JP2002083773A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002083773A5 JP2002083773A5 JP2000270849A JP2000270849A JP2002083773A5 JP 2002083773 A5 JP2002083773 A5 JP 2002083773A5 JP 2000270849 A JP2000270849 A JP 2000270849A JP 2000270849 A JP2000270849 A JP 2000270849A JP 2002083773 A5 JP2002083773 A5 JP 2002083773A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270849A JP2002083773A (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000270849A JP2002083773A (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002083773A JP2002083773A (ja) | 2002-03-22 |
| JP2002083773A5 true JP2002083773A5 (ja) | 2007-11-01 |
Family
ID=18757219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000270849A Withdrawn JP2002083773A (ja) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002083773A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4887646B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2012-02-29 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタ装置及びその製造方法並びに薄膜トランジスタアレイ及び薄膜トランジスタディスプレイ |
| US7611930B2 (en) * | 2007-08-17 | 2009-11-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing display device |
| TWI476921B (zh) | 2008-07-31 | 2015-03-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置及其製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04343414A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | Canon Inc | 非単結晶半導体装置の製造法 |
| JP3452679B2 (ja) * | 1994-04-26 | 2003-09-29 | 株式会社東芝 | 薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタおよび液晶表示装置 |
| JP3966923B2 (ja) * | 1995-07-31 | 2007-08-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体作製方法および半導体装置の作製方法 |
| JP3977455B2 (ja) * | 1995-11-29 | 2007-09-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
| JP4450900B2 (ja) * | 1998-10-06 | 2010-04-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
-
2000
- 2000-09-06 JP JP2000270849A patent/JP2002083773A/ja not_active Withdrawn