JP2002089649A - スライド搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パーティクルの発生を抑えたスライド搬送装
置を提供すること。 【解決手段】 テーブル５２上を往復直線運動するスラ
イダ５６上に更に別のテーブル６０を固定し、その上テ
ーブル６０上にも更に別のスライダ６３が往復直線運動
するように設けられたものであって、各テーブル５２，
６０上のスライダ５６，６３が往復直線運動するための
推進力を、一つのモータ７３からの出力を各テーブル５
２，６０上に設けられた磁気ネジ５３，５７／５４，５
８／６１，５９によって伝達し、発生させるようにした
スライド搬送装置５１

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ネジを使用す
ることにより、パーティクルの発生を抑えて多段スライ
ド搬送を行うようことを可能にしたスライド搬送装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】スライド搬送装置は、例えば図１７に示
すようなマルチチャンバ装置２００に使われる。このマ
ルチチャンバ装置２００は、ウェハカセット室２０１と
第１乃至第３チャンバ室２０２，２０２，２０２とが搬
送室２０３を間に介して配置され、ウェハカセット室２
０１には、処理対象物であるウェハＷが何段かに重ねて
入れられ、各チャンバ室２０２には、ゲート弁２０５に
よって搬送室２０３との隔離が可能となった室内にそれ
ぞれの処理装置が備えられている。そして、こうしたウ
ェハカセット室２０１と各チャンバ室２０２との間でウ
ェハＷを出し入れするため、搬送室２０３には搬送ロボ
ット３００が設けられている。

【０００３】こうした搬送ロボット３００は、スライド
搬送装置を回転及び昇降可能な基台上に取り付けるなど
し、そのスライド搬送装置にウェハＷを把持するための
チャックを装着するようにしている。そして、回転及び
昇降してウェハカセット室２０１やチャンバ室２０２に
対応する位置で、そのスライド搬送装置のスライド動作
により水平移動したチャンバが、そこでウェハＷを把持
し又は解放する。スライド搬送装置は、従来からこうし
た搬送ロボットなど様々な分野で考えられており、例え
ば実開昭６２−７７１９３号にて多段スライド装置が提
案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来の各種スライド搬送装置は、モータなどの動力を
スライダの水平移動に変換して伝達させるためにラック
ピニオンなどが動力伝達手段として用いられ、その動力
伝達部分に当たりや擦れが生じるために微細な埃や塵な
ど、パーティクルの発生が避けられなかった。そして、
こうしたパーティクルの発生は半導体生産における歩留
まりを低下させ、クリーンルーム内で使用されるスライ
ド搬送装置の大きな問題点であった。

【０００５】そこで、本発明は、パーティクルの発生を
抑えたスライド搬送装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のスライド搬送装
置は、テーブル上を往復直線運動するスライダ上に更に
別のテーブルを固定し、その上テーブル上にも更に別の
スライダが往復直線運動するように設けられたものであ
って、各テーブル上のスライダが往復直線運動するため
の推進力を、一つのモータからの出力を各テーブル上に
設けられた磁気ネジによって伝達し、発生させるように
したものであることを特徴とする。

【０００７】また、本発明のスライド搬送装置は、前記
下テーブル上には、雄磁気ネジが回転自在に支持されて
雌磁気ネジが下スライダに固定された駆動用磁気ネジ
と、雄磁気ネジが両端固定されて雌磁気ネジが下スライ
ダに従って移動する回転自在な駆動伝達用磁気ネジとが
設けられ、前記上テーブル上には、雄磁気ネジが回転自
在に支持されて雌磁気ネジが上スライダに固定された搬
送用磁気ネジが設けられ、前記モータの回転軸と前記駆
動用磁気ネジの雄磁気ネジ、前記駆動伝達用磁気ネジの
雌磁気ネジと前記搬送用磁気ネジの雄磁気ネジとがベル
トによって回転伝達可能に連結されたものあることが望
ましい。

【０００８】そこで、本発明のスライド搬送装置によれ
ば、例えば下テーブル上では、モータの回転を受けた駆
動用磁気ネジによって下スライダに推進力が発生し、そ
れにより往復直線運動する下スライダによって駆動伝達
用磁気ネジの雌磁気ネジに回転が発生し、更に下スライ
ダとともに移動する上テーブルではその回転を受けた搬
送用磁気ネジによって推進力が発生して上スライダが往
復直線運動する。従って、本発明によれば、こうした上
下スライダによる直線運動を磁気ネジによって実現した
ので、従来のような機械的な当たりや擦れによる微細な
埃や塵などの発生をなくし、装置全体でパーティクルの
発生を抑えることができた。

【０００９】本発明のスライド搬送装置は、テーブル上
を往復直線運動するスライダ上に更に別のテーブルを固
定し、その上テーブル上にも更に別のスライダが往復直
線運動するように設けられたものであって、前記上テー
ブル上のスライダが移動するための推進力を、前記下ス
ライダの往復直線運動から当該上テーブル上に設けられ
た磁気ネジによって発生させるようにしたものであるこ
とを特徴とする。

【００１０】また、本発明のスライド搬送装置は、前記
上テーブルには、 右ネジ用及び左ネジ用の着磁帯が重
ねて着磁された搬送用雄磁気ネジが回転自在に支持さ
れ、上スライダに固定された搬送用雌磁気ネジと、前記
下テーブル側に固定された不動状態の回転発生用雌磁気
ネジとが、搬送用雌磁気ネジを挟んで両側に配置され、
それぞれ逆向きのネジであることが望ましい。また、本
発明のスライド搬送装置は、前記上テーブルには、雄磁
気ネジが回転自在に支持されて雌磁気ネジは前記下テー
ブル側に固定された不動状態の駆動伝達用磁気ネジと、
雄磁気ネジが回転自在に支持されて雌磁気ネジが上スラ
イダに固定された搬送用磁気ネジとが設けられ、前記駆
動伝達用磁気ネジの雄磁気ネジと前記搬送用磁気ネジの
雄磁気ネジとが回転伝達可能に連結されたものあること
が望ましい。

【００１１】更に、本発明のスライド搬送装置は、前記
下テーブルには、連結されたモータの回転出力を受けて
回転する駆動用雄磁気ネジが軸支され、前記下スライダ
には、駆動用雄磁気ネジに対応する駆動用雌磁気ネジが
設けられたものであって、前記下スライダが、その駆動
用雄磁気ネジが回転することにより駆動用雌磁気ネジに
発生する推進力によって、前記下テーブル上を往復直線
運動させるものであることが望ましい。

【００１２】そこで、本発明のスライド搬送装置によれ
ば、下スライダの往復直線運動によって移動する上テー
ブル上では、例えば回転発生用雌磁気ネジによって移動
する搬送用雄磁気ネジに回転が発生し、その回転によっ
て搬送用雌磁気ネジを介して上スライダに推進力が発生
して往復直線運動する。また、例えば移動する駆動用雄
磁気ネジが駆動用雌磁気ネジによって回転が発生し、そ
の回転を受けた搬送用磁気ネジによって推進力が発生し
て上スライダが往復直線運動する。そして、こうした下
スライダの往復直線運動にも磁気ネジを使用し、一つの
モータからの出力によって推進力を発生させる。従っ
て、本発明によれば、こうした上下スライダによる直線
運動を磁気ネジによって実現したので、従来のような機
械的な当たりや擦れによる微細な埃や塵などの発生をな
くし、装置全体でパーティクルの発生を抑えることがで
きた。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係るスライド搬送
装置の一実施形態について図面を参照して説明する。先
ず、本発明に係るスライド搬送装置の第１実施形態につ
いて説明する。これは、図１及び図２は、第１実施形態
のスライド搬送装置を角度を変えて示した外観斜視図で
ある。スライド搬送装置１は、磁気ネジを利用して２段
階スライド機構を実現したものであるが、先ず簡単にそ
の全体的な構成について説明する。スライド搬送装置１
には２本の雄磁気ネジが使用され、モータに連結された
駆動用雄磁気ネジ２が下テーブル３に対して回転自在に
軸支され、この駆動用雄磁気ネジ２に対応する駆動用雌
磁気ネジ４を備えた下スライダ５が、その駆動用雄磁気
ネジ２に沿って設けられたレール６を移動するよう構成
されている。

【００１４】下スライダ５の上には上テーブル７が固定
され、下スライダ５と一体になって移動する上テーブル
７に、搬送用雄磁気ネジ８がその移動方向に沿って回転
自在に軸支されている。搬送用雄磁気ネジ８には動力源
が直接連結されていないので、これを回転させるために
下テーブル３に立設されたブロック４４に回転発生用雌
磁気ネジ９が形成されている。また、上テーブル７上に
は、搬送用雄磁気ネジ８を挟んで回転発生用雌磁気ネジ
９の反対側に搬送用雌磁気ネジ１０が設けられている。
上テーブル７には、搬送用雄磁気ネジ８に沿ってレール
１１が設けられており、搬送用雌磁気ネジ１０は、それ
に従って移動する上スライダ１２に形成されている。な
お、搬送ロボットを構成する場合には、この上スライダ
１２にチャックが取り付けられる。

【００１５】こうしてスライド搬送装置１は、下スライ
ダ５が駆動用雄磁気ネジ２に沿って移動する下部の動力
側と、上スライダ１２が搬送用雄磁気ネジ８に沿って移
動する上部の搬送側とから構成されている。続いて、ス
ライド搬送装置１の構成について更に図面を追加して詳
細に説明する。ここで、図３は、図１のＡ−Ａ矢視にお
けるスライド搬送装置１の断面図であり、図４は、図３
のＢ−Ｂ矢視におけるスライド搬送装置１の断面図であ
る。また、図５は、スライド搬送装置１下部の下テーブ
ル３上の構成を示した平面図である。

【００１６】先ず、下テーブル３は、箱体をなす基台１
５（図１参照）の天井面であり、その両端に駆動用雄磁
気ネジ２を回転支持するための支持ブロック２１，２２
が立設されている。一方、駆動用雄磁気ネジ２は、２本
の雄磁気ネジが同軸に連結されたものであり、その両端
が支持ブロック２１，２２内に挿入され、軸受を介して
回転自在に支持されている。また、下テーブル３の底面
には、図３に示すようにこのスライド搬送装置１の動力
源となるモータ１３がブラケット２３を介して固定さ
れ、基台１５内に格納されている。そして、駆動用雄磁
気ネジ２は、中央の連結部分が撓み防止の支持ブラケッ
ト２４によって回転支持され、その連結部分とモータ１
３のモータ軸とのプーリ間に破線で示すようにベルト２
５が掛け渡たされている。

【００１７】駆動用雄磁気ネジ２は、図４に示すように
芯材のロッド３１に強磁性材からなる円筒体３２がはめ
合わされ、その表面に、図５に示すような帯状のＮ極着
磁帯２ＮとＳ極着磁帯２Ｓとが交互に位置するようにし
て螺旋状に着磁されている。一方、下スライダ５に設け
られた雌磁気ネジ４は、図４に示すように下スライダ５
に形成された溝に合うように強磁性体からなる半円筒体
３３がはめ込まれ、その内周側表面に、図３に示すよう
に駆動用雄磁気ネジ２と同ピッチでＮ極着磁帯４ＮとＳ
極着磁帯４Ｓとが交互に着磁されている。また、下テー
ブル３には、駆動用雄磁気ネジ２と平行にレール６が設
けられている。下スライダ５は、このレール６に摺動可
能に嵌合した摺動プレート２６が底面に固着されて一体
になったものであり、その上面には上テーブル７が固定
されている。

【００１８】続いて図６は、スライド搬送装置１下部の
上テーブル７上の構成を示した平面図である。下スライ
ダ５に固定された上テーブル７には、両端に搬送用雄磁
気ネジ８を支持するための支持ブロック４１，４２が立
設されている。搬送用雄磁気ネジ８は、両端部がその支
持ブロック４１，４２内に挿入され、軸受をを介して回
転自在に支持されており、駆動用雄磁気ネジ２と同様に
２本の雄磁気ネジが同軸に連結され、その中央の連結部
分で撓み防止の支持ブラケット４３，４３によって回転
支持されている。

【００１９】そして、搬送用雄磁気ネジ８には、駆動用
雄磁気ネジ２に対するモータ１３のように直接回転を与
えるための動力源が設けられていないため、このスライ
ド搬送装置１に、搬送用雄磁気ネジ８が軸方向への移動
する際に回転が生じるようにするための回転発生用雌磁
気ネジ９が設けられている。回転発生用雌磁気ネジ９
は、下テーブル３に立設されたブロック４４に設けら
れ、移動する搬送用雄磁気ネジ８に対して不動であり、
相対的に後退するようにしたものである。

【００２０】この回転発生用雌磁気ネジ９を備えたブロ
ック４４は、逆Ｌ字形をした段付きのブロック体であっ
て、図４に示すように搬送用雄磁気ネジ８側に突き出し
た側面に、その搬送用雄磁気ネジ８に沿うように溝が形
成され、そこに強磁性体からなる半円筒体３５がはめ込
まれている。そして、半円筒体３５の内周側表面には、
図６に示すようにＮ極着磁帯９ＮとＳ極着磁帯９Ｓとが
交互に着磁された回転発生用雌磁気ネジ９が形成されて
いる。

【００２１】一方、上テーブル７には、搬送用雄磁気ネ
ジ８と平行にレール１１が固定され、そこを上スライダ
１２が摺動するように設けられている。上スライダ１２
は、図４に示すようにこのレール１１に摺動可能に嵌合
した摺動プレート４５が底面に固着されて一体になった
ものであり、その上面に把持手段であるチャックが取り
付けられるようになっている。そして、この上スライダ
１２に搬送用雄磁気ネジ８に対応した搬送用雌磁気ネジ
１０が設けられている。

【００２２】上スライダ１２は、図４に示すように搬送
用雄磁気ネジ８側に突き出した側面に、その搬送用雄磁
気ネジ８に沿うように溝が形成され、そこに強磁性体か
らなる半円筒体３６がはめ込まれている。そして、その
半円筒体３６の内周側表面に、図６に示すようなＮ極着
磁帯１０ＮとＳ極着磁帯１０Ｓとが交互に着磁された搬
送用雌磁気ネジ１０が形成されている。

【００２３】こうして、スライド搬送装置１には、１本
の搬送用雄磁気ネジ８と、それを挟んで向かい合うよう
にした２つの雌磁気ネジ９，１０が設けられている。こ
れらは、下スライダ５に伴って搬送用雄磁気ネジ８が一
方へ移動する場合、例えば図６に示すＲ方向へ移動する
場合、搬送用雄磁気ネジ８に対し不動の回転発生用雌磁
気ネジ９は相対的に後退（Ｌ方向へ移動）し、搬送用雌
磁気ネジ１０が上テーブル７上を同方向に前進（Ｒ方向
へ移動）するように構成されている。こうした関係によ
る搬送用雄磁気ネジ８の回転によって、搬送用雌磁気ネ
ジ１０に推進力を発生させるようしている。

【００２４】そのため、搬送用雄磁気ネジ８と回転発生
用雌磁気ネジ９との間では推進力を回転力に、そして搬
送用雄磁気ネジ８と搬送用雌磁気ネジ１０との間では回
転力を推進力に、それぞれ力の変換が行われる。また、
このとき推進力の方向と回転力の方向とは共に逆向きに
なる必要があるため、回転発生用雌磁気ネジ９と搬送用
雌磁気ネジ１０とは、互いに逆向きのネジによって形成
され、両方に関係する搬送用雄磁気ネジ８は、右ネジ及
び左ネジ用の着磁帯が重ねて着磁されている。具体的に
は、図４に示すように芯材のロッド３７に強磁性材から
なる円筒体３８がはめ合わされ、その円筒体３８の表面
に、図６に示すような回転発生用雌磁気ネジ９に対応し
たＮ極着磁帯８ＮａとＳ極着磁帯８Ｓａとからなる一の
雄磁気ネジ８Ａと、搬送用雌磁気ネジ１０に対応したＮ
極着磁帯８ＮｂとＳ極着磁帯８Ｓｂとからなる他の雄磁
気ネジ８Ｂとが重ねて着磁されている。

【００２５】次に、こうした構成の本実施形態のスライ
ド搬送装置１は、モータ１３の起動によって以下のよう
な搬送動作が行われる。モータ１３の起動により回転運
動が出力されると、そのモータ軸の回転はベルト２５を
介して駆動用雄磁気ネジ２へと伝達され、回転支持され
たその駆動用雄磁気ネジ２に回転が生じる。そして、駆
動用雄磁気ネジ２と駆動用雌磁気ネジ４とは、互いに異
なる極性の着磁帯（２Ｎ／４Ｓ，２Ｓ／４Ｎ）同士で吸
引し合っているため、駆動用雄磁気ネジ２の回転が生じ
ると、吸引力によって駆動用雌磁気ネジ４に回転に追随
しようとする力が作用するが、回転が制限されているた
め、駆動用雌磁気ネジ４が設けられた下スライダ５に推
進力が作用することになる。

【００２６】従って、モータ１３が駆動用雄磁気ネジ２
を回転させることによって下スライダ５に推進力が働
き、その下スライダ５がレール６に沿って移動すること
となる。また、このとき下スライダ５上には上テーブル
７が固定されているため、下スライダ５の移動によっ
て、上テーブル７上に設けられた搬送用雄磁気ネジ８や
上スライダ１２が同方向に同時に移動することとなる。

【００２７】そこで、搬送用雄磁気ネジ８が下テーブル
３側に固定して設けられた回転発生用雌磁気ネジ９の横
を通って移動すると、互いに異なる極性の着磁帯（８Ｎ
ａ／９Ｓ，８Ｓａ／９Ｎ）同士で吸引し合っている両磁
気ネジ８Ａ／９によって、搬送用雄磁気ネジ８に回転が
発生する。即ち、固定された回転発生用雌磁気ネジ９に
対して搬送用雄磁気ネジ８がＲ方向（図６参照）に移動
すると、先の駆動用雄磁気ネジ２と駆動用雌磁気ネジ４
とは逆の関係になり、自らの直線運動によって搬送用雄
磁気ネジ８が回転することとなる。従って、搬送用雄磁
気ネジ８は、回転しながら軸方向に直進することにな
る。

【００２８】そして、搬送用雄磁気ネジ８に回転が発生
すれば、その搬送用雄磁気ネジ８には搬送用雌磁気ネジ
１０が互いに異なる極性の着磁帯（８Ｎｂ／１０Ｓ，８
Ｓｂ／１０Ｎ）同士で吸引し合っているため、先に説明
した駆動用雄磁気ネジ２と駆動用雌磁気ネジ４との関係
と同様、上スライダ１２にも推進力が働き、レール１１
に沿って移動することとなる。

【００２９】また、モータ１３に逆回転が与えられれば
駆動用雄磁気ネジ２が逆方向に回転し、下スライダ５に
は駆動用雌磁気ネジ４を介して逆向きの推進力が働く。
そのため、下スライダ５は後退し、それに伴って上テー
ブル７上に設けられた搬送用雄磁気ネジ８や上スライダ
１２も同方向に移動（後退）する。そして、搬送用雄磁
気ネジ８は、回転発生用雌磁気ネジ９によって逆方向に
回転し、それによって上スライダ１２が、搬送用雌磁気
ネジ１０を介して働く推進力によって後退することとな
る。

【００３０】従って、このスライド搬送装置１では、例
えば図６に示すＲ方向に上テーブル７が移動すれば、上
スライダ１２がその上を更に同方向に移動する。そのた
め、上スライダ１２のストロークは、駆動用雄磁気ネジ
２に対して下スライダ５が移動する距離に加え、搬送用
雄磁気ネジ８に対して上スライダ１２自身が移動する距
離となり、また上スライダ１２の速度についても、下ス
ライダ５の移動速度に上スライダ１２自身の移動速度が
上乗せされたものとなる。よって、スライド搬送装置１
によれば、上スライダ１２に載せた被搬送物を、こうし
た２段階スライドによって水平方向に長いストロークを
高速搬送させることができる。

【００３１】また、スライド搬送装置１では、モータ１
３からの回転を下スライダ５及び上スライダ１２を直線
運動させるための推進力に変換して伝達するが、そのた
めの手段として磁気ネジを使用しているので、動力伝達
部分が非接触構造となっている。そのため、ギヤなど従
来の機械的な動力伝達のように当たりや擦れによる微細
な埃や塵などが出ないため、パーティクルの発生を大幅
に抑えることができた。また、スライド搬送装置１で
は、駆動用雄磁気ネジ２及び搬送用雄磁気ネジ８は、軸
方向に２分割し、連結した中央部分で回転支持するよう
にしたので、雌磁気ネジとの引きつけ合いによって生じ
得る撓みを防止し、非接触による動力伝達を確実なもの
としている。

【００３２】次に、本発明に係るスライド搬送装置の第
２実施形態について説明する。図７及び図８は、第２実
施形態のスライド搬送装置を示した外観斜視図であり、
図９は、そのスライド搬送装置の駆動伝達部分を示した
外観斜視図である。スライド搬送装置５１は、前記第１
実施形態と同様磁気ネジを利用して２段階スライド機構
を実現したものであり、先ずその全体的な構成について
簡単に説明する。スライド搬送装置５１は、下テーブル
５２に駆動用雄磁気ネジ５３が回転自在に支持され、駆
動伝達用雄磁気ネジ５４が非回転となるよう両端固定さ
れ、更にレール（不図示）が取り付けられている。そし
て、このレールに沿って移動する下スライダが設けら
れ、その上に上テーブル６０が固定されている。

【００３３】上テーブル６０の下側には、駆動用雄磁気
ネジ５３に対する固定された駆動用雌磁気ネジと、駆動
伝達用雄磁気ネジ５４に対する回転自在な駆動伝達用雌
磁気ネジとが設けられている。一方、上テーブル６０上
には、搬送用雄磁気ネジ６１が回転自在に支持され、レ
ール６２に沿って移動する上スライダ６３には、搬送用
雄磁気ネジ６１に対する搬送用雌磁気ネジが固定されて
いる。そして、上スライダ６３にはチャックを取り付け
るための取付けアーム６５が固定され、これにチャック
を取り付けることにより、スライド搬送装置５１を利用
した搬送ロボットを構成することができる。

【００３４】こうして本実施形態のスライド搬送装置５
１は、上テーブル６０を移動させる下部の動力側と、そ
の搬送テーブル６０上で上スライダ６３が移動する上部
の搬送側とが構成されている。続いて、スライド搬送装
置５１の構成を更に図面を追加して詳細に説明する。こ
こで、図１０は、図７のＣ−Ｃ矢視部におけるスライド
搬送装置５１の断面図であり、図１１は、図１０のＤ−
Ｄ矢視における下テーブル５２上の構成を示した平面
図、更に図１２は、図１０のＤ−Ｄ矢視における上テー
ブル６０上の構成を示した平面図である。

【００３５】下テーブル５２には、図１１に示すように
駆動用雄磁気ネジ５３、駆動伝達用雄磁気ネジ５４、そ
してレール５５が平行に設けられ、両端に立設された支
持ブロック７１，７２に、駆動用雄磁気ネジ５３がベア
リングを介して回転自在に軸支され、駆動伝達用雄磁気
ネジ５４は回転しないように両端がネジ止めされてい
る。こうした雄磁気ネジ５３，５４は、第１実施形態の
ものと同様、回転軸となるロッドに強磁性材からなる円
筒体がはめ合わされ、その表面に帯状のＮ極着磁帯とＳ
極着磁帯とが交互に位置するようにして螺旋状に着磁さ
れて構成されたものである。

【００３６】一方、下テーブル５２の底面には、図１０
に示すようにこのスライド搬送装置５１の動力源となる
モータ７３がブラケット７４を介して固定され、そのモ
ータ７３の回転軸と駆動用雄磁気ネジ５３の端部に設け
られた各プーリ５３ａ，７３ａにベルト７５が掛け渡た
されている（図９参照）。そして、下テーブル５２上に
は、下スライダ５６がレール５５に沿って摺動可能に取
り付けられている。ここで、図１３は、図１０のＦ−Ｆ
矢視におけるスライド搬送装置５１の断面図である。下
スライダ５６は、このレール５５に摺動可能に嵌合した
摺動プレート７６が底面に固着されて一体になったもの
であり、その上面には上テーブル６０が固定されてい
る。

【００３７】そうした下スライダ５６には、図１３に示
すよう穿設された貫通孔に強磁性体からなる円筒体がは
め込まれ、その内周側表面にＮ極着磁帯とＳ極着磁帯と
が交互に着磁された駆動用雌磁気ネジ５７が形成されて
いる。上テーブル６０の底面には、下スライダ５６と並
んで雌ネジブロック７８が固定され、回転自在な駆動伝
達用雌磁気ネジ５８が設けられている。図１２には、上
テーブル６０に取り付けた雌ネジブロック７８内の構造
を透視断面で示している。雌ネジブロック７８内には、
ベアリング８１を介して回転円筒体８２がはめ込まれ、
その回転円筒体８２に、強磁性円筒体の内周側表面に駆
動伝達用雌磁気ネジ５８と、突出した円筒状のプーリ８
３がはめ込まれている。

【００３８】次に、上テーブル６０には、図１２に示す
ように支持ブロック８５，８６が立設され、それに搬送
用雄磁気ネジ６１がベアリングを介して回転自在に支持
されている。搬送用雄磁気ネジ６１は、その端部にプー
リ６１ａが設けられ、図１３に示すように駆動伝達用雌
磁気ネジ５８のプーリ８３との間に掛け渡されたベルト
８８によって回転が伝達されるように構成されている
（図９参照）。上テーブル６０には、搬送用雄磁気ネジ
６１と平行にレール６２が固定され、図１３に示すよう
に、摺動プレート８７に一体に固着された上スライダ１
２がレール６２上を摺動可能に取り付けられている。そ
して、この上スライダ１２に搬送用雄磁気ネジ６１に対
応した搬送用雌磁気ネジ５９が設けられている。

【００３９】ところで、ベルト８８で連結された駆動側
の駆動伝達用雄磁気ネジ５４と被動側の搬送用雄磁気ネ
ジ６１とは、互いが逆向きのネジとなる関係にある。こ
れは、同じ向きのネジ（例えば、共に右ネジの場合）だ
と、駆動伝達用雌磁気ネジ５８と搬送用雄磁気ネジ６１
とが同方向に回転した場合、搬送用雌磁気ネジ５９に搬
送方向とは逆向きの推進力が作用してしまうからであ
る。

【００４０】次に、こうした構成の本実施形態のスライ
ド搬送装置１は、モータ１３の起動によって、図１０に
示す状態から下スライダ５６と上スライダ６３とが同時
に移動し、図７の状態から更にストロークエンドに至る
図８の状態へと変化し、モータ７３の逆回転によって図
１０に示すもとの状態に戻る。それには先ず、出力され
た所定方向の回転がベルト７５を介して伝達され、駆動
用雄磁気ネジ５３を回転させる。そして、この駆動用雄
磁気ネジ５３が回転すると、回転の制限された駆動用雌
磁気ネジ５７に推進力が発生し、レール５５を摺動する
下スライダ５６によって上テーブル６０が所定方向に移
動することとなる。上テーブル６０の移動は雌ネジブロ
ック７８を同時に移動させ、これによって上テーブル６
０上の上スライダ６３を移動させるための駆動力を発生
させる。

【００４１】即ち、雌ネジブロック７８に移動が生じる
と、そこに設けられた駆動伝達用雌磁気ネジ５８には、
固定された駆動伝達用雄磁気ネジ５４によって回転が発
生し、その回転がベルト８８を介して搬送用雄磁気ネジ
６１へ伝達される。そして、モータ７３の回転が搬送用
雄磁気ネジ６１を回転させると、回転の制限された搬送
用雌磁気ネジ５９に推進力が発生し、レール６２を摺動
して上スライダ６３が上テーブル６０と同方向に移動す
ることとなる。一方、モータ７３に逆回転を発生させる
と、各部材に生じる回転や移動の方向が逆転し、下スラ
イダ５６及び上スライダ６３が図１０に示す状態に戻
る。

【００４２】従って、このスライド搬送装置５１もま
た、上スライダ６３自身のストロークに下スライダ５６
のストロークが加算され、搬送速度も、下スライダ５６
の移動速度に上スライダ６３自身の移動速度が上乗せさ
れたものとなる。そのため、上スライダ６３に載せた被
搬送物を、水平方向に長いストロークを高速搬送させる
ことができる。そして、一つの動力源から磁気ネジによ
って上下２段の位置で搬送のための推進力を別々に発生
させるようにしたので、非接触構造よって機械的な当た
りや擦れによる微細な埃や塵など、パーティクルの発生
を大幅に抑えることができた。

【００４３】次に、本発明に係るスライド搬送装置の第
３実施形態について説明する。本実施形態のスライド搬
送装置は、前記第２実施形態のものと同様３つの磁気ネ
ジを使用したものであり、上下２段に設けたテーブル上
を各スライダが直線移動するようにしたものである。こ
こで、図１４は、下段の下テーブル上の構成を示した平
面図であり、図１５は、上段の上テーブル上の構成を示
した平面図である。また、図１６は、図１４のＧ−Ｇ矢
視部分でスライド搬送装置を示した断面図である。

【００４４】先ず、スライド搬送装置１０１を構成する
下テーブル１０２には、図１４に示すように（適宜図１
６も参照）支持ブロック１０３，１０４に駆動用雄磁気
ネジ１０５が回転自在に軸支され、レール１０６が平行
に固着されている。駆動用雄磁気ネジ１０５の端部には
プーリ１０７が固定され、前記第２実施形態と同様、下
テーブル１０２の底面側に取り付けられたモータ（不図
示）の回転軸にベルトが掛け渡されている。レール１０
６には摺動可能に下スライダ１０８が取り付けられ、そ
の下スライダ１０８に駆動用雌磁気ネジ１０９が設けら
れている。

【００４５】次に、上段の上テーブル１１１には、図１
５に示すように（適宜図１６も参照）支持ブロック１１
２，１１３に駆動伝達用雄磁気ネジ１１４と搬送用雄磁
気ネジ１１５とが回転自在に支持され、レール１１６が
平行に固着されている。両方の雄磁気ネジ１１４，１１
５の端部にはプーリ１１７，１１８が固定され、ベルト
１１９が掛け渡されている。そして、下テーブル１０２
には、ストロークエンド側に雌ネジブロック１２０が立
設され、そこに駆動伝達用雄磁気ネジ１１４に貫かれた
駆動伝達用雌磁気ネジ１２１が設けられている。また、
レール１１６には摺動可能に上スライダ１２２が取り付
けられ、その下スライダ１２２には、搬送用雄磁気ネジ
１１５に貫かれた搬送用雌磁気ネジ１２３が設けられて
いる。

【００４６】次に、こうした構成の本実施形態のスライ
ド搬送装置１は、モータ１３の起動によって以下のよう
な搬送動作が行われる。不図示のモータから出力された
所定方向の回転は、ベルトを介して駆動用雄磁気ネジ１
０５を回転させ、回転の制限された駆動用雌磁気ネジ１
０９に推進力を発生させ、レール１０６を摺動する下ス
ライダ１０８によって上テーブル１１１が所定方向に移
動することとなる。そして、上テーブル１１１の移動は
雌ネジブロック１２０に対して駆動伝達用雄磁気ネジ１
１４を同時に移動させ、これによって上テーブル１１１
上の上スライダ１２２を移動させるための駆動力を発生
させる。

【００４７】即ち、駆動伝達用雌磁気ネジ１２１を貫い
て駆動伝達用雄磁気ネジ１１４が移動すると、その駆動
駆動伝達用雄磁気ネジ１１４には回転が発生し、その回
転がベルト１１８を介して搬送用雄磁気ネジ１１５を回
転させることになる。そして、この搬送用雄磁気ネジ１
１５が回転すれば、回転の制限された搬送用雌磁気ネジ
１２３に推進力が発生し、レール１１６を摺動して上ス
ライダ１２２が上テーブル１１１と同方向に移動するこ
ととなる。一方、モータに逆回転を発生させると、各部
材に生じる回転や移動が逆転し、下スライダ１０８及び
上スライダ１１１が逆方向に移動しもとの状態へと戻
る。

【００４８】従って、このスライド搬送装置１０１もま
た、上スライダ１１１自身のストロークに下スライダ１
０８のストロークが加算され、搬送速度も、下スライダ
１０８の移動速度に上スライダ１１１自身の移動速度が
上乗せされたものとなる。そのため、上スライダ１１１
に載せた被搬送物を、水平方向に長いストロークを高速
搬送させることができる。そして、一つの動力源から磁
気ネジによって上下２段の位置で搬送のための推進力を
別々に発生させるようにしたので、非接触構造よって機
械的な当たりや擦れによる微細な埃や塵など、パーティ
クルの発生を大幅に抑えることができた。

【００４９】なお、本発明のスライド搬送装置は、こう
した実施形態のものに限定されることはなく、その趣旨
を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、
前記実施形態では２段階スライド機構として構成した
が、更に３段階、或いはそれ以上にすることも可能であ
る。また、前記実施形態では、モータの回転出力によっ
て下スライダを移動させるようにしたが、例えば動力源
にシリンダを使用し、ロッドレスシリンダなどによって
下スライダを直接移動させるようにしてもよい。また、
例えば第２実施形態では、駆動伝達用雄磁気ネジ５４に
対して搬送用雄磁気ネジ６１を構成する着磁帯のピッチ
を１／２にすれば、上スライダ６３の送りを１／２にす
ることができる。また、このスライド搬送装置は、半導
体製造設備での搬送ロボットに限らず、各種産業分野で
の使用が期待できる。

【００５０】

【発明の効果】本発明は、テーブル上を往復直線運動す
るスライダ上に更に別のテーブルを固定し、その上テー
ブル上にも更に別のスライダが往復直線運動するように
設けられたものであって、各テーブル上のスライダが往
復直線運動するための推進力を、一つのモータからの出
力を各テーブル上に設けられた磁気ネジによって伝達
し、発生させるようにしたので、パーティクルの発生を
抑えたスライド搬送装置を提供することが可能となっ
た。また、本発明は、テーブル上を往復直線運動するス
ライダ上に更に別のテーブルを固定し、その上テーブル
上にも更に別のスライダが往復直線運動するように設け
られたものであって、前記上テーブル上のスライダが移
動するための推進力を、前記下スライダの往復直線運動
から当該上テーブル上に設けられた磁気ネジによって発
生させるようにしたので、パーティクルの発生を抑えた
スライド搬送装置を提供することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスライド搬送装置の第１実施形態
を示した外観斜視図である。

【図２】本発明に係るスライド搬送装置の一実施形態を
示した外観斜視図である。

【図３】図１のＡ−Ａ矢視におけるスライド搬送装置１
の断面図である。

【図４】図３のＢ−Ｂ矢視におけるスライド搬送装置１
の断面図である。

【図５】スライド搬送装置１下部の動力側を示した平面
図である。

【図６】スライド搬送装置１上部の搬送側を示した平面
図である。

【図７】本発明に係るスライド搬送装置の第２実施形態
を示した外観斜視図である。

【図８】本発明に係るスライド搬送装置の第２実施形態
を示した外観斜視図である。

【図９】第２実施形態のスライド搬送装置における駆動
伝達部分を示した外観斜視図である。

【図１０】図７のＣ−Ｃ矢視部におけるスライド搬送装
置５１の断面図である。

【図１１】図１０のＤ−Ｄ矢視における下テーブル５２
上の構成を示した平面図である。

【図１２】図１０のＤ−Ｄ矢視における上テーブル６０
上の構成を示した平面図である。

【図１３】図１０のＦ−Ｆ矢視におけるスライド搬送装
置５１の断面図である。

【図１４】第３実施形態のスライド搬送装置における下
テーブル１０２上の構成を示した平面図である。

【図１５】第３実施形態のスライド搬送装置における上
テーブル１１１上の構成を示した平面図である。

【図１６】図１４のＧ−Ｇ矢視におけるスライド搬送装
置１０１１の断面図である。

【図１７】搬送ロボットを備えたマルチチャンバ装置を
示した図である。

【符号の説明】

５１ スライド搬送装置 ５２ 下テーブル ５３ 駆動用雄磁気ネジ ５４ 駆動伝達用雄磁気ネジ ５６ 下スライダ ５７ 駆動用雌磁気ネジ ５８ 駆動伝達用雌磁気ネジ ５９ 搬送用雌磁気ネジ ６０ 上テーブル ６１ 搬送用雄磁気ネジ ６３ 上スライダ ７３ モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 修道 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 5H607 AA06 BB01 CC03 EE26 EE28

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テーブル上を往復直線運動するスライダ
   上に更に別のテーブルを固定し、その上テーブル上にも
   更に別のスライダが往復直線運動するように設けられた
   ものであって、各テーブル上のスライダが往復直線運動
   するための推進力を、一つのモータからの出力を各テー
   ブル上に設けられた磁気ネジによって伝達し、発生させ
   るようにしたものであることを特徴とするスライド搬送
   装置。
2. 【請求項２】 請求１に記載するスライド搬送装置にお
   いて、 前記下テーブル上には、雄磁気ネジが回転自在に支持さ
   れて雌磁気ネジが下スライダに固定された駆動用磁気ネ
   ジと、雄磁気ネジが両端固定されて雌磁気ネジが下スラ
   イダに従って移動する回転自在な駆動伝達用磁気ネジと
   が設けられ、 前記上テーブル上には、雄磁気ネジが回転自在に支持さ
   れて雌磁気ネジが上スライダに固定された搬送用磁気ネ
   ジが設けられ、 前記モータの回転軸と前記駆動用磁気ネジの雄磁気ネ
   ジ、前記駆動伝達用磁気ネジの雌磁気ネジと前記搬送用
   磁気ネジの雄磁気ネジとがベルトによって回転伝達可能
   に連結されたものあることを特徴とするスライド搬送装
   置。
3. 【請求項３】 テーブル上を往復直線運動するスライダ
   上に更に別のテーブルを固定し、その上テーブル上にも
   更に別のスライダが往復直線運動するように設けられた
   ものであって、前記上テーブル上のスライダが移動する
   ための推進力を、前記下スライダの往復直線運動から当
   該上テーブル上に設けられた磁気ネジによって発生させ
   るようにしたものであることを特徴とするスライド搬送
   装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載するスライド搬送装置に
   おいて、 前記上テーブルには、 右ネジ用及び左ネジ用の着磁帯
   が重ねて着磁された搬送用雄磁気ネジが回転自在に支持
   され、上スライダに固定された搬送用雌磁気ネジと、前
   記下テーブル側に固定された不動状態の回転発生用雌磁
   気ネジとが、搬送用雌磁気ネジを挟んで両側に配置さ
   れ、それぞれ逆向きのネジであることを特徴とするスラ
   イド搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項３に記載するスライド搬送装置に
   おいて、 前記上テーブルには、雄磁気ネジが回転自在に支持され
   て雌磁気ネジは前記下テーブル側に固定された不動状態
   の駆動伝達用磁気ネジと、雄磁気ネジが回転自在に支持
   されて雌磁気ネジが上スライダに固定された搬送用磁気
   ネジとが設けられ、 前記駆動伝達用磁気ネジの雄磁気ネジと前記搬送用磁気
   ネジの雄磁気ネジとが回転伝達可能に連結されたものあ
   ることを特徴とするスライド搬送装置。
6. 【請求項６】 請求項３乃至請求項５のいずれかに記載
   するスライド搬送装置において、 前記下テーブルには、連結されたモータの回転出力を受
   けて回転する駆動用雄磁気ネジが軸支され、前記下スラ
   イダには、駆動用雄磁気ネジに対応する駆動用雌磁気ネ
   ジが設けられたものであって、 前記下スライダが、その駆動用雄磁気ネジが回転するこ
   とにより駆動用雌磁気ネジに発生する推進力によって、
   前記下テーブル上を往復直線運動させるものであること
   を特徴とするスライド搬送装置。