JP2002125383A - Tubular piezoelectric actuator - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、チューブ型ピエゾ
アクチュエーターを用いた計測技術等に係り、特に走査
型プローブ顕微鏡等で用いられるチューブ型ピエゾアク
チュエーターに関わるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measurement technique using a tube type piezo actuator, and more particularly to a tube type piezo actuator used in a scanning probe microscope or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、このような分野のチューブ型ピエ
ゾアクチュエーターとしては、以下に示すようなものが
あった。2. Description of the Related Art Heretofore, as a tube type piezo actuator in such a field, there has been the following one.
【０００３】図３はかかる従来のチューブ型ピエゾアク
チュエーターの構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of such a conventional tube type piezo actuator.
【０００４】この図において、１はチューブ型圧電体
（ピエゾ）、２はそのチューブ型圧電体１の内周面に設
けられる内側基準電位電極、３はそのチューブ型圧電体
１の外周面に設けられる外側駆動電位電極３Ａ，３Ｂ，
３Ｃ，３Ｄ（＋Ｅｘ，−Ｅｘ，＋Ｅｙ，−Ｅｙ電極）、
４はそのチューブ型圧電体１の上端に設けられる変位部
材、５はその変位部材４の基部４Ａに固定される第１の
探針、６はその変位部材４の片持支持される先端部４Ｂ
に固定される第２の探針である。In this figure, reference numeral 1 denotes a tube type piezoelectric body (piezo), 2 denotes an inner reference potential electrode provided on the inner peripheral surface of the tube type piezoelectric body 1, and 3 denotes an inner peripheral potential electrode provided on the outer peripheral surface of the tube type piezoelectric body 1. Outer driving potential electrodes 3A, 3B,
3C, 3D (+ Ex, -Ex, + Ey, -Ey electrodes),
Reference numeral 4 denotes a displacement member provided at the upper end of the tube-shaped piezoelectric body 1, reference numeral 5 denotes a first probe fixed to a base 4A of the displacement member 4, and reference numeral 6 denotes a cantilevered tip 4B of the displacement member 4.
The second probe is fixed to the second probe.
【０００５】そこで、図３（ｂ）に示すように、−Ｅｘ
電極３Ｂに電位を印加して、その−Ｅｘ電極３Ｂ側のチ
ューブ型圧電体（ピエゾ）１を伸長させると、第１の探
針５と第２の探針６は時計回りに変位する。[0005] Therefore, as shown in FIG.
When a potential is applied to the electrode 3B to extend the tube-type piezoelectric body (piezo) 1 on the -Ex electrode 3B side, the first probe 5 and the second probe 6 are displaced clockwise.
【０００６】このように、チューブが曲がることによっ
て、水平方向（ＸＹ方向）への変位を与えていた。As described above, the bending in the tube gives a displacement in the horizontal direction (XY directions).
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のチューブ型ピエゾアクチュエーターによれば、
チューブ型ピエゾアクチュエーターの中心軸上にある第
１の探針５の縦方向（Ｚ方向）の変位は無視できる程度
であるが、チューブ型ピエゾアクチュエーターの上面と
下面とが傾くために、チューブ型ピエゾアクチュエータ
ーの中心軸上から離れたところにある第２の探針６に大
きなＺ方向の変位を生じてしまう。このＺ方向の変位量
はチューブ型ピエゾアクチュエーターの中心軸上から離
れるほど大きくなる。 本発明は、上記状況に鑑みて、
これらの従来の問題点を克服し、（１）チューブ型ピエ
ゾアクチュエーターの中心軸上から離れた位置にあるも
のを水平方向（ＸＹ方向）に移動させる時に、縦方向
（Ｚ方向）に変位しないようにすること、（２）簡便化
された機構にすること、を同時に満足するチューブ型ピ
エゾアクチュエーターを提供することを目的とする。However, according to the above-mentioned conventional tube type piezo actuator,
The displacement of the first probe 5 on the central axis of the tube type piezoelectric actuator in the vertical direction (Z direction) is negligible, but since the upper and lower surfaces of the tube type piezoelectric actuator are inclined, the tube type piezoelectric actuator is inclined. A large displacement in the Z direction occurs at the second probe 6 located away from the center axis of the actuator. The amount of displacement in the Z direction increases as the distance from the center axis of the tube type piezoelectric actuator increases. The present invention, in view of the above situation,
To overcome these conventional problems, (1) when a tube-type piezo actuator at a position away from the center axis is moved in the horizontal direction (XY directions), it is not displaced in the vertical direction (Z direction). It is an object of the present invention to provide a tube-type piezo actuator that simultaneously satisfies (2) a simplified mechanism.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】〔１〕チューブ型ピエゾ
アクチュエーターにおいて、１つのチューブ型圧電体
と、この圧電体の内周面又は外周面に形成される基準電
位電極と、前記圧電体の外周面又は内周面の上下それぞ
れに周面を偶数に多分割するような寸法の等しい駆動電
極とを備え、前記上下の偶数に多分割する２セットの駆
動電極において、この上下の偶数に多分割する電極同士
がそれぞれ、上下及び前記チューブ型圧電体の中心軸上
で対称に等電圧が印加されるように、上下の駆動電極を
対称的に接続することを特徴とする。Means for Solving the Problems [1] In a tube type piezo actuator, one tube type piezoelectric body, a reference potential electrode formed on the inner or outer peripheral surface of the piezoelectric body, and the outer periphery of the piezoelectric body A drive electrode having the same size as that of dividing the peripheral surface into an even number on each of the upper and lower sides of the surface or the inner peripheral surface. The upper and lower drive electrodes are symmetrically connected so that equal voltages are applied to the upper and lower electrodes and symmetrically on the central axis of the tube-shaped piezoelectric body.
【０００９】〔２〕チューブ型ピエゾアクチュエーター
において、１つのチューブ型圧電体と、この圧電体の内
周面に形成される基準電位電極と、前記圧電体の外周面
の上下それぞれに外周面を４分割するような寸法の等し
い４つの駆動電極とを備え、前記上下４つずつの２セッ
トの駆動電極において、該上下の４極同士がそれぞれ、
上下及び前記チューブ型圧電体の中心軸上で対称に等電
圧が印加されるように、上下の駆動電極を対称に接続す
ることを特徴とする。[2] In the tube type piezoelectric actuator, one tube type piezoelectric body, a reference potential electrode formed on the inner peripheral surface of the piezoelectric body, and four outer peripheral surfaces above and below the outer peripheral surface of the piezoelectric body. And four drive electrodes having equal dimensions to be divided. In the two sets of four drive electrodes, the upper and lower four electrodes are respectively
The upper and lower drive electrodes are symmetrically connected so that an equal voltage is applied symmetrically on the upper and lower sides and on the central axis of the tube-shaped piezoelectric body.
【００１０】〔３〕チューブ型ピエゾアクチュエーター
において、１つのチューブ型圧電体と、この圧電体の外
周面に形成される基準電位電極と、前記圧電体の内周面
の上下それぞれに内周面を４分割するような寸法の等し
い４つの駆動電極とを備え、前記上下４つずつの２セッ
トの駆動電極において、この上下の４極同士がそれぞ
れ、上下及び前記チューブ型圧電体の中心軸上で対称的
に等電圧が印加されるように、上下の駆動電極を対称に
接続するようにしたことを特徴とする。[3] In the tube type piezo actuator, one tube type piezoelectric body, a reference potential electrode formed on the outer circumferential surface of the piezoelectric body, and inner circumferential surfaces respectively above and below the inner circumferential surface of the piezoelectric body. And four drive electrodes having the same dimensions so as to be divided into four parts. In the two sets of drive electrodes of the four upper and lower parts, the upper and lower four poles are respectively located above and below and on the central axis of the tube-type piezoelectric body. It is characterized in that the upper and lower drive electrodes are symmetrically connected so that an equal voltage is applied symmetrically.
【００１１】〔４〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
のチューブ型ピエゾアクチュエーターにおいて、前記チ
ューブ型圧電体の上面にカンチレバーを具備することを
特徴とする。[4] The tube type piezoelectric actuator according to the above [1], [2] or [3], wherein a cantilever is provided on an upper surface of the tube type piezoelectric body.
【００１２】〔５〕上記〔４〕記載のチューブ型ピエゾ
アクチュエーターにおいて、前記カンチレバーは片持梁
の探針を具備することを特徴とする。[5] The tube type piezo actuator according to the above [4], wherein the cantilever is provided with a cantilever probe.
【００１３】すなわち、本発明は、例えば、チューブ型
ピエゾアクチュエーターの外面に、外周を４分割して寸
法を同じくする４つの電極を上下２セット、すなわち、
計８つの電極を備える。That is, the present invention provides, for example, two sets of upper and lower four electrodes having the same dimensions by dividing the outer periphery into four parts on the outer surface of a tube type piezo actuator.
A total of eight electrodes are provided.
【００１４】そして、上下のそれぞれ４つの電極をチュ
ーブ型ピエゾアクチュエーターの上下及び中心軸に対し
て対称的に接続して内面の基準電位電極に対して同じ電
圧を印加する。Then, the upper and lower four electrodes are connected symmetrically with respect to the vertical and central axes of the tube type piezoelectric actuator, and the same voltage is applied to the reference potential electrode on the inner surface.
【００１５】上記の結果、８極チューブ型ピエゾアクチ
ュエーターの外部への配線の本数は従来の４極チューブ
型ピエゾアクチュエーターと同じであり、簡便である。As a result, the number of wirings to the outside of the 8-pole tube type piezoelectric actuator is the same as that of the conventional 4-pole tube type piezoelectric actuator, which is simple.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１７】図１は本発明の第１実施例を示すチューブ
型ピエゾアクチュエーターの構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a tube type piezo actuator showing a first embodiment of the present invention.
【００１８】この図において、１１はチューブ型圧電体
（ピエゾ）、１１Ａはチューブ型圧電体１１の上面（可
動側）、１１Ｂはチューブ型圧電体１１の下面（固定
側）、１１Ｃは上部チューブ型圧電体と下部チューブ型
圧電体との境界面、１２はそのチューブ型圧電体１の内
周面に設けられる内側基準電位電極、１３はそのチュー
ブ型圧電体１１の外周面に設けられる上部外側駆動電位
電極（＋Ｅｘ1 ，−Ｅｘ 1 ，＋Ｅｙ1 ，−Ｅｙ1 電極）
１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ、及び下部外側駆動電
位電極（＋Ｅｘ2 ，−Ｅｘ2 ，＋Ｅｙ2 ，−Ｅｙ2 電
極）１３Ｅ，１３Ｆ，１３Ｇ，１３Ｈ（裏面）からな
る。１４はそのチューブ型圧電体１１の上端に設けられ
る変位部材（カンチレバー：片持梁）であり、この変位
部材１４の基部１４Ａはチューブ型圧電体１１の上端１
１Ａに固定され、試料１６を探る探針１５がその変位部
材１４の片持梁の先端部１４Ｂに固定されている。In this figure, reference numeral 11 denotes a tube type piezoelectric body.
(Piezo), 11A is the upper surface of the tubular piezoelectric body 11 (possible
Moving side), 11B is the lower surface (fixed) of the tube type piezoelectric body 11.
Side), 11C is upper tube type piezoelectric body and lower tube type
The interface with the piezoelectric body, 12 is the inside of the tube-shaped piezoelectric body 1
The inner reference potential electrode 13 provided on the peripheral surface is
Upper outer drive potential provided on the outer peripheral surface of the piezoelectric element 11
Electrode (+ Ex1, -Ex 1, + Ey1, -Ey1electrode)
13A, 13B, 13C, 13D, and lower outer drive
Potential electrode (+ ExTwo, -ExTwo, + EyTwo, -EyTwoElectric
Pole) 13E, 13F, 13G, 13H (back side)
You. 14 is provided at the upper end of the tube-shaped piezoelectric body 11
Displacement member (cantilever: cantilever)
The base 14A of the member 14 is the upper end 1 of the tube-shaped piezoelectric body 11.
1A, the probe 15 for searching the sample 16 is displaced
The member 14 is fixed to the tip 14B of the cantilever.
【００１９】この実施例のチューブ型ピエゾアクチュエ
ーターは、例えば、下部外側駆動電位電極−Ｅｘ2 １３
Ｆと上部外側駆動電位電極＋Ｅｘ1 １３Ａ、下部外側駆
動電位電極＋Ｅｘ2 １３Ｅと上部外側駆動電位電極−Ｅ
ｘ1 １３Ｂが接続されており、内側基準電位電極１２と
下部外側駆動電位電極−Ｅｘ2 １３Ｆ及び上部外側駆動
電位電極＋Ｅｘ1 １３Ａ間にある電圧が印加され、内側
基準電位電極１２と下部外側駆動電位電極＋Ｅｘ2 １３
Ｅと上部外側駆動電位電極−Ｅｘ1 １３Ｂ間に他の電圧
が印加されることにより、下部外側駆動電位電極−Ｅｘ
2 １３Ｆと上部外側駆動電位電極＋Ｅｘ1 １３Ａが伸長
され、下部外側駆動電位電極＋Ｅｘ2 １３Ｅと上部外側
駆動電位電極−Ｅｘ1 １３Ｂが縮小する。すると、チュ
ーブ型ピエゾアクチュエーターの探針１５はＺ方向の変
位を生じることなく、Ｘ方向のみに駆動することができ
る。すなわち、チューブ型ピエゾアクチュエーターの上
面１１Ａと下面１１Ｂが常に平行になるように駆動する
ことができる。つまり、上下が全く正反対の動きをする
チューブ型ピエゾアクチュエーターを得ることができ
る。The tubular piezoelectric actuator of this embodiment, for example, the lower outer drive potential electrodes -Ex 2 13
F and upper outer drive potential electrode + Ex 1 13A, lower outer drive potential electrode + Ex 2 13E and the upper outer drive potential electrode -E
x 1 13B is connected, a voltage that is between the inner reference potential electrode 12 and the lower outer drive potential electrode -Ex 2 13F and the upper outer drive potential electrode + Ex 1 13A is applied, the lower outer drive and inner reference potential electrode 12 Potential electrode + Ex 2 13
When another voltage is applied between E and the upper outer drive potential electrode -Ex 1 13B, the lower outer drive potential electrode -Ex 1
2 13F upper outer drive potential electrode + Ex 1 13A is extended, the lower outer drive potential electrode + Ex 2 13E and the upper outer drive potential electrode -Ex 1 13B is reduced. Then, the probe 15 of the tube type piezo actuator can be driven only in the X direction without causing displacement in the Z direction. That is, it is possible to drive the tube type piezo actuator so that the upper surface 11A and the lower surface 11B are always parallel. In other words, it is possible to obtain a tube-type piezo actuator in which the upper and lower portions make exactly opposite movements.
【００２０】本発明の第１実施例によれば、図１（ａ）
に示すように、外周を４分割するような電極が上下２セ
ット備わっている。そして、上下のそれぞれ４つの電極
をチューブ型ピエゾアクチュエーターの中心軸に対して
対称に接続して内面の基準電位電極に対して同じ電圧を
印加する。例を挙げると、＋Ｅｘ1 と−Ｅｘ2 に同電圧
を、−Ｅｘ1 と＋Ｅｘ2 に同電圧を印加する。According to the first embodiment of the present invention, FIG.
As shown in the figure, two sets of upper and lower electrodes for dividing the outer periphery into four parts are provided. Then, the upper and lower four electrodes are connected symmetrically with respect to the center axis of the tube type piezo actuator, and the same voltage is applied to the reference potential electrode on the inner surface. By way of example, a + Ex 1 and -Ex 2 in the voltage, applies a same voltage to -Ex 1 and + Ex 2.
【００２１】このように構成することにより、図２
（ｂ）に示すように、上の４電極セットと下の４電極セ
ットとの間の境界面１１Ｃは従来の４極チューブ型ピエ
ゾアクチュエーターと同様にチューブ型ピエゾアクチュ
エーターの下面に対して傾いているものの、上下それぞ
れが対称的に正反対の動きをするために、チューブ型ピ
エゾアクチュエーターの上面１１Ａと下面１１Ｂは平行
に保たれ、なおかつ、水平方向への移動を実現すること
ができる。With this configuration, FIG.
As shown in (b), the boundary surface 11C between the upper four-electrode set and the lower four-electrode set is inclined with respect to the lower surface of the tube-type piezo actuator like the conventional four-electrode tube-type piezo actuator. However, since the upper and lower parts move symmetrically and diametrically oppositely, the upper surface 11A and the lower surface 11B of the tube type piezo actuator are kept parallel, and the movement in the horizontal direction can be realized.
【００２２】図２は本発明の第２実施例を示すチューブ
型ピエゾアクチュエーターの構成図である。FIG. 2 is a structural view of a tube type piezo actuator showing a second embodiment of the present invention.
【００２３】この図において、２１はチューブ型圧電体
（ピエゾ）、２１Ａはチューブ型圧電体２１の上面（可
動側）、２１Ｂはチューブ型圧電体２１の下面（固定
側）、２１Ｃは上部チューブ型圧電体と下部チューブ型
圧電体との境界面、２２はそのチューブ型圧電体２１の
内周面に設けられる上部外側駆動電位電極（＋Ｅｘ1 ，
−Ｅｘ1 ，＋Ｅｙ1 ，−Ｅｙ1 電極）２２Ａ，２２Ｂ，
２２Ｃ，２２Ｄ、及び下部外側駆動電位電極（＋Ｅ
ｘ2 ，−Ｅｘ2 ，＋Ｅｙ2 ，−Ｅｙ2 電極）２２Ｅ，２
２Ｆ，２２Ｇ，２２Ｈからなる。２３は外側基準電位電
極であり、上部基準電位電極２３Ａ，下部基準電位電極
２３Ｂからなる。２４はそのチューブ型圧電体２１の上
端に設けられる変位部材（カンチレバー：片持梁）であ
り、この変位部材２４の基部２４Ａはチューブ型圧電体
２１の上端２１Ａに固定され、試料２６を探る探針２５
がその変位部材２４の片持梁の先端部２４Ｂに固定され
ている。In this figure, reference numeral 21 denotes a tube type piezoelectric body (piezo), 21A denotes an upper surface (movable side) of the tube type piezoelectric body 21, 21B denotes a lower surface (fixed side) of the tube type piezoelectric body 21, and 21C denotes an upper tube type. A boundary surface 22 between the piezoelectric body and the lower tube-shaped piezoelectric body is an upper outer drive potential electrode (+ Ex 1 ,
−Ex 1 , + Ey 1 , −Ey 1 electrodes) 22A, 22B,
22C, 22D, and the lower outer drive potential electrode (+ E
x 2, -Ex 2, + Ey 2, -Ey 2 electrode) 22E, 2
2F, 22G and 22H. Reference numeral 23 denotes an outer reference potential electrode, which includes an upper reference potential electrode 23A and a lower reference potential electrode 23B. Reference numeral 24 denotes a displacement member (cantilever: cantilever) provided at the upper end of the tube-shaped piezoelectric body 21. The base 24A of the displacement member 24 is fixed to the upper end 21A of the tube-shaped piezoelectric body 21, and the sample 26 is searched. Needle 25
Are fixed to the tip 24B of the cantilever of the displacement member 24.
【００２４】この実施例では、チューブ型圧電体（ピエ
ゾ）２１の内面に４分割された駆動電極２２を、チュー
ブ型圧電体（ピエゾ）２１の外面に外側基準電位電極２
３は配置しており、第１実施例とは駆動電極２２と基準
電位電極２３の配置が内側と外側で逆になっている。チ
ューブ型圧電体の駆動方式は第１実施例と同様である。In this embodiment, the drive electrode 22 divided into four parts on the inner surface of the tube-shaped piezoelectric body (piezo) 21 is connected to the outer reference potential electrode 2 on the outer surface of the tube-shaped piezoelectric body (piezo) 21.
Reference numeral 3 denotes an arrangement, and the arrangement of the drive electrode 22 and the reference potential electrode 23 is reversed between the inside and the outside in the first embodiment. The driving method of the tube type piezoelectric body is the same as in the first embodiment.
【００２５】このように、圧電素子の特性から、第１実
施例における外周上の８つの電極を内面に、内面の基準
電位電極を外周上に配置しても同様な効果が得られる。Thus, from the characteristics of the piezoelectric element, a similar effect can be obtained by disposing the eight electrodes on the outer periphery on the inner surface and the reference potential electrodes on the inner surface on the outer periphery in the first embodiment.
【００２６】なお、上記実施例では、上下４分割電極と
したが、偶数の多分割電極とすることも可能である。In the above embodiment, the upper and lower divided electrodes are used. However, an even number of multi-divided electrodes may be used.
【００２７】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible based on the spirit of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば以下のような効果を奏することができる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
【００２９】偶数多極板チューブ型ピエゾアクチュエー
ターを用いることにより、チューブ型ピエゾアクチュエ
ーターの欠点であったＸＹ方向変位に付随して起こるＺ
方向変位の問題を解決し、チューブ型ピエゾアクチュエ
ーターの特徴であるコンパクトさを活かした様々な装置
の開発が可能となる。特に、探針がチューブ型ピエゾア
クチュエーターの中心軸からずれて設置されている場合
に有効である。By using the even-numbered multi-pole tube type piezo actuator, Z accompanying the XY direction displacement, which is a drawback of the tube type piezo actuator, is obtained.
This solves the problem of directional displacement and enables the development of various devices that take advantage of the compactness characteristic of tube-type piezo actuators. In particular, this is effective when the probe is set off the center axis of the tube type piezo actuator.
【図１】本発明の第１実施例を示すチューブ型ピエゾア
クチュエーターの構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a tube type piezo actuator showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施例を示すチューブ型ピエゾア
クチュエーターの構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a tube-type piezo actuator showing a second embodiment of the present invention.
【図３】従来の４極チューブ型ピエゾアクチュエーター
の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional 4-pole tube type piezo actuator.
１１，２１ チューブ型圧電体（ピエゾ） １１Ａ，２１Ａ チューブ型圧電体の上面（可動側） １１Ｂ，２１Ｂ チューブ型圧電体の下面（固定側） １１Ｃ，２１Ｃ 上部チューブ型圧電体と下部チュー
ブ型圧電体との境界面 １２ 内側基準電位電極 １３ 外側駆動電位電極 １３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ 上部外側駆動電位
電極 １３Ｅ，１３Ｆ，１３Ｇ，１３Ｈ 下部外側駆動電位
電極 １４，２４ 変位部材（カンチレバー：片持梁） １５，２５ 探針 １６，２６ 試料 ２２ 内側駆動電位電極 ２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ 上部内側駆動電位
電極 ２２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｇ，２２Ｈ 下部内側駆動電位
電極 ２３ 外側基準電位電極 ２３Ａ 上部外側基準電位電極 ２３Ｂ 下部外側基準電位電極11, 21 Tube type piezoelectric body (piezo) 11A, 21A Upper surface of tube type piezoelectric body (movable side) 11B, 21B Lower surface of tube type piezoelectric body (fixed side) 11C, 21C Upper tube type piezoelectric body and lower tube type piezoelectric body Interface 12 inner reference potential electrode 13 outer drive potential electrode 13A, 13B, 13C, 13D upper outer drive potential electrode 13E, 13F, 13G, 13H lower outer drive potential electrode 14, 24 displacement member (cantilever: cantilever) 15, 25 Probe 16, 26 Sample 22 Inner drive potential electrode 22A, 22B, 22C, 22D Upper inner drive potential electrode 22E, 22F, 22G, 22H Lower inner drive potential electrode 23 Outer reference potential electrode 23A Upper outer reference potential electrode 23B Lower outer reference potential electrode
Claims (5)
該圧電体の内周面又は外周面に形成される基準電位電極
と、（ｃ）前記圧電体の外周面又は内周面の上下それぞ
れに周面を偶数に多分割するような寸法の等しい駆動電
極とを備え、（ｄ）前記上下の偶数に多分割する２セッ
トの駆動電極において、該上下の偶数に多分割する電極
同士がそれぞれ、上下及び前記チューブ型圧電体の中心
軸上で対称に等電圧が印加されるように、上下の駆動電
極を対称的に接続することを特徴とするチューブ型ピエ
ゾアクチュエーター。(A) one tube type piezoelectric body; and (b)
A reference potential electrode formed on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the piezoelectric body; and (c) driving having equal dimensions so as to divide the peripheral surface into an even number above and below the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the piezoelectric body. And (d) in the two sets of drive electrodes divided into upper and lower even numbers, the electrodes divided into upper and lower even numbers are respectively symmetrical with respect to the upper and lower and the central axis of the tube-type piezoelectric body. A tube type piezo actuator, wherein upper and lower drive electrodes are symmetrically connected so that an equal voltage is applied.
該圧電体の内周面に形成される基準電位電極と、（ｃ）
前記圧電体の外周面の上下それぞれに外周面を４分割す
るような寸法の等しい４つの駆動電極とを備え、（ｄ）
前記上下４つずつの２セットの駆動電極において、該上
下の４極同士がそれぞれ、上下及び前記チューブ型圧電
体の中心軸上で対称に等電圧が印加されるように、上下
の駆動電極を対称に接続することを特徴とするチューブ
型ピエゾアクチュエーター。(A) one tube type piezoelectric body; and (b)
A reference potential electrode formed on the inner peripheral surface of the piezoelectric body;
(D) four drive electrodes having dimensions equal to each other so as to divide the outer peripheral surface into four parts on the upper and lower sides of the outer peripheral surface of the piezoelectric body;
In the two sets of four upper and lower drive electrodes, the upper and lower drive electrodes are arranged such that the upper and lower four electrodes are applied with equal voltages symmetrically on the upper and lower sides and on the central axis of the tube-shaped piezoelectric body. Tube type piezo actuator characterized by symmetrical connection.
該圧電体の外周面に形成される基準電位電極と、（ｃ）
前記圧電体の内周面の上下それぞれに内周面を４分割す
るような寸法の等しい４つの駆動電極とを備え、（ｄ）
前記上下４つずつの２セットの駆動電極において、該上
下の４極同士がそれぞれ、上下及び前記チューブ型圧電
体の中心軸上で対称的に等電圧が印加されるように、上
下の駆動電極を対称に接続するようにしたことを特徴と
するチューブ型ピエゾアクチュエーター。(A) one tube-type piezoelectric body; and (b)
A reference potential electrode formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric body;
(D) four drive electrodes having dimensions equal to each other so as to divide the inner peripheral surface into four parts above and below the inner peripheral surface of the piezoelectric body;
In the two sets of four upper and lower drive electrodes, the upper and lower drive electrodes are arranged such that the upper and lower four electrodes are applied with equal voltages symmetrically on the upper and lower sides and on the central axis of the tube-shaped piezoelectric body. The tube type piezo actuator is characterized by connecting symmetrically.
エゾアクチュエーターにおいて、前記チューブ型圧電体
の上面にカンチレバーを具備することを特徴とするチュ
ーブ型ピエゾアクチュエーター。4. The tube-type piezoelectric actuator according to claim 1, 2 or 3, further comprising a cantilever on an upper surface of the tube-type piezoelectric body.
ュエーターにおいて、前記カンチレバーは片持梁の探針
を具備することを特徴とするチューブ型ピエゾアクチュ
エーター。5. The tube type piezo actuator according to claim 4, wherein said cantilever comprises a cantilever probe.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000314832A JP2002125383A (en) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | Tubular piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000314832A JP2002125383A (en) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | Tubular piezoelectric actuator |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002125383A true JP2002125383A (en) | 2002-04-26 |
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ID=18794026
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002125383A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2000
- 2000-10-16 JP JP2000314832A patent/JP2002125383A/en not_active Withdrawn
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