JP2002130208A - Oscillating actuator - Google Patents

Oscillating actuator

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JP2002130208A
JP2002130208A JP2000329851A JP2000329851A JP2002130208A JP 2002130208 A JP2002130208 A JP 2002130208A JP 2000329851 A JP2000329851 A JP 2000329851A JP 2000329851 A JP2000329851 A JP 2000329851A JP 2002130208 A JP2002130208 A JP 2002130208A
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pinion
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piston
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    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • F15B15/06Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement
    • F15B15/065Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement the motor being of the rack-and-pinion type

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance accuracy of an oscillating actuator. SOLUTION: The table 2, mounting two angular-contact ball bearings 43, 44 as a ball-and-roller bearing by a table cap screw 42, is assembled pinchingly into an actuator body 1. Accordingly, with such a structure clamping force can be applied to the angular-contact bearings 43, 44 by the tightening torque of the table cap screw 42, and the table 2 can be reliably assembled, so that accuracy of the oscillating actuator can be enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、揺動形アクチュエ
ータに関し、特にラックアンドピニオン形揺動形アクチ
ュエータに適用して有効な技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oscillating actuator, and more particularly to a technique which is effective when applied to a rack and pinion oscillating actuator.

【0002】[0002]

【従来の技術】揺動形アクチュエータには、円筒形のケ
ーシング内に収められた回転軸に作動流体の圧力を受け
るベーンを設け、ケーシング内に作動流体を導入するこ
とによりベーンを回転駆動するベーン形揺動アクチュエ
ータや、シリンダ室内に作動流体を導入することにより
軸方向に作動するピストンの直線往復運動を、回転変換
機構により揺動往復動に変換するピストン形揺動アクチ
ュエータ、揺動軸とピストンとをねじ結合することによ
り、軸方向に作動するピストンの直線往復運動をねじ山
を介して揺動往復動に変換するねじ形揺動アクチュエー
タなどがある。
2. Description of the Related Art A swing type actuator is provided with a vane for receiving a pressure of a working fluid on a rotating shaft accommodated in a cylindrical casing, and a vane for rotating the vane by introducing the working fluid into the casing. A piston-type rocking actuator, a piston-type rocking actuator that converts a linear reciprocating motion of a piston that operates in the axial direction by introducing a working fluid into a cylinder chamber into a rocking reciprocating motion by a rotation conversion mechanism, a rocking shaft and a piston There is a screw-type rocking actuator that converts a linear reciprocating motion of a piston operating in the axial direction into a rocking reciprocating motion via a screw thread by screw-connecting the two.

【0003】ピストン形揺動アクチュエータの一種とし
てラックアンドピニオン形揺動アクチュエータがある
が、作動流体の漏れ箇所が少なく長時間の位置保持に適
していることや、揺動角が大きく設定できることなどか
ら広く用いられている。
There is a rack and pinion type rocking actuator as a kind of piston type rocking actuator. However, there are few leakage points of working fluid, which is suitable for long-time position holding, and a rocking angle can be set to be large. Widely used.

【0004】ラックアンドピニオン形揺動アクチュエー
タのアクチュエータ本体にはピニオンが回転自在に支持
されており、このピニオンの両脇には並列に形成された
2つのシリンダ室が設けられている。それぞれのシリン
ダ室内には軸方向に直線往復動自在に設けられたラック
が対となってピニオンに噛み合わされている。ラックの
両端にはピストンが取り付けられ、シリンダ室内に2つ
の流体圧室を形成している。一方の流体圧室に作動流体
を供給するとラックは作動流体の圧力を受けシリンダ室
内の一方に向けて直線運動し、他方の流体圧室に作動流
体を供給するとラックはシリンダ室内の他方に向けて直
線運動する。したがって、双方の流体圧室に交互に作動
流体を供給するとラックは往復直線運動することとな
り、ラックと噛み合わされたピニオンは回転揺動するこ
ととなる。
A pinion is rotatably supported on the actuator body of the rack-and-pinion type swing actuator, and two cylinder chambers formed in parallel are provided on both sides of the pinion. In each of the cylinder chambers, a pair of racks provided so as to be able to linearly reciprocate in the axial direction are meshed with a pinion. Pistons are attached to both ends of the rack to form two fluid pressure chambers in the cylinder chamber. When the working fluid is supplied to one of the fluid pressure chambers, the rack receives the pressure of the working fluid and linearly moves toward one of the cylinder chambers, and when the working fluid is supplied to the other fluid pressure chamber, the rack moves toward the other within the cylinder chamber. Make a linear motion. Therefore, when the working fluid is alternately supplied to both of the fluid pressure chambers, the rack reciprocates linearly, and the pinion meshed with the rack rotates and swings.

【0005】回転揺動するピニオンにはテーブルが連結
されており、ピニオンが回転揺動することによりテーブ
ルも回転揺動するようになっている。
[0005] A table is connected to the pinion that rotates and swings, and the table also rotates and swings when the pinion rotates and swings.

【0006】このような構造をもつラックアンドピニオ
ン形揺動アクチュエータのテーブル上にワークや治具等
の機器を搭載して双方の流体圧室に交互に作動流体を供
給することにより、ワークや治具等の機器を回転揺動運
動させ所定の作業を行わせることができる。
A work and a jig are mounted on a table of a rack and pinion type swing actuator having such a structure, and a working fluid is alternately supplied to both fluid pressure chambers. A predetermined work can be performed by rotating and oscillating a device such as a tool.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ラックアンドピニオン
形揺動アクチュエータは様々な生産ライン等で用いられ
ているが、生産性や品質の向上のためさらなる精度の向
上が要求されている。
The rack-and-pinion type oscillating actuator is used in various production lines and the like, but further improvement in accuracy is required to improve productivity and quality.

【0008】揺動部材を滑らかに揺動させるためにアク
チュエータ本体の揺動部材支持部には転がり軸受が用い
られている。アクチュエータ本体と揺動部材とは、転が
り軸受の内輪側を揺動部材に固定し、外輪側をアクチュ
エータ本体に固定することにより取り付けられるように
なっている。そのため揺動部材は、アクチュエータ本体
に対して転がり軸受の精度の範囲内で特にスラスト方向
へのがたつきを有することになり揺動形アクチュエータ
の精度の向上への障害となっていた。
In order to smoothly swing the swinging member, a rolling bearing is used for the swinging member supporting portion of the actuator body. The actuator body and the swing member are attached by fixing the inner ring side of the rolling bearing to the swing member and fixing the outer ring side to the actuator body. Therefore, the rocking member has a play in the thrust direction, particularly in the thrust direction, within the range of the accuracy of the rolling bearing with respect to the actuator body, which is an obstacle to the improvement of the accuracy of the rocking actuator.

【0009】本発明の目的は、揺動形アクチュエータの
精度を向上することにある。
An object of the present invention is to improve the accuracy of a swing type actuator.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の揺動形アクチュ
エータは、テーブル部と、該テーブル部の外径よりも小
径の軸部とを有し、作動流体により駆動される揺動部材
と、前記揺動部材を揺動往復動自在に支持するアクチュ
エータ本体と、前記アクチュエータ本体の一方の面に設
けられ、前記揺動部材の前記軸部の根本側を支持する第
1転がり軸受と、前記アクチュエータ本体の他方の面に
設けられ、前記揺動部材の前記軸部の先端側を支持する
第2転がり軸受とを有し、前記揺動部材の前記軸部の先
端側にねじ込まれたテーブル押さえねじにより、前記揺
動部材と前記アクチュエータ本体とを、前記第1、第2
転がり軸受を間に挟み込んだ状態で取り付けることを特
徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An oscillating actuator according to the present invention has a table portion, a shaft portion having a smaller diameter than the outer diameter of the table portion, and a oscillating member driven by a working fluid; An actuator body for supporting the swing member so as to be capable of swinging reciprocation; a first rolling bearing provided on one surface of the actuator body for supporting a root side of the shaft portion of the swing member; A second rolling bearing provided on the other surface of the main body and supporting a distal end side of the shaft portion of the rocking member, and a table holding screw screwed into the distal end side of the shaft portion of the rocking member. The swing member and the actuator main body are separated from each other by the first and second
It is characterized in that the rolling bearing is mounted with the rolling bearing sandwiched therebetween.

【0011】本発明の揺動形アクチュエータは、前記ア
クチュエータ本体に形成された流体圧室に軸方向に往復
動自在に装着されたピストンと、前記ピストンに形成さ
れたラックと、前記ラックに噛み合い前記揺動部材に形
成されたピニオンとを有してもよい。
The oscillating actuator according to the present invention includes a piston mounted in a fluid pressure chamber formed in the actuator body so as to be reciprocally movable in an axial direction, a rack formed in the piston, and meshing with the rack. And a pinion formed on the swing member.

【0012】本発明の揺動形アクチュエータは、前記第
1、第2転がり軸受をアンギュラベアリングとするのが
よい。
In the swing type actuator according to the present invention, the first and second rolling bearings are preferably angular bearings.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0014】(実施の形態1)図1(a),(b)は本
発明の一実施の形態である揺動形アクチュエータを示す
斜視図であり、アクチュエータ本体1は、ほぼ直方体の
形状を有し、その上部には揺動部材としての円形のテー
ブル2が設けられている。テーブル2上にワークや治具
等の機器を搭載することにより、ワークや治具等の機器
を回転揺動運動させ、またその位置決めをすることによ
り所定の作業ができるようになっている。
(Embodiment 1) FIGS. 1 (a) and 1 (b) are perspective views showing an oscillating actuator according to an embodiment of the present invention. An actuator body 1 has a substantially rectangular parallelepiped shape. A circular table 2 as a swinging member is provided on the upper part. By mounting devices such as works and jigs on the table 2, the devices such as works and jigs are rotated and oscillated, and predetermined work can be performed by positioning them.

【0015】図2は図1(a)に示す揺動形アクチュエ
ータのA−A断面を示す断面図であり、図3は図2に示
すB−B断面を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing an AA section of the oscillating actuator shown in FIG. 1A, and FIG. 3 is a sectional view showing a BB section shown in FIG.

【0016】図2に示すアクチュエータ本体1にはテー
ブル2と一体に形成されたピニオン3が回転自在に支持
されており、このピニオン3の両脇には2つのシリンダ
室4,5が並列に形成されている。
A pinion 3 integrally formed with the table 2 is rotatably supported on the actuator body 1 shown in FIG. 2, and two cylinder chambers 4 and 5 are formed in parallel on both sides of the pinion 3. Have been.

【0017】シリンダ室4の両端は、それぞれ外周にO
リング6a,7aを有するエンドプレート6,7をスナ
ップリング8,9にて固定することにより閉塞されてい
る。同様に、シリンダ室5の両端も、それぞれ外周にO
リング10a,11aを有するエンドプレート10,1
1をスナップリング12,13にて固定することにより
閉塞されている。
Both ends of the cylinder chamber 4 have O
It is closed by fixing end plates 6 and 7 having rings 6 a and 7 a with snap rings 8 and 9. Similarly, both ends of the cylinder chamber 5 also have O
End plate 10, 1 having rings 10a, 11a
1 is fixed by the snap rings 12 and 13 so as to be closed.

【0018】2つのシリンダ室4,5には、それぞれピ
ニオン3に噛み合わされたラック14,15が対となっ
て、それぞれ軸方向に摺動自在に設けられており、ラッ
ク14,15が互いに相反する方向に往復直線運動する
とピニオン3が揺動往復動するようになっている。
The two cylinder chambers 4 and 5 are provided with a pair of racks 14 and 15 meshed with the pinion 3 so as to be slidable in the axial direction, respectively. When the pinion 3 reciprocates linearly in the direction in which the pinion 3 moves, the pinion 3 reciprocates.

【0019】ラック14,15の内部には、それぞれマ
グネット押さえ16,17とOリング18,19に支持
されたマグネット20,21が取り付けられており、マ
グネット20,21の磁力に感応してラック14,15
がストローク端の位置となったことを検出するための図
示しないセンサが図1(a),(b)に示すセンサ取付
溝22,23に取り付けられるようになっている。
Inside the racks 14 and 15, magnets 20 and 21 supported by magnet retainers 16 and 17 and O-rings 18 and 19, respectively, are mounted, and the racks 14 and 15 respond to the magnetic force of the magnets 20 and 21. , 15
A sensor (not shown) for detecting that the position is at the end of the stroke is mounted in the sensor mounting grooves 22 and 23 shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b).

【0020】マグネット20,21は、この揺動形アク
チュエータの使用用途に応じて、取り外したり、もしく
はどちらか一方のラックにのみ取り付けたりすることが
できるようになっている。
The magnets 20 and 21 can be detached or attached to only one of the racks according to the intended use of the swing type actuator.

【0021】ラック14の両端にはそれぞれピストン2
4,25が取り付けられており、シリンダ室4内に2つ
の流体圧室4a,4bを形成している。なお、ピストン
24,25の外周にはそれぞれシール部材24a,25
aが設けられている。
Each end of the rack 14 has a piston 2
4 and 25 are attached, and two fluid pressure chambers 4 a and 4 b are formed in the cylinder chamber 4. Note that seal members 24a, 25
a is provided.

【0022】ラック14と同様に、ラック15の両端に
はそれぞれシール部材26a,27aが設けられたピス
トン26,27が取り付けられており、シリンダ室5内
に2つの流体圧室5a,5bを形成している。
Similarly to the rack 14, pistons 26 and 27 provided with seal members 26a and 27a are attached to both ends of the rack 15, respectively, and two fluid pressure chambers 5a and 5b are formed in the cylinder chamber 5. are doing.

【0023】流体圧室4b,5aに開口する作動流体給
排口28,29は、アクチュエータ本体1に設けられた
作動流体給排流路30により、図示しない作動流体供給
源に接続された給排ポート31に連通されており、給排
ポート31に作動流体を供給することにより流体圧室4
b,5aに同時に作動流体が流入するようになってい
る。流体圧室4b,5aに同時に流入した作動流体がそ
れぞれピストン25,26を軸方向に押すことにより、
ラック14は図中左方向へ、ラック15は図中右方向へ
直線運動し、ピニオン3を図中反時計回りに回転させ
る。
The working fluid supply / discharge ports 28, 29 opened to the fluid pressure chambers 4b, 5a are supplied / discharged to a working fluid supply source (not shown) by a working fluid supply / discharge flow path 30 provided in the actuator body 1. The working fluid is supplied to the supply / discharge port 31 through the fluid pressure chamber 4.
The working fluid simultaneously flows into b and 5a. The working fluid simultaneously flowing into the fluid pressure chambers 4b and 5a pushes the pistons 25 and 26 in the axial direction, respectively,
The rack 14 linearly moves leftward in the drawing, and the rack 15 linearly moves rightward in the drawing, and rotates the pinion 3 counterclockwise in the drawing.

【0024】流体圧室4a,5bには流体圧室4a,5
bの図2に示すのと逆側の側面に開口する2点鎖線で示
す作動流体給排口32,33が設けられている。作動流
体給排口32,33は図3に示す作動流体給排流路34
により、図1(b)に示す給排ポート35に連通されて
おり、給排ポート35に作動流体を供給することにより
流体圧室4a,5bに同時に作動流体が流入するように
なっている。
The fluid pressure chambers 4a, 5b are
The working fluid supply / discharge ports 32 and 33 indicated by two-dot chain lines are provided on the side opposite to the side shown in FIG. The working fluid supply / discharge ports 32, 33 are provided with a working fluid supply / discharge flow path 34 shown in FIG.
Thus, the working fluid is connected to the supply / discharge port 35 shown in FIG. 1B, and the working fluid flows into the fluid pressure chambers 4a and 5b at the same time by supplying the working fluid to the supply / discharge port 35.

【0025】流体圧室4a,5bに同時に流入した作動
流体がそれぞれピストン24,27を軸方向に押すこと
により、ラック14は図中右方向へ、ラック15は図中
左方向へ直線運動しピニオン3を図中時計回りに回転さ
せる。
When the working fluid simultaneously flowing into the fluid pressure chambers 4a and 5b pushes the pistons 24 and 27 in the axial direction, the rack 14 linearly moves rightward in the drawing and the rack 15 linearly moves leftward in the drawing, and the pinion moves. 3 is rotated clockwise in the figure.

【0026】したがって、流体圧室4b,5aと流体圧
室4a,5bとに交互に作動流体を供給することによ
り、ラック14,15が軸方向に往復直線運動し、ピニ
オン3は揺動往復動することができる。
Therefore, by alternately supplying the working fluid to the fluid pressure chambers 4b, 5a and the fluid pressure chambers 4a, 5b, the racks 14, 15 reciprocate linearly in the axial direction, and the pinion 3 swings and reciprocates. can do.

【0027】作動流体給排流路30は給排ポート31の
他に給排ポート36,37,38とを有しており、それ
ぞれの給排ポート36,37,38は、図1(a),
(b)や図2に示すようにプラグ36a,37a,38
aにて閉塞されている。同様に作動流体給排流路34は
給排ポート35の他に、給排ポート39,40,41と
を有しており、それぞれの給排ポート39,40,41
はプラグ39a,40a,41aにて閉塞されている。
本実施例では給排ポート31,35を作動流体供給源に
接続させ、他の給排ポートをプラグにて閉塞させた場合
を示しているが、給排ポート31,35を含めたそれぞ
れ4つの給排ポートのうちいずれか1つの給排ポートを
作動流体供給源と接続し、残りの給排ポートをそれぞれ
プラグにて閉塞することにより、作動流体を供給する給
排ポートの作動流体供給源との接続位置を変更すること
ができる。
The working fluid supply / discharge passage 30 has supply / discharge ports 36, 37, 38 in addition to the supply / discharge port 31, and the respective supply / discharge ports 36, 37, 38 are shown in FIG. ,
(B) and plugs 36a, 37a, 38 as shown in FIG.
It is closed at a. Similarly, the working fluid supply / discharge channel 34 has supply / discharge ports 39, 40, 41 in addition to the supply / discharge port 35, and the respective supply / discharge ports 39, 40, 41.
Are closed by plugs 39a, 40a, 41a.
In the present embodiment, the case where the supply / discharge ports 31 and 35 are connected to the working fluid supply source and the other supply / discharge ports are closed with plugs is shown. One of the supply / discharge ports is connected to a working fluid supply source, and the remaining supply / discharge ports are closed with plugs, respectively. Can be changed.

【0028】したがって、任意の給排ポートに作動流体
供給源を接続することにより、この揺動形アクチュエー
タの設置の自由度が増すことになる。
Therefore, by connecting a working fluid supply source to an arbitrary supply / discharge port, the degree of freedom of installation of the swing type actuator is increased.

【0029】図3に示すように、揺動部材を構成するテ
ーブル2と軸部2aとは一体に形成されており軸部2a
にはピニオン3が設けられている。ピニオン3はキー、
圧入、接着、ねじ締結、ピンなどによる連結機構を必要
とせずテーブル2と一体となるため強度や剛性を確保す
ることができ、また連結機構を構成するスペースを必要
としないことからピニオン3とテーブル2とを別体とす
るよりもアクチュエータ本体1を小型にすることができ
る。
As shown in FIG. 3, the table 2 and the shaft 2a constituting the swinging member are formed integrally with each other.
Is provided with a pinion 3. Pinion 3 is the key,
It is possible to secure strength and rigidity because it is integrated with the table 2 without requiring a connection mechanism such as press-fitting, bonding, screw fastening, and pins, and because the space for the connection mechanism is not required, the pinion 3 and the table are not required. The actuator body 1 can be made smaller than when the actuator body 2 and the actuator body 2 are separately provided.

【0030】このテーブル2はテーブル押さえねじ42
により転がり軸受としての2つのアンギュラベアリング
43,44を挟み込む形でアクチュエータ本体1に取り
付けられている。このような構造としたことにより、テ
ーブル押さえねじ42の締め付けトルクによりアンギュ
ラベアリング43,44に予圧を加えることができるよ
うになり確実なテーブル2の取付が可能となる。
The table 2 has a table holding screw 42
Accordingly, the two angular bearings 43 and 44 as rolling bearings are attached to the actuator main body 1 so as to sandwich them. With such a structure, the preload can be applied to the angular bearings 43 and 44 by the tightening torque of the table holding screw 42, and the table 2 can be securely mounted.

【0031】転がり軸受とは内輪と外輪との間に転動体
を入れ転がり接触させることにより摩擦損失を減少させ
るようにしたものであり、転がり軸受の一種であるアン
ギュラベアリング43,44は転動体として玉43a,
44aを用い、玉43a,44aと内輪43b,44
b、外輪43c,44cとの接触面をある一定の接触角
を持つようにしたものである。よって、テーブル押さえ
ねじ42の締め付けトルクによりアンギュラベアリング
43,44に予圧、つまり締結力を加えると、この予圧
はアンギュラベアリング43,44のスラスト方向とラ
ジアル方向とへ分散されるため、締め付けトルクがスラ
スト方向へ集中することによりベアリングが破損するの
を防ぐことができる。なお、テーブル押さえねじ42と
アンギュラベアリング43との間には、テーブル押さえ
ねじ42の緩み防止のためのばね座金45が組み込まれ
ている。
A rolling bearing is a rolling bearing in which a rolling element is inserted between an inner ring and an outer ring so as to make rolling contact to reduce friction loss. Angular bearings 43 and 44 which are a kind of rolling bearing are used as rolling elements. Ball 43a,
Using balls 44a, balls 43a, 44a and inner rings 43b, 44
b, The contact surfaces with the outer rings 43c and 44c have a certain contact angle. Therefore, when a preload, that is, a fastening force is applied to the angular bearings 43, 44 by the tightening torque of the table holding screw 42, this preload is dispersed in the thrust direction and the radial direction of the angular bearings 43, 44, so that the tightening torque is reduced. Concentrating in the direction can prevent the bearing from being damaged. A spring washer 45 for preventing the table holding screw 42 from loosening is incorporated between the table holding screw 42 and the angular bearing 43.

【0032】ピニオン3と一体に形成されピニオン3と
一体に揺動往復動するテーブル2には断面円形の円柱部
材からなるストッパ46が取り付けられており、テーブ
ル2と一体に揺動往復動するようになっている。
A stopper 46 made of a columnar member having a circular cross section is attached to the table 2 which is formed integrally with the pinion 3 and swings and reciprocates integrally with the pinion 3 so as to swing and reciprocate integrally with the table 2. It has become.

【0033】図4は図3に示すC−C断面を示す断面図
であり、図4に示すように、アクチュエータ本体1には
図5にその詳細を示すショックアブソーバ47,48が
取り付けられており、ショックアブソーバ47,48の
軸方向に進退移動自在に装着された揺動範囲規制部材と
してのロッド49,50の先端に設けられた規制面5
1,52がそれぞれテーブル2の揺動ストローク端にお
いてストッパ46の円柱胴体部の接触面53に当接する
ようになっている。
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 3. As shown in FIG. 4, shock absorbers 47 and 48 whose details are shown in FIG. Regulating surfaces 5 provided at the distal ends of rods 49 and 50 as swing range regulating members mounted so as to be able to move forward and backward in the axial direction of shock absorbers 47 and 48.
At the end of the swing stroke of the table 2, reference numerals 1 and 52 abut against the contact surface 53 of the cylindrical body of the stopper 46.

【0034】図5はショックアブソーバの詳細を示す断
面図であり、図5に示すようにショックアブソーバ47
はショックアブソーバ本体54内に設けられたオイル室
54a内にピストンリング55が軸方向に摺動自在に設
けられており、このピストンリング55はロッド49の
一端に取り付けられた第1ピストン56と第2ピストン
57との間に生じる溝に嵌め込まれこの溝の範囲内にお
いて軸方向に往復動自在となっている。ロッド49はシ
ョックアブソーバ本体54の一端に設けられたストッパ
ホルダ58に支持されており、ショックアブソーバ本体
54内に進退移動自在となっている。
FIG. 5 is a sectional view showing details of the shock absorber. As shown in FIG.
A piston ring 55 is provided slidably in the axial direction in an oil chamber 54 a provided in the shock absorber main body 54, and the piston ring 55 is connected to a first piston 56 attached to one end of a rod 49 and a first piston 56. It is fitted into a groove formed between the two pistons 57 and is reciprocally movable in the axial direction within the range of the groove. The rod 49 is supported by a stopper holder 58 provided at one end of the shock absorber main body 54, and is movable in and out of the shock absorber main body 54.

【0035】通常ロッド49は、オイル室54a内に第
2ピストン57に向けて設けられたスプリング59のば
ね力によりロッド49をショックアブソーバ本体54か
ら突出させる向きに保持されている。ロッド49に外力
が加わりロッド49がショックアブソーバ本体54内に
収縮すると、ピストンリング55は第1ピストン56に
押されてオイル室54a内を図中右方向に移動する。こ
のとき、オイル室54a内に満たされているオイルが第
1ピストン56とピストンリング55との接触面の隙間
を流れることにより抵抗が発生し、またオイル室54a
の一端に設けられたアキュムレータ60にてオイル室5
4a内の圧力を吸収することによりショックアブソーバ
としての機能を発揮することになる。
The rod 49 is normally held in a direction in which the rod 49 is projected from the shock absorber main body 54 by the spring force of a spring 59 provided in the oil chamber 54a toward the second piston 57. When an external force is applied to the rod 49 and the rod 49 contracts into the shock absorber main body 54, the piston ring 55 is pushed by the first piston 56 and moves in the oil chamber 54a rightward in the drawing. At this time, the oil filled in the oil chamber 54a flows through the gap between the contact surfaces of the first piston 56 and the piston ring 55, thereby generating resistance.
An oil chamber 5 is provided by an accumulator 60 provided at one end of the oil chamber 5.
The function as a shock absorber is exhibited by absorbing the pressure in 4a.

【0036】ショックアブソーバ48もショックアブソ
ーバ47と同一の構造と機能を有するものである。
The shock absorber 48 has the same structure and function as the shock absorber 47.

【0037】テーブル2と共に回転揺動するストッパ4
6が時計回りに回転し、接触面53が規制面51に接触
すると、ロッド49はテーブル2の回転エネルギを吸収
しながらショックアブソーバ47内に収縮して揺動スト
ローク端においてテーブル2を停止させる。同様に、ス
トッパ46が反時計回りに回転し、規制面52に接触す
ると、ロッド50はテーブル2の回転エネルギを吸収し
ながらショックアブソーバ48内に収縮して揺動ストロ
ーク端においてテーブル2を停止させる。
Stopper 4 that rotates and swings together with table 2
6 rotates clockwise, and when the contact surface 53 contacts the regulating surface 51, the rod 49 contracts into the shock absorber 47 while absorbing the rotational energy of the table 2 and stops the table 2 at the end of the swing stroke. Similarly, when the stopper 46 rotates counterclockwise and comes into contact with the regulating surface 52, the rod 50 contracts into the shock absorber 48 while absorbing the rotational energy of the table 2, and stops the table 2 at the end of the swing stroke. .

【0038】したがって、テーブル2はロッド49,5
0により揺動範囲が制限され、その揺動ストローク端に
おいて位置決めされることになる。
Therefore, the table 2 has the rods 49, 5
The swing range is limited by 0, and positioning is performed at the end of the swing stroke.

【0039】ショックアブソーバ47,48はそれぞれ
本体外周部にねじ山61,62を有しており、アクチュ
エータ本体1に設けられた揺動範囲規制部材取付用ねじ
孔63,64にねじ込まれ六角ナット65,66にて固
定されている。この六角ナット65,66を緩めて、シ
ョックアブソーバ47,48のねじ込み量を調整するこ
とによりテーブル2の作動範囲や停止位置を調整するこ
とができるようになっている。
The shock absorbers 47 and 48 have threads 61 and 62 on the outer peripheral portion of the main body, respectively. The shock absorbers 47 and 48 are screwed into the screw holes 63 and 64 for mounting the swing range regulating member provided in the actuator main body 1 and are hex nuts 65. , 66 are fixed. By loosening the hexagon nuts 65 and 66 and adjusting the screwing amounts of the shock absorbers 47 and 48, the operating range and the stop position of the table 2 can be adjusted.

【0040】(実施の形態2)図6は、本発明の他の実
施の形態である揺動形アクチュエータの構造を示す断面
図であり、大きな出力を必要としない場合などに用いら
れるものである。
(Embodiment 2) FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of an oscillating actuator according to another embodiment of the present invention, which is used when a large output is not required. .

【0041】図2に示したアクチュエータ本体1と同様
に、図6に示すアクチュエータ本体1にはピニオン3が
回転自在に支持されており、このピニオン3の両脇に並
列に形成されたシリンダ室4,5には、ピニオン3に噛
み合わされたラック14,15が対となってそれぞれ軸
方向に摺動自在に設けられ、ラック14,15がシリン
ダ室内を往復直線運動するとことによりピニオン3が揺
動往復動するようになっている。
Like the actuator body 1 shown in FIG. 2, a pinion 3 is rotatably supported on the actuator body 1 shown in FIG. 6, and cylinder chambers 4 formed in parallel on both sides of the pinion 3 are provided. , 5 are provided with a pair of racks 14 and 15 engaged with the pinion 3 so as to be slidable in the axial direction, respectively. The racks 14 and 15 reciprocate linearly in the cylinder chamber, whereby the pinion 3 swings. It reciprocates.

【0042】ラック14の両端にはそれぞれシール部材
24a,25aが設けられたピストン24,25が取り
付けられており、シリンダ室4内に2つの流体圧室4
a,4bを形成している。ラック14に対しラック15
にはピストンは取り付けられず、ピニオン3を介してラ
ック14に追従して駆動されるようになっている。
Pistons 24, 25 provided with seal members 24a, 25a are attached to both ends of the rack 14, respectively, and two fluid pressure chambers 4 are provided in the cylinder chamber 4.
a, 4b are formed. Rack 15 to Rack 14
, A piston is not attached, and is driven to follow the rack 14 via the pinion 3.

【0043】流体圧室4a,4bに開口する作動流体給
排口67,68は、図示しない作動流体供給源に接続さ
れた給排ポート69,70に連通されており、給排ポー
ト69に作動流体を供給することにより流体圧室4aに
作動流体が流入されるようになっている。流体圧室4a
に流入した作動流体がピストン24を軸方向に押すこと
により、ラック14は図中右方向へ直線運動し、ピニオ
ン3を図中時計回りに回転させる。このとき、ピニオン
3を介してラック14に追従して駆動されるラック15
は図中左方向へ直線運動し、ラック15の内部にマグネ
ット押さえ16とOリング18とに支持され取り付けら
れたマグネット21と、アクチュエータ本体1のセンサ
取付溝22に取り付けられる図示しないセンサスイッチ
によりラック15がストローク端の位置となったことを
検出できるようになっている。
The working fluid supply / discharge ports 67, 68 opened to the fluid pressure chambers 4a, 4b communicate with supply / discharge ports 69, 70 connected to a working fluid supply source (not shown). By supplying the fluid, the working fluid flows into the fluid pressure chamber 4a. Fluid pressure chamber 4a
The rack 14 linearly moves rightward in the drawing when the working fluid flowing into the piston pushes the piston 24 in the axial direction, and rotates the pinion 3 clockwise in the drawing. At this time, the rack 15 driven to follow the rack 14 via the pinion 3
Moves linearly to the left in the figure, and is moved by a magnet 21 supported and mounted on the magnet holder 16 and the O-ring 18 inside the rack 15 and a sensor switch (not shown) mounted on the sensor mounting groove 22 of the actuator body 1. It is possible to detect that 15 has reached the position of the stroke end.

【0044】同様に、給排ポート70に作動流体を供給
することにより流体圧室4bに作動流体が流入されるよ
うになっており、流体圧室4bに流入した作動流体がピ
ストン25を軸方向に押すことにより、ラック14は図
中左方向へ直線運動し、ピニオン3を図中反時計回りに
回転させる。このとき、ピニオン3を介してラック14
に追従して駆動されるラック15は図中右方向へ直線運
動される。
Similarly, by supplying the working fluid to the supply / discharge port 70, the working fluid flows into the fluid pressure chamber 4b, and the working fluid flowing into the fluid pressure chamber 4b moves the piston 25 in the axial direction. , The rack 14 linearly moves leftward in the drawing, and rotates the pinion 3 counterclockwise in the drawing. At this time, the rack 14 is connected via the pinion 3.
Is driven linearly in the right direction in the figure.

【0045】したがって、流体圧室4aと流体圧室4b
とに交互に作動流体を供給することにより、ラック14
が軸方向に往復直線運動し、ピニオン3は揺動往復動す
ることができるようになっている。
Therefore, the fluid pressure chambers 4a and 4b
The working fluid is supplied alternately to the
Reciprocates linearly in the axial direction, and the pinion 3 can swing and reciprocate.

【0046】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say,

【0047】例えば、アクチュエータ本体1は図2に示
すようなラックアンドピニオン形揺動アクチュエータに
限らず、ベーン形揺動アクチュエータやクランク形揺動
アクチュエータでもよい。
For example, the actuator body 1 is not limited to the rack and pinion type swing actuator as shown in FIG. 2, but may be a vane type swing actuator or a crank type swing actuator.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明によれば、テーブルはテーブル押
さえねじにより転がり軸受としての2つのアンギュラベ
アリングを挟み込む形でアクチュエータ本体に取り付け
られているので、テーブル押さえねじの締め付けトルク
によりアンギュラベアリングに締結力を加えることがで
き確実なテーブルの取付が可能となるため揺動形アクチ
ュエータの精度を向上することができる。
According to the present invention, the table is mounted on the actuator body in such a manner that the two angular bearings as rolling bearings are sandwiched by the table holding screws, so that the tightening force of the table holding screws is applied to the angular bearings. Can be added, and the table can be securely mounted, so that the accuracy of the swing type actuator can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a),(b)は本発明の一実施の形態である
揺動形アクチュエータを示す斜視図である。
FIGS. 1A and 1B are perspective views showing an oscillating actuator according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す揺動形アクチュエータのA−A断面
を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing an AA section of the oscillating actuator shown in FIG. 1;

【図3】図2に示す揺動形アクチュエータのB−B断面
を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line BB of the swing type actuator shown in FIG. 2;

【図4】図3に示す揺動形アクチュエータのC−C断面
を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line CC of the oscillating actuator shown in FIG. 3;

【図5】図4に示すショックアブソーバの詳細を示す断
面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing details of a shock absorber shown in FIG. 4;

【図6】本発明の他の実施の形態である揺動形アクチュ
エータの構造を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a structure of an oscillating actuator according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 アクチュエータ本体 2 テーブル 2a 軸部 3 ピニオン 4 シリンダ室 4a,4b 流体圧室 5 シリンダ室 5a,5b 流体圧室 6,7,10,11 エンドプレート 6a,7a,10a,11a Oリング 8,9,12,13 スナップリング 14,15 ラック 16,17 マグネット押さえ 18,19 Oリング 20,21 マグネット 22,23 センサ取付溝 24,25,26,27 ピストン 24a,25a,26a,27a シール部材 28,29,32,33 作動流体給排口 30,34 作動流体給排流路 31,35,36,37,38,39,40,41 給
排ポート 36a,37a,38a,39a,40a,41a プ
ラグ 42 テーブル押さえねじ 43,44 アンギュラベアリング 43a,44a 玉 43b,44b 内輪 43c,44c 外輪 45 ばね座金 46 ストッパ 47,48 ショックアブソーバ 49,50 ロッド 51,52 規制面 53 接触面 54 ショックアブソーバ本体 54a オイル室 55 ピストンリング 56 第1ピストン 57 第2ピストン 58 ストッパホルダ 59 スプリング 60 アキュムレータ 61,62 ねじ山 63,64 揺動範囲規制部材取付用ねじ孔 65,66 六角ナット 67,68 作動流体給排口 69,70 給排ポート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator main body 2 Table 2a Shaft part 3 Pinion 4 Cylinder chamber 4a, 4b Fluid pressure chamber 5 Cylinder chamber 5a, 5b Fluid pressure chamber 6, 7, 10, 11 End plate 6a, 7a, 10a, 11a O-ring 8, 9, 12, 13 Snap ring 14, 15 Rack 16, 17 Magnet press 18, 19 O-ring 20, 21 Magnet 22, 23 Sensor mounting groove 24, 25, 26, 27 Piston 24a, 25a, 26a, 27a Seal member 28, 29, 32, 33 Working fluid supply / discharge port 30, 34 Working fluid supply / discharge flow path 31, 35, 36, 37, 38, 39, 40, 41 Supply / discharge port 36a, 37a, 38a, 39a, 40a, 41a Plug 42 Table holder Screw 43,44 Angular bearing 43a, 44a Ball 43b, 44b 43c, 44c Outer ring 45 Spring washer 46 Stopper 47, 48 Shock absorber 49, 50 Rod 51, 52 Restriction surface 53 Contact surface 54 Shock absorber body 54a Oil chamber 55 Piston ring 56 First piston 57 Second piston 58 Stopper holder 59 Spring 60 Accumulators 61, 62 Threads 63, 64 Screw holes for mounting swing range restricting members 65, 66 Hex nuts 67, 68 Working fluid supply / discharge port 69, 70 Supply / discharge port

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 テーブル部と、該テーブル部の外径より
も小径の軸部とを有する揺動部材と、 前記揺動部材を揺動自在に支持し、前記揺動部材を加圧
する作動流体が供給されるアクチュエータ本体と、 前記アクチュエータ本体に設けられ、前記軸部の根本側
を支持する第1転がり軸受と、 前記アクチュエータ本体に設けられ、前記軸部の先端側
を支持する第2転がり軸受と、 前記軸部の先端側にねじ込まれ、前記第2転がり軸受に
接触するテーブル押さえねじとを有し、 前記テーブル押さえねじにより前記それぞれの転がり軸
受に締結力を加えるようにしたことを特徴とする揺動形
アクチュエータ。
An oscillating member having a table portion, a shaft portion having a smaller diameter than the outer diameter of the table portion, a working fluid for oscillatingly supporting the oscillating member and pressurizing the oscillating member. And a first rolling bearing provided on the actuator body and supporting a root side of the shaft portion; and a second rolling bearing provided on the actuator body and supporting a tip side of the shaft portion. And a table holding screw that is screwed into the distal end side of the shaft portion and comes into contact with the second rolling bearing, wherein a fastening force is applied to each of the rolling bearings by the table holding screw. Swinging actuator.
【請求項2】 請求項1記載の揺動形アクチュエータに
おいて、前記アクチュエータ本体に形成された流体圧室
に軸方向に往復動自在に装着されたピストンと、前記ピ
ストンに形成されたラックと、前記ラックに噛み合い前
記揺動部材に形成されたピニオンとを有することを特徴
とする揺動形アクチュエータ。
2. The oscillating actuator according to claim 1, wherein the piston is reciprocally mounted in a fluid pressure chamber formed in the actuator body in an axial direction, a rack formed in the piston, and And a pinion meshed with a rack and formed on the rocking member.
【請求項3】 請求項1または2記載の揺動形アクチュ
エータにおいて、前記第1、第2転がり軸受をアンギュ
ラベアリングとしたことを特徴とする揺動形アクチュエ
ータ。
3. The oscillating actuator according to claim 1, wherein said first and second rolling bearings are angular bearings.
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