JP2002163870A - Magnetic disc device and head supporting mechanism - Google Patents

Magnetic disc device and head supporting mechanism

Info

Publication number
JP2002163870A
JP2002163870A JP2001104088A JP2001104088A JP2002163870A JP 2002163870 A JP2002163870 A JP 2002163870A JP 2001104088 A JP2001104088 A JP 2001104088A JP 2001104088 A JP2001104088 A JP 2001104088A JP 2002163870 A JP2002163870 A JP 2002163870A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
actuator
magnetic disk
head
less
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001104088A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3834483B2 (en
Inventor
治彦 ▲吉▼川
Haruhiko Yoshikawa
Yasuo Amano
泰雄 天野
Shigeo Nakamura
滋男 中村
Osamu Narisawa
修 成澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2001104088A priority Critical patent/JP3834483B2/en
Publication of JP2002163870A publication Critical patent/JP2002163870A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3834483B2 publication Critical patent/JP3834483B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moving Of Heads (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator for setting a position possible to form with low driving pressure and without producing vertical vibration accompanied with the movement of a head supporting component and dust and using a complicated assembly process and improve precision for setting a head position of a revolving disc-typed information storing device and, and highten recording density. SOLUTION: A second actuator 100 that has two polarizing areas separated in a non-polarizing area and plate type structure laminating piezoelectric plates in a thickness direction of a polarizing direction and an electric field direction that is impressed is fixed like bridging a surface of a suspension 200 and a surface of a suspension supporting component 230 supporting the suspension and it is coated with a resin coating 101.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
および磁気ディスク装置用ヘッド支持機構に係り、特
に、情報の書き込みと読み出しを行うヘッドを情報が記
憶される磁気円板上の所定の位置に高精度に位置決めす
るためのアクチュエータのコーティングに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive and a head support mechanism for the magnetic disk drive, and more particularly, to a head for writing and reading information at a predetermined position on a magnetic disk where information is stored. The present invention relates to coating of an actuator for high-precision positioning.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、磁気ヘッドをディスク上の所望の
位置に移動するためのアクチュエータとしては、ボイス
コイルモータが用いられてきた。しかし、この方法で
は、位置決め精度の向上を図るには限界がある。そのた
め、より高精度な位置決め動作を行うための方法とし
て、ボイスコイルモータと磁気ヘッドとの間に、磁気ヘ
ッドの位置を微調整するための第2のアクチェエータを
配置する構成が提案されている。
2. Description of the Related Art Heretofore, a voice coil motor has been used as an actuator for moving a magnetic head to a desired position on a disk. However, in this method, there is a limit in improving the positioning accuracy. Therefore, as a method for performing the positioning operation with higher accuracy, a configuration in which a second actuator for finely adjusting the position of the magnetic head is arranged between the voice coil motor and the magnetic head has been proposed.

【0003】例えば特開平12−113615号公報に
記載された第2のアクチェエータの構造は、情報の書き
込みと読み出しを行う磁気ヘッドと、情報が記憶される
磁気円板と、前記ヘッドを支持する弾性部材と、前記弾
性部材を支持する固定部材と、前記磁気ヘッドを磁気円
板上の所定の位置に移動させるための粗動用第1のアク
チュエータと、前記第1のアクチュエータと前記磁気ヘ
ッドとの間に配置された微動用第2のアクチュエータと
を有する磁気ディスク装置において、前記第2のアクチ
ュエータが、上面と下面に電極を有し内部に2個以上の
分極領域を有する一枚または積層された複数枚の圧電性
平板から構成される板状構造体であり、前記固定部材と
前記弾性部材の上面同士もしくは下面同士を前記板状構
造体である第2のアクチュエータの上面もしくは下面を
用いて架橋するように配置されるようにしたものであ
る。
For example, the structure of a second actuator described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 12-113615 has a magnetic head for writing and reading information, a magnetic disk for storing information, and an elastic disk for supporting the head. A member, a fixing member supporting the elastic member, a first actuator for coarse movement for moving the magnetic head to a predetermined position on a magnetic disk, and a portion between the first actuator and the magnetic head. A second actuator for fine movement arranged at a position where the second actuator has electrodes on the upper surface and the lower surface and has one or two or more polarized regions inside, A plate-like structure composed of a plurality of piezoelectric flat plates, wherein the upper surface or the lower surface of the fixed member and the elastic member is the second plate-like structure. In which were arranged so as to bridge with an upper surface or lower surface of the actuator.

【0004】また、前記第2のアクチュエータが、圧電
性を有する材料から構成され上面と下面に電極を有する
一枚のまたは積層された複数枚の圧電性平板からなる板
状構造体であって、前記上面と下面にある電極のうちの
少なくとも一方の面の電極は2個以上に分離されてお
り、前記圧電性平板は、分極されていない領域と、前記
分極されていない領域の一部によって分離され前記圧電
性平板の厚さ方向に分極された2個以上の分極領域とを
内部に有し、前記圧電性平板内の2個以上の分極領域
に、前記圧電性平板の上面と下面にある前記電極を用い
て前記圧電性平板の厚さ方向に電界を印加することによ
って、前記圧電性平板が、前記圧電性平板の面内方向に
変位するようにしたものである。
Further, the second actuator is a plate-like structure composed of one or a plurality of laminated piezoelectric flat plates made of a material having piezoelectricity and having electrodes on upper and lower surfaces, The electrodes on at least one of the electrodes on the upper surface and the lower surface are separated into two or more, and the piezoelectric flat plate is separated by a non-polarized region and a part of the non-polarized region. The piezoelectric plate has two or more polarization regions polarized in the thickness direction of the piezoelectric plate inside, and the two or more polarization regions in the piezoelectric plate are on the upper surface and the lower surface of the piezoelectric plate. By applying an electric field in the thickness direction of the piezoelectric flat plate using the electrodes, the piezoelectric flat plate is displaced in the in-plane direction of the piezoelectric flat plate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術におけ
る第2のアクチェエータは、圧電素子であるPZT等の
セラミックスで出来ているため脆く、機械的強度に問題
が生じていた。またこのアクチュエータは電極を付ける
ためAu等でメタライズされており、電圧を印加して素
子を伸縮させると、PZTやAuの微細な粒子が発塵す
る。そして、その粒子が磁気ヘッドやディスク上に付着
したり、装置内を汚染し、情報の書き込みと読み出し時
の信頼性低下の原因となる問題点があった。
The second actuator in the above-mentioned prior art is fragile because it is made of a ceramic such as PZT, which is a piezoelectric element, and has a problem in mechanical strength. In addition, this actuator is metallized with Au or the like to attach electrodes, and when a voltage is applied to expand and contract the element, fine particles of PZT and Au are generated. Then, there is a problem that the particles adhere to a magnetic head or a disk or contaminate the inside of the apparatus, which causes a reduction in reliability in writing and reading of information.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記問題点を改善するた
めに、本発明者らが実験検討の結果、以下の手段により
解決できることが判明した。即ち、圧電素子からなる第
2のアクチュエータを有する磁気ディスク装置におい
て、第2のアクチュエータの表面を、液状の接着剤を塗
布し硬化させて樹脂コーティングすることによって、電
圧を印加時の素子が伸縮する際にアクチュエータの材質
であるPZTやメタライズされているAuの微細な粒子
が発塵するのを防止できることを見出した。
As a result of an experimental study conducted by the present inventors to solve the above problems, it has been found that the problems can be solved by the following means. That is, in a magnetic disk drive having a second actuator composed of a piezoelectric element, a liquid adhesive is applied to the surface of the second actuator, cured and resin-coated, whereby the element expands and contracts when a voltage is applied. At this time, they have found that fine particles of PZT or metallized Au as a material of the actuator can be prevented from generating dust.

【0007】以下、本発明について詳細に説明する。樹
脂コーティングに用いる液状の接着剤は、ディスペンサ
ーやインクジェットなどの手段によって、膜厚を10マ
イクロメートル以下で均一塗布するため、樹脂の硬化前
の粘度が1000mPas以下の低粘度樹脂が望まし
い。塗布用の樹脂は、光硬化(UV、可視光)タイプで
も可能であるが、熱硬化の場合は、圧電素子の耐熱温度
以下の温度で硬化するタイプであることが必要である。
圧電素子の耐熱温度以下の温度で硬化するタイプの場
合、熱、光硬化併用タイプでも可能である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The liquid adhesive used for the resin coating is preferably a low-viscosity resin having a viscosity before curing of 1000 mPas or less in order to uniformly apply a film thickness of 10 μm or less by means such as a dispenser or an ink jet. The resin for application may be a photo-curing (UV, visible light) type, but in the case of thermal curing, it must be a type that cures at a temperature lower than the heat resistance temperature of the piezoelectric element.
In the case of a type that cures at a temperature lower than the heat resistance temperature of the piezoelectric element, a combination of heat and light curing is also possible.

【0008】また、塗布用の樹脂は、硬化後樹脂から揮
発性の有機分子がアウトガスとして発生すると、磁気ヘ
ッドやディスク上に付着したり、装置内を汚染し、情報
の書き込みと読み出し時の信頼性低下の原因となるた
め、硬化後の樹脂のアウトガスが少ない接着剤でなくて
はならない。また、メタライズされたAuに対しての接
着強度が高く、電圧を印加した圧電素子の伸縮時にクラ
ック等を生じないように、硬化後の樹脂が柔軟性のあ
る、低弾性率、高伸び率、低硬度の接着剤でなければな
らない。
Further, when volatile organic molecules are generated as outgas from the cured resin, it adheres to a magnetic head or a disk or contaminates the inside of the apparatus, and the reliability of writing and reading of information is reduced. The adhesive must be a resin that hardly outgases after curing because it causes deterioration of the properties. Further, the cured resin is flexible, has a low elastic modulus, a high elongation rate, and has a high adhesive strength to the metallized Au and does not cause cracks or the like when the piezoelectric element to which a voltage is applied expands and contracts. It must be a low hardness adhesive.

【0009】このような特性を満たす樹脂を本発明者ら
が検討した結果、低粘度エポキシ樹脂系接着剤が最適で
あることを見出した。低粘度エポキシ樹脂系接着剤は、
含有量20%未満のエポキシオリゴマーと含有量80%
以上のエポキシモノマーからなり、少なくとも熱または
光で反応する重合開始剤、触媒、添加剤を含んでなるも
のである。熱または光で反応する重合開始剤及び触媒
は、アミン系、酸無水物系、カチオン系のいずれでも可
能である。また、添加剤は、接着性やその他の特性に悪
影響を及ぼさない範囲で添加可能であり、被着面の濡れ
性を改善するための界面活性剤や、硬化物の物性を改善
するためのフィラー等である。
As a result of investigations by the present inventors on resins satisfying such characteristics, it has been found that a low-viscosity epoxy resin-based adhesive is most suitable. Low viscosity epoxy resin adhesive
Epoxy oligomer having a content of less than 20% and a content of 80%
It comprises the above-mentioned epoxy monomer and contains at least a polymerization initiator, a catalyst and an additive which react by heat or light. The polymerization initiator and the catalyst which react by heat or light may be any of an amine type, an acid anhydride type and a cationic type. Additives can be added in a range that does not adversely affect the adhesion and other properties, and a surfactant for improving the wettability of the adhered surface and a filler for improving the physical properties of the cured product. And so on.

【0010】このような低粘度エポキシ樹脂系接着剤と
しては、例えば協立化学産業製ワールドロックXOC−
11CKF−3、XOC−11CKF−3Hなどがあ
る。しかし、これらに限定されるものではなく、含有量
20%未満のエポキシオリゴマーと含有量80%以上の
エポキシモノマー、更に、熱または光で反応する重合開
始剤、触媒、添加剤から適宜調整してもよい。
[0010] As such a low-viscosity epoxy resin-based adhesive, for example, World Rock XOC- manufactured by Kyoritsu Chemical Industry Co., Ltd.
11CKF-3 and XOC-11CKF-3H. However, the present invention is not limited thereto, and may be appropriately adjusted from an epoxy oligomer having a content of less than 20% and an epoxy monomer having a content of 80% or more, and a polymerization initiator, a catalyst, and an additive which react with heat or light. Is also good.

【0011】一方、低粘度エポキシ樹脂系接着剤以外の
接着剤は、本発明の樹脂としては不適である。例えば、
一般的な低粘度のコーティング剤は溶媒を含有していた
り、アクリル系の樹脂であるため、硬化後樹脂からアウ
トガスが多量に発生し好ましくない。また、一般的な、
エポキシ系の樹脂は、エポキシオリゴマーの含有量が多
く、高粘度であり、膜厚を10マイクロメートル以下で
均一塗布することが難しい。また、硬化後の樹脂の柔軟
性がなく硬いため、電圧を印加して圧電素子の伸縮時に
クラック等を生じ、発塵の原因となり好ましくない。
On the other hand, adhesives other than low-viscosity epoxy resin adhesives are not suitable as the resin of the present invention. For example,
Since a general low-viscosity coating agent contains a solvent or is an acrylic resin, a large amount of outgas is generated from the cured resin, which is not preferable. Also, in general,
Epoxy-based resins have a high content of epoxy oligomers, have high viscosities, and are difficult to apply uniformly with a film thickness of 10 micrometers or less. In addition, since the cured resin has no flexibility and is hard, cracks and the like occur when the voltage is applied to expand and contract the piezoelectric element, which is not preferable because it causes dust.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
図面を用いて説明する。図1は本発明の実施例である磁
気ディスク装置の構造を示す上面図である。本実施例で
は、磁性膜を表面に形成した情報が記憶される磁気記録
円板310と、磁気記録円板310を回転させるための
スピンドルモータ300とを備えている。更に、磁気記
録円板310の情報の読み出しと書き込みを行う電磁変
換素子からなる磁気ヘッド(図示せず)を備え、磁気円
板上に一定の間隔で浮上させるためのスライダ(図示せ
ず)とを備えている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
This will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a top view showing the structure of a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention. In this embodiment, a magnetic recording disk 310 in which information having a magnetic film formed on the surface is stored, and a spindle motor 300 for rotating the magnetic recording disk 310 are provided. Further, a magnetic head (not shown) comprising an electromagnetic transducer for reading and writing information from and on the magnetic recording disk 310 is provided, and a slider (not shown) for floating at a predetermined interval on the magnetic disk is provided. It has.

【0013】前記スライダは、磁気円板に対する姿勢を
受動的に補正するジンバル210に設けられている。ジ
ンバル210は、磁気ヘッド及びスライダを弾性的に支
持する弾性部材であるサスペンション200の一端側に
接続されている。サスペンション200の他端側は、固
定部材であるサスペンション支持部材230に連接され
ている。サスペンション支持部材230には、磁気ヘッ
ドを磁気円板上の所定の位置に移動させ、粗く位置決め
するために、第1のアクチュエータが設けられている。
The slider is provided on a gimbal 210 for passively correcting the attitude of the slider relative to the magnetic disk. The gimbal 210 is connected to one end of a suspension 200 that is an elastic member that elastically supports the magnetic head and the slider. The other end of the suspension 200 is connected to a suspension support member 230 that is a fixed member. The suspension support member 230 is provided with a first actuator for moving the magnetic head to a predetermined position on the magnetic disk and roughly positioning the magnetic head.

【0014】この第1のアクチュエータは、ボイスコイ
ルモータ250と、ボイスコイルモータを構成する磁石
251と、コイル252と、ボイスコイルモータで磁気
ヘッドを位置決めするときの回転中心となるサスペンシ
ョン支持部材回転軸241と、軸受け240とからな
る。また、ボイスコイルモータと磁気ヘッドの間には、
高精度に位置決めするために微動用第2のアクチュエー
タ100が設けてあり、これをコーティング用樹脂10
1で表面をコーティングする。
The first actuator includes a voice coil motor 250, a magnet 251 constituting the voice coil motor, a coil 252, and a suspension support member rotating shaft serving as a center of rotation when positioning the magnetic head by the voice coil motor. 241 and a bearing 240. Also, between the voice coil motor and the magnetic head,
A second actuator 100 for fine movement is provided for high-precision positioning.
1. Coat the surface.

【0015】図2(a)は、本発明の実施例のサスペン
ション支持部材230から磁気ヘッドまでの磁気ヘッド
支持機構全体をさらに詳しく示した上面図である。図2
(b)は図2(a)で示した磁気ヘッド支持機構全体の
A断面を示す断面図である。第2のアクチュエータ10
0は、後述する圧電性平板を積層した板状構造体になっ
ている。本実施例では、第2のアクチュエータ100の
下面を用いて、サスペンション支持部材230とサスペ
ンション200の上面同士を架橋するように配置してい
る。第2のアクチュエータ100の下面とサスペンショ
ン200の上面とは、接着剤層501で固定している。
同様に、第2のアクチュエータ100の下面とサスペン
ション支持部材230の上面とは接着剤層502で固定
されている。
FIG. 2A is a top view showing the entire magnetic head supporting mechanism from the suspension supporting member 230 to the magnetic head according to the embodiment of the present invention in more detail. FIG.
FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating a cross section A of the entire magnetic head support mechanism illustrated in FIG. Second actuator 10
Reference numeral 0 denotes a plate-like structure in which piezoelectric flat plates described later are stacked. In this embodiment, the suspension support member 230 and the upper surface of the suspension 200 are arranged so as to bridge each other by using the lower surface of the second actuator 100. The lower surface of the second actuator 100 and the upper surface of the suspension 200 are fixed with an adhesive layer 501.
Similarly, the lower surface of the second actuator 100 and the upper surface of the suspension support member 230 are fixed by an adhesive layer 502.

【0016】本実施例において、上記した接着はエポキ
シ系の接着剤を用いている。なお、ここでは、サスペン
ション200に対して前記したスライダ220が固定さ
れている側を下面、その反対側を上面として定義してい
る。第2のアクチュエータ100の下面には、第2のア
クチュエータに電力を供給するための接続用電極11
1、112が形成されており、サスペンション支持部材
230上面に形成された引き出し電極261、262と
はんだを用いて電気的に接続される。はんだによる接続
は、第2のアクチュエータとサスペンション保持アーム
との機械的接続にも寄与している。
In the present embodiment, the above-mentioned bonding uses an epoxy-based adhesive. Here, the side of the suspension 200 to which the slider 220 is fixed is defined as the lower surface, and the opposite side is defined as the upper surface. On the lower surface of the second actuator 100, a connection electrode 11 for supplying power to the second actuator is provided.
1 and 112 are formed, and are electrically connected to lead electrodes 261 and 262 formed on the upper surface of the suspension support member 230 by using solder. The connection by the solder also contributes to the mechanical connection between the second actuator and the suspension holding arm.

【0017】さらに、第2のアクチュエータ100の表
面をコーティング樹脂101でコーティングする。コー
ティング樹脂は、低粘度エポキシ樹脂系接着剤をディス
ペンサー、インクジェット等の方法で10マイクロメー
トル以下の膜厚で均一に塗布し、光照射(UV、可視
光)または、オーブン炉やホットプレートなどで加熱す
ることによって硬化し形成する。なお、熱、光硬化併用
タイプでも可能である。
Further, the surface of the second actuator 100 is coated with a coating resin 101. As the coating resin, a low-viscosity epoxy resin-based adhesive is evenly applied to a thickness of 10 μm or less by a method such as a dispenser or ink jet, and is heated by light irradiation (UV, visible light) or an oven furnace or a hot plate. To form and harden. In addition, a combination of heat and light curing is also possible.

【0018】図3(a)は、本実施例に用いる第2のア
クチュエータ100の詳細な構造を示す上面図である。
図3(b)は、図3(a)で示した第2のアクチュエー
タのB断面を示す断面図である。本実施例の第2のアク
チュエータは、圧電性を有する材料で形成された板状構
造の圧電性平板105となっている。圧電性平板105
は、上面に2個の電極118a、118bを下面に2個
の電極118c、118dを備えている。なお、ここで
は、圧電性平板の厚さ方向で図3(b)の左側を上面
側、右側を下面側とする。圧電性平板105は、電極1
18aと118cに挟まれた領域に分極された領域60
1を、また電極118bと118dに挟まれた領域に分
極された領域602を有している。すなわち、一枚の圧
電性平板の中に2個の分極領域を有している。このよう
に、本実施例の第2のアクチュエータは、上面と下面に
電極を備え、内部に2個の分極領域を有する圧電性平板
105からなる板状構造体となっている。
FIG. 3A is a top view showing the detailed structure of the second actuator 100 used in the present embodiment.
FIG. 3B is a cross-sectional view illustrating a cross section B of the second actuator illustrated in FIG. The second actuator of this embodiment is a piezoelectric flat plate 105 having a plate-like structure made of a material having piezoelectricity. Piezoelectric flat plate 105
Has two electrodes 118a and 118b on the upper surface and two electrodes 118c and 118d on the lower surface. Here, in the thickness direction of the piezoelectric flat plate, the left side in FIG. 3B is the upper surface side, and the right side is the lower surface side. The piezoelectric flat plate 105 has the electrode 1
Region 60 polarized in the region between 18a and 118c
1 and a region 602 polarized in a region sandwiched between the electrodes 118b and 118d. That is, two polarization regions are provided in one piezoelectric flat plate. As described above, the second actuator according to the present embodiment is a plate-shaped structure including the piezoelectric flat plate 105 having electrodes on the upper surface and the lower surface and having two polarization regions therein.

【0019】次に、本実施例における第2のアクチュエ
ータの動作について説明する。図4は、第2のアクチュ
エータを構成する圧電性平板内の分極の向きと、本アク
チュエータを駆動するときの電界の状態の一例を示す断
面図である。圧電性平板105の2個の分極領域の分極
の向きは、圧電性平板の厚さ方向で、かつ互いに反対向
きである。このような分極状態にある圧電性平板に、図
4に示すように電界を印加する。すなわち、分極領域6
01には、分極の向きと電界の向きが同じ向きになるよ
うに電界を印加し、分極領域602には、分極の向きと
電界の向きが反対向きになるように電界を印加する。
Next, the operation of the second actuator in this embodiment will be described. FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the direction of polarization in the piezoelectric flat plate constituting the second actuator and the state of an electric field when the present actuator is driven. The polarization directions of the two polarization regions of the piezoelectric flat plate 105 are in the thickness direction of the piezoelectric flat plate and opposite to each other. An electric field is applied to the piezoelectric flat plate in such a polarized state as shown in FIG. That is, the polarization region 6
01, an electric field is applied so that the direction of polarization is the same as the direction of the electric field, and an electric field is applied to the polarization region 602 such that the direction of polarization is opposite to the direction of the electric field.

【0020】図5(a)は、このような電界を印加した
ときの、第2のアクチュエータ100の面内(位置決め
方向)の変位の様子を示す上面図である。図5(b)
は、図5(a)で示した第2のアクチュエータの厚さ方
向(アクチュエータ上面に対し垂直方向)の変位を示す
C断面図である。分極領域601は、分極の向きと電界
の向きが同じなので、面内方向には縮み厚さ方向には伸
びるように変位する。一方、分極領域602は、分極の
向きと電界の向きが反対なので、面内方向には伸び厚さ
方向には縮むように変位する。
FIG. 5A is a top view showing the state of displacement of the second actuator 100 in the plane (positioning direction) when such an electric field is applied. FIG. 5 (b)
FIG. 6C is a sectional view illustrating a displacement of the second actuator illustrated in FIG. 5A in a thickness direction (a direction perpendicular to the upper surface of the actuator). Since the direction of polarization and the direction of the electric field are the same, the polarization region 601 is displaced so as to contract in the in-plane direction and expand in the thickness direction. On the other hand, the polarization region 602 is displaced so as to extend in the in-plane direction and contract in the thickness direction since the polarization direction and the electric field direction are opposite.

【0021】従って、第2のアクチュエータに上記した
電界を印加することによって、第2のアクチュエータ1
00に固定されたサスペンション200を、サスペンシ
ョン支持部材230に対し面内に(位置決め方向に)変
位させることができる。印加する電界の強さと向きを変
えることにより、サスペンション200の先端に固定さ
れた磁気ヘッドを高精度に位置決め方向に微動させるこ
とが可能となる。なお、このとき第2のアクチュエータ
100は、図5(b)に示すように、アクチュエータの
厚さ方向へも変位している。
Therefore, by applying the above-described electric field to the second actuator, the second actuator 1
The suspension 200 fixed to 00 can be displaced in-plane (in the positioning direction) with respect to the suspension support member 230. By changing the intensity and direction of the applied electric field, the magnetic head fixed to the tip of the suspension 200 can be finely moved in the positioning direction with high accuracy. At this time, as shown in FIG. 5B, the second actuator 100 is also displaced in the thickness direction of the actuator.

【0022】本実施例の磁気ディスク装置は、サスペン
ションとサスペンション支持部材の間に第2のアクチュ
エータを固定するだけでよいので、生産性の高い磁気デ
ィスク装置とすることができ、信頼性が高いだけでな
く、磁気ヘッドの読み出しや、書き込みが安定した磁気
ディスク装置とすることもできる。
In the magnetic disk drive of this embodiment, it is only necessary to fix the second actuator between the suspension and the suspension support member, so that a magnetic disk drive with high productivity can be obtained, and the reliability is high. Instead, a magnetic disk device in which reading and writing of the magnetic head are stable can be achieved.

【0023】また、本実施例では圧電性平板を積層する
ことで一層当たりの圧電性平板の厚さを薄くできるの
で、圧電性平板に印加される電界の強さ(第2のアクチ
ュエータに印加される電圧/圧電性平板の厚さ)を大き
くすることができる。第2のアクチュエータの変位は上
記した電界の強さに比例するので、低い電圧で大きな変
位を得ることができる。さらに、第2のアクチュエータ
は樹脂コーティングされているため、電圧印加時の素子
が伸縮する際にアクチュエータの材質であるPZTやメ
タライズされているAuの微細な粒子が発塵するのを防
止できる。実際に発塵をパーティクルカウンターで計測
すると、装置内に1マイクロメートル以上の粒子は検出
されず、情報の書き込み/読み出しエラーは発生しなか
った。
In this embodiment, since the thickness of one piezoelectric flat plate can be reduced by laminating the piezoelectric flat plates, the strength of the electric field applied to the piezoelectric flat plate (applied to the second actuator) can be reduced. Voltage / thickness of the piezoelectric flat plate) can be increased. Since the displacement of the second actuator is proportional to the strength of the electric field, a large displacement can be obtained with a low voltage. Furthermore, since the second actuator is coated with a resin, it is possible to prevent fine particles of PZT or metallized Au, which is a material of the actuator, from generating dust when the element expands and contracts when a voltage is applied. When the dust generation was actually measured by a particle counter, no particles larger than 1 micrometer were detected in the apparatus, and no information writing / reading error occurred.

【0024】また、本実施例に記載された方法によりコ
ーティングした樹脂の硬化後の膜厚は5マイクロメート
ル以下の均一な膜であり、硬化後の膜の弾性率は700
MPa、伸び率は50%、ショアーD硬度は70で柔軟
性がある。従って、5V電圧を印加して圧電素子を10
0億回伸縮してもクラックは生じなかった。
Further, the cured film of the resin coated by the method described in this embodiment is a uniform film having a thickness of 5 μm or less, and the cured film has an elastic modulus of 700 or less.
MPa, elongation percentage is 50%, Shore D hardness is 70, and it is flexible. Therefore, by applying a voltage of 5 V, the piezoelectric element
Cracks did not occur even after stretching 100 million times.

【0025】一方、硬化後の樹脂をGC−MSで分析す
ると、アウトガス(揮発性の有機分子)は樹脂1ミリグ
ラムあたり0.005マイクログラム検出されたが、ア
ウトガス量は低レベルであり情報の書き込み/読み出し
エラーは発生しなかった。なお、上記した実施例のほか
にも、圧電性平板内の2個の分極領域に電界を印加する
方法は多数考えられる。2個の分極領域に異なる電界を
印加すれば、すべて同様な面内変位を発生させることが
できる。また、圧電性平板内の分極領域は2個であった
が、3個以上設けてもよい。
On the other hand, when the cured resin was analyzed by GC-MS, outgas (volatile organic molecules) was detected at 0.005 micrograms per milligram of the resin. / No read error occurred. Note that, in addition to the above-described embodiments, many methods for applying an electric field to two polarization regions in the piezoelectric flat plate can be considered. When different electric fields are applied to the two polarization regions, the same in-plane displacement can be generated. Further, although the number of polarization regions in the piezoelectric flat plate is two, three or more polarization regions may be provided.

【0026】また、上記した実施例では、第2のアクチ
ュエータは、サスペンションとサスペンション支持部材
の上面同士を架橋するように配置されるが、下面同士を
架橋するように配置されていてもよい。また、第2のア
クチュエータとして圧電性平板である1個の素子をサス
ペンションとサスペンション支持部材の上面同士を架橋
するように固定しているが、2個の素子でサスペンショ
ンとサスペンション支持部材の上面同士と下面同士を架
橋するように固定してもよい。この場合、1個の素子は
サスペンションとサスペンション支持部材の上面同士を
架橋するように固定され、もう1個の素子は、サスペン
ションとサスペンション支持部材の下面同士を架橋する
ように固定される。
In the above embodiment, the second actuator is arranged so as to bridge the upper surfaces of the suspension and the suspension support member. However, the second actuator may be arranged so as to bridge the lower surfaces. In addition, one element, which is a piezoelectric flat plate, is fixed as the second actuator so as to bridge the upper surfaces of the suspension and the suspension support member. You may fix so that lower surfaces may be bridge | crosslinked. In this case, one element is fixed so as to bridge the upper surfaces of the suspension and the suspension support member, and the other element is fixed so as to bridge the lower surfaces of the suspension and the suspension support member.

【0027】更にまた、上記した実施例では、サスペン
ションとサスペンション支持部材の間に第2のアクチュ
エータを配置しているが、サスペンション支持部材内に
配置してもよいし、サスペンション内に配置してもよ
い。また、上記の実施例はすべて磁気ディスク装置に関
するものであるが、複数の磁気ディスク装置をならべた
磁気ディスクアレイ装置に用いても良いし、磁気ディス
ク以外の回転記録媒体を用いた記憶装置、例えば、光デ
ィスク装置、光磁気記録装置などに用いてももちろん良
い。
Further, in the above embodiment, the second actuator is disposed between the suspension and the suspension support member. However, the second actuator may be disposed within the suspension support member or may be disposed within the suspension. Good. Further, all of the above embodiments relate to a magnetic disk device, but may be used for a magnetic disk array device in which a plurality of magnetic disk devices are arranged, or a storage device using a rotary recording medium other than a magnetic disk, for example, Of course, it may be used for an optical disk device, a magneto-optical recording device, or the like.

【0028】次に、本発明の別の実施例について、図面
を用いて説明する。上記した第1の実施例に記載した第
2のアクチュエータの樹脂コーティングを電気学会誌1
20巻11号(2000年11月)の691頁図3に記
載されている様なヘッド支持機構(図6)に適用した。
即ち、水平に配置された2個の素子100a、100b
とφ型ヒンジ700でサスペンション200とサスペン
ション支持部材210を接続する構造の磁気ヘッド支持
機構(図6)及び上記の磁気ヘッド支持機構を用いた磁
気ディスク装置、及び磁気ディスク以外の回転記録媒体
を用いた記憶装置に用いても先に述べた第1の実施例と
同様な効果がある。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The resin coating of the second actuator described in the first embodiment was applied to the Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 1
This is applied to a head support mechanism (FIG. 6) as described in FIG. 3 on page 691 of Vol. 20, No. 11, November 2000.
That is, two elements 100a, 100b arranged horizontally
And a φ-type hinge 700 for connecting a suspension 200 and a suspension support member 210 to a magnetic head supporting mechanism (FIG. 6), a magnetic disk device using the above magnetic head supporting mechanism, and a rotary recording medium other than a magnetic disk. The same effect as in the first embodiment described above can be obtained by using the same storage device.

【0029】この場合、樹脂コーティングは2個の素子
100a、100bをサスペンション200とサスペン
ション支持部材210とに電気的及び機械的に接続した
後、樹脂コーティングを施す。その際、φ型ヒンジ70
0と2個の素子100a、100bの間の隙間800が
樹脂で埋まる可能性が僅かにある。しかしながら、仮に
隙間が樹脂で埋まった場合でも、第2のアクチュエータ
100、すなわち2個の素子100a、100bにより
発生できるヘッドの変位には影響がない。
In this case, the resin coating is applied after the two elements 100a and 100b are electrically and mechanically connected to the suspension 200 and the suspension support member 210. At this time, the φ type hinge 70
There is a small possibility that the gap 800 between 0 and the two elements 100a and 100b will be filled with resin. However, even if the gap is filled with resin, the second actuator 100, that is, the displacement of the head that can be generated by the two elements 100a and 100b is not affected.

【0030】実験の結果では、第1の実施例で用いた樹
脂(硬化後の弾性率700MPa)で隙間が充填された
場合の変位は、隙間800が樹脂で充填されていない場
合の変位量の99.9%以上であった。
As a result of the experiment, the displacement when the gap was filled with the resin used in the first embodiment (the elastic modulus after curing was 700 MPa) was the same as the displacement when the gap 800 was not filled with the resin. It was 99.9% or more.

【0031】次に、上記した実施例と対比するための比
較例を説明する。比較例1として、特開平12−113
615号公報に記載された方法により、樹脂コーティン
グを行なわずに作製した磁気ディスク装置は、装置内に
1マイクロメートル以上の発塵がパーティクルカウンタ
ーで計測すると131個検出され、情報の書き込み/読
み出しエラーが発生した。
Next, a comparative example for comparison with the above-described embodiment will be described. As Comparative Example 1, JP-A-12-113
According to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 615, a magnetic disk drive manufactured without performing resin coating detects 131 dust particles of 1 μm or more in the drive by measuring with a particle counter, and detects information write / read errors. There has occurred.

【0032】比較例2として、本実施例に記載された方
法により、樹脂コーティング101を一般的な粘度10
000mPasのエポキシ接着剤で行なおうとしたが、
粘度が高く塗布、硬化後の膜厚が10マイクロメートル
以下の均一な膜にならなかった。また、硬化後の膜の弾
性率は2000MPa、伸び率は3%、ショアーD硬度
は90で硬く、5V電圧を印加して圧電素子を1万回伸
縮したところクラックが生じた。
As Comparative Example 2, a resin coating 101 having a general viscosity of 10 was prepared by the method described in this example.
000mPas epoxy adhesive,
The film had a high viscosity and did not become a uniform film having a thickness of 10 μm or less after coating and curing. The cured film had an elastic modulus of 2000 MPa, an elongation of 3%, a Shore D hardness of 90, and was hard. When a 5 V voltage was applied to expand and contract the piezoelectric element 10,000 times, cracks occurred.

【0033】比較例3として、本実施例に記載された方
法により、樹脂コーティングを一般的な粘度8000m
Pasのアクリル接着剤で行なったところ、硬化後の樹
脂から揮発性の有機分子がアウトガスとして発生し、G
C−MSで分析すると樹脂1ミリグラムあたり1.1マ
イクログラムが検出され、情報の書き込み/読み出しエ
ラーが発生した。
As Comparative Example 3, a resin coating was applied to a resin having a general viscosity of 8000 m by the method described in this example.
When using Pas acrylic adhesive, volatile organic molecules were generated as outgas from the cured resin, and G
When analyzed by C-MS, 1.1 micrograms per milligram of resin were detected, and an information write / read error occurred.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、低い電圧でアクチュエ
ータの駆動が可能になる。そして、駆動時にアクチュエ
ータ上面に対し垂直方向の変位がないため、また発塵す
ることがないため磁気ヘッドの書き込み/読み出し信頼
性が高く、かつ生産性の高い磁気ディスク装置を提供す
ることが出来る。それによって、回転ディスク型情報記
憶装置の記録密度の向上を図ることが可能である。
According to the present invention, the actuator can be driven at a low voltage. Since there is no displacement in the vertical direction with respect to the upper surface of the actuator at the time of driving and no dust is generated, it is possible to provide a magnetic disk device with high write / read reliability of the magnetic head and high productivity. Thereby, it is possible to improve the recording density of the rotating disk type information storage device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例である磁気ディスク装置の構造
を示す上面図である。
FIG. 1 is a top view showing the structure of a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の磁気ディスク装置に用いる磁気ヘッド
支持機構全体を示す上面図および断面図である。
FIG. 2 is a top view and a cross-sectional view showing the entire magnetic head support mechanism used in the magnetic disk drive of the present invention.

【図3】第2のアクチュエータの構造を示す上面図およ
び断面図である。
3A and 3B are a top view and a cross-sectional view illustrating a structure of a second actuator.

【図4】第2のアクチュエータの分極領域を示す断面図
である。
FIG. 4 is a sectional view showing a polarization region of a second actuator.

【図5】第2のアクチュエータの変位を示す上面図およ
び断面図である。
5A and 5B are a top view and a cross-sectional view showing displacement of a second actuator.

【図6】別の実施例である磁気ヘッド支持機構全体を示
す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing the entire magnetic head support mechanism according to another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100、100a、100b…第2のアクチュエータ、
101…コーティング樹脂、111、112…接続用電
極、118a、118b、118c、118d…電極、
105…圧電性平板、200…サスペンション、210
…ジンバル、220…スライダ、230…サスペンショ
ン支持部材、240…軸受け、241…サスペンション
支持部材回転軸、250…ボイスコイルモータ、251
…永久磁石、252…コイル、300…スピンドルモー
タ、261、262…引き出し電極、310…磁気円
板、501、502…接着剤層、601、602…分極
領域、700…φ型ヒンジ、800…隙間
100, 100a, 100b ... second actuator,
101: coating resin, 111, 112: connecting electrodes, 118a, 118b, 118c, 118d: electrodes
105: piezoelectric flat plate, 200: suspension, 210
... Gimbal, 220 ... Slider, 230 ... Suspension support member, 240 ... Bearing, 241 ... Suspension support member rotating shaft, 250 ... Voice coil motor, 251
... permanent magnet, 252 ... coil, 300 ... spindle motor, 261, 262 ... lead-out electrode, 310 ... magnetic disk, 501, 502 ... adhesive layer, 601, 602 ... polarization region, 700 ... φ hinge, 800 ... gap

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 滋男 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 成澤 修 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 Fターム(参考) 5D068 AA00 BB01 CC11 EE15 EE19 GG03 5D096 NN03 NN07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shigeo Nakamura 2880 Kozu, Kodawara-shi, Kanagawa Prefecture Within the Storage Systems Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Osamu Narusawa 2880 Kozu, Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Storage, Hitachi, Ltd. F term in the system division (reference) 5D068 AA00 BB01 CC11 EE15 EE19 GG03 5D096 NN03 NN07

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】情報の書き込みと読み出しを行う磁気ヘッ
ドと、情報が記憶される磁気円板と、前記磁気ヘッドを
支持する弾性部材と、該弾性部材を支持する固定部材
と、前記磁気ヘッドを前記磁気円板上の所定の位置に移
動させるための第1のアクチュエータと、該第1のアク
チュエータと前記磁気ヘッドとの間に配置された第2の
アクチュエータとを備え、前記第2のアクチュエータが
樹脂コーティングされていることを特徴とする磁気ディ
スク装置。
A magnetic head for writing and reading information, a magnetic disk for storing information, an elastic member for supporting the magnetic head, a fixed member for supporting the elastic member, and a magnetic head. A first actuator for moving to a predetermined position on the magnetic disk; and a second actuator disposed between the first actuator and the magnetic head, wherein the second actuator is A magnetic disk drive characterized by being coated with a resin.
【請求項2】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂の硬化前の粘度が1000mPas以下の
低粘度樹脂であることを特徴とする磁気ディスク装置。
2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the viscosity of the resin before curing is a low-viscosity resin of 1000 mPas or less.
【請求項3】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂がエポキシ樹脂であることを特徴とする磁
気ディスク装置。
3. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein said resin is an epoxy resin.
【請求項4】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂が含有量20%未満のエポキシオリゴマー
と含有量80%以上のエポキシモノマーからなり、少な
くとも熱または光で反応する重合開始剤、触媒、添加剤
を含んでなることを特徴とする磁気ディスク装置。
4. A magnetic disk drive according to claim 1, wherein said resin comprises an epoxy oligomer having a content of less than 20% and an epoxy monomer having a content of 80% or more, and is a polymerization initiator or a catalyst which reacts at least by heat or light. And a additive.
【請求項5】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂の硬化後の弾性率が1000MPa以下で
あることを特徴とする磁気ディスク装置。
5. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the elastic modulus of the resin after curing is 1000 MPa or less.
【請求項6】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂の硬化後のショアーD硬度が80以下であ
ることを特徴とする磁気ディスク装置。
6. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the Shore D hardness of the resin after curing is 80 or less.
【請求項7】請求項1記載の磁気ディスク装置におい
て、前記樹脂の硬化後の伸び率が30%以上であること
を特徴とする磁気ディスク装置。
7. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein an elongation percentage after curing of the resin is 30% or more.
【請求項8】請求項1乃至7の何れかに記載の磁気ディ
スク装置において、前記樹脂をディスペンサー、インク
ジェットなどの手段によって塗布することを特徴とする
磁気ディスク装置。
8. A magnetic disk drive according to claim 1, wherein said resin is applied by means such as a dispenser or an ink jet.
【請求項9】情報の書き込みと読み出しを行う磁気ヘッ
ドと、該磁気ヘッドを支持する弾性部材と、該弾性部材
を支持する固定部材と、前記弾性部材と前記固定部材の
間に前記磁気ヘッドを位置決めするアクチュエータを配
したヘッド支持機構において、前記アクチュエータが樹
脂コーティングされていることを特徴とするヘッド支持
機構。
9. A magnetic head for writing and reading information, an elastic member for supporting the magnetic head, a fixed member for supporting the elastic member, and the magnetic head between the elastic member and the fixed member. A head support mechanism provided with an actuator for positioning, wherein the actuator is coated with a resin.
【請求項10】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂の硬化前の粘度が1000mPas以下の
低粘度樹脂であることを特徴とするヘッド支持機構。
10. The head support mechanism according to claim 9, wherein the viscosity of the resin before curing is a low-viscosity resin of 1000 mPas or less.
【請求項11】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂がエポキシ樹脂であることを特徴とするヘ
ッド支持機構。
11. The head support mechanism according to claim 9, wherein said resin is an epoxy resin.
【請求項12】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂が含有量20%未満のエポキシオリゴマー
と含有量80%以上のエポキシモノマーからなり、少な
くとも熱または光で反応する重合開始剤、触媒、添加剤
を含んでなることを特徴とするヘッド支持機構。
12. A head support mechanism according to claim 9, wherein said resin comprises an epoxy oligomer having a content of less than 20% and an epoxy monomer having a content of not less than 80%, and a polymerization initiator and a catalyst which react at least by heat or light. And a head support mechanism comprising an additive.
【請求項13】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂の硬化後の弾性率が1000MPa以下で
あることを特徴とするヘッド支持機構。
13. The head support mechanism according to claim 9, wherein the elastic modulus of the resin after curing is 1000 MPa or less.
【請求項14】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂の硬化後のショアーD硬度が80以下であ
ることを特徴とするヘッド支持機構。
14. The head support mechanism according to claim 9, wherein the Shore D hardness of the resin after curing is 80 or less.
【請求項15】請求項9記載のヘッド支持機構におい
て、前記樹脂の硬化後の伸び率が30%以上であること
を特徴とするヘッド支持機構。
15. The head support mechanism according to claim 9, wherein an elongation percentage after curing of the resin is 30% or more.
【請求項16】請求項9乃至15の何れかに記載のヘッ
ド支持機構において、前記樹脂をディスペンサー、イン
クジェットなどの手段によって塗布することを特徴とす
るヘッド支持機構。
16. A head supporting mechanism according to claim 9, wherein said resin is applied by means of a dispenser, ink jet or the like.
JP2001104088A 2000-09-12 2001-04-03 Magnetic disk drive and head support mechanism Expired - Fee Related JP3834483B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001104088A JP3834483B2 (en) 2000-09-12 2001-04-03 Magnetic disk drive and head support mechanism

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000281745 2000-09-12
JP2000-281745 2000-09-12
JP2001104088A JP3834483B2 (en) 2000-09-12 2001-04-03 Magnetic disk drive and head support mechanism

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002163870A true JP2002163870A (en) 2002-06-07
JP3834483B2 JP3834483B2 (en) 2006-10-18

Family

ID=26600111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001104088A Expired - Fee Related JP3834483B2 (en) 2000-09-12 2001-04-03 Magnetic disk drive and head support mechanism

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3834483B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8471440B2 (en) 2009-10-14 2013-06-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Magnetic head driving piezoelectric ceramic actuator
US8593765B2 (en) 2009-12-21 2013-11-26 HGST Netherlands B.V. Head gimbal assembly and disk drive with a piezoelectric element
WO2014050720A1 (en) * 2012-09-27 2014-04-03 株式会社 村田製作所 Piezoelectric actuator, method for manufacturing same, and magnetic disc apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8471440B2 (en) 2009-10-14 2013-06-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Magnetic head driving piezoelectric ceramic actuator
US8593765B2 (en) 2009-12-21 2013-11-26 HGST Netherlands B.V. Head gimbal assembly and disk drive with a piezoelectric element
WO2014050720A1 (en) * 2012-09-27 2014-04-03 株式会社 村田製作所 Piezoelectric actuator, method for manufacturing same, and magnetic disc apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP3834483B2 (en) 2006-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6636387B2 (en) Magnetic disk apparatus and head-supporting mechanism for the same
US6791802B2 (en) Magnetic head device having suspension with microactuator bonded thereto
US6597541B2 (en) Suspension for disc drive
US7609487B2 (en) Thin-film PZT micro-actuator integral with suspension of head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7359154B2 (en) Method and apparatus for connecting a micro-actuator to driver arm suspension
US7525769B2 (en) Micro-actuator having swing support to allow horizontal swinging movement of slider support
US7298593B2 (en) Micro-actuator including a leading beam pivot part, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
KR100287567B1 (en) Read / write heads, read / write head positioning mechanisms, and read / write systems
US7417831B2 (en) Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device
US8089732B2 (en) Thin film piezoelectric element and its manufacturing method, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
JP3631688B2 (en) Magnetic head device
JP3834483B2 (en) Magnetic disk drive and head support mechanism
JP3811014B2 (en) Magnetic head device
JP3002984B1 (en) Micro drive device, micro positioning device, and storage device
US7518833B2 (en) Micro-actuator with electric spark preventing structure, HGA, and disk drive unit with the same, and manufacturing method thereof
JP2001126422A (en) Head positioning mechanism
JP2006134563A (en) Micro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit
US7796363B2 (en) PZT element, head gimbal assembly, and disk drive unit with same
JP3608964B2 (en) Magnetic disk unit
JP3041052B2 (en) Recording / reproducing head, recording / reproducing head positioning mechanism, and recording / reproducing device
JP2001297546A (en) Head positioning device
JP2004296005A (en) Actuator
JP2007179727A (en) Rotary micro-actuator and manufacturing method
JP2001266516A (en) Head positioning mechanism
JP2000322847A (en) Memory and micro-positioner

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040714

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040714

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060313

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060322

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060426

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20060426

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060718

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060724

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728

Year of fee payment: 7

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees