JPH0421966U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0421966U JPH0421966U JP1990063553U JP6355390U JPH0421966U JP H0421966 U JPH0421966 U JP H0421966U JP 1990063553 U JP1990063553 U JP 1990063553U JP 6355390 U JP6355390 U JP 6355390U JP H0421966 U JPH0421966 U JP H0421966U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- inner case
- rate sensor
- gas rate
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図から第３Ａ図迄は、本考案によるガスレ
ートセンサを示すためのもので、第１図は断面図
、第２図は第１図の外形を示す斜視図、第３図は
要部を示す断面図、第３Ａ図は要部を示す断面図
、第４図から第６図は従来のガスレートセンサを
示すもので、第４図は断面図、第５図は電極ホル
ダの平面図、第６図はブロツク図である。 １はケーシング、４はポンプ、７ａ，７ｂは線
状センサ、３０は筒形内ケース、３０ａは外壁、
３２はガス流、３３は貫通孔、３５は絶縁膜であ
る。
ートセンサを示すためのもので、第１図は断面図
、第２図は第１図の外形を示す斜視図、第３図は
要部を示す断面図、第３Ａ図は要部を示す断面図
、第４図から第６図は従来のガスレートセンサを
示すもので、第４図は断面図、第５図は電極ホル
ダの平面図、第６図はブロツク図である。 １はケーシング、４はポンプ、７ａ，７ｂは線
状センサ、３０は筒形内ケース、３０ａは外壁、
３２はガス流、３３は貫通孔、３５は絶縁膜であ
る。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケーシング１内に設けられた少なくとも一
対の線状センサ７ａ，７ｂに対し、気体ポンプ４
からのガス流３２を供給し、前記各線状センサ７
ａ，７ｂ間の抵抗値差に基づいて角速度入力を検
出するようにしたガスレートセンサにおいて、 前記ガス流３２を案内するため前記ケーシング
１内に設けられた筒形内ケース３０と、前記筒形
内ケース３０に形成された複数の貫通孔３３とを
備え、前記各線状センサ７ａ，７ｂは、前記各貫
通孔３３間に張設されていることを特徴とするガ
スレートセンサ。 (2) 前記ケーシング１に形成された絶縁膜３５
と、前記筒形内ケース３０の外壁３０ａで且つ前
記貫通孔３３に隣接して形成された金属部３６と
を備え、前記貫通孔３３内は前記絶縁膜３５で絶
縁されていることを特徴とする請求項１記載のガ
スレートセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990063553U JPH0641171Y2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ガスレートセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990063553U JPH0641171Y2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ガスレートセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421966U true JPH0421966U (ja) | 1992-02-24 |
| JPH0641171Y2 JPH0641171Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31593709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990063553U Expired - Lifetime JPH0641171Y2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | ガスレートセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641171Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122611A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 気体レートセンサ |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP1990063553U patent/JPH0641171Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122611A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 気体レートセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641171Y2 (ja) | 1994-10-26 |
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