JP2002153080A - Ultrasonic motor and electronic apparatus provided therewith - Google Patents

Ultrasonic motor and electronic apparatus provided therewith

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JP2002153080A
JP2002153080A JP2000345622A JP2000345622A JP2002153080A JP 2002153080 A JP2002153080 A JP 2002153080A JP 2000345622 A JP2000345622 A JP 2000345622A JP 2000345622 A JP2000345622 A JP 2000345622A JP 2002153080 A JP2002153080 A JP 2002153080A
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JP
Japan
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ultrasonic motor
circuit
moving body
rotation
piezoelectric element
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JP2000345622A
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Japanese (ja)
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Mizuaki Suzuki
瑞明 鈴木
Masao Kasuga
政雄 春日
Akihiro Iino
朗弘 飯野
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small size and easily operable ultrasonic motor having a sophisticated encoder function for detecting rotating angle and rotating speed and a control function. SOLUTION: A piezoelectric element 3 is provided on a supporting plate 2. A moving body 5 mounted to freely rotate is disposed on a projection 4a of a vibration body 4 connected to the piezoelectric element 3. A pressurizing means 6 places the moving body 5 with pressure in contact with the vibration body 4. Moreover, a motor drive circuit 9 and a regulation capacitor are provided for generating an AC voltage to be supplied to the piezoelectric element from the DC power supply. The moving body 5 is connected in direct with an encoder disc 20. On the supporting plate 2, a wiring means 7 for fixing each element through connection of the electrical system is integrated. The wiring means 7 is provided with a motor drive circuit 9 and a rotation detecting element 21. The wiring means 7 and a piezoelectric body are connected with a lead as the extended portion of the wiring, and an AC voltage is fed thereto.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、超音波モータお
よび、時計、計測機器、工業用ロボット、ファクトリー
オートメーション装置、光通信機器等の、超音波モータ
を用いた電子機器、光学機器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor, an electronic device using an ultrasonic motor, such as a clock, a measuring device, an industrial robot, a factory automation device, and an optical communication device, and an optical device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、超音波モータは、小型、軽量とい
う特徴を持ち、時計などの小型精密機器や光通信機器に
用いられている。
2. Description of the Related Art In recent years, ultrasonic motors are characterized by their small size and light weight, and are used in small precision equipment such as watches and optical communication equipment.

【0003】従来の超音波モータ101は、図7A、B
の概略図および図8のブロック図に示すように、支持板
2上に、圧電素子3、圧電素子3に接続された振動体
4、振動体4の突起8上に回転自在に設置された移動体
(ロータ)105、移動体105を振動体4に圧接させ
る加圧手段6から構成されている。また、直流電源から
圧電素子へ供給する交流電圧を発生させるための駆動回
路9および調整用コンデンサ11を備えている。
A conventional ultrasonic motor 101 is shown in FIGS.
As shown in the schematic diagram of FIG. 1 and the block diagram of FIG. 8, the piezoelectric element 3, the vibrating body 4 connected to the piezoelectric element 3 on the support plate 2, and the movement rotatably mounted on the projection 8 of the vibrating body 4. It comprises a body (rotor) 105 and pressure means 6 for pressing the moving body 105 against the vibrating body 4. Further, a drive circuit 9 for generating an AC voltage supplied from the DC power supply to the piezoelectric element and an adjustment capacitor 11 are provided.

【0004】なお、従来の超音波モータの例としては、
特開平7−170772などがある。
As an example of a conventional ultrasonic motor,
JP-A-7-170772 and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の超音波
モータは、回転角度や回転速度を検出する手段を備えて
おらず、各種機器へ組み込むために位置決め制御の機能
が必要な場合は、別途ロータリー・エンコーダ等を歯車
または機械式ジョイント等を介して軸を接続するなどの
対処が必要であった。そのため、機器を小型化すること
が困難であるという問題点があった。また、部品点数や
組立工数が増えることから、コスト上昇を招くという問
題点もがあった。
However, the conventional ultrasonic motor has no means for detecting the rotation angle and the rotation speed, and if a positioning control function is required to incorporate the ultrasonic motor into various devices, a separate ultrasonic motor is required. It was necessary to take measures such as connecting a rotary encoder or the like to a shaft via a gear or a mechanical joint. Therefore, there is a problem that it is difficult to reduce the size of the device. In addition, there is a problem in that the number of parts and the number of assembling steps increase, resulting in an increase in cost.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、交流電流の印
加により伸縮運動する圧電素子と、前記圧電素子の伸縮
運動に伴って振動される振動体と、外信導体の振動に伴
って駆動される移動体と、電気的接続用の結線手段を有
する超音波モータ駆動部が支持板に支持されて構成され
る超音波モータにおいて、前記結線手段に前記移動体の
回転情報を検出する回転検出素子と、前記移動体に接続
されたエンコーダ・ディスクと、を有する超音波モータ
である。
According to the present invention, there is provided a piezoelectric element which expands and contracts by application of an alternating current, a vibrating body which vibrates in accordance with the expansion and contraction of the piezoelectric element, and a drive which is driven in accordance with the vibration of the external conductor. In the ultrasonic motor configured to be supported by a support plate, an ultrasonic motor driving unit having a moving body to be connected and a connection means for electrical connection, rotation detection for detecting rotation information of the moving body by the connection means An ultrasonic motor having an element and an encoder disk connected to the moving body.

【0007】これにより、移動体に接続されたエンコー
ダ・ディスクと回転検出素子を備え、回転検出素子を結
線手段に設けることにより、回転角度や回転数などの回
転情報が検出でき、制御機能を備えながらも小型の超音
波モータを実現することができる。
[0007] With this, by providing an encoder disk connected to the moving body and a rotation detecting element, and by providing the rotation detecting element in the connection means, it is possible to detect rotation information such as a rotation angle and the number of rotations, and to provide a control function. However, a small ultrasonic motor can be realized.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]この実施に
係る超音波モータは、図1A、Bの概略図および図2の
構成ブロック図に示すように構成されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] An ultrasonic motor according to this embodiment is configured as shown in the schematic diagrams of FIGS. 1A and 1B and the configuration block diagram of FIG.

【0009】支持板2上に、圧電素子3、圧電素子3に
接続された振動体4、振動体4の突起4a上に回転自在
に設置された移動体(ロータ)5、移動体5を振動体4
に圧接させる加圧手段6から構成されている。また、直
流電源から圧電素子へ供給する交流電圧を発生させるた
めのモータ駆動回路9及び調整用コンデンサを備えてい
る。
A piezoelectric element 3, a vibrating body 4 connected to the piezoelectric element 3, a moving body (rotor) 5 rotatably mounted on a projection 4a of the vibrating body 4, and a vibrating body 5 on the supporting plate 2. Body 4
And pressurizing means 6 for pressing against. Further, it includes a motor drive circuit 9 for generating an AC voltage to be supplied from the DC power supply to the piezoelectric element, and an adjustment capacitor.

【0010】移動体5にはエンコーダ・ディスク20が
直接接続され、また支持板2上に、電気系統の接続を行
い各素子を固定するための結線手段(結線基板)7が一
体的に取り付けられる。結線手段7上にモータ駆動回路
9および回転検出素子21が設けられている。結線手段
7と圧電体は結線手段7の配線を延長したリード部によ
り接続され、交流電圧が給電される。結線手段7は、図
6A、Bに示すように、金属配線層41と樹脂絶縁層4
2から構成され、金属配線層はフォト・リソグラフィ技
術によりパターンを描かれている。各電子回路(集積回
路)および各電子素子はそれぞれリード端子43と、結
線手段7の金属配線層41とが、はんだ接合により接続
されている。
An encoder disk 20 is directly connected to the moving body 5, and a connecting means (connection board) 7 for connecting an electric system and fixing each element is integrally mounted on the support plate 2. . The motor drive circuit 9 and the rotation detecting element 21 are provided on the connection means 7. The connection means 7 and the piezoelectric body are connected by a lead extending from the wiring of the connection means 7, and AC voltage is supplied. As shown in FIGS. 6A and 6B, the connection means 7 includes a metal wiring layer 41 and a resin insulation layer 4.
2, and the metal wiring layer is patterned by photolithography. In each electronic circuit (integrated circuit) and each electronic element, the lead terminal 43 and the metal wiring layer 41 of the connection means 7 are connected by soldering.

【0011】実施例においては、放射状にスリット(格
子)が切られた金属円盤をエンコーダ・ディスクとして
用いて、半導体発光素子(LED)と半導体受光素子
(PD)の対を反射式の回転検出素子として用いた。こ
の格子のピッチが細かいほどエンコーダの分解能も細か
くすることができる。なお、透明ガラス板等の表面に放
射状格子パターンを描いたエンコーダ・ディスクと透過
式の回転検出素子を用いても同様の機能が得られる。
In the embodiment, a metal disk with a radially slit (grating) is used as an encoder disk, and a pair of a semiconductor light emitting element (LED) and a semiconductor light receiving element (PD) is used as a reflection type rotation detecting element. Used as The finer the pitch of the grating, the finer the resolution of the encoder. The same function can be obtained by using an encoder disk in which a radial lattice pattern is drawn on the surface of a transparent glass plate or the like and a transmission type rotation detecting element.

【0012】回転検出素子21はエンコーダ・ディスク
20の光線の反射を検出し、エンコーダ・ディスク20
の回転運動を電気信号に変換するものである。信号処理
回路13は、回転検出素子21の電気信号を増幅し、波
形を整えた上で、外部に接続された計数回路や制御回路
にパルス信号を送り込むものである。以上の構成に計数
回路や制御回路を接続することにより、超音波モータの
回転角度を得ることができる。同一の結線手段7に回転
検出素子21と信号回路13を設けたことにより、最小
限の配線長で結線可能で外部へ配線を引き伸ばす必要が
ないため、波形の歪みや外部からの雑音等の影響も防止
できる。また、エンコーダ機能を備えた超音波モータ全
体の構成も小型化が可能となる。
The rotation detecting element 21 detects the reflection of the light beam from the encoder disk 20 and outputs the signal from the encoder disk 20.
Is converted into an electric signal. The signal processing circuit 13 amplifies the electric signal of the rotation detecting element 21, adjusts the waveform, and sends a pulse signal to an externally connected counting circuit and control circuit. The rotation angle of the ultrasonic motor can be obtained by connecting a counting circuit and a control circuit to the above configuration. By providing the rotation detecting element 21 and the signal circuit 13 on the same connection means 7, the connection can be made with a minimum wiring length and there is no need to extend the wiring to the outside, so that the influence of waveform distortion, external noise, etc. Can also be prevented. Further, the overall configuration of the ultrasonic motor having the encoder function can be reduced in size.

【0013】また、図5A、Bに示すように、結線手段
7には、配線パターンを描画すると同時に回転検出素子
21の固定位置を指示するため位置決めパターン30を
描くことにより、回転検出素子21を正確な位置に設置
でき、エンコーダの回転角度の測定精度を高く保つこと
が可能となる。位置決めパターンは、配線パターン以外
にもシルク印刷パターンでも描くことが可能である。
As shown in FIGS. 5A and 5B, a wiring pattern is drawn on the connection means 7 and, at the same time, a positioning pattern 30 for indicating a fixed position of the rotation detecting element 21 is drawn. It can be installed at an accurate position, and the measurement accuracy of the rotation angle of the encoder can be kept high. The positioning pattern can be drawn by a silk print pattern in addition to the wiring pattern.

【0014】なお、上記の手段を記録したコンピュータ
が読み取り可能な記録媒体としても良い。
A computer-readable recording medium on which the above-described means are recorded may be used.

【0015】[第2の実施の形態]次に、第2の実施の
形態である超音波モータについて、図面に基づいて説明
する。図3A、B本実施の形態の概略図であり、図4
は、そのブロック図をである。本形態である超音波モー
タは補正用電子素子25、回転検出素子21、信号処理
回路13、制御回路12、電圧センサ、電流センサ、温
度センサなどのセンサ素子24、マイクロ・コンピュー
タ(マイクロ・プロセッサ)23を結線手段7に設けて
ある。
Second Embodiment Next, an ultrasonic motor according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. 3A and 3B are schematic diagrams of the present embodiment, and FIG.
Is its block diagram. The ultrasonic motor according to the present embodiment includes a correction electronic element 25, a rotation detection element 21, a signal processing circuit 13, a control circuit 12, sensor elements 24 such as a voltage sensor, a current sensor, and a temperature sensor, and a microcomputer (microprocessor). 23 is provided on the connection means 7.

【0016】電圧センサと電流センサは、超音波モータ
の動作状態を知るために圧電素子の電圧・電流を計測す
るものである。圧電素子および振動体の温度は超音波モ
ータの特性を変化させるため、温度センサは正確な温度
を計測するために、超音波モータに近い位置に設置する
ことが望ましい。補正用電子素子25は、超音波モータ
をもっとも効率良く動作させるために、容量値を補正す
るものである。従来の超音波モータにおいては、半固定
コンデンサを用いて、いったん調整を行った後の容量値
は固定したまま超音波モータを駆動していた。しかし、
温度変化や経時変化、回転数などに合わせて容量値を変
化させることがより望ましい。そのため、印加バイアス
電圧による電気空乏層幅の変化よって容量値が変化する
PN接合ダイオード等の電子素子を容量補正用として用
いる。制御回路12は、信号処理回路13により増幅、
波形整形された回転検出素子21の信号をカウントし、
また外部からの指令信号により、指定された角度に超音
波モータを動作、停止させるなどの機能を有するもので
ある。マイクロ・コンピュータ23は、超音波モータに
複雑な動作をさせるために記憶回路に格納されたプログ
ラムを実行し、あるいは、最適な動作のために必要なパ
ラメータの演算処理を行う。たとえば、高速回転時と精
密微小位置決めで、超音波モータに印加する電圧を変え
る場合などである。さらに、センサ24により得られた
温度、電圧、及びエンコーダにより得られた回転数等の
データから演算処理により前記補正用電子素子25の補
正値を導出することも可能となる。マイクロ・コンピュ
ータ23の算出した前記補正値のデジタル・データは、
DAコンバータ27により電圧値に変換されるため、補
正用電子素子に電圧を印加して、その容量値を調整する
ことができる。
The voltage sensor and the current sensor measure the voltage and current of the piezoelectric element in order to know the operating state of the ultrasonic motor. Since the temperatures of the piezoelectric element and the vibrating body change the characteristics of the ultrasonic motor, it is desirable that the temperature sensor be installed at a position close to the ultrasonic motor in order to accurately measure the temperature. The correction electronic element 25 corrects a capacitance value in order to operate the ultrasonic motor most efficiently. In a conventional ultrasonic motor, a semi-fixed capacitor is used to drive the ultrasonic motor while the capacitance value once adjusted is fixed. But,
It is more desirable to change the capacitance value in accordance with a temperature change, a temporal change, a rotation speed, and the like. Therefore, an electronic element such as a PN junction diode whose capacitance changes due to a change in the width of the electric depletion layer due to the applied bias voltage is used for capacitance correction. The control circuit 12 is amplified by the signal processing circuit 13,
The signal of the rotation detecting element 21 whose waveform is shaped is counted,
The ultrasonic motor has a function of operating and stopping the ultrasonic motor at a specified angle in response to a command signal from the outside. The microcomputer 23 executes a program stored in a storage circuit for causing the ultrasonic motor to perform a complicated operation, or performs a calculation process of a parameter necessary for an optimal operation. For example, there is a case where the voltage applied to the ultrasonic motor is changed between high-speed rotation and fine positioning. Further, it is also possible to derive a correction value of the correction electronic element 25 by arithmetic processing from data such as the temperature and voltage obtained by the sensor 24 and the number of revolutions obtained by the encoder. The digital data of the correction value calculated by the microcomputer 23 is
Since the voltage is converted by the DA converter 27, a voltage can be applied to the correction electronic element to adjust the capacitance value.

【0017】なお、IC回路技術やハイブリッドIC技
術により、それぞれの電子回路や電子素子を集積化し、
さらに全体を小型化することも可能である。近年の1チ
ップ型マイクロ・コンピュータでは、DAコンバータ素
子やセンサからの電圧値を検出するADコンバータ素子
を内蔵しているものも多いため、これらのマイクロ・コ
ンピュータを用いることで部品点数を増やすことなく小
型で高機能の超音波モータを実現できる。また、演算処
理能力の高い演算回路(プロセッサ)を用いることによ
り、制御回路や計数回路の機能を兼用することなども可
能である。
The respective electronic circuits and electronic elements are integrated by IC circuit technology or hybrid IC technology,
Furthermore, it is possible to reduce the size as a whole. Many recent one-chip microcomputers have a built-in A / D converter element for detecting a voltage value from a D / A converter element or a sensor. Therefore, by using these microcomputers, the number of parts can be increased without increasing the number of parts. A small, high-performance ultrasonic motor can be realized. In addition, by using an arithmetic circuit (processor) having a high arithmetic processing capability, it is possible to share the functions of a control circuit and a counting circuit.

【0018】なお、上記の手段を記録したコンピュータ
が読み取り可能な記録媒体としても良い。
It is to be noted that a computer-readable recording medium on which the above-described means are recorded may be used.

【0019】[0019]

【発明の効果】回転角度、回転速度検出のための高度な
エンコーダ機能及び制御機能を有しながらコンパクトで
扱いやすい超音波モータを提供することができる。ま
た、コスト上昇も最小限で押さえられる。
According to the present invention, it is possible to provide a compact and easy-to-handle ultrasonic motor having an advanced encoder function and a control function for detecting a rotation angle and a rotation speed. In addition, cost increases can be minimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る超音波モータの第1の形態を示す
概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of an ultrasonic motor according to the present invention.

【図2】本発明に係る超音波モータの第1の形態を示す
ブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a first embodiment of the ultrasonic motor according to the present invention.

【図3】本発明に係る超音波モータの第2の形態を示す
概略図である。
FIG. 3 is a schematic view showing a second embodiment of the ultrasonic motor according to the present invention.

【図4】本発明に係る超音波モータの第2の形態を示す
ブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a second embodiment of the ultrasonic motor according to the present invention.

【図5】本発明に係る第1の形態を示す結線手段であ
る。
FIG. 5 shows connection means according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明に係る第2の形態を示す結線手段FIG. 6 is a diagram illustrating a second embodiment of the present invention;

【図7】従来の超音波モータを示す概略図である。FIG. 7 is a schematic view showing a conventional ultrasonic motor.

【図8】従来の超音波モータのブロック図である。FIG. 8 is a block diagram of a conventional ultrasonic motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 超音波モータ 2 支持板 3 圧電素子 4 振動体 5 移動体 6 加圧手段 7 結線手段 8 突起部 9 駆動回路 12 制御回路 13 信号処理回路 14 スペーサ 15 結線リード部 20 エンコーダ・ディスク 21 回転検出素子 23 マイクロ・コンピュータ 24 センサ素子 25 補正用電子素子 26 ADコンバータ 27 DAコンバータ 28 演算回路 29 外部接続端子 30a 位置決めパターン 30b 位置決めパターン 30c 位置決めパターン 30d 位置決めパターン 41 金属配線層 42 樹脂絶縁層 43 リード端子 101 従来の超音波モータ 105 移動体 107 結線手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultrasonic motor 2 Support plate 3 Piezoelectric element 4 Vibrating body 5 Moving body 6 Pressurizing means 7 Connecting means 8 Projection part 9 Drive circuit 12 Control circuit 13 Signal processing circuit 14 Spacer 15 Connection lead part 20 Encoder disk 21 Rotation detecting element Reference Signs List 23 Microcomputer 24 Sensor element 25 Correction electronic element 26 AD converter 27 DA converter 28 Arithmetic circuit 29 External connection terminal 30a Positioning pattern 30b Positioning pattern 30c Positioning pattern 30d Positioning pattern 41 Metal wiring layer 42 Resin insulating layer 43 Lead terminal 101 Conventional Ultrasonic motor 105 Moving body 107 Connection means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯野 朗弘 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Fターム(参考) 2F077 AA43 NN02 NN28 PP19 QQ02 VV02 VV10 VV31 VV33 WW04 2F103 CA03 DA01 DA13 EA02 EA12 EA19 EA21 EB06 EB12 EB32 ED07 5H680 AA19 BB16 BC02 BC08 DD01 DD23 DD53 DD72 EE21 EE23 FF36  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Akihiro Iino 1-8-8 Nakase, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba F-Term (in reference) 2F077 AA43 NN02 NN28 PP19 QV02 VV10 VV10 VV33 WW04 2F103 CA03 DA01 DA13 EA02 EA12 EA19 EA21 EB06 EB12 EB32 ED07 5H680 AA19 BB16 BC02 BC08 DD01 DD23 DD53 DD72 EE21 EE23 FF36

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 交流電流の印加により伸縮運動する圧電
素子と、前記圧電素子の伸縮運動に伴って振動される振
動体と、外信導体の振動に伴って駆動される移動体と、
電気的接続用の結線手段を有する超音波モータ駆動部が
支持板に支持されて構成される超音波モータにおいて、 前記結線手段に前記移動体の回転情報を検出する回転検
出素子と、前記移動体に接続されたエンコーダ・ディス
クと、 を有する超音波モータ。
A piezoelectric element that expands and contracts by application of an alternating current, a vibrating body that vibrates in accordance with the expansion and contraction of the piezoelectric element, a moving body that is driven in accordance with the vibration of an external conductor,
In an ultrasonic motor configured to support an ultrasonic motor driving unit having a connection unit for electrical connection on a support plate, a rotation detection element configured to detect rotation information of the moving body by the connection unit, and the moving body An ultrasonic motor comprising: an encoder disk connected to the ultrasonic motor;
【請求項2】 前記結線手段は、その表面に前記回転検
出素子の位置を決めるためのパターンを有する請求項1
記載の超音波モータ。
2. The connection means has a pattern for determining a position of the rotation detecting element on a surface thereof.
An ultrasonic motor as described.
【請求項3】 前記結線手段は、前記回転検出素子を駆
動する電子回路と、信号処理を行う電子回路を有する請
求項1又は請求項2に記載の超音波モータ。
3. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein said connection means has an electronic circuit for driving said rotation detecting element and an electronic circuit for performing signal processing.
【請求項4】 前記結線手段は、前記圧電素子へ交流電
流を供給するモータ駆動回路と、前記回転検出素子の出
力信号から前記移動体の回転情報を有する信号に変換す
るための信号処理回路と、前記回転情報を処理する外部
回路と、前記外部回路により得られた前記回転情報から
超音波モータを駆動制御する信号を発生する制御回路
と、を有する請求項1ないし請求項3のいずれかに記載
の超音波モータ。
4. A motor driving circuit for supplying an alternating current to the piezoelectric element, a signal processing circuit for converting an output signal of the rotation detecting element into a signal having rotation information of the moving body, and 4. An external circuit for processing the rotation information, and a control circuit for generating a signal for driving and controlling an ultrasonic motor from the rotation information obtained by the external circuit. An ultrasonic motor as described.
【請求項5】 前記駆動回路は静電容量値を可変できる
補正用電子素子を有し、前記補正用電子素子は超音波モ
ータ駆動時に適正な値となるようにした請求項4記載の
超音波モータ。
5. The ultrasonic wave according to claim 4, wherein the drive circuit has a correction electronic element capable of changing a capacitance value, and the correction electronic element has an appropriate value when the ultrasonic motor is driven. motor.
【請求項6】 前記駆動回路は静電容量値を可変できる
補正用電子素子を有し、前記補正用電子素子は前記エン
コーダ・ディスクおよび前記回転検出素子より得られた
回転情報から算出された容量値となるようにした請求項
4記載の超音波モータ。
6. The drive circuit has a correction electronic element capable of changing a capacitance value, wherein the correction electronic element has a capacitance calculated from rotation information obtained from the encoder disk and the rotation detection element. The ultrasonic motor according to claim 4, wherein the value is set to a value.
【請求項7】 前記結線手段は、前記補正用電子素子の
容量値を計算するのに必要な物理量を測定するセンサを
有する請求項6記載の超音波モータ。
7. The ultrasonic motor according to claim 6, wherein said connection means includes a sensor for measuring a physical quantity required for calculating a capacitance value of said correction electronic element.
【請求項8】 前記結線手段は前記支持板と一体的に設
けた請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の超音波モ
ータ。
8. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein said connection means is provided integrally with said support plate.
【請求項9】 請求項1乃至請求項8のいずれかに記載
の超音波モータを備えた電子機器。
9. An electronic apparatus comprising the ultrasonic motor according to claim 1.
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