JP2002053309A - Device and method for supplying ozone - Google Patents
Device and method for supplying ozoneInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾンの供給装置
及び方法に関し、詳しくは、パルプの漂白や水処理等、
比較的高濃度のオゾンを利用する設備にオゾンを供給す
るための装置及び方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for supplying ozone, and more particularly, to an apparatus and method for pulp bleaching and water treatment.
Apparatus and method for supplying ozone to equipment utilizing relatively high concentrations of ozone.
【０００２】[0002]
【従来の技術】オゾンは自己分解性を有しており、特
に、オゾン濃度が１８０ｇ／ｍ３（約８．４体積％）を
超えると分解しやすいといわれている。オゾンの分解は
発熱反応であり、また、温度が高いほど分解が促進され
る。このため、オゾンを供給する配管内でオゾンの分解
が発生すると、分解発生箇所が過熱状態となり、パッキ
ン等の配管材料が熱によって劣化したり、弁や圧力計、
流量計等の各種機器の故障の原因となったりする。2. Description of the Related Art It is said that ozone has a self-decomposing property, and it is easily decomposed particularly when the ozone concentration exceeds 180 g / m 3 (about 8.4% by volume). The decomposition of ozone is an exothermic reaction, and the higher the temperature, the more the decomposition is promoted. For this reason, when ozone is decomposed in the pipe for supplying ozone, the decomposed portion becomes overheated, the pipe material such as packing is deteriorated by heat, and valves, pressure gauges,
It may cause failure of various devices such as flow meters.
【０００３】オゾンの分解を発生させる原因の一つとし
て、配管内に存在する微粉末がある。この微粉末は、主
に、配管施工時に発生する切子や溶接の際に発生するヒ
ューム等であり、これらは施工時に発生して配管経路内
に残留したものが、運転中に徐々に出てきて配管内を流
れていくものである。また、無声放電式のオゾン発生器
の場合は、オゾンを発生させる際に放電面に生成した金
属酸化物の微粉末もこれに該当する。[0003] One of the causes of the decomposition of ozone is fine powder present in piping. This fine powder is mainly a facet generated at the time of pipe construction and fumes generated at the time of welding, and those generated at the time of construction and remaining in the pipe route gradually come out during operation. It flows through the piping. In the case of a silent discharge type ozone generator, a metal oxide fine powder generated on a discharge surface when ozone is generated also corresponds to the ozone generator.
【０００４】したがって、オゾン供給配管の適宜な位置
にフィルターを設置して微粉末を除去することにより、
配管内でのオゾンの分解を抑制することができる。Therefore, by installing a filter at an appropriate position in the ozone supply pipe to remove fine powder,
Decomposition of ozone in the piping can be suppressed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、長時間
にわたってオゾンの供給を行うと、フィルター自体に微
粉末が蓄積し、これがオゾンを分解する原因となってし
まうので、フィルター部分でオゾンの分解が発生する前
にフィルターを清掃あるいは交換する必要がある。しか
し、定期的にフィルターの清掃又は交換を行う場合、余
裕を見て短い間隔で行う必要があり、保守コストが増大
するだけでなく、清掃・交換の頻度が多くなって装置の
運転にも大きな影響を与えることがある。However, if ozone is supplied for a long period of time, fine powder accumulates in the filter itself, which causes ozone to be decomposed. Filter must be cleaned or replaced before cleaning. However, when cleaning or replacing the filter on a regular basis, it is necessary to perform the cleaning at a short interval in consideration of a margin. May have an effect.
【０００６】そこで本発明は、フィルターによるオゾン
の分解抑制効果を十分に生かし、オゾンを安定した状態
で効率よく供給することができとともに、フィルターの
保守に要するコストも低減できるオゾン供給装置及び方
法を提供することを目的としている。Accordingly, the present invention provides an ozone supply apparatus and method which can fully utilize the effect of suppressing ozone decomposition by a filter, supply ozone in a stable state and efficiently, and reduce the cost required for filter maintenance. It is intended to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のオゾン供給装置は、オゾン発生器の下流側
に設置された微粉末除去用のフィルターと、該フィルタ
ーをバイパスする経路と、該フィルター部でのオゾンの
分解を検知する手段と、該オゾン分解検知手段でオゾン
の分解を検知したときに、オゾンの流れをフィルター側
から前記バイパス経路側に切換える経路切換手段とを備
えていることを特徴としている。To achieve the above object, an ozone supply apparatus according to the present invention comprises a filter for removing fine powder installed downstream of an ozone generator, a path for bypassing the filter, Means for detecting the decomposition of ozone in the filter section; and path switching means for switching the flow of ozone from the filter side to the bypass path side when the ozone decomposition detection means detects the decomposition of ozone. It is characterized by:
【０００８】さらに、前記フィルターが冷却手段により
冷却されており、該冷却手段が、前記オゾン発生器に供
給される冷却水の一部を冷却源として使用することを特
徴とし、前記バイパス経路が微粉末除去用のフィルター
を備えていることを特徴としている。Further, the filter is cooled by a cooling means, and the cooling means uses a part of the cooling water supplied to the ozone generator as a cooling source, and the bypass path is fine. It is characterized by having a filter for removing powder.
【０００９】また、本発明のオゾン供給方法は、オゾン
発生器の下流側に微粉末を除去するためのフィルターを
設置するとともに、該フィルター部分でオゾンの分解を
検知したときには、該フィルターをバイパスする経路に
オゾンの流れを切換えることを特徴としている。According to the ozone supply method of the present invention, a filter for removing fine powder is installed downstream of the ozone generator, and when the decomposition of ozone is detected in the filter portion, the filter is bypassed. The flow of ozone is switched to a path.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】図１は本発明のオゾン供給装置の
一形態例を示す系統図、図２は水冷構造を採用したフィ
ルターの一例を示す断面図である。FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of an ozone supply apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing an example of a filter employing a water cooling structure.
【００１１】このオゾン供給装置は、オゾン発生器１１
の下流側配管に並列状態で設置した２個の微粉末除去用
のフィルター１２，１３と、各フィルター１２，１３の
前後の配管に設けられた流路切換用の電磁弁１４，１
５，１６，１７と、フィルター１２，１３部分でオゾン
の分解が発生したときの温度上昇を検知するための温度
計１８，１９と、該温度計（ＴＩ）１８，１９からの温
度信号に基づいて前記電磁弁１４，１５，１６，１７の
開閉状態を切換えるための制御器（温度指示調節計：Ｔ
ＩＣ）２０，２１と、フィルター１２，１３を冷却する
ための冷却水配管２２，２３とにより形成されている。This ozone supply device includes an ozone generator 11
And two filters 12 and 13 for removing fine powder, which are installed in parallel in the downstream pipe of the filter, and solenoid valves 14 and 1 for switching the flow paths provided in pipes before and after each of the filters 12 and 13.
5, 16, and 17, thermometers 18 and 19 for detecting a temperature rise when ozone is decomposed in the filters 12 and 13, and temperature signals from the thermometers (TI) 18 and 19, respectively. Controller (temperature indicating controller: T) for switching the open / close state of the solenoid valves 14, 15, 16, 17
IC) 20, 21 and cooling water pipes 22, 23 for cooling the filters 12, 13.
【００１２】前記フィルター１２，１３は、いずれか一
方を選択して使用するものであって、例えば、一方のフ
ィルター１２を使用するときには、該フィルター１２に
付属する電磁弁１４，１６が開くとともに、他方のフィ
ルター１３に付属する電磁弁１５，１７が閉じた状態に
なる。このとき、オゾン発生器１１で発生したオゾンを
含むガスは、電磁弁１４を通って一方のフィルター１２
に流入し、該フィルター１２によって微粉末が除去され
た後、電磁弁１６を通ってオゾン供給管２４に流れ、オ
ゾン消費設備に供給される。One of the filters 12 and 13 is selectively used. For example, when one of the filters 12 is used, the electromagnetic valves 14 and 16 attached to the filter 12 are opened, The solenoid valves 15 and 17 attached to the other filter 13 are closed. At this time, the gas containing ozone generated by the ozone generator 11 passes through the solenoid valve 14 and passes through one filter 12.
After the fine powder is removed by the filter 12, the fine powder flows through the solenoid valve 16 to the ozone supply pipe 24 and is supplied to the ozone consuming equipment.
【００１３】また、各フィルター１２，１３は、オゾン
発生器１１の冷却水供給管２５から前記冷却水配管２２
に分岐し、さらに、各フィルター１２，１３に向けて分
岐した管２２ａ，２２ｂから供給される冷却水により所
定温度に冷却されている。なお、フィルター冷却後の冷
却水は、管２３ａ，２３ｂ、冷却水配管２３を経て冷却
水戻り管２６に戻る。Each of the filters 12 and 13 is connected to a cooling water supply pipe 25 of the ozone generator 11 through the cooling water pipe 22.
, And further cooled to a predetermined temperature by cooling water supplied from pipes 22a and 22b branched toward the respective filters 12 and 13. The cooling water after cooling the filter returns to the cooling water return pipe 26 via the pipes 23a and 23b and the cooling water pipe 23.
【００１４】フィルター１２，１３は、図２にフィルタ
ー１２部分の断面を示すように、ネジ蓋３１ａを有する
フィルター収納室３１内に有底筒状に形成したフィルタ
ーエレメント３２を収納し、該フィルターエレメント３
２の開口を電磁弁１４側配管が接続される流入路３３の
開口端にスプリング３４により押付け、フィルターエレ
メント３２の内部側を流入路３３に連通させるととも
に、フィルターエレメント３２の外部側となるフィルタ
ー収納室３１を電磁弁１６側配管が接続される流出路３
５に連通させたものであって、電磁弁１４を経て流入路
３３に流入したオゾン含有ガスは、フィルターエレメン
ト３２を内部側から外部側に向けて通過する際に微粉末
が除去され、フィルター収納室３１から流出路３５を経
て電磁弁１６側配管に流出する。As shown in FIG. 2, a filter element 32 formed in a cylindrical shape with a bottom is accommodated in a filter accommodation chamber 31 having a screw lid 31a. 3
The opening of the filter element 32 is pressed against the opening end of the inflow passage 33 to which the solenoid valve 14 side pipe is connected by a spring 34 so that the inside of the filter element 32 communicates with the inflow passage 33 and the filter housing which is on the outside of the filter element 32. Outflow passage 3 to which the chamber 31 is connected to the solenoid valve 16 side pipe
5, the ozone-containing gas flowing into the inflow passage 33 via the electromagnetic valve 14 is filtered to remove fine powder when passing through the filter element 32 from the inside to the outside. It flows out of the chamber 31 through the outflow passage 35 to the piping on the solenoid valve 16 side.
【００１５】そして、フィルター収納室３１、流入路３
３及び流出路３４の外部には、これらを水密状態で覆う
冷却ジャケット３６が設けられており、管２２ａから冷
却ジャケット３６内に流入した冷却水が、フィルター収
納室３１等を冷却して管２３ａに流出するように形成さ
れている。また、フィルター収納室３１の外面には、温
度計１８の測定端が設けられている。The filter storage chamber 31 and the inflow passage 3
A cooling jacket 36 is provided on the outside of the outlet 3 and the outflow passage 34 in a watertight manner. The cooling water flowing into the cooling jacket 36 from the pipe 22a cools the filter storage chamber 31 and the like to form the pipe 23a. It is formed so as to flow out. A measuring end of the thermometer 18 is provided on an outer surface of the filter storage chamber 31.
【００１６】このようにフィルター１２を通してオゾン
を供給している状態で、該フィルター１２部分でオゾン
の分解が発生すると、分解が発熱反応であるためにフィ
ルター１２部分の温度が上昇する。そして、温度計１８
がフィルター１２部分の温度上昇を検知し、該温度が制
御器２０にあらかじめ設定されている温度に達すると、
該制御器２０が作動して電磁弁１５，１７を開くととも
に、電磁弁１４，１６を閉じる。When ozone is decomposed in the filter 12 while ozone is being supplied through the filter 12, the temperature of the filter 12 rises because the decomposition is an exothermic reaction. And thermometer 18
Detects a rise in the temperature of the filter 12, and when the temperature reaches a temperature preset in the controller 20,
The controller 20 operates to open the solenoid valves 15 and 17 and close the solenoid valves 14 and 16.
【００１７】これにより、オゾン発生器１１からのオゾ
ンの流れは、フィルター１２に対してバイパス的な経路
を形成している他方のフィルター１３を通るようにな
り、該フィルター１３で微粉末が除去されてからオゾン
供給管２４に流れるようになる。また、フィルター１２
へのオゾンの流れが止まることにより、該フィルター１
２部分でのオゾンの分解は自動的に終了する。As a result, the flow of ozone from the ozone generator 11 passes through the other filter 13 which forms a bypass path to the filter 12, and the fine powder is removed by the filter 13. After that, it flows into the ozone supply pipe 24. Filter 12
When the flow of ozone to the filter stops, the filter 1
Ozone decomposition in the two parts is automatically terminated.
【００１８】このように、フィルター１２部分でオゾン
の分解が発生したときに、オゾンの流れを他方のフィル
ター１３側に切換えることにより、フィルター１２の清
掃や交換を、オゾンの流れを中断させることなく行うこ
とができる。しかも、フィルター１２の清掃や交換は、
フィルター１２部分でオゾンの分解が発生したときにの
み行えばよく、フィルター１２に捕捉される微粉末量が
少なく、オゾンの分解が発生しないときには、フィルタ
ー１２の清掃や交換を行わなくてよいため、保守作業の
頻度が減少して保守コストも削減できる。As described above, when the decomposition of ozone occurs in the filter 12, the flow of ozone is switched to the other filter 13 side, so that the filter 12 can be cleaned or replaced without interrupting the flow of ozone. It can be carried out. Moreover, cleaning and replacing the filter 12
It only needs to be performed when the decomposition of ozone occurs in the filter 12, and when the amount of fine powder captured by the filter 12 is small and no decomposition of ozone occurs, the filter 12 does not need to be cleaned or replaced. The frequency of maintenance work is reduced, and maintenance costs can be reduced.
【００１９】また、オゾン発生器の下流側にフィルター
を設けたときのオゾンの分解は、該フィルター部分に限
定されるため、バイパス経路は、このフィルター部分の
みに設ければよく、簡便でかつ安価に形成することがで
きる。さらに、フィルターを冷却しておくことにより、
オゾンの分解を抑制できるので、フィルターの清掃や交
換の頻度をさらに減少させることができる。Since the decomposition of ozone when a filter is provided on the downstream side of the ozone generator is limited to the filter portion, the bypass path may be provided only in the filter portion, which is simple and inexpensive. Can be formed. Furthermore, by cooling the filter,
Since the decomposition of ozone can be suppressed, the frequency of cleaning and replacement of the filter can be further reduced.
【００２０】なお、本形態例では、２個のフィルター１
２，１３を並列に設けて切換使用するように形成したの
で、一方のフィルター１２部分でオゾンの分解が発生
し、他方のフィルター１３にオゾンの流れを切換えた状
態でも、該他方のフィルター１３で微粉末の除去を継続
しているため、該フィルター１３より下流側のオゾン供
給管２４に微粉末が流れることを確実に防止できるとと
もに、一方のフィルター１２の清掃、交換を余裕を持っ
て行うことができる。In this embodiment, two filters 1
Since the filters 2 and 13 are provided in parallel and used for switching, decomposition of ozone occurs in one filter 12 and even when the flow of ozone is switched to the other filter 13, the other filter 13 is used. Since the removal of the fine powder is continued, it is possible to reliably prevent the fine powder from flowing to the ozone supply pipe 24 downstream of the filter 13 and to clean and replace the one filter 12 with a margin. Can be.
【００２１】また、他方のフィルター１３を省略し、単
なる管路からなるバイパス経路としておくこともでき
る。この場合、このバイパス経路には、フィルター１２
を清掃、交換するときのみにオゾンを流し、フィルター
１２の清掃、交換が終了した時点で、フィルター１２に
オゾンの流れを戻すようにすればよい。このとき、少量
の微粉末がオゾン供給管２４に流れるおそれがあるが、
フィルター１２の清掃、交換に要する時間が短ければほ
とんど問題はない。さらに、一方のフィルターを主フィ
ルターとし、他方のフィルターを予備フィルターとして
両者の大きさや能力を違うものにしておいてもよい。ま
た、オゾンの分解発生を検知する手段は、前記温度計に
よるほか、フィルター後段のオゾン濃度や、フィルター
前後のオゾン濃度比を監視することなどによっても行う
ことが可能である。Further, the other filter 13 may be omitted, and a bypass path composed of a simple pipe may be provided. In this case, the filter 12
Ozone may be supplied only when cleaning and replacing the filter, and the flow of ozone may be returned to the filter 12 when the cleaning and replacement of the filter 12 are completed. At this time, a small amount of fine powder may flow into the ozone supply pipe 24,
There is almost no problem if the time required for cleaning and replacing the filter 12 is short. Further, one filter may be used as a main filter and the other filter may be used as a spare filter so that both have different sizes and capabilities. Further, the means for detecting the occurrence of decomposition of ozone can be performed by monitoring the ozone concentration after the filter or the ozone concentration ratio before and after the filter in addition to the thermometer.
【００２２】さらに、前記フィルター１２，１３は、オ
ゾン発生器１１の下流側に近接して設置されるので、オ
ゾン発生器冷却用の冷却水の一部をフィルター冷却用に
利用することにより、新たな冷却水供給源を用意する必
要がなく、設備コストの低減が図れる。また、オゾン発
生器１１に供給される冷却水は、チラーユニットによっ
て２０℃程度に冷却されているので、フィルター冷却用
にも最適である。Further, since the filters 12 and 13 are installed close to the downstream side of the ozone generator 11, a part of the cooling water for cooling the ozone generator is used for cooling the filter, so that the filters 12 and 13 are newly provided. It is not necessary to prepare a suitable cooling water supply source, and the equipment cost can be reduced. Further, since the cooling water supplied to the ozone generator 11 is cooled to about 20 ° C. by the chiller unit, it is most suitable for cooling the filter.
【００２３】[0023]
【実施例】フィルターを冷却したときのオゾン分解抑制
効果を確認する実験を行った。フィルターは、図２に示
す構造を有しており、フィルターエレメントは、０．５
μｍメッシュの燒結金属製で、内径９．５ｍｍ、外径１
２．５ｍｍ、長さ２０ｍｍのものを使用した。EXAMPLE An experiment was conducted to confirm the effect of suppressing ozone decomposition when the filter was cooled. The filter has the structure shown in FIG.
Made of sintered metal of μm mesh, inner diameter 9.5mm, outer diameter 1
Those having a length of 2.5 mm and a length of 20 mm were used.
【００２４】フィルターエレメントに、オゾン供給配管
に多用されるステンレス鋼ＳＵＳ３０４の粉末をあらか
じめ付着させた状態で、オゾン１８０ｇ／ｍ３（約８．
４体積％）を含有する酸素ガスを毎分２リットルの流量
で流した。Ozone 180 g / m 3 (approximately 8.g) is applied to the filter element in a state where powder of stainless steel SUS304, which is frequently used in an ozone supply pipe, is previously attached.
4% by volume) at a flow rate of 2 liters per minute.
【００２５】冷却ジャケットに２５℃の冷却水を流通さ
せて冷却したときと、冷却水を流通させずに冷却しなか
ったときとにおいて、熱電対で計測したフィルター収納
室の外面温度の変化と、オゾン濃度計で計測したフィル
ター前後のオゾン濃度比（出口／入口）の変化とを測定
した。その結果を図３に示す。When the cooling jacket is cooled by flowing cooling water at 25 ° C., and when the cooling is not performed without flowing cooling water, the change in the outer surface temperature of the filter storage chamber measured by a thermocouple, The change in the ozone concentration ratio (outlet / inlet) before and after the filter measured by an ozone densitometer was measured. The result is shown in FIG.
【００２６】図３から明らかなように、フィルターを冷
却しなかったときには、約１０分後にオゾンの分解が発
生し、線Ａで示すように温度上昇が始まるとともに、線
Ｂで示すようにオゾン濃度比も次第に低下していった。
一方、フィルターを冷却した場合は、線Ｃ及び線Ｄで示
すように、温度の変化及びオゾン濃度比の変化はほとん
ど見られず、冷却によってオゾンの分解を抑制できるこ
とがわかる。As is apparent from FIG. 3, when the filter was not cooled, the decomposition of ozone occurred after about 10 minutes, and the temperature began to rise as shown by the line A, and the ozone concentration as shown by the line B. The ratio gradually decreased.
On the other hand, when the filter was cooled, as shown by the lines C and D, almost no change in the temperature and no change in the ozone concentration ratio was observed, indicating that the decomposition of ozone could be suppressed by cooling.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オゾン分解の発生原因となる微粉末を除去するために設
置したフィルターの保守に要するコストを低減できる。As described above, according to the present invention,
The cost required for the maintenance of the filter installed for removing the fine powder causing the ozonolysis can be reduced.
【図１】 本発明のオゾン供給装置の一形態例を示す系
統図である。FIG. 1 is a system diagram showing one embodiment of an ozone supply device of the present invention.
【図２】 水冷構造を採用したフィルターの一例を示す
断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a filter employing a water cooling structure.
【図３】 実施例において、フィルター収納室の外面温
度の変化と、フィルター前後のオゾン濃度比の変化とを
測定した結果を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a result of measuring a change in an outer surface temperature of a filter storage chamber and a change in an ozone concentration ratio before and after a filter in an example.
１１…オゾン発生器、１２，１３…フィルター、１４，
１５，１６，１７…電磁弁、１８，１９…温度計、２
０，２１…制御器、２２，２３…冷却水配管、２４…オ
ゾン供給管、２５…冷却水供給管、２６…冷却水戻り
管、３１…フィルター収納室、３２…フィルターエレメ
ント、３３…流入路、３４…スプリング、３５…流出
路、３６…冷却ジャケット11 ozone generator, 12, 13 ... filter, 14,
15, 16, 17: solenoid valve, 18, 19: thermometer, 2
0, 21: Controller, 22, 23: Cooling water pipe, 24: Ozone supply pipe, 25: Cooling water supply pipe, 26: Cooling water return pipe, 31: Filter storage chamber, 32: Filter element, 33: Inflow path , 34 ... spring, 35 ... outflow path, 36 ... cooling jacket
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Claims (5)
末除去用のフィルターと、該フィルターをバイパスする
経路と、該フィルター部でのオゾンの分解を検知する手
段と、該オゾン分解検知手段でオゾンの分解を検知した
ときに、オゾンの流れをフィルター側から前記バイパス
経路側に切換える経路切換手段とを備えていることを特
徴とするオゾン供給装置。1. A filter for removing fine powder installed downstream of an ozone generator, a path for bypassing the filter, means for detecting decomposition of ozone in the filter section, and means for detecting ozone decomposition. And a path switching means for switching the flow of ozone from the filter side to the bypass path side when the ozone decomposition is detected in the ozone supply device.
されていることを特徴とする請求項１記載のオゾン供給
装置。2. The ozone supply device according to claim 1, wherein said filter is cooled by cooling means.
給される冷却水の一部を冷却源として使用することを特
徴とする請求項２記載のオゾン供給装置。3. The ozone supply device according to claim 2, wherein said cooling means uses a part of the cooling water supplied to said ozone generator as a cooling source.
ィルターを備えていることを特徴とする請求項１記載の
オゾン供給装置。4. The ozone supply apparatus according to claim 1, wherein the bypass path includes a filter for removing fine powder.
るためのフィルターを設置するとともに、該フィルター
部分でオゾンの分解を検知したときには、該フィルター
をバイパスする経路にオゾンの流れを切換えることを特
徴とするオゾン供給方法。5. A filter for removing fine powder is installed on the downstream side of the ozone generator, and when the decomposition of ozone is detected in the filter portion, the flow of ozone is switched to a path bypassing the filter. Ozone supply method characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000242960A JP2002053309A (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Device and method for supplying ozone |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000242960A JP2002053309A (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Device and method for supplying ozone |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002053309A true JP2002053309A (en) | 2002-02-19 |
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| JP2000242960A Pending JP2002053309A (en) | 2000-08-10 | 2000-08-10 | Device and method for supplying ozone |
Country Status (1)
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|---|---|
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Cited By (5)
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-
2000
- 2000-08-10 JP JP2000242960A patent/JP2002053309A/en active Pending
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