JP7121341B2 - Encoder and drive device, and heating method - Google Patents

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Description

本発明は、エンコーダ、エンコーダを備えた駆動装置、及びエンコーダの加熱方法に関する。 The present invention relates to an encoder, a driving device provided with the encoder, and a heating method for the encoder.

産業用ロボット又は工作機械等の駆動部に用いられるモータの回転角の制御を高精度に行うために、モータの回転軸にはエンコーダ（例えばロータリーエンコーダ）が取り付けられている。そして、モータの制御は、エンコーダの検出結果に基づいて行われている。モータは、一般にコイルからの熱を排熱するために、樹脂で覆われている。その樹脂は、モータの停止時に空気中の水分を吸収（吸湿）し、運転時に樹脂中の水分を放出する。そのため、モータの運転時には、コイルが急速に昇温し、モータの樹脂も高温になり、樹脂に含まれていた水分が空気中に放出され、放出された水蒸気がエンコーダ側にも流れることになる。このとき、その水蒸気がエンコーダ内で結露する恐れがあった。このような結露を防止するために、エンコーダ内に吸湿剤を配置することが提案されている（例えば、引用文献１参照）。 2. Description of the Related Art An encoder (for example, a rotary encoder) is attached to a rotating shaft of a motor for highly accurate control of a rotation angle of a motor used in a drive section of an industrial robot, machine tool, or the like. The motor is controlled based on the detection result of the encoder. Motors are generally covered with resin to dissipate heat from the coils. The resin absorbs (absorbs) moisture in the air when the motor is stopped, and releases the moisture in the resin during operation. Therefore, when the motor is running, the temperature of the coil rises rapidly, the resin of the motor also becomes hot, the moisture contained in the resin is released into the air, and the released water vapor also flows to the encoder side. . At this time, the water vapor may condense within the encoder. In order to prevent such dew condensation, it has been proposed to place a moisture absorbent in the encoder (see, for example, Cited Document 1).

最近では、エンコーダが取り付けられたモータはより様々な環境下で使用されるようになっており、さらにエンコーダの検出精度を常に高精度に維持することも求められている。このため、エンコーダ内での結露の防止、又は結露の抑制をより効果的に行うことが求められている。 Recently, motors equipped with encoders have come to be used in various environments, and it is also required to always maintain high detection accuracy of encoders. Therefore, it is required to prevent dew condensation in the encoder or to more effectively suppress dew condensation.

特開２０１７－１５５２１号公報JP 2017-15521 A

本発明の第１の態様によれば、回転軸の回転情報を検出するエンコーダであって、その回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、その回転軸に設けられたパターン及びその検出器を収容する第１収容ケースと、その第１収容ケース内に収容されたそのパターン及びその検出器の少なくとも一方を加熱する加熱部と、そのパターンとその検出器との間に設けられ、そのパターンからの光を通過させる通過部が形成された板状部材と、を備え、その加熱部は、その板状部材に設けられるエンコーダが提供される。
また、別の態様によれば、回転軸の回転情報を検出するエンコーダであって、その回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、その回転軸に設けられたパターン及びその検出器を収容する第１収容ケースと、その第１収容ケース内に収容されたそのパターン及びその検出器の少なくとも一方を加熱する加熱部と、を備え、そのパターンは、その回転軸の一端部に取り付けられたスケールの表面に形成され、その加熱部は、そのスケールの裏面に設けられた発熱体と、その発熱体に電力を供給する接触式又は非接触式の配線部とを有するエンコーダが提供される。
第２の態様によれば、第１の態様のエンコーダと、その回転軸を駆動するモータ部と、そのエンコーダの検出結果を用いてそのモータ部を制御するモータ制御部と、を備える駆動装置が提供される。 According to a first aspect of the present invention, there is provided an encoder for detecting rotation information of a rotating shaft, comprising: a detector for detecting a pattern provided on the rotating shaft; a pattern provided on the rotating shaft and detection thereof; a first housing case housing a device, a heating unit for heating at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case, and provided between the pattern and the detector, a plate-like member having a passing portion for passing light from the pattern, and the heating portion is provided in the plate-like member .
According to another aspect, there is provided an encoder for detecting rotation information of a rotary shaft, comprising a detector for detecting a pattern provided on the rotary shaft, and a pattern provided on the rotary shaft and the detector. and a heating unit for heating at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case, the pattern being attached to one end of the rotating shaft. provided on the surface of the scale, the heating portion of which has a heating element provided on the back surface of the scale, and a contact or non-contact wiring portion for supplying power to the heating element. .
According to a second aspect, there is provided a driving device including the encoder of the first aspect, a motor section that drives the rotating shaft, and a motor control section that controls the motor section using a detection result of the encoder. provided.

第３の態様によれば、回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、その回転軸に設けられたパターン及びその検出器を収容する第１収容ケースと、を備えるエンコーダの加熱方法であって、そのパターンとその検出器との間に設けられた板状部材の通過部を介して、そのパターンからの光をその検出器に導くことと、その板状部材に設けられる加熱部を用いて、その第１収容ケース内に収容されたそのパターン及びその検出器の少なくとも一方を加熱することと、を含む加熱方法が提供される。
別の態様によれば、回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、その回転軸に設けられたパターン及びその検出器を収容する第１収容ケースと、を備えるエンコーダの加熱方法であって、その検出器の検出信号の振幅を求めることと、その検出信号の振幅が目標値より小さいときに、その第１収容ケース内に収容されたそのパターン及びその検出器の少なくとも一方を加熱することと、を含む加熱方法が提供される。 According to a third aspect, in a heating method for an encoder comprising a detector that detects a pattern provided on a rotating shaft, and a first housing case that accommodates the pattern provided on the rotating shaft and the detector light from the pattern is guided to the detector through the passing portion of the plate-like member provided between the pattern and the detector; and a heating portion provided on the plate-like member. to heat at least one of the pattern and the detector contained within the first containment case using a heating method.
According to another aspect, there is provided a heating method for an encoder including a detector that detects a pattern provided on a rotating shaft, and a first housing case that accommodates the pattern provided on the rotating shaft and the detector. and heating at least one of the pattern and the detector accommodated in the first accommodation case when the amplitude of the detection signal is smaller than a target value. and a heating method is provided.

（Ａ）は本発明の第１の実施形態に係る駆動装置を示す断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）内のエンコーダ部を示す拡大断面図である。1A is a cross-sectional view showing a driving device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view showing an encoder section in FIG. （Ａ）は図１（Ａ）内のパターンの一部を示す拡大図、（Ｂ）は図１（Ａ）内の受光素子の一部を示す拡大図、（Ｃ）は検出信号の一部を示す図、（Ｄ）は結露したパターンの一部を示す拡大図、（Ｅ）は結露した場合の検出信号の一部を示す図である。(A) is an enlarged view showing part of the pattern in FIG. 1(A), (B) is an enlarged view showing part of the light receiving element in FIG. 1(A), and (C) is part of the detection signal. , (D) is an enlarged view showing part of the dew condensation pattern, and (E) is a view showing part of the detection signal in the case of dew condensation. エンコーダの加熱方法の一例を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing an example of an encoder heating method; （Ａ）は第１の実施形態の第１変形例の駆動装置を示す断面図、（Ｂ）は第２変形例の駆動装置を示す断面図である。(A) is a cross-sectional view showing a drive device of a first modified example of the first embodiment, and (B) is a cross-sectional view showing a drive device of a second modified example. （Ａ）は第３変形例の駆動装置を示す断面図、（Ｂ）は図５（Ａ）中のシールド板３６を示す平面図である。(A) is a cross-sectional view showing a drive device of a third modification, and (B) is a plan view showing a shield plate 36 in FIG. 5(A). （Ａ）は第２の実施形態に係る駆動装置を示す断面図、（Ｂ）は図６（Ａ）中のエンコーダで計測される温度の一例を示す図である。6A is a cross-sectional view showing a driving device according to a second embodiment, and FIG. 6B is a diagram showing an example of temperature measured by an encoder in FIG. 6A. FIG. エンコーダの加熱方法の他の例を示すフローチャートである。8 is a flow chart showing another example of an encoder heating method;

以下、第１の実施形態につき図１（Ａ）～図３を参照して説明する。
図１（Ａ）は、本実施形態に係る駆動装置１０の概略構成を示す。図１（Ａ）において、駆動装置１０は、エンコーダ部１２と、モータ部１４と、エンコーダ部１２の検出結果に基づいてモータ部１４の動作を制御する制御装置１６とを備えている。モータ部１４は、互いに対向する２つの開口が形成された箱状のモータケース３０と、モータケース３０に形成された２つの開口の側面部（内側面）に設けられた１対の回転軸受２８Ａ及び２８Ｂと、この１対の回転軸受２８Ａ及び２８Ｂを介して回転可能に支持された細長い棒状の回転軸１８と、回転軸１８の中央の軸部１８ｃの外面に装着された複数のマグネット２０と、マグネット２０を囲むようにモータケース３０の内面に配置された複数のコイル２２と、コイル２２に複数の信号ライン２６を介して接続された駆動回路２４とを有する。マグネット２０及びコイル２２の少なくとも一部は合成樹脂等の樹脂（不図示）によって覆われ、モータ部１４の停止中には、その樹脂は周囲の空気中の水分を吸収し、モータ部１４の運転中（コイル２２に電流を供給する期間）には、その樹脂は水分（水蒸気）を周囲の空気中に放出する。以下では、回転軸１８の中心軸に平行にＺ軸を取って説明する。回転軸１８はＺ軸に平行な軸の回りに回転可能である。 The first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1(A) to 3. FIG.
FIG. 1A shows a schematic configuration of a driving device 10 according to this embodiment. 1A, the driving device 10 includes an encoder section 12, a motor section 14, and a control device 16 that controls the operation of the motor section 14 based on the detection result of the encoder section 12. As shown in FIG. The motor unit 14 includes a box-shaped motor case 30 formed with two openings facing each other, and a pair of rotary bearings 28A provided on the side surfaces (inner surfaces) of the two openings formed in the motor case 30. and 28B, an elongated rod-shaped rotary shaft 18 rotatably supported via the pair of rotary bearings 28A and 28B, and a plurality of magnets 20 mounted on the outer surface of the central shaft portion 18c of the rotary shaft 18. , a plurality of coils 22 arranged on the inner surface of the motor case 30 so as to surround the magnet 20, and a drive circuit 24 connected to the coils 22 via a plurality of signal lines 26. FIG. At least a part of the magnet 20 and the coil 22 is covered with a resin (not shown) such as a synthetic resin. During the period during which current is applied to the coil 22, the resin releases moisture (water vapor) into the surrounding air. In the following description, the Z-axis is taken parallel to the central axis of the rotating shaft 18 . The rotating shaft 18 is rotatable around an axis parallel to the Z-axis.

一例として、モータ部１４は３相交流モータであるが、モータ部１４としては直流モータ等も使用できる。本実施形態では、回転軸１８の軸部１８ｃの一部、マグネット２０、及びコイル２２はモータケース３０内に収容されている。一方、回転軸１８の軸部１８ｃよりも細い＋Ｚ方向の一端部１８ａ及び軸部１８ｃと同じ外径の－Ｚ方向の他端部１８ｂはそれぞれモータケース３０の＋Ｚ方向及び－Ｚ方向の側面の外側に突き出ている。 As an example, the motor section 14 is a three-phase AC motor, but a DC motor or the like can also be used as the motor section 14 . In this embodiment, a portion of the shaft portion 18c of the rotating shaft 18, the magnet 20, and the coil 22 are housed inside the motor case 30. As shown in FIG. On the other hand, one end portion 18a in the +Z direction, which is thinner than the shaft portion 18c of the rotating shaft 18, and the other end portion 18b in the -Z direction, which has the same outer diameter as the shaft portion 18c, are formed on the side surfaces of the motor case 30 in the +Z direction and the -Z direction, respectively. protruding outwards.

また、エンコーダ部１２は、回転軸１８の一端部１８ａ側に配置される。エンコーダ部１２は、回転軸１８の一端部１８ａの先端に取り付けられて、回転方向の位置を検出するための輪帯状の反射型のパターンＰＡ（以下、回転型の検出パターンとも称する）が形成された円板状の回転板（以下、反射符号板という。）３４を有する。さらに、エンコーダ部１２は、反射符号板３４のパターンＰＡに検出光を照射する光源４０と、パターンＰＡからの反射光を受光する受光素子４２と、受光素子４２の検出信号Ｓ１を処理して反射符号板３４（及び回転軸１８）の回転方向の位置（角度及び／又は角速度）の情報（以下、エンコーダ情報という）Ｓ２を求める処理回路４４とを含む検出部３３を有する。エンコーダ情報Ｓ２は、駆動回路２４及び制御装置１６に供給される。反射符号板３４は、回転型のスケール又はディスクとも呼ぶことができる。なお、反射符号板３４に形成されるパターンＰＡは、アブソリュート型及びインクリメンタル型のパターンを含む。なお、パターンＰＡは、アブソリュート型又はインクリメンタル型のパターンであってもよく、その他の任意のパターンであってもよい。また、反射符号板３４の代わりに、透過型のパターンが形成された回転板（透過符号板）を使用してもよい。 Further, the encoder section 12 is arranged on the one end portion 18 a side of the rotating shaft 18 . The encoder unit 12 is attached to the tip of one end 18a of the rotary shaft 18, and has a ring-shaped reflective pattern PA (hereinafter also referred to as a rotary detection pattern) for detecting the position in the rotational direction. A disk-shaped rotating plate (hereinafter referred to as a reflection code plate) 34 is provided. Further, the encoder unit 12 includes a light source 40 that irradiates the pattern PA of the reflective code plate 34 with detection light, a light receiving element 42 that receives the reflected light from the pattern PA, and a detection signal S1 of the light receiving element 42 that is processed and reflected. and a detection unit 33 including a processing circuit 44 for obtaining information (hereinafter referred to as encoder information) S2 of the rotational position (angle and/or angular velocity) of the code plate 34 (and rotary shaft 18). Encoder information S2 is supplied to drive circuit 24 and control device 16 . Reflective code plate 34 may also be referred to as a rotating scale or disk. The pattern PA formed on the reflective code plate 34 includes absolute type and incremental type patterns. The pattern PA may be an absolute type or incremental type pattern, or may be any other pattern. Further, instead of the reflection code plate 34, a rotary plate (transmission code plate) on which a transmission pattern is formed may be used.

制御装置１６は、回転軸１８の目標回転角及び／又は目標回転速度の情報と、エンコーダ情報Ｓ２とを用いて回転軸１８の回転角等の情報を含む回転指令情報Ｓ４を生成し、その回転指令情報Ｓ４を駆動回路２４に供給する。駆動回路２４は、回転指令情報Ｓ４及びエンコーダ情報Ｓ２を用いて、コイル２２に供給する電流を調整して回転軸１８の回転角及び／又は回転速度を制御する。さらに、駆動回路２４は、コイル２２に供給する電流値を含む電流情報Ｓ３を制御装置１６に供給する。 The control device 16 generates rotation command information S4 including information such as the rotation angle of the rotary shaft 18 using the information on the target rotation angle and/or the target rotation speed of the rotary shaft 18 and the encoder information S2. The command information S4 is supplied to the driving circuit 24. The drive circuit 24 controls the rotation angle and/or rotation speed of the rotating shaft 18 by adjusting the current supplied to the coil 22 using the rotation command information S4 and the encoder information S2. Furthermore, the drive circuit 24 supplies current information S<b>3 including the current value to be supplied to the coil 22 to the control device 16 .

モータケース３０の＋Ｚ方向の端面に円筒状のエンコーダケース３２が固定され、エンコーダケース３２の＋Ｚ方向の端部を覆うように円板状の基板（例えばプリント基板）３８が固定され、基板３８に光源４０、受光素子４２、及び処理回路４４が取り付けられている。エンコーダケース３２は例えば合成樹脂又は金属から形成されている。
図１（Ｂ）は図１（Ａ）中のエンコーダ部１２を示す拡大図である。図１（Ｂ）において、基板３８と反射符号板３４との間に、モータ部１４側から基板３８側に向かう電磁波を遮蔽して検出部３３におけるノイズを低減させるための円形の板状のシールド板３６（遮蔽板）が配置されている。シールド板３６は例えば真鍮等の非磁性体の金属（導電性材料）から形成されており、シールド板３６のパターンＰＡと光源４０及び受光素子４２との間の部分には、検出光を通過させるための開口部（後述の図５（Ｂ）のシールド板３６Ａの開口部３６Ａｃと同様の開口部）が形成されている。なお、シールド板３６には、その開口部の代わりにガラス板等の光透過性の窓部を設けてもよい。基板３８のパターンＰＡ側の面の外周部には接地された（０Ｖの）端子部３８ａが設けられ、シールド板３６のリング状の外周部３６ａがエンコーダケース３２の＋Ｚ方向側の端部と端子部３８ａとの間に挟み込まれて固定されている。エンコーダケース３２の＋Ｚ方向側の端部の内面には、シールド板３６の外形に合わせて段差部３２ａが設けられている。 A cylindrical encoder case 32 is fixed to the end face of the motor case 30 in the +Z direction. A light source 40, a light receiving element 42, and a processing circuit 44 are attached. The encoder case 32 is made of synthetic resin or metal, for example.
FIG. 1(B) is an enlarged view showing the encoder section 12 in FIG. 1(A). In FIG. 1B, a circular plate-shaped shield is provided between the substrate 38 and the reflective code plate 34 for shielding electromagnetic waves directed from the motor section 14 side to the substrate 38 side to reduce noise in the detection section 33. A plate 36 (shielding plate) is arranged. The shield plate 36 is made of a non-magnetic metal (conductive material) such as brass. An opening (similar to the opening 36Ac of the shield plate 36A shown in FIG. 5B, which will be described later) is formed for this purpose. The shield plate 36 may be provided with a light-transmitting window such as a glass plate instead of the opening. A grounded (0 V) terminal portion 38a is provided on the outer peripheral portion of the surface of the substrate 38 on the pattern PA side, and the ring-shaped outer peripheral portion 36a of the shield plate 36 is connected to the +Z direction side end of the encoder case 32 and the terminal. It is fixed by being sandwiched between it and the portion 38a. A stepped portion 32 a is provided on the inner surface of the end portion of the encoder case 32 on the +Z direction side so as to match the outer shape of the shield plate 36 .

また、エンコーダ部１２は、基板３８と、シールド板３６と、シールド板３６の基板３８側の面に設けられた、発熱抵抗塗膜よりなる膜状のヒータ４６と、ヒータ４６の加熱量を制御するヒータ制御部４８（図１（Ａ）参照）とを有する。発熱抵抗塗膜は、一例として油性の密着用材料（いわゆるバインダ）に粉末カーボン及び／又は金属粉末を分散させたものである。発熱抵抗塗膜に電流を流すことによって、発熱抵抗塗膜は発熱する。なお、ヒータ４６は、シールド板３６の反射符号板３４側の面に設けてもよい。ヒータ４６の一面の端子部は、シールド板３６を介して基板３８の０Ｖの端子部３８ａに導通し、ヒータ４６の他面の端子部４６ａは、基板３８の貫通穴を通して電源端子部３８ｂに導通している。ヒータ制御部４８には処理回路４４から検出信号Ｓ１が供給されている。ヒータ制御部４８が、制御装置１６からの制御情報Ｓ５及び検出信号Ｓ１に基づいて電源端子部３８ｂに供給する電圧（電流）を制御することで、パターンＰＡ（反射符号板３４）及び検出部３３（特に光源４０及び受光素子４２）の少なくとも一方の表面における結露を防止するように、ヒータ４６の加熱のタイミング及び加熱量（温度）を制御する。ヒータ制御部４８は、結露に関する情報Ｓ６を制御装置１６に供給することができる。 The encoder unit 12 also controls the substrate 38, the shield plate 36, a film-like heater 46 made of a heat-generating resistance coating film provided on the surface of the shield plate 36 on the substrate 38 side, and the heating amount of the heater 46. and a heater control unit 48 (see FIG. 1A). For example, the heating resistance coating film is obtained by dispersing powdered carbon and/or metal powder in an oil-based adhesion material (so-called binder). The heat-generating resistance coating heats up by passing an electric current through the heat-generating resistance coating. The heater 46 may be provided on the surface of the shield plate 36 on the reflection code plate 34 side. The terminal portion on one surface of the heater 46 is electrically connected to the 0V terminal portion 38a of the substrate 38 through the shield plate 36, and the terminal portion 46a on the other surface of the heater 46 is electrically connected to the power supply terminal portion 38b through the through hole of the substrate 38. is doing. A detection signal S1 is supplied from the processing circuit 44 to the heater control unit 48 . The heater control unit 48 controls the voltage (current) supplied to the power supply terminal unit 38b based on the control information S5 and the detection signal S1 from the control device 16, so that the pattern PA (reflection code plate 34) and the detection unit 33 The heating timing and heating amount (temperature) of the heater 46 are controlled so as to prevent dew condensation on at least one surface of (especially the light source 40 and the light receiving element 42). The heater control unit 48 can supply the control device 16 with information S<b>6 regarding dew condensation.

エンコーダケース３２及び基板３８で囲まれたほぼ密閉された空間３２Ｓ内に、回転軸１８の一端部１８ａ、反射符号板３４、光源４０、受光素子４２、シールド板３６、及びヒータ４６が収容されている。
本実施形態では、モータケース３０（第２収容ケース）に対してエンコーダケース３２（第１収容ケース）は隣接しており、モータケース３０内の空間３０Ｓと、エンコーダケース３２内の空間３２Ｓとは、回転軸受２８Ａ内の隙間を介してわずかに連通し、また、空間３０Ｓは回転軸受２８Ｂ内の隙間を介して外気とわずかに連通している。そのため、外気又は空間３０Ｓ内で発生する水蒸気が回転軸受２８Ａ内の隙間を通して空間３２Ｓ内に流入する場合がある。このため、空間３２Ｓ内のパターンＰＡ、光源４０、及び受光素子４２等の表面に結露が生じ、検出信号Ｓ１のＳＮ比の低下等が起こる恐れがある。なお、モータケース３０とエンコーダケース３２との間に隙間があると、外気がこの隙間を介して空間３２Ｓ内に流入する場合がある。 One end portion 18a of the rotary shaft 18, the reflective code plate 34, the light source 40, the light receiving element 42, the shield plate 36, and the heater 46 are accommodated in a substantially sealed space 32S surrounded by the encoder case 32 and the substrate 38. there is
In this embodiment, the encoder case 32 (first housing case) is adjacent to the motor case 30 (second housing case), and the space 30S in the motor case 30 and the space 32S in the encoder case 32 are separated from each other. , the space 30S communicates slightly with the outside air through a gap in the rotary bearing 28B. Therefore, the outside air or water vapor generated in the space 30S may flow into the space 32S through the gap in the rotary bearing 28A. For this reason, dew condensation may occur on the surfaces of the pattern PA, the light source 40, the light receiving element 42, and the like in the space 32S, and the SN ratio of the detection signal S1 may be lowered. If there is a gap between the motor case 30 and the encoder case 32, outside air may flow into the space 32S through this gap.

本実施形態の駆動装置１０の動作の一例につき説明する。基本的な動作として、エンコーダ部１２の処理回路４４は、所定の周期で求めた反射符号板３４（及び回転軸１８）の角度等のエンコーダ情報Ｓ２を駆動回路２４及び制御装置１６に供給する。そして、制御装置１６が、エンコーダ情報Ｓ２等を用いて生成した回転指令情報Ｓ４をモータ部１４の駆動回路２４に供給し、それに応じて駆動回路２４がコイル２２に供給する電流値を制御する。この動作によって回転軸１８の回転角等が目標値に制御される。 An example of the operation of the driving device 10 of this embodiment will be described. As a basic operation, the processing circuit 44 of the encoder section 12 supplies the drive circuit 24 and the control device 16 with encoder information S2 such as the angle of the reflective code plate 34 (and the rotating shaft 18) obtained at a predetermined cycle. Then, the control device 16 supplies the rotation command information S4 generated using the encoder information S2 and the like to the drive circuit 24 of the motor section 14, and controls the current value supplied to the coil 22 by the drive circuit 24 accordingly. By this operation, the rotation angle and the like of the rotating shaft 18 are controlled to the target values.

次に、本実施形態の駆動装置１０において、エンコーダケース３２内での結露を防止又は抑制するためにヒータ４６を用いる加熱方法の一例につき図３のフローチャートを参照して説明する。一例としてパターンＰＡ中の図２（Ａ）に示すアブソリュート型のパターンＰＡＡから得られる検出信号Ｓ１Ａを用いて結露の有無を判定するものとする。図２（Ａ）において、アブソリュート型のパターンＰＡＡは、反射部５８Ａと非反射部５８Ｂとを所定配列で円周方向に形成したものである。また、受光素子４２中にはパターンＰＡＡに対応して、図２（Ｂ）に示すように反射符号板３４の円周方向に対応する方向に複数の受光素子ｘ０，ｙ０，ｘ１，ｙ１，…，ｘ８，ｙ９を配列してなるアブソリュート型の受光素子４２Ａが含まれている。ヒータ制御部４８は、受光素子４２Ａの各検出信号をスキャンするように読み出すことができる。処理回路４４では、受光素子４２Ａから読み出した検出信号と、パターンＰＡ中のインクリメンタル型のパターンから検出される例えば２相の検出信号（又はその内の１相の検出信号）とを用いて、受光素子ｘ０～ｘ９又はｙ０～ｙ９の検出信号を選択することで、反射符号板３４の回転方向の絶対位置を高精度に求めることができる。 Next, an example of a heating method using the heater 46 for preventing or suppressing dew condensation within the encoder case 32 in the drive device 10 of the present embodiment will be described with reference to the flow chart of FIG. As an example, the presence or absence of dew condensation is determined using the detection signal S1A obtained from the absolute type pattern PAA shown in FIG. 2A in the pattern PA. In FIG. 2A, the absolute type pattern PAA is formed by forming reflective portions 58A and non-reflective portions 58B in a predetermined arrangement in the circumferential direction. Further, in the light receiving element 42, a plurality of light receiving elements x0, y0, x1, y1, . , x8 and y9 are included in the array of absolute type light receiving elements 42A. The heater control unit 48 can read each detection signal of the light receiving element 42A by scanning. The processing circuit 44 uses the detection signal read from the light receiving element 42A and, for example, a two-phase detection signal (or a one-phase detection signal among them) detected from the incremental pattern in the pattern PA to receive light. By selecting the detection signals of the elements x0 to x9 or y0 to y9, the absolute position of the reflection code plate 34 in the rotational direction can be obtained with high accuracy.

パターンＰＡ、光源４０、及び受光素子４２の表面に結露がない状態でそのように読み出した検出信号Ｓ１Ａ（複数の受光素子ｘ０～ｙ９の検出値を受光素子の配列方向の位置ＰＤ又は読み出した時間ｔの関数として補間した信号）は、図２（Ｃ）に示すように、例えばパターンＰＡＡに対応して比較的大きい振幅Ａｍ１で変化する矩形波状の信号となる。このようにアブソリュート型の受光素子４２Ａの検出信号を読み出す（スキャンする）ことによって、モータ部１４で回転軸１８を回転させることなく、検出信号Ｓ１Ａの振幅を求めることができる。 The detection signal S1A read out in such a state that there is no condensation on the surfaces of the pattern PA, the light source 40, and the light receiving element 42 (the detection values of the plurality of light receiving elements x0 to y9 are read at the position PD in the array direction of the light receiving elements or the read time A signal interpolated as a function of t) is, as shown in FIG. By reading out (scanning) the detection signal of the absolute type light receiving element 42A in this manner, the amplitude of the detection signal S1A can be obtained without rotating the rotating shaft 18 by the motor section 14. FIG.

これに対して、図２（Ｄ）に示すように、パターンＰＡＡ上に結露６０が生じている場合には、受光素子４２Ａから読み出した検出信号Ｓ１Ａは、図２（Ｅ）に示すように、振幅Ａｍ２が振幅Ａｍ１よりも小さい信号となる。同様に、光源４０又は受光素子４２の表面に結露が生じている場合にも、検出信号Ｓ１Ａの振幅は小さくなる。そこで、ヒータ制御部４８内の記憶部には、予め結露がない場合の検出信号Ｓ１Ａの振幅の最小値（例えば実測値又は理論値）が目標値Ａｍとして記憶されている。 On the other hand, as shown in FIG. 2(D), when dew condensation 60 occurs on the pattern PAA, the detection signal S1A read from the light receiving element 42A is as shown in FIG. 2(E). The amplitude Am2 becomes a signal smaller than the amplitude Am1. Similarly, when dew condensation occurs on the surface of the light source 40 or the light receiving element 42, the amplitude of the detection signal S1A also becomes small. Therefore, the minimum value of the amplitude of the detection signal S1A when there is no dew condensation (for example, an actual measurement value or a theoretical value) is stored in advance as the target value Am in the storage unit in the heater control unit 48 .

そこで、駆動装置１０の電源投入時には、制御装置１６からヒータ制御部４８に結露の有無の判定を行うことを指示する制御信号Ｓ５が出力される。そして、ステップ１０２において、ヒータ制御部４８は、受光素子４２Ａからの検出信号Ｓ１Ａの読み込み（取り込み）を行い、検出信号Ｓ１Ａの振幅Ａｍ２を算出する。そして、ステップ１０４において、ヒータ制御部４８はその算出した振幅Ａｍ２と予め記憶されている目標値Ａｍとを比較し、振幅Ａｍ２が目標値Ａｍより小さい場合には、パターンＰＡ（反射符号板３４）及び／又は検出部３３の構成部材（特に光源４０及び受光素子４２）の表面に結露が生じているものと判定する。そして、ステップ１０６に移行して、エンコーダ部１２のヒータ４６への通電を開始し、ヒータ４６でパターンＰＡ及び検出部３３（光源４０及び受光素子４２）の周囲の雰囲気の加熱を開始する。この際に、ヒータ制御部４８は、結露が生じていると判定したこと、ヒータ４６で加熱中であること、ヒータ４６での加熱時間、及びヒータ４６での加熱回数（ステップ１０６に移行した回数）を含む情報Ｓ６を制御装置１６に出力する。制御装置１６では、エンコーダ部１２の計測値の不良（モータ部１４による回転軸１８の回転量に対してエンコーダ部１２からの計測値の変化の割合が小さい場合等）が生じている場合に、その情報Ｓ６によって、その計測値の不良が結露によるものなのか、エンコーダ部１２の処理回路４４の異常等によるものなのか、又は光源４０の不具合なのかを判定可能である。本実施形態の駆動装置１０が例えばロボット等の同一環境下の複数軸の駆動機構として使用されている場合、例えば各エンコーダ部１２の情報Ｓ６を比較し、全てのエンコーダ部１２の検出信号Ｓ１Ａの振幅Ａｍ２が目標値Ａｍより小さい場合には、計測値の不良が結露によるものと判定でき、又は一部のエンコーダ部１２の検出信号Ｓ１Ａの振幅Ａｍ２が、他のエンコーダ部１２の検出信号Ｓ１Ａの振幅Ａｍ２と異なっている場合には、その一部のエンコーダ部１２の処理回路４４の異常、あるいは光源４０の不具合等によって検出信号が変化したものなのかを判定することも可能である。 Therefore, when the drive device 10 is powered on, the control device 16 outputs a control signal S5 instructing the heater control section 48 to determine the presence or absence of dew condensation. Then, in step 102, the heater control section 48 reads (captures) the detection signal S1A from the light receiving element 42A and calculates the amplitude Am2 of the detection signal S1A. Then, in step 104, the heater control unit 48 compares the calculated amplitude Am2 with a pre-stored target value Am. And/or it is determined that dew condensation has occurred on the surfaces of the constituent members of the detection unit 33 (in particular, the light source 40 and the light receiving element 42). Then, in step 106, power supply to the heater 46 of the encoder section 12 is started, and the heater 46 starts heating the atmosphere around the pattern PA and the detection section 33 (the light source 40 and the light receiving element 42). At this time, the heater control unit 48 determines that dew condensation is occurring, that the heater 46 is heating, the heating time of the heater 46, and the number of times of heating with the heater 46 (the number of times of shifting to step 106). ) is output to the control device 16 . In the control device 16, when there is a defect in the measurement value of the encoder section 12 (such as when the rate of change in the measurement value from the encoder section 12 is small with respect to the amount of rotation of the rotary shaft 18 by the motor section 14), Based on the information S6, it is possible to determine whether the defect in the measured value is due to dew condensation, an abnormality in the processing circuit 44 of the encoder section 12, or a defect in the light source 40. FIG. When the driving device 10 of the present embodiment is used as a driving mechanism for a plurality of axes under the same environment, for example, in a robot, for example, the information S6 of each encoder section 12 is compared, and the detection signal S1A of all the encoder sections 12 is detected. When the amplitude Am2 is smaller than the target value Am, it can be determined that the defective measurement value is caused by condensation, or the amplitude Am2 of the detection signal S1A of some encoder units 12 is different from that of the detection signal S1A of the other encoder units 12. If it is different from the amplitude Am2, it is also possible to determine whether the detection signal has changed due to an abnormality in the processing circuit 44 of the encoder section 12 or a defect in the light source 40 or the like.

ヒータ４６での加熱時間は、エンコーダ部１２の構成部材及び回転軸１８の熱容量等に応じて予め定められている。その後、動作はステップ１０２に戻り、検出信号Ｓ１Ａの読み込みを行い、次のステップ１０４で、検出信号Ｓ１Ａの振幅Ａｍ２が目標値Ａｍ以上になっている場合には、結露が解消したものと判定してステップ１０８に移行する。そして、ヒータ制御部４８はヒータ４６への通電を停止して、ヒータ４６による加熱を停止する。これによって、結露が解消しているにもかかわらずヒータ４６によって無用な加熱を行うことを防止できるとともに、駆動装置１０の待機時間を短縮できる。 The heating time of the heater 46 is predetermined according to the heat capacity of the constituent members of the encoder section 12 and the rotary shaft 18, and the like. After that, the operation returns to step 102 to read the detection signal S1A, and in the next step 104, if the amplitude Am2 of the detection signal S1A is equal to or greater than the target value Am, it is determined that the dew condensation has disappeared. Then, the process proceeds to step 108. Then, the heater control unit 48 stops energizing the heater 46 and stops heating by the heater 46 . As a result, unnecessary heating by the heater 46 can be prevented even though the dew condensation has been eliminated, and the standby time of the driving device 10 can be shortened.

なお、ヒータ４６でエンコーダケース３２内の空間３２Ｓの気体を加熱すると、熱膨張によってモータケース３０内の空間３０Ｓの気圧よりも空間３２Ｓの気圧の方が大きくなり、空間３０Ｓ内の水蒸気を含む気体が空間３２Ｓ内に流入しにくくなる。このように水蒸気を含む気体が空間３２Ｓ内に流入しにくくなることからも、エンコーダケース３２内での結露の防止又は抑制の効果が大きくなる。 When the gas in the space 32S inside the encoder case 32 is heated by the heater 46, the pressure in the space 32S becomes higher than the pressure in the space 30S inside the motor case 30 due to thermal expansion, and the gas containing water vapor in the space 30S increases. becomes difficult to flow into the space 32S. Since the gas containing water vapor is less likely to flow into the space 32S in this manner, the effect of preventing or suppressing dew condensation within the encoder case 32 is enhanced.

その後、ステップ１１０において、ヒータ制御部４８は結露が解消してヒータ４６による加熱を停止したことを示す情報Ｓ６を制御装置１６に供給する。この後のエンコーダ情報Ｓ２は正しい情報とみなすことができるため、このステップ１１０において、回転軸１８（反射符号板３４）の回転角（又は角速度等）の正確な計測が開始されたとみなすことができる。そして、ステップ１１２において、制御装置１６は、エンコーダ情報Ｓ２を用いて駆動回路２４を介してモータ部１４を駆動する。これによって、結露が解消された状態で高精度に回転軸１８の回転角等を検出でき、この検出結果を用いて回転軸１８の回転角等を目標値に高精度に制御できる。 After that, in step 110, the heater control unit 48 supplies the control device 16 with information S6 indicating that the dew condensation has been eliminated and the heating by the heater 46 has been stopped. Since the subsequent encoder information S2 can be regarded as correct information, it can be regarded that accurate measurement of the rotation angle (or angular velocity, etc.) of the rotary shaft 18 (reflection code plate 34) has started in this step 110. . Then, at step 112, the controller 16 drives the motor section 14 via the drive circuit 24 using the encoder information S2. As a result, the rotation angle and the like of the rotating shaft 18 can be detected with high accuracy in a state in which dew condensation is eliminated, and the rotation angle and the like of the rotating shaft 18 can be controlled to a target value with high accuracy using the detection result.

なお、１回目のステップ１０４において、計測された振幅Ａｍ１が目標値Ａｍ以上である場合には、ヒータ４６による加熱を行うことなくステップ１１０に移行して、回転軸１８の回転角等の計測を開始することができる。また、制御装置１６は、ヒータ制御部４８にヒータ４６による加熱を開始させた後、モータ部１４の運転を開始させて、モータ部１４の運転によって、エンコーダケース３２内のパターンＰＡ及び検出部３３の各構成部材の表面の温度が露点よりも高くなり、ヒータ４６を加熱する必要がなくなったと判断できる場合には、ヒータ制御部４８にヒータ４６に供給する電流をオフにする指令情報Ｓ５を供給してもよい。 In step 104 of the first time, when the measured amplitude Am1 is equal to or greater than the target value Am, the process proceeds to step 110 without performing heating by the heater 46, and the rotation angle of the rotating shaft 18 and the like are measured. can start. After causing the heater control unit 48 to start heating by the heater 46 , the control device 16 causes the motor unit 14 to start operating. becomes higher than the dew point and it can be determined that it is no longer necessary to heat the heater 46, the command information S5 is supplied to the heater control unit 48 to turn off the current supplied to the heater 46. You may

言い換えると、電源を投入した後、モータ部１４の温度が一定の温度に落ち着くまでの間、またはモータ部１４の運転開始後、モータ部１４の温度が上昇し、モータ部１４の温度が飽和状態（定常）になるまでの間は、ヒータ制御部４８にヒータ４６に電流を供給する指令情報が供給されるようにしてもよい。
上述のように本実施形態の回転軸１８の回転情報（エンコーダ情報Ｓ１）を検出するエンコーダ部１２は、回転軸１８に設けられたパターンＰＡを検出する検出部３３（検出器）と、回転軸１８に設けられたパターンＰＡ及び検出部３３を収容するエンコーダケース３２（第１収容ケース）と、パターンＰＡ及び検出部３３を加熱するヒータ４６（加熱部）と、を備えるエンコーダである。 In other words, the temperature of the motor section 14 rises until the temperature of the motor section 14 settles down to a certain temperature after the power is turned on, or after the motor section 14 starts operating, and the temperature of the motor section 14 reaches saturation. The command information for supplying the current to the heater 46 may be supplied to the heater control section 48 until the (steady state) is reached.
As described above, the encoder unit 12 for detecting the rotation information (encoder information S1) of the rotating shaft 18 of the present embodiment includes the detecting unit 33 (detector) for detecting the pattern PA provided on the rotating shaft 18, the rotating shaft 18, and a heater 46 (heating unit) for heating the pattern PA and the detector 33.

また、本実施形態のエンコーダ部１２の加熱方法は、エンコーダケース３２に収容されたパターンＰＡ及び検出部３３を加熱するステップ１０６を含んでいる。
エンコーダ部１２及びその加熱方法によれば、ヒータ４６でエンコーダケース３２内のパターンＰＡ及び検出部３３を加熱することによって、パターンＰＡ及び検出部３３の表面の温度を露点よりも高くできるため、エンコーダケース３２内での結露を防止できる。このため、エンコーダ部１２によって常に高精度に回転軸１８の回転情報を検出できる。
また、エンコーダ部１２及びその加熱方法によれば、エンコーダケース３２内で結露が生じた場合に、その結露を迅速に解消することもできる。 Further, the method of heating the encoder section 12 of the present embodiment includes step 106 of heating the pattern PA and the detection section 33 accommodated in the encoder case 32 .
According to the encoder section 12 and its heating method, by heating the pattern PA and the detection section 33 in the encoder case 32 with the heater 46, the surface temperature of the pattern PA and the detection section 33 can be made higher than the dew point. Dew condensation within the case 32 can be prevented. Therefore, the rotation information of the rotary shaft 18 can always be detected with high precision by the encoder section 12 .
Further, according to the encoder section 12 and its heating method, even if dew condensation occurs in the encoder case 32, the dew condensation can be eliminated quickly.

さらに、ヒータ４６でエンコーダケース３２内の気体（例えば空気）を加熱して、その気圧をモータケース３０内の気圧よりも高くすることで、モータケース３０内の高湿度の気体がエンコーダケース３２内に流入しない。このため、エンコーダケース３２内での結露をより効率的に防止できる。
なお、パターンＰＡ及び検出部３３を加熱すると、パターンＰＡ及び検出部３３の周囲の雰囲気（気体）の温度が上昇し、逆にパターンＰＡ及び検出部３３の周囲の雰囲気の温度が上昇すると、パターンＰＡ及び検出部３３の温度が上昇するため、パターンＰＡ及び検出部３３を加熱することは、実質的にパターンＰＡ及び検出部３３の周囲の雰囲気を加熱することと同じである。 Further, the heater 46 heats the gas (for example, air) in the encoder case 32 to raise the atmospheric pressure to be higher than the atmospheric pressure in the motor case 30 . do not flow into Therefore, dew condensation inside the encoder case 32 can be prevented more efficiently.
When the pattern PA and the detection unit 33 are heated, the temperature of the atmosphere (gas) around the pattern PA and the detection unit 33 increases. Since the temperature of PA and the detection unit 33 rises, heating the pattern PA and the detection unit 33 is substantially the same as heating the atmosphere around the pattern PA and the detection unit 33 .

また、本実施形態の駆動装置１０は、回転軸１８の回転情報を検出するエンコーダ部１２と、回転軸１８を駆動するモータ部１４と、エンコーダ部１２の検出結果を用いてモータ部１４を制御する制御装置１６（モータ制御部）と、を備えている。駆動装置１０によれば、結露を防止又は抑制して回転軸１８の回転情報を高精度に計測できるため、その計測結果を用いて回転軸１８を高精度に回転できる。 Further, the driving device 10 of the present embodiment includes an encoder section 12 that detects rotation information of the rotating shaft 18, a motor section 14 that drives the rotating shaft 18, and controls the motor section 14 using the detection result of the encoder section 12. and a control device 16 (motor control unit) that According to the driving device 10, the rotation information of the rotating shaft 18 can be measured with high accuracy while preventing or suppressing dew condensation. Therefore, the rotating shaft 18 can be rotated with high accuracy using the measurement result.

また、本実施形態では、ヒータ４６はシールド板３６の一面に設けられているため、別途ヒータ４６の支持部材を設ける必要がなく、エンコーダ部１２の構成を簡素化できる。
なお、ヒータ４６は、シールド板３６のパターンＰＡ（反射符号板３４）側の面に設けてもよく、シールド板３６の両面（基板３８側の面及びパターンＰＡ側の面）に設けてもよい。 Further, in this embodiment, since the heater 46 is provided on one surface of the shield plate 36, there is no need to provide a support member for the heater 46 separately, and the configuration of the encoder section 12 can be simplified.
The heater 46 may be provided on the surface of the shield plate 36 on the pattern PA (reflection code plate 34) side, or may be provided on both surfaces of the shield plate 36 (the surface on the substrate 38 side and the surface on the pattern PA side). .

また、本実施形態では、ヒータ４６は、パターンＰＡ（反射符号板３４）と検出部３３との間に配置されているため、ヒータ４６によってパターンＰＡ及び検出部３３の両方（又はパターンＰＡ及び検出部３３の両方の周囲の雰囲気中の気体）を効率的に加熱できる。このため、パターンＰＡ及び検出部３３の両方の結露を防止又は抑制できる。
なお、ヒータ４６によってパターンＰＡ及び検出部３３の一方、又は検出部３３の少なくとも一部の構成部材（例えば光源４０又は受光素子４２）を加熱するようにしてもよい。この場合でも、エンコーダケース３２内での結露を抑制することができる。さらに、エンコーダケース３２内で結露が生じた場合に、その結露を迅速に解消するか、又は回転情報の検出に影響が生じない程度にその結露を小さくできる。 Further, in this embodiment, the heater 46 is arranged between the pattern PA (reflection code plate 34) and the detection unit 33, so that the heater 46 detects both the pattern PA and the detection unit 33 (or the pattern PA and the detection unit 33). The gas in the atmosphere surrounding both parts 33) can be efficiently heated. Therefore, dew condensation on both the pattern PA and the detection unit 33 can be prevented or suppressed.
Note that the heater 46 may heat one of the pattern PA and the detector 33, or at least a part of the detector 33 (for example, the light source 40 or the light receiving element 42). Even in this case, dew condensation within the encoder case 32 can be suppressed. Furthermore, when dew condensation occurs within the encoder case 32, the dew condensation can be eliminated quickly, or the dew condensation can be reduced to such an extent that it does not affect the detection of rotation information.

また、本実施形態では、ヒータ４６として発熱抵抗塗膜が使用されているため、ヒータ４６が小型化できるとともに、シールド板３６に対してヒータ４６を容易に設けることができる。なお、ヒータ４６としては、発熱抵抗塗膜以外の発熱体、例えばシート状の発熱部材等を使用することができる。さらに、ヒータ４６の代わりに、エンコーダケース３２内に赤外線ヒータを設置し、この赤外線ヒータでエンコーダケース３２内の空気の温度を高くしてもよい。また、その赤外線ヒータをエンコーダケース３２の外部に設置し、外部からエンコーダケース３２及びその内部の空気の温度を高めるようにしてもよい。 Further, in the present embodiment, the heating resistor coating film is used as the heater 46 , so the heater 46 can be miniaturized and the heater 46 can be easily provided on the shield plate 36 . As the heater 46, a heating element other than the heating resistance coating film, for example, a sheet-like heating member or the like can be used. Further, instead of the heater 46, an infrared heater may be installed inside the encoder case 32 to raise the temperature of the air inside the encoder case 32 with this infrared heater. Alternatively, the infrared heater may be installed outside the encoder case 32 to raise the temperature of the encoder case 32 and the air inside thereof from the outside.

次に、上述の実施形態の変形例及び他の実施形態につき説明する。なお、以下で参照する図４（Ａ）～図７において、図１（Ａ）、図２（Ａ）、及び図３に対応する部分には同一又は類似の符号を付してその詳細な説明を省略する。
まず、上述の実施形態では、アブソリュート型のパターンから得られる検出信号Ｓ１Ａを取り込んで結露の有無を判定しているため、回転軸１８を駆動する必要がないが、インクリメンタル型のパターンから得られる時間に関して正弦波状又は矩形波状に変化する検出信号の振幅から結露の有無を判定してもよい。この場合には、モータ部１４で回転軸１８（反射符号板３４）をわずかに回転する必要がある。さらに、検出信号等を用いて結露の有無を判定することなく、例えば駆動装置１０への電源投入時に、予め定められた時間（例えば経験的に結露が解消されると予測される時間）だけヒータ４６に通電して反射符号板３４及び検出部３３を加熱するようにしてもよい。 Next, modifications of the above embodiment and other embodiments will be described. 4(A) to 7 referred to below, portions corresponding to those in FIGS. omitted.
First, in the above-described embodiment, the detection signal S1A obtained from the absolute type pattern is taken in to determine the presence or absence of dew condensation. The presence or absence of dew condensation may be determined from the amplitude of the detection signal that changes sinusoidally or rectangularly with respect to . In this case, it is necessary to slightly rotate the rotating shaft 18 (reflection code plate 34) by the motor section 14. FIG. Furthermore, without determining the presence or absence of condensation using a detection signal or the like, for example, when the power to the drive device 10 is turned on, the heater is turned on for a predetermined time (for example, a time that is empirically predicted to eliminate condensation). 46 may be energized to heat the reflection code plate 34 and the detector 33 .

また、上述の実施形態では検出部３３として反射型又は透過型の光学式の検出器が使用されている。その他に、検出部として磁気方式又は静電容量方式等の検出器を使用してもよい。さらに、パターンＰＡは反射符号板（スケール）３４に設けられているが、回転軸１８の一端部１８ａ等を反射符号板又はスケールとして使用してもよい。すなわち、その一端部１８ａの表面に回転方向の位置を示す着磁パターン又は反射パターン等を形成しておき、その回転情報を磁気センサ又は受光素子等を含む検出部で検出してもよい。また、反射符号板（スケール）３４の取付位置としては、回転軸１８の一端部１８ａ以外の位置、例えば、他端部１８ｂ、又は一端部１８ａ及び他端部１８ｂから離れた位置でも良い。 Further, in the above-described embodiment, a reflective or transmissive optical detector is used as the detector 33 . In addition, a magnetic type or capacitive type detector may be used as the detection unit. Furthermore, the pattern PA is provided on the reflective code plate (scale) 34, but the one end 18a of the rotating shaft 18 or the like may be used as the reflective code plate or scale. That is, a magnetization pattern or a reflection pattern indicating the position in the direction of rotation may be formed on the surface of the one end 18a, and the rotation information may be detected by a detection unit including a magnetic sensor or a light receiving element. Further, the mounting position of the reflection code plate (scale) 34 may be a position other than the one end 18a of the rotating shaft 18, for example, the other end 18b, or a position away from the one end 18a and the other end 18b.

また、上述の実施形態ではヒータ４６がシールド板３６に設けられているが、図４（Ａ）の第１変形例の駆動装置のエンコーダ部１２Ａで示すように、ヒータを反射符号板３４に設けてもよい。図４（Ａ）において、シールド板３６にはヒータは設けられていない。そして、回転軸１８の例えばセラミックス等の絶縁体よりなる一端部１８ａの側面にＺ方向に沿って導電性の電極膜５４Ａ及び５４Ｂが形成され、一端部１８ａの＋Ｚ方向の端面に電極部５４Ａｂ及び５４Ｂｂが形成され、電極膜５４Ａ及び５４Ｂはそれぞれ一端部１８ａ内の信号ライン５４Ａａ及び５４Ｂａを介して電極部５４Ａｂ及び５４Ｂｂに接続されている。また、反射符号板３４の回転軸１８側の面に、発熱抵抗塗膜よりなるヒータ４６Ａが設けられ、反射符号板３４のヒータ４６が設けられた面が、ボルト５６によって一端部１８ａに連結されている。この際に、ヒータ４６の一方（０Ｖ）の端子部及び他方の端子部がそれぞれ電極部５４Ａｂ及び５４Ｂｂに接触している。 Further, in the above-described embodiment, the heater 46 is provided on the shield plate 36, but the heater is provided on the reflective code plate 34 as shown in the encoder section 12A of the drive device of the first modified example in FIG. may In FIG. 4A, the shield plate 36 is not provided with a heater. Conductive electrode films 54A and 54B are formed along the Z direction on the side surface of one end 18a of the rotating shaft 18 made of an insulating material such as ceramics. 54Bb are formed, and the electrode films 54A and 54B are connected to the electrode portions 54Ab and 54Bb via signal lines 54Aa and 54Ba in the one end portion 18a, respectively. A heater 46A made of a heat-generating resistance coating is provided on the surface of the reflection code plate 34 on the rotating shaft 18 side. ing. At this time, one (0 V) terminal portion and the other terminal portion of the heater 46 are in contact with the electrode portions 54Ab and 54Bb, respectively.

さらに、エンコーダケース３２の内面に、Ｚ方向に沿って直流モータの接触式のブラシのような接触部５２Ａ及び５２Ｂが固定され、回転軸１８の回転中にも接触部５２Ａ及び５２Ｂは電極膜５４Ａ及び５４Ｂに接触している。接触部５２Ａは基板３８の０Ｖの端子部３８ａ及び図１（Ｂ）の電源端子部３８ｂに不図示の信号ラインを介して接続されている。接触部５２Ａ及び５２Ｂ、電極膜５４Ａ及び５４Ｂ、信号ライン５４Ａａ及び５４Ｂａ、並びに電極部５４Ａｂ及び５４Ｂｂより接触式の配線部５０が構成されている。図１（Ａ）のヒータ制御部４８と同様のヒータ制御部（不図示）が、配線部５０を介してヒータ４６Ａに供給する電流（電圧）を制御することによって、ヒータ４６Ａによる加熱量を制御できる。この他の構成は第１の実施形態のエンコーダ部１２と同様である。 Furthermore, the contact portions 52A and 52B, which are like contact brushes of the DC motor, are fixed along the Z direction on the inner surface of the encoder case 32, and the contact portions 52A and 52B remain in contact with the electrode film 54A even while the rotating shaft 18 is rotating. and 54B. The contact portion 52A is connected to the 0V terminal portion 38a of the substrate 38 and the power supply terminal portion 38b of FIG. 1B via a signal line (not shown). A contact wiring portion 50 is composed of the contact portions 52A and 52B, the electrode films 54A and 54B, the signal lines 54Aa and 54Ba, and the electrode portions 54Ab and 54Bb. A heater control unit (not shown) similar to the heater control unit 48 in FIG. 1A controls the current (voltage) supplied to the heater 46A through the wiring unit 50, thereby controlling the heating amount by the heater 46A. can. Other configurations are the same as those of the encoder section 12 of the first embodiment.

この変形例において、ヒータ４６Ａに通電することによって、ヒータ４６Ａが発熱すると、反射符号板３４及びパターンＰＡの温度が上昇し、さらに反射符号板３４の温度が上昇すると、その雰囲気の気体の温度が上昇し、検出部３３の光源４０及び受光素子４２の温度が上昇する。このため、仮にエンコーダケース３２内で結露が生じていても、パターンＰＡの表面の結露が解消され、光源４０及び受光素子４２の表面の結露が解消される。この後は、エンコーダ部１２Ａによって、回転軸１８の回転情報を高精度に検出できる。また、エンコーダケース３２内の気体の温度が露点に近いような場合には、ヒータ４６Ａで反射符号板３４を加熱することによって、その周囲の気体の温度が上昇し、エンコーダケース３２内での結露を防止できる。 In this modification, when the heater 46A generates heat by energizing the heater 46A, the temperature of the reflective code plate 34 and the pattern PA rises. As a result, the temperature of the light source 40 and the light receiving element 42 of the detection unit 33 rises. Therefore, even if dew condensation occurs inside the encoder case 32, dew condensation on the surface of the pattern PA is eliminated, and dew condensation on the surfaces of the light source 40 and the light receiving element 42 is eliminated. After that, the rotation information of the rotary shaft 18 can be detected with high accuracy by the encoder section 12A. When the temperature of the gas inside the encoder case 32 is close to the dew point, the heater 46A heats the reflective code plate 34 to increase the temperature of the gas around it, causing dew condensation inside the encoder case 32. can be prevented.

この変形例においては、ヒータ４６Ａが反射符号板３４に設けられているため、ヒータ４６Ａによって特に反射符号板３４のパターンＰＡ及びこの周囲の雰囲気の温度を効率的に上昇させることができる。したがって、特にパターンＰＡにおける結露を抑制又は防止できる。
この変形例において、接触式の配線部５０の代わりに非接触式の配線部（不図示）を用いて、ヒータ制御部とヒータ４６Ａとを接続してもよい。非接触式の配線部は、例えばエンコーダケース３２内に設けられるコイルと、一端部１８ａ側に設けられるコイルと、一端部１８ａ側に設けられる整流回路とを含んで構成できる。 In this modification, since the heater 46A is provided on the reflective code plate 34, the heater 46A can efficiently raise the temperature of the pattern PA of the reflective code plate 34 and the atmosphere therearound. Therefore, it is possible to suppress or prevent dew condensation particularly on the pattern PA.
In this modification, a non-contact wiring section (not shown) may be used instead of the contact wiring section 50 to connect the heater control section and the heater 46A. The non-contact wiring section can include, for example, a coil provided inside the encoder case 32, a coil provided on the one end 18a side, and a rectifier circuit provided on the one end 18a side.

さらに、ヒータ４６Ａを反射符号板３４のパターンＰＡが形成されている面のパターンＰＡが形成されていない領域に設けてもよい。
次に、この変形例ではヒータ４６Ａが反射符号板３４に設けられているが、図４（Ｂ）の第２変形例の駆動装置のエンコーダ部１２Ｂで示すように、ヒータをエンコーダケース３２の内面に設けてもよい。図４（Ｂ）において、シールド板３６及び反射符号板３４にはヒータは設けられていない。そして、エンコーダケース３２の内面に反射符号板３４を囲むように発熱抵抗塗膜よりなるヒータ４６Ｂが設けられている。さらに、ヒータ４６Ｂの一方（０Ｖ）の端子部及び他方の端子部がそれぞれ基板３８の０Ｖの端子部３８ａ及び図１（Ｂ）の電源端子部３８ｂに不図示の信号ラインを介して接続されている。このため、図１（Ａ）のヒータ制御部４８と同様のヒータ制御部（不図示）が、それらの信号ラインを介してヒータ４６Ｂに供給する電流（電圧）を制御することによって、ヒータ４６Ｂによる加熱量を制御できる。この他の構成は第１の実施形態のエンコーダ部１２と同様である。 Further, the heater 46A may be provided in a region of the surface of the reflective code plate 34 on which the pattern PA is formed, where the pattern PA is not formed.
Next, in this modified example, the heater 46A is provided on the reflective code plate 34, but as shown by the encoder section 12B of the drive device of the second modified example in FIG. may be set to In FIG. 4B, the shield plate 36 and the reflection code plate 34 are not provided with heaters. A heater 46B made of a heat-generating resistance coating is provided on the inner surface of the encoder case 32 so as to surround the reflective code plate 34. As shown in FIG. Further, one (0 V) terminal portion and the other terminal portion of the heater 46B are connected to the 0 V terminal portion 38a of the substrate 38 and the power supply terminal portion 38b of FIG. 1B via signal lines (not shown), respectively. there is Therefore, a heater control unit (not shown) similar to the heater control unit 48 in FIG. 1A controls the current (voltage) supplied to the heater 46B through those signal lines, thereby You can control the amount of heating. Other configurations are the same as those of the encoder section 12 of the first embodiment.

この変形例において、ヒータ４６Ｂに通電することによって、ヒータ４６Ｂが発熱すると、反射符号板３４及びパターンＰＡの温度が上昇し、その雰囲気の気体の温度が上昇し、検出部３３の光源４０及び受光素子４２の温度が上昇する。このため、エンコーダケース３２内での結露を抑制又は防止できる。
この変形例においては、ヒータ４６Ｂがエンコーダケース３２の内面に設けられているため、ヒータ４６Ｂを容易に設けることができる。さらに、ヒータ４６Ｂによって反射符号板３４のパターンＰＡ及びこの周囲の雰囲気の温度を効率的に上昇させることができ、ヒータ４６Ｂによって基板３８の光源４０及び受光素子４２の周囲の雰囲気の温度を容易に上昇させることもできる。 In this modification, when the heater 46B is energized and the heater 46B generates heat, the temperature of the reflective code plate 34 and the pattern PA rises, the temperature of the gas in the atmosphere rises, and the light source 40 and the light receiving section 33 The temperature of element 42 rises. Therefore, dew condensation within the encoder case 32 can be suppressed or prevented.
In this modification, since the heater 46B is provided on the inner surface of the encoder case 32, the heater 46B can be easily provided. Furthermore, the heater 46B can efficiently raise the temperature of the pattern PA of the reflective code plate 34 and the atmosphere around it, and the heater 46B can easily raise the temperature of the atmosphere around the light source 40 and the light receiving element 42 of the substrate 38. It can also be raised.

また、上述の実施形態及びその変形例では、ヒータ４６～４６Ｂがシールド板３６、反射符号板３４又はエンコーダケース３２に設けられているが、図５（Ａ）の第３変形例の駆動装置のエンコーダ部１２Ｃで示すように、シールド板３６Ａをヒータとしても兼用してもよい。図５（Ａ）において、基板３８の反射符号板３４側の面とエンコーダケース３２の＋Ｚ方向の端部との間に、図１（Ｂ）のシールド板３６とほぼ同じ形状の電磁波の遮蔽用の円形の板状のシールド板３６Ａが設置されている。シールド板３６Ａは真鍮等の金属（導電性部材）から形成されている。図５（Ｂ）に示すように、シールド板３６Ａには、検出部３３の検出光を通過させるための開口部３６Ａｃ（光透過性の窓部でもよい）、及びエンコーダケース３２内の他の部材（不図示）と機械的に干渉する部分の開口部等が形成されている。 In addition, in the above-described embodiment and its modified example, the heaters 46 to 46B are provided on the shield plate 36, the reflective code plate 34, or the encoder case 32. As shown by the encoder section 12C, the shield plate 36A may also be used as a heater. 5(A), between the surface of the substrate 38 on the side of the reflective code plate 34 and the end of the encoder case 32 in the +Z direction, an electromagnetic shielding plate having substantially the same shape as the shield plate 36 of FIG. 1(B) is provided. A circular plate-like shield plate 36A is installed. The shield plate 36A is made of metal (conductive member) such as brass. As shown in FIG. 5B, the shield plate 36A has an opening 36Ac (which may be a light-transmitting window) for passing the detection light of the detector 33, and other members in the encoder case 32. (not shown) and the like are formed in portions that mechanically interfere with each other.

また、基板３８の外周部のうちシールド板３６Ａと対向する面には、その面のうち互いに離れた２箇所の部分に、０Ｖの端子部３８ａ及び電源端子部３８ｃが形成されている。さらに、０Ｖの端子部３８ａ及び電源端子部３８ｃに接触するシールド板３６Ａの外周部がそれぞれ端子部３６Ａａ及び３６Ａｂとされている。そして、図１（Ａ）のヒータ制御部４８と同様のヒータ制御部（不図示）が、端子部３８ａ及び電源端子部３８ｃの間に所定の電圧を印加することによって、端子部３６Ａａ及び３６Ａｂを介してシールド板３６Ａに所定の電流が流れ、シールド板３６Ａが発熱する。そのヒータ制御部では、例えば電流制御回路によってシールド板３６Ａに流れる電流の大きさ、ひいてはその発熱量（加熱量）を制御してもよい。この他の構成は第１の実施形態のエンコーダ部１２と同様である。 A 0V terminal portion 38a and a power supply terminal portion 38c are formed on the surface of the outer peripheral portion of the substrate 38 facing the shield plate 36A at two portions apart from each other. Further, outer peripheral portions of the shield plate 36A that contact the 0V terminal portion 38a and the power supply terminal portion 38c are terminal portions 36Aa and 36Ab, respectively. Then, a heater control section (not shown) similar to the heater control section 48 of FIG. 1A applies a predetermined voltage between the terminal section 38a and the power supply terminal section 38c, thereby connecting the terminal sections 36Aa and 36Ab. A predetermined current flows through the shield plate 36A through the shield plate 36A, and the shield plate 36A generates heat. The heater control section may control the magnitude of the current flowing through the shield plate 36A and, in turn, the amount of heat generated (heating amount) by, for example, a current control circuit. Other configurations are the same as those of the encoder section 12 of the first embodiment.

この変形例のエンコーダ部１２Ｃにおいて、ヒータとしてのシールド板３６Ａに通電することによって、シールド板３６Ａが発熱すると、反射符号板３４及びパターンＰＡの温度が上昇し、検出部３３の光源４０及び受光素子４２の温度が上昇する。このため、エンコーダケース３２内での結露を抑制又は防止できる。
この変形例においては、シールド板３６Ａがヒータを兼用しているため、エンコーダ部１２Ｃの構成を複雑化することなく、実質的にヒータを設けることができる。 In the encoder unit 12C of this modified example, when the shield plate 36A as a heater is energized and the shield plate 36A generates heat, the temperature of the reflection code plate 34 and the pattern PA rises, causing the light source 40 and the light receiving element of the detection unit 33 to rise. The temperature of 42 rises. Therefore, dew condensation within the encoder case 32 can be suppressed or prevented.
In this modification, since the shield plate 36A also serves as a heater, the heater can be substantially provided without complicating the configuration of the encoder section 12C.

なお、この変形例において、例えば反射符号板３４を導電性材料から形成し、反射符号板３４をヒータとして兼用してもよい。
次に、第２の実施形態につき図６（Ａ）～図７を参照して説明する。
本実施形態のエンコーダ部１２Ｄを備える駆動装置１０Ｄを示す図６（Ａ）において、モータケース３０の＋Ｚ方向の側面に、エンコーダケース３２及び基板３８を覆うように、円筒状で＋Ｚ方向の端部が閉じられたカバー部材６２が設けられている。カバー部材６２で覆われた空間はほぼ密閉されている。カバー部材６２で覆われた空間内の基板３８に、基板３８（検出部３３）の周囲の雰囲気の温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅを計測する温湿度センサ６４が設置され、エンコーダケース３２の内面の反射符号板３４に近接した位置に、反射符号板３４（回転軸１８）の周囲の雰囲気の温度Ｔｍを計測する温度センサ６６が設置されている。温度センサ６６で計測される温度Ｔｍは実質的に反射符号板３４（パターンＰＡが形成されている部分）の温度とみなすことができる。 In this modification, for example, the reflective code plate 34 may be made of a conductive material, and the reflective code plate 34 may also be used as a heater.
Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. 6(A) to 7. FIG.
In FIG. 6A showing the drive device 10D including the encoder unit 12D of the present embodiment, a cylindrical +Z-direction end portion is provided on the +Z-direction side surface of the motor case 30 so as to cover the encoder case 32 and the substrate 38. is provided with a cover member 62 which is closed. The space covered by the cover member 62 is substantially sealed. A temperature/humidity sensor 64 for measuring the temperature Te and humidity He of the atmosphere surrounding the substrate 38 (detection unit 33) is installed on the substrate 38 in the space covered by the cover member 62, and the reflection code on the inner surface of the encoder case 32 is measured. A temperature sensor 66 is installed at a position close to the plate 34 to measure the temperature Tm of the atmosphere around the reflective code plate 34 (rotating shaft 18). The temperature Tm measured by the temperature sensor 66 can be substantially regarded as the temperature of the reflective code plate 34 (the portion where the pattern PA is formed).

本実施形態のエンコーダ部１２Ｄも、シールド板３６に設けられたヒータ４６と、ヒータ４６による加熱を制御するヒータ制御部４８Ａとを有する。また、温湿度センサ６４で計測される温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅ、並びに温度センサ６６で計測される温度Ｔｍの情報がヒータ制御部４８Ａに供給されている。ヒータ制御部４８Ａには処理回路４４から検出信号Ｓ１も供給されている。ヒータ制御部４８Ａは、制御装置１６からの制御情報Ｓ５に基づいて、温度Ｔｅ，Ｔｍ及び湿度Ｈｅの情報及び／又は検出信号Ｓ１を用いてエンコーダケース３２内での結露の有無を判定し、結露の恐れがあると判定される場合にはヒータ４６に通電して、ヒータ４６の発熱によって反射符号板３４（パターンＰＡ）及び検出部３３（光源４０及び受光素子４２）を加熱する。これ以外の構成は第１の実施形態と同様である。 The encoder section 12D of this embodiment also has a heater 46 provided on the shield plate 36 and a heater control section 48A that controls heating by the heater 46. FIG. Further, information on the temperature Te and humidity He measured by the temperature/humidity sensor 64 and the temperature Tm measured by the temperature sensor 66 is supplied to the heater control section 48A. A detection signal S1 is also supplied from the processing circuit 44 to the heater control section 48A. Based on the control information S5 from the control device 16, the heater control unit 48A determines the presence or absence of condensation in the encoder case 32 using the information of the temperatures Te, Tm and the humidity He and/or the detection signal S1. If it is determined that there is a risk of , the heater 46 is energized, and the heat generated by the heater 46 heats the reflective code plate 34 (pattern PA) and the detector 33 (light source 40 and light receiving element 42). Other configurations are the same as those of the first embodiment.

次に、本実施形態の駆動装置１０Ｄにおいてエンコーダケース３２内での結露を抑制又は防止するためにヒータ４６を用いて加熱する方法の一例につき図７のフローチャートを参照して説明する。まず、駆動装置１０Ｄの電源投入時には、制御装置１６からヒータ制御部４８Ａに結露の有無の判定を行うことを指示する制御信号Ｓ５が出力される。そして、ステップ１１６において、ヒータ制御部４８Ａは、温湿度センサ６４で計測される基板３８の周囲の雰囲気（検出部３３の周囲の気体）の温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅ、並びに温度センサ６６で計測される反射符号板（スケール）３４の周囲の雰囲気の温度Ｔｍを取り込む。ヒータ制御部４８Ａの記憶部には、エンコーダケース３２内の温度Ｔの気体の飽和蒸気圧Ａ（Ｔ）の関数の情報が温度Ｔの所定範囲（エンコーダケース３２内の気体及び反射符号板３４（回転軸１８）の想定される温度範囲を含む範囲）に関して記憶されている。飽和蒸気圧Ａ（Ｔ）は温度Ｔに関して単調に増加する関数である。 Next, an example of a heating method using the heater 46 in order to suppress or prevent dew condensation within the encoder case 32 in the drive device 10D of the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. First, when the driving device 10D is powered on, the control device 16 outputs a control signal S5 instructing the heater control section 48A to determine the presence or absence of dew condensation. Then, in step 116, the heater controller 48A controls the temperature Te and humidity He of the atmosphere around the substrate 38 (the gas around the detector 33) measured by the temperature/humidity sensor 64 and the temperature sensor 66 to measure The ambient temperature Tm around the reflective code plate (scale) 34 is taken. In the storage unit of the heater control unit 48A, the information of the function of the saturated vapor pressure A(T) of the gas at the temperature T in the encoder case 32 is stored in the predetermined range of the temperature T (the gas in the encoder case 32 and the reflective code plate 34 ( range) that includes the assumed temperature range of the rotating shaft 18). The saturated vapor pressure A(T) is a monotonically increasing function of temperature T.

図６（Ｂ）は、温度Ｔｅ及びＴｍの変化の一例を示す。図６（Ｂ）において、横軸は経過時間ｔ、縦軸は温度であり、実線の曲線７０ｅが温度Ｔｅを示し、破線の曲線７０ｍが温度Ｔｍを示す。図６（Ａ）の例では、本実施形態の駆動装置１０Ｄが使用されている工場において、時刻ｔ１に工場の空調装置及び駆動装置１０Ｄが停止する。その後、温度Ｔｅ（検出部３３の雰囲気の温度）が次第に低下するが、反射符号板３４及び回転軸１８の熱容量は検出部３３及び基板３８の熱容量よりも大きいため、温度Ｔｍ（反射符号板３４の温度）の低下は温度Ｔｅの低下よりも緩やかである。その後、時刻ｔ２でその工場の空調装置がオンになると、温度Ｔｅは次第に上昇するが、温度Ｔｍの上昇は温度Ｔｅの上昇よりも遅れている。そして、駆動装置１０Ｄの電源投入は時刻ｔ２の後の時刻ｔ３である。 FIG. 6B shows an example of changes in temperatures Te and Tm. In FIG. 6B, the horizontal axis is the elapsed time t, the vertical axis is the temperature, the solid curve 70e indicates the temperature Te, and the dashed curve 70m indicates the temperature Tm. In the example of FIG. 6A, in the factory where the driving device 10D of the present embodiment is used, the factory's air conditioner and the driving device 10D stop at time t1. After that, the temperature Te (the temperature of the atmosphere of the detection section 33) gradually decreases, but since the heat capacity of the reflection code plate 34 and the rotating shaft 18 is larger than the heat capacity of the detection section 33 and the substrate 38, the temperature Tm (the temperature of the reflection code plate 34 temperature) is slower than that of temperature Te. After that, when the air conditioner of the factory is turned on at time t2, the temperature Te gradually rises, but the rise of the temperature Tm lags behind the rise of the temperature Te. The driving device 10D is powered on at time t3 after time t2.

次のステップ１１８において、ヒータ制御部４８Ａは、反射符号板３４の計測された温度Ｔｍの飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）（反射符号板３４（パターンＰＡ）に接する気体の飽和蒸気圧）を求めるとともに、温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅ（％）を用いて次式から検出部３３の周囲の気体の蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）を求める。
Ｂ（Ｔｅ）＝Ａ（Ｔｅ）・Ｈｅ／１００ …（１）
さらに、ステップ１２０において、ヒータ制御部４８Ａは、次のように検出部３３の周囲の気体の蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）が反射符号板３４に接する気体の飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）以上であるかどうかを判定する。 In the next step 118, the heater control unit 48A obtains the saturated vapor pressure A (Tm) of the measured temperature Tm of the reflective code plate 34 (the saturated vapor pressure of the gas in contact with the reflective code plate 34 (pattern PA)). , the temperature Te and the humidity He (%), the vapor pressure B (Te) of the gas around the detector 33 is obtained from the following equation.
B(Te)=A(Te)·He/100 (1)
Further, at step 120, the heater control unit 48A determines whether the vapor pressure B(Te) of the gas around the detection unit 33 is equal to or higher than the saturated vapor pressure A(Tm) of the gas in contact with the reflection code plate 34 as follows. determine what

Ｂ（Ｔｅ）≧Ａ（Ｔｍ） …（２）
（２）式が成立する場合には、反射符号板３４の表面に結露が生じる恐れがある。なお、次のように通常は検出部３３の周囲の温度Ｔｅの気体の飽和蒸気圧Ａ（Ｔｅ）は蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）以上である。
Ａ（Ｔｅ）≧Ｂ（Ｔｅ） …（３）
この際に飽和蒸気圧Ａ（Ｔ）は温度Ｔに関して単調に増加する関数であるため、（２）式が成立する場合は、検出部３３の周囲の気体の温度Ｔｅは反射符号板３４の温度Ｔｍ以上である。このため、図６（Ｂ）において、結露が生じる範囲７０ｄは、温度Ｔｅが温度Ｔｍ以上となる範囲内にある。 B(Te)≧A(Tm) (2)
If the formula (2) holds, dew condensation may occur on the surface of the reflective code plate 34 . Incidentally, the saturated vapor pressure A (Te) of the gas at the temperature Te around the detection unit 33 is normally higher than the vapor pressure B (Te) as follows.
A(Te)≧B(Te) (3)
At this time, the saturated vapor pressure A(T) is a function that monotonically increases with respect to the temperature T. Therefore, when the equation (2) holds, the temperature Te of the gas around the detection unit 33 is the temperature of the reflection code plate 34 Tm or more. Therefore, in FIG. 6B, the range 70d where dew condensation occurs is within the range where the temperature Te is equal to or higher than the temperature Tm.

そこで、ステップ１２０において（２）式が成立する場合には、結露の恐れがあるため、ステップ１０６に移行して、ヒータ制御部４８Ａはヒータ４６への通電を開始し、ヒータ４６で反射符号板３４及び検出部３３（光源４０及び受光素子４２）の周囲の雰囲気の加熱を開始する。この際に、ヒータ制御部４８Ａは、結露が生じる恐れがあると判定したこと、ヒータ４６で加熱中であること、ヒータ４６での加熱時間、及びヒータ４６での加熱回数（ステップ１０６に移行した回数）を含む情報Ｓ６を制御装置１６に出力する。制御装置１６では、一例として結露が生じる恐れがある場合には、エンコーダ部１２Ｄの検出結果を用いるモータ部１４の駆動を行わない。 Therefore, if the formula (2) holds at step 120, there is a risk of dew condensation. Heating of the surrounding atmosphere of 34 and detection unit 33 (light source 40 and light receiving element 42) is started. At this time, the heater control unit 48A determines that there is a risk of condensation, that the heater 46 is heating, the heating time of the heater 46, and the number of times of heating by the heater 46 (step 106 number of times) to the control device 16. As an example, the control device 16 does not drive the motor section 14 using the detection result of the encoder section 12D when there is a risk of condensation.

ヒータ４６での加熱時間は、エンコーダ部１２Ｄの構成部材及び回転軸１８の熱容量等に応じて予め定められている。その後、動作はステップ１１６に戻り、ヒータ制御部４８Ａは温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅ、並びに温度Ｔｍを取り込む。そして、ステップ１１８で蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）を算出し、ステップ１２０で蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）が飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）以上である場合にはステップ１０６（ヒータ４６による加熱）を継続する。これに対して、ステップ１２０で蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）が飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）より小さい場合、結露の恐れがないため、ステップ１０８に移行する。そして、ヒータ制御部４８Ａはヒータ４６への通電を停止して、ヒータ４６による加熱を停止する。これによって、ヒータ４６によって無用な加熱を行うことを防止できる。 The heating time of the heater 46 is predetermined according to the heat capacity of the constituent members of the encoder section 12D and the rotating shaft 18, and the like. After that, the operation returns to step 116, and the heater control section 48A takes in the temperature Te and humidity He and the temperature Tm. Then, in step 118, the vapor pressure B(Te) is calculated, and in step 120, if the vapor pressure B(Te) is equal to or higher than the saturated vapor pressure A(Tm), step 106 (heating by the heater 46) is continued. On the other hand, if the vapor pressure B (Te) is lower than the saturated vapor pressure A (Tm) at step 120, there is no risk of dew condensation, so the process proceeds to step . Then, the heater control section 48A stops energizing the heater 46 and stops the heating by the heater 46 . As a result, unnecessary heating by the heater 46 can be prevented.

その後、ステップ１１０において、ヒータ制御部４８Ａは結露の恐れがなくなりヒータ４６による加熱を停止したことを示す情報Ｓ６を制御装置１６に供給する。この後のステップ１１０において、エンコーダ部１２Ｄによる回転軸１８（反射符号板３４）の回転角（又は角速度等）の正確な計測が開始され、ステップ１１２において、例えば図６（Ｂ）の時刻ｔ４でその計測結果を用いてモータ部１４の駆動が開始される。これによって、結露の恐れがない状態で高精度に回転軸１８の回転角等を検出でき、この検出結果を用いて回転軸１８の回転角等を目標値に高精度に制御できる。その後、温度Ｔｅ及びＴｍは互いにほぼ同じ温度になるように安定化する。本実施形態によれば、駆動装置１０Ｄの電源投入（時刻ｔ３）からモータ部１４の正確な駆動開始（時刻ｔ４）までの時間を短縮できるため、駆動装置１０Ｄの待機時間を短縮できる。 After that, in step 110, the heater control unit 48A supplies the control device 16 with information S6 indicating that the heater 46 has stopped heating because the danger of dew condensation has disappeared. In subsequent step 110, accurate measurement of the rotation angle (or angular velocity, etc.) of the rotating shaft 18 (reflection code plate 34) by the encoder unit 12D is started, and in step 112, for example, at time t4 in FIG. Driving of the motor unit 14 is started using the measurement result. As a result, the rotation angle and the like of the rotary shaft 18 can be detected with high accuracy without fear of condensation, and the detection result can be used to control the rotation angle and the like of the rotary shaft 18 to a target value with high accuracy. Thereafter, the temperatures Te and Tm stabilize to approximately the same temperature as each other. According to the present embodiment, it is possible to shorten the time from power-on of the driving device 10D (time t3) to accurate start of driving of the motor section 14 (time t4), so that the standby time of the driving device 10D can be shortened.

なお、１回目のステップ１２０において、蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）が飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）より小さい場合には、ヒータ４６による加熱を行うことなくステップ１１０に移行して、回転軸１８の回転角等の正確な計測を開始することができる。
また、本実施形態において、ステップ１２０で蒸気圧Ｂ（Ｔｅ）が飽和蒸気圧Ａ（Ｔｍ）より小さい場合（結露の恐れがない場合）には、図３のステップ１０２，１０４を実行し、検出部３３から出力される検出信号の振幅を求め、その振幅が目標値以上である場合に、実際に結露が生じていないものと判定して、ステップ１１０に移行してもよい。また、その検出信号の振幅が目標値より小さい場合には、その検出信号の振幅が目標値以上になるまでヒータ４６による加熱を行うようにしてもよい。 In the first step 120, if the vapor pressure B (Te) is lower than the saturated vapor pressure A (Tm), the process proceeds to step 110 without heating by the heater 46, and the rotation angle of the rotating shaft 18 is determined. Accurate measurement such as can be started.
Further, in this embodiment, when the vapor pressure B (Te) is lower than the saturated vapor pressure A (Tm) in step 120 (when there is no danger of condensation), steps 102 and 104 in FIG. The amplitude of the detection signal output from the unit 33 may be obtained, and if the amplitude is equal to or greater than the target value, it may be determined that dew condensation has not actually occurred, and the process may proceed to step 110 . Further, when the amplitude of the detection signal is smaller than the target value, heating by the heater 46 may be performed until the amplitude of the detection signal becomes equal to or greater than the target value.

上述のように本実施形態の回転軸１８の回転情報（エンコーダ情報Ｓ１）を検出するエンコーダ部１２Ｄは、回転軸１８（反射符号板３４）に設けられたパターンＰＡを検出する検出部３３と、回転軸１８に設けられたパターンＰＡ及び検出部３３を収容するエンコーダケース３２（第１収容ケース）と、パターンＰＡ及び検出部３３を加熱するヒータ４６（加熱部）と、検出部３３の周囲の雰囲気の温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅを検出する温湿度センサ６４（第１温度センサ及び湿度センサ）と、回転軸１８（パターンＰＡ）の周囲の雰囲気の温度Ｔｍを検出する温度センサ６６（第２温度センサ）と、温湿度センサ６４及び温度センサ６６の検出結果に基づいてヒータ４６を制御するヒータ制御部４８Ａ（加熱制御部）とを備えている。 As described above, the encoder unit 12D that detects the rotation information (encoder information S1) of the rotating shaft 18 of the present embodiment includes the detecting unit 33 that detects the pattern PA provided on the rotating shaft 18 (reflection code plate 34), An encoder case 32 (first housing case) that houses the pattern PA and the detection section 33 provided on the rotating shaft 18, a heater 46 (heating section) that heats the pattern PA and the detection section 33, and the surroundings of the detection section 33 A temperature/humidity sensor 64 (first temperature sensor and humidity sensor) that detects the temperature Te and humidity He of the atmosphere, and a temperature sensor 66 (second temperature sensor) that detects the temperature Tm of the atmosphere around the rotating shaft 18 (pattern PA). ) and a heater control section 48A (heating control section) that controls the heater 46 based on the detection results of the temperature/humidity sensor 64 and the temperature sensor 66 .

本実施形態によれば、ヒータ制御部４８Ａが、温度Ｔｅ，Ｔｍ及び湿度Ｈｅを用いて例えばパターンＰＡの表面における結露の恐れがあると判定した場合に、ヒータ４６を用いてパターンＰＡ及び検出部３３を加熱することによって、結露を抑制又は防止できる。
なお、本実施形態では、次のような変形が可能である。
まず、本実施形態において、ヒータ４６はパターンＰＡ（反射符号板３４）及び検出部３３の両方をほぼ均等に加熱することなく、ヒータ４６はパターンＰＡがある部分を重点的に加熱するようにしてもよい。このためには、ヒータ４６を例えばシールド板３６の反射符号板３４側の面に設けてもよい。 According to the present embodiment, when the heater control unit 48A determines that there is a risk of condensation on the surface of the pattern PA, for example, using the temperatures Te and Tm and the humidity He, the heater 46 is used to control the pattern PA and the detection unit By heating 33, dew condensation can be suppressed or prevented.
In addition, the following modifications are possible in this embodiment.
First, in this embodiment, the heater 46 does not heat both the pattern PA (reflection code plate 34) and the detection unit 33 substantially evenly, and the heater 46 preferentially heats the portion where the pattern PA is present. good too. For this purpose, the heater 46 may be provided, for example, on the surface of the shield plate 36 on the reflection code plate 34 side.

また、本実施形態では、温湿度センサ６４が基板３８の＋Ｚ方向の面に設けられているが、温湿度センサ６４を基板３８の反射符号板３４側の面に設け、温湿度センサ６４で検出部３３の光源４０及び受光素子４２の周囲の雰囲気の温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅを検出してもよい。この場合、エンコーダケース３２を覆うカバー部材６２を省略するようにしてもよい。さらに、温度センサ６６をエンコーダケース３２の内面でより反射符号板３４に近い位置に設けてもよい。 In this embodiment, the temperature/humidity sensor 64 is provided on the surface of the substrate 38 in the +Z direction. The temperature Te and humidity He of the atmosphere around the light source 40 and the light receiving element 42 of the section 33 may be detected. In this case, the cover member 62 covering the encoder case 32 may be omitted. Furthermore, the temperature sensor 66 may be provided on the inner surface of the encoder case 32 at a position closer to the reflective code plate 34 .

また、本実施形態では温湿度センサ６４によって検出部３３の周囲の雰囲気の温度Ｔｅ及び湿度Ｈｅを検出しているが、温湿度センサ６４の代わりに温度センサ６８（第１温度センサ）を設けて、温度センサ６８で検出部３３の周囲の雰囲気の温度Ｔｅのみを検出してもよい。この場合には、図６（Ｂ）より、検出部３３の周囲の温度Ｔｅが回転軸１８（パターンＰＡ）の周囲の温度Ｔｍよりも所定温度差δＴ（例えばヒータ４６を使用しない場合の温度Ｔｅと温度Ｔｍとの差の最大値の数分の１程度）以上に大きいときに、式（２）が成立する恐れがある。このため、温度Ｔｅが温度Ｔｍよりも所定温度差δＴ以上に大きいときに、ヒータ４６でパターンＰＡ及び検出部３３を（又はパターンＰＡを重点的に）加熱してもよい。 Further, in the present embodiment, the temperature Te and humidity He of the atmosphere around the detection unit 33 are detected by the temperature/humidity sensor 64, but instead of the temperature/humidity sensor 64, a temperature sensor 68 (first temperature sensor) is provided. , the temperature sensor 68 may detect only the ambient temperature Te of the detector 33 . In this case, from FIG. 6B, the temperature Te around the detection unit 33 is higher than the temperature Tm around the rotation shaft 18 (pattern PA) by a predetermined temperature difference δT (for example, the temperature Te when the heater 46 is not used). (approximately a fraction of the maximum value of the difference between the temperature Tm and the temperature Tm), there is a possibility that the equation (2) holds. Therefore, when the temperature Te is greater than the temperature Tm by a predetermined temperature difference δT or more, the heater 46 may heat the pattern PA and the detection section 33 (or the pattern PA intensively).

さらに、本実施形態において、エンコーダケース３２内にエンコーダケース３２内の雰囲気の湿度Ｈｅｃを計測する湿度センサを設け、温湿度センサ６４及び温度センサ６６を省略してもよい。この場合、湿度Ｈｅｃが予め定められた値（例えば経験的に結露が生じる湿度よりもある程度低い湿度）以上になったときに、結露が生じる恐れがあると判定して、ヒータ４６でパターンＰＡ及び検出部３３を加熱してもよい。 Furthermore, in this embodiment, a humidity sensor for measuring the humidity Hec of the atmosphere in the encoder case 32 may be provided in the encoder case 32, and the temperature/humidity sensor 64 and the temperature sensor 66 may be omitted. In this case, when the humidity Hec reaches a predetermined value (e.g., a humidity somewhat lower than the humidity at which dew condensation occurs empirically), it is determined that there is a possibility of dew condensation, and the heater 46 controls the patterns PA and The detector 33 may be heated.

また、本実施形態において、ヒータ４６ではパターンＰＡ及び検出部３３の少なくとも一方、又は検出部３３の一部を加熱してもよい。これによって、結露を抑制できる。
また、本実施形態においても、ヒータ４６は、シールド板３６以外の任意の位置（例えば反射符号板３４又はエンコーダケース３２の内面）に設けてもよい。さらに、ヒータ４６としては発熱抵抗塗膜以外の任意の加熱装置（シート状発熱体又は赤外線ヒータ等）を使用してもよい。
なお、上述の各実施形態において、検出部が例えば磁気センサを含む場合、シールド板３６，３６Ａの代わりに、例えば磁性体よりなり磁力線を遮蔽する磁気シールド部材を使用し、必要に応じてその磁気シールド部材にヒータ４６を設けてもよい。
また、各実施形態において、一例としてシールド板３６にヒータ４６を設ける構成について説明したが、検出部３３が、モータ部１４側から基板３８側に向かう電磁波の影響を受けにくい場合には、シールド板３６の代わりに、シールド板３６と同じ形状のヒータ支持部材（材質は金属でも非金属でもよい）を設け、このヒータ支持部材にヒータ４６を設けても良い。さらに、そのヒータ支持部材自体をヒータとしてもよい。 Further, in the present embodiment, the heater 46 may heat at least one of the pattern PA and the detection section 33 or part of the detection section 33 . Dew condensation can be suppressed by this.
Also in this embodiment, the heater 46 may be provided at any position other than the shield plate 36 (for example, the reflection code plate 34 or the inner surface of the encoder case 32). Further, as the heater 46, any heating device (a sheet-like heating element, an infrared heater, etc.) other than the heating resistance coating film may be used.
In each of the above-described embodiments, when the detection unit includes, for example, a magnetic sensor, instead of the shield plates 36 and 36A, a magnetic shield member made of, for example, a magnetic material and shielding the lines of magnetic force is used. A heater 46 may be provided on the shield member.
Further, in each of the embodiments, the shield plate 36 is provided with the heater 46 as an example. Instead of 36, a heater support member (which may be made of metal or non-metal) having the same shape as the shield plate 36 may be provided, and the heater 46 may be provided on this heater support member. Furthermore, the heater support member itself may be used as a heater.

また、上述の各実施形態及びその変形例の駆動装置１０，１０Ｄは各種工作機械又はロボット装置の駆動機構として使用できる。 Further, the driving devices 10, 10D of the above embodiments and modifications thereof can be used as driving mechanisms for various machine tools or robot devices.

１０，１０Ｄ…駆動装置、１２，１２Ａ～１２Ｄ…エンコーダ部、１４…モータ部、１６…制御装置、１８…回転軸、２２…コイル、２４…駆動回路、２８Ａ，２８Ｂ…回転軸受、３０…モータケース、３２…エンコーダケース、３４…反射符号板、３６，３６Ａ…シールド板、４０…光源、４２，４２Ａ…受光素子、４４…処理回路、４６，４６Ａ，４６Ｂ…ヒータ、４８，４８Ａ…ヒータ制御部、６４…温湿度センサ、６６…温度センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10D... Drive device, 12, 12A-12D... Encoder part, 14... Motor part, 16... Control device, 18... Rotary shaft, 22... Coil, 24... Drive circuit, 28A, 28B... Rotary bearing, 30... Motor Case 32 Encoder case 34 Reflective code plate 36, 36A Shield plate 40 Light source 42, 42A Light receiving element 44 Processing circuit 46, 46A, 46B Heater 48, 48A Heater control part, 64 temperature and humidity sensor, 66 temperature sensor

Claims (15)

回転軸の回転情報を検出するエンコーダであって、
前記回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、
前記回転軸に設けられたパターン及び前記検出器を収容する第１収容ケースと、
前記第１収容ケース内に収容された前記パターン及び前記検出器の少なくとも一方を加熱する加熱部と、
前記パターンと前記検出器との間に設けられ、前記パターンからの光を通過させる通過部が形成された板状部材と、を備え、
前記加熱部は、前記板状部材に設けられるエンコーダ。 An encoder that detects rotation information of a rotating shaft,
a detector that detects a pattern provided on the rotating shaft;
a first housing case housing the pattern provided on the rotating shaft and the detector;
a heating unit that heats at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case;
A plate-shaped member provided between the pattern and the detector and having a passage portion for passing light from the pattern ,
The heating unit is an encoder provided on the plate member . 前記板状部材は、前記回転軸側から前記検出器側に向かう電磁波を遮蔽する遮蔽板であり、
前記加熱部は、前記遮蔽板に設けられた発熱体である請求項１に記載のエンコーダ。 The plate-shaped member is a shielding plate that shields electromagnetic waves directed from the rotating shaft side to the detector side,
The encoder according to claim 1 , wherein the heating portion is a heating element provided on the shielding plate. 回転軸の回転情報を検出するエンコーダであって、
前記回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、
前記回転軸に設けられたパターン及び前記検出器を収容する第１収容ケースと、
前記第１収容ケース内に収容された前記パターン及び前記検出器の少なくとも一方を加熱する加熱部と、を備え 、
前記パターンは、前記回転軸の一端部に取り付けられたスケールの表面に形成され、
前記加熱部は、前記スケールの裏面に設けられた発熱体と、前記発熱体に電力を供給する接触式又は非接触式の配線部とを有す るエンコーダ。 An encoder that detects rotation information of a rotating shaft,
a detector that detects a pattern provided on the rotating shaft;
a first housing case that houses the pattern provided on the rotating shaft and the detector;
a heating unit that heats at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case; ,
The pattern is formed on the surface of a scale attached to one end of the rotating shaft,
The heating section has a heating element provided on the back surface of the scale, and a contact or non-contact wiring section for supplying power to the heating element. encoder. 前記発熱体は、発熱抵抗塗膜である請求項２又は請求項３に記載のエンコーダ。 4. The encoder according to claim 2 , wherein the heating element is a heating resistance coating. 前記加熱部の加熱時間及び加熱量の少なくとも一方を制御する加熱制御部を備える請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のエンコーダ。 The encoder according to any one of claims 1 to 4 , comprising a heating control section that controls at least one of a heating time and a heating amount of the heating section. 前記加熱制御部は、前記検出器の検出信号の振幅が目標値より小さいときに、前記加熱部を介して前記パターン及び前記検出器の少なくとも一方を加熱する請求項５に記載のエンコーダ。 The encoder according to claim 5 , wherein the heating control section heats at least one of the pattern and the detector via the heating section when the amplitude of the detection signal of the detector is smaller than a target value. 前記第１収容ケース内の雰囲気の湿度を検出する湿度センサを備え、
前記加熱制御部は、前記湿度センサの検出結果に基づいて前記加熱部を制御する請求項５に記載のエンコーダ。 A humidity sensor that detects the humidity of the atmosphere in the first housing case,
The encoder according to claim 5 , wherein the heating control section controls the heating section based on the detection result of the humidity sensor. 前記検出器の周囲の雰囲気の温度を検出する第１温度センサと、
前記回転軸の周囲の雰囲気の温度を検出する第２温度センサと、を備え、
前記加熱制御部は、前記第１及び第２温度センサの検出結果に基づいて前記加熱部を制御する請求項５に記載のエンコーダ。 a first temperature sensor that detects the temperature of the atmosphere around the detector ;
a second temperature sensor that detects the temperature of the atmosphere around the rotating shaft;
The encoder according to claim 5 , wherein the heating control section controls the heating section based on detection results of the first and second temperature sensors. 前記加熱制御部は、前記検出器の周囲の雰囲気の蒸気圧が飽和蒸気圧以上になったときに、前記加熱部を介して前記パターンを加熱する請求項８に記載のエンコーダ。 9. The encoder according to claim 8, wherein the heating control section heats the pattern via the heating section when the vapor pressure of the atmosphere around the detector reaches or exceeds the saturated vapor pressure. 前記回転軸のうち、前記パターンが設けられた部分とは異なる軸部の少なくとも一部を収容する第２収容ケースを備える請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のエンコーダ。 The encoder according to any one of claims 1 to 9 , further comprising a second housing case that houses at least part of the shaft portion of the rotating shaft that is different from the portion provided with the pattern. 請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダと、
前記回転軸を駆動するモータ部と、
前記エンコーダの検出結果を用いて前記モータ部を制御するモータ制御部と、を備える駆動装置。 an encoder according to any one of claims 1 to 10 ;
a motor unit that drives the rotating shaft;
and a motor control section that controls the motor section using a detection result of the encoder. 回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、
前記回転軸に設けられたパターン及び前記検出器を収容する第１収容ケースと、を備えるエンコーダの加熱方法であって、
前記パターンと前記検出器との間に設けられた板状部材の通過部を介して、前記パターンからの光を前記検出器に導くことと、
前記板状部材に設けられる加熱部を用いて、 前記第１収容ケース内に収容された前記パターン及び前記検出器の少なくとも一方を加熱することと、を含む加熱方法。 a detector that detects the pattern provided on the rotating shaft;
A heating method for an encoder comprising a pattern provided on the rotary shaft and a first housing case housing the detector,
guiding light from the pattern to the detector through a passing portion of a plate member provided between the pattern and the detector;
Using a heating unit provided on the plate-shaped member, heating at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case;When,heating methods including; 前記板状部材によって、前記回転軸側から前記検出器側に向かう電磁波を遮蔽することを含む請求項１２に記載の加熱方法。 13. The heating method according to claim 12, wherein the plate member shields electromagnetic waves directed from the rotating shaft side to the detector side. 前記検出器に接する雰囲気の蒸気圧及び前記回転軸に接する雰囲気の飽和蒸気圧を求めることと、
前記蒸気圧が前記飽和蒸気圧以上になったときに、前記加熱部を用いて前記パターンを加熱することと、を含む請求項１２又は請求項１３に記載の加熱方法。 determining the vapor pressure of the atmosphere in contact with the detector and the saturated vapor pressure of the atmosphere in contact with the rotating shaft;
14. The heating method according to claim 12 , further comprising heating the pattern using the heating unit when the vapor pressure reaches the saturated vapor pressure or higher. 回転軸に設けられたパターンを検出する検出器と、
前記回転軸に設けられたパターン及び前記検出器を収容する第１収容ケースと、を備えるエンコーダの加熱方法であって、
前記検出器の検出信号の振幅を求めることと、
前記検出信号の振幅が目標値より小さいときに、 前記第１収容ケース内に収容された前記パターン及び前記検出器の少なくとも一方を加熱することと、を含む加熱方法。 a detector that detects the pattern provided on the rotating shaft;
A heating method for an encoder comprising a pattern provided on the rotating shaft and a first housing case housing the detector,
determining the amplitude of the detection signal of the detector;
when the amplitude of the detection signal is smaller than the target value, heating at least one of the pattern and the detector housed in the first housing case;When,heating methods including;
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220349731A1 (en) * 2017-07-14 2022-11-03 Nikon Corporation Encoder and drive device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4631403A (en) 1985-01-11 1986-12-23 Rsf Elektronik Gesellschaft M.B.H. Length measuring instrument comprising a scale member and a signal-generating scanning unit which is movable along the scale member
JP2018136257A (en) 2017-02-23 2018-08-30 セイコーエプソン株式会社 Optical scale unit, method for manufacturing optical scale unit, encoder, driving device, robot, and printer

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55152411U (en) * 1979-04-19 1980-11-04
JPH0660804B2 (en) * 1985-04-09 1994-08-10 日本電装株式会社 Position detector
DE58900833D1 (en) * 1988-06-29 1992-03-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes POSITION MEASURING DEVICE.
JPH11318093A (en) * 1998-05-07 1999-11-16 Canon Inc Motor control method, motor controller, and device equipped with motor, and image forming apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4631403A (en) 1985-01-11 1986-12-23 Rsf Elektronik Gesellschaft M.B.H. Length measuring instrument comprising a scale member and a signal-generating scanning unit which is movable along the scale member
JP2018136257A (en) 2017-02-23 2018-08-30 セイコーエプソン株式会社 Optical scale unit, method for manufacturing optical scale unit, encoder, driving device, robot, and printer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220349731A1 (en) * 2017-07-14 2022-11-03 Nikon Corporation Encoder and drive device
US12104932B2 (en) * 2017-07-14 2024-10-01 Nikon Corporation Encoder and drive device

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