JP2002039723A - Film inspection system and film drying device - Google Patents
Film inspection system and film drying deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミックスラ
リーをシート状に成形したセラミックグリーンシートな
どの塗膜の表面状態を調べるための塗膜検査システム及
び塗膜乾燥装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating film inspection system and a coating film drying apparatus for examining the surface condition of a coating film such as a ceramic green sheet formed by forming a ceramic slurry into a sheet.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
塗膜（例えばセラミックグリーンシート）を、乾燥炉を
通過させることにより連続的に乾燥させる場合におい
て、被乾燥物であるセラミックグリーンシート（塗膜）
の乾燥の状態を調べる方法としては、目で見て調べる目
視観察や、指などで触って調べる指触観察などの方法が
適用されている。2. Description of the Related Art
When a coating film (for example, a ceramic green sheet) is continuously dried by passing through a drying furnace, a ceramic green sheet (a coating film) to be dried is used.
As a method for examining the state of drying, methods such as visual observation for visual inspection and finger touch observation for touching with a finger or the like are applied.
【０００３】例えば、図５に示すように、キャリアフィ
ルム５１上に、シート成形されたセラミックグリーンシ
ート（塗膜）５２を、ベルトコンベア機構などの搬送手
段５３によりキャリアフィルム５１とともに連続的に搬
送して、温風を吹き出す給気ノズル６２，内部の雰囲気
気体を排出する排気ノズル６３、温度センサ６４などを
備えた乾燥炉５４内を通過させることにより連続的に乾
燥させる場合、乾燥炉５４内を搬送されているセラミッ
クグリーンシート５２の乾燥状態は、通常、目視観察や
指触観察などの方法により調べており、必ずしも精度よ
く乾燥状態を調べることができていないのが実情であ
る。For example, as shown in FIG. 5, a ceramic green sheet (coated film) 52 formed into a sheet is continuously conveyed on a carrier film 51 together with the carrier film 51 by conveying means 53 such as a belt conveyor mechanism. When drying is continuously performed by passing through a drying furnace 54 provided with an air supply nozzle 62 that blows out hot air, an exhaust nozzle 63 that discharges atmospheric gas inside, and a temperature sensor 64, the inside of the drying furnace 54 The dried state of the conveyed ceramic green sheet 52 is usually checked by a method such as visual observation or finger touch observation, and the actual situation is that the dried state cannot always be checked accurately.
【０００４】なお、バッチ式の乾燥炉で乾燥させる場合
には、重量法などの方法により定量的に乾燥状態を確認
することも可能であるが、図５の例のように、セラミッ
クグリーンシート５２を連続的に乾燥炉５４に供給して
乾燥させるような連続方式の場合には、重量法を適用す
ることは困難である。In the case of drying in a batch type drying oven, it is possible to quantitatively check the drying state by a method such as a gravimetric method. However, as shown in FIG. Is continuously applied to the drying furnace 54 for drying, it is difficult to apply the gravimetric method.
【０００５】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、連続的に搬送されている塗膜の表面状態を精度よ
く調べることが可能な塗膜検査システム及び塗膜を連続
的に乾燥炉に供給して乾燥させるにあたって、搬送され
ている塗膜の乾燥状態を客観的、定量的に評価すること
が可能な検査機構を備えた塗膜乾燥装置を提供すること
を目的とする。[0005] The present invention solves the above-mentioned problems, and a coating film inspection system capable of accurately examining the surface state of a coating film being continuously conveyed, and a coating film continuous drying oven. It is an object of the present invention to provide a coating film drying apparatus provided with an inspection mechanism capable of objectively and quantitatively evaluating the drying state of a coating film being conveyed when supplying and drying the coating film.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の塗膜検査システムは、搬送
されている塗膜の表面に電磁波を照射する電磁波照射素
子と、塗膜の表面から反射する電磁波（反射波）を検出
する反射波検出素子とを備えた表面状態検出センサを用
い、搬送されている塗膜の表面に電磁波を照射し、塗膜
の表面から反射する電磁波を反射波検出素子により検出
することにより、塗膜の表面状態を連続的にモニタリン
グすることを特徴としている。In order to achieve the above object, a coating film inspection system according to the present invention (claim 1) comprises an electromagnetic wave irradiating element for irradiating a surface of a coating film being transported with an electromagnetic wave, Using a surface condition detection sensor equipped with a reflected wave detecting element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the film, irradiating the surface of the film being conveyed with electromagnetic waves and reflecting off the surface of the film It is characterized in that the surface state of the coating film is continuously monitored by detecting the electromagnetic wave with the reflected wave detecting element.
【０００７】電磁波照射素子と、塗膜の表面から反射す
る電磁波（反射波）を検出する反射波検出素子とを備え
た表面状態検出センサを用い、搬送されている塗膜の表
面に電磁波を照射し、塗膜の表面から反射する電磁波を
反射波検出素子により検出することにより、塗膜の表面
状態を連続的にモニタリングして、その特性を客観的、
定量的に評価することが可能になる。[0007] A surface state detecting sensor having an electromagnetic wave irradiating element and a reflected wave detecting element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the coating film is used to irradiate the surface of the conveyed coating film with the electromagnetic wave. Then, by detecting the electromagnetic wave reflected from the surface of the coating film by the reflected wave detecting element, the surface state of the coating film is continuously monitored, and the characteristics thereof are objectively determined.
Quantitative evaluation becomes possible.
【０００８】また、請求項２の塗膜検査システムは、塗
膜の表面から反射する電磁波を反射波検出素子により検
出してモニタリングする塗膜の表面状態が、塗膜の乾燥
状態、塗膜の表面粗さ、塗膜の温度、及び塗膜の膜厚か
らなる群より選ばれる少なくとも１つであることを特徴
としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a coating film inspection system, wherein a surface state of the coating film, which is monitored by detecting an electromagnetic wave reflected from the surface of the coating film by a reflected wave detecting element, is a dry state of the coating film, It is characterized by being at least one selected from the group consisting of surface roughness, coating film temperature, and coating film thickness.
【０００９】塗膜の乾燥状態、塗膜の表面粗さ、塗膜の
温度、及び塗膜の膜厚からなる群より選ばれる少なくと
も１つをモニタリングするような場合に、本願発明を適
用することにより、連続的に搬送される塗膜の表面状態
を確実に認識することが可能になり、有意義である。す
なわち、塗膜の乾燥状態や表面粗さは、塗膜の表面の光
沢度などに関係することから、反射波の強度を調べるこ
とにより、塗膜の乾燥状態や塗膜の表面粗さを検出する
ことができる。また、塗膜の温度については、例えば、
電磁波として、赤外線などを用い、放射されている赤外
線のエネルギー量を調べる方法などにより検出すること
が可能である。さらに、塗膜の膜厚については、Ｘ線、
ベータ線、レーザー光線などを用いる方法により検出す
ることができる。The present invention is applied to a case where at least one selected from the group consisting of a dried state of a coating film, a surface roughness of the coating film, a temperature of the coating film, and a film thickness of the coating film is monitored. This makes it possible to reliably recognize the surface state of the coating film that is continuously conveyed, which is significant. That is, since the dry state and surface roughness of the coating are related to the glossiness of the surface of the coating, etc., the intensity of the reflected wave is examined to detect the drying state and the surface roughness of the coating. can do. Also, regarding the temperature of the coating film, for example,
The electromagnetic waves can be detected by using infrared rays or the like and examining the amount of energy of the emitted infrared rays. Further, regarding the film thickness of the coating film, X-ray,
It can be detected by a method using a beta ray, a laser beam, or the like.
【００１０】また、請求項３の塗膜検査システムは、前
記電磁波が、レーザ光線、白色光線、Ｘ線、ベータ線、
マイクロ波、赤外線、及び紫外線からなる群より選ばれ
る少なくとも１つであることを特徴としている。Further, in the coating film inspection system according to a third aspect, the electromagnetic wave is a laser beam, a white beam, an X-ray, a beta ray,
It is at least one selected from the group consisting of microwaves, infrared rays, and ultraviolet rays.
【００１１】本願発明においては、電磁波として、レー
ザ光線、白色光線、Ｘ線、ベータ線、マイクロ波、赤外
線、及び紫外線からなる群より選ばれる少なくとも１つ
を用いることが可能であり、これらの電磁波を用いるこ
とにより、塗膜の表面状態を効率よく検査することが可
能になる。In the present invention, at least one selected from the group consisting of laser light, white light, X-rays, beta rays, microwaves, infrared rays, and ultraviolet rays can be used as the electromagnetic waves. By using, it is possible to efficiently inspect the surface state of the coating film.
【００１２】また、本願発明（請求項４）の塗膜乾燥装
置は、塗膜を乾燥させる乾燥炉と、塗膜を搬送して、前
記乾燥炉内を通過させる搬送手段と、前記乾燥炉内に配
設され、搬送されている塗膜の表面に電磁波を照射する
電磁波照射素子及び塗膜の表面から反射する電磁波（反
射波）を検出する反射波検出素子とを備えた表面状態検
出センサと、前記表面状態検出センサにより検出した塗
膜の表面状態についての情報から、塗膜の乾燥状態を求
める演算処理手段とを具備することを特徴としている。Further, the coating film drying apparatus of the present invention (claim 4) includes a drying furnace for drying the coating film, conveying means for conveying the coating film and passing through the drying furnace, A surface state detection sensor provided with an electromagnetic wave irradiating element for irradiating an electromagnetic wave to the surface of the coating film being transported and a reflected wave detecting element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the coating film; And an arithmetic processing means for obtaining a dry state of the coating film from information on the surface state of the coating film detected by the surface state detection sensor.
【００１３】塗膜を乾燥させる乾燥炉と、塗膜を搬送し
て、乾燥炉内を通過させる搬送手段と、乾燥炉内に配設
され、搬送されている塗膜の表面に電磁波を照射する電
磁波照射素子及び塗膜の表面から反射する電磁波を検出
する反射波検出素子とを備えた表面状態検出センサと、
表面状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態につ
いての情報から、塗膜の乾燥状態を求める演算処理手段
とを備えた構成とすることにより、乾燥炉内を連続的に
搬送される塗膜の乾燥状態を客観的、定量的に評価する
ことが可能になり、ひいては、乾燥状態に対応した乾燥
条件の調整を行うことにより、セラミックグリーンシー
トなどの塗膜の乾燥状態を高精度に制御することが可能
になる。A drying furnace for drying the coating film, conveying means for conveying the coating film and passing through the drying furnace, and irradiating electromagnetic waves to the surface of the coating film which is disposed in the drying furnace and is being conveyed. A surface state detection sensor including an electromagnetic wave irradiation element and a reflected wave detection element that detects an electromagnetic wave reflected from the surface of the coating film,
The information on the surface state of the coating film detected by the surface state detection sensor is provided with arithmetic processing means for obtaining the drying state of the coating film, whereby the coating film that is continuously conveyed in the drying oven It is possible to objectively and quantitatively evaluate the drying state, and by controlling the drying conditions corresponding to the drying state, it is possible to control the drying state of the coating film such as the ceramic green sheet with high precision. Becomes possible.
【００１４】また、請求項５の塗膜乾燥装置は、前記表
面状態検出センサを複数個、塗膜の搬送方向に所定の間
隔をおいて、前記乾燥炉内に配設することにより、各表
面状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態につい
ての情報から、乾燥炉内の塗膜の複数の位置における乾
燥状態を検出するようにしたことを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a coating film drying apparatus, wherein a plurality of the surface condition detection sensors are provided in the drying furnace at predetermined intervals in a coating film transport direction. The drying state at a plurality of positions of the coating film in the drying furnace is detected from the information on the surface state of the coating film detected by the state detection sensor.
【００１５】表面状態検出センサを複数個、塗膜の搬送
方向に所定の間隔をおいて、乾燥炉内に配設することに
より、各表面状態検出センサにより検出した塗膜の表面
状態についての情報から、乾燥炉内における塗膜の複数
の位置における乾燥状態を検出することが可能になり、
塗膜の乾燥状態を効率よく制御するために必要な情報を
得ることが可能になる。By arranging a plurality of surface condition detection sensors in a drying oven at predetermined intervals in the coating film transport direction, information on the surface condition of the coating film detected by each surface condition detection sensor is obtained. From, it becomes possible to detect the drying state at a plurality of positions of the coating film in the drying furnace,
It is possible to obtain information necessary for efficiently controlling the drying state of the coating film.
【００１６】また、請求項６の塗膜乾燥装置は、前記表
面状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態から、
前記演算処理手段により求めた塗膜の乾燥状態について
の情報に応じて、塗膜の乾燥に関与する諸条件のうちの
少なくとも１つの条件を制御することにより、塗膜の乾
燥状態を制御するようにしたことを特徴としている。Further, according to a sixth aspect of the present invention, there is provided a coating film drying apparatus comprising:
By controlling at least one condition among various conditions related to the drying of the coating film in accordance with the information on the drying state of the coating film obtained by the arithmetic processing means, the drying state of the coating film is controlled. It is characterized by having.
【００１７】表面状態検出センサにより検出した塗膜の
表面状態から、演算処理手段により求めた塗膜の乾燥状
態についての情報に応じて、塗膜の乾燥に関与する条件
を制御することにより、塗膜の乾燥状態を効率よく制御
して、所望の特性を有する塗膜を確実に得ることが可能
になる。From the surface condition of the coating film detected by the surface condition detecting sensor, the condition relating to the drying of the coating film is controlled according to the information on the drying condition of the coating film obtained by the arithmetic processing means. By efficiently controlling the dry state of the film, it is possible to reliably obtain a coating film having desired characteristics.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the features of the present invention will be described in more detail by showing embodiments of the present invention.
【００１９】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態にかかる塗膜検査システムを適用した塗膜乾燥装置の
要部を示す断面図（キャリアフィルムの進行方向に直交
する方向の断面図）であり、図２はキャリアフィルムの
進行方向に沿って切断した断面図である。[First Embodiment] FIG. 1 is a cross-sectional view showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to an embodiment of the present invention is applied. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the traveling direction of the carrier film.
【００２０】この塗膜乾燥装置は、キャリアフィルム１
上に、シート成形されたセラミックグリーンシート（塗
膜）２を乾燥するための乾燥装置であって、乾燥炉１０
を構成する炉本体１１の内部には、加熱気体（温風）を
供給するための給気ノズル１２、炉本体１１内の雰囲気
を所定の割合で外部に排出する排気ノズル２２（図
２）、温度センサ１３、キャリアフィルム１とともにセ
ラミックグリーンシート２を搬送するための搬送手段１
４を構成する搬送手段構成部材（例えばサポートロール
１５など）が配設されているとともに、搬送されるセラ
ミックグリーンシート２の表面に電磁波を照射する電磁
波照射素子３と、セラミックグリーンシート２の表面か
ら反射する電磁波を検出する反射波検出素子４とを備え
た表面状態検出センサ５とが配設されている。なお、電
磁波照射素子３と、反射波検出素子４は、保持治具６に
より、所定の入射角、反射角が得られるように所定の位
置に所定の姿勢で保持されている。The coating film drying apparatus includes a carrier film 1
A drying apparatus for drying a ceramic green sheet (coating film) 2 on which a sheet is formed.
An air supply nozzle 12 for supplying a heating gas (warm air), an exhaust nozzle 22 for discharging the atmosphere inside the furnace main body 11 at a predetermined rate to the outside at a predetermined rate (FIG. 2), Conveying means 1 for conveying ceramic green sheet 2 together with temperature sensor 13 and carrier film 1
In addition to the arrangement of conveying means (for example, a support roll 15) constituting the electromagnetic wave irradiating element 3 for irradiating an electromagnetic wave to the surface of the ceramic green sheet 2 to be conveyed and the surface of the ceramic green sheet 2, A surface state detection sensor 5 including a reflected wave detection element 4 for detecting a reflected electromagnetic wave is provided. The electromagnetic wave irradiation element 3 and the reflected wave detection element 4 are held by a holding jig 6 at a predetermined position and in a predetermined posture so as to obtain a predetermined incident angle and a predetermined reflection angle.
【００２１】また、表面状態検出センサ５（を構成する
反射波検出素子４）は、表面状態検出センサ５より検出
したセラミックグリーンシート２の表面状態についての
情報から、セラミックグリーンシート２の乾燥状態を求
める演算処理手段７に接続されている。The surface state detecting sensor 5 (reflected wave detecting element 4 constituting the surface state detecting sensor 5) determines the dry state of the ceramic green sheet 2 based on the information on the surface state of the ceramic green sheet 2 detected by the surface state detecting sensor 5. It is connected to the arithmetic processing means 7 to determine.
【００２２】なお、この実施形態１では、電磁波照射素
子３として、レーザ光線を発生するレーザ発光素子が用
いられており、反射波検出素子４として、セラミックグ
リーンシート２から反射するレーザ光線を受光する受光
素子が用いられている。すなわち、この実施形態１の表
面状態検出センサ５は、セラミックグリーンシート２が
乾燥することにより、表面の光沢度が変化することを利
用して、セラミックグリーンシート２からの反射波（反
射レーザ光線）の強度を、受光素子（反射波検出素子）
４で検出し、予め、調べておいた、反射レーザ光線の強
さと、セラミックグリーンシート２の乾燥状態の関係か
ら、セラミックグリーンシート２の乾燥状態を検出する
ことができるように構成されている。In the first embodiment, a laser light emitting element for generating a laser beam is used as the electromagnetic wave irradiating element 3, and a laser beam reflected from the ceramic green sheet 2 is received as the reflected wave detecting element 4. A light receiving element is used. That is, the surface state detection sensor 5 of the first embodiment utilizes the fact that the glossiness of the surface changes when the ceramic green sheet 2 dries, and the reflected wave (reflected laser beam) from the ceramic green sheet 2 is used. The intensity of the light is detected by the light receiving element (reflected wave detection element)
4, the dried state of the ceramic green sheet 2 can be detected from the relationship between the intensity of the reflected laser beam and the dried state of the ceramic green sheet 2 which has been checked in advance.
【００２３】上記のように構成された塗膜乾燥装置を用
いてセラミックグリーンシート２の乾燥を行う場合、搬
送手段１４により、キャリアフィルム１とともにセラミ
ックグリーンシート２が連続的に搬送されて乾燥炉１０
内を通過する際に、給気ノズル１２から吹き出される温
風により、セラミックグリーンシート２から溶剤が蒸発
し、乾燥が行われる。When the ceramic green sheet 2 is dried using the coating film drying apparatus constructed as described above, the ceramic green sheet 2 is continuously conveyed together with the carrier film 1 by the conveying means 14 and the drying furnace 10 is dried.
When the air passes through the inside, the solvent evaporates from the ceramic green sheet 2 by the warm air blown out from the air supply nozzle 12, and drying is performed.
【００２４】そして、所定の位置において、表面状態検
出センサ５を構成するレーザ発光素子（電磁波照射素
子）３からセラミックグリーンシート２に照射され、セ
ラミックグリーンシート２の表面で反射したレーザ光線
が、受光素子（反射波検出素子）４で検出され、予め、
調べておいた、反射レーザ光線の強さと、セラミックグ
リーンシート２の乾燥状態の関係から、演算処理手段７
により、セラミックグリーンシート２の乾燥状態が算出
される。At a predetermined position, a laser light emitting element (electromagnetic wave irradiating element) 3 constituting the surface state detecting sensor 5 irradiates the ceramic green sheet 2 with a laser beam, and the laser beam reflected on the surface of the ceramic green sheet 2 is received. Element (reflected wave detection element) 4
Based on the relationship between the intensity of the reflected laser beam and the dried state of the ceramic green sheet 2 which has been examined, the arithmetic processing means 7
Thus, the dry state of the ceramic green sheet 2 is calculated.
【００２５】その結果、乾燥炉１０内の所定の位置にお
けるセラミックグリーンシート２の乾燥状態を客観的、
定量的に評価することが可能になり、セラミックグリー
ンシート２の乾燥状態を高精度に制御することが可能に
なる。As a result, the drying state of the ceramic green sheet 2 at a predetermined position in the drying furnace 10 is objectively determined.
Quantitative evaluation can be performed, and the dry state of the ceramic green sheet 2 can be controlled with high accuracy.
【００２６】［実施形態２］図３は本願発明の他の実施
形態にかかる塗膜検査システムを適用した塗膜乾燥装置
の要部を示す図（キャリアフィルムの進行方向に直交す
る方向の断面図）であり、図４はキャリアフィルムの進
行方向に沿って切断した断面図である。[Embodiment 2] FIG. 3 is a diagram showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to another embodiment of the present invention is applied (a cross-sectional view in a direction perpendicular to the traveling direction of the carrier film). FIG. 4 is a cross-sectional view cut along the traveling direction of the carrier film.
【００２７】この塗膜乾燥装置も 本願発明の一実施形
態にかかる塗膜検査システムを適用した塗膜乾燥装置で
あり、キャリアフィルム１上に、シート成形されたセラ
ミックグリーンシート（塗膜）２を乾燥するための乾燥
装置であって、乾燥炉１０を構成する炉本体１１の内部
には、加熱気体（温風）を供給するための給気ノズル１
２、炉本体１１内の雰囲気を所定の割合で外部に排出す
る排気ノズル２２、温度センサ１３、キャリアフィルム
１とともにセラミックグリーンシート２を搬送するため
の搬送手段１４を構成する搬送手段構成部材（例えばサ
ポートロール１５など）が配設されている。This coating film drying apparatus is also a coating film drying apparatus to which the coating film inspection system according to one embodiment of the present invention is applied, and a ceramic green sheet (coated film) 2 formed on a carrier film 1 is formed. An air supply nozzle 1 for supplying a heating gas (warm air) is provided inside a furnace body 11 constituting a drying furnace, which is a drying device for drying.
2. Conveying means constituting members (for example, a conveying means 14 for conveying the ceramic green sheet 2 together with an exhaust nozzle 22, a temperature sensor 13, and the carrier film 1 for discharging the atmosphere in the furnace body 11 at a predetermined ratio to the outside (for example, Support rolls 15).
【００２８】そして、この実施形態２の塗膜乾燥装置に
おいては、搬送されるセラミックグリーンシート２の表
面に電磁波を照射する電磁波照射素子３と、セラミック
グリーンシート２の表面から反射する電磁波（反射波）
を検出する反射波検出素子４とを備えた表面状態検出セ
ンサ５が複数個（この実施形態では４個）、セラミック
グリーンシート２の搬送方向に所定の間隔をおいて、乾
燥炉１０内に配設されており、各表面状態検出センサ５
により検出したセラミックグリーンシート２の表面状態
についての情報から、乾燥炉１０内のセラミックグリー
ンシート２の複数の位置における乾燥状態を検出するこ
とができるように構成されている。In the coating film drying apparatus according to the second embodiment, the electromagnetic wave irradiating element 3 for irradiating the surface of the ceramic green sheet 2 with an electromagnetic wave and the electromagnetic wave reflected from the surface of the ceramic green sheet 2 (reflected wave) )
(Four in this embodiment) are provided in the drying furnace 10 at predetermined intervals in the direction in which the ceramic green sheet 2 is conveyed. Each surface condition detection sensor 5
The drying state at a plurality of positions of the ceramic green sheet 2 in the drying furnace 10 can be detected from the information on the surface state of the ceramic green sheet 2 detected by the method.
【００２９】なお、この実施形態２の塗膜乾燥装置にお
いても、各電磁波照射素子３としてはレーザ発光素子が
用いられ、各反射波検出素子４としてはセラミックグリ
ーンシート２の表面から反射するレーザ光線を受光する
受光素子が用いられている。In the coating film drying apparatus according to the second embodiment, a laser light emitting element is used as each electromagnetic wave irradiating element 3 and a laser beam reflected from the surface of the ceramic green sheet 2 is used as each reflected wave detecting element 4. Is used.
【００３０】なお、上記実施形態１の場合と同様に、各
電磁波照射素子３と、各反射波検出素子４は、保持治具
６により、所定の入射角、反射角が得られるように所定
の位置に所定の姿勢で固定されている。また、表面状態
検出センサ５（を構成する反射波検出素子４）は、表面
状態検出センサ５により検出したセラミックグリーンシ
ート２の表面状態についての情報から、セラミックグリ
ーンシート２の乾燥状態を求める演算処理手段７に接続
されている。As in the case of the first embodiment, each of the electromagnetic wave irradiation elements 3 and each of the reflected wave detection elements 4 are fixed by the holding jig 6 so that a predetermined incident angle and a predetermined reflection angle are obtained. It is fixed in a predetermined posture at the position. The surface state detection sensor 5 (reflected wave detection element 4 constituting the surface state detection sensor 5) calculates the dry state of the ceramic green sheet 2 from the information on the surface state of the ceramic green sheet 2 detected by the surface state detection sensor 5. Connected to the means 7.
【００３１】また、この実施形態２においては、表面状
態検出センサ５により検出したセラミックグリーンシー
ト２の乾燥状態についての情報に応じて、セラミックグ
リーンシート２の乾燥に寄与する条件（例えば、ここで
は各給気ノズル１２から吹き出される温風の温度）を制
御する制御手段２０を備えている。In the second embodiment, the conditions (for example, in this case, each condition that contributes to the drying of the ceramic green sheet 2) are determined according to the information on the drying state of the ceramic green sheet 2 detected by the surface state detecting sensor 5. Control means 20 for controlling the temperature of hot air blown from the air supply nozzle 12) is provided.
【００３２】上記のように構成された塗膜乾燥装置を用
いてセラミックグリーンシート２の乾燥を行うにあたっ
ては、搬送手段１４により、キャリアフィルム１ととも
にセラミックグリーンシート２が連続的に搬送されて乾
燥炉１０内を通過する際に、給気ノズル１２から吹き出
される温風により、セラミックグリーンシート２から溶
剤が蒸発し、乾燥が行われる。When the ceramic green sheet 2 is dried by using the coating film drying apparatus constructed as described above, the ceramic green sheet 2 is continuously transported together with the carrier film 1 by the transport means 14 and the drying furnace is used. When passing through the inside 10, the solvent is evaporated from the ceramic green sheet 2 by hot air blown out from the air supply nozzle 12, and drying is performed.
【００３３】そして、所定の複数の位置において、各表
面状態検出センサ５を構成するレーザ発光素子（電磁波
照射素子）３からセラミックグリーンシート２に照射さ
れ、セラミックグリーンシート２の表面で反射したレー
ザ光線が、受光素子（反射波検出素子）４で検出され、
予め、調べておいた、反射レーザ光線の強さと、セラミ
ックグリーンシート２の乾燥状態の関係から、演算処理
手段７により、乾燥炉１０内の複数の、所定の位置にお
けるセラミックグリーンシート２の乾燥状態が算出され
る。Then, at a plurality of predetermined positions, a laser beam emitted from a laser light emitting element (electromagnetic wave irradiating element) 3 constituting each surface state detection sensor 5 to the ceramic green sheet 2 and reflected on the surface of the ceramic green sheet 2 Is detected by the light receiving element (reflected wave detecting element) 4,
Based on the relationship between the intensity of the reflected laser beam and the dry state of the ceramic green sheet 2 which has been checked in advance, the arithmetic processing means 7 causes the dry state of the ceramic green sheet 2 at a plurality of predetermined positions in the drying furnace 10 to be calculated. Is calculated.
【００３４】そして、各位置におけるセラミックグリー
ンシート２の乾燥状態についての情報が、制御手段２０
に送られ、制御手段２０からの制御情報に基づいて、給
気ノズル１２から吹き出される温風の温度が制御され
る。その結果、各位置におけるセラミックグリーンシー
ト２の乾燥状態を確実に制御して、所望の乾燥状態のセ
ラミックグリーンシート２を確実に得ることが可能にな
る。Then, information on the dry state of the ceramic green sheet 2 at each position is transmitted to the control unit 20.
And the temperature of the hot air blown out from the air supply nozzle 12 is controlled based on the control information from the control means 20. As a result, it is possible to reliably control the drying state of the ceramic green sheet 2 at each position, and to reliably obtain the ceramic green sheet 2 in a desired dry state.
【００３５】なお、上記実施形態２においては、給気ノ
ズル１２から吹き出される温風の温度を制御することに
より、セラミックグリーンシート２の乾燥状態を制御す
るようにしているが、例えば、給気ノズル１２から吹き
出される温風の量を制御したり、搬送手段の搬送速度を
制御したりすることによっても、セラミックグリーンシ
ート２の乾燥状態を制御することが可能であり、乾燥状
態を制御するための条件としては種々の条件を任意に選
択することが可能である。In the second embodiment, the drying state of the ceramic green sheet 2 is controlled by controlling the temperature of the hot air blown from the air supply nozzle 12. The drying state of the ceramic green sheet 2 can also be controlled by controlling the amount of warm air blown from the nozzle 12 or controlling the conveying speed of the conveying unit, and controlling the drying state. Various conditions can be arbitrarily selected.
【００３６】また、上記実施形態１及び２では、電磁波
として、レーザ光線を用いてるが、その他にも、白色光
線、Ｘ線、ベータ線、マイクロ波、赤外線、及び紫外線
などの種々の電磁波を用いることが可能である。In the first and second embodiments, a laser beam is used as an electromagnetic wave. In addition, various electromagnetic waves such as white light, X-rays, beta rays, microwaves, infrared rays, and ultraviolet rays are used. It is possible.
【００３７】また、上記実施形態１及び２では、塗膜が
キャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシ
ートである場合を例にとって説明したが、塗膜が、例え
ば、導電ペーストや抵抗ペーストなどを塗布対象に塗布
した塗膜であるような場合にも、本願発明を適用するこ
とが可能である。In the first and second embodiments, the case where the coating film is a ceramic green sheet formed on a carrier film is described as an example. However, the coating film may be formed, for example, by applying a conductive paste or a resistance paste. The present invention can be applied to a case where the coating film is applied to an object.
【００３８】さらに、上記実施形態１及び２では、本願
発明の塗膜検査システムを、セラミックグリーンシート
の乾燥装置に適用した場合について説明したが、本願発
明の塗膜の検査システムは、塗膜の表面粗さ、塗膜の温
度、及び塗膜の膜厚などを検出する場合にも適用するこ
とが可能である。Further, in the first and second embodiments, the case where the coating film inspection system of the present invention is applied to a ceramic green sheet drying apparatus has been described. The present invention can also be applied to the detection of surface roughness, coating film temperature, coating film thickness, and the like.
【００３９】また、本願発明は、さらにその他の点にお
いても上記実施形態に限定されるものではなく、乾燥炉
の型式や形状、搬送手段の構成などに関し、発明の範囲
内において、種々の応用、変形を加えることが可能であ
る。In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment in other respects. The present invention relates to the type and shape of a drying oven, the configuration of a conveying means, and the like. Deformations can be made.
【００４０】[0040]
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
塗膜検査システムは、電磁波照射素子と、塗膜の表面か
ら反射する電磁波（反射波）を検出する反射波検出素子
とを備えた表面状態検出センサを用い、搬送されている
塗膜の表面に電磁波を照射し、塗膜の表面から反射する
電磁波（反射波）を反射波検出素子により検出するよう
にしているので、塗膜の表面状態を連続的にモニタリン
グして、その特性を客観的、定量的に評価することがで
きるようになる。As described above, the coating film inspection system of the present invention (claim 1) comprises an electromagnetic wave irradiating element and a reflected wave detecting element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the coating film. The surface of the coating film being transported is irradiated with electromagnetic waves using the surface condition detection sensor provided, and the electromagnetic waves (reflected waves) reflected from the surface of the coating film are detected by the reflected wave detection element. By monitoring the surface condition of the film continuously, its characteristics can be evaluated objectively and quantitatively.
【００４１】また、請求項２の塗膜検査システムのよう
に、塗膜の乾燥状態、塗膜の表面粗さ、塗膜の温度、及
び塗膜の膜厚からなる群より選ばれる少なくとも１つを
モニタリングするような場合に、本願発明を適用するこ
とにより、連続的に搬送される塗膜の表面状態を確実に
認識することが可能になり、有意義である。Also, as in the coating film inspection system of claim 2, at least one selected from the group consisting of a dried state of the coating film, surface roughness of the coating film, temperature of the coating film, and film thickness of the coating film. In the case where is monitored, by applying the present invention, it is possible to reliably recognize the surface state of a continuously transported coating film, which is significant.
【００４２】また、本願発明の塗膜検査システムにおい
ては、用いる電磁波に特別の制約はないが、請求項３の
ように、電磁波として、レーザ光線、白色光線、Ｘ線、
ベータ線、マイクロ波、赤外線、及び紫外線からなる群
より選ばれる少なくとも１つを用いるようにした場合、
塗膜の表面状態を効率よく検査することが可能であり、
本願発明を実効あらしめることができる。In the coating film inspection system of the present invention, there is no particular restriction on the electromagnetic wave to be used, but as the electromagnetic wave, a laser beam, a white light beam, an X-ray,
When using at least one selected from the group consisting of beta rays, microwaves, infrared rays, and ultraviolet rays,
It is possible to efficiently inspect the surface condition of the coating film,
The present invention can be made effective.
【００４３】また、本願発明（請求項４）の塗膜乾燥装
置は、塗膜を乾燥させる乾燥炉と、塗膜を搬送して、乾
燥炉内を通過させる搬送手段と、乾燥炉内に配設され、
搬送されている塗膜の表面に電磁波を照射する電磁波照
射素子及び塗膜の表面から反射する電磁波を検出する反
射波検出素子とを備えた表面状態検出センサと、表面状
態検出センサにより検出した塗膜の表面状態についての
情報から、塗膜の乾燥状態を求める演算処理手段とを備
えた構成としているので、乾燥炉内を連続的に搬送され
る塗膜の乾燥状態を客観的、定量的に評価することが可
能になり、ひいては、乾燥状態に対応した乾燥条件の調
整を行うことにより、セラミックグリーンシートなどの
塗膜の乾燥状態を高精度に制御することが可能になる。The coating film drying apparatus according to the present invention (claim 4) includes a drying furnace for drying the coating film, a conveying means for conveying the coating film and passing through the drying furnace, and a drying furnace. Established
A surface state detection sensor including an electromagnetic wave irradiation element for irradiating the surface of the coating film with electromagnetic waves and a reflected wave detection element for detecting electromagnetic waves reflected from the surface of the coating film; and a coating state detected by the surface state detection sensor. Since it is configured to include arithmetic processing means for obtaining the dry state of the coating film from the information on the surface state of the film, the drying state of the coating film continuously conveyed in the drying furnace can be objectively and quantitatively determined. The evaluation can be performed, and by adjusting the drying conditions corresponding to the drying state, the drying state of a coating film such as a ceramic green sheet can be controlled with high accuracy.
【００４４】また、請求項５の塗膜乾燥装置のように、
表面状態検出センサを複数個、塗膜の搬送方向に所定の
間隔をおいて、乾燥炉内に配設することにより、各表面
状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態について
の情報から、乾燥炉内における塗膜の複数の位置におけ
る乾燥状態を検出することが可能になり、塗膜の乾燥状
態を効率よく制御するために必要な情報を得ることがで
きるようになる。Further, as in the coating film drying apparatus of claim 5,
By arranging a plurality of surface condition detection sensors in a drying furnace at predetermined intervals in the transport direction of the coating film, drying information can be obtained from information on the surface condition of the coating film detected by each surface condition detection sensor. It is possible to detect the drying state of the coating film at a plurality of positions in the furnace, and to obtain information necessary for efficiently controlling the drying state of the coating film.
【００４５】また、請求項６の塗膜乾燥装置のように、
表面状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態か
ら、演算処理手段により求めた塗膜の乾燥状態について
の情報に応じて、塗膜の乾燥に関与する条件を制御する
ようにした場合、塗膜の乾燥状態を効率よく制御して、
所望の特性を有する塗膜を確実に得ることができるよう
になる。Further, as in the coating film drying apparatus of claim 6,
When the conditions relating to the drying of the coating film are controlled from the surface state of the coating film detected by the surface state detection sensor in accordance with the information about the drying state of the coating film obtained by the arithmetic processing means, Efficiently controlling the drying state of
It is possible to reliably obtain a coating film having desired characteristics.
【図１】本願発明の一実施形態にかかる塗膜検査システ
ムを適用した塗膜乾燥装置の要部を示す図（キャリアフ
ィルムの進行方向に直交する方向の断面図）である。FIG. 1 is a view (a cross-sectional view in a direction orthogonal to a traveling direction of a carrier film) showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
【図２】本願発明の一実施形態にかかる塗膜検査システ
ムを適用した塗膜乾燥装置の要部を示す図（キャリアフ
ィルムの進行方向に沿って切断した断面図）である。FIG. 2 is a view (a cross-sectional view cut along a traveling direction of a carrier film) showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to an embodiment of the present invention is applied.
【図３】本願発明の他の実施形態にかかる塗膜検査シス
テムを適用した塗膜乾燥装置の要部を示す図（キャリア
フィルムの進行方向に直交する方向の断面図）である。FIG. 3 is a view (a cross-sectional view in a direction orthogonal to a traveling direction of a carrier film) showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to another embodiment of the present invention is applied.
【図４】本願発明の他の実施形態にかかる塗膜検査シス
テムを適用した塗膜乾燥装置の要部を示す図（キャリア
フィルムの進行方向に沿って切断した断面図）である。FIG. 4 is a view (a cross-sectional view cut along a traveling direction of a carrier film) showing a main part of a coating film drying apparatus to which a coating film inspection system according to another embodiment of the present invention is applied.
【図５】従来の塗膜乾燥装置を示す図である。FIG. 5 is a view showing a conventional coating film drying apparatus.
１ キャリアフィルム ２ セラミックグリーンシート（塗膜） ３ 電磁波照射素子 ４ 反射波検出素子 ５ 表面状態検出センサ ６ 保持治具 ７ 演算処理手段 １０ 乾燥炉 １１ 炉本体 １２ 給気ノズル １３ 温度センサ １４ 搬送手段 １５ 搬送手段構成部材（サポートロール） ２０ 制御手段 ２２ 排気ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Carrier film 2 Ceramic green sheet (coating) 3 Electromagnetic wave irradiation element 4 Reflection wave detection element 5 Surface condition detection sensor 6 Holding jig 7 Operation processing means 10 Drying furnace 11 Furnace main body 12 Air supply nozzle 13 Temperature sensor 14 Transporting means 15 Conveying means constituent member (support roll) 20 Control means 22 Exhaust nozzle
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２６Ｂ 13/04 Ｆ２６Ｂ 13/04 ３Ｌ１１３ 25/00 25/00 Ｚ ４Ｄ０７５ Ｇ０１Ｂ 15/02 Ｇ０１Ｂ 15/02 Ｃ ４Ｆ０４２ Ｚ ４Ｇ０５２ Ｇ０１Ｎ 21/27 Ｇ０１Ｎ 21/27 Ｂ ４Ｇ０５５ 21/47 21/47 Ｂ 21/86 21/86 22/04 22/04 Ｂ 23/20 23/20 // Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ (72)発明者 穴原 俊哉 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 2F065 AA30 BB15 BB17 FF44 GG02 GG04 HH12 JJ08 PP12 QQ25 2F067 AA27 BB19 BB27 GG06 GG08 HH02 HH04 HH06 JJ02 JJ03 JJ05 KK08 PP01 PP15 2G001 AA01 AA03 AA07 AA10 BA15 CA01 CA03 CA07 CA10 DA02 FA01 GA13 GA17 JA09 KA11 KA20 LA06 MA05 PA11 RA03 2G051 AA90 AB12 AB20 BA05 BA06 BA10 BA20 CA02 CB01 DA01 DA06 2G059 AA05 BB10 DD12 DD16 EE02 GG01 HH01 HH02 HH03 KK01 MM05 3L113 AA03 AB02 AC31 AC35 AC90 BA26 CA20 DA24 4D075 BB24Z BB33Z BB41Z BB93Z DA04 EA14 EB05 4F042 AA22 BA08 BA19 BA22 BA25 DB02 DB25 DB39 DH09 4G052 DA02 DC01 4G055 AA08 AB00 AC01 BA12 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) F26B 13/04 F26B 13/04 3L113 25/00 25/00 Z 4D075 G01B 15/02 G01B 15/02 C 4F042 Z 4G052 G01N 21/27 G01N 21/27 B 4G055 21/47 21/47 B 21/86 21/86 22/04 22/04 B 23/20 23/20 // H05K 3/00 H05K 3/00 Q ( 72) Inventor Toshiya Anehara 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto F-term in Murata Manufacturing Co., Ltd. (reference) KK08 PP01 PP15 2G001 AA01 AA03 AA07 AA10 BA15 CA01 CA03 CA07 CA10 DA02 FA01 GA13 GA17 JA09 KA11 KA20 LA06 MA05 PA11 RA03 2G051 AA90 AB12 AB20 BA05 BA06 BA10 BA20 CA02 CB01 DA01 DA06 2G059 AA05 BB10 DD12 DD16 EE02 GG01 HH01 HH02 HH03 KK01 MM05 3L113 AA03 AB02 AC31 AC35 AC90 BA26 CA20 DA24 4D075 BB24Z BB33Z BB41Z BB93Z DA04 EA14 EB05 4F042 AA39 DB02 AA22 BA08 DB19 BA22
Claims (6)
する電磁波照射素子と、塗膜の表面から反射する電磁波
（反射波）を検出する反射波検出素子とを備えた表面状
態検出センサを用い、 搬送されている塗膜の表面に電磁波を照射し、塗膜の表
面から反射する電磁波を反射波検出素子により検出する
ことにより、塗膜の表面状態を連続的にモニタリングす
ることを特徴とする塗膜検査システム。1. A surface condition detecting sensor comprising: an electromagnetic wave irradiating element for irradiating an electromagnetic wave to the surface of a coating film being conveyed; and a reflected wave detecting element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the coating film. By irradiating electromagnetic waves to the surface of the coating film being transported and detecting the electromagnetic waves reflected from the surface of the coating film with the reflected wave detection element, the surface condition of the coating film is continuously monitored. Coating inspection system.
出素子により検出してモニタリングする塗膜の表面状態
が、塗膜の乾燥状態、塗膜の表面粗さ、塗膜の温度、及
び塗膜の膜厚からなる群より選ばれる少なくとも１つで
あることを特徴とする請求項１記載の塗膜検査システ
ム。2. A method for detecting and monitoring an electromagnetic wave reflected from a surface of a coating film by a reflected wave detecting element, wherein the surface condition of the coating film includes a drying state of the coating film, a surface roughness of the coating film, a temperature of the coating film, and The coating film inspection system according to claim 1, wherein the coating film inspection system is at least one selected from the group consisting of a coating film thickness.
線、ベータ線、マイクロ波、赤外線、及び紫外線からな
る群より選ばれる少なくとも１つであることを特徴とす
る請求項１又は２記載の塗膜検査システム。3. The electromagnetic wave is a laser beam, a white beam, X
The coating inspection system according to claim 1, wherein the coating inspection system is at least one selected from the group consisting of rays, beta rays, microwaves, infrared rays, and ultraviolet rays.
と、 前記乾燥炉内に配設され、搬送されている塗膜の表面に
電磁波を照射する電磁波照射素子及び塗膜の表面から反
射する電磁波（反射波）を検出する反射波検出素子とを
備えた表面状態検出センサと、 前記表面状態検出センサにより検出した塗膜の表面状態
についての情報から、塗膜の乾燥状態を求める演算処理
手段とを具備することを特徴とする塗膜乾燥装置。4. A drying furnace for drying a coating film, conveying means for conveying the coating film and passing through the drying furnace, and a drying means for disposing the coating film in the drying furnace. A surface state detection sensor including an electromagnetic wave irradiation element for irradiating an electromagnetic wave and a reflected wave detection element for detecting an electromagnetic wave (reflected wave) reflected from the surface of the coating film; and a surface state of the coating film detected by the surface state detection sensor. And a calculation processing means for obtaining a dry state of the coating film from the information about the coating film drying apparatus.
搬送方向に所定の間隔をおいて、前記乾燥炉内に配設す
ることにより、各表面状態検出センサにより検出した塗
膜の表面状態についての情報から、乾燥炉内の塗膜の複
数の位置における乾燥状態を検出するようにしたことを
特徴とする請求項４記載の塗膜乾燥装置。5. A surface of a coating film detected by each surface state detecting sensor by arranging a plurality of said surface state detecting sensors in said drying furnace at predetermined intervals in a coating film transport direction. 5. The coating film drying apparatus according to claim 4, wherein the drying state at a plurality of positions of the coating film in the drying furnace is detected from the information on the state.
膜の表面状態から、前記演算処理手段により求めた塗膜
の乾燥状態についての情報に応じて、塗膜の乾燥に関与
する諸条件のうちの少なくとも１つの条件を制御するこ
とにより、塗膜の乾燥状態を制御するようにしたことを
特徴とする請求項４又は５記載の塗膜乾燥装置。6. A method according to claim 1, further comprising the step of: determining, from the surface condition of the coating film detected by said surface condition detecting sensor, information relating to the drying condition of the coating film obtained by said arithmetic processing means, among various conditions relating to the drying of the coating film. 6. The coating film drying apparatus according to claim 4, wherein the drying state of the coating film is controlled by controlling at least one of the conditions.
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|---|---|---|---|
| JP2000226937A JP2002039723A (en) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | Film inspection system and film drying device |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006305404A (en) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | Apparatus and method for forming functional film pattern and electronic equipment |
| WO2009108309A2 (en) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Corning Incorporated | System and method for measuring ceramic-forming batch moisture content |
| JP2010108881A (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Ohara Inc | Manufacturing method of ion-conductive solid electrolyte |
| JP2011080718A (en) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Panasonic Corp | Method and device for drying coating film |
| JP2015184141A (en) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | コニカミノルタ株式会社 | Processing device and particle fixing method |
| EP2310783B1 (en) * | 2008-08-06 | 2016-03-30 | Airbus Operations GmbH | Method for the contact-less detection of the degree of dryness of a coat of varnish on the exterior skin of an aircraft |
| CN110418956A (en) * | 2018-01-08 | 2019-11-05 | 株式会社Lg化学 | Monitor the device and method of the drying regime of electrode base board |
| CN111023793A (en) * | 2019-12-12 | 2020-04-17 | 嘉兴市正大照明有限公司 | LED substrate drying device |
| JP2022543370A (en) * | 2019-07-29 | 2022-10-12 | ビーエーエスエフ コーティングス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Device and method for monitoring the drying/curing process of coatings |
-
2000
- 2000-07-27 JP JP2000226937A patent/JP2002039723A/en not_active Withdrawn
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4701812B2 (en) * | 2005-04-26 | 2011-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | Functional film pattern forming device |
| JP2006305404A (en) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | Apparatus and method for forming functional film pattern and electronic equipment |
| WO2009108309A2 (en) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Corning Incorporated | System and method for measuring ceramic-forming batch moisture content |
| WO2009108309A3 (en) * | 2008-02-29 | 2009-10-22 | Corning Incorporated | System and method for measuring ceramic-forming batch moisture content |
| EP2310783B1 (en) * | 2008-08-06 | 2016-03-30 | Airbus Operations GmbH | Method for the contact-less detection of the degree of dryness of a coat of varnish on the exterior skin of an aircraft |
| JP2010108881A (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Ohara Inc | Manufacturing method of ion-conductive solid electrolyte |
| JP2011080718A (en) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Panasonic Corp | Method and device for drying coating film |
| US9874517B2 (en) | 2014-03-24 | 2018-01-23 | Konica Minolta, Inc. | Processing apparatus and particle securing method |
| JP2015184141A (en) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | コニカミノルタ株式会社 | Processing device and particle fixing method |
| CN110418956A (en) * | 2018-01-08 | 2019-11-05 | 株式会社Lg化学 | Monitor the device and method of the drying regime of electrode base board |
| EP3674687A4 (en) * | 2018-01-08 | 2020-11-25 | Lg Chem, Ltd. | Method and apparatus for monitoring dry state of electrode substrate |
| CN110418956B (en) * | 2018-01-08 | 2022-03-11 | 株式会社Lg化学 | Apparatus and method for monitoring dry state of electrode substrate |
| US11448597B2 (en) | 2018-01-08 | 2022-09-20 | Lg Energy Solution, Ltd. | Method for monitoring dry state of electrode substrate |
| JP2022543370A (en) * | 2019-07-29 | 2022-10-12 | ビーエーエスエフ コーティングス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Device and method for monitoring the drying/curing process of coatings |
| JP7337252B2 (en) | 2019-07-29 | 2023-09-01 | ビーエーエスエフ コーティングス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Device and method for monitoring the drying/curing process of coatings |
| CN111023793A (en) * | 2019-12-12 | 2020-04-17 | 嘉兴市正大照明有限公司 | LED substrate drying device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071002 |