JP2002182143A - Optical scanner, multibeam scanner and image forming device - Google Patents

Optical scanner, multibeam scanner and image forming device

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JP2002182143A
JP2002182143A JP2000379077A JP2000379077A JP2002182143A JP 2002182143 A JP2002182143 A JP 2002182143A JP 2000379077 A JP2000379077 A JP 2000379077A JP 2000379077 A JP2000379077 A JP 2000379077A JP 2002182143 A JP2002182143 A JP 2002182143A
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scanning
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polarized light
incident
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圭一郎 石原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanner, a multibeam scanner and an image forming device by which illuminance distribution is made nearly uniform on a surface to be scanned even in the case of using a scanning optical system having a wide viewing angle and even in the case of rotating the polarization direction of a laser beam emitted from a light source means. SOLUTION: This optical scanner is provided with the light source means 1 emitting the laser beam being linearly polarized light, an incident optical system 11 making the laser beam emitted from the light source means incident on a deflection means 5, and a scanning optical system by which the laser beam deflected by the deflection means is formed into an image on the surface to be scanned 8 through a reflection member 7 reflecting the laser beam in a subscanning direction. In the scanner, the reflection surface of the reflection member is set so that reflectance may be nearly equal in P polarized light and S polarized light and it may be different according to the incident angle of the incident laser beam, whereby the illuminance distribution on the surface to be scanned is made nearly uniform.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光走査装置及びマル
チビーム走査装置及び画像形成装置に関し、特に光源手
段から出射した直線偏光のレーザー光束を偏向手段によ
り偏向させ走査光学系を介して被走査面上を光走査して
画像情報を記録するようにした、例えば電子写真プロセ
スを有するレーザービームプリンタやデジタル複写機等
に好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning apparatus, a multi-beam scanning apparatus, and an image forming apparatus. The present invention is suitable for a laser beam printer or a digital copying machine having an electrophotographic process, for example, in which image information is recorded by optically scanning the upper side.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来よりレーザービームプリンタ等の光
走査装置においてはレーザー光束を用いて感光ドラム等
の記録媒体面上に光走査して画像情報の書き込みを行っ
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical scanning device such as a laser beam printer, image information is written by optically scanning a recording medium surface such as a photosensitive drum using a laser beam.

【0003】図41は従来の光走査装置の要部概略図で
ある。
FIG. 41 is a schematic view of a main part of a conventional optical scanning device.

【0004】同図においてレーザー発振器91から発振
されたレーザー光束は集光レンズであるコリメーターレ
ンズ92により略平行光束となり、開口絞り93により
該レーザー光束幅を制限してシリンドリカルレンズ94
に入射している。シリンドリカルレンズ94に入射した
略平行光束のうち主走査面内においてはそのまま射出
し、副走査面内においては収束してポリゴンミラーから
成る偏向手段95の偏向平面(偏向反射面)95aにほ
ぼ線像として結像している。
In FIG. 1, a laser beam emitted from a laser oscillator 91 is converted into a substantially parallel beam by a collimator lens 92, which is a condenser lens, and the width of the laser beam is restricted by an aperture stop 93 to form a cylindrical lens 94.
Incident on Of the substantially parallel light beam incident on the cylindrical lens 94, it is emitted as it is in the main scanning plane, converges in the sub-scanning plane, and is substantially linearly imaged on a deflecting plane (deflecting / reflecting surface) 95a of the deflecting means 95 composed of a polygon mirror. As an image.

【0005】ポリゴンミラー95の偏向平面95aで偏
向されたレーザー光束はfθ特性を有し、2つのfθレン
ズ96a,96bから成る走査光学系96を介した後、
折り返しミラー97により反射されて記録媒体面(被走
査面)98上に導光している。そしてポリゴンミラー9
5を駆動手段(不図示)により略等角速度に矢印Aの方
向に回転させることにより、記録媒体面(感光ドラム
面)98上を矢印Bの方向に略一定速度で光走査し、電
位差による潜像を形成している。
[0005] The laser beam deflected by the deflecting plane 95a of the polygon mirror 95 has fθ characteristics, and after passing through a scanning optical system 96 comprising two fθ lenses 96a and 96b,
The light is reflected by the folding mirror 97 and is guided on the recording medium surface (scanned surface) 98. And polygon mirror 9
5 is rotated at substantially constant angular velocity in the direction of arrow A by a driving means (not shown), thereby optically scanning the recording medium surface (photosensitive drum surface) 98 in the direction of arrow B at a substantially constant speed, and the potential difference due to the potential difference. Forming an image.

【0006】ところで最近ではコストダウンや形状の自
由度の利点から走査光学系96を構成する各々のfθレ
ンズ96a,96bにはプラスチックレンズを用いてい
る。プラスチックレンズはレンズ表面に反射防止膜をコ
ーティングすることが難しく、コーティングを行われて
いないのが一般的である。そのためレンズ表面への入射
角の違いにより表面反射率が異なり、画角毎に走査光学
系96の透過率に差が生じて記録媒体面98上で照度分
布が不均一となる問題がある。例えば偏向平面に平行な
方向に直線偏光したレーザー光束を光走査した場合、記
録媒体面98上の有効走査域の中心では照度が低くな
り、周辺部では高くなる照度分布が生じてしまう。
Recently, plastic lenses are used for each of the fθ lenses 96a and 96b constituting the scanning optical system 96 from the advantages of cost reduction and freedom of shape. It is difficult to coat an anti-reflection film on the surface of a plastic lens, and it is generally not coated. Therefore, there is a problem that the surface reflectance varies depending on the angle of incidence on the lens surface, and the transmittance of the scanning optical system 96 varies depending on the angle of view, and the illuminance distribution on the recording medium surface 98 becomes non-uniform. For example, when optical scanning is performed with a laser beam linearly polarized in a direction parallel to the deflection plane, the illuminance is low at the center of the effective scanning area on the recording medium surface 98, and the illuminance distribution is high at the peripheral portion.

【0007】この問題の解決手段として、例えば特許公
報第2727572号にはレーザー光束を偏光方向が光
学部材に対してP偏光方向に偏光した状態で入射させる
場合には光学部材のP偏光とS偏光の反射特性又は透過
特性Xp、XsがXp<Xsとなるようにし、逆に光学部材に対
してS偏光方向に偏光した状態で入射させる場合にはXp
>Xsとなるように光学部材の反射特性又は透過特性を構
成した光走査装置が開示されている。
As a means for solving this problem, for example, Japanese Patent Publication No. 2727572 discloses a method in which a laser beam is incident on an optical member while the polarization direction is polarized in the P polarization direction. Xp and Xs are set so that Xp <Xs, and conversely, when incident on the optical member while being polarized in the S polarization direction, Xp
An optical scanning device in which the reflection property or the transmission property of an optical member is configured to satisfy> Xs is disclosed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】光走査装置のコンパク
ト化を図る為に例えば広画角な走査光学系96を用いた
場合においては、ポリゴンミラーへ偏向された光束がf
θレンズ96a,96b面へ入射する角度の違いにより
表面反射率が大きく異なることにより、記録媒体面98
上の有効走査域の中心部と周辺部とでは光量損失の差も
増大し、記録媒体面98上の照度分布の不均一性が増す
現象に対して、P偏光及びS偏光の反射特性又は透過特
性の違いのみを利用して照度分布を均一に補正すること
が難しいという課題があった。
In order to reduce the size of the optical scanning device, for example, when a scanning optical system 96 having a wide angle of view is used, the light beam deflected to the polygon mirror is f
The surface reflectance greatly varies depending on the angle of incidence on the surfaces of the θ lenses 96a and 96b.
The difference in light amount loss between the center and the periphery of the upper effective scanning area also increases, and the non-uniformity of the illuminance distribution on the recording medium surface 98 increases. There is a problem that it is difficult to uniformly correct the illuminance distribution using only the difference in the characteristics.

【0009】また複数の直線偏光のレーザー光束を出射
するモノリシックなマルチレーザーを光源手段に用いた
マルチビーム走査装置においては、前述の課題に加え
て、記録媒体面上で副走査方向の走査線間隔を画素密度
に応じた値に設定する為に、光源手段を回転させて発光
点の副走査方向の間隔を調整しているが、このとき各レ
ーザー光束の偏光方向は折り返しミラーに対して完全な
P偏光もしくはS偏光の方向には偏光せず、調整量に応
じた一律の傾きを有することとなる。これによって記録
媒体面上の有効走査範囲の中心部に対して左右で非対称
な照度分布となるという問題点があった。
In a multi-beam scanning apparatus using a monolithic multi-laser for emitting a plurality of linearly polarized laser beams as a light source means, in addition to the above-mentioned problem, the scanning line spacing in the sub-scanning direction on the recording medium surface is increased. In order to set a value corresponding to the pixel density, the interval between light emitting points in the sub-scanning direction is adjusted by rotating the light source means. At this time, the polarization direction of each laser beam is completely The light is not polarized in the direction of P-polarized light or S-polarized light, and has a uniform inclination according to the adjustment amount. As a result, there is a problem that the illuminance distribution becomes asymmetrical in the left and right directions with respect to the center of the effective scanning range on the recording medium surface.

【0010】更に上記の光源手段(マルチレーザー)か
ら発せられる複数のレーザー光束には,該光源手段の製
造誤差によって直線偏光の方向に角度差があり、これに
よって各レーザー光束に対応する走査線毎に照度分布の
形が異なるという問題点もあった。
Further, a plurality of laser beams emitted from the above-mentioned light source means (multi-laser) have an angle difference in the direction of linearly polarized light due to a manufacturing error of the light source means. Another problem is that the shape of the illuminance distribution is different.

【0011】本発明の第1の目的は広画角な走査光学系
においても、また光源手段から出射されたレーザー光束
の偏光方向が回転しても、被走査面上で照度分布を略均
一にすることができる光走査装置の提供にある。
A first object of the present invention is to make the illuminance distribution substantially uniform on the surface to be scanned even in a scanning optical system having a wide angle of view, and even when the polarization direction of the laser beam emitted from the light source means is rotated. It is an object of the present invention to provide an optical scanning device capable of performing such operations.

【0012】本発明の第2の目的は被走査面上で照度分
布にムラのないマルチビーム走査装置の提供にある。
A second object of the present invention is to provide a multi-beam scanning device having no uneven illuminance distribution on the surface to be scanned.

【0013】本発明の第3の目的は上記の光走査装置又
はマルチビーム走査装置を用いることにより、被走査面
上で照度分布を略均一にすることができる画像形成装置
の提供にある。
A third object of the present invention is to provide an image forming apparatus which can make the illuminance distribution substantially uniform on the surface to be scanned by using the above-described optical scanning device or multi-beam scanning device.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明の光走査
装置は、直線偏光のレーザー光束を出射する光源手段
と、該光源手段から出射したレーザー光束を偏向手段に
入射させる入射光学系と、該偏向手段で偏向されたレー
ザー光束を副走査方向に折り返す反射部材を介して被走
査面上に結像させる走査光学系と、を有する光走査装置
において、該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにお
ける反射率が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入
射角によって該反射率を異ならせることにより、該被走
査面上の照度分布を略均一としたことを特徴としてい
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical scanning apparatus comprising: a light source for emitting a linearly polarized laser beam; and an incident optical system for causing the laser beam emitted from the light source to enter a deflection unit. A scanning optical system that forms an image on a surface to be scanned via a reflecting member that folds the laser beam deflected by the deflecting means in the sub-scanning direction, wherein the reflecting surface of the reflecting member is a P-polarized light. And the S-polarized light, and the reflectance is made different depending on the incident angle of the incident laser beam so that the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform.

【0015】請求項2の発明は請求項1の発明におい
て、前記P偏光とS偏光の反射率が略等しいとは入射角
25°〜40°の範囲内において、双方の反射率差が±
3%以内であることを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the reflectances of the P-polarized light and the S-polarized light are substantially equal within a range of an incident angle of 25 ° to 40 °.
It is characterized by being within 3%.

【0016】請求項3の発明は請求項1の発明におい
て、前記照度分布が略均一とは前記被走査面上における
照度分布が軸上に対して走査有効域有効走査域全域で±
3%以内のことを称することを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the illuminance distribution is substantially uniform when the illuminance distribution on the surface to be scanned is on the axis within the effective scanning area over the entire effective scanning area.
It is characterized by the fact that it is within 3%.

【0017】請求項4の発明は請求項1の発明におい
て、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の有
効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, when the fθ coefficient of the scanning optical system is k and the effective scanning width of the scanned surface is W, the condition of k / W ≦ 0.6 is satisfied. It is characterized by satisfaction.

【0018】請求項5の発明は請求項1の発明におい
て、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)とし、
前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザー光
束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)としたと
き、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, an angle at which a laser beam toward a center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member is βo (deg),
When the angle at which the laser beam directed to the end of the effective scanning area on the surface to be scanned enters the reflecting member is βi (deg), the condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. It is characterized by doing.

【0019】請求項6の発明のマルチビーム走査装置
は、直線偏光のレーザー光束を複数出射する光源手段
と、該光源手段から出射した複数のレーザー光束を偏向
手段に入射させる入射光学系と、該偏向手段で偏向され
た複数のレーザー光束を副走査方向に折り返す反射部材
を介して被走査面上に結像させる走査光学系と、を有す
るマルチビーム走査装置において、該反射部材の反射面
はP偏光とS偏光とにおける反射率が略等しく、かつ入
射するレーザー光束の入射角によって該反射率を異なら
せることにより、該被走査面上の照度分布を略均一とし
たことを特徴としている。
A multi-beam scanning apparatus according to a sixth aspect of the present invention is a multi-beam scanning device, comprising: a light source means for emitting a plurality of linearly polarized laser light beams; an incident optical system for causing the plurality of laser light beams emitted from the light source means to enter a deflection means; A scanning optical system for imaging a plurality of laser beams deflected by the deflecting means on the surface to be scanned via a reflecting member that is turned back in the sub-scanning direction. The reflectance is substantially equal between the polarized light and the S-polarized light, and the reflectance is made different depending on the incident angle of the incident laser beam so that the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform.

【0020】請求項7の発明は請求項6の発明におい
て、前記P偏光とS偏光の反射率が略等しいとは入射角
25°〜40°の範囲内において、双方の反射率差が±
3%以内であることを特徴としている。
According to a seventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, the reflectance of the P-polarized light and the S-polarized light is substantially equal within a range of an incident angle of 25 ° to 40 °.
It is characterized by being within 3%.

【0021】請求項8の発明は請求項6の発明におい
て、前記照度分布が略均一とは前記被走査面上における
照度分布が軸上に対して走査有効域有効走査域全域で±
3%以内のことを称することを特徴としている。
According to an eighth aspect of the present invention, in the sixth aspect of the present invention, the illuminance distribution on the surface to be scanned is substantially uniform when the illuminance distribution on the scanned surface is ±
It is characterized by the fact that it is within 3%.

【0022】請求項9の発明は請求項6の発明におい
て、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の有
効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a ninth aspect of the present invention, when the fθ coefficient of the scanning optical system is k and the effective scanning width of the surface to be scanned is W, the condition of k / W ≦ 0.6 is satisfied. It is characterized by satisfaction.

【0023】請求項10の発明は請求項6の発明におい
て、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)とし、
前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザー光
束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)としたと
き、 8 ≦ βi − βo ≦20 (deg) なる条件を満足することを特徴としている。
According to a tenth aspect of the present invention, in the invention of the sixth aspect, an angle at which a laser beam toward the center of the effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member is βo (deg),
When the angle at which the laser beam directed to the end of the effective scanning area on the surface to be scanned enters the reflecting member is βi (deg), the condition that 8 ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. Features.

【0024】請求項11の発明は請求項6の発明におい
て、前記光源手段は前記入射光学系の光軸廻りに回転可
能であることを特徴としている。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, the light source means is rotatable around an optical axis of the incident optical system.

【0025】請求項12の発明の光走査装置は、偏向平
面と略平行な方向に偏光方向を有する直線偏光のレーザ
ー光束を出射する光源手段と、該光源手段から出射した
レーザー光束を偏向手段に入射させる入射光学系と、該
偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折り
返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光学
系と、を有する光走査装置において、該反射部材の反射
面はP偏光とS偏光とにおける反射率が略等しく、かつ
入射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いS偏
光、もしくはP偏光の反射率が減少するように形成され
ていることを特徴としている。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device, comprising: light source means for emitting a linearly polarized laser light beam having a polarization direction substantially parallel to the deflection plane; and a laser light beam emitted from the light source means to the deflection means. An optical scanning device comprising: an incident optical system for incidence; and a scanning optical system for imaging a laser beam deflected by the deflecting means on a surface to be scanned via a reflecting member that folds in a sub-scanning direction. Is characterized in that the reflectance of P-polarized light and that of S-polarized light are substantially equal, and the reflectance of S-polarized light or P-polarized light decreases as the incident angle of the incident laser beam increases. And

【0026】請求項13の発明は請求項12の発明にお
いて、前記S偏光、もしくはP偏光の反射率が減少する
ことにより、前記被走査面上の照度分布を略均一とした
ことを特徴としている。
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the twelfth aspect, the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by reducing the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light. .

【0027】請求項14の発明は請求項13の発明にお
いて、前記照度分布が略均一とは前記被走査面上におけ
る照度分布が軸上に対して走査有効域全域で±3%以内
のことを称することを特徴としている。
According to a fourteenth aspect, in the thirteenth aspect, the illuminance distribution is substantially uniform when the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area. It is characterized by

【0028】請求項15の発明は請求項12の発明にお
いて、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の
有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a fifteenth aspect, in the twelfth aspect, when the fθ coefficient of the scanning optical system is k and the effective scanning width of the scanned surface is W, the condition that k / W ≦ 0.6 is satisfied. It is characterized by satisfaction.

【0029】請求項16の発明は請求項12の発明にお
いて、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレー
ザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)と
し、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)とした
とき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴としている。
According to a sixteenth aspect of the present invention, in the twelfth aspect, an angle at which a laser beam toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member is βo (deg), and When the angle at which the laser beam directed toward the end of the effective scanning area enters the reflecting member is βi (deg), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. And

【0030】請求項17の発明の光走査装置は、偏向平
面と略垂直な方向に偏光方向を有する直線偏光のレーザ
ー光束を出射する光源手段と、該光源手段から出射した
レーザー光束を偏向手段に入射させる入射光学系と、該
偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折り
返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光学
系と、を有する光走査装置において、該反射部材の反射
面はP偏光とS偏光とにおける反射率が略等しく、かつ
入射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いP偏
光、もしくはS偏光の反射率が増加するように形成され
ていることを特徴としている。
An optical scanning device according to a seventeenth aspect of the present invention provides a light scanning device which emits a linearly polarized laser beam having a polarization direction substantially perpendicular to a deflection plane, and a laser beam emitted from the light source to the deflection unit. An optical scanning device comprising: an incident optical system for incidence; and a scanning optical system for imaging a laser beam deflected by the deflecting means on a surface to be scanned via a reflecting member that folds in a sub-scanning direction. Is characterized in that the reflectivity of the P-polarized light and the S-polarized light is substantially equal, and the reflectivity of the P-polarized light or S-polarized light increases as the incident angle of the incident laser beam increases. And

【0031】請求項18の発明は請求項17の発明にお
いて、前記P偏光、もしくはS偏光の反射率が増加する
ことにより、前記被走査面上の照度分布を略均一とした
ことを特徴としている。
The invention of claim 18 is characterized in that, in the invention of claim 17, the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by increasing the reflectance of the P-polarized light or the S-polarized light. .

【0032】請求項19の発明は請求項18の発明にお
いて、前記略均一とは前記被走査面上における照度分布
が軸上に対して走査有効域全域で±3%以内のことを称
することを特徴としている。
According to a nineteenth aspect of the present invention, in the invention of the eighteenth aspect, the substantially uniform means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area. Features.

【0033】請求項20の発明は請求項17の発明にお
いて、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の
有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a twentieth aspect of the present invention, when the fθ coefficient of the scanning optical system is k and the effective scanning width of the scanned surface is W, the condition that k / W ≦ 0.6 is satisfied. It is characterized by satisfaction.

【0034】請求項21の発明は請求項17の発明にお
いて、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレー
ザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)と
し、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)とした
とき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴としている。
According to a twenty-first aspect of the present invention, in the seventeenth aspect, an angle at which a laser beam toward a center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member is βo (deg), and When the angle at which the laser beam directed toward the end of the effective scanning area enters the reflecting member is βi (deg), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. And

【0035】請求項22の発明のマルチビーム走査装置
は、偏向平面と略平行な方向に偏光方向を有する直線偏
光のレーザー光束を複数出射する光源手段と、該光源手
段から出射した複数のレーザー光束を偏向手段に入射さ
せる入射光学系と、該偏向手段で偏向されたレーザー光
束を副走査方向に折り返す反射部材を介して被走査面上
に結像させる走査光学系と、を有するマルチビーム走査
装置において、該反射部材の反射面はP偏光とS偏光と
における反射率が略等しく、かつ入射するレーザー光束
の入射角が大きくなるに従いS偏光、もしくはP偏光の
反射率が減少するように形成されていることを特徴とし
ている。
According to a twenty-second aspect of the present invention, there is provided a multi-beam scanning apparatus, comprising: a light source means for emitting a plurality of linearly polarized laser light beams having a polarization direction substantially parallel to a deflection plane; and a plurality of laser light beams emitted from the light source means. Multi-beam scanning apparatus, comprising: an incident optical system that causes light to enter a deflecting unit; and a scanning optical system that forms an image on a surface to be scanned via a reflecting member that folds a laser beam deflected by the deflecting unit in a sub-scanning direction. In the above, the reflection surface of the reflection member is formed such that the reflectances of the P-polarized light and the S-polarized light are substantially equal, and the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light decreases as the incident angle of the incident laser beam increases. It is characterized by having.

【0036】請求項23の発明は請求項22の発明にお
いて、前記S偏光、もしくはP偏光の反射率が減少する
ことにより、前記被走査面上の照度分布を略均一とした
ことを特徴としている。
According to a twenty-third aspect, in the twenty-second aspect, the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by reducing the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light. .

【0037】請求項24の発明は請求項23の発明にお
いて、前記照度分布が略均一とは前記被走査面上におけ
る照度分布が軸上に対して走査有効域全域で±3%以内
のことを称することを特徴としている。
According to a twenty-fourth aspect, in the twenty-third aspect, the illuminance distribution is substantially uniform when the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area. It is characterized by

【0038】請求項25の発明は請求項22の発明にお
いて、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の
有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a twenty-fifth aspect of the present invention, when the fθ coefficient of the scanning optical system is k and the effective scanning width of the surface to be scanned is W, the condition that k / W ≦ 0.6 is satisfied. It is characterized by satisfaction.

【0039】請求項26の発明は請求項22の発明にお
いて、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレー
ザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)と
し、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)とした
とき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴としている。
According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the twenty-second aspect, an angle at which a laser beam directed toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned enters the reflecting member is βo (deg), and When the angle at which the laser beam directed toward the end of the effective scanning area enters the reflecting member is βi (deg), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. And

【0040】請求項27の発明は請求項22の発明にお
いて、前記光源手段は前記入射光学系の光軸廻りに回転
可能であることを特徴としている。
In a twenty-seventh aspect, in the twenty-second aspect, the light source means is rotatable around the optical axis of the incident optical system.

【0041】請求項28の発明のマルチビーム走査装置
は、偏向平面と略垂直な方向に偏光方向を有する直線偏
光のレーザー光束を複数出射する光源手段と、該光源手
段から出射した複数のレーザー光束を偏向手段に入射さ
せる入射光学系と、該偏向手段で偏向された複数のレー
ザー光束を副走査方向に折り返す反射部材を介して被走
査面上に結像させる走査光学系と、を有するマルチビー
ム走査装置において、該反射部材の反射面はP偏光とS
偏光とにおける反射率が略等しく、かつ入射するレーザ
ー光束の入射角が大きくなるに従いP偏光、もしくはS
偏光の反射率が増加するように形成されていることを特
徴としている。
A multi-beam scanning apparatus according to a twenty-eighth aspect of the present invention provides a multi-beam scanning device, comprising: a light source means for emitting a plurality of linearly polarized laser light beams having a polarization direction substantially perpendicular to a deflection plane; and a plurality of laser light beams emitted from the light source means. Having a plurality of laser beams deflected by the deflecting unit, and a scanning optical system for forming an image on a surface to be scanned through a reflecting member that folds the plurality of laser beams in the sub-scanning direction. In the scanning device, the reflecting surface of the reflecting member is P-polarized light and S-polarized light.
P-polarized light or S-polarized light as the reflectance with the polarized light is substantially equal and the incident angle of the incident laser beam increases.
It is characterized in that it is formed so as to increase the reflectance of polarized light.

【0042】請求項29の発明は請求項28の発明にお
いて、前記P偏光、もしくはS偏光の反射率が増加する
ことにより、前記被走査面上の照度分布を略均一とした
ことを特徴としている。
According to a twenty-ninth aspect, in the twenty-eighth aspect, the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by increasing the reflectance of the P-polarized light or the S-polarized light. .

【0043】請求項30の発明は請求項29の発明にお
いて、前記照度分布が略均一とは前記被走査面上におけ
る照度分布が軸上に対して走査有効域全域で±3%以内
のことを称することを特徴としている。
The invention according to claim 30 is the invention according to claim 29, wherein the illuminance distribution is substantially uniform when the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area. It is characterized by

【0044】請求項31の発明は請求項28の発明にお
いて、前記走査光学系のfθ係数をk、前記被走査面の
有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴としている。
According to a thirty-first aspect of the present invention, the condition that k / W ≦ 0.6 is satisfied, where k is the fθ coefficient of the scanning optical system and W is the effective scanning width of the surface to be scanned. It is characterized by satisfaction.

【0045】請求項32の発明は請求項28の発明にお
いて、前記被走査面上の有効走査域の中心へ向かうレー
ザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo(deg)と
し、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向かうレーザ
ー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(deg)とした
とき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴としている。
The invention of claim 32 is the invention of claim 28, wherein the angle at which the laser beam directed to the center of the effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member is βo (deg), When the angle at which the laser beam directed toward the end of the effective scanning area enters the reflecting member is βi (deg), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied. And

【0046】請求項33の発明は請求項28の発明にお
いて、前記光源手段は前記入射光学系の光軸廻りに回転
可能であることを特徴としている。
A thirty-third aspect of the present invention is based on the twenty-eighth aspect, wherein the light source means is rotatable around the optical axis of the incident optical system.

【0047】請求項34の発明の画像形成装置は、前記
請求項1乃至33のいずれか1項に記載の光走査装置、
もしくはマルチビーム走査装置と、該光走査装置、もし
くはマルチビーム走査装置の被走査面に配置された感光
体と、該感光体上を光束が走査することによって形成さ
れた静電潜像をトナー像として現像する現像手段と、該
現像されたトナー像を用紙に転写する転写手段と、転写
されたトナー像を用紙に定着させる定着手段とを有して
いることを特徴としている。
According to a thirty-fourth aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus comprising: the optical scanning device according to any one of the first to thirty-third aspects;
Alternatively, a multi-beam scanning device, a photoconductor disposed on the surface to be scanned of the optical scanning device or the multi-beam scanning device, and an electrostatic latent image formed by scanning a light beam on the photoconductor are formed as toner images. And a transfer unit for transferring the developed toner image to a sheet of paper, and a fixing unit for fixing the transferred toner image to the sheet of paper.

【0048】請求項35の発明の画像形成装置は、前記
請求項1乃至33のいずれか1項に記載の光走査装置、
もしくはマルチビーム走査装置と、外部機器から入力し
たコードデータを画像信号に変換して前記光走査装置に
入力せしめるプリンタコントローラとを有していること
を特徴としている。
An image forming apparatus according to a thirty-fifth aspect of the present invention provides the optical scanning device according to any one of the first to thirty-third aspects,
Alternatively, it is characterized by having a multi-beam scanning device and a printer controller that converts code data input from an external device into an image signal and inputs the image signal to the optical scanning device.

【0049】[0049]

【発明の実施の形態】[実施形態1]図1(A)は本発明
の実施形態1の光走査装置における主走査方向の要部断
面図(主走査断面図)、図1(B)は図1(A)の副走
査方向の要部断面図(副走査断面図)である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Embodiment 1] FIG. 1A is a cross-sectional view of main parts in the main scanning direction (main scanning cross-sectional view) of an optical scanning device according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. FIG. 2 is a sectional view (sub-scan sectional view) of a main part in the sub-scan direction of FIG.

【0050】尚、本明細書において主走査方向とは偏向
手段によってレーザー光束(単に「光束」とも称す。)
が偏向走査される方向を称し、副走査方向とは走査光学
系の光軸を含み主走査方向とに直交する方向を称す。ま
た偏光平面とは偏向手段によってレーザー光束が偏向さ
れる平面を称し、本実施形態の場合は主走査方向と平行
である。
In the present specification, the main scanning direction is defined as a laser beam (also simply referred to as a "beam") by a deflecting means.
Refers to a direction in which deflection scanning is performed, and the sub-scanning direction refers to a direction including the optical axis of the scanning optical system and orthogonal to the main scanning direction. The polarization plane refers to a plane on which the laser beam is deflected by the deflecting means, and is parallel to the main scanning direction in this embodiment.

【0051】図中、1は光源手段であり、例えば1つの
発光部を有する半導体レーザーより成り、偏向平面と略
平行な方向に偏光方向を有する直線偏光のレーザー光束
を出射している。2は集光レンズ(コリメーターレン
ズ)であり、光源手段1から出射された直線偏光の発散
光束を略平行光束に変換している。3は開口絞りであ
り、通過光束(光量)を制限している。4はシリンドリ
カルレンズであり、副走査方向にのみ所定の屈折力を有
しており、開口絞り3を通過したレーザー光束を副走査
断面内で後述する光偏向器(偏向手段)5の偏向平面5
aにほぼ線像として結像させている。
In the drawing, reference numeral 1 denotes a light source means, which is composed of, for example, a semiconductor laser having one light emitting portion, and emits a linearly polarized laser beam having a polarization direction substantially parallel to the deflection plane. Reference numeral 2 denotes a condenser lens (collimator lens), which converts a linearly polarized divergent light beam emitted from the light source means 1 into a substantially parallel light beam. Reference numeral 3 denotes an aperture stop, which restricts a passing light beam (light amount). Reference numeral 4 denotes a cylindrical lens which has a predetermined refractive power only in the sub-scanning direction, and deflects a laser beam which has passed through the aperture stop 3 in an optical deflector (deflecting means) 5 described later in a sub-scanning section.
The image is substantially formed as a line image on a.

【0052】尚、コリメーターレンズ2、開口絞り3、
そしてシリンドリカルレンズ4等の各要素は入射光学系
11の一要素を構成している。
The collimator lens 2, aperture stop 3,
Each element such as the cylindrical lens 4 constitutes one element of the incident optical system 11.

【0053】5は偏向手段としての例えばポリゴンミラ
ー(回転多面鏡)より成る光偏向器であり、モータ等の
駆動手段(不図示)により所定方向に一定速度で回転し
ている。
Reference numeral 5 denotes an optical deflector comprising a polygon mirror (rotating polygon mirror) as a deflecting means, which is rotated at a constant speed in a predetermined direction by a driving means such as a motor (not shown).

【0054】6はfθ特性を有する走査光学系(fθレ
ンズ系)であり、共に合成樹脂よりなる第1、第2の2
枚のfθレンズ(走査レンズ)6a,6bを有し、光偏
向器5によって偏向された画像情報に基づくレーザー光
束を被走査面8上にスポット状に結像させ、かつ副走査
断面内において光偏向器5の偏向平面5aと被走査面8
との間を共役関係にすることにより、倒れ補正機能を有
している。
Reference numeral 6 denotes a scanning optical system (fθ lens system) having fθ characteristics, and the first and second scanning optical systems are made of synthetic resin.
It has fθ lenses (scanning lenses) 6a and 6b, forms a laser beam based on image information deflected by the optical deflector 5 into a spot on the surface 8 to be scanned, and emits light in a sub-scanning cross section. Deflection plane 5a of deflector 5 and scanned surface 8
By having a conjugate relationship between the two, a tilt correction function is provided.

【0055】7は反射部材としての折り返しミラーであ
り、光偏向器5と被走査面8との間に設けられ、走査光
学系を6を通過したレーザー光束を副走査方向に折り返
している。本実施形態における折り返しミラー7の反射
面7aはP偏光とS偏光とにおける反射率が略等しく、
かつ入射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従い
S偏光、もしくはP偏光の反射率が減少するように形成
されている.ここでP偏光とS偏光の反射率が略等しい
とは入射角25°〜40°の範囲内において、双方の反
射率差が±3%以内のことを言う。
Reference numeral 7 denotes a folding mirror as a reflecting member, which is provided between the optical deflector 5 and the surface 8 to be scanned, and folds a laser beam passing through the scanning optical system 6 in the sub-scanning direction. The reflection surface 7a of the folding mirror 7 in the present embodiment has substantially the same reflectance for P-polarized light and S-polarized light,
Further, it is formed so that the reflectance of S-polarized light or P-polarized light decreases as the incident angle of the incident laser beam increases. Here, that the reflectances of the P-polarized light and the S-polarized light are substantially equal means that the reflectance difference between the two is within ± 3% within the range of the incident angle of 25 ° to 40 °.

【0056】本実施形態ではS偏光、もしくはP偏光の
反射率が減少することにより、被走査面8上の照度分布
を略均一としている。尚、上記照度分布が略均一とは被
走査面8上における照度分布が軸上に対して走査有効域
全域で±3%以内のことを称する。
In this embodiment, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform by reducing the reflectance of S-polarized light or P-polarized light. Note that the substantially uniform illuminance distribution means that the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is within ± 3% of the axis over the entire effective scanning area.

【0057】8は被走査面としての感光ドラム面であ
る。
Reference numeral 8 denotes a photosensitive drum surface as a surface to be scanned.

【0058】本実施形態において画像情報に応じて半導
体レーザー1から光変調され出射した直線偏光の発散光
束はコリメーターレンズ2によって略平行光束に変換さ
れ、開口絞り3によって光量が制限され、シリンドリカ
ルレンズ4に入射している。シリンドリカルレンズ4に
入射したレーザー光束のうち主走査断面内においてはそ
のままの状態で射出する。また副走査断面内においては
収束して光偏向器5の偏向平面5aにほぼ線像(主走査
方向に長手の線像)として結像する。
In this embodiment, the divergent light beam of linearly polarized light emitted from the semiconductor laser 1 after being modulated in accordance with image information is converted into a substantially parallel light beam by the collimator lens 2, the amount of light is restricted by the aperture stop 3, and the cylindrical lens 4 is incident. The laser light beam incident on the cylindrical lens 4 is emitted as it is in the main scanning section. Further, in the sub-scan section, the light converges and forms a substantially linear image (a linear image elongated in the main scanning direction) on the deflection plane 5a of the optical deflector 5.

【0059】そして光偏向器5の偏向平面5aで偏向さ
れたレーザー光束は第1、第2のfθレンズ6a,6
b、折り返しミラー7を介して感光ドラム面8上に導光
され、該光偏向器5を所定方向に回転させることによっ
て、該感光ドラム面8上を所定方向(主走査方向)に光
走査している。これにより記録媒体としての感光ドラム
面8上に画像記録を行っている。
The laser beam deflected by the deflecting plane 5a of the optical deflector 5 receives the first and second fθ lenses 6a and 6a.
b, light is guided onto the photosensitive drum surface 8 via the folding mirror 7, and the light deflector 5 is rotated in a predetermined direction to optically scan the photosensitive drum surface 8 in a predetermined direction (main scanning direction). ing. Thus, an image is recorded on the photosensitive drum surface 8 as a recording medium.

【0060】本実施形態においては走査光学系6の小型
化を図るため、走査画角を±56.2degと広画角と
し、また被走査面8上の有効走査域の中心へ向かうレー
ザー光束上に走査光学系6の光軸9が重なるように第
1、第2のfθレンズ6a,6bを配置している。
In this embodiment, in order to reduce the size of the scanning optical system 6, the scanning angle of view is set to a wide angle of view of ± 56.2 degrees, and the laser beam is directed toward the center of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned. The first and second fθ lenses 6a and 6b are arranged so that the optical axis 9 of the scanning optical system 6 overlaps with the first lens.

【0061】図2は走査光学系6を通過した後の照度分
布を示した図であり、縦軸は光軸9上の照度を1とした
ときの照度比であり、横軸は像高であって像高のプラス
側は走査開始側である。
FIG. 2 is a diagram showing the illuminance distribution after passing through the scanning optical system 6. The ordinate indicates the illuminance ratio when the illuminance on the optical axis 9 is 1, and the abscissa indicates the image height. The plus side of the image height is the scanning start side.

【0062】本実施形態では半導体レーザー1から出射
(発振)されたレーザー光束が偏向平面5aに平行な方
向に直線偏光しており、第1、第2のfθレンズ6a,
6b面への入射角が小さいところではフレネル反射率が
高く、画角が広くなって該第1、第2のfθレンズ6
a,6b面への入射角が大きくなるところではフレネル
反射率が低くなる。そのため走査光学系6を通過した後
の照度分布は軸上が最も低く、被走査面8上の走査有効
域の端部で最も高くなり、その光量比は1.06倍であ
る。
In the present embodiment, the laser beam emitted (oscillated) from the semiconductor laser 1 is linearly polarized in a direction parallel to the deflection plane 5a, and the first and second fθ lenses 6a,
6b, where the angle of incidence is small, the Fresnel reflectivity is high, the angle of view is widened, and the first and second fθ lenses 6
The Fresnel reflectivity decreases where the angle of incidence on the surfaces a and 6b increases. Therefore, the illuminance distribution after passing through the scanning optical system 6 is the lowest on the axis and the highest at the end of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned, and the light amount ratio is 1.06 times.

【0063】本実施形態では上記の如く半導体レーザー
1から出射されたレーザー光束が偏向平面に平行な方向
に直線偏光しており、走査光学系6の光軸9上では折り
返しミラー7へS偏光方向に偏光したレーザー光束がα
o=25degの角度で入射している。
In this embodiment, as described above, the laser beam emitted from the semiconductor laser 1 is linearly polarized in a direction parallel to the deflection plane, and is directed to the return mirror 7 on the optical axis 9 of the scanning optical system 6 in the S polarization direction. Laser beam polarized to α
It is incident at an angle of o = 25 deg.

【0064】また被走査面8上の有効走査域の端部へ向
かうレーザー光束は折り返しミラー7に対して主走査方
向にθi=35.6deg、副走査方向にαi=25degの角度
で入射しており、下記(1)式から折り返しミラー7へβ
i=42degの角度で入射している。
The laser beam traveling toward the end of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned enters the folding mirror 7 at an angle of θi = 35.6 deg in the main scanning direction and αi = 25 deg in the sub-scanning direction. From the following formula (1) to the return mirror 7
It is incident at an angle of i = 42 deg.

【0065】cosβ=cosα×cosθ ・・・ (1) このときの各像高(画角)における折り返しミラー7の反
射面7a上でのP偏光成分およびS偏光成分の割合を図
3に示す。
Cos β = cos α × cos θ (1) FIG. 3 shows the ratio of the P-polarized light component and the S-polarized light component on the reflecting surface 7a of the turning mirror 7 at each image height (angle of view) at this time.

【0066】また像高Yと画角εの関係は、 Y=k×ε ・・・ (2) 但し k:fθ係数(本実施形態ではk=109mm/rad) であって、被走査面8上の有効走査幅Wと走査光学系6
のfθ係数kの関係は k/W=109(mm/rad)/214(mm)=0.51 ・・・ (3) であり、k/W≦0.6を満たす広画角な走査光学系で
あることを示す。
The relationship between the image height Y and the angle of view ε is as follows: Y = k × ε (2) where k is the fθ coefficient (k = 109 mm / rad in the present embodiment). Upper effective scanning width W and scanning optical system 6
The relationship of the fθ coefficient k is as follows: k / W = 109 (mm / rad) / 214 (mm) = 0.51 (3), and a wide angle of view scanning optics satisfying k / W ≦ 0.6. Indicates a system.

【0067】図3に示すように光軸9上ではS偏光成分
が100%を示し、像高が高くなるに従ってP偏光成分
が増加し、像高±70mm付近でP偏光成分及びS偏光成
分(以下「P・S偏光成分」とも称す。)の割合が等しく
なり、被走査面8上の有効走査域の端部に相当する像高
Y=±107mm(画角±56.2deg)ではS偏光成分が約
39%、P偏光成分が約61%と逆点している。
As shown in FIG. 3, the S-polarized light component shows 100% on the optical axis 9, the P-polarized light component increases as the image height increases, and the P-polarized light component and the S-polarized light component near the image height ± 70 mm. Hereinafter, also referred to as “PS polarization component”), the S-polarized light at the image height Y = ± 107 mm (angle of view ± 56.2 deg) corresponding to the end of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned. The component is about 39%, and the P-polarized component is about 61%, which is the opposite point.

【0068】図4は本発明に関わる折り返しミラー7の
反射面7a上でのP偏光成分及びS偏光成分、各々につ
いての反射率の角度特性を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing the angle characteristics of the reflectance for each of the P-polarized light component and the S-polarized light component on the reflecting surface 7a of the folding mirror 7 according to the present invention.

【0069】本実施形態ではP・S偏光成分における反
射率が略同一であり、折り返しミラー7へ入射するレー
ザー光束の入射角βが25degで反射率60.0%、入
射角βが42degで反射率56.5%となるように設定
している。即ち、図4に示すように折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いS偏
光、もしくはP偏光の反射率が減少するように反射面7
aを形成している。これにより図5に示すように被走査
面8上の照度分布は有効走査域全域で0.9%の差に収
まるほど略均一に補正することができる。
In this embodiment, the reflectivity of the PS polarization component is substantially the same, the reflectivity of the laser beam incident on the return mirror 7 is 25 °, the reflectivity is 60.0%, and the reflectivity of the laser beam is 42 °. The rate is set to be 56.5%. That is, as shown in FIG. 4, the reflection surface 7 is designed so that the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light decreases as the incident angle of the laser beam incident on the return mirror 7 increases.
a. As a result, as shown in FIG. 5, the illuminance distribution on the scanned surface 8 can be corrected to be substantially uniform so as to fall within a difference of 0.9% over the entire effective scanning area.

【0070】ここで比較例1として従来のP・S偏光成
分の反射率の差を利用して被走査面8上の照度分布を略
均一とした例をについて説明する。比較例1において本
実施形態との相違点は折り返ミラーの反射面上でのP・
S偏光成分の反射率が異なる点である。
Here, as Comparative Example 1, an example in which the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform using the difference in the reflectance of the conventional PS polarization component will be described. The difference from the present embodiment in Comparative Example 1 is that P ·
The point is that the reflectance of the S-polarized component is different.

【0071】図6に比較例1における折り返しミラーの
反射面上でのP・S偏光成分の反射率を示す。P偏光成
分の反射率は入射角βが25〜42 degの範囲で54.
0%であり、S偏光成分の反射率は60.0%である。こ
れにより図7に示すように被走査面8上の照度分布は有
効走査域全域で1.7%の差となる。
FIG. 6 shows the reflectance of the PS polarization component on the reflection surface of the folding mirror in Comparative Example 1. The reflectance of the P-polarized light component is 54.degree. When the incident angle .beta.
0%, and the reflectance of the S-polarized light component is 60.0%. As a result, as shown in FIG. 7, the illuminance distribution on the scanned surface 8 has a difference of 1.7% over the entire effective scanning area.

【0072】この差から分かるように比較例1として挙
げたP・S偏光成分の反射率の差を利用して被走査面8
上の照度分布を補正する方法より、折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の入射角度βによって反射率を変
化させる方法の方が、被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができる。よって本実施形態の効果を用
いれば、より高精度に被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができる。
As can be seen from this difference, the surface 8 to be scanned is obtained by utilizing the difference in the reflectance of the PS polarization component described as Comparative Example 1.
The method of changing the reflectance according to the incident angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 can correct the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned more uniformly than the method of correcting the above illuminance distribution. . Therefore, if the effects of the present embodiment are used, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned can be corrected to be substantially uniform with higher accuracy.

【0073】また光源手段である半導体レーザー1には
製造誤差や組立誤差によって偏光方向が偏向平面に対し
て平行もしくは垂直の状態から回転していることがあ
る。例えば半導体レーザー1から発せられたレーザー光
束の偏光方向が偏向平面から5deg回転していると、走
査光学系6が偏光方向の回転の影響を受けて光軸9に対
して略対称に僅かながら透過率が変化すると共に、折り
返しミラーの反射面上でのP・S偏光成分の割合が光軸
9を挟んだ左右で異なる。
The semiconductor laser 1 as the light source means may be rotated from a state where the polarization direction is parallel or perpendicular to the deflection plane due to a manufacturing error or an assembly error. For example, if the polarization direction of the laser beam emitted from the semiconductor laser 1 is rotated by 5 degrees from the deflection plane, the scanning optical system 6 is slightly symmetrically transmitted with respect to the optical axis 9 under the influence of the rotation of the polarization direction. As the ratio changes, the ratio of the PS polarization component on the reflection surface of the folding mirror differs between the right and left sides of the optical axis 9.

【0074】本実施形態では折り返しミラー7の反射面
7a上でのP・S偏光成分における反射率を略同一とし
ているので、被走査面8上の照度分布は偏光方向の回転
による影響を受けない。しかしながら比較例1のように
P偏光成分とS偏光成分とによって反射率の差をつけた
場合は折り返しミラーの反射面の反射率に非対称性が生
じる。その結果、本実施形態における光走査装置では図
8に示すように被走査面8上の照度分布が有効走査域全
域で1.0%の差であるのに対して比較例1では図9に
示すように被走査面8上の照度分布が有効走査域全域で
3.0%の差となり、レーザー光束の偏光方向の回転に
よって照度分布の均一性が悪化する。
In this embodiment, since the reflectance of the PS mirror component on the reflection surface 7a of the return mirror 7 is substantially the same, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is not affected by the rotation of the polarization direction. . However, when the reflectance is made different between the P-polarized component and the S-polarized component as in Comparative Example 1, asymmetry occurs in the reflectance of the reflecting surface of the folding mirror. As a result, in the optical scanning device according to the present embodiment, as shown in FIG. 8, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 1.0% over the entire effective scanning area, whereas in the comparative example 1, FIG. As shown, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 3.0% over the entire effective scanning area, and the uniformity of the illuminance distribution deteriorates due to the rotation of the polarization direction of the laser beam.

【0075】更に偏光方向が10deg回転した場合にお
いては、本実施形態では図10に示すように被走査面8
上の照度分布が有効走査域全域で1.1%の差に収まる
のに対して比較例1では図11に示すように4.6%の
差となり、レーザー光束の偏光方向の回転により照度分
布の均一性が著しく悪化する。
When the polarization direction is further rotated by 10 degrees, in this embodiment, as shown in FIG.
The above illuminance distribution falls within the difference of 1.1% in the entire effective scanning area, whereas in Comparative Example 1, the difference becomes 4.6% as shown in FIG. 11, and the illuminance distribution is changed by rotating the polarization direction of the laser beam. Is significantly deteriorated.

【0076】このことから本実施形態の効果によって光
源手段1から発せられたレーザー光束の偏光方向に回転
が生じても被走査面8上の照度分布の均一性を保つこと
ができることが分かる。よって、常に良好なる画像が得
られる光走査装置を提供することができる。
From this, it is understood that the uniformity of the illuminance distribution on the scanned surface 8 can be maintained even if the polarization direction of the laser beam emitted from the light source means 1 is rotated by the effect of the present embodiment. Therefore, it is possible to provide an optical scanning device that can always obtain a good image.

【0077】本実施形態の折り返しミラー7の反射面7
aはAl化合物もしくはCr化合物を蒸着膜とし、その
上面に保護膜を付けて構成されている。またP偏光成分
とS偏光成分の反射率の差は入射角25°〜40°の範
囲内で±3%以内とするのが好ましいが、±5%の差ま
では許容できる。
The reflecting surface 7 of the folding mirror 7 of the present embodiment
a is formed by depositing an Al compound or a Cr compound on a vapor-deposited film, and attaching a protective film on the upper surface thereof. The difference between the reflectances of the P-polarized light component and the S-polarized light component is preferably within ± 3% within the range of the incident angle of 25 ° to 40 °, but a difference of ± 5% is acceptable.

【0078】尚、本実施形態では被走査面8上の走査有
効域をW=214mm(±107mm)とし、画角ε=±56
degと広画角な走査光学系6を例としたが、これよりも
大きな画角の走査光学系を用いても本発明の効果を用い
て十分に照度分布を略均一に補正することができる。
In this embodiment, the effective scanning area on the scanned surface 8 is W = 214 mm (± 107 mm), and the angle of view ε = ± 56.
Although the scanning optical system 6 having a wide angle of view and deg is used as an example, the illumination distribution can be sufficiently substantially uniformly corrected using the effect of the present invention even if a scanning optical system having a larger angle of view is used. .

【0079】図12は本実施形態に使用した折り返しミ
ラー7の要部概要図である。同図における折り返しミラ
ー7は長手方向の稜線部の4本のみ面取りを行い、折り
返しミラー7を不図示の光学箱に組み込む際に作業者が
怪我をしないようにすると共に、短手方向の稜線部8本
は面取りを廃止し、折り返しミラー7のコストダウンを
図っている。
FIG. 12 is a schematic view of a main part of the folding mirror 7 used in this embodiment. The folding mirror 7 shown in the figure chamfers only four ridges in the longitudinal direction to prevent an operator from being injured when the folding mirror 7 is incorporated in an optical box (not shown), and to make a ridge in the short direction. The eight mirrors eliminate the chamfering and reduce the cost of the folding mirror 7.

【0080】尚、本実施形態において偏向平面に対し4
5°方向に偏光方向を有する直線偏光のレーザー光束を
用いる場合には、折り返しミラーの反射面上におけるP
偏光とS偏光の反射率を入射角に関わらず略同一と成る
ように設定すればよい。また本実施形態では折り返しミ
ラーを1枚より構成したが、これに限らず、例えば折り
返しミラーの反射面の反射率を適切に設定すれば複数枚
より構成しても良い。また本実施形態では走査光学系を
2枚のレンズより構成したが、これに限らず、例えば単
一のレンズ、もしくは3枚以上のレンズより構成しても
良い。
In this embodiment, the deflection plane is 4
When a linearly polarized laser beam having a polarization direction of 5 ° is used, P
What is necessary is just to set the reflectance of the polarized light and the S-polarized light to be substantially the same regardless of the incident angle. In the present embodiment, the folding mirror is constituted by one mirror. However, the present invention is not limited to this. For example, the folding mirror may be constituted by a plurality of mirrors if the reflectance of the reflecting surface of the folding mirror is appropriately set. In the present embodiment, the scanning optical system is configured by two lenses, but is not limited thereto, and may be configured by, for example, a single lens or three or more lenses.

【0081】[実施形態2]図13(A)は本発明の実施
形態2の光走査装置における主走査方向の要部断面図
(主走査断面図)、図13(B)は図13(A)の副走
査方向の要部断面図(副走査断面図)である。図13
(A),(B)において図1(A),(B)に示した要
素と同一要素には同符番を付している。
[Embodiment 2] FIG. 13A is a sectional view (main scanning sectional view) of a main portion in the main scanning direction in an optical scanning device according to Embodiment 2 of the present invention, and FIG. 13B is a sectional view of FIG. 3) is a sectional view (sub-scan sectional view) of a main part in the sub-scan direction. FIG.
1A and 1B, the same elements as those shown in FIGS. 1A and 1B are denoted by the same reference numerals.

【0082】本実施形態において前述の実施形態1と異
なる点は、折り返しミラー7へ入射するS偏光方向に偏
光したレーザー光束の副走査方向の角度(折り返し角)
をαo=48degとしたことである。その他の構成および
光学的作用は実施形態1と略同様であり、これにより同
様な効果を得ている。
This embodiment is different from the first embodiment in that the angle of the laser beam incident on the return mirror 7 and polarized in the S-polarized direction in the sub-scanning direction (return angle).
Is set to αo = 48 deg. Other configurations and optical functions are substantially the same as those of the first embodiment, and thus, similar effects are obtained.

【0083】即ち、本実施形態において光軸9上では折
り返しミラー7へ入射するS偏光方向に偏光したレーザ
ー光束の主走査方向の入射角θがθ=0degなので、副
走査方向の入射角αoがそのまま折り返しミラー7の入
射角βoとなる(βo=αo)。
That is, in the present embodiment, on the optical axis 9, the incident angle θ in the main scanning direction of the S-polarized laser beam incident on the return mirror 7 in the main scanning direction is θ = 0 deg. The incident angle βo of the turning mirror 7 is directly obtained (βo = αo).

【0084】本実施形態において被走査面8上の有効走
査域の端部(像高±107mm)へ向かうレーザー光束
は、折り返しミラー7に対して主走査方向は実施形態1
と同様にθi=35.6deg、副走査方向はαi=48degの
角度で入射しており、上記(1)式より折り返しミラー7
へβi=57degで入射している。
In the present embodiment, the laser beam traveling toward the end (image height ± 107 mm) of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned is in the main scanning direction with respect to the turning mirror 7 in the first embodiment.
Similarly to the above, θi = 35.6 deg and the sub-scanning direction is incident at an angle of αi = 48 deg.
Is incident at βi = 57 deg.

【0085】このように折り返しミラー7へ入射するレ
ーザー光束の副走査方向の入射角αを変更することによ
って、折り返しミラー7へ入射するレーザー光束の角度
βの全画角における角度差Δβ(=βi−βo)やP・S
の偏光成分の割合も変化する。
As described above, by changing the incident angle α of the laser beam incident on the return mirror 7 in the sub-scanning direction, the angle difference Δβ (= βi) of the angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 at the entire view angle. -Βo) and PS
Of the polarized light component also changes.

【0086】本実施形態では被走査面上の有効走査域の
中心へ向かうレーザー光束が折り返しミラー7へ入射す
る角度をβo(deg)、被走査面8上の有効走査域の端部へ
向かうレーザー光束が折り返しミラー7へ入射する角度
をβi(deg)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) ・・・ (A) なる条件を満足するようにしている。
In this embodiment, the angle at which the laser beam directed toward the center of the effective scanning area on the surface to be scanned enters the return mirror 7 is βo (deg), and the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned. Assuming that the angle at which the light beam enters the return mirror 7 is βi (deg), the following condition is satisfied: 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) (A).

【0087】上記条件式(A)は被走査面上の照度分布を
均一にしやすい範囲を規定したものであり、特に偏光方
向の回転が生じた際に比較例に対して本発明の効果を大
きく発揮する範囲に関するものであり、条件式(A)の範
囲を外れると被走査面上の照度分布を均一に補正しずら
く成るので良くない。
The above-mentioned conditional expression (A) defines a range in which the illuminance distribution on the surface to be scanned can be easily made uniform. In particular, when the rotation of the polarization direction occurs, the effect of the present invention is larger than that of the comparative example. This is related to the range in which it is exerted. If the range is out of the range of the conditional expression (A), it is difficult to uniformly correct the illuminance distribution on the surface to be scanned.

【0088】本実施形態における光走査装置の各像高
(画角)における折り返しミラー7の反射面7a上でのP
偏光成分およびS偏光成分の割合を図14示す。
Each image height of the optical scanning device in this embodiment
P on the reflection surface 7a of the return mirror 7 at (angle of view)
FIG. 14 shows the ratios of the polarization component and the S polarization component.

【0089】本実施形態においては折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の角度差Δβは9degであって、
光軸9上ではS偏光成分が100%を示し、画角が大き
くなるに従ってP偏光成分が増加し、被走査面8上の走
査有効域の端部に相当する画角±56.2deg(像高±1
07mm)ではS偏光成分が約78%、P偏光成分が約2
2%としている。
In the present embodiment, the angle difference Δβ of the laser beam incident on the return mirror 7 is 9 degrees,
On the optical axis 9, the S-polarized light component shows 100%, and as the angle of view increases, the P-polarized light component increases. High ± 1
07 mm), the S-polarized component is about 78%, and the P-polarized component is about 2%.
2%.

【0090】図15は本発明に関わる折り返しミラー7
の反射面7a上でのP偏光成分及びS偏光成分、各々に
ついての反射率の角度特性を示した図である。
FIG. 15 shows the folding mirror 7 according to the present invention.
FIG. 9 is a diagram showing the angle characteristics of the reflectance for each of the P-polarized light component and the S-polarized light component on the reflection surface 7a.

【0091】本実施形態ではP・S偏光成分における反
射率が略同一であり、折り返しミラー7へ入射するレー
ザー光束の入射角βが48degで反射率60.0%、入射
角βが57degで反射率56.6%となるように設定して
いる。即ち、図15に示すように折り返しミラー7に入
射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いS偏
光、もしくはP偏光の反射率が減少するように反射面7
aを形成している。これにより図16に示すように被走
査面8上の照度分布は有効走査域全域で0.8%の差に
収まるほど略均一に補正することができる。
In the present embodiment, the reflectivity of the PS polarization component is substantially the same, the reflectivity of the laser beam incident on the return mirror 7 is 48 °, the reflectivity is 60.0%, and the reflectivity is 57 °. The rate is set to be 56.6%. That is, as shown in FIG. 15, as the incident angle of the laser beam incident on the return mirror 7 increases, the reflection surface 7 decreases so that the reflectance of S-polarized light or P-polarized light decreases.
a. As a result, as shown in FIG. 16, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned can be corrected to be substantially uniform so as to be within a difference of 0.8% in the entire effective scanning area.

【0092】ここで比較例2として前述の比較例1と同
様に従来のP・S偏光成分の反射率の差を利用して被走
査面8上の照度分布を略均一とした例について説明す
る。比較例2において本実施形態との相違点は折り返ミ
ラー7の反射面上でのP・S偏光成分の反射率が異なる
点である。
Here, as Comparative Example 2, an example in which the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform by utilizing the difference in the reflectance of the conventional PS polarization component as in Comparative Example 1 described above. . Comparative Example 2 is different from the present embodiment in that the reflectance of the PS polarization component on the reflection surface of the folding mirror 7 is different.

【0093】図17に比較例2における折り返しミラー
の反射面上でのP・S偏光成分の反射率を示す。P偏光
成分の反射率は入射角βが48〜57 degの範囲で4
3.1%であり、S偏光成分の反射率は60.0%であ
る。これにより図18に示すように被走査面8上の照度
分布は有効走査域全域で1.0%の差となる。
FIG. 17 shows the reflectance of the PS polarization component on the reflection surface of the folding mirror in Comparative Example 2. The reflectance of the P-polarized component is 4 when the incident angle β is in the range of 48 to 57 degrees.
3.1%, and the reflectance of the S-polarized light component is 60.0%. As a result, as shown in FIG. 18, the illuminance distribution on the scanned surface 8 has a difference of 1.0% over the entire effective scanning area.

【0094】このとき実施形態1同様に画角±56.2d
egと広画角な走査光学系6によって該走査光学系6の透
過率が軸上9に対して周辺部(画角±56.2deg)で
1.06倍と大きな分布を有しており、被走査面8上の
照度分布を略均一に補正する為にP・S偏光成分の反射
率の差を16.9%(比率で71.8%)と大きく設けて
補正することは困難であることがわかる。
At this time, similarly to the first embodiment, the angle of view is ± 56.2 d.
The transmittance of the scanning optical system 6 has a large distribution of 1.06 times at the peripheral portion (angle of view ± 56.2 deg) with respect to the axis 9 by the scanning optical system 6 having a wide angle of view with eg. In order to substantially uniformly correct the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned, it is difficult to provide a large difference in the reflectance of the PS polarization component as large as 16.9% (71.8% in ratio) and to correct it. You can see that.

【0095】この差から分かるように比較例2として挙
げたP・S偏光成分の反射率の差を利用して被走査面8
上の照度分布を補正する方法より、折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の入射角度βによって反射率を変
化させる方法の方が、被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができる。よって本実施形態の効果を用
いれば、より高精度に被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができる。
As can be seen from this difference, the surface to be scanned 8 is utilized by utilizing the difference in the reflectance of the PS polarization component mentioned as Comparative Example 2.
The method of changing the reflectance according to the incident angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 can correct the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned more uniformly than the method of correcting the above illuminance distribution. . Therefore, if the effects of the present embodiment are used, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned can be corrected to be substantially uniform with higher accuracy.

【0096】また光源手段である半導体レーザー1には
製造誤差や組立誤差によって偏光方向が偏向平面に対し
て平行もしくは垂直の状態から回転していることがあ
る。例えば半導体レーザー1から発せられたレーザー光
束の偏光方向が偏向平面から5deg回転していると、走
査光学系6が偏光方向の回転の影響を受けて光軸9に対
して略対称に僅かながら透過率が変化することもさるこ
とながら、折り返しミラー7の反射面7a上でのP・S
偏光成分の割合が光軸9を挟んだ左右で異なる。
In some cases, the polarization direction of the semiconductor laser 1 as the light source means is rotated from a state parallel or perpendicular to the deflection plane due to a manufacturing error or an assembly error. For example, if the polarization direction of the laser beam emitted from the semiconductor laser 1 is rotated by 5 degrees from the deflection plane, the scanning optical system 6 is slightly symmetrically transmitted with respect to the optical axis 9 under the influence of the rotation of the polarization direction. The P.S. on the reflection surface 7a of the return mirror 7 is not only changed, but also changed.
The ratio of the polarization component differs between the left and right sides of the optical axis 9.

【0097】本実施形態では折り返しミラー7の反射面
7a上でのP・S偏光成分における反射率を略同一とし
ているので、被走査面8上の照度分布は偏光方向の回転
による影響を受けない。しかしながら比較例2のように
P偏光成分とS偏光成分とによって比較例1よりも大き
く反射率の差をつけた場合は折り返しミラーの反射面の
反射率の非対称性も大きく生じる。この結果、本実施形
態における光走査装置では図19に示すように被走査面
8上の照度分布が有効走査域全域で0.9%の差である
のに対し、比較例2では図20に示すように被走査面8
上の照度分布が有効走査域全域で4.7%の差となり、
レーザー光束の偏光方向の回転によって照度分布の均一
性が悪化する。
In the present embodiment, the reflectance of the PS mirror component on the reflection surface 7a of the return mirror 7 is substantially the same, so that the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is not affected by the rotation of the polarization direction. . However, when the reflectance difference is made larger than that of Comparative Example 1 by the P-polarized light component and the S-polarized light component as in Comparative Example 2, the asymmetry of the reflectance of the reflecting surface of the folding mirror also occurs. As a result, in the optical scanning device according to the present embodiment, as shown in FIG. 19, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 0.9% over the entire effective scanning area. As shown, the scanned surface 8
The above illuminance distribution is 4.7% difference over the entire effective scanning area,
Rotation of the polarization direction of the laser beam deteriorates the uniformity of the illuminance distribution.

【0098】更に偏光方向が10deg回転した場合にお
いては、本実施形態では図21に示すように被走査面8
上の照度分布が有効走査域全域で1.0%の差であるの
に対し、比較例2では図22に示すように8.6%の差
となり、照度分布の許容値6%の差を遥かに超え問題と
なる。
When the polarization direction is further rotated by 10 degrees, in this embodiment, as shown in FIG.
The illuminance distribution above is a difference of 1.0% in the entire effective scanning area, whereas the comparative example 2 has a difference of 8.6% as shown in FIG. It becomes a problem far beyond.

【0099】このことから本実施形態の効果によって光
源手段1から発せられたレーザー光束の偏光方向に回転
が生じても被走査面8上の照度分布の均一性を保つこと
ができることが分かる。よって常に良好なる画像が得ら
れる光走査装置を提供することができる。
From this, it can be seen that the uniformity of the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned can be maintained even if the polarization direction of the laser beam emitted from the light source means 1 is rotated by the effect of the present embodiment. Therefore, it is possible to provide an optical scanning device that can always obtain a good image.

【0100】また本実施形態によれば折り返しミラー7
の副走査方向の角度α(折り返し角)に制約を持たせる
ことがなく、光走査装置を構成するにあたっての自由度
を大きく持たせることができる。
According to the present embodiment, the return mirror 7
Without limiting the angle α (turnback angle) in the sub-scanning direction, the degree of freedom in configuring the optical scanning device can be increased.

【0101】また同じ走査光学系6を用いれば、折り返
しミラー7の副走査方向の角度αによってレーザー光束
が折り返しミラー7へ入射する角度βが決まるので各角
度βにおいて所望な反射率にしておけば、同一の折り返
しミラー7で複数の本体配置への流用が可能となりコス
トダウンを図ることができる。
When the same scanning optical system 6 is used, the angle β at which the laser beam is incident on the return mirror 7 is determined by the angle α of the return mirror 7 in the sub-scanning direction. In addition, the same folding mirror 7 can be used for a plurality of main body arrangements, and cost can be reduced.

【0102】[実施形態3]次に本発明の実施形態3につ
いて説明する。
[Third Embodiment] Next, a third embodiment of the present invention will be described.

【0103】本実施形態と前述の実施形態1と異なる点
は、光源手段を複数(本実施形態では2つ)の発光部
(発光点)を有するモノリシックなマルチビーム光源
(マルチレーザーアレイ)より構成し、被走査面8上の
走査線の間隔を所望の値とする為に光源手段1を集光レ
ンズ2の光軸廻りに回転させた点である。その他の構成
および光学的作用は実施形態1と略同様であり、これに
より同様な効果を得ている。
The difference between this embodiment and the first embodiment is that the light source means is constituted by a monolithic multi-beam light source (multi-laser array) having a plurality (two in this embodiment) of light-emitting portions (light-emitting points). The point is that the light source means 1 is rotated around the optical axis of the condenser lens 2 in order to set the interval between the scanning lines on the surface 8 to be scanned to a desired value. Other configurations and optical functions are substantially the same as those of the first embodiment, and thus, similar effects are obtained.

【0104】本実施形態においてモノリシックなマルチ
ビームの光源手段1から出射した複数のレーザー光束は
その偏光方向が略一方向となっている。この光源手段1
を用いたマルチビーム走査装置においては、被走査面8
上の走査線の間隔を画素密度に応じた値とするため、光
源手段1を集光レンズ2の光軸廻りに回転させて複数の
発光点の間隔を所望な値に調整する必要がある。光源手
段1を集光レンズ2の光軸廻りに回転させる角度γ(de
g)は次式で与えられる。
In the present embodiment, a plurality of laser beams emitted from the monolithic multi-beam light source means 1 have substantially one polarization direction. This light source means 1
In the multi-beam scanning device using the
In order to set the interval between the upper scanning lines to a value corresponding to the pixel density, it is necessary to rotate the light source means 1 around the optical axis of the condenser lens 2 to adjust the interval between the plurality of light emitting points to a desired value. The angle γ (de) for rotating the light source means 1 around the optical axis of the condenser lens 2
g) is given by the following equation.

【0105】sinγ=t/βs/La ここで、tは画素密度に応じた走査線間隔、βsは全体の
副走査方向の横倍率、Laは発光点の間隔である。
Sin γ = t / βs / La where t is the scanning line interval corresponding to the pixel density, βs is the lateral magnification in the entire sub-scanning direction, and La is the interval between light emitting points.

【0106】本実施形態の場合、画素密度が600dpi
のため走査線間隔tはt=42.3μmであり、全体の副
走査方向の横倍率βsはβs=6.8(倍)、発光点の間隔L
aはLa=90.0μmであって、光源手段1を集光レン
ズ2の光軸廻りに回転させる角度γはγ=3.95degで
ある。
In this embodiment, the pixel density is 600 dpi.
Therefore, the scanning line interval t is 42.3 μm, the overall lateral magnification βs in the sub-scanning direction is βs = 6.8 (times), and the light emitting point interval L
a is La = 90.0 μm, and the angle γ for rotating the light source means 1 around the optical axis of the condenser lens 2 is γ = 3.95 deg.

【0107】このときレーザー光束の偏光方向も偏向平
面に略平行な方向から角度γ回転することになる。これ
によって被走査面8上の有効走査域の中心部へ向かうレ
ーザー光束は折り返しミラー7へS偏光方向から角度γ
回転して入射している。また完全にS偏光方向に偏光し
て折り返しミラー7へ入射するレーザー光束は有効走査
域の中心部から左右どちらか一方へずれた位置となり、
折り返しミラー7の反射面7aにおいてP・S偏光成分
に反射率の差を設けていると被走査面8上では有効走査
域の中心部に対して非対称な照度分布を有することにな
る。
At this time, the polarization direction of the laser beam is also rotated by an angle γ from a direction substantially parallel to the deflection plane. As a result, the laser beam traveling toward the center of the effective scanning area on the surface 8 to be scanned is directed to the return mirror 7 from the S polarization direction by an angle γ.
It is rotating and incident. In addition, the laser beam that is completely polarized in the S-polarized direction and enters the return mirror 7 is located at a position shifted to the left or right from the center of the effective scanning area.
If the reflectance of the PS polarization component is provided on the reflection surface 7a of the return mirror 7, the illuminance distribution on the scanned surface 8 will be asymmetric with respect to the center of the effective scanning area.

【0108】そこで本実施形態では前述の実施形態1と
同様の折り返しミラー7を用いてP偏光成分とS偏光成
分における反射率を略同一とし、かつ折り返しミラー7
に入射するレーザー光束の入射角βが大きくなるに従い
S偏光、もしくはP偏光の反射率が減少するように反射
面7aを形成することにより、被走査面8上の照度分布
を略均一に補正している。
Therefore, in the present embodiment, the reflectance of the P-polarized light component and that of the S-polarized light component are made substantially the same using the folding mirror
The illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is corrected substantially uniformly by forming the reflecting surface 7a so that the reflectance of S-polarized light or P-polarized light decreases as the incident angle β of the laser beam incident on the surface becomes larger. ing.

【0109】図23は本実施形態における被走査面上の
照度分布を示した図である。
FIG. 23 is a diagram showing the illuminance distribution on the surface to be scanned in this embodiment.

【0110】マルチビームの被走査面8上の走査線間隔
を調整するために光源手段1を集光レンズ2の光軸廻り
に角度γ回転させたことによって、走査光学系6は透過
率が光軸9に対して略対称に僅かな量だけ変化するが、
折り返しミラー7の反射面7aはP偏光成分とS偏光成
分における反射率を略同一としているので、偏光方向の
回転の影響を受けない。よって被走査面8上の照度分布
を有効走査域全域で1.0%の差に抑えることができ、
これにより照度分布の均一性を良好に補正するこができ
る。
Since the light source means 1 is rotated by an angle γ around the optical axis of the condenser lens 2 in order to adjust the interval between the scanning lines of the multi-beam on the surface 8 to be scanned, the scanning optical system 6 has a light transmittance. It changes by a small amount substantially symmetrically with respect to the axis 9,
Since the reflection surface 7a of the reflecting mirror 7 has substantially the same reflectance for the P-polarized light component and the S-polarized light component, it is not affected by the rotation of the polarization direction. Therefore, the illuminance distribution on the scanned surface 8 can be suppressed to a difference of 1.0% over the entire effective scanning area,
This makes it possible to satisfactorily correct the uniformity of the illuminance distribution.

【0111】ここで比較例3として従来のP・S偏光成
分の反射率の差を利用して被走査面8上の照度分布を略
均一とした例について説明する。比較例3において本実
施形態との相違点は折り返ミラーの反射面上でのP・S
偏光成分の反射率が異なる点である。
Here, as Comparative Example 3, an example in which the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform using the difference in the reflectance of the conventional PS polarization component will be described. Comparative Example 3 is different from the present embodiment in that the P.S.
The point is that the reflectance of the polarized light component is different.

【0112】比較例3の光走査装置では比較例1と同様
の折り返しミラーを用いており、P偏光成分の反射率は
入射角βが25〜42degの範囲で54.0%であり、S
偏光成分の反射率は60.0%である。比較例1では図
7に示すように被走査面8上の照度分布は有効走査域全
域で1.7%の差となるが、比較例3では被走査面8上
の走査線間隔を補正するために光源手段1を集光レンズ
2の光軸廻りに3.95deg回転しているので、図24に
示すように被走査面8上の照度分布は有効走査域全域で
2.6%の差となる。
In the optical scanning device of Comparative Example 3, the same folding mirror as that of Comparative Example 1 is used. The reflectance of the P-polarized light component is 54.0% when the incident angle β is in the range of 25 to 42 deg.
The reflectance of the polarized light component is 60.0%. In Comparative Example 1, as shown in FIG. 7, the illuminance distribution on the scanned surface 8 has a difference of 1.7% over the entire effective scanning area. In Comparative Example 3, the scanning line interval on the scanned surface 8 is corrected. Therefore, the light source means 1 is rotated 3.95 degrees around the optical axis of the condenser lens 2, so that the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 2.6% over the entire effective scanning area as shown in FIG. Becomes

【0113】この差から分かるように比較例3として挙
げたP・S偏光成分の反射率の差を利用して被走査面8
上の照度分布を補正する方法より、折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の入射角度βによって反射率を変
化させる方法の方が、被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができることが分かる。よって本実施形
態の効果を用いれば、モノリシックなマルチビームを光
源手段1に用いたマルチビーム走査装置において、被走
査面8上の照度分布を非対称性を生じさせることなく略
均一に補正することができる。
As can be seen from this difference, the surface 8 to be scanned is obtained by utilizing the difference in the reflectance of the PS polarization component described as Comparative Example 3.
The method in which the reflectance is changed according to the incident angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 can correct the illumination distribution on the surface 8 to be scanned more uniformly than the method in which the above illumination distribution is corrected. I understand. Therefore, by using the effect of the present embodiment, it is possible to substantially uniformly correct the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned without causing asymmetry in the multi-beam scanning apparatus using the monolithic multi-beam as the light source 1. it can.

【0114】更に2つのレーザー光束には偏光方向にば
らつきがあり、相対差で15degとなるものがある。こ
のとき一方のレーザー光束(例えばAレーザー光束)は
走査線間隔を調整するために傾けた3.95degだけ偏光
方向が偏向平面から回転しているのに対して、他方のレ
ーザー光束(例えばBレーザー光束)は偏光方向が偏向
平面から18.95degも回転している。そのため被走査
面8上の同一の位置を走査する2つのレーザー光束は折
り返しミラー7の反射面7a上でP・S偏光成分の割合
が大きく異なっている。
Further, the two laser beams have variations in the direction of polarization, and some have a relative difference of 15 degrees. At this time, the polarization direction of one laser beam (for example, A laser beam) is rotated from the deflection plane by 3.95 deg tilted to adjust the scanning line interval, while the other laser beam (for example, B laser beam) is rotated. The light beam has a polarization direction rotated by 18.95 degrees from the deflection plane. Therefore, the two laser beams that scan the same position on the surface 8 to be scanned have greatly different proportions of the PS polarization components on the reflection surface 7 a of the return mirror 7.

【0115】本実施形態では折り返しミラー7の反射面
7a上でのP偏光成分における反射率とS偏光成分にお
ける反射率を略同一としているため、レーザー光束の偏
光方向の回転の影響を受けず、常に所望の反射率に設定
できるので図25に示すように被走査面8上の2つのレ
ーザー光束の光量差が1.5%、Aレーザー光束の照度
分布は有効走査域全域で1.0%、Bレーザー光束では
1.8%の光量差に抑えることができる。これに対し、
比較例3ではP・S偏光成分で反射率が異なるので2つ
のレーザー光束ではP・S偏光成分の割合の違いによっ
て反射率が大きく異なる。即ち、図26に示すように被
走査面8上での2つのレーザー光束の光量差は最大で
2.7%あり、Aレーザー光束の照度分布は2.6%、ま
た偏向平面から18.95degと大きく回転しているBレ
ーザー光束は被走査面8上の有効走査域全域で7.2%
の光量差がある。感光体ドラム面である被走査面8上で
はAレーザー光束とBレーザー光束とが交互に光走査し
ており、Bレーザー光束で描かれる走査線は光軸9を挟
んだ一方で照度が高く、他方で照度が低くなり、画像上
では一方で濃く、他方で薄くなる問題が生じる。またA
レーザー光束との光量差が大きいことから画像上で一本
の走査線おきに濃淡が生じる虞がある。
In the present embodiment, since the reflectance of the P-polarized light component and the reflectance of the S-polarized light component on the reflecting surface 7a of the return mirror 7 are substantially the same, it is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam. Since the desired reflectance can always be set, the difference in the amount of light between the two laser beams on the scanned surface 8 is 1.5%, and the illuminance distribution of the A laser beam is 1.0% over the entire effective scanning area as shown in FIG. , B laser beam can be suppressed to a light amount difference of 1.8%. In contrast,
In Comparative Example 3, since the reflectance is different between the PS polarization components, the reflectances of the two laser beams differ greatly due to the difference in the ratio of the PS polarization components. That is, as shown in FIG. 26, the difference between the light amounts of the two laser beams on the scanned surface 8 is 2.7% at the maximum, the illuminance distribution of the A laser beam is 2.6%, and 18.95 degrees from the deflection plane. B light beam which is largely rotated is 7.2% in the entire effective scanning area on the surface 8 to be scanned.
Light amount difference. On the surface 8 to be scanned, which is the photosensitive drum surface, the A laser beam and the B laser beam are alternately optically scanned, and the scanning line drawn by the B laser beam has high illuminance while sandwiching the optical axis 9. On the other hand, there is a problem that the illuminance is low and the image is dark on the one hand and light on the other. A
Since there is a large difference in the amount of light from the laser beam, shading may occur on every other scanning line on the image.

【0116】よって本実施形態の効果を用いればマルチ
ビーム光源1から発せられる2つのレーザー光束の偏光
方向にばらつきが生じても被走査面8上で照度分布を略
均一とすることができ、これにより常に良好なる画像が
得られるマルチビーム走査装置を提供することができ
る。
Therefore, if the effects of the present embodiment are used, even if the polarization directions of the two laser beams emitted from the multi-beam light source 1 vary, the illuminance distribution can be made substantially uniform on the surface 8 to be scanned. Accordingly, it is possible to provide a multi-beam scanning device capable of always obtaining a good image.

【0117】尚、本実施形態においては2本のレーザー
光束を使用するマルチビーム走査装置を例に挙げたが、
これに限ったものでなく、本実施形態の効果を用いて3
本、4本とビーム本数が増えても本実施形態と同等の効
果を得ることができる。
In this embodiment, a multi-beam scanning device using two laser beams has been described as an example.
The present invention is not limited to this.
Even if the number of beams is increased to four or four, the same effect as in the present embodiment can be obtained.

【0118】また本実施形態において被走査面上におけ
る照度分布は前述の如く走査有効域全域で±3%(差で
6%)以内とすることが良好なる画像を得るためには望
ましい。
In this embodiment, it is desirable that the illuminance distribution on the surface to be scanned be within ± 3% (6% difference) over the entire effective scanning area as described above in order to obtain a good image.

【0119】[実施形態4]次に本発明の実施形態4につ
いて説明する。
[Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.

【0120】本実施形態において前述の実施形態3と異
なる点は折り返しミラー7へ入射するS偏光方向に偏光
したレーザー光束の副走査方向の角度(折り返し角)を
前述の実施形態2と同様αo=48degに設定した点、そ
して折り返しミラー7の反射面7aの反射率も実施形態
2と同様にした点である。その他の構成および光学的作
用は実施形態3と略同様であり、これにより同様な効果
を得ている。
This embodiment is different from the third embodiment in that the angle (folding angle) of the laser beam incident on the folding mirror 7 in the sub-scanning direction, which is polarized in the S-polarized direction, is αo = similar to the second embodiment. This is a point set at 48 deg, and the reflectance of the reflection surface 7a of the return mirror 7 is set in the same manner as in the second embodiment. Other configurations and optical functions are substantially the same as those of the third embodiment, and thus, similar effects are obtained.

【0121】即ち、本実施形態は前述の実施形態3と同
様に2つのレーザー光束を発するのモノリシックなマル
チレーザーアレイ1を使用しており、被走査面8上の走
査線間隔を調整するために、モノリシックなマルチレー
ザーアレイ1ごと集光レンズ2の光軸廻りに3.95deg
回転させている。
That is, the present embodiment uses a monolithic multi-laser array 1 that emits two laser beams similarly to the above-described third embodiment, and adjusts the scanning line interval on the surface 8 to be scanned. 3.95 deg around the optical axis of the condenser lens 2 with the monolithic multi-laser array 1
Rotating.

【0122】本実施形態では実施形態2と同様の走査光
学系6及び折り返しミラー7を用い、実施形態2と同様
に折り返しミラー7へ入射するS偏光方向に偏光したレ
ーザー光束の副走査方向の角度αoをαo=48degに設
定しているので、折り返しミラー7の反射面7aの反射
率はレーザー光束の偏光方向の回転の影響は受けず、走
査光学系6の透過率が僅かに変化して図27に示すよう
に被走査面8上の照度分布が有効走査域全域で0.9%
の差に収まるほど略均一に補正することができる。
In the present embodiment, the same scanning optical system 6 and folding mirror 7 as those of Embodiment 2 are used, and the angle of the laser beam, which is incident on the folding mirror 7 and is polarized in the S-polarized direction, in the sub-scanning direction, as in Embodiment 2. Since αo is set to αo = 48 deg, the reflectance of the reflecting surface 7a of the return mirror 7 is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam, and the transmittance of the scanning optical system 6 slightly changes. As shown in FIG. 27, the illuminance distribution on the scanned surface 8 is 0.9% over the entire effective scanning area.
Can be corrected so as to be substantially uniform.

【0123】ここで比較例4として従来のP・S偏光成
分の反射率の差を利用して被走査面8上の照度分布を略
均一とした例について説明する。比較例4において本実
施形態との相違点は折り返ミラーの反射面上でのP・S
偏光成分の反射率が異なる点である。
Here, as Comparative Example 4, a description will be given of an example in which the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform using the difference in the reflectance of the conventional PS polarization component. The difference from the present embodiment in Comparative Example 4 is that P · S on the reflecting surface of the folding mirror is different.
The point is that the reflectance of the polarized light component is different.

【0124】比較例4の折り返しミラーの反射面は比較
例2と同様であり、P偏光成分の反射率は入射角βが4
8〜57degの範囲で43.1%であり、S偏光成分の反
射率は60.0%である。
The reflecting surface of the return mirror of Comparative Example 4 is the same as that of Comparative Example 2, and the reflectance of the P-polarized light component is 4 for the incident angle β.
It is 43.1% in the range of 8 to 57 degrees, and the reflectance of the S-polarized light component is 60.0%.

【0125】しかしながら比較例4では被走査面8上の
走査線間隔を補正するために光源手段1を集光レンズ2
の光軸廻りに3.95deg回転しているので、図28に示
したように被走査面8上の照度分布は有効走査域全域で
3.8%の差となる。
However, in the comparative example 4, the light source means 1 is connected to the condenser lens 2 in order to correct the scanning line interval on the surface 8 to be scanned.
28, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 3.8% over the entire effective scanning area as shown in FIG.

【0126】また実施形態3と同様に2つのレーザー光
束に偏光方向のばらつきがあり、また相対差で15deg
となるものがあっても、本実施形態では折り返しミラー
の反射率はレーザー光束の偏光方向の回転の影響は受け
ず、走査光学系6の透過率のみ変化するので図29に示
すようにAレーザー光束の照度分布が有効走査域全域で
0.9%の差、Bレーザー光束の照度分布が有効走査域
全域で1.5%の差に収まる。これに対し比較例4では
図30に示したようにAレーザー光束の照度分布が走査
有効域全域で3.8%の差、Bレーザー光束の照度分布
が走査有効域全域で15.2%の差が生じることとな
り、照度分布の不均一性が許容できない。
As in the third embodiment, the two laser beams have variations in the polarization directions, and the relative difference is 15 degrees.
In this embodiment, the reflectance of the folding mirror is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam, and only the transmittance of the scanning optical system 6 is changed. The illuminance distribution of the light beam falls within a 0.9% difference over the entire effective scanning area, and the illuminance distribution of the B laser beam falls within a 1.5% difference over the entire effective scanning area. On the other hand, in Comparative Example 4, as shown in FIG. 30, the illuminance distribution of the A laser beam was 3.8% difference over the entire effective scanning area, and the illuminance distribution of the B laser beam was 15.2% over the entire effective scanning area. A difference occurs, and non-uniformity of the illuminance distribution cannot be tolerated.

【0127】よって本実施形態の効果を用いれば折り返
しミラー7へ入射するS偏光方向に偏光したレーザー光
束の副走査方向の角度α(折り返し角)が大きくて光軸
上と周辺部でP・S偏光成分の割合があまり変化しない
光走査装置の構成においても、被走査面8上の照度分布
を略均一に補正することができ、且つレーザー光束の偏
光方向の回転に対しても影響を受けることなく略均一な
照度分布を保ち、常に良好なる画像が得られるマルチビ
ーム走査装置を提供するこができる。
Therefore, if the effect of the present embodiment is used, the angle α (return angle) in the sub-scanning direction of the laser beam incident on the return mirror 7 and polarized in the S-polarized direction is large, and P · S on the optical axis and in the peripheral portion. Even in the configuration of the optical scanning device in which the ratio of the polarized light component does not change much, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned can be corrected substantially uniformly, and the rotation of the laser beam in the polarization direction is affected. It is possible to provide a multi-beam scanning device that can maintain a substantially uniform illuminance distribution without any trouble and always obtain good images.

【0128】尚、本実施形態では走査光学系6の光軸9
上において、折り返しミラー7へ主たる偏光方向がS偏
光方向に偏光したレーザー光束が入射した場合を例とし
て挙げたが、これに限ったものでなく、主たる偏光方向
がP偏光方向に偏光したレーザー光束が入射した場合に
おいても、本発明の効果を用いて十分に補正することが
できる。
In this embodiment, the optical axis 9 of the scanning optical system 6 is
In the above description, the case where the laser beam whose main polarization direction is S-polarized light is incident on the folding mirror 7 is described as an example. Can be sufficiently corrected using the effect of the present invention even when the light is incident.

【0129】[実施形態5]次に本発明の実施形態5につ
いて説明する。
[Fifth Embodiment] Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

【0130】本実施形態において前述の実施形態1,2
と異なる点は光源手段から出射されたレーザー光束の偏
光方向が90deg回転している点と、折り返しミラー7
の反射面7aの反射率が異なる点である。その他の構成
および光学的作用は実施形態1,2と略同様であり、こ
れにより同様な効果を得ている。
In this embodiment, the first and second embodiments are described.
The difference from the above is that the polarization direction of the laser beam emitted from the light source means is rotated by 90 degrees,
Is that the reflectance of the reflection surface 7a is different. Other configurations and optical functions are substantially the same as those of the first and second embodiments, and thus, similar effects are obtained.

【0131】即ち、本実施形態では半導体レーザー1か
ら出射されたレーザー光束は偏向平面に垂直な方向に直
線偏光しており、第1、第2のfθレンズ6a、6b面
への入射角が小さいところではフレネル反射率が低く、
画角が広くなって第1、第2のfθレンズ6a、6b面
への入射角が大きくなるところではフレネル反射率が高
くなる。そのため走査光学系6を通過した後の照度分布
は光軸9上が最も高く、被走査面8上の走査有効域の端
部(像高±107mm)で最も低くなり、図31に示した
ようにその光量比は0.91倍である。
That is, in this embodiment, the laser beam emitted from the semiconductor laser 1 is linearly polarized in a direction perpendicular to the deflection plane, and the incident angles on the first and second fθ lenses 6a and 6b are small. By the way, the Fresnel reflectivity is low,
Fresnel reflectivity increases where the angle of view is widened and the angles of incidence on the first and second fθ lenses 6a and 6b are large. Therefore, the illuminance distribution after passing through the scanning optical system 6 is highest on the optical axis 9 and lowest at the end of the effective scanning area (image height ± 107 mm) on the surface 8 to be scanned, as shown in FIG. The light quantity ratio is 0.91 times.

【0132】図32は本発明に関わる折り返しミラー7
の反射面7a上でのP偏光成分及びS偏光成分、各々に
ついての反射率の角度特性を示した図である。
FIG. 32 shows a folding mirror 7 according to the present invention.
FIG. 9 is a diagram showing the angle characteristics of the reflectance for each of the P-polarized light component and the S-polarized light component on the reflection surface 7a.

【0133】本実施形態ではP・S偏光成分における反
射率が略同一であり、折り返しミラー7へ入射するレー
ザー光束の入射角βが25degで反射率60.0%、入射
角βが42degで反射率65.5%となるように設定し
ている。即ち、図32に示すように折り返しミラー7に
入射するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いP偏
光、もしくはS偏光の反射率が増加するように反射面7
aを形成している。これにより図33に示すように被走
査面8上の照度分布は有効走査域全域で2.3%の差に
収まるほど略均一に補正することができる。
In this embodiment, the reflectivity of the PS polarization component is substantially the same, the reflectivity is 60.0% when the incident angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 is 25 °, and the reflectivity is 42 ° when the incident angle β is 42 °. The rate is set to be 65.5%. That is, as shown in FIG. 32, as the incident angle of the laser beam incident on the return mirror 7 increases, the reflection surface 7 increases so that the reflectance of P-polarized light or S-polarized light increases.
a. As a result, as shown in FIG. 33, the illuminance distribution on the scanned surface 8 can be corrected so as to be substantially uniform so as to be within a 2.3% difference over the entire effective scanning area.

【0134】ここで比較例5として従来のP・S偏光成
分の反射率の差を利用して被走査面8上の照度分布を略
均一とした例について説明する。比較例5において本実
施形態との相違点は折り返ミラー7の反射面上でのP・
S偏光成分の反射率が異なる点である。
Here, as Comparative Example 5, an example in which the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is made substantially uniform using the difference in the reflectance of the conventional PS polarization component will be described. The difference from the present embodiment in Comparative Example 5 is that P ·
The point is that the reflectance of the S-polarized component is different.

【0135】図34に比較例5における折り返しミラー
の反射面上でのP・S偏光成分の反射率を示す。P偏光
成分の反射率は入射角βが25〜42degの範囲で60.
0%であり、S偏光成分の反射率は69.3%である。こ
れにより図35に示すように被走査面8上の照度分布は
有効走査域全域で3.5%の差となる。
FIG. 34 shows the reflectance of the PS polarization component on the reflection surface of the return mirror in Comparative Example 5. The reflectance of the P-polarized component is 60 when the incident angle β is in the range of 25 to 42 deg.
0%, and the reflectance of the S-polarized light component is 69.3%. As a result, as shown in FIG. 35, the illuminance distribution on the scanned surface 8 has a difference of 3.5% over the entire effective scanning area.

【0136】この差から分かるように比較例5として挙
げたP・S偏光成分の反射率の差を利用して被走査面8
上の照度分布を補正する方法より、折り返しミラー7へ
入射するレーザー光束の入射角度βによって反射率を変
化させる方法の方が、被走査面8上の照度分布を略均一
に補正することができる。よって光源手段1から発せら
れたレーザー光束が偏向平面に対して垂直に直線偏光し
ている場合においても本実施形態の効果を用いれば、よ
り高精度に被走査面8上の照度分布を略均一に補正する
ことができる。
As can be seen from this difference, the surface to be scanned 8 is obtained by utilizing the difference in the reflectance of the PS polarization component described as Comparative Example 5.
The method of changing the reflectance according to the incident angle β of the laser beam incident on the return mirror 7 can correct the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned more uniformly than the method of correcting the above illuminance distribution. . Therefore, even when the laser beam emitted from the light source means 1 is linearly polarized perpendicular to the deflection plane, if the effect of the present embodiment is used, the illuminance distribution on the scanned surface 8 can be made more uniform with higher accuracy. Can be corrected.

【0137】また半導体レーザー1から発せられたレー
ザー光束の偏光方向が偏向平面に対して垂直な平面から
5deg回転した場合、本実施形態においては折り返しミ
ラー7の反射面7aのP・S偏向成分の反射率を略同一
としているため、該折り返しミラー7の反射率はレーザ
ー光束の偏光方向の回転の影響を受けず、走査光学系6
の透過率が僅かに変化して図36に示すように被走査面
8上の照度分布が有効走査域全域で2.3%の差と成
る。これに対し比較例5では折り返しミラーの反射面の
P偏光成分とS偏光成分とで反射率を異ならせているた
め、図37に示したように被走査面8上の照度分布は有
効走査域全域で5.2%の差が生じる。
When the polarization direction of the laser beam emitted from the semiconductor laser 1 is rotated by 5 degrees from a plane perpendicular to the deflection plane, in the present embodiment, the PS polarization component of the reflection surface 7a of the return mirror 7 is changed. Since the reflectance is substantially the same, the reflectance of the folding mirror 7 is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam, and the scanning optical system 6
36 slightly changes, and as shown in FIG. 36, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has a difference of 2.3% over the entire effective scanning area. On the other hand, in Comparative Example 5, since the reflectance differs between the P-polarized light component and the S-polarized light component of the reflection surface of the folding mirror, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned has an effective scanning area as shown in FIG. There is a 5.2% difference across the whole area.

【0138】更に図38に示すようにレーザー光束の偏
光方向が偏向平面に対して垂直な平面から10deg回転
した場合は、本実施形態では被走査面上の照度分布が有
効走査域全域で2.5%の差であるが、図39に示す比
較例5では7.5%の差が生じて許容値を上回り問題と
なる。
Further, as shown in FIG. 38, when the polarization direction of the laser beam is rotated by 10 degrees from a plane perpendicular to the deflection plane, in this embodiment, the illuminance distribution on the surface to be scanned is 2. Although the difference is 5%, in Comparative Example 5 shown in FIG. 39, a difference of 7.5% occurs and exceeds the allowable value, which is a problem.

【0139】これにより本実施形態の効果を用いれば、
光源手段1から発せられたレーザー光束が偏向平面に対
して垂直に直線偏光している光走査装置においても、該
レーザー光束の偏光方向の回転の影響を受けずに被走査
面8上の照度分布を均一に保つことができ、常に良好な
る画像を提供するこができる光走査装置を得ることがで
きる。
Thus, if the effects of the present embodiment are used,
Even in an optical scanning device in which the laser beam emitted from the light source means 1 is linearly polarized perpendicular to the deflection plane, the illuminance distribution on the surface 8 to be scanned is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam. Can be kept uniform, and an optical scanning device that can always provide good images can be obtained.

【0140】[実施形態6]次に本発明の実施形態6につ
いて説明する。
[Embodiment 6] Next, Embodiment 6 of the present invention will be described.

【0141】本実施形態において前述の実施形態3,4
とは異なる点は、光源手投から出射された複数のレーザ
ー光束の偏光方向が90deg回転している点と、折り返
しミラー7の反射面7aの反射率が異なる点である。そ
の他の構成及び光学的作用は実施形態3,4と略同様で
あり、これにより同様な効果を得ている。
In this embodiment, the above-described third and fourth embodiments are described.
The different point is that the polarization directions of a plurality of laser light beams emitted from the light source are rotated by 90 degrees, and the reflectance of the reflection surface 7a of the folding mirror 7 is different. Other configurations and optical functions are substantially the same as those of the third and fourth embodiments, and the same effects are obtained.

【0142】即ち、本実施形態では前述の実施形態5と
同様の折り返しミラー7を用いてP・S偏光成分におけ
る反射率を略同一とし、かつ該折り返しミラー7に入射
するレーザー光束の入射角が大きくなるに従いP偏光、
もしくはS偏光の反射率が増加するように反射面7aを
形成している。これにより光源手段1から発せられた複
数のレーザー光束が偏向平面に対して垂直に直線偏光し
ているマルチビーム走査装置においても、該レーザー光
束の偏光方向の回転の影響を受けずに被走査面8上の照
度分布を略均一に保つことができ、常に良好なる画像を
提供することができる。
That is, in the present embodiment, the reflectance in the PS polarization component is made substantially the same by using the same folding mirror 7 as in the above-described fifth embodiment, and the angle of incidence of the laser beam incident on the folding mirror 7 is reduced. P-polarized as it gets larger,
Alternatively, the reflection surface 7a is formed such that the reflectance of S-polarized light increases. Thus, even in a multi-beam scanning apparatus in which a plurality of laser beams emitted from the light source means 1 are linearly polarized perpendicular to the deflection plane, the scanning surface is not affected by the rotation of the polarization direction of the laser beam. 8 can be kept substantially uniform, and a good image can always be provided.

【0143】[画像形成装置]図40は、前述した実施
形態1から6のいずれかの光走査装置、もしくはマルチ
ビーム走査装置を用いた画像形成装置(電子写真プリン
タ)の実施形態を示す副走査方向の要部断面図である。
図40において、符号104は画像形成装置を示す。こ
の画像形成装置104には、パーソナルコンピュータ等
の外部機器117からコードデータDcが入力する。こ
のコードデータDcは、装置内のプリンタコントローラ
111によって、画像データ(ドットデータ)Diに変
換される。この画像データDiは、光走査ユニット10
0に入力される。そして、この光走査ユニット(光走査
装置、もしくはマルチビーム走査装置)100からは、
画像データDiに応じて変調された光ビーム(光束)1
03が出射され、この光ビーム103によって感光ドラ
ム101の感光面が主走査方向に走査される。
[Image Forming Apparatus] FIG. 40 shows an embodiment of an image forming apparatus (electrophotographic printer) using any one of the optical scanning apparatuses according to the first to sixth embodiments or the multi-beam scanning apparatus. It is principal part sectional drawing of a direction.
In FIG. 40, reference numeral 104 denotes an image forming apparatus. Code data Dc is input to the image forming apparatus 104 from an external device 117 such as a personal computer. The code data Dc is converted into image data (dot data) Di by the printer controller 111 in the apparatus. This image data Di is transmitted to the optical scanning unit 10
Input to 0. Then, from this optical scanning unit (optical scanning device or multi-beam scanning device) 100,
Light beam (light flux) 1 modulated according to image data Di
The light beam 103 scans the photosensitive surface of the photosensitive drum 101 in the main scanning direction.

【0144】静電潜像担持体(感光体)たる感光ドラム
101は、モータ115によって時計廻りに回転させら
れる。そして、この回転に伴って、感光ドラム101の
感光面が光ビーム103に対して、主走査方向と直交す
る副走査方向に移動する。感光ドラム101の上方に
は、感光ドラム101の表面を一様に帯電せしめる帯電
ローラ102が表面に当接するように設けられている。
そして、帯電ローラ102によって帯電された感光ドラ
ム101の表面に、前記光走査ユニット100によって
走査される光ビーム103が照射されるようになってい
る。
The photosensitive drum 101, which is an electrostatic latent image carrier (photoconductor), is rotated clockwise by a motor 115. Then, along with this rotation, the photosensitive surface of the photosensitive drum 101 moves in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction with respect to the light beam 103. Above the photosensitive drum 101, a charging roller 102 for uniformly charging the surface of the photosensitive drum 101 is provided so as to contact the surface.
The surface of the photosensitive drum 101 charged by the charging roller 102 is irradiated with a light beam 103 scanned by the optical scanning unit 100.

【0145】先に説明したように、光ビーム103は、
画像データDiに基づいて変調されており、この光ビー
ム103を照射することによって感光ドラム101の表
面に静電潜像を形成せしめる。この静電潜像は、上記光
ビーム103の照射位置よりもさらに感光ドラム101
の回転方向の下流側で感光ドラム101に当接するよう
に配設された現像器107によってトナー像として現像
される。ここで用いられるトナー粒子は、例えば帯電ロ
ーラ102によって帯電された電荷とは逆符号を持つも
のが用いられる。そして、感光ドラムの非露光部にトナ
ーが付着する部分(画線部)となる。つまり、本実施形
態においては、所謂正規現像が行われる。尚、本実施形
態において感光ドラムの露光部にトナーが付着する反転
現像を行うようにしても良い。
As described above, the light beam 103 is
The light is modulated based on the image data Di, and by irradiating the light beam 103, an electrostatic latent image is formed on the surface of the photosensitive drum 101. This electrostatic latent image is further moved from the irradiation position of the light beam 103 to the photosensitive drum 101.
Is developed as a toner image by a developing device 107 disposed so as to contact the photosensitive drum 101 on the downstream side in the rotation direction of the photosensitive drum 101. As the toner particles used here, for example, those having a sign opposite to the charge charged by the charging roller 102 are used. Then, a portion (image portion) where the toner adheres to the non-exposed portion of the photosensitive drum is formed. That is, in the present embodiment, so-called regular development is performed. In this embodiment, reversal development in which toner adheres to the exposed portion of the photosensitive drum may be performed.

【0146】現像器107によって現像されたトナー像
は、感光ドラム101の下方で、感光ドラム101に対
向するように配設された転写ローラ108によって被転
写材たる用紙112上に転写される。用紙112は感光
ドラム101の前方(図8において右側)の用紙カセッ
ト109内に収納されているが、手差しでも給紙が可能
である。用紙カセット109端部には、給紙ローラ11
0が配設されており、用紙カセット109内の用紙11
2を搬送路へ送り込む。
The toner image developed by the developing device 107 is transferred below the photosensitive drum 101 by a transfer roller 108 disposed opposite to the photosensitive drum 101 onto a sheet 112 as a material to be transferred. The paper 112 is stored in a paper cassette 109 in front of the photosensitive drum 101 (right side in FIG. 8), but can be fed manually. At the end of the paper cassette 109, a paper feed roller 11 is provided.
0 is provided, and the paper 11 in the paper cassette 109 is
2 to the transport path.

【0147】以上のようにして、未定着トナー像を転写
された用紙112はさらに感光ドラム101後方(図4
0において左側)の定着器へと搬送される。定着器は内
部に定着ヒータ(図示せず)を有する定着ローラ113
とこの定着ローラ113に圧接するように配設された加
圧ローラ114とで構成されており、転写部から撒送さ
れてきた用紙112を定着ローラ113と加圧ローラ1
14の圧接部にて加圧しながら加熱することにより用紙
112上の未定着トナー像を定着せしめる。更に定着ロ
ーラ113の後方には排紙ローラ116が配設されてお
り、定着された用紙112を画像形成装置の外に排出せ
しめる。
As described above, the sheet 112 on which the unfixed toner image has been transferred is further moved to the rear of the photosensitive drum 101 (FIG. 4).
0 (left side at 0). The fixing device has a fixing roller 113 having a fixing heater (not shown) therein.
And a pressure roller 114 disposed so as to be in pressure contact with the fixing roller 113. The paper 112 scattered from the transfer unit is transferred to the fixing roller 113 and the pressure roller 1.
The unfixed toner image on the paper 112 is fixed by heating while applying pressure at the pressure contact portion 14. Further, a paper discharge roller 116 is disposed behind the fixing roller 113, and discharges the fixed paper 112 to the outside of the image forming apparatus.

【0148】図40においては図示していないが、プリ
ントコントローラ111は、先に説明データの変換だけ
でなく、モータ115を始め画像形成装置内の各部や、
光走査ユニット100内のポリゴンモータなどの制御を
行う。
Although not shown in FIG. 40, the print controller 111 not only converts the explanation data, but also the motor 115 and other components in the image forming apparatus.
The control of the polygon motor and the like in the optical scanning unit 100 is performed.

【0149】[0149]

【発明の効果】第1の発明によれば前述の如く反射部材
の反射面の反射率を適切に設定することにより、広画角
な走査光学系を用いても、また光源手段から出射された
レーザー光束の偏光方向が回転しても、被走査面上で照
度分布を略均一にすることができる光走査装置を達成す
ることができる。
According to the first aspect of the present invention, by appropriately setting the reflectance of the reflecting surface of the reflecting member as described above, the light emitted from the light source means can be used even if a wide-angle scanning optical system is used. Even if the polarization direction of the laser beam rotates, it is possible to achieve an optical scanning device capable of making the illuminance distribution substantially uniform on the surface to be scanned.

【0150】第2の発明によれば前述の如く反射部材の
反射面の反射率を適切に設定することにより、広画角な
走査光学系を用いても、また光源手段から出射されたレ
ーザー光束の偏光方向が回転しても、被走査面上で照度
分布にムラのないマルチビーム走査装置を達成すること
ができる。
According to the second aspect of the present invention, by appropriately setting the reflectivity of the reflecting surface of the reflecting member as described above, the laser beam emitted from the light source means can be used even if a wide-angle scanning optical system is used. Even if the polarization direction is rotated, it is possible to achieve a multi-beam scanning device in which the illuminance distribution is not uneven on the surface to be scanned.

【0151】第3の発明によれば前述の如く上記の光走
査装置又はマルチビーム走査装置を用いることにより、
被走査面上で照度分布を略均一にすることができる画像
形成装置を達成することができる。
According to the third aspect, as described above, by using the above-described optical scanning device or multi-beam scanning device,
An image forming apparatus capable of making the illuminance distribution substantially uniform on the surface to be scanned can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施形態1の主走査断面図及び副走
査断面図
FIG. 1 is a main-scan sectional view and a sub-scan sectional view of Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 本発明の実施形態1の走査光学系通過後の照
度分布図
FIG. 2 is an illuminance distribution diagram after passing through a scanning optical system according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の実施形態1の折り返しミラーの反射
面上のP・S偏光成分比を示した図
FIG. 3 is a diagram showing a PS polarization component ratio on a reflection surface of a folding mirror according to the first embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の実施形態1のP・S偏光成分の反射
率を示した図
FIG. 4 is a diagram showing the reflectance of the PS polarization component according to the first embodiment of the present invention.

【図5】 本発明の実施形態1の照度分布図FIG. 5 is an illuminance distribution diagram according to the first embodiment of the present invention.

【図6】 比較例1のP・S偏光成分の反射率を示した
FIG. 6 is a diagram showing the reflectance of the PS polarization component of Comparative Example 1.

【図7】 比較例1の照度分布図FIG. 7 is an illuminance distribution diagram of Comparative Example 1.

【図8】 本発明の実施形態1の光源手段が回転した場
合の照度分布図
FIG. 8 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the first embodiment of the present invention rotates.

【図9】 比較例1の光源手段が回転した場合の照度分
布図
FIG. 9 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 1 rotates.

【図10】 本発明の実施形態1の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 10 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the first embodiment of the present invention rotates.

【図11】 比較例1の光源手段が回転した場合の照度
分布図
FIG. 11 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 1 rotates.

【図12】 本発明の実施形態1の折り返しミラーを示
す斜視図
FIG. 12 is a perspective view showing a folding mirror according to the first embodiment of the present invention.

【図13】 本発明の実施形態2の主走査断面図及び副
走査断面図
FIG. 13 is a main-scan sectional view and a sub-scan sectional view of Embodiment 2 of the present invention.

【図14】 本発明の実施形態2の折り返しミラーの反
射面上のP・S偏光成分比を示した図
FIG. 14 is a diagram showing the PS polarization component ratio on the reflection surface of the folding mirror according to the second embodiment of the present invention.

【図15】 本発明の実施形態2のP・S偏光成分の反
射率を示した図
FIG. 15 is a diagram showing the reflectance of the PS polarization component according to the second embodiment of the present invention.

【図16】 本発明の実施形態2の照度分布図FIG. 16 is an illuminance distribution diagram according to the second embodiment of the present invention.

【図17】 比較例2のP・S偏光成分の反射率を示し
た図
FIG. 17 is a diagram showing the reflectance of the PS polarization component of Comparative Example 2.

【図18】 比較例2の照度分布図FIG. 18 is an illuminance distribution diagram of Comparative Example 2.

【図19】 本発明の実施形態2の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 19 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the second embodiment of the present invention is rotated.

【図20】 本発明の比較例2の光源手段が回転した場
合の照度分布図
FIG. 20 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 2 of the present invention rotates.

【図21】 本発明の実施形態2の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 21 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the second embodiment of the present invention rotates.

【図22】 比較例2の光源手段が回転した場合の照度
分布図
FIG. 22 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 2 rotates.

【図23】 本発明の実施形態3の照度分布図FIG. 23 is an illuminance distribution diagram according to the third embodiment of the present invention.

【図24】 比較例3の照度分布図FIG. 24 is an illuminance distribution chart of Comparative Example 3.

【図25】 本発明の実施形態3の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 25 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the third embodiment of the present invention is rotated.

【図26】 本発明の比較例3の光源手段が回転した場
合の照度分布図
FIG. 26 is an illuminance distribution diagram when the light source means of Comparative Example 3 of the present invention rotates.

【図27】 本発明の実施形態4の照度分布図FIG. 27 is an illuminance distribution diagram according to the fourth embodiment of the present invention.

【図28】 比較例4の照度分布図FIG. 28 is an illuminance distribution chart of Comparative Example 4.

【図29】 本発明の実施形態4の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 29 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the fourth embodiment of the present invention is rotated.

【図30】 比較例4の光源手段が回転した場合の照度
分布図
FIG. 30 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 4 rotates.

【図31】 本発明の実施形態5の走査光学系通過後の
照度分布図
FIG. 31 is an illuminance distribution diagram after passing through a scanning optical system according to the fifth embodiment of the present invention.

【図32】 本発明の実施形態5のP・S偏光成分の反
射率を示した図
FIG. 32 is a diagram showing the reflectance of the PS polarization component according to the fifth embodiment of the present invention.

【図33】 本発明の実施形態5の照度分布図FIG. 33 is an illuminance distribution diagram according to the fifth embodiment of the present invention.

【図34】 比較例5のP・S偏光成分の反射率を示し
た図
FIG. 34 is a view showing the reflectance of the PS polarization component of Comparative Example 5.

【図35】 比較例5の照度分布図FIG. 35 is an illuminance distribution chart of Comparative Example 5.

【図36】 本発明の実施形態5の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 36 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the fifth embodiment of the present invention rotates.

【図37】 比較例5の光源手段が回転した場合の照度
分布図
FIG. 37 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 5 rotates.

【図38】 本発明の実施形態5の光源手段が回転した
場合の照度分布図
FIG. 38 is an illuminance distribution diagram when the light source unit according to the fifth embodiment of the present invention is rotated.

【図39】 比較例5の光源手段が回転した場合の照度
分布図
FIG. 39 is an illuminance distribution diagram when the light source unit of Comparative Example 5 rotates.

【図40】 本発明の走査光学装置を用いた画像形成装
置(電子写真プリンタ)の構成例を示す副走査方向の要部
概略図
FIG. 40 is a schematic diagram of a main part in the sub-scanning direction showing a configuration example of an image forming apparatus (electrophotographic printer) using the scanning optical device of the present invention.

【図41】 従来例の光走査装置を示す斜視図FIG. 41 is a perspective view showing a conventional optical scanning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源手段(半導体レーザー) 2 集光レンズ(コリメーターレンズ) 3 開口絞り(アパーチャー) 4 シリンドリカルレンズ 5 偏向手段(光偏向器) 6 走査光学系 6a 第1のfθレンズ 6b 第2のfθレンズ 7 反射部材(折り返しミラー) 7a 反射面 8 被走査面(感光ドラム面) 11 入射光学系 100 光走査装置 101 感光ドラム 102 帯電ローラ 103 光ビーム 104 画像形成装置 107 現像装置 108 転写ローラ 109 用紙カセット 110 給紙ローラ 112 転写材(用紙) 113 定着ローラ 114 加圧ローラ 116 排紙ローラ Reference Signs List 1 light source means (semiconductor laser) 2 condenser lens (collimator lens) 3 aperture stop (aperture) 4 cylindrical lens 5 deflecting means (optical deflector) 6 scanning optical system 6a first fθ lens 6b second fθ lens 7 Reflecting member (return mirror) 7a Reflecting surface 8 Scanned surface (photosensitive drum surface) 11 Incident optical system 100 Optical scanning device 101 Photosensitive drum 102 Charging roller 103 Light beam 104 Image forming device 107 Developing device 108 Transfer roller 109 Paper cassette 110 Feed Paper roller 112 Transfer material (paper) 113 Fixing roller 114 Pressure roller 116 Discharge roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 1/113 H04N 1/04 104A Fターム(参考) 2C362 AA26 BA56 BA67 BA87 BA90 2H045 AA01 BA02 BA22 CA63 CB35 DA41 2H087 KA19 LA22 LA25 PA02 PA17 PB02 RA07 TA03 UA01 5C051 AA02 CA07 DB02 DB22 DB24 DB30 DC07 FA01 5C072 AA03 BA17 DA02 DA04 DA21 HA02 HA06 HA09 HA13 XA01 XA05 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H04N 1/113 H04N 1/04 104A F-term (Reference) 2C362 AA26 BA56 BA67 BA87 BA90 2H045 AA01 BA02 BA22 CA63 CB35 DA41 2H087 KA19 LA22 LA25 PA02 PA17 PB02 RA07 TA03 UA01 5C051 AA02 CA07 DB02 DB22 DB24 DB30 DC07 FA01 5C072 AA03 BA17 DA02 DA04 DA21 HA02 HA06 HA09 HA13 XA01 XA05

Claims (35)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 直線偏光のレーザー光束を出射する光源
手段と、該光源手段から出射したレーザー光束を偏向手
段に入射させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折
り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光
学系と、を有する光走査装置において、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角によっ
て該反射率を異ならせることにより、該被走査面上の照
度分布を略均一としたことを特徴とする光走査装置。
1. A light source for emitting a linearly polarized laser beam, an incident optical system for causing the laser beam emitted from the light source to enter a deflecting unit, and a laser beam deflected by the deflecting unit in a sub-scanning direction. A scanning optical system that forms an image on a surface to be scanned via a reflecting member that is turned back. The reflecting surface of the reflecting member has substantially the same reflectance for P-polarized light and S-polarized light, and the incident laser beam. An optical scanning device characterized in that the reflectance varies depending on the incident angle of a light beam, thereby making the illuminance distribution on the surface to be scanned substantially uniform.
【請求項2】 前記P偏光とS偏光の反射率が略等しい
とは入射角25°〜40°の範囲内において、双方の反
射率差が±3%以内であることを特徴とする請求項1記
載の光走査装置。
2. The reflectances of the P-polarized light and the S-polarized light are substantially equal when the difference between the two reflectances is within ± 3% within an incident angle range of 25 ° to 40 °. 2. The optical scanning device according to 1.
【請求項3】 前記照度分布が略均一とは前記被走査面
上における照度分布が軸上に対して走査有効域有効走査
域全域で±3%以内のことを称することを特徴とする請
求項1記載の光走査装置。
3. The substantially uniform illuminance distribution means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% of the on-axis effective scanning area over the entire effective scanning area. 2. The optical scanning device according to 1.
【請求項4】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記被
走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の光
走査装置。
4. The apparatus according to claim 1, wherein a condition of k / W ≦ 0.6 is satisfied, where k is an fθ coefficient of the scanning optical system, and W is an effective scanning width of the surface to be scanned. Optical scanning device.
【請求項5】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ向
かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβo
(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の光
走査装置。
5. An angle βa at which a laser beam directed toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned enters the reflecting member.
(deg), the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member is βi (de).
2. The optical scanning device according to claim 1, wherein, when g), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項6】 直線偏光のレーザー光束を複数出射する
光源手段と、該光源手段から出射した複数のレーザー光
束を偏向手段に入射させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向された複数のレーザー光束を副走査方
向に折り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる
走査光学系と、を有するマルチビーム走査装置におい
て、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角によっ
て該反射率を異ならせることにより、該被走査面上の照
度分布を略均一としたことを特徴とするマルチビーム走
査装置。
6. A light source for emitting a plurality of linearly polarized laser beams, an incident optical system for causing a plurality of laser beams emitted from the light source to enter a deflecting unit, and a plurality of laser beams deflected by the deflecting unit. A scanning optical system that forms an image on the surface to be scanned via a reflecting member that is turned back in the sub-scanning direction. The reflecting surface of the reflecting member has a reflectance of P-polarized light and S-polarized light that is substantially equal. A multi-beam scanning device, wherein the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by making the reflectivity different depending on the incident angle of the incident laser beam.
【請求項7】 前記P偏光とS偏光の反射率が略等しい
とは入射角25°〜40°の範囲内において、双方の反
射率差が±3%以内であることを特徴とする請求項6記
載のマルチビーム走査装置。
7. The reflectivity of the P-polarized light and the S-polarized light is substantially equal when the difference between the two reflectances is within ± 3% within the range of the incident angle of 25 ° to 40 °. 7. The multi-beam scanning device according to 6.
【請求項8】 前記照度分布が略均一とは前記被走査面
上における照度分布が軸上に対して走査有効域有効走査
域全域で±3%以内のことを称することを特徴とする請
求項6記載のマルチビーム走査装置。
8. The substantially uniform illuminance distribution means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% of the on-axis effective scanning area over the entire effective scanning area. 7. The multi-beam scanning device according to 6.
【請求項9】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記被
走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項6記載のマ
ルチビーム走査装置。
9. The optical system according to claim 6, wherein the following condition is satisfied: k / W ≦ 0.6, where k is an fθ coefficient of the scanning optical system and W is an effective scanning width of the surface to be scanned. Multi-beam scanning device.
【請求項10】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ
向かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβ
o(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8 ≦ βi − βo ≦20 (deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項6記載のマ
ルチビーム走査装置。
10. An angle β at which a laser beam directed to the center of an effective scanning area on the surface to be scanned enters the reflecting member.
o (deg), βi (de) is the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member.
7. The multi-beam scanning device according to claim 6, wherein, when g) is satisfied, a condition of 8 ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項11】 前記光源手段は前記入射光学系の光軸
廻りに回転可能であることを特徴とする請求項6記載の
マルチビーム走査装置。
11. The multi-beam scanning apparatus according to claim 6, wherein said light source means is rotatable around an optical axis of said incident optical system.
【請求項12】 偏向平面と略平行な方向に偏光方向を
有する直線偏光のレーザー光束を出射する光源手段と、
該光源手段から出射したレーザー光束を偏向手段に入射
させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折
り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光
学系と、を有する光走査装置において、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角が大き
くなるに従いS偏光、もしくはP偏光の反射率が減少す
るように形成されていることを特徴とする光走査装置。
12. A light source means for emitting a linearly polarized laser beam having a polarization direction in a direction substantially parallel to a deflection plane;
An incident optical system for causing a laser beam emitted from the light source unit to enter a deflecting unit; and a scanning optical system for forming an image on a surface to be scanned via a reflecting member which folds the laser beam deflected by the deflecting unit in the sub-scanning direction. The reflection surface of the reflection member has substantially the same reflectance in P-polarized light and S-polarized light, and the reflectance of S-polarized light or P-polarized light increases as the incident angle of the incident laser beam increases. An optical scanning device, wherein the optical scanning device is formed so as to reduce the number of light beams.
【請求項13】 前記S偏光、もしくはP偏光の反射率
が減少することにより、前記被走査面上の照度分布を略
均一としたことを特徴とする請求項12記載の光走査装
置。
13. The optical scanning device according to claim 12, wherein the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by reducing the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light.
【請求項14】 前記照度分布が略均一とは前記被走査
面上における照度分布が軸上に対して走査有効域全域で
±3%以内のことを称することを特徴とする請求項13
記載の光走査装置。
14. The illuminance distribution being substantially uniform means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% over the entire effective scanning area with respect to the axis.
The optical scanning device according to claim 1.
【請求項15】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記
被走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項12記載の
光走査装置。
15. The optical system according to claim 12, wherein the following condition is satisfied: k / W ≦ 0.6, where k is an fθ coefficient of the scanning optical system and W is an effective scanning width of the surface to be scanned. Optical scanning device.
【請求項16】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ
向かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβ
o(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項12記載の
光走査装置。
16. An angle at which a laser beam toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member.
o (deg), βi (de) is the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member.
13. The optical scanning device according to claim 12, wherein, when g), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項17】 偏向平面と略垂直な方向に偏光方向を
有する直線偏光のレーザー光束を出射する光源手段と、
該光源手段から出射したレーザー光束を偏向手段に入射
させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折
り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光
学系と、を有する光走査装置において、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角が大き
くなるに従いP偏光、もしくはS偏光の反射率が増加す
るように形成されていることを特徴とする光走査装置。
17. A light source means for emitting a linearly polarized laser beam having a polarization direction substantially perpendicular to a deflection plane;
An incident optical system for causing a laser beam emitted from the light source unit to enter a deflecting unit; and a scanning optical system for forming an image on a surface to be scanned via a reflecting member which folds the laser beam deflected by the deflecting unit in the sub-scanning direction. The reflection surface of the reflection member has substantially the same reflectance in P-polarized light and S-polarized light, and the reflectance of P-polarized light or S-polarized light increases as the incident angle of the incident laser beam increases. An optical scanning device characterized by being formed so as to increase.
【請求項18】 前記P偏光、もしくはS偏光の反射率
が増加することにより、前記被走査面上の照度分布を略
均一としたことを特徴とする請求項17記載の光走査装
置。
18. The optical scanning device according to claim 17, wherein the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by increasing the reflectance of the P-polarized light or the S-polarized light.
【請求項19】 前記照度分布が略均一とは前記被走査
面上における照度分布が軸上に対して走査有効域全域で
±3%以内のことを称することを特徴とする請求項18
記載の光走査装置。
19. The substantially uniform illuminance distribution means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area.
The optical scanning device according to claim 1.
【請求項20】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記
被走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項17記載の
光走査装置。
20. The optical system according to claim 17, wherein a condition of k / W ≦ 0.6 is satisfied, where k is an fθ coefficient of the scanning optical system and W is an effective scanning width of the surface to be scanned. Optical scanning device.
【請求項21】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ
向かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβ
o(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項17記載の
光走査装置。
21. An angle at which a laser beam toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member.
o (deg), βi (de) is the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member.
18. The optical scanning device according to claim 17, wherein, when g), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項22】 偏向平面と略平行な方向に偏光方向を
有する直線偏光のレーザー光束を複数出射する光源手段
と、該光源手段から出射した複数のレーザー光束を偏向
手段に入射させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向されたレーザー光束を副走査方向に折
り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる走査光
学系と、を有するマルチビーム走査装置において、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角が大き
くなるに従いS偏光、もしくはP偏光の反射率が減少す
るように形成されていることを特徴とするマルチビーム
走査装置。
22. A light source means for emitting a plurality of linearly polarized laser light beams having a polarization direction in a direction substantially parallel to the deflection plane, and an incident optical system for causing the plurality of laser light beams emitted from the light source means to be incident on the deflection means. A scanning optical system that forms an image on the surface to be scanned via a reflecting member that folds the laser beam deflected by the deflecting means in the sub-scanning direction, wherein the reflecting surface of the reflecting member is P The multi-beam scanning is characterized in that the reflectances of the polarized light and the S-polarized light are substantially equal, and the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light decreases as the incident angle of the incident laser beam increases. apparatus.
【請求項23】 前記S偏光、もしくはP偏光の反射率
が減少することにより、前記被走査面上の照度分布を略
均一としたことを特徴とする請求項22記載のマルチビ
ーム走査装置。
23. The multi-beam scanning apparatus according to claim 22, wherein the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by reducing the reflectance of the S-polarized light or the P-polarized light.
【請求項24】 前記照度分布が略均一とは前記被走査
面上における照度分布が軸上に対して走査有効域全域で
±3%以内のことを称することを特徴とする請求項23
記載のマルチビーム走査装置。
24. The substantially uniform illuminance distribution means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area.
A multi-beam scanning device as described.
【請求項25】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記
被走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項22記載の
マルチビーム走査装置。
25. The optical system according to claim 22, wherein, when an fθ coefficient of the scanning optical system is k and an effective scanning width of the scanned surface is W, a condition of k / W ≦ 0.6 is satisfied. Multi-beam scanning device.
【請求項26】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ
向かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβ
o(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項22記載の
マルチビーム走査装置。
26. An angle at which a laser beam toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member.
o (deg), βi (de) is the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member.
23. The multi-beam scanning device according to claim 22, wherein, when g), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項27】 前記光源手段は前記入射光学系の光軸
廻りに回転可能であることを特徴とする請求項22記載
のマルチビーム走査装置。
27. The multi-beam scanning apparatus according to claim 22, wherein said light source means is rotatable around an optical axis of said incident optical system.
【請求項28】 偏向平面と略垂直な方向に偏光方向を
有する直線偏光のレーザー光束を複数出射する光源手段
と、該光源手段から出射した複数のレーザー光束を偏向
手段に入射させる入射光学系と、 該偏向手段で偏向された複数のレーザー光束を副走査方
向に折り返す反射部材を介して被走査面上に結像させる
走査光学系と、を有するマルチビーム走査装置におい
て、 該反射部材の反射面はP偏光とS偏光とにおける反射率
が略等しく、かつ入射するレーザー光束の入射角が大き
くなるに従いP偏光、もしくはS偏光の反射率が増加す
るように形成されていることを特徴とするマルチビーム
走査装置。
28. A light source means for emitting a plurality of linearly polarized laser light fluxes having a polarization direction substantially perpendicular to a deflection plane, and an incident optical system for causing the plurality of laser light fluxes emitted from the light source means to be incident on the deflection means. A scanning optical system for imaging a plurality of laser beams deflected by the deflecting means on a surface to be scanned via a reflecting member that is turned back in the sub-scanning direction. Is characterized in that the reflectivity of P-polarized light and that of S-polarized light are substantially equal, and the reflectivity of P-polarized light or S-polarized light increases as the incident angle of the incident laser beam increases. Beam scanning device.
【請求項29】 前記P偏光、もしくはS偏光の反射率
が増加することにより、前記被走査面上の照度分布を略
均一としたことを特徴とする請求項28記載のマルチビ
ーム走査装置。
29. The multi-beam scanning apparatus according to claim 28, wherein the illuminance distribution on the surface to be scanned is made substantially uniform by increasing the reflectance of the P-polarized light or S-polarized light.
【請求項30】 前記照度分布が略均一とは前記被走査
面上における照度分布が軸上に対して走査有効域全域で
±3%以内のことを称することを特徴とする請求項29
記載のマルチビーム走査装置。
30. The illuminance distribution being substantially uniform means that the illuminance distribution on the surface to be scanned is within ± 3% with respect to the axis over the entire effective scanning area.
A multi-beam scanning device as described.
【請求項31】 前記走査光学系のfθ係数をk、前記
被走査面の有効走査幅をWとしたとき、 k/W ≦ 0.6 なる条件を満足することを特徴とする請求項28記載の
マルチビーム走査装置。
31. The optical system according to claim 28, wherein k / W ≦ 0.6, where k is an fθ coefficient of the scanning optical system and W is an effective scanning width of the surface to be scanned. Multi-beam scanning device.
【請求項32】 前記被走査面上の有効走査域の中心へ
向かうレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβ
o(deg)とし、前記被走査面上の有効走査域の端部へ向か
うレーザー光束が前記反射部材へ入射する角度をβi(de
g)としたとき、 8(deg) ≦ βi − βo ≦ 20(deg) なる条件を満足することを特徴とする請求項28記載の
マルチビーム走査装置。
32. An angle at which a laser beam directed toward the center of an effective scanning area on the surface to be scanned is incident on the reflecting member.
o (deg), βi (de) is the angle of incidence of the laser beam toward the end of the effective scanning area on the surface to be scanned on the reflecting member.
29. The multi-beam scanning apparatus according to claim 28, wherein, when g), a condition of 8 (deg) ≦ βi−βo ≦ 20 (deg) is satisfied.
【請求項33】 前記光源手段は前記入射光学系の光軸
廻りに回転可能であることを特徴とする請求項28記載
のマルチビーム走査装置。
33. A multi-beam scanning apparatus according to claim 28, wherein said light source means is rotatable around an optical axis of said incident optical system.
【請求項34】 前記請求項1乃至33のいずれか1項
に記載の光走査装置、もしくはマルチビーム走査装置
と、該光走査装置、もしくはマルチビーム走査装置の被
走査面に配置された感光体と、該感光体上を光束が走査
することによって形成された静電潜像をトナー像として
現像する現像手段と、該現像されたトナー像を用紙に転
写する転写手段と、転写されたトナー像を用紙に定着さ
せる定着手段とを有していることを特徴とする画像形成
装置。
34. An optical scanning device or a multi-beam scanning device according to claim 1, and a photoconductor disposed on a surface to be scanned of the optical scanning device or the multi-beam scanning device. Developing means for developing, as a toner image, an electrostatic latent image formed by scanning a light beam on the photoreceptor, transfer means for transferring the developed toner image to paper, and the transferred toner image An image forming apparatus, comprising: a fixing unit for fixing the sheet to a sheet.
【請求項35】 前記請求項1乃至33のいずれか1項
に記載の光走査装置、もしくはマルチビーム走査装置
と、外部機器から入力したコードデータを画像信号に変
換して前記光走査装置に入力せしめるプリンタコントロ
ーラとを有していることを特徴とする画像形成装置。
35. The optical scanning device according to claim 1, further comprising: a multi-beam scanning device configured to convert code data input from an external device into an image signal and input the image signal to the optical scanning device. An image forming apparatus, comprising:
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