearing sleeve 13 as a fixed bearing member formed in a hollow cylindrical shape is inserted, and is fixed by an adhesive (not shown). The bearing sleeve 13 can be joined to the bearing holder 12 by press fitting or shrink fitting. Such a bearing sleeve 13
Is formed of a copper-based alloy material such as phosphor bronze in order to facilitate processing of a small-diameter bearing hole, and has a coefficient of thermal expansion between a rotating shaft 21 as a shaft member described later. They are set to be almost the same.

【0011】また、前記軸受ホルダー12の外周側壁面
に設けられた取付面には、電磁鋼板の積層体からなるス
テータコア14が嵌着されている。このステータコア1
4に設けられた各突極部には、駆動コイル15がそれぞ
れ巻回されている。
A stator core 14 made of a laminated body of electromagnetic steel sheets is fitted on a mounting surface provided on the outer peripheral side wall surface of the bearing holder 12. This stator core 1
A drive coil 15 is wound around each salient pole portion provided in 4.

【0012】さらに、上記軸受スリーブ13の中心軸に
沿って貫通形成された軸受孔内には、上述したロータ組
2を構成する回転軸21が回転自在に挿入されている。
この回転軸21は、上述した軸受スリーブ13が銅系の
合金材料から形成されているのに対応して、熱膨張係数
がほぼ一致するように、オーステナイト系ステンレス材
から形成されている。このような回転軸21は、本発明
にかかる製造方法によって成形されたものであるが、詳
細な製造方法については後述する。
Further, a rotating shaft 21 constituting the above-mentioned rotor set 2 is rotatably inserted into a bearing hole formed through the bearing sleeve 13 along the central axis.
The rotating shaft 21 is formed of an austenitic stainless material such that the thermal expansion coefficients thereof substantially coincide with the bearing sleeve 13 formed of a copper-based alloy material. Such a rotating shaft 21 is formed by the manufacturing method according to the present invention, and a detailed manufacturing method will be described later.

【0013】上記軸受スリーブ13における軸受孔の内
周面に形成された動圧面は、上記回転軸21の外周面に
形成された動圧面に対して半径方向に対面するように配
置されており、それら両動圧面どうしの間の微小な軸受
隙間空間に、ラジアル動圧軸受部RBが形成されてい
る。より詳しくは、上記ラジアル動圧軸受部RBにおけ
る軸受スリーブ13側の動圧面と、回転軸21側の動圧
面とは、数μm程度の微少隙間を介して周状に対向配置
されており、その微少隙間からなる軸受隙間空間内に、
潤滑オイルや磁性流体等からなる所定の潤滑流体が注入
されている。
The dynamic pressure surface formed on the inner peripheral surface of the bearing hole in the bearing sleeve 13 is disposed so as to face the dynamic pressure surface formed on the outer peripheral surface of the rotary shaft 21 in the radial direction. A radial dynamic pressure bearing portion RB is formed in a minute bearing gap space between the two dynamic pressure surfaces. More specifically, the dynamic pressure surface on the bearing sleeve 13 side and the dynamic pressure surface on the rotating shaft 21 side of the radial dynamic pressure bearing portion RB are circumferentially opposed to each other with a small gap of about several μm. In the bearing clearance space consisting of minute clearances,
A predetermined lubricating fluid, such as lubricating oil or magnetic fluid, is injected.

【0014】さらに、上記軸受スリーブ13側の動圧面
には、図示を省略したへリングボーン形状などの形状を
有するラジアル動圧発生用溝が、例えば軸方向に2ブロ
ックに分けて環状に凹設されており、回転時には、それ
ら両ラジアル動圧発生用溝のポンピング作用によって上
記潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流体の動
圧により前記回転軸21とともに後述する回転ハブ22
が、ラジアル方向に浮上されながら軸支持される構成に
なされている。
Further, on the dynamic pressure surface on the bearing sleeve 13 side, a radial dynamic pressure generating groove having a shape such as a herringbone shape (not shown) is annularly recessed, for example, divided into two blocks in the axial direction. During rotation, the lubricating fluid is pressurized by the pumping action of the two radial dynamic pressure generating grooves to generate a dynamic pressure, and the dynamic pressure of the lubricating fluid causes the rotary shaft 22 to be described later together with the rotary shaft 21.
Are supported by the shaft while floating in the radial direction.

【0015】さらにまた、上記ラジアル動圧軸受部RB
の軸受隙間空間における図示上端側に設けられた開口部
分には、毛細管シール部RSが配置されている。この毛
細管シール部RSは、上記軸受スリーブ13又は回転軸
21側に形成された傾斜面によって、上述した軸受隙間
空間を軸受外方側(図示上方側)に向かって徐々に拡大
した構成からなるものであって、例えば、20μmから
300μmの隙間寸法に形成されている。この毛細管シ
ール部RS中には、モータの回転・停止のいずれの場合
においても、上述した潤滑流体の気液界面が位置する構
成になされている。
Further, the radial dynamic pressure bearing portion RB
A capillary seal portion RS is disposed in an opening portion provided at the upper end side in the drawing in the bearing gap space. The capillary seal portion RS has a configuration in which the above-described bearing gap space is gradually enlarged toward the outer side of the bearing (upper side in the figure) by the inclined surface formed on the bearing sleeve 13 or the rotating shaft 21 side. For example, it is formed to have a gap size of 20 μm to 300 μm. In this capillary seal portion RS, the gas-liquid interface of the lubricating fluid described above is located regardless of whether the motor rotates or stops.

【0016】一方、前記回転軸21における図示下方側
の先端部分には、リング円盤状のスラストプレート24
が固着されている。このスラストプレート24は、上述
した軸受スリーブ13における図示下端側の中心部分に
凹設された円筒状の窪み部内に収容されるようにして配
置されていて、その軸受スリーブ13の窪み部内におい
て、当該スラストプレート24の図示上面側に設けられ
た動圧面が、上記軸受スリーブ13側の動圧面に対して
軸方向に近接するように対向配置されている。そして、
それらのスラストプレート24及び軸受スリーブ13の
両動圧面どうしの軸受隙間空間に、図示上側のスラスト
動圧軸受部SBaが形成されている。
On the other hand, a ring-shaped thrust plate 24 is provided on the lower end of the rotary shaft 21 in the figure.
Is fixed. The thrust plate 24 is disposed so as to be accommodated in a cylindrical recess formed in the center portion of the bearing sleeve 13 at the lower end in the drawing, and the thrust plate 24 is disposed in the recess of the bearing sleeve 13. The dynamic pressure surface provided on the upper surface side of the thrust plate 24 in the drawing is disposed so as to be opposed to the dynamic pressure surface on the bearing sleeve 13 side in the axial direction. And
A thrust dynamic pressure bearing portion SBa on the upper side in the figure is formed in a bearing gap space between the dynamic pressure surfaces of the thrust plate 24 and the bearing sleeve 13.

【0017】さらに、上記スラストプレート24の図示
下側の動圧面に近接するようにして、比較的大径の円盤
状部材からなるカウンタープレート16が配置されてい
る。このカウンタープレート16は、上記軸受スリーブ
13の下端側開口部分を閉塞するように装着されて接着
剤17により固着されたものであって、当該カウンター
プレート16の図示上面側に設けられた動圧面と、上述
したスラストプレート24の図示下側の動圧面との間の
近接対向隙間部分に、図示下側のスラスト動圧軸受部S
Bbが形成されている。
Further, a counter plate 16 made of a disk-shaped member having a relatively large diameter is arranged so as to be close to the lower dynamic pressure surface of the thrust plate 24 in the figure. The counter plate 16 is mounted so as to close the lower end side opening portion of the bearing sleeve 13 and is fixed by an adhesive 17, and has a dynamic pressure surface provided on the upper surface side of the counter plate 16 in the drawing. The lower thrust dynamic pressure bearing portion S shown in the drawing is provided in the close opposing gap portion between the above thrust plate 24 and the lower dynamic pressure surface in the drawing.
Bb is formed.

【0018】上述したように軸方向に隣接して配置され
た一組のスラスト動圧軸受部SBa,SBbを構成して
いるスラストプレート24側の両動圧面と、それに対向
する軸受スリーブ13及びカウンタープレート16側の
両動圧面とは、それぞれ数μmの微少隙間を介して軸方
向に対向配置されているとともに、その微少隙間からな
る軸受隙間空間内には、前述したラジアル動圧軸受部R
Bから連続するようにして、同一の潤滑流体が充填され
ており、その潤滑流体は、前記スラストプレート24の
外周側通路を介して軸方向に連続させられている。さら
に、上記スラストプレート24の動圧面と、軸受スリー
ブ13及びカウンタープレート16の動圧面との少なく
とも一方側には、図示を省略したヘリングボーン形状等
の形状を有する動圧発生溝が、例えば半径方向に2ブロ
ックに分けて環状に凹設されており、回転時に、当該ス
ラスト動圧発生用溝のポンピング作用によって上記潤滑
流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流体の動圧によ
って、上述した回転軸21及び回転ハブ22が、スラス
ト方向に軸支持される構成になされている。
As described above, the two dynamic pressure surfaces on the thrust plate 24 side forming a set of thrust dynamic pressure bearing portions SBa, SBb disposed adjacent to each other in the axial direction, the bearing sleeve 13 and the counter opposed thereto. The two dynamic pressure surfaces on the plate 16 side are axially opposed to each other with a small gap of several μm therebetween, and the above-mentioned radial dynamic pressure bearing portion R
The same lubricating fluid is filled so as to continue from B, and the lubricating fluid is axially continuous via the outer peripheral passage of the thrust plate 24. Further, on at least one side of the dynamic pressure surface of the thrust plate 24 and the dynamic pressure surfaces of the bearing sleeve 13 and the counter plate 16, a dynamic pressure generating groove having a shape such as a herringbone shape (not shown) is formed, for example, in a radial direction. The lubricating fluid is pressurized by the pumping action of the thrust dynamic pressure generating groove to generate a dynamic pressure when rotating, and the dynamic pressure of the lubricating fluid causes The rotating shaft 21 and the rotating hub 22 are axially supported in the thrust direction.

【0019】一方、上記回転軸21とともにロータ組2
を構成している回転ハブ22は、図示を省略した磁気デ
ィスク等の記録媒体ディスクを搭載するように、アルミ
系金属や鉄系合金などからなる略カップ状部材からな
り、当該回転ハブ22の中心部分設けられた接合穴が、
上記回転軸21の図示上端部分に対して、圧入又は焼嵌
めによって一体的に接合されている。上記回転ハブ22
は、記録媒体ディスクを外周部に搭載する略円筒状の胴
部22aを有しており、当該胴部22aから半径方向外
方側に向かって張り出すように設けられたディスク搭載
面22b上に、図示を省略した記録媒体ディスクが載置
される構成になされている。
On the other hand, the rotor set 2 is
Is formed of a substantially cup-shaped member made of an aluminum-based metal or an iron-based alloy so as to mount a recording medium disk such as a magnetic disk (not shown). Partly provided joint holes,
The rotary shaft 21 is integrally joined to the upper end in the figure by press fitting or shrink fitting. The rotating hub 22
Has a substantially cylindrical body 22a on which a recording medium disk is mounted on an outer peripheral portion, and is provided on a disk mounting surface 22b provided so as to project radially outward from the body 22a. , A recording medium disk not shown is placed.

【0020】また、上記胴部22aの内周壁面側には、
環状駆動マグネット23が取り付けられている。この環
状駆動マグネット23は、前述したステータコア14の
突極部の外周側端面に対して環状に対向するように近接
配置されている。
Further, on the inner peripheral wall side of the body portion 22a,
An annular drive magnet 23 is attached. The annular driving magnet 23 is arranged in proximity to the outer peripheral end face of the salient pole portion of the stator core 14 so as to annularly face the above.

【0021】ここで、前述したように、上記回転軸21
は、軸受スリーブ13が銅系合金から形成されているの
に対応して、熱膨張係数がほぼ一致するように、オース
テナイト系ステンレス材から形成されているが、本実施
形態では、そのオーステナイト系ステンレス材として、
SUS303が採用されており、次のような工程を経て
製造されている。
Here, as described above, the rotating shaft 21
Is formed of an austenitic stainless steel so that the thermal expansion coefficients thereof substantially correspond to that of the bearing sleeve 13 formed of a copper-based alloy. In the present embodiment, the austenitic stainless steel is used. As a material,
SUS303 is adopted and is manufactured through the following steps.

【0022】すなわち、上述したような回転軸21を製
造するにあたっては、まず、ステンレス材を必要な形状
に加工した後のステンレスブランク素材の表面に対し
て、窒化処理が施される。このときの窒化処理は、上記
ステンレスブランク素材の表面に対して、いわゆる窒化
処理を施すことにより窒化層を形成するものであるが、
本実施形態においては、シアン塩による塩浴窒化を60
0℃で行うことによって、深さ約10μm、最表面層硬
度(Hv)1100の窒化層を得るようにしている。そ
して、このような窒化処理によって、0.05μm程度
の酸化被膜(黒皮層)が表面に形成されることとなる。
なお、この場合の窒化処理としては、上述した塩浴窒化
の他に、イオン窒化、ガス窒化のいずれを用いても良
い。
That is, in manufacturing the rotating shaft 21 as described above, first, the surface of the stainless steel blank material after the stainless steel material is processed into a required shape is subjected to nitriding treatment. The nitriding treatment at this time is to form a nitrided layer by performing a so-called nitriding treatment on the surface of the stainless steel blank material.
In this embodiment, the salt bath nitriding with cyanide is carried out at 60.
By performing the process at 0 ° C., a nitride layer having a depth of about 10 μm and an outermost surface layer hardness (Hv) of 1100 is obtained. Then, by such a nitriding treatment, an oxide film (black scale layer) of about 0.05 μm is formed on the surface.
As the nitriding treatment in this case, any of ion nitriding and gas nitriding may be used in addition to the above-described salt bath nitriding.

【0023】次いで、例えば図1に示されているよう
に、上述した窒化処理後におけるステンレスブランク素
材21’の表面を、硝酸液31に浸す工程を行う。この
ような硝酸処理は、適宜の槽32内に、例えば濃度20
%の硝酸溶液31を貯留しておき、その貯留された硝酸
溶液31中に、ステンレスブランク素材21’を50
℃、10分間浸漬することによって、0.1μm程度の
深さにわたって溶解を行い、その結果、上述した窒化処
理において表面に形成された酸化被膜(黒皮層)を完全
に除去するようにしている。
Next, as shown in FIG. 1, for example, a step of immersing the surface of the stainless steel blank material 21 ′ after the above-mentioned nitriding treatment in a nitric acid solution 31 is performed. Such nitric acid treatment is performed, for example, in a suitable tank 32 at a concentration of 20%.
% Nitric acid solution 31 is stored, and the stainless blank material 21 ′ is stored in the stored nitric acid solution 31 by 50%.
By immersion at 10 ° C. for 10 minutes, dissolution is performed over a depth of about 0.1 μm, and as a result, the oxide film (black scale layer) formed on the surface in the above-described nitriding treatment is completely removed.

【0024】そして、このような硝酸処理後に、純水洗
浄を行って表面に付着した硝酸を洗い流し、その後に乾
燥を行うことによって、化学的、電気的に反応が停止し
た状態の不働態被膜としてのクロムの酸化被膜を形成さ
せて、不活性な安定状態とする。
After the nitric acid treatment, the surface is washed with pure water to remove the nitric acid adhering to the surface, and then dried to form a passive film chemically and electrically stopped. To form an inactive, stable state.

【0025】さらに、上記硝酸処理後における残りの窒
化層9.9μmに対して、4.9μm分の研磨を行い、
最終的に、5μmの窒化層とすることによって、研磨後
の表面硬度(Hv)650を得るようにしている。
Further, the remaining nitride layer 9.9 μm after the nitric acid treatment is polished for 4.9 μm,
Finally, a surface hardness (Hv) of 650 after polishing is obtained by forming a nitride layer of 5 μm.

【0026】以上のように、本実施形態では、窒化処理
後におけるステンレスブランク素材の表面を硝酸液31
内に浸す工程を行うことによって、表面上に付着してい
る汚れや、窒化処理によって生成された酸化被膜など
が、硝酸液31により溶解されるようにして除去される
ととなり、それによって、高度に清浄化されたステンレ
ス素材の表面に、クロム酸化被膜などの不働態被膜が生
成される。そして、その結果として、ステンレスブラン
ク素材の表面が不活性化されて安定的な状態に維持され
る。すなわち、本実施形態では、硝酸液中に漬けるとい
う簡易な作業で、ステンレス材からなる回転軸21の耐
食性の向上が図られるとともに、従来のような黒皮層の
剥離現象が完全に防止されるようになっている。
As described above, in the present embodiment, the surface of the stainless steel blank material after the nitriding treatment is treated with the nitric acid solution 31.
By performing the step of immersion in the inside, dirt adhering to the surface and an oxide film generated by the nitriding treatment are removed by being dissolved by the nitric acid solution 31. A passivation film such as a chromium oxide film is formed on the surface of a stainless steel material that has been cleaned. As a result, the surface of the stainless steel blank material is inactivated and maintained in a stable state. That is, in the present embodiment, the corrosion resistance of the rotating shaft 21 made of stainless steel is improved by a simple operation of dipping in a nitric acid solution, and the peeling phenomenon of the black scale layer as in the related art is completely prevented. It has become.

【0027】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもない。
Although the embodiments of the present invention made by the inventor have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified without departing from the gist thereof. Needless to say.

【0028】例えば、上述した実施形態では、回転軸
(軸部材)にステンレス材を用いて硝酸処理を施したも
のであるが、軸受部材側にステンレス材を用いて、同様
な硝酸処理を施すことも可能である。
For example, in the above-described embodiment, the rotating shaft (shaft member) is subjected to nitric acid treatment using a stainless steel material, but the bearing member side is subjected to the same nitric acid treatment using a stainless steel material. Is also possible.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上述べたように本発明にかかる動圧軸
受の製造方法は、窒化処理後におけるステンレス素材の
表面を硝酸液に浸す工程を行うことによって、表面上に
付着している汚れや、窒化処理によって生成された酸化
被膜などを除去して不働態被膜を形成したものであっ
て、硝酸に浸すという簡易な作業で耐食性の向上を図る
とともに、従来のような黒皮層の剥離現象を完全に防止
するようにしたものであるから、窒化処理によって生成
される酸化皮膜を、効率的かつ良好に除去することがで
き、動圧軸受装置の信頼性を低コストで向上させること
ができる。
As described above, in the method of manufacturing a dynamic pressure bearing according to the present invention, the step of immersing the surface of the stainless steel material after nitriding in a nitric acid solution is carried out, so that the dirt adhered to the surface can be reduced. A passivation film is formed by removing the oxide film and the like generated by the nitriding treatment.The simple work of dipping in nitric acid aims to improve the corrosion resistance and eliminate the conventional peeling phenomenon of the black scale layer. Since it is completely prevented, the oxide film generated by the nitriding treatment can be efficiently and satisfactorily removed, and the reliability of the hydrodynamic bearing device can be improved at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態における軸部材の製造方法
を実施するための装置構造を表した模式的側面説明図で
ある。
FIG. 1 is a schematic side view illustrating an apparatus structure for performing a method of manufacturing a shaft member according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明にかかる動圧軸受装置を備えたHDD
(ハードディスク駆動装置)用モータの構造例を表した
縦断面説明図である。
FIG. 2 is an HDD provided with the dynamic pressure bearing device according to the present invention.
FIG. 3 is an explanatory longitudinal sectional view showing a structural example of a motor for a (hard disk drive).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ステータ組 2 ロータ組 13 軸受スリーブ(軸受部材) 16 カウンタープレート 21 回転軸(軸部材) 21’ ステンレス素材(ブランク素材) 22 回転ハブ 24 スラストプレート RB ラジアル動圧軸受部 SB スラスト動圧軸受部 31 硝酸溶液 32 槽 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Stator set 2 Rotor set 13 Bearing sleeve (bearing member) 16 Counter plate 21 Rotary shaft (shaft member) 21 'Stainless steel material (blank material) 22 Rotating hub 24 Thrust plate RB Radial dynamic pressure bearing part SB Thrust dynamic pressure bearing part 31 Nitric acid solution 32 tanks

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軸部材と軸受部材とを相対回転可能に対
向させるように構成するとともに、それら軸部材と軸受
部材との対向面の少なくとも一方側に動圧発生手段を形
成した動圧軸受装置の製造方法において、 上記軸部材又は軸受部材の少なくとも一方を、ステンレ
ス材から形成する方法であって、 上記ステンレス材を必要な形状に加工した後の素材表面
に対して窒化処理を施す工程と、 その窒化処理後におけるステンレス素材の表面を硝酸液
に浸す工程と、を含むことを特徴とする動圧軸受装置の
製造方法。
1. A dynamic pressure bearing device in which a shaft member and a bearing member are opposed to each other so as to be relatively rotatable, and a dynamic pressure generating means is formed on at least one side of an opposing surface of the shaft member and the bearing member. A method of forming at least one of the shaft member or the bearing member from a stainless material, and performing a nitriding treatment on the material surface after processing the stainless material into a required shape; Dipping the surface of the stainless steel material in the nitric acid solution after the nitriding treatment.
【請求項2】 前記軸部材を、オーステナイト系ステン
レス材から形成する方法であって、 前記窒化処理によりステンレス素材の表面に生成された
酸化皮膜を、硝酸により除去して不働態被膜を形成する
ようにしたことを特徴とする請求項1記載の動圧軸受装
置の製造方法。
2. A method of forming the shaft member from an austenitic stainless steel material, wherein an oxide film formed on the surface of the stainless steel material by the nitriding treatment is removed with nitric acid to form a passive film. 2. The method for manufacturing a hydrodynamic bearing device according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記不働態被膜として、クロムの酸化被
膜を形成するようにしたことを特徴とする請求項2記載
の動圧軸受装置の製造方法。
3. The method according to claim 2, wherein an oxide film of chromium is formed as the passive film.
【請求項4】 前記軸受部材として、前記軸部材と熱膨
張係数がほぼ等しい銅合金を用いるとともに、 前記動圧発生手段として、上記軸受部材の内周面に溝を
形成するようにしたことを特徴とする請求項1記載の動
圧軸受装置の製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein a copper alloy having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the shaft member is used as the bearing member, and a groove is formed in an inner peripheral surface of the bearing member as the dynamic pressure generating means. The method for manufacturing a dynamic pressure bearing device according to claim 1, wherein:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004083663A1 (en) * 2003-03-19 2004-09-30 Seiko Instruments Inc. Fluid dynamic pressure bearing, motor, and recording medium drive device
JP2007167317A (en) * 2005-12-21 2007-07-05 Juki Corp Sewing machine components
CN113430510A (en) * 2021-06-17 2021-09-24 天津市华旺钢管制造有限公司 Passivation protection device for galvanized strip

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