JP2002029059A - Ink jet printing head and its manufacturing method - Google Patents

Ink jet printing head and its manufacturing method

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JP2002029059A
JP2002029059A JP2000212884A JP2000212884A JP2002029059A JP 2002029059 A JP2002029059 A JP 2002029059A JP 2000212884 A JP2000212884 A JP 2000212884A JP 2000212884 A JP2000212884 A JP 2000212884A JP 2002029059 A JP2002029059 A JP 2002029059A
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JP
Japan
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ink
wiring pattern
head
discharge
manufacturing
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JP2000212884A
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Japanese (ja)
Inventor
Hisashi Yoshimura
久 吉村
Susumu Hirata
進 平田
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize facilitating and reducing costs of a manufacturing process for an ink jet printing head and also prevent product failures because of separation of a wiring pattern or the like in a post process. SOLUTION: A member 1 including discharge channels c and a member 2 including ink supply paths 2a and wiring pattern formation parts 2b are formed separately. A head base 3 is formed first by bonding the members 1 and 2. The member 1 is formed by attaching a lower member 1a machined by linear dicing and an upper member 1b formed by molding or the like. The member 2 is formed by molding or the like with the use of a general-purpose ceramics or the like. At this time, the wiring pattern formation parts 2b are formed in the shape of recesses to one face of a rectangular parallelopiped and moreover, grooves for constituting the ink supply paths 2 are formed to a bond face to the member 1. Subsequently, after an entire face of the head base 3 is plated by electroless plating, the face where the wiring pattern is formed and a surface of an ink discharge face (excluding the recesses) are polished to separate the plated part for each discharge channel, and electrodes in the discharge channels c and the wiring pattern connected to the electrodes are formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は,インクジェットプ
リンタ等で用いられるインクジェットプリントヘッド及
びその製造方法に係り,詳しくは,圧電部材よりなる隔
壁によって複数の吐出チャンネルが形成され,上記隔壁
に電界を印加してその隔壁を剪断変形させることにより
上記吐出チャンネル内のインクを加圧してインクを吐出
するインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink-jet printhead used in an ink-jet printer or the like and a method of manufacturing the same. More specifically, a plurality of discharge channels are formed by partition walls made of a piezoelectric member, and an electric field is applied to the partition walls. The present invention also relates to an ink jet print head for discharging ink by pressurizing the ink in the discharge channel by shearing and deforming the partition walls, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットプリンタのプリントヘッ
ドでは,厚み方向に分極された板状圧電部材に溝加工を
施してその側壁に駆動電極を形成し,上記板状圧電部材
の剪断変形を利用してインクを吐出するように構成され
たものが知られている。このようなプリントヘッドの製
造方法としては例えば特開平7−276624号公報に
記載されているものが知られている。上記公報に記載の
プリントヘッドの製造方法は,図6に示すように,まず
板状圧電部材21の一面に樹脂性の低剛性部材22を塗
布して基板20を形成する(a)。次に,低剛性部材2
2の表面からこの低剛性部材22と圧電部材21との接
合面を越える深さをもって,基板20の端部から中程ま
でダイシング加工を行い,複数の溝23を所定の間隔を
空けて形成する(b)。これにより,低剛性部材22か
らなる上部側壁24aと圧電部材21からなる下部側壁
24bとを有する側壁24が形成される。次に,無電解
メッキの前処理として洗浄,キャタライジング,アクセ
ラレーティング処理を行う。これにより,上記側壁24
等の表面には触媒核となるPdが形成される。
2. Description of the Related Art In a print head of an ink-jet printer, a plate-shaped piezoelectric member polarized in a thickness direction is formed with grooves, drive electrodes are formed on side walls of the plate-shaped piezoelectric member, and ink is formed by utilizing the shear deformation of the plate-shaped piezoelectric member. Is configured to discharge the ink. As a method of manufacturing such a print head, for example, a method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-276624 is known. In the method of manufacturing a print head described in the above publication, as shown in FIG. 6, first, a substrate 20 is formed by applying a resin-based low-rigid member 22 to one surface of a plate-shaped piezoelectric member 21 (a). Next, low rigidity member 2
Dicing is performed from the surface of the substrate 2 to a depth exceeding the bonding surface between the low-rigidity member 22 and the piezoelectric member 21 from the end to the middle of the substrate 20, and a plurality of grooves 23 are formed at predetermined intervals. (B). As a result, a side wall 24 having an upper side wall 24a made of the low-rigidity member 22 and a lower side wall 24b made of the piezoelectric member 21 is formed. Next, cleaning, catalyzing, and accelerating processes are performed as pretreatments for electroless plating. Thereby, the side wall 24
And the like, Pd serving as a catalyst nucleus is formed on the surface.

【0003】続いて,上記低剛性部材22の表面に,配
線パターン形成部分を除き,マスクがかけられる。即
ち,図6(c)に示すように,低剛性部材22の表面に
ドライフィルム25を貼り,更に,ドライフィルム25
の上に図6(d)に示すようにレジスト用マスク26を
載せて露光及び現像処理を行う。これにより,図6
(e)に示すように,低剛性部材22の表面には配線パ
ターン形成部分以外の部分にドライフィルム25による
レジスト膜27が形成される。これにより,上記低剛性
部材22の配線パターン形成部分及び溝23の内面には
金属化されたPdが露出した状態となる。次に,上記処
理を施した基板20をメッキ液に浸漬して無電解メッキ
を行う。これにより,金属化されたPdを触媒核として
メッキが形成され,図6(f)に示すように溝23の側
壁24側の表面と溝23の底面とに電極28が形成さ
れ,低剛性部材22の表面には電極28に続く配線パタ
ーン29が形成される。続いて,図6(g)に示すよう
に,レジスト膜27を低剛性部材22の表面から剥離す
る。そして,図6(h)に示すように低剛性部材22の
表面に天板30を接着し,インク吐出口31が形成され
たノズル板32を上記圧電部材21と天板30との端面
に固定した後,インク供給部(不図示)から各溝23に
インクを供給するインク供給管33を上記天板30に取
り付けてプリントヘッドが完成する。
Subsequently, a mask is applied to the surface of the low-rigidity member 22 except for a portion where a wiring pattern is formed. That is, as shown in FIG. 6C, a dry film 25 is attached to the surface of the low-rigidity member 22, and
As shown in FIG. 6 (d), a resist mask 26 is placed thereon, and exposure and development are performed. As a result, FIG.
As shown in (e), a resist film 27 of a dry film 25 is formed on the surface of the low-rigid member 22 except for the portion where the wiring pattern is formed. As a result, the metalized Pd is exposed on the wiring pattern forming portion of the low rigidity member 22 and the inner surface of the groove 23. Next, the substrate 20 having been subjected to the above treatment is immersed in a plating solution to perform electroless plating. As a result, plating is formed using the metallized Pd as a catalyst nucleus, and electrodes 28 are formed on the surface on the side wall 24 side of the groove 23 and the bottom surface of the groove 23 as shown in FIG. On the surface of 22, a wiring pattern 29 following the electrode 28 is formed. Subsequently, as shown in FIG. 6G, the resist film 27 is peeled off from the surface of the low-rigidity member 22. Then, as shown in FIG. 6 (h), the top plate 30 is adhered to the surface of the low-rigidity member 22, and the nozzle plate 32 in which the ink discharge ports 31 are formed is fixed to the end face between the piezoelectric member 21 and the top plate 30. After that, an ink supply pipe 33 for supplying ink to each groove 23 from an ink supply unit (not shown) is attached to the top plate 30 to complete a print head.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら,上記従
来のプリントヘッドの製造方法では,まず圧電部材21
と低剛性部材22とでプリントヘッド全体を構成する基
板20を形成し,これに吐出チャンネルを形成するた
め,溝23部分の加工を含め全ての形状加工をダイシン
グ加工で行わなければならず,例えば複雑な形状への対
応が難しく,また高価な圧電材料の使用量が多くなるた
めにコスト高となってしまうという問題点があった。ま
た,平坦な面上にマスキングを行った状態でメッキ処理
を施すことによって配線パターンを形成しているため,
処理が複雑であるだけでなく,配線パターン部分が平坦
面から盛り上がった凸形状となり,後工程において配線
パターンが剥がれてしまう恐れもあった。本発明は,上
記事情に鑑みてなされたものであり,その目的とすると
ころは,インクジェットプリントヘッドの製造工程を容
易化すると共に低コスト化し,更に後工程での配線パタ
ーンの剥がれ等による製品不良を防止することである。
However, in the above-mentioned conventional method for manufacturing a print head, first, the piezoelectric member 21 is not provided.
And a low-rigidity member 22 to form a substrate 20 that constitutes the entire print head, and in order to form a discharge channel in this substrate, all shape processing including processing of the groove 23 must be performed by dicing. There is a problem that it is difficult to cope with a complicated shape, and the cost is increased due to an increase in the amount of expensive piezoelectric material used. Also, since the wiring pattern is formed by plating on a flat surface with masking,
Not only is the process complicated, but the wiring pattern portion has a convex shape protruding from a flat surface, and the wiring pattern may be peeled off in a later process. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to simplify the manufacturing process of an ink-jet printhead, reduce costs, and furthermore, product defects due to peeling of a wiring pattern in a later process. Is to prevent.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に,本発明は,略直方体のヘッド基材の一面であるイン
ク吐出面に略垂直な複数の角管状に形成され,間を隔て
る側壁の少なくとも一部分が圧電部材により構成される
と共にそれら側壁に電極が形成される吐出チャンネル
と,上記インク吐出面に隣り合う上記ヘッド基材の上面
から上記吐出チャンネルに連通するように形成されるイ
ンク供給路と,上記ヘッド基材上面から上記インク供給
路を介して上記電極と導通する配線パターンとを具備
し,上記配線パターンを介して上記電極に電界を印加し
て上記側壁を剪断変形させることにより上記吐出チャン
ネル内のインクを上記インク吐出面から吐出させるイン
クジェットプリントヘッドの製造方法において,少なく
とも上記圧電部材よりなる側壁部分を含む第1の部材
と,少なくとも上記配線パターンの形成部分を含む第2
の部材とを個別に形成した後,それら第1の部材と第2
の部材とを接着してなることを特徴とするインクジェッ
トプリントヘッドの製造方法として構成されている。こ
のような構成により,第1の部材の圧電部材の溝加工の
みを直線のダイシングにより行い,第2の部材について
は例えば汎用セラミックスなどを用いて成型やサンドブ
ラスト等を用いて加工することが可能であるため,イン
ク供給路等の複雑な凹形状を容易に形成することができ
る。また,圧電部材は吐出チャンネル部分にのみ用いれ
ばよいため,高価な圧電部材を無駄に使用することがな
く,コストも低減できる。
In order to achieve the above object, the present invention is directed to a plurality of rectangular tubular members substantially perpendicular to an ink ejection surface, which is one surface of a substantially rectangular parallelepiped head substrate, and separating sidewalls. At least a part of which is constituted by a piezoelectric member and electrodes are formed on their side walls, and an ink supply formed so as to communicate from the upper surface of the head base material adjacent to the ink ejection surface to the ejection channel. And a wiring pattern that conducts from the top surface of the head base material to the electrode via the ink supply path. By applying an electric field to the electrode via the wiring pattern, the side wall is subjected to shear deformation. In the method of manufacturing an ink jet print head for discharging ink in the discharge channel from the ink discharge surface, at least the piezoelectric member A first member including a side wall portion that, the second comprising forming at least part of the wiring pattern
After the members are individually formed, the first member and the second member are formed.
And a method for manufacturing an ink jet print head characterized by being bonded to the above member. With such a configuration, it is possible to process only the grooves of the piezoelectric member of the first member by linear dicing, and to process the second member by molding or sandblasting using, for example, general-purpose ceramics. Therefore, a complicated concave shape such as an ink supply path can be easily formed. Further, since the piezoelectric member may be used only for the discharge channel portion, the expensive piezoelectric member is not wasted and the cost can be reduced.

【0006】ここで,上記吐出チャンネルを構成する上
記圧電素子以外の側壁部分は,図2に示すように上記第
1の部材を構成するようにしてもよいし,図5に示すよ
うに上記第2の部材として一体的に形成してもよいが,
前者の場合には第1の部材を更に2つに分けて形成する
必要があるため,後者の方が部品数を削減することが可
能である。また,上記第2の部材における上記ヘッド基
材上面の上記配線パターンの形成部分を凹状に形成し,
上記第1,第2の部材を接着後,それらの全表面にメッ
キ層を形成し,更に上記ヘッド基材上面と上記インク吐
出面とを研磨することによって各吐出チャンネル毎に分
離された上記配線パターンと上記電極とを形成するよう
に構成すれば,マスキングなどの処理を行うことなく,
機械処理のみで電極及び配線パターンを容易に形成する
ことが可能である。また,配線パターンをメッキにより
形成しているため,蒸着等と比べてエッジ部分などにも
確実に配線パターンを形成することが可能である。ま
た,これによって製造されたインクジェットプリントヘ
ッドは,配線パターンが凹状の溝内に形成されることと
なるため,後工程において例えば処理装置の一部分で引
っ掻かれて配線パターンが剥がれるといった不具合を防
止できる。
Here, the side wall portion other than the piezoelectric element constituting the discharge channel may constitute the first member as shown in FIG. 2 or the first member as shown in FIG. Although it may be formed integrally as a member of 2,
In the former case, the first member needs to be further divided into two parts, so that the latter can reduce the number of parts. Further, a portion of the second member on which the wiring pattern is formed on the upper surface of the head substrate is formed in a concave shape,
After bonding the first and second members, a plating layer is formed on the entire surface thereof, and the upper surface of the head substrate and the ink discharge surface are polished to separate the wirings separated for each discharge channel. If it is configured to form a pattern and the above-mentioned electrodes, it is possible to perform processing such as masking without performing
Electrodes and wiring patterns can be easily formed only by mechanical processing. In addition, since the wiring pattern is formed by plating, it is possible to form the wiring pattern more reliably on the edge portion and the like than by vapor deposition or the like. Further, in the ink jet print head manufactured by this, since the wiring pattern is formed in the concave groove, it is possible to prevent a problem that the wiring pattern is peeled off in a later process, for example, by being scratched by a part of the processing apparatus. .

【0007】また,上記ヘッド基材上面の上記配線パタ
ーンに接続するように,インク吐出の制御を行う電気回
路部品を搭載すれば,当該プリントヘッドから引き出さ
れる引き出し線の数を少なくすることができ,コストを
抑えることが可能となる。また,上記第1の部材,及び
上記第2の部材の上記圧電部材部分以外は,上記圧電部
材よりも比誘電率の低い材料,例えば汎用セラミック,
マシナブルセラミック,プラスチック等により構成すれ
ば,例えばインク供給部の隔壁部分などにおける静電容
量を低くすることができ,不要な電力消費を少なく抑え
ることが可能である。尚,上記第1の部材の凹形状は,
例えばサンドブラストや成型を用いることにより,複雑
な形状でも容易に形成することが可能である。
In addition, if an electric circuit component for controlling ink ejection is mounted so as to be connected to the wiring pattern on the upper surface of the head substrate, the number of lead lines drawn from the print head can be reduced. , Cost can be reduced. In addition, except for the piezoelectric member portion of the first member and the second member, a material having a lower relative dielectric constant than the piezoelectric member, for example, a general-purpose ceramic,
If it is made of a machinable ceramic, plastic, or the like, for example, it is possible to reduce the capacitance at the partition wall portion of the ink supply unit, and it is possible to suppress unnecessary power consumption. The concave shape of the first member is
For example, by using sand blasting or molding, it is possible to easily form even a complicated shape.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して,本発明
の実施の形態及び実施例につき説明し,本発明の理解に
供する。尚,以下の実施の形態及び実施例は本発明を具
体化した一例であって,本発明の技術的範囲を限定する
性格のものではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments and examples of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings to facilitate understanding of the present invention. The following embodiments and examples are mere examples embodying the present invention, and do not limit the technical scope of the present invention.

【0009】(実施の形態1)本実施の形態1に係るイ
ンクジェットプリントヘッドの製造方法を,図1に示す
フローチャート及び図2,図3に示す説明図を用いて説
明する。 (1.ヘッド基材3の形成処理)図1に示すように,本
実施の形態1に係るインクジェットプリントヘッドの製
造方法では,吐出チャンネルcを含む部材1(第1の部
材の一例)と,インク供給路2a及び配線パターン形成
部分2bとを含む部材2(第2の部材の一例)とを個別
に作成し,それらを接着することによってまずヘッド基
材3を形成する。ここで,上記部材1は,略同形状の下
部材1aと上部材1bとを貼り合わせることにより形成
する。まず,上記下部材1aを,図2(a)に示すよう
に汎用セラミックス板1aaと圧電部材1abとを貼り
合わせた後(S1),図2(b)に示すように上記圧電
材料1ab部分に例えばダイシングによる溝加工を施す
ことによって形成する(S2)。また,上記上部材1b
は,例えば成型,サンドブラスト等を用いて汎用セラミ
ックス板により上記下部材1aと略同形状に形成する
(S3)。もちろん,上記下部材1aと同様にダイシン
グ加工を用いて形成してもよい。
(Embodiment 1) A method of manufacturing an ink jet print head according to Embodiment 1 will be described with reference to a flowchart shown in FIG. 1 and explanatory diagrams shown in FIGS. (1. Processing for Forming Head Base Material 3) As shown in FIG. 1, in the method for manufacturing an ink jet print head according to the first embodiment, a member 1 (an example of a first member) including a discharge channel c, A member 2 (an example of a second member) including the ink supply path 2a and the wiring pattern forming portion 2b is separately formed, and the head base material 3 is first formed by bonding them. Here, the member 1 is formed by bonding a lower member 1a and an upper member 1b having substantially the same shape. First, after attaching the lower member 1a to the general-purpose ceramic plate 1aa and the piezoelectric member 1ab as shown in FIG. 2A (S1), the lower member 1a is attached to the piezoelectric material 1ab as shown in FIG. 2B. For example, it is formed by performing groove processing by dicing (S2). The upper member 1b
Is formed in a substantially same shape as the lower member 1a by a general-purpose ceramic plate using, for example, molding, sand blasting or the like (S3). Of course, it may be formed using dicing as in the case of the lower member 1a.

【0010】次に,図2(c)右図に示すように,個別
に形成された上記上部材1bと上記下部材1aとを,互
いに溝部分を向かい合わせにして貼り合わせることによ
り上記部材1を完成させる(S4)。また,上記部材2
は,例えば汎用セラミックスを用いて,成型,サンドブ
ラスト等を用いて形成する(S5)。上記部材2は,図
2(c)左図に示すように,直方体の一面(上記部材1
との接着面と隣り合う面)に配線パターン形成部分2b
が凹状に形成され,更に上記部材1との接着面には,イ
ンク供給路2aを構成する溝が,上記配線パターン形成
部分2bと上記部材1の吐出チャンネルcとを繋ぐよう
に形成される。また,上記配線パターン形成部分2b
は,ドライバIC4を取り付けるIC取り付け部2cを
挟んで両側に形成される。続いて,図2(c)に示すよ
うに,以上のようにしてそれぞれ形成された部材1と部
材2とを,部材1の吐出チャンネルcの端面と部材2の
インク供給路2aの形成面とを合わせるように接着し,
ヘッド基材3を形成する(S6)。以上のように,別個
に形成した部材1と部材2とを接着してヘッド基材3を
形成するため,部材1の圧電部材1ab部分の溝加工の
みを直線のダイシングにより行い,部材2については例
えば汎用セラミックスなどを用いて成型やサンドブラス
ト等を用いて加工することが可能であるため,インク供
給路2aや配線パターン形成部2b等の複雑な凹形状を
容易に形成することができる。また,圧電部材は吐出チ
ャンネル部分にのみ用いられるため,高価な圧電部材を
無駄に使用することがなく,コストも低減できる。
Next, as shown in the right figure of FIG. 2 (c), the upper member 1b and the lower member 1a which are individually formed are bonded together with their grooves facing each other. Is completed (S4). The above member 2
Is formed, for example, using general-purpose ceramics by molding, sandblasting, or the like (S5). As shown in the left diagram of FIG. 2C, the member 2 is provided on one surface of the rectangular parallelepiped (the member 1).
Wiring pattern forming portion 2b
Are formed in a concave shape, and a groove forming an ink supply path 2a is formed on the bonding surface with the member 1 so as to connect the wiring pattern forming portion 2b and the discharge channel c of the member 1. In addition, the wiring pattern forming portion 2b
Are formed on both sides of the IC mounting portion 2c for mounting the driver IC 4. Subsequently, as shown in FIG. 2C, the member 1 and the member 2 formed as described above are respectively combined with the end face of the ejection channel c of the member 1 and the formation surface of the ink supply passage 2a of the member 2. And glue them together
The head substrate 3 is formed (S6). As described above, since the separately formed member 1 and member 2 are bonded to form the head base material 3, only the groove processing of the piezoelectric member 1ab of the member 1 is performed by linear dicing, and the member 2 is formed. For example, since it is possible to mold using general-purpose ceramics or process using sand blasting or the like, a complicated concave shape such as the ink supply path 2a or the wiring pattern forming portion 2b can be easily formed. Further, since the piezoelectric member is used only in the discharge channel portion, the expensive piezoelectric member is not wasted and the cost can be reduced.

【0011】(2.電極及び配線パターンの形成処理)
続いて,無電解メッキにより,上記ヘッド基材3の全面
にメッキ処理を施す(S7)。このメッキ処理について
簡単に説明すると,まず無電解メッキの前処理として,
洗浄,キャタライジング,アクセラレーティング処理を
行う。洗浄は,メッキ形成面の活性化及びキャタリスト
液,アクセラレータ液やメッキ液が溝等に入り易くする
ための親水化を目的として行われる。キャタライジング
処理は,塩化パラジュウム,塩化第一錫,濃硫酸等から
なる前処理液としてのキャタリスト液に被処理部材を浸
し,各部表面にPd・Snの錯化物を吸着させる目的で
行われる。キャタライジング処理を行うと,各部の表面
にPd・Snの錯化物が吸着される。アクセラレーティ
ング処理は,キャタライジング処理で吸着された錯化物
を触媒化する目的で行うもので,各部表面に吸着された
錯化物は触媒核としての金属化されたPdとなる。次
に,上記の処理を施した被処理部材(ヘッド基材3)を
メッキ液に浸漬して無電解メッキを行う。メッキ液は,
金属塩及び還元剤からなる主成分と,pH調整剤,緩衝
剤,錯化剤,促進剤,安定剤,改良剤等からなる補助成
分とからなる。このメッキ液に被処理部材(ヘッド基材
3)を浸すと,金属化されたPdを触媒核としてメッキ
が溝部を含む表面全体に生成される。
(2. Process of forming electrodes and wiring patterns)
Subsequently, a plating process is performed on the entire surface of the head substrate 3 by electroless plating (S7). To briefly explain the plating process, first, as a pretreatment for electroless plating,
Performs cleaning, catalyzing, and accelerating processing. The cleaning is performed for the purpose of activating the plating surface and making the catalyst solution, the accelerator solution and the plating solution hydrophilic so as to easily enter the grooves and the like. The catalizing treatment is performed for the purpose of immersing the member to be treated in a catalyst liquid as a pretreatment liquid composed of palladium chloride, stannous chloride, concentrated sulfuric acid and the like, and adsorbing a complex of Pd and Sn on the surface of each part. When the catalizing process is performed, the complex of Pd and Sn is adsorbed on the surface of each part. The accelerating process is performed to catalyze the complex adsorbed by the catalizing process, and the complex adsorbed on the surface of each part becomes metalized Pd as a catalyst core. Next, the member to be processed (head base material 3) that has been subjected to the above processing is immersed in a plating solution to perform electroless plating. The plating solution is
It comprises a main component consisting of a metal salt and a reducing agent, and auxiliary components consisting of a pH adjuster, a buffer, a complexing agent, an accelerator, a stabilizer, an improver and the like. When the member to be processed (the head substrate 3) is immersed in the plating solution, plating is generated on the entire surface including the groove portion using the metallized Pd as a catalyst nucleus.

【0012】以上のようにしてヘッド基材3の表面にメ
ッキ処理が施されると,続いて,図3に示すように,上
記ヘッド基材3の上面3a(配線パターン形成部分2b
の形成面)とインク吐出面3b(吐出チャンネルcの穴
の形成面)とをラッピング処理し,その表面(凹部を除
く)のメッキを剥がす(S8)。その他の面については
必ずしもラッピング処理を行う必要はない。これによ
り,メッキ部は各吐出チャンネル毎に分離され,吐出チ
ャンネルc内の電極とそれに接続される配線パターンと
が形成される。以上のように,配線パターン形成部2b
を凹状に形成したことにより,マスキングなどの処理を
行うことなく,機械処理のみで電極及び配線パターンを
容易に形成することが可能である。また,上記ヘッド基
材3の上面3aに形成される配線パターンは,凹状に形
成された配線パターン形成部2b内に形成されるため,
後工程において例えば処理装置の一部分で引っ掻かれて
配線パターンが剥がれるといった不具合を防止できる。
When the plating process is performed on the surface of the head substrate 3 as described above, subsequently, as shown in FIG. 3, the upper surface 3a of the head substrate 3 (the wiring pattern forming portion 2b
And the ink discharge surface 3b (the surface on which the holes of the discharge channels c are formed) are wrapped, and the plating on the surface (excluding the concave portions) is removed (S8). It is not always necessary to perform a lapping process on other surfaces. As a result, the plating portion is separated for each discharge channel, and an electrode in the discharge channel c and a wiring pattern connected thereto are formed. As described above, the wiring pattern forming portion 2b
By forming a concave shape, it is possible to easily form electrodes and wiring patterns only by mechanical processing without performing processing such as masking. Further, since the wiring pattern formed on the upper surface 3a of the head base material 3 is formed in the wiring pattern forming portion 2b formed in a concave shape,
In the subsequent process, for example, a problem that the wiring pattern is peeled off by being scratched by a part of the processing apparatus can be prevented.

【0013】(3.その他の形成処理)上記のようにし
て電極及び配線パターンが形成されると,図3に示すよ
うに,上記IC取り付け部2cに,その両側の配線パタ
ーンを繋ぐように,インク吐出の制御を行うドライバI
C4(電気回路部品の一例)を取り付ける(S9)。ド
ライバIC4の端子の配線パターンへの接続は,低温は
んだ若しくは導電性接着剤等を用いて行えばよい。尚,
図2(c)ではドライバIC4の両側の配線パターンの
数が同じになっているが,ドライバIC4を搭載するこ
とによりその上流側(吐出チャンネルと反対側)の配線
パターンの数を下流側に比べて少なくすることが可能で
ある。これにより,当該プリントヘッドから引き出され
る引き出し線の数を少なくすることができ,コストを抑
えることが可能となる。次に,インクタンクに接続され
るインク流路5を上記インク供給路2aに接続する(S
10)。当然ながら,上記インク供給路2aに繋がって
いる配線パターン形成部2bの凹部はインクが漏れない
ようにシールする必要がある。最後に,上記ヘッド基材
3のインク吐出面3bにインク吐出口6aを有するオリ
フィスプレート6を接着する(S11)。
(3. Other Forming Process) When the electrodes and the wiring patterns are formed as described above, as shown in FIG. 3, the IC mounting portion 2c is connected to the wiring patterns on both sides thereof. Driver I for controlling ink ejection
C4 (an example of an electric circuit component) is attached (S9). The connection of the terminals of the driver IC 4 to the wiring pattern may be performed using low-temperature solder or conductive adhesive. still,
Although the number of wiring patterns on both sides of the driver IC 4 is the same in FIG. 2C, the number of wiring patterns on the upstream side (opposite side of the ejection channel) is reduced by mounting the driver IC 4 on the downstream side. It is possible to reduce it. As a result, the number of lead lines drawn from the print head can be reduced, and the cost can be reduced. Next, the ink flow path 5 connected to the ink tank is connected to the ink supply path 2a (S
10). Naturally, it is necessary to seal the concave portion of the wiring pattern forming portion 2b connected to the ink supply path 2a so that the ink does not leak. Finally, the orifice plate 6 having the ink discharge ports 6a is bonded to the ink discharge surface 3b of the head base material 3 (S11).

【0014】以上説明したように,本実施の形態に係る
インクジェットプリントヘッドの製造方法によれば,別
個に形成した部材1と部材2とを接着してヘッド基材3
を形成するため,部材1の圧電部材1ab部分の溝加工
のみを直線のダイシングにより行い,部材2については
例えば汎用セラミックスなどを用いて成型やサンドブラ
スト等を用いて加工することが可能であるため,インク
供給路2aや配線パターン形成部2b等の複雑な凹形状
を容易に形成することができる。また,圧電部材は吐出
チャンネル部分にのみ用いられるため,高価な圧電部材
を無駄に使用することがなく,コストも低減できる。ま
た,配線パターン形成部2bを凹状に形成することによ
り,マスキングなどの処理を行うことなく,機械処理の
みで電極及び配線パターンを容易に形成することが可能
である。また,配線パターンをメッキにより形成してい
るため,蒸着等と比べてエッジ部分などにも確実に配線
パターンを形成することが可能である。また,これによ
って製造されたインクジェットプリントヘッドは,配線
パターンが凹状に形成された配線パターン形成部2b内
に形成されているため,後工程において例えば処理装置
の一部分で引っ掻かれて配線パターンが剥がれるといっ
た不具合を防止できる。また,インクジェットプリント
ヘッドにドライバIC4を搭載しているため,ドライバ
IC4の上流側(吐出チャンネルと反対側)の配線パタ
ーンの数を下流側に比べて少なくすることが可能とな
り,当該プリントヘッドから引き出される引き出し線の
数を少なくすることができ,コストを抑えることが可能
となる。
As described above, according to the method of manufacturing an ink jet print head according to the present embodiment, the separately formed member 1 and member 2 are bonded to each other to form the head base material 3.
Since only the groove processing of the piezoelectric member 1ab portion of the member 1 is performed by linear dicing, the member 2 can be processed by molding or sandblasting using, for example, general-purpose ceramics. A complicated concave shape such as the ink supply path 2a or the wiring pattern forming portion 2b can be easily formed. Further, since the piezoelectric member is used only in the discharge channel portion, the expensive piezoelectric member is not wasted and the cost can be reduced. Further, by forming the wiring pattern forming portion 2b in a concave shape, it is possible to easily form electrodes and wiring patterns only by mechanical processing without performing processing such as masking. In addition, since the wiring pattern is formed by plating, it is possible to form the wiring pattern more reliably on the edge portion and the like than by vapor deposition or the like. In addition, since the ink jet print head manufactured in this manner is formed in the wiring pattern forming part 2b in which the wiring pattern is formed in a concave shape, the wiring pattern is peeled off in a later process, for example, by being scratched by a part of the processing apparatus. Such troubles can be prevented. In addition, since the driver IC 4 is mounted on the ink jet print head, the number of wiring patterns on the upstream side (opposite side of the ejection channel) of the driver IC 4 can be reduced as compared with the number on the downstream side, and the driver IC 4 is pulled out from the print head. The number of lead lines to be used can be reduced, and the cost can be reduced.

【0015】(実施の形態2)上記実施の形態1では,
吐出チャンネルcとインク供給路2aとの間で部材1と
部材2とを分断し,それぞれ別個に作成して貼り合わせ
ることによってヘッド基材2を形成した。しかしなが
ら,このような分け方では上記部材1についても下部材
1aと上部材1bとで別個に形成して貼り合わせる必要
があり,部品数が多くなってしまう。ここで,上記上部
材1bについては例えば汎用セラミックスなどの上記部
材2と同じ材料を用いることができるため,上記上部材
1bを上記部材2と一体形成するようにすれば(図5
(b)の部材2′参照),部材数を1つ削減することが
可能であり,コスト低減,組み立て工程の簡略化が期待
できる。図4に示す本実施の形態2に係る製造工程が上
記実施の形態1と異なるのは,ヘッド基材3の形成処理
の部分のみである。即ち,まず部材1′(第1の部材の
一例)を,図5(a)に示すように汎用セラミックス板
1aaと圧電部材1abとを貼り合わせた後(S
1′),図5(b)右図に示すように上記圧電材料1a
b部分に例えばダイシングによる溝加工を施すことによ
って形成する(S2′)。また,部材2′(第2の部材
の一例)は,図5(b)左図に示すように,例えば汎用
セラミックスを用いて,成型,サンドブラスト等を用い
て形成する(S5′)。そして,図5(b)に示すよう
に,以上のようにしてそれぞれ形成された部材1′と部
材2′とを,両者の吐出チャンネルを構成する溝部分を
合わせ,更に部材2′のインク供給路2aの溝部分を部
材1′の端面に合わせるように接着し,ヘッド基材3を
形成する(S6′)。以降の処理については上記実施の
形態1と同様であるため説明は省略する。以上説明した
ように,本実施の形態2に係る製造方法によれば,上記
実施の形態1と同様の効果に加えて,部材数を1つ削減
することが可能であり,コスト低減,組み立て工程の簡
略化が期待できる。
(Embodiment 2) In Embodiment 1 described above,
The head substrate 2 was formed by dividing the member 1 and the member 2 between the ejection channel c and the ink supply path 2a, separately creating and bonding the members. However, in such a division method, it is necessary to separately form the lower member 1a and the upper member 1b for the above-mentioned member 1 and bond them together, which increases the number of parts. Here, since the same material as the member 2 such as general-purpose ceramics can be used for the upper member 1b, the upper member 1b may be formed integrally with the member 2 (FIG. 5).
(Refer to the member 2 'in (b)), the number of members can be reduced by one, and cost reduction and simplification of the assembling process can be expected. The manufacturing process according to the second embodiment shown in FIG. 4 is different from the above-described first embodiment only in the portion of the head base material 3 forming process. That is, the member 1 '(an example of the first member) is first bonded to the general-purpose ceramic plate 1aa and the piezoelectric member 1ab as shown in FIG.
1 ') and the piezoelectric material 1a as shown in FIG.
The groove b is formed by, for example, performing groove processing by dicing (S2 '). The member 2 '(an example of a second member) is formed by molding, sandblasting, or the like using, for example, general-purpose ceramics as shown in the left diagram of FIG. 5B (S5'). Then, as shown in FIG. 5 (b), the member 1 'and the member 2' formed respectively as described above are aligned with the grooves constituting the discharge channels of both members, and the ink supply of the member 2 'is further performed. The head substrate 3 is formed by bonding so that the groove portion of the path 2a is aligned with the end surface of the member 1 '(S6'). Subsequent processing is the same as in the first embodiment, and a description thereof will not be repeated. As described above, according to the manufacturing method according to the second embodiment, in addition to the same effects as in the first embodiment, it is possible to reduce the number of members by one, and to reduce the cost and the assembly process. Can be expected.

【0016】(その他の変形例)上記の例では,圧電部
材以外の材料として汎用セラミックスを用いたが,その
他,いわゆるマシナブルセラミックスやプラスチックな
どを用いることも可能である。尚,これら材料の比誘電
率を上記圧電材料よりも低くすれば,例えばインク供給
部2aの隔壁部分などにおける静電容量を低くすること
ができ,不要な電力消費を少なく抑えることが可能であ
る。
(Other Modifications) In the above example, general-purpose ceramics are used as a material other than the piezoelectric member, but other materials such as so-called machinable ceramics and plastics can also be used. If the relative permittivity of these materials is lower than that of the piezoelectric material, for example, the capacitance at the partition wall of the ink supply unit 2a can be reduced, and unnecessary power consumption can be reduced. .

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように,本発明は,略直方
体のヘッド基材の一面であるインク吐出面に略垂直な複
数の角管状に形成され,間を隔てる側壁の少なくとも一
部分が圧電部材により構成されると共にそれら側壁に電
極が形成される吐出チャンネルと,上記インク吐出面に
隣り合う上記ヘッド基材の上面から上記吐出チャンネル
に連通するように形成されるインク供給路と,上記ヘッ
ド基材上面から上記インク供給路を介して上記電極と導
通する配線パターンとを具備し,上記配線パターンを介
して上記電極に電界を印加して上記側壁を剪断変形させ
ることにより上記吐出チャンネル内のインクを上記イン
ク吐出面から吐出させるインクジェットプリントヘッド
の製造方法において,少なくとも上記圧電部材よりなる
側壁部分を含む第1の部材と,少なくとも上記配線パタ
ーンの形成部分を含む第2の部材とを個別に形成した
後,それら第1の部材と第2の部材とを接着してなるこ
とを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方
法として構成されているため,第1の部材の圧電部材の
溝加工のみを直線のダイシングにより行い,第2の部材
については例えば汎用セラミックスなどを用いて成型や
サンドブラスト等を用いて加工することが可能であり,
インク供給路等の複雑な凹形状を容易に形成することが
できる。また,圧電部材は吐出チャンネル部分にのみ用
いればよいため,高価な圧電部材を無駄に使用すること
がなく,コストも低減できる。
As described above, according to the present invention, at least a part of the side wall formed in a plurality of rectangular tubes substantially perpendicular to the ink ejection surface which is one surface of the substantially rectangular parallelepiped head base material is provided. And an ink supply passage formed from the upper surface of the head base material adjacent to the ink ejection surface to communicate with the ejection channel; A wiring pattern that conducts from the upper surface of the material to the electrode via the ink supply path, and applies an electric field to the electrode via the wiring pattern to shear-deform the sidewall, thereby forming an ink in the discharge channel. A method for manufacturing an ink jet print head for discharging ink from the ink discharge surface, the method including at least a side wall portion made of the piezoelectric member. And a second member including at least a portion where the wiring pattern is formed, and then bonding the first member and the second member to each other. Since it is configured as a manufacturing method, only the groove processing of the piezoelectric member of the first member is performed by linear dicing, and the second member is processed by molding or sandblasting using, for example, general-purpose ceramics. Is possible,
A complicated concave shape such as an ink supply path can be easily formed. Further, since the piezoelectric member may be used only for the discharge channel portion, the expensive piezoelectric member is not wasted and the cost can be reduced.

【0018】ここで,上記吐出チャンネルを構成する上
記圧電素子以外の側壁部分は,図2に示すように上記第
1の部材を構成するようにしてもよいし,図5に示すよ
うに上記第2の部材として一体的に形成してもよいが,
前者の場合には第1の部材を更に2つに分けて形成する
必要があるため,後者の方が部品数を削減することが可
能である。また,上記第2の部材における上記ヘッド基
材上面の上記配線パターンの形成部分を凹状に形成し,
上記第1,第2の部材を接着後,それらの全表面にメッ
キ層を形成し,更に上記ヘッド基材上面と上記インク吐
出面とを研磨することによって各吐出チャンネル毎に分
離された上記配線パターンと上記電極とを形成するよう
に構成すれば,マスキングなどの処理を行うことなく,
機械処理のみで電極及び配線パターンを容易に形成する
ことが可能である。また,配線パターンをメッキにより
形成しているため,蒸着等と比べてエッジ部分などにも
確実に配線パターンを形成することが可能である。ま
た,これによって製造されたインクジェットプリントヘ
ッドは,配線パターンが凹状の溝内に形成されることと
なるため,後工程において例えば処理装置の一部分で引
っ掻かれて配線パターンが剥がれるといった不具合を防
止できる。
Here, the side wall portion other than the piezoelectric element constituting the discharge channel may constitute the first member as shown in FIG. 2 or the first member as shown in FIG. Although it may be formed integrally as a member of 2,
In the former case, the first member needs to be further divided into two parts, so that the latter can reduce the number of parts. Further, a portion of the second member on which the wiring pattern is formed on the upper surface of the head substrate is formed in a concave shape,
After bonding the first and second members, a plating layer is formed on the entire surface thereof, and the upper surface of the head substrate and the ink discharge surface are polished to separate the wirings separated for each discharge channel. If it is configured to form a pattern and the above-mentioned electrodes, it is possible to perform processing such as masking without performing
Electrodes and wiring patterns can be easily formed only by mechanical processing. In addition, since the wiring pattern is formed by plating, it is possible to form the wiring pattern more reliably on the edge portion and the like than by vapor deposition or the like. Further, in the ink jet print head manufactured by this, since the wiring pattern is formed in the concave groove, it is possible to prevent a problem that the wiring pattern is peeled off in a later process, for example, by being scratched by a part of the processing apparatus. .

【0019】また,上記ヘッド基材上面の上記配線パタ
ーンに接続するように,インク吐出の制御を行う電気回
路部品を搭載すれば,当該プリントヘッドから引き出さ
れる引き出し線の数を少なくすることができ,コストを
抑えることが可能となる。また,上記第1の部材,及び
上記第2の部材の上記圧電部材部分以外は,上記圧電部
材よりも比誘電率の低い材料,例えば汎用セラミック,
マシナブルセラミック,プラスチック等により構成すれ
ば,例えばインク供給部の隔壁部分などにおける静電容
量を低くすることができ,不要な電力消費を少なく抑え
ることが可能である。尚,上記第1の部材の凹形状は,
例えばサンドブラストや成型を用いることにより,複雑
な形状でも容易に形成することが可能である。
Further, if an electric circuit component for controlling ink ejection is mounted so as to be connected to the wiring pattern on the upper surface of the head substrate, the number of lead lines drawn from the print head can be reduced. , Cost can be reduced. In addition, except for the piezoelectric member portion of the first member and the second member, a material having a lower relative dielectric constant than the piezoelectric member, for example, a general-purpose ceramic,
If it is made of a machinable ceramic, plastic, or the like, for example, it is possible to reduce the capacitance at the partition wall portion of the ink supply unit, and it is possible to suppress unnecessary power consumption. The concave shape of the first member is
For example, by using sand blasting or molding, it is possible to easily form even a complicated shape.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1に係るインクジェット
プリントヘッドの製造方法を説明するフローチャート。
FIG. 1 is a flowchart illustrating a method for manufacturing an ink jet print head according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 上記実施の形態1に係る製造方法におけるヘ
ッド基材3の形成処理部分の説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a formation processing portion of a head base material 3 in the manufacturing method according to the first embodiment.

【図3】 上記実施の形態1に係る製造方法における電
極及び配線パターンの形成処理以降の説明図。
FIG. 3 is an explanatory view after an electrode and wiring pattern forming process in the manufacturing method according to the first embodiment;

【図4】 本発明の実施の形態2に係るインクジェット
プリントヘッドの製造方法を説明するフローチャート。
FIG. 4 is a flowchart illustrating a method for manufacturing an ink jet print head according to a second embodiment of the present invention.

【図5】 上記実施の形態2に係る製造方法におけるヘ
ッド基材3の形成処理部分の説明図。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a portion of the head substrate 3 in a manufacturing method according to the second embodiment.

【図6】 従来技術に係るインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法の説明図。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a method for manufacturing an ink jet print head according to the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′…部材(第1の部材の一例) 2,2′…部材(第2の部材の一例) 1b…上部材(吐出チャンネルを構成する圧電素子以外
の側壁部分に相当) 1ab…圧電部材 2a…インク供給路 2b…配線パターン形成部 3…ヘッド基材 3a…ヘッド基材上面 3b…インク吐出面 4…ドライバIC(電気回路部品の一例) c…吐出チャンネル
1, 1 '... member (an example of a first member) 2, 2' ... member (an example of a second member) 1b ... upper member (corresponding to a side wall portion other than the piezoelectric element constituting the discharge channel) 1ab ... piezoelectric Member 2a: Ink supply path 2b: Wiring pattern forming part 3: Head substrate 3a: Upper surface of head substrate 3b: Ink ejection surface 4: Driver IC (an example of an electric circuit component) c: Ejection channel

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 略直方体のヘッド基材の一面であるイン
ク吐出面に略垂直な複数の角管状に形成され,間を隔て
る側壁の少なくとも一部分が圧電部材により構成される
と共にそれら側壁に電極が形成される吐出チャンネル
と,上記インク吐出面に隣り合う上記ヘッド基材の上面
から上記吐出チャンネルに連通するように形成されるイ
ンク供給路と,上記ヘッド基材上面から上記インク供給
路を介して上記電極と導通する配線パターンとを具備
し,上記配線パターンを介して上記電極に電界を印加し
て上記側壁を剪断変形させることにより上記吐出チャン
ネル内のインクを上記インク吐出面から吐出させるイン
クジェットプリントヘッドの製造方法において,少なく
とも上記圧電部材よりなる側壁部分を含む第1の部材
と,少なくとも上記配線パターンの形成部分を含む第2
の部材とを個別に形成した後,それら第1の部材と第2
の部材とを接着してなることを特徴とするインクジェッ
トプリントヘッドの製造方法。
1. A plurality of rectangular tubes substantially perpendicular to an ink ejection surface, which is one surface of a substantially rectangular parallelepiped head substrate, wherein at least a part of a side wall separating the side walls is formed of a piezoelectric member and electrodes are formed on the side walls. A discharge channel formed, an ink supply path formed to communicate from the upper surface of the head base material adjacent to the ink discharge surface to the discharge channel, and an ink supply path from the upper surface of the head base material via the ink supply path. An ink jet printing method, comprising: a wiring pattern electrically connected to the electrode; and applying an electric field to the electrode through the wiring pattern to cause the side wall to be sheared to discharge ink in the discharge channel from the ink discharge surface. In the method of manufacturing a head, a first member including at least a side wall portion made of the piezoelectric member and The second including the turn forming part
After the members are individually formed, the first member and the second member are formed.
A method for manufacturing an ink-jet printhead, comprising bonding a member of (1).
【請求項2】 上記吐出チャンネルを構成する上記圧電
素子以外の側壁部分は上記第1の部材を構成する請求項
1記載のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
2. The method for manufacturing an ink jet print head according to claim 1, wherein a side wall portion other than said piezoelectric element constituting said discharge channel constitutes said first member.
【請求項3】 上記吐出チャンネルを構成する上記圧電
素子以外の側壁部分は,上記第2の部材として一体的に
形成される請求項1記載のインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein a side wall other than the piezoelectric element constituting the discharge channel is integrally formed as the second member.
【請求項4】 上記第2の部材における上記ヘッド基材
上面の上記配線パターンの形成部分を凹状に形成し,上
記第1,第2の部材を接着後,それらの全表面にメッキ
層を形成し,更に上記ヘッド基材上面と上記インク吐出
面とを研磨することによって各吐出チャンネル毎に分離
された上記配線パターンと上記電極とを形成してなる請
求項1〜3のいずれかに記載のインクジェットプリント
ヘッドの製造方法。
4. A portion of the second member on which the wiring pattern is formed on the upper surface of the head substrate is formed in a concave shape, and after bonding the first and second members, a plating layer is formed on the entire surface thereof. 4. The electrode according to claim 1, further comprising polishing the upper surface of the head substrate and the ink ejection surface to form the wiring pattern and the electrode separated for each ejection channel. A method for manufacturing an ink jet print head.
【請求項5】 上記ヘッド基材上面の上記配線パターン
に接続するように,インク吐出の制御を行う電気回路部
品を搭載する請求項1〜4のいずれかに記載のインクジ
ェットプリントヘッドの製造方法。
5. The method for manufacturing an ink jet print head according to claim 1, wherein an electric circuit component for controlling ink ejection is mounted so as to be connected to the wiring pattern on the upper surface of the head base material.
【請求項6】 上記第1の部材,及び上記第2の部材の
上記圧電部材部分以外は,上記圧電部材よりも比誘電率
の低い材料で構成される請求項1〜5のいずれかに記載
のインクジェットプリントヘッドの製造方法。
6. The piezoelectric member according to claim 1, wherein a portion other than the piezoelectric member of the first member and the second member is made of a material having a lower dielectric constant than the piezoelectric member. Of manufacturing an inkjet print head.
【請求項7】 上記圧電部材よりも比誘電率の低い材料
がセラミックである請求項6記載のインクジェットプリ
ントヘッドの製造方法。
7. The method according to claim 6, wherein the material having a lower relative dielectric constant than the piezoelectric member is ceramic.
【請求項8】 上記圧電部材よりも比誘電率の低い材料
がプラスチックである請求項6記載のインクジェットプ
リントヘッドの製造方法。
8. The method according to claim 6, wherein the material having a lower relative dielectric constant than the piezoelectric member is plastic.
【請求項9】 上記第1の部材の凹形状をサンドブラス
トにより形成する請求項1〜8のいずれかに記載のイン
クジェットプリントヘッドの製造方法。
9. The method according to claim 1, wherein the concave shape of the first member is formed by sandblasting.
【請求項10】 上記第1の部材の凹形状を成型により
形成する請求項1〜8のいずれかに記載のインクジェッ
トプリントヘッドの製造方法。
10. The method according to claim 1, wherein the concave shape of the first member is formed by molding.
【請求項11】 略直方体のヘッド基材の一面であるイ
ンク吐出面に略垂直な複数の角管状に形成され,間を隔
てる側壁の少なくとも一部分が圧電部材により構成され
ると共にそれら側壁に電極が形成される吐出チャンネル
と,上記インク吐出面に隣り合う上記ヘッド基材の上面
から上記吐出チャンネルに連通するように形成されるイ
ンク供給路と,上記ヘッド基材上面から上記インク供給
路を介して上記電極と導通する配線パターンとを具備
し,上記配線パターンを介して上記電極に電界を印加し
て上記側壁を剪断変形させることにより上記吐出チャン
ネル内のインクを上記インク吐出面から吐出させるイン
クジェットプリントヘッドにおいて,上記第2の部材に
おける上記ヘッド基材上面の上記配線パターンの形成部
分が凹状に形成されてなることを特徴とするインクジェ
ットプリントヘッド。
11. A plurality of rectangular tubes substantially perpendicular to an ink ejection surface, which is one surface of a substantially rectangular parallelepiped head base material, at least a part of a side wall separating each other is formed of a piezoelectric member, and electrodes are formed on the side walls. A discharge channel formed, an ink supply path formed to communicate from the upper surface of the head base material adjacent to the ink discharge surface to the discharge channel, and an ink supply path from the upper surface of the head base material via the ink supply path. An ink jet printing method, comprising: a wiring pattern electrically connected to the electrode; and applying an electric field to the electrode through the wiring pattern to cause the side wall to be sheared to discharge ink in the discharge channel from the ink discharge surface. In the head, a portion of the second member on which the wiring pattern is formed on the upper surface of the head substrate is formed in a concave shape. An ink jet print head, comprising:
【請求項12】 上記ヘッド基材上面の上記配線パター
ンに接続するように,インク吐出の制御を行う電気回路
部品が搭載されてなる請求項11記載のインクジェット
プリントヘッド。
12. The ink jet print head according to claim 11, further comprising an electric circuit component for controlling ink ejection so as to be connected to the wiring pattern on the upper surface of the head base material.
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