JP2002122611A - 気体レートセンサ - Google Patents
気体レートセンサInfo
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- JP2002122611A JP2002122611A JP2000313684A JP2000313684A JP2002122611A JP 2002122611 A JP2002122611 A JP 2002122611A JP 2000313684 A JP2000313684 A JP 2000313684A JP 2000313684 A JP2000313684 A JP 2000313684A JP 2002122611 A JP2002122611 A JP 2002122611A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、従来の整流室をなくして気体ガイ
ド孔の孔面と外周通路の端面とを同一面とし、小型化及
び検出精度の向上を計ることを目的とする。 【解決手段】 本発明による気体レートセンサは、気体
ポンプ(4)の気体出口孔(4b)に対向すると共に空隙部(2
0)を介して設けられた輪状板(41)と、この輪状板(41)に
形成され気体出口孔(4b)に対応する気体ガイド孔(5e)と
を備え、気体ガイド孔(5e)の孔面(5eA)は外周通路(1d)
の端面(1dA)と同一面で直接接している構成である。
ド孔の孔面と外周通路の端面とを同一面とし、小型化及
び検出精度の向上を計ることを目的とする。 【解決手段】 本発明による気体レートセンサは、気体
ポンプ(4)の気体出口孔(4b)に対向すると共に空隙部(2
0)を介して設けられた輪状板(41)と、この輪状板(41)に
形成され気体出口孔(4b)に対応する気体ガイド孔(5e)と
を備え、気体ガイド孔(5e)の孔面(5eA)は外周通路(1d)
の端面(1dA)と同一面で直接接している構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体レートセンサ
に関し、特に、気体ポンプの気体出口孔に対応する気体
ガイド孔の孔面と外周通路の端面とを同一面として直接
接するようにすることにより、従来の整流室をなくして
気体ポンプの小型化及び気体レートセンサの小型化を得
るための新規な改良に関する。
に関し、特に、気体ポンプの気体出口孔に対応する気体
ガイド孔の孔面と外周通路の端面とを同一面として直接
接するようにすることにより、従来の整流室をなくして
気体ポンプの小型化及び気体レートセンサの小型化を得
るための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の気体レー
トセンサとしては、図３及び図４に示される特開昭６３
−８１２７０号公報、特公平１−５６２７５号公報及び
実開平４−２１９６６号公報等に開示された構成が採用
されている。すなわち、図３において符号１で示される
ものは全体形状が筒状をなすケーシングであり、このケ
ーシング１の外側にはカバー１７がケーシング１を覆う
状態で設けられている。前記ケーシング１の内側の端部
側には気体ポンプ４（周知の圧電素子を所定パルスで駆
動する構成）と、線状センサ７ａ、７ｂを有する電極ホ
ルダ５と、ノズル８を有するガイド筒体１ａとが軸方向
に直列配置され、前記ガイド筒体１ａとケーシング１と
の間には筒状の外周通路１ｄが形成されている。
トセンサとしては、図３及び図４に示される特開昭６３
−８１２７０号公報、特公平１−５６２７５号公報及び
実開平４−２１９６６号公報等に開示された構成が採用
されている。すなわち、図３において符号１で示される
ものは全体形状が筒状をなすケーシングであり、このケ
ーシング１の外側にはカバー１７がケーシング１を覆う
状態で設けられている。前記ケーシング１の内側の端部
側には気体ポンプ４（周知の圧電素子を所定パルスで駆
動する構成）と、線状センサ７ａ、７ｂを有する電極ホ
ルダ５と、ノズル８を有するガイド筒体１ａとが軸方向
に直列配置され、前記ガイド筒体１ａとケーシング１と
の間には筒状の外周通路１ｄが形成されている。
【０００３】前記気体ポンプ４の気体出口孔４ｂから吐
出した気体は、前記電極ホルダ５の気体ガイド孔５ｅか
らこの電極ホルダ５の空隙に形成された整流室１ｃを経
て外周通路１ｄからノズル８を通過することにより、気
体流として検出室１ｂの各線状センサ７ａ、７ｂに均等
に供給されて当たるように構成されている。
出した気体は、前記電極ホルダ５の気体ガイド孔５ｅか
らこの電極ホルダ５の空隙に形成された整流室１ｃを経
て外周通路１ｄからノズル８を通過することにより、気
体流として検出室１ｂの各線状センサ７ａ、７ｂに均等
に供給されて当たるように構成されている。
【０００４】従って、各線状センサ７ａ、７ｂに対して
気体流が均一に当たっている状態（すなわち、外部から
の角速度入力がない状態）では、図４のブリッジ検出回
路２０の各検出端１４ａ、１４ｂからは同電位の電圧が
出力されるため信号処理回路部１４からは角速度入力を
示す検出信号は得られないが、外部から角速度入力が発
生してノズル８からの気体流に偏位が発生すると、各線
状センサ７ａ、７ｂの温度に差が発生し、その結果、抵
抗値に差が発生してブリッジ検出回路２０にて電圧差と
して検出され、角速度入力のレベルが検出される。
気体流が均一に当たっている状態（すなわち、外部から
の角速度入力がない状態）では、図４のブリッジ検出回
路２０の各検出端１４ａ、１４ｂからは同電位の電圧が
出力されるため信号処理回路部１４からは角速度入力を
示す検出信号は得られないが、外部から角速度入力が発
生してノズル８からの気体流に偏位が発生すると、各線
状センサ７ａ、７ｂの温度に差が発生し、その結果、抵
抗値に差が発生してブリッジ検出回路２０にて電圧差と
して検出され、角速度入力のレベルが検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の気体レートセン
サは、以上のように構成されていたため、次のような課
題が存在していた。すなわち、気体ポンプ４の気体出口
孔４ｂから吐出した気体流は、気体ガイド孔５ｅを経て
整流室１ｃに供給され、この整流室１ｃで整流された後
に外周通路１ｄに供給されていた。そのために、この気
体流２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅの流れを
直線的に等価として図示すると、図５の通りであり、整
流室１ｃが存在しているため、外周通路に流れる気体流
の流速エネルギーが大幅に低下することになり、検出室
１ｂ内を流れる気体流２０ｄの安定性が悪く、検出精度
の向上が極めて困難であった。また、外周通路１ｄと整
流室とが直列に配設されているため、気体レートセンサ
としての軸長が長くなり、短縮化に対するニーズに対応
することが極めて困難であった。
サは、以上のように構成されていたため、次のような課
題が存在していた。すなわち、気体ポンプ４の気体出口
孔４ｂから吐出した気体流は、気体ガイド孔５ｅを経て
整流室１ｃに供給され、この整流室１ｃで整流された後
に外周通路１ｄに供給されていた。そのために、この気
体流２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅの流れを
直線的に等価として図示すると、図５の通りであり、整
流室１ｃが存在しているため、外周通路に流れる気体流
の流速エネルギーが大幅に低下することになり、検出室
１ｂ内を流れる気体流２０ｄの安定性が悪く、検出精度
の向上が極めて困難であった。また、外周通路１ｄと整
流室とが直列に配設されているため、気体レートセンサ
としての軸長が長くなり、短縮化に対するニーズに対応
することが極めて困難であった。
【０００６】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、気体ポンプの気体出口孔に
対応する気体ガイド孔の孔面と外周通路の端面とを同一
面として直接接するようにすることにより、従来の整流
室をなくして気体ポンプの小型化及び気体レートセンサ
の小型化を得るようにした気体レートセンサを提供する
ことを目的とする。
めになされたもので、特に、気体ポンプの気体出口孔に
対応する気体ガイド孔の孔面と外周通路の端面とを同一
面として直接接するようにすることにより、従来の整流
室をなくして気体ポンプの小型化及び気体レートセンサ
の小型化を得るようにした気体レートセンサを提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による気体レート
センサは、ケーシング内に設けられた少なくとも一対の
線状センサと、前記ケーシング内に設けられた気体ポン
プと、前記ケーシングの内側に設けられ前記ケーシング
との間に外周通路を形成するためのガイド筒体と、前記
ガイド筒体の一端に設けられたノズルとを備え、前記気
体ポンプから供給された気体流が前記外周通路及びノズ
ルを経て前記線状センサに供給され、前記各線状センサ
間の抵抗値差に基づいて角速度入力を検出するようにし
た気体レートセンサにおいて、前記気体ポンプの気体出
口孔に対向すると共に空隙部を介して設けられた輪状板
と、前記輪状板に形成され前記気体出口孔に対応する気
体ガイド孔とを備え、前記気体ガイド孔の孔面は前記外
周通路の端面と同一面で直接接している構成であり、ま
た、前記各線状センサを支持する筒状支持体は、前記ガ
イド筒体の端部側に同芯状に配設され、前記筒状支持体
は前記輪状板に当接している構成であり、また、前記筒
状支持体は、前記ガイド筒体の内壁に形成された輪状切
欠部内に設けられている構成である。
センサは、ケーシング内に設けられた少なくとも一対の
線状センサと、前記ケーシング内に設けられた気体ポン
プと、前記ケーシングの内側に設けられ前記ケーシング
との間に外周通路を形成するためのガイド筒体と、前記
ガイド筒体の一端に設けられたノズルとを備え、前記気
体ポンプから供給された気体流が前記外周通路及びノズ
ルを経て前記線状センサに供給され、前記各線状センサ
間の抵抗値差に基づいて角速度入力を検出するようにし
た気体レートセンサにおいて、前記気体ポンプの気体出
口孔に対向すると共に空隙部を介して設けられた輪状板
と、前記輪状板に形成され前記気体出口孔に対応する気
体ガイド孔とを備え、前記気体ガイド孔の孔面は前記外
周通路の端面と同一面で直接接している構成であり、ま
た、前記各線状センサを支持する筒状支持体は、前記ガ
イド筒体の端部側に同芯状に配設され、前記筒状支持体
は前記輪状板に当接している構成であり、また、前記筒
状支持体は、前記ガイド筒体の内壁に形成された輪状切
欠部内に設けられている構成である。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による気
体レートセンサの好適な実施の形態について説明する。
なお、従来例と同一又は同等部分については同一符号を
用いて説明する。図１において符号１で示されるものは
全体形状が筒状をなし、その両端が蓋体３０と端子板３
１によって閉状態とされたケーシングであり、前記ケー
シング１の内壁１Ａには、このケーシング１よりも小径
の筒状支持体４０を一体又は別体で一体状に有する輪状
板４１が段部１Ａａを介して固定されている。
体レートセンサの好適な実施の形態について説明する。
なお、従来例と同一又は同等部分については同一符号を
用いて説明する。図１において符号１で示されるものは
全体形状が筒状をなし、その両端が蓋体３０と端子板３
１によって閉状態とされたケーシングであり、前記ケー
シング１の内壁１Ａには、このケーシング１よりも小径
の筒状支持体４０を一体又は別体で一体状に有する輪状
板４１が段部１Ａａを介して固定されている。
【０００９】前記筒状支持体４０の内側には、支持部材
４２を介してホットワイヤからなる一対の線状センサ７
ａ、７ｂが互いに間隔をあけて配設されている。前記筒
状支持体４０の外周位置には、一端１ａＢにノズル８を
有するノズル体８Ａを備えたガイド筒体１ａがその輪状
切欠部５０を介して同芯状に配設して取付けられてい
る。
４２を介してホットワイヤからなる一対の線状センサ７
ａ、７ｂが互いに間隔をあけて配設されている。前記筒
状支持体４０の外周位置には、一端１ａＢにノズル８を
有するノズル体８Ａを備えたガイド筒体１ａがその輪状
切欠部５０を介して同芯状に配設して取付けられてい
る。
【００１０】前記ガイド筒体１ａの外周と前記ケーシン
グ１の内壁１Ａとの間には、輪状をなす外周通路１ｄが
形成され、前記輪状板４１の前記端子板３１側には、空
隙部２０を介して周知の圧電素子からなる気体ポンプ４
が設けられ、この気体ポンプ４が前記端子板３１の駆動
回路６０に接続されている。
グ１の内壁１Ａとの間には、輪状をなす外周通路１ｄが
形成され、前記輪状板４１の前記端子板３１側には、空
隙部２０を介して周知の圧電素子からなる気体ポンプ４
が設けられ、この気体ポンプ４が前記端子板３１の駆動
回路６０に接続されている。
【００１１】前記気体ポンプ４に形成された気体出口孔
４ｂは、前記輪状板４１に形成された気体ガイド孔５ｅ
と空隙部２０を介して対応かつ対向しており、前記気体
ガイド孔５ｅの孔面５ｅＡと前記外周通路１ｄの端面１
ｄＡは完全に同一面でかつ直接接している。従って、前
記気体ガイド孔５ｅと外周通路１ｄとの間には図３のよ
うな整流室１ｃは存在せず、直接接続されている。
４ｂは、前記輪状板４１に形成された気体ガイド孔５ｅ
と空隙部２０を介して対応かつ対向しており、前記気体
ガイド孔５ｅの孔面５ｅＡと前記外周通路１ｄの端面１
ｄＡは完全に同一面でかつ直接接している。従って、前
記気体ガイド孔５ｅと外周通路１ｄとの間には図３のよ
うな整流室１ｃは存在せず、直接接続されている。
【００１２】従って、前述の構成において、気体ポンプ
４から吐出された気体は、気体出口孔４ｂ、空隙部２
０、気体ガイド孔５ｅを経て気体流２０ａとして外周通
路１ｄに供給され、この気体流２０ａは、気体流２０ｂ
から気体流２０ｃとしてノズル８を通過し、気体流２０
ｄとして線状センサ７ａ、７ｂに当たり、その後、気体
流２０ｅとして、図５にも示されるように、気体ポンプ
４に戻る。すなわち、この気体ポンプ４の圧電素子は一
定の周波数で振動しているため、気体の吐出と吸込みを
交互に行っている。
４から吐出された気体は、気体出口孔４ｂ、空隙部２
０、気体ガイド孔５ｅを経て気体流２０ａとして外周通
路１ｄに供給され、この気体流２０ａは、気体流２０ｂ
から気体流２０ｃとしてノズル８を通過し、気体流２０
ｄとして線状センサ７ａ、７ｂに当たり、その後、気体
流２０ｅとして、図５にも示されるように、気体ポンプ
４に戻る。すなわち、この気体ポンプ４の圧電素子は一
定の周波数で振動しているため、気体の吐出と吸込みを
交互に行っている。
【００１３】
【発明の効果】本発明による気体レートセンサは、以上
のように構成されているため、次のような効果を得るこ
とができる。すなわち、従来のように気体ポンプと外周
通路との間に整流室が設けられておらず、気体ガイド孔
の孔面と外周通路の端面とが同一面で構成されているた
め、外周通路への気体流の流速エネルギーの低下が従来
よりも少なく、線状センサへの気体流のエネルギーを十
分に保つことができ、検出精度を向上させることができ
る。また、従来、用いていた整流室を省くことができ、
それによって気体レートセンサの軸長を短縮化し、小型
化された気体レートセンサを得ることができる。
のように構成されているため、次のような効果を得るこ
とができる。すなわち、従来のように気体ポンプと外周
通路との間に整流室が設けられておらず、気体ガイド孔
の孔面と外周通路の端面とが同一面で構成されているた
め、外周通路への気体流の流速エネルギーの低下が従来
よりも少なく、線状センサへの気体流のエネルギーを十
分に保つことができ、検出精度を向上させることができ
る。また、従来、用いていた整流室を省くことができ、
それによって気体レートセンサの軸長を短縮化し、小型
化された気体レートセンサを得ることができる。
【図１】本発明による気体レートセンサを示す断面図で
ある。
ある。
【図２】図１の気体流の流れを示す構成図である。
【図３】従来構成の断面図である。
【図４】図３の回路図である。
【図５】図３の気体流の流れを示す構成図である。
１ ケーシング １ａ ガイド筒体 １ａＡ 一端 １ｄ 外周通路 ４ 気体ポンプ ４ｂ 気体出口孔 ５ｅ 気体ガイド孔 ５ｅＡ 孔面 １ｄＡ 端面 ７ａ、７ｂ 線状センサ ８ ノズル ２０ 空隙部 ４０ 筒状支持体 ４１ 輪状板
Claims (3)
- 【請求項１】 ケーシング(1)内に設けられた少なくと
も一対の線状センサ(7a、7b)と、前記ケーシング(1)内
に設けられた気体ポンプ(4)と、前記ケーシング(1)の内
側に設けられ前記ケーシング(1)との間に外周通路(1d)
を形成するためのガイド筒体(1a)と、前記ガイド筒体(1
a)の一端(1aA)に設けられたノズル(8)とを備え、前記気
体ポンプ(4)から供給された気体流(20a)が前記外周通路
(1d)及びノズル(8)を経て前記線状センサ(7a、7b)に供
給され、前記各線状センサ(7a、7b)間の抵抗値差に基づ
いて角速度入力を検出するようにした気体レートセンサ
において、前記気体ポンプ(4)の気体出口孔(4b)に対向
すると共に空隙部(20)を介して設けられた輪状板(41)
と、前記輪状板(41)に形成され前記気体出口孔(4b)に対
応する気体ガイド孔(5e)とを備え、前記気体ガイド孔(5
e)の孔面(5eA)は前記外周通路(1d)の端面(1dA)と同一面
で直接接していることを特徴とする気体レートセンサ。 - 【請求項２】 前記各線状センサ(7a、7b)を支持する筒
状支持体(40)は、前記ガイド筒体(1a)の端部側に同芯状
に配設され、前記筒状支持体(40)は前記輪状板(41)に当
接していることを特徴とする請求項１記載の気体レート
センサ。 - 【請求項３】 前記筒状支持体(40)は、前記ガイド筒体
(1a)の内壁(1aA)に形成された輪状切欠部(50)内に設け
られていることを特徴とする請求項２記載の気体レート
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313684A JP2002122611A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 気体レートセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313684A JP2002122611A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 気体レートセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122611A true JP2002122611A (ja) | 2002-04-26 |
Family
ID=18793061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000313684A Pending JP2002122611A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 気体レートセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002122611A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02278156A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-14 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ガスレートセンサ |
| JPH0421966U (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-24 | ||
| JPH0510963A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-19 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ガスレートセンサ |
-
2000
- 2000-10-13 JP JP2000313684A patent/JP2002122611A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02278156A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-14 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ガスレートセンサ |
| JPH0421966U (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-24 | ||
| JPH0510963A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-19 | Tamagawa Seiki Co Ltd | ガスレートセンサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060529 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070515 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070611 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |