JP2002100966A - Adjusting device and testing device - Google Patents

Adjusting device and testing device

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JP2002100966A
JP2002100966A JP2000288415A JP2000288415A JP2002100966A JP 2002100966 A JP2002100966 A JP 2002100966A JP 2000288415 A JP2000288415 A JP 2000288415A JP 2000288415 A JP2000288415 A JP 2000288415A JP 2002100966 A JP2002100966 A JP 2002100966A
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JP
Japan
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signal
input
delay circuit
unit
adjustment
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000288415A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirokatsu Niijima
啓克 新島
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adjusting device, in which the delay time for the rise time of an input signal and the delay time for the fall time of the input signal are adjusted. SOLUTION: The adjusting device 152 is provided with a first delay circuit 166, in which the rise time of the input signal is delayed more than the fall time of the input signal, a second delay circuit 168 in which the fall time of the input signal is delayed more than the rise time of the input signal and a selection part 176 which selects the first delay circuit or the second delay circuit and in which the input signal adjusted by the selected delay circuit is output as an adjusting signal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、調整装置及び試験
装置に関する。特に本発明は、入力信号の立ち上がり時
間の遅延時間と立ち下がり時間の遅延時間とを調整する
調整装置及び試験装置に関する。
[0001] The present invention relates to an adjusting device and a test device. In particular, the present invention relates to an adjustment device and a test device that adjust a delay time of a rise time and a delay time of a fall time of an input signal.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子デバイスの電気的特性を試験する試
験装置として、電子デバイスに入力パターン信号を入力
し、その入力パターン信号に基づいて電子デバイスが出
力する出力パターン信号を受け取り、タイミング比較す
るコンパレータ等が用いられる。電子デバイスは複数の
入力ピン及び出力ピンを有し、入力パターン信号は各入
力ピンに入力し、各出力パターン信号は各出力ピンから
出力する。コンパレータは複数の比較回路を有し、各出
力ピンから出力された出力パターン信号は各比較回路に
入力する。
2. Description of the Related Art As a test apparatus for testing electrical characteristics of an electronic device, a comparator for inputting an input pattern signal to the electronic device, receiving an output pattern signal output from the electronic device based on the input pattern signal, and comparing timings. Are used. The electronic device has a plurality of input pins and output pins, an input pattern signal is input to each input pin, and each output pattern signal is output from each output pin. The comparator has a plurality of comparison circuits, and the output pattern signal output from each output pin is input to each comparison circuit.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、各比較回路
は、それぞれ固有の特性を有するため、電子デバイスの
高速化に伴い、入力した出力パターン信号の立ち上がり
時間と立ち下がり時間に生じる遅延時間が異なり、スキ
ューが起こるという問題があった。そのため、コンパレ
ータ等の試験装置において、このようなスキューの改善
が求められていた。
However, since each comparison circuit has its own characteristic, the delay time generated between the rise time and the fall time of the input output pattern signal varies with the speed of the electronic device. However, there is a problem that skew occurs. Therefore, such a skew has been required to be improved in a test device such as a comparator.

【0004】そこで本発明は、上記の課題を解決するこ
とのできる調整装置及び試験装置を提供することを目的
とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記
載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は
本発明の更なる有利な具体例を規定する。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an adjusting device and a test device which can solve the above-mentioned problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous embodiments of the present invention.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第1の形
態によると、入力信号の立ち上がり時間を入力信号の立
ち下がり時間よりも多く遅延させる第1遅延回路と、入
力信号の立ち下がり時間を入力信号の立ち上がり時間よ
りも多く遅延させる第2遅延回路と、第1遅延回路と第
2遅延回路とのいずれかを選択し、選択された遅延回路
により調整された入力信号を調整信号として出力する選
択部とを備えることを特徴とする調整装置を提供する。
According to a first aspect of the present invention, a first delay circuit for delaying the rise time of an input signal longer than the fall time of an input signal, and the fall time of an input signal Delay circuit that delays the input signal more than the rise time of the input signal, and one of the first delay circuit and the second delay circuit, and the input signal adjusted by the selected delay circuit is output as an adjustment signal. And a selecting unit that performs the adjustment.

【0006】入力信号は、選択部により選択された遅延
回路を通過して調整されてもよい。調整装置はさらに、
所定の信号の波形を整形して入力信号を出力するバッフ
ァを備えてもよい。
[0006] The input signal may be adjusted by passing through a delay circuit selected by the selection unit. The adjustment device furthermore
A buffer for shaping the waveform of a predetermined signal and outputting an input signal may be provided.

【0007】選択部は、調整信号のパルス幅と所定の信
号のパルス幅とが等しくなるように第1遅延回路と、第
2遅延回路とのいずれかを選択してもよい。調整装置は
さらに、選択部により、いずれの遅延回路を選択したか
を記憶する記憶部を備えてもよい。
[0007] The selector may select either the first delay circuit or the second delay circuit so that the pulse width of the adjustment signal is equal to the pulse width of the predetermined signal. The adjustment device may further include a storage unit that stores which of the delay circuits is selected by the selection unit.

【0008】調整装置はさらに、調整信号が変化するタ
イミングを検出するための検出タイミング信号を出力す
る検出タイミング信号出力部と、検出タイミング信号が
変化するタイミングに基づいて、調整信号を検出して検
出信号として出力する検出信号出力部とを備えてもよ
い。
The adjustment device further includes a detection timing signal output unit for outputting a detection timing signal for detecting a timing at which the adjustment signal changes, and detects and detects the adjustment signal based on the timing at which the detection timing signal changes. A detection signal output unit that outputs the signal as a signal.

【0009】調整装置はさらに、第1遅延回路と、第2
遅延回路と、選択部と、検出タイミング信号出力部と、
検出信号出力部とをそれぞれ含む複数の調整部と、検出
するタイミングを指示する検出タイミング発生部とを備
えてもよく、複数の調整部にはそれぞれ入力信号が入力
され、検出タイミング信号出力部は、検出タイミング発
生部が各調整部に対して同一のタイミングを与えた場合
において、それぞれの検出信号出力部が調整信号を同じ
タイミングで検出するように検出タイミング信号を出力
してもよい。
The adjusting device further includes a first delay circuit and a second delay circuit.
A delay circuit, a selection unit, a detection timing signal output unit,
A plurality of adjustment units each including a detection signal output unit, and a detection timing generation unit that instructs a detection timing may be provided, and an input signal is input to each of the plurality of adjustment units, and the detection timing signal output unit Alternatively, when the detection timing generator gives the same timing to each adjustment unit, each detection signal output unit may output a detection timing signal so that the adjustment signal is detected at the same timing.

【0010】本発明の第2の形態によると、電子デバイ
スを試験する試験装置であって、電子デバイスに入力さ
れるべき入力パターン信号を生成するパターン発生部
と、入力パターン信号の波形を整形する波形整形部と、
電子デバイスが電気的に接触され、波形整形部が整形し
た入力パターン信号を電子デバイスに供給し、入力パタ
ーン信号に基づいて電子デバイスが出力する出力パター
ン信号を受け取る信号入出力部と、基準クロック信号を
所望の時間遅延させて所望の周波数のタイミング信号を
発生するタイミング発生部と、電子デバイスが出力する
出力パターン信号を入力して検出する検出部とを備え、
検出部は、入力信号の立ち上がり時間を入力信号の立ち
下がり時間よりも多く遅延させる第1遅延回路と、入力
信号の立ち下がり時間を入力信号の立ち上がり時間より
も多く遅延させる第2遅延回路と、第1遅延回路と第2
遅延回路とのいずれかを選択し、選択された遅延回路に
より調整された入力信号を調整信号として出力する選択
部とを有することを特徴とする試験装置を提供する。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing an electronic device, a pattern generator for generating an input pattern signal to be input to the electronic device, and a waveform of the input pattern signal. A waveform shaping unit;
A signal input / output unit that electrically contacts the electronic device and supplies an input pattern signal shaped by the waveform shaping unit to the electronic device and receives an output pattern signal output by the electronic device based on the input pattern signal; and a reference clock signal. A timing generator for delaying a desired time to generate a timing signal of a desired frequency, and a detector for inputting and detecting an output pattern signal output by the electronic device,
A first delay circuit that delays the rise time of the input signal longer than the fall time of the input signal; a second delay circuit that delays the fall time of the input signal more than the rise time of the input signal; First delay circuit and second delay circuit
A selector for selecting one of the delay circuits and outputting an input signal adjusted by the selected delay circuit as an adjustment signal.

【0011】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。
The above summary of the invention does not enumerate all of the necessary features of the present invention, and a sub-combination of these features can also be an invention.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて
本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかか
る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明
されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に
必須であるとは限らない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the present invention. However, the following embodiments do not limit the claimed invention and have the features described in the embodiments. Not all combinations are essential to the solution of the invention.

【0013】図1は、試験装置100の全体構成を示す
ブロック図である。試験装置100は、パターン発生部
110と、タイミング発生部120と、波形整形部13
0と、信号入出力部140と、検出部150とを備え
る。試験装置100は、電子デバイス200の電気的特
性を試験する。
FIG. 1 is a block diagram showing the entire configuration of the test apparatus 100. The test apparatus 100 includes a pattern generator 110, a timing generator 120, and a waveform shaping unit 13.
0, a signal input / output unit 140, and a detection unit 150. The test apparatus 100 tests the electrical characteristics of the electronic device 200.

【0014】ここで、「電子デバイス」とは、電流又は
電圧に応じて所定の作用を行う部品をいい、例えば、I
C(Integrated Circuit)やLSI(Large‐Scale Int
egrated circuit)のような能動素子から成る半導体部
品を含む。更に、これら部品を結合して一つのパッケー
ジに収めた部品や、これら部品をプリント基板に装着し
て所定の機能を実現したブレッドボード等の部品も含
む。
Here, "electronic device" refers to a component that performs a predetermined action according to current or voltage.
C (Integrated Circuit) and LSI (Large-Scale Int)
eg, a semiconductor component comprising an active element such as an rated circuit. Further, it includes a component in which these components are combined and stored in one package, and a component such as a breadboard in which these components are mounted on a printed circuit board to realize a predetermined function.

【0015】パターン発生部110は、試験対象である
電子デバイス200に入力されるべき入力パターン信号
112と、入力パターン信号112を入力したときに電
子デバイス200から出力されるべき期待値パターン信
号114とを所定の制御シーケンスに従って発生させ
る。
The pattern generator 110 includes an input pattern signal 112 to be input to the electronic device 200 to be tested, an expected value pattern signal 114 to be output from the electronic device 200 when the input pattern signal 112 is input, and Is generated according to a predetermined control sequence.

【0016】タイミング発生部120は、図示しない基
準クロック発生部から受け取る基準クロック信号を所望
の時間遅延させて所望の周波数のタイミング信号を発生
する。タイミング発生部120は、電子デバイス200
への入力パターン信号112の入力タイミングを制御す
るタイミング信号122を、基準クロック信号に基づき
様々なタイミングで発生させる。
The timing generator 120 generates a timing signal of a desired frequency by delaying a reference clock signal received from a reference clock generator (not shown) by a desired time. The timing generation unit 120 includes the electronic device 200
A timing signal 122 for controlling the input timing of the input pattern signal 112 to the input terminal is generated at various timings based on the reference clock signal.

【0017】波形整形部130は、入力パターン信号1
12の波形を電子デバイス200の特性に適合するよう
にタイミング信号122に基づいて整形し、また、タイ
ミング信号122に基づいて電子デバイス200への入
力パターン信号112の入力を制御する。
The waveform shaping section 130 receives the input pattern signal 1
Twelve waveforms are shaped based on the timing signal 122 so as to conform to the characteristics of the electronic device 200, and the input of the input pattern signal 112 to the electronic device 200 is controlled based on the timing signal 122.

【0018】信号入出力部140には電子デバイス20
0が電気的に接触され、波形整形部120が整形した入
力パターン信号を受け取り電子デバイス200の入力ピ
ンに供給する。そして、信号入出力部140は、入力パ
ターン信号に基づいて電子デバイス200が出力ピンか
ら出力する出力パターン信号142を受け取り出力す
る。
The signal input / output unit 140 includes the electronic device 20
0 is electrically contacted, and receives the input pattern signal shaped by the waveform shaping unit 120 and supplies it to the input pin of the electronic device 200. The signal input / output unit 140 receives and outputs the output pattern signal 142 output from the output pin by the electronic device 200 based on the input pattern signal.

【0019】検出部150は、出力パターン信号142
と期待値パターン信号114とを受け取る。検出部15
0は、出力パターン信号142と期待値パターン信号1
14とをタイミング発生部120が出力したタイミング
信号124に基づいて論理比較し、一致するか否かを検
出する。検出部150は、調整装置152を有する。調
整装置152は、入力信号の立ち上がり時間を入力信号
の立ち下がり時間よりも多く遅延させる第1遅延回路
と、入力信号の立ち下がり時間を入力信号の立ち上がり
時間よりも多く遅延させる第2遅延回路と、第1遅延回
路と第2遅延回路とのいずれかを選択し、選択された遅
延回路により調整された入力信号を調整信号として出力
する選択部とを備える。また、試験装置100の各部は
制御装置210によって制御される。
The detection unit 150 outputs the output pattern signal 142
And the expected value pattern signal 114. Detector 15
0 is the output pattern signal 142 and the expected value pattern signal 1
14 is logically compared based on the timing signal 124 output from the timing generation unit 120, and it is detected whether or not they match. The detection unit 150 has an adjustment device 152. The adjusting device 152 includes a first delay circuit that delays the rise time of the input signal longer than the fall time of the input signal, and a second delay circuit that delays the fall time of the input signal more than the rise time of the input signal. And a selector for selecting one of the first delay circuit and the second delay circuit and outputting an input signal adjusted by the selected delay circuit as an adjustment signal. Each unit of the test apparatus 100 is controlled by the control device 210.

【0020】図2は、本実施形態における検出部150
に含まれる調整装置152の構成を示すブロック図であ
る。調整装置152は、電子デバイス200の複数の出
力ピンにそれぞれ対応する複数の比較回路部(152−
1〜152−n)と、検出タイミング発生部190とを
有する。各比較回路部(152−1〜152−n)は、
それぞれレベル比較回路154と、タイミング比較回路
156とを有する。各比較回路部(152−1〜152
−n)は、同様の構成を有するため、以下、比較回路部
152−1の構成を説明する。
FIG. 2 shows a detecting unit 150 according to this embodiment.
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of an adjustment device 152 included in the first embodiment. The adjustment device 152 includes a plurality of comparison circuit units (152-102) corresponding to a plurality of output pins of the electronic device 200, respectively.
1 to 152-n) and a detection timing generator 190. Each of the comparison circuit units (152-1 to 152-n)
Each has a level comparison circuit 154 and a timing comparison circuit 156. Each comparison circuit section (152-1 to 152)
−n) has the same configuration, and therefore, the configuration of the comparison circuit unit 152-1 will be described below.

【0021】タイミング比較回路156は、バッファ1
58と、調整部160とを含む。バッファ158は、所
定の信号の波形を整形して入力信号SIG11を出力す
る。本実施形態における所定の信号とは、電子デバイス
200の各出力ピンから出力された出力パターン信号1
42−1である。
The timing comparison circuit 156 includes a buffer 1
58 and an adjusting unit 160. The buffer 158 shapes the waveform of a predetermined signal and outputs the input signal SIG11. The predetermined signal in this embodiment is an output pattern signal 1 output from each output pin of the electronic device 200.
42-1.

【0022】調整部160は、パルス幅調整部162
と、検出信号出力部180と、検出タイミング信号出力
部182とを有する。パルス幅調整部162は、回路部
164と、選択部176とを有する。回路部164は、
入力信号の立ち上がり時間を当該入力信号の立ち下がり
時間よりも多く遅延させる第1遅延回路166と、入力
信号の立ち下がり時間を当該入力信号の立ち上がり時間
よりも多く遅延させる第2遅延回路168とを有する。
パルス幅調整部162はさらに、バッファ158から出
力された入力信号を調整信号SIG21として通過させ
るスルー経路170と、第1遅延回路166を通過した
調整信号SIG22を通過させる第1経路172と、第
2遅延回路168を通過した調整信号SIG23を通過
させる第2経路174とを有する。
The adjusting unit 160 includes a pulse width adjusting unit 162
And a detection signal output unit 180 and a detection timing signal output unit 182. The pulse width adjustment unit 162 has a circuit unit 164 and a selection unit 176. The circuit unit 164 includes
A first delay circuit 166 that delays the rise time of the input signal longer than the fall time of the input signal, and a second delay circuit 168 that delays the fall time of the input signal more than the rise time of the input signal. Have.
The pulse width adjustment unit 162 further includes a through path 170 for passing the input signal output from the buffer 158 as the adjustment signal SIG21, a first path 172 for passing the adjustment signal SIG22 that has passed through the first delay circuit 166, and a second path 172. A second path 174 for passing the adjustment signal SIG23 that has passed through the delay circuit 168.

【0023】選択部176は、スルー経路170と、第
1経路172と、第2経路174とのいずれかを選択
し、選択された経路(170、172、174)を通過
して調整された入力信号SIG11である調整信号SI
G21、SIG22又はSIG23を出力する。選択部
176は、調整信号SIG21、SIG22又はSIG
23のパルス幅とバッファ158に入力された所定の信
号である出力パターン信号142−1のパルス幅とが等
しくなるようにスルー経路170と、第1経路172
と、第2経路174とのいずれかを選択する。
The selection unit 176 selects one of the through path 170, the first path 172, and the second path 174, and adjusts the input by passing through the selected path (170, 172, 174). Adjustment signal SI that is signal SIG11
G21, SIG22 or SIG23 is output. The selection unit 176 receives the adjustment signal SIG21, SIG22 or SIG
23 and the first path 172 so that the pulse width of the output pattern signal 142-1 which is a predetermined signal input to the buffer 158 is equal to the pulse width of the output pattern signal 142-1.
And the second path 174 are selected.

【0024】選択部176は、いずれの経路を選択した
かを記憶する記憶部178を有するのが好ましい。記憶
部178は、パルス幅調整部162を校正したときに選
択された経路を記憶するのが好ましい。本実施形態にお
いて、記憶部178はレジスタであって、制御装置21
0からの指示に基づき、当該選択された経路(170、
172、174)を記憶する。そして選択部176は、
当該記憶された経路(170、172、174)を選択
し、選択した経路を通過した調整信号SIG21、SI
G22又はSIG23を調整信号SIG31として出力
する。選択部176は、記憶部178を有することによ
り、記憶部178に記憶された情報に基づいて当該経路
を選択するため、例えば試験毎にパルス幅調整部162
を校正して、選択部176が選択すべき経路を検出する
必要がない。
The selecting section 176 preferably has a storage section 178 for storing which route is selected. It is preferable that the storage unit 178 stores the path selected when the pulse width adjustment unit 162 is calibrated. In the present embodiment, the storage unit 178 is a register,
0, the selected route (170,
172, 174) are stored. Then, the selection unit 176
The stored path (170, 172, 174) is selected, and the adjustment signals SIG21, SI passing through the selected path are selected.
G22 or SIG23 is output as the adjustment signal SIG31. The selection unit 176 includes the storage unit 178, and selects the path based on the information stored in the storage unit 178.
Does not need to be calibrated to detect the path to be selected by the selection unit 176.

【0025】他の実施例においては、回路部164は、
それぞれ遅延量の異なる遅延回路が設けられた複数の経
路を有し、選択部176が当該複数の経路のいずれかを
選択し、入力信号SIG11の波形を調整してよい。当
該遅延量の異なる遅延回路は、入力された信号が有する
波形の立ち上がり時間又は立ち下がり時間のいずれか一
方を他方より多く遅延させ、かつ出力される当該波形の
パルス幅が異なる遅延回路であるのが好ましい。具体的
には、例えば入力信号SIG11が有する波形の立ち上
がり時間を所定時間遅延させる遅延回路を複数組み合わ
せることにより遅延量の異なる経路を設けてもよい。ま
た、例えば入力信号SIG11が有する波形の立ち下が
り時間を所定時間遅延させる遅延回路を複数組み合わせ
ることにより遅延量の異なる経路を設けてもよい。この
ように、入力された信号が有する波形の立ち上がり時間
又は立ち下がり時間を遅延させる種々の遅延量を組み合
わせることにより、出力される信号のパルス幅を調整す
ることができる。
In another embodiment, circuit portion 164 includes
A plurality of paths each having a delay circuit having a different delay amount may be provided, and the selection unit 176 may select any one of the plurality of paths and adjust the waveform of the input signal SIG11. The delay circuit having the different delay amount delays one of the rise time and the fall time of the waveform of the input signal more than the other and has a different pulse width from the output waveform. Is preferred. Specifically, for example, paths having different delay amounts may be provided by combining a plurality of delay circuits that delay the rise time of the waveform of the input signal SIG11 by a predetermined time. In addition, for example, paths having different delay amounts may be provided by combining a plurality of delay circuits that delay the fall time of the waveform of the input signal SIG11 by a predetermined time. Thus, by combining various delay amounts that delay the rise time or fall time of the waveform of the input signal, the pulse width of the output signal can be adjusted.

【0026】検出タイミング発生部190は検出タイミ
ング信号を生成し、各比較回路部(152−1〜152
−n)の検出タイミング信号出力部182に、検出信号
出力部180が検出信号SIG41を出力すべきタイミ
ングを与える。また、試験装置100に含まれるタイミ
ング発生部120が検出タイミング信号を生成してもよ
い。
The detection timing generation section 190 generates a detection timing signal, and outputs a signal to each of the comparison circuit sections (152-1 to 152).
The timing at which the detection signal output section 180 outputs the detection signal SIG41 is given to the detection timing signal output section 182 of -n). Further, the timing generator 120 included in the test apparatus 100 may generate the detection timing signal.

【0027】検出タイミング信号出力部182は、調整
信号SIG31が変化するタイミングを検出するための
検出タイミング信号STRBを出力する。本実施形態に
おける検出タイミング信号出力部182は、可変遅延回
路である。検出タイミング信号出力部182は、検出タ
イミング発生部190が各比較回路部(152−1〜1
52−n)の検出タイミング信号出力部182に対して
同一のタイミングを与えた場合において、それぞれの検
出信号出力部180が調整信号SIG31を同じタイミ
ングで検出するように検出タイミング信号STRBを出
力する。
The detection timing signal output section 182 outputs a detection timing signal STRB for detecting a timing at which the adjustment signal SIG31 changes. The detection timing signal output unit 182 in the present embodiment is a variable delay circuit. The detection timing signal output unit 182 is configured such that the detection timing generation unit 190 makes each of the comparison circuit units (152-1 to 152-1).
52-n), when the same timing is given to the detection timing signal output unit 182, each detection signal output unit 180 outputs the detection timing signal STRB so that the adjustment signal SIG31 is detected at the same timing.

【0028】検出信号出力部180は、選択部176か
ら出力された調整信号SIG31及び検出タイミング信
号STRBを受け取る。本実施形態における検出信号出
力部180はラッチ回路である。検出信号出力部180
は、検出タイミング信号STRBが変化するタイミング
に基づいて、調整信号SIG31を検出して検出信号S
IG41として出力する。
The detection signal output section 180 receives the adjustment signal SIG31 and the detection timing signal STRB output from the selection section 176. The detection signal output unit 180 according to the present embodiment is a latch circuit. Detection signal output section 180
Detects the adjustment signal SIG31 based on the timing at which the detection timing signal STRB changes, and
Output as IG41.

【0029】図3は、本実施形態における比較回路部1
52−1において調整される信号の波形を示すタイミン
グチャートである。図3(a)は、電子デバイス200
から出力された出力パターン信号142−1の波形を示
す。図3(b)は、図3(a)の出力パターン信号14
2−1を模式的に示したパルス波の波形を示す。
FIG. 3 shows a comparison circuit section 1 according to this embodiment.
It is a timing chart which shows the waveform of the signal adjusted in 52-1. FIG. 3A shows an electronic device 200.
5 shows a waveform of an output pattern signal 142-1 output from the LM. FIG. 3B shows the output pattern signal 14 shown in FIG.
2 shows a waveform of a pulse wave schematically showing 2-1.

【0030】図3(c)〜図3(e)は、出力パターン
信号142−1が、レベル比較回路154及びバッファ
158を通過した後の入力信号SIG11を示すパルス
波である。図3(c)は、レベル比較回路154及びバ
ッファ158を通過して発生した立ち上がり時間の遅延
時間t1と立ち下がり時間の遅延時間t2とが等しい場
合の入力信号SIG11−(1)を示す。出力パターン
信号142−1は、レベル比較回路154及びバッファ
158を通過するため、出力パターン信号142−1
は、レベル比較回路154とバッファ158との通過に
要する時間分だけ遅延する。
FIGS. 3C to 3E are pulse waves showing the input signal SIG11 after the output pattern signal 142-1 has passed through the level comparison circuit 154 and the buffer 158. FIG. 3C shows the input signal SIG11- (1) when the delay time t1 of the rise time and the delay time t2 of the fall time generated through the level comparison circuit 154 and the buffer 158 are equal. Since the output pattern signal 142-1 passes through the level comparison circuit 154 and the buffer 158, the output pattern signal 142-1
Is delayed by the time required to pass through the level comparison circuit 154 and the buffer 158.

【0031】ここで、立ち上がり時間の遅延時間t1と
は、入力される信号がL論理からH論理に変化するタイ
ミングと、出力される信号がL論理からH論理に変化す
るタイミングとの間の時間をいう。当該タイミングは、
信号がH論理であると認識されるタイミングであってよ
い。また立ち下がり時間の遅延時間t2とは、入力され
る信号がH論理からL論理に変化するタイミングと、出
力される信号がH論理からL論理に変化するタイミング
との間の時間をいう。当該タイミングは、信号がL論理
であると認識されるタイミングであってよい。
Here, the delay time t1 of the rise time is the time between the timing when the input signal changes from L logic to H logic and the timing when the output signal changes from L logic to H logic. Say. The timing is
The timing may be a timing at which the signal is recognized as H logic. Further, the delay time t2 of the fall time refers to the time between the timing when the input signal changes from H logic to L logic and the timing when the output signal changes from H logic to L logic. The timing may be a timing at which the signal is recognized as having L logic.

【0032】図3(d)は、レベル比較回路154及び
バッファ158を通過して発生した立ち上がり時間の遅
延時間t1が、立ち下がり時間の遅延時間t2よりも小
さい場合の入力信号SIG11−(2)を示す。図3
(e)は、レベル比較回路154及びバッファ158を
通過して発生した立ち上がり時間の遅延時間t1が、立
ち下がり時間の遅延時間t2よりも大きい場合の入力信
号SIG11−(3)を示す。
FIG. 3D shows the input signal SIG11- (2) when the delay time t1 of the rise time generated by passing through the level comparison circuit 154 and the buffer 158 is smaller than the delay time t2 of the fall time. Is shown. FIG.
(E) shows the input signal SIG11- (3) when the delay time t1 of the rise time generated by passing through the level comparison circuit 154 and the buffer 158 is longer than the delay time t2 of the fall time.

【0033】図2及び図3を参照して、本実施形態にお
ける調整装置160の機能を説明する。まず、入力信号
SIG11の立ち上がり時間の遅延時間t1と立ち下が
り時間の遅延時間t2との差を求める。選択部176は
スルー経路170を選択し、パルス幅調整部162は、
レベル比較回路154及びバッファ158を通過した出
力パターン信号142−1を、入力信号SIG11とし
て受け取る。選択部176は、スルー経路170を通過
した入力信号SIG11を受け取る。ここで、入力信号
SIG11は、スルー経路170を通過することによ
り、SIG11の立ち上がり時間と立ち下がり時間とが
等しい時間遅延される。そのため、選択部176から出
力される信号は、SIG11の立ち上がり時間と立ち下
がり時間に応じて、図3(c)〜3(e)に示す入力信
号SIG11−(1)〜(3)のいずれかと同じ傾向を
示す波形を持つ。制御装置210は、この入力信号SI
G11−(1)〜(3)のパルス幅と、出力パターン信
号142−1のパルス幅との差から、入力信号SIG1
1の立ち上がり時間の遅延時間t1と立ち下がり時間の
遅延時間t2との差を算出する。
Referring to FIG. 2 and FIG. 3, the function of the adjusting device 160 in the present embodiment will be described. First, the difference between the delay time t1 of the rise time and the delay time t2 of the fall time of the input signal SIG11 is determined. The selection unit 176 selects the through path 170, and the pulse width adjustment unit 162
The output pattern signal 142-1 that has passed through the level comparison circuit 154 and the buffer 158 is received as an input signal SIG11. The selector 176 receives the input signal SIG11 that has passed through the through path 170. Here, as the input signal SIG11 passes through the through path 170, the rise time and the fall time of the SIG11 are delayed by the same time. Therefore, the signal output from the selection unit 176 may be any one of the input signals SIG11- (1) to (3) shown in FIGS. 3C to 3E according to the rise time and the fall time of the SIG11. It has a waveform showing the same tendency. Control device 210 receives input signal SI
From the difference between the pulse width of G11- (1) to (3) and the pulse width of the output pattern signal 142-1, the input signal SIG1
The difference between the rise time delay time t1 and the fall time delay time t2 is calculated.

【0034】次に、選択部176は、入力信号SIG1
1の立ち上がり時間の遅延時間t1と立ち下がり時間の
遅延時間t2との差を補正するように経路を選択する。
例えば、図3(c)に示すように、入力信号SIG11
−(1)のパルス幅と出力パターン信号142−1のパ
ルス幅とが等しい場合、入力信号SIG11の立ち上が
り時間の遅延時間t1と立ち下がり時間の遅延時間t2
との差Δt=|t1−t2|=0(零)である。このと
き選択部176は、スルー経路170を選択して、調整
信号SIG21を受け取る。図3(f)は、スルー経路
170を通過した調整信号SIG31−(1)の波形を
示す。入力信号SIG11−(1)は、スルー経路17
0を通過することにより、立ち上がり時間がt3遅延さ
れ、立ち下がり時間がt3と等しい時間であるt4遅延
される。そして、選択部176は、SIG31−(1)
を検出信号出力部180に供給する。
Next, the selector 176 receives the input signal SIG1.
The path is selected so as to correct the difference between the delay time t1 of the rise time and the delay time t2 of the fall time.
For example, as shown in FIG.
When the pulse width of-(1) is equal to the pulse width of the output pattern signal 142-1, the delay time t1 of the rise time and the delay time t2 of the fall time of the input signal SIG11.
Δt = | t1−t2 | = 0 (zero). At this time, the selection unit 176 selects the through path 170 and receives the adjustment signal SIG21. FIG. 3F shows a waveform of the adjustment signal SIG31- (1) that has passed through the through path 170. The input signal SIG11- (1) is
By passing through 0, the rise time is delayed by t3 and the fall time is delayed by t4, which is a time equal to t3. Then, the selection unit 176 sets the SIG31- (1)
Is supplied to the detection signal output unit 180.

【0035】例えば、図3(d)に示すように、入力信
号SIG11−(2)のパルス幅が出力パターン信号1
42−1のパルス幅よりも大きい場合、入力信号SIG
11の立ち上がり時間の遅延時間t1と立ち下がり時間
の遅延時間t2との差はΔt=|t1−t2|である。
このとき選択部176は、第1経路172を選択して、
調整信号SIG22を受け取る。第1遅延回路166
は、入力信号SIG11−(2)の立ち上がり時間の遅
延時間t1と立ち下がり時間の遅延時間t2との差Δt
=|t1−t2|を補正するように構成される。つま
り、第1遅延回路166は、入力信号SIG11−
(2)の立ち上がり時間を立ち下がり時間よりもΔtだ
け多く遅延する。図3(g)は、第1経路172を通過
した調整信号SIG31−(2)の波形を示す。このと
き、入力信号SIG11−(2)の立ち上がり時間の遅
延時間t3は、立ち下がり時間の遅延時間t4よりもΔ
tだけ多く遅延される。従って、第1遅延回路166を
有する第1経路172を通過した調整信号SIG31−
(2)のパルス幅と、出力パターン信号142−1のパ
ルス幅とは等しくなる。そして、選択部176は、SI
G31−(2)を検出信号出力部180に供給する。
For example, as shown in FIG. 3D, the pulse width of the input signal SIG11- (2) is
When the pulse width is larger than the pulse width of the input signal SIG,
The difference between the delay time t1 of the rising time and the delay time t2 of the falling time is Δt = | t1−t2 |.
At this time, the selection unit 176 selects the first route 172,
An adjustment signal SIG22 is received. First delay circuit 166
Is the difference Δt between the delay time t1 of the rise time and the delay time t2 of the fall time of the input signal SIG11- (2).
= | T1−t2 |. That is, the first delay circuit 166 receives the input signal SIG11−
The rise time of (2) is delayed by Δt longer than the fall time. FIG. 3G illustrates a waveform of the adjustment signal SIG31- (2) that has passed through the first path 172. At this time, the delay time t3 of the rise time of the input signal SIG11- (2) is longer than the delay time t4 of the fall time by Δ.
Delayed by t. Therefore, the adjustment signal SIG31- passed through the first path 172 having the first delay circuit 166
The pulse width of (2) is equal to the pulse width of the output pattern signal 142-1. Then, the selection unit 176 sets the SI
G31- (2) is supplied to the detection signal output unit 180.

【0036】例えば、図3(e)に示すように、入力信
号SIG11−(3)のパルス幅が出力パターン信号1
42−1のパルス幅よりも小さい場合、入力信号SIG
11の立ち上がり時間の遅延時間t1と立ち下がり時間
の遅延時間t2との差はΔt=|t1−t2|である。
このとき選択部176は、第2経路174を選択し、調
整信号SIG23を受け取る。第2遅延回路168は、
入力信号SIG11−(3)の立ち上がり時間の遅延時
間t1と立ち下がり時間の遅延時間t2との差Δt=|
t1−t2|を補正するように構成される。つまり、第
2遅延回路168は、入力信号SIG11−(3)の立
ち下がり時間を立ち上がり時間よりもΔtだけ多く遅延
する。図3(h)は、第2経路174を通過した調整信
号SIG31−(3)を示す。このとき、入力信号SI
G11−(3)の立ち下がり時間の遅延時間t4は、立
ち上がり時間の遅延時間t3よりもΔtだけ多く遅延さ
れる。従って、第2遅延回路168を有する第2経路1
74を通過した調整信号SIG31−(3)のパルス幅
と、出力パターン信号142−1のパルス幅とは等しく
なる。そして、選択部176は、SIG31−(3)を
検出信号出力部180に供給する。
For example, as shown in FIG. 3E, the pulse width of the input signal SIG11- (3) is
When the pulse width is smaller than the pulse width of the input signal SIG,
The difference between the delay time t1 of the rising time and the delay time t2 of the falling time is Δt = | t1−t2 |.
At this time, the selector 176 selects the second path 174 and receives the adjustment signal SIG23. The second delay circuit 168 is
Difference Δt = | between delay time t1 of rise time and delay time t2 of fall time of input signal SIG11- (3)
It is configured to correct t1-t2 |. That is, the second delay circuit 168 delays the fall time of the input signal SIG11- (3) by Δt more than the rise time. FIG. 3H shows the adjustment signal SIG31- (3) passed through the second path 174. At this time, the input signal SI
The delay time t4 of the fall time of G11- (3) is delayed by Δt more than the delay time t3 of the rise time. Therefore, the second path 1 having the second delay circuit 168
The pulse width of the adjustment signal SIG31- (3) that has passed through 74 becomes equal to the pulse width of the output pattern signal 142-1. Then, the selection unit 176 supplies SIG31- (3) to the detection signal output unit 180.

【0037】同様に、他の比較回路部(152−2〜1
52−n)においても、各比較回路部(152−2〜1
52−n)に含まれるパルス幅調整部162は、入力さ
れた出力パターン信号(142−2〜142−n)が有
するパルス幅を調整する。各比較回路部(152−2〜
152−n)に含まれる選択部176は、SIG31検
出信号出力部180に供給する。
Similarly, the other comparison circuit units (152-2 to 2-1)
52-n), each of the comparison circuit units (152-2 to 15-2)
The pulse width adjustment unit 162 included in 52-n) adjusts the pulse width of the input output pattern signal (142-2 to 142-n). Each comparison circuit (152-2
The selection unit 176 included in 152-n) supplies the signal to the SIG31 detection signal output unit 180.

【0038】検出タイミング信号発生部190は、各比
較回路部(152−2〜152−n)に含まれる検出タ
イミング信号出力部182から出力される検出タイミン
グ信号STRBのタイミングを指示する。例えば、図3
(c)〜3(h)に示すように、入力信号SIG11の
立ち上がり時間t1及び調整信号SIG31の立ち上が
り時間t3は、各比較回路部(152−2〜152−
n)において調整される信号毎に異なる。検出タイミン
グ信号出力部182は、検出タイミング発生部190か
ら指示されるタイミングに基づき、検出タイミング信号
STRBが変化するタイミングを入力信号SIG11の
立ち上がり時間t1及び調整信号SIG31の立ち上が
り時間t3を補正するように所定量遅延させる。そのた
め例えば、検出タイミング信号発生部190が、各比較
回路部(152−1〜152−n)の検出タイミング信
号出力部182に対して同一のタイミングを与えた場
合、それぞれの検出信号出力部180が調整信号SIG
31を同じタイミングで検出することができる。
The detection timing signal generation section 190 indicates the timing of the detection timing signal STRB output from the detection timing signal output section 182 included in each of the comparison circuit sections (152-2 to 152-n). For example, FIG.
As shown in (c) to (h), the rise time t1 of the input signal SIG11 and the rise time t3 of the adjustment signal SIG31 are determined by the respective comparison circuit units (152-2 to 152-).
Different for each signal adjusted in n). The detection timing signal output unit 182 adjusts the timing at which the detection timing signal STRB changes based on the timing instructed by the detection timing generation unit 190 to the rising time t1 of the input signal SIG11 and the rising time t3 of the adjustment signal SIG31. Delay by a predetermined amount. Therefore, for example, when the detection timing signal generation section 190 gives the same timing to the detection timing signal output sections 182 of the respective comparison circuit sections (152-1 to 152-n), the respective detection signal output sections 180 Adjustment signal SIG
31 can be detected at the same timing.

【0039】以上のように、選択部176は、出力パタ
ーン信号142のパルス幅と、調整信号SIG31のパ
ルス幅が等しくなるようにいずれかの経路を選択するた
め、レベル比較回路154とバッファ158とにより出
力パターン信号142の立ち上がり時間と立ち下がり時
間の遅延とに差が生じても、その差を補正することがで
きる。
As described above, the selection section 176 selects one of the paths so that the pulse width of the output pattern signal 142 and the pulse width of the adjustment signal SIG31 are equal, so that the level comparison circuit 154 and the buffer 158 Thus, even if a difference occurs between the rise time and the fall time delay of the output pattern signal 142, the difference can be corrected.

【0040】さらに、各比較回路部(152−1〜15
2−n)の検出タイミング信号出力部182に対して同
一のタイミングを与えた場合において、それぞれの検出
信号出力部180が調整信号SIG31を同じタイミン
グで検出することができる。
Further, each of the comparator circuits (152-1 to 15-15)
When the same timing is given to the detection timing signal output unit 182 of 2-n), each detection signal output unit 180 can detect the adjustment signal SIG31 at the same timing.

【0041】図4は、パルス幅調整部262の他の実施
例を示す図である。パルス幅調整部262は、第1遅延
回路266と、第2遅延回路268と、選択部267a
及び267bと、経路270とを有する。選択部276
aは第1遅延回路266と経路270とを接続するよう
に設けられ、選択部276bは第2遅延回路268と経
路270とを接続するように設けられる。第1遅延回路
266は、例えば設置されたコンデンサであって、入力
された信号の立ち上がり時間を遅延させる機能を有す
る。従って、選択部267aが短絡され、第1遅延回路
が経路270に接続された場合、経路270を通過する
入力信号SIG11が有する波形の立ち上がり時間は、
立ち下がり時間よりも多く遅延される。一方、第2遅延
回路268は、例えば接地された抵抗器であって、入力
された信号の立ち下がり時間を遅延させる機能を有す
る。従って、選択部276bが短絡され、第2遅延回路
268が経路270に接続された場合、経路270を通
過する入力信号SIG11が有する波形の立ち下がり時
間は立ち上がり時間よりも多く遅延される。
FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the pulse width adjusting unit 262. The pulse width adjustment unit 262 includes a first delay circuit 266, a second delay circuit 268, and a selection unit 267a.
267b and a path 270. Selector 276
a is provided so as to connect the first delay circuit 266 to the path 270, and the selector 276b is provided so as to connect the second delay circuit 268 to the path 270. The first delay circuit 266 is, for example, an installed capacitor and has a function of delaying a rise time of an input signal. Therefore, when the selection unit 267a is short-circuited and the first delay circuit is connected to the path 270, the rise time of the waveform of the input signal SIG11 passing through the path 270 is:
It is delayed more than the fall time. On the other hand, the second delay circuit 268 is, for example, a grounded resistor and has a function of delaying the fall time of an input signal. Therefore, when the selection unit 276b is short-circuited and the second delay circuit 268 is connected to the path 270, the fall time of the waveform of the input signal SIG11 passing through the path 270 is delayed more than the rise time.

【0042】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を
加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、
特許請求の範囲の記載から明らかである。
As described above, the present invention has been described using the embodiments. However, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiments. Various changes or improvements can be added to the above embodiment. It should be noted that such modified or improved embodiments may be included in the technical scope of the present invention.
It is clear from the description of the claims.

【0043】[0043]

【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明に
よれば入力信号の立ち上がり時間の遅延時間と立ち下が
り時間の遅延時間とを調整することができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the delay time of the rise time and the delay time of the fall time of the input signal can be adjusted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】試験装置の全体構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating an overall configuration of a test apparatus.

【図2】本実施形態における検出部の構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a detection unit according to the present embodiment.

【図3】本実施形態におけるコンパレータを流れる信号
の波形を示すタイミングチャートである。
FIG. 3 is a timing chart showing a waveform of a signal flowing through a comparator according to the embodiment.

【図4】パルス幅調整部の他の実施例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the pulse width adjusting unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100・・試験装置、110・・パターン発生部、12
0・・タイミング発生部、130・・波形整形部、14
0・・信号入出力部、150・・検出部、152・・調
整装置、152−1〜152−n・・比較回路部、15
4・・レベル比較回路、156・・タイミング比較回
路、158・・バッファ、160・・調整部、162・
・パルス幅調整部、164・・回路部、166・・第1
遅延回路、168・・第2遅延回路、170・・スルー
経路、172・・第1経路、174・・第2経路、17
6・・選択部、178・・記憶部、180・・検出信号
出力部、182・・検出タイミング信号出力部、200
・・電子デバイス、210・・制御装置、266・・第
1遅延回路、268・・第2遅延回路、270・・経
路、276a、276b・・選択部
100 test equipment, 110 pattern generator, 12
0 timing generator, 130 waveform shaping unit, 14
0 ... signal input / output unit, 150 detection unit, 152 adjustment unit, 152-1 to 152-n comparison circuit unit, 15
4 ··· level comparison circuit, 156 ··· timing comparison circuit, 158 · · buffer, 160 · · · adjustment unit, 162 · · ·
.Pulse width adjustment unit, 164, circuit unit, 166, first
Delay circuit, 168 second delay circuit, 170 through-path, 172 first path, 174 second path, 17
6 selection section, 178 storage section, 180 detection signal output section, 182 detection timing signal output section, 200
..Electronic device, 210..control device, 266..first delay circuit, 268..second delay circuit, 270..path, 276a, 276b..selection unit

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入力信号の立ち上がり時間を前記入力信
号の立ち下がり時間よりも多く遅延させる第1遅延回路
と、 前記入力信号の立ち下がり時間を前記入力信号の立ち上
がり時間よりも多く遅延させる第2遅延回路と、 前記第1遅延回路と前記第2遅延回路とのいずれかを選
択し、選択された前記遅延回路により調整された前記入
力信号を調整信号として出力する選択部とを備えること
を特徴とする調整装置。
1. A first delay circuit for delaying a rise time of an input signal longer than a fall time of the input signal, and a second delay circuit for delaying a fall time of the input signal longer than a rise time of the input signal. A delay circuit; and a selector that selects one of the first delay circuit and the second delay circuit and outputs the input signal adjusted by the selected delay circuit as an adjustment signal. And adjusting device.
【請求項2】 前記入力信号は、前記選択部により選択
された前記遅延回路を通過して調整されることを特徴と
する調整装置。
2. The adjustment device according to claim 1, wherein the input signal is adjusted by passing through the delay circuit selected by the selection unit.
【請求項3】 所定の信号の波形を整形して前記入力信
号を出力するバッファをさらに備えることを特徴とする
請求項1又は2に記載の調整装置。
3. The adjusting device according to claim 1, further comprising a buffer for shaping a waveform of a predetermined signal and outputting the input signal.
【請求項4】 前記選択部は、前記調整信号のパルス幅
と前記所定の信号のパルス幅とが等しくなるように前記
第1遅延回路と、前記第2遅延回路とのいずれかを選択
することを特徴とする請求項3に記載の調整装置。
4. The selection section selects one of the first delay circuit and the second delay circuit such that a pulse width of the adjustment signal is equal to a pulse width of the predetermined signal. The adjusting device according to claim 3, wherein:
【請求項5】 前記選択部により、いずれの前記遅延回
路を選択したかを記憶する記憶部をさらに備えることを
特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の調整装
置。
5. The adjustment device according to claim 1, further comprising a storage unit that stores which of the delay circuits is selected by the selection unit.
【請求項6】 前記調整信号が変化するタイミングを検
出するための検出タイミング信号を出力する検出タイミ
ング信号出力部と、 前記検出タイミング信号が変化するタイミングに基づい
て、前記調整信号を検出して検出信号として出力する検
出信号出力部とをさらに備えることを特徴とする請求項
1から5のいずれかに記載の調整装置。
6. A detection timing signal output unit for outputting a detection timing signal for detecting a timing at which the adjustment signal changes, and detecting and detecting the adjustment signal based on a timing at which the detection timing signal changes. The adjustment device according to claim 1, further comprising a detection signal output unit that outputs the signal as a signal.
【請求項7】 前記第1遅延回路と、前記第2遅延回路
と、前記選択部と、前記検出タイミング信号出力部と、
前記検出信号出力部とをそれぞれ含む複数の調整部と、 検出する前記タイミングを指示する検出タイミング発生
部とをさらに備え、 前記複数の調整部にはそれぞれ入力信号が入力され、前
記検出タイミング信号出力部は、前記検出タイミング発
生部が各前記調整部に対して同一のタイミングを与えた
場合において、それぞれの前記検出信号出力部が前記調
整信号を同じタイミングで検出するように前記検出タイ
ミング信号を出力することを特徴とする請求項6に記載
の調整回路。
7. The first delay circuit, the second delay circuit, the selection unit, the detection timing signal output unit,
A plurality of adjustment units each including the detection signal output unit; and a detection timing generation unit that instructs the timing to be detected. An input signal is input to each of the plurality of adjustment units, and the detection timing signal output is output. The unit outputs the detection timing signal so that each of the detection signal output units detects the adjustment signal at the same timing when the detection timing generation unit gives the same timing to each of the adjustment units. The adjustment circuit according to claim 6, wherein
【請求項8】 電子デバイスを試験する試験装置であっ
て、 前記電子デバイスに入力されるべき入力パターン信号を
生成するパターン発生部と、 前記入力パターン信号の波形を整形する波形整形部と、 前記電子デバイスが電気的に接触され、前記波形整形部
が整形した前記入力パターン信号を前記電子デバイスに
供給し、前記入力パターン信号に基づいて前記電子デバ
イスが出力する出力パターン信号を受け取る信号入出力
部と、 基準クロック信号を所望の時間遅延させて所望の周波数
のタイミング信号を発生するタイミング発生部と、 前記電子デバイスが出力する前記出力パターン信号を入
力して検出する検出部とを備え、 前記検出部は、 入力信号の立ち上がり時間を前記入力信号の立ち下がり
時間よりも多く遅延させる第1遅延回路と、 前記入力信号の立ち下がり時間を前記入力信号の立ち上
がり時間よりも多く遅延させる第2遅延回路と、 前記第1遅延回路と前記第2遅延回路とのいずれかを選
択し、選択された前記遅延回路により調整された前記入
力信号を調整信号として出力する選択部とを有すること
を特徴とする試験装置。
8. A test apparatus for testing an electronic device, comprising: a pattern generation unit that generates an input pattern signal to be input to the electronic device; a waveform shaping unit that shapes a waveform of the input pattern signal; A signal input / output unit that electrically contacts an electronic device, supplies the input pattern signal shaped by the waveform shaping unit to the electronic device, and receives an output pattern signal output by the electronic device based on the input pattern signal A timing generation unit that delays a reference clock signal by a desired time to generate a timing signal of a desired frequency; and a detection unit that inputs and detects the output pattern signal output by the electronic device. A first delay circuit for delaying a rise time of the input signal longer than a fall time of the input signal; A second delay circuit for delaying a fall time of the input signal longer than a rise time of the input signal; and selecting one of the first delay circuit and the second delay circuit, and selecting the selected delay. A selector for outputting the input signal adjusted by the circuit as an adjustment signal.
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