JP2002055052A - レーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法 - Google Patents
レーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】内部標準を使用しないレーザラマン分光分析装
置およびレーザラマン分光分析法を提供する。 【解決手段】試料Ｓにレーザ光を照射し特定の波長を持
つレーザ装置２と、試料から発する散乱光を受ける遮光
フィルタ４と、この遮光フィルタ４からのラマン散乱光
を分光する分光器６と、この分光器６で分光されたラマ
ン散乱光を検出する第１の光検出器７とを有し、試料Ｓ
から発する全散乱光散をを測定する第２の光検出器９
と、試料Ｓから発せられる散乱光の進行方向を変更する
光路変更手段３とを有するレーザラマン分光分析装置。
また、レーザ光を試料に照射し、試料から発する散乱光
からラマン散乱光に濾過し、このラマン散乱光を分光
し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出して、その強
度を測定し、また、試料から発する全散乱光の強度を測
定し、この全散乱光の強度と前記波長毎の強度を用い
て、試料に含まれる成分物質の定量分析を行うレーザラ
マン分光分析法。
置およびレーザラマン分光分析法を提供する。 【解決手段】試料Ｓにレーザ光を照射し特定の波長を持
つレーザ装置２と、試料から発する散乱光を受ける遮光
フィルタ４と、この遮光フィルタ４からのラマン散乱光
を分光する分光器６と、この分光器６で分光されたラマ
ン散乱光を検出する第１の光検出器７とを有し、試料Ｓ
から発する全散乱光散をを測定する第２の光検出器９
と、試料Ｓから発せられる散乱光の進行方向を変更する
光路変更手段３とを有するレーザラマン分光分析装置。
また、レーザ光を試料に照射し、試料から発する散乱光
からラマン散乱光に濾過し、このラマン散乱光を分光
し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出して、その強
度を測定し、また、試料から発する全散乱光の強度を測
定し、この全散乱光の強度と前記波長毎の強度を用い
て、試料に含まれる成分物質の定量分析を行うレーザラ
マン分光分析法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザラマン分光分
析装置およびレーザラマン分光分析法に係わり、特に第
２の光検出器を設けることにより、内部標準を不要にし
たレーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分
析法に関する。
析装置およびレーザラマン分光分析法に係わり、特に第
２の光検出器を設けることにより、内部標準を不要にし
たレーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分
析法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザーラマン分光分析法は、試料にレ
ーザ光を照射することでレーザ波長と異なる波長を持つ
ラマン散乱光が発生し、これを分光し、ラマン散乱光の
波長と入射レーザ光の波長の差を描くことで得られるラ
マンスペクトルから試料中の元素の結合形態を分析し、
物質の同定を行い、または、定量を行うものである。
ーザ光を照射することでレーザ波長と異なる波長を持つ
ラマン散乱光が発生し、これを分光し、ラマン散乱光の
波長と入射レーザ光の波長の差を描くことで得られるラ
マンスペクトルから試料中の元素の結合形態を分析し、
物質の同定を行い、または、定量を行うものである。
【０００３】そして、レーザラマン分光分析法による測
定は、上記のように分光された散乱光により得られるラ
マンスぺクトルを解析することで行われ、例えば、石英
中に含有される水素分析について説明すれば、図５およ
び図６に示すようなＨ２ピークの４１３０ｃｍ−１およ
び相対法において、例えばＳｉＯピークの８００ｃｍ
−１付近を分光し、図５に示すようなそれぞれのピーク
の面積からＨ２／ＳｉＯを求め、検量線との比較により
濃度を計算している。
定は、上記のように分光された散乱光により得られるラ
マンスぺクトルを解析することで行われ、例えば、石英
中に含有される水素分析について説明すれば、図５およ
び図６に示すようなＨ２ピークの４１３０ｃｍ−１およ
び相対法において、例えばＳｉＯピークの８００ｃｍ
−１付近を分光し、図５に示すようなそれぞれのピーク
の面積からＨ２／ＳｉＯを求め、検量線との比較により
濃度を計算している。
【０００４】図７に示すように、従来のレーザラマン分
光分析装置１１は、その基本的構成が、試料Ｓ０にレー
ザ光を照射し特定の波長を持つレーザ装置１２、試料Ｓ
０からのラマン散乱光を遮光フィルタ１３、スリット１
４を介して集める分光器１５、この分光器で分光された
光を検出する検出器１６からなっている。
光分析装置１１は、その基本的構成が、試料Ｓ０にレー
ザ光を照射し特定の波長を持つレーザ装置１２、試料Ｓ
０からのラマン散乱光を遮光フィルタ１３、スリット１
４を介して集める分光器１５、この分光器で分光された
光を検出する検出器１６からなっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなレーザラマ
ン分光分析装置１１を用いた定量は、水素に限らず、あ
らゆる成分で内部標準による規格化を実施している。内
部標準を用いる問題点として、測定対象の元素以外のピ
ークも分光するため、分析時間に多くを要し、また、種
々の試料への適用が困難であった。
ン分光分析装置１１を用いた定量は、水素に限らず、あ
らゆる成分で内部標準による規格化を実施している。内
部標準を用いる問題点として、測定対象の元素以外のピ
ークも分光するため、分析時間に多くを要し、また、種
々の試料への適用が困難であった。
【０００６】そこで、内部標準を使用しないレーザラマ
ン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法が要望さ
れていた。
ン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法が要望さ
れていた。
【０００７】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、内部標準を使用しないレーザラマン分光分析装
置およびレーザラマン分光分析法を提供することを目的
とする。
もので、内部標準を使用しないレーザラマン分光分析装
置およびレーザラマン分光分析法を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、試料にレーザ光を照
射し特定の波長を持つレーザ装置と、試料から発する散
乱光を受ける遮光フィルタと、この遮光フィルタからの
ラマン散乱光を分光する分光器と、この分光器で分光さ
れたラマン散乱光を検出する第１の光検出器とを有する
レーザラマン分光分析装置において、試料から発する全
散乱光量を測定する第２の光検出器と、試料から発せら
れる散乱光の進行方向を変更する光路変更手段とを有す
ることを特徴とするレーザラマン分光分析装置であるこ
とを要旨としている。
になされた本願請求項１の発明は、試料にレーザ光を照
射し特定の波長を持つレーザ装置と、試料から発する散
乱光を受ける遮光フィルタと、この遮光フィルタからの
ラマン散乱光を分光する分光器と、この分光器で分光さ
れたラマン散乱光を検出する第１の光検出器とを有する
レーザラマン分光分析装置において、試料から発する全
散乱光量を測定する第２の光検出器と、試料から発せら
れる散乱光の進行方向を変更する光路変更手段とを有す
ることを特徴とするレーザラマン分光分析装置であるこ
とを要旨としている。
【０００９】本願請求項２の発明では、上記第２の光検
出器の前方に着脱自在に第２の遮光フィルタを設けるこ
とを特徴とする請求項１に記載のレーザラマン分光分析
装置であることを要旨としている。
出器の前方に着脱自在に第２の遮光フィルタを設けるこ
とを特徴とする請求項１に記載のレーザラマン分光分析
装置であることを要旨としている。
【００１０】本願請求項３の発明は、レーザ光を試料に
照射し、試料から発する散乱光からラマン散乱光に濾過
し、このラマン散乱光を分光し、分光したラマン散乱光
を波長毎に検出して、その強度を測定し、また、試料か
ら発する全散乱光の強度を測定し、この全散乱光の強度
と前記波長毎に強度を用いて、試料に含まれる成分物質
の定量分析を行うことを特徴とするレーザラマン分光分
析法であることを要旨としている。
照射し、試料から発する散乱光からラマン散乱光に濾過
し、このラマン散乱光を分光し、分光したラマン散乱光
を波長毎に検出して、その強度を測定し、また、試料か
ら発する全散乱光の強度を測定し、この全散乱光の強度
と前記波長毎に強度を用いて、試料に含まれる成分物質
の定量分析を行うことを特徴とするレーザラマン分光分
析法であることを要旨としている。
【００１１】本願請求項４の発明は、レーザ光を試料に
照射し、試料から発する散乱光からラマン散乱光に濾過
し、このラマン散乱光を分光し、分光したラマン散乱光
を波長毎に検出して、その強度を測定し、また、試料か
ら発する全ラマン散乱光の強度を測定し、この全ラマン
散乱光の強度と前記波長毎に強度を用いて、試料に含ま
れる成分物質の定量分析を行うことを特徴とするレーザ
ラマン分光分析法であることを要旨としている。
照射し、試料から発する散乱光からラマン散乱光に濾過
し、このラマン散乱光を分光し、分光したラマン散乱光
を波長毎に検出して、その強度を測定し、また、試料か
ら発する全ラマン散乱光の強度を測定し、この全ラマン
散乱光の強度と前記波長毎に強度を用いて、試料に含ま
れる成分物質の定量分析を行うことを特徴とするレーザ
ラマン分光分析法であることを要旨としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わるレーザラマ
ン分光分析装置の実施形態について図面に基づき説明す
る。
ン分光分析装置の実施形態について図面に基づき説明す
る。
【００１３】図１に示すように、本発明に係わるレーザ
ラマン分光分析装置１は、試料Ｓにレーザ光を照射し特
定の波長を持つレーザ装置２、試料Ｓからの散乱光の方
向を適宜変える光路変更手段、例えば反射鏡３、この反
射鏡３からの散乱光を受ける第１の遮光フィルタ４、ス
リット５を介して集める分光器６、この分光器６で分光
された光を検出する第１の光検出器７を有し、さらに、
反射鏡３からの散乱光を受け、着脱自在な第２の遮光フ
ィルタ８およびトータルの散乱光（弾性散乱光、ラマン
散乱光）を測定できる第２の光検出器９を有し、さら
に、コンピュータ（図示せず）に接続されている。
ラマン分光分析装置１は、試料Ｓにレーザ光を照射し特
定の波長を持つレーザ装置２、試料Ｓからの散乱光の方
向を適宜変える光路変更手段、例えば反射鏡３、この反
射鏡３からの散乱光を受ける第１の遮光フィルタ４、ス
リット５を介して集める分光器６、この分光器６で分光
された光を検出する第１の光検出器７を有し、さらに、
反射鏡３からの散乱光を受け、着脱自在な第２の遮光フ
ィルタ８およびトータルの散乱光（弾性散乱光、ラマン
散乱光）を測定できる第２の光検出器９を有し、さら
に、コンピュータ（図示せず）に接続されている。
【００１４】なお、光路変更手段は半透明の鏡であって
もよい。
もよい。
【００１５】次にレーザラマン分光分析装置１を用いた
レーザーラマン分光分析法により、石英ガラス中に溶存
する水素量を定量分析する例について説明する。
レーザーラマン分光分析法により、石英ガラス中に溶存
する水素量を定量分析する例について説明する。
【００１６】図２は本発明に係わるレーザーラマン分光
分析法による溶存する水素量の測定フロー図で、最初に
石英ガラス塊から柱状試料の原型を切り出し、この試料
の表面および裏面を研削した後、精密研磨（光学研磨処
理）し、試料Ｓを作製する。
分析法による溶存する水素量の測定フロー図で、最初に
石英ガラス塊から柱状試料の原型を切り出し、この試料
の表面および裏面を研削した後、精密研磨（光学研磨処
理）し、試料Ｓを作製する。
【００１７】図１に示すようなレーザラマン分光分析装
置１に、試料Ｓレーザ光が９０°散乱するように試料Ｓ
をセットする（Ｐ１）。
置１に、試料Ｓレーザ光が９０°散乱するように試料Ｓ
をセットする（Ｐ１）。
【００１８】次にレーザ装置２からレーザ光を試料Ｓの
側面に照射する（Ｐ２）。
側面に照射する（Ｐ２）。
【００１９】試料Ｓから発する散乱光を反射鏡３で反射
させて遮光フィルタ３に送り、この遮光フィルタ３よ
り、弾性散乱光を除去して、レーザ光の波長と異なる波
長のラマン散乱光をスリット４に送り、このスリット４
でノイズを除去し、ラマン散乱光のスペクトルを整え
る。スペクトルが整えられたラマン散乱光を分光器１３
に送り、この分光器１３でラマン散乱光を波長毎、例え
ば図５に示す石英ガラスのラマンスペクトル全体のうち
図６（４１５０ｃｍ−３付近の拡大図）に示すようなＨ
２：４１３０ｃｍ−１に分光する（Ｐ３）。
させて遮光フィルタ３に送り、この遮光フィルタ３よ
り、弾性散乱光を除去して、レーザ光の波長と異なる波
長のラマン散乱光をスリット４に送り、このスリット４
でノイズを除去し、ラマン散乱光のスペクトルを整え
る。スペクトルが整えられたラマン散乱光を分光器１３
に送り、この分光器１３でラマン散乱光を波長毎、例え
ば図５に示す石英ガラスのラマンスペクトル全体のうち
図６（４１５０ｃｍ−３付近の拡大図）に示すようなＨ
２：４１３０ｃｍ−１に分光する（Ｐ３）。
【００２０】なお、図５は石英ガラスのラマンスペクト
ル全体を説明するために引用したものであり、本測定プ
ロセスでは、内部標準となるＳｉＯの分光スペクトルの
強度を測定する必要がない。分光されたＨ２のラマン散
乱光を検出し、Ｈ２のピーク面積から強度を算出しコン
ピュータの記憶装置に記憶する（Ｐ４）。
ル全体を説明するために引用したものであり、本測定プ
ロセスでは、内部標準となるＳｉＯの分光スペクトルの
強度を測定する必要がない。分光されたＨ２のラマン散
乱光を検出し、Ｈ２のピーク面積から強度を算出しコン
ピュータの記憶装置に記憶する（Ｐ４）。
【００２１】さらに、反射鏡１５を散乱光の光路から退
出させ、試料Ｓから発する散乱光を、遮光フィルタ８に
送り、この遮光フィルタ８より、弾性散乱光を除去し
て、全ラマン散乱光を散乱光強度測定用光検出器９によ
り全ラマン散乱光の強度を測定し、コンピュータの記憶
装置に記憶する（Ｐ５）。
出させ、試料Ｓから発する散乱光を、遮光フィルタ８に
送り、この遮光フィルタ８より、弾性散乱光を除去し
て、全ラマン散乱光を散乱光強度測定用光検出器９によ
り全ラマン散乱光の強度を測定し、コンピュータの記憶
装置に記憶する（Ｐ５）。
【００２２】次に測定プロセスＰ４において得られたＨ
２の強度と、測定プロセスＰ５で得られた全散乱光の強
度から、全散乱光を基準とした水素濃度を算出する（Ｐ
６）。
２の強度と、測定プロセスＰ５で得られた全散乱光の強
度から、全散乱光を基準とした水素濃度を算出する（Ｐ
６）。
【００２３】従って、上記水素濃度の算出には内部標準
を用いる必要がなく、内部標準作成するために、別途別
個の物質、ＳｉＯの分光を行って、このピークの面積を
求めＨ２／ＳｉＯを求める必要がなく、測定が簡素化さ
れる。また、内部標準になるようなピークを有する物質
を含まない試料の測定にもレーザラマン分光分析法を用
いることができる。さらに、全ラマン散乱光を基準にす
ることで精度よくＨ２の濃度を求めることができる。
を用いる必要がなく、内部標準作成するために、別途別
個の物質、ＳｉＯの分光を行って、このピークの面積を
求めＨ２／ＳｉＯを求める必要がなく、測定が簡素化さ
れる。また、内部標準になるようなピークを有する物質
を含まない試料の測定にもレーザラマン分光分析法を用
いることができる。さらに、全ラマン散乱光を基準にす
ることで精度よくＨ２の濃度を求めることができる。
【００２４】なお、遮光フィルタ８を散乱光の光路から
退出させ、散乱光強度測定用光検出器９により全散乱光
の強度を測定し、このコンピュータの記憶装置に記憶
し、この全散乱光の強度と測定プロセスＰ４においてえ
られたＨ２の強度とから水素濃度を求めるようにしても
よい。この場合には、遮光フィルタを通過させないの
で、照射されるレーザ光に近いところにラマン散乱光の
ピークを有する物質の場合でも、遮光フィルタにより、
遮光されることがなく、物質の濃度を求める基準とする
ことができる。
退出させ、散乱光強度測定用光検出器９により全散乱光
の強度を測定し、このコンピュータの記憶装置に記憶
し、この全散乱光の強度と測定プロセスＰ４においてえ
られたＨ２の強度とから水素濃度を求めるようにしても
よい。この場合には、遮光フィルタを通過させないの
で、照射されるレーザ光に近いところにラマン散乱光の
ピークを有する物質の場合でも、遮光フィルタにより、
遮光されることがなく、物質の濃度を求める基準とする
ことができる。
【００２５】
【実施例】試験目的：石英ガラス中の溶存水素を定量分
析により求める。
析により求める。
【００２６】試験方法：分析方法は図２に示すようなフ
ローにより行った。
ローにより行った。
【００２７】本発明に係わるレーザラマン分光分析法
は、このピークの代替として、光検出器により検出され
た全散乱光の強さを内部標準として使用し検量線の作成
および水素濃度の定量測定を行う（実施例）。
は、このピークの代替として、光検出器により検出され
た全散乱光の強さを内部標準として使用し検量線の作成
および水素濃度の定量測定を行う（実施例）。
【００２８】従来例は、図７に示すようなレーザラマン
分光分析装置を用い、図５および図６に示すような４１
３０ｃｍ−１付近に発生するＨ２のピークについて、内
部標準として８００ｃｍ−１を中心とした図５に示すよ
うなＳｉＯのピークを用いて分析する。
分光分析装置を用い、図５および図６に示すような４１
３０ｃｍ−１付近に発生するＨ２のピークについて、内
部標準として８００ｃｍ−１を中心とした図５に示すよ
うなＳｉＯのピークを用いて分析する。
【００２９】試験結果：実施例は図３（実施例の検量
線）および表１（水素濃度）に示すような測定結果とな
り、図４（従来例の検量線）および表１に示すような従
来例と同様の検量線および水素濃度の定量値を示し、満
足のいく結果が得られた。
線）および表１（水素濃度）に示すような測定結果とな
り、図４（従来例の検量線）および表１に示すような従
来例と同様の検量線および水素濃度の定量値を示し、満
足のいく結果が得られた。
【００３０】
【表１】
【００３１】このことから、本発明の定量分析における
精度および正確さは、従来の方法と同様に良好であるこ
とが確認された。従って、本発明により石英ガラス中の
溶存水素濃度の迅速かつ正確な測定を実現させることが
できるのがわかった。
精度および正確さは、従来の方法と同様に良好であるこ
とが確認された。従って、本発明により石英ガラス中の
溶存水素濃度の迅速かつ正確な測定を実現させることが
できるのがわかった。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係わるレーザラマン分光分析装
置およびレーザラマン分光分析法によれば、内部標準を
使用しないレーザラマン分光分析装置およびレーザラマ
ン分光分析法を提供することができる。さらに、内部標
準になるようなピークを有する物質を含まない試料の測
定にもレーザラマン分光分析法を用いることができる。
置およびレーザラマン分光分析法によれば、内部標準を
使用しないレーザラマン分光分析装置およびレーザラマ
ン分光分析法を提供することができる。さらに、内部標
準になるようなピークを有する物質を含まない試料の測
定にもレーザラマン分光分析法を用いることができる。
【００３３】すなわち、試料から発する全散乱光量を測
定する第２の光検出器と、試料から発せられる散乱光の
進行方向を変更する光路変更手段とを有するレーザラマ
ン分光分析装置であるので、内部標準を作成するため
に、別途別個の物質の分光を行い、このピークの面積を
求め試料とその物質の比を求める必要がなく、測定が簡
素化される。
定する第２の光検出器と、試料から発せられる散乱光の
進行方向を変更する光路変更手段とを有するレーザラマ
ン分光分析装置であるので、内部標準を作成するため
に、別途別個の物質の分光を行い、このピークの面積を
求め試料とその物質の比を求める必要がなく、測定が簡
素化される。
【００３４】また、第２の光検出器の前方に着脱自在に
第２の遮光フィルタを設けるので、散乱光強度測定用光
検出器により、全散乱光の光の強度または、全ラマン散
乱光の強度を選択的に基準として、試料の測定を行え、
測定を簡素化できる。
第２の遮光フィルタを設けるので、散乱光強度測定用光
検出器により、全散乱光の光の強度または、全ラマン散
乱光の強度を選択的に基準として、試料の測定を行え、
測定を簡素化できる。
【００３５】また、試料から発する全散乱光の強度を測
定し、この全散乱光の強度を基準として、試料に含まれ
る成分物質の定量分析を行うレーザラマン分光分析法で
あるので、測定対象の元素以外のピークの分光が必要な
く、分析時間に多くを必要とせず、さらに、種々の試料
への適用が可能である。
定し、この全散乱光の強度を基準として、試料に含まれ
る成分物質の定量分析を行うレーザラマン分光分析法で
あるので、測定対象の元素以外のピークの分光が必要な
く、分析時間に多くを必要とせず、さらに、種々の試料
への適用が可能である。
【００３６】また、レーザ光を試料に照射し、試料から
発する散乱光からラマン散乱光に濾過し、このラマン散
乱光を分光し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出
し、さらに、全ラマン散乱光の強度を基準として、試料
に含まれる成分物質の定量分析を行うので、測定対象の
元素以外のピークの分光が必要なく、分析時間に多くを
必要とせず、さらに、種々の試料への適用が可能であ
る。
発する散乱光からラマン散乱光に濾過し、このラマン散
乱光を分光し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出
し、さらに、全ラマン散乱光の強度を基準として、試料
に含まれる成分物質の定量分析を行うので、測定対象の
元素以外のピークの分光が必要なく、分析時間に多くを
必要とせず、さらに、種々の試料への適用が可能であ
る。
【図１】本発明に係わるレーザラマン分光分析装置の概
念図。
念図。
【図２】本発明に係わるレーザラマン分光分析法による
溶存水素量の測定フロー図。
溶存水素量の測定フロー図。
【図３】本発明に係わるレーザラマン分光分析法を用い
た検量線の試験結果図。
た検量線の試験結果図。
【図４】従来のレーザラマン分光分析法を用いた検量線
の試験結果図。
の試験結果図。
【図５】レーザラマン分光分析法による石英ガラスの全
体のラマンスペクトル図。
体のラマンスペクトル図。
【図６】図５における４１５０ｃｍ−３付近の拡大図。
【図７】従来のレーザラマン分光分析装置の概念図。
１ レーザラマン分光分析装置 ２ レーザ装置 ３ 反射鏡 ４ 第１の遮光フィルタ ５ スリット ６ 分光器 ７ 第１の光検出器 ８ 第１の遮光フィルタ ９ 第２の光検出器 Ｓ 試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G020 BA02 BA20 CA04 CB04 CB23 CB43 CC01 CC26 CC42 CC47 CD03 CD13 CD22 CD37 CD57 2G043 AA01 BA07 CA05 DA01 EA03 EA14 GA04 GA08 GB01 GB03 GB21 HA02 HA09 JA01 JA03 KA03 KA05 KA09 LA01 MA11 NA06 NA11 NA13
Claims (4)
- 【請求項１】 試料にレーザ光を照射し特定の波長を持
つレーザ装置と、試料から発する散乱光を受ける遮光フ
ィルタと、この遮光フィルタからのラマン散乱光を分光
する分光器と、この分光器で分光されたラマン散乱光を
検出する第１の光検出器とを有するレーザラマン分光分
析装置において、試料から発する全散乱光量を測定する
第２の光検出器と、試料から発せられる散乱光の進行方
向を変更する光路変更手段とを有することを特徴とする
レーザラマン分光分析装置。 - 【請求項２】 上記第２の光検出器の前方に着脱自在に
第２の遮光フィルタを設けることを特徴とする請求項１
に記載のレーザラマン分光分析装置。 - 【請求項３】 レーザ光を試料に照射し、試料から発す
る散乱光からラマン散乱光に濾過し、このラマン散乱光
を分光し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出して、
その強度を測定し、また、試料から発する全散乱光の強
度を測定し、この全散乱光の強度と前記波長毎の強度を
用いて、試料に含まれる成分物質の定量分析を行うこと
を特徴とするレーザラマン分光分析法。 - 【請求項４】 レーザ光を試料に照射し、試料から発す
る散乱光からラマン散乱光に濾過し、このラマン散乱光
を分光し、分光したラマン散乱光を波長毎に検出して、
その強度を測定し、また、試料から発する全ラマン散乱
光の強度を測定し、この全ラマン散乱光の強度と前記波
長毎の強度を用いて、試料に含まれる成分物質の定量分
析を行うことを特徴とするレーザラマン分光分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239933A JP2002055052A (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | レーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000239933A JP2002055052A (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | レーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002055052A true JP2002055052A (ja) | 2002-02-20 |
Family
ID=18731389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000239933A Pending JP2002055052A (ja) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | レーザラマン分光分析装置およびレーザラマン分光分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002055052A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009204405A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Kao Corp | 毛髪内水分量の測定方法 |
-
2000
- 2000-08-08 JP JP2000239933A patent/JP2002055052A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009204405A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Kao Corp | 毛髪内水分量の測定方法 |
| JP4679596B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2011-04-27 | 花王株式会社 | 毛髪内水分量の測定方法 |
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