JP2002107258A - Artificial leak device for air leak tester - Google Patents
Artificial leak device for air leak testerInfo
- Publication number
- JP2002107258A JP2002107258A JP2000302053A JP2000302053A JP2002107258A JP 2002107258 A JP2002107258 A JP 2002107258A JP 2000302053 A JP2000302053 A JP 2000302053A JP 2000302053 A JP2000302053 A JP 2000302053A JP 2002107258 A JP2002107258 A JP 2002107258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- leak
- passage
- pseudo
- pressure reducing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、エアリークテスタ
に用いられる擬似漏れ装置に関する。The present invention relates to a pseudo leak device used for an air leak tester.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のエアリークテスタ、例えば差圧型
のエアリークテスタは、マスタ側分岐通路とワーク側分
岐通路を含むエア通路を有しており、これら分岐通路に
テスト圧を付与した状態で閉鎖し、この閉鎖状態で2つ
の分岐通路間の差圧を差圧センサで検出する。ワーク側
分岐エア通路に接続されたワークに漏れが無ければ差圧
はゼロであるが、ワークに漏れがあれば、この漏れの大
きさに応じた差圧が検出される。2. Description of the Related Art A conventional air leak tester, for example, a differential pressure type air leak tester has an air passage including a master-side branch passage and a work-side branch passage, and is closed in a state where a test pressure is applied to these branch passages. In this closed state, the differential pressure between the two branch passages is detected by a differential pressure sensor. If there is no leak in the work connected to the work side branch air passage, the differential pressure is zero, but if there is a leak in the work, a differential pressure corresponding to the magnitude of the leak is detected.
【0003】最近、ワークの漏れの大きさを、差圧では
なく大気圧換算の漏れ量で検出することが求められてい
る。大気圧換算漏れ量は、上記検出差圧だけでは算出す
ることができず、この検出差圧に、閉鎖された分岐通路
の容積(ワークやマスタの外容積を差し引いた容積)と
テスト圧をファクターとして加えて算出する。このた
め、分岐通路の容積を予め求めている。例えば、一方の
分岐通路を閉鎖し、他方の分岐通路を大気開放させた状
態で検出差圧を得、また、両方の分岐通路を閉鎖した状
態で、一方の分岐通路のエアを、所定容量のタンクに擬
似漏れさせ、この時の検出差圧を得る。そして、これら
検出差圧により分岐通路の容積を求めている。[0003] Recently, it has been required to detect the magnitude of the leakage of the workpiece not by the differential pressure but by the leakage amount in terms of atmospheric pressure. The atmospheric pressure equivalent leakage cannot be calculated only from the above detected differential pressure. The detected differential pressure is calculated by multiplying the volume of the closed branch passage (the volume obtained by subtracting the external volume of the workpiece and master) and the test pressure. And is calculated. For this reason, the volume of the branch passage is determined in advance. For example, when one branch passage is closed and the other branch passage is opened to the atmosphere, a detected differential pressure is obtained.Also, with both branch passages closed, the air in one branch passage is discharged to a predetermined volume. A pseudo leak is caused in the tank, and the detected differential pressure at this time is obtained. Then, the volume of the branch passage is obtained from these detected differential pressures.
【0004】上記のような容積演算の煩雑を避けるため
に、一定の流量を擬似漏れさせる装置が開発されてい
る。この擬似漏れ装置は細管を有している。細管の長さ
と内径とテスト圧から流量が決まる。両方の分岐通路を
閉鎖し、一方の分岐通路に接続された擬似漏れ装置で一
定流量の擬似漏れを起こさせ、所定時間幅での検出差圧
の変化を測定する、これにより、分岐通路の容積を求め
ることなく、検出差圧の変化と大気圧換算の漏れ量との
直接的な関係を知ることができる。具体的には比例定数
を知ることができる。その後で、エアリークテストを行
い、検出差圧変化量に比例定数を乗じることにより、ワ
ークについての大気圧換算漏れ量を得ることができる。[0004] In order to avoid the above-mentioned complicated volume calculation, a device for pseudo-leakage of a constant flow rate has been developed. This simulated leak device has a thin tube. The flow rate is determined from the length and inner diameter of the capillary and the test pressure. Both branch passages are closed, a pseudo-leakage device having a constant flow rate is caused by a pseudo-leakage device connected to one branch passage, and a change in the detected differential pressure over a predetermined time width is measured. , It is possible to know the direct relationship between the change in the detected differential pressure and the amount of leakage in terms of the atmospheric pressure. Specifically, the proportional constant can be known. Thereafter, an air leak test is performed, and the detected differential pressure change amount is multiplied by a proportional constant to obtain an atmospheric pressure equivalent leak amount of the work.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記装置では
次のような不都合があった。すなわち、漏れ量と検出差
圧の変化とがリニアな関係にあるか否かを確認する場合
には、異なる流量について検出差圧の変化を見る必要が
あり、そのためには、異なる流量の細管を用いなければ
ならず、その取り替え作業が煩雑であった。また、比例
定数をより正確に決定するために、複数の流量で検出差
圧の変化を見る場合にも、同様にして細管の取り替え作
業が必要であった。However, the above apparatus has the following disadvantages. That is, when checking whether or not the leak amount and the change in the detected differential pressure are in a linear relationship, it is necessary to see the change in the detected differential pressure for different flow rates. It had to be used, and the replacement work was complicated. Also, in order to determine the proportionality constant more accurately, when the change in the detected differential pressure is observed at a plurality of flow rates, it is necessary to replace the thin tube in the same manner.
【0006】また、上記細管の一端はテスト圧で他端は
大気圧であるため、非常に細い細管を必要とし、目詰ま
りし易い欠点もあった。しかも、細管の目詰まりがあっ
た状態で擬似漏れを行うと、予定していた流量を実現で
きない状態で検出差圧の変化を見てしまうことになり、
決定された比例定数が不正確なものとなってしまうこと
もあった。Further, since one end of the above-mentioned thin tube is at a test pressure and the other end is at atmospheric pressure, a very thin thin tube is required, and there is a drawback that the tube is easily clogged. Moreover, if a pseudo leak is performed in a state where the thin tube is clogged, a change in the detected differential pressure will be seen in a state where the intended flow rate cannot be achieved.
In some cases, the determined proportionality constant was incorrect.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、エアリークテ
スタのエア通路に圧力センサとともに接続される擬似漏
れ装置において、上記エア通路からのテスト圧を減圧す
る減圧部と、この減圧部と大気側との間に接続された流
量検出部とを備え、上記減圧部が、擬似漏れ通路を有す
るボデイと、この擬似漏れ通路に配置されるとともに多
数の微小通路を有する弾性変形可能な減圧素子と、この
減圧素子を押圧して圧縮する押圧部材と、この押圧部材
の位置を調節して減圧素子の圧縮度を調節し、ひいては
上記流量検出部を通るエアの流量を調節する調節手段と
を備えたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a pseudo-leakage device connected to an air passage of an air leak tester together with a pressure sensor, a pressure reducing portion for reducing a test pressure from the air passage, and a pressure reducing portion and the atmosphere side. And a flow detecting unit connected between the pressure reducing unit and the pressure reducing unit, a body having a pseudo leak passage, an elastically deformable pressure reducing element having a large number of minute passages disposed in the pseudo leak passage, A pressure member for pressing and compressing the pressure reducing element, and adjusting means for adjusting the degree of compression of the pressure reducing element by adjusting the position of the pressure member, and thereby adjusting the flow rate of air passing through the flow rate detecting unit. It is characterized by the following.
【0008】上記構成の擬似漏れ装置によれば、エアリ
ークテスタに接続して擬似漏れを生じさせる際に、流量
検出部で流量を検出するので、この検出流量とエアリー
クテスタの圧力センサの検出圧力の変化に基づいて、大
気圧換算漏れ量と検出圧力の変化との直接的な関係を得
ることができる。また、構成要素を取り替えずに上記調
節手段で減圧素子の圧縮度を変えるだけで、異なる流量
の擬似漏れを生じさせることができる。しかも、減圧素
子は多数の微小通路を有し、圧縮度に応じてこの微小通
路での流通抵抗を変化させることができるので、流量の
微調節を行うことができる。According to the pseudo leak device having the above-described structure, when the pseudo leak device is connected to the air leak tester to generate a pseudo leak, the flow rate is detected by the flow rate detecting section, so that the detected flow rate and the pressure detected by the pressure sensor of the air leak tester are detected. Based on the change, a direct relationship between the atmospheric pressure equivalent leakage amount and the change in the detected pressure can be obtained. Also, a pseudo leak of a different flow rate can be generated only by changing the compression degree of the pressure reducing element by the adjusting means without replacing the components. In addition, the pressure reducing element has a large number of minute passages, and the flow resistance in the minute passages can be changed according to the degree of compression, so that the flow rate can be finely adjusted.
【0009】好ましくは、上記減圧素子が連続多孔質の
発泡樹脂からなる。これにより、減圧素子を低コストで
得ることができる。好ましくは、上記擬似漏れ通路に、
穴を有する受部を設け、この受部と上記押圧部材との間
に上記減圧素子が配置されている。これにより、減圧素
子を安定した状態で圧縮度調節することができる。Preferably, the pressure reducing element is made of a continuous porous foamed resin. Thereby, a pressure reducing element can be obtained at low cost. Preferably, in the pseudo leak passage,
A receiving portion having a hole is provided, and the pressure reducing element is disposed between the receiving portion and the pressing member. Thus, the degree of compression can be adjusted in a stable state of the pressure reducing element.
【0010】好ましくは、上記押圧部材は、上記減圧素
子を貫通して上記受部の穴に挿入されるピン部を有し、
このピン部の外周と穴の内周との間の隙間をエアの通路
とする。これにより押圧部材を安定して位置調節するこ
とができる。[0010] Preferably, the pressing member has a pin portion which penetrates the pressure reducing element and is inserted into a hole of the receiving portion,
The gap between the outer periphery of the pin portion and the inner periphery of the hole serves as an air passage. Thereby, the position of the pressing member can be stably adjusted.
【0011】好ましくは、上記擬似漏れ通路に、一端が
開口され他端に底壁を有するケースが配置され、この底
壁が上記受部として提供され、このケースに、上記減圧
素子と上記押圧部材と復帰スプリングが収容されること
によりユニット化された減圧カートリッジが構成され、
上記押圧部材と底壁との間に減圧素子が挟まれ、押圧部
材が復帰スプリングにより減圧素子から遠ざかる方向に
付勢されるとともに、上記ケースに設けたストッパによ
って同方向への移動を規制されている。これによれば、
減圧素子と押圧素子がカートリッジとして予め組み込ま
れているので、これらの設置,交換作業を容易に行うこ
とができる。Preferably, a case having an opening at one end and a bottom wall at the other end is disposed in the pseudo leak passage, and the bottom wall is provided as the receiving portion, and the pressure reducing element and the pressing member are provided in the case. And the return spring are housed to constitute a unitized decompression cartridge,
A pressure reducing element is sandwiched between the pressing member and the bottom wall, the pressing member is urged in a direction away from the pressure reducing element by a return spring, and movement in the same direction is regulated by a stopper provided in the case. I have. According to this,
Since the depressurizing element and the pressing element are pre-installed as a cartridge, they can be easily installed and replaced.
【0012】好ましくは、上記調節手段が、上記減圧部
のボデイに螺合されて上記擬似漏れ通路に気密に挿入さ
れた操作部材と、上記押圧部材と操作部材との間に介在
されて押圧部材に直接当たる中間部材と、上記中間部材
と操作部材との間に配置されて中間部材を減圧素子に向
けて付勢する第1スプリングと、中間部材を減圧素子か
ら遠ざける方向に付勢する第2スプリングとを有し、上
記第1スプリングのばね定数が、上記第2スプリングの
ばね定数より小さい。これにより、操作部材の移動量に
対して押圧部材の移動量を小さくすることができ、減圧
素子の圧縮度すなわち擬似漏れの流量を、より一層微調
節することができる。Preferably, the adjusting means is screwed into the body of the pressure reducing section and is hermetically inserted into the pseudo leak passage, and a pressing member interposed between the pressing member and the operating member. , A first spring disposed between the intermediate member and the operating member to urge the intermediate member toward the pressure reducing element, and a second spring for biasing the intermediate member away from the pressure reducing element. And a spring constant of the first spring is smaller than a spring constant of the second spring. Accordingly, the moving amount of the pressing member can be made smaller than the moving amount of the operating member, and the compression degree of the pressure reducing element, that is, the flow rate of the pseudo leak can be further finely adjusted.
【0013】好ましくは、上記調節手段が、上記減圧部
のボデイに螺合されて上記擬似漏れ通路に気密に挿入さ
れた操作部材と、上記押圧部材と操作部材との間に介在
されて押圧部材を減圧素子に向けて付勢する押圧スプリ
ングと、上記押圧部材と受部との間に介在されて押圧部
材を減圧素子から遠ざける方向に付勢する復帰スプリン
グとを有し、上記押圧スプリングのばね定数が復帰スプ
リングのばね定数より小さい。これにより、操作部材の
移動量に対して押圧部材の移動量を小さくすることがで
き、減圧素子の圧縮度すなわち擬似漏れの流量を、より
一層微調節することができる。しかも、押圧スプリング
に対抗するスプリングとして、押圧素子を復帰させるた
めの復帰スプリングを兼用するので、部品点数を減らす
ことができる。[0013] Preferably, the adjusting means is screwed into the body of the decompression section and is hermetically inserted into the pseudo leak passage, and a pressing member interposed between the pressing members. And a return spring interposed between the pressing member and the receiving portion to urge the pressing member in a direction away from the pressure reducing element, and a spring of the pressing spring The constant is smaller than the spring constant of the return spring. Accordingly, the moving amount of the pressing member can be made smaller than the moving amount of the operating member, and the compression degree of the pressure reducing element, that is, the flow rate of the pseudo leak can be further finely adjusted. In addition, since a return spring for returning the pressing element is also used as a spring against the pressing spring, the number of components can be reduced.
【0014】好ましくは、上記流量検出部が、他の擬似
漏れ通路を有するボデイと、細管と、他の圧力センサを
備え、当該他の擬似漏れ通路が、上記減圧部の擬似漏れ
通路と上記減圧素子を介して連なり、上記細管が当該他
の擬似漏れ通路と大気との間に配置され、当該他の圧力
センサが当該他の擬似漏れ通路の圧力を検出する。これ
によれば、流量検出部の構成を簡略化することができ
る。Preferably, the flow detecting section includes a body having another pseudo leak passage, a thin tube, and another pressure sensor, and the other pseudo leak passage includes the pseudo leak passage of the pressure reducing section and the pressure reducing section. The narrow tube is disposed between the other pseudo leak passage and the atmosphere, and the other pressure sensor detects the pressure of the other pseudo leak passage. According to this, the configuration of the flow detection unit can be simplified.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1実施形態に係
わるエアリークテスタについて図1〜図5を参照しなが
ら説明する。図1に示すように、差圧型エアリークテス
タは、エア通路1を有している。エア通路1は、共有通
路1xと、この共有通路1xから分岐した分岐通路1
a,1bとを有している。共有通路1xには、圧縮エア
源2aとレギュレータ2bとからなるテスト圧源2が設
けられている。さらに共有通路1xには、テスト圧源2
の下流側において電磁三方弁3が設けられている。電磁
三方弁3は、下流側を大気に接続した大気解放位置と、
上流側と下流側とを接続したテスト圧付与位置を選択す
る。オフ時は大気開放位置にある。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an air leak tester according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the differential pressure type air leak tester has an air passage 1. The air passage 1 includes a shared passage 1x and a branch passage 1 branched from the shared passage 1x.
a and 1b. A test pressure source 2 including a compressed air source 2a and a regulator 2b is provided in the shared passage 1x. Further, a test pressure source 2 is provided in the shared passage 1x.
The electromagnetic three-way valve 3 is provided on the downstream side of. The electromagnetic three-way valve 3 has an atmosphere release position where the downstream side is connected to the atmosphere,
A test pressure application position where the upstream side and the downstream side are connected is selected. When off, it is in the open-to-atmosphere position.
【0016】分岐通路1a,1bには、常開の電磁二方
弁4a,4bがそれぞれ設けられており、その下流端に
は、開閉可能なワークカプセル5a,マスタカプセル5
bがそれぞれ設けられている。分岐通路1a,1b間に
は差圧センサ6(圧力センサ)が接続されている。この
差圧センサ6により、電磁二方弁4a,4bの下流側の
差圧を検出できるようになっている。The branch passages 1a and 1b are provided with normally open electromagnetic two-way valves 4a and 4b, respectively.
b are provided respectively. A differential pressure sensor 6 (pressure sensor) is connected between the branch passages 1a and 1b. The differential pressure sensor 6 can detect a differential pressure on the downstream side of the electromagnetic two-way valves 4a and 4b.
【0017】差圧センサ7の検出差圧は、コントローラ
7に送られ、エアリークテスト時には、このコントロー
ラ7で検出差圧が大気圧換算漏れ量に変換されて、表示
器8に表示される。さらに、分岐通路1aには、本発明
の特徴部をなす擬似漏れ装置9が接続されている。The differential pressure detected by the differential pressure sensor 7 is sent to the controller 7, and at the time of an air leak test, the controller 7 converts the detected differential pressure into an atmospheric pressure equivalent leak amount and displays it on the display unit 8. Further, a pseudo leak device 9 which is a feature of the present invention is connected to the branch passage 1a.
【0018】図2,図3に示すように、上記擬似漏れ装
置9は、減圧部Aと流量検出部Bとを備えている。減圧
部Aは、ボデイ10を有している。このボデイ10は、
一直線上に離間対向して配置された筒11,筒12と、
これら筒11,12を連結した連結部材13とからな
る。図2に示すように、筒11の一端部には、分岐通路
1aに図示しない配管を介して接続される接続口11x
と、この接続口11xに連なる通路11a(擬似漏れ通
路)とが形成されている。通路11aにはフィルタ14
が設けられている。また、筒11にはストップバルブ1
5が設けられており、上記通路11aの開閉を行うよう
になっている。As shown in FIGS. 2 and 3, the pseudo leak device 9 includes a pressure reducing section A and a flow rate detecting section B. The pressure reducing section A has a body 10. This body 10
A cylinder 11 and a cylinder 12 which are arranged on the straight line so as to face each other;
It comprises a connecting member 13 connecting these tubes 11 and 12. As shown in FIG. 2, one end of the cylinder 11 has a connection port 11x connected to a branch passage 1a via a pipe (not shown).
And a passage 11a (a pseudo leak passage) connected to the connection port 11x. A filter 14 is provided in the passage 11a.
Is provided. The cylinder 11 has a stop valve 1
5 are provided to open and close the passage 11a.
【0019】上記筒12の内部空間は通路12a(擬似
漏れ通路)となっている。筒12において、筒11の反
対側の端部には、ユニット化された減圧カートリッジ2
0が気密に挿入されている。減圧カートリッジ20は、
図4に最も良く示すように、ケース21と、このケース
21に収容された減圧素子22と押圧部材23と復帰ス
プリング24とを有している。ケース21は、円筒形状
の周壁21aと底壁21b(受部)とを有している。The internal space of the cylinder 12 is a passage 12a (pseudo leakage passage). In the cylinder 12, a unitized decompression cartridge 2 is provided at an end opposite to the cylinder 11.
0 is hermetically inserted. The decompression cartridge 20
As shown best in FIG. 4, the case 21 includes a pressure reducing element 22, a pressing member 23, and a return spring 24 housed in the case 21. The case 21 has a cylindrical peripheral wall 21a and a bottom wall 21b (receiving portion).
【0020】上記減圧素子22は、発泡樹脂により円盤
状に形成されており、連続多孔質で(多数の微小通路を
有して)、弾性変形可能である。本実施形態では、発泡
ウレタンを圧縮成形することにより得る。減圧素子22
は、ケース21の底壁21bと押圧部材23との間に配
置され、後述するように押圧部材23によって押された
時に圧縮されて厚みT(図4参照)が減少し、流通抵抗
が増大するようになっている。The pressure reducing element 22 is formed in a disk shape by a foamed resin, is continuously porous (having a large number of minute passages), and is elastically deformable. In the present embodiment, it is obtained by compression molding urethane foam. Pressure reducing element 22
Is disposed between the bottom wall 21b of the case 21 and the pressing member 23, and is compressed when pressed by the pressing member 23 to reduce the thickness T (see FIG. 4) and increase the flow resistance as described later. It has become.
【0021】押圧部材23は、T字形の通路23aを有
しており、ケース21に収容された復帰ばね24により
減圧素子22から離れる方向に、すなわちケース24の
開口端に向かって付勢されている。ケース21の開口端
近傍の内周にはCリングからなるストッパ25が取り付
けられており、押圧部材23を係止してケース21から
の脱落を禁じている。The pressing member 23 has a T-shaped passage 23a, and is urged by a return spring 24 housed in the case 21 in a direction away from the pressure reducing element 22, that is, toward the open end of the case 24. I have. A stopper 25 made of a C-ring is attached to the inner periphery near the opening end of the case 21, and locks the pressing member 23 to prevent the case 21 from falling off.
【0022】図4に示すように、上記ケース24の底壁
21bの中央には穴21cが形成されており、この穴2
1cには押圧部材23から突出し減圧素子22を貫通す
るピン部23bが挿入されており、押圧部材23の安定
した姿勢を確保している。ピン部23bの径D1は、穴
21cの径D2より小さく、両者の間に通路26が形成
されている。As shown in FIG. 4, a hole 21c is formed in the center of the bottom wall 21b of the case 24.
A pin portion 23b protruding from the pressing member 23 and penetrating the pressure reducing element 22 is inserted into 1c, thereby ensuring a stable posture of the pressing member 23. The diameter D1 of the pin portion 23b is smaller than the diameter D2 of the hole 21c, and a passage 26 is formed between the two.
【0023】図2,図3に示すように、上記減圧部A
は、さらに、上記押圧部材23の位置を調節して減圧素
子22の圧縮度を調節する調節機構30(調節手段)を
備えている。この調節機構30は、操作ロッド31(操
作部材)と、中間ロッド32(中間部材)と、第1スプ
リング33と、第2スプリング34を備えている。As shown in FIG. 2 and FIG.
Further comprises an adjustment mechanism 30 (adjustment means) for adjusting the position of the pressing member 23 to adjust the degree of compression of the pressure reducing element 22. The adjustment mechanism 30 includes an operation rod 31 (operation member), an intermediate rod 32 (intermediate member), a first spring 33, and a second spring.
【0024】上記操作ロッド31の一端部は筒11に気
密に螺合され、他端部は筒12に気密に挿入されてい
る。操作ロッド31には軸方向に延びる通路31aが形
成され、この通路31aは、筒11の通路11aと筒1
2の通路12aとを連ねるようになっている。操作ロッ
ド31の外周にはつまみ35が取り付けられており、こ
のつまみ35を介して操作ロッド31を回すことによ
り、操作ロッド31が筒12に対して前進,後退するよ
うになっている。One end of the operating rod 31 is hermetically screwed into the cylinder 11, and the other end is hermetically inserted into the cylinder 12. A passage 31a extending in the axial direction is formed in the operation rod 31, and this passage 31a is formed by the passage 11a of the cylinder 11 and the cylinder 1
And the second passage 12a. A knob 35 is attached to the outer periphery of the operating rod 31. By turning the operating rod 31 through the knob 35, the operating rod 31 moves forward and backward with respect to the cylinder 12.
【0025】図3に最も良く示すように、上記中間ロッ
ド32は、鍔付きの筒形状をなすサポート36にスライ
ド可能に挿通支持されている。このサポート36は、筒
12の内周に形成された段12bとストッパ37とで筒
12に固定されている。中間ロッド32は、一端が上記
押圧部材23に直接当たり、他端がばね受け部32bと
なっている。また、中間ロッド32は軸方向に延びる通
路32aを有しており、この通路32aは筒12の通路
12aと押圧部材23の通路23aを連ねている。As best shown in FIG. 3, the intermediate rod 32 is slidably supported by a support 36 having a flanged cylindrical shape. The support 36 is fixed to the cylinder 12 by a step 12 b formed on the inner periphery of the cylinder 12 and a stopper 37. One end of the intermediate rod 32 directly contacts the pressing member 23, and the other end is a spring receiving portion 32b. The intermediate rod 32 has a passage 32 a extending in the axial direction. The passage 32 a connects the passage 12 a of the cylinder 12 and the passage 23 a of the pressing member 23.
【0026】上記第1スプリング33は、中間ロッド3
2のばね受け部32bと、操作ロッド31に当たるばね
受け部材38との間に配置されている。第2スプリング
34は、上記中間ロッド32のばね受け部32bとサポ
ート36との間に配置されている。第1スプリング33
は、第2スプリングよりばね定数が小さく、その比は例
えば1:5である。中間ロッド32は第1,第2のコイ
ルスプリング33,34により互いに逆方向の力を受け
るようになっており、両者の力のバランスした位置で、
静止するようになっている。なお、第2スプリング34
には、減圧カートリッジ20の復帰スプリング24の力
も働くが、本実施形態では、この復帰スプリング24の
力は、上記スプリング33,34に比べて十分に小さい
ので、中間ロッド32の位置に殆ど影響を与えない。The first spring 33 includes an intermediate rod 3
The second spring receiving portion 32b is disposed between a spring receiving member 38 that contacts the operation rod 31. The second spring 34 is disposed between the spring receiving portion 32b of the intermediate rod 32 and the support 36. First spring 33
Has a smaller spring constant than the second spring, and its ratio is, for example, 1: 5. The intermediate rod 32 receives forces in directions opposite to each other by the first and second coil springs 33 and 34, and at a position where both forces are balanced,
It comes to stand still. The second spring 34
, The force of the return spring 24 of the decompression cartridge 20 also acts. However, in this embodiment, the force of the return spring 24 is sufficiently smaller than the springs 33 and 34, so that the position of the intermediate rod 32 is hardly affected. Do not give.
【0027】次に、流量検出部Bについて説明する。流
量検出部Bは筒形状のボデイ40を有している。このボ
デイ40は軸方向に延びる通路40a(擬似漏れ通路)
を有している。ボデイ40の減圧部A側の端部にはフラ
ンジ部40cが形成されており、このフランジ部40c
は図示しないボルト等を用いて着脱可能に筒12の端部
に連結されている。なお、前述した減圧カセット20の
ケース21は、筒12の内周に形成された段12cとフ
ランジ部40cに挟まれることによって支持されてい
る。フランジ部40cと減圧カセット20のケース21
の底壁21bとは気密をなし、減圧カートリッジ20の
通路26(図4参照)と上記ボデイ40の通路40aと
が互いに連なっている。Next, the flow detecting section B will be described. The flow detecting section B has a cylindrical body 40. The body 40 has an axially extending passage 40a (pseudo leakage passage).
have. A flange 40c is formed at the end of the body 40 on the side of the pressure reducing section A.
Is detachably connected to the end of the cylinder 12 using bolts or the like (not shown). The case 21 of the pressure reducing cassette 20 described above is supported by being sandwiched between a step 12c formed on the inner periphery of the cylinder 12 and a flange portion 40c. Flange part 40c and case 21 of decompression cassette 20
The bottom wall 21b is airtight, and the passage 26 (see FIG. 4) of the decompression cartridge 20 and the passage 40a of the body 40 are connected to each other.
【0028】上記ボデイ40の減圧部Aとは反対側の端
部には上記通路40aに連なる支持穴40cが形成され
ている。この支持穴40cには、流通抵抗ユニット41
の端部が収容されている。流通抵抗ユニット41は、図
3,図5に良く示されているように、直線状の細管42
と、この細管42の基端部を固定するサポート43とを
有している。この流通抵抗ユニット41は、保護筒44
によりボデイ40に気密に連結されている。すなわち、
サポート43が保護筒44に気密に螺合されており、保
護筒44がボデイ40の支持穴40cに気密に螺合され
ている。上記細管42は、保護筒44に囲われて保護さ
れる。この細管42の基端は上記ボデイ40の通路40
aに連なっており、他端は大気に開放されている。A support hole 40c connected to the passage 40a is formed at an end of the body 40 opposite to the pressure reducing section A. The flow resistance unit 41 is provided in the support hole 40c.
Are accommodated. As shown in FIGS. 3 and 5, the flow resistance unit 41 includes a linear thin tube 42.
And a support 43 for fixing the base end of the thin tube 42. The flow resistance unit 41 includes a protection cylinder 44
The airtight connection to the body 40 is made. That is,
The support 43 is airtightly screwed into the protection tube 44, and the protection tube 44 is airtightly screwed into the support hole 40 c of the body 40. The thin tube 42 is protected by being surrounded by a protection tube 44. The proximal end of the thin tube 42 is connected to the passage 40 of the body 40.
a and the other end is open to the atmosphere.
【0029】上記ボデイ40には、逃がし弁46と圧力
センサ47が取り付けられている。逃がし弁46は、通
路40aに連なる弁口40xを開閉するようになってお
り、通常は弁口40xを閉じており、開いた時には、通
路40aを弁口40xを介して大気と連通させるように
なっている。圧力センサ47は、通路40aの圧力を検
出するようになっている。A relief valve 46 and a pressure sensor 47 are attached to the body 40. The relief valve 46 opens and closes a valve port 40x connected to the passage 40a, and normally closes the valve port 40x. When the relief valve 46 is opened, the passage 40a communicates with the atmosphere via the valve port 40x. Has become. The pressure sensor 47 detects the pressure of the passage 40a.
【0030】上記構成をなす擬似漏れ装置9を備えたエ
アリークテスタの作用を説明する。検査対象となるワー
クを所望のテスト圧でエアリークテストする際に、エア
リークテスタでは,最初に、差圧センサ6の検出差圧と
大気圧換算漏れ量との関係を設定する設定モードを実行
する。そして、その後で実際のエアリークテストを長期
にわたって繰り返し実行する。また、差圧センサ6が正
常に動作するか否かをチェックする検査モードを、定期
的に実行する。The operation of the air leak tester provided with the pseudo leak device 9 having the above configuration will be described. When performing an air leak test on a workpiece to be inspected at a desired test pressure, the air leak tester first executes a setting mode for setting a relationship between a differential pressure detected by the differential pressure sensor 6 and an atmospheric pressure-converted leak amount. After that, the actual air leak test is repeatedly executed for a long time. In addition, an inspection mode for checking whether or not the differential pressure sensor 6 operates normally is periodically executed.
【0031】まず、設定モードについて説明する。この
設定モードでは、前工程として擬似漏れ装置9での流量
調節を行う。すなわち、ワークカプセル5a,マスタカ
プセル5bを閉じた状態で、三方電磁弁3をオンしてテ
スト圧開始状態にする。この三方電磁弁3のオン動作と
相前後して、ストップバルブ15を開き、擬似漏れを生
じさせる。テスト圧のエアは、通路11a,31a,1
2a,32a,23aを通り、減圧素子22に至る。そ
して、減圧素子22を通る過程でその流通抵抗により大
気圧に近い圧力まで減圧され、それから通路26,40
aを通りさらに細管42を経て大気に放出される。細管
42での流通抵抗により流通検出部Bの通路40aには
大気圧より若干高い圧力が残っており、この圧力(大気
圧との差圧)が圧力センサ47により検出される。この
検出圧力は流量とリニアな関係にある。First, the setting mode will be described. In this setting mode, the flow rate in the simulated leak device 9 is adjusted as a previous step. That is, with the work capsule 5a and the master capsule 5b closed, the three-way solenoid valve 3 is turned on to bring the test pressure to a start state. The stop valve 15 is opened before and after the on-operation of the three-way solenoid valve 3 to cause a pseudo leak. The test pressure air is supplied to the passages 11a, 31a, 1
It passes through 2a, 32a, and 23a and reaches the pressure reducing element 22. Then, in the process of passing through the pressure reducing element 22, the pressure is reduced to a pressure close to the atmospheric pressure by the flow resistance, and then the passages 26, 40
a, and is further released to the atmosphere via the thin tube 42. Due to the flow resistance in the thin tube 42, a pressure slightly higher than the atmospheric pressure remains in the passage 40a of the flow detecting unit B. This pressure (differential pressure from the atmospheric pressure) is detected by the pressure sensor 47. This detected pressure has a linear relationship with the flow rate.
【0032】上記圧力センサ47の検出圧力はコントロ
ーラ7に送られ、表示器8で表示される。作業者は、こ
の表示器8の検出圧力を見ながら、操作ロッド31を回
し操作し、所望圧力にする(すなわち所望流量にす
る)。この調節作業について詳述する。操作ロッド31
は、筒11と螺合関係にあるため、上記回動操作により
筒12に対して前進,後退する。操作ロッド31が前進
すると、第1スプリング33を介して中間ロッド32も
前進し、この中間ロッド32に当たっている押圧部材2
3が減圧素子22を圧縮する。その結果、減圧素子22
での流通抵抗が増大し、流量が減少する。これとは逆に
操作ロッド31が後退すると、第2スプリング34の力
で中間ロッド32が後退し、押圧部材23が復帰スプリ
ング24の力で後退するので、減圧素子22の圧縮度が
小さくなり流通抵抗が減少し、流量が増大する。The detected pressure of the pressure sensor 47 is sent to the controller 7 and displayed on the display 8. The operator turns the operating rod 31 while watching the detected pressure on the display 8 to set the desired pressure (ie, the desired flow rate). This adjustment work will be described in detail. Operation rod 31
Is in a threaded relationship with the cylinder 11, and moves forward and backward with respect to the cylinder 12 by the above-described rotation operation. When the operating rod 31 advances, the intermediate rod 32 also advances via the first spring 33, and the pressing member 2 abutting on the intermediate rod 32
3 compresses the pressure reducing element 22. As a result, the pressure reducing element 22
The flow resistance at the outlet increases and the flow rate decreases. Conversely, when the operating rod 31 is retracted, the intermediate rod 32 is retracted by the force of the second spring 34, and the pressing member 23 is retracted by the force of the return spring 24. The resistance decreases and the flow increases.
【0033】上記流量調節は、多孔質の発泡樹脂からな
る減圧素子22を用いることにより、微調整することが
できる。圧縮度に応じて減圧素子22の微小通路が徐々
に狭くなるためである。しかも本実施形態では、スプリ
ング33,34より一層の微調整が可能である。すなわ
ち、第1スプリング33のばね定数が第2スプリング2
4のばね定数より小さく例えば1:5であるので、操作
ロッド31が1ピッチ分移動する場合に中間ロッド32
(ひいては押圧ロッド23)は、1/5ピッチ分しか移
動しないからである。The flow rate can be finely adjusted by using a pressure reducing element 22 made of a porous foamed resin. This is because the minute passage of the pressure reducing element 22 gradually narrows according to the degree of compression. Moreover, in this embodiment, finer adjustment can be performed than the springs 33 and 34. That is, the spring constant of the first spring 33 is
4 is smaller than, for example, 1: 5, so that when the operating rod 31 moves by one pitch, the intermediate rod 32
This is because the (the pressing rod 23) moves only by 1/5 pitch.
【0034】次に、本工程を実行する。すなわち、ワー
クカプセル5aに漏れの無いワークWを収容し、マスタ
カプセル5bにも漏れの無いワークをマスタ部材Mとし
て収容する。この状態で、コントローラ7により電磁弁
3、4a,4bを制御する。まず、三方電磁弁3をテス
ト圧付与位置にし、分岐通路1a,1b,ワークカプセ
ル5a,マスタカプセル5bにテスト圧を付与する。Next, this step is executed. That is, the work capsule 5a accommodates the work W having no leakage, and the master capsule 5b accommodates the work W without leakage as the master member M. In this state, the controller 7 controls the solenoid valves 3, 4a, 4b. First, the three-way solenoid valve 3 is set to the test pressure applying position, and the test pressure is applied to the branch passages 1a, 1b, the work capsule 5a, and the master capsule 5b.
【0035】次に、二方電磁弁4a,4bを閉じる。そ
の結果、二方電磁弁4aより下流側の分岐通路1aとワ
ークカプセル5aとで、ワーク側閉鎖系が形成され、二
方電磁弁4bより下流側の分岐通路1bとワークカプセ
ル5bとで、マスタ側閉鎖系が形成される。これら閉鎖
系は互いに独立しており、それぞれがテスト圧となって
いるため、差圧センサ6での検出差圧はゼロである。次
に、擬似漏れ装置9のストップバルブ15を開く。これ
により、擬似漏れ装置9は前工程で決定した流量の擬似
漏れを生じる。このストップバルブ15の開き動作の直
後に図示しないスタートボタンを押す。このスタートボ
タンのオン動作に応答して、コントローラ7は、所定時
間にわたり差圧センサ6から検出差圧を受ける。そし
て、上記流量に所定時間を乗算した値すなわち大気圧換
算漏れ量と、検出差圧の変化から、両者の間の比例定数
Kを求め、これを記憶する。なお、この擬似漏れ量は閉
鎖系の容積に比べて微量であるから、漏れ量と差圧変化
量とはリニアな関係にある。Next, the two-way solenoid valves 4a and 4b are closed. As a result, a work-side closing system is formed by the branch passage 1a downstream of the two-way solenoid valve 4a and the work capsule 5a, and the master is defined by the branch passage 1b downstream of the two-way solenoid valve 4b and the work capsule 5b. A side closure system is formed. Since these closed systems are independent of each other and each have a test pressure, the differential pressure detected by the differential pressure sensor 6 is zero. Next, the stop valve 15 of the pseudo leak device 9 is opened. As a result, the pseudo leak device 9 generates a pseudo leak at the flow rate determined in the previous step. Immediately after the opening operation of the stop valve 15, a start button (not shown) is pressed. In response to the ON operation of the start button, the controller 7 receives the detected differential pressure from the differential pressure sensor 6 for a predetermined time. Then, from the value obtained by multiplying the flow rate by a predetermined time, that is, the atmospheric pressure-conversion leakage amount, and the change in the detected differential pressure, a proportional constant K between the two is obtained and stored. It should be noted that since the pseudo leakage amount is small compared to the volume of the closed system, the leakage amount and the differential pressure change amount have a linear relationship.
【0036】上記比例定数Kは、1つの流量での擬似漏
れにおける検出差圧変化のデータのに基づいて求めても
よいが、正確を期すために複数の流量に対応する検出差
圧変化のデータから比例定数を求めてもよい。複数のデ
ータを求める場合には、上記前工程と本工程をそれぞれ
複数回実行する。擬似漏れ時の流量は、操作ロッド31
を回すことにより、簡単に変えることができる。The proportionality constant K may be obtained based on the data of the detected differential pressure change in the pseudo leak at one flow rate. However, in order to ensure accuracy, the data of the detected differential pressure change corresponding to a plurality of flow rates are obtained. May be used to determine the proportional constant. When obtaining a plurality of data, the above-described pre-process and the present process are respectively performed a plurality of times. The flow rate at the time of simulated leakage is determined by the operation rod 31
By turning, it can be changed easily.
【0037】なお、前工程では、上記ワークカプセル5
a,マスタカプセル5bにそれぞれ漏れの無いワーク
W,マスタ部材Mを収容した状態で行ってもよい。上記
前工程,本工程の終了後に、逃がし弁46を一旦開いて
通路40aに残留している圧力を逃がす。In the preceding step, the work capsule 5
a, the master capsule 5b may contain the work W and the master member M without leakage, respectively. After the completion of the preceding step and the present step, the relief valve 46 is temporarily opened to release the pressure remaining in the passage 40a.
【0038】上記設定モードの後に、テストモードを実
行する。詳述すると、検査すべきワークWとマスタ部材
Mをそれぞれのカプセル5a,5bに収容した状態で、
コントローラ7が、三方電磁弁3をテスト圧付与位置に
し、その後で二方電磁弁4a,4bを閉じてワーク側,
マスタ側の分岐通路1a,1bを閉鎖系にする。そし
て、所定時間経過した後の差圧センサ6からの検出差圧
ΔP(閉鎖系にした時点で差圧はゼロであるから、検出
差圧ΔPは、その時点からの差圧の変化を表す)を受け
取り、この検出差圧ΔPに上記比例定数Kを乗じて大気
圧換算漏れ量Lを演算し、表示器8に表示する。この漏
れ量Lが閾値未満の時には良品と判定し、閾値を超える
場合には不良品と判定して警報を行う。After the setting mode, a test mode is executed. More specifically, in a state where the work W to be inspected and the master member M are accommodated in the respective capsules 5a and 5b,
The controller 7 sets the three-way solenoid valve 3 to the test pressure application position, and then closes the two-way solenoid valves 4a and 4b to close the work side.
The branch passages 1a and 1b on the master side are closed. Then, the detected differential pressure ΔP from the differential pressure sensor 6 after a lapse of a predetermined time (since the differential pressure is zero when the system is closed, the detected differential pressure ΔP represents a change in the differential pressure from that time). And the detected pressure difference ΔP is multiplied by the proportionality constant K to calculate an atmospheric pressure conversion leakage amount L, which is displayed on the display 8. When the leakage amount L is less than the threshold value, it is determined that the product is good, and when it exceeds the threshold value, it is determined that the product is defective and a warning is issued.
【0039】上記テストモードの際に、擬似漏れ装置9
は分岐通路1aに接続したままにし、ストップバルブ1
5を閉じておく。なお、このテストモードの際に、擬似
漏れ装置9を外し、分岐通路1aの擬似漏れ装置9への
接続部を栓で気密に閉じておいてもよい。In the test mode, the pseudo leak device 9
Is connected to the branch passage 1a, and the stop valve 1
5 is closed. In this test mode, the pseudo leak device 9 may be removed, and the connection portion of the branch passage 1a to the pseudo leak device 9 may be airtightly closed with a stopper.
【0040】定期的に行う検査モードは、前述した設定
モードと同様に前工程と本工程を行う。前工程は設定モ
ードと同じであるので、説明を省略する。本工程では、
電磁弁3,4a,4bは設定モードと同様に動作する。
検査モードでは、コントローラ7は、差圧センサ6が前
工程で設定した流量に対応する差圧を出力しているか否
かを検査する。一致した場合には、差圧センサ6が正常
であるとして、その後テストモードを行う。一致しない
場合には、差圧センサ6が異常であるとして、修理また
は交換を行う。In the inspection mode performed periodically, the previous step and the main step are performed in the same manner as in the setting mode described above. Since the pre-process is the same as the setting mode, the description is omitted. In this process,
The solenoid valves 3, 4a, 4b operate in the same manner as in the setting mode.
In the inspection mode, the controller 7 inspects whether the differential pressure sensor 6 outputs a differential pressure corresponding to the flow rate set in the previous process. If they match, it is determined that the differential pressure sensor 6 is normal, and then the test mode is performed. If they do not match, it is determined that the differential pressure sensor 6 is abnormal, and repair or replacement is performed.
【0041】上記減圧素子22は多孔質であるので、微
小なゴミで目詰まりすることがある。その場合には、流
量検出部Bのボデイ40を減圧部Aの筒12から外し
て、減圧カートリッジ20を交換すればよい。Since the pressure reducing element 22 is porous, it may be clogged with minute dust. In such a case, the body 40 of the flow detection unit B may be removed from the cylinder 12 of the pressure reduction unit A, and the pressure reduction cartridge 20 may be replaced.
【0042】本実施形態では、減圧素子22により流量
検出部Bの通路40aの圧力を大気圧に近い圧力まで減
じることができるので、細管42を極細にしなくて済
み、目詰まりの発生を抑制できる。また、圧力センサ4
7が大気圧とこれに近い通路40aの圧力の差を検出す
るので、流量と圧力のリニア性を高精度で確保すること
ができる。In the present embodiment, since the pressure in the passage 40a of the flow rate detecting section B can be reduced to a pressure close to the atmospheric pressure by the pressure reducing element 22, the thin tube 42 does not need to be made very thin, and the occurrence of clogging can be suppressed. . Also, the pressure sensor 4
Since 7 detects the difference between the atmospheric pressure and the pressure in the passage 40a close to the atmospheric pressure, the linearity of the flow rate and the pressure can be secured with high accuracy.
【0043】以下、本発明の他の実施形態について図6
〜図8を参照しながら説明する。これら実施形態におい
て、第1実施形態に対応する構成部には同番号を付して
その詳細な説明を省略する。FIG. 6 shows another embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG. In these embodiments, components corresponding to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
【0044】図6は、本発明の第2の実施形態をなす擬
似漏れ装置を示す。この擬似漏れ装置では、第1実施形
態の筒12の代わりに、筒50が用いられる。この筒5
0の端部には底壁51(受部)が設けられ、この底壁5
1の中心に穴52が形成されている。筒50の内部空間
が通路50a(擬似漏れ通路)となる。筒50内には、
第1実施形態と同様に減圧素子22,押圧部材23,復
帰スプリング24が収容されるが、第1実施形態のケー
ス21は収容されておらず、ユニット化された減圧カー
トリッジを構成していない。第1実施形態と同様に、筒
50には調節機構30の操作ロッド31が挿入されると
ともに、中間ロッド32,第1スプリング33,第2ス
プリング34,ばね受け部材38が収容されている。押
圧部材23のピン部23bは、隙間を介して上記穴52
に挿入されている。FIG. 6 shows a pseudo-leakage device according to a second embodiment of the present invention. In this pseudo leak device, a tube 50 is used instead of the tube 12 of the first embodiment. This cylinder 5
0 is provided with a bottom wall 51 (receiving portion).
A hole 52 is formed at the center of 1. The internal space of the tube 50 becomes a passage 50a (pseudo leakage passage). In the cylinder 50,
The pressure reducing element 22, the pressing member 23, and the return spring 24 are housed in the same manner as in the first embodiment, but the case 21 of the first embodiment is not housed and does not constitute a unitized pressure reducing cartridge. As in the first embodiment, the operation rod 31 of the adjustment mechanism 30 is inserted into the cylinder 50, and the intermediate rod 32, the first spring 33, the second spring 34, and the spring receiving member 38 are housed in the cylinder 50. The pin portion 23b of the pressing member 23 is connected to the hole 52 through a gap.
Has been inserted.
【0045】中間ロッド32をスライド可能に支持する
とともに第2スプリング34を受けるサポート55は、
筒50に固定されておらず、その一端が底壁51に当た
っている。本実施形態では、中間ロッド32および押圧
部材23に通路が形成されておらず、その代わりにサポ
ート55に形成された穴55aを介して、筒50の通路
50aと減圧素子22の微小通路が連なっている。本実
施形態では、第1実施形態に比べて部品点数が少なく、
通路構成も簡単である。A support 55 for slidably supporting the intermediate rod 32 and receiving the second spring 34 includes:
It is not fixed to the cylinder 50, and one end thereof contacts the bottom wall 51. In the present embodiment, no passage is formed in the intermediate rod 32 and the pressing member 23, and instead, the passage 50 a of the cylinder 50 and the minute passage of the pressure reducing element 22 are connected via a hole 55 a formed in the support 55. ing. In this embodiment, the number of parts is smaller than in the first embodiment,
The passage configuration is also simple.
【0046】第7図は、本発明の第3実施形態をなす擬
似漏れ装置を示す。この装置は、略直方体形状のブロッ
ク60を有している。このブロック60は、減圧部と流
量検出部のボデイを兼ねるものである。このブロック6
0には、上流側通路60a,中間通路60b,下流側通
路60cが形成されている。通路60a,60bは、減
圧部の擬似漏れ通路を構成し、下流側通路60cは流量
検出部の擬似漏れ通路を構成している。FIG. 7 shows a pseudo-leakage device according to a third embodiment of the present invention. This device has a substantially rectangular parallelepiped block 60. This block 60 also serves as a body for the pressure reducing unit and the flow detecting unit. This block 6
At 0, an upstream passage 60a, an intermediate passage 60b, and a downstream passage 60c are formed. The passages 60a and 60b constitute a pseudo leak passage of the pressure reducing unit, and the downstream passage 60c constitutes a pseudo leak passage of the flow rate detecting unit.
【0047】ブロック60の1つの面60xには、上流
側通路60aに連なる接続口60dが形成されており、
この接続口60dは配管を介して介して図1の分岐通路
1aに接続される。さらに、上記面60xには、下流側
通路60cに連なる接続口60eが形成され、この接続
口60eには第1実施形態と同様にして細管を含む流通
抵抗ユニットが取り付けられる。On one surface 60x of the block 60, a connection port 60d connected to the upstream passage 60a is formed.
This connection port 60d is connected to the branch passage 1a in FIG. 1 via a pipe. Further, a connection port 60e connected to the downstream passage 60c is formed on the surface 60x, and a flow resistance unit including a thin tube is attached to the connection port 60e as in the first embodiment.
【0048】上記ブロック60において、上記面60x
と直交する面60yには、ストップバルブ15が設けら
れており、このストップバルブ15により上流側通路6
0aの流通,遮断が行われるようになっている。In the block 60, the surface 60x
A stop valve 15 is provided on a surface 60y perpendicular to the upstream passage 6 and the upstream passage 6.
0a is distributed and blocked.
【0049】上記中間通路60bは、上記面60yと直
交してブロック60を貫通する径の大きな孔61の一部
によって構成されている。この孔61の端部には操作ロ
ッド32が気密に挿入されている。この操作ロッド31
は、上記面60yから突出して、この面60yに固定さ
れた螺合部材62(この螺合部材62は減圧部のボデイ
の一部を構成する)に螺合されている。The intermediate passage 60b is formed by a part of a large-diameter hole 61 penetrating the block 60 perpendicular to the surface 60y. The operation rod 32 is hermetically inserted into the end of the hole 61. This operation rod 31
Is screwed to a screwing member 62 projecting from the surface 60y and fixed to the surface 60y (the screwing member 62 forms a part of the body of the decompression unit).
【0050】上記貫通孔61の他端部は大径部となって
おり、ここに減圧カートリッジ20が収容されている。
減圧カートリッジ20は、貫通孔61の段と押え板63
(この押え板63は流量検出部のボデイの一部を構成す
る)によって支持されている。押え板63は、ブロック
60に着脱可能に連結されるとともに、減圧カートリッ
ジ20のケース21の底壁21bに気密に接している。
押え板63には通路63a(流量検出部の擬似漏れ通路
の一部を構成する)が形成されており、この通路63a
は、上記減圧カートリッジ20の通路26と、下流側通
路60cとを連ねる。The other end of the through hole 61 has a large diameter portion, in which the decompression cartridge 20 is housed.
The decompression cartridge 20 includes a step of the through hole 61 and a holding plate 63.
(The presser plate 63 forms a part of the body of the flow rate detector.) The holding plate 63 is detachably connected to the block 60 and is in airtight contact with the bottom wall 21 b of the case 21 of the decompression cartridge 20.
A passage 63a (which constitutes a part of a pseudo leakage passage of the flow rate detecting unit) is formed in the holding plate 63, and the passage 63a is formed.
Connects the passage 26 of the pressure reducing cartridge 20 and the downstream passage 60c.
【0051】上記ブロック60にはさらに、逃がし弁4
6と圧力センサ47が取り付けられており、これら逃が
し弁46と圧力センサ47は、下流側通路60cに臨
み、第1実施形態と同様の役割を担う。The block 60 further includes a relief valve 4
6 and a pressure sensor 47 are attached, and the relief valve 46 and the pressure sensor 47 face the downstream side passage 60c, and play the same role as in the first embodiment.
【0052】本実施形態では、1つの押圧スプリング6
5が中間通路60bに収容され、押圧部材23と操作ロ
ッド31との間に介在されている。復帰スプリング24
は第1実施形態の復帰スプリングより強い。押圧スプリ
ング65のばね定数は、復帰スプリング24のばね定数
より小さく、その比は例えば1:5である。In this embodiment, one pressing spring 6
5 is accommodated in the intermediate passage 60b and is interposed between the pressing member 23 and the operation rod 31. Return spring 24
Is stronger than the return spring of the first embodiment. The spring constant of the pressing spring 65 is smaller than the spring constant of the return spring 24, and the ratio is, for example, 1: 5.
【0053】本実施形態では、減圧部と流量検出部のボ
デイをブロック60で兼用したこと、復帰スプリング2
4を押圧スプリング65より強くして第1実施形態の第
2スプリング34,中間ロッド32を省いたこと等によ
り、構造が簡単になっている。In this embodiment, the body of the pressure reducing section and the flow rate detecting section are shared by the block 60,
4 is stronger than the pressing spring 65 and the second spring 34 and the intermediate rod 32 of the first embodiment are omitted, and the structure is simplified.
【0054】図8は、本発明の第4の実施形態に係わる
擬似漏れ装置を示す。本発明では、減圧部Aのボデイが
1つの筒70で構成されている。この筒70の内部空間
が通路70a(擬似漏れ通路)となる。筒70の周壁に
は、接続口70bが形成されており、この接続口70b
に接続された配管を介して通路70aがエアリークテス
タの分岐通路1aに接続されている。なお、この配管に
はストップバルブが設けられている。FIG. 8 shows a pseudo-leakage device according to a fourth embodiment of the present invention. In the present invention, the body of the pressure reducing section A is constituted by one cylinder 70. The internal space of the cylinder 70 becomes a passage 70a (pseudo leakage passage). A connection port 70b is formed in the peripheral wall of the cylinder 70, and the connection port 70b
The passage 70a is connected to the branch passage 1a of the air leak tester via a pipe connected to the air leak tester. The pipe is provided with a stop valve.
【0055】上記筒70の一端部には、第1実施形態と
同様に減圧カートリッジ20が収容され、他端部には操
作ロッド31が螺合状態で気密に挿入されている。調節
機構30のつまみ75は、ねじり剛性の高いフレキシブ
ル管76により、操作ロッド31に連結されている。The pressure reducing cartridge 20 is housed in one end of the cylinder 70 in the same manner as in the first embodiment, and the operating rod 31 is hermetically inserted in a screwed state in the other end. The knob 75 of the adjusting mechanism 30 is connected to the operation rod 31 by a flexible tube 76 having high torsional rigidity.
【0056】上記擬似漏れ装置は、エアリークテスタの
他の構成要素とともに、ハウジング80に収容されてい
る。上記つまみ75は、ハウジング80の壁81に回転
可能に支持されており、ハウジング80外からつまみ7
5を回動操作すると、フレキシブル管76を介して操作
ロッド31が回動し、流量調節を行えるようになってい
る。また、受部Bの筒40は、上記ハウジング80の上
記壁81と対向する壁82に支持されている。この壁8
2から保護筒44と細管42がハウジング80外へ突出
している。The pseudo leak device is housed in a housing 80 together with other components of the air leak tester. The knob 75 is rotatably supported by the wall 81 of the housing 80, and is provided outside the housing 80.
When the rotating operation of 5 is performed, the operating rod 31 is rotated via the flexible tube 76 so that the flow rate can be adjusted. The cylinder 40 of the receiving portion B is supported by a wall 82 of the housing 80 facing the wall 81. This wall 8
From 2, a protective tube 44 and a thin tube 42 project outside the housing 80.
【0057】本発明は、上記実施形態に制約されず、種
々の形態を採用可能である。例えば、差圧型のエアリー
クテスタにおいて、マスタ側の分岐通路は、カプセルが
接続されずに閉塞されていてもよい。また、擬似漏れ装
置は、マスタ側の分岐通路に接続してもよい。ワーク側
の分岐通路にはワークカプセルの代わりにワークを直接
接続してもよいし、マスタ側の分岐通路にはマスタカプ
セルの変わりにマスタ容器を直接接続してもよい。エア
リークテスタは差圧型でなくてもよい。1本のエア通路
に二方弁を設けるとともに、その下流側に圧力センサを
設け、その下流端にワークカプセルまたはワークを接続
する構成となる。The present invention is not limited to the above embodiment, but can adopt various forms. For example, in the differential pressure type air leak tester, the branch passage on the master side may be closed without connecting the capsule. Further, the pseudo leakage device may be connected to a branch passage on the master side. A work may be directly connected to the work-side branch passage instead of the work capsule, or a master container may be directly connected to the master-side branch passage instead of the master capsule. The air leak tester need not be a differential pressure type. A two-way valve is provided in one air passage, a pressure sensor is provided on the downstream side, and a work capsule or a work is connected to the downstream end.
【0058】テスト圧源は負圧源であってもよい。この
場合でも上述した実施形態の構成をそのまま利用するこ
とができる。減圧素子はテスト圧を大気圧に近づけるよ
うに作用する。すなわち、テスト圧と大気圧の差を減じ
るように作用する。この場合、テスト圧源に近い方を上
流側とし、大気側を下流側とする。The test pressure source may be a negative pressure source. Even in this case, the configuration of the above-described embodiment can be used as it is. The pressure reducing element acts to bring the test pressure closer to the atmospheric pressure. That is, it acts to reduce the difference between the test pressure and the atmospheric pressure. In this case, the side closer to the test pressure source is the upstream side, and the atmosphere side is the downstream side.
【0059】[0059]
【発明の効果】以上説明したように本発明の擬似漏れ装
置によれば、大気圧換算漏れ量と検出圧力の変化との直
接的な関係を得ることができ、ワーク容積等を求める手
間を省くことができる。また、構成要素を取り替えずに
上記調節手段で減圧素子の圧縮度を変えるだけで、異な
る流量の擬似漏れを生じさせることができる。さらに、
減圧素子は多数の微小通路を有し、圧縮度に応じてこの
微小通路での流通抵抗を変化させることができるので、
流量の微調節を行うことができる。As described above, according to the pseudo leak device of the present invention, it is possible to obtain a direct relationship between the atmospheric pressure-converted leak amount and the change in the detected pressure, thereby saving the trouble of finding the work volume and the like. be able to. Also, a pseudo leak of a different flow rate can be generated only by changing the compression degree of the pressure reducing element by the adjusting means without replacing the components. further,
Since the pressure reducing element has a large number of minute passages and can change the flow resistance in these minute passages according to the degree of compression,
Fine adjustment of the flow rate can be made.
【図1】 本発明の一実施形態をなす擬似漏れ装置付き
エアリークテスタを示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an air leak tester with a pseudo leak device according to an embodiment of the present invention.
【図2】 上記擬似漏れ装置の全体構造を示す縦断面図
である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the entire structure of the pseudo leakage device.
【図3】 上記擬似漏れ装置の要部を拡大して示す縦断
面図である。FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view showing a main part of the pseudo leakage device.
【図4】 上記擬似漏れ装置の減圧部に組み込まれる減
圧カートリッジを示す拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a decompression cartridge incorporated in a decompression unit of the pseudo leak device.
【図5】 上記擬似漏れ装置の流量検出部に組み込まれ
る流通抵抗ユニットを示す拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a flow resistance unit incorporated in a flow detection unit of the pseudo leak device.
【図6】 本発明の第2の実施形態をなす擬似漏れ装置
を示す要部拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part showing a pseudo leakage device according to a second embodiment of the present invention.
【図7】 本発明の第3の実施形態をなす擬似漏れ装置
を一部省略して示す拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view showing a pseudo leakage device according to a third embodiment of the present invention, with a part thereof omitted;
【図8】 本発明の第4の実施形態をなす擬似漏れ装置
の要部を示す拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view illustrating a main part of a pseudo leakage device according to a fourth embodiment of the present invention.
A 減圧部 B 流量検出部 9 擬似漏れ装置 10 減圧部のボデイ 12a 減圧部の擬似漏れ通路 20 減圧カートリッジ 21 ケース 21b ケースの底壁(受部) 21c 穴 22 減圧素子 23 押圧部材 23b ピン部 24 復帰スプリング 26 通路 30 調節機構 31 操作ロッド(操作部材) 32 中間ロッド(中間部材) 33 第1スプリング 34 第2スプリング 40 流量検出部のボデイ 40a 流量検出部の擬似漏れ通路 41 流通抵抗ユニット 42 細管 47 圧力センサ 60 ブロック(減圧部と流量検出部のボデイ) 60a,60b 減圧部の擬似漏れ通路 60c,63a 流量検出部の擬似漏れ通路 65 押圧スプリング 70 筒(減圧部のボデイ) 70a 減圧部の擬似漏れ通路 Reference Signs List A pressure reducing section B flow rate detecting section 9 pseudo leak device 10 body of pressure reducing section 12a pseudo leak path of pressure reducing section 20 pressure reducing cartridge 21 case 21b bottom wall (receiving part) of case 21c hole 22 pressure reducing element 23 pressing member 23b pin portion 24 return Spring 26 Passage 30 Adjusting mechanism 31 Operating rod (operating member) 32 Intermediate rod (Intermediate member) 33 First spring 34 Second spring 40 Body of flow detection unit 40a Pseudo leak passage of flow detection unit 41 Flow resistance unit 42 Thin tube 47 Pressure Sensor 60 Block (body of decompression unit and flow detection unit) 60a, 60b Pseudo leakage passage of decompression unit 60c, 63a Pseudo leakage passage of flow detection unit 65 Press spring 70 Tube (body of decompression unit) 70a Pseudo leakage passage of decompression unit
Claims (8)
サとともに接続される擬似漏れ装置において、 上記エア通路からのテスト圧を減圧する減圧部と、この
減圧部と大気側との間に接続された流量検出部とを備
え、 上記減圧部が、擬似漏れ通路を有するボデイと、この擬
似漏れ通路に配置されるとともに多数の微小通路を有す
る弾性変形可能な減圧素子と、この減圧素子を押圧して
圧縮する押圧部材と、この押圧部材の位置を調節して減
圧素子の圧縮度を調節し、ひいては上記流量検出部を通
るエアの流量を調節する調節手段とを備えたことを特徴
とするエアリークテスタ用擬似漏れ装置。1. A pseudo-leakage device connected to an air passage of an air leak tester together with a pressure sensor, a pressure reducing portion for reducing a test pressure from the air passage, and a flow rate connected between the pressure reducing portion and the atmosphere. A detecting unit, wherein the decompressing unit is a body having a pseudo leak passage, an elastically deformable decompressing device having a large number of minute passages disposed in the pseudo leak passage, and pressing and compressing the depressurizing device. A pressure member for adjusting the position of the pressure member to adjust the degree of compression of the pressure-reducing element, and thus adjusting the flow rate of air passing through the flow rate detection unit. Simulated leak device.
らなることを特徴とする請求項1に記載のエアリークテ
スタ用擬似漏れ装置。2. The pseudo leak device for an air leak tester according to claim 1, wherein said pressure reducing element is made of a continuous porous foamed resin.
設け、この受部と上記押圧部材との間に上記減圧素子が
配置されていることを特徴とする請求項1または2に記
載のエアリークテスタ用擬似漏れ装置。3. The false leak passage according to claim 1, wherein a receiving portion having a hole is provided in the pseudo leak passage, and the pressure reducing element is disposed between the receiving portion and the pressing member. Pseudo leak device for air leak tester.
て上記受部の穴に挿入されるピン部を有し、このピン部
の外周と穴の内周との間の隙間をエアの通路とすること
を特徴とする請求項3に記載のエアリークテスタ用擬似
漏れ装置。4. The pressing member has a pin portion which penetrates the pressure reducing element and is inserted into a hole of the receiving portion, and a gap between an outer periphery of the pin portion and an inner periphery of the hole is formed by air. The pseudo leak device for an air leak tester according to claim 3, wherein the pseudo leak device is a passage.
端に底壁を有するケースが配置され、この底壁が上記受
部として提供され、このケースに、上記減圧素子と上記
押圧部材と復帰スプリングが収容されることによりユニ
ット化された減圧カートリッジが構成され、上記押圧部
材と底壁との間に減圧素子が挟まれ、押圧部材が復帰ス
プリングにより減圧素子から遠ざかる方向に付勢される
とともに、上記ケースに設けたストッパによって同方向
への移動を規制されていることを特徴とする請求項3ま
たは4に記載のエアリークテスタ用擬似漏れ装置。5. A case having an opening at one end and a bottom wall at the other end is disposed in the pseudo leak passage, and the bottom wall is provided as the receiving portion. A pressure reducing cartridge unitized by containing the return spring is formed, a pressure reducing element is sandwiched between the pressing member and the bottom wall, and the pressing member is urged in a direction away from the pressure reducing element by the return spring. 5. The pseudo leak device for an air leak tester according to claim 3, wherein movement in the same direction is restricted by a stopper provided in the case.
螺合されて上記擬似漏れ通路に気密に挿入された操作部
材と、上記押圧部材と操作部材との間に介在されて押圧
部材に直接当たる中間部材と、上記中間部材と操作部材
との間に配置されて中間部材を減圧素子に向けて付勢す
る第1スプリングと、中間部材を減圧素子から遠ざける
方向に付勢する第2スプリングとを有し、 上記第1スプリングのばね定数が、上記第2スプリング
のばね定数より小さいことを特徴とする請求項3〜5の
いずれかに記載のエアリークテスタ用擬似漏れ装置。6. An operating member screwed to a body of the pressure reducing section and hermetically inserted into the pseudo leak passage, and an adjusting member interposed between the pressing member and the pressing member, An intermediate member directly in contact with the first spring, a first spring disposed between the intermediate member and the operating member for urging the intermediate member toward the pressure reducing element, and a second spring for urging the intermediate member away from the pressure reducing element The pseudo-leakage device for an air leak tester according to claim 3, wherein a spring constant of the first spring is smaller than a spring constant of the second spring.
螺合されて上記擬似漏れ通路に気密に挿入された操作部
材と、上記押圧部材と操作部材との間に介在されて押圧
部材を減圧素子に向けて付勢する押圧スプリングと、上
記押圧部材と受部との間に介在されて押圧部材を減圧素
子から遠ざける方向に付勢する復帰スプリングとを有
し、 上記押圧スプリングのばね定数が復帰スプリングのばね
定数より小さいことを特徴とする請求項3〜5のいずれ
かに記載のエアリークテスタ用擬似漏れ装置。7. An operating member screwed to a body of the pressure reducing section and hermetically inserted into the pseudo leak passage, and a pressing member interposed between the pressing member and the operating member. A pressure spring that urges the pressure member toward the pressure reducing element; and a return spring that is interposed between the pressure member and the receiving portion and urges the pressure member in a direction away from the pressure reducing element. The pseudo leak device for an air leak tester according to any one of claims 3 to 5, wherein is smaller than a spring constant of the return spring.
有するボデイと、細管と、他の圧力センサを備え、当該
他の擬似漏れ通路が、上記減圧部の擬似漏れ通路と上記
減圧素子を介して連なり、上記細管が当該他の擬似漏れ
通路と大気との間に配置され、当該他の圧力センサが当
該他の擬似漏れ通路の圧力を検出することを特徴とする
請求項1に記載のエアリークテスタ用擬似漏れ装置。8. The flow rate detecting section includes a body having another pseudo leak passage, a thin tube, and another pressure sensor, and the other pseudo leak path includes the pseudo leak path of the pressure reducing section and the pressure reducing element. 2. The method according to claim 1, wherein the thin tube is disposed between the other pseudo leak passage and the atmosphere, and the other pressure sensor detects the pressure of the other pseudo leak passage. Pseudo leak device for air leak tester.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000302053A JP2002107258A (en) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | Artificial leak device for air leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000302053A JP2002107258A (en) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | Artificial leak device for air leak tester |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002107258A true JP2002107258A (en) | 2002-04-10 |
Family
ID=18783481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000302053A Pending JP2002107258A (en) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | Artificial leak device for air leak tester |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002107258A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100651506B1 (en) | 2004-05-13 | 2006-11-29 | 삼성전자주식회사 | Optical fiber for long-distance optical network |
JP2016031331A (en) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 株式会社コスモ計器 | Flow rate resistance nozzle |
KR20180091901A (en) * | 2015-12-14 | 2018-08-16 | 가부시키가이샤 후쿠다 | Leakage test apparatus and method |
-
2000
- 2000-10-02 JP JP2000302053A patent/JP2002107258A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100651506B1 (en) | 2004-05-13 | 2006-11-29 | 삼성전자주식회사 | Optical fiber for long-distance optical network |
JP2016031331A (en) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 株式会社コスモ計器 | Flow rate resistance nozzle |
KR20180091901A (en) * | 2015-12-14 | 2018-08-16 | 가부시키가이샤 후쿠다 | Leakage test apparatus and method |
KR102093571B1 (en) * | 2015-12-14 | 2020-03-25 | 가부시키가이샤 후쿠다 | Leak test device and method |
US10816434B2 (en) | 2015-12-14 | 2020-10-27 | Fukuda Co., Ltd. | Apparatus and method for leak testing |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6227035B1 (en) | Gas module orifice automated test fixture | |
CA2434360C (en) | Product leak testing | |
JP4086057B2 (en) | Mass flow control device and verification method thereof | |
US4096746A (en) | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like | |
JP3629329B2 (en) | Gas chromatograph | |
US20030127850A1 (en) | Adapter for coupling a sensor to a fluid line | |
JPH07181101A (en) | Leak quantity detector | |
US6532800B1 (en) | Aircraft pressurization test apparatus and method of using same | |
JP2002107258A (en) | Artificial leak device for air leak tester | |
JP2008089607A (en) | Mass flow controller and its regulation method | |
US20100192668A1 (en) | Gas permeation testing system | |
JP3715543B2 (en) | Airtight performance test method | |
JPS5920093B2 (en) | Leakage measuring device | |
JP2005077310A (en) | Gas measuring device and self-diagnosis method therefor | |
US5238016A (en) | Method of supply pressure effect sensing and associated gage | |
JP3502687B2 (en) | Pressure leak measurement method | |
JPH04364436A (en) | Calibrating method for leakage inspecting apparatus | |
JP3361164B2 (en) | Leak detection method and device | |
JP3590500B2 (en) | Gas detector inspection device | |
JPH0843241A (en) | Leakage measuring method | |
JP2006153893A (en) | Mass flow control device | |
JP3132710B2 (en) | Leak inspection equipment | |
JP2002267555A (en) | Bolt tester | |
JPH0961278A (en) | Capacity changer for air leak tester | |
JPS6155482A (en) | Differential pressure driven three way type valve |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090811 |