JP2002057196A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002057196A5 JP2002057196A5 JP2000238654A JP2000238654A JP2002057196A5 JP 2002057196 A5 JP2002057196 A5 JP 2002057196A5 JP 2000238654 A JP2000238654 A JP 2000238654A JP 2000238654 A JP2000238654 A JP 2000238654A JP 2002057196 A5 JP2002057196 A5 JP 2002057196A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000238654A JP2002057196A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | プローブ方法及びプローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000238654A JP2002057196A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | プローブ方法及びプローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002057196A JP2002057196A (ja) | 2002-02-22 |
JP2002057196A5 true JP2002057196A5 (de) | 2007-09-20 |
Family
ID=18730324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000238654A Pending JP2002057196A (ja) | 2000-08-07 | 2000-08-07 | プローブ方法及びプローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002057196A (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7262575B2 (en) * | 2004-12-01 | 2007-08-28 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Method and apparatus for precise positioning of an object with linear stepper motors |
JP5120017B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2013-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP2009147320A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-07-02 | Horiba Ltd | 検査装置 |
JP5317330B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2013-10-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP5384170B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-01-08 | 東京エレクトロン株式会社 | コンタクトパラメータの設定方法、コンタクトパラメータの設定用プログラム及びコンタクトパラメータの設定用プログラムが記録された記録媒体 |
CN113030691B (zh) * | 2019-12-24 | 2022-07-19 | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 | 芯片电性测试探针头对位方法、系统、存储介质及终端 |
CN113086238A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-09 | 中国航空制造技术研究院 | 一种基于基准孔孔位测量的自动制孔孔位在线修正方法 |
CN114441555A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-05-06 | 上海世禹精密机械有限公司 | 自动化焊球阵列封装植球检测系统 |
CN115090917B (zh) * | 2022-08-25 | 2023-01-10 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种制孔方法、装置、存储介质及设备 |
CN115902327B (zh) * | 2023-02-23 | 2023-05-26 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种探针台定位补偿的标定方法和探针台 |
-
2000
- 2000-08-07 JP JP2000238654A patent/JP2002057196A/ja active Pending