JP2002122572A - Method and apparatus for evaluation of material characteristic - Google Patents

Method and apparatus for evaluation of material characteristic

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JP2002122572A
JP2002122572A JP2000316301A JP2000316301A JP2002122572A JP 2002122572 A JP2002122572 A JP 2002122572A JP 2000316301 A JP2000316301 A JP 2000316301A JP 2000316301 A JP2000316301 A JP 2000316301A JP 2002122572 A JP2002122572 A JP 2002122572A
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magnetic flux
distribution
differential value
value
leakage magnetic
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JP2000316301A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Yamada
興治 山田
Masatoshi Kuroda
雅利 黒田
Shinsuke Yamanaka
伸介 山中
Hitohiro Isobe
仁博 礒部
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Nuclear Fuel Industries Ltd
Original Assignee
Nuclear Fuel Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus, for the evaluation of a material characteristic, wherein the material characteristic can be evaluated in a short time and with high accuracy by a Hall sensor by a method wherein, since the material characteristic of a specimen is evaluated on the basis of the differential value of a leakage flux value which is in a correlation with the differential value of the residual stress of the specimen, the characteristic of the material can be evaluated with a compact constitution and with high accuracy, the distribution of the differential value of the leakage flux value can be visualized and used and the evaluation of the material characteristic can be judged instantaneously. SOLUTION: In the evaluation method for the material characteristic contains a measuring process in which leakage flux values in a plurality of prescribed positions of the specimen are measured by the Hall sensor, a magnetic-flux-distribution calculation process in which the leakage flux distribution of the specimen is found on the basis of the leakage flux values in the plurality of positions, a differential-value calculation process in which a differential value in a direction parallel to the measuring plane of the leakage flux distribution is calculated so as to find the plane distribution of the differential value and an evaluation process in which the material characteristic of the specimen is evaluated on the basis of the plane distribution of the differential value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、材料の残留応力レ
ベル、疲労損傷度、照射損傷度、熱脆化度等の特性を非
破壊検査手法により評価する方法及び装置に関するもの
であり、特にホールセンサを利用した評価方法及び装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for evaluating characteristics such as residual stress level, fatigue damage degree, irradiation damage degree, and thermal embrittlement degree of a material by a nondestructive inspection technique. The present invention relates to an evaluation method and an apparatus using a sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種材料特性を評価するために非破壊検
査手法の開発が進んでいる。非破壊検査手法を利用した
場合、評価の空間分解能は評価可能な最小領域、具体的
には主として、使用するセンサの寸法に大きく依存して
いる。このため空間分解能を向上するためにはより小さ
な寸法のセンサが必要となってくる。一方、小さなセン
サを使用してある領域全体を評価する必要がある場合、
より多くの時間をかけて被検査物をスキャニングして評
価しなければならないため、容易にスキャニング測定を
行えるセンサが必要となってくる。
2. Description of the Related Art Non-destructive inspection techniques for evaluating various material properties are being developed. When the nondestructive inspection method is used, the spatial resolution of evaluation largely depends on the minimum area that can be evaluated, specifically, mainly, the size of a sensor to be used. For this reason, a sensor having a smaller size is required to improve the spatial resolution. On the other hand, if you need to evaluate an entire area using a small sensor,
Since the inspection object has to be scanned and evaluated for more time, a sensor that can easily perform the scanning measurement is required.

【0003】材料特性、特に材料の加工時の残留応力レ
ベルを非破壊測定することが可能な工業的に確立された
技術として、従来からX線残留応力測定法が一般的に知
られている。X線残留応力測定法は、材料の応力は結晶
粒子の微少な変形に基づくことから、被検材にX線を透
過して結晶の格子点の変位を測定することにより残留応
力を算出する手法である。X線残留応力測定法は測定結
果に信頼性が高い点で優れており、X線残留応力測定法
を利用した搬送可能な測定装置も一般に知られている。
An X-ray residual stress measurement method has been generally known as an industrially established technique capable of nondestructively measuring material properties, particularly the residual stress level during processing of the material. In the X-ray residual stress measurement method, since the stress of a material is based on the minute deformation of crystal grains, the residual stress is calculated by transmitting the X-ray to the test material and measuring the displacement of the lattice points of the crystal. It is. The X-ray residual stress measurement method is excellent in that the measurement result has high reliability, and a transportable measuring device using the X-ray residual stress measurement method is generally known.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、X線を
放射させるために装置の寸法が過大となり、また重量も
大きい。このため、測定場所が狭い等空間的に制限のあ
る場所では測定装置を設置できないという問題がある。
また、重量も大きいのでたとえ広い場所でも搬送して設
置することに過大な労力を要する。更には、このような
X線残留応力測定装置は水中では使用できない。
However, in order to emit X-rays, the size of the apparatus becomes excessively large and the weight is large. For this reason, there is a problem that the measuring device cannot be installed in a place where the measurement place is narrow and space is limited.
In addition, because of its heavy weight, it takes too much labor to transport and install it even in a large place. Furthermore, such an X-ray residual stress measuring device cannot be used in water.

【0005】また、X線ビームを1mm程度に絞って残
留応力を測定することは可能ではあるが、被検査物のあ
る領域全体を評価する場合にはより多くの時間をかけて
被検査物をスキャニングして評価する必要性が生じ、X
線残留応力測定装置を高精度でスキャニングすること
は、その寸法、重量等から困難であるという問題があ
る。
Although it is possible to measure the residual stress by narrowing the X-ray beam to about 1 mm, it takes more time to evaluate the test object when evaluating the entire region of the test object. The need to scan and evaluate arises, X
There is a problem that it is difficult to scan the line residual stress measuring device with high accuracy due to its size, weight, and the like.

【0006】更に、X線残留応力測定方法は、放射線を
使用した測定方法であるため、放射線バックグラウンド
が高い場所では測定が困難になるという問題がある。
Further, since the X-ray residual stress measurement method is a measurement method using radiation, there is a problem that the measurement becomes difficult in a place having a high radiation background.

【0007】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであり、被検査物の材料特性をコンパクトな装置
構成で正確に評価することができる材料特性評価方法及
び装置を提供することを主な目的とする。本発明の別の
目的は、被検査物の材料特性を短時間で高精度に評価す
ることができる材料特性評価方法及び装置を提供するこ
とである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a material property evaluation method and apparatus capable of accurately evaluating the material properties of a test object with a compact apparatus configuration. Main purpose. Another object of the present invention is to provide a material property evaluation method and apparatus capable of evaluating the material properties of an inspection object in a short time with high accuracy.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、ホールセンサによって、被
検材の所定の複数位置における漏れ磁束値を測定する測
定工程と、前記複数位置での漏れ磁束値から被検材の漏
れ磁束分布を求める磁束分布算出工程と、該漏れ磁束分
布の測定平面に平行な方向に対する微分値を算出し、微
分値の平面分布を求める微分値算出工程と、前記微分値
の平面分布に基づいて、被検材の材料特性を評価する評
価工程と、を含むことを特徴とする材料特性評価方法に
かかるものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a measuring apparatus for measuring a leakage magnetic flux value at a plurality of predetermined positions on a test material using a Hall sensor. A magnetic flux distribution calculating step of calculating a leak magnetic flux distribution of the test material from a leak magnetic flux value at a position, calculating a differential value of the leak magnetic flux distribution in a direction parallel to a measurement plane, and calculating a differential value calculating a differential value plane distribution; And a step of evaluating a material property of the test material based on the planar distribution of the differential value.

【0009】この請求項1の発明では、材料特性を評価
するためのセンサとしてホールセンサを使用している。
ホールセンサは、コンパクトなホール素子を利用したも
のであり、ホール効果を用いた電子デバイスである。こ
こでホール効果とは、金属や半導体の電流方向と垂直方
向に磁界をかけると両者に直交する方向に起電力が生じ
る効果であり、ホールセンサはこのようなホール効果を
利用して磁気特性を検査するものである。即ち、ホール
素子を通電した状態でホール素子直下に被検査物として
の試料を接近させて、このとき探査された磁束によって
生じたホール電圧を測定する。ホール電圧は電流と磁束
密度の積に比例するという直線性を有するため、測定さ
れたホール電圧と電流値とから磁束密度を測定すること
が可能となる。通常、ホール素子は120μm角程度の
もの、更に小さな素子も研究開発されている。
In the first aspect of the present invention, a Hall sensor is used as a sensor for evaluating material characteristics.
The Hall sensor utilizes a compact Hall element, and is an electronic device using the Hall effect. Here, the Hall effect is an effect that, when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the current direction of a metal or semiconductor, an electromotive force is generated in a direction perpendicular to the two. A Hall sensor uses such a Hall effect to improve the magnetic characteristics. It is to be inspected. That is, a sample as an object to be inspected is approached immediately below the Hall element while the Hall element is energized, and the Hall voltage generated by the magnetic flux detected at this time is measured. Since the Hall voltage has linearity that is proportional to the product of the current and the magnetic flux density, the magnetic flux density can be measured from the measured Hall voltage and the current value. Normally, the Hall element has a size of about 120 μm square, and a smaller element has been researched and developed.

【0010】また、本発明は、被検材の漏れ磁束の測定
表面に平行な方向に対する微分値が、被検材の残留応力
の微分値に対応していることを発明者が見いだした結果
を、材料特性評価に適用したものである。
Further, according to the present invention, the inventors have found that the differential value of the leakage magnetic flux of the test material in a direction parallel to the measurement surface corresponds to the differential value of the residual stress of the test material. This is applied to material property evaluation.

【0011】図3、図4は、A533B鋼で製作した引
張試験片に対して塑性ひずみを付与した場合の残留応力
値の微分値|dσ/dx|の分布を示している。図3
は7.35%の塑性ひずみの場合であり、図4は0.3
8%の塑性ひずみの場合である。図3及び図4におい
て、横軸は被検材(A533B鋼)の測定領域中心から
のx方向の位置を示し、縦軸は残留応力の微分値|dσ
/dx|を示している。ここで、σは、X線残留応
力測定装置で測定した引張試験片の長手方向(x方向)
の残留応力値を示し、dσ/dxは、測定した残留応
力値のx方向の微分値を示している。
FIGS. 3 and 4 show the distribution of the differential value | dσ x / dx | of the residual stress value when plastic strain is applied to a tensile test piece made of A533B steel. FIG.
FIG. 4 shows the case of a plastic strain of 7.35%, and FIG.
This is the case of 8% plastic strain. 3 and 4, the horizontal axis represents the position in the x direction from the center of the measurement area of the test material (A533B steel), and the vertical axis represents the differential value | dσ of the residual stress.
x / dx |. Here, σ x is the longitudinal direction (x direction) of the tensile test piece measured by the X-ray residual stress measuring device.
, And dσ x / dx indicates a differential value of the measured residual stress value in the x direction.

【0012】一方、図5及び図6は、図3及び図4で測
定した引張試験片の漏れ磁束値の微分値|dB/dx
|の分布を示している。図5は7.35%の塑性ひずみ
の場合であり図3に対応したものである。図6は0.3
8%の塑性ひずみの場合であり図4に対応したものであ
る。図5及び図6において、横軸は被検材(A533B
鋼)の測定領域中心からのx方向の位置を示し、縦軸は
漏れ磁束微分値|dB /dx|を示している。ここ
で、Bはホールセンサで測定した引張試験片表面の垂
直方向(z方向)の漏れ磁束値を示し、dB/dx
は、測定した漏れ磁束値のx方向の微分値を示してい
る。
On the other hand, FIG. 5 and FIG. 6 are measured in FIG. 3 and FIG.
Differential value of leakage magnetic flux of fixed tensile test piece | dBz/ Dx
| Is shown. Figure 5 shows 7.35% plastic strain
And corresponds to FIG. FIG.
8% plastic strain, corresponding to FIG.
You. 5 and 6, the horizontal axis represents the test material (A533B).
Steel) in the x direction from the center of the measurement area, and the vertical axis indicates
Leakage magnetic flux differential value | dB z/ Dx |. here
And BzIs the vertical surface of the tensile test specimen measured by the Hall sensor.
Indicates the leakage magnetic flux value in the direct direction (z direction), andz/ Dx
Indicates the derivative of the measured leakage flux value in the x direction.
You.

【0013】図3と図5、及び図4と図6を夫々対比し
てみると、残留応力の微分値|dσ /dx|と漏れ磁
束値の微分値|dB/dx|の分布状況がきわめて近
似しており、両者の間に良好な相関関係が成立している
ことがわかる。即ち、引張試験片長手方向の残留応力値
の長手方向(x方向)の微分値|dσ/dx|が、引
張試験片表面の垂直方向(z方向)の漏れ磁束値|dB
/dx|に明確に対応していることを発明者により見
いだされた。一般に転位密度が上昇すると、材料が磁化
されにくいため透磁率は減少することから、A533B
鋼で生じた漏れ磁束分布は、引張負荷により試験片内部
の転位構造等の格子欠陥に変化が生じ、その結果磁気特
性(透磁率)が変化したことによりもたらされたと考え
られる。
3 and 5, and FIGS. 4 and 6, respectively.
The differential value of residual stress | dσ x/ Dx | and leakage magnetism
Derivative of bundle value | dBz/ Dx | distribution is very close
Similar, with good correlation between the two
You can see that. That is, the residual stress value in the longitudinal direction of the tensile test piece
Differential value in the longitudinal direction (x direction) | dσx/ Dx |
Magnetic flux value in the vertical direction (z direction) on the surface of the tension test piece | dB
z/ Dx | clearly corresponds to
I was sent out. Generally, as the dislocation density increases, the material becomes magnetized.
A533B
The distribution of magnetic flux leakage generated by steel is
Lattice defects such as dislocation structures in the structure change, and as a result
Attributed to the change in permeability (permeability)
Can be

【0014】本発明ではこのような測定工程でホールセ
ンサにより複数位置での漏れ磁束値を測定し、磁束分布
算出工程で測定した漏れ磁束値から被検材の漏れ磁束分
布を求め、微分値算出工程で漏れ磁束分布の測定平面に
平行な方向に対する微分値を算出し、微分値の平面分布
を求め、残留応力の微分値の分布と漏れ磁束値の微分値
の分布の相関関係を利用して、評価工程で材料特性を評
価しているので、ホールセンサを用いてコンパクトな装
置構成で、かつ高精度に評価することができる。
In the present invention, the leakage magnetic flux values at a plurality of positions are measured by the Hall sensors in such a measuring step, the leakage magnetic flux distribution of the test material is obtained from the leakage magnetic flux values measured in the magnetic flux distribution calculating step, and the differential value is calculated. In the process, the differential value of the leakage flux distribution in the direction parallel to the measurement plane is calculated, the plane distribution of the differential value is obtained, and the correlation between the distribution of the differential value of the residual stress and the distribution of the differential value of the leakage magnetic flux value is used. Since the material properties are evaluated in the evaluation step, the evaluation can be performed with high accuracy using a Hall sensor and a compact device configuration.

【0015】本発明における評価の内容としては、例え
ば、材料表面の応力場が一様であるか、局所的な不連続
領域があるか等の評価があげられる。ここで、本発明で
は、微分値算出工程によって微分値の平面分布を求め、
微分値の分布状況を可視化しているので、かかる評価を
瞬時で判断することができ、短時間で高精度な材料特性
評価を行うことができる。
The contents of the evaluation in the present invention include, for example, evaluation of whether the stress field on the material surface is uniform, whether there is a local discontinuous region, and the like. Here, in the present invention, a plane distribution of differential values is obtained by a differential value calculating step,
Since the state of distribution of the differential value is visualized, such evaluation can be determined instantaneously, and highly accurate material property evaluation can be performed in a short time.

【0016】本発明における評価工程では、漏れ磁束値
の微分値の平面分布を生成するものであれば良く、例え
ば前述の図5又は図6に示すようなグラフで表示又は出
力したり、あるいは表形式で表示又は出力することも可
能である。更には、漏れ磁束値の微分値の分布状況を色
分けして表示又は出力するように構成することもでき
る。この場合には、色分け表示により漏れ磁束値の微分
値の分布状況をより短時間に判断できるという利点があ
る。
In the evaluation step in the present invention, any method may be used as long as it generates a planar distribution of the differential value of the leakage magnetic flux value. For example, the evaluation step is displayed or output in a graph as shown in FIG. 5 or FIG. It is also possible to display or output in a format. Furthermore, the distribution status of the differential value of the leakage magnetic flux value may be displayed or output in different colors. In this case, there is an advantage that the distribution state of the differential value of the leakage magnetic flux value can be determined in a shorter time by the color-coded display.

【0017】本発明における材料特性の評価には、磁気
特性が変化する特性の評価、即ち材料の残留応力レベル
の評価の他にも、疲労損傷度、照射損傷度、熱脆化度等
の評価が含まれる。
In the evaluation of the material properties in the present invention, in addition to the evaluation of the properties that change the magnetic properties, that is, the evaluation of the residual stress level of the material, the evaluation of the degree of fatigue damage, the degree of irradiation damage, the degree of thermal embrittlement, etc. Is included.

【0018】本発明における測定工程において、ホール
センサで測定する被検材の複数の位置は任意に定めるこ
とができるが、短距離間隔の位置で漏れ磁束を測定すれ
ば、より高精度な評価結果を得ることができる。
In the measuring step of the present invention, a plurality of positions of the test material to be measured by the Hall sensor can be arbitrarily determined. However, if the leakage magnetic flux is measured at positions at short distance intervals, a more accurate evaluation result can be obtained. Can be obtained.

【0019】請求項2に係る発明は、被検材の漏れ磁束
を測定するホールセンサと、前記ホールセンサを被検材
表面に沿って移動する移動手段と、前記ホールセンサに
より、被検材の複数位置での漏れ磁束値から被検材の漏
れ磁束分布を求める磁束分布算出手段と、該漏れ磁束分
布の測定平面に平行な方向に対する微分値を算出し、微
分値の平面分布を求める微分値算出手段と、前記漏れ磁
束値の微分値の平面分布を出力する出力手段と、を備え
たことを特徴とする材料特性評価装置にかかるものであ
る。本発明は請求項1にかかる方法を実施するための装
置であり、請求項1の発明と同様の作用効果を奏する。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a Hall sensor for measuring a leakage magnetic flux of the test material, a moving means for moving the Hall sensor along the surface of the test material, and A magnetic flux distribution calculating means for calculating a leakage magnetic flux distribution of the test material from a leakage magnetic flux value at a plurality of positions; a differential value for calculating a differential value of the leakage magnetic flux distribution in a direction parallel to a measurement plane to obtain a plane distribution of the differential value; The present invention relates to a material property evaluation device, comprising: a calculation unit; and an output unit that outputs a plane distribution of a differential value of the leakage magnetic flux value. The present invention is an apparatus for carrying out the method according to the first aspect, and has the same effect as the first aspect.

【0020】本発明における出力手段は、漏れ磁束値の
微分値の平面分布を出力するものであれば良く、例えば
ディスプレイ装置、プリンタ装置等を使用すれば良い。
また、漏れ磁束微分値の平面分布に基づいて、被検材の
材料特性を評価する評価手段を更に設け、材料特性を自
動的に判断、評価するように構成してもよい。この場合
には、完全な自動化を図れるので、検査者の便宜とな
る。
The output means in the present invention may be any as long as it outputs a plane distribution of the differential value of the leakage magnetic flux value. For example, a display device, a printer device or the like may be used.
Further, an evaluation means for evaluating the material properties of the test material based on the planar distribution of the leakage magnetic flux differential value may be further provided to automatically determine and evaluate the material properties. In this case, complete automation can be achieved, which is convenient for the inspector.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明に係る材料特性評価方法及び装置の好適な実施の形
態を詳細に説明する。本実施形態では、被検材としての
試料21の残留応力特性を評価するための残留応力測定
装置及び残留応力評価方法に本発明を適用している。図
1(a)は、本実施形態の残留応力測定装置の全体構成
図である。図1(a)に示すように、本実施形態の残留
応力測定装置は、被検材の磁束値を計測するホールセン
サ1と、ホールセンサ1を取り付けたアーム5と、被検
物表面と平行にホールセンサ1をx軸方向及びy軸方向
に移動するXYポジションコントローラ3と、XYポジ
ションコントローラ3に接続されたコンピュータ9とを
主に備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a material property evaluation method and apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, the present invention is applied to a residual stress measurement device and a residual stress evaluation method for evaluating a residual stress characteristic of a sample 21 as a test material. FIG. 1A is an overall configuration diagram of the residual stress measurement device of the present embodiment. As shown in FIG. 1A, a residual stress measuring device according to the present embodiment includes a Hall sensor 1 for measuring a magnetic flux value of a test material, an arm 5 to which the Hall sensor 1 is attached, and a parallel to the surface of the test object. An XY position controller 3 for moving the Hall sensor 1 in the x-axis direction and the y-axis direction, and a computer 9 connected to the XY position controller 3 are mainly provided.

【0022】図1(b)は、このコンピュータ9の機能
的構成を示すブロック図である。図1(b)に示すよう
に、XYポジションコントローラ3に接続されたコンピ
ュータ9は、ホールセンサ1により測定された漏れ磁束
値を入力する入力制御部11と、入力された漏れ磁束値
から被検材の漏れ磁束分布を求める磁束分布算出部13
と、算出された漏れ磁束分布の測定平面に平行なx方向
に対する微分値を算出し、微分値の平面分布を求める微
分値算出部15と、漏れ磁束の微分値の平面分布を表示
する表示部17と、当該平面分布を出力する出力部19
とを主に備えている。ここで、XYポジションコントロ
ーラ3及びアーム5は、本発明の移動手段を構成し、表
示部17及び出力部19は本発明の出力手段を構成す
る。
FIG. 1B is a block diagram showing a functional configuration of the computer 9. As shown in FIG. 1B, a computer 9 connected to the XY position controller 3 receives an input control unit 11 for inputting a leakage magnetic flux value measured by the Hall sensor 1 and performs a test based on the input leakage magnetic flux value. Magnetic flux distribution calculating unit 13 for calculating the leakage magnetic flux distribution of the material
A differential value calculator 15 for calculating a differential value of the calculated leakage magnetic flux distribution in the x direction parallel to the measurement plane to obtain a planar distribution of the differential value, and a display unit for displaying the planar distribution of the differential value of the leak magnetic flux. 17 and an output unit 19 for outputting the plane distribution
And the main. Here, the XY position controller 3 and the arm 5 constitute a moving unit of the present invention, and the display unit 17 and the output unit 19 constitute an output unit of the present invention.

【0023】被検材の試料21(引張試験片)に、予め
所定の塑性歪みを付与しておく。本実施形態では、試料
21として図7に示す形状のA533B鋼(化学成分
(wt%) C:0.18,Si:0.14, Mn:1.53, P:0.004, S:0.0
02, Cu:0.03, Ni:0.66, Mo:0.56, Al:0.01, Fe:bal. )
を使用し、このA533B鋼に対して7.35%の塑性
歪みを予め付与しておいた。尚、試料21の材質はA5
33B鋼に限定されるものではない。また試料21に付
与する歪みも、7.35%に限定されるものではない。
ここで、この7.35%の塑性歪みを付与したA533
B鋼について、1mmφのコリメータを使用して図7の
斜線部分の測定領域23に対し、x方向(長手方向)の
X線残留応力値σを測定し、残留応力値のx方向の微
分値|dσ /dx|の分布を求めておいた。図3はこ
の残留応力値の微分値|dσ/dx|の分布図であ
る。尚、図4はA533B鋼に0.38%の塑性歪みを
付与した場合の残留応力値の微分値|dσ/dx|の
分布図である。尚、試料21(A533B鋼)は電流源
(図示せず)に接続されており、予め所定のx方向に通
電されている。
A sample 21 (tensile test piece) of the test material is
A predetermined plastic strain is given. In the present embodiment, the sample
A533B steel having the shape shown in FIG.
(Wt%) C: 0.18, Si: 0.14, Mn: 1.53, P: 0.004, S: 0.0
02, Cu: 0.03, Ni: 0.66, Mo: 0.56, Al: 0.01, Fe: bal.)
7.35% plasticity for this A533B steel
Distortion was applied in advance. The material of the sample 21 is A5
It is not limited to 33B steel. Also attached to sample 21
The distortion to be applied is not limited to 7.35%.
Here, A533 to which the plastic strain of 7.35% is applied
For steel B, a 1 mmφ collimator was used as shown in FIG.
With respect to the measurement area 23 indicated by the oblique line, the x-direction (longitudinal direction)
X-ray residual stress value σxAnd measure the residual stress value in the x direction.
Value | dσ x/ Dx | distribution was determined. Figure 3
Differential value of residual stress | dσx/ Dx | distribution map
You. FIG. 4 shows that the A533B steel has a plastic strain of 0.38%.
Differential value of residual stress value when applied | dσx/ Dx |
It is a distribution map. Sample 21 (A533B steel) is a current source
(Not shown), and is passed in a predetermined x direction in advance.
Is being charged.

【0024】ホールセンサ1は、先端部に一般に市販さ
れている120μm角程度のホール素子を装着してい
る。ホール素子の電流端子にはホール素子用電流源(図
示せず)が接続されて通電状態となっている。ホール素
子における電流方向はy方向であり、従って、ホール効
果によってx方向及びy方向と直交するz方向の起電力
が生じるようになっている。ホール素子のホール端子に
は電圧計(図示せず)が接続されており、試料21から
の磁束によって生じたホール電圧が測定されるようにな
っている。測定された電圧値は、z方向の磁束値B
して、測定地点の位置座標と共にコンピュータ9の入力
制御部11に入力されるようになっている。
The Hall sensor 1 has a commercially available Hall element of about 120 μm square mounted at its tip. The current terminal of the Hall element is connected to a current source (not shown) for the Hall element, and is in a conducting state. The current direction in the Hall element is in the y direction, and therefore, the electromotive force is generated in the z direction orthogonal to the x direction and the y direction by the Hall effect. A voltmeter (not shown) is connected to the Hall terminal of the Hall element, so that the Hall voltage generated by the magnetic flux from the sample 21 is measured. The measured voltage value as the magnetic flux value B z in the z-direction, are input to the input control unit 11 of the computer 9 together with the position coordinates of the measurement point.

【0025】XYポジションコントローラ3は、アーム
5に固定されたホールセンサ1を測定領域23内でx方
向に移動させ、これによりホールセンサ1は試料21表
面を平行に走査(スキャニング)し、所定間隔ごとに漏
れ磁束を測定するようになっている。
The XY position controller 3 moves the Hall sensor 1 fixed to the arm 5 in the x direction within the measurement area 23, whereby the Hall sensor 1 scans (scans) the surface of the sample 21 in parallel, at a predetermined interval. The leakage magnetic flux is measured every time.

【0026】磁束分布算出部13はコンピュータ9上で
動作するプログラムから構成され、入力制御部11によ
り入力した試料表面の漏れ磁束値と測定地点の位置座標
から、試料21の漏れ磁束分布を求めるものである。
The magnetic flux distribution calculation unit 13 is constituted by a program operating on the computer 9 and calculates the leakage magnetic flux distribution of the sample 21 from the value of the leakage magnetic flux on the sample surface and the position coordinates of the measurement point input by the input control unit 11. It is.

【0027】微分値算出部15はコンピュータ9上で動
作するプログラムから構成され、磁束算出部で求めた試
料21の漏れ磁束分布から、各測定地点におけるx方向
の微分値|dB/dx|を算出し、例えば図5又は図
6に示すような磁束値の微分値分布を作成するものであ
る。
The differential value calculator 15 is composed of a program operating on the computer 9 and calculates the differential value | dB z / dx | in the x direction at each measurement point from the leakage magnetic flux distribution of the sample 21 obtained by the magnetic flux calculator. This is to calculate the differential value distribution of the magnetic flux values as shown in FIG. 5 or FIG. 6, for example.

【0028】表示部17は例えばディスプレイ装置等で
あり、出力部19はプリンタ装置等であり、いずれも微
分値算出部15で作成されたx方向の微分値|dB
dx|を出力するものである。
The display unit 17 is, for example, a display device or the like, and the output unit 19 is a printer device or the like, and the differential value in the x direction | dB z /
dx |.

【0029】次に、以上のように構成された本実施形態
の残留応力測定装置を使用した残留応力評価方法につい
て説明する。図2は、本実施形態の残留応力評価方法の
フローチャートである。
Next, a description will be given of a residual stress evaluation method using the residual stress measuring device of the present embodiment configured as described above. FIG. 2 is a flowchart of the residual stress evaluation method of the present embodiment.

【0030】まず、事前に試料21(A533B鋼)を
XYポジションコントローラ3のテーブル7上に設置し
て試料21を通電し、ホールセンサ1のホール素子も通
電しておく(ステップ201)。そして、XYポジショ
ンコントローラ3を駆動して、ホールセンサ1により試
料表面の測定領域23をx方向に走査しながら、250
μm間隔で試料21からのz方向の磁束値Bを測定す
る(ステップ202)。測定された磁束値Bは測定地
点の位置座標と共に、逐次コンピュータ9の入力制御部
11へ転送される。ここで、本実施形態では、測定間隔
を250μmとしているが、これに限定されるものはな
く、ホール素子のサイズ、測定領域等の諸条件によって
任意に定めることができる。
First, the sample 21 (A533B steel) is set on the table 7 of the XY position controller 3 to energize the sample 21 in advance, and the Hall element of the Hall sensor 1 is also energized in advance (step 201). Then, while driving the XY position controller 3, the Hall sensor 1 scans the measurement area 23 on the sample surface in the x direction,
measuring the magnetic flux value B z in the z-direction from the sample 21 in μm intervals (step 202). The measured magnetic flux value Bz is sequentially transferred to the input control unit 11 of the computer 9 together with the position coordinates of the measurement point. Here, in the present embodiment, the measurement interval is 250 μm, but is not limited to this, and can be arbitrarily determined according to various conditions such as the size of the Hall element and the measurement area.

【0031】コンピュータ9では、磁束分布算出部13
によって、入力した試料表面の漏れ磁束値Bと測定地
点の位置座標とを対応させて試料21の漏れ磁束分布を
生成する(ステップ203)。そして、微分値算出部1
5によって、磁束算出部で生成された試料21の漏れ磁
束分布から、各測定地点における磁束値のx方向の微分
値|dB/dx|を計算し(ステップ204)、図5
に示すような微分値|dB/dx|の分布を生成する
(ステップ205)。尚、試料21に0.38%の塑性
歪みを付与した場合には、図6に示す分布図が生成され
る。
In the computer 9, the magnetic flux distribution calculator 13
By, corresponding to generate a leakage magnetic flux distribution of the sample 21 to the leakage flux value B z of the input sample surface and the position coordinates of the measurement point (step 203). Then, the differential value calculation unit 1
5, a differential value | dB z / dx | of the magnetic flux value at each measurement point in the x direction is calculated from the leakage magnetic flux distribution of the sample 21 generated by the magnetic flux calculation unit (step 204), and FIG.
Differential value as shown in | dB z / dx | generates a distribution (Step 205). When a plastic strain of 0.38% is applied to the sample 21, a distribution diagram shown in FIG. 6 is generated.

【0032】微分値算出部15により生成された磁束値
のx方向の微分値|dB/dx|を、検査者の指令に
よって、表示部17に表示及び/又は出力部19に表示
する(ステップ206)。これにより、磁束値の微分値
|dB/dx|の分布は可視化され検査者に見える形
式で表示、出力される。
The x-direction differential value | dB z / dx | of the magnetic flux value generated by the differential value calculation unit 15 is displayed on the display unit 17 and / or displayed on the output unit 19 in response to a command from the examiner (step). 206). As a result, the distribution of the differential value | dB z / dx | of the magnetic flux value is visualized and displayed and output in a format that can be viewed by the inspector.

【0033】図5と図3(あるいは図6と図4)を対比
すると、試料表面の漏れ磁束値|dB/dx|の微分
値の分布(図5又は図6)は、同一の塑性歪みを試料2
1に付与した場合における残留応力値の微分値|dσ
/dx|の分布(図3又は図4)に近似しており、互い
に相関関係にあることがわかる。従って、表示又は出力
された磁束値の微分値|dB/dx|の平面分布図に
基づいて、試料21の残留応力特性を評価する(ステッ
プ207)。例えば、漏れ磁束の微分値の平面分布図か
ら、漏れ磁束微分値が一様である分布状況の場合には残
留応力が一様であると判断する。一方、漏れ磁束微分値
が局所的に不連続である分布状況の場合には不連続部分
で残留応力値が急変していると判断する。
5 and FIG. 3 (or FIG. 6 and FIG. 4), the distribution of the differential value (FIG. 5 or FIG. 6) of the leakage magnetic flux value | dB z / dx | To sample 2
1 | dσ x
/ Dx | distribution (FIG. 3 or FIG. 4), and it can be seen that there is a correlation with each other. Thus, the differential value of the display or output magnetic flux value | dB z / dx | based on plan distribution diagram, to evaluate the residual stress characteristics of a sample 21 (step 207). For example, based on a planar distribution diagram of the differential value of the leakage magnetic flux, it is determined that the residual stress is uniform in a distribution state in which the differential value of the leakage magnetic flux is uniform. On the other hand, in the case of a distribution state in which the leakage magnetic flux differential value is locally discontinuous, it is determined that the residual stress value changes abruptly at the discontinuous portion.

【0034】ここで、図8は、試料21としてのA53
3B鋼に1.4%の残留歪みを付与し、上記測定領域2
3をホールセンサ1でx方向に走査して250μm間隔
で漏れ磁束値を測定し、漏れ磁束微分値|dB/dx
|の分布を図5又は図6とは別の形態で可視化して表示
及び出力したものである。図8において、横軸は図7に
おける測定領域23の左端からx方向の位置を示し、縦
軸が漏れ磁束の微分値を示す。また、図8の実際の出力
結果ではカラー表示をしており、部分は赤色表示で漏
れ磁束値が正値であることを示し、部分は青色表示で
漏れ磁束値が負値であることを示し、部分は黒色表示
で漏れ磁束値が0であることを示すようにしている。こ
の図8の分布図からわかるように、中央から左側に部
分(青色表示)のバンドが現れている。当該部分は、試
料21の表面観察から引張試験時に発生したリューダー
スバンドに対応していることがわかった。このように漏
れ磁束の微分値の変化から、リューダースバンドという
特異な部分を試料21から同定することが可能となり、
試料21に何らかの応力場の変化部分を漏れ磁束の微分
値の変化から瞬時に検出することが可能となっている。
FIG. 8 shows A53 as the sample 21.
A 1.4% residual strain was imparted to the 3B steel, and the measurement area 2
3 is scanned by the Hall sensor 1 in the x direction, the leakage magnetic flux value is measured at intervals of 250 μm, and the leakage magnetic flux differential value | dB z / dx
| Are visualized and displayed and output in a form different from that of FIG. 5 or FIG. 8, the horizontal axis indicates the position in the x direction from the left end of the measurement area 23 in FIG. 7, and the vertical axis indicates the differential value of the leakage magnetic flux. In the actual output result of FIG. 8, color display is performed. The portion is displayed in red to indicate that the leakage flux value is a positive value, and the portion is displayed in blue to indicate that the leakage flux value is a negative value. , Are displayed in black to indicate that the leakage magnetic flux value is zero. As can be seen from the distribution diagram in FIG. 8, a band (shown in blue) appears on the left side from the center. Observation of the surface of the sample 21 indicated that the portion corresponded to the Luder's band generated during the tensile test. Thus, from the change in the differential value of the leakage magnetic flux, it is possible to identify a unique part called the Ruder's band from the sample 21.
It is possible to instantaneously detect a portion where the stress field changes in the sample 21 from a change in the differential value of the leakage magnetic flux.

【0035】このように本実施形態の残留応力測定装置
及び残留応力評価方法では、コンパクトなホールセンサ
1により複数の測定位置での漏れ磁束値Bを測定し、
この漏れ磁束値B測定結果から、残留応力の微分値|
dσ/dx|と相関関係にある漏れ磁束分布の測定平
面に平行なx方向に対する微分値|dB/dx|の平
面分布図を求めて、試料21の残留応力特性を評価して
いるので、コンパクトな装置構成で高精度な試料21の
材料特性を評価することができる。本実施形態の残留応
力測定装置及び残留応力評価方法では、微分値|dB
/dx|の平面分布図を求めて、可視化した状態で表示
部17への表示、出力部19への出力を行っているの
で、検査者は残留応力特性の評価を瞬時で判断すること
ができ、短時間で高精度な残留応力評価を行うことがで
きる。
[0035] In this way, residual stress measuring system and residual stress evaluation method of the present embodiment, by measuring the leakage flux value B z at a plurality of measurement positions Compact Hall sensors 1,
From the leakage flux value Bz measurement result, the differential value of residual stress |
Since the residual stress characteristic of the sample 21 is evaluated by obtaining a plane distribution diagram of a differential value | dB z / dx | in the x direction parallel to the measurement plane of the leakage magnetic flux distribution correlated with dσ x / dx | The highly accurate material characteristics of the sample 21 can be evaluated with a compact apparatus configuration. In the residual stress measuring device and the residual stress evaluation method of the present embodiment, the differential value | dB z
/ Dx | is obtained and displayed on the display unit 17 and output to the output unit 19 in a visualized state, so that the inspector can instantaneously judge the evaluation of the residual stress characteristics. It is possible to perform highly accurate residual stress evaluation in a short time.

【0036】尚、本実施形態の残留応力測定装置におい
て、更に漏れ磁束微分値|dB/dx|の平面分布に
基づいて、試料21の残留応力特性を評価する評価部を
コンピュータ9に設け、残留応力特性を自動的に評価し
て出力するように構成してもよい。
In the residual stress measuring apparatus of the present embodiment, the computer 9 is further provided with an evaluation unit for evaluating the residual stress characteristics of the sample 21 based on the planar distribution of the leakage magnetic flux differential value | dB z / dx | The configuration may be such that the residual stress characteristics are automatically evaluated and output.

【0037】また、本実施形態では、本発明を残留応力
特性の評価に適用しているが、試料21の磁気特性が変
化する特性の評価であればいずれの評価に適用すること
もでき、例えば疲労損傷度、照射損傷度、熱脆化度等の
評価に本発明を適用しても良い。
In the present embodiment, the present invention is applied to the evaluation of the residual stress characteristics. However, the present invention can be applied to any evaluation as long as the magnetic characteristics of the sample 21 are changed. The present invention may be applied to the evaluation of the degree of fatigue damage, the degree of irradiation damage, the degree of thermal embrittlement, and the like.

【0038】本実施形態の残留応力測定装置及び残留応
力評価方法は、被検材(試料)としての引張試験片に対
して残留応力特性を評価するもの、即ち実験室レベルで
の評価を行うものであるが、平板構造物、配管構造物
等、実用レベルでの被検材を測定対象として材料特性の
評価を行えることは言うまでもない。この場合には、X
Yポジションコントローラ3の代わりに、平板構造物、
配管構造物等、被検材の位置決め及び走査(スキャニン
グ)が可能な駆動機構を設ければ良い。
The residual stress measuring apparatus and the residual stress evaluation method according to the present embodiment evaluate residual stress characteristics on a tensile test piece as a test material (sample), that is, perform evaluation at a laboratory level. However, it goes without saying that the evaluation of the material properties can be performed on a test material at a practical level such as a flat plate structure or a pipe structure as a measurement target. In this case, X
In place of the Y position controller 3, a flat plate structure,
A drive mechanism capable of positioning and scanning (scanning) the test material such as a pipe structure may be provided.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検材の残留応力の微分値と相関関係のある漏れ磁束値
の微分値に基づいて被検材の材料特性を評価するので、
コンパクトな構成でかつ高精度に材料の特性を評価でき
るという効果を有する。また、漏れ磁束値の微分値の分
布を可視化して利用することができ、材料特性の評価を
瞬時で判断することができ、短時間で高精度な材料特性
評価を行えるという効果を有する。
As described above, according to the present invention,
Since the material properties of the test material are evaluated based on the differential value of the leakage magnetic flux value that has a correlation with the differential value of the residual stress of the test material,
This has the effect that the characteristics of the material can be evaluated with high accuracy with a compact configuration. Further, the distribution of the differential value of the leakage magnetic flux value can be visualized and used, and the evaluation of the material characteristics can be judged instantaneously, so that the material characteristics can be evaluated with high accuracy in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1(a)は、本実施形態の残留応力測定装置
の構成図であり、図1(b)は、そのコンピュータの機
能構成を示すブロック図である。
FIG. 1A is a configuration diagram of a residual stress measurement device of the present embodiment, and FIG. 1B is a block diagram illustrating a functional configuration of the computer.

【図2】本実施形態の残留応力評価方法のフローチャー
トである。
FIG. 2 is a flowchart of a residual stress evaluation method of the present embodiment.

【図3】本実施形態において、A533B鋼で製作した
引張試験片に対して7.35%の塑性ひずみを付与した
場合の残留応力値の微分値の分布図である。
FIG. 3 is a distribution diagram of a differential value of a residual stress value when a plastic test of 7.35% is applied to a tensile test piece made of A533B steel in the present embodiment.

【図4】本実施形態において、A533B鋼で製作した
引張試験片に対して0.38%の塑性ひずみを付与した
場合の残留応力値の微分値の分布図である。
FIG. 4 is a distribution diagram of a differential value of a residual stress value when a plastic strain of 0.38% is applied to a tensile test piece made of A533B steel in the present embodiment.

【図5】本実施形態において、引張試験片に対して7.
35%の塑性ひずみを付与した場合の漏れ磁束値の微分
値の分布図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a tensile test piece according to the present embodiment.
It is a distribution diagram of the differential value of the leakage magnetic flux value at the time of giving 35% of plastic strain.

【図6】本実施形態において、引張試験片に対して0.
38%の塑性ひずみを付与した場合の漏れ磁束値の微分
値の分布図である。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between a tensile test piece and a tensile test piece according to the embodiment;
FIG. 10 is a distribution diagram of differential values of leakage magnetic flux values when a plastic strain of 38% is applied.

【図7】本実施形態で評価対象としたA533鋼試験片
の平面図である。
FIG. 7 is a plan view of an A533 steel test piece evaluated in the present embodiment.

【図8】本実施形態で求めたA533鋼試験片の中央部
分の漏れ磁束値の微分値の分布状態を示す説明図であ
る。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a distribution state of a differential value of a leakage magnetic flux value in a central portion of an A533 steel test piece obtained in the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ホールセンサ 3:XYポジションコントローラ 5:アーム 7:テーブル 9:コンピュータ 11:入力制御部 13:磁束分布算出部 15:微分値算出部 17:表示部 19:出力部 21:試料(被検材) 23:測定領域 1: Hall sensor 3: XY position controller 5: Arm 7: Table 9: Computer 11: Input control unit 13: Magnetic flux distribution calculation unit 15: Differential value calculation unit 17: Display unit 19: Output unit 21: Sample (test material) ) 23: Measurement area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山中 伸介 兵庫県芦屋市朝日ヶ丘町14−5−401 (72)発明者 礒部 仁博 大阪府泉南郡熊取町大久保北3丁目323− 1−201 Fターム(参考) 2G053 AA11 AA14 AA19 AB22 BA21 CA05 CA18  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Shinsuke Yamanaka 14-5-401 Asahigaoka-cho, Ashiya-shi, Hyogo (72) Inventor Yoshihiro Isobe 3-323-1-201 Okubokita, Kumatori-cho, Sennan-gun, Osaka F term (reference) 2G053 AA11 AA14 AA19 AB22 BA21 CA05 CA18

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホールセンサによって、被検材の所定の
複数位置における漏れ磁束値を測定する測定工程と、 前記複数位置での漏れ磁束値から被検材の漏れ磁束分布
を求める磁束分布算出工程と、 該漏れ磁束分布の測定平面に平行な方向に対する微分値
を算出し、微分値の平面分布を求める微分値算出工程
と、 前記微分値の平面分布に基づいて、被検材の材料特性を
評価する評価工程と、を含むことを特徴とする材料特性
評価方法。
1. A measuring step of measuring leakage magnetic flux values at a plurality of predetermined positions of a test material by a Hall sensor, and a magnetic flux distribution calculating step of obtaining a leakage magnetic flux distribution of the test material from the leakage magnetic flux values at the plurality of positions. A differential value calculation step of calculating a differential value of the leakage magnetic flux distribution in a direction parallel to the measurement plane and obtaining a planar distribution of the differential value; based on the planar distribution of the differential value, And a step of evaluating the material properties.
【請求項2】 被検材の漏れ磁束を測定するホールセン
サと、 前記ホールセンサを被検材表面に沿って移動する移動手
段と、 前記ホールセンサにより、被検材の複数位置での漏れ磁
束値から被検材の漏れ磁束分布を求める磁束分布算出手
段と、 該漏れ磁束分布の測定平面に平行な方向に対する微分値
を算出し、微分値の平面分布を求める微分値算出手段
と、 前記漏れ磁束値の微分値の平面分布を出力する出力手段
と、を備えたことを特徴とする材料特性評価装置。
2. A Hall sensor for measuring a leakage magnetic flux of a test material, a moving means for moving the Hall sensor along a surface of the test material, and a leakage magnetic flux at a plurality of positions of the test material by the Hall sensor. A magnetic flux distribution calculating means for calculating a leakage magnetic flux distribution of the test material from the value; a differential value calculating means for calculating a differential value of the leakage magnetic flux distribution in a direction parallel to a measurement plane to obtain a plane distribution of the differential value; Output means for outputting a planar distribution of a differential value of a magnetic flux value.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009052904A (en) * 2007-08-23 2009-03-12 Jfe Steel Kk Quality inspection method and device for micro surface defect in magnetic metal zone
JP2009198296A (en) * 2008-02-21 2009-09-03 Nippon Steel Corp Fatigue tester and fatigue strength evaluation method

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