JP2002178187A - Laser beam machining method and device therefor - Google Patents

Laser beam machining method and device therefor

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JP2002178187A
JP2002178187A JP2001346961A JP2001346961A JP2002178187A JP 2002178187 A JP2002178187 A JP 2002178187A JP 2001346961 A JP2001346961 A JP 2001346961A JP 2001346961 A JP2001346961 A JP 2001346961A JP 2002178187 A JP2002178187 A JP 2002178187A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining method that tends to produce less machining scraps by using a laser beam. SOLUTION: A laser beam from a laser oscillator 11 is emitted to a metallic plate 10, which is delivered at a specific speed, while the beam is transferred from one end to the other end in the breadthwise direction of the metallic plate 10. In this transfer, the metallic plate is machined in the breadthwise direction by moving the beam emitting position parallel to the feeding direction of the metallic plate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ある幅を持ちある
速度で送られる加工対象物に幅方向にわたってレーザ光
による加工を行うレーザ加工方法及びレーザ加工装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing method and a laser processing apparatus for processing an object to be processed having a certain width and fed at a certain speed with a laser beam in the width direction.

【0002】[0002]

【従来の技術】これまで、ある速度で送られてくる加工
対象物、例えば長尺の板状部材を所定のサイズで切断す
るような加工は、カッタを用いて行われるのが普通であ
る。この場合、板状部材を送る機構は板状部材を定速で
送り、所定のサイズ分送ったところで一旦停止させ、こ
の状態でカッタによる切断を行い、切断後再び板状部材
の送りを再開する。
2. Description of the Related Art Heretofore, processing for cutting an object to be processed, for example, a long plate-like member, which is fed at a certain speed, into a predetermined size is usually performed using a cutter. In this case, the mechanism for feeding the plate-shaped member feeds the plate-shaped member at a constant speed, temporarily stops when the plate-shaped member is fed by a predetermined size, performs cutting by the cutter in this state, and restarts the feeding of the plate-shaped member again after cutting. .

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カッタ
による加工では切断時の停止動作を伴うので、加工速度
に限界があるうえに、加工くずが発生しやすい。このた
めに、加工くずを収集する手段が必要であり、収集され
たくずの処理も必要となる。
However, since machining with a cutter involves a stopping operation at the time of cutting, the machining speed is limited and machining chips are easily generated. For this purpose, a means for collecting processing waste is required, and processing of the collected waste is also required.

【0004】そこで、本発明の課題は、レーザ光を利用
することで加工くずの発生しにくいレーザ加工方法を提
供することにある。
[0004] Therefore, an object of the present invention is to provide a laser processing method in which processing chips are hardly generated by using laser light.

【0005】本発明の他の課題は、加工中の加工対象物
の送り速度の変動にも対応できるレーザ加工方法を提供
することにある。
Another object of the present invention is to provide a laser processing method capable of coping with fluctuations in the feed speed of a workpiece during processing.

【0006】本発明の更に他の課題は、上記の加工方法
に適したレーザ加工装置を提供することにある。
A further object of the present invention is to provide a laser processing apparatus suitable for the above-mentioned processing method.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ある幅
を持ちこの幅方向に直角な方向に送られる加工対象物に
レーザ光を照射して加工を行うレーザ加工方法におい
て、レーザ発振器で発生されるレーザ光を、前記加工対
象物の幅方向の一端側から反対端側に向けて移動させな
がら照射し、この移動に際しては前記レーザ光の照射位
置を、前記加工対象物の送り方向と平行な方向に移動さ
せることにより、前記加工対象物をその幅方向に加工す
ることを特徴とするレーザ加工方法が提供される。
According to the present invention, there is provided a laser processing method for performing processing by irradiating a laser beam onto a processing object having a certain width and sent in a direction perpendicular to the width direction. The laser light to be generated is irradiated while moving from one end side in the width direction of the processing object to the opposite end side, and in this movement, the irradiation position of the laser light, the feeding direction of the processing object and A laser processing method is provided in which the object is machined in the width direction by moving the object in a parallel direction.

【0008】この場合、前記移動に際し、更に前記加工
対象物の送り速度の変化量をも考慮して前記レーザ光の
照射位置を、前記加工対象物の送り方向と平行な方向に
移動させることが好ましい。
In this case, in the movement, the irradiation position of the laser light may be moved in a direction parallel to the feed direction of the processing object in consideration of a change amount of the feed speed of the processing object. preferable.

【0009】本発明によればまた、ある幅を持ちこの幅
に直角な方向に送られる加工対象物にレーザ光を照射し
て加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光を発生
するためのレーザ発振器と、前記レーザ光を前記加工対
象物の幅方向の一端側から反対端側に向けて移動させな
がら照射すると共に、この移動に際しては前記レーザ光
の照射位置を、前記加工対象物の送り方向と平行な方向
に移動させるための照射手段と、前記レーザ発振器から
のレーザ光を前記照射手段に導くための光学系とを備
え、前記加工対象物をその幅方向に加工することを特徴
とするレーザ加工装置が提供される。
According to the present invention, a laser oscillator for generating laser light is provided in a laser processing apparatus for performing processing by irradiating a laser beam to a workpiece having a certain width and sent in a direction perpendicular to the width. And, while irradiating while moving the laser light from one end side in the width direction of the processing object to the opposite end side, at the time of this movement, the irradiation position of the laser light, the feeding direction of the processing object and A laser for irradiating a laser beam from the laser oscillator to the irradiating unit with an irradiating unit for moving the object in a parallel direction, and processing the object to be processed in its width direction. A processing device is provided.

【0010】この場合、前記照射手段は、前記レーザ光
を前記加工対象物の送り方向と平行な方向に振らせるた
めのスキャナと、該スキャナを、前記加工対象物の幅方
向の一端側から反対端側に向けて移動させる駆動機構と
を含むことで実現される。
In this case, the irradiating means includes a scanner for oscillating the laser beam in a direction parallel to a feeding direction of the object, and the scanner is opposed to the scanner from one end in the width direction of the object. And a drive mechanism that moves toward the end.

【0011】更に、前記加工対象物の送り速度を検出す
るための速度センサと、該速度センサの検出信号を受
け、前記スキャナと前記駆動機構とを制御するための制
御装置とを備え、前記制御装置は、前記駆動機構による
前記スキャナの移動に際し、前記加工対象物の送り速度
の変化量をも考慮して前記レーザ光の照射位置を、前記
加工対象物の送り方向と平行な方向に移動させるように
前記スキャナを制御することが望ましい。
The apparatus further includes a speed sensor for detecting a feed speed of the workpiece, and a control device for receiving a detection signal from the speed sensor and controlling the scanner and the driving mechanism. The apparatus moves the irradiation position of the laser beam in a direction parallel to the feed direction of the processing object when the scanner is moved by the driving mechanism, in consideration of a change amount of the feed speed of the processing object. It is desirable to control the scanner as described above.

【0012】更に、前記駆動機構には、前記スキャナの
レーザ光入射側に、該レーザ光を前記加工対象物上に焦
点を結ぶように集光させる集光レンズを搭載するのが好
ましい。
Further, it is preferable that the drive mechanism is provided with a condenser lens for condensing the laser light so as to be focused on the object to be processed, on the laser light incident side of the scanner.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】図1〜図4を参照して、本発明の
実施の形態を、長尺の加工対象物、例えば金属板を、一
旦停止させることなく一定のサイズで切断するレーザ加
工装置について説明する。図1において、このレーザ加
工装置は、切断加工用のレーザ光を発生するためのレー
ザ発振器11と、レーザ光を振らせるためのスキャナ1
2を搭載してこのスキャナ12を、ある速度で送られて
くる金属板10の幅方向の一端側から反対端側に向けて
移動させる駆動機構13と、レーザ発振器11からのレ
ーザ光をスキャナ12に導くための光学経路14と、ス
キャナ12と駆動機構13とを制御するための制御装置
(図示省略)とを備えている。金属板10は、例えばロ
ール状に巻かれたものから送られてくる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS With reference to FIGS. 1 to 4, an embodiment of the present invention will be described with reference to a laser processing for cutting a long object to be processed, for example, a metal plate, into a fixed size without stopping once. The device will be described. In FIG. 1, the laser processing apparatus includes a laser oscillator 11 for generating a laser beam for cutting, and a scanner 1 for oscillating the laser beam.
2, a driving mechanism 13 for moving the scanner 12 from one end in the width direction of the metal plate 10 sent at a certain speed toward the opposite end, and a scanner 12 for transmitting the laser light from the laser oscillator 11 to the scanner 12. And a control device (not shown) for controlling the scanner 12 and the drive mechanism 13. The metal plate 10 is sent, for example, from a roll.

【0014】レーザ発振器11には、金属板10の材質
に応じて、金属板10を切断できるエネルギーを持つレ
ーザ光を発生できるもの、例えばCO2 レーザ発振器、
固体レーザ発振器が使用される。更には、固体レーザか
ら波長変換素子により生成される2ω、3ω等のn次高
調波(nは2以上の整数)レーザ光を使用しても良い。
また、スキャナ12としては、図2に示すように、ガル
バノミラー12−1を1つ備えた1軸式ガルバノスキャ
ナが使用される。スキャナ12は、ガルバノミラー12
−1をモータ12−2で回動させることにより、ミラー
に入射するレーザ光を所定の範囲に渡ってスキャンする
ことができる。光学経路14としては、ここでは、レー
ザ発振器11からのレーザ光を平行光にするためのコリ
メーションレンズ14−1、レーザ光の角度を変えるた
めの反射ミラー14−2が組合わされる。
The laser oscillator 11 can generate a laser beam having energy capable of cutting the metal plate 10 according to the material of the metal plate 10, for example, a CO 2 laser oscillator,
A solid state laser oscillator is used. Further, n-th harmonic (n is an integer of 2 or more) laser light such as 2ω or 3ω generated by a wavelength conversion element from a solid-state laser may be used.
As the scanner 12, as shown in FIG. 2, a one-axis galvanometer scanner having one galvanometer mirror 12-1 is used. The scanner 12 is a galvanomirror 12
By rotating -1 by the motor 12-2, the laser beam incident on the mirror can be scanned over a predetermined range. Here, as the optical path 14, a collimation lens 14-1 for converting the laser light from the laser oscillator 11 into parallel light and a reflection mirror 14-2 for changing the angle of the laser light are combined.

【0015】駆動機構13は、金属板10の走行経路を
直角方向に跨ぐように架け渡されたガイド機構15に沿
って移動可能に設けられる。特に、このガイド機構15
は、金属板10の一端側からの駆動機構15の移動開始
時の加速区間、反対端での移動停止のための減速区間を
設定できるような長さを持つ。すなわち、金属板10に
対するレーザ光のスキャンは定速で行う必要があるの
で、金属板10を実際にスキャンする前に駆動機構13
の立上がり時間に対応する移動区間が金属板10の一端
より外側に確保されるようにすると共に、金属板10の
スキャンが終了してから減速を開始して完全に停止する
までの時間に対応する移動区間が金属板10の反対端よ
り外側に確保されるようにしている。
The driving mechanism 13 is provided so as to be movable along a guide mechanism 15 which is bridged so as to straddle the traveling path of the metal plate 10 in a right angle direction. In particular, the guide mechanism 15
Has a length such that an acceleration section at the start of movement of the drive mechanism 15 from one end of the metal plate 10 and a deceleration section at the opposite end for stopping the movement can be set. That is, since the scanning of the metal plate 10 with the laser beam needs to be performed at a constant speed, the driving mechanism 13 is actually scanned before scanning the metal plate 10.
The moving section corresponding to the rising time of the metal plate 10 is ensured outside one end of the metal plate 10, and corresponds to the time from the end of scanning of the metal plate 10 to the start of deceleration to the complete stop. The moving section is secured outside the opposite end of the metal plate 10.

【0016】図3において、コリメーションレンズ14
−1からの平行光は、反射ミラー14−2を経由して加
工レンズ12−3によりその焦点距離fにより決まる位
置に焦点を結ぶように集光される。加工レンズ12−3
は、スキャナ12の手前の位置でスキャナ12と共に移
動するように駆動機構13に搭載されている。そして、
加工レンズ12−3からスキャナ12を経由した金属板
10までの距離が焦点距離fに等しくなるように設定さ
れる。その結果、加工レンズ12−3とスキャナ12と
の位置関係は駆動機構13による移動にかかわらず常に
一定であり、金属板10を同じレーザビーム径により切
断することができる。これは、加工レンズ12−3は、
その移動により反射ミラーレンズ14−2との間の距離
が変化するが、コリメーションレンズ14−1から常に
平行光を受けることができるからである。
In FIG. 3, the collimation lens 14
The parallel light from -1 is collected by the processing lens 12-3 via the reflection mirror 14-2 so as to focus on a position determined by the focal length f. Processing lens 12-3
Is mounted on the drive mechanism 13 so as to move together with the scanner 12 at a position before the scanner 12. And
The distance from the processing lens 12-3 to the metal plate 10 via the scanner 12 is set to be equal to the focal length f. As a result, the positional relationship between the processing lens 12-3 and the scanner 12 is always constant irrespective of the movement by the drive mechanism 13, and the metal plate 10 can be cut with the same laser beam diameter. This is because the processed lens 12-3
This is because the movement changes the distance between the reflecting mirror lens 14-2 and the collimating lens 14-1 and can always receive parallel light.

【0017】本形態では、制御装置が、駆動機構13に
よるスキャナ12の移動に際しては金属板10の送り速
度に応じてレーザ光の照射位置を、金属板10の反対端
に近づくにつれて金属板10の送り方向と同じ方向に徐
々にずらすようにスキャナ12を制御することにより、
金属板10をその幅方向の端部に直角に切断できるよう
にしている。
In this embodiment, when the scanner 12 is moved by the driving mechanism 13, the control device changes the irradiation position of the laser beam in accordance with the feed speed of the metal plate 10 as the position approaches the opposite end of the metal plate 10. By controlling the scanner 12 so as to be gradually shifted in the same direction as the feeding direction,
The metal plate 10 can be cut at a right angle to its widthwise end.

【0018】ところで、金属板10の送り速度は定速で
あることが望ましいが、速度変化が生じることは避けら
れない。そして、スキャン中にこのような速度変化が生
じると、上記のような制御だけでは金属板10をその幅
方向の端部に直角に切断することが困難になる。
It is desirable that the feeding speed of the metal plate 10 is constant, but it is inevitable that the speed changes. If such a speed change occurs during scanning, it becomes difficult to cut the metal plate 10 at right angles to its widthwise end by the above control alone.

【0019】本発明は、上記のような金属板10の送り
速度の変化を考慮して、スキャン中、すなわちスキャナ
12の移動に際しては金属板10の送り速度の変化量に
応じてレーザ光の照射位置を、金属板10の送り方向と
平行な方向に移動させるようにスキャナ12を制御する
ようにした点に特徴を有する。
According to the present invention, in consideration of the change in the feed speed of the metal plate 10 as described above, during scanning, that is, when the scanner 12 is moved, the irradiation of the laser beam is performed in accordance with the change in the feed speed of the metal plate 10. The feature is that the scanner 12 is controlled to move the position in a direction parallel to the feeding direction of the metal plate 10.

【0020】このために、金属板10の送り速度を検出
するための速度センサが設けられ、この速度検出信号は
制御装置にフィードバックされる。制御装置は、スキャ
ン中に金属板10の送り速度に変化があった場合には、
その変化量に応じてレーザ光の照射位置を移動させる。
例えば、金属板10の送り速度が上昇してしまった場合
には、レーザ光の照射位置を金属板10の送り方向と同
じ方向に移動させる。逆に、金属板10の送り速度が低
下してしまった場合には、レーザ光の照射位置を金属板
10の送り方向と反対方向に移動させる。このようにし
て、1回のスキャン中に送り速度に変化が生じたとして
も、金属板10をその幅方向の端部に直角に切断するこ
とができる。
For this purpose, a speed sensor for detecting the feed speed of the metal plate 10 is provided, and this speed detection signal is fed back to the control device. When the feed speed of the metal plate 10 changes during the scan, the control device
The irradiation position of the laser beam is moved according to the amount of change.
For example, when the feed speed of the metal plate 10 has increased, the irradiation position of the laser beam is moved in the same direction as the feed direction of the metal plate 10. Conversely, when the feed speed of the metal plate 10 has decreased, the irradiation position of the laser beam is moved in a direction opposite to the feed direction of the metal plate 10. In this way, even if the feed speed changes during one scan, the metal plate 10 can be cut at a right angle to the end in the width direction.

【0021】図4において、ガルバノスキャナによるス
キャナ12は、通常、入射するレーザ光を幅数(cm)
程度の線状エリア内をスキャンできる能力を有してい
る。これを利用して、スキャナ12は、移動している金
属板10に対し、金属板10の幅方向に関してみかけ
上、角度θをなすように斜めにレーザ光を照射するよう
に制御される。その結果、金属板10はその端部に直角
に切断されることとなる。このためには、みかけ上の角
度θは、金属板10の幅にもよるが、金属板10の送り
速度に応じて、これを幅方向にスキャンしていった時の
反対端における送り方向のずれ量dが上記の数(cm)
の範囲内に入るようにする必要がある。言い換えれば、
金属板10の送り速度及び金属板10の幅に応じて制御
装置によりみかけ上の角度θが調整される。加えて、ス
キャン中に送り速度の変化があった場合には、制御装置
はその変化量に応じて上記の角度θを調整する。
In FIG. 4, a scanner 12 using a galvano scanner usually converts incident laser light into a beam having a width (cm).
It has the ability to scan in a linear area of a degree. Utilizing this, the scanner 12 is controlled so as to irradiate the moving metal plate 10 with a laser beam obliquely at an angle θ apparently in the width direction of the metal plate 10. As a result, the metal plate 10 is cut at a right angle to its end. For this purpose, the apparent angle θ depends on the width of the metal plate 10, but according to the feed speed of the metal plate 10, the apparent angle θ in the feed direction at the opposite end when scanning the metal plate 10 in the width direction is determined. The displacement d is the above number (cm)
Must be within the range. In other words,
The apparent angle θ is adjusted by the control device according to the feed speed of the metal plate 10 and the width of the metal plate 10. In addition, if there is a change in the feed speed during scanning, the control device adjusts the angle θ according to the amount of change.

【0022】上記のような制御は、スキャン中のみなら
ず、加工を開始する際の金属板10の走行開始直後及び
加工を終了する際の走行停止直前にも適用される。例え
ば、加工を開始する際には、金属板10の送り速度は徐
々に上昇してある速度に達して定速走行に移る。このよ
うな送り速度の上昇時には、送り速度に応じて角度θを
徐々に増加させるようにする。逆に、加工を終了する際
の送り速度の減少時には、送り速度に応じて角度θを徐
々に減少させるようにする。勿論、このような送り速度
の上昇あるいは減少時においてスキャン中に送り速度が
変動した場合には、上記と同様の制御が行われる。
The above-described control is applied not only during scanning, but also immediately after starting movement of the metal plate 10 when starting machining and immediately before stopping traveling when finishing machining. For example, when processing is started, the feed speed of the metal plate 10 gradually increases to reach a certain speed, and the operation shifts to constant speed traveling. When the feed speed increases, the angle θ is gradually increased according to the feed speed. Conversely, when the feed speed is reduced at the end of machining, the angle θ is gradually reduced according to the feed speed. Of course, if the feed speed fluctuates during scanning when the feed speed increases or decreases, the same control as described above is performed.

【0023】ガルバノスキャナは、通常、幅400(m
m)程度を持つ金属板10に対して位置決め精度±0.
1(mm)のレーザ光照射を行うことができる。一方、
レーザ光のスポット径を0.4(mm)とし、金属板1
0の切断サイズを100(mm)とした場合、その性能
を落とすことなくスキャナ12を移動させるとすると、
駆動機構13による移動速度は2(m/sec)とな
る。そして、このような駆動機構13によれば、数十
(m/min)程度の金属板10の送り速度に対応でき
る。このような駆動機構13は、例えばリニアモータを
利用した直線運動機構や、ガイド機構15の全長にわた
って無端式ベルトを設けて駆動機構13を走行可能に
し、無端式ベルトを固定部材に配置したサーボモータで
駆動する機構を使用できる。また、ガイド機構15に沿
った運動を円滑にするためには、エアスライド機構を組
合せるのが好ましい。
A galvano scanner usually has a width of 400 (m).
m) of the positioning accuracy ± 0.
1 (mm) laser light irradiation can be performed. on the other hand,
The spot diameter of the laser beam is set to 0.4 (mm), and the metal plate 1
Assuming that the cutting size of 0 is 100 (mm) and the scanner 12 is moved without deteriorating its performance,
The moving speed by the drive mechanism 13 is 2 (m / sec). According to such a driving mechanism 13, it is possible to cope with the feeding speed of the metal plate 10 of about several tens (m / min). Such a drive mechanism 13 is, for example, a linear motion mechanism using a linear motor or an endless belt provided over the entire length of the guide mechanism 15 so that the drive mechanism 13 can run, and a servo motor in which the endless belt is disposed on a fixed member. Can be used. Further, in order to make the movement along the guide mechanism 15 smooth, it is preferable to combine an air slide mechanism.

【0024】一方、スキャナ12は、金属板10からの
高さ400(mm)、図1に示す金属板10の送り方向
に平行な方向の光路差約12(mm)の場合、金属板1
0に照射されるレーザ光のスポットは±7(mm)の焦
点深度に入る。
On the other hand, when the scanner 12 has a height 400 (mm) from the metal plate 10 and an optical path difference of about 12 (mm) in the direction parallel to the feeding direction of the metal plate 10 shown in FIG.
The spot of the laser beam irradiated to 0 enters a focal depth of ± 7 (mm).

【0025】なお、上記の説明では、スキャナ12の金
属板10の一端から反対端に向かう移動により金属板1
0を切断する場合について説明したが、この後の反対端
から一端に向かうスキャナ12の移動により切断が行わ
れることは言うまでも無い。そして、この場合、スキャ
ナ12は、金属板10の一端に近づくにつれて金属板1
0の送り方向と同じ方向に徐々に照射位置をずらすよう
にされる。また、ある切断から次の切断までの間のレー
ザ光は、光学経路14中に回動ミラーを設けてそらせる
ことにより捨て打ちするか、レーザ発振器11の発振を
停止させるようにする。
In the above description, the movement of the scanner 12 from one end to the opposite end of the metal plate 10 causes the metal plate 1 to move.
Although the case of cutting at 0 has been described, it goes without saying that the cutting is performed by the movement of the scanner 12 from the opposite end to one end thereafter. In this case, the scanner 12 moves the metal plate 1 closer to one end of the metal plate 10.
The irradiation position is gradually shifted in the same direction as the zero feed direction. In addition, the laser light from one cutting to the next cutting is discarded by providing a turning mirror in the optical path 14 and deflected, or the laser oscillator 11 stops oscillation.

【0026】本発明は、金属板に限らず、樹脂板や比較
的固い紙板のような薄板にも適用可能である。
The present invention can be applied not only to a metal plate but also to a thin plate such as a resin plate or a relatively hard paper plate.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、ある幅を持ちある速度で送られる加工対象物にレー
ザ光を照射することにより、加工対象物を一旦停止させ
ることなく幅方向に加工することができるので、加工速
度の向上を図ることができ、レーザ光による加工は溶融
なので加工くずの発生を抑制することができる。また、
加工中に加工対象物の送り速度が変化しても、加工対象
物の縁部に直角な加工を行うことができる。
As described above, according to the present invention, an object to be processed having a certain width and fed at a certain speed is irradiated with a laser beam so that the object to be processed is not temporarily stopped in the width direction. The processing speed can be improved, and the processing by the laser beam is molten, so that the generation of processing chips can be suppressed. Also,
Even if the feed speed of the processing object changes during the processing, processing perpendicular to the edge of the processing object can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態を説明するための概略構成
を示した図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration for describing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のスキャナを説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the scanner of FIG. 1;

【図3】図1の一部を拡大して示した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a part of FIG. 1;

【図4】図1のスキャナによるスキャンを説明するため
の図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining scanning by the scanner of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 金属板 11 レーザ発振器 12 スキャナ 12−1 ガルバノミラー 12−2 モータ 12−3 加工レンズ 13 駆動機構 14 光学経路 14−1 コリメーションレンズ 14−2 反射ミラー 15 ガイド機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Metal plate 11 Laser oscillator 12 Scanner 12-1 Galvano mirror 12-2 Motor 12-3 Processing lens 13 Drive mechanism 14 Optical path 14-1 Collimation lens 14-2 Reflection mirror 15 Guide mechanism

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ある幅を持ちこの幅方向に直角な方向に
送られる加工対象物にレーザ光を照射して加工を行うレ
ーザ加工方法において、 レーザ発振器で発生されるレーザ光を、前記加工対象物
の幅方向の一端側から反対端側に向けて移動させながら
照射し、この移動に際しては前記レーザ光の照射位置
を、前記加工対象物の送り方向と平行な方向に移動させ
ることにより、前記加工対象物をその幅方向に加工する
ことを特徴とするレーザ加工方法。
1. A laser processing method for performing processing by irradiating a laser beam to a processing object having a certain width and sent in a direction perpendicular to the width direction, wherein the laser light generated by a laser oscillator is applied to the processing object. The irradiation is performed while moving from one end side to the opposite end side in the width direction of the object, and in this movement, the irradiation position of the laser beam is moved in a direction parallel to the feed direction of the object to be processed. A laser processing method for processing an object to be processed in its width direction.
【請求項2】 請求項1記載のレーザ加工方法におい
て、前記移動に際し、前記加工対象物の送り速度の変化
量をも考慮して前記レーザ光の照射位置を、前記加工対
象物の送り方向と平行な方向に移動させることを特徴と
するレーザ加工方法。
2. The laser processing method according to claim 1, wherein, at the time of the movement, the irradiation position of the laser light is determined in consideration of an amount of change in a feed speed of the processing object, in accordance with a feeding direction of the processing object. A laser processing method characterized by moving in a parallel direction.
【請求項3】 ある幅を持ちこの幅に直角な方向に送ら
れる加工対象物にレーザ光を照射して加工を行うレーザ
加工装置において、 レーザ光を発生するためのレーザ発振器と、 前記レーザ光を前記加工対象物の幅方向の一端側から反
対端側に向けて移動させながら照射すると共に、この移
動に際しては前記レーザ光の照射位置を、前記加工対象
物の送り方向と平行な方向に移動させるための照射手段
と、 前記レーザ発振器からのレーザ光を前記照射手段に導く
ための光学系とを備え、 前記加工対象物をその幅方向に加工することを特徴とす
るレーザ加工装置。
3. A laser processing apparatus for performing processing by irradiating a laser beam onto a processing object having a certain width and sent in a direction perpendicular to the width, a laser oscillator for generating laser light, and the laser light. Is irradiated while moving from one end side to the opposite end side in the width direction of the processing object, and at this time, the irradiation position of the laser beam is moved in a direction parallel to the feed direction of the processing object. A laser processing apparatus, comprising: an irradiation unit for causing the laser beam from the laser oscillator to be guided to the irradiation unit; and processing the object to be processed in a width direction thereof.
【請求項4】 請求項3記載のレーザ加工装置におい
て、前記照射手段は、前記レーザ光を前記加工対象物の
送り方向と平行な方向に振らせるためのスキャナと、該
スキャナを前記加工対象物の幅方向の一端側から反対端
側に向けて移動させる駆動機構とを含むことを特徴とす
るレーザ加工装置。
4. A laser processing apparatus according to claim 3, wherein said irradiating means includes a scanner for oscillating said laser beam in a direction parallel to a feed direction of said object, and said scanner is provided with said scanner. And a driving mechanism for moving from one end side to the opposite end side in the width direction of the laser processing apparatus.
【請求項5】 請求項4記載のレーザ加工装置におい
て、更に、前記加工対象物の送り速度を検出するための
速度センサと、該速度センサの検出信号を受け、前記ス
キャナと前記駆動機構とを制御するための制御装置とを
備え、 前記制御装置は、前記駆動機構による前記スキャナの移
動に際し、前記加工対象物の送り速度の変化量をも考慮
して前記レーザ光の照射位置を、前記加工対象物の送り
方向と平行な方向に移動させるように前記スキャナを制
御することを特徴とするレーザ加工装置。
5. The laser processing apparatus according to claim 4, further comprising: a speed sensor for detecting a feed speed of the workpiece, receiving the detection signal of the speed sensor, and connecting the scanner and the driving mechanism. A control device for controlling, the control device, when moving the scanner by the drive mechanism, the irradiation position of the laser light in consideration of the amount of change in the feed speed of the processing target, the processing position, A laser processing apparatus, wherein the scanner is controlled so as to move the object in a direction parallel to a feeding direction of the object.
【請求項6】 請求項5記載のレーザ加工装置におい
て、前記駆動機構には更に、前記スキャナのレーザ光入
射側に、該レーザ光を前記加工対象物上に焦点を結ぶよ
うに集光させる集光レンズを搭載したことを特徴とする
レーザ加工装置。
6. The laser processing apparatus according to claim 5, wherein the driving mechanism further includes a laser beam incident side of the scanner for condensing the laser beam so that the laser beam is focused on the workpiece. A laser processing device equipped with an optical lens.
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