JP2002124631A - Semiconductor integrated circuit and surge-protecting circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit and surge-protecting circuit

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JP2002124631A
JP2002124631A JP2000318513A JP2000318513A JP2002124631A JP 2002124631 A JP2002124631 A JP 2002124631A JP 2000318513 A JP2000318513 A JP 2000318513A JP 2000318513 A JP2000318513 A JP 2000318513A JP 2002124631 A JP2002124631 A JP 2002124631A
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semiconductor integrated
capacitance
integrated circuit
surge protection
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Hiroyoshi Tagi
裕佳 田儀
Toshibumi Nakatani
俊文 中谷
Toshiaki Ando
敏晃 安藤
Makoto Sakakura
真 坂倉
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To incorporate an inductance component in a bonding wire used at package mounting time in a semiconductor integrated circuit. SOLUTION: A capacitance 27, for executing a series resonance with an inductance component of a bonding wire 25 for connecting a GND pad 26 of a semiconductor integrated circuit chip side to an external grounding element, is formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路に
関し、特に高周波において動作する半導体集積回路に関
し、また半導体集積回路に適用するサージ保護回路に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a semiconductor integrated circuit operating at a high frequency and a surge protection circuit applied to the semiconductor integrated circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般の半導体集積回路は、トランジスタ
回路等を構成する素子の直近または直下の基板面の電位
が回路の基準電位に保持されるように設計され、かつパ
ッケージに実装する時にはボンディング・ワイヤーが用
いられる。図7(a)、(b)は、例えば半導体集積回
路のグランドを上記ボンディング・ワイヤーによってコ
ンタクトをとった従来例を示す実装図及び回路図であ
る。ここで23は半導体集積回路、25はボンディング
・ワイヤー、26はGNDパット、28は接地点、29
はボンディング・ワイヤーによるインダクタ、30はN
PNトランジスタ、31は信号源、46は接地面を表し
ている。従来、図8(a)のようにボンディング・ワイ
ヤーを2本以上使用してインダクタンス成分を減少させ
るか、図8(b)のようにグランドポストを用いて接地
へのボンディング・ワイヤーを極力短くする方法を取っ
ていた。
2. Description of the Related Art A general semiconductor integrated circuit is designed so that the potential of a substrate surface immediately adjacent or immediately below an element constituting a transistor circuit or the like is maintained at a reference potential of the circuit. Wire is used. FIGS. 7A and 7B are a mounting diagram and a circuit diagram showing a conventional example in which the ground of a semiconductor integrated circuit is contacted with the bonding wire, for example. Here, 23 is a semiconductor integrated circuit, 25 is a bonding wire, 26 is a GND pad, 28 is a ground point, 29
Is an inductor by a bonding wire, 30 is N
A PN transistor, 31 represents a signal source, and 46 represents a ground plane. Conventionally, the inductance component is reduced by using two or more bonding wires as shown in FIG. 8A, or the bonding wire to the ground is shortened as much as possible by using a ground post as shown in FIG. 8B. Was taking the way.

【0003】また通常の半導体集積回路においては、外
部からの静電気等が要因となるサージによる内部回路の
破壊を防止するため、正、負サージをそれぞれ電源、接
地部に逃がすための保護ダイオードで形成されるサージ
保護回路が形成されている。図9は例えば半導体集積回
路におけるサージ保護回路の従来例を表す回路図であ
る。ここで42は半導体集積回路の一部であり、43は
サージ保護ダイオード、44は電源である。
Further, in a normal semiconductor integrated circuit, in order to prevent destruction of an internal circuit due to a surge caused by external static electricity or the like, a protection diode is formed to release positive and negative surges to a power supply and a ground portion, respectively. A surge protection circuit is formed. FIG. 9 is a circuit diagram showing a conventional example of a surge protection circuit in a semiconductor integrated circuit. Here, 42 is a part of the semiconductor integrated circuit, 43 is a surge protection diode, and 44 is a power supply.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記半導
体集積回路を高周波において使用するとボンディング・
ワイヤーのインダクタンス成分が高周波域において高イ
ンピーダンスとなり、これが所望周波数における高周波
特性をまねくという問題を有していた。
However, when the semiconductor integrated circuit is used at a high frequency, bonding
There has been a problem that the inductance component of the wire becomes high impedance in a high frequency range, which leads to high frequency characteristics at a desired frequency.

【0005】すなわち、半導体集積回路を高周波におい
て使用するとボンディング・ワイヤーのインダクタンス
成分が高周波特性をまねくという課題(第1の課題)が
ある。
That is, there is a problem (first problem) that when a semiconductor integrated circuit is used at a high frequency, an inductance component of a bonding wire causes high frequency characteristics.

【0006】また前記半導体集積回路のサージ保護回路
おいては、サージ保護ダイオードの浮遊容量と前記外部
接続のためのボンディング・ワイヤーによるインダクタ
ンス成分の共振により回路にフィードバックがかかり安
定係数、利得などの高周波特性が劣化するという問題を
有していた。
In the surge protection circuit of the semiconductor integrated circuit, the stray capacitance of the surge protection diode and the resonance of the inductance component due to the bonding wire for the external connection feed back to the circuit, and a high frequency such as a stability coefficient and a gain is obtained. There is a problem that characteristics are deteriorated.

【0007】すなわち、半導体集積回路のサージ保護回
路においては、サージ保護ダイオードの浮遊容量と外部
接続のためのボンディング・ワイヤーによるインダクタ
ンス成分の共振により安定係数、利得などの高周波特性
が劣化するという課題(第2の課題)がある。
That is, in the surge protection circuit of the semiconductor integrated circuit, the problem that the high frequency characteristics such as the stability coefficient and the gain are deteriorated by the resonance of the stray capacitance of the surge protection diode and the inductance component due to the bonding wire for external connection ( There is a second problem).

【0008】本発明は、上記第1の課題を考慮し、高周
波において使用してもボンディングワイヤーのインダク
タンス成分が高周波特性をまねかない半導体集積回路を
提供することを目的とするものである。
An object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit in which an inductance component of a bonding wire does not cause a high frequency characteristic even when used at a high frequency in consideration of the first problem.

【0009】また、本発明は、上記第2の課題を考慮
し、サージ保護ダイオードの浮遊容量と外部接続のため
のボンディング・ワイヤーによるインダクタンス成分の
共振により安定係数、利得などの高周波特性が劣化しな
いサージ保護回路を提供することを目的とするものであ
る。
Further, in consideration of the second problem, the present invention does not deteriorate the high frequency characteristics such as the stability coefficient and the gain due to the resonance of the inductance component due to the stray capacitance of the surge protection diode and the bonding wire for external connection. It is an object of the present invention to provide a surge protection circuit.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、第1の本発明(請求項1に対応)は、半導体素
子を含む回路と、前記回路に接続され、前記回路の基準
電位を保つための接地用電極と、前記接地用電極と外部
の接地体とを接続するリード端子が有するインダクタン
ス成分と直列共振を起こすようなキャパシタンスとを備
え、前記キャパシタンスは、前記直列共振の共振周波数
において、前記接地用電極と前記外部の接地体との間の
インピーダンスが実質上零になるように構成されている
ことを特徴とする半導体集積回路である。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention (corresponding to claim 1) is to provide a circuit including a semiconductor element and a reference potential of the circuit connected to the circuit. And a capacitance that causes series resonance with an inductance component of a lead terminal connecting the grounding electrode and an external grounding body, wherein the capacitance is a resonance frequency of the series resonance. , Wherein the impedance between the grounding electrode and the external grounding body is substantially zero.

【0011】また、第2の本発明(請求項2に対応)
は、前記回路は、無線通信回路のフロントエンド部の回
路であり、前記キャパシタンスは、金属板により形成さ
れることを特徴とする第1の本発明に記載の半導体集積
回路である。
Further, the second invention (corresponding to claim 2)
The semiconductor integrated circuit according to the first aspect, wherein the circuit is a circuit of a front end portion of a wireless communication circuit, and the capacitance is formed by a metal plate.

【0012】また、第3の本発明(請求項3に対応)
は、表面に前記回路が形成されている基板を備え、前記
キャパシタンスは前記基板の内部に形成されていること
を特徴とする第1または2の本発明に記載の半導体集積
回路である。
Further, a third aspect of the present invention (corresponding to claim 3)
Is a semiconductor integrated circuit according to the first or second aspect of the present invention, further comprising a substrate having the circuit formed on a surface thereof, wherein the capacitance is formed inside the substrate.

【0013】また、第4の本発明(請求項4に対応)
は、前記キャパシタンスは前記回路内に形成されている
ことを特徴とする第1または2の本発明に記載の半導体
集積回路である。
Further, the fourth invention (corresponding to claim 4)
Is a semiconductor integrated circuit according to the first or second aspect of the present invention, wherein the capacitance is formed in the circuit.

【0014】また、第5の本発明(請求項5に対応)
は、前記回路は、複数の配線層を有し、前記キャパシタ
ンスは、前記複数の配線層の全部または一部により形成
されていることを特徴とする第4の本発明に記載の半導
体集積回路である。
Further, the fifth invention (corresponding to claim 5)
In the semiconductor integrated circuit according to a fourth aspect of the present invention, the circuit has a plurality of wiring layers, and the capacitance is formed by all or a part of the plurality of wiring layers. is there.

【0015】また、第6の本発明(請求項6に対応)
は、前記複数の配線層とは、前記接地用電極に接続され
た第1の配線層と、前記接地用電極への引き出し配線が
形成されている第2の配線層であり、前記第1の配線層
と前記第2の配線層との間には、層間膜が形成されてお
り、前記キャパシタンスは、前記引き出し配線を利用し
て前記第1の配線層と前記第2の配線層とにより形成さ
れていることを特徴とする第5の本発明に記載の半導体
集積回路である。
Further, a sixth aspect of the present invention (corresponding to claim 6)
Wherein the plurality of wiring layers are a first wiring layer connected to the ground electrode, and a second wiring layer on which a lead wiring to the ground electrode is formed. An interlayer film is formed between the wiring layer and the second wiring layer, and the capacitance is formed by the first wiring layer and the second wiring layer using the lead wiring. A fifth aspect of the present invention is a semiconductor integrated circuit according to the fifth aspect.

【0016】また、第7の本発明(請求項7に対応)
は、前記回路は、前記接地用電極に接続された、前記接
地用電極への引き出し配線が形成されている配線層を有
し、前記キャパシタンスは、前記引き出し配線を利用し
て前記配線層により形成されていることを特徴とする第
4の本発明に記載の半導体集積回路である。
A seventh aspect of the present invention (corresponding to claim 7)
The circuit has a wiring layer connected to the ground electrode and formed with a lead wire to the ground electrode, and the capacitance is formed by the wiring layer using the lead wire A semiconductor integrated circuit according to a fourth aspect of the present invention, wherein:

【0017】また、第8の本発明(請求項8に対応)
は、前記キャパシタンスは、MIM構造によって形成さ
れていることを特徴とする第4〜7の本発明のいずれか
に記載の半導体集積回路である。
Further, an eighth aspect of the present invention (corresponding to claim 8)
The semiconductor integrated circuit according to any one of the fourth to seventh aspects of the present invention, wherein the capacitance is formed by an MIM structure.

【0018】また、第9の本発明(請求項9に対応)
は、前記キャパシタンスは、インターデジタル型構造に
よって形成されていることを特徴とする第4〜7の本発
明のいずれかに記載の半導体集積回路である。
A ninth aspect of the present invention (corresponding to claim 9).
The semiconductor integrated circuit according to any one of the fourth to seventh aspects of the present invention, wherein the capacitance is formed by an interdigital structure.

【0019】また、第10の本発明(請求項10に対
応)は、前記回路は、前記接地用電極まで引き出された
接地のための引き出し配線を有し、前記キャパシタンス
は前記接地用電極と前記引き出し配線により形成されて
いることを特徴とする第3の本発明に記載の半導体集積
回路である。
According to a tenth aspect of the present invention (corresponding to claim 10), the circuit has a lead-out wiring for grounding which is drawn out to the grounding electrode, and the capacitance is equal to that of the grounding electrode. A semiconductor integrated circuit according to a third aspect of the present invention, wherein the semiconductor integrated circuit is formed by a lead wiring.

【0020】また、第11の本発明(請求項11に対
応)は、半導体集積回路を構成する所定のトランジスタ
回路の入力回路と電源部との間、及び前記入力回路と接
地部との間、及び前記トランジスタの出力回路と電源部
との間、及び前記出力回路と接地部との間にそれぞれ設
けられたサージ保護用ダイオードと、高周波域におい
て、前記入力回路及び前記出力回路間の経路であって前
記サージ保護用ダイオードを経由した経路のインピーダ
ンスが高くなるような受動素子とを備えたことを特徴と
するサージ保護回路である。
According to an eleventh aspect of the present invention (corresponding to claim 11), there is provided a semiconductor integrated circuit comprising: a circuit between an input circuit of a predetermined transistor circuit and a power supply; A surge protection diode provided between the output circuit of the transistor and the power supply unit, and between the output circuit and the ground unit, and a path between the input circuit and the output circuit in a high frequency range. And a passive element for increasing the impedance of a path passing through the surge protection diode.

【0021】また、第12の本発明(請求項12に対
応)は、前記受動素子とは、キャパシタンスとインダク
タンスであり、前記受動素子は、前記サージ保護用のダ
イオードの浮遊キャパシタンス成分と、前記サージ保護
用ダイオードと前記接地部及び前記電源部とをそれぞれ
接続するための外部接続用リード端子のインダクタンス
成分との間に並列共振を起こすように配置されているこ
とを特徴とする第11の本発明に記載のサージ保護回路
である。
According to a twelfth aspect of the present invention (corresponding to claim 12), the passive element is a capacitance and an inductance, and the passive element includes a floating capacitance component of the diode for surge protection and the surge element. An eleventh aspect of the present invention is characterized in that the protection diode is arranged so as to cause parallel resonance between the protection diode and an inductance component of an external connection lead terminal for connecting the grounding portion and the power supply portion, respectively. The surge protection circuit according to the above.

【0022】また、第13の本発明(請求項13に対
応)は、前記受動素子とは、インダクタンスであり、前
記受動素子は、前記サージ保護用のダイオードの浮遊キ
ャパシタンス成分と前記接地部及び前記電源部とをそれ
ぞれ接続するための外部接続用リード端子のインダクタ
ンス成分との直列共振を抑圧するように配置されている
ことを特徴とする第11の本発明に記載のサージ保護回
路である。
According to a thirteenth aspect of the present invention (corresponding to claim 13), the passive element is an inductance, and the passive element includes a stray capacitance component of the surge protection diode, the grounding portion, and the ground. An surge protection circuit according to an eleventh aspect of the present invention, wherein the surge protection circuit is arranged so as to suppress series resonance with an inductance component of an external connection lead terminal for connecting to a power supply unit.

【0023】また、第14の本発明(請求項14に対
応)は、前記受動素子とは、抵抗であり、前記受動素子
は、前記サージ保護用のダイオードの浮遊キャパシタン
ス成分と前記接地部及び前記電源部とをそれぞれ接続す
るための外部接続用リード端子のインダクタンス成分と
の直列共振を減衰させるように配置されていることを特
徴とする第11の本発明に記載のサージ保護回路であ
る。
According to a fourteenth aspect of the present invention (corresponding to claim 14), the passive element is a resistor, and the passive element includes a floating capacitance component of the surge protection diode, the grounding portion, and the ground. An surge protection circuit according to an eleventh aspect of the present invention, wherein the surge protection circuit is arranged so as to attenuate series resonance with an inductance component of an external connection lead terminal for connecting to a power supply unit.

【0024】例えば、本発明は、半導体基板上に設けた
半導体集積回路の構造は、複数の接地用電極が外部接続
用リード端子を介して外部の接地体に接続可能にされた
チップに対し、前記チップ側の接地電極と前記外部の接
地体に接続するためのリード端子との間に、前記接地体
に接続するためのリード端子が持つインダクタンス成分
と所望周波数において直列共振を起こすようなキャパシ
タンスを形成し、その共振周波数において前記チップ側
の接地用電極と前記外部の接地体との間のインピーダン
スが実質的に0となるように構成する。
For example, according to the present invention, a semiconductor integrated circuit provided on a semiconductor substrate has a structure in which a plurality of grounding electrodes are connected to an external grounding body via external connection lead terminals. Between the chip-side ground electrode and a lead terminal for connecting to the external grounding body, an inductance component of the lead terminal for connecting to the grounding body and a capacitance that causes series resonance at a desired frequency. And the impedance between the grounding electrode on the chip side and the external grounding body is substantially zero at the resonance frequency.

【0025】また、本発明は、半導体集積回路のトラン
ジスタ回路の電源、接地部の間のサージ保護回路におい
て、前記トランジスタ回路の入力回路及び出力回路と電
源、接地部の間のサージ保護用ダイオードとの間に、低
周波域及び高周波域において前記サージ保護用ダイオー
ド‐前記トランジスタ回路の入力回路及び出力回路間の
インピーダンスが高くなるような受動素子を配置したこ
とを特徴とする。
The present invention also provides a surge protection circuit between a power supply and a grounding portion of a transistor circuit of a semiconductor integrated circuit, wherein a surge protection diode between a power supply and a grounding portion is provided between an input circuit and an output circuit of the transistor circuit. And a passive element for increasing the impedance between the surge protection diode and the input circuit and the output circuit of the transistor circuit in a low frequency range and a high frequency range.

【0026】上記本発明によれば、前記外部接続用リー
ド端子によるインダクタ成分と接地用電極と前記外部の
接地体との間に形成した金属板によるキャパシタンス成
分を所望周波数において共振させ、サージ保護回路にお
いて、前記サージ保護用ダイオード‐前記トランジスタ
回路の入力回路及び出力回路間を高インピーダンスにし
てフィードバックを抑圧することによって、高周波特性
の劣化が改善されるという効果が得られる。
According to the present invention, the surge protection circuit resonates the inductor component of the external connection lead terminal and the capacitance component of the metal plate formed between the ground electrode and the external grounding body at a desired frequency. In the above, the impedance between the surge protection diode and the input circuit and the output circuit of the transistor circuit is made high to suppress the feedback, whereby the effect of improving the deterioration of the high frequency characteristics is obtained.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0028】(第1の実施の形態)図1(a)、(b)
に第1の実施の形態を表す無線通信回路の受信部及び前
記無線通信回路の受信フロントエンド部の構成を示す。
(First Embodiment) FIGS. 1A and 1B
2 shows a configuration of a receiving unit of a wireless communication circuit and a receiving front-end unit of the wireless communication circuit according to the first embodiment.

【0029】図1(a)において、11はアンテナ、1
2は積層RFフィルタ、13はスイッチ、14はIFフ
ィルタ、15はLNA、16は段間積層RFフィルタ、
17はVCO、18はMIXER、19は復調器、20
はベースバンドLSI、21は受信フロントエンド部、
22は無線通信回路の受信部を表している。
In FIG. 1A, reference numeral 11 denotes an antenna,
2 is a laminated RF filter, 13 is a switch, 14 is an IF filter, 15 is an LNA, 16 is an interstage laminated RF filter,
17 is a VCO, 18 is a MIXER, 19 is a demodulator, 20
Is a baseband LSI, 21 is a reception front end unit,
Reference numeral 22 denotes a receiving unit of the wireless communication circuit.

【0030】図1(b)は前記図1(a)の受信フロン
トエンド21のLNA15、段間積層RFフィルタ16
の構成図であり、23はLNA15、MIXER18等
がIC化された半導体集積回路、24は段間積層RFフ
ィルタ16等が形成された積層基板、25はボンディン
グ・ワイヤー、26は半導体集積回路における外部接続
用のGNDパット、27は積層基板内で形成されたキャ
パシタンス、28は接地点を表している。
FIG. 1B shows the LNA 15 and the interstage laminated RF filter 16 of the reception front end 21 shown in FIG.
23 is a semiconductor integrated circuit in which the LNA 15, the MIXER 18 and the like are integrated into an IC, 24 is a laminated substrate on which the inter-stage laminated RF filter 16 and the like are formed, 25 is a bonding wire, and 26 is an external part of the semiconductor integrated circuit. A GND pad for connection, 27 is a capacitance formed in the laminated substrate, and 28 is a ground point.

【0031】図2に図1(b)のような前記ボンディン
グ・ワイヤー25によって生じるインダクタンス成分と
直列共振を起こすようなキャパシタが前記積層基板内に
おいて形成された時の等価回路図の一例を示す。
FIG. 2 shows an example of an equivalent circuit diagram when a capacitor which causes series resonance with the inductance component generated by the bonding wire 25 as shown in FIG. 1B is formed in the laminated substrate.

【0032】図1(b)において、前記積層基板24の
上部に前記半導体集積回路23が設置されている。そし
て、積層基板24内には金属板などによってキャパシタ
ンス27が形成されている。キャパシタンス27は、前
記ボンディング・ワイヤー25によって生じるインダク
タンス成分と直列共振を起こすように構成されている。
このように構成することにより高周波特性の劣化の改善
が実現できる。
In FIG. 1B, the semiconductor integrated circuit 23 is provided above the laminated substrate 24. The capacitance 27 is formed in the laminated substrate 24 by a metal plate or the like. The capacitance 27 is configured to cause series resonance with an inductance component generated by the bonding wire 25.
With this configuration, it is possible to improve deterioration of high frequency characteristics.

【0033】なお、本実施の形態のGNDパット26は
本発明の接地用電極の例であり、本実施の形態の半導体
集積回路23は本発明の回路の例であり、本実施の形態
の積層基板は本発明の基板の例であり、本実施の形態の
ボンディング・ワイヤー25は本発明のリード端子の例
である。
The GND pad 26 of the present embodiment is an example of the ground electrode of the present invention, and the semiconductor integrated circuit 23 of the present embodiment is an example of the circuit of the present invention. The substrate is an example of the substrate of the present invention, and the bonding wire 25 of the present embodiment is an example of the lead terminal of the present invention.

【0034】さらに、本発明の接地用電極の個数は、本
実施の形態におけるGNPパット26のように1つに限
らず、2つ、3つなど、要するに本発明の接地用電極の
個数は、1つ以上の任意の数でありさえすればよい。
Further, the number of grounding electrodes of the present invention is not limited to one as in the GNP pad 26 in the present embodiment, but is two or three. In short, the number of grounding electrodes of the present invention is: It only needs to be one or more arbitrary numbers.

【0035】さらに、本実施の形態のGNPパット26
が複数形成されている場合には、各GNPパット26に
それぞれボンディング・ワイヤー25が接続され、それ
ぞれ接地点28に接地される。この場合、接地点28は
接地体の同一点であっても構わないし、接地体の複数の
点であっても構わない。また、ボンディング・ワイヤー
25が積層基板内部で集線されてから接地点28に接地
されても構わない。この場合、集線された複数のボンデ
ィング・ワイヤー25に対して1つのキャパシタンスを
形成すればよい。そしてこのキャパシタンスは、集線さ
れた複数のボンディング・ワイヤー25のインピーダン
ス成分とまとめて直列共振を起こすものとする。また、
ボンディング・ワイヤー25が集線されない場合には、
各GNPパット26と接地点28を接続するボンディン
グ・ワイヤー25のインピーダンス成分と直列共振を起
こすようなキャパシタンスをボンディング・ワイヤー2
5毎に一つずつ形成すればよい。
Further, the GNP pad 26 of the present embodiment
Are formed, a bonding wire 25 is connected to each GNP pad 26, and each is grounded to a ground point 28. In this case, the grounding point 28 may be the same point on the grounding body, or may be a plurality of points on the grounding body. Alternatively, the bonding wire 25 may be grounded inside the laminated substrate and then grounded to the grounding point 28. In this case, one capacitance may be formed with respect to the plurality of concentrated bonding wires 25. Then, this capacitance causes series resonance together with the impedance components of the plurality of bonding wires 25 that are converged. Also,
If the bonding wire 25 is not concentrated,
The capacitance which causes series resonance with the impedance component of the bonding wire 25 connecting each GNP pad 26 and the ground point 28 is set to the bonding wire 2.
One may be formed for every five.

【0036】さらに、本発明の半導体集積回路は、本実
施の形態における無線通信回路の受信部22のフロント
エンド部21を構成するものに限らず、無線通信回路の
送信部の全部または一部を構成するものなど、要するに
本発明の半導体集積回路は、リード端子のインピーダン
ス成分を無視できないような用途であればどのような用
途に用いても構わない。
Further, the semiconductor integrated circuit of the present invention is not limited to the one constituting the front end section 21 of the receiving section 22 of the wireless communication circuit in the present embodiment, and all or a part of the transmitting section of the wireless communication circuit may be used. In short, the semiconductor integrated circuit of the present invention, such as a component, may be used in any application as long as the impedance component of the lead terminal cannot be ignored.

【0037】このように本実施の形態によれば、ボンデ
ィング・ワイヤーによって生じるインダクタ成分と直列
共振をおこすようなキャパシタンスを積層基板内におい
て形成することにより、高周波特性の劣化が改善され
る。
As described above, according to the present embodiment, deterioration of high frequency characteristics is improved by forming a capacitance in the laminated substrate that causes series resonance with the inductor component generated by the bonding wire.

【0038】またキャパシタタンスが積層基板内にて形
成されるため所望のキャパスタンス値が得られやすく、
さらに半導体集積回路を積層基板の上に配置することに
よるチップ集積度を向上させる効果が得られる。
Since the capacitor capacitance is formed in the laminated substrate, a desired capacitance value is easily obtained.
Further, the effect of improving the degree of chip integration by arranging the semiconductor integrated circuit on the laminated substrate can be obtained.

【0039】(実施の形態2)図3(a)、(b)に第
2実施の形態を表す半導体集積回路IC内部の断面図の一
部を示す。図3(a)、(b)において、32はキャパ
シタンス形成部、33は第1配線層、34は接地用引出
し配線、35は第2配線層、36は層間膜、37はグラ
ンドパットへの引き出し口、38は半導体集積回路ICの
内部の一部、48はコンタクト部を表している。
(Embodiment 2) FIGS. 3A and 3B are partial cross-sectional views showing the inside of a semiconductor integrated circuit IC according to a second embodiment. 3A and 3B, 32 is a capacitance forming portion, 33 is a first wiring layer, 34 is a ground wiring, 35 is a second wiring layer, 36 is an interlayer film, and 37 is a drawing to a ground pad. Reference numeral 38 denotes a portion inside the semiconductor integrated circuit IC, and 48 denotes a contact portion.

【0040】図3(a)のキャパシタンス形成部32
は、接地用引出し配線34を利用して第1配線層及び第
2配線層において、前記第1の実施の形態を表す図1
(b)のボンディング・ワイヤー25によって生じるイ
ンダクタンス成分と所望周波数で直列共振を起こすよう
に形成されており、このように構成することにより高周
波特性の劣化の改善が実現できる。
The capacitance forming section 32 shown in FIG.
FIG. 1 shows the first embodiment in the first wiring layer and the second wiring layer using the ground lead wiring 34.
It is formed so as to cause a series resonance at a desired frequency with the inductance component generated by the bonding wire 25 of (b). With such a configuration, it is possible to improve the deterioration of the high frequency characteristics.

【0041】図3(b)のキャパシタンス形成部32
は、接地用引出し配線34を利用して第2配線層によ
り、前記第1の実施の形態を表す図1(b)のボンディ
ング・ワイヤー25によって生じるインダクタンス成分
と所望周波数で直列共振を起こすように形成されてお
り、MIM構造を有している。このように構成すること
により高周波特性の劣化の改善が実現できる。
The capacitance forming portion 32 shown in FIG.
Is designed to cause series resonance at a desired frequency with an inductance component generated by the bonding wire 25 shown in FIG. 1B representing the first embodiment by the second wiring layer using the ground extraction wiring 34. And has an MIM structure. With this configuration, it is possible to improve deterioration of high frequency characteristics.

【0042】なお、図3の(a)では、接地用引き出し
配線34を利用して第1配線層33と第2配線層35と
でキャパシタンスを形成するとして説明したが、これに
限らない。半導体集積回路が3層以上の複数の配線層か
ら構成されている場合には、これら複数の配線層の全部
または一部によってキャパシタンスを形成しても構わな
い。
In FIG. 3A, it is described that the capacitance is formed by the first wiring layer 33 and the second wiring layer 35 by using the ground wiring 34. However, the present invention is not limited to this. When the semiconductor integrated circuit is composed of three or more wiring layers, the capacitance may be formed by all or a part of the plurality of wiring layers.

【0043】さらに、本発明の接地用電極の個数は、本
実施の形態におけるコンタクト部48とグランドパット
への引き出し口37のように1つに限らず、2つ、3つ
など、要するに本発明の接地用電極の個数は、1つ以上
の任意の数でありさえすればよい。
Further, the number of the grounding electrodes of the present invention is not limited to one like the contact portion 48 and the outlet 37 to the ground pad in the present embodiment, but is two or three. The number of the grounding electrodes may be one or more arbitrary numbers.

【0044】さらに、本実施の形態のコンタクト部48
とグランドパットへの引き出し口37が複数個形成され
ている場合には、各コンタクト部48とグランドパット
への引き出し口37に対応して、それぞれ図3(a)ま
たは図3(b)に示すようなキャパシタンス形成部32
を設ければよい。
Further, the contact portion 48 of the present embodiment
When a plurality of outlets 37 to the ground pad are formed, corresponding to the contact portions 48 and the outlets 37 to the ground pad, respectively, are shown in FIG. 3A or FIG. 3B. Such a capacitance forming unit 32
May be provided.

【0045】さらに、本実施の形態の第1配線層33と
第2配線層35は本発明の回路の例であり、本実施の形
態のコンタクト部48及びグランドパットへの引き出し
口37は本発明の接地用電極の例であり、本実施の形態
の第2配線層35は本発明の回路の例である。
Further, the first wiring layer 33 and the second wiring layer 35 of the present embodiment are examples of the circuit of the present invention, and the contact portion 48 and the outlet 37 to the ground pad of the present embodiment are the same as those of the present invention. The second wiring layer 35 of the present embodiment is an example of the circuit of the present invention.

【0046】このように、本実施の形態によれば、ボン
ディング・ワイヤー25によって生じるインダクタンス
成分と直列共振を起こすようなキャパシタンスが半導体
集積回路ICの内部で接地用引出し配線34を利用して
半導体集積回路ICの第1配線層33及び第2配線層3
5により半導体集積回路の半導体基板に平行に形成され
ることにより、高周波特性の劣化が改善される。
As described above, according to the present embodiment, the capacitance that causes series resonance with the inductance component generated by the bonding wire 25 is integrated inside the semiconductor integrated circuit IC by using the ground lead-out wiring 34. First wiring layer 33 and second wiring layer 3 of circuit IC
By being formed in parallel with the semiconductor substrate of the semiconductor integrated circuit by 5, the deterioration of the high frequency characteristics is improved.

【0047】また、このような半導体集積回路ICは、
従来のプロセスにて形成が可能であり、接地用引出し配
線34をキャパシタンスに利用するためチップ面積は従
来と変らないという効果が得られる。
Further, such a semiconductor integrated circuit IC is
It can be formed by a conventional process, and the effect that the chip area is not different from the conventional one can be obtained because the ground extraction wiring 34 is used for capacitance.

【0048】また、接地用引出し配線34にて単層によ
り半導体集積回路の半導体基板と垂直方向に前記ボンデ
ィング・ワイヤー25によって生じるインダクタンス成
分と直列共振を起こすようなキャパシタが形成されるこ
とにより、高周波特性の劣化が改善される。
Further, a capacitor is formed by a single layer of the ground lead-out wiring 34 in a direction perpendicular to the semiconductor substrate of the semiconductor integrated circuit and in series with the inductance component generated by the bonding wire 25, so that high-frequency operation is achieved. Deterioration of characteristics is improved.

【0049】また、このような半導体集積回路ICは、
従来のプロセスにて形成が可能であり、接地用引出し配
線34をキャパシタタンスに利用するためチップ面積は
従来と変らないという効果が得られる。
Further, such a semiconductor integrated circuit IC is
It can be formed by a conventional process, and since the ground lead-out wiring 34 is used for a capacitor closet, the effect that the chip area is not different from the conventional one can be obtained.

【0050】(実施の形態3)図4(a)、(b)に第
3の実施の形態を表す半導体集積回路IC内部の断面図の
一部を示す。図4(a)、(b)において、39はイン
ターディジタル型キャパシタ形成部を表している。
(Embodiment 3) FIGS. 4A and 4B are partial cross-sectional views showing the inside of a semiconductor integrated circuit IC according to a third embodiment. 4A and 4B, reference numeral 39 denotes an interdigital capacitor forming section.

【0051】図4(a)のインターディジタル型キャパ
シタンス形成部39は、接地用引出し配線34を利用し
て第1配線層及び第2配線層において、前記第1の実施
の形態を表す図1(b)の前記ボンディング・ワイヤー
25によって生じるインダクタンス成分と所望周波数で
直列共振を起こすようにインターディジタル型にて形成
されており、このような構成にすることにより高周波特
性の劣化の改善が実現できる。
The interdigital capacitance forming section 39 shown in FIG. 4A uses the ground lead-out wiring 34 in the first wiring layer and the second wiring layer in the first wiring layer shown in FIG. It is formed of an interdigital type so as to cause series resonance at a desired frequency with the inductance component generated by the bonding wire 25 of b). With such a configuration, it is possible to improve deterioration of high frequency characteristics.

【0052】図4(b)のインターディジタル型キャパ
シタンス形成部39は接地用引出し配線34を利用して
第2配線層により、前記第1の実施の形態を表す図1
(b)のボンディング・ワイヤー25によって生じるイ
ンダクタ成分と所望周波数で直列共振を起こすようにイ
ンターディジタル型にて形成されており、このような構
成にすることにより高周波特性の劣化の改善が実現でき
る。
The interdigital capacitance forming section 39 of FIG. 4B uses the ground wiring 34 and a second wiring layer to form the first embodiment of FIG.
It is formed of an interdigital type so as to cause a series resonance at a desired frequency with an inductor component generated by the bonding wire 25 of (b). With such a configuration, it is possible to improve deterioration of high frequency characteristics.

【0053】なお、図4の(a)では、接地用引き出し
配線を利用して第1配線層と第2配線層とでキャパシタ
ンスを形成するとして説明したが、これに限らない。半
導体集積回路が3層以上の複数の配線層から構成されて
いる場合には、これら複数の配線層の全部または一部に
よってキャパシタンスを形成しても構わない。
In FIG. 4A, the capacitance is formed between the first wiring layer and the second wiring layer by using the ground lead wiring. However, the present invention is not limited to this. When the semiconductor integrated circuit is composed of three or more wiring layers, the capacitance may be formed by all or a part of the plurality of wiring layers.

【0054】さらに、本発明の接地用電極の個数は、本
実施の形態におけるコンタクト部48とグランドパット
への引き出し口37のように1つに限らず、2つ、3つ
など、要するに本発明の接地用電極の個数は、1つ以上
の任意の数でありさえすればよい。
Further, the number of the grounding electrodes of the present invention is not limited to one like the contact part 48 and the outlet 37 to the ground pad in the present embodiment, but is two or three. The number of the grounding electrodes may be one or more arbitrary numbers.

【0055】さらに、本実施の形態のコンタクト部48
とグランドパットへの引き出し口37が複数個形成され
ている場合には、各コンタクト部48とグランドパット
への引き出し口37に対応して、それぞれ図4(a)ま
たは図4(b)に示すようなキャパシタンス形成部32
を設ければよい。
Further, the contact portion 48 according to the present embodiment.
When a plurality of outlets 37 to the ground pad are formed, corresponding to the respective contact portions 48 and the outlets 37 to the ground pad, as shown in FIG. 4A or FIG. 4B, respectively. Such a capacitance forming unit 32
May be provided.

【0056】さらに、本実施の形態の第1配線層33と
第2配線層35は本発明の回路の例であり、本実施の形
態のコンタクト部48及びグランドパットへの引き出し
口37は本発明の接地用電極の例であり、本実施の形態
の第2配線層35は本発明の回路の例である。
Further, the first wiring layer 33 and the second wiring layer 35 of the present embodiment are examples of the circuit of the present invention, and the contact portion 48 and the outlet 37 to the ground pad of the present embodiment are the same as those of the present invention. The second wiring layer 35 of the present embodiment is an example of the circuit of the present invention.

【0057】このように、本実施の形態によれば、ボン
ディング・ワイヤーによって生じるインダクタンス成分
と直列共振を起こすようなキャパシタンスが半導体集積
回路ICの内部で接地用引出し配線を利用して半導体集
積回路ICの第1配線層及び第2配線層により半導体集
積回路の半導体基板に平行に形成されることにより、高
周波特性の劣化が改善される。
As described above, according to the present embodiment, the capacitance which causes the series resonance with the inductance component generated by the bonding wire is used inside the semiconductor integrated circuit IC by utilizing the ground lead-out wiring. By forming the first wiring layer and the second wiring layer in parallel with the semiconductor substrate of the semiconductor integrated circuit, deterioration of high-frequency characteristics is improved.

【0058】また、このような半導体集積回路ICは、
従来のプロセスにて形成が可能であり、接地用引出し配
線34をキャパシタンスに利用するためチップ面積は従
来と変らないという効果が得られる。
Further, such a semiconductor integrated circuit IC is
It can be formed by a conventional process, and the effect that the chip area is not different from the conventional one can be obtained because the ground extraction wiring 34 is used for capacitance.

【0059】また、接地用引出し配線にて単層により半
導体集積回路の半導体基板と垂直方向に前記ボンディン
グ・ワイヤー25によって生じるインダクタンス成分と
直列共振を起こすようなキャパシタが形成されることに
より、高周波特性の劣化が改善される。
Further, a capacitor which causes series resonance with the inductance component generated by the bonding wire 25 in a direction perpendicular to the semiconductor substrate of the semiconductor integrated circuit is formed by a single layer of the grounding lead wiring, so that high-frequency characteristics are obtained. Is improved.

【0060】また、このような半導体集積回路ICは、
従来のプロセスにて形成が可能であり、接地用引出し配
線をキャパシタタンスに利用するためチップ面積は従来
と変らないという効果が得られる。
Further, such a semiconductor integrated circuit IC is
It can be formed by a conventional process, and the effect that the chip area is not different from the conventional one can be obtained since the grounding lead wiring is used for the capacitor closet.

【0061】(実施の形態4)図5(a)、(b)に第
4の実施の形態を表す半導体集積回路IC及び半導体集
積回路IC内部の断面図の一部を示す。図5において、
40は半導体集積回路の断面図の一部を表している。
(Embodiment 4) FIGS. 5A and 5B show a semiconductor integrated circuit IC according to a fourth embodiment and a part of a cross-sectional view inside the semiconductor integrated circuit IC. In FIG.
Reference numeral 40 denotes a part of a cross-sectional view of the semiconductor integrated circuit.

【0062】図5のキャパシタンス形成部32は、接地
用引出し配線34とGNDパットを利用して、前記第1
の実施の形態を表すボンディング・ワイヤー25によっ
て生じるインダクタ成分と所望周波数で直列共振を起こ
すように形成されており、このような構成にすることに
より高周波特性の劣化の改善が実現できる。
The capacitance forming section 32 shown in FIG. 5 uses the ground lead 34 and the GND pad to
It is formed so as to cause series resonance at a desired frequency with an inductor component generated by the bonding wire 25 according to the embodiment of the present invention, and by adopting such a configuration, it is possible to realize improvement of deterioration of high frequency characteristics.

【0063】なお、本実施の形態のGNDパットは本発
明の接地用電極の例である。
The GND pad of the present embodiment is an example of the ground electrode of the present invention.

【0064】さらに、本発明の接地用電極の個数は、本
実施の形態におけるGNDパッドのように6個に限ら
ず、1個、2個、7個、12個など、要するに本発明の
接地用電極の個数は、1つ以上の任意の数でありさえす
ればよい。
Further, the number of grounding electrodes of the present invention is not limited to six like the GND pad in the present embodiment, but one, two, seven, twelve, etc. The number of electrodes need only be one or more arbitrary numbers.

【0065】このように本実施の形態によれば、接地用
引出し配線34とGNDパットにて、ボンディング・ワ
イヤー25によって生じるインダクタンス成分と所望周
波数で直列共振を起こすようなキャパシタンスが形成さ
れるので、高周波特性の劣化が改善される。
As described above, according to the present embodiment, the inductance component generated by the bonding wire 25 and the capacitance that causes series resonance at a desired frequency are formed by the grounding lead wire 34 and the GND pad. Deterioration of high frequency characteristics is improved.

【0066】また、このような半導体集積回路ICは、
従来のプロセスにて形成が可能であり、接地用引出し配
線34をキャパシタンスに利用するためチップ面積は従
来と変らなず、さらにGNDパットの数だけキャパシタ
ンスが形成可能であるので、所望のキャパシタンス値が
得られすいという効果が得られる。
Further, such a semiconductor integrated circuit IC is
Since it can be formed by a conventional process, the ground area 34 is used for the capacitance, the chip area is not different from the conventional one. Further, since the capacitance can be formed by the number of GND pads, the desired capacitance value can be reduced. The effect of being obtained is obtained.

【0067】(実施の形態5)図6(a)、(b)、
(c)に第5の実施の形態を表す半導体集積回路の一部
を示す。図6(a)、(b)、(c)において、41は
インダクタンス、45は抵抗を表している。
(Embodiment 5) FIGS. 6 (a), (b),
(C) shows a part of the semiconductor integrated circuit according to the fifth embodiment. 6A, 6B and 6C, reference numeral 41 denotes an inductance, and 45 denotes a resistance.

【0068】図6(a)によれば、サージ保護回路43
と半導体集積回路の一部42であるトランジスタ回路の
入出力間に前記サージ保護用のダイオード43‐前記入
力回路及び出力回路間のインピーダンスが高くなるよう
に並列共振するようなキャパシタンス27とインダクタ
ンス41が配置されている。
According to FIG. 6A, the surge protection circuit 43
Between the input and output of the transistor circuit, which is a part 42 of the semiconductor integrated circuit, the capacitance 27 and the inductance 41 that resonate in parallel so that the impedance between the surge protection diode 43 and the input circuit and the output circuit increases. Are located.

【0069】すなわち、高周波域において、前記入力回
路及び前記出力回路間の経路であって前記サージ保護用
ダイオード43を経由した経路のインピーダンスが高く
なるように配置されている。
That is, in the high frequency range, the path between the input circuit and the output circuit, that is, the path through the surge protection diode 43 is arranged to have a high impedance.

【0070】従って、前記キャパシタ27とインダクタ
ンス41は、サージ保護ダイオードの浮遊容量と前記第
1の実施の形態である図1(b)のボンディング・ワイ
ヤー25によるインダクタンス成分との直列共振による
フィードバックを抑圧する。このような回路構成とする
ことにより安定係数、最大有能電力利得等の高周波特性
の劣化の改善が実現できる。
Therefore, the capacitor 27 and the inductance 41 suppress feedback due to series resonance between the stray capacitance of the surge protection diode and the inductance component of the bonding wire 25 of FIG. 1B of the first embodiment. I do. With such a circuit configuration, deterioration of high-frequency characteristics such as a stability coefficient and a maximum available power gain can be improved.

【0071】図6(b)によれば、サージ保護回路43
と半導体集積回路の一部42であるトランジスタ回路の
入出力間に前記サージ保護用のダイオード43‐前記入
力回路及び出力回路間のインピーダンスが高くなるよう
なインダクタンス41が形成されている。
According to FIG. 6B, the surge protection circuit 43
Between the input and output of the transistor circuit which is a part 42 of the semiconductor integrated circuit, there is formed an inductance 41 for increasing the impedance between the surge protection diode 43 and the input and output circuits.

【0072】すなわち、高周波域において、前記入力回
路及び前記出力回路間の経路であって前記サージ保護用
ダイオード43を経由した経路のインピーダンスが高く
なるように配置されている。
That is, in a high-frequency range, a path between the input circuit and the output circuit, which passes through the surge protection diode 43, is arranged to have a high impedance.

【0073】従って、前記インダクタンス41は、サー
ジ保護ダイオードの浮遊容量と前記第1の実施の形態で
ある図1(b)のボンディング・ワイヤー25によるイ
ンダクタンス成分との直列共振によるフィードバックを
抑圧する。このような回路構成にすることにより安定係
数、最大有能電力利得等の高周波特性の劣化の改善が実
現できる。
Therefore, the inductance 41 suppresses feedback due to series resonance between the stray capacitance of the surge protection diode and the inductance component of the bonding wire 25 of FIG. 1B according to the first embodiment. With such a circuit configuration, it is possible to improve deterioration of high-frequency characteristics such as a stability coefficient and a maximum available power gain.

【0074】図6(c)によれば、サージ保護回路43
と半導体集積回路の一部42であるトランジスタ回路の
入出力間に抵抗45を形成している。すなわち、高周波
域において、前記入力回路及び前記出力回路間の経路で
あって前記サージ保護用ダイオードを経由した経路のイ
ンピーダンスが高くなるように配置されている。
According to FIG. 6C, the surge protection circuit 43
A resistor 45 is formed between the input and output of the transistor circuit which is a part 42 of the semiconductor integrated circuit. That is, in the high frequency range, the impedance is arranged such that the impedance of the path between the input circuit and the output circuit, which passes through the surge protection diode, is high.

【0075】従って、前記抵抗45は、サージ保護ダイ
オードの浮遊容量と前記第1の実施の形態である図1
(b)のボンディング・ワイヤーによるインダクタンス
成分との直列共振によるフィードバックを減衰させる。
Accordingly, the resistor 45 is provided between the stray capacitance of the surge protection diode and the first embodiment shown in FIG.
(B) Attenuation of feedback due to series resonance with an inductance component due to the bonding wire.

【0076】このような回路構成にすることにより安定
係数、最大有能電力利得等の高周波特性の劣化の改善が
実現できる。
By adopting such a circuit configuration, it is possible to improve deterioration of high-frequency characteristics such as a stability coefficient and a maximum available power gain.

【0077】このように、本実施の形態によれば、サー
ジ保護回路と半導体集積回路の一部であるトランジスタ
回路の入出力間に前記サージ保護用ダイオード‐前記入
力回路及び出力回路間に並列共振するようなキャパシ
タ、インダクタ挿入することにより、前記サージ保護用
ダイオード‐前記入力回路及び出力回路間の高インピー
ダンスを実現して、前記トランジスタ回路のフィードバ
ックを抑圧する。このような構成にすることにより安定
係数、最大有能電力利得等の高周波特性の劣化が改善さ
れる。
As described above, according to the present embodiment, the parallel resonance between the surge protection diode and the input and output circuits is performed between the input and output of the surge protection circuit and the transistor circuit which is a part of the semiconductor integrated circuit. By inserting a capacitor and an inductor as described above, a high impedance between the surge protection diode and the input circuit and the output circuit is realized, and the feedback of the transistor circuit is suppressed. With such a configuration, deterioration of high frequency characteristics such as a stability coefficient and a maximum available power gain is improved.

【0078】また、サージ保護回路と半導体集積回路の
一部であるトランジスタ回路の入出力間に前記サージ保
護用ダイオード‐前記入力回路及び出力回路間のインピ
ーダンスが高くなるようなインダクタンスを挿入するこ
とにより、前記トランジスタ回路のフィードバックを抑
圧する。このような構成にすることにより安定係数、最
大有能電力利得等の高周波特性の劣化が少ない素子数で
改善されるので、容易にサージ保護回路を形成すること
が出来るという効果が得られる。
Further, by inserting an inductance such that the impedance between the surge protection diode and the input circuit and the output circuit is increased between the input and output of the surge protection circuit and the transistor circuit which is a part of the semiconductor integrated circuit. , Suppressing the feedback of the transistor circuit. With such a configuration, deterioration of high-frequency characteristics such as a stability coefficient and a maximum available power gain is improved with a small number of elements, so that an effect that a surge protection circuit can be easily formed can be obtained.

【0079】また、サージ保護回路と半導体集積回路の
一部であるトランジスタ回路の入出力間に前記サージ保
護用ダイオード‐前記入力回路及び出力回路間にのイン
ピーダンスが高くなるような抵抗を挿入することによ
り、前記トランジスタ回路のフィードバックを減衰させ
抑圧する。このような構成にすることにより安定係数、
最大有能電力利得等の高周波特性の劣化を少ない素子数
で改善されるので、容易にIC化が可能という効果が得
られる。
Further, a resistor is inserted between the surge protection circuit and the transistor circuit which is a part of the semiconductor integrated circuit so that the impedance between the surge protection diode and the input circuit and the output circuit becomes high. Thereby, the feedback of the transistor circuit is attenuated and suppressed. With such a configuration, the stability coefficient,
Since the deterioration of the high-frequency characteristics such as the maximum available power gain can be improved with a small number of elements, the effect that the IC can be easily realized is obtained.

【0080】[0080]

【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に。本発明は、高周波において使用してもボンディング
ワイヤーのインダクタンス成分が高周波特性をまねかな
い半導体集積回路を提供することが出来る。
As is clear from the above description. The present invention can provide a semiconductor integrated circuit in which an inductance component of a bonding wire does not cause high-frequency characteristics even when used at a high frequency.

【0081】また、本発明は、サージ保護ダイオードの
浮遊容量と外部接続のためのボンディング・ワイヤーに
よるインダクタンス成分の共振により安定係数、利得な
どの高周波特性が劣化しないサージ保護回路を提供する
ことが出来る。
Further, the present invention can provide a surge protection circuit in which high frequency characteristics such as a stability coefficient and a gain are not deteriorated by resonance of a stray capacitance of a surge protection diode and an inductance component due to a bonding wire for external connection. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態を表す無線通信回路の受信部
及び前記無線通信回路の受信フロントエンド部の構成図
FIG. 1 is a configuration diagram of a reception unit of a wireless communication circuit and a reception front-end unit of the wireless communication circuit according to a first embodiment.

【図2】第2の実施の形態を表す半導体集積回路の一部
の構成図
FIG. 2 is a configuration diagram of a part of a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment;

【図3】第3の実施例を表す半導体集積回路IC内部の一
部の断面図
FIG. 3 is a sectional view of a part of the inside of a semiconductor integrated circuit IC showing a third embodiment;

【図4】第4実施の形態を表す半導体集積回路IC内部の
一部の断面図
FIG. 4 is a sectional view of a part of the inside of a semiconductor integrated circuit IC showing a fourth embodiment;

【図5】第5の実施の形態を表す半導体集積回路ICの断
面図
FIG. 5 is a sectional view of a semiconductor integrated circuit IC according to a fifth embodiment;

【図6】第6の実施の形態を表す半導体集積回路の一部
の構成図
FIG. 6 is a configuration diagram of a part of a semiconductor integrated circuit according to a sixth embodiment;

【図7】従来技術による半導体集積回路のパット−接地
間のボンディング方法の鳥瞰図
FIG. 7 is a bird's-eye view of a pad-ground bonding method of a semiconductor integrated circuit according to the related art.

【図8】従来技術によるボンディング・ワイヤーのイン
ダクタンス成分を低減する方法を示す図
FIG. 8 is a diagram showing a method for reducing the inductance component of a bonding wire according to the related art.

【図9】従来技術による半導体集積回路のサージ保護回
FIG. 9 shows a surge protection circuit for a semiconductor integrated circuit according to the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 アンテナ 12 積層RFフィルタ 13 スイッチ 14 IFフィルタ 15 LNA 16 段間積層RFフィルタ 17 VCO 18 MIXER 19 復調器 20 ベースバンドLSI 21 受信フロントエンド部 22 無線通信回路の受信部 23 半導体集積回路 24 積層基板 25 ボンディング・ワイヤー 26 積層基板の内部 27 キャパシタンス 28 接地点 29 ボンディング・ワイヤーによるインダクタ 30 NPNトランジスタ 31 信号源 32 キャパシタンス形成部 33 第1配線層 34 接地用引出し配線 35 第2配線層 36 層間膜 37 グランドパットへの引き出し口 38 半導体集積回路ICの内部 39 インターディジタル型キャパシタンス形成部 40 半導体集積回路の断面図の一部 41 インダクタ 42 半導体集積回路の一部 43 サージ保護ダイオード 44 電源 45 抵抗 46 接地面 47 グランドポスト 48 コンタクト部 REFERENCE SIGNS LIST 11 antenna 12 multilayer RF filter 13 switch 14 IF filter 15 LNA 16 interstage multilayer RF filter 17 VCO 18 MIXER 19 demodulator 20 baseband LSI 21 reception front end unit 22 reception unit of wireless communication circuit 23 semiconductor integrated circuit 24 multilayer substrate 25 Bonding wire 26 Inside of laminated substrate 27 Capacitance 28 Grounding point 29 Inductor by bonding wire 30 NPN transistor 31 Signal source 32 Capacitance forming part 33 First wiring layer 34 Ground wiring 35 Second wiring layer 36 Interlayer film 37 Ground pad 38 Internal of semiconductor integrated circuit IC 39 Interdigital capacitance forming section 40 Part of sectional view of semiconductor integrated circuit 41 Inductor 42 Semiconductor integrated circuit Some 43 surge protection diode 44 power source 45 resistor 46 ground plane 47 ground post 48 contacts portion

フロントページの続き (72)発明者 安藤 敏晃 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 坂倉 真 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5F038 AZ05 BH03 BH04 BH11 BH13 EZ20 Continued on the front page (72) Inventor Toshiaki Ando 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. ) 5F038 AZ05 BH03 BH04 BH11 BH13 EZ20

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体素子を含む回路と、 前記回路に接続され、前記回路の基準電位を保つための
接地用電極と、 前記接地用電極と外部の接地体とを接続するリード端子
が有するインダクタンス成分と直列共振を起こすような
キャパシタンスとを備え、 前記キャパシタンスは、前記直列共振の共振周波数にお
いて、前記接地用電極と前記外部の接地体との間のイン
ピーダンスが実質上零になるように構成されていること
を特徴とする半導体集積回路。
1. A circuit including a semiconductor element, a ground electrode connected to the circuit for maintaining a reference potential of the circuit, and a lead terminal connected to the ground electrode and an external grounding body. A capacitance that causes series resonance with the component, wherein the capacitance is configured such that at the resonance frequency of the series resonance, the impedance between the grounding electrode and the external grounding body is substantially zero. A semiconductor integrated circuit characterized by:
【請求項2】 前記回路は、無線通信回路のフロントエ
ンド部の回路であり、 前記キャパシタンスは、金属板により形成されることを
特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein said circuit is a circuit of a front end portion of a wireless communication circuit, and said capacitance is formed by a metal plate.
【請求項3】 表面に前記回路が形成されている基板を
備え、 前記キャパシタンスは前記基板の内部に形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積
回路。
3. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising a substrate having a surface on which the circuit is formed, wherein the capacitance is formed inside the substrate.
【請求項4】 前記キャパシタンスは前記回路内に形成
されていることを特徴とする請求項1または2に記載の
半導体集積回路。
4. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein said capacitance is formed in said circuit.
【請求項5】 前記回路は、複数の配線層を有し、 前記キャパシタンスは、前記複数の配線層の全部または
一部により形成されていることを特徴とする請求項4記
載の半導体集積回路。
5. The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein the circuit has a plurality of wiring layers, and the capacitance is formed by all or a part of the plurality of wiring layers.
【請求項6】 前記複数の配線層とは、前記接地用電極
に接続された第1の配線層と、 前記接地用電極への引き出し配線が形成されている第2
の配線層であり、 前記第1の配線層と前記第2の配線層との間には、層間
膜が形成されており、 前記キャパシタンスは、前記引き出し配線を利用して前
記第1の配線層と前記第2の配線層とにより形成されて
いることを特徴とする請求項5記載の半導体集積回路。
6. The plurality of wiring layers, a first wiring layer connected to the grounding electrode, and a second wiring layer formed with a lead-out wiring to the grounding electrode.
An interlayer film is formed between the first wiring layer and the second wiring layer, and the capacitance is determined by using the lead-out wiring. 6. The semiconductor integrated circuit according to claim 5, wherein said semiconductor integrated circuit is formed by said first wiring layer and said second wiring layer.
【請求項7】 前記回路は、前記接地用電極に接続され
た、前記接地用電極への引き出し配線が形成されている
配線層を有し、 前記キャパシタンスは、前記引き出し配線を利用して前
記配線層により形成されていることを特徴とする請求項
4記載の半導体集積回路。
7. The circuit has a wiring layer connected to the grounding electrode and formed with a lead-out wiring to the grounding electrode, and the capacitance is obtained by using the lead-out wiring. The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein the semiconductor integrated circuit is formed of a layer.
【請求項8】 前記キャパシタンスは、MIM構造によ
って形成されていることを特徴とする請求項4〜7のい
ずれかに記載の半導体集積回路。
8. The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein said capacitance is formed by an MIM structure.
【請求項9】 前記キャパシタンスは、インターデジタ
ル型構造によって形成されていることを特徴とする請求
項4〜7のいずれかに記載の半導体集積回路。
9. The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein said capacitance is formed by an interdigital structure.
【請求項10】 前記回路は、前記接地用電極まで引き
出された接地のための引き出し配線を有し、 前記キャパシタンスは、前記接地用電極と前記引き出し
配線により形成されていることを特徴とする請求項3記
載の半導体集積回路。
10. The circuit according to claim 1, wherein the circuit has a lead wire for grounding, which is drawn to the ground electrode, and the capacitance is formed by the ground electrode and the lead wire. Item 4. A semiconductor integrated circuit according to item 3.
【請求項11】 半導体集積回路を構成する所定のトラ
ンジスタ回路の入力回路と電源部との間、及び前記入力
回路と接地部との間、及び前記トランジスタの出力回路
と電源部との間、及び前記出力回路と接地部との間にそ
れぞれ設けられたサージ保護用ダイオードと、 高周波域において、前記入力回路及び前記出力回路間の
経路であって前記サージ保護用ダイオードを経由した経
路のインピーダンスが高くなるような受動素子とを備え
たことを特徴とするサージ保護回路。
11. A power supply section between an input circuit of a predetermined transistor circuit and a power supply section, a power supply section between the input circuit and a ground section, an output circuit of the transistor and a power supply section, and A surge protection diode provided between the output circuit and the grounding unit; and a high-frequency path having a high impedance between a path between the input circuit and the output circuit and a path passing through the surge protection diode. A surge protection circuit comprising: a passive element.
【請求項12】 前記受動素子とは、キャパシタンスと
インダクタンスであり、 前記受動素子は、前記サージ保護用のダイオードの浮遊
キャパシタンス成分と、前記サージ保護用ダイオードと
前記接地部及び前記電源部とをそれぞれ接続するための
外部接続用リード端子のインダクタンス成分との間に並
列共振を起こすように配置されていることを特徴とする
請求項11記載のサージ保護回路。
12. The passive element is a capacitance and an inductance, and the passive element includes a stray capacitance component of the surge protection diode, the surge protection diode, the ground unit, and the power supply unit. 12. The surge protection circuit according to claim 11, wherein the surge protection circuit is arranged so as to cause parallel resonance with an inductance component of an external connection lead terminal for connection.
【請求項13】 前記受動素子とは、インダクタンスで
あり、 前記受動素子は、前記サージ保護用のダイオードの浮遊
キャパシタンス成分と前記接地部及び前記電源部とをそ
れぞれ接続するための外部接続用リード端子のインダク
タンス成分との直列共振を抑圧するように配置されてい
ることを特徴とする請求項11記載のサージ保護回路。
13. The passive element is an inductance, and the passive element is an external connection lead terminal for connecting a stray capacitance component of the surge protection diode to the ground section and the power supply section, respectively. 12. The surge protection circuit according to claim 11, wherein the surge protection circuit is arranged so as to suppress series resonance with the inductance component of (1).
【請求項14】 前記受動素子とは、抵抗であり、 前記受動素子は、前記サージ保護用のダイオードの浮遊
キャパシタンス成分と前記接地部及び前記電源部とをそ
れぞれ接続するための外部接続用リード端子のインダク
タンス成分との直列共振を減衰させるように配置されて
いることを特徴とする請求項11記載のサージ保護回
路。
14. The passive element is a resistor, and the passive element is an external connection lead terminal for connecting a stray capacitance component of the surge protection diode to the grounding section and the power supply section. 12. The surge protection circuit according to claim 11, wherein the surge protection circuit is arranged to attenuate a series resonance with the inductance component of (1).
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