JP2002056643A - Magnetic disk device and method for manufacturing the same - Google Patents

Magnetic disk device and method for manufacturing the same

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JP2002056643A
JP2002056643A JP2000236299A JP2000236299A JP2002056643A JP 2002056643 A JP2002056643 A JP 2002056643A JP 2000236299 A JP2000236299 A JP 2000236299A JP 2000236299 A JP2000236299 A JP 2000236299A JP 2002056643 A JP2002056643 A JP 2002056643A
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JP
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magnetic disk
film
outer case
nitrogen
filter
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Application number
JP2000236299A
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Japanese (ja)
Inventor
Michie Sakai
理江 酒井
Takumi Kono
巧 河野
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable magnetic disk device which is capable of suppressing the occurrence of the chemical reaction of constituting members, the rotation failure of a magnetic disk, head crash, etc., by lessening the infiltration of harmful gases, dust etc., into an exterior case. SOLUTION: A filter 7a built into the exterior case 4 is a gas selective filter which allows the selective permeation of the specific gas and is more particularly a membrane to allow the selective permeation of nitrogen.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、外装ケースの内部
の圧力と大気圧とを等しくするフィルタが組み込まれた
磁気ディスク装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the pressure inside an outer case and the atmospheric pressure is incorporated.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置の外装ケー
スには、外装ケースの内部と外気との温度差等によって
生じる圧力差によって外装ケースが変形するのを避ける
ため、外装ケースの上面部に呼吸フィルタが取り付けら
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an outer case of a magnetic disk drive has a breathable upper surface of the outer case to prevent the outer case from being deformed by a pressure difference caused by a temperature difference between the inside of the outer case and the outside air. Filter is installed.

【0003】この呼吸フィルタには、通常、不織布から
なるフィルタなどが組み込まれており、外装ケースの空
気と外気との流通をはかって圧力差を解消するよう構成
されている。また、このような呼吸フィルタとしての役
割だけでなく、外部からの塵埃の侵入を防止して内部の
無塵化を図る目的もあり、更にフィルタに活性炭などを
組み合わせて有害なガス分子を吸着させて外装ケース内
の清浄化をはかっているものもある。
[0003] This breathing filter usually incorporates a filter made of non-woven fabric or the like, and is configured to eliminate the pressure difference by circulating the air and the outside air in the outer case. Not only does it function as a respiratory filter, but it also has the purpose of preventing dust from entering from outside and eliminating dust inside.Furthermore, the filter is combined with activated carbon to absorb harmful gas molecules. In some cases, the inside of the outer case is cleaned.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の呼吸フィルタでは、近年の自動車等の増加に伴う排
気ガスや産業排気等による大気汚染によって生じる硫黄
酸化物(SOx)や窒素酸化物(NOx)といった有害
物質を除去できず、外装ケースの内部にSOxやNOx
が侵入して構成部材と化学反応を起こし、その表面に生
成物(例えば、硫化物、窒化物あるいは過酸化物など)
を生じるという問題がある。
However, in the above-mentioned conventional respiratory filter, sulfur oxides (SOx) and nitrogen oxides (NOx) generated by air pollution due to exhaust gas and industrial exhaust accompanying the recent increase in automobiles and the like. Harmful substances such as SOx and NOx inside the outer case.
Penetrates and causes a chemical reaction with the components, and the products (eg, sulfides, nitrides or peroxides) on the surface
Problem.

【0005】また、記録媒体としての磁気ディスクに
は、近年、記録密度の向上のために磁性膜としてコバル
ト系合金を用いた薄膜磁気ディスクが使われ始めてお
り、このような薄膜磁気ディスクを使用する場合には、
上記のSOxやNOxによって下記のような問題が生じ
る。
In recent years, as a magnetic disk as a recording medium, a thin film magnetic disk using a cobalt-based alloy as a magnetic film has been started to be used for improving a recording density. Such a thin film magnetic disk is used. in case of,
The following problems are caused by the above SOx and NOx.

【0006】薄膜磁気ディスクには、一般に、磁性膜の
損傷や腐食を防止するための保護膜が付与されている
が、特に、カーボンを主成分とする保護膜を有する磁気
ディスクを搭載した磁気ディスク装置では、繰り返しコ
ンタクト・スタート・ストップを行うと、磁気ヘッドと
磁気ディスクとの摩擦力が増大して、磁気ディスクが回
転不能となったり、ヘッドクラッシュという現象が生じ
る。このヘッドクラッシュは、カーボン保護膜の摩耗に
よる表面の平滑化のためであり、さらにこの摩耗メカニ
ズムは、単なる機械的な摩耗ではなく、大気中において
はカーボンの酸化による気化(酸化摩耗)が支配的だと
言われている。
A thin film magnetic disk is generally provided with a protective film for preventing damage or corrosion of a magnetic film. In particular, a magnetic disk having a magnetic disk having a protective film containing carbon as a main component is mounted. In the apparatus, when the contact start / stop is repeatedly performed, the frictional force between the magnetic head and the magnetic disk increases, so that the magnetic disk becomes unrotatable or a head crash occurs. This head crash is due to the smoothing of the surface due to the abrasion of the carbon protective film, and the mechanism of this abrasion is not merely mechanical abrasion, but vaporization (oxidative abrasion) due to oxidation of carbon in the atmosphere. It is said that.

【0007】本発明は前記問題点を解決し、有害ガスや
塵埃などの外装ケースの内部への侵入を低減して、構成
部材の化学反応の発生や磁気ディスクの回転不能、ヘッ
ドクラッシュ等を抑制できる信頼性の高い磁気ディスク
装置を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems and reduces the invasion of harmful gases and dusts into the interior of the outer case, thereby suppressing the occurrence of chemical reactions of the constituent members, the inability to rotate the magnetic disk, and the head crash. It is an object of the present invention to provide a highly reliable magnetic disk device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスク装
置は、外装ケースにガス選択透過性フィルタを組み込ん
だことを特徴とする。
The magnetic disk drive of the present invention is characterized in that a gas selective permeable filter is incorporated in an outer case.

【0009】この本発明によると、磁気ディスク装置の
動作に支障をきたすような有害ガスや塵埃、酸素などの
外装ケースへの侵入を低減して、より安定で信頼性の高
い磁気ディスク装置を実現できる。
According to the present invention, a more stable and highly reliable magnetic disk drive is realized by reducing the intrusion of harmful gases, dusts, oxygen and the like into the outer case which may interfere with the operation of the magnetic disk drive. it can.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1記載の磁気ディ
スク装置は、外装ケースの内部の圧力と外部の大気圧と
を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク装置
であって、前記フィルタが特定のガスを選択して透過さ
せるガス選択フィルタであることを特徴とする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic disk drive according to a first aspect of the present invention is a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal pressure of an outer case and the external atmospheric pressure is incorporated. It is a gas selection filter for selecting and transmitting a specific gas.

【0011】この構成によると、有害ガスの外装ケース
内部への侵入を低減したり、外装ケースの内部の成分を
選択的に外部へ透過させることで、磁気ディスク装置へ
の悪影響を抑え、装置の安定化が図れる。
According to this configuration, the harmful gas is prevented from entering the inside of the outer case, and the components inside the outer case are selectively transmitted to the outside, so that adverse effects on the magnetic disk drive are suppressed, and Stabilization can be achieved.

【0012】本発明の請求項2記載の磁気ディスク装置
の製造方法は、請求項1記載の磁気ディスク装置を組み
立てるに際し、減圧下で組み立てた後、大気圧に戻して
ガス選択フィルタに特定のガスを透過させて外装ケース
の内部の圧力を大気圧と等しくすることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a magnetic disk drive, comprising: assembling the magnetic disk drive according to the first aspect of the present invention under reduced pressure; To make the pressure inside the outer case equal to the atmospheric pressure.

【0013】本発明の請求項3記載の磁気ディスク装置
は、磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気ディスク
にアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘッドとを
内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の気圧と大
気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク
装置において、前記フィルタが前記外装ケース内に窒素
を選択的に透過させる膜であることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive, comprising: a motor for driving the magnetic disk; and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information therein. In a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal atmospheric pressure and the atmospheric pressure is incorporated, the filter is a film that selectively transmits nitrogen into the outer case.

【0014】この構成によると、外装ケースの内部に窒
素を選択的に透過させることで有害ガスの外装ケース内
部への侵入を低減でき、磁気ディスク装置への悪影響を
抑え、装置の安定化が図れる。
According to this configuration, by selectively permeating nitrogen into the outer case, the intrusion of harmful gas into the outer case can be reduced, adverse effects on the magnetic disk device can be suppressed, and the device can be stabilized. .

【0015】本発明の請求項4記載の磁気ディスク装置
は、請求項3において、前記フィルタが窒素富化膜であ
ることを特徴とする。本発明の請求項5記載の磁気ディ
スク装置は、請求項3記載の磁気ディスク装置を組み立
てるに際し、外装ケース内の雰囲気を大気圧よりも低い
気圧で組み立てた後、大気圧に戻してガス選択フィルタ
に特定のガスを透過させて外装ケースの内部圧力を大気
圧と等しくすることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the third aspect, the filter is a nitrogen-enriched film. In the magnetic disk drive according to a fifth aspect of the present invention, when assembling the magnetic disk drive according to the third aspect, the atmosphere in the outer case is assembled at a pressure lower than the atmospheric pressure, and then returned to the atmospheric pressure and the gas selection filter is returned. And the internal pressure of the outer case is made equal to the atmospheric pressure.

【0016】この構成によると、外装ケース内部の気圧
を大気圧よりも低い気圧で組み立てることで大気圧に戻
したときに外装ケース内部へ窒素が優先的に侵入し、有
害ガスの外装ケースの内部への侵入を抑制できる。
According to this configuration, when the pressure inside the outer case is reduced to the atmospheric pressure by assembling the inside of the outer case, nitrogen preferentially enters the inside of the outer case when the atmospheric pressure is returned to the atmospheric pressure. Can be suppressed from entering.

【0017】本発明の請求項6記載の磁気ディスク装置
は、磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気ディスク
にアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘッドとを
内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の気圧と大
気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク
装置において、前記フィルタが電磁場による制御によっ
て透過するガス種を選択できる膜であることを特徴とす
る。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive, comprising: a motor for driving the magnetic disk; and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information therein. In a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal atmospheric pressure and the atmospheric pressure is incorporated, the filter is a film capable of selecting a gas type to be transmitted through control by an electromagnetic field.

【0018】本発明の請求項7記載の磁気ディスク装置
は、請求項6において、前記フィルタが高分子/液晶複
合膜であることを特徴とする。本発明の請求項8記載の
磁気ディスク装置は、請求項6において、前記フィルタ
が酸素分子を透過させない膜であることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the sixth aspect, the filter is a polymer / liquid crystal composite film. The magnetic disk drive according to claim 8 of the present invention is characterized in that, in claim 6, the filter is a film that does not allow oxygen molecules to pass through.

【0019】本発明の請求項9記載の磁気ディスク装置
は、磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気ディスク
にアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘッドとを
内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の気圧と大
気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク
装置において、前記フィルタが、窒素を選択的に外装ケ
ースの内部に透過させる膜と、窒素を選択的に外装ケー
ス外部に透過させる膜とからなることを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive, comprising: a motor for driving the magnetic disk; and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information therein. In a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal atmospheric pressure and the atmospheric pressure is incorporated, the filter includes a film for selectively transmitting nitrogen into the exterior case and a film for selectively transmitting nitrogen to the exterior case. And characterized by the following.

【0020】この構成によると、外装ケースの内部へ窒
素が優先的に透過するとともに外装ケースの外部へ優先
的に透過することで、外部からの酸素やその他の有害ガ
スの外装ケースの内部への侵入が低減でき、しかも外装
ケースの内部の気圧と大気圧を等しくでき、装置の安定
化が図れる。
According to this configuration, nitrogen preferentially permeates into the outer case and permeates preferentially to the outside of the outer case, so that oxygen and other harmful gases from the outside enter the outer case. Intrusion can be reduced, and the pressure inside the outer case can be made equal to the atmospheric pressure, so that the device can be stabilized.

【0021】本発明の請求項10記載の磁気ディスク装
置は、請求項9において、窒素を選択的に外装ケース内
に透過させる前記膜と窒素を選択的に外装ケース外に透
過させる前記膜がともに窒素富化膜であることを特徴と
する。
According to a tenth aspect of the present invention, in the ninth aspect, the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting nitrogen out of the outer case are both provided. It is a nitrogen-enriched film.

【0022】本発明の請求項11記載の磁気ディスク装
置は、請求項9において、窒素を選択的に外装ケース内
に透過させる前記膜と窒素を選択的に外装ケース外に透
過させる前記膜がともに高分子/液晶複合膜であること
を特徴とする。
In the magnetic disk drive according to the present invention, the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting nitrogen to the outer case may be combined. It is a polymer / liquid crystal composite film.

【0023】本発明の請求項12記載の磁気ディスク装
置は、請求項9において、窒素を選択的に外装ケース内
に透過させる前記膜と、窒素を選択的に外装ケース外に
透過させる前記膜のうち、一方が窒素富化膜であり、他
方が高分子/液晶複合膜であることを特徴とする。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive according to the ninth aspect, wherein the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting nitrogen to the outside of the outer case. One of them is a nitrogen-enriched film, and the other is a polymer / liquid crystal composite film.

【0024】本発明の請求項13記載の磁気ディスク装
置は、磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気ディス
クにアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘッドと
を内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の気圧と
大気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディス
ク装置において、前記フィルタが、窒素を選択的に外装
ケース内に透過させる膜と、酸素を選択的に外装ケース
外に透過させる膜とからなることを特徴とする。
According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive, comprising: a motor for driving the magnetic disk; and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information therein. In a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal atmospheric pressure and the atmospheric pressure is incorporated, the filter includes a film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and a film for selectively transmitting oxygen to the outside of the outer case. It is characterized by consisting of.

【0025】本発明の請求項14記載の磁気ディスク装
置は、請求項13において、窒素を選択的に外装ケース
内に透過させる前記膜が窒素富化膜であり、酸素を選択
的に外装ケース外に透過させる前記膜が酸素富化膜であ
ることを特徴とする。
According to a fourteenth aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the thirteenth aspect, the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case is a nitrogen-enriched film, and oxygen is selectively removed from the outer case. Wherein the membrane that is permeable to oxygen is an oxygen-enriched membrane.

【0026】本発明の請求項15記載の磁気ディスク装
置は、請求項13において、窒素を選択的に外装ケース
内に透過させる前記膜が高分子/液晶複合膜であり、酸
素を選択的に外装ケース外に透過させる前記膜が酸素富
化膜であることを特徴とする。
According to a fifteenth aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the thirteenth aspect, the film for selectively permeating nitrogen into the outer case is a polymer / liquid crystal composite film, and selectively selectively covers oxygen. The membrane to be permeated out of the case is an oxygen-enriched membrane.

【0027】本発明の請求項16記載の磁気ディスク装
置は、請求項13において、窒素を選択的に外装ケース
内に透過させる前記膜が窒素富化膜であり、酸素を選択
的に外装ケース外に透過させる前記膜が高分子/液晶複
合膜であることを特徴とする。
According to a sixteenth aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the thirteenth aspect, the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case is a nitrogen-enriched film, and oxygen is selectively removed from the outer case. The film that transmits light through the substrate is a polymer / liquid crystal composite film.

【0028】本発明の請求項17記載の磁気ディスク装
置は、請求項13において、窒素を選択的に外装ケース
内に透過させる前記膜と酸素を選択的に外装ケース外に
透過させる前記膜がともに高分子/液晶複合膜であるこ
とを特徴とする。
According to a seventeenth aspect of the present invention, in the magnetic disk drive according to the thirteenth aspect, both the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting oxygen to the outside of the outer case are provided. It is a polymer / liquid crystal composite film.

【0029】以下、本発明の各実施の形態を図1〜図5
を用いて説明する。 (実施の形態1)図1〜図3は、本発明の(実施の形態
1)を示す。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. (Embodiment 1) FIGS. 1 to 3 show (Embodiment 1) of the present invention.

【0030】この(実施の形態1)では、呼吸フィルタ
としてガス選択フィルタを用いた点で上記従来例とは異
なる。磁気ディスク装置は、図1に示すように、外装ケ
ース4の内部に磁気ディスク1を駆動するモータ2と磁
気ディスク1にアクセスして情報の記録・再生を行う磁
気ヘッド12とが内蔵されており、外装ケース4の上面
には外装ケース4の内部の気圧と大気圧を等しくするフ
ィルタ7aが組み込まれている。3は磁気ヘッド12を
支持するテンションアームユニットである。
This (Embodiment 1) differs from the above-mentioned conventional example in that a gas selection filter is used as a breathing filter. As shown in FIG. 1, the magnetic disk device includes a motor 2 for driving the magnetic disk 1 and a magnetic head 12 for accessing and recording / reproducing information by accessing the magnetic disk 1 inside an outer case 4. On the upper surface of the outer case 4, a filter 7a for equalizing the atmospheric pressure inside the outer case 4 with the atmospheric pressure is incorporated. Reference numeral 3 denotes a tension arm unit that supports the magnetic head 12.

【0031】外装ケース4は、モータユニット2,テン
ションアームユニット3およびその他主要な構成部品が
取り付けられた下部カバー5aと、下部カバー5aの上
面を覆う上部カバー5bとからなり、下部カバー5aと
上部カバー5bとの間にパッキン材8が介装され、上部
カバー5bが下部カバー5aにビス9にて締め付けるら
れて外装ケース4がシールドされる。
The outer case 4 includes a lower cover 5a to which the motor unit 2, the tension arm unit 3 and other main components are attached, and an upper cover 5b covering the upper surface of the lower cover 5a. The packing material 8 is interposed between the cover 5b and the upper cover 5b is fastened to the lower cover 5a with screws 9 to shield the outer case 4.

【0032】図2に示すように、上部カバー5bには、
外装ケース4の外部と内部の気体を流通させる孔6aが
穿設されており、その上面を覆うようにフィルタ7aが
接着剤等にて上部カバー5bに取り付けられている。
As shown in FIG. 2, the upper cover 5b has
A hole 6a through which gas flows between the outside and the inside of the outer case 4 is formed, and a filter 7a is attached to the upper cover 5b with an adhesive or the like so as to cover the upper surface thereof.

【0033】このようにシールドされた外装ケース4
は、外部からのごみ等の侵入を防ぎ、孔6aを覆うフィ
ルタ7aを介して外装ケース4の外部と内部とで気体の
流通を行なえる。
The outer case 4 thus shielded
Can prevent intrusion of dust and the like from the outside, and allow gas to flow between the outside and the inside of the outer case 4 via the filter 7a covering the hole 6a.

【0034】フィルタ7aは、この(実施の形態1)に
特有の構成であるガス選択フィルタであり、酸素や有害
ガスや塵埃などを外装ケース4の内部に取り込まないよ
う、特定のガスを選択して透過するよう構成されてい
る。
The filter 7a is a gas selection filter having a configuration specific to this (Embodiment 1), and selects a specific gas so that oxygen, harmful gas, dust, and the like are not taken into the exterior case 4. It is configured to be transparent.

【0035】詳細には、図3に示すように、外装ケース
4の内部に透過させたいガス分子10と透過させたくな
いその他のガス分子11が混在した状態の気体がフィル
タ7aに達すると、非多孔質膜からなるフィルタ7aの
表面では、微量ながら気体が溶解して界面で平衡に達す
る。溶解した気体はフィルタ7aの内部に拡散してい
き、フィルタ7aの反対側に達して脱着される。この溶
解と拡散によって透過させたいガス分子10を膜の反対
側に選択的に透過させ、その他のガス分子11を選択的
に透過しないようにすることができ、いわゆるガスを分
離することが可能となる。
More specifically, as shown in FIG. 3, when a gas in which gas molecules 10 to be permeated and gas molecules 11 not to be permeated mixed together reaches the filter 7a inside the outer case 4, a non- On the surface of the filter 7a made of a porous film, a small amount of gas is dissolved and reaches equilibrium at the interface. The dissolved gas diffuses into the filter 7a, reaches the opposite side of the filter 7a, and is desorbed. By this dissolution and diffusion, the gas molecules 10 to be permeated can be selectively transmitted to the opposite side of the membrane, and the other gas molecules 11 can be selectively prevented from permeating, so that the so-called gas can be separated. Become.

【0036】従って、有害ガスなどのように透過させた
くない分子11と、例えば窒素などのように透過させた
いガス分子10に応じたガス選択特性のフィルタ7aを
使用することで、外装ケース4の内部の劣化を低減でき
る。
Therefore, by using the filter 7a having gas selection characteristics corresponding to the molecules 11 not to be permeated such as harmful gas and the gas molecules 10 to be permeated such as nitrogen, for example, Internal deterioration can be reduced.

【0037】また、上記のように構成された磁気ディス
ク装置において、その製造時に大気圧よりも低い減圧下
で組立てて、その後で大気圧に戻すと、フィルタ7aを
介して積極的に外装ケース4の内部に透過させたいガス
分子10が透過するため、より効率的にガス透過が行な
える。
In the magnetic disk drive constructed as described above, when the magnetic disk drive is assembled at a reduced pressure lower than the atmospheric pressure at the time of manufacture and then returned to the atmospheric pressure, the outer case 4 is positively activated via the filter 7a. Since the gas molecules 10 to be permeated are permeated into the inside, gas permeation can be performed more efficiently.

【0038】例えば、透過させたいガス分子10が窒素
の場合には、フィルタ7aとして窒素富化膜を使用する
と、大気圧よりも低い気圧で組み立てた後で減圧状態か
ら大気圧に戻すと、窒素富化膜からより選択的に窒素が
外装ケース4の内部に透過するようになり、外装ケース
4内部の酸素濃度が低い磁気ディスク装置が得られる。
For example, when the gas molecules 10 to be permeated are nitrogen, if a nitrogen-enriched film is used as the filter 7a, when the assembly is performed at a pressure lower than the atmospheric pressure and the pressure is returned from the reduced pressure to the atmospheric pressure, the nitrogen is reduced. Nitrogen more selectively permeates into the outer case 4 from the enriched film, and a magnetic disk device with a lower oxygen concentration inside the outer case 4 can be obtained.

【0039】このように、特定のガスを選択して積極的
に外装ケース4の内部に取り込むようにすることで、外
装ケース4の内部への粉塵の侵入を低減できるだけでな
く、酸素やSOx,NOxの侵入を低減して構成部品の
酸化や破損を低減でき、ヘッドクラッシュなどの現象を
抑制でき、信頼性の高い磁気ディスク装置が実現でき
る。
As described above, by selecting a specific gas and positively taking it into the outer case 4, it is possible not only to reduce intrusion of dust into the outer case 4 but also to reduce oxygen, SOx, Oxidation and breakage of the components can be reduced by reducing the intrusion of NOx, phenomena such as head crash can be suppressed, and a highly reliable magnetic disk device can be realized.

【0040】なお、上記説明では、外装ケース4の内部
にフィルタ7aを介して特定のガスを取り込む場合を例
に挙げて説明したが、フィルタ7aとして外装ケース4
の内部からフィルタ7aを介して特定ガスを排出する特
性のものを使用することによっても従来に比べて外装ケ
ース4の内部の劣化を低減できる。例えばフィルタ7a
として酸素富化膜を使用すると、外装ケース4の内部の
酸素が外部に透過して外装ケース4の内部の部品の酸化
を抑制できる。
In the above description, the case where a specific gas is taken into the exterior case 4 through the filter 7a has been described as an example. However, the exterior case 4 is used as the filter 7a.
By using a filter having a characteristic of discharging a specific gas from the inside through the filter 7a, deterioration inside the outer case 4 can be reduced as compared with the related art. For example, filter 7a
When an oxygen-enriched film is used, oxygen inside the outer case 4 permeates to the outside and oxidation of components inside the outer case 4 can be suppressed.

【0041】(実施の形態2)この(実施の形態2)で
は、ガス選択フィルタであるフィルタ7aとして高分子
/液晶複合膜を用いた点で異なるがそれ以外の基本的な
構成は上記(実施の形態1)と同様である。
(Embodiment 2) This (Embodiment 2) is different in that a polymer / liquid crystal composite film is used as the filter 7a as a gas selection filter. This is the same as the embodiment 1).

【0042】フィルタ7aとして使用される高分子/液
晶複合膜には、通常、低分子液晶をその中に3次元連続
層として分散させたものが用いられ、液晶分子の配向を
電磁場による制御によって変化させることで、透過する
ガスを選択でき、いわゆるガスを分離することが可能と
なる。
As the polymer / liquid crystal composite film used as the filter 7a, a liquid crystal in which low-molecular liquid crystal is dispersed as a three-dimensional continuous layer is usually used, and the orientation of the liquid crystal molecules is changed by control by an electromagnetic field. By doing so, the gas to be permeated can be selected, and so-called gas can be separated.

【0043】このようなフィルタ7aを用いると、有害
物質が外装ケース4内部に入ってこないように制御で
き、外装ケース4の外部から特定のガスが選択的に透過
して外装ケース4の内部に入るように構成できる。
When such a filter 7a is used, it is possible to control such that harmful substances do not enter the inside of the outer case 4, and a specific gas is selectively transmitted from the outside of the outer case 4 to enter the inside of the outer case 4. Can be configured to enter.

【0044】例えば、高分子/液晶複合膜が窒素を選択
的に透過するよう電磁場を制御すると、上記(実施の形
態1)と同様に、外装ケース4の内部に積極的に窒素を
取り込むことができ、また、磁気ディスク装置の組立て
時に減圧下で組み立てれば、外装ケース4内部の酸素濃
度が低い磁気ディスク装置が得られる。
For example, when the electromagnetic field is controlled so that the polymer / liquid crystal composite film selectively transmits nitrogen, nitrogen can be positively taken into the outer case 4 in the same manner as in the first embodiment. If the magnetic disk device is assembled under reduced pressure at the time of assembling, a magnetic disk device having a low oxygen concentration inside the outer case 4 can be obtained.

【0045】(実施の形態3)図4と図5は、本発明の
(実施の形態3)を示す。この(実施の形態3)では、
ガス選択フィルタを複数設けた点で異なるが、それ以外
の基本的な構成は上記各実施の形態と同様である。
(Embodiment 3) FIGS. 4 and 5 show (Embodiment 3) of the present invention. In this (Embodiment 3),
The difference is that a plurality of gas selection filters are provided, but the other basic configuration is the same as in each of the above embodiments.

【0046】図4に示すように、磁気ディスク1が組み
込まれた外装ケース4には孔6b,6cが穿設され、図
5に示すように、その上面がフィルタ7b,7cで覆わ
れて外装ケース4の外部と内部とで気体が流通するよう
構成されている。
As shown in FIG. 4, holes 6b and 6c are formed in the outer case 4 in which the magnetic disk 1 is incorporated, and the upper surface thereof is covered with filters 7b and 7c as shown in FIG. The gas flows between the outside and the inside of the case 4.

【0047】フィルタ7b,7cは、上記各実施の形態
と同様のガス選択フィルタである。このように複数のフ
ィルタ7b,7cを外装ケース4に設けると、外装ケー
ス4の内部と外部の圧力が等しくなるだけでなく、外装
ケース4の内部には選択的に窒素が透過するとともに外
装ケース4の外部に選択的に窒素が透過するため、外装
ケース4の内部における酸素濃度が低くなり、信頼性の
高い磁気ディスク装置が得られる。
The filters 7b and 7c are the same gas selection filters as in the above embodiments. When the plurality of filters 7b and 7c are provided in the outer case 4 as described above, not only the pressure inside and outside the outer case 4 becomes equal, but also nitrogen selectively permeates into the outer case 4 and the outer case 4 Since nitrogen selectively permeates outside the outer case 4, the oxygen concentration inside the outer case 4 is reduced, and a highly reliable magnetic disk device can be obtained.

【0048】例えば、フィルタ7b,7cがともに窒素
富化膜である場合には、図6(a),(b)に示すよう
に、外装ケース4の外部から窒素が選択的に外装ケース
4内部に透過し、また内部から選択的に外装ケース4外
部に窒素が透過するようになる。図6(a)は、フィル
タ7bで窒素を外装ケース4の内部に取り込み、フィル
タ7cで内部から窒素を外部に排出する(A)のパター
ンであり、図6(b)は、フィルタ7bで外装ケース4
の内部から窒素を外部に排出し、フィルタ7cで窒素を
外装ケース4の内部に取り込む(B)のパターンであ
る。
For example, when the filters 7b and 7c are both nitrogen-enriched films, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), nitrogen is selectively supplied from the exterior of the exterior case 4 to the interior of the exterior case 4. And nitrogen is selectively transmitted from the inside to the outside of the outer case 4. FIG. 6A shows a pattern (A) in which nitrogen is taken into the exterior case 4 by the filter 7b and nitrogen is exhausted from the inside to the outside by the filter 7c, and FIG. Case 4
(B) is a pattern in which nitrogen is discharged to the outside from the inside and nitrogen is taken into the exterior case 4 by the filter 7c.

【0049】窒素富化膜は窒素を一方通行的に透過させ
る膜であり、膜の取り付けの上下を変えることで上記
(A)のパターン,(B)のパターンの両方が可能とな
る。従って、フィルタ7b,7cの膜の取り付けの上下
が逆になってさえいれば良く、(A)のパターンになる
か(B)のパターンになるかは限定されるものではな
い。
The nitrogen-enriched film is a film that allows nitrogen to pass through one way, and both the pattern (A) and the pattern (B) can be made by changing the mounting of the film up and down. Therefore, it is only necessary that the membranes of the filters 7b and 7c are mounted upside down, and the pattern of (A) or the pattern of (B) is not limited.

【0050】磁気ディスク装置の回転時には、外装ケー
ス4の内部はモータの駆動により熱が発生して内部圧が
外部よりも高くなるため、窒素富化膜が外装ケース4の
内部に窒素を「取り込む」向きだけに設けられていると
内部圧は高くなる一方となり、ディスク装置を変形させ
る恐れがあるが、上記のように一方の窒素富化膜が外装
ケース4の内部に窒素を「取り込む」向きであり、他方
の窒素富化膜が外部に窒素を「排出する」向きである
と、外装ケース4の内外の圧力差を無くしてディスク装
置の変形を防ぐことができる。また、外装ケース4の内
部の空気の流れが良くなるため、内部の熱を外部に積極
的に放出でき、しかも、空気の流通は良くなっても窒素
富化膜の効果により余分な酸素の出入りはなくなるた
め、外装ケース4の内部の酸素濃度を低くできる。
When the magnetic disk drive rotates, heat is generated inside the outer case 4 by driving the motor and the internal pressure becomes higher than the outside, so that the nitrogen-enriched film “takes nitrogen” into the outer case 4. The internal pressure increases only if the orientation is provided only in the direction, and the disk device may be deformed. However, as described above, the direction in which one of the nitrogen-enriched films "takes" nitrogen into the exterior case 4 is used. If the other nitrogen-enriched film is oriented so as to “exhaust” nitrogen to the outside, the pressure difference between the inside and outside of the outer case 4 can be eliminated to prevent deformation of the disk device. In addition, since the flow of air inside the outer case 4 is improved, the internal heat can be actively released to the outside, and even if the flow of air is improved, the flow of excess oxygen in and out due to the effect of the nitrogen-enriched film. Therefore, the oxygen concentration inside the outer case 4 can be reduced.

【0051】なお、このガス選択フィルタ7b,7c
は、両方とも窒素富化膜とするだけでなく、その他にも
両方とも高分子/液晶複合膜としてもよく、あるいは一
方が窒素富化膜で他方が高分子/液晶複合膜であっても
よい。このようにフィルタ7a,7bが特定のガス、特
に窒素を選択的に透過する性質の膜であれば特に限定さ
れるものではなく、また、上記説明では、2個のガス選
択フィルタ7b,7cを設けたが、その個数は特に限定
されるものではない。
The gas selection filters 7b and 7c
Are not only nitrogen-enriched films, but also both may be polymer / liquid crystal composite films, or one may be a nitrogen-enriched film and the other may be a polymer / liquid crystal composite film. . As described above, the filter 7a, 7b is not particularly limited as long as it is a film selectively permeating a specific gas, particularly nitrogen, and the two gas selection filters 7b, 7c are used in the above description. Although provided, the number is not particularly limited.

【0052】(実施の形態4)この(実施の形態4)で
は、フィルタ7b,7cがそれぞれ異なる種類のガスを
選択するようにした点で上記(実施の形態3)とは異な
る。
(Embodiment 4) This (Embodiment 4) differs from the above (Embodiment 3) in that the filters 7b and 7c select different types of gases, respectively.

【0053】例えば、フィルタ7bを窒素を選択的に容
器内に透過させる膜とし、フィルタ7cを酸素を容器外
に透過させるよう構成すると、フィルタ7bとしては窒
素富化膜が,フィルタ7cとしては酸素富化膜が好適に
使用できる。
For example, if the filter 7b is a membrane for selectively transmitting nitrogen into the container and the filter 7c is configured to transmit oxygen to the outside of the container, a nitrogen-enriched film is used as the filter 7b and an oxygen-enriched film is used as the filter 7c. An enriched membrane can be suitably used.

【0054】これらのフィルタ7b,7cを設けた磁気
ディスク装置は、外装ケース4の外部から窒素が窒素富
化膜の表面に達すると、その原理に従って窒素が選択的
に外装ケース4の内部に透過し、外装ケース4の内部の
酸素は酸素富化膜によって外装ケース4の外部に透過す
るようになる。
In the magnetic disk drive provided with these filters 7b and 7c, when nitrogen reaches the surface of the nitrogen-enriched film from the outside of the outer case 4, nitrogen selectively permeates into the outer case 4 according to the principle. Then, oxygen inside the outer case 4 is transmitted to the outside of the outer case 4 by the oxygen-enriched film.

【0055】このような構成とすることで、外装ケース
4の内部と外部の圧力が等しくなるだけでなく、外装ケ
ース4内部の酸素濃度が低く、信頼性の高い磁気ディス
ク装置が実現できる。
With this configuration, not only the pressure inside and outside the outer case 4 becomes equal, but also the oxygen concentration inside the outer case 4 is low, and a highly reliable magnetic disk device can be realized.

【0056】なお、酸素富化膜は、酸素を透過し拡散さ
せる性質を持っているのは表面層だけであり、反対側は
表面層を支持するシート(例えば不織布,多孔シートな
ど)で構成されている。そのため、酸素富化膜全体で見
ると、膜の表面から反対側に向かって一方通行的に酸素
を透過することはあっても逆向きの透過は起こらないの
で、内部の酸素が外部に透過する向きに膜が設けられて
いれば外部の酸素が内部に透過することはない。
The oxygen-enriched film has the property of permeating and diffusing oxygen only in the surface layer, and the opposite side is formed of a sheet (for example, a nonwoven fabric or a porous sheet) supporting the surface layer. ing. Therefore, when viewed as a whole, the oxygen-enriched film permeates oxygen one way from the surface of the film to the opposite side, but does not permeate in the opposite direction, so that the oxygen inside is transmitted to the outside. If a film is provided in the direction, external oxygen does not permeate inside.

【0057】また、上記説明では、フィルタ7bとして
窒素富化膜を,フィルタ7cとして酸素富化膜を例に挙
げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、その他にもフィルタ7bが高分子/液晶複合膜で、
フィルタ7cが酸素富化膜であるもの、フィルタ7bが
窒素富化膜で、フィルタ7cが高分子/液晶複合膜であ
るもの、さらにフィルタ7b,7cがともに高分子/液
晶複合膜であるものなどが挙げられる。また、上記説明
では、2個のガス選択フィルタ7b,7cを設けたが、
その個数は特に限定されるものではない。
In the above description, the nitrogen-enriched film is taken as an example of the filter 7b, and the oxygen-enriched film is taken as an example of the filter 7c. However, the present invention is not limited to this. 7b is a polymer / liquid crystal composite film,
The filter 7c is an oxygen-enriched film, the filter 7b is a nitrogen-enriched film, the filter 7c is a polymer / liquid crystal composite film, and the filters 7b and 7c are both a polymer / liquid crystal composite film. Is mentioned. In the above description, two gas selection filters 7b and 7c are provided.
The number is not particularly limited.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上のように、本発明の磁気ディスク装
置によれば、外装ケースの内部の圧力と外部の大気圧と
を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク装置
であって、前記フィルタが特定のガスを選択して透過さ
せるガス選択フィルタであることで、有害ガスや塵埃な
どの外装ケースの内部への侵入を低減して、構成部材の
化学反応の発生や磁気ディスクの回転不能、ヘッドクラ
ッシュ等を抑制できる信頼性の高い磁気ディスク装置を
提供できる。
As described above, according to the magnetic disk drive of the present invention, there is provided a magnetic disk drive in which a filter for equalizing the internal pressure of the outer case and the external atmospheric pressure is incorporated. A gas selection filter that selectively permeates specific gases to reduce the intrusion of harmful gases and dust into the interior of the outer case. A highly reliable magnetic disk drive capable of suppressing a crash or the like can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の(実施の形態1)における磁気ディス
ク装置の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic disk drive according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のフィルタ7aの設置部の縦断面図FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an installation portion of a filter 7a in FIG.

【図3】フィルタのガス分離の原理を示す図FIG. 3 is a diagram showing the principle of gas separation of a filter.

【図4】本発明の(実施の形態3)における磁気ディス
ク装置の斜視図
FIG. 4 is a perspective view of a magnetic disk drive according to a third embodiment of the present invention.

【図5】図4のフィルタ7b,7cの設置部の縦断面図FIG. 5 is a longitudinal sectional view of an installation portion of the filters 7b and 7c in FIG.

【図6】図5の具体例を説明する模式図FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a specific example of FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気ディスク 2 モータユニット 3 テンションアームユニット 4 外装ケース 7a、7b、7c フィルタ 10 透過させたいガス分子 11 その他のガス分子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk 2 Motor unit 3 Tension arm unit 4 Outer case 7a, 7b, 7c Filter 10 Gas molecules to be transmitted 11 Other gas molecules

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】外装ケースの内部の圧力と外部の大気圧と
を等しくするフィルタが組み込まれた磁気ディスク装置
であって、 前記フィルタが特定のガスを選択して透過させるガス選
択フィルタである磁気ディスク装置。
1. A magnetic disk drive in which a filter for equalizing an internal pressure of an outer case and an external atmospheric pressure is incorporated, wherein the filter is a gas selection filter for selecting and transmitting a specific gas. Disk device.
【請求項2】請求項1記載の磁気ディスク装置を組み立
てるに際し、減圧下で組み立てた後、大気圧に戻してガ
ス選択フィルタに特定のガスを透過させて外装ケースの
内部の圧力を大気圧と等しくする磁気ディスク装置の製
造方法。
2. When assembling the magnetic disk drive according to claim 1, after assembling under reduced pressure, the pressure is returned to the atmospheric pressure, a specific gas is passed through a gas selection filter, and the pressure inside the outer case is reduced to the atmospheric pressure. A method of manufacturing a magnetic disk drive for equalizing.
【請求項3】磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気
ディスクにアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘ
ッドとを内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の
気圧と大気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気
ディスク装置において、 前記フィルタが前記外装ケース内に窒素を選択的に透過
させる膜である磁気ディスク装置。
3. A filter for equalizing the atmospheric pressure and the atmospheric pressure inside the outer case is provided in an outer case incorporating a motor for driving the magnetic disk and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information by accessing the magnetic disk. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the filter is a film that selectively transmits nitrogen into the outer case.
【請求項4】前記フィルタが窒素富化膜である請求項3
記載の磁気ディスク装置。
4. The filter according to claim 3, wherein said filter is a nitrogen-enriched membrane.
The magnetic disk device according to the above.
【請求項5】請求項3記載の磁気ディスク装置を組み立
てるに際し、外装ケース内の雰囲気を大気圧よりも低い
気圧で組み立てた後、大気圧に戻してガス選択フィルタ
に特定のガスを透過させて外装ケースの内部圧力を大気
圧と等しくする磁気ディスク装置の製造方法。
5. When assembling the magnetic disk drive according to claim 3, the atmosphere inside the outer case is assembled at a pressure lower than the atmospheric pressure, and then returned to the atmospheric pressure to allow the specific gas to pass through the gas selection filter. A method for manufacturing a magnetic disk drive in which the internal pressure of an outer case is equal to the atmospheric pressure.
【請求項6】磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気
ディスクにアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘ
ッドとを内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の
気圧と大気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気
ディスク装置において、 前記フィルタが電磁場による制御によって透過するガス
種を選択できる膜である磁気ディスク装置。
6. An external case having a motor for driving a magnetic disk and a magnetic head for accessing the magnetic disk and recording / reproducing information therein is provided with a filter for equalizing atmospheric pressure and atmospheric pressure inside the external case. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the filter is a film capable of selecting a gas type to be transmitted through control by an electromagnetic field.
【請求項7】前記フィルタが高分子/液晶複合膜である
請求項6記載の磁気ディスク装置。
7. The magnetic disk drive according to claim 6, wherein said filter is a polymer / liquid crystal composite film.
【請求項8】前記フィルタが酸素分子を透過させない膜
である請求項6記載の磁気ディスク装置。
8. The magnetic disk drive according to claim 6, wherein said filter is a film that does not allow oxygen molecules to pass through.
【請求項9】磁気ディスクを駆動するモータと前記磁気
ディスクにアクセスして情報の記録・再生を行う磁気ヘ
ッドとを内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部の
気圧と大気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁気
ディスク装置において、 前記フィルタが、窒素を選択的に外装ケースの内部に透
過させる膜と、窒素を選択的に外装ケース外部に透過さ
せる膜とからなる磁気ディスク装置。
9. An external case having a motor for driving a magnetic disk and a magnetic head for accessing and recording / reproducing information by accessing the magnetic disk is provided with a filter for equalizing atmospheric pressure and atmospheric pressure inside the external case. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the filter includes: a film that selectively transmits nitrogen to the inside of the outer case; and a film that selectively transmits nitrogen to the outside of the outer case.
【請求項10】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜と窒素を選択的に外装ケース外に透過させる前
記膜がともに窒素富化膜である請求項9記載の磁気ディ
スク装置。
10. The magnetic disk drive according to claim 9, wherein both the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting nitrogen to the outer case are nitrogen-enriched films.
【請求項11】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜と窒素を選択的に外装ケース外に透過させる前
記膜がともに高分子/液晶複合膜である請求項9記載の
磁気ディスク装置。
11. The magnetic disk drive according to claim 9, wherein the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting nitrogen to the outside of the outer case are polymer / liquid crystal composite films. .
【請求項12】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜と、窒素を選択的に外装ケース外に透過させる
前記膜のうち、一方が窒素富化膜であり、他方が高分子
/液晶複合膜である請求項9記載の磁気ディスク装置。
12. A film for selectively permeating nitrogen into the outer case and a film for selectively permeating nitrogen to the outside of the outer case, one of which is a nitrogen-enriched film, and the other is a polymer / polymer. 10. The magnetic disk drive according to claim 9, which is a liquid crystal composite film.
【請求項13】磁気ディスクを駆動するモータと前記磁
気ディスクにアクセスして情報の記録・再生を行う磁気
ヘッドとを内蔵する外装ケースに前記外装ケースの内部
の気圧と大気圧を等しくするフィルタが組み込まれた磁
気ディスク装置において、 前記フィルタが、窒素を選択的に外装ケース内に透過さ
せる膜と、酸素を選択的に外装ケース外に透過させる膜
とからなる磁気ディスク装置。
13. An outer case having a motor for driving a magnetic disk and a magnetic head for accessing and recording / reproducing information by accessing the magnetic disk is provided with a filter for equalizing atmospheric pressure and atmospheric pressure inside the outer case. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the filter includes a film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and a film for selectively transmitting oxygen to the outside of the outer case.
【請求項14】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜が窒素富化膜であり、酸素を選択的に外装ケー
ス外に透過させる前記膜が酸素富化膜である請求項13
記載の磁気ディスク装置。
14. The film for selectively permeating nitrogen into the outer case is a nitrogen-enriched film, and the film for selectively transmitting oxygen out of the outer case is an oxygen-enriched film.
The magnetic disk device according to the above.
【請求項15】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜が高分子/液晶複合膜であり、酸素を選択的に
外装ケース外に透過させる前記膜が酸素富化膜である請
求項13記載の磁気ディスク装置。
15. The film for selectively permeating nitrogen into the outer case is a polymer / liquid crystal composite film, and the film for selectively transmitting oxygen out of the outer case is an oxygen-enriched film. 14. The magnetic disk drive according to item 13.
【請求項16】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜が窒素富化膜であり、酸素を選択的に外装ケー
ス外に透過させる前記膜が高分子/液晶複合膜である請
求項13記載の磁気ディスク装置。
16. The film for selectively permeating nitrogen into the outer case is a nitrogen-enriched film, and the film for selectively transmitting oxygen out of the outer case is a polymer / liquid crystal composite film. 14. The magnetic disk drive according to item 13.
【請求項17】窒素を選択的に外装ケース内に透過させ
る前記膜と酸素を選択的に外装ケース外に透過させる前
記膜がともに高分子/液晶複合膜である請求項13記載
の磁気ディスク装置。
17. The magnetic disk drive according to claim 13, wherein both the film for selectively transmitting nitrogen into the outer case and the film for selectively transmitting oxygen to the outer case are a polymer / liquid crystal composite film. .
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