JP2002043806A - 電子部品の特性調整方法 - Google Patents

電子部品の特性調整方法

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JP2002043806A
JP2002043806A JP2000219075A JP2000219075A JP2002043806A JP 2002043806 A JP2002043806 A JP 2002043806A JP 2000219075 A JP2000219075 A JP 2000219075A JP 2000219075 A JP2000219075 A JP 2000219075A JP 2002043806 A JP2002043806 A JP 2002043806A
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Takahiro Okada
貴浩 岡田
Yasumasa Ishihara
甚誠 石原
Hideyuki Kato
英幸 加藤
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201Filters for transverse electromagnetic waves
    • H01P1/205Comb or interdigital filters; Cascaded coaxial cavities
    • H01P1/2056Comb filters or interdigital filters with metallised resonator holes in a dielectric block

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 知識ベースに基づいて推論して調整箇所を決
定する方法による問題や、回路定数を入力とする回路シ
ミュレータを用いることによる問題を解消して、準備段
階での作業量を削減し、多品種の電子部品にも適用可能
とし、さらに、等価回路で完全な表現ができないような
構造のフィルタなどについても容易且つ確実に所定の特
性が得られるようにした電子部品の特性調整方法を提供
する。 【解決手段】 誘電体フィルタの所定項目の特性を測定
し、誘電体フィルタの所定の複数の調整箇所を設計値か
ら変化させるとともに、変化後の構造パラメータによる
フィルタ特性を電磁界シミュレーションにより求め、フ
ィルタ特性が測定による特性値に所定の誤差範囲内に近
づくのに要するだけの、調整箇所の設計値からの変化量
を求め、その変化量分だけ該当調整箇所の調整を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、所定調整箇所の
寸法などの調整によって特性が変化する電子部品の特性
調整方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、誘電体ブロックに所定の電極膜を
形成して成るフィルタの特性を調整するために、作業者
が手作業によって調整を行う方法では、試行錯誤的な調
整を行ってその調整ノウハウを得てから、実際の作業担
当者を指導したりしていたため、実際の調整作業を開始
するまで時間が掛かったり、歩留まりが低下するおそれ
があった。そこで、これらの問題に対処するために、
特開平4−236505号、特開平9−326615
号、特開平10−171773号が出願されている。
【0003】はフィルタの反射特性から、知識ベース
に基づいて推論を行い、調整箇所を決定するもの、は
フィルタ特性から、ファジィ推論により調整箇所を決定
するもの、は回路シミュレータにより調整箇所を特定
し、更にニューラルネットワークにより調整ミスを減少
させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
〜に示されている方法では、次のような問題により調
整ミスが生じたり、歩留まりが低下する場合があった。
【0005】(1)知識ベースおよび推論ルールを作成
するのに時間がかかり、また、ある1品種に対応できて
も、他の製品には流用できない。
【0006】(2)ファジィ推論やニューラルネットワ
ークなどは、その学習に時間がかかる。
【0007】(3)共振器やその他の素子が互いに干渉
し合っているような構造のフィルタにおいては、等価回
路で完全な表現ができない、または非常に複雑な等価回
路となるため、回路定数を入力とする回路シミュレータ
による方法では調整ミスが発生するおそれがある。ま
た、多数の回路定数の組み合わせを考える必要があるた
め、実際の調整が行えるようになるまで、多くの作業が
必要となる。
【0008】この発明の目的は、上述の各種問題を解消
して、容易且つ確実に所定の特性が得られるようにした
電子部品の特性調整方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、電子部品の
所定項目の特性を測定する特性測定ステップと、前記電
子部品の所定の複数箇所の寸法である構造パラメータの
うち調整箇所を、設計値から変化させたときの、当該変
化後の構造パラメータによる前記電子部品の前記所定項
目の特性値を電磁界シミュレーションにより求め、前記
所定項目の特性値が前記測定による特性値に、所定誤差
範囲内に近づくに要するだけの、前記調整箇所の設計値
からの変化量を求める変化量抽出ステップと、当該変化
量分だけ前記調整箇所の調整を行う調整ステップとによ
って電子部品の特性調整を行う。このように、構造パラ
メータを入力値とする電磁界シミュレーションにより電
子部品の所定項目の特性値を求めるようにし、この構造
パラメータと特性値との対応関係を利用することによ
り、調整前の電子部品の実際の特性値から、その電子部
品の特性値を設計値に近づけるための調整量を求めるよ
うにする。
【0010】また、この発明は、前記電子部品の所定の
複数個所の寸法である構造パラメータのうち調整箇所
を、設計値から変化させるとともに、当該変化後の構造
パラメータによる前記電子部品の前記所定項目の特性値
を電磁界シミュレータを用いて求め、前記調整箇所の変
化に対する前記所定項目の特性値の設計上の特性値から
のずれの関係を予めテーブル化しておき、前記変化量抽
出ステップでは、設計上の特性値に対する測定による測
定値とのずれに相当する構造パラメータの変化量を上記
テーブル化したデータから求める。このように、構造パ
ラメータの変化に対する特性値の、設計上の特性値から
のずれの関係を予め求めておくことによって、必要な構
造パラメータの変化量すなわち調整量を速やかに求める
ようにする。
【0011】また、この発明は前記調整ステップで、求
められた構造パラメータの変化量より一回の調整量を少
なく設定し、特性測定ステップ、変化量抽出ステップ、
および調整ステップを順に繰り返して、電子部品の特性
値を設計上の特性値に近付ける。これにより多くの箇所
が設計値より寸法がずれていた場合にも、徐々に設計上
の特性値に近付けるように調整できるようにする。ま
た、調整過多による調整ミスを削減する。
【0012】
【発明の実施の形態】第1の実施形態に係る誘電体フィ
ルタの特性調整方法を図1〜図4を参照して説明する。
図1は誘電体フィルタの斜視図である。図1において1
は、全体に略直方体形状の誘電体ブロックであり、その
内部に、内面に内導体を形成した内導体形成孔2a,2
b,2cを設けている。誘電体ブロック1の外面には、
図における左手前の端面を開放面として、残る五面に外
導体4を形成している。また誘電体ブロック1の外面に
外導体4から分離した入出力電極5a,5cを形成して
いる。誘電体ブロック1の上記開放面には、内導体形成
孔2a,2cの内面に形成した内導体から内導体形成孔
2bの開口部方向に伸びる開放面電極3a,3cを形成
している。この開放面電極3aと内導体形成孔2bの内
導体の開放端付近との間に静電容量を生じさせている。
同様に開放面電極3cと内導体形成孔2bの内導体の開
放端付近との間に静電容量を生じさせている。また、入
出力電極5a,5cと内導体形成孔2a,2cの開放端
付近との間にそれぞれ静電容量を生じさせていて、これ
らを入出力の結合容量として用いるようにしている。
【0013】図1に示した構造により、一端開放、他端
短絡の1/4波長共振器を3つ構成し、隣接する共振器
間を、それらの共振器の開放端同士の静電容量により結
合させた三段の共振器による誘電体フィルタを構成して
いる。
【0014】上記誘電体フィルタの特性は、誘電体ブロ
ック1の比誘電率、誘電体ブロック1の各部の寸法、お
よびその誘電体ブロック1に形成する導体および電極の
寸法によって決定される。すなわち、所定のフィルタ特
性を得るための、誘電体ブロック1の材料の選定、その
各部の寸法および開放面電極3a,3c、入出力電極5
a,5cの各部の寸法を予め設計する。しかし実際に
は、誘電体ブロック1の比誘電率、誘電体ブロック1の
各部の寸法、および開放面電極3a,3c、入出力電極
5a,5cの形成寸法には製造上のばらつきが必ず生じ
るため、所定のフィルタ特性を得るための調整作業は必
須のものとなる。この例では、説明を簡単にするため、
開放面電極3a,3cの内導体形成孔2b方向へ延びる
寸法a1,a2の調整のみによって特性調整を行うもの
とする。
【0015】図2は上記誘電体フィルタの特性例を示す
図である。ここでS21は通過特性S11は反射特性で
ある。破線は設計上の特性であり、フィルタの特性調整
の際には、この特性が調整目標となる。実線は特性調整
前の実際の誘電体フィルタの測定による特性例を示して
いる。
【0016】図3は上記誘電体フィルタの特性調整装置
の構成を示すブロック図である。ここで、10は調整対
象である誘電体フィルタである。ネットワークアナライ
ザ11は誘電体フィルタ10の通過特性および反射特性
を測定する。制御装置12は後述する手順に従って、所
定のフィルタ特性が得られるように、レーザ加工機13
を制御する。レーザ加工機13は誘電体フィルタ10に
おける図1に示した開放面電極3a,3cのトリミング
によって、その寸法a1,a2を調整する。
【0017】図4および図5は図3に示した制御装置1
2の処理手順を示すフローチャートである。図4は特性
調整のための全体の処理手順を示すものであり、まずネ
ットワークアナライザ11によって誘電体フィルタ10
の通過特性および反射特性を所定の周波数範囲に亘って
測定する(s1)。これにより、例えば図2に示した実
線のような特性データを得る。
【0018】次に、このフィルタ特性を調整によって図
2に示した破線の様な特性とするに要する調整箇所およ
びその調整量を決定する(s2)。そして、該当の調整
箇所を必要な調整量だけ調整する。図1に示した例で
は、開放面電極3a,3cの寸法a1,a2の何れか一
方または両方を所定量トリミングする(s3)。
【0019】図5は図4におけるステップs2の処理手
順を示すフローチャートである。まず誘電体フィルタの
構造パラメータのうち、トリミング対象とする構造パラ
メータ(この例では、上記a1,a2の寸法)を所定量
変更する(s21)。例えばa1を所定量だけ短くした
ときのフィルタ特性を3次元電磁界シミュレーションに
より解析する(s22)。例えば有限要素法(FE
M)、有限差分時間領域分割法(FDTD)等の、任意
の構造・形状を与えることによって、その特性が計算で
きる解析手法を用いる。
【0020】続いて、上記変更後の構造パラメータによ
る特性と、測定による実際の特性との差を求める(s2
3)。例えば通過帯域の中心周波数、中心周波数におけ
る反射損失、中心周波数における挿入損失、通過域の高
域側または低域側に隣接する所定周波数における挿入損
失などについて、それぞれ設計値との差を求める。これ
らの差がすべて所定の誤差範囲内となるまで、上記構造
パラメータの変更、電磁界シミュレーションによる解
析、および変更後の構造パラメータによる特性と測定に
よる特性値との差を求める処理を繰り返す(s24→s
21→s22→s23→ …)。
【0021】上記ステップs21における構造パラメー
タの変更は、全ての微少ステップ毎の組み合わせについ
て変更するようにしても良いが、測定による特性値か
ら、調整対象とならない箇所が明らかである場合には、
その箇所についての変更処理をスキップするようにして
も良い。
【0022】次に、第2の実施形態に係る誘電体フィル
タの特性調整方法を図6〜図8を参照して説明する。図
6は特性調整の全体の処理手順を示すフローチャートで
ある。まず、第1の実施形態の場合と同様にして、誘電
体フィルタの特性を測定する(s1)。続いて、測定に
より求めた誘電体フィルタの特性値と設計上の特性値と
のずれを求め、そのずれに応じた各調整箇所の調整量を
テーブルから求める(s2)。そして、上記各調整箇所
について求めた調整量だけ、レーザートリミングにより
調整する(s3)。
【0023】図7は上記テーブルデータの作成手順を示
すフローチャートである。まず構造パラメータを設計値
から所定量だけ変更し、そのときのフィルタ特性を電磁
界シミュレーションにより解析する(s10→s1
1)。そして、この構造パラメータとフィルタ特性との
関係をテーブルデータとして書き込む(s12)。上記
構造パラメータの変更、電磁界シミュレーションおよび
テーブルデータへの書き込みの処理を順次繰り返すこと
によって、複数の調整箇所についてそれぞれ最小単位量
づつ調整を行うとしたときの、構造パラメータの全ての
組み合わせについて、調整量とその調整によって得られ
るフィルタ特性との関係を示すテーブルデータを作成す
る。
【0024】図8は二つの調整箇所の寸法a1,a2に
ついてのテーブルデータの例を示す図である。ここで、
図1に示した開放面電極3aの寸法a1をx0,x1,
x2の3段階に変化させ、またもう一方の開放面電極3
cの寸法a2をy0,y1,y2の3段階に変化させた
ときのフィルタ特性である。例えばa1をx1、a2を
y0だけ大きくすれば(トリミングの逆の操作をすれ
ば)、シミュレーションによるフィルタ特性は特性Bで
表されるものとなる。従って、図6のステップs1で求
めた誘電体フィルタの特性値に最も近い特性値が、仮に
上記特性Bであったなら、開放端電極3aをx1だけト
リミングし、開放端電極3cをy0だけトリミングすれ
ばよい。すなわち図8に示したテーブルデータは、特性
調整前の各特性毎に、設計上の特性値を得るに要する調
整量を表すデータとして用いる。
【0025】尚、以上に示した例では、調整箇所が2カ
所であるので2次元のテーブルデータとなったが、テー
ブルデータの次元数は調整箇所の数に対応する。
【0026】また、以上に示した例では、誘電体ブロッ
クを用いた誘電体フィルタにおいて、開放面の電極をト
リミングする事によって特性調整を行うようにしたが、
入出力電極を調整箇所とし、その所定方向の寸法を調整
量としてもよい。
【0027】また、電極寸法を調整対象にするだけでな
く、例えば誘電体ブロックの開放面の所定箇所の誘電体
部分を切削することにより、あるいは誘電体ブロックの
短絡面側の外導体を部分的に切削することによって特性
調整を行う場合にも同様に適用できる。
【0028】さらに、以上に述べた例では、レーザトリ
ミングによって特性調整を行うようにしたが、リュータ
(回転砥石)を用いて、誘電体フィルタの電極および誘
電体部分を切削することによって特性調整を行ってもよ
い。
【0029】
【発明の効果】この発明によれば、調整前の電子部品の
実際の特性値から、その電子部品の特性値を設計値に近
づけるための調整量を的確に求めることができ、所定の
特性が容易且つ確実に得られる。
【0030】また、この発明によれば、構造パラメータ
の変化に対する特性値の、設計上の特性値からのずれの
関係を予め求めておくことによって、実際の調整時に必
要な調整量を速やかに求めることができ、調整に要する
時間が短縮化できる。
【0031】また、この発明によれば、調整ステップ
で、求められた構造パラメータの変化量より一回の調整
量を少なく設定し、特性測定ステップ、変化量抽出ステ
ップ、および調整ステップを順に繰り返して、電子部品
の特性値を設計上の特性値に近付けることにより、多く
の箇所が設計値より寸法がずれていた場合にも、徐々に
設計上の特性値に近付けるように調整でき、また、調整
過多による調整ミスが削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る誘電体フィルタの斜視図
【図2】同誘電体フィルタの特性例を示す図
【図3】誘電体フィルタの特性調整装置の構成を示すブ
ロック図
【図4】第1の実施形態に係る特性調整方法の処理手順
を示すフローチャート
【図5】図4におけるステップs2の処理手順を示すフ
ローチャート
【図6】第1の実施形態に係る特性調整方法の処理手順
を示すフローチャート
【図7】同特性調整方法で用いるテーブルデータの作成
手順を示すフローチャート
【図8】テーブルデータの例を示す図
【符号の説明】
1−誘電体ブロック 2−内導体形成孔 3−開放面電極 4−外導体 5−入出力電極 10−誘電体フィルタ
フロントページの続き (72)発明者 加藤 英幸 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5B046 AA08 JA10 5J006 HA03 HA15 HA25 JA01 LA11 MA04

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品の所定項目の特性を測定する特
    性測定ステップと、 前記電子部品の所定の複数箇所の寸法である構造パラメ
    ータのうち調整箇所を、設計値から変化させたときの、
    当該変化後の構造パラメータによる前記電子部品の前記
    所定項目の特性値を電磁界シミュレーションにより求
    め、前記所定項目の特性値が前記測定による特性値に、
    所定誤差範囲内に近づくに要するだけの、前記調整箇所
    の設計値からの変化量を求める変化量抽出ステップと、 当該変化量分だけ前記調整箇所の調整を行う調整ステッ
    プと、から成る電子部品の特性調整方法。
  2. 【請求項2】 前記電子部品の所定の複数個所の寸法で
    ある構造パラメータのうち調整箇所を、設計値から変化
    させるとともに、当該変化後の構造パラメータによる前
    記電子部品の前記所定項目の特性値を電磁界シミュレー
    タを用いて求め、前記調整箇所の変化に対する前記所定
    項目の特性値の設計上の特性値からのずれの関係を予め
    テーブル化しておき、 前記変化量抽出ステップで、前記設計上の特性値に対す
    る前記測定による特性値のずれに相当する前記調整箇所
    の変化量を前記テーブル化したデータから求めるように
    した請求項1に記載の電子部品の特性調整方法。
  3. 【請求項3】 前記調整ステップで前記調整箇所の変化
    量より1回の調整量を少なく設定し、前記特性測定ステ
    ップ、前記変化量抽出ステップ、および前記調整ステッ
    プを順に繰り返して前記電子部品の特性値を設計上の特
    性値に近づける請求項1または2に記載の電子部品の特
    性調整方法。
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