JP2002025842A - Method for manufacturing rare-earth sintered magnet - Google Patents

Method for manufacturing rare-earth sintered magnet

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JP2002025842A
JP2002025842A JP2001130548A JP2001130548A JP2002025842A JP 2002025842 A JP2002025842 A JP 2002025842A JP 2001130548 A JP2001130548 A JP 2001130548A JP 2001130548 A JP2001130548 A JP 2001130548A JP 2002025842 A JP2002025842 A JP 2002025842A
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JP
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sintering
case
rare earth
compact
sintered magnet
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JP2001130548A
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Japanese (ja)
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Hiroki Tokuhara
宏樹 徳原
Tomoiku Ootani
智郁 大谷
Kunihisa Sugano
邦壽 菅野
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Hitachi Metals Ltd
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Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a rare-earth sintered magnet, by which the oxidization of a rare-earth element can be suppressed fully and which excels in productivity. SOLUTION: This method for manufacturing a rare-earth sintered magnet includes (a) a step of press-molding an alloy powder for the rare-earth sintered magnet, (b) a step of housing a molded body in a case, where a flow passage for carrying in/discharging a gas from/to the outside is limited and to arrange a gas-absorbing material at least adjacent to the flow passage, and (c) a step of sintering the molded body, by heating the case housing the molded body in an evacuated atmosphere.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、希土類焼結磁石の
製造方法に関する。
[0001] The present invention relates to a method for producing a rare earth sintered magnet.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、希土類焼結磁石として、サマリウ
ム・コバルト系磁石とネオジム・鉄・ボロン系磁石の二
種類が各分野で広く用いられている。なかでもネオジム
・鉄・ボロン系磁石(以下、「R−T−(M)−B系磁
石」と称する。RはYを含む希土類元素、TはFeまた
はFeとCoおよび/またはNiとの混合物、Mは添加
元素(例えば、Al、Ti、Cu、V、Cr、Ni、G
a、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Hf、Ta、Wの
少なくとも1種)、Bはボロンまたはボロンと炭素との
混合物である。)は、種々の磁石の中で最も高い最大磁
気エネルギー積を示し、価格も比較的安いため、各種電
子機器へ積極的に採用されている。
2. Description of the Related Art Currently, two types of rare earth sintered magnets, samarium / cobalt magnets and neodymium / iron / boron magnets, are widely used in various fields. Among them, neodymium / iron / boron magnets (hereinafter referred to as "RT- (M) -B magnets". R is a rare earth element containing Y, and T is Fe or a mixture of Fe and Co and / or Ni. , M are additive elements (eg, Al, Ti, Cu, V, Cr, Ni, G
a, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Hf, Ta, and W), and B is boron or a mixture of boron and carbon. ) Shows the highest maximum magnetic energy product among various magnets and is relatively inexpensive, so that it is actively employed in various electronic devices.

【0003】希土類焼結磁石は、希土類合金を粉砕して
得た合金粉末を磁界中でプレス成形することによって成
形体を形成し、この成形体を焼結炉において焼結するこ
とによって作製されている。焼結工程において、R−T
−(M)−B系磁石に含まれるネオジムなどの希土類元
素が酸化すると、磁石の特性は大きく劣化する。この酸
化を防止するために、炉内は真空状態または不活性ガス
(ArまたはHe等)の減圧雰囲気とされる。複数の成
形体を焼結する場合には、生産効率を向上するために、
複数の成形体を密閉型の焼結用ケース(「焼結パック」
と呼ばれることもある。)に収容した状態で、焼結ケー
スごと加熱される。また、多数の成形体を焼結する際に
は、棚状に配置された焼結用台板を有する焼結ケースが
用いられる。プレス成形で得られた成形体は焼結用台板
に配置され、焼結ケース内に棚状に収容される。
[0003] Rare earth sintered magnets are manufactured by forming a compact by pressing an alloy powder obtained by pulverizing a rare earth alloy in a magnetic field and sintering the compact in a sintering furnace. I have. In the sintering process, RT
When a rare earth element such as neodymium contained in the-(M) -B-based magnet is oxidized, the properties of the magnet are greatly deteriorated. In order to prevent this oxidation, the inside of the furnace is set in a vacuum state or a reduced pressure atmosphere of an inert gas (Ar or He or the like). When sintering multiple compacts, to improve production efficiency,
A closed type sintering case for multiple compacts ("Sintered pack")
Sometimes called. Is heated together with the sintering case. When sintering a large number of compacts, a sintering case having a sintering base plate arranged in a shelf shape is used. The compact obtained by press molding is arranged on a sintering base plate and is housed in a sintering case in a shelf shape.

【0004】しかしながら、特許第2754098号公
報によると、焼結用ケースおよび台板を繰り返し使用す
ると、焼結用ケースおよび台板の表面に希土類元素の水
酸化物が形成され、この水酸化物が焼結過程で熱分解さ
れることによって生成される水によって、希土類元素が
酸化されるという問題が発生する。上記特許公報は、焼
結前に焼結用ケースの内面および台板の表面を清浄にす
ることによって、この問題を解決することができること
を開示している。
However, according to Japanese Patent No. 2754098, when the sintering case and the base plate are repeatedly used, a rare earth element hydroxide is formed on the surfaces of the sintering case and the base plate, and this hydroxide is formed. There is a problem that rare earth elements are oxidized by water generated by thermal decomposition in the sintering process. The above-mentioned patent publication discloses that this problem can be solved by cleaning the inner surface of the sintering case and the surface of the base plate before sintering.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
許公報に記載されている製造方法を採用すると、例えば
5回の焼結工程に使用するたびに、上記の清浄化処理を
行う必要が生じ、生産性が低下するという問題がある。
However, if the manufacturing method described in the above-mentioned patent publication is adopted, it is necessary to perform the above-mentioned cleaning treatment every time the sintering process is used, for example, five times. There is a problem that the performance is reduced.

【0006】さらに、本願発明者が検討した結果、焼結
ケースを焼結炉内に搬送(出し入れ)するために焼結用
トレイや焼結用台車を用い、これらを焼結炉内で焼結ケ
ースとともに加熱すると、焼結用トレイや焼結用台車の
表面に吸着していた水や水酸化物(Ca、Mgおよびま
たは希土類元素の水酸化物)の熱分解で生成される水に
よって、希土類元素が酸化されるという問題が発生する
ことがわかった。
Further, as a result of the study by the present inventor, a sintering tray or a sintering cart was used for transferring (storing) the sintering case into and out of the sintering furnace, and these were sintered in the sintering furnace. When heated together with the case, the rare earth is generated by the water generated by the thermal decomposition of water and hydroxide (hydroxide of Ca, Mg and / or rare earth element) adsorbed on the surface of the sintering tray or sintering cart. It has been found that a problem that the element is oxidized occurs.

【0007】上記の酸化は、ときには、焼結磁石の表面
にとどまらず内部にまでおよび、所定の形状の焼結磁石
が得られないという問題が発生する。酸化が起こった部
分では焼結が進行しないので収縮が起こらず、その結
果、酸化された部分の密度は他の部分よりも低くなり、
変形するだけでなく磁気特性が低下する。
[0007] The above-mentioned oxidation sometimes extends not only to the surface of the sintered magnet but also to the inside thereof, causing a problem that a sintered magnet having a predetermined shape cannot be obtained. Since sintering does not progress in the oxidized part, no shrinkage occurs, and as a result, the density of the oxidized part is lower than the other parts,
Not only is it deformed, but also its magnetic properties deteriorate.

【0008】本発明は、上記の諸点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、希土類元素の酸化を十分に抑制
することが可能で、且つ、生産性に優れた、希土類焼結
磁石の製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to provide a rare-earth sintered magnet which can sufficiently suppress oxidation of a rare-earth element and has excellent productivity. It is to provide a manufacturing method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明による希土類焼結
磁石の製造方法は、(a)希土類焼結磁石用の合金粉末
をプレス成形して成形体を作製する工程と、(b)前記
成形体を外部とガスの出入が行われる流路が制限された
ケース内に収容し、前記流路の少なくとも近傍にガス吸
収材料を配置する工程と、(c)前記成形体を収容した
前記ケースを減圧雰囲気中で加熱することによって前記
成形体を焼結する工程とを包含し、そのことによって上
記目的が達成される。
The method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to the present invention comprises the steps of (a) pressing an alloy powder for a rare earth sintered magnet to form a compact, and (b) forming the compact. A step of housing the body in a case in which a flow path through which gas enters and exits from the outside is restricted, and disposing a gas absorbing material at least in the vicinity of the flow path; And sintering the molded body by heating in a reduced pressure atmosphere, whereby the object is achieved.

【0010】前記ガス吸収材料は、前記ケース内に配置
されてもよく、あるいは、ケースの外に配置されてもよ
い。
[0010] The gas absorbing material may be disposed in the case, or may be disposed outside the case.

【0011】前記ガス吸収材料は希土類合金粉末を含む
ことが好ましく、前記希土類合金粉末は、前記希土類焼
結磁石用の合金粉末と実質的に同じ組成を有しているこ
とが好ましい。
The gas absorbing material preferably contains a rare earth alloy powder, and the rare earth alloy powder preferably has substantially the same composition as the alloy powder for the rare earth sintered magnet.

【0012】前記希土類合金粉末の平均粒径は、前記希
土類焼結磁石用の合金粉末の平均粒径よりも小さいこと
が好ましい。すなわち、前記希土類合金粉末の比表面積
が希土類焼結磁石用の合金粉末の比表面積よりも大きい
ことが好ましい。
The average particle size of the rare earth alloy powder is preferably smaller than the average particle size of the alloy powder for the rare earth sintered magnet. That is, the specific surface area of the rare earth alloy powder is preferably larger than the specific surface area of the alloy powder for the rare earth sintered magnet.

【0013】前記希土類合金粉末は、磁化されているこ
とがさらに好ましい。
It is more preferable that the rare earth alloy powder is magnetized.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態をR−T
−(M)−B系磁石の製造方法を例に説明するが、他の
希土類焼結磁石の製造方法にも適用され得る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to RT.
The method for producing the-(M) -B-based magnet will be described as an example, but the present invention can be applied to a method for producing another rare earth sintered magnet.

【0015】本発明による希土類焼結磁石の製造方法
は、希土類焼結磁石用の合金粉末をプレス成形して成形
体を作製する工程と、成形体を外部とガスの出入が行わ
れる流路が制限されたケース内に収容し、ガスの流路の
少なくとも近傍にガス吸収材料を配置する工程と、成形
体を収容したケースを減圧雰囲気中で加熱することによ
って成形体を焼結する工程とを包含している。ガス吸収
材料は、ケース内に流入するガスがガス吸収材と接触す
るように配置されればよく、ケース内に配置されても、
ケース外に配置されてもよい。
The method for producing a rare-earth sintered magnet according to the present invention comprises the steps of press-molding an alloy powder for a rare-earth sintered magnet to produce a compact, and providing a flow passage through which gas flows into and out of the compact. A step of arranging the gas absorbing material at least in the vicinity of the gas flow path, and sintering the molded body by heating the case containing the molded body in a reduced-pressure atmosphere, in a limited case. Inclusive. The gas absorbing material may be arranged so that the gas flowing into the case is in contact with the gas absorbing material, and even if arranged in the case,
It may be arranged outside the case.

【0016】プレス成形される希土類合金粉末として
は、例えば米国特許第4,770,723号および米国
特許第4,792,368号の明細書に記載されている
R−T−(M)−B系希土類合金粉末を好適に用いるこ
とができる。またプレス成形は公知の種々の方法で実行
される。
The rare earth alloy powder to be press-molded is, for example, RT- (M) -B described in US Pat. No. 4,770,723 and US Pat. No. 4,792,368. A system rare earth alloy powder can be suitably used. Press molding is performed by various known methods.

【0017】焼結用のケースとしては、特許公報275
4098号に記載されている焼結パックを用いることが
できる。例えば、板厚2mm程度のSUS310やモリ
ブデンなどの耐熱性金属材料を用いて作製された密閉型
のケースを用いることができる。密閉型のケースとは、
ケースの内部とケースの外部とのガスの出入が行われる
流路が制限されているケースを指す。このケース内は外
部と完全に遮断されるのではなく、制限された流路を介
して、ケースの外部とガスの出入が起こり、ケース内を
真空状態または減圧の不活性ガス雰囲気に置換できるよ
うな構造を有している。
A case for sintering is disclosed in Japanese Patent Publication No. 275.
No. 4098 can be used. For example, a closed case made of a heat-resistant metal material such as SUS310 or molybdenum having a thickness of about 2 mm can be used. What is a closed case?
It refers to a case in which the flow path through which gas flows between the inside of the case and the outside of the case is restricted. The inside of the case is not completely shut off from the outside, but gas flows into and out of the case through a restricted flow path, so that the inside of the case can be replaced with a vacuum state or a reduced pressure inert gas atmosphere. It has a simple structure.

【0018】一般に複数の成形体が焼結用ケース内に載
置され、焼結用ケースごと焼結炉内に挿入され、一括に
加熱される。多数の成形体を一つの焼結用ケースに効率
良く収納するために、特許第2754098号公報に記
載されているような棚状に配置される焼結用台板を用い
てもよい。さらに、焼結用ケースを焼結炉内に搬送する
ために、焼結ケースを支持する焼結用トレイや焼結用台
車等を用いてもよい。焼結工程を自動化する際には、こ
のような搬送機構を設けることが好ましい。
In general, a plurality of compacts are placed in a sintering case, inserted together with the sintering case into a sintering furnace, and heated collectively. In order to efficiently store many compacts in one sintering case, a sintering base plate arranged in a shelf shape as described in Japanese Patent No. 2754098 may be used. Furthermore, in order to transfer the sintering case into the sintering furnace, a sintering tray or a sintering cart that supports the sintering case may be used. When the sintering process is automated, it is preferable to provide such a transport mechanism.

【0019】焼結用ケースとともに焼結炉内で加熱され
る焼結用台板、焼結用トレイおよび焼結用台車には、耐
熱性材料で形成されたものを用いる。焼結用台板には例
えば焼結用ケースと同じ金属材料で形成されたものが用
いられ、焼結用トレイや焼結用台車には、断熱性を高め
るために、カーボンやカーボンコンポジット(例えば株
式会社アクロスから市販されている炭素繊維強化炭素複
合材料(C/Cコンポジット))などで形成されたもの
が用いられる。
A sintering base plate, a sintering tray and a sintering carriage which are heated in a sintering furnace together with a sintering case are made of a heat-resistant material. For the sintering base plate, for example, one formed of the same metal material as the sintering case is used. For the sintering tray or sintering cart, carbon or carbon composite (for example, A carbon fiber reinforced carbon composite material (C / C composite) commercially available from Acros Co., Ltd. is used.

【0020】例えば、後述するような底容器と蓋とから
なる焼結用ケース内に、複数の焼結用台板に載置された
多数の成形体を収容する。このとき、底容器と蓋との間
の間隙(底容器と蓋との間隙がガスの流路となる)を埋
めるようにガス吸収材料(以下、「ゲッタ」という。)
を配置する。底容器と蓋との間をケースの内側から埋め
てもよいし、ケースの外側から埋めてもよい。すなわ
ち、焼結炉内の雰囲気を真空状態または減圧の不活性ガ
ス雰囲気に置換する際に、焼結用ケース内と外部とのガ
スの出入がゲッタの少なくとも近傍を通って行われるよ
うに、ゲッタを配置する。すなわち、ガスが、ゲッタの
近傍および/またはゲッタ中を通ってケースの内側と外
側を出入するように、ゲッタを配置する。
For example, a large number of compacts mounted on a plurality of sintering base plates are accommodated in a sintering case comprising a bottom container and a lid as described later. At this time, a gas absorbing material (hereinafter, referred to as a “getter”) fills the gap between the bottom container and the lid (the gap between the bottom container and the lid serves as a gas flow path).
Place. The space between the bottom container and the lid may be filled from inside the case or from the outside of the case. That is, when the atmosphere in the sintering furnace is replaced with an inert gas atmosphere of a vacuum state or a reduced pressure, the getter is set so that the gas flows into and out of the sintering case through at least the vicinity of the getter. Place. That is, the getter is arranged so that the gas enters and exits the inside and outside of the case near and / or through the getter.

【0021】ここで、ゲッタとしては希土類合金粉末を
用いることが好ましい。希土類焼結磁石用の合金粉末と
実質的に同じ材料を用いることができる。従って、例え
ば成形体のかけらや成形不良品を用いることができるの
で、希土類合金材料を有効に利用することができるとと
もに、ゲッタのための余分な材料費を必要としない。ま
た、ゲッタとして作用を効率よく発揮させるために成形
不良品や成形体のかけらを粉砕して用いることが好まし
い。成形体の粉砕には、ジョークラッシャーやピンミル
などの機械的粉砕機を用いることができる。また、焼結
体の不良品を水素粉砕によって粗粉砕した状態で使用し
たり、あるいは、さらにディスクミルやパワーミルで機
械的な粉砕を行ってもよい。さらに、ジェットミルで微
粉砕すると比表面積が増加し、ガス吸着効果が向上す
る。
Here, it is preferable to use a rare earth alloy powder as the getter. Substantially the same material as the alloy powder for the rare earth sintered magnet can be used. Therefore, for example, a fragment of a molded article or a defective molded article can be used, so that the rare earth alloy material can be effectively used, and no extra material cost for the getter is required. In addition, in order to efficiently exert the function as a getter, it is preferable to use a crushed defective product or a fragment of a molded product by pulverization. A mechanical pulverizer such as a jaw crusher or a pin mill can be used for pulverizing the molded body. Further, a defective sintered body may be used in a state of being roughly pulverized by hydrogen pulverization, or may be mechanically pulverized by a disk mill or a power mill. Furthermore, when finely pulverized by a jet mill, the specific surface area increases, and the gas adsorption effect improves.

【0022】ゲッタとして作用は表面積が広いほど効果
的であるので、ゲッタとして用いる希土類合金粉末の平
均粒径は、焼結磁石用の希土類合金粉末の平均粒径より
も小さい方が好ましい。例えば、磁気特性やプレス成形
性の観点から焼結磁石用の希土類合金粉末の平均粒径は
例えば1.5μm〜7μmの範囲内にすることが好まし
いが、ゲッタとして用いられる希土類合金粉末の平均粒
径は、例えば、1.0μm〜5μmの範囲内であること
が好ましい。なお、粉末の「平均粒径」は、特にことわ
らない限り、ここでは、質量中位径(mass median diam
eter:MMD)を指すことにする。
Since the function as a getter is more effective as the surface area is larger, the average particle size of the rare earth alloy powder used as the getter is preferably smaller than the average particle size of the rare earth alloy powder for the sintered magnet. For example, from the viewpoint of magnetic properties and press formability, the average particle size of the rare earth alloy powder for a sintered magnet is preferably, for example, in the range of 1.5 μm to 7 μm, but the average particle size of the rare earth alloy powder used as a getter is preferred. The diameter is preferably, for example, in the range of 1.0 μm to 5 μm. The “average particle size” of the powder is, here, unless otherwise specified, the mass median diameter (mass median diameter).
eter: MMD).

【0023】また、希土類合金粉末として磁化されてい
る粉末を用いると、粉末の磁力による凝集力を利用し
て、焼結用ケースの間隙に能率良く、ゲッタを配置でき
るという利点が得られる。
When a magnetized powder is used as the rare earth alloy powder, there is an advantage that the getter can be efficiently arranged in the gap between the sintering cases by utilizing the cohesive force of the magnetic force of the powder.

【0024】ここでゲッタとして希土類合金粉末を用い
ることが好ましい理由を説明する。
Here, the reason why it is preferable to use a rare earth alloy powder as a getter will be described.

【0025】一般に、粉末冶金の分野において、成形体
が焼結工程において酸素や水蒸気で酸化されることを防
止するためには、焼結雰囲気を水素ガス雰囲気にした
り、成形体よりも酸化されやすいゲッタ(典型的には金
属Ti粉)を存在させる方法が用いられている。しかし
ながら、希土類合金粉末の焼結においては、これらいず
れの方法も用いることができない。水素雰囲気とする
と、HDDR(Hydrogen Despropor
tionation Desorption and
Recombination:水素化相分解脱水素再結
合法)として知られる現象によって、希土類合金焼結体
の結晶組織が変化し、所望の磁気特性が得られなくな
る。
In general, in the field of powder metallurgy, in order to prevent a compact from being oxidized by oxygen or water vapor in a sintering step, the sintering atmosphere is changed to a hydrogen gas atmosphere or the compact is more easily oxidized than the compact. A method in which a getter (typically, metal Ti powder) is used is used. However, none of these methods can be used in sintering the rare earth alloy powder. When a hydrogen atmosphere is used, HDDR (Hydrogen Desproportor)
tensionation andtion
The crystal structure of the rare earth alloy sintered body changes due to a phenomenon known as Recombination (hydrogenation phase decomposition dehydrogenation recombination method), and desired magnetic properties cannot be obtained.

【0026】また、希土類元素は非常に酸化されやすい
材料なので、金属Ti粉などの一般的なゲッタは、希土
類合金粉末に対してはゲッタとして機能し得ない。唯
一、金属カルシウム(Ca)だけが希土類元素よりも酸
化されやすいが、これをゲッタとして使用し、例えば、
焼結用ケース、焼結用台板や焼結用トレイを繰り返し使
用する場合には、これらの表面に付着したカルシウムが
空気中の水分を吸収して水酸化カルシウムとなり、焼結
炉内で加熱されると水酸化カルシウムは水を放出するの
で、希土類元素を酸化させる原因となる。さらに、大気
にさらされた金属カルシウムが発火する危険もある。
Further, since the rare earth element is a material that is very easily oxidized, a general getter such as a metal Ti powder cannot function as a getter for the rare earth alloy powder. Only metal calcium (Ca) is more easily oxidized than rare earth elements, but this is used as a getter, for example,
When a sintering case, sintering base plate, or sintering tray is used repeatedly, calcium adhering to these surfaces absorbs moisture in the air to form calcium hydroxide, which is heated in a sintering furnace. When this is done, the calcium hydroxide releases water, causing oxidation of the rare earth element. In addition, there is a danger of ignition of the metallic calcium exposed to the atmosphere.

【0027】ゲッタとしてCaを用いなくとも、希土類
合金の原料中に微量のCaやMgが含まれており、焼結
ケースや焼結用台板、焼結用トレイや焼結用台車を繰り
返していると、これらの表面にCaやMgが堆積する。
大気中から焼結炉内への出し入れの繰り返す過程で、こ
れらの表面にCaやMgの水酸化物が形成され、酸化の
原因となる。もちろん、原料にCaやMgが含まれない
場合であっても、上記特許第2754098号公報に記
載されているように、焼結ケースや焼結用台板に希土類
元素の水酸化物が形成され、これらが焼結炉内に水を持
ち込むことになる。さらに、焼結炉の内面に付着した水
や水酸化物も酸化の原因となりえる。
Even if Ca is not used as a getter, a small amount of Ca or Mg is contained in the raw material of the rare earth alloy, and a sintering case, a sintering base plate, a sintering tray and a sintering cart are repeatedly used. , Ca and Mg are deposited on these surfaces.
In the process of repeatedly taking in and out of the sintering furnace from the atmosphere, hydroxides of Ca and Mg are formed on these surfaces, causing oxidation. Of course, even when the raw material does not contain Ca or Mg, as described in the above-mentioned Japanese Patent No. 2754098, a hydroxide of a rare earth element is formed on a sintering case or a sintering base plate. These will bring water into the sintering furnace. Further, water and hydroxide attached to the inner surface of the sintering furnace can also cause oxidation.

【0028】上述したような、焼結炉内の固体表面(焼
結ケースや焼結用トレイ、焼結用台車)などに付着した
水または水酸化物だけが酸化性ガスの原因でなく、焼結
炉の不完全性(リーク)に起因して、焼結炉内に水や酸
素が侵入することがある。
As described above, only water or hydroxide adhering to the solid surface (sintering case, sintering tray, sintering cart) in the sintering furnace is not the cause of the oxidizing gas, and Water and oxygen may enter the sintering furnace due to imperfections (leakage) of the kiln.

【0029】本発明による希土類焼結磁石の製造方法に
おいて、ガスの流路の少なくとも近傍に配置された希土
類合金粉末を含むゲッタは、水蒸気や酸素などの酸化性
ガスによって自分自身が酸化されることによって、成形
体を構成する焼結磁石用の希土類合金粉末が酸化される
のを防止する。ゲッタを焼結ケース外に配置した場合に
は酸化性ガスが焼結ケース内に侵入する直前に吸収し、
ゲッタを焼結ケース内に配置した場合には焼結ケース内
に侵入した直後に酸化性ガスを吸収する。本明細書にお
いて、「流路の少なくとも近傍」は、流路の近傍および
流路中を含む概念である。
In the method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to the present invention, the getter including the rare earth alloy powder disposed at least in the vicinity of the gas flow path is oxidized by an oxidizing gas such as water vapor or oxygen. This prevents the rare earth alloy powder for the sintered magnet constituting the compact from being oxidized. When the getter is placed outside the sintering case, the oxidizing gas is absorbed just before entering the sintering case,
When the getter is arranged in the sintering case, the oxidizing gas is absorbed immediately after entering the sintering case. In this specification, “at least the vicinity of the flow path” is a concept including the vicinity of the flow path and the inside of the flow path.

【0030】このメカニズムを少し詳しく説明する。This mechanism will be described in some detail.

【0031】所定の雰囲気に制御された焼結炉内に配置
された焼結ケースが加熱されるに従って、その内部に収
納された成形体の焼結が進む。例えば、大気中で焼結用
ケース内に配置された成形体の表面に吸着した水は、例
えば、成形体が200℃程度に加熱される間に成形体表
面から脱着し、焼結ケース外さらには焼結炉外に排出さ
れる。このとき、成形体の温度は十分に低いので、希土
類合金粉末はほとんど酸化されない。
As the sintering case arranged in the sintering furnace controlled to a predetermined atmosphere is heated, the sintering of the compact housed therein proceeds. For example, water adsorbed on the surface of a compact placed in a sintering case in the air, for example, desorbs from the surface of the compact while the compact is heated to about 200 ° C. Is discharged outside the sintering furnace. At this time, since the temperature of the compact is sufficiently low, the rare earth alloy powder is hardly oxidized.

【0032】一方、焼結炉内の温度を均一に上昇させる
ことは実質的に不可能で、温度分布が生じる。従って、
焼結炉内には、成形体よりも温度が低い(温度上昇の速
度が遅い)部分が存在する。典型的には、焼結炉の下部
の温度上昇速度は遅い。具体的には、焼結用トレイや台
車は、成形体よりもゆっくりと加熱される。その結果、
成形体の温度が300℃〜400℃以上の温度に到達し
た後で、焼結用トレイや台車に付着していた水分(Ca
やMgの水酸化物あるいは希土類元素の水酸化物の熱分
解によって生成する水を含む)が、焼結炉内に放出され
る。この水が焼結炉内を拡散する過程で、焼結ケース内
に侵入する。このとき、成形体の温度は水によって酸化
され得る温度に到達しており、且つ、焼結の初期なの
で、この時点で成形体が水蒸気にさらされると、酸化さ
れるとともに、焼結に必要な液相が不足するため、焼結
体の密度低下(すなわち、焼結体の変形)が起こると推
測される。
On the other hand, it is substantially impossible to raise the temperature in the sintering furnace uniformly, and a temperature distribution occurs. Therefore,
In the sintering furnace, there are portions where the temperature is lower (the temperature rise speed is slower) than the compact. Typically, the rate of temperature rise at the bottom of the sintering furnace is slow. Specifically, the sintering tray and the cart are heated more slowly than the compact. as a result,
After the temperature of the molded body reaches a temperature of 300 ° C. to 400 ° C. or more, the moisture (Ca
And water produced by thermal decomposition of hydroxide of Mg or hydroxide of rare earth element) are discharged into the sintering furnace. This water enters the sintering case in the process of diffusing in the sintering furnace. At this time, the temperature of the molded body has reached a temperature at which it can be oxidized by water and is in the early stage of sintering. If the molded body is exposed to water vapor at this time, it is oxidized and required for sintering. It is presumed that the density of the sintered body is reduced (that is, the sintered body is deformed) because the liquid phase is insufficient.

【0033】しかしながら、本発明によると、焼結ケー
ス内へガスが流入する経路の少なくとも近傍にゲッタが
配置されているので、この水蒸気が成形体に到達する前
に、ゲッタの酸化反応に消費され、水蒸気は成形体に到
達することが防止される。ゲッタは、成形体と同様に加
熱されているので、水蒸気と反応(吸収)し得る状態に
ある。このように、成形体の温度が約300℃以上で且
つ焼結が十分に進行していない状態の成形体が水蒸気に
さらされないようにすることが、密度低下を防止するた
めに重要である。焼結が十分に進行した後では、成形体
の収縮が十分に進行しているので、たとえ成形体の酸化
反応が起こっても、焼結体の密度低下(すなわち変形)
が生じることはない。もちろん、ゲッタは、上述した水
蒸気だけでなく焼結ケース内に侵入する酸素を捕捉する
作用も有しているので、焼結体が酸化されることを防止
する。
However, according to the present invention, since the getter is arranged at least in the vicinity of the path through which the gas flows into the sintering case, this steam is consumed by the oxidation reaction of the getter before reaching the compact. In addition, water vapor is prevented from reaching the compact. Since the getter is heated similarly to the molded body, it is in a state where it can react (absorb) with water vapor. As described above, it is important to prevent the molded body in a state where the temperature of the molded body is about 300 ° C. or higher and sintering has not sufficiently progressed from being exposed to water vapor in order to prevent a decrease in density. After the sintering has sufficiently proceeded, the compact has sufficiently shrunk, so that even if an oxidation reaction of the compact occurs, the density of the sintered compact decreases (that is, deforms).
Does not occur. Of course, the getter also has the function of trapping not only the above-mentioned water vapor but also the oxygen that enters the sintering case, and thus prevents the sintered body from being oxidized.

【0034】このように、本発明によると、希土類元素
の酸化を十分に抑制することが可能で、且つ、生産性に
優れた、希土類焼結磁石の製造方法が提供される。
As described above, according to the present invention, there is provided a method of manufacturing a rare earth sintered magnet which can sufficiently suppress oxidation of a rare earth element and has excellent productivity.

【0035】以下、図面を参照しながら本発明の実施形
態を説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0036】図1(a)および(b)を参照しながら、
本発明による希土類焼結磁石の製造方法において好適に
用いられる焼結用ケース9の構成を説明する。
Referring to FIGS. 1A and 1B,
The configuration of the sintering case 9 suitably used in the method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to the present invention will be described.

【0037】焼結用ケース9は、底板90aおよび側壁
90bを有する底容器90と、底容器90に被せられる
蓋92とによって構成され、底容器90内には、スペー
サ96によって所定間隔が開けられて積み重ねられた複
数枚の焼結用台板94が収容されている。各焼結用台板
94上には、磁石用合金粉末をプレス成形して得られた
多数の成形体95が載せられている。焼結用ケース9
は、焼結工程において例えば約1000℃以上に加熱さ
れるため、底容器90および蓋92は高温耐性の強い材
料(例えばSUS310など)から形成されている。
The sintering case 9 is composed of a bottom container 90 having a bottom plate 90a and a side wall 90b, and a lid 92 covering the bottom container 90. A predetermined interval is provided in the bottom container 90 by a spacer 96. A plurality of sintering base plates 94 stacked in this manner are accommodated. On each sintering base plate 94, a large number of compacts 95 obtained by press-molding a magnet alloy powder are placed. Sintering case 9
Is heated to, for example, about 1000 ° C. or more in the sintering process, so that the bottom container 90 and the lid 92 are formed of a material having high temperature resistance (for example, SUS310).

【0038】底容器90の側壁90bは、焼結用台板9
4の周縁を取り囲むとともに、その上端部において蓋9
2を支持する。側壁90bに囲まれた空間(収納空間)
の水平横方向サイズは、焼結用台板94のサイズよりも
わずかに(数mm〜数cm程度)大きく、側壁90bと
焼結用台板94と間の間隙は小さくなるように設計され
る。このように側壁90bと焼結用台板94と間の間隙
を小さくしている理由は、焼結用台板94のサイズをな
るべく大きく設定することによって、より多くの成形体
95を焼結用ケース9内に収容し、焼結炉内での収容効
率を向上させるためである。また、側壁90bと焼結用
台板94と間の間隙を小さくすることによって、運搬時
などにおいて焼結用ケース9に振動が与えられた場合に
も、焼結用台板94が焼結用ケース9内で移動して、焼
結用台板94上に配置されたスペーサが倒れることを防
止することができる。
The side wall 90b of the bottom container 90 is provided on the sintering base plate 9
4 and surrounds the periphery of the cover 4 at its upper end.
Support 2 Space surrounded by side wall 90b (storage space)
Is slightly larger (about several mm to several cm) than the size of the sintering base plate 94, and the gap between the side wall 90b and the sintering base plate 94 is designed to be small. . The reason why the gap between the side wall 90b and the sintering base plate 94 is reduced in this way is that by setting the size of the sintering base plate 94 as large as possible, more compacts 95 can be sintered. This is because it is accommodated in the case 9 to improve the accommodation efficiency in the sintering furnace. Also, by reducing the gap between the side wall 90b and the sintering base plate 94, the sintering base plate 94 can be sintered even when vibration is applied to the sintering case 9 during transportation or the like. It is possible to prevent the spacer disposed on the sintering base plate 94 from falling down by moving within the case 9.

【0039】焼結用ケース9内外へのガスの流出入が行
われる経路の少なくとも近傍には、ガスを吸収するため
のゲッタ97が置かれる。ゲッタ97は、また、流路中
にこれを塞ぐように配置されてもよい。具体的には、成
形体95が載せられた最上段の焼結用台板94の上に中
蓋98(例えば、焼結用台板と同様の板)が載せられ、
この中蓋98と底容器90の側壁90bとの間の間隙を
埋めるように粉末状または小塊状のゲッタ97が押し込
められる。中蓋98と側壁90bとの間隙は、中蓋98
と側壁90bとの間の間隙を埋めるようにゲッタ97を
配置できるように、十分に小さくされている。
A getter 97 for absorbing gas is placed at least near the path through which gas flows into and out of the sintering case 9. The getter 97 may also be arranged in the channel to close it. Specifically, an inner lid 98 (for example, a plate similar to the sintering base plate) is mounted on the uppermost sintering base plate 94 on which the compact 95 is mounted,
A powdery or small lump-shaped getter 97 is pushed in so as to fill a gap between the inner lid 98 and the side wall 90b of the bottom container 90. The gap between the inner lid 98 and the side wall 90b is
It is sufficiently small so that the getter 97 can be arranged so as to fill the gap between the side walls 90b.

【0040】ゲッタ97は、焼結用ケース9の外部から
焼結用ケース9の内部に流入するガスに最初に接触す
る。そのガスが水蒸気や酸素など、成形体95と反応す
るガスを含んでいる場合、自らがこれらのガスと反応す
ることによってこれらのガスを消費し、成形体がこれら
のガスにさらされるのを防止する。ゲッタ97は、希土
類合金粉末を含んでいるので、成形体95と実質的に同
じ反応性を有しているので、成形体95と反応するすべ
ての種類のガスと反応する。ゲッタ97としては成形体
95を構成する希土類合金粉末と実質的に同じ組成の希
土類合金粉末を用いることが好ましい。ゲッタ97とし
て、成形不良品や成形体のかけらを用いることができ
る。さらに、ゲッタ97の作用を高めるために、これら
を粉砕し、成形体95を構成する合金粉末よりも平均粒
径の小さい希土類合金粉末を用いることが好ましい。さ
らに、焼結体を粗粉砕もしくは微粉砕したものをゲッタ
として使用できる。
The getter 97 first comes into contact with the gas flowing from the outside of the sintering case 9 into the inside of the sintering case 9. If the gas contains gas that reacts with the compact 95, such as water vapor or oxygen, the gas itself consumes the gas by reacting with the gas, thereby preventing the compact from being exposed to the gas. I do. Since the getter 97 contains the rare earth alloy powder, it has substantially the same reactivity as the compact 95, and thus reacts with all kinds of gases that react with the compact 95. As the getter 97, it is preferable to use a rare earth alloy powder having substantially the same composition as the rare earth alloy powder forming the compact 95. As the getter 97, a defective molding or a fragment of a molded body can be used. Further, in order to enhance the action of the getter 97, it is preferable to pulverize these and use a rare earth alloy powder having an average particle diameter smaller than that of the alloy powder forming the compact 95. Further, a coarsely or finely pulverized sintered body can be used as a getter.

【0041】上述の焼結用ケース9を使用する場合、底
容器90の側壁90bによって囲まれた収納空間内にお
いて、複数枚の焼結用台板94を順順に積み重ねる必要
がある。底容器90内への焼結用台板94の積み重ね
は、図1(b)に示すように角部分をカットした焼結用
台板94を用い、この角部分を指先で支えながら焼結用
台板94を一枚ずつ重ねるというようにして行われてい
た。これは、側壁90bと焼結用台板94との間が狭
く、焼結用台板94の側縁部を手で持って焼結用台板9
4を底容器90内に置いていくことができなかったため
である。このような焼結用台板94の積み重ねは非常に
手間が掛かる。また焼結用台板94を重ねていくとき、
焼結用台板94の角部分は指先によって不安定に支えら
れているに過ぎないため、焼結用台板94が傾いてしま
うことがあった。例えば、成形体95が転がりやすい形
状である場合、焼結用台板94が傾くと成形体95が焼
結用台板94上を回転しながら移動し、その結果、成形
体95が割れたり欠けたりする場合があった。特に、R
−T−(M)−B系磁石用のプレス成形体の場合は、配
向度を高める目的でプレス圧力がフェライト磁石の場合
に比較して小さく設定されているため、成形体は極めて
脆く、ケース内へ収容する時に破損しやすい。
When the above-mentioned sintering case 9 is used, it is necessary to stack a plurality of sintering base plates 94 in order in the storage space surrounded by the side wall 90b of the bottom container 90. As shown in FIG. 1 (b), the sintering base plate 94 is stacked in the bottom vessel 90 by using a sintering base plate 94 having a corner portion cut, and the sintering base plate 94 is supported by a fingertip. This was performed by stacking the base plates 94 one by one. This is because the gap between the side wall 90b and the sintering base plate 94 is narrow, and the sintering base plate 9
This is because 4 could not be placed in the bottom container 90. Such stacking of the sintering base plates 94 is very troublesome. Also, when stacking the sintering base plates 94,
Since the corners of the sintering base plate 94 are only unstablely supported by the fingertips, the sintering base plate 94 may be inclined. For example, when the compact 95 has a shape that easily rolls, when the sintering base plate 94 is inclined, the formed body 95 moves while rotating on the sintering base plate 94, and as a result, the formed body 95 is cracked or chipped. Or sometimes. In particular, R
In the case of a pressed body for a -T- (M) -B magnet, the pressing pressure is set smaller than that of a ferrite magnet in order to increase the degree of orientation. Easy to break when housed inside.

【0042】焼結処理後、焼結された成形体は、時効処
理を行うために焼結用ケース9の中から取り出され、他
の容器に移し替えられる。このとき、焼結用ケース9を
使用する場合には、焼結用ケース9の蓋92および中蓋
98を取り除き、底容器90内から焼結用台板94を取
り出す作業が必要である。この作業も、上記底容器90
内に焼結用台板94を積み重ねる作業と同様に非常に手
間が掛かるものであった。
After the sintering process, the sintered compact is taken out of the sintering case 9 for aging treatment and transferred to another container. At this time, when using the sintering case 9, it is necessary to remove the lid 92 and the inner lid 98 of the sintering case 9 and take out the sintering base plate 94 from the bottom container 90. This operation is also performed in the bottom container 90.
It takes much time and effort as in the operation of stacking the sintering base plates 94 therein.

【0043】また、焼結用ケース9を用いる場合、焼結
用台板94を積み重ねた後に人手によってゲッタ97を
置く必要があった。このため、成形体95が載せられた
焼結用台板94を底容器90内に収容する工程から、底
容器90に蓋92を被せて実ケース(成形体95を収納
した状態の焼結用ケース9)を得る工程までを自動化し
て連続的に行うということができなかった。
When the sintering case 9 is used, the getter 97 must be manually placed after the sintering base plates 94 are stacked. For this reason, from the step of accommodating the sintering base plate 94 on which the compact 95 is placed in the bottom container 90, the lid 92 is placed on the bottom container 90, and the actual case (for sintering in the state where the compact 95 is accommodated). It was not possible to automate and continuously perform the process up to the case 9).

【0044】次に、図1に示した上述の焼結ケース9よ
りも成形体の収納を容易に行え、成形体の収納作業を自
動化するのに適した焼結用ケースを説明する。
Next, a description will be given of a sintering case suitable for storing the compact more easily than the above-mentioned sintered case 9 shown in FIG. 1 and for automatically accommodating the compact.

【0045】まず、図2から図4を参照する。本実施形
態の焼結用ケース1は、焼結用台板30を支持する底板
10と、底板10上に載置される蓋20とから構成され
ている。焼結用ケース1内には、複数枚の焼結用台板3
0が柱状のスペーサ34によって所定間隔だけ離されて
積み重ねられた状態で収容される。各焼結用台板30の
板面上には、磁石用の合金粉末をプレス成形することに
よって得られる多数の成形体32が載置される。
First, reference is made to FIGS. The sintering case 1 of the present embodiment includes a bottom plate 10 supporting a sintering base plate 30 and a lid 20 placed on the bottom plate 10. In the sintering case 1, a plurality of sintering base plates 3 are provided.
0 are accommodated in a stacked state at a predetermined interval by the columnar spacer 34. On the plate surface of each sintering base plate 30, a large number of compacts 32 obtained by press-forming magnet alloy powder are placed.

【0046】蓋20は、高融点金属から形成された側壁
部22および上面部24を有している。蓋20が底板1
0上に被せられた状態では、側壁部22が焼結用台板3
0の周縁を取り囲み、上面部24が焼結用台板30の上
面を覆う。上面部24の形状および大きさは、焼結用台
板30の形状および大きさに応じて決定される。側壁部
22と焼結用台板30との間の間隔は、3mm〜10m
mの範囲に設定されることが好ましい。このように側壁
部22が焼結用台板30を実質的に間隙を設けずに取り
囲むようにすれば、焼結用ケース1内への焼結用台板3
0の収容を容易にできるとともに、搬送時などに焼結用
ケース1内で焼結用台板30の位置がずれることを抑制
できる。蓋20は、側壁部22を有した形状であるため
熱によって変形しにくい。
The lid 20 has a side wall 22 and an upper surface 24 formed of a high melting point metal. Lid 20 is bottom plate 1
When the sintering plate 3 is covered with the sintering base plate 3
The upper surface 24 covers the upper surface of the sintering base plate 30 so as to surround the periphery of the sintering plate 30. The shape and size of the upper surface portion 24 are determined according to the shape and size of the base plate 30 for sintering. The distance between the side wall portion 22 and the sintering base plate 30 is 3 mm to 10 m.
m is preferably set in the range of m. If the side wall portion 22 surrounds the sintering base plate 30 without substantially providing a gap, the sintering base plate 3 in the sintering case 1 can be obtained.
0 can be easily accommodated, and the displacement of the sintering base plate 30 in the sintering case 1 during transportation or the like can be suppressed. Since the lid 20 has a shape having the side wall 22, it is not easily deformed by heat.

【0047】底板10は、高融点金属から形成された平
板部10aを有し、この平板部10aの周縁には蓋20
の側壁部22の下端部を全周に亘って当接支持すること
ができる周縁部12が設けられている。図3(a)およ
び(b)に示すように、周縁部12は、蓋20が載置さ
れた場合にも蓋20の側壁部22より外側に突出する部
分を有していることが好ましい。なぜなら、蓋20を被
せた状態であっても、このような突出する部分が存在し
ていれば、この突出部分を把持することによって、焼結
用ケース1の積み重ねや積み降ろしを容易に行うことが
できるからである。
The bottom plate 10 has a flat plate portion 10a made of a high melting point metal, and a lid 20 is formed around the flat plate portion 10a.
A peripheral portion 12 that can support the lower end portion of the side wall portion 22 over the entire periphery is provided. As shown in FIGS. 3A and 3B, the peripheral portion 12 preferably has a portion that protrudes outside the side wall portion 22 of the lid 20 even when the lid 20 is placed. Because, even when the lid 20 is covered, if such a protruding portion exists, the sintering case 1 can be easily stacked and unloaded by gripping the protruding portion. Because it can be.

【0048】底板10の平板部10a上には、周縁部1
2の近傍から上方に突出する外周壁14と、この外周壁
14の内側に位置する内周壁16とが設けられている。
外周壁14は、蓋20が周縁部12上に載置されたとき
に側壁部22に内側から当接し、蓋20の水平方向への
移動を阻止する。図3(b)に示すように、外周壁14
は、平板部10aに対して垂直な方向から例えば15°
程度内側に傾くように形成されていてもよい。このよう
にすれば、外周壁14が邪魔になることがなく蓋20を
底板10上に載置しやすい。また、内周壁16は外周壁
14よりも高く、内周壁16の上端部が焼結用台板30
を支持する。この外周壁14および内周壁16は、後述
する補強部材18とともに底板10の変形を防止するた
めの補強部材としても機能する。
On the flat portion 10a of the bottom plate 10, the peripheral portion 1
An outer peripheral wall 14 protruding upward from the vicinity of the inner peripheral wall 2 and an inner peripheral wall 16 located inside the outer peripheral wall 14 are provided.
The outer peripheral wall 14 comes into contact with the side wall 22 from the inside when the lid 20 is placed on the peripheral edge 12, and prevents the lid 20 from moving in the horizontal direction. As shown in FIG.
Is, for example, 15 ° from a direction perpendicular to the flat plate portion 10a.
It may be formed so as to be inclined inward to the extent. In this way, the lid 20 can be easily placed on the bottom plate 10 without the outer peripheral wall 14 being in the way. The inner peripheral wall 16 is higher than the outer peripheral wall 14, and the upper end of the inner peripheral wall 16 is
I support. The outer peripheral wall 14 and the inner peripheral wall 16 also function as a reinforcing member for preventing deformation of the bottom plate 10 together with a reinforcing member 18 described later.

【0049】外周壁14と内周壁16との間に形成され
た空間(保持溝)15に、不純物ガス(主に水蒸気と酸
素)を吸収するためのゲッタ38が充填される。保持溝
15に充填されたゲッタ38は、蓋20が底板10上に
載置された状態において、焼結用ケース1内外へのガス
の流出入が行われる経路の近傍に位置している。
A space (holding groove) 15 formed between the outer peripheral wall 14 and the inner peripheral wall 16 is filled with a getter 38 for absorbing impurity gas (mainly water vapor and oxygen). The getter 38 filled in the holding groove 15 is located near a path through which gas flows into and out of the sintering case 1 when the lid 20 is placed on the bottom plate 10.

【0050】次に、図5を参照しながら、ゲッタ38に
よるガスの吸収を説明する。
Next, gas absorption by the getter 38 will be described with reference to FIG.

【0051】図5(a)に示すように、ゲッタ38は、
ケース外からの不純物ガスがケース内に流入する場合
に、これを吸収し得る。焼結工程において、焼結炉内に
存在する水蒸気および/または酸素が焼結用ケース内に
流入し、これによって焼結後の成形体(焼結体)が酸化
されていると、磁石としての特性が劣化してしまうの
で、ゲッタ38を置いておくことが重要である。このよ
うに、ゲッタ38は、ケース外から流入した水蒸気や酸
素などの不純物ガスが焼結体と望ましくない反応を起こ
すことを防止する。
As shown in FIG. 5A, the getter 38
When impurity gas from outside the case flows into the case, the impurity gas can be absorbed. In the sintering step, when the steam and / or oxygen present in the sintering furnace flows into the sintering case, and thereby the oxidized compact (sintered body) after sintering, It is important to keep the getter 38 because the characteristics deteriorate. Thus, the getter 38 prevents the impurity gas such as water vapor or oxygen flowing from outside the case from causing an undesirable reaction with the sintered body.

【0052】ゲッタ38は焼結工程ごとに取り替えられ
る必要があるため、保持溝15はゲッタ38を取り出し
やすい形状および大きさを持つことが望ましい。このた
め、外周壁14と内周壁16との間の距離(すなわち保
持溝15の幅)を5mm〜15mmに設定し、外周壁1
4の高さを5mm〜10mmに設定することが好まし
い。
Since the getter 38 needs to be replaced for each sintering process, it is desirable that the holding groove 15 has a shape and a size that allow the getter 38 to be easily taken out. Therefore, the distance between the outer peripheral wall 14 and the inner peripheral wall 16 (that is, the width of the holding groove 15) is set to 5 mm to 15 mm, and
It is preferable to set the height of 4 to 5 mm to 10 mm.

【0053】ゲッタ38にガスを効果的に吸収させるた
めには、ゲッタ38の露出面積をなるべく大きくする方
が良い。このため、内周壁16の高さを外周壁14の高
さよりもある程度高くなる(例えば、内周壁16が外周
壁の約1.5倍以上の高さを有する)ように設定し、ゲ
ッタ38を外周壁14から内周壁16に向かって斜めに
積み上げることが好ましい。
In order for the getter 38 to effectively absorb the gas, it is better to increase the exposed area of the getter 38 as much as possible. Therefore, the height of the inner peripheral wall 16 is set to be somewhat higher than the height of the outer peripheral wall 14 (for example, the inner peripheral wall 16 has a height of about 1.5 times or more the outer peripheral wall), and the getter 38 is set. It is preferable to stack diagonally from the outer peripheral wall 14 toward the inner peripheral wall 16.

【0054】保持溝15を形成する外周壁14および内
周壁16は、例えば高融点金属から形成された長尺状の
板材を長手方向に沿ってコ字状に折り曲げた部材を用い
ても形成することができる。この部材を4個用いて四角
形の辺に対応するように位置させ、各部材の底部分を平
板部10a上に溶接することによって外周壁14および
内周壁16を形成することができる。
The outer peripheral wall 14 and the inner peripheral wall 16 forming the holding groove 15 are also formed by using a member obtained by bending a long plate made of, for example, a high melting point metal into a U shape along the longitudinal direction. be able to. The outer peripheral wall 14 and the inner peripheral wall 16 can be formed by using four of these members and positioning them so as to correspond to the sides of the square, and welding the bottom portion of each member onto the flat plate portion 10a.

【0055】なお、ゲッタ38は、上述した例に限られ
ず、例えば、図5(b)に示すように、ケースの外側に
配置してもよい。外側にゲッタを配置すると、焼結工程
後のゲッタの除去を容易に行うことができる利点があ
る。一方、図5(a)に示したように、ケースの内側に
ゲッタ38を配置した場合には、比較的少ないゲッタ3
8でより効果的に酸化性ガスを吸収できる。もちろん、
酸化性ガスを吸収する効果をより確実にするためにゲッ
タ38をケースの内外の両側に配置してもよい。
The getter 38 is not limited to the above-mentioned example, and may be arranged outside the case, for example, as shown in FIG. Disposing the getter on the outside has an advantage that the getter can be easily removed after the sintering step. On the other hand, as shown in FIG. 5A, when the getters 38 are arranged inside the case, relatively few getters 3 are provided.
8, the oxidizing gas can be absorbed more effectively. of course,
Getters 38 may be arranged on both the inside and outside of the case to further ensure the effect of absorbing the oxidizing gas.

【0056】再び、図2〜図4を参照する。図示されて
いる底板10は、平板部10a上(底板10の板面上)
を平行に延びる長尺状の2本の補強部材18と、板面中
央部に位置する支持部材19とを備えている。
Referring again to FIGS. The illustrated bottom plate 10 is on the flat plate portion 10a (on the plate surface of the bottom plate 10).
And two long reinforcing members 18 extending in parallel with each other, and a support member 19 located at the center of the plate surface.

【0057】底板10に補強部材18が設けられている
理由は、上述した焼結ケース9の底容器90は側壁90
bを有した形状であるため熱によって変形しにくいのに
対して、底板10はソリなどの変形が発生するおそれが
あり、これによってケース内の気密性が低下することを
防止するためである。補強部材18の形態は特に限られ
ないが、図2〜図4に示すように、2本の長尺部材を平
行に配置すれば、底板10の変形を適切に防止できる。
図3に断面を示すように、補強部材18を中空の部材か
ら形成すれば、底板10を適切に補強できるとともに底
板10全体としての熱容量を大きく増加させることがな
いので、焼結工程などにおいて成形体を効率良く加熱す
ることができる。長尺部材から形成された補強部材18
の両端部を、内周壁16の対向する壁面と接続すれば、
補強部材18と内周壁16とが一体となり、底板の強度
がより一層向上する。
The reason that the reinforcing member 18 is provided on the bottom plate 10 is that the bottom container 90 of the sintering case 9 is
While the shape having b is hard to be deformed by heat, the bottom plate 10 may be warped or deformed, thereby preventing the airtightness in the case from being reduced. Although the form of the reinforcing member 18 is not particularly limited, as shown in FIGS. 2 to 4, if two long members are arranged in parallel, the deformation of the bottom plate 10 can be appropriately prevented.
As shown in the cross section in FIG. 3, if the reinforcing member 18 is formed of a hollow member, the bottom plate 10 can be appropriately reinforced and the heat capacity of the bottom plate 10 as a whole does not greatly increase. The body can be heated efficiently. Reinforcing member 18 formed from a long member
Are connected to the opposite wall surfaces of the inner peripheral wall 16,
The reinforcing member 18 and the inner peripheral wall 16 are integrated, and the strength of the bottom plate is further improved.

【0058】板面の中央に設けられた支持部材19は、
内周壁16の高さと実質的に同一の高さを有している。
このような支持部材19を設けることによって、その上
に載置される焼結用台板30の撓みを防止でき、焼結用
台板30上に配置される焼結体の変形を抑制することが
できる。
The support member 19 provided at the center of the plate surface is
It has substantially the same height as the height of the inner peripheral wall 16.
By providing such a support member 19, it is possible to prevent the sintering base plate 30 placed thereon from bending, and to suppress the deformation of the sintered body disposed on the sintering base plate 30. Can be.

【0059】本実施形態の焼結用ケース1を用いる場
合、成形体32が載せられた複数の焼結用台板30を、
スペーサ34を介して予め積み重ねておき、この積み重
ねたものを底板10の内周壁14上に載置した後に蓋2
0を被せる。このため、上述の焼結用ケース9を用いる
場合のように焼結用台板を一枚ずつケース内に収容する
必要がない。また、焼結用ケース1によれば、焼結ケー
ス9のように成形体が載せられた焼結用台板を不安定な
支持のもとに底の深いケース内に収容することがなくな
る。従って、この収容作業中に成形体が割れたり欠けた
りするおそれを低減できる。さらに、焼結用ケース9に
収容される焼結用台板94のように、その角部をカット
して、容器の側壁との間に隙間を設ける必要もない。た
だし、板割れを防ぐための面取りとして、焼結用台板の
角部はある程度は切除されている方がよい。なお、焼結
用ケース1への成形体の収納作業は、人手によって行っ
てもよいし、後述するように自動化して行ってもよい。
When using the sintering case 1 of this embodiment, the plurality of sintering base plates 30 on which the compacts 32 are mounted are
After being stacked in advance via a spacer 34, and the stacked product is placed on the inner peripheral wall 14 of the bottom plate 10, the lid 2
Cover with 0. For this reason, it is not necessary to accommodate the sintering base plates one by one in the case as in the case of using the sintering case 9 described above. Further, according to the sintering case 1, the sintering base plate on which the compact is mounted as in the sintering case 9 is not accommodated in the deep bottom case under unstable support. Therefore, the possibility that the molded body is cracked or chipped during the housing operation can be reduced. Further, unlike the sintering base plate 94 accommodated in the sintering case 9, it is not necessary to cut the corners to provide a gap between the sintering base plate 94 and the side wall of the container. However, it is preferable that the corners of the sintering base plate be cut off to some extent as a chamfer to prevent plate cracking. The operation of storing the compact in the sintering case 1 may be performed manually or may be performed automatically as described later.

【0060】焼結用ケース1の底板10の平板部10a
の寸法は、例えば、縦280mm×横315mm×厚さ
1mmである。蓋20の寸法は、例えば、その外寸が縦
270mm×横305mm×高さ70mmであり、厚さ
1.5mmである。底板10および蓋20は、焼結工程
などにおける加熱に耐え得る材料、例えばステンレス
鋼、モリブデンなどの高融点金属から形成されている。
焼結用ケース1をSUS310から形成すれば、SUS
304から形成する場合に比べて、熱によるケースの変
形を小さくすることができる。
The flat plate portion 10a of the bottom plate 10 of the sintering case 1
Is, for example, 280 mm long × 315 mm wide × 1 mm thick. The dimensions of the lid 20 are, for example, 270 mm in length × 305 mm in width × 70 mm in height and 1.5 mm in thickness. The bottom plate 10 and the lid 20 are formed of a material that can withstand heating in a sintering step or the like, for example, a high melting point metal such as stainless steel or molybdenum.
If the sintering case 1 is made of SUS310,
The deformation of the case due to heat can be reduced as compared with the case where the case is formed from 304.

【0061】また、焼結用台板30の寸法は、例えば、
縦250mm×横300mm×厚さ1mmである。焼結
用台板30は、好適にはモリブデンから形成される。モ
リブデンは、成形体との反応性が低く、熱伝導性が良
く、かつ、耐熱性も良好であるため、焼結用台板30の
材料として適切である。
The dimensions of the sintering base plate 30 are, for example,
It is 250 mm long x 300 mm wide x 1 mm thick. The sintering plate 30 is preferably formed from molybdenum. Molybdenum is suitable as a material for the base plate 30 for sintering because it has low reactivity with the molded body, good thermal conductivity, and good heat resistance.

【0062】次に図10を参照する。図10は、図2〜
4に示した実施形態とは異なる形態の底板10の断面を
示す。図10(a)および図10(b)に示すように、
底板10の端縁は、上方に折り曲げられていても良く、
折り曲げられた先からさらに外側に延びていてもよい。
Next, reference is made to FIG. FIG.
4 shows a cross section of a bottom plate 10 having a form different from that of the embodiment shown in FIG. As shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b),
The edge of the bottom plate 10 may be bent upward,
It may extend further outward from the bent end.

【0063】[焼結用ケースに成形体を収容する装置]
以下、上記焼結用ケースに成形体を自動的に収容するた
めの装置を説明する。
[Apparatus for housing a compact in a sintering case]
Hereinafter, an apparatus for automatically accommodating a compact in the sintering case will be described.

【0064】まず、図6を参照する。図6は、プレス機
等とともに自動収容装置の全体を上から見た図である。
プレス機40は、磁石用合金粉末を磁界中でプレス成形
して成形体32を作製する。プレス機40によって作製
された成形体32は、一軸アクチュエータなどの移動装
置41によってロボット42の近くまで移送される。
First, reference is made to FIG. FIG. 6 is a view of the entire automatic storage device together with a press machine and the like as viewed from above.
The press machine 40 press-molds the alloy powder for a magnet in a magnetic field to produce a compact 32. The molded body 32 produced by the press 40 is transferred to the vicinity of the robot 42 by a moving device 41 such as a uniaxial actuator.

【0065】板保持部44は、多数の焼結用台板30を
重ねて保持しており、この板保持部44からロボット4
2の近くに位置する配置部50に、焼結用台板30が移
送される。焼結用台板30の移送は、例えば、焼結用台
板30の上面部を吸着して保持することができる吸着装
置を備えたマルチローダ(不図示)を用いて実行され
る。このマルチローダは、3次元方向に移動可能に構成
されている。
The plate holding unit 44 holds a large number of sintering base plates 30 in an overlapping manner.
The sintering base plate 30 is transferred to the arrangement unit 50 located near the sintering plate 2. The transfer of the sintering base plate 30 is performed, for example, using a multi-loader (not shown) provided with a suction device capable of sucking and holding the upper surface of the sintering base plate 30. This multiloader is configured to be movable in a three-dimensional direction.

【0066】板保持部44には、成形体32との反応性
の低い粉末(例えばアルミナ粉末など)を焼結用台板3
0上に散布する装置(不図示)が設けられていてもよ
い。このような粉末を焼結用台板30上に散布しておけ
ば、焼結工程において成形体32が焼結用台板30に溶
着することを防止できる。このような粉末として、Dy
23粉末またはCaF2粉末を用いることもできる(例
えば特開平11−54353号公報など)。
The plate holding portion 44 has reactivity with the molded body 32.
Base powder for sintering 3
There may be provided a device (not shown) for spraying on
No. Spread such powder on the sintering base plate 30
For example, in the sintering process, the compact 32 is melted into the sintering base plate 30.
Wearing can be prevented. As such a powder, Dy
TwoOThreePowder or CaFTwoPowders can also be used (eg
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-54353).

【0067】配置部50において、ロボット42は、多
数の成形体32を焼結用台板30上に配置する。このと
き、ロボット42は、スペーサ保持部43からスペーサ
34を取って、これを焼結用台板30の上に配置する。
In the placement section 50, the robot 42 places a number of compacts 32 on the sintering base plate 30. At this time, the robot 42 takes the spacer 34 from the spacer holder 43 and places it on the sintering base plate 30.

【0068】次に、図7を参照しながら、配置部50に
おいて成形体32が配置された複数の焼結用台板30を
積み重ねる装置を説明する。
Next, an apparatus for stacking a plurality of sintering base plates 30 on which the formed bodies 32 are arranged in the arrangement section 50 will be described with reference to FIG.

【0069】図示する装置は、焼結用台板30の側縁部
を両側から支持できる板支持装置48および上下に昇降
可能なリフト58などを備える。板支持装置48は、例
えば上記のマルチローダに設けられている。
The illustrated apparatus includes a plate supporting device 48 capable of supporting the side edges of the sintering base plate 30 from both sides, and a lift 58 capable of moving up and down. The plate support device 48 is provided in, for example, the above-described multiloader.

【0070】図7(a)に示すように、成形体32が配
置された複数の焼結用台板30のうち、最上段の焼結用
台板30以外の焼結用台板30は、板支持装置48やリ
フト58によって仮置室R1内に移送され、ここにおい
て一旦保持される。仮置室R1は、ユニットベース54
上に設けられた隔壁52および隔壁52上に設けられた
シャッター56によって囲まれた空間である。シャッタ
ー56は、仮置室R1内に焼結用台板30を出し入れす
るときには開けられ、その他のときには閉じられる。シ
ャッター56が閉じられると、仮置室R1は実質的に密
封される。
As shown in FIG. 7A, of the plurality of sintering base plates 30 on which the compacts 32 are arranged, the sintering base plates 30 other than the uppermost sintering base plate 30 are: It is transferred into the temporary storage room R1 by the plate support device 48 and the lift 58, and is temporarily held here. The temporary storage room R1 includes a unit base 54.
This is a space surrounded by the partition wall 52 provided thereon and the shutter 56 provided on the partition wall 52. The shutter 56 is opened when the sintering base plate 30 is taken in and out of the temporary storage room R1, and is closed at other times. When the shutter 56 is closed, the temporary storage room R1 is substantially sealed.

【0071】仮置室R1には、例えば窒素ガスなどの不
活性ガスが供給され、仮置室R1内に置かれた成形体3
2の酸化が抑制される。例えば焼結用台板30を8段積
み重ねる場合、最下段の焼結用台板30上に成形体32
が配置されてから、最上段の焼結用台板30上に成形体
32が配置されるまで、約1時間も要する場合がある。
このような場合にも、すでに成形体32が配置された焼
結用台板30を仮置室R1において不活性ガス雰囲気中
で保持すれば、成形体32を長時間にわたって大気中に
曝すことを防止できる。
An inert gas such as, for example, nitrogen gas is supplied to the temporary storage room R1, and the molded product 3 placed in the temporary storage room R1 is
The oxidation of 2 is suppressed. For example, when the sintering base plates 30 are stacked in eight stages, the compact 32 is placed on the lowermost sintering base plate 30.
It may take as long as about one hour from the placement of the molded body 32 to the placement of the compact 32 on the uppermost sintering base plate 30.
Even in such a case, if the sintering base plate 30 on which the compact 32 has already been placed is held in the inert gas atmosphere in the temporary storage chamber R1, the compact 32 can be exposed to the atmosphere for a long time. Can be prevented.

【0072】所定段数の焼結用台板30が重ねられた
後、シャッター56が開き、図7(b)に示すように、
板支持装置48は、最下段の焼結用台板30を支持する
ことによって、積み重ねられた状態の複数の焼結用台板
30を持ち上げて、これらを移動させることができる。
After the predetermined number of sintering base plates 30 have been stacked, the shutter 56 is opened, and as shown in FIG.
The plate supporting device 48 can lift the plurality of stacked sintering base plates 30 and move them by supporting the lowermost sintering base plate 30.

【0073】再び図6を参照する。ケース保持部45
は、空状態の複数の焼結用ケース(空ケース)10,2
0を保持する。ケース保持部45に保持されている焼結
用ケースの底板10の保持溝15には、人手などによっ
て予めゲッタ38が充填されている。上述したマルチロ
ーダを用いて、底板10はケース保持部45から収納部
60に送られ、蓋20はケース保持部45から蓋保持部
46に運ばれる。
Referring back to FIG. Case holder 45
Are empty sintering cases (empty cases) 10, 2
Holds 0. The holding grooves 15 of the bottom plate 10 of the sintering case held by the case holding portion 45 are filled with getters 38 in advance by hand or the like. Using the above-described multiloader, the bottom plate 10 is sent from the case holder 45 to the storage unit 60, and the lid 20 is carried from the case holder 45 to the lid holder 46.

【0074】次に、図8を参照しながら、収納部60に
おいて成形体32が配置された焼結用台板30を焼結用
ケース内に収納する装置を説明する。
Next, an apparatus for accommodating the sintering base plate 30 in which the compact 32 is disposed in the accommodating section 60 in a sintering case will be described with reference to FIG.

【0075】収納部60において、板支持装置48によ
って運ばれた底板10が支持具62上に載置された後、
積み重ねられた状態の複数枚の焼結用台板30が配置部
50(図7参照)から収容部60に運ばれ、底板10の
上に載置される。その後、マルチローダの吸着装置49
を用いて、蓋保持部46(図6参照)に保持されていた
蓋20が収容部60まで運ばれ、蓋20は焼結用台板3
0を覆うように底板10上に載置される。蓋20を底板
10上に被せる際、焼結用ケースの内部に窒素などの不
活性ガスを供給してケース内を不活性ガスで満たすよう
にし、ケース内に大気成分を残存させないようにしても
よい。
After the bottom plate 10 carried by the plate supporting device 48 is placed on the support 62 in the storage section 60,
The plurality of sintering base plates 30 in a stacked state are carried from the placement unit 50 (see FIG. 7) to the storage unit 60 and placed on the bottom plate 10. Then, the suction device 49 of the multi loader
The lid 20 held by the lid holding section 46 (see FIG. 6) is carried to the accommodation section 60 by using the
0 is placed on the bottom plate 10 so as to cover 0. When the lid 20 is placed on the bottom plate 10, an inert gas such as nitrogen is supplied into the case for sintering so that the case is filled with the inert gas, and no air component remains in the case. Good.

【0076】成形体32が載置された焼結用台板30を
収容した焼結用ケース(以下、「実ケース」とも呼ぶ)
は、ユニットベース54の下に設けられた仮置室R2へ
と移動される。実ケースの移動は、支持具62を取り除
き、シャッター64を開けた状態で、マルチローダの板
支持装置48が底板10の周縁部12(図2〜図4参
照)を支持しながら下降していくことによって実行され
る。
A sintering case (hereinafter also referred to as an “actual case”) accommodating the sintering base plate 30 on which the compact 32 is placed.
Is moved to a temporary storage room R2 provided below the unit base 54. The movement of the actual case is as follows. With the support 62 removed and the shutter 64 opened, the multi-loader plate support device 48 descends while supporting the peripheral portion 12 (see FIGS. 2 to 4) of the bottom plate 10. It is performed by:

【0077】仮置室R2は、上記ユニットベース54、
シャッター64、床上に設けられた隔壁66、および扉
67によって囲まれた密封可能な空間である。この仮置
室R2には、窒素などの不活性ガスが供給される。この
ように仮置室R2を不活性ガスで満たしておけば、仮置
室R2において実ケースを長時間放置する場合にも、実
ケース内に大気成分が流入することを防止できる。従っ
て、実ケース内の成形体32の酸化を抑制できる。
The temporary storage room R2 includes the unit base 54,
This is a sealable space surrounded by a shutter 64, a partition wall 66 provided on the floor, and a door 67. An inert gas such as nitrogen is supplied to the temporary storage chamber R2. By filling the temporary storage room R2 with the inert gas in this way, even when the real case is left in the temporary storage room R2 for a long time, it is possible to prevent the atmospheric components from flowing into the real case. Therefore, oxidation of the molded body 32 in the actual case can be suppressed.

【0078】仮置室R2には、実ケースの移動を容易に
するための搬送用ローラ69と、実ケースを扉67に向
けて押出すための押出し装置68とが備えられている。
実ケース10,20は板支持装置48によって搬送用ロ
ーラ69上に順順に重ねられていく。図2〜図4に示し
たように、焼結用ケース1の底板10は蓋20が載置さ
れた場合にも蓋20より外側に突出する部分を有してい
るので、この部分を板支持装置48によって支持させる
ようにすれば、実ケースの積み重ねが容易に行える。
The temporary storage room R 2 is provided with a transport roller 69 for facilitating the movement of the actual case, and an extrusion device 68 for extruding the actual case toward the door 67.
The actual cases 10 and 20 are sequentially stacked on the transport roller 69 by the plate supporting device 48. As shown in FIGS. 2 to 4, since the bottom plate 10 of the sintering case 1 has a portion protruding outward from the lid 20 even when the lid 20 is placed, this portion is supported by the plate. When supported by the device 48, the actual cases can be easily stacked.

【0079】このようにして所定段数だけ積み重ねられ
た実ケースは、押出し装置68によって扉67のほうに
移動させられる。扉67の前まで移動された実ケース
は、扉67を開けて取り出される。
The actual cases stacked in a predetermined number of stages in this manner are moved to the door 67 by the pushing device 68. The actual case moved to the front of the door 67 is taken out by opening the door 67.

【0080】なお、仮置室R2内に仮置きしておく実ケ
ースの数量は、所望に応じて選択することができる。例
えば、まず実ケースを縦に5段積み重ね、これを邪魔に
ならないように扉67の方向に移動させておき、この移
動させた実ケースのすぐ隣に実ケースを縦に5段積み重
ねるというようにして、5段×2列の10個の実ケース
を仮置室内に置いておくことができる。
The number of actual cases temporarily stored in the temporary storage room R2 can be selected as desired. For example, first, the actual cases are stacked vertically in five stages, and are moved in the direction of the door 67 so as not to be in the way, and the actual cases are stacked vertically in five stages immediately adjacent to the moved actual case. Thus, ten actual cases of 5 rows × 2 rows can be placed in the temporary storage room.

【0081】[希土類磁石の製造方法]以下、上記焼結
用ケースを用いた希土類磁石の製造方法を説明する。
[Method of Manufacturing Rare Earth Magnet] A method of manufacturing a rare earth magnet using the above-described sintering case will be described below.

【0082】まず、公知の方法を用いて形成した希土類
磁石の粉末を用意する。本実施形態では、R−T−
(M)−B系磁石を製造するために、まず、ストリップ
キャスト法を用いてR−T−(M)−B系合金の鋳片を
作製する。ストリップキャスト法は、例えば米国特許第
5,383,978号に開示されている。具体的には、
Nd:30wt%、B:1.0wt%、Al:0.2w
t%、Co:0.9wt%、残部Feおよび不可避不純
物からなる組成の合金を高周波溶解によって溶融し、合
金溶湯を形成する。この合金溶湯を1350℃に保持し
た後、単ロール法によって、合金溶湯を急冷し、厚さ
0.3mmのフレーク状合金鋳塊を得る。このときの急
冷条件は、例えば、ロール周速度約1m/秒、冷却速度
500℃/秒、過冷度200℃である。
First, a rare earth magnet powder formed by a known method is prepared. In the present embodiment, RT-
In order to manufacture the (M) -B-based magnet, first, a cast of an RT- (M) -B-based alloy is prepared using a strip casting method. Strip casting is disclosed, for example, in US Pat. No. 5,383,978. In particular,
Nd: 30 wt%, B: 1.0 wt%, Al: 0.2 w
An alloy having a composition of t%, Co: 0.9 wt%, the balance of Fe and unavoidable impurities is melted by high frequency melting to form a molten alloy. After maintaining the molten alloy at 1350 ° C., the molten alloy is rapidly cooled by a single roll method to obtain a flake-shaped alloy ingot having a thickness of 0.3 mm. The rapid cooling condition at this time is, for example, a roll peripheral speed of about 1 m / sec, a cooling speed of 500 ° C./sec, and a degree of supercooling of 200 ° C.

【0083】このフレーク状合金鋳塊を水素吸蔵法によ
って粗粉砕した後、ジェットミルを用いて窒素ガス雰囲
気中で微粉砕すれば、平均粒径が約3.5μmの合金粉
末を得ることができる。
If the flake-like alloy ingot is roughly pulverized by a hydrogen absorbing method and then finely pulverized in a nitrogen gas atmosphere using a jet mill, an alloy powder having an average particle diameter of about 3.5 μm can be obtained. .

【0084】こうして得た合金粉末に対して、ロッキン
グミキサー内で潤滑剤を0.3質量%添加・混合し、潤
滑剤で合金粉末粒子の表面を被覆する。潤滑剤として
は、脂肪酸エステルを石油系溶剤で希釈したものを用い
ることが好ましい。本実施形態では、脂肪酸エステルと
してカプロン酸メチルを用い、石油系溶剤としてはイソ
パラフィンを好適に用いることができる。カプロン酸メ
チルとイソパラフィンの重量比は、例えば1:9とすれ
ばよい。
To the alloy powder thus obtained, 0.3% by mass of a lubricant is added and mixed in a rocking mixer, and the surface of the alloy powder particles is coated with the lubricant. It is preferable to use a lubricant obtained by diluting a fatty acid ester with a petroleum solvent. In the present embodiment, methyl caproate is preferably used as the fatty acid ester, and isoparaffin is preferably used as the petroleum solvent. The weight ratio between methyl caproate and isoparaffin may be, for example, 1: 9.

【0085】次に、プレス機を用いて上記合金粉末を圧
縮成形し、それによって所定形状の成形体を作製する。
成形体の密度は、例えば、4.3g/cm3程度に設定
される。
Next, the above-mentioned alloy powder is compression-molded using a press machine, thereby producing a compact having a predetermined shape.
The density of the molded body is set to, for example, about 4.3 g / cm 3 .

【0086】このようにして得た多数の成形体を、モリ
ブデンから形成される焼結用台板上に配置する。成形体
が配置された複数の焼結用台板をスペーサにより間隔を
開けて積み重ね、これらを上記焼結用ケース1内に収容
する。焼結用ケース1内への成形体の収容は、例えば前
述の自動化装置を用いて実行することができる。
A number of the compacts thus obtained are placed on a sintering base plate made of molybdenum. A plurality of sintering base plates on which the formed bodies are arranged are stacked at intervals with a spacer, and these are accommodated in the sintering case 1. The housing of the molded body in the sintering case 1 can be executed, for example, by using the above-described automation device.

【0087】多数の成形体を収納した焼結用ケース1
を、例えばカーボンコンポジットで形成された焼結用ト
レイ78上に載せ、これを例えば自動搬送装置を用い
て、図9に示す構成の焼結装置70が設置されている場
所まで搬送する。
Case 1 for sintering containing many compacts
Is placed on a sintering tray 78 made of, for example, a carbon composite, and is conveyed to a place where a sintering device 70 having the configuration shown in FIG. 9 is installed using, for example, an automatic conveying device.

【0088】焼結装置70は、準備室71、脱バインダ
室72、第1焼結室73、第2焼結室74、および冷却
室75等を備えており、隣接する処理室は連結部77a
〜77dを介して連結されている。連結部77a〜77
dは、焼結用ケース1を大気に暴露することなく処理室
間を移動できるように構成されている。焼結用ケース1
は、このような焼結装置70内でローラ76によって搬
送され、各処理室内で停止しては、そこで必要な各処理
を所定時間のあいだ受けることになる。各処理はあらか
じめ設定された複数のレシピから適宜選択されたレシピ
に従って実行される。量産性向上の観点から、各処理室
で実行する処理は中央制御装置等によって統一的に制御
されることが好ましい。各処理は、製造すべき希土類磁
石の種類に応じて最適な公知プロセスを採用すればよ
い。以下、各処理工程を簡単に説明する。
The sintering apparatus 70 includes a preparation chamber 71, a binder removal chamber 72, a first sintering chamber 73, a second sintering chamber 74, a cooling chamber 75, and the like.
Through 77d. Connecting parts 77a to 77
d is configured to move between the processing chambers without exposing the sintering case 1 to the atmosphere. Case 1 for sintering
Is conveyed by rollers 76 in such a sintering apparatus 70, stops in each processing chamber, and receives necessary processes there for a predetermined time. Each process is executed according to a recipe appropriately selected from a plurality of preset recipes. From the viewpoint of improving mass productivity, it is preferable that the processing executed in each processing chamber is controlled in a unified manner by a central controller or the like. For each treatment, an optimal known process may be adopted according to the type of the rare earth magnet to be manufactured. Hereinafter, each processing step will be briefly described.

【0089】まず、焼結装置70の入り口に設けられて
いる準備室71内に少なくとも一つの焼結用ケース1を
挿入し、準備室71を密閉した後、酸化防止のため、雰
囲気圧力が2パスカル程度になるまで準備室71内を真
空引きする。焼結用ケース1は、焼結用トレイ78上に
載置されたまま、焼結用トレイ78とともに焼結工程を
経る。
First, at least one sintering case 1 is inserted into a preparatory chamber 71 provided at the entrance of the sintering apparatus 70, and the preparatory chamber 71 is closed. The inside of the preparation chamber 71 is evacuated until the pressure becomes about Pascal. The sintering case 1 undergoes a sintering step together with the sintering tray 78 while being placed on the sintering tray 78.

【0090】次に、焼結用ケース1を脱バインダ室72
に搬送し、そこで脱バインダ処理(温度:100℃〜6
00℃、圧力:2パスカル、時間:3〜6時間)を実行
する。脱バインダ処理は、磁性粉末の表面を覆っている
潤滑剤(バインダ)を焼結工程の前に揮発させるために
行うものである。潤滑剤は、プレス成形時における磁性
粉末の配向性を改善するため、プレス成形前に磁性粉末
と混合されたものであり、磁性粉末の各粒子間に存在し
ている。底板10に保持されているゲッタ38(図2〜
図4参照)は、焼結用ケース1内に流入する水蒸気や酸
素を吸収し、成形体の酸化を抑制する。脱バインダ処理
の温度が300℃以上の時に、ゲッタ38が特に効果的
に作用する。
Next, the sintering case 1 is removed from the binder removal chamber 72.
Where the binder is removed (temperature: 100 ° C. to 6 ° C.).
00 ° C., pressure: 2 Pascal, time: 3-6 hours). The binder removal treatment is performed to volatilize a lubricant (binder) covering the surface of the magnetic powder before the sintering step. The lubricant is mixed with the magnetic powder before the press molding in order to improve the orientation of the magnetic powder at the time of the press molding, and exists between the particles of the magnetic powder. The getter 38 held on the bottom plate 10 (FIGS.
FIG. 4) absorbs water vapor and oxygen flowing into the sintering case 1 and suppresses oxidation of the compact. When the temperature of the binder removal processing is 300 ° C. or more, the getter 38 works particularly effectively.

【0091】脱バインダ処理が終了した後、焼結用ケー
ス1は焼結室73または74に搬送され、そこで、10
00〜1100℃の焼結処理を2〜5時間程度受ける。
この焼結処理中、ゲッタ38は、焼結室から焼結用ケー
ス1内に流入する水蒸気および/または酸素を吸収し、
焼結体の酸化を抑制する。この後、焼結用ケース1は、
冷却室75に搬送され、そこで焼結用ケースの温度が室
温程度に低下するまで冷却処理を受ける。
After the binder removal processing is completed, the sintering case 1 is transferred to the sintering chamber 73 or 74 where it is removed.
Receive a sintering process at 00 to 1100 ° C. for about 2 to 5 hours.
During this sintering process, the getter 38 absorbs water vapor and / or oxygen flowing into the sintering case 1 from the sintering chamber,
Suppresses oxidation of the sintered body. After this, the sintering case 1
The sintering case is conveyed to a cooling chamber 75, where it undergoes a cooling process until the temperature of the sintering case drops to about room temperature.

【0092】次に、焼結用ケース1は焼結装置70から
取り出され、時効処理炉に挿入され、通常の時効処理工
程が実行されることになる。時効処理は、例えば、アル
ゴン等の雰囲気ガスの圧力を2パスカル程度とし、40
0〜600℃の温度にて1〜5時間程度のあいだ行われ
る。焼結処理によって収縮した焼結体を焼結用ケース1
の中から取り出し、他の容器に移し替えてから時効処理
を行えば、焼結用ケースに収容したまま処理する場合に
比べて、より多くの焼結体を一度に処理することができ
る。本実施形態の焼結用ケース1を用いる場合、焼結用
ケース1からの焼結体の取り出しは、蓋を取り去って簡
単に行うことができ、従来の焼結用ケース9を用いる場
合のように底容器の側壁に邪魔されることがない。従っ
て、作業効率を向上させることができる。また、焼結用
ケース1の蓋を取り去り、焼結体が載置された焼結用台
板が上に積み重ねられた状態の底板を時効処理炉に投入
することによって時効処理を行ってもよい。この場合、
蓋を取り外すだけで、アルゴン等の雰囲気ガスに対して
焼結体を暴露させることができるので、時効処理におけ
る急速冷却を効率良く行うことができる。
Next, the sintering case 1 is taken out of the sintering device 70 and inserted into the aging furnace, and the normal aging process is performed. In the aging treatment, for example, the pressure of the atmospheric gas such as argon is set to about 2 Pascal,
It is performed at a temperature of 0 to 600 ° C. for about 1 to 5 hours. The sintered body shrunk by the sintering process is converted into a sintering case 1
When the aging treatment is performed after the sinter is removed from the container and transferred to another container, more sintered bodies can be processed at once than in the case where the processing is performed while the sintering case is accommodated. When using the sintering case 1 of the present embodiment, the removal of the sintered body from the sintering case 1 can be easily performed by removing the lid, as in the case of using the conventional sintering case 9. It is not obstructed by the side wall of the bottom container. Therefore, work efficiency can be improved. Alternatively, the aging treatment may be performed by removing the lid of the sintering case 1 and putting the bottom plate in a state where the sintering base plate on which the sintered body is mounted on the sintering base plate is stacked on the aging treatment furnace. . in this case,
By simply removing the lid, the sintered body can be exposed to an atmosphere gas such as argon, so that rapid cooling in the aging treatment can be efficiently performed.

【0093】上記の各処理室内には同時に複数の焼結用
ケースが運び込まれ、そこで複数の焼結用ケースが同様
の処理を同時に受ける。また、焼結室で焼結処理を実行
している間に、既に焼結処理が終了した焼結用ケースを
冷却室で冷却処理する一方、やがて焼結処理を受ける焼
結ケースを脱バインダ室で脱バインダ処理することがで
きるため、各処理工程を効率的に進行させることができ
る。
A plurality of sintering cases are simultaneously carried into each of the above-mentioned processing chambers, where the plurality of sintering cases are simultaneously subjected to the same processing. In addition, while the sintering process is being performed in the sintering chamber, the sintering case that has already been subjected to the sintering process is cooled in the cooling chamber, and the sintering case that will be subjected to the sintering process is removed from the binder chamber. In this case, the binder can be removed, so that each processing step can be efficiently advanced.

【0094】一般に、焼結処理には比較的に長い時間が
必要なため、図9に示すように複数の焼結室を配置し、
多数の焼結用ケースに対して焼結処理を施せるようにす
ることが好ましい。この場合、複数の焼結室で実行する
各焼結処理の内容は、焼結室毎に異なっていても良い。
Generally, since a relatively long time is required for the sintering process, a plurality of sintering chambers are arranged as shown in FIG.
It is preferable that the sintering process can be performed on a large number of sintering cases. In this case, the content of each sintering process performed in a plurality of sintering chambers may be different for each sintering chamber.

【0095】なお、本発明の希土類焼結磁石の製造方法
は、前述の組成を有する磁石に限定されず、R−T−
(M)−B系磁石に広く好適に適用される。例えば、希
土類元素Rとして、Y、La、Ca、Pr、Nd、S
m、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Luの少な
くとも一種類の元素を含有する原料を用いることができ
る。充分な磁化を得るには、希土類元素Rのうちの50
at%以上がPrまたはNdの何れかまたは両方によっ
て占められることが好ましい。希土類元素Rが10at
%以下では、α−Fe相の析出によって保磁力が低下す
る。また、希土類元素Rが20at%を超えると、目的
とする正方晶Nd2Fe14B型化合物以外にRリッチの
第2相が多く析出し、磁化が低下する。このため、希土
類元素Rは全体の10〜20at%の範囲内にあること
が好ましい。
The method for producing a rare earth sintered magnet of the present invention is not limited to the magnet having the above-described composition, but may be any one of R-T-
It is widely and suitably applied to (M) -B magnets. For example, as the rare earth element R, Y, La, Ca, Pr, Nd, S
A raw material containing at least one element of m, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, and Lu can be used. To obtain sufficient magnetization, 50 of the rare earth elements R are required.
Preferably, at% or more is occupied by either or both of Pr and Nd. Rare earth element R is 10at
% Or less, the coercive force decreases due to the precipitation of the α-Fe phase. On the other hand, if the rare earth element R exceeds 20 at%, a large amount of the R-rich second phase precipitates in addition to the target tetragonal Nd 2 Fe 14 B type compound, and the magnetization decreases. For this reason, the rare earth element R is preferably in the range of 10 to 20 at% of the whole.

【0096】Tは、Feまたは、FeとNiおよび/ま
たはCoとを含む遷移金属元素である。Tが67at%
未満の場合、保磁力および磁化ともに低い第2相が析出
するため磁気特性が劣化する。Tが85at%を超える
と、α−Fe相の析出によって保磁力が低下し、角型性
も低下する。このため、Tの含有量は67〜85at%
の範囲内にあることが好ましい。なお、TはFeのみか
ら構成されていても良いが、例えばCoの添加によって
キュリー温度が上昇し、耐熱性が向上する。Tの50a
t%以上はFeで占められることが好ましい。Feの割
合が50at%を下回ると、Nd2Fe14B型化合物の
飽和磁化そのものが減少するからである。
T is Fe or a transition metal element containing Fe and Ni and / or Co. T is 67at%
If it is less than 2, a second phase having low coercive force and low magnetization is precipitated, so that the magnetic properties deteriorate. When T exceeds 85 at%, the coercive force decreases due to the precipitation of the α-Fe phase, and the squareness also decreases. Therefore, the content of T is 67 to 85 at%.
Is preferably within the range. Note that T may be composed only of Fe, but for example, the addition of Co increases the Curie temperature and improves heat resistance. T of 50a
Preferably, at least t% is occupied by Fe. This is because the saturation magnetization itself of the Nd 2 Fe 14 B type compound decreases when the proportion of Fe is less than 50 at%.

【0097】Bは、ボロンまたはボロンと炭素との混合
物であり、正方晶Nd2Fe14B型結晶構造を安定的に
析出するために必須である。Bの添加量が4at%未満
ではR217相が析出するため保磁力が低下し、減磁曲
線の角型性が著しく損なわれる。またBの添加量が10
at%を超えると、磁化の小さな第2相が析出してしま
う。従って、Bの含有量は4〜10at%の範囲である
ことが好ましい。
B is boron or a mixture of boron and carbon, and is essential for stably depositing a tetragonal Nd 2 Fe 14 B type crystal structure. If the addition amount of B is less than 4 at%, the R 2 T 17 phase is precipitated, so that the coercive force is reduced and the squareness of the demagnetization curve is significantly impaired. When the amount of B added is 10
If it exceeds at%, the second phase having a small magnetization will precipitate. Therefore, the content of B is preferably in the range of 4 to 10 at%.

【0098】粉末の磁気的な異方性をより高めるために
は他の添加元素を付与してもよい。添加元素としては、
Al、Ti、Cu、V、Cr、Ni、Ga、Zr、N
b、Mo、In、Sn、Hf、Ta、Wからなる群から
選択された少なくとも1種類の元素が好適に使用され得
る。このような添加元素は、全く添加されなくても良
い。添加する場合は、添加量を10at%以下にするこ
とが好ましい。添加量が10at%を超えると、強磁性
ではなく第2相が析出して磁化が低下するからである。
なお、磁気的に等方性の磁粉を得るには添加元素Mは不
要だが、固有保磁力を高めるためにAl、Cu、Ga等
を添加してもよい。
To further increase the magnetic anisotropy of the powder, another additive element may be added. As additional elements,
Al, Ti, Cu, V, Cr, Ni, Ga, Zr, N
At least one element selected from the group consisting of b, Mo, In, Sn, Hf, Ta, and W can be suitably used. Such additional elements need not be added at all. When adding, the addition amount is preferably set to 10 at% or less. If the addition amount exceeds 10 at%, not the ferromagnetism but the second phase will precipitate and the magnetization will decrease.
Note that the additive element M is not required to obtain magnetically isotropic magnetic powder, but Al, Cu, Ga, or the like may be added to increase the intrinsic coercive force.

【0099】[0099]

【発明の効果】本発明によると、希土類元素の酸化を十
分に抑制することが可能で、且つ、生産性に優れた、希
土類焼結磁石の製造方法が提供される。本発明は、酸素
含有率の低い(例えば酸素含有率が3000ppm以
下)の高性能のR−T−(M)−B系磁石の製造に好適
に適用される。
According to the present invention, there is provided a method of manufacturing a rare earth sintered magnet which can sufficiently suppress oxidation of a rare earth element and is excellent in productivity. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitably applied to the production of a high-performance RT- (M) -B magnet having a low oxygen content (for example, an oxygen content of 3000 ppm or less).

【0100】また、本発明によれば、成形体を焼結用ケ
ースへ収納することや焼結用ケースから取り出すことが
容易な焼結用ケースが提供され、作業の自動化が可能と
なり、製造工程のスループットが大きく改善される。ま
た、焼結用ケースへの収容の際に成形体が破損してしま
う可能性を低減できる。
Further, according to the present invention, there is provided a sintering case in which the compact can be easily stored in the sintering case or taken out of the sintering case. Is greatly improved. Further, it is possible to reduce the possibility that the molded body will be damaged when housed in the sintering case.

【0101】なお、本発明の効果は、R−T−(M)−
B系磁石以外の焼結磁石の製造に本発明を適用しても発
揮される。
Note that the effect of the present invention is that RT- (M)-
The present invention is also exerted when the present invention is applied to the manufacture of a sintered magnet other than the B-based magnet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態で用いられる焼結用ケースを
示し、(a)は断面図、(b)は蓋を取り除いた状態で
の平面図である。
1A and 1B show a sintering case used in an embodiment of the present invention, wherein FIG. 1A is a cross-sectional view and FIG. 1B is a plan view with a lid removed.

【図2】本発明の実施形態で用いられる他の焼結用ケー
スを模式的に示した分解斜視図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing another sintering case used in the embodiment of the present invention.

【図3】図2に示す焼結用ケースの断面を示し、(a)
は全体図、(b)は部分拡大図である。
3 shows a cross section of the sintering case shown in FIG. 2, and (a)
Is an overall view, and (b) is a partially enlarged view.

【図4】図2に示す焼結用ケースが備える底板の平面図
である。
FIG. 4 is a plan view of a bottom plate included in the sintering case shown in FIG. 2;

【図5】(a)および(b)は、底板に保持されるゲッ
タが、ケース外からケース内へ流入しようとするガスを
吸収する様子を示す図である。
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing a state in which a getter held by a bottom plate absorbs a gas that is going to flow into the case from outside the case.

【図6】焼結用ケースに成形体を自動的に収納する装置
のレイアウトの一例を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing an example of a layout of an apparatus for automatically storing a compact in a sintering case.

【図7】図6に示す装置の配置部を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing an arrangement portion of the device shown in FIG. 6;

【図8】図6に示す装置の収納部を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a storage section of the device shown in FIG.

【図9】焼結室などを備えた焼結装置を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a sintering apparatus including a sintering chamber and the like.

【図10】図2に示す焼結用ケースとは異なる実施形態
の焼結用ケースの一部を拡大して示す断面図である。
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing a part of a sintering case according to an embodiment different from the sintering case shown in FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 底板 12 周縁部 14 外周壁 15 保持溝 16 内周壁 18 補強部材 19 支持部材 20 蓋 22 側壁部 24 上面部 30 焼結用台板 32 成形体 34 スペーサ 38 ゲッタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Bottom plate 12 Peripheral edge part 14 Outer peripheral wall 15 Holding groove 16 Inner peripheral wall 18 Reinforcement member 19 Support member 20 Cover 22 Side wall part 24 Top surface part 30 Sintering base plate 32 Molded object 34 Spacer 38 Getter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅野 邦壽 兵庫県養父郡養父町大藪1062番地 近畿住 特電子株式会社内 Fターム(参考) 4K018 AA27 BA18 BC40 CA11 DA32 DA39 DA50 KA45 5E040 AA03 BD01 CA01 5E062 CD04 CE04  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Kunihisa Kanno 1062 Oyabu, Yabu-cho, Yabu-gun, Hyogo Kinki-Sumi Tokuden Co., Ltd. F-term (reference) 4K018 AA27 BA18 BC40 CA11 DA32 DA39 DA50 KA45 5E040 AA03 BD01 CA01 5E062 CD04 CE04

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)希土類焼結磁石用の合金粉末をプ
レス成形して成形体を作製する工程と、 (b)前記成形体を外部とガスの出入が行われる流路が
制限されたケース内に収容し、前記流路の少なくとも近
傍にガス吸収材料を配置する工程と、 (c)前記成形体を収容した前記ケースを減圧雰囲気中
で加熱することによって前記成形体を焼結する工程と、
を包含する、希土類焼結磁石の製造方法。
(A) a step of press-molding an alloy powder for a rare-earth sintered magnet to produce a compact; and (b) a flow path through which gas flows in and out of the compact with the outside. (C) sintering the compact by heating the casing containing the compact in a reduced-pressure atmosphere; When,
A method for producing a rare earth sintered magnet, comprising:
【請求項2】 前記ガス吸収材料は、前記ケース内に配
置される、請求項1に記載の希土類焼結磁石の製造方
法。
2. The method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to claim 1, wherein the gas absorbing material is disposed in the case.
【請求項3】 前記ガス吸収材料は希土類合金粉末を含
む、請求項1または2に記載の希土類焼結磁石の製造方
法。
3. The method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to claim 1, wherein the gas absorbing material includes a rare earth alloy powder.
【請求項4】 前記希土類合金粉末は、前記希土類焼結
磁石用の合金粉末と実質的に同じ組成を有している、請
求項3に記載の希土類焼結磁石の製造方法。
4. The method for producing a rare earth sintered magnet according to claim 3, wherein the rare earth alloy powder has substantially the same composition as the alloy powder for the rare earth sintered magnet.
【請求項5】 前記希土類合金粉末の平均粒径は、前記
希土類焼結磁石用の合金粉末の平均粒径よりも小さい、
請求項3または4に記載の希土類焼結磁石の製造方法。
5. An average particle size of the rare earth alloy powder is smaller than an average particle size of the alloy powder for the rare earth sintered magnet.
A method for producing a rare earth sintered magnet according to claim 3.
【請求項6】 前記希土類合金粉末は、磁化されてい
る、請求項3から5のいずれかに記載の希土類焼結磁石
の製造方法。
6. The method for manufacturing a rare earth sintered magnet according to claim 3, wherein the rare earth alloy powder is magnetized.
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