JP2002009578A5 - - Google Patents
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Description
【００６１】
そして、本実施形態の圧電振動子３０は、上方からの電気的影響については、金属性の蓋体３４によりシールドされる。そして、後で詳しく説明するように、蓋体３４を外した状態，すなわち、図２の状態で、上方より圧電振動片３２の励振電極３７に対して、例えばプラズマ等を照射することによりなされる周波数調整においては、ベース３３内に露出しているグランド電極膜４８（図４参照）が、ベース３３内の電位変化を裏面のグランド端子４３ｉ，４３ｊを介して逃がすことができる。つまり、グランド電電極膜４８の電位を、裏面の端子４３ｉ，４３ｊと同じ電位に保つことができる。このため、ベース３３内の電気的環境に変化が生じないことから、圧電振動片３２に対して、駆動電圧を印加しながら、その振動周波数をモニタしながら行う周波数調整に電気的影響を与えることなく、正確な周波数調整を行うことができる。
そして、本実施形態の圧電振動子３０は、上方からの電気的影響については、金属性の蓋体３４によりシールドされる。そして、後で詳しく説明するように、蓋体３４を外した状態，すなわち、図２の状態で、上方より圧電振動片３２の励振電極３７に対して、例えばプラズマ等を照射することによりなされる周波数調整においては、ベース３３内に露出しているグランド電極膜４８（図４参照）が、ベース３３内の電位変化を裏面のグランド端子４３ｉ，４３ｊを介して逃がすことができる。つまり、グランド電電極膜４８の電位を、裏面の端子４３ｉ，４３ｊと同じ電位に保つことができる。このため、ベース３３内の電気的環境に変化が生じないことから、圧電振動片３２に対して、駆動電圧を印加しながら、その振動周波数をモニタしながら行う周波数調整に電気的影響を与えることなく、正確な周波数調整を行うことができる。
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|---|---|---|---|
| JP2000191258A JP2002009578A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 圧電デバイス |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2000191258A JP2002009578A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 圧電デバイス |
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| JP2002009578A JP2002009578A (ja) | 2002-01-11 |
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ID=18690584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000191258A Withdrawn JP2002009578A (ja) | 2000-06-26 | 2000-06-26 | 圧電デバイス |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002009578A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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