JP2001126422A - Head positioning mechanism - Google Patents

Head positioning mechanism

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JP2001126422A
JP2001126422A JP30380599A JP30380599A JP2001126422A JP 2001126422 A JP2001126422 A JP 2001126422A JP 30380599 A JP30380599 A JP 30380599A JP 30380599 A JP30380599 A JP 30380599A JP 2001126422 A JP2001126422 A JP 2001126422A
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positioning mechanism
head
suspension arm
positioning
slider
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JP30380599A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Tani
和夫 谷
Shige Sato
樹 佐藤
Seiji Watanabe
聖士 渡辺
Takeshi Suzuki
毅 鈴木
Yoko Suzuki
陽子 鈴木
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head positioning mechanism suitable for mass production by realizing high speed and high resolution access. SOLUTION: A head positioning mechanism part having a suspension arm rocked by a main actuator interposed in the radial direction of a disk memory medium is newly provided with a finely positioning mechanism where at least, two beam parts 43 are plate-like matter consisting of piezoelectric elements 41 and the plate-like matters constitute two walls in parallel in the longitudinal direction of the suspension arm 5 provided with a head part. In this finely positioning mechanism, the rocking movement of movable part connected to the parts 43 is generated from the control of applying to the elements 41 constituting the parts 41, thereby the head part can be moved by a finely displacing quantity. Thus, positioning of the fine/rough movement of the head part can be controlled, thereby high speed and high resolution are easily realized.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、位置決め機構お
よび記憶装置に関し、更に詳しくは、高速および高分解
能アクセスを実現でき、大量生産に適した微小位置決め
機構および記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning mechanism and a storage device, and more particularly, to a fine positioning mechanism and a storage device capable of realizing high-speed and high-resolution access and suitable for mass production.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の記憶装置、例えば図9に示すよう
な磁気ディスク装置700は、サスペンションアーム7
01の先端に磁気ヘッド702を設けた浮動ヘッド機構
703と、揺動軸704により軸支され前記浮動ヘッド
機構703を取り付けるキャリッジ705と、磁気ヘッ
ド702の反対側に設けたボイスコイルモータ706と
を備えている。ボイスコイルモータ706に通電するこ
とにより、揺動軸704を中心として磁気ヘッド702
が揺動する。磁気ヘッド702は、回転する磁気ディス
ク707上で浮上する。
2. Description of the Related Art A conventional storage device, for example, a magnetic disk device 700 as shown in FIG.
01, a floating head mechanism 703 provided with a magnetic head 702, a carriage 705 supported by a swing shaft 704 to mount the floating head mechanism 703, and a voice coil motor 706 provided on the opposite side of the magnetic head 702. Have. By energizing the voice coil motor 706, the magnetic head 702
Swings. The magnetic head 702 flies above the rotating magnetic disk 707.

【0003】ところで、現在では記憶装置における単位
面積当たりの記録密度が加速度的に上昇している。これ
に伴い、高速および高分解能アクセスを可能とするヘッ
ド位置決め機構が要求されている。これらの要求に対
し、例えばボイスコイルモータを2つ用いることでピポ
ット軸に作用する並進力を減少させる技術や、粗動・微
動の2段アクチュエータを用いる技術がなどが開発され
ている。
At present, the recording density per unit area in a storage device is increasing at an accelerated rate. Accordingly, a head positioning mechanism that enables high-speed and high-resolution access is required. In response to these requirements, for example, a technique for reducing the translational force acting on the pivot shaft by using two voice coil motors, and a technique using a two-stage actuator for coarse movement and fine movement have been developed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高速お
よび高分解能アクセスを実現するにあたり、上記の従来
型の記憶装置700では、シーク反力により装置全体が
振動し、シーク時間を増大させるという問題点がある。
また、一般に記憶装置では、高速シークおよび高精度フ
ォローイングを実現するため、シーク制御系とフォロー
イング制御系とを切り換えて用いている。しかし、これ
ら制御系の切り換えによりタイムロスが発生し、位置決
め時間が増大するという問題点があった。
However, in realizing high-speed and high-resolution access, the conventional storage device 700 has a problem in that the entire device vibrates due to a seek reaction force, and seek time is increased. is there.
In general, a storage device switches between a seek control system and a following control system in order to realize high-speed seek and high-precision following. However, there is a problem that a time loss occurs due to the switching of these control systems, and the positioning time increases.

【0005】また、上記のような問題点を解決するた
め、サスペンションアームとキャリッジの間にボイスコ
イルモータを設けたピギーバック方式の磁気ディスクが
提案されている(International Conference on Mic
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo,July,20-23,1997:MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING:Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED)。
In order to solve the above problems, a piggyback type magnetic disk having a voice coil motor provided between a suspension arm and a carriage has been proposed (International Conference on Mic).
romechatronics for Information and Precision
Equipment, Tokyo, July, 20-23, 1997: MR-08 DEVELOPME
NT OF INTEGRATED PIGGYBACK MILLI-ACTUATOR FOR
HIGH DENSITY MAGNETIC RECORDING: Shinji KOGA
NEZAWA etc FUJITSU LIMITED).

【0006】図10に、その磁気ディスク装置の構造を
示す。この磁気ディスク装置800では、キャリッジ8
01とサスペンションアーム802との間に位置決め用
のボイスコイルモータ803を設けた構成である。キャ
リッジ801の一端には、ステータ軸804が取り付け
てある。また、キャリッジ801には、マグネット80
5を固定する。さらに、このマグネット805に対向す
るようにして、コイル806を配置する。コイル806
は、ヘッドマウンティングブロック807に固定されて
いる。ヘッドマウンティングブロック807は、サスペ
ンションアーム802のクロスシェイプドスプリング8
08に固定してある。クロスシェイプドスプリング80
8は、極めて薄い鋼鈑によって製作してある。また、ク
ロスシェイプドスプリング808の中央には、ステータ
シャフト804がスポット溶接してある。サスペンショ
ンアーム802の先端には、ジンバル809が形成して
ある。磁気ヘッドを設けたスライダ(図示省略)は、ジ
ンバル809の下面に取り付けてある。この磁気ディス
ク装置800では、前記ボイスコイルモータ803によ
るショートシーク動作により、シーク時間の短縮を実現
している。
FIG. 10 shows the structure of the magnetic disk drive. In this magnetic disk drive 800, the carriage 8
In this configuration, a voice coil motor 803 for positioning is provided between the suspension arm 801 and the suspension arm 802. A stator shaft 804 is attached to one end of the carriage 801. The carriage 801 has a magnet 80
5 is fixed. Further, a coil 806 is arranged so as to face the magnet 805. Coil 806
Are fixed to the head mounting block 807. The head mounting block 807 includes a cross-shaped spring 8 of the suspension arm 802.
08. Cross shaped spring 80
8 is made of an extremely thin steel plate. A stator shaft 804 is spot-welded at the center of the cross-shaped spring 808. At the tip of the suspension arm 802, a gimbal 809 is formed. A slider (not shown) provided with a magnetic head is attached to the lower surface of the gimbal 809. In the magnetic disk device 800, the seek time is reduced by the short seek operation by the voice coil motor 803.

【0007】しかし、上記した従来の磁気ディスク装置
は、磁気ヘッド、アームおよびコイルからなる質量の大
きな構造体全体を揺動させる構成であり、また、弾性を
有するサスペンションを介してスライダを移動させる構
成であり、また、揺動の中心となるベアリングには摩擦
抵抗や偏心などが必ず存在するため、位置決め精度、特
に記録トラックの追従精度に限界があるという課題があ
る。更に、上記磁気ディスク装置800は、部品点数が
多く、また複雑かつ繊細で、組立調整が容易ではないた
め、大量生産に不向きであるという問題点がある。その
上、上記磁気ディスク装置800では、ヘッドマウンテ
ィングブロック807およびサスペンションアーム80
2を可動部分としているため、質量が増加し、シーク反
力が大きくなる傾向がある。このため、シーク時間を短
縮するには限界があるという問題点がある。更に、電磁
力を用いたアクチュエータでは、漏れ磁束によるディス
ク状記憶媒体の磁気信号への影響が懸念される。
However, the above-mentioned conventional magnetic disk drive has a structure in which the entire structure having a large mass consisting of a magnetic head, an arm and a coil is swung, and a structure in which a slider is moved via an elastic suspension. In addition, since the bearing which is the center of swing always has friction resistance, eccentricity, and the like, there is a problem that positioning accuracy, particularly tracking track tracking accuracy, is limited. Further, the magnetic disk drive 800 has a problem that it has a large number of parts, is complicated and delicate, and is not easy to assemble and adjust, so that it is not suitable for mass production. In addition, in the magnetic disk drive 800, the head mounting block 807 and the suspension arm 80
Since 2 is a movable portion, the mass tends to increase and the seek reaction force tends to increase. For this reason, there is a problem that there is a limit in reducing the seek time. Further, in the actuator using the electromagnetic force, there is a concern that the leakage magnetic flux may affect the magnetic signal of the disk-shaped storage medium.

【0008】一方、従来の光ディスク装置においては、
光ピックアップは、少なくともレンズを有する光学モジ
ュールを備えた光ピックアップを利用するのが一般的で
あった。この光ピックアップでは、光ディスクの記録面
に焦点が合うようにレンズ周辺にアクチュエータが構成
され制御が行われるものである。しかし、最近、光ディ
スクの記録密度を飛躍的に高める方法として提案されて
いるニア・フィールド記録では、浮上型スライダを用い
る。この浮上型スライダは、SIL(solid immersion
lens)と呼ばれる半球状のレンズと、磁界変調記録用コ
イルと、プリフォーカスレンズとを有する光学モジュー
ルをスライダ形状に組み込んだものであり、浮上型磁気
スライダと同様のスライダが用いられる。このような浮
上型スライダと組み合わせて用いられる光ディスクで
は、記録トラック密度が極めて高いため、ディスク状記
憶媒体の記録トラックに対する位置決めに際しては、上
記に記述された浮上型磁気スライダと同様な各問題が生
じる。
On the other hand, in a conventional optical disk device,
In general, the optical pickup uses an optical pickup provided with an optical module having at least a lens. In this optical pickup, an actuator is configured around the lens so that the recording surface of the optical disc is focused, and control is performed. However, a flying slider is used in near field recording, which has recently been proposed as a method for dramatically increasing the recording density of an optical disk. This flying type slider is an SIL (solid immersion)
An optical module having a hemispherical lens called a lens, a magnetic field modulation recording coil, and a prefocus lens is incorporated in a slider shape, and a slider similar to a floating magnetic slider is used. An optical disk used in combination with such a flying slider has an extremely high recording track density, so that when positioning the disk-shaped storage medium with respect to the recording tracks, the same problems as those of the floating magnetic slider described above occur. .

【0009】そこで、本発明の目的は、磁気ディスク装
置や光ディスク装置等の記録/再生装置において、記録
/再生ヘッドに設けられた電磁変換素子や光学モジュー
ルの位置決めを、高精度かつ高速に行うことを可能とす
ることであり、大量生産に適する微小位置決め機構およ
び記憶装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a recording / reproducing apparatus such as a magnetic disk apparatus or an optical disk apparatus for positioning an electromagnetic transducer or an optical module provided on a recording / reproducing head with high accuracy and high speed. It is an object of the present invention to provide a minute positioning mechanism and a storage device suitable for mass production.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る第1の記憶装置は、データを記録し
且つ記憶媒体に記録したデータを再生する電磁変換素子
または光学モジュールが設けられたスライダ形状のヘッ
ド部と、ディスク状記憶媒体の半径方向に主となるアク
チュエータにて揺動するサスペンションアームを介した
ヘッド位置決め機構部において、前記揺動を行うサスペ
ンションアームが、前記スライダを保持する可動部及び
前記揺動支持部を有する側の固定部からなり、これらを
連結する少なくとも2つ梁部が圧電・電歪材料から構成
される板状体であり、前記サスペンションアームの長手
方向に対して前記板状体の梁部が平行バネ構造として双
璧を有する構造で微小位置決め機構が構成される。この
微小位置決め機構に設けられた梁部の、少なくとも1つ
が逆圧電効果または電歪効果により、前記ヘッド部を保
持したサスペンションアーム可動部の微小な揺動運動を
可能とするものである。
In order to achieve the above object, a first storage device according to the present invention comprises an electromagnetic conversion element or an optical module for recording data and reproducing the data recorded on a storage medium. In a slider-shaped head portion provided and a head positioning mechanism portion via a suspension arm that swings by a main actuator in a radial direction of the disk-shaped storage medium, the suspension arm that swings the slider. A movable portion for holding the movable portion and a fixed portion on the side having the swing support portion, at least two beam portions connecting these are plate-like bodies made of a piezoelectric / electrostrictive material; On the other hand, the minute positioning mechanism is constituted by a structure in which the beam portion of the plate-like body has a double wall as a parallel spring structure. At least one of the beam portions provided in the minute positioning mechanism enables a minute swinging movement of the suspension arm movable portion holding the head portion by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect.

【0011】圧電体は、特定の電圧を印加すると逆圧電
効果により歪みが発生し圧電体自身の伸縮が行われる。
圧電体を備えた少なくとも2つの梁部は、圧電体の伸縮
に応じて梁部長手方向先端を撓ませる屈曲変位を行うこ
ととなる。更に梁部はサスペンションアームの固定部側
と可動部側を連結する平行バネ構造を形成することか
ら、梁部に備えた圧電体の印可制御によって可動部の微
小な揺動運動を可能とする。そのため、サスペンション
アームの可動部先端に設けられた電磁変換素子または光
学モジュール機能を有するスライダ形状のヘッド部は、
梁部に備えた圧電体への印可制御することにより、ヘッ
ドの微小位置決めが容易に可能となる。
When a specific voltage is applied to the piezoelectric body, distortion occurs due to the inverse piezoelectric effect, and the piezoelectric body itself expands and contracts.
At least two beam portions provided with the piezoelectric body perform bending displacement for bending the longitudinal end of the beam portion in accordance with expansion and contraction of the piezoelectric body. Further, since the beam portion forms a parallel spring structure that connects the fixed portion side and the movable portion side of the suspension arm, a minute swinging motion of the movable portion is enabled by controlling the application of the piezoelectric body provided in the beam portion. Therefore, a slider-shaped head having an electromagnetic conversion element or an optical module function provided at the tip of the movable portion of the suspension arm is:
By controlling the application to the piezoelectric body provided in the beam portion, fine positioning of the head can be easily performed.

【0012】上述の目的を達成するために、本発明に係
る第2の記憶装置は、ヘッド位置決め機構部において
は、サスペンションアームの固定側に設けられ磁気回路
及びコイルを用いて前記ヘッド部を駆動する主となるア
クチュエータの位置決め機構と、圧電・電歪素子を備え
印可制御から前記ヘッド部の駆動を行う微小位置決め機
構部を兼ね備えた構成からなる。主となるアクチュエー
タの位置決め機構は、磁気回路およびコイルを用いてヘ
ッド部を駆動するので、大きな移動に適している。
In order to achieve the above object, a second storage device according to the present invention drives a head unit using a magnetic circuit and a coil provided on a fixed side of a suspension arm in a head positioning mechanism unit. And a micro-positioning mechanism that includes a piezoelectric / electrostrictive element and drives the head from application control. The main actuator positioning mechanism drives the head using a magnetic circuit and a coil, and is suitable for large movement.

【0013】微小位置決め機構は、圧電体の伸縮よりヘ
ッド部を駆動するので微小移動に適している。これら主
となるアクチュエータの位置決め機構および微小位置決
め機構を用いることで、シーク動作およびフォローイン
グ動作を効率よく行うことができる。例えばシーク動作
は主となるアクチュエータの位置決め機構により行い、
フォローイング動作は微小位置決め機構により行う。ま
た、主となるアクチュエータの位置決め機構と微小位置
決め機構とを併用してシーク動作またはフォローイング
動作をさせるようにしてもよい。さらに、主となるアク
チュエータの位置決め機構と微小位置決め機構との2つ
のアクチュエータを用いて制御するので、シーク制御と
フォローイング制御との切り換えが不要になる。また、
微小位置決め機構はサスペンションアームと一体化構造
であることから可動部分の質量が小さく、シーク反力を
小さく抑えることができる。さらに、極めて単純な構造
でピギーバック方式のアームを構成できるから、大量生
産に適する。
The minute positioning mechanism is suitable for minute movement because the head is driven by expansion and contraction of the piezoelectric body. By using these main actuator positioning mechanisms and minute positioning mechanisms, the seek operation and the following operation can be performed efficiently. For example, seek operation is performed by the main actuator positioning mechanism,
The following operation is performed by a minute positioning mechanism. Also, the seek operation or the following operation may be performed by using both the positioning mechanism of the main actuator and the minute positioning mechanism. Furthermore, since control is performed using two actuators, a main actuator positioning mechanism and a minute positioning mechanism, there is no need to switch between seek control and following control. Also,
Since the fine positioning mechanism is integrated with the suspension arm, the mass of the movable portion is small, and the seek reaction force can be suppressed to a small value. Further, since a piggyback type arm can be configured with a very simple structure, it is suitable for mass production.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。図1は、この発明の
実施の形態に係る磁気ディスク装置を示す斜視図であ
る。この磁気ディスク装置100は、磁気ディスクを回
転させるスピンドル機構1と、磁気ヘッドの位置決めを
行う主となるアクチュエータの位置決め機構2とを有す
る。前記スピンドル機構1と位置決め機構2とはベース
3に組み込まれる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the embodiment. FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention. The magnetic disk device 100 includes a spindle mechanism 1 for rotating a magnetic disk, and a main actuator positioning mechanism 2 for positioning a magnetic head. The spindle mechanism 1 and the positioning mechanism 2 are incorporated in a base 3.

【0015】スピンドル機構1は、ベース3に組み込ん
だDCモータの回転軸12に磁気ディスク11をボルト
止めした構造である。磁気ディスク11は、ディスク基
盤表面に酸化物を塗布して磁気記録層を構成したもの、
磁性体をスパッタしたもののいずれでもよい。磁気ディ
スク11の磁性層としては、薄く且つ抗磁力が高いも
の、磁性体の粒子が細かく表面が均一なものが好まし
い。
The spindle mechanism 1 has a structure in which a magnetic disk 11 is bolted to a rotating shaft 12 of a DC motor incorporated in a base 3. The magnetic disk 11 has a magnetic recording layer formed by applying an oxide on the disk base surface,
Any of magnetic materials sputtered may be used. It is preferable that the magnetic layer of the magnetic disk 11 be thin and have high coercive force, and that the magnetic material particles be fine and the surface be uniform.

【0016】キャリッジ21は、揺動軸22により回転
支持されている。キャリッジ21の端部には、ロータ2
3が取り付けてある。ロータ23はベース3側に設けた
ステータ24と共にボイスコイルモータ25を構成す
る。ロータ23は、キャリッジ板の上下面に可動コイル
を接着した構成である。ステータ24は、永久磁石で構
成され、前記ロータ23を挟むように配置されている。
また、前記可動コイルには、フレキシブルケーブル26
を介して電力が供給される。ベース3には、回路基板2
7が設けてあり、回路上で、シーク・フォローイング制
御部28が形成されている。キャリッジ21の端部に
は、サスペンションアーム5が連結され、更に位置決め
機構4が設けてある。
The carriage 21 is rotatably supported by a swing shaft 22. The end of the carriage 21 has a rotor 2
3 is attached. The rotor 23 forms a voice coil motor 25 together with the stator 24 provided on the base 3 side. The rotor 23 has a configuration in which a movable coil is bonded to upper and lower surfaces of a carriage plate. The stator 24 is formed of a permanent magnet, and is arranged so as to sandwich the rotor 23.
The movable coil has a flexible cable 26.
Power is supplied via the. The base 3 has a circuit board 2
7, a seek / following control unit 28 is formed on the circuit. The suspension arm 5 is connected to an end of the carriage 21, and a positioning mechanism 4 is further provided.

【0017】図2は、微小位置決め機構4を示す組立図
である。サスペンションアーム5は、揺動支持軸側の固
定部とヘッド部を備えたスライダを保持した可動部に分
割されている。少なくても2つの梁部43は圧電・電歪
材料と弾性材とから構成される板状体からなり、サスペ
ンションアーム5を連結する構成となる。図中に示すサ
スペンションアーム5は、長手方向に平行バネ構造を形
成し一体化した例である。梁部43は圧電素子41と弾
性支持体42からなり、圧電素子41の撓み力及び撓み
変位量に応じて長手方向に自由度をもつ弾性変形が行わ
れる構造とした。サスペンションアーム5は、エッチン
グ等のフォトファブリケーション技術を用いて薄板金
属、例えばステンレス材又はベリリウム材から形成す
る。非機械加工プロセスを用いることで、形状精度を向
上させると共に、加工形成時に発生する変形応力および
機械的ストレスを排除でき、機能および再現性が安定す
る。更に、図2に示すサスペンションアーム5は、中央
部を金型にて曲げ加工し長手方向の両側面に連結部を構
成する。サスペンションアーム5の先端には、ジンバル
51が形成してあり、このジンバル51にヘッド機能を
備えたスライダを取り付ける。
FIG. 2 is an assembly view showing the minute positioning mechanism 4. The suspension arm 5 is divided into a movable portion that holds a slider having a fixed portion on the swing support shaft side and a head portion. At least two beam portions 43 are formed of a plate-shaped body made of a piezoelectric / electrostrictive material and an elastic material, and are configured to connect the suspension arms 5. The suspension arm 5 shown in the figure is an example in which a parallel spring structure is formed in the longitudinal direction and integrated. The beam portion 43 includes a piezoelectric element 41 and an elastic support 42, and has a structure in which elastic deformation having a degree of freedom in the longitudinal direction is performed according to a bending force and a bending displacement amount of the piezoelectric element 41. The suspension arm 5 is formed from a sheet metal, for example, a stainless material or a beryllium material by using a photofabrication technique such as etching. By using the non-machining process, the shape accuracy is improved, and the deformation stress and the mechanical stress generated at the time of working formation can be eliminated, and the function and reproducibility are stabilized. Further, the suspension arm 5 shown in FIG. 2 has a central portion bent by a mold to form connecting portions on both side surfaces in the longitudinal direction. A gimbal 51 is formed at the tip of the suspension arm 5, and a slider having a head function is attached to the gimbal 51.

【0018】梁部43には圧電素子41が接着してあ
る。圧電素子41は、印加された電圧に応じて応力ない
し変位を生じ、更には印加電圧の周波数により共振現象
を生じさせ、加えられた圧力に応じて電圧が発生する特
性を示す材料である。本例の圧電素子41には、圧電定
数の高い薄膜ジルコンチタン酸鉛バルク材をダイシング
にて矩形形状したもの用いて弾性支持板42に接着して
ある。また圧電素子41はチタン酸バリウム、ニオブ酸
リチウムやジルコンチタン酸鉛などを用いても良い。ま
た、これら圧電セラミックスの代わりに、傾斜機能材料
やリチウムナイオベートを用いることもできる。
The piezoelectric element 41 is bonded to the beam 43. The piezoelectric element 41 is a material exhibiting a characteristic that a stress or a displacement is generated according to the applied voltage, a resonance phenomenon is generated according to the frequency of the applied voltage, and a voltage is generated according to the applied pressure. The piezoelectric element 41 of the present example is bonded to the elastic support plate 42 by using a thin film of a thin film of lead zircon titanate having a high piezoelectric constant in a rectangular shape by dicing. The piezoelectric element 41 may use barium titanate, lithium niobate, lead zircon titanate, or the like. Instead of these piezoelectric ceramics, a functionally graded material or lithium niobate can be used.

【0019】弾性支持板42と圧電素子41とを接着す
る際の接合界面は、非常に薄く硬いこと、強靱であるこ
と、また、接着後における共振周波数付近の抵抗値が小
さいことが条件となる。例えば接着剤には、ホットメル
トおよびエポキシ樹脂に代表される高分子接着材を用い
る。なお、図2で示す設けた梁部43は、ユニモルフ型
であるが、2枚の圧電素子を用いるバイモルフ型、4枚
以上の圧電素子を用いるマルチモルフ型及び積層型を用
いても良い。また、梁部43の形状は、図2に示すよう
な口形状を並べた形状に限定されない。
The bonding interface at the time of bonding the elastic support plate 42 and the piezoelectric element 41 is required to be very thin and hard, tough, and that the resistance value near the resonance frequency after bonding is small. . For example, a polymer adhesive represented by hot melt and epoxy resin is used as the adhesive. The provided beam portion 43 shown in FIG. 2 is a unimorph type, but may be a bimorph type using two piezoelectric elements, a multimorph type using four or more piezoelectric elements, or a laminated type. Further, the shape of the beam portion 43 is not limited to the shape in which the mouth shapes are arranged as shown in FIG.

【0020】電源は、配線を介して前記圧電素子41に
電力を供給する。また、シーク・フォローイング制御
は、磁気ヘッドからのサーボ信号に基づき、前記供給電
圧を制御する。磁気ヘッドには、フェライトヘッド、M
IG(Metal In Gap)ヘッド、薄膜ヘッド、MR(Ma
gneto Resistive)ヘッド、GMR(Giant Magneto
Resistive)ヘッドのいずれを用いたスライダが良い。
また、磁気ヘッドの代わりに、光ディスク記録再生用の
モジュール、例えば近視野光を用いたヘッドスライダを
用いてもよい。
The power supply supplies power to the piezoelectric element 41 via a wiring. In the seek / following control, the supply voltage is controlled based on a servo signal from a magnetic head. Ferrite head, M
IG (Metal In Gap) head, thin film head, MR (Ma
gneto Resistive) head, GMR (Giant Magneto)
Resistive) A slider using any of the heads is preferable.
Further, instead of the magnetic head, a module for recording / reproducing an optical disk, for example, a head slider using near-field light may be used.

【0021】つぎに、この磁気ディスク装置100の動
作について説明する。まず、圧電素子41の屈曲変位の
原理を図3に示す。ここで用いる逆圧電効果とは、圧電
体に電圧を印加すると歪が発生する現象で、圧電体は伸
縮を行うものである。この図3では、図2で示す梁部4
3と同様な挙動を示す例として用いたもので、固定端側
と自由端側からなる片持ち梁構造である。この片持ち梁
は、補強材として弾性材を用い圧電素子と接合を行って
いる。この圧電体の分極方向に対してお互いに逆向きの
電界がかかると一方の圧電体が長さ方向に伸びたとき、
もう一方は縮み、補強材を中心にして厚み方向に曲がり
が生じる。図3では、所定の印可電圧を供与することで
梁部自由端側に撓みを発生させ、長手方向先端に屈曲変
位dを発生させている状態を示している。
Next, the operation of the magnetic disk drive 100 will be described. First, the principle of bending displacement of the piezoelectric element 41 is shown in FIG. The inverse piezoelectric effect used herein is a phenomenon in which a distortion is generated when a voltage is applied to a piezoelectric body, and the piezoelectric body expands and contracts. In FIG. 3, the beam 4 shown in FIG.
This is used as an example showing the same behavior as that of No. 3, and has a cantilever structure including a fixed end side and a free end side. This cantilever is joined to the piezoelectric element by using an elastic material as a reinforcing material. When an electric field is applied in the opposite direction to the polarization direction of this piezoelectric body, when one piezoelectric body extends in the length direction,
The other shrinks and bends in the thickness direction around the reinforcing material. FIG. 3 shows a state in which a given applied voltage is applied to cause bending on the free end side of the beam portion and generate bending displacement d at the longitudinal end.

【0022】図2における梁部43は、図3に示す挙動
と同様に、サスペンションアーム5の固定部から、他端
の可動部(スライダを支持する側)に対して揺動運動が
行われることとなる。更に、梁部43においては可動部
に対して平行バネ構造に構成されていることからサスペ
ンションアーム5の可動部及び保持しているスライダに
対して、安定した左右への平行運動と印可制御による微
小変位量が得られる構成となる。
As in the behavior shown in FIG. 3, the beam portion 43 in FIG. 2 performs a swinging motion from the fixed portion of the suspension arm 5 to the movable portion (the side supporting the slider) at the other end. Becomes Further, since the beam portion 43 is configured to have a parallel spring structure with respect to the movable portion, the movable portion of the suspension arm 5 and the slider held by the beam can be stably moved in parallel to the left and right by minute control by application control. The configuration is such that a displacement amount can be obtained.

【0023】一般式から得られる梁部先端の変位量dの
解は、圧電定数d31、印可電圧v、及び梁部有効長l
の2乗及び定数kに比例し、梁部の厚みtの2乗に反比
例する。このことから、本発明による微小位置決め機構
においては、圧電体特性と弾性支持体の形状から印可電
圧に対する変位の感度を求め、変位は印可電圧で制御か
ら行う。低電圧で変位を得るには、圧電定数d31が大
きい圧電素子を用いることが必要であり、微小位置決め
機構の構造として共振周波数を考慮した上で圧電素子の
厚みを薄くするか長手方向の有効長を長くするかを所望
の仕様に応じて求めていく必要がある。
The solution of the displacement d at the tip of the beam obtained from the general formula is a piezoelectric constant d31, an applied voltage v, and an effective length l of the beam.
And the constant k, and is inversely proportional to the square of the thickness t of the beam portion. From this, in the minute positioning mechanism according to the present invention, the sensitivity of the displacement to the applied voltage is obtained from the characteristics of the piezoelectric body and the shape of the elastic support, and the displacement is controlled by the applied voltage. In order to obtain a displacement at a low voltage, it is necessary to use a piezoelectric element having a large piezoelectric constant d31. As a structure of the minute positioning mechanism, the thickness of the piezoelectric element should be reduced or the effective length in the longitudinal direction in consideration of the resonance frequency. It is necessary to determine whether the length is longer according to a desired specification.

【0024】本実施の形態においては、圧電体の厚みを
0.05〜0.3mm、長手方向は1〜5mm、この長
手方向と直交する幅は0.1〜0.5mmの矩形形状寸
法とし、圧電定数はd31で100〜600×10-12
m/vを目安とした仕様を用いる。また温度や電界に対
して安定となる材料特性及び経時変化も考慮して選択が
行われた。そのため、サスペンションアーム5の可動部
において、入力電圧に応じて0〜1μmの移動距離が得
られ、印可制御にてサブμmの高い位置決め分解能を得
ることが可能となった。
In this embodiment, the piezoelectric body has a rectangular shape with a thickness of 0.05 to 0.3 mm, a longitudinal direction of 1 to 5 mm, and a width orthogonal to the longitudinal direction of 0.1 to 0.5 mm. And the piezoelectric constant is 100 to 600 × 10 -12 at d31.
Use specifications with m / v as a guide. Further, the selection was made in consideration of the material characteristics that become stable with respect to temperature and electric field and the change with time. Therefore, a moving distance of 0 to 1 μm can be obtained in the movable portion of the suspension arm 5 according to the input voltage, and a high positioning resolution of sub-μm can be obtained by application control.

【0025】つぎに、ボイスコイルモータ25の動作に
ついて説明する。図5は、ボイスコイルモータ25の動
作原理を示す説明図である。可動コイル(23)に矢印
I方向の電流を流すことにより、フレミングの左手の法
則により力f(矢印F)が発生する。位置決め制御は、
この可動コイル(23)に流す電流の方向と大きさとを
制御して、目標の位置にサブミクロン単位で位置決めす
る。
Next, the operation of the voice coil motor 25 will be described. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the operation principle of the voice coil motor 25. By flowing a current in the direction of arrow I through the movable coil (23), a force f (arrow F) is generated according to Fleming's left-hand rule. Positioning control
By controlling the direction and magnitude of the current flowing through the movable coil (23), positioning is performed in submicron units at a target position.

【0026】通常、磁気ディスク装置における位置決め
制御は、アクセス速度制御(シーク制御)と追従位置決
め制御(フォローイング制御)とにより行われる。アク
セス速度制御過程では、磁気ヘッドを現在のトラックか
ら目標とするトラックに高速移動させる。追従位置決め
制御過程では、トラックに磁気ヘッドを精密に追従させ
る。図6は、磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との
関係を示すグラフ図である。このように、位置決め制御
は、時間的にアクセス速度制御過程と追従位置決め制御
過程とに分けることができる。
Usually, positioning control in a magnetic disk drive is performed by access speed control (seek control) and follow-up positioning control (following control). In the access speed control process, the magnetic head is moved at high speed from the current track to the target track. In the following positioning control process, the magnetic head is made to precisely follow the track. FIG. 6 is a graph showing the relationship between the access movement speed of the magnetic head and time. Thus, the positioning control can be temporally divided into an access speed control process and a follow-up positioning control process.

【0027】この磁気ディスク装置100では、アクセ
ス速度制御と追従位置決め制御とを並行して行うように
し、前記アクセス動作を主にボイスコイルモータ25を
用いて高速で行い、前記追従位置決め動作を主に微小位
置決め機構4を用いて精密に行う。図7に、位置決め制
御系のブロック線図を示す。シーク・フォローイング制
御部28では、シーク制御とフォローイング制御とを並
行して行う。シーク制御系においては、まず、現在のヘ
ッド位置を検出し、続いて当該検出したヘッド位置に基
づいて操作量を求める。位相補償器では、前記操作量の
信号の位相をコントロールする。パワーアンプでは位相
コントローラした操作量の信号を増幅する。そして、こ
の操作量に応じてボイスコイルモータ25を駆動する。
シーク制御系の制御量は、目標値信号と同種の信号に変
換され、入力側にフィードバックされる。
In the magnetic disk drive 100, the access speed control and the follow-up positioning control are performed in parallel, the access operation is performed at high speed mainly using the voice coil motor 25, and the follow-up positioning operation is mainly performed. It is performed precisely using the minute positioning mechanism 4. FIG. 7 shows a block diagram of the positioning control system. The seek / following control unit 28 performs seek control and following control in parallel. In the seek control system, first, the current head position is detected, and then the operation amount is obtained based on the detected head position. The phase compensator controls the phase of the signal of the operation amount. The power amplifier amplifies the signal of the operation amount controlled by the phase controller. Then, the voice coil motor 25 is driven according to the operation amount.
The control amount of the seek control system is converted into a signal of the same type as the target value signal, and is fed back to the input side.

【0028】一方、フォローイング制御系においては、
まず、トラック誤差信号を検出し、続いて当該検出した
トラック誤差信号から操作量を求める。位相補償器で
は、前記操作量の信号の位相をコントロールする。パワ
ーアンプでは位相コントローラした操作量の信号を増幅
する。そして、このトラック誤差信号の操作量に応じて
微小位置決め機構4の圧電体41に印加、駆動する。フ
ォローイング制御系の制御量は、目標値信号と同種の信
号に変換され、入力側にフィードバックされる。
On the other hand, in the following control system,
First, a track error signal is detected, and then an operation amount is obtained from the detected track error signal. The phase compensator controls the phase of the signal of the operation amount. The power amplifier amplifies the signal of the operation amount controlled by the phase controller. Then, it applies and drives the piezoelectric body 41 of the minute positioning mechanism 4 according to the operation amount of the track error signal. The control amount of the following control system is converted into a signal of the same type as the target value signal, and is fed back to the input side.

【0029】図8は、前記シーク・フォローイング制御
部28による制御工程例を示すフローチャートである。
ステップS1101では、目標トラック位置の入力を行
う。ステップS1102では、ボイスコイルモータ25
による位置決め制御系をONし、前記入力した目標トラ
ック位置のデータに基づき位置決め制御を行う。ステッ
プS1103では、ヘッド位置と目標トラック位置との
差が梁部51、52の可動距離(梁部51、52による
位置決めが有効な範囲)未満になったか否かを判断す
る。可動距離未満になるまでボイスコイルモータ25に
よる位置決め制御を行う。可動距離未満になったらステ
ップS1104に進む。
FIG. 8 is a flowchart showing an example of a control process by the seek / following control unit 28.
In step S1101, a target track position is input. In step S1102, the voice coil motor 25
Is turned on, and positioning control is performed based on the input data of the target track position. In step S1103, it is determined whether or not the difference between the head position and the target track position is less than the movable distance of the beams 51 and 52 (the range in which positioning by the beams 51 and 52 is effective). The positioning control by the voice coil motor 25 is performed until the distance becomes less than the movable distance. If the distance is less than the movable distance, the process proceeds to step S1104.

【0030】ステップS1104では、微小位置決め機
構4による位置決め制御系をONする。ステップS11
05では、ヘッド位置と目標トラック位置との差がトラ
ック1〜3個分の幅未満になるまで、微小位置決め機構
4の圧電体41とボイスコイルモータ25との両方で位
置決め制御を行う。ボイスコイルモータ25を併用する
のは、トラック間移動のような比較的大きな移動が含ま
れるためである。ステップS1106では、ボイスコイ
ルモータ25による位置決め制御系をOFFして、微小
位置決め機構4のみで位置決め制御を行う。ステップS
1107では、ヘッド位置と目標トラック位置との差が
トラック位置決め精度を満たすか否かを判断する。満た
すまで制御を続行し、満たしたときに微小位置決め機構
4の位置決め制御系をOFFする(ステップS110
8)。
In step S1104, the positioning control system by the minute positioning mechanism 4 is turned on. Step S11
At 05, the positioning control is performed by both the piezoelectric body 41 of the minute positioning mechanism 4 and the voice coil motor 25 until the difference between the head position and the target track position becomes smaller than the width of one to three tracks. The reason why the voice coil motor 25 is used together is that relatively large movement such as movement between tracks is included. In step S1106, the positioning control system by the voice coil motor 25 is turned off, and the positioning control is performed only by the minute positioning mechanism 4. Step S
At 1107, it is determined whether or not the difference between the head position and the target track position satisfies the track positioning accuracy. Control is continued until the condition is satisfied, and when the condition is satisfied, the positioning control system of the minute positioning mechanism 4 is turned off (step S110).
8).

【0031】なお、ボイスコイルモータと微小位置決め
機構4との分担を明確に分け、前記アクセス動作をボイ
スコイルモータ25を用いて高速で行い、前記追従位置
決め動作を微小位置決め機構4の揺動運動を用いて精密
に行うようにしてもよい。つぎに図4に、微小位置決め
機構の他の組立図例を示す。サスペンショアーム5は図
2と同様に固定部と可動部に分割されているが、連結す
る梁部構成が異なる。梁部43は圧電素子41と弾性支
持体42を備えた構成であり、一方単独に弾性支持体4
2からなる構成の単層梁部44を設けた。
The sharing between the voice coil motor and the minute positioning mechanism 4 is clearly divided, the access operation is performed at a high speed using the voice coil motor 25, and the following positioning operation is performed by the swing movement of the minute positioning mechanism 4. It may be performed precisely by using this. Next, FIG. 4 shows another assembly example of the minute positioning mechanism. The suspension arm 5 is divided into a fixed part and a movable part as in FIG. 2, but the configuration of the beam part to be connected is different. The beam portion 43 has a configuration including the piezoelectric element 41 and the elastic support 42, and one of the elastic supports 4
A single-layer beam portion 44 having a configuration of 2 was provided.

【0032】記録装置可動時において、サスペンション
アーム5に発生する外乱、例えばヘッド機能を有するス
ライダのピッチング、ヨーイング及びローリング時に対
するサスペンション5のフレーム全体を補強した構成例
である。
This is an example of a configuration in which the entire frame of the suspension 5 is reinforced against disturbances generated in the suspension arm 5 when the recording apparatus is moving, for example, pitching, yawing and rolling of a slider having a head function.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように、この発明は、デー
タを記録し且つ記憶媒体に記録したデータを再生する電
磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダ
形状のヘッド部と、ディスク状記憶媒体の半径方向に主
となるアクチュエータにて揺動するサスペンションアー
ムを介したヘッド位置決め機構部において、前記揺動を
行うサスペンションアームが、前記スライダを保持する
可動部及び前記揺動支持部を有する側の固定部からな
り、これらを連結する少なくとも2つ梁部が圧電・電歪
材料と弾性体とから構成される板状体であり、前記サス
ペンションアームの長手方向に対して少なくとも前記2
つの梁部が平行に双璧を構成する平行バネ構造体からな
り、前記梁部の少なくとも1つが逆圧電効果または電歪
効果により、前記可動部が前記固定部に対して微小な揺
動運動を可能とする微小位置決め機構により、シーク動
作およびフォローイング動作を効率よく行うことができ
る。
As described above, the present invention relates to a slider-shaped head provided with an electromagnetic transducer or an optical module for recording data and reproducing data recorded on a storage medium, and a disk-shaped storage medium. In a head positioning mechanism section via a suspension arm that swings by a main actuator in the radial direction, the suspension arm that swings is a side having a movable section that holds the slider and the swing support section. At least two beam portions connecting the fixed portions are plate-like members formed of a piezoelectric / electrostrictive material and an elastic body, and at least the two beam portions are arranged in a longitudinal direction of the suspension arm.
The two beam portions are formed of a parallel spring structure that constitutes a double wall in parallel, and at least one of the beam portions is capable of performing a minute swinging motion with respect to the fixed portion due to an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The seek operation and the following operation can be efficiently performed by the minute positioning mechanism described above.

【0034】また、この微小位置決め機構により、サス
ペンションアーム先端に設けたヘッド部の微細な移動が
可能になるから、ヘッド位置決め精度が高くなる。さら
に、シーク制御とフォローイング制御との切り換えが不
要にできるので、切り換えによるタイムロスを減少でき
る。以上から、ヘッドの高速かつ高分解能アクセスを実
現できるようになる。さらに、比較的単純な構成で、最
小部品にてサスペンションアームを構成できるから、大
量生産に適したものになる。
Further, the fine positioning mechanism enables fine movement of the head provided at the tip of the suspension arm, so that the head positioning accuracy is improved. Further, since it is not necessary to switch between the seek control and the following control, the time loss due to the switching can be reduced. As described above, high-speed and high-resolution access of the head can be realized. Further, since the suspension arm can be configured with a minimum number of parts with a relatively simple configuration, the suspension arm is suitable for mass production.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の形態に係る微小位置決め機構
を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a minute positioning mechanism according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した微小位置決め機構の一部を示す組
立図である。
FIG. 2 is an assembly view showing a part of the minute positioning mechanism shown in FIG.

【図3】梁部の撓みにて自由端(可動部)が揺動する例
を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example in which a free end (movable portion) swings due to bending of a beam portion.

【図4】位置決め機構の一部を示す他の組立図である。FIG. 4 is another assembly view showing a part of the positioning mechanism.

【図5】ボイスコイルモータの動作原理を示す説明図で
ある。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the operation principle of the voice coil motor.

【図6】磁気ヘッドのアクセス運動速度と時間との関係
を示すグラフ図である。
FIG. 6 is a graph showing a relationship between an access movement speed of a magnetic head and time.

【図7】微小位置決め制御系のブロック線図である。FIG. 7 is a block diagram of a minute positioning control system.

【図8】シーク・フォローイング制御部による制御工程
例を示すフローチャートである。
FIG. 8 is a flowchart illustrating an example of a control process performed by a seek / following control unit.

【図9】従来の磁気ディスク装置の一例を示す斜視図で
ある。
FIG. 9 is a perspective view showing an example of a conventional magnetic disk drive.

【図10】従来の磁気ディスク装置の他の一例を示す斜
視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing another example of a conventional magnetic disk drive.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 磁気ディスク装置 1 スピンドル機構 2 位置決め機構 21 キャリッジ 22 揺動軸 23 ロータ 24 ステータ 25 ボイスコイルモータ 26 フレキシブルケーブル 27 回路基板 28 シーク・フォローイング制御部 3 ベース 4 微小位置決め機構 41 圧電素子 42 弾性支持体 43 梁部 44 単層梁部 5 サスペンション 51 ジンバル 700 従来の記憶装置 701 サスペンションアーム 702 磁気ヘッド 703 浮動ヘッド機構 704 揺動軸 705 キャリッジ 706 ボイスコイルモータ 707 磁気ディスク 800 磁気ディスク装置 801 キャリッジ 802 サスペンションアーム 803 ボイスコイルモータ 804 ステータ軸 805 マグネット 806 コイル 807 ヘッドマウンティングブロック 808 クロスシェイプドスプリング 809 ジンバル REFERENCE SIGNS LIST 100 magnetic disk drive 1 spindle mechanism 2 positioning mechanism 21 carriage 22 oscillating shaft 23 rotor 24 stator 25 voice coil motor 26 flexible cable 27 circuit board 28 seek / following control unit 3 base 4 minute positioning mechanism 41 piezoelectric element 42 elastic support 43 Beam section 44 Single layer beam section 5 Suspension 51 Gimbal 700 Conventional storage device 701 Suspension arm 702 Magnetic head 703 Floating head mechanism 704 Swing axis 705 Carriage 706 Voice coil motor 707 Magnetic disk 800 Magnetic disk device 801 Carriage 802 Suspension arm 803 Voice coil motor 804 Stator shaft 805 Magnet 806 Coil 807 Head mounting block 808 Cross E type de spring 809 gimbal

フロントページの続き (72)発明者 渡辺 聖士 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 鈴木 毅 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 鈴木 陽子 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Fターム(参考) 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA08 DA11 EA08 EA12 5D096 NN03 NN07 5H303 AA22 BB01 BB07 BB17 CC01 DD01 DD14 DD21 EE03 EE07 FF03 HH02 KK35 Continuation of the front page (72) Inventor Seiji Watanabe 1-8-1, Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba Prefecture Inside Seiko Instruments Inc. (72) Inventor Takeshi Suzuki 1-8-8, Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba Seiko Instruments Incorporated (72) Inventor Yoko Suzuki 1-8 Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba F-term (reference) in Seiko Instruments Inc. 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA08 DA11 EA08 EA12 5D096 NN03 NN07 5H303 AA17 BB01 CC01 DD01 DD14 DD21 EE03 EE07 FF03 HH02 KK35

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 データを記録し且つ記憶媒体に記録した
データを再生する電磁変換素子または光学モジュールが
設けられたスライダ形状のヘッド部と、 ディスク状記憶媒体の半径方向に主となるアクチュエー
タにて揺動するサスペンションアームを介したヘッド位
置決め機構部において、 前記揺動を行うサスペンションアームが、前記スライダ
を保持する可動部及び前記揺動支持部を有する側の固定
部からなり、これらを連結する少なくとも2つの梁部
が、圧電・電歪材料と弾性材とから構成される板状体で
あり、 前記サスペンションアームの長手方向に対して少なくと
も前記2つの梁部が平行に双璧を構成する平行バネ構造
体からなり、前記梁部の少なくとも1つが逆圧電効果ま
たは電歪効果により、前記可動部が前記固定部に対して
微小な揺動運動を可能とすることを特徴とする微小位置
決め機構。
1. A slider-shaped head provided with an electromagnetic transducer or an optical module for recording data and reproducing the data recorded on the storage medium, and an actuator mainly arranged in a radial direction of the disk-shaped storage medium. In a head positioning mechanism section via a swinging suspension arm, the swinging suspension arm comprises a movable section for holding the slider and a fixed section on the side having the swing support section, and at least these are connected to each other. A parallel spring structure in which the two beam portions are plate-like bodies made of a piezoelectric / electrostrictive material and an elastic material, and at least the two beam portions are in parallel with each other in a longitudinal direction of the suspension arm. The movable part is small relative to the fixed part due to an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. A micro-positioning mechanism, which enables a simple swinging motion.
【請求項2】 請求の範囲第1項に記載の微小位置決め
機構を有することを特徴とする記録/再生装置。
2. A recording / reproducing apparatus comprising the minute positioning mechanism according to claim 1.
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