JP2002127009A - Grinding device - Google Patents

Grinding device

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JP2002127009A
JP2002127009A JP2000326697A JP2000326697A JP2002127009A JP 2002127009 A JP2002127009 A JP 2002127009A JP 2000326697 A JP2000326697 A JP 2000326697A JP 2000326697 A JP2000326697 A JP 2000326697A JP 2002127009 A JP2002127009 A JP 2002127009A
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JP
Japan
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grinding
work
grindstone
rotation
holding frame
Prior art date
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Application number
JP2000326697A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Kobayashi
茂雄 小林
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Nippei Toyama Corp
Original Assignee
Nippei Toyama Corp
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Publication date
Application filed by Nippei Toyama Corp filed Critical Nippei Toyama Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding device capable of reducing its own cost without requiring complicated construction for a grinding wheel dressing mechanism. SOLUTION: The grinding device 1 comprises a grinding wheel 17 (18) for grinding a plate shaped work 24 with the rotation of a grinding working face 17a (18a) and a holding frame 53 movable to the direction of approaching to or separating from the grinding wheel 17 (18). A tool such as a rotary dresser 70 for dressing the grinding wheel 17 (18) is provided on the holding frame 53.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、研削装置に関し、
特に砥石修正機構を備えた研削装置に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a grinding device,
In particular, the present invention relates to a grinding device provided with a grinding wheel correction mechanism.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、一般に半導体チップ等に用いら
れるシリコンウェーハは、硬脆材料からなるインゴット
をワイヤソーにより切断し、切断されたウェーハを研削
盤やラップ盤等で所望の厚さに研削して製造される。そ
のため、砥石の研削作用面は高い面粗度が要され、砥石
の形状修正や砥石の目立てが非常に重要となる。
2. Description of the Related Art For example, a silicon wafer generally used for a semiconductor chip or the like is obtained by cutting an ingot made of a hard and brittle material with a wire saw, and grinding the cut wafer to a desired thickness with a grinder or a lapping machine. Manufactured. Therefore, the grinding surface of the grindstone requires a high surface roughness, and it is very important to correct the shape of the grindstone and sharpen the grindstone.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の研削盤
においては、砥石修正工具を備えた修正工具ヘッドを砥
石の研削作用面に沿って移動させるために、研削盤本体
とは別個独立に砥石修正装置を構成し、研削盤本体と併
設させていた。この場合、研削盤と砥石修正装置の2台
の装置を設置するために広い設置面積が必要となり、装
置自体もコスト高になるという問題があった。
However, in the conventional grinding machine, the grinding tool head provided with the grinding wheel repair tool is moved along the grinding action surface of the grinding wheel. A correction device was configured and provided along with the grinding machine body. In this case, there is a problem that a large installation area is required to install the two devices of the grinding machine and the grindstone repair device, and the device itself becomes expensive.

【0004】また、従来の砥石修正装置は、砥石の研削
作用面の形状を修正するいわゆるツルーイング用の工具
を備えているだけであった。そして、この砥石修正装置
によって形状修正を行った後の砥石の研削作用面は、砥
粒の切刃と結合剤が同一面となっており、そのままでは
研削に必要な切刃の突出し量が確保されないため、形状
修正を行った後に、ホワイトストーン(WA砥石)のよ
うな目立て材を手に持って修正後の研削作用面の目立て
作業を行っていた。しかし、目立て材を手に持って砥石
の目立てを行うのは作業の安全性に問題があり、目立て
材を研削作用面に一様な力で押圧するのが困難なため、
一様に目立てが出来ないということがあった。
[0004] Further, the conventional grindstone correcting device only has a so-called truing tool for correcting the shape of the grinding surface of the grindstone. Then, after the shape is corrected by this whetstone correction device, the grinding action surface of the whetstone has the same surface as the cutting edge of the abrasive grains and the binder, and the amount of protrusion of the cutting blade required for grinding is secured as it is Therefore, after the shape is corrected, a dressing material such as white stone (WA grindstone) is held in a hand to sharpen the ground surface after the correction. However, dressing the grindstone with the dressing material in hand has a problem in work safety, and it is difficult to press the dressing material against the grinding action surface with a uniform force.
Sometimes it was not possible to sharpen it uniformly.

【0005】本出願に係る発明は、上記のような問題点
を解決するためになされたものであり、その目的とする
ところは、砥石修正機構に複雑な構成を要せず、研削装
置自体のコストダウンを図ることが出来る砥石修正機構
を備えた研削装置を提供することにある。
The invention according to the present application has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the invention is that a complicated structure is not required for a grinding wheel correcting mechanism, and the grinding device itself is not required. An object of the present invention is to provide a grinding device provided with a grinding wheel correcting mechanism capable of reducing costs.

【0006】また、本出願に係る発明の他の目的は、人
手によって目立て作業を行う場合のような危険性がな
く、複雑な構成を要せずして安全な砥石修正機構を備え
た研削装置を提供することにある。
Another object of the invention according to the present application is to provide a grinding apparatus having a safe grinding wheel correcting mechanism which does not require a complicated structure without danger as in the case of performing sharpening work by hand. Is to provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本出願に係る第1の発明は、板状の被研削物を回転
する研削作用面によって研削する砥石と、前記被研削物
を回転自在に支持し、前記砥石に接近又は離脱する方向
に移動可能な保持枠と、を有する研削装置において、前
記砥石の研削作用面を修正する工具を前記保持枠に備え
たことを特徴とする研削装置である。
Means for Solving the Problems To achieve the above object, a first invention according to the present application is directed to a grinding wheel for grinding a plate-like workpiece by a rotating grinding surface, and a method for rotating the workpiece. A holding frame that is freely supported and movable in a direction to approach or separate from the grindstone, wherein the holding frame is provided with a tool for correcting a grinding action surface of the grindstone. Device.

【0008】また、本出願に係る第2の発明は、前記砥
石の研削作用面を修正する工具が、前記砥石の形状修正
を行う第一の工具と、前記砥石の目立てを行う第二の工
具であることを特徴とする第1の発明に記載の研削装置
である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a tool for correcting a grinding action surface of the grinding wheel, wherein the first tool corrects the shape of the grinding wheel and the second tool sharpens the grinding wheel. The grinding device according to the first aspect, characterized in that:

【0009】更に、本出願に係る第3の発明は、前記第
一の工具が、前記保持枠に回転自在に備えられているこ
とを特徴とする第2の発明に記載の研削装置である。
Further, a third invention according to the present application is the grinding apparatus according to the second invention, wherein the first tool is rotatably provided on the holding frame.

【0010】また、本出願に係る第4の発明は、前記第
二の工具が、前記第一の工具と同軸に前記保持枠に回転
自在に備えられていることを特徴とする第3の発明に記
載の研削装置である。
A fourth invention according to the present application is characterized in that the second tool is rotatably provided on the holding frame coaxially with the first tool. The grinding device according to item 1.

【0011】更に、本出願に係る第5の発明は、砥石の
研削作用面の形状を修正するロータリドレッサと、前記
ロータリドレッサと同軸に回転可能であり、前記ロータ
リドレッサにより形状を修正された前記砥石の研削作用
面を目立てする目立て砥石と、を有する修正工具ヘッド
と、前記修正工具ヘッドを前記砥石の研削作用面に沿っ
て移動させるための移動手段と、を有することを特徴と
する研削装置である。
Further, a fifth invention according to the present application is directed to a rotary dresser for correcting a shape of a grinding action surface of a grindstone, wherein the rotary dresser is rotatable coaxially with the rotary dresser, and has a shape corrected by the rotary dresser. A grinding tool, comprising: a correction tool head having a sharpening whetstone for sharpening a grinding operation surface of a whetstone; and moving means for moving the correction tool head along the grinding operation surface of the whetstone. It is.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本出願に係る発明の第一の
実施の形態について、図1〜図7に基づいて詳細に説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the invention according to the present application will be described in detail with reference to FIGS.

【0013】[実施の形態1]図1は、本発明に係る研
削装置1の縦断面を示す概略図である。この研削装置1
の概略を示すと、研削装置1は、一対の砥石17,18
の対向する端面である二つの研削作用面17a,18a
を有し、それぞれの研削作用面17a,18aはほぼ平
行の状態で対向配置されている。そして、板状のワーク
24をワーク支持機構15に支持した状態で上下砥石1
7,18の間に配置し、上下砥石17,18を回転させ
ながらワーク24に向かって両砥石または片方の砥石を
送り移動することによって、それら二つの研削作用面1
7a,18aに接触したワーク24の表裏両面を同時に
研削するようになっている。
[First Embodiment] FIG. 1 is a schematic view showing a longitudinal section of a grinding apparatus 1 according to the present invention. This grinding device 1
In general, the grinding device 1 includes a pair of grindstones 17 and 18.
Grinding surfaces 17a, 18a, which are opposite end surfaces of
And the respective grinding action surfaces 17a, 18a are arranged facing each other in a substantially parallel state. Then, with the plate-shaped work 24 supported by the work support mechanism 15,
7 and 18, the upper and lower grindstones 17 and 18 are rotated and the two grindstones or one of the grindstones is moved toward the work 24 while rotating the grindstones 17 and 18.
Both the front and back surfaces of the work 24 in contact with 7a and 18a are ground simultaneously.

【0014】図1に基づいて研削装置1の具体的な構成
を示す。図1に示すように、下部フレーム11の上に中
間フレーム12が固定され、その中間フレーム12の上
には上部フレーム13が固定されている。下部フレーム
11には下部砥石回転機構14及びワーク支持機構15
が装設され、上部フレーム13には上部砥石回転機構1
6が装設されている。
A specific configuration of the grinding device 1 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, an intermediate frame 12 is fixed on a lower frame 11, and an upper frame 13 is fixed on the intermediate frame 12. The lower frame 11 includes a lower grinding wheel rotating mechanism 14 and a work supporting mechanism 15.
The upper frame 13 is provided with an upper grinding wheel rotating mechanism 1.
6 are installed.

【0015】下部砥石回転機構14は、下部砥石17の
回転中心軸となる下部砥石回転軸14aを備え、下部砥
石回転軸14aの下方延長線は下部砥石17を回転させ
るための下部砥石駆動モータ30のロータ31に連結し
ている。下部砥石回転軸14aの上端には砥石ホルダと
なるフランジ部14bが設けられており、前記ロータ3
1の回転によりフランジ部14bが高速で回転する。ま
た、フランジ部14bには下部砥石17が取り付け固定
されており、その下部砥石17の上面はワーク24を研
削する研削作用面17aをなしている。そして、下部砥
石駆動モータ30の回転により、下部砥石17の研削作
用面17aが回転する。
The lower grinding wheel rotating mechanism 14 includes a lower grinding wheel rotating shaft 14a serving as a rotation center axis of the lower grinding wheel 17, and a lower extension line of the lower grinding wheel rotating shaft 14a is a lower grinding wheel driving motor 30 for rotating the lower grinding wheel 17. Of the rotor 31. A flange portion 14b serving as a grindstone holder is provided at the upper end of the lower grindstone rotating shaft 14a.
The rotation of 1 causes the flange portion 14b to rotate at high speed. A lower grindstone 17 is attached and fixed to the flange portion 14b, and the upper surface of the lower grindstone 17 forms a grinding action surface 17a for grinding the work 24. Then, the rotation of the lower grindstone drive motor 30 causes the grinding surface 17a of the lower grindstone 17 to rotate.

【0016】同様に、上部砥石回転機構16は、上部砥
石18の回転中心軸となる上部砥石回転軸16aを備
え、上部砥石回転軸16aの上方延長線は上部砥石18
を回転させるための上部砥石駆動モータ32のロータ3
3に連結している。上部砥石回転軸16aの下端には砥
石ホルダとなるフランジ部16bが設けられており、前
記ロータ33の回転によりフランジ部16bが高速で回
転する。また、フランジ部16bには上部砥石18が取
り付け固定されており、その上部砥石18の下面は研削
作用面18aをなしている。従って、上部砥石駆動モー
タ32の回転により、上部砥石18の研削作用面18a
が回転する構造になっている。
Similarly, the upper grinding wheel rotating mechanism 16 includes an upper grinding wheel rotating shaft 16a serving as a rotation center axis of the upper grinding wheel 18, and an upper extension line of the upper grinding wheel rotating shaft 16a is
3 of the upper grinding wheel drive motor 32 for rotating the
3 A flange 16b serving as a grindstone holder is provided at the lower end of the upper grindstone rotating shaft 16a, and the rotation of the rotor 33 causes the flange 16b to rotate at high speed. An upper grindstone 18 is mounted and fixed to the flange portion 16b, and the lower surface of the upper grindstone 18 forms a grinding action surface 18a. Therefore, the rotation of the upper grinding wheel drive motor 32 causes the grinding action surface 18a of the upper grinding wheel 18 to rotate.
Has a rotating structure.

【0017】また、下部砥石駆動モータ30及び上部砥
石駆動モータ32はそれぞれ、下部砥石回転昇降制御部
102、上部砥石回転昇降制御部103に接続されてお
り、それら制御部からの制御信号によりその回転速度が
制御される。そして、前記下部砥石回転軸14aの中心
線が上部砥石回転軸16a線の延長線上に配置されると
ともに、下部砥石17の研削作用面17aが上部砥石1
8の研削作用面18aとほぼ平行になるように対向配置
されている。
The lower wheel driving motor 30 and the upper wheel driving motor 32 are connected to a lower wheel rotation and elevation controller 102 and an upper wheel rotation and elevation controller 103, respectively. Speed is controlled. The center line of the lower grindstone rotating shaft 14a is arranged on an extension of the upper grindstone rotating shaft 16a, and the grinding action surface 17a of the lower grindstone 17 is
8 so as to be substantially parallel to the grinding surface 18a.

【0018】上部フレーム13には昇降用サーボモータ
19を設けており、その昇降用サーボモータ19は上部
砥石回転昇降制御部103に接続されている。また、下
部フレーム11には昇降用サーボモータ20を設けてお
り、その昇降用サーボモータ20は下部砥石回転昇降制
御部102に接続されている。
A servomotor 19 for raising and lowering is provided on the upper frame 13, and the servomotor 19 for raising and lowering is connected to an upper grinding wheel rotation raising and lowering control unit 103. The lower frame 11 is provided with a servomotor 20 for raising and lowering, and the servomotor 20 for raising and lowering is connected to a lower grindstone rotation raising and lowering control unit 102.

【0019】上部砥石回転機構16は、上部フレーム1
3に上部砥石回転軸16a線方向へ昇降可能に支持され
ており、図示しないボールねじ送り機構により昇降用サ
ーボモータ19の回転に従って上下動を行う。また、下
部砥石回転機構14は、下部フレーム11に下部砥石回
転軸14a線方向へ昇降可能に支持されており、図示し
ないボールねじ送り機構により昇降用サーボモータ20
の回転に従って上下動を行う。
The upper whetstone rotating mechanism 16 is used to drive the upper frame 1
3 is supported so as to be able to ascend and descend in the direction of the upper grindstone rotating shaft 16a, and moves up and down in accordance with the rotation of an ascending and descending servomotor 19 by a ball screw feed mechanism (not shown). The lower grindstone rotating mechanism 14 is supported by the lower frame 11 so as to be able to move up and down in the direction of the lower grindstone rotating shaft 14a, and is moved up and down by a ball screw feed mechanism (not shown).
Move up and down according to the rotation of.

【0020】そして、上部砥石回転昇降制御部103及
び下部砥石回転昇降制御部102はそれぞれ、昇降用サ
ーボモータ19,20の回転を制御する部位であり、上
下部砥石18,17の上下方向の送り移動量を制御す
る。また、上部砥石回転昇降制御部103及び下部砥石
回転昇降制御部102はそれぞれ、上部砥石駆動モータ
32,下部砥石駆動モータ30の回転速度を制御して、
上下部砥石18,17の回転速度を所望の回転速度に調
整する。
The upper grindstone rotation elevating control unit 103 and the lower grindstone rotation elevating control unit 102 control the rotation of the elevating servomotors 19 and 20, respectively. Control the amount of movement. In addition, the upper grinding wheel rotation elevating control unit 103 and the lower grinding wheel rotation elevating control unit 102 control the rotation speed of the upper grinding wheel driving motor 32 and the lower grinding wheel driving motor 30, respectively.
The rotation speed of the upper and lower whetstones 18 and 17 is adjusted to a desired rotation speed.

【0021】次に前記ワーク支持機構15について説明
すると、図1に示すようにワーク支持機構15は上下部
砥石回転機構16,14間において、下部フレーム11
上に配設されている。図2はワーク支持機構15を上方
から見た状態を簡略化して示した平面図であり、ワーク
支持機構15は主に、支持台52、保持枠53、ガイド
レール54及び移動用モータ55よりなる。
Next, the work supporting mechanism 15 will be described. As shown in FIG.
It is arranged above. FIG. 2 is a simplified plan view showing the work support mechanism 15 as viewed from above. The work support mechanism 15 mainly includes a support table 52, a holding frame 53, a guide rail 54, and a movement motor 55. .

【0022】図2に示すように支持台52上には、ワー
ク24を回転自在に支持する保持枠53が一対のガイド
レール54を介して左右に移動可能に支持されている。
As shown in FIG. 2, a holding frame 53 for rotatably supporting the work 24 is supported on a support table 52 via a pair of guide rails 54 so as to be movable left and right.

【0023】移動用モータ55は支持台52上に固定配
設されており、このモータ軸に連結されたボールねじ5
6が保持枠53に固定されたボールナット56aにねじ
込まれて保持枠53が移動する構造になっている。移動
用モータ55は図1に示す移動用モータ制御部104に
接続されており、移動用モータ制御部104を介して制
御装置101により回転が制御される。
The moving motor 55 is fixedly disposed on the support base 52, and the ball screw 5 connected to the motor shaft is provided.
6 is screwed into a ball nut 56a fixed to the holding frame 53, so that the holding frame 53 moves. The movement motor 55 is connected to the movement motor control unit 104 shown in FIG. 1, and the rotation is controlled by the control device 101 via the movement motor control unit 104.

【0024】図2に示すように、ワーク24を保持する
ための円環状のワークホルダ57は、保持枠53内に配
置され、保持枠53に形成された穴部に回転可能に支持
されている。ワークホルダ57は、円環状の肉厚の外周
枠57aの内側にワーク支持板となるシュー60を備え
ており、図3に示すように外周枠57aの下部外周には
ギヤ59が形成されている。
As shown in FIG. 2, an annular work holder 57 for holding the work 24 is disposed in the holding frame 53, and is rotatably supported by a hole formed in the holding frame 53. . The work holder 57 includes a shoe 60 serving as a work support plate inside an annular thick outer peripheral frame 57a, and a gear 59 is formed on a lower outer periphery of the outer peripheral frame 57a as shown in FIG. .

【0025】図3は、保持枠53の縦断面を模式的に表
した図である。図3に示すように、シュー60はワーク
24より薄く形成され、本実施の形態では4枚のシュー
60によって被加工物であるワーク24を着脱可能に支
持するためのセット部60aが形成される。このセット
部60aはワーク24が上下動可能に緩く嵌合する直径
を有する。
FIG. 3 is a view schematically showing a vertical section of the holding frame 53. As shown in FIG. 3, the shoe 60 is formed to be thinner than the work 24, and in the present embodiment, a set portion 60 a for detachably supporting the work 24, which is a workpiece, is formed by four shoes 60. . The setting portion 60a has a diameter at which the work 24 is loosely fitted so as to be vertically movable.

【0026】ワークホルダ駆動モータ61は保持枠53
上に配設され、そのモータ軸61aにはワークホルダ5
7のギヤ59に噛合するギヤ62が固定されている。そ
して、このワークホルダ駆動モータ61の回転により、
ギヤ62及びギヤ59を介してワークホルダ57が回転
する。
The work holder drive motor 61 has a holding frame 53
The work holder 5 is mounted on the motor shaft 61a.
The gear 62 meshing with the gear 59 of the seventh gear is fixed. Then, by the rotation of the work holder drive motor 61,
The work holder 57 rotates via the gear 62 and the gear 59.

【0027】ワークホルダ駆動モータ61は図1に示す
回転モータ制御部105に接続されており、回転モータ
制御部105を介して制御装置101により回転が制御
される。ワークホルダ駆動モータ61は、順方向及び逆
方向に回転することができ、制御装置101の制御信号
により順方向または逆方向に回転する。従って、制御装
置101に予めプログラムしておくことにより、一定時
間経過後にワークホルダ駆動モータ61の回転を逆転さ
せることも可能である。
The work holder drive motor 61 is connected to the rotary motor control unit 105 shown in FIG. 1, and its rotation is controlled by the control unit 101 via the rotary motor control unit 105. The work holder drive motor 61 can rotate in the forward and reverse directions, and rotates in the forward or reverse direction according to a control signal from the control device 101. Therefore, by programming the control device 101 in advance, it is possible to reverse the rotation of the work holder drive motor 61 after a certain time has elapsed.

【0028】図2に示すように、支持台52上には複数
のエアパッド63a,63bが配設されている。各エア
パッド63a,63bは円板状部材よりなり、その円板
状部材の中心にエア噴出孔64が形成されている。
As shown in FIG. 2, a plurality of air pads 63a and 63b are provided on the support 52. Each of the air pads 63a and 63b is formed of a disk-shaped member, and an air ejection hole 64 is formed at the center of the disk-shaped member.

【0029】各エアパッド63a,63bのエア噴出孔
64には、下方からノズル(不図示)が接続され、これ
らのノズルには図示しないエアコンプレッサ等のエア供
給源が接続されている。そして、このエア供給源より供
給されるエアが、各エアパッド63a,63bのエア噴
出孔64から上方に噴出することにより、ワーク24の
下面がエアの噴出圧力によって押し上げられる。そし
て、ワーク24がセット部60a内において浮上した状
態で保持され、保持枠53の移動に伴ってワーク搬入搬
出位置P1(図2参照)とワーク加工位置P2(図5参
照)の間を浮上した状態で搬送させられる。
Nozzles (not shown) are connected to the air ejection holes 64 of the air pads 63a and 63b from below, and an air supply source such as an air compressor (not shown) is connected to these nozzles. Then, the air supplied from the air supply source is ejected upward from the air ejection holes 64 of the air pads 63a and 63b, whereby the lower surface of the work 24 is pushed up by the ejection pressure of the air. The work 24 is held in a floating state in the setting section 60a, and floats between the work loading / unloading position P1 (see FIG. 2) and the work processing position P2 (see FIG. 5) with the movement of the holding frame 53. It is transported in a state.

【0030】図5に示すように保持枠54がワーク加工
位置P2にある場合において、ワーク24は下部砥石1
7上に載置され、下部砥石17よりはみ出した部分は複
数のエアパッド63b(図5では4個)に対向してい
る。そして、ワーク24が下部砥石17の研削作用面1
7aに傾斜して載置されることのないように、エアパッ
ド63bからエアをワーク24の下面に噴出し、ワーク
24を下部砥石17の研削作用面17aと平行状態に維
持する。
When the holding frame 54 is at the work processing position P2 as shown in FIG.
The portion that is placed on the top 7 and protrudes from the lower grindstone 17 faces a plurality of air pads 63b (four in FIG. 5). And the work 24 is the grinding surface 1 of the lower grindstone 17.
Air is blown from the air pad 63b to the lower surface of the work 24 so that the work 24 is not inclined and mounted on the work 7a, and the work 24 is maintained in a state parallel to the grinding surface 17a of the lower grindstone 17.

【0031】図5に示すように、インゴットから切り出
された未研削のウェーハであるワーク24の結晶方位の
基準となるノッチやオリフラ(オリエンテーションフラ
ット)等の切欠部24aに係合するように、セット部6
0aには内周側へ向かって突出する係合突起65aを有
するノッチドライブ65が設けてある。このワーク24
の切欠部24aの形状は本実施の形態のようなV溝状の
ノッチ、またはワーク24の外周の円弧を切るオリフラ
を縁とした形状であり、前記係合突起65aはワーク2
4の切欠部24aをほぼ補完する形状としてある。
As shown in FIG. 5, a set 24 is formed so as to engage with a notch 24a such as a notch or an orientation flat (orientation flat) serving as a reference of a crystal orientation of a workpiece 24 which is an unground wafer cut out of an ingot. Part 6
A notch drive 65 having an engagement protrusion 65a protruding toward the inner peripheral side is provided in Oa. This work 24
The shape of the notch portion 24a is a V-groove-shaped notch as in the present embodiment or an edge of an orientation flat that cuts an arc of the outer periphery of the work 24, and the engagement protrusion 65a is
4 has a shape that substantially complements the notch 24a.

【0032】切欠部24aを有するワーク24を研削加
工するときには、ワーク24をセット部60aに設置す
るとともに、この切欠部24aをセット部60aに設け
てあるノッチドライブ65の係合突起65aに係合さ
せ、移動用モータ55の回転により保持枠53を砥石1
7,18間のワーク加工位置P2に搬送して下部砥石1
7の研削作用面17a上に配置する。このときワーク2
4はセット部60a内に浮上した状態で保持され、ワー
クホルダ57が回転することによりシュー60も回転
し、係合突起65aを介してワーク24も浮上状態で一
緒に回転する。
When grinding the work 24 having the notch 24a, the work 24 is set in the set portion 60a, and the notch 24a is engaged with the engagement protrusion 65a of the notch drive 65 provided in the set portion 60a. The holding frame 53 is moved by the rotation of the
The lower grinding wheel 1 is transported to the workpiece processing position P2 between
7 on the grinding surface 17a. At this time, work 2
4 is held in a floating state in the set portion 60a, and the shoe 60 is rotated by the rotation of the work holder 57, and the work 24 is also rotated in a floating state via the engagement protrusion 65a.

【0033】そして、上下両砥石17,18を回転さ
せ、上下部両砥石17,18の一方又は双方をワーク2
4に向かって送り移動することにより、ワーク24が回
転した状態でその上下両面に砥石の研削作用面17a,
18aが回転しながら接触し、ワーク24の上下両面を
同時に研削する。ワークホルダ駆動モータ61は、制御
装置101からの制御信号により回転モータ制御部10
5を介してワーク24の回転方向及び回転速度を制御す
る。
The upper and lower grindstones 17 and 18 are rotated, and one or both of the upper and lower grindstones 17 and 18 are moved to the work 2.
In the state where the workpiece 24 is rotated, the grinding operation surfaces 17a, 17a,
18a contacts while rotating, and simultaneously grinds the upper and lower surfaces of the work 24. The work holder drive motor 61 is controlled by the rotation motor control
The rotation direction and rotation speed of the work 24 are controlled via the control unit 5.

【0034】(砥石修正機構の説明)次に、本発明の砥
石修正機構について説明する。図4は修正工具ヘッド4
2の斜視図である。
(Description of Grinding Wheel Correction Mechanism) Next, the grinding wheel correction mechanism of the present invention will be described. FIG. 4 shows the correction tool head 4
FIG. 2 is a perspective view of FIG.

【0035】本実施の形態においては、第一の工具とし
てロータリドレッサ70を使用している。ロータリドレ
ッサ70は、研削装置に取り付けられた砥石の研削作用
面の振れ、又は摩耗による目詰まりや形状公差からのず
れ等の低減を目的に、研削砥石の形状を修正するための
工具であり、略円板状の工具が回転軸を中心に回転し
て、研削砥石の研削作用面を修正する。
In this embodiment, a rotary dresser 70 is used as a first tool. The rotary dresser 70 is a tool for correcting the shape of the grinding wheel, for the purpose of reducing run-out of the grinding action surface of the grinding wheel attached to the grinding device, or clogging due to abrasion and deviation from a shape tolerance, A substantially disk-shaped tool rotates about a rotation axis to correct the grinding action surface of the grinding wheel.

【0036】ロータリドレッサ70は、修正工具ヘッド
42に取り付けられており、修正工具ヘッド42の移動
により砥石17,18の研削作用面17a,18aを修
正する。本発明においては、修正工具ヘッド42を保持
枠53に備えている。図2に示すように、保持枠53は
図2右方のワーク搬入搬出位置P1と図2左方のワーク
加工位置P2の間を移動可能であり、保持枠53の左辺
の中央部付近に修正工具ヘッド42が設けられている。
The rotary dresser 70 is mounted on the correction tool head 42, and corrects the grinding surfaces 17a, 18a of the grindstones 17, 18 by moving the correction tool head 42. In the present invention, the correction tool head 42 is provided on the holding frame 53. As shown in FIG. 2, the holding frame 53 is movable between a work loading / unloading position P1 on the right side of FIG. 2 and a work processing position P2 on the left side of FIG. 2, and is corrected near the center of the left side of the holding frame 53. A tool head 42 is provided.

【0037】修正工具ヘッド42には、ロータリドレッ
サ70を回転させるためのドレッサ回転用モータ71が
設けられており、そのモータ回転軸が保持枠53の移動
方向に平行になるように配置されている。モータ回転軸
はロータリドレッサ70の回転軸をなし、回転軸の延長
線が研削砥石17,18の回転中心を通る位置に配置さ
れている。ロータリドレッサ70はドレッサ回転用モー
タ71の回転軸に固定されており、ドレッサ回転用モー
タ71の回転に従って回転する。
The correction tool head 42 is provided with a dresser rotation motor 71 for rotating the rotary dresser 70, and the motor rotation axis is arranged so as to be parallel to the moving direction of the holding frame 53. . The motor rotation shaft forms the rotation shaft of the rotary dresser 70, and is arranged at a position where an extension of the rotation shaft passes through the rotation center of the grinding wheels 17 and 18. The rotary dresser 70 is fixed to a rotation shaft of a dresser rotation motor 71, and rotates according to the rotation of the dresser rotation motor 71.

【0038】また、修正工具ヘッド42には、第二の工
具としてWA砥石(ホワイトアランダム砥石)に代表さ
れる目立て用の目立て砥石72を備えている。目立てと
は、形状修正後の砥石又は研削能力の低下した砥石にお
いて、砥粒を傷めないようにして結合剤だけを除去し、
加工に必要な砥粒切刃を突出させて、研削に最適な砥石
表面を得るために行うものである。
The correction tool head 42 is provided with a dressing grindstone 72 for dressing typified by a WA grindstone (white alundum grindstone) as a second tool. With dressing, in a grinding wheel after shape correction or a grinding wheel with reduced grinding ability, only the binder is removed so as not to damage the abrasive grains,
This is performed in order to protrude the abrasive cutting edge required for processing to obtain an optimum grinding wheel surface for grinding.

【0039】本実施の形態における目立て砥石72は、
修正工具ヘッド42から上下面を露出するようにして修
正工具ヘッド42に固定されている。図2に示すように
目立て砥石72はロータリドレッサ70の左方に配置さ
れており、ロータリドレッサ70の回転軸の延長線上に
固定されている。また、目立て砥石72の上下の研削作
用面はロータリドレッサ70の研削作用面よりも上下砥
石18,17から離れて位置し、ロータリドレッサ70
によって砥石17,18の形状修正が行われている際
に、目立て砥石72が砥石17,18に干渉しないよう
になっている。
The dressing grindstone 72 in this embodiment is
It is fixed to the correction tool head 42 such that the upper and lower surfaces are exposed from the correction tool head 42. As shown in FIG. 2, the dressing grindstone 72 is disposed on the left side of the rotary dresser 70 and is fixed on an extension of the rotation axis of the rotary dresser 70. The upper and lower grinding surfaces of the dressing grindstone 72 are located farther from the upper and lower grinding wheels 18 and 17 than the grinding surfaces of the rotary dresser 70.
When the shapes of the grindstones 17 and 18 are being corrected by the method, the dressing grindstone 72 does not interfere with the grindstones 17 and 18.

【0040】上述の修正工具ヘッド42を備えた保持枠
53は移動用モータ55の回転により、ワーク24の搬
出入を行うワーク搬入搬出位置P1、ワーク24の加工
を行うワーク加工位置P2、上下砥石17,18の形状
修正を行う修正位置P3、上下砥石17,18の目立て
を行う目立て位置P4に移動する。このとき、移動用モ
ータ55の回転は、移動用モータ制御部104によって
制御される。
The holding frame 53 provided with the above-mentioned correction tool head 42 is rotated by a moving motor 55 to carry in and out the work 24, a work carry-in / out position P1, a work processing position P2 for working the work 24, and a vertical grinding wheel. It moves to a correction position P3 where the shapes of the wheels 17 and 18 are corrected, and a dressing position P4 where the upper and lower whetstones 17 and 18 are dressed. At this time, the rotation of the movement motor 55 is controlled by the movement motor control unit 104.

【0041】図2は、保持枠53がワーク搬入搬出位置
P1にある状態を示している。なお、説明のため図2,
図5〜図7においては、上砥石18の記載を省略してい
る。図2に示すようにワーク搬入搬出位置P1は最右側
であり、この位置において研削済みワークと未研削ワー
クの交換作業が行われる。ワーク搬入搬出位置P1は、
保持枠53が砥石17,18から退避した位置であり、
保持枠53に設けられたセット部60aと研削砥石1
7,18が重ならない位置である。
FIG. 2 shows a state in which the holding frame 53 is at the work loading / unloading position P1. It should be noted that FIG.
5 to 7, illustration of the upper grindstone 18 is omitted. As shown in FIG. 2, the work loading / unloading position P1 is on the rightmost side, and at this position, the work of exchanging a ground work and an unground work is performed. The work loading / unloading position P1 is
A position where the holding frame 53 is retracted from the grindstones 17 and 18;
The set portion 60a provided on the holding frame 53 and the grinding wheel 1
7, 18 are positions where they do not overlap.

【0042】研削加工が終了したワーク24は、移動用
モータ55の回転によりワーク加工位置P2からワーク
搬入搬出位置P1へ、保持枠53に収容された状態で搬
送される。ワーク搬入搬出位置P1においては、不図示
のロボットアーム等によりセット部60aから研削済み
ワーク24が取り出されて、研削済みワークカセット
(不図示)に収容される。続いて、ロボットアームは未
研削ワークを未研削ワークカセット(不図示)から取り
出し、保持枠53のセット部60aに未研削ワークを収
容する。
The workpiece 24, which has been ground, is transported from the workpiece processing position P2 to the workpiece loading / unloading position P1 by the rotation of the moving motor 55 while being held in the holding frame 53. At the work loading / unloading position P1, the ground work 24 is taken out of the setting section 60a by a robot arm or the like (not shown) and stored in a ground work cassette (not shown). Subsequently, the robot arm takes out the unground work from an unground work cassette (not shown), and stores the unground work in the set portion 60 a of the holding frame 53.

【0043】図5は、保持枠53がワーク加工位置P2
にある状態を示す平面図である。上述のように未研削ワ
ーク24をセットした保持枠53は、移動用モータ55
の回転に従ってボールナット56aがボールねじ56に
より送られて、ワーク加工位置P2まで移動する。ワー
ク加工位置P2は最左側であり、セット部60aと研削
砥石17,18が重なる位置である。ワーク加工位置P
2においては、上下から砥石17,18を切り込むこと
によりワーク24の表裏面の研削が行われる。そして、
複数枚のワーク、例えば1又は2カセット分のワークを
研削し終えたら、保持枠53を修正位置P3に移動させ
る。
FIG. 5 shows that the holding frame 53 is positioned at the work processing position P2.
FIG. The holding frame 53 on which the unground work 24 is set as described above is
The ball nut 56a is fed by the ball screw 56 in accordance with the rotation of. The workpiece processing position P2 is the leftmost position, and is a position where the set portion 60a and the grinding wheels 17 and 18 overlap. Workpiece processing position P
In 2, the front and back surfaces of the work 24 are ground by cutting the grindstones 17 and 18 from above and below. And
When grinding of a plurality of works, for example, works for one or two cassettes, the holding frame 53 is moved to the correction position P3.

【0044】図6は、保持枠53が修正位置P3にある
状態を示す平面図である。修正位置P3は、ロータリド
レッサ70が砥石17,18に接触可能な位置である。
修正位置P3においては、ロータリドレッサ70によっ
て研削砥石17,18の形状を修正する。
FIG. 6 is a plan view showing a state where the holding frame 53 is at the correction position P3. The correction position P3 is a position where the rotary dresser 70 can contact the grindstones 17 and 18.
At the correction position P3, the shapes of the grinding wheels 17 and 18 are corrected by the rotary dresser 70.

【0045】ロータリドレッサ70は、ドレッサ回転用
モータ71の回転軸に固定されており、ドレッサ回転用
モータ71の回転に従って回転する。そして、ロータリ
ドレッサ70を回転させた状態で、上下の砥石17,1
8を回転させながらロータリドレッサ70に向かって送
り、ロータリドレッサ70の研削面と研削砥石17,1
8の研削作用面17a,18aを接触させることにより
研削砥石17,18の形状修正を行う。修正位置P3に
おける砥石の形状修正が終了したら、今度は保持枠53
を目立て位置P4に移動させる。
The rotary dresser 70 is fixed to the rotation shaft of the dresser rotation motor 71 and rotates according to the rotation of the dresser rotation motor 71. Then, in a state where the rotary dresser 70 is rotated, the upper and lower grindstones 17 and 1 are rotated.
8 is rotated toward the rotary dresser 70 while rotating, and the grinding surface of the rotary dresser 70 and the grinding wheels 17 and 1 are rotated.
The shape of the grinding wheels 17 and 18 is corrected by bringing the 8 working surfaces 17a and 18a into contact with each other. When the shape correction of the grindstone at the correction position P3 is completed, this time the holding frame 53
Is moved to the sharpening position P4.

【0046】図7は、保持枠53が目立て位置P4にあ
る状態を示す平面図である。目立て位置P4は、目立て
砥石72が研削砥石17,18に接触可能な位置であ
る。目立て位置P4においては、目立て砥石72によっ
て形状修正後の砥石17,18の目立てが行われる。目
立て砥石72は修正工具ヘッド42に固定されているた
め回転はせず、上下の砥石17,18のみが回転して目
立て砥石72に向かって送られることにより目立てが行
われる。
FIG. 7 is a plan view showing a state in which the holding frame 53 is at the sharpening position P4. The dressing position P4 is a position where the dressing grindstone 72 can contact the grinding grindstones 17 and 18. At the sharpening position P4, the sharpening grindstones 72 sharpen the grindstones 17 and 18 after the shape correction. The dressing grindstone 72 is fixed to the correction tool head 42 and does not rotate. Only the upper and lower grindstones 17 and 18 rotate and are sent toward the dressing grindstone 72 to perform dressing.

【0047】なおこのとき、目立て砥石72が研削作用
面17a,18aの半径方向の全域に亘って接触する大
きさである場合には砥石17,18を切り込むだけ(イ
ンフィード目立て)でも良く、また、保持枠53を送り
移動させながら砥石17,18を切り込んでも良い。
At this time, if the dressing grindstone 72 is large enough to be in contact with the entire area of the grinding action surfaces 17a and 18a in the radial direction, the grindstones 17 and 18 may only be cut (infeed dressing). The grindstones 17 and 18 may be cut while the holding frame 53 is moved.

【0048】次に、前記のように構成された研削装置1
の動作を説明する。
Next, the grinding apparatus 1 configured as described above
Will be described.

【0049】研削装置1にワーク24を搬入搬出する場
合には、移動用モータ55の回転により、保持枠53が
図2に示すワーク搬入搬出位置P1に移動させられた状
態となる。未研削のワーク24が複数枚収められた未研
削ワークカセット(図示しない)から、図示しないロボ
ットアーム等により、ワークホルダ57のセット部60
a内にワーク24が挿入セットされ、そのワーク24の
切欠部24aが係合突起65aに係合する。
When the work 24 is carried in and carried out to the grinding device 1, the holding frame 53 is moved to the work carry-in / out position P1 shown in FIG. 2 by the rotation of the moving motor 55. A set portion 60 of the work holder 57 is moved from an unground work cassette (not shown) containing a plurality of unground works 24 by a robot arm (not shown) or the like.
The work 24 is inserted and set in a, and the notch 24a of the work 24 engages with the engagement protrusion 65a.

【0050】そして、このワーク24のセット状態にお
いて、エア供給源より供給させるエアが、各エアパッド
63a,63bのノズルからエア噴出孔64を介してワ
ーク24の下面に噴出される。これにより、ワーク24
がセット部60a内において、浮上した状態に保持され
る。
Then, in the setting state of the work 24, the air supplied from the air supply source is jetted from the nozzles of the air pads 63 a and 63 b to the lower surface of the work 24 via the air jet holes 64. Thereby, the work 24
Is held in a floating state in the setting section 60a.

【0051】その後、移動用モータ55の回転によりボ
ールねじ56に嵌合したボールナット56aが移動し
て、図5に示すように保持枠53がワーク24を浮上さ
せた状態のままワーク搬入搬出位置P1からワーク加工
位置P2に搬送される。同時に、ワークホルダ57はワ
ークホルダ駆動モータ61からギヤ62及びギヤ59を
介して回転させられ、ノッチドライブ65によりワーク
24も回転する。
Thereafter, the ball nut 56a fitted to the ball screw 56 is moved by the rotation of the moving motor 55, and the work carrying-in / out position is maintained with the holding frame 53 floating the work 24 as shown in FIG. It is transported from P1 to the work processing position P2. At the same time, the work holder 57 is rotated from the work holder drive motor 61 via the gears 62 and 59, and the work 24 is also rotated by the notch drive 65.

【0052】そして、このワーク加工位置P2では、下
部砥石17がワーク24の下部被削面まで回転しながら
送り移動されて上昇することにより、ワーク24が下部
砥石17に載置される。次に、上部砥石18が、ワーク
24の上部被削面まで回転しながら送り移動されて下降
する。そして、上部砥石18を切込み量だけ切込むこと
により、上下両砥石17,18の回転とワーク24の回
転送りに基づいて、それらの研削作用面17a,18a
によりワーク24の上下両面に研削加工が施される。
Then, at the work processing position P2, the lower grindstone 17 is fed and moved while rotating to the lower work surface of the work 24, so that the work 24 is placed on the lower grindstone 17. Next, the upper grindstone 18 is fed while rotating to the upper work surface of the work 24 and descends. Then, by cutting the upper grindstone 18 by the cutting amount, based on the rotation of the upper and lower grindstones 17 and 18 and the rotation feed of the work 24, their grinding action surfaces 17a and 18a
Thus, the upper and lower surfaces of the work 24 are subjected to grinding.

【0053】上部砥石18と下部砥石17がワーク24
の上下面を均等に精度良く研削するために、ワークホル
ダ57が回転をする。このとき、ワーク24はワークホ
ルダ57に形成されたセット部60a内に浮上した状態
で保持されているが、ワーク24の切欠部24aが係合
突起65aに係合しているため、ワーク24がワークホ
ルダ57の回転に追従できずに空回りをするということ
はない。すなわち、自転をしている上下砥石17,18
が、ワーク24の表裏面上に相対的に円を描くように回
ることによって、ワーク24は平坦に研削される。
The upper grindstone 18 and the lower grindstone 17 are used for the work 24.
In order to grind the upper and lower surfaces uniformly and accurately, the work holder 57 rotates. At this time, the work 24 is held in a floating state in the set portion 60a formed in the work holder 57. However, since the notch 24a of the work 24 is engaged with the engagement protrusion 65a, the work 24 is It is not possible to follow the rotation of the work holder 57 and to run idle. That is, the upper and lower grinding wheels 17, 18 which are rotating
However, the work 24 is ground in a flat manner by turning around the front and back surfaces of the work 24 in a relatively circular manner.

【0054】所定の切込み位置まで上部砥石18が切込
み移動され、ワーク24が所望の厚みになるまで研削さ
れたら、上下部砥石17,18を退避位置まで戻し、図
2に示すようにワーク24をワーク搬入搬出位置P1ま
で搬送する。ワーク搬入搬出位置P1では、図示しない
ロボットアーム等が研削加工後のワーク24を取り出
し、研削済みワークカセットに収容する。
When the upper grindstone 18 is cut and moved to a predetermined cutting position and the work 24 is ground to a desired thickness, the upper and lower grindstones 17 and 18 are returned to the retracted position, and the work 24 is moved as shown in FIG. The workpiece is transported to the work loading / unloading position P1. At the workpiece loading / unloading position P1, a robot arm or the like (not shown) takes out the workpiece 24 after the grinding processing and stores the workpiece 24 in a grounded work cassette.

【0055】研削済みワーク24を研削済みワークカセ
ットに収容したら、今度は、未研削ワークカセットから
未研削ワーク24を取り出し、ワークホルダ57のセッ
ト部60aにセットする。このときワーク24は、ワー
ク24に形成された切欠部24aと係合突起65aが係
合する向きに載置する。そして、エアパッド63aのエ
ア噴出孔64からエアを噴出させて、未研削ワーク24
がセット部60a内において浮遊した状態に保持し、保
持枠53をワーク加工位置P2に移動させる。ワーク加
工位置P2においては、上述のように上下砥石17,1
8によりワーク24の研削が行われる。
After the ground work 24 is accommodated in the ground work cassette, the unground work 24 is taken out of the unground work cassette and set in the setting section 60a of the work holder 57. At this time, the work 24 is placed in a direction in which the notch 24a formed in the work 24 and the engagement protrusion 65a are engaged. Then, air is ejected from the air ejection holes 64 of the air pad 63a, and the unground work 24
Is held in a floating state in the setting section 60a, and the holding frame 53 is moved to the work processing position P2. At the work processing position P2, as described above, the upper and lower grinding wheels 17, 1
8 grinds the work 24.

【0056】そして、未研削ワークカセットの設定分の
ワークの研削が終了したら、今度は、保持枠53を修正
位置P3に移動させる。図4及び図6に示すように、修
正位置P3においては、ロータリドレッサ70の砥石修
正作用面が上下砥石17,18の研削作用面17a,1
8aの位置と重なり、ロータリドレッサ70の回転によ
り上下砥石17,18の形状修正が行われる。ロータリ
ドレッサ70はドレッサ回転用モータ71の回転により
回転し、上下から回転した状態の砥石17,18を切り
込むことにより研削作用面17a,18aとロータリド
レッサの作用面を接触させる。その状態で、保持枠53
を砥石幅よりも若干多く移動させることにより、研削作
用面17a,18aの全面が平坦に削られて、研削作用
面17a,18aが修正される。このとき、砥石17,
18及びロータリドレッサ70の回転数や回転方向は、
それぞれの用途に応じて変えることができるため、回転
数や回転方向を適宜選択することにより、アップカット
又はダウンカットによる形状修正を行うことが出来る。
When the grinding of the set workpiece of the unground work cassette is completed, the holding frame 53 is moved to the correction position P3. As shown in FIGS. 4 and 6, at the correction position P3, the grinding wheel correction operation surface of the rotary dresser 70 has the grinding operation surfaces 17a, 1 of the upper and lower whetstones 17, 18.
The shape of the upper and lower grindstones 17 and 18 is corrected by the rotation of the rotary dresser 70 overlapping the position 8a. The rotary dresser 70 is rotated by the rotation of the dresser rotation motor 71, and cuts the grindstones 17 and 18 rotated from above and below to bring the grinding working surfaces 17a and 18a into contact with the working surfaces of the rotary dresser. In that state, the holding frame 53
Is moved slightly more than the grindstone width, the entire surfaces of the grinding action surfaces 17a, 18a are flattened, and the grinding action surfaces 17a, 18a are corrected. At this time, whetstone 17,
The rotation speed and the rotation direction of the rotary dresser 18 and the rotary dresser 70 are
Since it can be changed according to each use, the shape can be corrected by up-cut or down-cut by appropriately selecting the number of rotations and the direction of rotation.

【0057】ロータリドレッサ70により上下砥石1
7,18が所望の形状に修正されたら、移動用モータ5
5の回転により保持枠53を修正位置P3より右方に移
動させ、図7に示すように保持枠53を目立て位置P4
に配置する。目立て位置P4においては、上下砥石1
7,18を回転させながら目立て砥石72に切り込むこ
とにより、前記ロータリドレッサ70により修正された
研削作用面17a,18aの目立てが行われる。目立て
位置P4においては、インフィード目立て、又は保持枠
53を砥石幅よりも若干多く移動させることにより、研
削作用面17a,18aの全域に亘って目立てが行われ
る。
The upper and lower whetstones 1 by the rotary dresser 70
When the shapes 7 and 18 are corrected to a desired shape, the moving motor 5
5, the holding frame 53 is moved to the right from the correction position P3, and as shown in FIG.
To place. At the sharpening position P4, the upper and lower whetstones 1
By cutting the dressing grindstone 72 while rotating 7, 18 the dressing of the working surfaces 17a, 18a corrected by the rotary dresser 70 is performed. At the sharpening position P4, sharpening is performed over the entire area of the grinding action surfaces 17a and 18a by in-feed sharpening or by moving the holding frame 53 slightly more than the width of the grindstone.

【0058】なお、砥石17,18の形状修正及び目立
てを行うタイミングとしては、1個の未研削ワークカセ
ットに収められたワーク24を研削し終えた際に行って
も、また、所定の枚数だけワーク24の研削をし終えた
際に行っても良い。
The timing for performing the shape correction and dressing of the grindstones 17 and 18 may be performed when the work 24 stored in one unground work cassette is finished grinding, or may be performed only for a predetermined number of times. This may be performed when the work 24 has been ground.

【0059】砥石17,18の目立て作業が終了した
ら、未研削ワーク24をセットした保持枠53をワーク
加工位置P2に移動させ、上下部砥石17,18を切り
込むことによりワーク24の研削を行う。なお、本発明
によれば、上下部砥石17,18の形状修正及び目立て
作業中に研削済みワークと未研削ワークの交換を行うこ
とができる。このように、形状修正及び目立て作業中に
ワークの交換を行うことにより、作業時間を短縮でき、
作業の効率化を図ることができる。
When the dressing work of the grindstones 17 and 18 is completed, the holding frame 53 on which the unground work 24 is set is moved to the work processing position P2, and the work 24 is ground by cutting the upper and lower grindstones 17 and 18. In addition, according to the present invention, it is possible to exchange a ground work and an unground work during the shape correction and the dressing work of the upper and lower grinding wheels 17, 18. In this way, the work time can be reduced by exchanging the work during the shape correction and dressing work,
Work efficiency can be improved.

【0060】上記のように本発明は、保持枠53に形状
修正用のロータリドレッサ70を取付けたことにより、
保持枠53の移動によって砥石の形状修正を行うことが
できるため、従来の研削盤のように研削盤本体とは別個
独立に砥石修正装置を併設する必要がなくなり、コスト
ダウンを図ることが出来る。
As described above, according to the present invention, by attaching the rotary dresser 70 for shape correction to the holding frame 53,
Since the shape of the grindstone can be corrected by moving the holding frame 53, it is not necessary to provide a grindstone correcting device separately and separately from the grinder main body as in the conventional grinder, and the cost can be reduced.

【0061】また、修正工具ヘッド42は直線移動をす
るため、円弧移動をする場合に比して好適な研削作用面
を得ることができる。
Further, since the correction tool head 42 moves linearly, it is possible to obtain a suitable grinding action surface as compared with the case of performing arc movement.

【0062】更に本発明においては、目立て砥石72を
保持枠53に取付けたため、人手によって目立て作業を
行う場合のような危険性がなく、且つバラツキがない。
また、保持枠53の移動によって容易に目立てを行うこ
とができる。
Further, in the present invention, since the dressing grindstone 72 is attached to the holding frame 53, there is no danger as in the case where the dressing work is performed manually, and there is no variation.
Further, sharpening can be easily performed by moving the holding frame 53.

【0063】[実施の形態2]次に、本発明の第二の実
施の形態について図8及び図9を用いて説明する。
[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0064】本実施の形態は、第一の実施の形態におい
て説明した研削装置1において修正工具ヘッド42の構
成を変化させたものであり、他の部分の構成及び動作に
ついては第一の実施の形態と共通であるため、修正工具
ヘッドのみを説明して他の部分の説明は省略する。
In the present embodiment, the configuration of the correction tool head 42 in the grinding machine 1 described in the first embodiment is changed, and the configuration and operation of the other parts are the same as those in the first embodiment. Since it is common to the embodiment, only the correction tool head will be described, and the description of other parts will be omitted.

【0065】図8(a)は本発明における修正工具ヘッ
ドの平面図を、図8(b)は図8(a)の修正工具ヘッ
ドを右方から見た図を示している。図8(a)におい
て、修正工具ヘッド82の左端部が保持枠53への装着
側となる。
FIG. 8A is a plan view of the correction tool head according to the present invention, and FIG. 8B is a view of the correction tool head of FIG. 8A as viewed from the right. In FIG. 8A, the left end of the correction tool head 82 is the side to be mounted on the holding frame 53.

【0066】修正工具ヘッド82は、ロータリドレッサ
70′と目立て砥石72′を備えている。ロータリドレ
ッサ70′と目立て砥石72′は、共に同軸上で回転可
能なように修正工具ヘッド82に取付けられている。以
下、図9に基づいて詳細に説明する。
The correction tool head 82 has a rotary dresser 70 'and a dressing grindstone 72'. The rotary dresser 70 'and the dressing grindstone 72' are mounted on a correction tool head 82 so as to be coaxially rotatable together. Hereinafter, this will be described in detail with reference to FIG.

【0067】図9は、修正工具ヘッド82の断面を示す
横断面図である。ロータリドレッサ70′は略円環状を
なし、治具73に固定されている。修正工具ヘッド82
にはドレッサ回転用モータ71′が備えられており、そ
の回転軸には円板状のフランジ74が固定されている。
フランジ74の中心部には凸状のボス74aが設けられ
ている。そして、治具73には中心穴73aが形成され
ており、その中心穴73aにフランジ74のボス74a
が嵌合する。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross section of the correction tool head 82. The rotary dresser 70 ′ has a substantially annular shape and is fixed to the jig 73. Correction tool head 82
Is provided with a dresser rotation motor 71 ', and a disk-shaped flange 74 is fixed to the rotation shaft.
A convex boss 74 a is provided at the center of the flange 74. A center hole 73a is formed in the jig 73, and a boss 74a of the flange 74 is formed in the center hole 73a.
Are fitted.

【0068】治具73は、ボルト75によりフランジ7
4に締結固定されている。また、治具73には円環状の
目立て砥石72′が嵌合し、該目立て砥石72′に嵌合
するフランジ83がボルト76により治具73に締結さ
れている。このようにして目立て砥石72′は治具73
に固定されている。ロータリドレッサ70′と目立て砥
石72′はその円環形状の中心が同軸上にあるように配
置される。目立て砥石72′の直径はロータリドレッサ
70′の直径よりも小さく、ロータリドレッサ70′に
よって砥石17,18の形状修正が行われている際に、
目立て砥石72′が砥石17,18に干渉しないように
なっている。
The jig 73 is fixed to the flange 7 by bolts 75.
4 and is fixed. An annular dressing grindstone 72 'is fitted to the jig 73, and a flange 83 fitted to the dressing grindstone 72' is fastened to the jig 73 by a bolt 76. In this way, the dressing whetstone 72 'is fixed to the jig 73.
It is fixed to. The rotary dresser 70 'and the dressing grindstone 72' are arranged such that the center of the annular shape is coaxial. The diameter of the dressing grindstone 72 'is smaller than the diameter of the rotary dresser 70', and when the shape of the grindstones 17 and 18 is modified by the rotary dresser 70 ',
The dressing grindstone 72 'does not interfere with the grindstones 17 and 18.

【0069】ドレッサ回転用モータ71′の回転によっ
て回転軸に固定されたフランジ74が回転し、フランジ
74に締結された治具73が回転する。そして、治具7
3の回転によって治具73に設けられたロータリドレッ
サ70′及び目立て砥石72′が同時に回転する。
The rotation of the dresser rotation motor 71 ′ rotates the flange 74 fixed to the rotating shaft, and the jig 73 fastened to the flange 74 rotates. And jig 7
By the rotation of 3, the rotary dresser 70 'and the dressing grindstone 72' provided on the jig 73 rotate simultaneously.

【0070】修正工具ヘッド82は、ドレッサ回転用モ
ータ71′を収容するハウジング78を有し、このハウ
ジング78の側壁(図9下方の側壁)には超音波センサ
81が取り付けられている。この超音波センサ81によ
ってハウジング78を伝わる超音波を検出する。そし
て、超音波センサ81により検出された超音波により、
ロータリドレッサ70′が上下部砥石17,18に接触
したか否かを検出する。ロータリドレッサ70′が砥石
17,18に接触する位置に修正工具ヘッド82を移動
させ、砥石17,18をロータリドレッサ70′に接触
させると、その接触により超音波振動が発生し、治具7
3に超音波振動が伝わる。その超音波振動は、治具73
からフランジ74を伝ってドレッサ回転用モータ71′
の回転軸に伝わり、この回転軸を支持する軸受を介して
ハウジング78に伝わる。ハウジング78に伝達してき
た超音波を超音波センサ81によって検出することによ
り、上下部砥石17,18がロータリドレッサ70′に
接触したことを検知することができる。そして、検知し
た位置を基準として砥石の修正に必要な分だけ砥石1
7,18を切り込むことにより、砥石17,18の形状
修正を行う。
The correction tool head 82 has a housing 78 for accommodating a dresser rotation motor 71 ', and an ultrasonic sensor 81 is attached to a side wall (a lower side wall in FIG. 9) of the housing 78. The ultrasonic wave transmitted through the housing 78 is detected by the ultrasonic sensor 81. Then, by the ultrasonic wave detected by the ultrasonic sensor 81,
It detects whether the rotary dresser 70 'has contacted the upper and lower grinding wheels 17,18. When the correction tool head 82 is moved to a position where the rotary dresser 70 'comes into contact with the grindstones 17 and 18 and the grindstones 17 and 18 are brought into contact with the rotary dresser 70', ultrasonic vibration is generated by the contact and the jig 7
Ultrasonic vibration is transmitted to 3. The ultrasonic vibration is applied to the jig 73
From the dresser rotating motor 71 '
And transmitted to the housing 78 via a bearing that supports the rotating shaft. By detecting the ultrasonic wave transmitted to the housing 78 by the ultrasonic sensor 81, it is possible to detect that the upper and lower grinding wheels 17, 18 have contacted the rotary dresser 70 '. Then, based on the detected position, the grindstone 1 is required for the grindstone correction.
The shapes of the grindstones 17 and 18 are corrected by cutting the grooves 7 and 18.

【0071】上下部砥石17,18の形状修正が終了し
たら、目立て砥石72′が砥石17,18に接触可能な
位置へ修正工具ヘッド82を移動させる。砥石17,1
8を切り込み、砥石が目立て砥石72′に接触すると、
その接触により超音波振動が発生し、治具73に超音波
振動が伝わる。その超音波振動は、治具73からフラン
ジ74を伝ってドレッサ回転用モータ71′の回転軸に
伝わり、この回転軸を支持する軸受を介してハウジング
78に伝わる。ハウジング78に伝達してきた超音波を
超音波センサ81によって検出することにより、砥石1
7,18が目立て砥石72′に接触したことを検知する
ことができる。そして、検知した位置を基準として砥石
の目立てに必要な分だけ砥石17,18を切り込むこと
により、砥石17,18の目立てを行う。目立て砥石7
2′は軟らかいものであるため、砥石17,18との接
触圧力の大きさに応じて摩耗するが、上記のように超音
波センサ81による検知機能を備えることにより、適切
な接触圧力を保つことができ、目立て砥石72′を効率
良く使用することができる。
When the shape of the upper and lower grindstones 17 and 18 has been corrected, the correction tool head 82 is moved to a position where the dressing grindstone 72 ′ can contact the grindstones 17 and 18. Whetstone 17,1
8 is cut, and when the grindstone contacts the dressing grindstone 72 ',
Ultrasonic vibration is generated by the contact, and the ultrasonic vibration is transmitted to the jig 73. The ultrasonic vibration is transmitted from the jig 73 to the rotation shaft of the dresser rotation motor 71 ′ through the flange 74, and is transmitted to the housing 78 via a bearing that supports the rotation shaft. By detecting the ultrasonic wave transmitted to the housing 78 by the ultrasonic sensor 81, the grindstone 1 is detected.
7 and 18 can be detected as having contacted the dressing grindstone 72 '. Then, the grindstones 17 and 18 are sharpened by cutting the grindstones 17 and 18 by an amount necessary for sharpening the grindstones based on the detected position. Dressing whetstone 7
Since 2 'is soft, it is worn in accordance with the magnitude of the contact pressure with the grindstones 17 and 18. However, by providing the detection function of the ultrasonic sensor 81 as described above, it is possible to maintain an appropriate contact pressure. And the dressing grindstone 72 'can be used efficiently.

【0072】ドレッサ回転用モータ71の回転数や回転
方向は、それぞれの用途に応じて変えることができる。
従って、砥石17,18の研削作用面17a,18aに
対してアップカットやダウンカットの設定をすることが
でき、用途に応じて形状修正及び目立てを好適に行うこ
とができる。
The number of rotations and the direction of rotation of the dresser rotation motor 71 can be changed according to each application.
Therefore, up-cut or down-cut can be set for the grinding action surfaces 17a, 18a of the grindstones 17, 18, and shape correction and sharpening can be suitably performed according to the application.

【0073】なお、本実施の形態において説明した修正
工具ヘッド82は、必ずしも研削装置の保持枠に取り付
ける用途に限定されるものではなく、カップ状の砥石を
形状修正及び目立てする場合に広く採用することができ
る。
The correction tool head 82 described in the present embodiment is not necessarily limited to the use to be attached to the holding frame of the grinding device, and is widely used for correcting and sharpening a cup-shaped grindstone. be able to.

【0074】第二の実施の形態における修正工具ヘッド
82を用いれば、形状修正を行った後に、ロータリドレ
ッサ70′と同軸で回転する目立て砥石72′によって
目立て作業を行うことができ、好適な研削作用面を得る
ことができる。
If the correction tool head 82 according to the second embodiment is used, after the shape has been corrected, the dressing operation can be performed by the dressing grindstone 72 ′ rotating coaxially with the rotary dresser 70 ′. A working surface can be obtained.

【0075】[実施の形態3]次に、第三の実施の形態
を、図10〜図12に基づいて説明する。
[Third Embodiment] Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS.

【0076】図10は、第三の実施の形態における研削
装置を示す概略図である。本実施の形態における研削装
置100は、図1に示す第一の実施の形態における研削
装置1とほぼ同様な構成であるため、同様部分について
は同符合を付して説明を省略する。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a grinding device according to the third embodiment. The grinding device 100 according to the present embodiment has substantially the same configuration as the grinding device 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1, and therefore, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

【0077】本実施の形態における研削装置100も、
板状のワーク24をワーク支持機構15に支持した状態
で上下砥石17,18の間に配置し、上下砥石17,1
8を回転させながらワーク24に向かって両砥石または
片方の砥石を送り移動することによって、それら二つの
研削作用面17a,18aに接触したワーク24の表裏
両面を同時に研削するものである。研削装置100によ
り、複数枚のワーク24を研削した後には、両砥石1
7,18の研削作用面17a,18aの形状修正を行う
必要がある。
The grinding device 100 according to the present embodiment also
The plate-shaped work 24 is disposed between the upper and lower grindstones 17 and 18 while being supported by the work support mechanism 15, and the upper and lower grindstones 17 and 1 are arranged.
By rotating both the grinding wheels or one of the grinding wheels toward the work 24 while rotating the workpiece 8, the front and back surfaces of the work 24 contacting the two grinding action surfaces 17a and 18a are simultaneously ground. After the plurality of works 24 are ground by the grinding device 100,
It is necessary to correct the shapes of the grinding action surfaces 17a and 18a of the grinding wheels 7 and 18.

【0078】研削装置100では、図10に示すように
中間フレーム12に砥石修正機構50を設けている。こ
こで、砥石修正機構50について図11及び図12を用
いて説明する。図11は砥石修正機構50の縦断面図で
あり、図12は砥石修正機構50の斜視図である。砥石
修正機構50は図11に示すように、中間フレーム12
に支持筒36が固定されて垂下している。その支持筒3
6の内部には、アーム回動軸37が一対のベアリング3
8を介して回転自在に支持されている。支持筒36の上
端にはロータリシリンダ39が配設され、その駆動軸4
0が回動軸37に回転を伝えるように連結されている。
回動軸37の下端にはアーム41が固定されている。
In the grinding device 100, a grinding wheel correcting mechanism 50 is provided on the intermediate frame 12, as shown in FIG. Here, the grinding wheel correcting mechanism 50 will be described with reference to FIGS. FIG. 11 is a longitudinal sectional view of the grindstone correcting mechanism 50, and FIG. 12 is a perspective view of the grindstone correcting mechanism 50. As shown in FIG. 11, the grinding wheel correcting mechanism 50
The support cylinder 36 is fixed to and hung. The support cylinder 3
6, an arm rotation shaft 37 includes a pair of bearings 3.
8 so as to be rotatable. At the upper end of the support cylinder 36, a rotary cylinder 39 is provided.
0 is connected to the rotation shaft 37 so as to transmit the rotation.
An arm 41 is fixed to a lower end of the rotating shaft 37.

【0079】そして、アーム41の先端には、第二の実
施の形態における修正工具ヘッド82を備えている。修
正工具ヘッド82には、図12に示すようにロータリド
レッサ70′及び目立て砥石72′を回転させるための
ドレッサ回転用モータ71′が設けられており、その回
転軸にロータリドレッサ70′及び目立て砥石72′が
固定されている。
At the tip of the arm 41, the correction tool head 82 according to the second embodiment is provided. As shown in FIG. 12, the correction tool head 82 is provided with a dresser rotating motor 71 'for rotating a rotary dresser 70' and a dressing grindstone 72 ', and a rotary dresser 70' and a dressing grindstone 72 'is fixed.

【0080】そして、図12に示すように、ロータリシ
リンダ39によって回動軸37が回転させられることに
より、アーム41の先端に備えられた修正工具ヘッド8
2は、砥石17(18)の研削作用面17a(18a)
に沿って円弧状に半径方向に通過する。ドレッサ回転用
モータ71′によりロータリドレッサ70′及び目立て
砥石72′が回転して、研削作用面17a(18a)の
形状修正及び目立てを行う。ロータリドレッサ70′と
目立て砥石72′は、ロータリドレッサ70′の方が目
立て砥石72′よりもその直径が大きく形成されてい
る。そして、アーム41が回動軸37を中心に回動する
ことによって、砥石17,18の中心側と外周側を図示
矢印のように工具軌跡を描いて、前記第二の実施の形態
と同様に形状修正及び目立てを行う。このように、アー
ム駆動による砥石修正機構50を有する研削装置100
に、同軸で回転するロータリドレッサ70′と目立て砥
石72′を備えた修正工具ヘッド82を取り付けること
により、研削装置自体の大きさを小さくすることがで
き、設置面積を小さくすることができる。
Then, as shown in FIG. 12, when the rotary shaft 37 is rotated by the rotary cylinder 39, the correction tool head 8 provided at the distal end of the arm 41 is provided.
2 is a grinding surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18).
Passes in an arc along the radial direction. The rotary dresser 70 'and the dressing grindstone 72' are rotated by the dresser rotating motor 71 'to correct and shape the grinding action surface 17a (18a). The rotary dresser 70 'and the dressing grindstone 72' are formed so that the diameter of the rotary dresser 70 'is larger than that of the dressing grindstone 72'. When the arm 41 rotates about the rotation shaft 37, the center and outer peripheral sides of the grindstones 17 and 18 draw a tool trajectory as shown by arrows in the drawing, similarly to the second embodiment. Perform shape correction and dressing. As described above, the grinding apparatus 100 having the grinding wheel correcting mechanism 50 driven by the arm is used.
By attaching a correction tool head 82 having a rotary dresser 70 'rotating coaxially and a dressing grindstone 72', the size of the grinding device itself can be reduced, and the installation area can be reduced.

【0081】尚、本実施の形態においては、砥石修正機
構50を中間フレーム12に設けているが、中間フレー
ム12に設ける代わりに保持枠53にアーム回動軸37
を回転自在に取り付けることにより、アーム駆動による
砥石修正機構50を保持枠53に設けるように構成する
こともできる。
In this embodiment, the grindstone correcting mechanism 50 is provided on the intermediate frame 12, but instead of being provided on the intermediate frame 12, the arm rotating shaft 37 is attached to the holding frame 53.
Can be rotatably mounted, so that the whetstone correcting mechanism 50 driven by an arm can be provided on the holding frame 53.

【0082】[実施の形態4]次に、第四の実施の形態
を、図13を用いて説明する。
[Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIG.

【0083】第四の実施の形態は、修正工具ヘッドのみ
が第三の実施の形態における修正工具ヘッド82と異な
っており、他の構成は第三の実施の形態における研削装
置100とほぼ同様であるため、同様部分については同
符合を付して説明を省略する。
In the fourth embodiment, only the correction tool head is different from the correction tool head 82 in the third embodiment, and other configurations are substantially the same as those of the grinding device 100 in the third embodiment. Therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

【0084】本実施の形態における修正工具ヘッド8
2′は、図13に示すようにロータリドレッサ70′を
回転させるためのドレッサ回転用モータ71′が設けら
れており、その回転軸にロータリドレッサ70′が固定
されている。目立て砥石72′′は、ドレッサ回転用モ
ータ71′の回転軸延長線上に設けられている。本実施
の形態においては、目立て砥石72′′はロータリドレ
ッサ70′と同軸に回転するものではなく、修正工具ヘ
ッド82′の側壁に固定されている。
[0084] Correction tool head 8 in the present embodiment
13, a dresser rotation motor 71 'for rotating the rotary dresser 70' is provided, and the rotary dresser 70 'is fixed to the rotation shaft. The dressing grindstone 72 ″ is provided on a rotation axis extension of the dresser rotation motor 71 ′. In the present embodiment, the dressing grindstone 72 '' does not rotate coaxially with the rotary dresser 70 ', but is fixed to the side wall of the correction tool head 82'.

【0085】図13に示すように、ロータリシリンダ3
9によって回動軸37が回転させられることにより、ア
ーム41の先端に備えられた修正工具ヘッド82′は、
砥石17(18)の研削作用面17a(18a)に沿っ
て円弧状に半径方向に通過する。ドレッサ回転用モータ
71′によりロータリドレッサ70′が回転して、研削
作用面17a(18a)の形状修正を行う。目立て砥石
72′′は、ロータリドレッサ70′が砥石17(1
8)の形状修正を行っている際に砥石の研削作用面17
a(18a)に干渉しない位置に配置されている。
As shown in FIG. 13, the rotary cylinder 3
The rotation of the rotation shaft 37 by 9 causes the correction tool head 82 ′ provided at the tip of the arm 41 to
It passes radially in an arc along the grinding action surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18). The rotary dresser 70 'is rotated by the dresser rotation motor 71' to correct the shape of the grinding surface 17a (18a). The dressing grindstone 72 ″ has a rotary dresser 70 ′ with the grindstone 17 (1).
8) The grinding action surface 17 of the grindstone during the shape correction
a (18a).

【0086】そして、ロータリドレッサ70′による形
状修正を終たら、砥石17,18を更に切り込み、砥石
17(18)の研削作用面17a(18a)を目立て砥
石72′′に接触させる。砥石17,18を回転させた
状態で、アーム41を回動軸37を中心に回動させるこ
とによって、砥石17,18の中心側と外周側を図示矢
印のように工具軌跡を描いて研削作用面17a(18
a)の目立てを行う。
When the shape correction by the rotary dresser 70 'is completed, the grindstones 17 and 18 are further cut, and the grinding surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18) is brought into contact with the dressing grindstone 72 ". By rotating the arm 41 about the rotation shaft 37 while the grindstones 17 and 18 are rotated, the center side and the outer peripheral side of the grindstones 17 and 18 draw a tool trajectory as indicated by arrows in the drawing to perform a grinding operation. Surface 17a (18
Carry out a).

【0087】このように、アーム駆動による砥石修正機
構を有する研削装置に、ロータリドレッサ70′と目立
て砥石72′′を備えた修正工具ヘッド82′を取り付
けることにより、研削装置自体の大きさを小さくするこ
とができ、設置面積を小さくすることができる。
As described above, the size of the grinding device itself is reduced by attaching the rotary tool 70 'and the correction tool head 82' having the dressing grindstone 72 '' to the grinding device having the grinding wheel repair mechanism driven by the arm. And the installation area can be reduced.

【0088】尚、上記第四の実施の形態においても、保
持枠53にアーム回動軸37を回転自在に取り付けるこ
とにより、アーム駆動による砥石修正機構50を保持枠
53に設けるように構成することもできる。
In the fourth embodiment as well, the arm rotating shaft 37 is rotatably mounted on the holding frame 53, so that the grinding wheel correcting mechanism 50 driven by the arm is provided on the holding frame 53. Can also.

【0089】また、上記第一〜第四の実施の形態におい
ては、上下両側に一対の砥石17,18を有する両頭研
削装置を用いて説明したが、本願発明はこれに限らず、
片側だけに砥石を備えた片面研削装置にも適用すること
ができる。
In the first to fourth embodiments, the description has been made using the double-headed grinding apparatus having the pair of grinding wheels 17 and 18 on the upper and lower sides, but the present invention is not limited to this.
The present invention can also be applied to a single-side grinding device provided with a grindstone on only one side.

【0090】以上の通り本発明は、板状のワーク24を
回転する研削作用面17a(18a)によって研削する
砥石17(18)と、ワーク24を回転自在に支持し、
砥石17(18)に接近又は離脱する方向に移動可能な
保持枠53と、を有する研削装置において、砥石17
(18)の研削作用面17a(18a)を修正する工具
を保持枠53に備えた研削装置1である。
As described above, according to the present invention, the grindstone 17 (18) for grinding the plate-like work 24 by the rotating grinding surface 17a (18a) and the work 24 are rotatably supported.
A holding frame 53 movable in a direction to approach or leave the grindstone 17 (18).
This is the grinding apparatus 1 provided with a tool for correcting the grinding action surface 17a (18a) of (18) on the holding frame 53.

【0091】また、本発明は、前記砥石17(18)の
研削作用面17a(18a)を修正する工具が、砥石1
7(18)の形状修正を行う第一の工具としてのロータ
リドレッサ70(70′)と、砥石17(18)の目立
てを行う第二の工具としての目立て砥石72(72′)
であることを特徴とする研削装置1である。
Further, according to the present invention, the tool for correcting the grinding action surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18) is a grindstone 1 (18).
7 (18), a rotary dresser 70 (70 ') as a first tool for correcting the shape, and a sharpening grindstone 72 (72') as a second tool for sharpening the grindstone 17 (18).
The grinding device 1 is characterized in that:

【0092】更に、本発明は、第一の工具としてのロー
タリドレッサ70(70′)が、保持枠53に回転自在
に備えられていることを特徴とする研削装置である。
Further, the present invention is a grinding apparatus characterized in that a rotary dresser 70 (70 ') as a first tool is rotatably provided on a holding frame 53.

【0093】また、本発明は、第二の工具としての目立
て砥石72′が、ロータリドレッサ70′と同軸に保持
枠53に回転自在に備えられていることを特徴とする研
削装置である。
Further, the present invention is a grinding apparatus characterized in that a dressing grindstone 72 'as a second tool is rotatably provided on a holding frame 53 coaxially with a rotary dresser 70'.

【0094】更に、本発明は、砥石17(18)の研削
作用面17a(18a)の形状を修正するロータリドレ
ッサ70′と、前記ロータリドレッサ70′と同軸に回
転可能であり、前記ロータリドレッサ70′により形状
を修正された前記砥石17(18)の研削作用面17a
(18a)を目立てする目立て砥石72′と、を有する
修正工具ヘッド82と、前記修正工具ヘッド82を前記
砥石17(18)の研削作用面17a(18a)に沿っ
て移動させるための移動手段と、を有することを特徴と
する研削装置である。
Further, according to the present invention, there is provided a rotary dresser 70 'for modifying the shape of the grinding action surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18), and a rotary dresser 70' rotatable coaxially with the rotary dresser 70 '. Working surface 17a of the grinding wheel 17 (18) whose shape has been modified by
A correction tool head 82 having a sharpening grindstone 72 'for sharpening (18a), and moving means for moving the correction tool head 82 along the grinding surface 17a (18a) of the grindstone 17 (18). And a grinding device.

【0095】[0095]

【発明の効果】本願発明は、被研削物を回転自在に支持
し移動可能な保持枠に、砥石修正用の工具を取付けたこ
とにより、保持枠の移動によって砥石修正を行うことが
できるため、複雑な構成を要せず、研削装置自体のコス
トダウンを図ることが出来る。
According to the present invention, the grinding wheel can be repaired by moving the holding frame by attaching the tool for repairing the grinding wheel to the holding frame which rotatably supports and can move the workpiece. The cost of the grinding device itself can be reduced without requiring a complicated configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第一の実施の形態における研削装置を示す縦断
面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a grinding device according to a first embodiment.

【図2】ワーク支持機構を拡大して示す平面図である。FIG. 2 is an enlarged plan view showing a work supporting mechanism.

【図3】保持枠の断面を模式的に表した縦断面図であるFIG. 3 is a longitudinal sectional view schematically showing a section of a holding frame.

【図4】本発明の修正工具ヘッドを拡大して示した斜視
図である。
FIG. 4 is an enlarged perspective view of a correction tool head according to the present invention.

【図5】保持枠がワーク加工位置にある状態を示す平面
図である。
FIG. 5 is a plan view showing a state where a holding frame is at a work processing position.

【図6】保持枠が修正位置にある状態を示す平面図であ
る。
FIG. 6 is a plan view showing a state where the holding frame is at a correction position.

【図7】保持枠が目立て位置にある状態を示す平面図で
ある。
FIG. 7 is a plan view showing a state where the holding frame is at a sharpening position.

【図8】(a)(b)は夫々、第二の実施の形態におけ
る修正工具ヘッドの平面図と側面図である。
FIGS. 8A and 8B are a plan view and a side view of a correction tool head according to a second embodiment, respectively.

【図9】第二の実施の形態における修正工具ヘッドの横
断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view of a correction tool head according to the second embodiment.

【図10】第三の実施の形態における研削装置を示す縦
断面図である。
FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing a grinding device according to a third embodiment.

【図11】第三の実施の形態における砥石修正機構の構
造を示す縦断面図である。
FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a structure of a grinding wheel correcting mechanism according to a third embodiment.

【図12】第三の実施の形態における研削装置の砥石修
正機構の動作を示す斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view showing an operation of a grinding wheel correcting mechanism of a grinding device according to a third embodiment.

【図13】第四の実施の形態における研削装置の砥石修
正機構の動作を示す斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view showing an operation of a grinding wheel correcting mechanism of a grinding device according to a fourth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…研削装置 11…下部フレーム 12…中間フレーム 13…上部フレーム 14…下部砥石回転機構 14a…下部砥石回転軸 1
4b…フランジ部 15…ワーク支持機構 16…上部砥石回転機構 16a…上部砥石回転軸 1
6b…フランジ部 17…下部砥石 17a…研削作用面 18…上部砥石 18a…研削作用面 19,20…昇降用サーボモータ 24…ワーク 24a…切欠部 30…下部砥石駆動モータ 31…ロータ 32…上部砥石駆動モータ 33…ロータ 36…支持筒 37…アーム回動軸 38…ベアリング 39…ロータリシリンダ 40…駆動軸 41…アーム 42…修正工具ヘッド 50…砥石修正機構 52…支持台 53…保持枠 54…ガイドレール 55…移動用モータ 56…ボールねじ 56a…ボールナット 57…ワークホルダ 57a…外周枠 59…ギヤ 60…シュー 60a…セット部 61…ワークホルダ駆動モータ 62…ギヤ 63a,63b…エアパッド 64…エア噴出孔 65…ノッチドライブ 65a…係合突起 70,70′…ロータリドレッサ 71,71′…ドレッサ回転用モータ 72,72′,72′′…目立て砥石 73…治具 73a…中心穴 74…フランジ 74a…ボス 75,76…ボルト 78…ハウジング 81…超音波センサ 82,82′…修正工具ヘッド 83…フランジ 100…研削装置 101…制御装置 102…下部砥石回転昇降制御部 103…上部砥石回転昇降制御部 104…移動用モータ制御部 105…回転モータ制御部 P1…ワーク搬入搬出位置 P2…ワーク加工位置 P3…修正位置 P4…目立て位置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Grinding apparatus 11 ... Lower frame 12 ... Intermediate frame 13 ... Upper frame 14 ... Lower grindstone rotating mechanism 14a ... Lower grindstone rotating shaft 1
4b: Flange 15: Work support mechanism 16: Upper grindstone rotating mechanism 16a: Upper grindstone rotating shaft 1
6b: Flange part 17: Lower grindstone 17a: Grinding working surface 18: Upper grindstone 18a: Grinding working surface 19, 20 ... Servo motor for lifting / lowering 24 ... Work 24a ... Notch 30 ... Lower grindstone drive motor 31 ... Rotor 32 ... Upper grindstone Drive motor 33 ... Rotor 36 ... Support cylinder 37 ... Arm rotating shaft 38 ... Bearing 39 ... Rotary cylinder 40 ... Drive shaft 41 ... Arm 42 ... Correction tool head 50 ... Grinding stone correction mechanism 52 ... Support table 53 ... Holding frame 54 ... Guide Rail 55 ... Moving motor 56 ... Ball screw 56a ... Ball nut 57 ... Work holder 57a ... Outer peripheral frame 59 ... Gear 60 ... Shoe 60a ... Set section 61 ... Work holder drive motor 62 ... Gear 63a, 63b ... Air pad 64 ... Air ejection Hole 65: Notch drive 65a: Engagement projection 70, 70 ': Rotary Dresser 71, 71 '... Dresser rotation motor 72, 72', 72 "... Dressing grindstone 73 ... Jig 73a ... Center hole 74 ... Flange 74a ... Boss 75, 76 ... Bolt 78 ... Housing 81 ... Ultrasonic sensor 82, 82 ': Correcting tool head 83: Flange 100: Grinding device 101: Control device 102: Lower grindstone rotation elevating controller 103: Upper grindstone rotation elevating controller 104: Moving motor controller 105: Rotary motor controller P1: Work loading Unloading position P2: Workpiece processing position P3: Correction position P4: Sharpening position.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 板状の被研削物を回転する研削作用面に
よって研削する砥石と、 前記被研削物を回転自在に支持し、前記砥石に接近又は
離脱する方向に移動可能な保持枠と、を有する研削装置
において、 前記砥石の研削作用面を修正する工具を前記保持枠に備
えたことを特徴とする研削装置。
A grinding wheel for grinding a plate-like workpiece by a rotating grinding surface; a holding frame rotatably supporting the workpiece and movable in a direction to approach or leave the grinding wheel; The grinding device according to claim 1, wherein a tool for modifying a grinding action surface of the whetstone is provided on the holding frame.
【請求項2】 前記砥石の研削作用面を修正する工具
は、前記砥石の形状修正を行う第一の工具と、前記砥石
の目立てを行う第二の工具であることを特徴とする請求
項1に記載の研削装置。
2. A tool for correcting the grinding action surface of the grinding wheel is a first tool for correcting the shape of the grinding wheel and a second tool for sharpening the grinding wheel. A grinding device according to claim 1.
【請求項3】 前記第一の工具は、前記保持枠に回転自
在に備えられていることを特徴とする請求項2に記載の
研削装置。
3. The grinding device according to claim 2, wherein the first tool is rotatably provided on the holding frame.
【請求項4】 前記第二の工具は、前記第一の工具と同
軸に前記保持枠に回転自在に備えられていることを特徴
とする請求項3に記載の研削装置。
4. The grinding apparatus according to claim 3, wherein the second tool is rotatably provided on the holding frame coaxially with the first tool.
【請求項5】 砥石の研削作用面の形状を修正するロー
タリドレッサと、前記ロータリドレッサと同軸に回転可
能であり、前記ロータリドレッサにより形状を修正され
た前記砥石の研削作用面を目立てする目立て砥石と、を
有する修正工具ヘッドと、 前記修正工具ヘッドを前記砥石の研削作用面に沿って移
動させるための移動手段と、を有することを特徴とする
研削装置。
5. A rotary dresser for correcting the shape of a grinding action surface of a grinding wheel, and a dressing whetstone rotatable coaxially with the rotary dresser and sharpening a grinding action surface of the grinding wheel whose shape has been corrected by the rotary dresser. And a moving means for moving the correcting tool head along the grinding action surface of the whetstone.
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