JP2002030921A - プラズマ式排気浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は放電管内の流れを制御し、放電管に
流入する排気ガスの一部あるいは全部を、一度電極近傍
域を通過するようにして排気ガス全体の浄化効率を向上
させることにある。 【解決手段】筒状の外部電極１３と同外部電極内に配置
され同外部電極の長手方向（前後方向Ｘ）に延びる内部
電極１４とを有し、外部電極１３内に排気を流通させる
と共に内部電極１４と外部電極１３との間に放電を発生
させて排気を浄化するプラズマ式排気浄化装置１におい
て、外部電極１３内の排気の流れを内部電極１３側に偏
在あるいは案内する流れ制御手段１７を有することを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、放電管による放電
を用いた排気ガス浄化装置、特に排ガスの浄化効率を改
善したプラズマ式排気浄化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、排ガス温度に無関係に有害ガスを
除去できるプラズマ式排ガス浄化装置が提案されてい
る。このプラズマ式排ガス浄化装置は高圧電源に放電管
を接続し、放電管の放電域に生じたプラズマを利用し、
排気ガス中のＮＯｘ等を無害化するもので、その一例が
特開平２−２０７８１２号公報に開示される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、放電管は所
定長の筒状の外部電極とその内部の中央に配備される線
状の内部電極との対向空間に不平等電界を形成し、これ
によりプラズマを発生している。ここで、基本的に、円
筒状の外部電極近傍の電界強度は線状の内部電極近傍に
対して弱く、故にプラズマ強度も弱くなっている。とこ
ろが排気通路に介装された放電管は、通常、その外部電
極の流入端開口より流入した排ガスを比較的層流に近い
状態で流動させ、放電管内に滞在する期間のほとんどの
間、流れ方向を変えない状態で流出端開口より排出して
いる。ここで、外部電極のほぼ円形の流路断面の内、中
心部を成す内部電極近傍域の中央流路断面域に対し、外
部電極の内壁面近傍の環状流路断面域は比較的大きい。
このため、放電管を通過する排気ガスの内、比較的大き
な分量の排ガスが弱いプラズマ状態の内壁面近傍の環状
流路断面域を流動し排出されることとなり、流動中に十
分な浄化反応が起こらず、排気ガス全体の浄化効率が低
下しやすく、その改善が望まれていた。

【０００４】上述の課題に基づき、本発明は放電管内の
流れを制御し、放電管に流入する排気ガスの一部あるい
は全部を、一度電極近傍域を通過するようにして排気ガ
ス全体の浄化効率を向上させることができるプラズマ式
排気浄化装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、筒状の外部電極と同外部電極
内に配置され同外部電極の長手方向に延びる内部電極と
を有し、上記外部電極内に排気を流通させると共に上記
内部電極と外部電極との間に放電を発生させて排気を浄
化するプラズマ式排気浄化装置において、上記外部電極
内の排気の流れを上記内部電極側に偏在あるいは案内す
る流れ制御手段を有することを特徴としている。このよ
うに、流れ制御手段が外部電極内の排気の流れを上記内
部電極近傍域に偏在あるいは案内するので、プラズマ強
度が強い部分を通過する排気ガスの量が増加し、放電管
を流れる排ガス全体としての排気浄化効率が向上する。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１記載のプラズ
マ式排気浄化装置において、上記流れ制御手段は上記外
部電極の内壁に外周縁が支持され上記内部電極を中心と
した円周に沿って内周縁が形成され、かつ、上記外部電
極の長手方向に所定間隔を介し複数配設された環状流れ
制御部材から成ることを特徴としている。このように、
外部電極内を流動する排ガスが複数の環状流れ制御部材
と対向する毎に、各環状流れ制御部材の内周縁の内方で
ある内部電極近傍域に排ガスが案内されるので、プラズ
マ強度が強い部分を通過する排気ガス量が増加し、排ガ
ス流量全体としての排気浄化効率が向上する。好ましく
は、環状流れ制御部材は排気の流動方向に移動するに従
い内部電極側に接近する環状傾斜面を形成してもよい。
この場合、流動抵抗を低減でき、排ガス浄化効率が向上
する。

【０００７】請求項３の発明は、請求項１記載のプラズ
マ式排気浄化装置において、上記流れ制御手段は上記外
部電極内に設けられて上記内部電極を中心部に嵌挿し多
数の貫通孔を形成した多孔筒部材と、同多孔筒部材の上
流側または下流側で上記多孔筒部材と上記外部電極との
間の環状空間を閉鎖する仕切り壁とを有したことを特徴
としている。ここで流入側開口から流入した排ガスは上
記内部電極を中心部に嵌挿する多孔筒部材内を必ず通過
するので、プラズマ強度が強い部分を排ガスのすべてが
確実に通過することとなり、排ガス全体としての排気浄
化効率が向上する。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１乃至図３には本発明の一実施
形態としてのプラズマ式排気浄化装置１を示した。この
プラズマ式排気浄化装置１は図示しない車両用エンジン
の排気経路Ｒを形成する排気管３の途中に配備され、上
流ａ側よりの排ガスを無害化して下流ｂ側の図示しない
マフラーを介し大気開放するように構成される。このプ
ラズマ式排気浄化装置１のケーシング２は流入口４と膨
出空間６と流出口５とをこの順に前後方向Ｘに沿って連
続形成した変形筒部材を成す。流入口４と流出口５の各
外壁にはフランジ７がそれぞれ溶接され、各フランジ７
を介し前後の排気管３側に気密性を保持した上で図示し
ないボルト等で締め付け結合される。

【０００９】ケーシング２の中央の膨出空間６には複数
の放電管８が流入口４および流出口５に前後端を向けた
状態で並列状に配設される。ここでは４つの放電管８を
並列状に重ねて成る放電管列Ａが上下方向（図１で紙面
垂直方向）で３重（図１では手前の１列のみ表示してい
る）に重なった状態で収容され、これらの前方に電極張
設枠９が配設されている。なお、プラズマ式排気浄化装
置１の放電管８の数や後述の外部電極１３の内径等は排
ガスの流量や流動特性により調整され、これにより各放
電管８の外部電極１３と後述の内部電極１４間の放電域
で排ガスを効率よく無害化できるよう適宜設定されてい
る。３つの放電管列Ａは絶縁性材料で形成された前後一
対の取付け枠１１，１２を介し、ケーシング２の内周壁
２０１にずれなく取り付けられている。

【００１０】前取付け枠１１はその主部１１１とその前
後屈曲延出部である前フランジ１１２および後係止部１
１３とを一体的に形成する。主部１１１は内周壁２０１
に図示しない固定手段で固定され、前フランジ１１２は
内周壁２０１より内側に一定量突き出した環状フランジ
状に形成される。後係止部１１３は各放電管８をずれな
く貫通し支持する孔を多数有した多孔板状に形成され
る。同じく、後取付け枠１２は主部１２１とその前後屈
曲延出部である前係止部１２２および後フランジ１２３
とを一体的に形成する。主部１２１は内周壁２０１に図
示しない固定手段で固定され、前係止部１２２は各放電
管８をずれなく貫通し支持する孔を多数有した多孔板状
に形成される。後フランジ１２３は内周壁２０１より一
定量突き出した環状フランジ状に形成される。

【００１１】このように前取付け枠１１の後係止部１１
３および後取付け枠１２の前係止部１２２により、各放
電管８はケーシング２の膨出空間６にずれなく取り付け
られ、しかも、上流ａ側からの排ガスを複数の放電管８
内に分散して通過させるように形成されている。図１、
図２に示すように、各放電管８は同一構造を採り、金属
性の筒状の外部電極１３と同電極１３内に配置され同外
部電極１３の長手方向である前後方向Ｘに延びる内部電
極１４とを有する。更に、外部電極１３の外周壁の前後
端には一定肉厚で短筒状の絶縁筒１５がそれぞれ外嵌さ
れ一体結合される。前後一対の絶縁筒１５は互いに隣合
う外部電極１３との間隔を前後方向Ｘに沿って一定に保
持するように機能する。

【００１２】図２に示すように、各放電管８の外部電極
１３はその内周壁の前後端に内部電極１４の端部を支持
する支持部材１６をそれぞれ配設し、それらの間に流れ
制御手段１７を複数配設し、これらを所定の耐熱性接着
剤で固着している。前後の支持部材１６は、上下方向Ｚ
に伸びる縦柱１６１と幅方向Ｙ（図２で紙面傾斜方向）
に伸びる横柱１６２とが交差し十字状の端面を成すブロ
ック材で、絶縁性の素材、例えば、セラミックで成形さ
れている。各支持部材１６の縦柱１６１と横柱１６２と
の交差部分には前後方向Ｘに向けて細孔ｐが形成され、
同細孔ｐに金属性ケーブルである内部電極１４を貫通す
るように形成される。更に，各縦柱１６１と横柱１６２
とが対向する部位には前後方向Ｘに排気ガスを通過させ
るガス通路ｒを形成している。後の支持部材１６に支持
された内部電極１４の後端部は拡径処理されて抜け止め
部ｇを形成され、これにより，各内部電極１４が前方
（図２で左側）への引っ張り力を受けても抜けることが
ないように形成される。

【００１３】外部電極１３はその内部に流れ制御手段と
しての環状流れ制御部材１７を前後方向Ｘに沿って複数
配設する。環状流れ制御部材１７は所定厚さの誘電体あ
るいは導体で成形された環状プレートであり、外部電極
１３の内壁に外周縁が固着され、内部電極１４を中心と
した半径ｄ１（図３参照）の円周に沿って内周縁１７１
が位置するように形成される。このため、放電管８の対
電極１３、１４へ高圧電源２４（図１参照）から高電圧
を印加した際に、電界集中部Ｋが設けられることとな
り、同部近傍のプラズマ密度が向上し、排ガスの分解率
向上を特に図ることができる。なお、環状流れ制御部材
１７が導体（例えば金属部材）で成形されている場合、
内部電極１４と環状流れ制御部材の内周縁１７１との間
隔である半径ｄ１に対して、互いに隣合う１対の環状流
れ制御部材１７間の制御部材間隔Ｗ１を大きく、即ち、
Ｗ１≧ｄ１とすることで、確実に電界集中部Ｋ近傍にプ
ラズマを発生させることができる。

【００１４】図１に示すように、各放電管８の内部電極
１４はその前端が前の支持部材１６を貫通した上で、そ
れより延出する接続線１９を介して電極張設枠９の張設
調整器２１に接続される。電極張設枠９は剛性を有する
枠部９０１とその枠部の中央に絶縁材２２を介し取付け
られる基板部９０２とを有する。枠部９０１はその周縁
部をケーシング２の内周壁２０１に当接し、複数箇所が
係止プラケット２３を介し内周壁２０１にずれなく固定
される。更に、枠部９０１はその中央孔を形成され、そ
の内周縁に板厚方向に段差を有した環状段部ｅ１を形成
する。その環状段部ｅ１には絶縁材２２を介し基板部９
０２の外周縁の環状係止部ｅ２が当接でき、これによ
り、基板部９０２の下流ｂ側への移動を確実に阻止して
いる。なお、枠部９０１に対し基板部９０２は図示しな
い締結手段で一体的に結合される。

【００１５】基板部９０２はその主要部であって、各放
電管８との対向部位に同一構造の張設調整器２１を順次
取付け、しかも、各張設調整器２１と干渉しない位置に
複数の貫通孔２５を形成し、ガス通路を確保している。
各張設調整器２１は基板部９０２に螺着される孔付きボ
ルトＢとその頭部に当接する係止ブロックＣとを備え
る。係止ブロックＣは金属性で、孔付ボルトＢを貫通し
てきた接続線１９の先端と一体結合され、その結合部の
周縁が孔付ボルトＢの頭部に当接し、反対側の頂部は外
部接続線２４より延出する分岐部の一つが接合されてい
る。ここで、孔付ボルトＢの回動操作により、係止ブロ
ックＣと一体の接続線１９側の張力を可変できる。

【００１６】複数の張設調整器２１の各係止ブロックＣ
より分岐部を経て合流された外部接続線２４はケーシン
グ２より外部に延出し、高圧電源２４の高圧端子(＋端
子)２４１に接続される。高圧端子２４１の低電位側の
ベース端子（−端子）２４２は図示しない車体基部にア
ースされると共にベース接続線２７を延出している。ベ
ース接続線２７はケーシング２内に延出し、複数の分岐
線に分岐し、各分岐線はそれぞれ対向する放電管８の外
部電極１３に接続されている。このようなプラズマ式排
気浄化装置１は図示しない車両のエンジンの駆動と同時
に高圧電源２４がオンし、各放電管８が放電を開始す
る。

【００１７】この際、内部電極１４より外部電極１３側
に移動する内径ｄの変化域において、図7に示すよう
に、外側ほどプラズマ強度を低減させるパターンの放電
域を形成できる。しかも、ここでは内部電極１４を前後
の支持部材１６により外部電極１３の中心線上に確実に
支持でき、この対電極１４、１３の間隔を前後方向Ｘに
おいて一定に保持できることより、図７のようなプラズ
マ強度パターンの放電域を前後方向Ｘにほぼ同様に連続
して形成している。即ち、各放電管８では外部電極１３
内に内部電極１４の近傍部（内径ｄ１以内の領域）にプ
ラズマ強度の大きな内部電極近傍域ｅ１が前後方向Ｘに
連続して形成され、その外周側で外部電極１３の内周壁
に対向する領域（内径ｄ１よりｄａ以内の領域）に環状
流れ制御部材１７によって前後方向の流動規制を受ける
外周空間域ｅ２が形成される。

【００１８】ここで、排気路Ｒ上流ａ側から電極張設枠
９の貫通孔２５を通過してきた排ガスは前後取付け枠１
１、１２に支持された３つの放電管列Ａの各放電管８内
に分岐して流入する。この際、図２、図３に示すよう
に、外部電極１３内の排ガスは、内部電極近傍域ｅ１側
においては層流状態で流動し、外周空間域ｅ２の排ガス
は環状流れ制御部材１７により後方への流れを規制さ
れ、内部電極近傍域ｅ１側に偏向され、絞られた状態の
流れとなり、排ガスの乱流を発生することとなる。この
ため、排ガスが環状流れ制御部材１７と対向する毎に、
外部電極１３内の排ガスの撹拌が促進され、撹拌された
排気ガスがよりプラズマ強度の高い内部電極近傍域ｅ１
側の電界集中部Ｋを通過する比率が高まり、排気ガス中
のＮＯｘ等の分解率向上が可能となり、無害化が促進さ
れる。

【００１９】このように、外部電極１３内を流動する排
ガスが複数の環状流れ制御部材１７と対向する毎に、各
環状流れ制御部材１７の内周縁１７１の内方である電界
集中部Ｋに流動し、内部電極近傍域ｅ１に排ガスが偏在
あるいは案内されることとなるので、プラズマ強度が強
い部分を通過する排気ガス量が増加し、排気路Ｒを流動
する排ガス全体としての排気浄化効率が向上する。図４
には図１の発明の変形例で用いる放電管８ｂの要部を示
した。この放電管８ｂは図１のプラズマ式排気浄化装置
１中に開示される複数の放電管８に代えて採用でき、こ
こでは重複説明を略す。

【００２０】放電管８ｂは金属性の筒状の外部電極１３
を備え、その内部に同外部電極１３の長手方向である前
後方向Ｘに延びる内部電極１４を配備する。外部電極１
３の内周壁の前後端には図示しない前後一対の支持部材
を配設し、それらによって内部電極１４を支持する。し
かも、外部電極１３の内周壁には前後方向Ｘに沿って、
複数の流れ制御手段１７ｂ（図４に一つ示した）を配設
し、これらを所定の耐熱性接着剤で固着している。図４
に示すように、流れ制御手段１７ｂは断面三角形状の環
状部材（リング部材）として形成され、外部電極１３の
内壁に肉厚状の外周縁が固着され、内部電極１４を中心
とした半径ｄ２の円周に沿ってエッジ状の内周縁１７１
ｂが位置するよう形成される。この流れ制御手段１７ｂ
の上流ａ側との対向部は流動方向（下流ｂ側方向）に移
動するに従い内部電極１４側に接近する環状傾斜面ｆ
（円錐面）を形成している。

【００２１】このような環状傾斜面ｆを形成した流れ制
御手段１７ｂを用いた場合、特に、外部電極１３に流入
した排ガスの内、外周空間域ｅ２の排ガスは環状流れ制
御部材１７の環状傾斜面ｆによって、後方へスムーズに
流動でき、内部電極近傍域ｅ１側に偏向され同部を通過
する。このため、流動抵抗が低減する上で、プラズマ強
度の高い内部電極近傍域ｅ１側を通過する比率がより高
まり、排気ガス中のＮＯｘ等の分解率向上が可能とな
り、排ガスの無害化が促進される。なお、ここでの環状
傾斜面ｆは円錐面状であったが、これに代えて、ファン
ネル型の環状傾斜面（図示せず）を流れ制御手段１７ｂ
の前後面にわたり形成し、これによって流線剥離による
流量係数低下を抑制するように構成してもよい。

【００２２】図５、図６には図１の発明の変形例で用い
る放電管８ｃを示した。この放電管８ｃは図１のプラズ
マ式排気浄化装置１中に開示される複数の放電管８に代
えて採用でき、ここでは重複説明を略す。放電管８ｃは
金属性の筒状の外部電極１３を備え、その内部に同外部
電極１３の長手方向である前後方向Ｘに延びる内部電極
１４を配備する。しかも、外部電極１３の内周壁の前後
端には前後一対の略円板状の支持部材２８，２９を装着
し、これらにより後述の略円筒状の多孔筒部材３１を支
持している。

【００２３】前側の支持部材２８はその外周縁が外部電
極１３の内壁に一体接合され、中央孔を形成され、同中
央孔に多孔筒部材３１の流入側開口３２を形成する端部
を嵌着し、互いを一体接合している。後側の支持部材２
９はその外周縁が外部電極１３の内壁に一体接合され、
中央前面に多孔筒部材３１の後端縁を嵌着するボス部２
９１を突出し形成し、そのボス部２９１の外側部分に複
数の流出孔３４を形成している。

【００２４】多孔筒部材３１は誘電体でパイプ状に成形
され、多数の貫通孔ｈを形成される。この多孔筒部材３
１の内壁面であって流入側開口３２の近傍には中央支持
部材３３が一体的に接合される。この中央支持部材３３
は内部電極１４を挿通して支持する芯部３３１とその芯
部より放射方向に延出する三叉状の柱部３３２とを備
え、これらが一体成形されている。このように内部電極
１４は中央支持部材３３と芯部３３１によって外部電極
１３の中心位置に張設され、プラズマ強度が比較的強い
内部電極近傍域ｅ１を多孔筒部材３１の内部に保持し、
外周側で外部電極１３との間に排ガスを複数の流出孔３
４を介し下流側に排出する環状流出空間ｅ３を形成でき
る。

【００２５】支持部２９のボス部２９１の中央には図示
しない貫通孔が形成され、内部電極１４が貫通し、その
突出し端は拡径処理されて抜け止め部ｇを形成してい
る。このため、放電管８ｃの内部電極１４はその前端が
中央支持部材３３を貫通した上で、それより延出する接
続線１９を介して図示しない張設調整器に接続され、所
定の張力を付与できる。

【００２６】なお、ここでの流れ制御手段１７ｃは多孔
筒部材３１と、上流ａ側の排ガスを多孔筒部材３１の流
入側開口３２に導く仕切り壁として機能する前側の支持
部材２８と、多孔筒部材３１の下流側開口に嵌着するボ
ス部２９１を有した後側の支持部材２９とで構成され、
同手段１７ｃからの排ガスを環状流出空間ｅ３を通過さ
せ複数の流出孔３４を介し下流側に排出するように構成
されている。

【００２７】このような多孔筒部材３１を有する流れ制
御手段１７ｃを用いた場合、上流ａ側からの排ガスは前
側の支持部材２８によって多孔筒部材３１の流入側開口
３２内に案内され、プラズマ強度の高い内部電極近傍域
ｅ１にすべて流入する。このため、各放電管８ｃに達し
た排ガス中のＮＯｘ等の分解率向上が確実に図られ、排
気路Ｒを流動する排ガス全体としての排気浄化効率が向
上し、無害化が確実に促進される。

【００２８】なお、図５、６の実施形態においては、排
ガスを多孔筒部材３１の内部空間に導入して多孔筒部材
３１の外周側の環状空間を経て流出させるものとした
が、流出孔を中央部にも設けて良いし、支持部材２８の
流入側開口を外周部分に設けると共に支持部材２９の流
出孔を中央部に設けることにより排ガスを環状空間に導
入して内部空間を経て流出させるようにしても良いし、
この場合は流入側開口を外周部分と中央部分の両方に設
けても良く、これらの場合も、図１の装置と同様の作用
効果が得られる。

【００２９】上述の各実施形態において、プラズマ式排
気浄化装置１は４つの放電管８を並列状に重ねて成る放
電管列Ａが上下方向に３重に重なった状態で収容された
配列構造を採っていたが、これに限定されるものではな
く、重ね合わされる放電管列や、各放電管列を構成する
放電管の数は適宜変更でき、更に、隣合う各放電管の外
部電極１３を互いに直接接合した状態で放電管列を構成
してもよく、これらの場合も、図１の装置と同様の作用
効果が得られる。

【００３０】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明は、流れ
制御手段が外部電極内の排気の流れを内部電極近傍域に
偏在あるいは案内するので、プラズマ強度が強い部分を
通過する排気ガスの量が増加し、放電管を流れる排ガス
全体としての排気浄化効率が向上する。

【００３１】請求項２の発明は、外部電極内を流動する
排ガスが複数の環状流れ制御部材と対向する毎に、各環
状流れ制御部材の内周縁の内方である内部電極近傍域に
排ガスが案内されるので、プラズマ強度が強い部分を通
過する排気ガス量が増加し、排ガス流量全体としての排
気浄化効率が向上する。

【００３２】請求項３の発明は、内部電極を中心部に嵌
挿する多孔筒部材内に排ガスが流入し、順次多数の貫通
孔を通過して外周側の環状流出空間に達し、下流側に流
下するので、プラズマ強度が強い部分を排ガスのすべて
が確実に通過することとなり、排ガス全体としての排気
浄化効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態としてのプラズマ式排気浄
化装置置の平面断面図である。

【図２】図１のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
の斜視切欠断面図である。

【図３】図１のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
の部分切欠側面断面図である。

【図４】図１のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
の変形例の部分切欠側面断面図である。

【図５】図１のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
の変形例の斜視切欠断面図である。

【図６】図５のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
の要部切欠側面断面図である。

【図７】図１のプラズマ式排気浄化装置で用いる放電管
のプラズマ強度−半径の特性線図である。

【符号の説明】

１ プラズマ式排気浄化装置 １３ 筒状の外部電極 １４ 内部電極 １７、１７ｃ 流れ制御手段 １７ｂ 流れ制御手段（環状部材） ２８ 前側の支持部材 ２９ 後側の支持部材 ３１ 多孔筒部材 ３２ 流入側開口 ｅ３ 環状流出空間 Ｘ 電極の長手方向（前後方向）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川島 一仁 東京都港区芝五丁目33番８号・三菱自動車 工業株式会社内 (72)発明者 川村 啓介 長崎市深堀町五丁目717番１号・三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 河村 陽 愛知県小牧市大字東田中1200番地・三菱重 工業株式会社名古屋誘導推進システム製作 所内 Ｆターム(参考） 3G091 AA02 AB14 BA14 BA39 CA27 4D002 AA12 AC10 BA07 CA20

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】筒状の外部電極と同外部電極内に配置され
   同外部電極の長手方向に延びる内部電極とを有し、上記
   外部電極内に排気を流通させると共に上記内部電極と外
   部電極との間に放電を発生させて排気を浄化するプラズ
   マ式排気浄化装置において、上記外部電極内の排気の流
   れを上記内部電極側に偏在あるいは案内する流れ制御手
   段を有することを特徴とするプラズマ式排気浄化装置。
2. 【請求項２】請求項１記載のプラズマ式排気浄化装置に
   おいて、 上記流れ制御手段は上記外部電極の内壁に外周縁が支持
   され上記内部電極を中心とした円周に沿って内周縁が形
   成され、かつ、上記外部電極の長手方向に所定間隔を介
   し複数配設された環状部材から成ることを特徴とするプ
   ラズマ式排気浄化装置。
3. 【請求項３】請求項１記載のプラズマ式排気浄化装置に
   おいて、 上記流れ制御手段は上記外部電極内に設けられて上記内
   部電極を中心部に嵌挿し多数の貫通孔を形成した多孔筒
   部材と、同多孔筒部材の上流側または下流側で上記多孔
   筒部材と上記外部電極との間の環状空間を閉鎖する仕切
   り壁とを有したことを特徴とするプラズマ式排気浄化装
   置。