JP2002009497A - Illuminating equipment - Google Patents

Illuminating equipment

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JP2002009497A
JP2002009497A JP2000188590A JP2000188590A JP2002009497A JP 2002009497 A JP2002009497 A JP 2002009497A JP 2000188590 A JP2000188590 A JP 2000188590A JP 2000188590 A JP2000188590 A JP 2000188590A JP 2002009497 A JP2002009497 A JP 2002009497A
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JP
Japan
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light source
light
optical element
illumination
diffused
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Application number
JP2000188590A
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Japanese (ja)
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Toru Hiramatsu
徹 平松
Fumio Suzuki
史雄 鈴木
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Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small and low-cost illuminating equipment which efficiently illuminates a board mark of different characteristics for precision positioning the board mark. SOLUTION: A board mark 5 is coaxially and vertically illuminated with a prism pipe 2 of a hollow pipe where the perimeter of one end is formed as a reflective surface 2a, while that of the other end formed as a diffusion surface 2b and light flux from a lighting source 3a incident on the reflective surface is allowed to exit as diffused light from the other end part. Another lighting source 6a is so provided that the board mark is lit diagonally from above. Both coaxial vertical illumination and diagonal illumination are used simultaneously, or, any one of them is used according to reflection characteristics of the board mark to illuminate the board mark, thus a small and efficient illuminating equipment is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、照明装置、更に詳
細には、電子部品が搭載される基板上に設けた位置認識
用の基板マークを照明する照明装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lighting device, and more particularly, to a lighting device for illuminating a position recognition board mark provided on a board on which electronic components are mounted.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品を回路基板上の所定位置に実装
する部品実装装置では、搭載位置での基板の位置が基準
位置からずれていると、正確な部品実装ができないの
で、基板上に位置認識用の基板マークを設け、この基板
マークを撮像して位置を認識して基板の位置決めを行な
っている。
2. Description of the Related Art In a component mounting apparatus for mounting an electronic component at a predetermined position on a circuit board, if the mounting position is shifted from a reference position, accurate component mounting cannot be performed. A substrate mark for recognition is provided, and the position of the substrate is recognized by imaging the substrate mark to recognize the position.

【0003】この基板マークを認識する場合、種々の反
射特性をもった基板マークが存在するので、これらの基
板マークを精度よく認識するために、基板マークの反射
特性に合わせて、基板マークを直接光で照明しその反射
光を同軸で受光する同軸落射照明、あるいは照明光源を
リング状に配置し、斜め上方の周囲から基板マークを照
明する斜光リング集光照明、あるいはこれらの照明を組
み合わせた照明方式が用いられている。
When recognizing the board mark, there are board marks having various reflection characteristics. In order to recognize these board marks with high accuracy, the board mark is directly applied in accordance with the reflection characteristics of the board mark. Coaxial epi-illumination, which illuminates with light and receives the reflected light coaxially, or oblique ring condensing illumination, in which an illumination light source is arranged in a ring shape and illuminates a substrate mark from diagonally above, or a combination of these illuminations A method is used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の照明装
置では、同軸落射照明は撮像の光軸と同軸に垂直な角度
からの照明しか提供できないために、フレキシブル基板
の基板マークにカバーフィルムのかかっている場合は、
認識画像のコントラストが低く、認識ができない基板マ
ークがある。その場合には、斜光リング集光照明を採用
することにより、上記基板マークに対して認識画像のコ
ントラストは改善されるが、同軸落射照明でコントラス
トの良かった他の基板マークの認識画像のコントラスト
は下がってしまうものもある。言いかえると、基板マー
ク部の認識は、それぞれの基板種類の特性により、画一
的な照明装置では認識不良を発生せしめるため、複数の
照明の照射、および基板に見合った照明が要求される。
また、複数照明を採用すると、照明装置全体が大きなも
のになるので、小型で安価な照明装置が必要になる。
However, in the conventional illuminating device, the coaxial epi-illumination can only provide illumination from an angle perpendicular to the optical axis of the image pickup. If you have
There is a substrate mark that cannot be recognized because the contrast of the recognized image is low. In that case, by adopting the oblique ring condensing illumination, the contrast of the recognition image with respect to the above-mentioned substrate mark is improved, but the contrast of the recognition image of another substrate mark with good contrast by the coaxial incident illumination is improved. Some will go down. In other words, the recognition of the substrate mark portion requires a plurality of illuminations and illumination appropriate for the substrate in order to cause a recognition failure in a uniform illumination device due to the characteristics of each substrate type.
In addition, when a plurality of lighting devices are used, the size of the entire lighting device becomes large, so that a small and inexpensive lighting device is required.

【0005】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、特性の異なる基板マークを効率よく照明し、高精
度の基板マークの位置決めが可能な小型で安価な照明装
置を提供することをその課題とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a small and inexpensive illuminating device which can efficiently illuminate board marks having different characteristics and can position the board marks with high precision. The subject.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、いずれも、一
端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形成
され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光として
射出させる中空なパイプ状の光学素子と、周囲に複数の
照明光源を備え、各照明光源からの光が前記光学素子の
反射面に入射して拡散光として射出されるように光学素
子の反射面端部側に配置される光源ユニットとを有して
おり、光源ユニットの照明光源が点灯されたとき、基板
マークが点灯された照明光源からの拡散光により拡散照
明されることを特徴とする。この構成により、基板マー
クは拡散光により同軸落射照明される。
In each of the embodiments of the present invention, the periphery of one end is formed as a reflection surface, and the periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and the light beam incident on the reflection surface is diffused from the other end. A hollow pipe-shaped optical element to be emitted, and a plurality of illumination light sources around the light source, and a reflection surface of the optical element such that light from each illumination light source enters the reflection surface of the optical element and is emitted as diffused light. And a light source unit disposed on the end side, wherein when the illumination light source of the light source unit is turned on, the substrate mark is diffused and illuminated by the diffused light from the illuminated light source. With this configuration, the substrate mark is coaxially illuminated by the diffused light.

【0007】本発明は、更に斜光照明するために、周囲
に複数の照明光源を備え、前記光学素子の拡散面端部側
に配置されて斜めから基板マークを照明する他の光源ユ
ニットが設けられ、この光源ユニットの照明光源が点灯
されたときは、基板マークが照明光源からの光により斜
め上方から照明される。この斜光照明は、同軸落射照明
に使用される光学素子と同様な同軸の光学素子で射出面
が屈折面となった光学素子によって実現することもでき
る。
According to the present invention, in order to further illuminate the oblique light, a plurality of illumination light sources are provided around the periphery, and another light source unit which is disposed at the end of the diffusion surface of the optical element and illuminates the substrate mark obliquely is provided. When the illumination light source of the light source unit is turned on, the substrate mark is illuminated from obliquely above by the light from the illumination light source. This oblique illumination can also be realized by a coaxial optical element similar to the optical element used for coaxial epi-illumination, and an optical element whose exit surface is a refraction surface.

【0008】同軸落射照明と斜光照明に使用される光源
を共通にすると、光源の数を減少させることができる。
そのために、斜光照明用の光学素子の反射面は、ハーフ
ミラー面とされ、ハーフミラー面を通過した光が同軸落
射照明用の光学素子の反射面に入射するように構成され
る。
When a common light source is used for coaxial epi-illumination and oblique illumination, the number of light sources can be reduced.
Therefore, the reflecting surface of the optical element for oblique illumination is a half mirror surface, and the light passing through the half mirror surface is configured to be incident on the reflecting surface of the optical element for coaxial incident illumination.

【0009】基板マークの反射特性に応じて照明方式を
変えるために、同軸落射照明と斜光照明用の光源ユニッ
トの照明光源が同時に点灯されるか、あるいはいずれか
一方の光源ユニットの照明光源のみが点灯される。光源
を共通にした実施形態では、両光学素子が上下に移動可
能に構成され、照明形態に応じて光学素子が下方に移動
され、光源からの光が入射されないようにされる。
In order to change the illumination system according to the reflection characteristics of the substrate mark, the illumination light sources of the light source units for coaxial epi-illumination and oblique illumination are turned on simultaneously, or only one of the light sources of one of the light source units is turned on. It is lit. In the embodiment in which the light source is shared, both optical elements are configured to be movable up and down, the optical elements are moved downward according to the illumination mode, and light from the light source is prevented from being incident.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.

【0011】[第1実施形態]図1は、本発明の第1の
実施形態を示す基板マーク照明装置の構成図である。同
図において、符号1で示すものは、CCDカメラなどの
撮像装置で、この撮像装置は電子部品が搭載されるプリ
ント基板4上に設けられた基板マーク5、並びに他の基
板マークを撮影し、これらの画像からプリント基板の位
置ずれが認識される。基板マーク5の撮影画像は、撮像
装置1に接続されたモニター7で表示させることができ
る。
[First Embodiment] FIG. 1 is a block diagram of a substrate mark illuminating apparatus according to a first embodiment of the present invention. In the figure, the reference numeral 1 denotes an imaging device such as a CCD camera, which captures a substrate mark 5 provided on a printed circuit board 4 on which electronic components are mounted, and other substrate marks. The displacement of the printed circuit board is recognized from these images. The captured image of the board mark 5 can be displayed on a monitor 7 connected to the imaging device 1.

【0012】この基板マーク5の撮影のために、基板マ
ーク5は垂直落射リング照明用のアクリルプリズムパイ
プ2で照明される。このプリズムパイプ2は、図2
(A)に示したように、一端部(上部)の周囲が45°
の面取りを施した反射面2aとして、また他端部(底
部)の周囲が拡散透過面2bとして形成された中空のパ
イプ状の光学素子であり、中空部2cの直径は、照明さ
れる基板マークのほぼ全体が中空部内部に入るような大
きさになっている。また、プリズムパイプ2は、その中
心軸2dにほぼ軸対称な形状を有し、中心軸2dは撮像
装置1の撮像光軸と一致している。
In order to photograph the substrate mark 5, the substrate mark 5 is illuminated by the acrylic prism pipe 2 for vertical incident ring illumination. This prism pipe 2 is shown in FIG.
As shown in (A), the circumference of one end (upper) is 45 °
Is a hollow pipe-shaped optical element formed as a chamfered reflecting surface 2a and around the other end (bottom) as a diffusion transmitting surface 2b, and the diameter of the hollow portion 2c is determined by the substrate mark to be illuminated. Is sized so that almost the entirety enters the interior of the hollow part. The prism pipe 2 has a shape substantially axially symmetric with respect to the center axis 2d, and the center axis 2d coincides with the imaging optical axis of the imaging device 1.

【0013】また、光源ユニット3がプリズムパイプ2
の上方部で反射面2aの外部領域に設けられており、こ
の光源ユニット3は、図3に詳細に図示したように、円
周に沿って水平に配置された複数の照明光源(LED)
3aがリング状の支持板3bに取り付けられる構造にな
っている。各照明光源3aからの光束は、図4に示した
ように、プリズムパイプ2の反射面2aで反射されて垂
直に落射し、拡散透過面2bでほぼ拡散光となって下方
に射出され、基板マーク5を垂直に拡散照明する(同軸
落射照明)。
The light source unit 3 is a prism pipe 2
The light source unit 3 includes a plurality of illumination light sources (LEDs) horizontally arranged along a circumference as shown in detail in FIG.
3a is attached to a ring-shaped support plate 3b. As shown in FIG. 4, the light beam from each illumination light source 3a is reflected by the reflecting surface 2a of the prism pipe 2, falls vertically, is substantially diffused by the diffuse transmitting surface 2b, and is emitted downward, and The mark 5 is vertically diffusely illuminated (coaxial epi-illumination).

【0014】また、プリズムパイプ2の下方部には、他
の光源ユニット6が取り付けられており、この光源ユニ
ット6には、図5に示すように、傾斜したリング状の支
持板6bに円周に沿って複数の照明光源6aが取り付け
られており、各照明光源6aからの光は、図1に示した
ように、基板マーク5に集光し、基板マーク5を斜め上
方から照明する(斜光照明)。
Further, another light source unit 6 is mounted below the prism pipe 2, and this light source unit 6 has a circular ring-shaped support plate 6b as shown in FIG. 1, a plurality of illumination light sources 6a are attached, and light from each illumination light source 6a is condensed on the substrate mark 5 and illuminates the substrate mark 5 from obliquely above as shown in FIG. illumination).

【0015】なお、上記撮像装置1、プリズムパイプ
(光学素子)2、光源ユニット3、6は照明装置本体に
取り付けられ、基板マーク5に対して相対的に移動でき
るようになっている。また、照明装置全体は、部品実装
装置のXY移動機構(不図示)に取り付けられており、
X、Y方向に移動できるように構成されている。
The image pickup device 1, the prism pipe (optical element) 2, and the light source units 3 and 6 are attached to the illumination device main body so as to be relatively movable with respect to the substrate mark 5. The entire lighting device is attached to an XY moving mechanism (not shown) of the component mounting device.
It is configured to be able to move in the X and Y directions.

【0016】このような構成において、プリント基板4
上の基板マーク5を撮影して位置認識するときは、照明
装置は、プリズムパイプ2の軸心(撮像装置1の撮像光
軸)2dが基板マーク5の中心とほぼ一致するように、
基板マーク5上に移動する。基板マーク7が反射率の高
いきれいな金属メッキのマークである場合には、光源ユ
ニット3を用いた同軸落射照明がよく、また基板マーク
にカバーフィルムが被覆されている場合には、光源ユニ
ット6を用いた斜光照明がよいので、基板マークの反射
特性を考慮していずれか、あるいは両方の光源ユニット
を使用するようにする。
In such a configuration, the printed circuit board 4
When photographing the upper substrate mark 5 and recognizing the position, the illuminating device sets the axis center of the prism pipe 2 (the imaging optical axis of the imaging device 1) 2d to substantially coincide with the center of the substrate mark 5.
It moves on the substrate mark 5. When the substrate mark 7 is a mark of high-reflectance and a beautiful metal plating, coaxial epi-illumination using the light source unit 3 is preferable, and when the substrate mark is covered with a cover film, the light source unit 6 is replaced. Since the oblique illumination used is good, one or both light source units are used in consideration of the reflection characteristics of the substrate mark.

【0017】そのため、まず光源ユニット3の各照明光
源3aを点灯し、次に光源ユニット6の各照明光源6a
を点灯し、続いて光源ユニット3の各照明光源3aを消
灯して、基板マーク5をそれぞれ照明し、その反射光を
撮像装置1で撮影して基板マーク像をモニター7で観察
する。
For this purpose, first, each illumination light source 3a of the light source unit 3 is turned on, and then each illumination light source 6a of the light source unit 6 is turned on.
Is turned on, the respective illumination light sources 3a of the light source unit 3 are turned off, the board marks 5 are illuminated, the reflected light is photographed by the imaging device 1, and the board mark images are observed on the monitor 7.

【0018】光源ユニット3の各照明光源3aが点灯さ
れたときは、各照明光源3aからの光束がプリズムパイ
プ2の反射面2aにより内部に垂直方向に反射され、拡
散透過面2bから拡散光として射出される。これによ
り、基板マーク5は、各照明光源3aからの拡散光によ
り拡散照明される。また、光源ユニット6の各照明光源
6aが点灯されたときは、基板マーク5は、各照明光源
6aからの光により斜め上方から照明される。使用者
は、モニター7の基板マーク像を観察して、基板マーク
像のコントラストが同軸落射照明、斜光照明、あるいは
これら両方の照明のいずれの照明で最もよくなるかを目
視により判断して、照明光源3a、照明光源6aのいず
れか、あるいはその両方を点灯して、基板マーク5を撮
像する。撮像された基板マーク像は、画像認識装置(不
図示)で画像処理されその位置認識が行われる。
When each of the illumination light sources 3a of the light source unit 3 is turned on, a light beam from each of the illumination light sources 3a is vertically reflected internally by the reflection surface 2a of the prism pipe 2, and diffused from the diffusion transmission surface 2b as diffused light. Be injected. Thereby, the substrate mark 5 is diffused and illuminated by the diffused light from each of the illumination light sources 3a. When each illumination light source 6a of the light source unit 6 is turned on, the substrate mark 5 is illuminated from obliquely above by the light from each illumination light source 6a. The user observes the board mark image on the monitor 7 and visually determines whether the contrast of the board mark image is the best in coaxial epi-illumination, oblique illumination, or both of these illuminations. One or both of the illumination light source 3a and the illumination light source 6a are turned on, and the board mark 5 is imaged. The picked-up board mark image is subjected to image processing by an image recognition device (not shown) and its position is recognized.

【0019】[第2実施形態]図6(A)には、本発明
の第2の実施形態に係わる照明装置が図示されている。
この実施形態では、斜光照明に、プリズムパイプ2と同
様な光学素子であるプリズムパイプ20が使用される。
プリズムパイプ20は、図2(B)に示したように、プ
リズムパイプ2と同様に、一端部(上部)の周囲が45
°の面取りを施した反射面20aとして形成されている
が、他端部(底部)の周囲20bは光束を内部に屈折さ
せる屈折面として形成された中空のパイプ状の光学素子
である。このプリズムパイプ20もプリズムパイプ2の
中心軸2dに一致する軸に軸対称な形状を有し、プリズ
ムパイプ20の中空部にプリズムパイプ2が挿入される
構造となっている。また、光源ユニット30がプリズム
パイプ20の上方部で反射面20aの外部領域に設けら
れており、この光源ユニット30は、円周に沿って水平
に配置された複数の照明光源(LED)30aがリング
状の支持板30bに取り付けられる構造になっている。
[Second Embodiment] FIG. 6A shows a lighting device according to a second embodiment of the present invention.
In this embodiment, a prism pipe 20 which is an optical element similar to the prism pipe 2 is used for oblique illumination.
As shown in FIG. 2 (B), the prism pipe 20 has a periphery around one end (upper part) similar to the prism pipe 2.
Although it is formed as a reflecting surface 20a chamfered at an angle, the periphery 20b around the other end (bottom) is a hollow pipe-shaped optical element formed as a refracting surface for refracting a light beam inside. The prism pipe 20 also has an axially symmetrical shape about an axis coinciding with the central axis 2d of the prism pipe 2, and has a structure in which the prism pipe 2 is inserted into a hollow portion of the prism pipe 20. A light source unit 30 is provided above the prism pipe 20 in an area outside the reflection surface 20a. The light source unit 30 includes a plurality of illumination light sources (LEDs) 30a horizontally arranged along the circumference. It is structured to be attached to the ring-shaped support plate 30b.

【0020】各照明光源3a、30aからの光束は、図
6(B)に示したように、プリズムパイプ2、20の反
射面2a、20aで反射されて垂直に落射する。照明光
源3aからの光束は、プリズムパイプ2の拡散透過面2
bでほぼ拡散光となって下方に射出され、基板マーク5
を垂直に拡散照明し(同軸落射照明)、一方照明光源3
0aからの光束はプリズムパイプ20の屈折面20bで
内側に屈折され、基板マーク5に集光し、基板マーク5
を上方から照明する(斜光照明)。
Light beams from the illumination light sources 3a and 30a are reflected by the reflecting surfaces 2a and 20a of the prism pipes 2 and 20, and fall vertically, as shown in FIG. The light beam from the illumination light source 3a is
b, the light becomes almost diffused light and is emitted downward, and the substrate mark 5
Is vertically diffused (coaxial epi-illumination), while the illumination light source 3
0a is refracted inward by the refraction surface 20b of the prism pipe 20 and condensed on the substrate mark 5;
From above (oblique illumination).

【0021】同軸落射照明、斜光照明、あるいは両照明
のいずれを使用するかは、第1実施形態と同じようにし
て決められる。
Whether to use coaxial illumination, oblique illumination, or both illuminations is determined in the same manner as in the first embodiment.

【0022】[第3実施形態]図7(A)には、本発明
の第3の実施形態に係わる照明装置が図示されている。
この実施形態で、第2の実施形態と異なるところは、第
2の実施形態の光源ユニット30が省略され、光源ユニ
ット3を両プリズムパイプ2、20に共通にしたこと、
両プリズムパイプ2、20を上下方向に移動可能とした
こと、並びにプリズムパイプ20の一端部が反射面では
なくハーフミラー面20a’とされているところであ
る。
Third Embodiment FIG. 7A shows a lighting device according to a third embodiment of the present invention.
This embodiment is different from the second embodiment in that the light source unit 30 of the second embodiment is omitted, and the light source unit 3 is shared by both prism pipes 2 and 20.
The two prism pipes 2 and 20 can be moved in the vertical direction, and one end of the prism pipe 20 is not a reflection surface but a half mirror surface 20a '.

【0023】図7(A)に示すように、両プリズムパイ
プ2、20の反射面2a、ハーフミラー面20a’が光
源ユニット3の照明光源3aと同じ高さにあるときは、
各照明光源3aからの光束は、まず、プリズムパイプ2
0のハーフミラー面20a’に入射し、ハーフミラー面
20a’で反射された光は垂直に落射し、屈折面20b
で内側に屈折され、基板マーク5に集光し、基板マーク
5を斜め上方から照明する。それと同時に、ハーフミラ
ー面20a’を透過した光はプリズムパイプ2の反射面
2aに入射して下方に落射して拡散透過面2bから拡散
光として射出され、基板マーク5を拡散照明する。従っ
て同軸落射照明と斜光照明により基板マークが照明され
る。
As shown in FIG. 7A, when the reflecting surface 2a and the half mirror surface 20a 'of both prism pipes 2, 20 are at the same height as the illumination light source 3a of the light source unit 3,
The luminous flux from each illumination light source 3a is first
The light that is incident on the half mirror surface 20a 'of the first mirror surface and reflected by the half mirror surface 20a' falls vertically and is refracted by the refraction surface 20b.
The light is refracted inward, converges on the substrate mark 5, and illuminates the substrate mark 5 from obliquely above. At the same time, the light transmitted through the half mirror surface 20a 'is incident on the reflection surface 2a of the prism pipe 2, falls downward, is emitted as diffusion light from the diffusion transmission surface 2b, and illuminates the substrate mark 5 with diffusion. Therefore, the substrate mark is illuminated by the coaxial incident illumination and the oblique illumination.

【0024】基板マーク5の反射特性により、基板マー
クを同軸落射照明だけで照明したい場合には、図7
(B)に示したように、プリズムパイプ20を下方に移
動させ、各照明光源3aからの光をプリズムパイプ2の
反射面2aに入射させるようにする。これにより、各照
明光源3aからの光は、プリズムパイプ2の拡散透過面
2bから拡散光として射出され基板マークは同軸落射照
明されるようになる。一方、斜光照明だけで照明したい
場合には、図7(C)に示したように、プリズムパイプ
2を下方に移動させ、ハーフミラー面20a’を透過し
た光がプリズムパイプ2の反射面2aに入射しないよう
にする。これにより、各照明光源3aからの光は、プリ
ズムパイプ20の屈折面20bで内側に屈折され、基板
マークは斜光照明されるようになる。
If it is desired to illuminate the substrate mark only with coaxial incident illumination due to the reflection characteristics of the substrate mark 5, FIG.
As shown in (B), the prism pipe 20 is moved downward so that light from each illumination light source 3a is incident on the reflection surface 2a of the prism pipe 2. As a result, light from each of the illumination light sources 3a is emitted from the diffusion transmission surface 2b of the prism pipe 2 as diffused light, and the substrate mark is illuminated coaxially. On the other hand, when it is desired to perform illumination only with oblique illumination, as shown in FIG. 7C, the prism pipe 2 is moved downward, and the light transmitted through the half mirror surface 20a 'is reflected on the reflection surface 2a of the prism pipe 2. Avoid incidence. Thereby, the light from each illumination light source 3a is refracted inward by the refraction surface 20b of the prism pipe 20, and the substrate mark is illuminated obliquely.

【0025】この実施形態では、光源ユニットが共通に
なるので、安価な構成となる。
In this embodiment, since the light source unit is common, the configuration is inexpensive.

【0026】[他の実施形態]以上説明した各実施形態
で、プリズムパイプ2、20の横断面形状はリング状で
あるが、これを正方形、正多角形など他の形状とするこ
ともできる。またその形状に応じて光源ユニット3、6
の各照明光源の配置形状をプリズムパイプの横断面形状
に合わせるようにする。
[Other Embodiments] In each of the embodiments described above, the cross-sectional shape of the prism pipes 2 and 20 is a ring shape. However, the prism pipes 2 and 20 may have other shapes such as a square and a regular polygon. Also, the light source units 3 and 6 may be selected according to the shape.
The arrangement shape of each illumination light source is adapted to the cross-sectional shape of the prism pipe.

【0027】更に、上述した実施形態では、各光源ユニ
ットの照明光源を選択的に点灯して、基板マークの撮影
画像のコントラストをモニター7により目視で判断し
て、いずれの光源ユニットを有効にするかを判断するよ
うにしているが、同軸落射照明、斜光照明、あるいはこ
れら両方の照明下での基板マーク像を画像処理して、コ
ントラストを測定し、最良のコントラストの得られる照
明を実現する光源ユニットの照明光源を点灯するように
してもよい。
Furthermore, in the above-described embodiment, the illumination light source of each light source unit is selectively turned on, and the contrast of the captured image of the board mark is visually determined by the monitor 7 to enable any of the light source units. A light source that performs image processing on the substrate mark image under coaxial epi-illumination, oblique illumination, or both, measures the contrast, and realizes illumination with the best contrast. The illumination light source of the unit may be turned on.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光とし
て射出させる中空なパイプ状の光学素子を用いて、基板
マークを同軸落射照明するようにしているので、基板マ
ークを均一な拡散光で照明することができる。その場
合、光学素子の一端部周囲に照明光源を多数配置できる
ので、照明強度を大きくすることができる。
As described above, according to the present invention,
The periphery of one end is formed as a reflection surface, and the periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and the substrate mark is formed using a hollow pipe-shaped optical element that emits a light beam incident on the reflection surface as diffused light from the other end. Since coaxial epi-illumination is used, the substrate mark can be illuminated with uniform diffused light. In that case, a large number of illumination light sources can be arranged around one end of the optical element, so that the illumination intensity can be increased.

【0029】また、本発明では、斜光照明も行なうこと
ができるので、基板マークの反射特性に応じて同軸落射
照明と斜光照明の両照明方式を同時に用いて、あるいは
いずれかの照明方式で基板マークを照明することがで
き、小型で効率的な照明装置が得られる。
In the present invention, oblique illumination can also be performed. Therefore, according to the reflection characteristics of the substrate mark, both the coaxial epi-illumination and the oblique illumination can be used simultaneously, or any one of the illumination methods can be used. Can be illuminated, and a compact and efficient lighting device can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係わる照明装置の全
体の概略構成を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an overall schematic configuration of a lighting device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】(A)はプリズムパイプの一実施形態を示す斜
視図、(B)は他の実施形態のプリズムパイプの斜視図
である。
FIG. 2A is a perspective view showing an embodiment of a prism pipe, and FIG. 2B is a perspective view of a prism pipe of another embodiment.

【図3】第1の実施形態におけるプリズムパイプと光源
ユニットの上面図である。
FIG. 3 is a top view of a prism pipe and a light source unit according to the first embodiment.

【図4】第1の実施形態において照明光源からの光がプ
リズムパイプにより拡散されて射出される状態を示した
説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which light from an illumination light source is diffused and emitted by a prism pipe in the first embodiment.

【図5】第1の実施形態において斜光照明を行なう照明
光源の配置を示した上面図である。
FIG. 5 is a top view illustrating an arrangement of an illumination light source that performs oblique illumination in the first embodiment.

【図6】(A)は本発明の第2の実施形態に係わる照明
装置の全体の概略構成を示す構成図、(B)は照明光源
からの光がプリズムパイプにより拡散あるいは屈折され
て射出される状態を示した説明図である。
FIG. 6A is a configuration diagram showing the overall schematic configuration of a lighting device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a diagram showing light from an illumination light source diffused or refracted by a prism pipe and emitted. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which

【図7】(A)は本発明の第3の実施形態に係わる照明
装置の全体の概略構成を示す構成図、(B)は照明光源
からの光がプリズムパイプにより拡散されて射出される
状態を示した説明図、(C)は照明光源からの光がプリ
ズムパイプにより屈折されて射出される状態を示した説
明図である。
FIG. 7A is a configuration diagram illustrating an overall schematic configuration of an illumination device according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 7B is a state in which light from an illumination light source is diffused and emitted by a prism pipe. (C) is an explanatory diagram showing a state in which light from an illumination light source is refracted by a prism pipe and emitted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 撮像装置 2 プリズムパイプ 3 光源ユニット 4 プリント基板 5 基板マーク 6 光源ユニット 7 モニター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image pickup device 2 Prism pipe 3 Light source unit 4 Printed circuit board 5 Board mark 6 Light source unit 7 Monitor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA03 AA16 AA20 BB27 CC01 CC25 DD02 GG17 HH02 HH12 HH13 HH14 JJ03 JJ09 JJ26 LL01 LL46 SS02 SS13 TT02 2G051 AA65 AB20 BA01 BB01 BB03 BB20 CA04 DA07 5E313 AA11 CC04 EE03 FF24 FF32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2F065 AA03 AA16 AA20 BB27 CC01 CC25 DD02 GG17 HH02 HH12 HH13 HH14 JJ03 JJ09 JJ26 LL01 LL46 SS02 SS13 TT02 2G051 AA65 AB20 BA01 BB01 BB03 BB20 A043

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上の基板マークを照明する照明装置
であって、 一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光とし
て射出させる中空なパイプ状の光学素子と、 周囲に複数の照明光源を備え、各照明光源からの光が前
記光学素子の反射面に入射して拡散光として射出される
ように光学素子の反射面端部側に配置される光源ユニッ
トとを有し、 光源ユニットの照明光源が点灯されたとき、基板マーク
が点灯された照明光源からの拡散光により拡散照明され
ることを特徴とする照明装置。
1. An illuminating device for illuminating a substrate mark on a substrate, wherein a periphery of one end is formed as a reflection surface and a periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and a light beam incident on the reflection surface is reflected from the other end. A hollow pipe-shaped optical element that emits as diffused light, and an optical element that includes a plurality of illumination light sources around the light source so that light from each of the illumination light sources enters the reflection surface of the optical element and is emitted as diffused light. And a light source unit disposed on the reflection surface end side of the light source unit, wherein when the illumination light source of the light source unit is turned on, the substrate mark is diffused and illuminated by the diffused light from the illuminated light source. Lighting equipment.
【請求項2】 基板上の基板マークを照明する照明装置
であって、 一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光とし
て射出させる中空なパイプ状の光学素子と、 周囲に複数の照明光源を備え、各照明光源からの光が前
記光学素子の反射面に入射して拡散光として射出される
ように光学素子の反射面端部側に配置される第1の光源
ユニットと、 周囲に複数の照明光源を備え、前記光学素子の拡散面端
部側に配置されて斜めから基板マークを照明する第2の
光源ユニットとを有し、 第1の光源ユニットの照明光源が点灯されたときは、基
板マークが点灯された第1の光源ユニットの照明光源か
らの拡散光により拡散照明され、第2の光源ユニットの
照明光源が点灯されたときは、基板マークが点灯された
第2の光源ユニットの照明光源からの光により斜め上方
から照明されることを特徴とする照明装置。
2. An illumination device for illuminating a substrate mark on a substrate, wherein a periphery of one end is formed as a reflection surface, and a periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and a light beam incident on the reflection surface is reflected from the other end. A hollow pipe-shaped optical element that emits as diffused light, and an optical element that includes a plurality of illumination light sources around the light source so that light from each of the illumination light sources enters the reflection surface of the optical element and is emitted as diffused light. A first light source unit disposed on an end side of a reflective surface of the optical element, and a second light source provided with a plurality of illumination light sources around the end and disposed on an end side of a diffusion surface of the optical element to illuminate a substrate mark from an oblique direction When the illumination light source of the first light source unit is turned on, diffuse illumination is performed by diffused light from the illumination light source of the first light source unit whose substrate mark is turned on, and When the light source is turned on, Lighting device characterized in that the mark is illuminated obliquely from above by the light from the illumination light source of the second light source unit is turned on.
【請求項3】 基板上の基板マークを照明する照明装置
であって、 一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光とし
て射出させる中空なパイプ状の第1の光学素子と、 一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が屈折面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から内側に屈折
させて射出させる中空なパイプ状の第2の光学素子と、 周囲に複数の照明光源を備え、各照明光源からの光が前
記第1の光学素子の反射面に入射して拡散光として射出
されるように第1の光学素子の反射面端部側に配置され
る第1の光源ユニットと、 周囲に複数の照明光源を備え、各照明光源からの光が前
記第2の光学素子の反射面に入射して屈折光として射出
されるように第2の光学素子の反射面端部側に配置され
る第2の光源ユニットとを有し、 第1の光源ユニットの照明光源が点灯されたときは、基
板マークが点灯された第1の光源ユニットの照明光源か
らの拡散光により拡散照明され、第2の光源ユニットの
照明光源が点灯されたときは、基板マークが点灯された
第2の光源ユニットの照明光源からの光により斜め上方
から照明されることを特徴とする照明装置。
3. A lighting device for illuminating a substrate mark on a substrate, wherein a periphery of one end is formed as a reflection surface, and a periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and a light beam incident on the reflection surface is reflected from the other end. A hollow pipe-shaped first optical element that emits as diffused light, a reflection surface formed around one end and a refraction surface formed around the other end, and a light beam incident on the reflection surface is directed inward from the other end. A hollow pipe-shaped second optical element that refracts and emits light, and a plurality of illumination light sources around the light source. Light from each illumination light source is incident on the reflection surface of the first optical element and emitted as diffused light. A first light source unit disposed on the reflection surface end side of the first optical element, and a plurality of illumination light sources around the first optical element, and light from each illumination light source is reflected by the second optical element. The reflecting surface of the second optical element so that it is incident on the surface and is emitted as refracted light And a second light source unit disposed on the side of the first light source unit. When the illumination light source of the first light source unit is turned on, the diffused light from the illumination light source of the first light source unit with the board mark turned on is provided. The illumination device is characterized in that when the illumination light source of the second light source unit is illuminated by diffuse illumination, the substrate mark is illuminated obliquely from above by the light from the illumination light source of the second light source unit with the substrate mark illuminated. .
【請求項4】 基板上の基板マークを照明する照明装置
であって、 一端部の周囲が反射面、他端部の周囲が拡散面として形
成され、反射面に入射した光束を他端部から拡散光とし
て射出させる中空なパイプ状の第1の光学素子と、 一端部の周囲がハーフミラー面、他端部の周囲が屈折面
として形成され、前記第1の光学素子の外側に第1の光
学素子とほぼ同心でかつハーフミラー面が第1の光学素
子の反射面とほぼ同一の高さになるように配置され、ハ
ーフミラー面で反射された光束を他端部から内側に屈折
させて射出させるとともに、ハーフミラー面を透過した
光を第1の光学素子の反射面に入射させる中空なパイプ
状の第2の光学素子と、 周囲に複数の照明光源を備え、各照明光源からの光が前
記第1の光学素子のハーフミラー面に入射し、ハーフミ
ラー面で反射された光は屈折光として射出され、またハ
ーフミラー面を透過した光は第1の光学素子の反射面に
入射して拡散光として射出されるように配置される光源
ユニットとを有し、 光源ユニットの照明光源が点灯されたときは、基板マー
クが点灯された照明光源からの第1の光学素子による拡
散光で拡散照明されるとともに、第2の光学素子による
屈折光で斜め上方から照明されることを特徴とする照明
装置。
4. An illuminating device for illuminating a substrate mark on a substrate, wherein a periphery of one end is formed as a reflection surface, and a periphery of the other end is formed as a diffusion surface, and a light beam incident on the reflection surface is reflected from the other end. A hollow pipe-shaped first optical element that emits as diffused light, a half mirror surface around one end and a refractive surface around the other end, and a first optical element outside the first optical element. It is arranged so that it is substantially concentric with the optical element and the half mirror surface is substantially at the same height as the reflection surface of the first optical element, and refracts the light beam reflected by the half mirror surface inward from the other end. A hollow pipe-shaped second optical element for emitting light and transmitting the light transmitted through the half mirror surface to the reflecting surface of the first optical element, and a plurality of illumination light sources around the light source. Enters the half mirror surface of the first optical element The light reflected from the half mirror surface is emitted as refracted light, and the light transmitted through the half mirror surface is incident on the reflection surface of the first optical element and emitted as diffused light. When the illumination light source of the light source unit is turned on, the substrate mark is diffused and illuminated with the diffused light by the first optical element from the illuminated light source and the refraction by the second optical element. A lighting device characterized by being illuminated obliquely from above with light.
【請求項5】 前記第1と第2の光学素子がそれぞれ光
源ユニットに対して上下方向に移動可能に構成されてお
り、第2の光学素子が下方に移動したときは、光源ユニ
ットの照明光源からの光は第1の光学素子の反射面のみ
に入射して、基板マークは点灯された照明光源からの第
1の光学素子による拡散光で拡散照明され、第1の光学
素子が下方に移動したときは、ハーフミラー面を透過し
た光は第1の光学素子に入射されることがなく、基板マ
ークは点灯された照明光源からの第2の光学素子による
屈折光で斜め上方から照明されることを特徴とする請求
項4に記載の照明装置。
5. The illumination light source of the light source unit when each of the first and second optical elements is configured to be vertically movable with respect to the light source unit, and when the second optical element is moved downward. Is incident only on the reflection surface of the first optical element, and the substrate mark is diffused and illuminated with the diffused light from the illuminated illumination light source by the first optical element, and the first optical element moves downward. In this case, the light transmitted through the half mirror surface is not incident on the first optical element, and the substrate mark is illuminated obliquely from above by the refracted light from the illuminated illumination light source by the second optical element. The lighting device according to claim 4, wherein:
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