JP2002184809A - Tape-affixing method and device - Google Patents

Tape-affixing method and device

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JP2002184809A
JP2002184809A JP2000383633A JP2000383633A JP2002184809A JP 2002184809 A JP2002184809 A JP 2002184809A JP 2000383633 A JP2000383633 A JP 2000383633A JP 2000383633 A JP2000383633 A JP 2000383633A JP 2002184809 A JP2002184809 A JP 2002184809A
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JP
Japan
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tape
cooling
substrate
pressing surface
head
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000383633A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuo Sueda
信雄 末田
Shoji Sato
章二 佐藤
Shinya Matsumura
信弥 松村
Yoshiaki Takeoka
嘉昭 竹岡
Yasushi Takemura
康司 竹村
Kazuhiro Ishikawa
和弘 石川
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for preventing a portion that is not in contact with an affixing head from being heated, and for properly affixing a tape with specific length. SOLUTION: When a thermosetting resin tape 3 where viscosity changes according to temperature is pushed against a press surface 17 of the heated affixing head 11 for affixing onto a substrate 20, the thermosetting resin tape 3 supported by a base tape 2a is supplied to a position opposite to the press surface 17, and is cut into specific affixing length corresponding to the press surface 17 by a cutting means 9. Then, the cut thermosetting resin tape 3 with the specific length is pushed against the substrate 20 for affixing on the press surface 17, at the same time, a portion near the affixing section of the thermosetting resin tape 3 is cooled by jetting a cooling gas from a cooling nozzle 21, and the base tape 2a is peeled from the affixed thermosetting resin tape 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板にICチップ
(ベアIC)や表面弾性波(SAW)デバイスなどの電
子部品を単体状態で実装するために、粘着性及び接着性
を有するテープを基板に貼り付けるテープ貼付方法及び
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for mounting an electronic component such as an IC chip (bare IC) or a surface acoustic wave (SAW) device on a substrate in a single state by using a tape having adhesive and adhesive properties. The present invention relates to a method and an apparatus for attaching a tape to an apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子回路基板はあらゆる製品に使
用されるようになるとともに、その性能が日々向上し、
回路基板上で用いられる周波数が高くなっている。この
ような高周波を使用する電子機器においては、インピー
ダンスが低くなるフリップチップ実装が適している。ま
た、携帯機器の増加から、回路基板にICチップをパッ
ケージでなく、ベアチップのまま搭載するフリップチッ
プ実装が求められている。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic circuit boards have come to be used for all kinds of products, and their performance has been improving day by day.
The frequency used on the circuit board is increasing. In an electronic device using such a high frequency, flip-chip mounting with low impedance is suitable. Also, with the increase in portable devices, flip-chip mounting in which an IC chip is mounted on a circuit board as a bare chip instead of a package is required.

【0003】ベアチップを接合する方法として熱硬化性
樹脂テープを使用するものが知られている。熱硬化性テ
ープを回路基板や液晶デイスプレイのガラス基板に貼り
付けた後に、ICチップを熱圧着することにより、IC
チップ下面と基板上面の間に介在した熱硬化性樹脂層に
て接着するとともにICチップの電極と基板の電極が接
続された半導体チップの接続構造が一般に知られてい
る。熱硬化性樹脂は、ある温度条件では硬化せずに軟化
して粘着性を持ち、別の温度条件で硬化する特性を有し
ている。
[0003] As a method for joining bare chips, a method using a thermosetting resin tape is known. After attaching a thermosetting tape to a circuit board or a glass substrate of a liquid crystal display, the IC chip is thermocompressed to obtain an IC.
2. Description of the Related Art A connection structure of a semiconductor chip in which an electrode of an IC chip is connected to an electrode of a substrate by bonding with a thermosetting resin layer interposed between the lower surface of the chip and the upper surface of the substrate is generally known. The thermosetting resin has a property of being softened without being cured under a certain temperature condition and having tackiness, and being cured under another temperature condition.

【0004】上記熱硬化性樹脂テープの貼付手順を、図
10、図11を参照して説明すると、まずテープ供給手
段1よりベーステープ2aにて熱硬化性樹脂テープ3を
支持したテープ2を供給し、切断手段9でベーステープ
2aを残して熱硬化性樹脂テープ3のみをカットし、ヒ
ーター16で加熱された貼付ヘッド11を下降させてそ
の加圧面17にて熱硬化性樹脂テープ3を基板20に押
し付けて加熱し、貼り付ける。その後、貼付ヘッド11
を上昇させ、剥離ピン18を移動させて熱硬化性樹脂テ
ープ3とベーステープ2aを剥離させ、ベーステープ2
aはテープ収納部6に回収収納している。
The procedure for applying the thermosetting resin tape will be described with reference to FIGS. 10 and 11. First, the tape supply means 1 supplies the tape 2 supporting the thermosetting resin tape 3 with the base tape 2a. Then, only the thermosetting resin tape 3 is cut by the cutting means 9 while leaving the base tape 2a, the bonding head 11 heated by the heater 16 is lowered, and the thermosetting resin tape 3 is Press 20 and heat and paste. Then, the sticking head 11
Is raised, and the release pin 18 is moved to release the thermosetting resin tape 3 and the base tape 2a.
“a” is collected and stored in the tape storage unit 6.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な構成において、図12(a)に示すように、貼付ヘッ
ド11の加圧面17にてテープ2のベーステープ2aを
介して熱硬化性樹脂テープ3を加圧・加熱する際に、加
圧面17の端縁と切断手段9による熱硬化性樹脂テープ
3の切断面32が精度良く一致し、熱硬化性樹脂テープ
3の加圧面17に対向する部分のみが加熱されて粘着性
が大きくなった場合には、図12(b)に示すように、
剥離ピン18でベーステープ2aを引き上げて剥離した
時に適正な長さの熱硬化性樹脂テープ3が基板20に貼
り付けられるが、図13(a)に示すように、加圧面1
7の端縁と切断面32が精度良く一致していても、加圧
面17からベーステープ2aを介して熱硬化性樹脂テー
プ3が切断面32の外側に隣接する部分33まで所定温
度以上に加熱されて粘着性が大きくなった場合や、図1
3(b)に示すように、切断面32が加圧面17の端縁
より内側に位置し、切断面32の外側に隣接する部分3
3まで所定温度以上に加熱されて粘着性が大きくなった
場合には、切断面32が互いに粘着してしまい、ベース
テープ2aを剥離ピン18で引き上げて剥離した時にこ
れらの部分33が基板20側に貼付けられた状態で残っ
てしまい、次に貼り付ける熱硬化性樹脂テープ3の端部
が欠けてしまったり、また基板20側に残らなかった場
合でも熱硬化性樹脂テープ3の端部の特性が変わり、次
の貼り付け動作時に貼り付けにくくなったりする恐れが
あり、熱硬化性樹脂テープ3を適正に貼り付けることが
できないという問題がある。
By the way, in the above configuration, as shown in FIG. 12 (a), the thermosetting resin is applied to the pressing surface 17 of the attaching head 11 via the base tape 2a of the tape 2. When the tape 3 is pressed and heated, the edge of the pressing surface 17 and the cut surface 32 of the thermosetting resin tape 3 by the cutting means 9 accurately match, and oppose the pressing surface 17 of the thermosetting resin tape 3. When only the portion to be heated is heated to increase the adhesiveness, as shown in FIG.
When the base tape 2a is pulled up by the peeling pin 18 and peeled off, the thermosetting resin tape 3 having an appropriate length is attached to the substrate 20, but as shown in FIG.
7, the thermosetting resin tape 3 is heated from the pressurized surface 17 to a portion 33 adjacent to the outside of the cut surface 32 at a predetermined temperature or higher through the base tape 2a even if the edge of the cut 7 accurately matches the cut surface 32. When the adhesion increases,
As shown in FIG. 3 (b), the section 3 in which the cut surface 32 is located inside the edge of the pressing surface 17 and is adjacent to the outside of the cut surface 32
When the adhesive tape is heated to a predetermined temperature or higher to increase the adhesiveness, the cut surfaces 32 adhere to each other, and when the base tape 2a is pulled up with the peeling pin 18 and peeled off, these portions 33 become closer to the substrate 20 side. And the end of the thermosetting resin tape 3 to be attached next is chipped off, or even if it does not remain on the substrate 20 side, the characteristics of the end of the thermosetting resin tape 3 Is changed, and there is a possibility that the thermosetting resin tape 3 may not be stuck properly at the time of the next sticking operation.

【0006】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、温度
によって粘着性が変化するテープを貼り付ける際に貼付
ヘッドに接触していない部分が加熱されるのを防止し、
所定長さのテープを適正に貼り付けることができるテー
プ貼付方法及び装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and prevents a portion which is not in contact with an attaching head from being heated when attaching a tape whose adhesiveness changes with temperature,
It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for attaching a tape of a predetermined length that can appropriately attach a tape.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のテープ貼付方法
は、温度によって粘着性が変化するテープを、加熱した
貼付ヘッドの加圧面で押し付けて基板に貼り付けるテー
プ貼付方法であって、ベーステープに支持させたテープ
を貼付ヘッドの加圧面に対向する位置に供給する工程
と、テープのみを加圧面に対応する所定の貼付長さで切
断する工程と、所定の貼付長さで切断されたテープを貼
付ヘッドの加圧面に基板に押し付けて貼り付ける工程
と、テープの貼付部の近傍を冷却する工程と、ベーステ
ープを貼り付けたテープから剥離する工程とを有するも
のであり、テープの貼付部のみが基板に適正に貼り付け
られ、貼付部の切断面近傍が加熱されて基板側に残って
次の貼付部が欠けたりする恐れがなく、またテープの特
性の変化も防止でき、所定長さのテープを適正に貼り付
けることができる。
The tape application method of the present invention is a tape application method in which a tape whose adhesiveness changes depending on temperature is pressed against a substrate by pressing the tape on a pressurized surface of a heated application head. Supplying the tape supported on the tape to the position facing the pressing surface of the bonding head, cutting only the tape at a predetermined bonding length corresponding to the pressing surface, and tape cut at the predetermined bonding length And a step of pressing the tape on the pressurized surface of the attaching head to adhere to the substrate, a step of cooling the vicinity of the tape attaching section, and a step of peeling off the base tape from the attached tape. Only the substrate is properly affixed to the substrate, the vicinity of the cut surface of the affixed portion is heated and there is no risk that the next affixed portion will remain on the substrate side and chip, and the change in the properties of the tape can be prevented. It can be pasted to the proper tape of a fixed length of.

【0008】また、冷却工程においては、貼付ヘッドの
加圧面を基板に押し付ける前に、テープと加圧面の端縁
が接触する点近傍の冷却を開始し、テープを貼り付けた
後貼付ヘッドを基板から離した後に冷却を終了すると、
冷却効果が大きく、また貼付ヘッドの加圧面を基板に押
し付けた後に、テープと加圧面の端縁が接触する点近傍
の冷却を開始し、テープを貼り付けた後貼付ヘッドを基
板から離した後に冷却を終了すると、冷却動作でテープ
の動くのを防止できる。
In the cooling step, before pressing the pressing surface of the bonding head against the substrate, cooling near the point where the tape and the edge of the pressing surface come into contact is started, and after the tape is bonded, the bonding head is moved to the substrate. When cooling is finished after the
Cooling effect is large, and after pressing the pressure surface of the application head against the substrate, start cooling near the point where the tape and the edge of the pressure surface come into contact, and after removing the application head from the substrate after applying the tape When the cooling is completed, the tape can be prevented from moving by the cooling operation.

【0009】また、本発明のテープ貼付装置は、加圧面
と加熱手段を有して基板に向けて加圧面を押し付ける位
置と基板から離れた位置との間で移動可能な貼付ヘッド
と、ベーステープに支持させたテープを供給するテープ
供給手段と、ベーステープに支持されたテープを貼付ヘ
ッドの加圧面に対向する位置に順次送り込むテープ送り
手段と、テープのみを加圧面に対応する所定の貼付長さ
で切断する切断手段と、ベーステープを収納するテープ
収納手段と、テープの貼付部の近傍を冷却する冷却手段
とを備えたものであり、冷却手段でテープの貼付部の近
傍を冷却することにより、テープの貼付部のみが基板に
適正に貼り付けられ、貼付部の切断面近傍が加熱されて
基板側に残り、次の貼付部が欠けたりする恐れがなく、
またテープの特性の変化も防止でき、所定長さのテープ
を適正に貼り付けることができる。
Further, the tape applying apparatus of the present invention comprises an applying head which has a pressing surface and a heating means and is movable between a position where the pressing surface is pressed toward the substrate and a position away from the substrate, and a base tape. Tape supply means for supplying the tape supported by the base tape, tape feeding means for sequentially feeding the tape supported by the base tape to a position facing the pressing surface of the bonding head, and a predetermined bonding length corresponding to only the tape corresponding to the pressing surface. Cutting means, a tape accommodating means for accommodating the base tape, and a cooling means for cooling the vicinity of the tape attaching portion, wherein the cooling means cools the vicinity of the tape attaching portion. Thereby, only the taped portion is properly bonded to the substrate, the vicinity of the cut surface of the bonded portion is heated and remains on the substrate side, and there is no possibility that the next bonded portion is chipped,
In addition, a change in the characteristics of the tape can be prevented, and a tape of a predetermined length can be appropriately affixed.

【0010】また、冷却手段は、冷却気体をテープの貼
付部の近傍を噴出する冷却ノズルから成ると、非接触で
容易かつ効率的に必要箇所を冷却することができる。
[0010] Further, if the cooling means comprises a cooling nozzle for jetting a cooling gas in the vicinity of the tape attaching portion, it is possible to cool a required portion easily and efficiently without contact.

【0011】また、冷却ノズルから冷却気体を噴出する
タイミングを貼付ヘッドの移動と連動して制御する手段
を備えると、冷却タイミングを貼り付け動作と精度良く
同期させることができる。
Further, if means for controlling the timing at which the cooling gas is jetted from the cooling nozzle in conjunction with the movement of the attaching head is provided, the cooling timing can be accurately synchronized with the attaching operation.

【0012】また、冷却ノズルに供給する冷却気体の流
量を制御する手段を備えると、所望の冷却性能が得られ
かつテープに影響を与えないように冷却気体の流速を調
整設定することができる。
If means for controlling the flow rate of the cooling gas supplied to the cooling nozzle is provided, the flow rate of the cooling gas can be adjusted and set so that the desired cooling performance is obtained and the tape is not affected.

【0013】また、冷却ノズルに供給する冷却気体の温
度を制御する手段を備えると、流量調整では適正な冷却
性能が得られない場合にも必要な冷却性能が得られるよ
うにすることができる。
If means for controlling the temperature of the cooling gas supplied to the cooling nozzle is provided, the required cooling performance can be obtained even when the proper cooling performance cannot be obtained by adjusting the flow rate.

【0014】また、冷却ノズルは、冷却気体の噴出位
置、噴出方向を調整可能に配設されていると、テープや
ベーステープの厚さや幅などの寸法によって調整するこ
とによって最適な冷却状態に設定することができる。
Further, if the cooling nozzle is arranged so as to adjust the jetting position and jetting direction of the cooling gas, the cooling nozzle is set to an optimum cooling state by adjusting the thickness and width of the tape and the base tape. can do.

【0015】また、貼付ヘッドにおける加圧面のテープ
供給側端縁に隣接する側面に断熱手段を設けると、冷却
手段によって貼付ベッドの加圧面の温度分布が影響を受
け、貼付状態に影響するのを抑制でき、適正な貼付状態
を得ることができる。
Further, if a heat insulating means is provided on the side of the pressing head adjacent to the tape supply side edge of the pressing head, the temperature distribution of the pressing surface of the bonding bed is affected by the cooling means, so that the bonding state is not affected. It can be suppressed and an appropriate state of attachment can be obtained.

【0016】また、基板を支持する支持面に、加圧面に
対向する加熱部分とその側部の冷却部分を設けると、基
板側からの温度分布の影響を受けるのを抑制して適正な
貼付状態を得ることができる。
Further, when a heating portion facing the pressing surface and a cooling portion on its side are provided on the supporting surface for supporting the substrate, it is possible to suppress the influence of the temperature distribution from the substrate side and to obtain a proper bonding state. Can be obtained.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明のテープ貼付装置を
適用した熱硬化性樹脂テープ貼付装置の各実施形態につ
いて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, each embodiment of a thermosetting resin tape sticking apparatus to which the tape sticking apparatus of the present invention is applied will be described.

【0018】(第1の実施形態)本発明の第1の実施形
態の熱硬化性樹脂テープ貼付装置について、図1〜図3
を参照して説明する。
(First Embodiment) FIGS. 1 to 3 show a thermosetting resin tape sticking apparatus according to a first embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG.

【0019】図1において、1はテープ供給手段で、供
給リール部1aと昇降ローラ1bと固定ローラ1cにて
構成され、供給リール部1aは昇降ローラ1bが一定昇
降範囲の上限位置に来るとテープ2を供給し、昇降ロー
ラ1bが下限位置まで下降すると供給を停止するように
構成され、昇降ローラ1bにてテープ2に所定のテンシ
ョンを付与した状態で、後述のテープ送り手段8による
テープ送り量に応じてテープ2を供給するように構成さ
れている。テープ2は、図2、図12に示すように、ベ
ーステープ2aの片面に熱硬化性樹脂テープ3を支持さ
せて構成されている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a tape supply means, which comprises a supply reel section 1a, an elevating roller 1b, and a fixed roller 1c. The supply reel section 1a is provided with a tape when the elevating roller 1b reaches an upper limit position of a certain elevating range. 2 is supplied, and when the elevating roller 1b descends to the lower limit position, the supply is stopped. In a state where a predetermined tension is applied to the tape 2 by the elevating roller 1b, the tape feeding amount by the tape feeding means 8 described later The tape 2 is configured to be supplied in accordance with As shown in FIGS. 2 and 12, the tape 2 is configured by supporting a thermosetting resin tape 3 on one surface of a base tape 2a.

【0020】このテープ供給手段1から繰り出されたテ
ープ2は、貼付部10の左右両側部に配設されたガイド
ローラ4a、4b間に張設された後、クランプ手段5を
介してテープ収納部6に吸引回収するように構成されて
いる。7はテープ収納部6の吸引ファンである。テープ
送り手段8は、ガイドローラ4a、4b間で往復移動可
能な移動体8aにテープクランプ8bを備えて構成さ
れ、テープクランプ8bにてテープ2の適所をクランプ
し、クランプ手段5を開放して移動体8aを所定送り量
だけ移動させた後、クランプ手段5を閉じ、テープクラ
ンプ8bを開放して移動体8aを復帰移動させることで
テープ2を送る。
The tape 2 fed from the tape supply means 1 is stretched between guide rollers 4a and 4b provided on both right and left sides of the attaching section 10, and then is clamped via a clamp means 5 to a tape storage section. 6 to collect by suction. Reference numeral 7 denotes a suction fan of the tape storage unit 6. The tape feeding means 8 is constituted by including a tape clamp 8b on a moving body 8a which can reciprocate between the guide rollers 4a and 4b. The tape clamp 8b clamps the tape 2 at an appropriate position, and releases the clamp means 5. After moving the moving body 8a by a predetermined feed amount, the clamp 2 is closed, the tape clamp 8b is opened, and the moving body 8a is returned and the tape 2 is fed.

【0021】9は、切断刃9aとその駆動モータ9bを
備えた切断手段であり、テープ2のベーステープ2aを
残して熱硬化性樹脂テープ3のみを所定の貼付長さで切
断する。
Reference numeral 9 denotes a cutting means provided with a cutting blade 9a and a driving motor 9b for cutting only the thermosetting resin tape 3 to a predetermined length, leaving the base tape 2a of the tape 2.

【0022】貼付部10の上部には、昇降支持手段12
にて昇降自在に支持されるとともに駆動モータ13にて
昇降駆動可能に構成された貼付ヘッド11が配設されて
いる。貼付部10の下部には、上面の支持面15上に基
板20を載置固定するように構成された支持手段14が
配設されている。貼付ヘッド11は、加熱手段としての
ヒーター16を内蔵するとともにその下端にテープ2の
種類に対応する加圧ツールが着脱可能に装着され、この
加圧ツールにてテープ2に接して加圧する加圧面17が
形成されている。18は、テープ2の所定長に切断した
熱硬化性樹脂テープ3を基板20に貼付けた後、ベース
テープ2aを引き上げて剥離する剥離ピンであり、ガイ
ドローラ4a、4b間で往復移動可能な移動体19に装
着されている。
An elevating and lowering supporting means 12
The sticking head 11 is supported so as to be able to move up and down and can be driven up and down by a drive motor 13. At the lower part of the attachment unit 10, a support means 14 configured to mount and fix the substrate 20 on the support surface 15 on the upper surface is provided. The bonding head 11 has a built-in heater 16 as a heating means, and a pressing tool corresponding to the type of the tape 2 is removably mounted at the lower end thereof. 17 are formed. Reference numeral 18 denotes a peeling pin which sticks the thermosetting resin tape 3 cut to a predetermined length of the tape 2 to the substrate 20 and then pulls up and peels the base tape 2a, and is a reciprocally movable member between the guide rollers 4a and 4b. It is attached to the body 19.

【0023】21は、冷却気体を噴出する冷却手段とし
ての冷却ノズルであり、位置調整支持手段22にてテー
プ2の種類や幅等に応じて上下左右位置及び噴射方向を
調整可能に貼付ヘッド11に装着されている。冷却ノズ
ル21には、冷却気体の送風ファン23から冷却したエ
アやN2 ガスなどを流量調整弁24にて流量調整して供
給するように構成されている。さらに、送風ファン23
に送り込む冷却気体の温度を調整する温度調整手段25
が設けられている。
Numeral 21 is a cooling nozzle as a cooling means for jetting a cooling gas. The sticking head 11 is capable of adjusting the vertical and horizontal positions and the jetting direction according to the type and width of the tape 2 by the position adjusting and supporting means 22. It is attached to. The cooling nozzle 21 is configured to supply air cooled by a cooling gas blower fan 23 or N 2 gas by adjusting the flow rate with a flow rate adjusting valve 24. Further, the blower fan 23
Adjusting means 25 for adjusting the temperature of the cooling gas sent to the
Is provided.

【0024】26は、テープ供給手段1、クランプ手段
5、テープ送り手段8、切断手段9、貼付ヘッド11の
駆動モータ13、剥離ピン18の移動体19、冷却ノズ
ル21の送風ファン23を相互に関連させて制御する制
御部である。なお、位置調整支持手段22や流量調整弁
24や温度調整手段25は、図示例では手動にて調整す
るようにしているが、制御部26にて自動調整するよう
に構成することもできる。
Reference numeral 26 denotes a tape feeding means 1, a clamping means 5, a tape feeding means 8, a cutting means 9, a driving motor 13 of the attaching head 11, a moving body 19 of the peeling pin 18, and a blowing fan 23 of the cooling nozzle 21 mutually. It is a control unit that performs control in association with it. The position adjustment support means 22, the flow adjustment valve 24, and the temperature adjustment means 25 are manually adjusted in the illustrated example, but may be configured to be automatically adjusted by the control unit 26.

【0025】次に、図2、図3を参照して動作を説明す
ると、まず、テープ供給手段1よりベーステープ2aに
て熱硬化性樹脂テープ3を支持したテープ2を繰り出し
てテープ送り手段8にて所定長さ送給し、切断手段9で
ベーステープ2aを残して熱硬化性樹脂テープ3のみを
カットする。次に、加圧面17とテープ2が接触する部
分をできるだけ避けるようにかつ加圧面17の端とテー
プ2の接触点の近傍を中心として冷却ノズル21から冷
却気体を噴出させて冷却を開始する。次に、ヒーター1
6で加熱された貼付ヘッド11を下降させてその加圧面
17にてテープ2のベーステープ2aを介して熱硬化性
樹脂テープ3を基板20に押し付けて加熱し、貼り付け
る。その後、貼付ヘッド11を上昇させた後、冷却ノズ
ル21からの冷却気体の噴出を停止し、剥離ピン18を
移動させて熱硬化性樹脂テープ3とベーステープ2aを
剥離させている。
Next, the operation will be described with reference to FIGS. 2 and 3. First, the tape 2 supporting the thermosetting resin tape 3 with the base tape 2a from the tape supply means 1 is fed out and the tape feed means 8 is fed. The cutting means 9 cuts only the thermosetting resin tape 3 while leaving the base tape 2a. Next, cooling is started by ejecting a cooling gas from the cooling nozzle 21 around the end of the pressing surface 17 and the vicinity of the contact point of the tape 2 so as to avoid a portion where the pressing surface 17 contacts the tape 2 as much as possible. Next, heater 1
The bonding head 11 heated in 6 is lowered, and the thermosetting resin tape 3 is pressed against the substrate 20 via the base tape 2a of the tape 2 on the pressing surface 17 and heated to bond. Thereafter, after the application head 11 is raised, the blowing of the cooling gas from the cooling nozzle 21 is stopped, and the peeling pin 18 is moved to peel the thermosetting resin tape 3 and the base tape 2a.

【0026】本実施形態によれば、熱硬化性樹脂テープ
3と加圧面17の端の接触点より外側部分を冷却するこ
とができ、加圧面17に対向しない部分が加熱されて基
板20に貼り付けられることがなく、貼付部分と非貼付
部分が加圧面17の端にほぼ対応して位置している切断
手段9による切断面32で確実に分離され、非貼付部分
はベーステープ2aの剥離時に確実に基板20から剥が
れてベーステープ2aに支持され、次に貼付動作時に正
確な貼付長さが設定される。
According to the present embodiment, the portion outside the contact point between the thermosetting resin tape 3 and the end of the pressing surface 17 can be cooled, and the portion not facing the pressing surface 17 is heated and adhered to the substrate 20. Without being attached, the applied portion and the non-applied portion are reliably separated at the cut surface 32 by the cutting means 9 located substantially corresponding to the end of the pressing surface 17, and the non-applied portion is removed when the base tape 2a is peeled. The adhesive tape is reliably peeled off from the substrate 20 and supported by the base tape 2a, and then an accurate sticking length is set at the time of sticking operation.

【0027】なお、本実施形態では冷却気体の噴出タイ
ミングは、貼付ヘッド11が下降する前としたが、テー
プ2と加圧面17が接触するまでならば、冷却気体の噴
出タイミングは特に問わない。
In the present embodiment, the timing of jetting the cooling gas is before the sticking head 11 descends. However, the timing of jetting the cooling gas is not particularly limited as long as the tape 2 comes into contact with the pressing surface 17.

【0028】(第2の実施形態)本発明の第2の実施形
態の熱硬化性樹脂テープ貼付装置について、図4、図5
を参照して説明する。まず、テープ供給手段1よりベー
ステープ2aにて熱硬化性樹脂テープ3を支持したテー
プ2を繰り出してテープ送り手段8にて所定長さ送給
し、切断手段9でベーステープ2aを残して熱硬化性樹
脂テープ3のみをカットする。次に、ヒーター16で加
熱された貼付ヘッド11を下降させてその加圧面17に
て熱硬化性樹脂テープ3を基板20に押し付ける。その
後、加圧面17とテープ2が接触する部分をできるだけ
避けるようにかつ加圧面17の端とテープ2の接触点の
近傍を中心として冷却ノズル21から冷却気体を噴出さ
せて冷却を開始する。この状態で貼付ヘッド11の加圧
面17にて熱硬化性樹脂テープ3を加圧・加熱して基板
20に貼付けた後、貼付ヘッド11を上昇させ、その後
冷却ノズル21からの冷却気体の噴出を停止し、剥離ピ
ン18を移動させて熱硬化性樹脂テープ3とベーステー
プ2aを剥離させている。
(Second Embodiment) FIGS. 4 and 5 show a thermosetting resin tape sticking apparatus according to a second embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG. First, the tape 2 supporting the thermosetting resin tape 3 is fed out from the tape supply means 1 by the base tape 2a, fed by the tape feed means 8 for a predetermined length, and cut by the heat leaving the base tape 2a. Cut only the curable resin tape 3. Next, the bonding head 11 heated by the heater 16 is lowered, and the thermosetting resin tape 3 is pressed against the substrate 20 on the pressing surface 17. Thereafter, a cooling gas is blown out from the cooling nozzle 21 around the end of the pressing surface 17 and the vicinity of the contact point of the tape 2 so as to avoid the portion where the pressing surface 17 and the tape 2 are in contact with each other as much as possible to start cooling. In this state, the thermosetting resin tape 3 is pressed and heated on the pressing surface 17 of the bonding head 11 and bonded to the substrate 20. Then, the bonding head 11 is raised, and then the cooling gas is ejected from the cooling nozzle 21. After stopping, the release pin 18 is moved to release the thermosetting resin tape 3 and the base tape 2a.

【0029】本実施形態によれば、熱硬化性樹脂テープ
3と加圧面17の端の接触点より外側部分を冷却するこ
とができ、加圧面17に対向しない部分が加熱されて基
板20に貼り付けられることがなく、貼付部分と非貼付
部分が切断面32で確実に分離され、非貼付部分はベー
ステープ2aの剥離時に確実に基板20から剥がれてベ
ーステープ2aに支持され、次に貼付動作時に正確な貼
付長さが設定され、また加圧面17にてテープ2を加圧
した後冷却気体を噴出しているので、テープ2が動くこ
となく、精度良く貼り付けることができる。
According to this embodiment, the portion outside the contact point between the thermosetting resin tape 3 and the end of the pressing surface 17 can be cooled, and the portion not facing the pressing surface 17 is heated and adhered to the substrate 20. The sticking portion and the non-sticking portion are surely separated at the cut surface 32 without being attached, and the non-sticking portion is surely peeled off from the substrate 20 when the base tape 2a is peeled off and supported by the base tape 2a. Sometimes, an accurate sticking length is set, and since the cooling gas is jetted after pressing the tape 2 on the pressing surface 17, the tape 2 can be stuck with high precision without moving.

【0030】なお、本実施形態では冷却気体の噴出タイ
ミングは、貼付ヘッド11が下降した後としたが、テー
プ2と加圧面17が接触した後ならば、冷却気体の噴出
タイミングは特に問わない。
In the present embodiment, the timing of jetting the cooling gas is after the sticking head 11 has been lowered, but the timing of jetting the cooling gas is not particularly limited as long as the tape 2 comes into contact with the pressing surface 17.

【0031】(第3の実施形態)上記実施形態では、冷
却ノズル21から噴出する冷却気体をテープ2のベース
テープ2a側に吹き付けるようにしてベーステープ2a
を介して熱硬化性樹脂テープ3を冷却するようにした例
を示したが、図6に示すように、貼付ヘッド11の加圧
面17にてテープ2を加圧した状態でその側方から冷却
気体を噴出して熱硬化性樹脂テープ3を直接冷却するよ
うにしてもよい。この場合には、冷却気体はクリーンな
気体を用いる必要がある。
(Third Embodiment) In the above-described embodiment, the cooling gas ejected from the cooling nozzle 21 is blown to the base tape 2a side of the tape 2 so that the base tape 2a
In the example shown in FIG. 6, the thermosetting resin tape 3 is cooled via a pressurizing unit. However, as shown in FIG. A gas may be ejected to directly cool the thermosetting resin tape 3. In this case, it is necessary to use a clean gas as the cooling gas.

【0032】(第4の実施形態)また、上記実施形態で
は、テープ2の冷却手段として冷却気体を噴出する冷却
ノズル21を例示したが、図7に示すように、冷却板2
7や冷却ブロックをテープ2のベーステープ2a側に接
触させて冷却する等、種々の手段を用いることができ
る。
(Fourth Embodiment) In the above-described embodiment, the cooling nozzle 21 for jetting a cooling gas is exemplified as the cooling means for the tape 2, but as shown in FIG.
Various means can be used, such as cooling by bringing the tape 7 or the cooling block into contact with the base tape 2a side of the tape 2.

【0033】(第5の実施形態)また、冷却気体が貼付
ヘッド11に吹き付けられることによって貼付ヘッド1
1の加圧面17の端部で温度が低下するような温度分布
となる恐れに対する対策として、図8に示すように、貼
付ヘッド11における加圧面17のテープ供給側端縁に
隣接する側面に断熱手段28を設けてもよい。そうする
と、貼付ヘッド11の加圧面17の温度分布に影響を受
けず、貼付状態に影響するのを抑制でき、適正な貼付状
態を得ることができる。
(Fifth Embodiment) Also, the cooling gas is blown onto the bonding head 11 so that the bonding head 1
As a countermeasure against the possibility of a temperature distribution such that the temperature drops at the end of the pressing surface 17 as shown in FIG. 8, as shown in FIG. Means 28 may be provided. Then, without being affected by the temperature distribution of the pressing surface 17 of the attaching head 11, it is possible to suppress the influence on the attaching state, and to obtain an appropriate attaching state.

【0034】(第6の実施形態)また、図9に示すよう
に、基板20を載置支持する支持面15に、加圧面17
に対向する加熱部分29とその側部の冷却部分30を断
熱部31を挟んで配設してもよい。加熱部分29にはヒ
ータ29aを内蔵し、冷却部分30には冷却媒体通路3
0aを内蔵し、それらの間に断熱部31が介在されてい
る。このように構成すると、基板20側からの温度分布
の影響を受けるのを抑制して適正な貼付状態を得ること
ができる。
(Sixth Embodiment) Further, as shown in FIG. 9, a support surface 15 for placing and supporting a substrate 20 is provided with a pressing surface 17.
The heating part 29 and the cooling part 30 on the side of the heating part 29 may be disposed with the heat insulating part 31 interposed therebetween. The heating portion 29 has a built-in heater 29 a, and the cooling portion 30 has a cooling medium passage 3.
0a, and a heat insulating part 31 is interposed between them. With such a configuration, it is possible to suppress the influence of the temperature distribution from the substrate 20 side and obtain an appropriate bonding state.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明のテープ貼付方法及び装置によれ
ば、以上のようにベーステープに支持させたテープを貼
付ヘッドの加圧面に対向する位置に供給し、テープのみ
を加圧面に対応する所定の貼付長さで切断し、所定の貼
付長さで切断されたテープを貼付ヘッドの加圧面に基板
に押し付けて貼り付け、テープの貼付部の近傍を冷却
し、ベーステープを貼り付けたテープから剥離するよう
にしているので、テープの貼付部のみが基板に適正に貼
り付けられ、貼付部の切断面近傍が加熱されて基板側に
残り、次の貼付部が欠けたりする恐れがなく、またテー
プの特性の変化も防止でき、所定長さのテープを適正に
貼り付けることができる。
According to the tape applying method and apparatus of the present invention, the tape supported on the base tape as described above is supplied to the position facing the pressing surface of the applying head, and only the tape corresponds to the pressing surface. A tape cut at a predetermined length and pressed with the tape cut at a predetermined length against the pressurized surface of the bonding head against the substrate, cooling the vicinity of the tape bonding part, and pasting the base tape. Since it is made to peel from, only the affixed portion of the tape is properly affixed to the substrate, the vicinity of the cut surface of the affixed portion is heated and remains on the substrate side, there is no fear that the next affixed portion is chipped, In addition, a change in the characteristics of the tape can be prevented, and a tape of a predetermined length can be appropriately attached.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態のテープ貼付装置の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a tape attaching device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同実施形態の動作説明図である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the embodiment.

【図3】同実施形態の動作フローチャートである。FIG. 3 is an operation flowchart of the embodiment.

【図4】本発明の第2の実施形態の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory diagram of the second embodiment of the present invention.

【図5】同実施形態の動作フローチャートである。FIG. 5 is an operation flowchart of the embodiment.

【図6】本発明の第3の実施形態のテープ貼付装置の要
部構成図である。
FIG. 6 is a main part configuration diagram of a tape attaching device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施形態のテープ貼付装置の要
部構成図である。
FIG. 7 is a main part configuration diagram of a tape attaching device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第5の実施形態のテープ貼付装置の要
部構成図である。
FIG. 8 is a main part configuration diagram of a tape attaching device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第6の実施形態のテープ貼付装置の要
部構成図である。
FIG. 9 is a main part configuration diagram of a tape attaching device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図10】従来例のテープ貼付装置の動作説明図であ
る。
FIG. 10 is an operation explanatory view of a conventional tape sticking apparatus.

【図11】同実施形態の動作フローチャートである。FIG. 11 is an operation flowchart of the embodiment.

【図12】同従来例の作用説明図である。FIG. 12 is an operation explanatory view of the conventional example.

【図13】同従来例の問題点の説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of a problem of the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 テープ供給手段 2 テープ 2a ベーステープ 3 熱硬化性樹脂テープ 6 テープ収納部 8 テープ送り手段 9 切断手段 10 貼付部 11 貼付ヘッド 16 ヒーター(加熱手段) 17 加圧面 18 剥離ピン 21 冷却ノズル(冷却手段) 22 位置調整支持手段 24 流量調整弁 25 温度調整手段 26 制御部 28 断熱手段 29 加熱部分 30 冷却部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tape supply means 2 Tape 2a Base tape 3 Thermosetting resin tape 6 Tape accommodating part 8 Tape feeding means 9 Cutting means 10 Adhering part 11 Adhering head 16 Heater (heating means) 17 Pressing surface 18 Peeling pin 21 Cooling nozzle (cooling means) 22) Position adjustment support means 24 Flow rate adjustment valve 25 Temperature adjustment means 26 Control unit 28 Insulation means 29 Heating part 30 Cooling part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 信弥 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹岡 嘉昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹村 康司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 石川 和弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5F044 LL07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Shinya Matsumura, Inventor 1006 Kadoma, Kazuma, Osaka Prefecture, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Koji Takemura 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 温度によって粘着性が変化するテープ
を、加熱した貼付ヘッドの加圧面で押し付けて基板に貼
り付けるテープ貼付方法であって、ベーステープに支持
させたテープを貼付ヘッドの加圧面に対向する位置に供
給する工程と、テープのみを加圧面に対応する所定の貼
付長さで切断する工程と、所定の貼付長さで切断された
テープを貼付ヘッドの加圧面に基板に押し付けて貼り付
ける工程と、テープの貼付部の近傍を冷却する工程と、
ベーステープを貼り付けたテープから剥離する工程とを
有することを特徴とするテープ貼付方法。
1. A method for attaching a tape whose adhesiveness changes according to temperature to a substrate by pressing the tape on a pressure surface of a heated application head, wherein the tape supported by a base tape is applied to the pressure surface of the application head. Supplying the tape to the opposing position, cutting the tape only at a predetermined length corresponding to the pressing surface, and pressing the tape cut at the predetermined length to the pressing surface of the bonding head against the substrate Attaching step, a step of cooling the vicinity of the tape application portion,
Separating the tape from the tape to which the base tape has been attached.
【請求項2】 貼付ヘッドの加圧面を基板に押し付ける
前に、テープと加圧面の端縁が接触する点近傍の冷却を
開始し、テープを貼り付けた後貼付ヘッドを基板から離
した後に冷却を終了することを特徴とする請求項1記載
のテープ貼付方法。
2. Before the pressing surface of the bonding head is pressed against the substrate, cooling near the point where the tape and the edge of the pressing surface come into contact is started, and after the tape is bonded, the bonding head is separated from the substrate and then cooled. 2. The method according to claim 1, wherein the step (c) is terminated.
【請求項3】 貼付ヘッドの加圧面を基板に押し付けた
後に、テープと加圧面の端縁が接触する点近傍の冷却を
開始し、テープを貼り付けた後貼付ヘッドを基板から離
した後に冷却を終了することを特徴とする請求項1記載
のテープ貼付方法。
3. After the pressing surface of the application head is pressed against the substrate, cooling is started near the point where the tape comes into contact with the edge of the pressing surface. After the tape is applied, the application head is separated from the substrate and then cooled. 2. The method according to claim 1, wherein the step (c) is terminated.
【請求項4】 加圧面と加熱手段を有して基板に向けて
加圧面を押し付ける位置と基板から離れた位置との間で
移動可能な貼付ヘッドと、ベーステープに支持させたテ
ープを供給するテープ供給手段と、ベーステープに支持
されたテープを貼付ヘッドの加圧面に対向する位置に順
次送り込むテープ送り手段と、テープのみを加圧面に対
応する所定の貼付長さで切断する切断手段と、ベーステ
ープを収納するテープ収納手段と、テープの貼付部の近
傍を冷却する冷却手段とを備えたことを特徴とするテー
プ貼付装置。
4. An application head having a pressing surface and a heating means, which is movable between a position where the pressing surface is pressed toward the substrate and a position away from the substrate, and a tape supported by the base tape. Tape supply means, a tape feeding means for sequentially feeding the tape supported by the base tape to a position facing the pressing surface of the bonding head, and a cutting means for cutting only the tape at a predetermined bonding length corresponding to the pressing surface, A tape application device, comprising: a tape storage device for storing a base tape; and a cooling device for cooling the vicinity of a tape application portion.
【請求項5】 冷却手段は、冷却気体をテープの貼付部
の近傍に噴出する冷却ノズルから成ることを特徴とする
請求項4記載のテープ貼付装置。
5. The tape sticking apparatus according to claim 4, wherein the cooling means comprises a cooling nozzle for jetting a cooling gas near the tape sticking portion.
【請求項6】 冷却ノズルから冷却気体を噴出するタイ
ミングを貼付ヘッドの移動と連動して制御する手段を備
えたことを特徴とする請求項5記載のテープ貼付装置。
6. The tape sticking apparatus according to claim 5, further comprising means for controlling the timing of jetting the cooling gas from the cooling nozzle in conjunction with the movement of the sticking head.
【請求項7】 冷却ノズルに供給する冷却気体の流量を
制御する手段を備えたことを特徴とする請求項5又は6
記載のテープ貼付装置。
7. The apparatus according to claim 5, further comprising means for controlling a flow rate of the cooling gas supplied to the cooling nozzle.
The tape sticking device as described in the above.
【請求項8】 冷却ノズルに供給する冷却気体の温度を
制御する手段を備えたことを特徴とする請求項5〜7の
何れかに記載のテープ貼付装置。
8. The tape sticking apparatus according to claim 5, further comprising means for controlling a temperature of a cooling gas supplied to the cooling nozzle.
【請求項9】 冷却ノズルは、冷却気体の噴出位置、噴
出方向を調整可能に配設されていることを特徴とする請
求項5〜8の何れかに記載のテープ貼付装置。
9. The tape sticking apparatus according to claim 5, wherein the cooling nozzle is arranged so as to adjust a position and a direction in which the cooling gas is jetted.
【請求項10】 貼付ヘッドにおける加圧面のテープ供
給側端縁に隣接する側面に断熱手段を設けたことを特徴
とする請求項4〜9の何れかに記載のテープ貼付装置。
10. The tape sticking apparatus according to claim 4, wherein a heat insulating means is provided on a side surface of the pressing surface of the sticking head adjacent to the tape supply side edge.
【請求項11】 基板を支持する支持面に、加圧面に対
向する加熱部分とその側部の冷却部分を設けたことを特
徴とする請求項4〜10の何れかに記載のテープ貼付装
置。
11. The tape sticking apparatus according to claim 4, wherein a heating portion facing the pressing surface and a cooling portion on a side thereof are provided on the supporting surface for supporting the substrate.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007258519A (en) * 2006-03-24 2007-10-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method fot pasting tape and its device
JP2007324471A (en) * 2006-06-02 2007-12-13 Toray Eng Co Ltd Anisotropic conductive tape pasting device
JP2008210883A (en) * 2007-02-23 2008-09-11 Takatori Corp Method and device of sticking tape to substrate
JP2010003856A (en) * 2008-06-20 2010-01-07 Panasonic Corp Mounting system

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