JP2002121258A - Method for producing energy ray-curable resin and energy ray-curable resin composition for resist - Google Patents

Method for producing energy ray-curable resin and energy ray-curable resin composition for resist

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JP2002121258A
JP2002121258A JP2000330428A JP2000330428A JP2002121258A JP 2002121258 A JP2002121258 A JP 2002121258A JP 2000330428 A JP2000330428 A JP 2000330428A JP 2000330428 A JP2000330428 A JP 2000330428A JP 2002121258 A JP2002121258 A JP 2002121258A
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energy ray
curable resin
acid
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洋三 山科
Hidenori Ishikawa
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an energy ray-curable resin which is used for resists, has an excellent basic performance, and has good toughness as a physical property. SOLUTION: The method for producing the energy ray-curable resin is characterized by reacting an acid anhydride with a hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound obtained by reacting an epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid and a dibasic acid anhydride in a specific range. The resin composition comprises the energy ray-curable resin and an epoxy group- having compound.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、硬化物性に優れた
エネルギー線硬化型樹脂の製造方法およびレジスト用エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物に関し、より詳しくは、紫
外線、電子線等のエネルギー線に対して高感度で、アル
カリ水溶液で現像可能で、硬化膜の耐熱性、硬度、伸
度、電気特性に優れ、カラーフィルター層や電子デバイ
スの保護膜、印刷配線基板用ソルダーレジスト等の永久
保護マスク、配線基板の絶縁層、ビルドアップ材料等の
用途に最適なエネルギー線硬化型樹脂の製造方法および
レジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing an energy ray-curable resin having excellent curing properties and an energy ray-curable resin composition for a resist, and more particularly, to an energy ray such as an ultraviolet ray or an electron beam. Highly sensitive, developable with alkaline aqueous solution, has excellent heat resistance, hardness, elongation, and electrical characteristics of the cured film, protective film for color filter layer and electronic device, permanent resist mask such as solder resist for printed wiring board, The present invention relates to a method for producing an energy ray-curable resin and an energy ray-curable resin composition for a resist, which are optimal for applications such as an insulating layer of a wiring board and a build-up material.

【0002】[0002]

【従来の技術】エポキシアクリレート樹脂は、不飽和エ
ポキシエステル樹脂またはビニルエステル樹脂とも呼ば
れ、耐熱性、耐薬品性、密着性、機械特性が他のアクリ
ルオリゴマー類に比べ優れるため、各種コーティング材
料、構造材料、配線基板のソルダーレジスト用等として
広く用いられている。
2. Description of the Related Art Epoxy acrylate resins, also called unsaturated epoxy ester resins or vinyl ester resins, are superior in heat resistance, chemical resistance, adhesion, and mechanical properties to other acrylic oligomers. Widely used as structural materials, solder resists for wiring boards, and the like.

【0003】特にソルダーレジストに関しては、基板情
報量の増加につれてパターンの細密化が嘱望されてお
り、写真製版法によるソルダーレジストが用いられてい
る。この手法としては、未露光部インキを溶剤や希アル
カリ液で現像する方法があるが、コストや溶剤の公害問
題で、希アルカリ液現像が主流となっている。
[0003] In particular, as for the solder resist, as the amount of substrate information increases, it is expected that the pattern becomes finer, and a solder resist formed by a photoengraving method is used. As this method, there is a method of developing the unexposed portion ink with a solvent or a dilute alkaline liquid. However, dilute alkaline liquid development is mainly used due to cost and pollution problems of the solvent.

【0004】これらの希アルカリ現像型ソルダーレジス
トとしては、エポキシアクリレート樹脂の水酸基に酸無
水物を反応させてカルボキシル基をペンダント化させ
た、いわゆる酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂
が主成分である。
[0004] These dilute alkali developable solder resists are mainly composed of a so-called acid pendant epoxy acrylate resin in which a carboxyl group is pendant by reacting an acid anhydride with a hydroxyl group of an epoxy acrylate resin.

【0005】この樹脂の製法やそれを利用した組成物、
及び塗装方法は、特開昭61−243869号公報や特
開昭63−258975号公報等に記載されているが、
これらの樹脂系は、酸ペンダント型エポキシアクリレー
トで特にノボラック型のエポキシを出発原料としてい
る。このノボラックエポキシアクリレートは、その構造
より分岐が大きく、耐熱性等には優れるが物性的に脆い
欠点を有している。
[0005] A method for producing the resin, a composition using the resin,
And the coating method is described in JP-A-61-243869 and JP-A-63-258975, etc.
These resin systems are based on acid pendant epoxy acrylates, especially novolak epoxy. This novolak epoxy acrylate has a greater degree of branching than its structure and is excellent in heat resistance and the like, but has a disadvantage of being brittle in physical properties.

【0006】さらに特開平5−339356号公報で
は、ビスフェノール型エポキシ(含フルオレン)アクリ
レートの水酸基と酸無水物とを反応させた化合物を主体
とした組成物が開示されている。このときエポキシアク
リレートを合成する際、エポキシ樹脂のエポキシ基のモ
ル数と(メタ)アクリル酸のモル数の比は当量であり、
つまり酸無水物の反応は、ハーフエステル化およびエス
テル化ともにエポキシアクリレートの第2級水酸基との
反応にて行うことになる。一般に第2級水酸基のエステ
ル化の反応性は乏しく、特に酸無水物の開環反応から生
成するカルボキシル基と第2級水酸基との直接エステル
化は困難であるため、強塩基触媒などを使用する必要が
ある。これらの触媒は、系中に残存するために硬化剤等
の配合時、特に熱硬化性エポキシ樹脂を含有させること
でポットライフが極めて短くなるという欠点や、イオン
性物質の混入による電気特性等物性の低下を招く。
Further, JP-A-5-339356 discloses a composition mainly composed of a compound obtained by reacting a hydroxyl group of a bisphenol type epoxy (containing fluorene) acrylate with an acid anhydride. At this time, when synthesizing the epoxy acrylate, the ratio of the number of moles of the epoxy group of the epoxy resin to the number of moles of the (meth) acrylic acid is equivalent,
That is, the reaction of the acid anhydride is performed by the reaction with the secondary hydroxyl group of the epoxy acrylate in both the half esterification and the esterification. Generally, the reactivity of esterification of secondary hydroxyl groups is poor, and it is difficult to directly esterify a carboxyl group formed from the ring-opening reaction of an acid anhydride with a secondary hydroxyl group. There is a need. Since these catalysts remain in the system, the pot life becomes extremely short when a curing agent is added, especially when a thermosetting epoxy resin is added, and the physical properties such as electrical properties due to the mixing of ionic substances Causes a decrease in

【0007】また、特開平11−21327号公報で
は、エポキシ樹脂に1分子中2個以上のアクリロイル基
を有するモノカルボン酸とアクリル酸を反応させて得ら
れる化合物に二塩基酸無水物を反応させて得られる光硬
化型樹脂により、感度等が向上する技術が開示されてい
るが、こうしたアクリレートの導入により高感度化は達
成可能であるが、物性的に脆い欠点を有している。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-21327, a compound obtained by reacting an epoxy resin with a monocarboxylic acid having two or more acryloyl groups per molecule and acrylic acid is reacted with a dibasic acid anhydride. A technique for improving the sensitivity and the like by using a photocurable resin obtained by the above method has been disclosed. However, the introduction of such an acrylate can achieve high sensitivity, but has a disadvantage in that the physical properties are brittle.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の各種
問題点に鑑み、ハロゲン性イオン触媒等の使用量の低減
や、非ハロゲン系触媒の使用等のような緩和な条件下で
も製造することが可能で、塗膜中に残存するイオン性物
質の低減に有用であり、かつレジスト用組成物として基
本的な性能に優れ、かつ靭性等の物性を大幅に向上出来
うるエネルギー線硬化型樹脂の製造方法、およびレジス
ト用エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned various problems, the present invention provides a method for manufacturing even under mild conditions such as a reduction in the amount of use of a halogen ion catalyst or the use of a non-halogen catalyst. Energy ray-curable resin that is capable of reducing ionic substances remaining in the coating film, is excellent in basic performance as a resist composition, and can greatly improve physical properties such as toughness. And a method for producing the same, and an energy ray-curable resin composition for a resist.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、不飽和モ
ノカルボン酸と、エポキシ樹脂と、二塩基酸無水物とを
使用し、エポキシ樹脂のエポキシ基のモル数は、不飽和
モノカルボン酸のモル数と二塩基酸無水物のカルボン酸
のモル数の和と当量近傍の割合にて仕込まれ、、かつ、
不飽和モノカルボン酸のモル数と二塩基酸無水物のカル
ボン酸のモル数が特定のモル比を用いて得られる構造の
水酸基含有エポキシアクリレート化合物は、基本的にエ
ポキシ基とカルボン酸との反応により製造できるためハ
ロゲン系触媒のような強塩基触媒等の低減や、非ハロゲ
ン系触媒への変更が可能であり、かつ、このアクリレー
ト化合物と酸無水物とを反応させて得られる構造のエネ
ルギー線硬化型樹脂化合物を含有するレジスト用樹脂組
成物が要求性能を満たすことを見い出し、本発明を完成
するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have used an unsaturated monocarboxylic acid, an epoxy resin and a dibasic acid anhydride, and the number of moles of the epoxy group of the epoxy resin is set to be equal to that of the unsaturated monocarboxylic acid. It is charged at a ratio close to the sum of the number of moles of the acid and the number of moles of the carboxylic acid of the dibasic anhydride, and
Hydroxyl-containing epoxy acrylate compounds having a structure in which the number of moles of the unsaturated monocarboxylic acid and the number of moles of the carboxylic acid of the dibasic anhydride are obtained using a specific molar ratio are basically obtained by reacting the epoxy group with the carboxylic acid. It is possible to reduce strong base catalysts such as halogen-based catalysts, etc., and to change to non-halogen-based catalysts, and to obtain energy rays having a structure obtained by reacting this acrylate compound with an acid anhydride. The present inventors have found that a resist resin composition containing a curable resin compound satisfies the required performance, and have completed the present invention.

【0010】さらに詳しくは、エポキシアクリレートの
反応において、不飽和モノカルボン酸(a2)と二塩基
酸無水物(a3)とをエポキシ樹脂(a1)に反応させ
ることによって、不飽和モノカルボン酸(a2)はエポ
キシ樹脂(a1)のエポキシ基に反応し、このときエポ
キシ基の開環反応により水酸基が生成する。また、エポ
キシ樹脂(a1)にもともと含有される水酸基、あるい
は、エポキシ樹脂(a1)と不飽和カルボン酸(a2)
との反応により生成した水酸基との両方、あるいはいず
れかの水酸基と二塩基酸無水物(a3)とが開環エステ
ル化により反応し、二塩基酸無水物(a3)からは、カ
ルボキシル基を生成する。その際生成したカルボキシル
基は、さらに系内に残存するエポキシ樹脂のエポキシ基
に反応し分子成長を行う。
More specifically, in the reaction of the epoxy acrylate, the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the dibasic acid anhydride (a3) are reacted with the epoxy resin (a1) to obtain the unsaturated monocarboxylic acid (a2). ) Reacts with the epoxy group of the epoxy resin (a1), and at this time, a hydroxyl group is generated by a ring opening reaction of the epoxy group. Also, the hydroxyl group originally contained in the epoxy resin (a1), or the epoxy resin (a1) and the unsaturated carboxylic acid (a2)
And / or any of the hydroxyl groups and the dibasic acid anhydride (a3) react by ring-opening esterification to form a carboxyl group from the dibasic acid anhydride (a3) I do. The carboxyl group generated at that time further reacts with the epoxy group of the epoxy resin remaining in the system to perform molecular growth.

【0011】こうした一連の反応において、エポキシ樹
脂(a1)のエポキシ基と不飽和モノカルボン酸(a
2)と二塩基酸無水物(a3)のそれぞれのモル比
a1、na2、na3を0.9na1<na2+na3<1.1n
a1かつ1.0<na2/na3<5.0という特定のモル比
で行うことにより、レジストに要求される物性を満足す
ることができる樹脂を精度良く製造することが可能であ
ることを見いだし、本発明を完成するに至った。よって
本発明に於ける製造方法では、二塩基酸無水物(a3)
は、エポキシアクリレートの鎖伸長剤としての役割を果
たし、かつこの鎖伸長反応を行う為に比較的低分子のエ
ポキシ樹脂を出発原料とする事が可能である。
In such a series of reactions, the epoxy group of the epoxy resin (a1) and the unsaturated monocarboxylic acid (a
The respective molar ratios n a1 , n a2 and n a3 of 2) and the dibasic acid anhydride (a3) are set to 0.9 n a1 <n a2 + n a3 <1.1 n
By performing the reaction at a specific molar ratio of a1 and 1.0 < na2 / na3 <5.0, it is possible to accurately produce a resin capable of satisfying the physical properties required for the resist. They have found and completed the present invention. Therefore, in the production method according to the present invention, the dibasic acid anhydride (a3)
Plays a role as a chain extender for epoxy acrylate, and it is possible to use a relatively low molecular weight epoxy resin as a starting material in order to carry out this chain extension reaction.

【0012】一般的なエポキシ樹脂の製造は、各種フェ
ノール化合物とエピクロルヒドリンとの脱塩酸反応によ
り行うが、高分子のエポキシ樹脂の製造においては、こ
うしたエピクロルヒドリン反応時の閉環や洗浄工程で高
純度のエポキシ樹脂を製造することが困難である。よっ
て樹脂内に加水分解性塩素や閉環出来なかった水酸基成
分等を含有する事となり、レジスト硬化膜にイオン性物
質を含有することになるため物性的に問題が生じる。こ
うした理由によりレジスト用に使用されるエポキシ樹脂
出発原料は、低分子のエポキシ樹脂の方が高純度であり
好ましい。しかしながら低分子エポキシ樹脂から合成さ
れたエポキシアクリレートは、溶剤乾燥後にタック(粘
着性)を生じ使用は難しいものである。溶剤乾燥後のタ
ック性は、紫外線等の露光時に使用されるネガフィルム
の張り付き、汚れあるいは作業性に影響を与え、重要な
性能であり、基本的にタックフリーであることが好まし
い。
The production of general epoxy resins is carried out by a dehydrochlorination reaction between various phenolic compounds and epichlorohydrin. In the production of high-molecular epoxy resins, high-purity epoxy resins are used in the ring closing and washing steps during the epichlorohydrin reaction. It is difficult to produce a resin. Therefore, the resin contains hydrolyzable chlorine, a hydroxyl group component that could not be ring-closed, and the like, and the cured resist film contains an ionic substance, which causes a problem in physical properties. For these reasons, epoxy resin starting materials used for resists are preferably low-molecular-weight epoxy resins because of their higher purity. However, epoxy acrylates synthesized from low molecular weight epoxy resins are difficult to use because they cause tack (adhesion) after solvent drying. Tackability after solvent drying affects the adhesion, dirt or workability of a negative film used during exposure to ultraviolet rays or the like, and is an important performance.

【0013】本発明においては、こうした低分子エポキ
シ樹脂の使用によっても、二塩基酸無水物(a3)によ
る鎖伸長反応を経由することでかかる問題点を克服する
ことが可能となる。また、一般的なノボラックタイプの
エポキシを出発原料としたエポキシアクリレートに比較
して分子の構造がリニアーに成長する為、硬化後の物性
も良好であり特に靭性の面で大きな効果を示すことを見
いだし本発明を完成させるに至った。
In the present invention, even with the use of such a low-molecular epoxy resin, it is possible to overcome such a problem by passing through a chain extension reaction with a dibasic acid anhydride (a3). In addition, it has been found that since the molecular structure grows linearly compared to epoxy acrylates using a general novolak type epoxy as a starting material, the physical properties after curing are also good, and a large effect is exhibited particularly in terms of toughness. The present invention has been completed.

【0014】また、この鎖伸長反応は、二塩基酸無水物
(a3)の開環エステル化と生成したカルボキシル基と
エポキシ基の反応により行われる為、緩和な条件下で製
造する事が可能である。このことは、副反応の抑制や再
現性の面、さらに強い活性の触媒の使用することなく製
造が可能であるため、さらにメリットを有している。
Further, since this chain extension reaction is carried out by ring-opening esterification of the dibasic acid anhydride (a3) and reaction between the generated carboxyl group and epoxy group, it can be produced under mild conditions. is there. This has further advantages because the side reaction can be suppressed and reproducibility can be achieved without using a catalyst having a stronger activity.

【0015】すなわち本発明は、[1]エポキシ樹脂
(a1)と不飽和モノカルボン酸(a2)と二塩基酸無水物
(a3)とを下記式(1)と(2)のいずれも満足させる
割合で用いて反応させて得られた水酸基含有変性エポキ
シアクリレート化合物(A)と、酸無水物(B)とを反
応させることを特徴とするエネルギー線硬化型樹脂の製
造方法を提供するものであり、 0.9na1<na2+na3<1.1na1 (1) 1.0<na2/na3<5.0 (2) (ただし、式中、na1は(a1)中の全エポキシ基のモ
ル数、na2は(a2)中の全カルボキシル基のモル数、
a3は(a3)中の酸無水物化合物のモル数を表す)、
また本発明は、[2]エポキシ樹脂(a1)と不飽和モ
ノカルボン酸(a2)と二塩基酸無水物(a3)との反
応を非ハロゲン系触媒の存在下で行う[1]記載のエネ
ルギー線硬化型樹脂の製造方法を提供するものであり、
また本発明は、[3]非ハロゲン系触媒が、リン系触媒
である[1]または[2]記載のエネルギー線硬化型樹
脂の製造方法を提供するものであり、また本発明は、
[4]不飽和カルボン酸(a2)が、アクリル酸および
/またはメタクリル酸である[1]、[2]または
[3]記載のエネルギー線硬化型樹脂の製造方法を提供
するものであり、また本発明は、[5]エポキシ樹脂
(a1)が、エポキシ当量90〜400g/当量(g/
eq)であるビスフェノールA型エポキシ樹脂および/
またはエポキシ当量90〜400g/当量(g/eq)
であるビスフェノールF型エポキシ樹脂である[1]〜
[4]のいずれか1項記載のエネルギー線硬化型樹脂の
製造方法を提供するものであり、また本発明は、[6]
[1]〜[5]のいずれか1項記載の製造方法により得
られたエネルギー線硬化型樹脂(I)と、分子中にエポ
キシ基を有する化合物(II)とを含有してなることを特
徴とするレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物を提
供するものである。
That is, the present invention relates to [1] an epoxy resin
(a1), unsaturated monocarboxylic acid (a2) and dibasic anhydride
(a3) is reacted with the following formulas (1) and (2) in a ratio that satisfies both of the following formulas (1) and (2) to react with a hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) and an acid anhydride (B). it is intended to provide a method of manufacturing a radiation-curable resin, wherein, 0.9n a1 <n a2 + n a3 <1.1n a1 (1) 1.0 <n a2 / n a3 <5.0 (2) (where n a1 is the number of moles of all epoxy groups in (a1), n a2 is the number of moles of all carboxyl groups in (a2),
na3 represents the number of moles of the acid anhydride compound in (a3)),
The present invention also provides the energy of [1], wherein the reaction of the epoxy resin (a1) with the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the dibasic anhydride (a3) is carried out in the presence of a non-halogen catalyst. It is intended to provide a method for producing a line-curable resin,
The present invention also provides a method for producing an energy ray-curable resin according to [1] or [2], wherein the [3] non-halogen-based catalyst is a phosphorus-based catalyst.
[4] The method for producing an energy ray-curable resin according to [1], [2] or [3], wherein the unsaturated carboxylic acid (a2) is acrylic acid and / or methacrylic acid. In the present invention, the [5] epoxy resin (a1) has an epoxy equivalent of 90 to 400 g / equivalent (g /
eq) bisphenol A type epoxy resin and / or
Or epoxy equivalent 90 to 400 g / equivalent (g / eq)
[1] to the bisphenol F type epoxy resin
[4] The present invention provides a method for producing the energy ray-curable resin according to any one of [4] and [6].
It is characterized by comprising an energy ray-curable resin (I) obtained by the production method according to any one of [1] to [5] and a compound (II) having an epoxy group in a molecule. And an energy ray-curable resin composition for a resist.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.

【0017】本発明で用いるエポキシ樹脂(a1)として
は、分子内にエポキシ基を2個以上有するものであれば
使用可能である。かかるエポキシ樹脂の代表例として
は、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノ
ールS等のビスフェノール型エポキシ樹脂;これらのビ
スフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型や
フェノールノボラック型、キシレノールノボラック等各
種ノボラック型エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン変
性のエポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するナフトー
ル、ビナフトールやこれらナフトール類やこれらのノボ
ラック体をエポキシ化して得られるナフタレン骨格のエ
ポキシ樹脂;多価カルボン酸のグリシジルエステル型樹
脂、線状脂肪族エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂、ト
リグリシジルイソシアヌレートやその誘導体;ポリグリ
シジル(メタ)アクリレートやグリシジル(メタ)アク
リレート等のグリシジル基含有不飽和モノマーと他の不
飽和モノマーとの共重合体等を挙げることができ、所望
する要求性能により、これらエポキシ樹脂を単独で使用
してもよく、2種類以上を混合して使用しても良い。
As the epoxy resin (a1) used in the present invention, any resin having two or more epoxy groups in the molecule can be used. Representative examples of such epoxy resins include bisphenol-type epoxy resins such as bisphenol A, bisphenol F, and bisphenol S; various novolak-type epoxy resins such as bisphenol novolak, cresol novolac, phenol novolac, and xylenol novolac; dicyclopentadiene Modified epoxy resin, naphthol having a naphthalene skeleton, binaphthol, an epoxy resin having a naphthalene skeleton obtained by epoxidizing these naphthols and novolaks thereof; a glycidyl ester type resin of a polycarboxylic acid, a linear aliphatic epoxy resin; Alicyclic epoxy resin, triglycidyl isocyanurate and derivatives thereof; unsaturated glycidyl group-containing unsaturated resins such as polyglycidyl (meth) acrylate and glycidyl (meth) acrylate; It can be mentioned copolymers of mer with other unsaturated monomers, the desired performance requirements, may use these epoxy resins alone or may be used in combination of two or more.

【0018】本発明においてより好ましいエポキシ樹脂
としては、エポキシ基を2個有するエポキシ樹脂が分子
量制御や物性の面で好ましい。かかるエポキシ基を2個
有するエポキシ樹脂としては、下記一般式で示されるビ
スフェノール型のエポキシ樹脂が好適に使用できる。 一般式(3)
As a more preferred epoxy resin in the present invention, an epoxy resin having two epoxy groups is preferred in terms of molecular weight control and physical properties. As such an epoxy resin having two epoxy groups, a bisphenol-type epoxy resin represented by the following general formula can be suitably used. General formula (3)

【化1】 (式中R1、R2は、水素原子または炭素数1〜5のアル
キル基、Xは、単結合又は、−CO−、−SO2−、−
C(CF32−、−Si(CH32−、−CH2−、−
C(CH32−、−O−、又は下記構造式(4)を示
し、nは、0〜10の整数である。) 構造式(4)
Embedded image (Wherein R1, R2 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, X is a single bond or, -CO -, - SO 2 - , -
C (CF 3) 2 -, - Si (CH 3) 2 -, - CH 2 -, -
It represents C (CH 3 ) 2 —, —O—, or the following structural formula (4), and n is an integer of 0 to 10. ) Structural formula (4)

【化2】 Embedded image

【0019】さらに好ましくは、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂であり、
なかでもこれらエポキシ樹脂のエポキシ当量が、90〜
400g/当量(g/eq)の範囲であるものが合成時
の再現性、現像性、硬化物性の面でより特に好ましい。
More preferred are bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin,
Above all, the epoxy equivalent of these epoxy resins is 90 to
Those having a range of 400 g / equivalent (g / eq) are particularly preferable in view of reproducibility during synthesis, developability, and cured physical properties.

【0020】本発明で用いる、不飽和モノカルボン酸
(a2)としては、アクリル酸および/またはメタクリル
酸が好ましく、あるいは、これらのダイマー酸やトリマ
ー酸が使用できる。さらにエチレン性不飽和二重結合と
水酸基と有する化合物と酸無水物との反応により得られ
る化合物が使用できる。不飽和モノカルボン酸(a2)は
1種、またはそれ以上で使用できる。
The unsaturated monocarboxylic acid used in the present invention
As (a2), acrylic acid and / or methacrylic acid are preferable, or dimer acid or trimer acid thereof can be used. Further, a compound obtained by reacting a compound having an ethylenically unsaturated double bond and a hydroxyl group with an acid anhydride can be used. One or more unsaturated monocarboxylic acids (a2) can be used.

【0021】かかる不飽和モノカルボン酸(a2)の原
料として用いられるエチレン性不飽和二重結合と水酸基
と有する化合物としては、例えば、ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、ヒドロキプロピル(メタ)アク
リレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ヒ
ドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、等のヒ
ドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;トリメチロ
ールプロパンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロパンジアクリレート、ペンタエリスリトールモノ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)
アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリ
レート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ
ート、等のポリオールと(メタ)アクリル酸とエステル
化して得られる化合物で水酸基を分子中に持っている化
合物;分子内にエポキシ基を有するエポキシ化合物と
(メタ)アクリル酸を反応させて得られるエポキシ(メ
タ)アクリレート、上記水酸基と(メタ)アクリレート
基を有する化合物にεカプロラクトン等の環状ラクトン
を反応させたもの、上記水酸基と(メタ)アクリレート
基を有する化合物にエチレンオキサイド、プロピレンオ
キサイド、ブチレンオキサイド、テトラヒドロフラン等
環状エーテル化合物を反応させて得られる化合物等を挙
げることができる。
Examples of the compound having an ethylenically unsaturated double bond and a hydroxyl group used as a raw material of the unsaturated monocarboxylic acid (a2) include, for example, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate and hydroxycyclohexyl (meth) acrylate; trimethylolpropane mono (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, pentaerythritol mono (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) ) Acrylate, pentaerythritol tri (meth)
Esterified with polyols such as acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid A compound having a hydroxyl group in the molecule of the obtained compound; an epoxy (meth) acrylate obtained by reacting an epoxy compound having an epoxy group in the molecule with (meth) acrylic acid; the above-mentioned hydroxyl group and (meth) acrylate group A compound having a hydroxyl group and a (meth) acrylate group reacted with a cyclic lactone such as ε-caprolactone, and a cyclic ether compound such as ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide, and tetrahydrofuran. And the like compounds obtained by reacting.

【0022】また、上記不飽和モノカルボン酸(a2)
の原料として用いられる酸無水物としては、例えば、無
水マレイン酸、無水フタル酸、無水コハク酸、ドデセニ
ル無水コハク酸、無水テトラヒドロフタル酸、4−メチ
ル−テトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−ヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ト
リメリット酸、無水メチルナジック酸、無水イタコン
酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸無水物等を挙げることができる。
The unsaturated monocarboxylic acid (a2)
Examples of the acid anhydride used as a raw material include maleic anhydride, phthalic anhydride, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-tetrahydrophthalic anhydride, and 4-methyl-hexahydroanhydride. Examples thereof include phthalic acid, hexahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, methylnadic anhydride, itaconic anhydride, pyromellitic anhydride, and benzophenonetetracarboxylic anhydride.

【0023】本発明で用いる、二塩基酸無水物(a3)と
しては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、無水
コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、無水テトラヒドロ
フタル酸、4−メチル−テトラヒドロ無水フタル酸、4
−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ヘキサヒド
ロフタル酸等を挙げることができる。
The dibasic acid anhydride (a3) used in the present invention includes, for example, maleic anhydride, phthalic anhydride, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-tetrahydrophthalic anhydride Acid, 4
-Methyl-hexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride and the like.

【0024】本発明で用いる水酸基含有変性エポキシア
クリレート化合物(A)の製造は、エポキシ樹脂(a1)
と不飽和モノカルボン酸(a2)と二塩基酸無水物(a3)
とを同時に反応させても、逐次に行っても良い。
The production of the hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) used in the present invention is carried out by using an epoxy resin (a1)
And unsaturated monocarboxylic acid (a2) and dibasic anhydride (a3)
May be reacted simultaneously or sequentially.

【0025】エポキシ樹脂(a1) と不飽和モノカルボ
ン酸(a2)とを反応させて生成する水酸基に、二塩基酸
無水物(a3)の酸無水物基が開環しながらエステル結合
し、カルボキシル基が生成する。このカルボキシル基
は、残存するエポキシ基に反応して水酸基を生成しなが
ら分子成長する。
The acid group of the dibasic acid anhydride (a3) is ester-bonded to the hydroxyl group formed by reacting the epoxy resin (a1) with the unsaturated monocarboxylic acid (a2) while ring-opening, and A group is formed. The carboxyl group reacts with the remaining epoxy group to form a hydroxyl group and grows.

【0026】反応は、エポキシ樹脂(a1)と不飽和モ
ノカルボン酸(a2)と二塩基酸無水物(a3)とが、
下記式(1)と(2)のいずれも満足することが必須で
ある。 0.9na1<na2+na3<1.1na1 (1) 1.0<na2/na3<5.0 (2) (ただし、式中、na1は反応に使用された(a1)中の
全エポキシ基のモル数、na2は反応に使用された(a
2)中の全カルボキシル基のモル数、na3は反応に使用
された(a3)中の酸無水物化合物のモル数を表す。)
In the reaction, the epoxy resin (a1), the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the dibasic acid anhydride (a3)
It is essential that both of the following expressions (1) and (2) are satisfied. 0.9n a1 <n a2 + n a3 <1.1n a1 (1) 1.0 <n a2 / n a3 <5.0 (2) (where n a1 was used in the reaction (a1) The number of moles of all epoxy groups therein, n a2, was used for the reaction (a
The number of moles of all the carboxyl groups in 2) and n a3 represent the number of moles of the acid anhydride compound in (a3) used in the reaction. )

【0027】不飽和モノカルボン酸(a2)中の全カルボ
キシル基のモル数と二塩基酸無水物(a3)中の酸無水物
化合物のモル数の和は、エポキシ樹脂(a1)中の全ポ
キシ基のモル数の0.9〜1.1倍である。
The sum of the number of moles of all the carboxyl groups in the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the number of moles of the acid anhydride compound in the dibasic acid anhydride (a3) is the total number of moles of the epoxy resin in the epoxy resin (a1). 0.9 to 1.1 times the number of moles of the group.

【0028】不飽和モノカルボン酸(a2)中の全カルボ
キシル基のモル数と二塩基酸無水物(a3)中の酸無水物
化合物のモル数の和が、エポキシ樹脂(a1)中の全エ
ポキシ基のモル数の0.9倍より小さい場合は、反応終
了後もエポキシ基が残存し安定性等に悪影響を及ぼすも
のである。また、1.1倍より大きい場合は、酸が残存
し、臭気や安定性等に悪影響を及ぼすものである。
The sum of the number of moles of all the carboxyl groups in the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the number of moles of the acid anhydride compound in the dibasic acid anhydride (a3) is equal to the total epoxy number in the epoxy resin (a1). If the number of moles is less than 0.9 times the number of moles of the group, the epoxy group remains even after the completion of the reaction and adversely affects stability and the like. On the other hand, when the ratio is more than 1.1 times, the acid remains and adversely affects odor, stability and the like.

【0029】また上記、式(2)において、不飽和モノ
カルボン酸(a2)中の全カルボキシル基のモル数と二
塩基酸無水物(a3)のモル数との割合(na2/na3
は、1〜5の範囲内である。
In the above formula (2), the ratio of the number of moles of all the carboxyl groups in the unsaturated monocarboxylic acid (a2) to the number of moles of the dibasic anhydride (a3) (n a2 / n a3 )
Is in the range of 1 to 5.

【0030】(na2/na3)の割合が、1より小さい場
合は、エポキシアクリレートのアクリレート官能基濃度
が小さくなり、感度や解像度の面、あるいは塗膜物性の
面で問題を生じる。また、(na2/na3)の割合が、5
より大きい場合は、分子成長が充分に行われず溶剤の仮
乾燥後のタック性に問題を生じる。(na2/na3)の割
合は、なかでも2.0<na2/na3<4.0であることが
特に好ましい。
If the ratio of (n a2 / n a3 ) is less than 1, the acrylate functional group concentration of the epoxy acrylate will be low, causing problems in terms of sensitivity, resolution, and physical properties of the coating film. Also, the ratio of (n a2 / n a3 ) is 5
If it is larger, molecular growth is not sufficiently performed, and a problem occurs in tackiness after the solvent is temporarily dried. The ratio of (n a2 / n a3 ) is particularly preferably 2.0 <n a2 / n a3 <4.0.

【0031】反応温度は、70℃〜170℃の範囲で行
うことができ、なかでも80℃〜160℃の範囲内で行
うことが副反応の低減、分子量分布の制御、反応時間の
面で特に好ましい。
The reaction can be carried out at a temperature in the range of 70 ° C. to 170 ° C., and particularly preferably in the range of 80 ° C. to 160 ° C. in terms of reduction of side reactions, control of molecular weight distribution, and reaction time. preferable.

【0032】また、製造時においては、物性が損なわな
れない範囲で触媒や安定剤を使用しても良い。触媒とし
ては、非ハロゲン系触媒、または10〜3000ppmの
範囲での少量のハロゲン系触媒を使用することができ
る。
At the time of production, a catalyst or a stabilizer may be used as long as the physical properties are not impaired. As the catalyst, a non-halogen catalyst or a small amount of a halogen catalyst in the range of 10 to 3000 ppm can be used.

【0033】触媒としては、非ハロゲン系触媒が好まし
く、例えば、トリエチルアミン、トリスジメチルアミノ
メチルフェノール、ベンジルジメチルアミン等の3級ア
ミン類;トリメチルベンジルアンモニウムハイドロオキ
サイド、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
等の第4級アンモニウム塩類;2−メチルイミダゾー
ル、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾ
ール類;ジアザビスシクロウンデセン等の窒素化合物
類;トリフェニルホスフィン、トリス(メチルフェニ
ル)フォスフィン、トリス−(2,6−ジメトキシフェ
ニル)フォスフィン等のホスフィン類;エチルトリフェ
ニルホスホニウムハイドロオキサイド、テトラ−n−ブ
チルホスホニウムハイドロオキサイド等のホスホニウム
塩類;ナフテン酸クロムなどの金属塩等の各種触媒が使
用できる。このうちホスフィン類、ホスホニウム塩類等
のリン系触媒が好ましく、なかでもホスフィン類が特に
好ましい。使用量としては、仕込み量に対して10〜1
0000ppmが適性な量である。
As the catalyst, a non-halogen catalyst is preferable, for example, tertiary amines such as triethylamine, trisdimethylaminomethylphenol and benzyldimethylamine; and quaternary amines such as trimethylbenzylammonium hydroxide and tetramethylammonium hydroxide. Ammonium salts; imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-ethyl-4-methylimidazole; nitrogen compounds such as diazabiscycloundecene; triphenylphosphine, tris (methylphenyl) phosphine, tris- (2,6 Phosphines such as -dimethoxyphenyl) phosphine; phosphonium salts such as ethyltriphenylphosphonium hydroxide and tetra-n-butylphosphonium hydroxide; and chromium naphthenate. Various catalysts such as any metal salt can be used. Of these, phosphorus-based catalysts such as phosphines and phosphonium salts are preferred, and phosphines are particularly preferred. The amount used is 10 to 1 with respect to the charged amount.
0000 ppm is a suitable amount.

【0034】またハロゲン系触媒としては、例えば、水
酸化ナトリウム、水酸化リチウム等の無機触媒;ジエチ
ルアミン塩酸塩;トリメチルベンジルアンモニウムクロ
ライド、テトラメチルアンモニウムクロライド等の第4
級アンモニウム塩類、テトラ−n−ブチルホスホニウム
ブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイ
ド等のホスホニウム塩類が挙げられる。
Examples of the halogen-based catalyst include inorganic catalysts such as sodium hydroxide and lithium hydroxide; diethylamine hydrochloride; and quaternary catalysts such as trimethylbenzylammonium chloride and tetramethylammonium chloride.
And quaternary ammonium salts, and phosphonium salts such as tetra-n-butylphosphonium bromide and ethyltriphenylphosphonium bromide.

【0035】重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキ
ノン、メチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノ
ン、ターシャリブチルハイドロキノン、2−6−ジター
シャリブチル−4−メトキシフェノール、銅塩、フェノ
チアジン等が使用できる。
As the polymerization inhibitor, for example, hydroquinone, methylhydroquinone, trimethylhydroquinone, tert-butylhydroquinone, 2-6-ditert-butyl-4-methoxyphenol, copper salt, phenothiazine and the like can be used.

【0036】酸化防止剤としては、例えば、亜リン酸、
亜リン酸エステル類、亜リン酸ジエステル類等を使用で
きる。
Examples of the antioxidant include phosphorous acid,
Phosphites and phosphite diesters can be used.

【0037】水酸基含有変性エポキシアクリレート化合
物(A)の分子量は、溶剤乾燥後のタック性や機械物性
を良好にし、現像性を適性なものにするため、ポリスチ
レン換算の数平均分子量で1000〜20000の範囲
内、ポリスチレン換算の重量平均分子量で2000〜4
0000の範囲内であることが好ましい。
The hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) has a number average molecular weight of 1,000 to 20,000 in terms of polystyrene in order to improve tackiness and mechanical properties after solvent drying and to make developability appropriate. Within the range, a polystyrene equivalent weight average molecular weight of 2000-4
It is preferably in the range of 0000.

【0038】こうして得られた水酸基含有変性エポキシ
アクリレート化合物(A)と酸無水物(B)とを反応さ
せて目的とするエネルギー線硬化型樹脂を製造する事が
出来る。
The desired energy ray-curable resin can be produced by reacting the thus obtained hydroxyl-containing modified epoxy acrylate compound (A) with the acid anhydride (B).

【0039】かかる酸無水物(B)としては、例えば、
無水マレイン酸、無水フタル酸、無水コハク酸、ドデセ
ニル無水コハク酸、無水テトラヒドロフタル酸、4−メ
チル−テトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−ヘキサ
ヒドロ無水フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水
トリメリット酸、無水メチルナジック酸、無水イタコン
酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸無水物等を挙げることができる。
As the acid anhydride (B), for example,
Maleic anhydride, phthalic anhydride, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-tetrahydrophthalic anhydride, 4-methyl-hexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride , Methylnadic anhydride, itaconic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic anhydride and the like.

【0040】エネルギー線硬化型樹脂の製造は、例え
ば、水酸基含有変性エポキシアクリレート化合物(A)
中の水酸基1モルに対して0.15モル以上、好ましく
は0.3〜0.95モルの酸無水物(B)を常温から1
30℃、好ましくは50〜110℃で反応し、ペンダン
トエステル化することにより製造できる。ここで水酸基
含有変性エポキシアクリレート化合物(A)中の水酸基
は、エポキシ樹脂(a1)に含まれる水酸基と、反応し
た不飽和モノカルボン酸(a2)のモル数の和となる
(詳細には、エポキシ樹脂(a1)に含まれる水酸基
と、反応した不飽和モノカルボン酸(a2)のモル数の
和から二塩基酸無水物(a3)のモル数を減じた値がハー
フエステル化時に残存する水酸基モル数であり、さらに
二塩基酸無水物(a3)のハーフエステル化で生成したカ
ルボン酸基が残存するエポキシ基と反応して水酸基を生
成するため、二塩基酸無水物(a3)のモル数がさらに水
酸基として生成する量である。)。このとき酸価として
は、30〜120KOHmg/gの範囲となることが好まし
く、なかでも40〜100KOHmg/gになることが現像性
や硬化物性の点で特に好ましい。
The production of the energy ray-curable resin is carried out by, for example, modifying the hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A)
0.15 mol or more, preferably 0.3 to 0.95 mol, of the acid anhydride (B) per 1 mol of the hydroxyl group in
It can be produced by reacting at 30 ° C., preferably 50 to 110 ° C., and performing pendant esterification. Here, the hydroxyl group in the hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) is the sum of the number of moles of the hydroxyl group contained in the epoxy resin (a1) and the reacted unsaturated monocarboxylic acid (a2). The value obtained by subtracting the number of moles of the dibasic anhydride (a3) from the sum of the number of moles of the hydroxyl group contained in the resin (a1) and the reacted unsaturated monocarboxylic acid (a2) is the number of moles of the hydroxyl group remaining during half esterification. And the carboxylic acid group generated by half-esterification of the dibasic acid anhydride (a3) reacts with the remaining epoxy group to form a hydroxyl group. Therefore, the number of moles of the dibasic acid anhydride (a3) is Further, it is an amount generated as a hydroxyl group.) At this time, the acid value is preferably in the range of 30 to 120 KOHmg / g, and particularly preferably in the range of 40 to 100 KOHmg / g in terms of developability and cured physical properties.

【0041】水酸基含有変性エポキシアクリレート化合
物(A)中の水酸基と酸無水物(B)との反応終点は、
赤外分光スペクトル1770cm 1および1850cm
1の酸無水物ピークが消失することで確認することが可
能である。
The reaction end point between the hydroxyl group in the hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) and the acid anhydride (B) is as follows:
Infrared spectrum 1770cm - 1 and 1850cm
It is possible to confirm by an acid anhydride peak of -1 disappeared.

【0042】かかる製造方法によって得られるエネルギ
ー線硬化型樹脂(I)の分子量は、溶剤乾燥後のタック
性や機械物性を良好にし、現像性を適性なものにするた
め、ポリスチレン換算の数平均分子量で1500〜20
000の範囲内、ポリスチレン換算の重量平均分子量で
2500〜40000の範囲内であることが好ましい。
The molecular weight of the energy ray-curable resin (I) obtained by such a production method is determined to be a number average molecular weight in terms of polystyrene in order to improve tackiness and mechanical properties after drying the solvent and to make developability suitable. 1500 to 20
It is preferable that the weight average molecular weight is in the range of 2,500 to 40,000 in terms of polystyrene.

【0043】更に、紫外線露光、現像後によるパターン
作成後エネルギー線硬化型樹脂(I)中のカルボキシル
基と反応し得る、分子中にエポキシ基を有する化合物
(II)を組成物に存在させることによりさらに機械物性
や耐熱物性等が向上したエネルギー線硬化型樹脂組成物
を得ることができる。
Further, the compound (II) having an epoxy group in the molecule, which can react with a carboxyl group in the energy ray-curable resin (I) after pattern formation by exposure to ultraviolet light and development, is present in the composition. Further, an energy ray-curable resin composition having improved mechanical properties, heat resistance properties, and the like can be obtained.

【0044】分子中にエポキシ基を有する化合物(II)
は、特に制限されないが、1分子中に2個以上のエポキ
シ基を有するエポキシ化合物が好ましく、その代表的な
例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキ
シ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾ
ールノボラック型エポキシ樹脂、多価カルボン酸のグリ
シジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、
トリグリシジルイソシアヌレート樹脂、ジシクロペンタ
ジエン変成エポキシ樹脂、ナフタレン骨格のエポキシ樹
脂、キシレノールから誘導されたエポキシ樹脂、フェノ
ールアラルキルエポキシ樹脂やナフタレンアラルキルエ
ポキシ樹脂、その他ザイロック型エポキシ樹脂などを挙
げることができる。
Compound (II) having an epoxy group in the molecule
Is not particularly limited, but an epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule is preferable, and typical examples thereof include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, Phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin of polyvalent carboxylic acid, alicyclic epoxy resin,
Examples include triglycidyl isocyanurate resin, dicyclopentadiene modified epoxy resin, epoxy resin having a naphthalene skeleton, epoxy resin derived from xylenol, phenol aralkyl epoxy resin, naphthalene aralkyl epoxy resin, and other Xyloc type epoxy resins.

【0045】分子中にエポキシ基を有するエポキシ化合
物(II)は、単独でも2種以上の混合物として用いられ
る。その使用範囲に特に制限はないが、エネルギー線硬
化型樹脂組成物の固形分100重量部に対して、5〜3
00重量部が好ましく、なかでも10〜100重量部が
特に好ましい。
The epoxy compound (II) having an epoxy group in the molecule may be used alone or as a mixture of two or more. Although there is no particular limitation on the range of use, 5 to 3 parts by weight per 100 parts by weight of the solid content of the energy ray-curable resin composition.
The amount is preferably 00 parts by weight, and particularly preferably 10 to 100 parts by weight.

【0046】さらに、本発明の効果を損ねない範囲で、
反応促進のため、エポキシ硬化促進剤を添加することが
できる。
Further, as long as the effects of the present invention are not impaired,
For accelerating the reaction, an epoxy curing accelerator can be added.

【0047】エポキシ硬化促進剤としては、例えば、ア
ミン化合物類、イミダゾール化合物類、ジアルキル尿素
類、カルボン酸類、フェノール類、メチロール基含有化
合物類などの各種のエポキシ硬化促進剤を挙げることが
できる。これらの硬化促進剤は、塗膜を後加熱すること
により、エネルギー線硬化成分の重合促進、ならびに、
エポキシ化合物とエネルギー線硬化型樹脂組成物中のカ
ルボキシル基との反応およびエポキシ化合物同士の反応
を通してレジスト被膜の諸物性を向上せしめることもで
きる。
Examples of the epoxy curing accelerator include various epoxy curing accelerators such as amine compounds, imidazole compounds, dialkyl ureas, carboxylic acids, phenols, and compounds containing a methylol group. These curing accelerators promote the polymerization of energy ray-curable components by post-heating the coating film, and
Various physical properties of the resist film can also be improved through a reaction between the epoxy compound and a carboxyl group in the energy ray-curable resin composition and a reaction between the epoxy compounds.

【0048】本発明のエネルギー線硬化型樹脂組成物に
は、紫外線照射により硬化を行う際、光重合開始剤、光
増感剤を使用することができる。
In the energy ray-curable resin composition of the present invention, a photopolymerization initiator and a photosensitizer can be used when curing by irradiation with ultraviolet rays.

【0049】光重合開始剤としては、各種の光重合開始
剤を用いることができ、例えば、4−ジメチルアミノ安
息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸エステル、アルコ
キシアセトフェノン、ベンゾフェノンおよびベンゾフェ
ノン誘導体、ベンゾイル安息香酸アルキル、ビス(4ー
ジアルキルアミノフェニル)ケトン、ベンジルおよびベ
ンジル誘導体、ベンゾインおよびベンゾイン誘導体、ベ
ンゾインアルキルエーテル、2−ヒドロキシ−2−メチ
ルプロピオフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフ
ェニルケトン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェ
ノイルホスフィンオキシド、2−メチル−1−[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−
1,2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルホリノフェニル)−ブタノン−1、アセトフェノン、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,
2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1
−ジクロロアセトフェノンのごときアセトフェノン類、
2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノ
ン、2−ターシャリブチルアントラキノン、1−クロロ
アントラキノン、2−アルミアントラキノンのごときア
ントラキノン類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,
4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサント
ン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンのごときチ
オキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール、ベ
ンジルジメチルケタールのごときケタール類、またはキ
サントン類等が挙げられる。
As the photopolymerization initiator, various photopolymerization initiators can be used, for example, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzoic acid ester, alkoxyacetophenone, benzophenone and benzophenone derivatives, benzoylbenzoic acid Alkyl, bis (4-dialkylaminophenyl) ketone, benzyl and benzyl derivatives, benzoin and benzoin derivatives, benzoin alkyl ether, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2,4,6- Trimethylbenzoyl diphenoylphosphine oxide, 2-methyl-1- [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-
1,2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, acetophenone,
2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,
2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1
Acetophenones such as dichloroacetophenone,
Anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-aluminanthraquinone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,
Thioxanthones such as 4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; and xanthones.

【0050】光重合開始剤の使用量は、通常、エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物の固形分100重量部に対して
0.2〜30重量部であり、好ましくは2〜20重量部
の範囲である。かかる光重合開始剤は、単独であるいは
2種以上を組み合わせて用いることもできる。
The amount of the photopolymerization initiator is usually 0.2 to 30 parts by weight, preferably 2 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content of the energy ray-curable resin composition. is there. Such photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

【0051】本発明におけるレジスト用エネルギー線硬
化型脂組成物には、硬化膜の物性の改質、硬化性の改
良、塗装適性の改質等の目的でその他光重合性化合物を
併用することもできる。用いられる光重合性化合物は、
特に制限はなく、各種の光重合性ビニル単量体やオリゴ
マーを用いることができるが、代表的な例としては、β
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、β−ヒドロ
キシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メ
タ)アクリレート、β−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リロイルホスフェート、ジメチルアミノエチル(メタ)
アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレ
ート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)ア
クリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)ア
クリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)ア
クリレート、もしくは、トリス(2−(メタ)アクリロ
イルオキシエチル)イソシアヌレート、また、多塩基酸
とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとのモノ
−、ジ−、トリ−またはそれ以上のポリエステル(メ
タ)アクリレート化合物、あるいはビスフェノール型エ
ポキシ(メタ)アクリレート、ノボラック型エポキシ
(メタ)アクリレートまたはウレタンアクリレートのご
とき、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー類、
オリゴマー類が挙げられる。
The energy ray-curable resin composition for a resist according to the present invention may be used in combination with other photopolymerizable compounds for the purpose of improving the physical properties of the cured film, improving the curability, and improving the coating suitability. it can. The photopolymerizable compound used is
There is no particular limitation, and various photopolymerizable vinyl monomers and oligomers can be used.
-Hydroxyethyl (meth) acrylate, β-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, β-hydroxyethyl (meth) acryloyl phosphate, dimethylaminoethyl (meth)
Acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, di Propylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate
Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, or tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) Isocyanurates, mono-, di-, tri- or higher polyester (meth) acrylate compounds of polybasic acids and hydroxyalkyl (meth) acrylates, or bisphenol-type epoxy (meth) acrylates, novolak-type epoxy (meth) ) Monomers having ethylenically unsaturated double bonds, such as acrylates or urethane acrylates;
Oligomers.

【0052】本発明では、樹脂を合成する上での攪拌効
率の向上や、粘度の低減、ハンドリング性やアプリケー
ション適性の改良の為に有機溶剤を使用することができ
る。
In the present invention, an organic solvent can be used for improving the stirring efficiency in synthesizing the resin, reducing the viscosity, improving the handleability and the suitability for application.

【0053】有機溶剤としては、例えば、メチルエチル
ケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、
キシレンなどの芳香族炭化水素類;セロソルブ、ブチル
セロソルブなどのセロソルブ類;カルビトール、ブチル
カルビトールなどのカルビトール類、;酢酸エチル、酢
酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブア
セテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトー
ルアセテート、ブチルカルビトールアセテートやその他
プロピレングリコールから誘導されるエーテル系溶剤や
酢酸エステル類などが挙げられる。
Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene; cellosolves such as cellosolve and butyl cellosolve; carbitols such as carbitol and butyl carbitol; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate and ethyl carbitol acetate And butyl carbitol acetate and other ether solvents and acetates derived from propylene glycol.

【0054】上記のような光重合性化合物および/また
は有機溶剤は、単独でまたは2種以上の混合物として用
いられる。その使用量の好ましい範囲は、エネルギー線
硬化型難燃性樹脂の固形分100重量部に対して5〜3
00重量部が好ましく、より好ましくは10〜200重
量部である。
The above photopolymerizable compounds and / or organic solvents are used alone or as a mixture of two or more. The preferred range of the amount is 5 to 3 parts by weight based on 100 parts by weight of the solid content of the energy ray-curable flame-retardant resin.
The amount is preferably 00 parts by weight, more preferably 10 to 200 parts by weight.

【0055】本発明のレジスト用エネルギー線硬化型樹
脂組成物には、更に必要に応じて、硫酸バリウム、酸化
ケイ素、タルク、クレー、炭酸カルシウム等の各種の充
填剤、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリー
ン、酸化チタン、カーボンブラック等の各種の着色用顔
料、消泡剤、密着性付与剤、レベリング剤、スリップ剤
等を加えてもよい。
The energy ray-curable resin composition for a resist of the present invention may further contain various fillers such as barium sulfate, silicon oxide, talc, clay and calcium carbonate, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, Various coloring pigments such as titanium and carbon black, an antifoaming agent, an adhesion-imparting agent, a leveling agent, a slip agent and the like may be added.

【0056】本発明のレジスト用エネルギー線硬化型樹
脂組成物は、各種基材に塗布することにより、被膜を形
成せしめることができる。基材としては、例えば、プリ
ント配線基板などがあり、この上に本組成物をスクリー
ン印刷法、ロールコーター法あるいはカーテンコーター
法、スプレーコーター、スピンコーター等などにより全
面に塗布し、エネルギー線を照射して必要部分を硬化
後、希アルカリ水溶液で未露光部分を溶かし去り、更に
熱による後硬化を加えることにより、目的とする被膜を
形成せしめることができる。また、溶剤等を含有する場
合は、エネルギー線の照射前に溶剤乾燥を行っても良
い。
The energy ray-curable resin composition for a resist of the present invention can form a coating film by being applied to various substrates. As the base material, for example, there is a printed wiring board, etc., on which the present composition is applied over the entire surface by a screen printing method, a roll coater method or a curtain coater method, a spray coater, a spin coater, etc., and irradiated with energy rays. After the necessary portions are cured, the unexposed portions are dissolved away with a dilute aqueous alkali solution, and further subjected to post-curing by heat, whereby a target film can be formed. When a solvent or the like is contained, the solvent may be dried before the irradiation with the energy beam.

【0057】本発明でいうエネルギー線とは、電子線、
α線、γ線、X線、中性子線または、紫外線のごとき、
電離放射線や光などを総称するものである。
The energy beam referred to in the present invention is an electron beam,
α-rays, γ-rays, X-rays, neutron rays or ultraviolet rays,
It is a general term for ionizing radiation and light.

【0058】エネルギー線の照射光源としては、紫外線
を使用する場合は、例えば、低圧水銀ランプ、中圧水銀
ランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプまたはメタル
ハライドランプ等が適当であり、その他レーザー光線な
ども硬化用のエネルギー線として利用できる。
When an ultraviolet ray is used as a light source for irradiating an energy ray, for example, a low-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a xenon lamp or a metal halide lamp is suitable. Can be used as energy rays.

【0059】[0059]

【実施例】次に、本発明を実施例および応用例により、
一層具体的に説明するが、以下において、部および%
は、特に断りのない限り、全て重量基準であるものとす
る。
Next, the present invention will be described by way of examples and application examples.
More specifically, in the following, parts and%
All are by weight unless otherwise specified.

【0060】実施例1 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート428部を入れ、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量188g/
eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン85
0)1128部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキ
ノン1部を加えた後、アクリル酸288部、無水フタル
酸296部、トリフェニルホスフィン5部を添加し、空
気を吹き込みながら、120℃で12時間エステル化反
応を行った。この時、系の酸価は、0.5KOH-mg/g、エ
ポキシ当量は、18600g/eqであった。その後、エチ
ルカルビトールアセテート687.2部、テトラヒドロ
無水フタル酸552部を加え100℃で5時間反応し、
エネルギー線硬化型樹脂(X−1)を得た。この時の酸
価は、60.6KOH-mg/g(固形分値90.5KOH-mg/
g)。
Example 1 A flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a reflux condenser was charged with 428 parts of ethyl carbitol acetate, and a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 188 g /
eq; Epicron 85 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
0) After dissolving 1128 parts, adding 1 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor, adding 288 parts of acrylic acid, 296 parts of phthalic anhydride, and 5 parts of triphenylphosphine, and blowing at air at 120 ° C. for 12 hours. An esterification reaction was performed. At this time, the acid value of the system was 0.5 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 18,600 g / eq. Thereafter, 687.2 parts of ethyl carbitol acetate and 552 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added and reacted at 100 ° C. for 5 hours.
An energy ray-curable resin (X-1) was obtained. The acid value at this time was 60.6 KOH-mg / g (solid content 90.5 KOH-mg / g).
g).

【0061】実施例2 実施例1と同一実験装置に、エチルカルビトールアセテ
ート402.5部を入れ、ビスフェノールF(エポキシ
当量171g/eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピ
クロン830)1026部を溶解し、重合禁止剤として
ハイドロキノン1部を加えた後、アクリル酸288部、
無水フタル酸296部、トリフェニルホスフィン5部を
添加し、空気を吹き込みながら、120℃で12時間エ
ステル化反応を行った。この時、系の酸価は、0.7KOH
-mg/g、エポキシ当量は、17200g/eqであった。そ
の後、エチルカルビトールアセテート646.2部、テ
トラヒドロ無水フタル酸519.2部を加え100℃で
5時間反応し、エネルギー線硬化型樹脂(X−2)を得
た。この時の酸価は、60.4KOH-mg/g(固形分値9
0.2KOH-mg/g)であった。
Example 2 Into the same experimental apparatus as in Example 1, 402.5 parts of ethyl carbitol acetate were put, and 1026 parts of bisphenol F (epoxy equivalent: 171 g / eq; Epicron 830 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) was dissolved. Then, after adding 1 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor, 288 parts of acrylic acid,
296 parts of phthalic anhydride and 5 parts of triphenylphosphine were added, and an esterification reaction was performed at 120 ° C. for 12 hours while blowing air. At this time, the acid value of the system is 0.7 KOH
-mg / g, epoxy equivalent was 17,200 g / eq. Thereafter, 646.2 parts of ethyl carbitol acetate and 519.2 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added and reacted at 100 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (X-2). The acid value at this time was 60.4 KOH-mg / g (solid content 9
0.2 KOH-mg / g).

【0062】実施例3 実施例1と同一実験装置に、エチルカルビトールアセテ
ート410部を入れ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(エポキシ当量188g/eq;大日本インキ化学工業株式
会社製エピクロン850)564部とジシクロペンダジ
エン変性エポキシ樹脂(エポキシ当量264g/eq;大日
本インキ化学工業株式会社製エピクロンHP7200)
の564部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキノン
1部を加えた後、アクリル酸288部、無水フタル酸2
96部、トリフェニルホスフィン5部を添加し、空気を
吹き込みながら、120℃で12時間エステル化反応を
行った。この時、系の酸価は、0.2KOH-mg/g、エポキ
シ当量は、15200g/eqであった。その後、エチルカ
ルビトールアセテート757.8部、テトラヒドロ無水
フタル酸528.9部を加え100℃で5時間反応し、
エネルギー線硬化型樹脂(X−3)を得た。この時の酸
価は、58.5KOH-mg/g(固形分値90.0KOH-mg/
g)であった。
Example 3 Into the same experimental apparatus as in Example 1, 410 parts of ethyl carbitol acetate were placed, and 564 parts of a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 188 g / eq; Epicron 850 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) was added. Dicyclopentadiene-modified epoxy resin (Epoxy equivalent: 264 g / eq; Epicron HP7200 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)
Was dissolved, and 1 part of hydroquinone was added as a polymerization inhibitor. Then, 288 parts of acrylic acid and 2 parts of phthalic anhydride were added.
96 parts and 5 parts of triphenylphosphine were added, and an esterification reaction was performed at 120 ° C. for 12 hours while blowing air. At this time, the acid value of the system was 0.2 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 15,200 g / eq. Thereafter, 757.8 parts of ethyl carbitol acetate and 528.9 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added and reacted at 100 ° C. for 5 hours.
An energy ray-curable resin (X-3) was obtained. The acid value at this time was 58.5 KOH-mg / g (solid content 90.0 KOH-mg / g).
g).

【0063】実施例4 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート420部を入れ、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量188g/
eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン85
0)1128部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキ
ノン1部を加えた後、アクリル酸324部、テトラヒド
ロ無水フタル酸228部、トリフェニルホスフィン5部
を添加し、空気を吹き込みながら、120℃で12時間
エステル化反応を行った。この時、系の酸価は、0.5K
OH-mg/g、エポキシ当量は、15600g/eqであった。
その後、エチルカルビトールアセテート655部、テト
ラヒドロ無水フタル酸502.7部を加え100℃で5
時間反応し、エネルギー線硬化型樹脂(X−4)を得
た。この時の酸価は、57.2KOH-mg/g(固形分値8
5.2KOH-mg/g)であった。
Example 4 A flask equipped with a thermometer, stirrer, and reflux condenser was charged with 420 parts of ethyl carbitol acetate, and a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 188 g /
eq; Epicron 85 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
0) 1128 parts were dissolved, 1 part of hydroquinone was added as a polymerization inhibitor, and then 324 parts of acrylic acid, 228 parts of tetrahydrophthalic anhydride and 5 parts of triphenylphosphine were added. A time esterification reaction was performed. At this time, the acid value of the system is 0.5K
OH-mg / g, epoxy equivalent was 15,600 g / eq.
Thereafter, 655 parts of ethyl carbitol acetate and 502.7 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added, and the mixture was added at 100 ° C for 5 hours.
The reaction was carried out for an hour to obtain an energy ray-curable resin (X-4). The acid value at this time was 57.2 KOH-mg / g (solid content 8
5.2 KOH-mg / g).

【0064】実施例5 実施例1と同一実験装置に、エチルカルビトールアセテ
ート507部を入れ、ビスフェノールF(エポキシ当量
171g/eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロ
ン830)1368部を溶解し、重合禁止剤としてハイ
ドロキノン1.3部を加えた後、アクリル酸360部、
無水コハク酸300部、トリフェニルホスフィン5部を
添加し、空気を吹き込みながら、120℃で12時間エ
ステル化反応を行った。この時、系の酸価は、0.7KOH
-mg/g、エポキシ当量は、19500g/eqであった。そ
の後、エチルカルビトールアセテート887部、テトラ
ヒドロ無水フタル酸561部を加え100℃で5時間反
応し、エネルギー線硬化型樹脂(X−5)を得た。この
時の酸価は、52KOH-mg/g(固形分値80.0KOH-mg/
g)であった。
Example 5 In the same experimental apparatus as in Example 1, 507 parts of ethyl carbitol acetate were put, and 1368 parts of bisphenol F (epoxy equivalent: 171 g / eq; Epicron 830 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) was dissolved. After adding 1.3 parts of hydroquinone as a polymerization inhibitor, 360 parts of acrylic acid,
300 parts of succinic anhydride and 5 parts of triphenylphosphine were added, and an esterification reaction was performed at 120 ° C. for 12 hours while blowing air. At this time, the acid value of the system is 0.7 KOH
-mg / g and epoxy equivalent was 19500 g / eq. Thereafter, 887 parts of ethyl carbitol acetate and 561 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added and reacted at 100 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (X-5). The acid value at this time was 52 KOH-mg / g (solid content 80.0 KOH-mg / g).
g).

【0065】比較例1 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート428部を入れ、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量188g/
eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン85
0)376部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキノ
ン0.5部を加えた後、アクリル酸144部トリフェニ
ルホスフィン2部を添加し、空気を吹き込みながら、1
20℃で12時間エステル化反応を行った。この時、系
の酸価は、0.5KOH-mg/g、エポキシ当量は、3860
0g/eqであった。その後、エチルカルビトールアセテー
ト229.2部、テトラヒドロ無水フタル酸167.7
部を加え100℃で5時間反応し、エネルギー線硬化型
樹脂(RX−1)を得た。この時の酸価は、67.2KO
H-mg/g(固形分値89.5KOH-mg/g)であった。
Comparative Example 1 A flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a reflux condenser was charged with 428 parts of ethyl carbitol acetate, and a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 188 g /
eq; Epicron 85 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
0) Dissolve 376 parts, add 0.5 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor, add 144 parts of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine, and blow 1
The esterification reaction was performed at 20 ° C. for 12 hours. At this time, the acid value of the system was 0.5 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 3860.
It was 0 g / eq. Thereafter, 229.2 parts of ethyl carbitol acetate and 167.7 parts of tetrahydrophthalic anhydride were used.
The reaction was conducted at 100 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (RX-1). The acid value at this time is 67.2 KO
H-mg / g (solids value: 89.5 KOH-mg / g).

【0066】比較例2 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート356部を入れ、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量640g/
eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン205
5)1280部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキ
ノン1.3部を加えた後、アクリル酸144部トリフェ
ニルホスフィン5部を添加し、空気を吹き込みながら、
120℃で12時間エステル化反応を行った。この時、
系の酸価は、0.5KOH-mg/g、エポキシ当量は、511
00g/eqであった。その後、エチルカルビトールアセテ
ート423.2部、テトラヒドロ無水フタル酸394.
1部を加え100℃で5時間反応し、エネルギー線硬化
型樹脂(RX−2)を得た。この時の酸価は、56.3
KOH-mg/g(固形分値80.5KOH-mg/g)であった
Comparative Example 2 A flask equipped with a thermometer, stirrer, and reflux condenser was charged with 356 parts of ethyl carbitol acetate, and a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 640 g /
eq; Epicron 205 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
5) After dissolving 1280 parts and adding 1.3 parts of hydroquinone as a polymerization inhibitor, 144 parts of acrylic acid and 5 parts of triphenylphosphine were added, and while blowing air,
The esterification reaction was performed at 120 ° C. for 12 hours. At this time,
The acid value of the system was 0.5 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 511.
It was 00 g / eq. Thereafter, 423.2 parts of ethyl carbitol acetate, 394.
One part was added and reacted at 100 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (RX-2). The acid value at this time was 56.3.
KOH-mg / g (solid content: 80.5 KOH-mg / g)

【0067】比較例3 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート356部を入れ、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量640g/
eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン205
5)1280部を溶解し、重合禁止剤としてハイドロキ
ノン1部を加えた後、アクリル酸288部、トリフェニ
ルホスフィン5部を添加し、空気を吹き込みながら、1
20℃に昇温し反応を行うが約6時間でゲル化した。
Comparative Example 3 A flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a reflux condenser was charged with 356 parts of ethyl carbitol acetate, and a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 640 g /
eq; Epicron 205 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
5) After dissolving 1280 parts and adding 1 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor, 288 parts of acrylic acid and 5 parts of triphenylphosphine were added, and while blowing air, 1 part was added.
The temperature was raised to 20 ° C. to carry out the reaction, but the gel was formed in about 6 hours.

【0068】比較例4 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート71.5部を入れ、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量2
14g/eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン
N−665)214部を溶解し、重合禁止剤としてハイ
ドロキノン0.5部を加えた後、アクリル酸72部トリ
フェニルホスフィン2部を添加し、空気を吹き込みなが
ら、120℃で12時間エステル化反応を行った。この
時、系の酸価は、0.5KOH-mg/g、エポキシ当量は、1
2200g/eqであった。その後、エチルカルビトールア
セテート127.5部、テトラヒドロ無水フタル酸8
3.6部を加え100℃で5時間反応し、エネルギー線
硬化型樹脂(RX−4)を得た。この時の酸価は、5
4.3KOH-mg/g(固形分値83.6KOH-mg/g)であっ
た。
Comparative Example 4 A flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a reflux condenser was charged with 71.5 parts of ethyl carbitol acetate.
Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent 2
14 g / eq; 214 parts of Epicron N-665 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. were dissolved, 0.5 part of hydroquinone was added as a polymerization inhibitor, and 72 parts of acrylic acid and 2 parts of triphenylphosphine were added. The esterification reaction was performed at 120 ° C. for 12 hours while blowing air. At this time, the acid value of the system was 0.5 KOH-mg / g and the epoxy equivalent was 1
It was 2200 g / eq. Thereafter, 127.5 parts of ethyl carbitol acetate, tetrahydrophthalic anhydride 8
3.6 parts were added and reacted at 100 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (RX-4). The acid value at this time is 5
4.3 KOH-mg / g (solid content: 83.6 KOH-mg / g).

【0069】比較例5 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量1
88g/eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピクロン
850)188部を溶解し、重合禁止剤として2,6−
ジイソブチルフェノール0.1部を加えた後、アクリル
酸72部、トリエチルベンジルアンモニュウムクロライ
ド0.45部を添加し、空気を吹き込みながら、120
℃で10時間エステル化反応を行った。この時、系の酸
価は、0.5KOH-mg/g、エポキシ当量は、23200g/e
qであった。その後、エチルカルビトールアセテート2
03.8部、テトラヒドロ無水フタル酸38部とベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物80.5部及び臭化
テトラエチルアンムニュウム1部を加え115℃で5時
間反応し、エネルギー線硬化型樹脂(RX−5)を得
た。この時の酸価は、55.9KOH-mg/g(固形分値8
6KOH-mg/g)であった。
Comparative Example 5 A flask equipped with a thermometer, a stirrer and a reflux condenser was charged with a bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 1).
88 g / eq; 188 parts of Epicron 850 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. were dissolved, and 2,6-
After adding 0.1 part of diisobutylphenol, 72 parts of acrylic acid and 0.45 part of triethylbenzylammonium chloride are added.
The esterification reaction was performed at 10 ° C. for 10 hours. At this time, the acid value of the system was 0.5 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 23200 g / e.
q. Then, ethyl carbitol acetate 2
33.8 parts, 38 parts of tetrahydrophthalic anhydride, 80.5 parts of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 part of tetraethylammonium bromide were added, and reacted at 115 ° C. for 5 hours to obtain an energy ray-curable resin (RX- 5) was obtained. The acid value at this time was 55.9 KOH-mg / g (solid content 8
6KOH-mg / g).

【0070】比較例6 温度計、攪拌器、および環流冷却器を備えたフラスコ
に、エチルカルビトールアセテート460.7部を入
れ、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当
量214g/eq;大日本インキ化学工業株式会社製エピク
ロンN−665)430部を溶解し、重合禁止剤として
ハイドロキノン0.5部を加えた後、アクリル酸11
5.2部とペンタエリスリトールトリアクリレート・無
水コハク酸付加物159.2部を仕込み、トリフェニル
ホスフィン3部を添加し、空気を吹き込みながら、12
0℃で12時間エステル化反応を行った。この時、系の
酸価は、8.3KOH-mg/g、エポキシ当量は、9800g/
eqであった。ついでその後、無水コハク酸60部、テト
ラヒドロ無水フタル酸91.2部を加え80℃で4時間
反応し、エネルギー線硬化型樹脂(RX−6)を得た。
この時の酸価は、52KOH-mg/g(固形分値80KOH-mg/
g)であった。
Comparative Example 6 A flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a reflux condenser was charged with 460.7 parts of ethyl carbitol acetate, and a cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent: 214 g / eq; Dainippon Ink and Chemicals, Ltd.) After dissolving 430 parts of Epicron N-665 manufactured by Co., Ltd. and adding 0.5 parts of hydroquinone as a polymerization inhibitor, acrylic acid 11
5.2 parts and 159.2 parts of pentaerythritol triacrylate / succinic anhydride adduct were charged, 3 parts of triphenylphosphine was added, and
The esterification reaction was performed at 0 ° C. for 12 hours. At this time, the acid value of the system was 8.3 KOH-mg / g, and the epoxy equivalent was 9800 g / g.
eq. Then, 60 parts of succinic anhydride and 91.2 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added and reacted at 80 ° C. for 4 hours to obtain an energy ray-curable resin (RX-6).
At this time, the acid value was 52 KOH-mg / g (solid content 80 KOH-mg / g).
g).

【0071】実施例、比較例により得られた樹脂の特数
値を第1表、第2表に示す。
Tables 1 and 2 show the characteristic values of the resins obtained in the examples and comparative examples.

【0072】[0072]

【表1】 [Table 1]

【0073】[0073]

【表2】 [Table 2]

【0074】[0074]

【表3】 [Table 3]

【0075】 第1表から第3表の脚注 (a1) :エポキシ樹脂。表中の数値は、エポキシ基の仕込みモル数。 (a2) :不飽和カルボン酸。表中の数値はカルボン酸の仕込みモル数。 (a3) :二塩基酸無水物。表中の数値は酸無水物の仕込みモル数。 (B) :酸無水物。表中の数値は、酸無水物のモル数。 BPA1 :ビスフェノールA型エポキシ樹脂。 エポキシ当量188g/当量(g/eq.) BPA2 :ビスフェノールA型エポキシ樹脂。 エポキシ当量640g/当量(g/eq.) ECN :クレゾールノボラック型エポキシ樹脂。 エポキシ当量214g/当量(g/eq.) BPF1 :ビスフェノールF型エポキシ樹脂。 エポキシ当量171g/当量(g/eq) DCPD :ジシクロペンダジエン変性エポキシ樹脂。 エポキシ当量264g/当量(g/eq) AA :アクリル酸 PAN :無水フタル酸 THPA :テトラヒドロ無水フタル酸 SAN :無水コハク酸 PETA-SA :ペンタエリスリトールトリアクリレートと無水コハク酸反応 物 BPDAn :ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物。 (na2+na3)/na1:式(1)より誘導された関係式。(na2+na3)/na1関係の値 が 0.9〜1.1になっていることが請求範囲。 na2/na3 :式(2)より誘導された関係式。na2/na3関係の値が 1.0〜5.0になっていることが請求範囲。 酸価 :KOHmg/g 分子量 :GPC(WATERS社製 MILLENNIUM32-J SYSTEM THF溶 媒 40℃)でポリスチレン換算による分子量分布測定により 数平 均分子量及び重量平均分子量を算出。Footnotes to Tables 1 to 3 (a1): Epoxy resin. The numerical values in the table are the number of moles of the epoxy group charged. (a2): unsaturated carboxylic acid. The numbers in the table are the number of moles of carboxylic acid charged. (a3): dibasic acid anhydride. The numbers in the table are the moles of acid anhydride charged. (B): acid anhydride. The numbers in the table are the moles of the acid anhydride. BPA1: Bisphenol A type epoxy resin. Epoxy equivalent 188 g / equivalent (g / eq.) BPA2: bisphenol A type epoxy resin. Epoxy equivalent 640 g / equivalent (g / eq.) ECN: Cresol novolak type epoxy resin. Epoxy equivalent 214 g / equivalent (g / eq.) BPF1: Bisphenol F type epoxy resin. Epoxy equivalent 171 g / equivalent (g / eq) DCPD: dicyclopentadiene-modified epoxy resin. Epoxy equivalent 264 g / equivalent (g / eq) AA: acrylic acid PAN: phthalic anhydride THPA: tetrahydrophthalic anhydride SAN: succinic anhydride PETA-SA: reaction product of pentaerythritol triacrylate and succinic anhydride BPDAn: benzophenone tetracarboxylic acid Dianhydride. (n a2 + n a3 ) / n a1 : Relational expression derived from equation (1). The value of the relationship (n a2 + n a3 ) / n a1 is in the range of 0.9 to 1.1. n a2 / n a3 : Relational expression derived from Expression (2). claims that the value of n a2 / n a3 relationship is in 1.0 to 5.0. Acid value: KOHmg / g Molecular weight: GPC (MILLENNIUM32-J SYSTEM THF solvent at 40 ° C, manufactured by WATERS) The number average molecular weight and the weight average molecular weight were calculated by measuring the molecular weight distribution in terms of polystyrene.

【0076】レジスト用活性エネルギー線硬化型組成物
の調製 実施例6〜10及び比較例4、5 実施例1〜5及び比較例1〜6から得られた樹脂を用い
て、下記のごときレジストインキ組成物を調製した。 各試料固形分(実施例1〜5および比較例1〜6の樹脂試料) 45部 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(EE214) 10部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 4部 イルガキュア907(チバガイギー社製、光重合開始剤) 6部 硫酸バリウム 34.5部 フタロシアニングリーン 0.5部
Preparation of active energy ray-curable composition for resist Examples 6 to 10 and Comparative Examples 4 and 5 Using the resins obtained from Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 6, the following resist inks were prepared. A composition was prepared. Solid content of each sample (resin samples of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 6) 45 parts Cresol novolak type epoxy resin (EE214) 10 parts Dipentaerythritol hexaacrylate 4 parts Irgacure 907 (Ciba Geigy, photopolymerization initiator) 6 parts Barium sulfate 34.5 parts Phthalocyanine green 0.5 parts

【0077】<評価方法>実施例1〜5及び比較例から
得られた試料(樹脂)について、調製したレジストイン
キ組成物を以下の方法で塗装、評価を行った。
<Evaluation Method> With respect to the samples (resins) obtained from Examples 1 to 5 and Comparative Example, the prepared resist ink compositions were coated and evaluated by the following methods.

【0078】(1)塗装方法 各レジストインキ組成物をガラスエポキシ基板に100
メッシュのスクリーンでのべた印刷を行い、強制乾燥さ
せた塗膜の膜厚は約40μmであった。評価結果は第3
表の通りである。尚、機械物性の試料作成のみ基板をブ
リキ上に作成した。
(1) Coating method Each resist ink composition was applied to a glass epoxy substrate by 100
Solid printing was performed on a mesh screen, and the thickness of the coating film that had been forcibly dried was about 40 μm. Evaluation result is 3rd
It is as shown in the table. A substrate was prepared on a tin plate only for preparing a sample of mechanical properties.

【0079】(2)指触乾燥性1 80℃で30分乾燥直後の塗膜を指触時のタック性を評
価した。 ○:タックなし △:タック若干あり ×:タック性あり
(2) Drying property to touch 1 The coating film immediately after drying at 80 ° C. for 30 minutes was evaluated for tackiness when touching the coating. :: no tack △: slight tack ×: tacky

【0080】(3)指触乾燥性2 80℃で30分乾燥し、次いで上述の条件で紫外線を照
射し、感度評価用のステップタブレット(コダック社製
ステップタブレットNo.2)を剥離する時に発生す
るタックを下記の基準にて評価した。 ○:タック感なく、ステップタブレットが容易に剥離可
能。 △:タック感若干あり、ステップタブレットが引っかか
るが剥離可能。 ×:タック性あり、ステップタブレットにインキが付着
し剥離し難い。
(3) Drying to the touch 2 Drying at 80 ° C. for 30 minutes, and then irradiating with ultraviolet rays under the above conditions, peeling off the step tablet for sensitivity evaluation (Step tablet No. 2 manufactured by Kodak). The tack was evaluated according to the following criteria. :: The step tablet can be easily peeled off without tackiness. Δ: Slightly tacky, step tablet caught, but peelable. X: There is tackiness, and the ink adheres to the step tablet and is difficult to peel off.

【0081】(4)現像性 スクリーン印刷した試料を80℃の乾燥器中に30分放
置して溶剤を揮散させ、30℃の1%炭酸ソーダ水溶液
に60秒浸漬し、基板上に残存する度合いを下記の基準
により評価した。 ○:基板上の塗膜が全く残っていない。 △:基板上の塗膜が一部残存する。 ×:基板上の塗膜が溶解せず、ほとんど残存する。
(4) Developability The screen-printed sample was left in a dryer at 80 ° C. for 30 minutes to evaporate the solvent, immersed in a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds, and remained on the substrate. Was evaluated according to the following criteria. :: No coating film remained on the substrate. Δ: Part of the coating film on the substrate remains. ×: The coating film on the substrate did not dissolve and almost remained.

【0082】(5)レジストインキの感度測定 スクリーン印刷した試料を80℃の乾燥器中に30分放
置して溶剤を揮散させ、塗膜上にステップタブレットN
o.2(コダック株式会社製)を乗せ、高圧水銀ランプ
を用い125mj/cm2 、250mj/cm2、50
0mj/cm2の紫外線を照射した後、30℃の1%炭
酸ソーダ水溶液に60秒浸漬し、ステップタブレット法
で評価を行った。表中の数字はステップタブレットの段
数を示し、数字が大きい程硬化性(感度)が優れている
ことを示す。125mj/cm2の照射条件では1段以
上、250mj/cm2の条件では3段以上、500m
j/cm2の条件では5段以上を合格とした。
(5) Sensitivity Measurement of Resist Ink The screen-printed sample was left in an oven at 80 ° C. for 30 minutes to evaporate the solvent, and a step tablet N was formed on the coating film.
o.2 (manufactured by Kodak Co., Ltd.) and using a high-pressure mercury lamp, 125 mj / cm 2 , 250 mj / cm 2 , 50
After irradiation with ultraviolet rays of 0 mj / cm 2, the film was immersed in a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds, and evaluated by a step tablet method. The numbers in the table indicate the number of steps of the step tablet, and the larger the number, the better the curability (sensitivity). One or more stages in the irradiation conditions of 125mj / cm 2, 3 or more stages under the conditions of 250mj / cm 2, 500m
Under the condition of j / cm 2 , 5 or more steps were judged to be acceptable.

【0083】(6)解像性 スクリーン印刷した試料を80℃の乾燥器中に30分放
置して溶剤を揮散させ、塗膜上にフォトマスク:PCW
UGRA82(UGRA社製)を乗せ、高圧水銀ラン
プを用い500mj/cm2の紫外線を照射した後、3
0℃の1%炭酸ソーダ水溶液に60秒浸漬し、残存線幅
と溶解線幅の最小値でその評価を行った。
(6) Resolution The screen-printed sample was left in an oven at 80 ° C. for 30 minutes to evaporate the solvent, and a photomask: PCW
UGRA82 (manufactured by UGRA) was placed thereon, and irradiated with 500 mj / cm 2 ultraviolet rays using a high-pressure mercury lamp.
It was immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 0 ° C. for 60 seconds, and evaluated by the minimum value of the remaining line width and the dissolved line width.

【0084】(7)溶剤乾燥時の安定性試験(乾燥管理
幅) インキを塗布したブリキ板(テストピース)を90℃の
乾燥器中に30分、40分、50分放置して溶剤を揮散
させ、30℃の1%炭酸ソーダ水溶液に60秒浸積して
現像し、溶剤乾燥時の安定性を目視にて判定した。 ○:基板上の塗膜が全く残っていない。 △:基板上の塗膜が一部残存する。 ×:基板上の塗膜が溶解せず、ほとんど残存する。
(7) Stability test when drying solvent (drying control width) A tin plate (test piece) coated with ink was left in a dryer at 90 ° C. for 30 minutes, 40 minutes and 50 minutes to evaporate the solvent. Then, the film was immersed in a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 60 seconds and developed, and the stability of the solvent when dried was visually determined. :: No coating film remained on the substrate. Δ: Part of the coating film on the substrate remains. ×: The coating film on the substrate did not dissolve and almost remained.

【0085】(8)機械物性 インキを塗布したブリキ板(テストピース)を90℃の
乾燥器中に30分乾燥した後、紫外線を500mj/c
2照射し、さらに150℃で1時間硬化を行った。こ
の試料を1cm幅で7cm長の短冊に切断し、引っ張り試験
を行った。環境温度は23℃で53RH%であった。
尚、チャック間は10mmとし、引っ張り速度は、10mm/m
inで測定を行った。
(8) Mechanical Properties After the tin plate (test piece) coated with the ink was dried in a dryer at 90 ° C. for 30 minutes, ultraviolet rays were irradiated at 500 mj / c.
m 2 irradiation, and curing was further performed at 150 ° C. for 1 hour. This sample was cut into strips 1 cm wide and 7 cm long, and a tensile test was performed. The ambient temperature was 53 RH% at 23 ° C.
The distance between the chucks is 10 mm, and the pulling speed is 10 mm / m
Measurements were made in.

【0086】[0086]

【表4】 [Table 4]

【0087】[0087]

【表5】 [Table 5]

【0088】表中の機械物性での破断強度と弾性率の単
位はMPa、破断伸度の単位は%である。
The units of the breaking strength and the elastic modulus in the mechanical properties in the table are MPa, and the units of the breaking elongation are%.

【0089】第3表では、実施例1〜5で合成されたカ
ルボン酸基含有エポキシアクリレート樹脂X-1からX-5を
用いて調整されたレジスト用組成物の評価結果を示す。
また第4表では、比較例1〜6で合成されたエポキシア
クリレート樹脂を同様な組成で組成物を調整したものの
評価結果を示す。なお比較例3での樹脂は、ゲル化した
為、組成物の評価はできなかった。第3表より実施例の
組成物は、指触乾燥性ですべての配合物が良好な結果を
示した。また、現像性についても良好な結果であった。
さらに感度に関しては、合格のレベルにあった。解像性
は、20μmと良好な結果であった。また、乾燥管理幅
に関しても50分以上の現像が可能である結果が得られ
ている。機械物性に関しては、すべての組成物で伸度が
5%以上あり、かつ破断強度、弾性率も合格の結果が得
られている。一方、第4表中の比較例4では、指触乾燥
性と機械物性、特に破断伸度が悪く、使用に問題があ
る。また比較例5と比較例7では、現像性が悪く、パタ
ーンが作成出来なかった。また比較例6と比較例8で
は、指触乾燥性が劣り、さらに破断伸度も低く脆く割れ
やすいものであった。
Table 3 shows the evaluation results of the resist compositions prepared using the carboxylic acid group-containing epoxy acrylate resins X-1 to X-5 synthesized in Examples 1 to 5.
Table 4 shows the evaluation results of the epoxy acrylate resins synthesized in Comparative Examples 1 to 6 in which the compositions were adjusted to have the same composition. In addition, since the resin in Comparative Example 3 was gelled, the composition could not be evaluated. Table 3 shows that the compositions of the examples were dry to the touch and all the compositions showed good results. In addition, good results were also obtained regarding the developability.
Further, the sensitivity was at an acceptable level. The resolution was as good as 20 μm. Also, with respect to the drying control width, a result that development for 50 minutes or more was possible was obtained. Regarding the mechanical properties, all the compositions have elongations of 5% or more, and the breaking strength and the elastic modulus are also acceptable. On the other hand, in Comparative Example 4 in Table 4, the dryness to the touch and the mechanical properties, particularly the elongation at break, are poor, and there is a problem in use. In Comparative Examples 5 and 7, the pattern was not formed because of poor developability. In Comparative Examples 6 and 8, the dryness to the touch was inferior, the elongation at break was low, and the material was brittle and easily broken.

【0090】[0090]

【発明の効果】本発明のエネルギー線硬化型樹脂の製造
方法およびレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物
は、上記結果より安定して製造可能であり、かつレジス
ト用エネルギー線硬化型樹脂組成物としての評価結果に
おいてもタック性、現像性、溶剤乾燥時の安定性試験、
感度、解像性、機械物性等の面ですべて比較対照例に比
べて優位な結果を示した。よって本発明の製造方法、並
びに該製造方法により得られる構造を含有してなる組成
物は、優れた性能を発現する事が明らかである。
The method for producing an energy ray-curable resin and the energy ray-curable resin composition for a resist according to the present invention can be stably produced from the above results, and can be used as an energy ray-curable resin composition for a resist. In the evaluation results of tackiness, developability, stability test during solvent drying,
In terms of sensitivity, resolution, mechanical properties, and the like, all the results were superior to the comparative example. Therefore, it is clear that the production method of the present invention and the composition containing the structure obtained by the production method exhibit excellent performance.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AB15 AB17 AC01 AD01 BC74 CC17 FA17 4J036 AB17 AD08 AD20 AE05 AF06 AF08 AF15 AG03 AJ08 AK11 CA21 DB14 DB20 DB21 DB22 EA09 HA01 JA10  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H025 AB15 AB17 AC01 AD01 BC74 CC17 FA17 4J036 AB17 AD08 AD20 AE05 AF06 AF08 AF15 AG03 AJ08 AK11 CA21 DB14 DB20 DB21 DB22 EA09 HA01 JA10

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エポキシ樹脂(a1)と不飽和モノカルボ
ン酸(a2)と二塩基酸無水物(a3)とを下記式(1)と
(2)のいずれも満足させる割合で用いて反応させて得
られた水酸基含有変性エポキシアクリレート化合物
(A)と、酸無水物(B)とを反応させることを特徴と
するエネルギー線硬化型樹脂の製造方法。 0.9na1<na2+na3<1.1na1 (1) 1.0<na2/na3<5.0 (2) (ただし、式中、na1は(a1)中の全エポキシ基のモ
ル数、na2は(a2)中の全カルボキシル基のモル数、
a3は(a3)中の酸無水物化合物のモル数を表す。)
1. An epoxy resin (a1), an unsaturated monocarboxylic acid (a2) and a dibasic acid anhydride (a3) are reacted in a ratio satisfying any of the following formulas (1) and (2). A method for producing an energy ray-curable resin, comprising reacting a hydroxyl group-containing modified epoxy acrylate compound (A) obtained as described above with an acid anhydride (B). 0.9n a1 <n a2 + n a3 <1.1n a1 (1) 1.0 <n a2 / n a3 <5.0 (2) (where n a1 is the total epoxy group in (a1) And n a2 is the number of moles of all carboxyl groups in (a2),
na3 represents the number of moles of the acid anhydride compound in (a3). )
【請求項2】 エポキシ樹脂(a1)と不飽和モノカル
ボン酸(a2)と二塩基酸無水物(a3)との反応を非
ハロゲン系触媒の存在下で行う請求項1記載のエネルギ
ー線硬化型樹脂の製造方法。
2. The energy ray-curable type according to claim 1, wherein the reaction between the epoxy resin (a1), the unsaturated monocarboxylic acid (a2) and the dibasic acid anhydride (a3) is carried out in the presence of a non-halogen catalyst. Method of manufacturing resin.
【請求項3】 非ハロゲン系触媒が、リン系触媒である
請求項1または2記載のエネルギー線硬化型樹脂の製造
方法。
3. The method for producing an energy ray-curable resin according to claim 1, wherein the non-halogen-based catalyst is a phosphorus-based catalyst.
【請求項4】 不飽和カルボン酸(a2)が、アクリル
酸および/またはメタクリル酸である請求項1、2また
は3記載のエネルギー線硬化型樹脂の製造方法。
4. The method for producing an energy ray-curable resin according to claim 1, wherein the unsaturated carboxylic acid (a2) is acrylic acid and / or methacrylic acid.
【請求項5】 エポキシ樹脂(a1)が、エポキシ当量
90〜400g/当量(g/eq)であるビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂および/またはエポキシ当量90〜
400g/当量(g/eq)であるビスフェノールF型
エポキシ樹脂である請求項1〜4のいずれか1項記載の
エネルギー線硬化型樹脂の製造方法。
5. A bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 90 to 400 g / equivalent (g / eq) and / or an epoxy equivalent of 90 to 400 g / eq.
The method for producing an energy ray-curable resin according to any one of claims 1 to 4, wherein the epoxy resin is a bisphenol F type epoxy resin having a weight of 400 g / equivalent (g / eq).
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1項記載の製造
方法により得られたエネルギー線硬化型樹脂(I)と、
分子中にエポキシ基を有する化合物(II)とを含有して
なることを特徴とするレジスト用エネルギー線硬化型樹
脂組成物。
6. An energy ray-curable resin (I) obtained by the production method according to claim 1;
An energy ray-curable resin composition for a resist, comprising a compound (II) having an epoxy group in a molecule.
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