JP2002122747A - グレーティング型光部品およびその製造方法およびグレーティング型光部品の製造に用いられるマスクおよびグレーティング型光部品を用いた光モジュール。 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 互いに異なる複数の波長の光を反射すること
ができ、損失が小さく、コストが安いグレーティング型
光部品を提供する。 【解決手段】 光ファイバ２の長さ方向に直列に反射波
長の異なる複数種のグレーティング６ａ〜６ｄを一括配
列形成し、グレーティング同士の間に融着接続部のない
グレーティング型光部品とする。グレーティング６ａ〜
６ｄの温度依存性を補償する温度補償パッケージ３Ｎ内
に複数種の直列グレーティング６ａ〜６ｄを一括収容す
る。グレーティング６ａ〜６ｄの形成は、互いに異なる
複数のグレーティング形成パターン１ａ〜１ｄを直列に
横列形成したフェイズマスク８Ｎの各グレーティング形
成パターン１ａ〜１ｄを光ファイバ２に対向するように
して、該光ファイバ２をフェイズマスク８Ｎによって覆
い、フェイズマスク８Ｎを介して光ファイバ２に紫外光
照射して行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ等の光
導波路のグレーティング形成領域にグレーティングを施
して形成されるグレーティング型光部品およびその製造
方法およびグレーティング型光部品の製造に用いられる
マスクおよびグレーティング型光部品を用いた光モジュ
ールに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】情報化社会の発展により、通信情報量が
飛躍的に増大する傾向にあり、光ファイバ通信における
高速大容量化は、必要かつ、不可欠の課題となってい
る。近年、この高速大容量化へのアプローチとして、異
なる複数の波長の信号光を１本の光ファイバで伝送する
波長多重伝送方式の検討が行なわれている。

【０００３】この波長多重伝送方式の光通信システムに
おいて、例えば波長多重伝送される光から予め定められ
た波長帯の光を選択的に反射させることにより、この反
射光をシステム監視用の光として用いることが検討され
ており、前記波長帯の光を選択的に反射させ、この波長
帯以外の波長の光を選択的に透過させるフィルタとし
て、光ファイバ等の光導波路にグレーティングを施した
グレーティング型光部品が用いられている。

【０００４】上記グレーティングは、光ファイバ等の光
導波路の長手方向に沿って周期的な屈折率変化を起こさ
せ、回折格子を形成したものである。グレーティングの
形成方法としては、マスク（フェイズマスク）を用いて
形成するフェイズマスク法が広く用いられている。この
フェイズマスク法は、光ファイバ等の光導波路のグレー
ティング形成領域に、グレーティング形成パターンを備
えたマスク（フェイズマスク）を介して紫外光を照射
し、この紫外光照射による屈折率の高い部分と紫外光遮
蔽による屈折率の低い部分を光導波路の長手方向に周期
的に配列してグレーティングを施すものである。

【０００５】光ファイバのコアは、一般に、ゲルマニウ
ム(Ｇｅ)ドープ石英(ＳｉＯ_２)ガラスにより形成されて
いる。このようなゲルマニウムドープ石英ガラスのコア
を有する光ファイバ等の光導波路に強い紫外光を照射す
ると、コア内のゲルマニウムの作用によりコアの屈折率
が高まるため、光ファイバ上にフェイズマスクを介して
紫外光の干渉縞を投影することにより、光ファイバのコ
ア内に周期的な屈折率変化を起こさせ、回折格子を形成
することができる。

【０００６】なお、従来、グレーティングは光ファイバ
等の光導波路のコア内に周期的な屈折率変化を施して形
成されていたが、光ファイバ等のクラッドにもゲルマニ
ウムドープ石英ガラスを適用すれば、同様に、クラッド
にも上記と同様の屈折率変化を起こさせて回折格子を形
成することができるので、クラッドにもグレーティング
を形成することも考えられる。また、グレーティング形
成方法としては、フェイズマスク法の他に、マスクを用
いないホログラフィック法等もある。

【０００７】上記グレーティングにより、信号波長とは
異なる波長帯の透過光阻止帯域を形成すると、このグレ
ーティングを形成したグレーティング型光部品の入力端
から、信号光と前記透過光阻止帯域の波長帯を有する監
視光を入力したときに、信号光はグレーティング型光部
品を透過し、一方、監視光はグレーティング光部品によ
り前記入力端側に反射する。したがって、信号光をグレ
ーティング型光部品の出力端側から取り出し、監視光を
グレーティング型光部品の入力端から取り出すことがで
きる。

【０００８】ところで、前記波長多重光伝送方式の光通
信システムにおいて、従来、多重伝送される波長数は、
例えば８波、１６波といった比較的少ない波長数であっ
たが、近年、光通信システムの高速大容量化が進み、例
えば１６０波といった波長数の多い光を多重伝送する光
通信システムの開発が行なわれている。また、それに伴
い、上記のように監視光を取り出すことができるグレー
ティング型光部品以外に、波長多重光から４波、２０波
といった複数の波長の光を選択的に反射する、多波長反
射フィルタ機能を備えたグレーティング型光部品が要求
されるようになった。

【０００９】図５の（ｄ）には、このような要求に応じ
るために提案された光モジュールの一例が示されてお
り、この光モジュールは、上記多波長反射フィルタ機能
を備えたグレーティング型光部品を有している。この光
モジュールは、ＯＡＤＭ（Ｏｐｔｉｃａｌ ＡＤＤ／Ｄ
ＲＯＰ Ｍｕｌｔｉｐｅｘｅｒ）モジュールであり、ア
ド・ドロップモジュールと呼ばれることもある。

【００１０】以下、図５の（ａ）〜（ｄ）を参照し、前
記提案例のＯＡＤＭモジュールの製造方法および構成お
よび動作について説明する。従来、グレーティング型光
部品に形成していたグレーティングは１つのみであり、
グレーティング型光部品形成用のフェイズマスクには、
１つのグレーティング形成パターンが形成されている。
そこで、複数種のグレーティングを形成したい場合に
は、同図の（ａ）に示すように、まず、互いに異なるグ
レーティング形成パターン１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを有
する複数（同図では４枚）のフェイズマスク８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄを用意する。

【００１１】次に、同図の（ｂ）に示すように、それぞ
れの光ファイバ２ａ〜２ｄを、対応するフェイズマスク
８ａ〜８ｄで覆い、フェイズマスク８ａを介して光ファ
イバ２ａに紫外光（ＵＶ光）を照射し、フェイズマスク
８ｂを介して光ファイバ２ｂに紫外光を照射し、フェイ
ズマスク８ｃを介して光ファイバ２ｃに紫外光を照射
し、フェイズマスク８ｄを介して光ファイバ２ｄに紫外
光を照射する。

【００１２】上記のように、各フェイズマスク８ａ〜８
ｄを介して各光ファイバ２ａ〜２ｄに紫外光照射を行な
うと、各光ファイバ２ａ〜２ｄに、それぞれ、反射波長
の異なるグレーティング６ａ〜６ｄが形成される。な
お、同図においては、グレーティング６ａは波長λＡの
光を反射するものとし、グレーティング６ｂは波長λＢ
の光を反射するものとし、グレーティング６ｃは波長λ
Ｃの光を反射するものとし、グレーティング６ｄは波長
λＤの光を反射するものとしている。その後、各グレー
ティング６ａ〜６ｄを、グレーティングの温度依存性を
補償する温度補償パッケージ３ａ〜３ｄにそれぞれ個別
に収容する。

【００１３】その後、同図の（ｃ）に示すように、上記
光ファイバ２ａ〜２ｄを、融着接続部４で融着接続して
直列に接続し、１本の光ファイバ２とする。そして、同
図の（ｄ）に示すように、複数種の直列グレーティング
６ａ〜６ｄの形成部を挟む両側にサーキュレータ１０
ａ，１０ｂを接続する。その後、複数のグレーティング
６ａ〜６ｄの形成部およびサーキュレータ１０ａ，１０
ｂをパッケージ５に収容する。

【００１４】また、サーキュレータ１０ａの入力端子に
は光の入力ポート（Ｉｎポート）１１を接続し、サーキ
ュレータ１０ａの出力端子にはドロップポート（Ｄｒｏ
ｐポート）１２を接続し、サーキュレータ１０ｂの入力
端子にはアドポート（Ａｄｄポート）１３を接続し、サ
ーキュレータ１０ｂの出力端子には出力ポート（Ｏｕｔ
ポート）１４を接続し、ＯＡＤＭモジュールを完成させ
る。

【００１５】なお、図５の（ａ）、（ｂ）に示した工程
の代わりに、例えば図６に示すように、１つのフェイズ
マスク８ａを用いて複数種のグレーティング６ａ〜６ｄ
を形成する方法を用いることもある。この場合は、ま
ず、光ファイバ２ａに張力Ａを加えた状態でフェイズマ
スク８ａを介して紫外光照射を行ない、光ファイバ２ｂ
には張力Ｂを加えた状態でフェイズマスク８ａを介して
紫外光照射を行ない、同様に、光ファイバ２ｃ，２ｄに
も、それぞれ、張力Ｃ，Ｄを加えた状態でフェイズマス
ク８ａを介して紫外光照射を行なう。

【００１６】その後、上記張力Ａ〜Ｄは除かれる。そう
すると、各光ファイバ２ａ〜２ｄに形成されたグレーテ
ィング６ａ〜６ｄが互いに異なるパターンとなって、図
５の（ａ）、（ｂ）に示した製造方法を用いた場合と同
様に、各光ファイバ２ａ〜２ｄに、それぞれ、反射波長
の異なるグレーティング６ａ〜６ｄが形成される。各グ
レーティング６ａ〜６ｄは、それぞれ個別に、温度補償
パッケージ３ａ〜３ｄに収容される。

【００１７】この場合も、グレーティング形成後は、図
５の（ｃ）、（ｄ）に示した工程と同様の工程により、
光ファイバ２を融着接続して直列グレーティング６ａ〜
６ｄの形成部を有するＯＡＤＭモジュールを製造する。

【００１８】ＯＡＤＭモジュールを上記各製造方法によ
って製造し、上記構成とすると、例えば図５の（ｄ）に
示すように、入力ポート１１から波長λＡ，λａ，λ
Ｂ，λｂ，λＣ，λｃ，λＤ，λｄの光を多重入力した
ときに、グレーティング６ａによって波長λＡの光を反
射し、グレーティング６ｂによって波長λＢの光を反射
し、グレーティング６ｃによって波長λＣの光を反射
し、グレーティング６ｄによって波長λＤの光を反射
し、これらの波長λＡ，λＢ，λＣ，λＤの反射光をド
ロップポート１２から取り出すことができる。

【００１９】また、上記グレーティング６ａ，６ｂ，６
ｃ，６ｄを全て透過した、波長λａ，λｂ，λｃ，λｄ
の光は、出力ポート１４から出力される。さらに、アド
ポート１３から波長λＡ，λＢ，λＣ，λＤの光を入力
すると、これらの光は、直列グレーティング６ａ〜６ｄ
の形成部側に入射して、上記と同様に各グレーティング
６ａ〜６ｄで反射し、出力ポート１４から出力される。

【００２０】図７の（ａ）には、上記提案例のＯＡＤＭ
モジュールの例として、グレーティング６ａ，６ｂ，６
ｃ，６ｄによってそれぞれ波長λ１，λ３，λ５，λ７
の光を反射して取り出す４波ＯＡＤＭモジュールの構成
および動作が示されている。このＯＡＤＭモジュールに
おいては、光入力ポート１１から、例えば波長λ１，λ
２，λ３，λ４，λ５，λ６，λ７，λ８の光を多重入
力したときに、グレーティング６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ
によってそれぞれ波長λ１，λ３，λ５，λ７の光を反
射し、これらの反射光をドロップポート１２から取り出
す。

【００２１】また、この４波ＯＡＤＭモジュールにおい
ては、上記グレーティング６ａ〜６ｄを全て透過した、
波長λ２，λ４，λ６，λ８の光と、アドポート１３か
ら入力されてグレーティング６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに
よってそれぞれ反射した波長λ１，λ３，λ５，λ７の
光が共に、出力ポート１４から出力される。

【００２２】また、同図の（ｂ）には、上記提案例のＯ
ＡＤＭモジュールとして、グレーティング６ａ，６ｂ，
・・・６ｇ，６ｈによってそれぞれ波長λ１，λ３，・
・・λ１３，λ１５の光を反射し、これらの反射光をド
ロップポート１２から取り出す８波ＯＡＤＭモジュール
の構成および動作が示されている。

【００２３】この８波ＯＡＤＭモジュールにおいては、
光入力ポート１１から、例えば波長λ１，λ２，λ３，
λ４，λ５，λ６，・・・λ１４，λ１５，λ１６の光
を多重入力したときに、グレーティング６ａ，６ｂ，・
・・６ｇ，６ｈによってそれぞれ波長λ１，λ３，・・
・λ１３，λ１５の光を反射し、これらの反射光をドロ
ップポート１２から取り出す。

【００２４】また、このＯＡＤＭモジュールにおいて
は、上記グレーティング６ａ〜６ｈを全て透過した、波
長λ２，λ４，・・・λ１４，λ１６の光と、アドポー
ト１３から入力されてグレーティング６ａ〜６ｈによっ
てそれぞれ反射した波長λ１，λ３・・・，λ１３，λ
１５の光が共に、出力ポート１４から出力される。

【００２５】グレーティング型光部品の別の例として、
図８に示すようなカスケードフィルタモジュール（櫛歯
型フィルタ）も提案されている。これらのカスケードフ
ィルタモジュールは、上記ＯＡＤＭモジュールにおける
サーキュレータ１０ａ，１０ｂとドロップポート１２
と、アドポート１３を省略し、サーキュレータ１０ａの
代わりに光アイソレータ１０ｃを配して構成されてい
る。

【００２６】図８の（ａ）には、グレーティング６ａ，
６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅを有し、各グレーティング６
ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅによって波長λａ，λｂ，
λｃ，λｄ，λｅの光を反射することにより、入力ポー
ト１１から多重入力された波長λａ，λｂ，λｃ，λ
ｄ，λｅ，λｆ，λｇ・・・の光のうち、波長λｆ，λ
ｇ，λｈ，・・・の光を選択的に光出力ポート１４から
出力する５波カスケードフィルタモジュールが示されて
いる。

【００２７】また、同図の（ｂ）には、グレーティング
６ａ，６ｂ，・・・６ｏ，６ｐを有し、各グレーティン
グ６ａ，６ｂ，・・・６ｏ，６ｐによって波長λａ，λ
ｂ，・・・λｏ，λｐの光を反射することにより、入力
ポート１１から多重入力された波長λａ，λｂ，λｃ，
λｄ・・・λｐ，λｑ・・・の光のうち、波長λｑ，λ
ｒ，λｓ，・・・の光を選択的に光出力ポート１４から
出力する１６波カスケードフィルタモジュールが示され
ている。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、グレーティ
ングを形成する光ファイバは、例えばフッ素などのドー
パントをドープして形成されることが多く、このような
光ファイバの組成に起因して、一般的に光伝送用として
用いられている光ファイバ同士の融着接続損失に比べ、
グレーティング形成用光ファイバ同士の融着接続損失は
大きい。

【００２９】しかしながら、上記提案例のグレーティン
グ型光部品の製造方法は、いずれも、異なるパターンの
グレーティング６ａ，６ｂ，・・・を異なる光ファイバ
２ａ，２ｂ，・・・に個別に形成し、グレーティング６
ａ，６ｂ，・・・を形成した光ファイバ２ａ，２ｂ，・
・・を融着接続部４で融着接続して直列配列するもので
ある。そのため、上記製造方法を適用して形成される提
案例のグレーティング型光部品は、融着接続部４の数が
多く、その分だけグレーティング型光部品全体における
光損失が大きくなってしまうといった問題があった。

【００３０】また、融着接続部４の数が多い分だけ、融
着接続コストが高くなるために、提案例のグレーティン
グ型光部品およびＯＡＤＭモジュール等の光モジュール
は、そのコストが高くなってしまうといった問題もあっ
た。

【００３１】さらに、温度補償パッケージ３ａ，３ｂ，
・・・は、非常に高価なものであるにもかかわらず、上
記提案例のグレーティング型光部品においては、各グレ
ーティング６ａ，６ｂ・・・ごとに、それぞれ個別に温
度補償パッケージ３ａ，３ｂ，・・・に収容するため
に、グレーティング型光部品およびＯＡＤＭモジュール
等の光モジュールのコストが非常に高くなってしまうと
いった問題もあった。

【００３２】さらに、上記提案例のグレーティング型光
部品を用いたＯＡＤＭモジュールにおいては、以下のよ
うな問題があった。例えば図７に示したＯＡＤＭモジュ
ールにおいて、波長λ１の光は、入力ポート１１から入
力されて図の最左側の融着接続部４を通った後にグレー
ティング６ａで反射し、再び図の最左側の融着接続部４
を通ってドロップポート１２から取り出される。また、
波長λ２の反射光は、図の最左側の融着接続部４とその
右側の融着接続部（グレーティング６ａとグレーティン
グ６ｂとの間の融着接続部）４の２つの融着接続部４を
通った後にグレーティング６ｂで反射し、再び、上記２
つの融着接続部４を通ってドロップポート１２から取り
出される。

【００３３】このように、上記提案例のＯＡＤＭモジュ
ールにおいて、ファイバグレーティング６ａ〜６ｈによ
ってそれぞれ反射する反射波長の異なる光が、入力ポー
ト１１とドロップポート１２の間で往復する（入力ポー
ト１１から各グレーティング６ａ，６ｂ，・・・まで伝
送し、各グレーティング６ａ，６ｂ，・・・で反射して
ドロップポート１２まで伝送する）のに通る融着接続部
４の個数は互いに異なる。したがって、上記ＯＡＤＭモ
ジュールにおいてドロップポート１２から取り出される
光の強度が、波長ごとに異なるといった問題もあった。

【００３４】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたものであり、その目的は、互いに異なる複数
の波長の光を反射することができ、これらの反射光強度
の均一性が高く、かつ、光部品全体としての損失が小さ
く、コストが安いグレーティング型光部品およびグレー
ティング型光部品を用いた光モジュールを提供すること
と、このような優れたグレーティング型光部品を容易に
製造できるグレーティング型光部品の製造方法およびそ
の製造方法に用いられるマスクを提供することにある。

【００３５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第１の発明のグレーテ
ィング型光部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路
に複数種のグレーティングが一括して形成されている構
成をもって課題を解決する手段としている。

【００３６】また、第２の発明のグレーティング型光部
品は、上記第１の発明の構成に加え、前記複数種のグレ
ーティングがグレーティングの温度依存性を補償する温
度補償パッケージ内に一括して収容されている構成をも
って課題を解決する手段としている。

【００３７】さらに、第３の発明のグレーティング型光
部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路に複数種の
グレーティングが一括して形成されている第１のグレー
ティング部品に、接続箇所を有しない１本の光導波路に
１種以上のグレーティングが一括して形成されているグ
レーティング部品を１つ以上直列に接続して成る構成を
もって課題を解決する手段としている。

【００３８】さらに、第４の発明のグレーティング型光
部品は、上記第３の発明の構成に加え、複数のグレーテ
ィング部品にそれぞれ形成された１種以上のグレーティ
ングは、それぞれのグレーティング部品ごとに、グレー
ティングの温度依存性を補償する温度補償パッケージ内
に一括して収容されている構成をもって課題を解決する
手段としている。

【００３９】さらに、第５の発明のグレーティング型光
部品は、上記第１乃至第４のいずれか一つの発明の構成
に加え、前記光導波路はコアの周りをクラッドで覆って
形成される光ファイバとした構成をもって課題を解決す
る手段としている。

【００４０】さらに、第６の発明のグレーティング型光
部品の製造方法は、マスクに複数の互いに異なるグレー
ティング形成パターンを形成しておき、各グレーティン
グ形成パターンを光導波路に対向するようにして該光導
波路を前記マスクによって覆い、然る後に、前記マスク
を介して前記光導波路に紫外光照射を行なうことによ
り、前記光導波路にグレーティングを一括配列形成する
構成をもって課題を解決する手段としている。

【００４１】さらに、第７の発明のグレーティング型光
部品の製造方法に用いられるマスクは、１枚のマスク内
に複数の異なるグレーティング形成パターンを形成した
構成をもって課題を解決する手段としている。

【００４２】さらに、第８の発明の光モジュールは、上
記第１乃至第５のいずれか１つの発明のグレーティング
型光部品を挟む両端側にサーキュレータを接続し、一方
側のサーキュレータにドロップポートを接続し、他方側
のサーキュレータにアドポートを接続した構成をもって
課題を解決する手段としている。

【００４３】さらに、第９の発明の光モジュールは、上
記第１乃至第５のいずれか１つの発明のグレーティング
型光部品の一端側にアイソレータを接続して他端側に出
力ポートを接続し、前記アイソレータに入力ポートを接
続した構成をもって課題を解決する手段としている。

【００４４】上記構成の第１、第２の発明のグレーティ
ング型光部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路に
複数種のグレーティングを一括して形成したものである
から、複数種のグレーティングを個別に形成してそれぞ
れのグレーティングを融着接続する提案例と異なり、そ
れぞれの種のグレーティング間に接続部（融着接続部）
を有していないので、グレーティング型光部品の全体の
損失を小さくできるし、グレーティング型光部品の製造
コストを安くすることも可能となる。

【００４５】特に、第２の発明のグレーティング型光部
品のように、複数種のグレーティングを温度補償パッケ
ージ内に一括収容すると、高価な温度補償パッケージに
それぞれのグレーティングを個別に収容する場合に比
べ、グレーティング型光部品のコストを格段に安くする
ことが可能となる。

【００４６】また、第３、第４の発明のグレーティング
型光部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路に複数
種のグレーティングが一括して形成されている第１のグ
レーティング部品に、接続箇所を有しない１本の光導波
路に１種以上のグレーティングが一括して形成されてい
るグレーティング部品を１つ以上直列に接続するもので
あるから、複数種のグレーティングを個別に形成してそ
れぞれのグレーティングを融着接続する上記提案例に比
べ、接続部の箇所を格段に少なくすることができる。

【００４７】したがって、第３、第４の発明において
も、グレーティング型光部品の全体の損失を小さくでき
るし、グレーティング型光部品の製造コストを安くする
ことも可能となる。

【００４８】また、第４の発明のグレーティング型光部
品のように、複数のグレーティング部品に形成されたグ
レーティングを、グレーティング部品ごとに温度補償パ
ッケージ内に一括収容すると、第２の発明のグレーティ
ング型光部品と同様に、グレーティング型光部品のコス
トを格段に安くすることが可能となる。

【００４９】そして、本発明のグレーティング型光部品
を用いてＯＡＤＭモジュール等の光モジュールを構成す
れば、それぞれのグレーティングによって反射する反射
波長光の強度をほぼ均一にする、または、光強度格差を
小さくすることが可能となるので、ＯＡＤＭモジュール
においてドロップポートから取り出す光の波長間強度格
差を低減することが可能となる。

【００５０】さらに、上記構成の本発明のグレーティン
グ型光部品の製造方法においては、複数の互いに異なる
グレーティング形成パターンを形成したマスクで光導波
路を覆い、マスクを介して光導波路に紫外光照射を行な
うことにより、前記光導波路にグレーティングを一括配
列形成するために、複数のグレーティングを効率的に形
成できるし、形成されたグレーティング同士の間に接続
部をなくすことが可能となり、また、グレーティング間
の間隔を非常に小さくすることもできる。

【００５１】したがって、本発明のグレーティング型光
部品の製造方法を適用することにより、上記のような優
れた本発明のグレーティング型光部品を容易に製造する
ことが可能となる。

【００５２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係るグレーティ
ング型光部品の第１実施形態例が、その製造方法の概略
と共に模式図によって示されている。

【００５３】本実施形態例のグレーティング型光部品９
Ａは、同図に示すように、接続箇所を有しない１本の光
導波路としての光ファイバ２に、複数種（同図では４
種）のグレーティング６ａ〜６ｄが一括して形成されて
いる光部品である。また、本実施形態例のグレーティン
グ型光部品９Ａは、これらのグレーティング６ａ〜６ｄ
を温度補償パッケージ３Ｎ内に一括して収容している。

【００５４】上記各グレーティング６ａ，６ｂ，６ｃ，
６ｄの反射光波長はそれぞれ、波長λＡ，λＢ，λＣ，
λＤの光である。

【００５５】本実施形態例のグレーティング型光部品９
Ａは以上のように構成されており、次に、その製造方法
について説明する。本実施形態例でもフェイズマスク法
を適用してグレーティング型光部品９Ａを製造している
が、本実施形態例では、同図に示すように、１枚のマス
ク内に複数（同図では４個）の互いに異なるグレーティ
ング形成パターン１ａ〜１ｄを直列に横列形成した特徴
的なフェイズマスク８Ｎを用いている。

【００５６】そして、本実施形態例では、このフェイズ
マスク８Ｎを用い、上記各グレーティング形成パターン
１ａ〜１ｄを光ファイバ２に対向するようにして、光フ
ァイバ２をフェイズマスク８Ｎによって覆い、然る後
に、前記フェイズマスク８Ｎを介して光ファイバ２に紫
外光照射を行なうことにより、光ファイバ２の長さ方向
に直列に反射波長の異なる複数種のグレーティング６ａ
〜６ｄを一括配列形成する。

【００５７】また、本実施形態例において、光ファイバ
２に形成する各グレーティング６ａ〜６ｄの長さは、そ
れぞれ６〜７ｍｍ程度としており、グレーティング同士
の間隔は殆ど零としている。したがって、グレーティン
グ６ａの左端からグレーティング６ｄの右端までの長さ
は３０ｍｍ未満と成しており、紫外光照射用の光源とし
て発振部の長さが約３０ｍｍのエキシマレーザを用いる
ことにより、４種のグレーティング６ａ〜６ｄを一括配
列形成している。

【００５８】なお、グレーティング６ａの左端からグレ
ーティング６ｄの右端までの長さが３０ｍｍ以上であっ
ても、レーザ光をスキャンさせることにより４種のグレ
ーティング６ａ〜６ｄを一括配列形成することが可能で
ある。

【００５９】また、本実施形態例のグレーティング型光
部品９Ａを製造する際に用いるフェイズマスク８Ｎは、
例えば、図５の（ａ）の破線Ｃに示す切断線でそれぞれ
のフェイズマスク８ａ〜８ｄを切断した後、グレーティ
ング形成パターン１ａ〜１ｄを適宜のフェイズマスク保
持具で保持して直列配置し、フェイズマスク間の隙間は
紫外光を遮蔽するフィルムなどの基板またはオイルで覆
うことにより形成することができる。

【００６０】また、１つのフェイズマスク８Ｎに複数の
互いに異なるグレーティング形成パターン１ａ〜１ｄを
形成するには、以下の方法を適用することもできる。す
なわち、まず、周知のホログラフィック法を応用してフ
ォトレジストに複数の互いに異なるグレーティング形成
パターンに対応する干渉縞を形成し、このフォトレジス
トと一体になった石英板をエッチングする。その後、有
機溶剤（例えばアセトン）や酸素プラズマを使用してフ
ォトレジストを除去することによって、石英板に、互い
に異なるグレーティング形成パターン１ａ〜１ｄの凹凸
を設ける方法でフェイズマスクを作ることもできる。

【００６１】例えば図９に示すように、フォトレジスト
１８の面と垂直にビームスプリッタ１６を固定配置す
る。また、例えばミラー１７ａと１７ｂの反射面をフォ
トレジスト１８の面と垂直に、かつ、ミラー１７ａ，１
７ｂを図に示す垂直線Ｒ（ビームスプリッタ１６のフォ
トレジスト１８側への延長線）に対称に配置する。

【００６２】そして、紫外光をビームスプリッタ１６で
分離させてミラー１７ａ，１７ｂのそれぞれの反射面に
入射させ、これらのミラー１７ａ，１７ｂでの反射光を
共にフォトレジスト１８上に入射させる。そうすると、
２つのミラー１７ａ，１７ｂでの反射光の干渉によっ
て、フォトレジスト１８に適当な周期を持った干渉縞が
形成される。この干渉縞の周期は、ミラー１７ａ，１７
ｂでの反射光がフォトレジスト１８に入射する入射角度
θやミラー１７ａ，１７ｂの間隔を変えることによって
変えることができる。

【００６３】したがって、１つのパターンの干渉縞を形
成した後、フォトレジスト１８を例えば左側に移動し、
その後、入射角度θやミラー１７ａ，１７ｂの間隔を変
えて異なるパターンの干渉縞を先に形成した干渉縞の右
側に形成するといった異種干渉縞形成動作を繰り返すこ
とにより、例えば４種類の周期を有する干渉縞をフォト
レジスト１８に横列形成することができる。

【００６４】なお、前記の如く、ミラー１７ａ，１７ｂ
を移動するときには、上記垂直線Ｒに対して対称となる
ように移動する。また、フォトレジスト１８を移動する
際には、先に形成した干渉縞に対して垂直にフォトレジ
ストを動かさねばならない。

【００６５】そして、上記４種類の周期を有する干渉縞
を持つフォトレジスト１８を用いてフォトレジスト１８
と一体になった石英板１９をエッチングし、その後フォ
トレジスト１８を除去すれば、干渉縞と対応した凹凸が
形成でき、図１に示したように、互いに異なるグレーテ
ィング形成パターン１ａ〜１ｄを横列配列したフェイズ
マスク８Ｎを形成することができる。

【００６６】本実施形態例のグレーティング型光部品９
Ａは、上記複数の互いに異なるグレーティング形成パタ
ーンを横列形成したフェイズマスク８Ｎを用い、前記の
如く、反射波長の異なる複数種のグレーティング６ａ〜
６ｄを光ファイバ２の長さ方向に直列に一括配列形成し
たものであり、隣り合うグレーティング同士（同図では
６ａと６ｂ、６と６ｃ、６ｃと６ｄ）の間に接続部が形
成されていないため、グレーティング部品９Ａ全体の損
失を小さくすることができる。

【００６７】また、本実施形態例のグレーティング型光
部品９Ａは、隣り合うグレーティング同士の間に接続部
が形成されない分だけ、グレーティング型光部品９Ａの
製造コストを安くできるし、グレーティング型光部品９
Ａにより反射する互いに異なる波長の光の強度をほぼ均
一にすることができる。

【００６８】さらに、本実施形態例では、グレーティン
グ６ａ〜６ｄ間の間隔を非常に小さくし、１つの温度補
償パッケージ３Ｎ内に複数種の直列グレーティング６ａ
〜６ｄを一括して収容しているため、提案例のように、
高価な温度補償パッケージ３ａ〜３ｄに、それぞれのグ
レーティング６ａ〜６ｄを個別に収容する場合に比べ、
グレーティング型光部品９Ａのコストを格段に安くする
ことができるし、グレーティング型光部品９Ａの小型化
を図ることもできる。

【００６９】さらに、本実施形態例によれば、上記製造
方法を適用し、複数種のグレーティング６ａ〜６ｄを一
括配列形成することにより、複数種のグレーティング６
ａ〜６ｄを光ファイバの長さ方向に直列配列したグレー
ティング型光部品を非常に効率的に製造することができ
る。

【００７０】さらに、本実施形態例のグレーティング型
光部品９Ａを用いて光モジュールを構成すれば、光モジ
ュール全体の損失を小さくすることができるし、その製
造コストおよび部品コストを安くでき、光モジュールの
小型化を図ることができるし、各グレーティング６ａ〜
６ｄにより反射して取り出す、波長の異なる光の強度を
ほぼ均一にすることができる。

【００７１】図２の（ａ）には、上記実施形態例のグレ
ーティング型光部品９Ａを用いた光モジュールの例が示
されている。この光モジュールは、グレーティング型光
部品９Ａの複数種のグレーティング６ａ〜６ｄの形成部
を挟む両端側にサーキュレータ１０ａ，１０ｂを接続
し、グレーティング型光部品９Ａとサーキュレータ１０
ａ，１０ｂを一括してパッケージ５内に収容している。

【００７２】また、この光モジュールは、一方側のサー
キュレータ１０ａにドロップポート１２を接続し、他方
側のサーキュレータ１０ｂにアドポート１３を接続して
形成されており、図７の（ａ）に示した提案例のＯＡＤ
Ｍモジュールと同様の機能を有する４波ＯＡＤＭモジュ
ールである。

【００７３】また、図２の（ｂ）には、本発明に係るグ
レーティング型光部品の第２実施形態例が光モジュール
に組み込み状態で示されている。この第２実施形態例の
グレーティング型光部品９Ｂは、光ファイバ２に８種の
グレーティング６ａ〜６ｈが一括して形成されている光
部品であり、グレーティング型光部品９Ｂは、これらの
グレーティング６ａ〜６ｄを温度補償パッケージ３Ｎ内
に一括して収容している。

【００７４】なお、この第２実施形態例のグレーティン
グ型光部品９Ｂは、その他の構成および製造方法が上記
第１実施形態例と同様であり、その重複説明は省略す
る。

【００７５】図２の（ｂ）に示す光モジュールは、上記
第２実施形態例のグレーティング型光部品９Ｂの複数種
のグレーティング６ａ〜６ｈの形成部を挟む両端側にサ
ーキュレータ１０ａ，１０ｂを接続し、グレーティング
型光部品９Ｂとサーキュレータ１０ａ，１０ｂを一括し
てパッケージ５内に収容している。

【００７６】また、この光モジュールは、一方側のサー
キュレータ１０ａにドロップポート１２を接続し、他方
側のサーキュレータ１０ｂにアドポート１３を接続して
形成されており、図７の（ｂ）に示した提案例のＯＡＤ
Ｍモジュールと同様の機能を有する８波ＯＡＤＭモジュ
ールである。

【００７７】なお、図２の（ａ）、（ｂ）にそれぞれ示
す光モジュールにおいて、グレーティング６ａ，６ｂ，
・・・のパターン（周期など）や長さや間隔、グレーテ
ィング６ａ，６ｂ，・・・により反射する反射光波長
は、特に限定されるものではなく適宜設定されるもので
ある。

【００７８】上記第１、第２実施形態例のグレーティン
グ型光部品９Ａ，９Ｂにおいては、隣り合うグレーティ
ング同士（同図では６ａと６ｂ、６と６ｃ、６ｃと６
ｄ，・・・）の間に融着接続部４が形成されない。その
ため、図２の（ａ）、（ｂ）に示すＯＡＤＭモジュール
において、光ファイバ２に形成される融着接続部４は、
複数種の直列グレーティング６ａ，６ｂ・・・とサーキ
ュレータ１０ａ，１０との接続部のみであり、各光モジ
ュールにおける融着接続部４はいずれも２ヶ所のみであ
る。

【００７９】このように、図２の（ａ）、（ｂ）に示す
各光モジュールは、図７に示した提案例のグレーティン
グ型部品に比べ、融着接続部４の個数を格段に少なくす
ることができるので、融着接続部４で生じる接続損失の
総数を提案例のＯＡＤＭモジュールに比べて格段に少な
くすることができる。

【００８０】例えば、上記各融着接続部４による接続損
失を１ヶ所につき０．１５ｄＢとし、４波ＯＡＤＭモジ
ュールにおけるＩｎ−Ｄｒｏｐポート間の接続損失（入
力ポート１１から入力された光がドロップポート１２か
ら出力されるまでの間に生じる融着接続部４による接続
損失）を、波長λ７の光について求めてみる。そうする
と、図７の（ａ）に示した構成では、波長λ７の光は４
ヶ所の融着接続部４を往復することから、１．２ｄＢで
あり、図２の（ａ）に示した上記第１実施形態例適用の
構成では波長λ７の光は１ヶ所の融着接続部４を往復す
ることから、０．３ｄＢである。

【００８１】したがって、上記第１実施形態例のグレー
ティング型光部品９Ａを適用することにより、４波ＯＡ
ＤＭモジュールにおけるＩｎ−Ｄｒｏｐポート間の接続
損失を提案例に比べて０．９ｄＢ改善することができ
る。

【００８２】また、同様に、上記各融着接続部４による
接続損失を１ヶ所につき０．１５ｄＢとし、８波ＯＡＤ
ＭモジュールにおけるＩｎ−Ｄｒｏｐポート間の接続損
失を、波長λ１５の光について求めると、図７の（ｂ）
に示した提案例の構成では２．４ｄＢであり、図２の
（ｂ）に示した構成では０．３ｄＢである。したがっ
て、上記第２実施形態例のグレーティング型光部品９Ｂ
を適用することにより、８波ＯＡＤＭモジュールにおけ
るＩｎ−Ｄｒｏｐポート間の接続損失を提案例に比べて
２．１ｄＢ改善することができる。

【００８３】図３の（ａ）、（ｂ）には、それぞれ、本
発明に係るグレーティング型光部品の第３、第４実施形
態例が光モジュールに組み込み状態で示されている。

【００８４】第３実施形態例のグレーティング型光部品
９Ｃは、光ファイバ２に５種のグレーティング６ａ〜６
ｅが一括して形成されている光部品であり、グレーティ
ング型光部品９Ｃは、これらのグレーティング６ａ〜６
ｅを温度補償パッケージ３Ｎ内に一括して収容してい
る。

【００８５】また、第４実施形態例のグレーティング型
光部品９Ｄは、光ファイバ２に１６種のグレーティング
６ａ〜６ｐが一括して形成されている光部品であり、グ
レーティング型光部品９Ｄは、これらのグレーティング
６ａ〜６ｐを温度補償パッケージ３Ｎ内に一括して収容
している。

【００８６】なお、これらの各モジュールに形成される
グレーティング６ａ，６ｂ，・・・のパターン（周期な
ど）や長さや間隔、グレーティング６ａ，６ｂ，・・・
により反射する反射光波長は、特に限定されるものでな
く適宜設定されるものである。また、上記第３、第４実
施形態例のグレーティング型光部品９Ｃ，９Ｄのその他
の構成や製造方法は上記第１実施形態例と同様であるの
でその重複説明は省略する。

【００８７】図３の（ａ）に示す光モジュールは、上記
第３実施形態例のグレーティング型光部品９Ｃの一端
側、すなわち複数種のグレーティング６ａ〜６ｅの形成
部の一端側にアイソレータ１０ｃを接続し、他端側に出
力ポート１４を接続している。また、この光モジュール
は、グレーティング型光部品９Ｃとアイソレータ１０ｃ
をパッケージ５内に収容しており、アイソレータ１０ｃ
に入力ポート１１を接続している。

【００８８】一方、図３の（ｂ）に示す光モジュール
は、上記第４実施形態例のグレーティング型光部品９Ｄ
の一端側、すなわち複数種のグレーティング６ａ〜６ｐ
の形成部の一端側にアイソレータ１０ｃを接続し、他端
側に出力ポート１４を接続している。また、この光モジ
ュールは、グレーティング型光部品９Ｄとアイソレータ
１０ｃをパッケージ５内に収容しており、アイソレータ
１０ｃに入力ポート１１を接続している。

【００８９】図３の（ａ）、（ｂ）に示す光モジュール
は、それぞれ、図８の（ａ）、（ｂ）にそれぞれ示した
提案例のカスケードフィルタモジュールと同様の機能を
有する、５波カスケードフィルタモジュールと１６波カ
スケードフィルタモジュールである。

【００９０】グレーティング型光部品９Ｃ，９Ｄは、隣
り合うグレーティング同士の間に融着接続部４を有して
いないので、図３の（ａ）、（ｂ）に示すカスケードフ
ィルタモジュールにおいても、光モジュールに形成され
る融着接続部４は２ヶ所のみである。そのため、これら
のカスケードフィルタモジュールも、提案例に比べて融
着接続部４の個数を格段に小さくすることができ、それ
により、入力ポート１１と出力ポート１４との間の接続
損失を格段に改善することができる。

【００９１】なお、本発明は上記各実施形態例に限定さ
れることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例え
ば、上記各実施形態例のグレーティング型光部品９Ａ〜
９Ｄは、接続箇所を有しない１本の光ファイバ２に複数
種のグレーティング６ａ，６ｂ，・・・が一括して形成
されている光部品としたが、グレーティング型光部品の
構成を図４に示すような構成としてもよい。

【００９２】すなわち、接続箇所を有しない１本の光フ
ァイバ２に複数種のグレーティング６ａ〜６ｄが一括し
て形成されている第１のグレーティング部品９ａに、接
続箇所を有しない１本の光ファイバ２に１種以上のグレ
ーティングが一括して形成されているグレーティング部
品（例えば９ａ，９ｅ，９ｆ，９ｇ）を１つ以上（ここ
では１つ）直列に接続して成る構成としてもよい。

【００９３】なお、図４に示すグレーティング型光部品
は、いずれも、第１のグレーティング部品９ａに１つの
グレーティング部品を直列に形成しているが、第１のグ
レーティング部品９ａに複数のグレーティング部品を直
列に接続してもよい。また、第１のグレーティング部品
９ａの構成も、必ずしも図４に示す構成とするとは限ら
ず、グレーティングの種類や配設数等は適宜設定される
ものである。

【００９４】図４の（ａ）に示すグレーティング型光部
品は、第１のグレーティング部品９ａを２つ接続して形
成されている。

【００９５】図４の（ｂ）に示すグレーティング型光部
品は、第１のグレーティング型部品９ａに、この第１の
グレーティング型部品９ａに形成された４種のグレーテ
ィング６ａ〜６ｄとは異なる複数種類のグレーティング
６ｅ〜６ｈを光ファイバ２に一括形成したグレーティン
グ部品９ｅを接続して形成されている。

【００９６】同図の（ｃ）に示すグレーティング型光部
品は、第１のグレーティング型部品９ａに、この第１の
グレーティング型部品９ａに形成された４種のグレーテ
ィング６ａ〜６ｄのうちの１種のグレーティング６ａを
光ファイバ２に形成したグレーティング部品９ｆを接続
して形成されている。なお、グレーティング部品９ｆ
は、グレーティング６ｂを形成したものとしてもよい
し、グレーティング６ｃを形成したものとしてもよい
し、グレーティング６ｄを形成したものとしてもよい。

【００９７】同図の（ｄ）に示すグレーティング型光部
品は、第１のグレーティング型部品９ａに、この第１の
グレーティング型部品９ａに形成された４種のグレーテ
ィング６ａ〜６ｄとは異なる種類のグレーティング６ｅ
を光ファイバ２に形成したグレーティング部品９ｇを接
続して形成されている。

【００９８】また、図４の（ａ）〜（ｄ）にそれぞれ示
すグレーティング型光部品において、複数のグレーティ
ング部品６ａ，６ｅ〜６ｇにそれぞれ形成された１種以
上のグレーティング６ａ，６ｂ，・・・は、それぞれの
グレーティング部品６ａ，６ｅ，９ｆ，６ｇごとに、グ
レーティングの温度依存性を補償する温度補償パッケー
ジ３Ｎ内に一括して収容されている。

【００９９】上記のように構成したグレーティング型光
部品も、上記各実施形態例と同様に、複数種のグレーテ
ィングを個別に形成してそれぞれのグレーティングを融
着接続する上記提案例に比べ、融着接続部４の箇所を格
段に少なくすることができるので、グレーティング型光
部品の全体の損失を小さくできるし、グレーティング型
光部品のコストを安くすることができる。

【０１００】さらに、上記各実施形態例のように、マス
クを用いてグレーティング型光部品を形成する際に適用
するフェイズマスク８Ｎは、そのグレーティング形成パ
ターンの種類や数、配設形態が限定されるものではな
く、適宜設定されるものである。

【０１０１】例えば、上記実施形態例で用いたフェイズ
マスク８Ｎは、複数の互いに異なるグレーティング形成
パターンを直列に配列形成したものとしたが、フェイズ
マスク８Ｎに形成する複数のグレーティング形成パター
ンの配列形態は特に限定されるものではなく適宜設定さ
れるものであり、例えば複数のグレーティング形成パタ
ーンが多少斜めに配列されていてもよい。

【０１０２】さらに、上記フェイズマスク８Ｎの作製方
法は特に限定されるものではなく、適宜設定されるもの
であり、前記の如く、グレーティング形成パターンの異
なる複数のフェイズマスクを用意して、各フェイズマス
クのグレーティング形成パターンを適宜のフェイズマス
ク保持具で直列に配置し、フェイズマスク間の隙間は紫
外光を遮断するフィルムなどの基板またはオイルで覆っ
てもよい。

【０１０３】また、１つのフェイズマスクに複数の互い
に異なるグレーティング形成パターンを光源の位置また
はフェイズマスクの位置を順次ずらして書き込み形成す
るようにして上記フェイズマスク８Ｎを作製してもよ
い。

【０１０４】さらに、フェイズマスク８Ｎの作製は、前
記の如く、ホログラフィック法を応用し、例えば図９に
示した装置を用いて前記異種干渉縞形成動作を繰り返し
行ない、複数のグレーティング形成パターンと対応した
周期が異なる複数種類の干渉縞をフォトレジスト１８に
横列形成し、このフォトレジスト１８と一体になった石
英板１９をエッチングし、有機溶剤（例えばアセトン）
や酸素プラズマによってフォトレジストを除去すること
により、グレーティング形成パターンと対応した凹凸を
形成することにより行なってもよい。このようにした場
合も、互いに異なる複数種のグレーティング形成パター
ンを形成したフェイズマスク８Ｎを形成することができ
る。

【０１０５】さらに、上記説明では、各実施形態例のグ
レーティング型光部品を用いた光モジュールの例とし
て、ＯＡＤＭモジュールとカスケードフィルタモジュー
ルを挙げたが、本発明のグレーティング型光部品を用い
た光モジュールは、ＯＡＤＭモジュールとカスケードフ
ィルタモジュールに限定されるものではなく適宜設定さ
れるものである。

【０１０６】すなわち、本発明の光モジュールは、接続
箇所を有しない１本の光導波路に複数種のグレーティン
グが一括して形成されているグレーティング型光部品を
有する光モジュールまたは、接続箇所を有しない１本の
光導波路に複数種のグレーティングが一括して形成され
ている第１のグレーティング部品に、接続箇所を有しな
い１本の光導波路に１種以上のグレーティングが一括し
て形成されているグレーティング部品を１つ以上直列に
接続したグレーティング型光部品を有する光モジュール
であればよい。

【０１０７】さらに、本発明のグレーティング型光部品
において、光導波路としての光ファイバ２にグレーティ
ングを一括形成したが、光ファイバ２以外の光導波路に
グレーティングを一括形成したものでもよい。

【０１０８】

【発明の効果】第１、第２の発明のグレーティング型光
部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路に複数種の
グレーティングを一括して形成したものであるから、複
数種のグレーティングを個別に形成してそれぞれのグレ
ーティングを融着接続する提案例と異なり、それぞれの
種のグレーティング間に接続部（融着接続部）を有して
いないので、グレーティング型光部品の全体の損失を小
さくできるし、グレーティング型光部品の製造コストを
安くすることもできる。

【０１０９】また、第２の発明のグレーティング型光部
品によれば、複数種のグレーティングを温度補償パッケ
ージ内に一括収容するものであるから、高価な温度補償
パッケージにそれぞれのグレーティングを個別に収容す
る場合に比べ、グレーティング型光部品のコストを格段
に安くすることができる。

【０１１０】さらに、第３、第４の発明のグレーティン
グ型光部品は、接続箇所を有しない１本の光導波路に複
数種のグレーティングが一括して形成されている第１の
グレーティング部品に、接続箇所を有しない１本の光導
波路に１種以上のグレーティングが一括して形成されて
いるグレーティング部品を１つ以上直列に接続するもの
であるから、複数種のグレーティングを個別に形成して
それぞれのグレーティングを融着接続する上記提案例に
比べ、接続部の箇所を格段に少なくすることができる。

【０１１１】したがって、第３、第４の発明において
も、グレーティング型光部品の全体の損失を小さくでき
るし、グレーティング型光部品の製造コストを安くする
ことができる。

【０１１２】また、第４の発明のグレーティング型光部
品によれば、複数のグレーティング部品に形成されたグ
レーティングを、グレーティング部品ごとに温度補償パ
ッケージ内に一括収容するものであるから、高価な温度
補償パッケージにそれぞれのグレーティングを個別に収
容する場合に比べ、グレーティング型光部品のコストを
格段に安くすることができる。

【０１１３】さらに、第５の発明のグレーティング型光
部品においては、光導波路を光ファイバとすることによ
り、グレーティング型光部品を光通信等に非常に適用し
やすくすることができる。そして、第５の発明のグレー
ティング型光部品を用いて、例えば波長多重伝送用の複
数波長光反射用フィルタとして機能する優れた光モジュ
ールを形成することができる。

【０１１４】さらに、第６の発明のグレーティング型光
部品の製造方法によれば、複数のグレーティングを効率
的に形成でき、形成されたグレーティング同士の間に接
続部をなくすことができるし、グレーティング間の間隔
を非常に小さくすることもできる。したがって、本発明
のグレーティング型光部品の製造方法を適用することに
より、上記のような優れた本発明のグレーティング型光
部品を容易に製造することができる。

【０１１５】さらに、第７の発明のグレーティング型光
部品の製造に用いられるマスクによれば、１つのマスク
内に複数の異なるグレーティング形成パターンを形成し
ているので、このマスクを用いて、複数のグレーティン
グを一括配列形成することができる。

【０１１６】さらに、第８の発明の光モジュールによれ
ば、例えば波長多重光からグレーティング型光部品の複
数種のグレーティングによって複数波長光を反射し、そ
の反射光をドロップポートから取り出すことができるＯ
ＡＤＭモジュールを、上記本発明のグレーティング型光
部品の優れた特性を有する優れた光モジュールとするこ
とができ、損失が小さく、コストが安い小型の光モジュ
ールとすることができる。

【０１１７】また、この発明の光モジュールは、グレー
ティング型光部品の互いに隣り合うグレーティングの間
に接続部を有しない、または、グレーティング型光部品
を構成する複数のグレーティング部品のそれぞれにおけ
る互いに隣り合うグレーティングの間に接続部を有しな
い構成としているので、前記ドロップポートから取り出
す複数波長光の波長間強度格差を小さくすることができ
る。

【０１１８】さらに、第９の発明の光モジュールによれ
ば、例えば波長多重光からグレーティング型光部品の複
数種のグレーティングによって複数波長光を反射し、全
ての種類のグレーティングを透過した光を出力ポートか
ら出力することができるモジュールを、上記本発明のグ
レーティング型光部品の優れた特性を有する優れた光モ
ジュールとすることができ、損失が小さく、コストが安
い小型の光モジュールとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るグレーティング型光部品の第１実
施形態例を、その製造方法概略と共に示す要部説明図で
ある。

【図２】上記実施形態例のグレーティング型光部品を用
いた光モジュールの構成例（ａ）と、本発明に係るグレ
ーティング型光部品の第２実施形態例を用いた光モジュ
ールの構成例（ｂ）を示す模式図である。

【図３】本発明に係るグレーティング型光部品の第３、
第４実施形態例を用いた光モジュールの構成例をそれぞ
れ示す模式図である。

【図４】本発明に係るグレーティング型光部品の他の実
施形態例を示す要部構成図である。

【図５】従来のグレーティング型光部品の製造方法の提
案例を示す工程説明図である。

【図６】従来のグレーティング型光部品の製造方法の別
の提案例を示す工程説明図である。

【図７】従来提案例のグレーティング型光部品の製造方
法を適用して製造したＯＡＤＭモジュールの構成例とそ
の動作を示す模式図である。

【図８】従来提案例のグレーティング型光部品の製造方
法を適用して製造したカスケードフィルタモジュールの
構成例とその動作を示す模式図である。

【図９】複数のグレーティング形成パターンを有するマ
スクを形成する際に用いられる装置の一例を示す説明図
である。

【符号の説明】

１ａ〜１ｄ グレーティング形成パターン ２，２ａ〜２ｐ 光ファイバ ３Ｎ，３ａ〜３ｐ 温度補償パッケージ ４ 融着接続部 ５ パッケージ ６，６ａ〜６ｐ グレーティング ８Ｎ，８ａ〜８ｄ フェイズマスク ９Ａ〜９Ｄ グレーティング型光部品 ９ａ〜９ｇ グレーティング部品 １０ａ，１０ｂ サーキュレータ １０ｃ 光アイソレータ １１ 入力ポート １２ ドロップポート １３ アドポート １４ 出力ポート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 寿彦 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H038 AA22 BA25 CA52 2H049 AA33 AA45 AA59 AA62 AA66 2H050 AA07 AC84 AC90

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 接続箇所を有しない１本の光導波路に複
   数種のグレーティングが一括して形成されていることを
   特徴とするグレーティング型光部品。
2. 【請求項２】 複数種のグレーティングがグレーティン
   グの温度依存性を補償する温度補償パッケージ内に一括
   して収容されていることを特徴とする請求項１記載のグ
   レーティング型光部品。
3. 【請求項３】 接続箇所を有しない１本の光導波路に複
   数種のグレーティングが一括して形成されている第１の
   グレーティング部品に、接続箇所を有しない１本の光導
   波路に１種以上のグレーティングが一括して形成されて
   いるグレーティング部品を１つ以上直列に接続して成る
   ことを特徴とするグレーティング型光部品。
4. 【請求項４】 複数のグレーティング部品にそれぞれ形
   成された１種以上のグレーティングは、それぞれのグレ
   ーティング部品ごとに、グレーティングの温度依存性を
   補償する温度補償パッケージ内に一括して収容されてい
   ることを特徴とする請求項３記載のグレーティング型光
   部品。
5. 【請求項５】 光導波路はコアの周りをクラッドで覆っ
   て形成される光ファイバとしたことを特徴とする請求項
   １乃至請求項４のいずれか一つに記載のグレーティング
   型光部品。
6. 【請求項６】 マスクに複数の互いに異なるグレーティ
   ング形成パターンを形成しておき、各グレーティング形
   成パターンを光導波路に対向するようにして該光導波路
   を前記マスクによって覆い、然る後に、前記マスクを介
   して前記光導波路に紫外光照射を行なうことにより、前
   記光導波路にグレーティングを一括配列形成することを
   特徴とするグレーティング型光部品の製造方法。
7. 【請求項７】 １枚のマスク内に複数の異なるグレーテ
   ィング形成パターンを形成したことを特徴とするグレー
   ティング型光部品の製造に用いられるマスク。
8. 【請求項８】 請求項１乃至請求項５のいずれか一つに
   記載のグレーティング型光部品を挟む両端側にサーキュ
   レータを接続し、一方側のサーキュレータにドロップポ
   ートを接続し、他方側のサーキュレータにアドポートを
   接続したことを特徴とするグレーティング型光部品を用
   いた光モジュール。
9. 【請求項９】 請求項１乃至請求項５のいずれか一つに
   記載のグレーティング型光部品の一端側にアイソレータ
   を接続して他端側に出力ポートを接続し、前記アイソレ
   ータに入力ポートを接続したことを特徴とするグレーテ
   ィング型光部品を用いた光モジュール。