JP2002005174A - Part of fluid dynamic pressure bearing, manufacturing method of the part, and motor and disc device using the part - Google Patents

Part of fluid dynamic pressure bearing, manufacturing method of the part, and motor and disc device using the part

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JP2002005174A
JP2002005174A JP2000182760A JP2000182760A JP2002005174A JP 2002005174 A JP2002005174 A JP 2002005174A JP 2000182760 A JP2000182760 A JP 2000182760A JP 2000182760 A JP2000182760 A JP 2000182760A JP 2002005174 A JP2002005174 A JP 2002005174A
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JP
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fluid dynamic
water repellent
layer
bearing component
motor
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Application number
JP2000182760A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiji Matsumoto
啓司 松本
Mihoko Hirao
美保子 平尾
Yasushi Iwasaki
泰史 岩崎
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Nidec Corp
Original Assignee
Nidec Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a fluid dynamic pressure bearing component from degradation in the quality while the surface hardness of the bearing component is improved. SOLUTION: The fluid dynamic pressure bearing component is configured as having a heat treated layer on the surface of stainless steel and further thereon having a water repellent layer at least partially. Therein the surface hardness Hv of the heat treated layer should preferably be over 600. To maintain and enhance the performance of the component as fluid dynamic pressure bearing, it is preferable that the hardness Hv at the depth 30 μm from the surface is over 800. The water repellent should preferably be of fluorine type as it exerts excellent anti-rusting effect, the most preferably of one having carboxyl radical at the end.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体動圧軸受部品
及びその製造方法、並びにそれを用いたモータ及びディ
スク装置に関し、より詳細には優れた表面硬度と耐食性
とを併せ持つ流体動圧軸受部品及びその製造方法、並び
にそれを用いたモータ及びディスク装置などに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid dynamic bearing component, a method of manufacturing the same, and a motor and a disk drive using the same, and more particularly, to a fluid dynamic bearing component having both excellent surface hardness and corrosion resistance. And a manufacturing method thereof, and a motor and a disk device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】HDDや高容量FDDなどの磁気ディス
ク装置は年々著しく高容量化、小型化が進み、そこに使
用されるスピンドルモータには、高速化に耐えられる寿
命と静寂性、優れた振れ精度が要求される。こうした点
から、従来使用されていた玉軸受に比べ優れた性能を有
する流体動圧軸受(以下「FDB」と記すことがある)が
近年注目されてきている。FDBの構造は、大きくはスラ
ストプレートを有する回転軸(シャフト)と回転軸を支
えるスリーブとからなる。ここで使用されるシャフトの
特性として、相対するスリーブとの耐焼き付き性と耐摩
耗性を確保することが重要であり、加えて回転部を支え
るための機械的強度と硬度を確保することも重要であ
る。
2. Description of the Related Art Magnetic disk drives such as HDDs and high-capacity FDDs have remarkably increased in capacity and miniaturization year by year, and the spindle motors used therein have a lifespan that can withstand high speeds, quietness, and excellent vibration. Accuracy is required. From these points, fluid dynamic pressure bearings (hereinafter sometimes referred to as “FDB”) having better performance than conventionally used ball bearings have attracted attention in recent years. The structure of the FDB mainly includes a rotating shaft (shaft) having a thrust plate and a sleeve supporting the rotating shaft. As the characteristics of the shaft used here, it is important to secure seizure resistance and wear resistance with the opposing sleeve, and it is also important to ensure mechanical strength and hardness to support the rotating part It is.

【0003】FDBに使用する材料としては、機械的強度
および加工性の点からステンレス鋼、中でも快削性ステ
ンレス鋼が好適である。しかし、シャフトとスリーブの
双方にステンレス鋼を使用すると、耐焼き付き性が弱く
なり、瞬間的な金属接触で融着を起こしてロックが生じ
やすい。
[0003] As a material used for the FDB, stainless steel, particularly free-cutting stainless steel, is preferable in terms of mechanical strength and workability. However, if stainless steel is used for both the shaft and the sleeve, seizure resistance is weakened, and fusion is caused by instantaneous metal contact, and locking is likely to occur.

【0004】このため、シャフトとスリーブとで異種の
材料を使用したり、表面に異種材料をコーティングした
り、あるいは熱処理を行って材料の物性を変えることが
従来から提案されており、シャフト材としては、機械的
強度と硬度も要求されることからステンレス鋼を熱処理
したものを使用することが多かった。ステンレス鋼の熱
処理としては、一般的な真空焼き入れ、浸炭焼き入れ、
浸炭窒化、窒化処理などがあり、いずれの熱処理でも熱
処理しないステンレス鋼に比べて良好な耐焼き付き性と
耐摩耗性が得られる。上記熱処理の中でも窒化処理は、
特に良好な耐焼き付き性が得られ、また焼き入れができ
ないオーステナイト系ステンレス鋼にも処理が可能であ
る点で最も適している。
For this reason, it has been conventionally proposed to use different materials for the shaft and the sleeve, coat the surfaces with different materials, or perform heat treatment to change the physical properties of the materials. In many cases, heat-treated stainless steel was used because mechanical strength and hardness were also required. As heat treatment of stainless steel, general vacuum quenching, carburizing quenching,
There are carbonitriding and nitriding treatments, and better seizure resistance and abrasion resistance can be obtained as compared with stainless steel which is not heat-treated by any heat treatment. Among the above heat treatments, nitriding treatment
It is most suitable in that particularly good seizure resistance is obtained and austenitic stainless steel which cannot be quenched can be treated.

【0005】しかしながら、ステンレス鋼に前記熱処理
を行うと、表面のCr元素が炭素や窒素元素と結合する
ために耐食性が低下するという問題がある。特に窒化処
理では、窒素原子がステンレス鋼に拡散して形成される
拡散層に加え、数μm〜15μm程度の厚みの鉄窒化物
の化合物層(白層)が最表面部に形成される。この化合
物層は安定な酸化皮膜を形成できないためにそれ自体耐
食性に乏しく、表面が荒れてコンタミを巻き込みやすい
ことから、通常の条件下でも錆が発生することがある。
このため、一般的には表面研磨して前記化合物層を取り
除き、比較的安定な拡散層を用いて使用される。
[0005] However, when the above-mentioned heat treatment is performed on stainless steel, there is a problem that the corrosion resistance is reduced because the Cr element on the surface is combined with carbon and nitrogen elements. Particularly, in the nitriding treatment, a compound layer (white layer) of iron nitride having a thickness of about several μm to 15 μm is formed on the outermost surface in addition to a diffusion layer formed by diffusing nitrogen atoms into stainless steel. Since this compound layer cannot form a stable oxide film, the compound layer itself has poor corrosion resistance, and its surface is rough and contaminants are easily involved, so that rust may be generated even under ordinary conditions.
Therefore, the compound layer is generally removed by polishing the surface, and a relatively stable diffusion layer is used.

【0006】ところが、FDBのシャフトにおいては、タ
ップ穴やめくら穴、オイルを保持するための溝が形成さ
れており、前記化合物層を完全に除去することは困難で
ある。タップ穴やめくら穴はビス止めにより密閉される
ことから、従来は錆が発生してもそのまま使用されてき
たが、スピンドルモータの高速化に伴い、発生した錆が
ハードパーティクルとなってディスクの破損やヘッドク
ラッシュを引き起こす可能性がある。特にFDBでは、こ
れらの穴やオイルを保持するための溝に錆が発生した場
合には、パーティクルとなってシャフトとスリーブとの
微小なギャップに入り込んでロックが生じ、重大な問題
を引き起こすおそれがある。
However, in the shaft of the FDB, a tapped hole, a blind hole, and a groove for retaining oil are formed, and it is difficult to completely remove the compound layer. Tapped holes and blind holes are sealed with screws, so they used to be used even if rust occurred.However, with the speeding up of the spindle motor, the generated rust turned into hard particles and damaged the disk. Or head crash. In particular, in the case of FDB, if rust occurs in these holes and grooves for retaining oil, they may become particles and enter the minute gap between the shaft and sleeve, causing locking and causing serious problems. is there.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、FD
B部品の基材として加工性に優れたステンレス鋼を使用
しながら、機械的強度および硬度、耐焼き付き性を向上
させるとともに、腐食による品質低下とパーティクルに
よる前記問題発生を防止することにある。また本発明の
他の目的は、このようなFDB部品を製造する方法を提供
することにある。さらに本発明の他の目的は、かかるFD
B部品を用いたモータおよび該モータを用いたディスク
装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a conventional problem.
An object of the present invention is to improve mechanical strength, hardness, and seizure resistance while using stainless steel excellent in workability as a base material of a B component, and to prevent deterioration in quality due to corrosion and occurrence of the above-mentioned problems due to particles. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing such an FDB component. Still another object of the present invention is to provide such an FD
An object of the present invention is to provide a motor using a B component and a disk device using the motor.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ステン
レス鋼の表面に熱処理層を有し、その上の少なくとも一
部に撥水剤層をさらに有することを特徴とする流体動圧
軸受部品が提供される。
According to the present invention, there is provided a fluid dynamic bearing component characterized in that it has a heat treatment layer on the surface of stainless steel and further has a water repellent layer on at least a part of the heat treatment layer. Is provided.

【0009】このとき熱処理層の表面硬度Hvは600
以上であることが望ましい。またFDBとしての性能を維
持・向上させるには、表面からの深さが30μmのとこ
ろでの硬度Hvが800以上であることが望ましい。ま
た優れた防錆効果が得られることから、撥水剤はフッ素
系撥水剤であるのがよく、中でも末端にカルボキシル基
を有するものが好ましい。
At this time, the surface hardness Hv of the heat-treated layer is 600
It is desirable that this is the case. In order to maintain and improve the performance as an FDB, it is desirable that the hardness Hv at a depth of 30 μm from the surface is 800 or more. In addition, the water repellent is preferably a fluorine-based water repellent because an excellent rustproofing effect can be obtained, and among them, those having a carboxyl group at the terminal are preferable.

【0010】また本発明によれば、所定形状に加工した
ステンレス鋼の表面を熱処理する工程、撥水剤を塗布す
る工程、表面研磨する工程を含むことを特徴とする流体
動圧軸受部品の製造方法が提供される。
According to the present invention, there is further provided a method of manufacturing a hydrodynamic bearing component, comprising a step of heat-treating a surface of stainless steel processed into a predetermined shape, a step of applying a water repellent, and a step of polishing the surface. A method is provided.

【0011】さらに本発明によれば、スリーブ部材と、
該スリーブ部材に対して相対的に回転自在である軸部材
と、該スリーブ部材と該軸部材との間に充填された潤滑
流体とを有する流体動圧軸受を備えたモータであって、
前記スリーブ部材および前記軸部材の少なくとも一方
は、請求項1〜5のいずれかに記載の流体動圧軸受部品
であることを特徴とするモータが提供される。
Further according to the present invention, a sleeve member,
A motor provided with a fluid dynamic bearing having a shaft member rotatable relative to the sleeve member and a lubricating fluid filled between the sleeve member and the shaft member,
A motor is provided, wherein at least one of the sleeve member and the shaft member is the fluid dynamic bearing component according to any one of claims 1 to 5.

【0012】そしてまた本発明によれば、情報を記録で
きる円盤状記録媒体が装着されるディスク装置におい
て、ハウジングと、該ハウジングの内部に固定されたス
ピンドルモータと、前記記録媒体の所要位置に情報の書
き込み及び/又は読み出しのための情報アクセス手段と
を備えたディスク装置であって、前記スピンドルモータ
として前記モータを用いることを特徴とするディスク装
置が提供される。
Further, according to the present invention, in a disk drive on which a disk-shaped recording medium capable of recording information is mounted, a housing, a spindle motor fixed inside the housing, and an information storage medium at a required position of the recording medium. A disk device provided with information access means for writing and / or reading data, wherein the motor is used as the spindle motor.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明者等は、前記の目的を達成
すべく鋭意検討を加えた結果、基材としてステンレス鋼
を用い、その表面に熱処理層を形成し、さらにその上に
撥水剤層を形成することで、耐摩耗性に加えて良好な耐
食性が得られ、軸受部品としての適合性を向上できるこ
とを見出した。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a result of extensive studies to achieve the above object, the present inventors have used stainless steel as a base material, formed a heat-treated layer on the surface thereof, and further formed a water-repellent layer thereon. It has been found that by forming the agent layer, good corrosion resistance in addition to wear resistance can be obtained, and suitability as a bearing component can be improved.

【0014】すなわちステンレス鋼の表面に熱処理層を
形成することにより表面硬度を高くする一方、熱処理層
形成による耐食性低下を撥水剤層を形成することにより
防止するのである。
That is, the surface hardness is increased by forming a heat treatment layer on the surface of stainless steel, while the corrosion resistance due to the formation of the heat treatment layer is prevented by forming a water repellent layer.

【0015】本発明で使用するステンレス鋼としては、
真空焼き入れ、窒化処理などの熱処理で表面硬度が向上
するものであれば、特に限定はなく全て使用できるが、
通常はSUS410、SUS420J2などのマルテンサイト系ステン
レス鋼が使用できる。また窒化処理では、マルテンサイ
ト系ステンレス鋼に限定されず、SUS304などのオーステ
ナイト系やSUS430などのフェライト系など広範囲のもの
を使用できる。もちろん本発明で使用できるステンレス
鋼はこれらに限定されるものではない。
The stainless steel used in the present invention includes:
There is no particular limitation as long as the surface hardness is improved by heat treatment such as vacuum quenching and nitriding, but all can be used.
Usually, martensitic stainless steels such as SUS410 and SUS420J2 can be used. The nitriding treatment is not limited to martensitic stainless steel, and a wide range of austenitic stainless steels such as SUS304 and ferrites such as SUS430 can be used. Of course, stainless steel that can be used in the present invention is not limited to these.

【0016】さらにFDB部品には極めて高い精度と微細
な加工が要求されることから、これらのステンレス鋼は
快削性ステンレス鋼が好適に使用でき、例えばSUS303、
SUS304Se、SUS304Pbなどのオーステナイト系ステンレス
鋼やSUS416、SUS420F、SUS420Pbなどのマルテンサイト
系ステンレス鋼、SUS430Fなどのフェライト系ステンレ
ス鋼などを一例として挙げることができる。
Further, since extremely high precision and fine processing are required for FDB parts, free-cutting stainless steels can be suitably used as these stainless steels.
Examples include austenitic stainless steels such as SUS304Se and SUS304Pb, martensitic stainless steels such as SUS416, SUS420F and SUS420Pb, and ferritic stainless steels such as SUS430F.

【0017】次に、本発明で使用する熱処理としては、
一般的な真空焼き入れ、浸炭焼き入れの他、浸炭窒化、
浸硫窒化および通常の窒化処理を挙げることができ、処
理後の表面硬度Hvが600以上、好ましくは800以上とな
るものであればどのような熱処理でもよい。
Next, the heat treatment used in the present invention includes:
General vacuum quenching, carburizing, carbonitriding,
Sulfur-nitriding and ordinary nitriding can be mentioned, and any heat treatment may be used as long as the surface hardness Hv after the treatment is 600 or more, preferably 800 or more.

【0018】前記の熱処理の中でも窒化処理は、ステン
レス鋼の選択肢が広く、Hv1,000以上の非常に高い表
面硬度が得られ、また優れた耐焼き付き性が得られるこ
とから特に望ましい。ここで窒化処理としては、塩浴窒
化に代表される液体窒化、ガス窒化、イオン窒化など従
来公知の処理方法を用いることができる。
Among the above-mentioned heat treatments, nitriding is particularly desirable because it has a wide range of options for stainless steel, a very high surface hardness of Hv 1,000 or more, and excellent seizure resistance. Here, as the nitriding treatment, conventionally known treatment methods such as liquid nitriding represented by salt bath nitriding, gas nitriding, and ion nitriding can be used.

【0019】ただし、窒化処理は、通常の真空焼き入
れ、浸炭焼き入れに比べ、Hv1,000以上という高い表
面硬度が通常得られる反面、窒化の撹拌速度が一般に遅
いため内部まで拡散せず、深さ方向に対して硬度変化が
大きくなり内部が硬化しない。加えて、窒化処理する
と、通常は材料が膨張して寸法が大きくなり、また化合
物層が形成されるために表面が荒れて凹凸が生じるの
で、最表面層を研磨・除去して使用しなければならな
い。製造工程の仕上げ段階において最大20μm程度研
磨することもある。そこで、窒化処理後のステンレス鋼
の硬度は、表面から30μmの深さのところでHv800
以上であることが好ましい。
However, the nitriding treatment generally provides a high surface hardness of Hv 1,000 or more as compared with ordinary vacuum quenching and carburizing quenching, but does not diffuse into the interior because the stirring speed of nitridation is generally slow, so The hardness change increases in the vertical direction, and the inside does not harden. In addition, when nitriding, the material usually expands and the dimensions increase, and the surface becomes rough and uneven due to the formation of the compound layer, so the top surface layer must be polished and removed before use. No. In the finishing stage of the manufacturing process, polishing may be performed at a maximum of about 20 μm. Therefore, the hardness of the stainless steel after nitriding treatment is Hv800 at a depth of 30 μm from the surface.
It is preferable that it is above.

【0020】ステンレス鋼を熱処理すると最表面層のC
rが著しく炭化物、窒化物となるため耐食性が低下する
が、研磨することで耐食性をかなり向上させることがで
きる。特に、窒化処理により最表面部に形成されるFe
の窒化物からなる化合物層は、耐食性が低いので、研磨
によりFe窒化物層を除去できない部分には撥水剤層を
形成する。この撥水剤層は、公知の撥水剤をステンレス
部材の上に塗布・乾燥させて形成すればよい。
When the stainless steel is heat-treated, the outermost surface layer C
Although r is remarkably carbide and nitride, the corrosion resistance is reduced. However, the polishing can significantly improve the corrosion resistance. In particular, Fe formed on the outermost surface by nitriding
Since the nitride-based compound layer has low corrosion resistance, a water-repellent agent layer is formed in a portion where the Fe nitride layer cannot be removed by polishing. This water repellent layer may be formed by applying and drying a known water repellent on a stainless member.

【0021】本発明で使用する撥水剤としては、長鎖ア
ルキル酸塩、長鎖アルキルスルホン酸塩などの長鎖アル
キル類、フッ素系撥水剤などが挙げられる。特にフッ素
系撥水剤は、優れた撥水特性および被膜強度を有するこ
とから好適に使用できる。易性など点からフッ素系撥水
剤が好適に用いられる。
Examples of the water repellent used in the present invention include long-chain alkyls such as long-chain alkyl salts and long-chain alkyl sulfonates, and fluorine-based water repellents. In particular, fluorine-based water repellents can be suitably used because they have excellent water repellency and film strength. From the viewpoint of easiness and the like, a fluorine-based water repellent is preferably used.

【0022】フッ素系撥水剤としては、例えばペルフル
オロアルキルカルボン酸やその塩類やペルフルオロアル
キルチオール、ペルフルオロアルキルトリメチルアンモ
ニウムやその塩類、ペルフルオロアルキルスルホン酸や
その塩類などが挙げられ、これらの1種または2種以上
を組み合わせて使用することができる。ペルフルオロア
ルキル基の炭素数に特に限定はないが、撥水性が向上す
ることから10以上が望ましい。特に、ペルフルオロカ
ルキルカルボン酸を主成分とする撥水剤は、ステンレス
鋼との密着性が良好で耐食性に優れる。
Examples of the fluorine-based water repellent include perfluoroalkylcarboxylic acids and salts thereof, perfluoroalkylthiols, perfluoroalkyltrimethylammonium and salts thereof, and perfluoroalkylsulfonic acids and salts thereof. More than one species can be used in combination. The number of carbon atoms in the perfluoroalkyl group is not particularly limited, but is preferably 10 or more from the viewpoint of improving water repellency. In particular, a water repellent containing perfluoroalkyl carboxylic acid as a main component has good adhesion to stainless steel and excellent corrosion resistance.

【0023】ペルフルオロアルキルカルボン酸塩は、ペ
ルフルオロアルキル基とカルボキシル基を有し、カルボ
キシル基の水素原子をアルカリ金属や、アンモニウム
基、アミノ基などで置換したものである。
The perfluoroalkyl carboxylate has a perfluoroalkyl group and a carboxyl group, and the hydrogen atom of the carboxyl group is substituted with an alkali metal, an ammonium group, an amino group, or the like.

【0024】ペルフルオロアルキルチオール塩は、ペル
フルオロアルキル基とチオール基を有し、チオール基の
水素原子をアルカリ金属や、アンモニウム基、アミノ基
などで置換したものである。
The perfluoroalkyl thiol salt has a perfluoroalkyl group and a thiol group, and the hydrogen atom of the thiol group is substituted with an alkali metal, an ammonium group, an amino group, or the like.

【0025】ペルフルオロアルキルトリメチルアンモニ
ウム塩は、ペルフルオロアルキル基とトリメチルアンモ
ニウム基を有し、該アンモニウム基にハロゲンが付加し
たものである。
The perfluoroalkyltrimethylammonium salt has a perfluoroalkyl group and a trimethylammonium group, and a halogen is added to the ammonium group.

【0026】ペルフルオロアルキルスルホン酸塩は、ペ
ルフルオロアルキル基とスルホン酸基を有し、スルホン
酸基の水素原子をアルカリ金属、アルカリ土類金属、ア
ンモニウム基、アミンなどで置換したものである。
The perfluoroalkylsulfonic acid salt has a perfluoroalkyl group and a sulfonic acid group, and the hydrogen atom of the sulfonic acid group is substituted with an alkali metal, an alkaline earth metal, an ammonium group, an amine or the like.

【0027】撥水剤の塗布方法は特に限定はなく、浸漬
(ディップコーティング)法、スプレー法、ロールコー
ター法、カーテンフローコーター法など従来公知の塗布
方法を用いることができるが、FDB部品に施された凹部
や細孔にまで撥水剤をムラなく均一に塗布するために
は、上記方法の中でも減圧浸漬法が特に望ましい。具体
的には例えば、撥水剤を溶媒に溶かして、0.05wt
%程度の撥水剤の希釈溶液を作製し、この希釈溶液が入
った容器に中にFDB部品を浸漬する。そして容器に蓋を
して密閉し、内部の空気を抜いて減圧する。これにより
FDB部品の凹部に残留していた気泡が排除され、FDB部品
の全表面が希釈溶液に浸される。所定時間後、容器内部
を常圧に戻してFDB部品を取り出し、乾燥させて撥水剤
層を形成する。
The method of applying the water repellent is not particularly limited, and a conventionally known application method such as an immersion (dip coating) method, a spray method, a roll coater method, and a curtain flow coater method can be used. In order to uniformly and uniformly apply the water repellent to the recesses and pores formed, the reduced pressure immersion method is particularly desirable among the above methods. Specifically, for example, a water repellent is dissolved in a solvent, and 0.05 wt.
% Of the water repellent is prepared, and the FDB component is immersed in a container containing the diluted solution. Then, the container is covered with a lid and hermetically closed, and the air inside is evacuated to reduce the pressure. This
Bubbles remaining in the recesses of the FDB part are eliminated, and the entire surface of the FDB part is immersed in the diluting solution. After a predetermined time, the inside of the container is returned to normal pressure, and the FDB component is taken out and dried to form a water repellent agent layer.

【0028】撥水剤層の層厚は、使用するステンレス鋼
の組成や熱処理の程度などから適宜決定すればよいが、
一般には1μm以下の層厚で充分である。なお層厚の好
ましい下限値は数十nmである。浸漬法における層厚の
制御は、希釈溶液の濃度調整により行うことができる。
The thickness of the water-repellent agent layer may be appropriately determined depending on the composition of the stainless steel used, the degree of heat treatment, and the like.
Generally, a layer thickness of 1 μm or less is sufficient. The preferred lower limit of the layer thickness is several tens of nm. The layer thickness in the immersion method can be controlled by adjusting the concentration of the dilute solution.

【0029】また本発明のFDB部品では、表面研磨した
部分を有していてもよい。すなわち、窒化処理によりス
テンレス鋼表面に窒化物層が形成されるため、ステンレ
ス鋼の耐食性が低下する。このためステンレス鋼表面を
研磨して、窒化されていないCr元素を鋼表面に存在さ
せるようにし、鋼表面に緻密な不動態層(Crの水酸化
物および酸化物)を形成させて耐食性を向上させるので
ある。なお技術面から表面研磨できるのは主に平面部分
である。FDB部品の表面研磨は、窒化処理後であればい
つ行ってもよいが、撥水剤層をFDB部品全面に形成する
場合には、撥水剤層形成後に行うのがよい。表面研磨で
きる平面部分は表面研磨により耐食性が向上するので、
そもそもその上に撥水剤層を形成する必要がなく、逆に
撥水剤層が存在すると、軸部材とスリーブ部材との微小
間隙に充填された潤滑流体が円滑に機能しないといった
問題が生じるおそれがあるからである。
Further, the FDB part of the present invention may have a part whose surface is polished. That is, since a nitride layer is formed on the stainless steel surface by the nitriding treatment, the corrosion resistance of the stainless steel decreases. For this reason, the stainless steel surface is polished so that non-nitrided Cr elements are present on the steel surface, and a dense passive layer (hydroxide and oxide of Cr) is formed on the steel surface to improve corrosion resistance. Let it do. The surface can be mainly polished from a technical point of view. The surface polishing of the FDB component may be performed at any time after the nitriding treatment. However, when the water repellent layer is formed on the entire surface of the FDB component, the surface polishing is preferably performed after the formation of the water repellent layer. Since the corrosion resistance of the flat part that can be polished is improved by surface polishing,
In the first place, there is no need to form a water repellent layer thereon, and conversely, if the water repellent layer is present, a problem may occur that the lubricating fluid filled in the minute gap between the shaft member and the sleeve member does not function smoothly. Because there is.

【0030】なお、ステンレス鋼を焼入処理により硬化
させた後、撥水剤層を設けることによっても高い表面硬
度と優れた耐食性を得ることができる。撥水剤層の形成
方法は前記と同様である。
It should be noted that high surface hardness and excellent corrosion resistance can also be obtained by providing a water repellent layer after hardening the stainless steel by quenching. The method of forming the water repellent layer is the same as described above.

【0031】請求項6のFDB部品の製造方法について説
明すると、まず基材であるステンレス鋼を、シャフトや
スリーブなどのFDB部品に成形加工する。次に必要なネ
ジ穴や動圧溝などを形成する。動圧溝を形成する方法と
しては切削加工や電解加工などが挙げられるが、金属材
料を電解溶出させて動圧溝を形成する電解加工によれ
ば、微細なバリ、むしれ又は切り粉が発生しないのでこ
の方法の使用が推奨される。次に熱処理して鋼表面に硬
質な熱処理層を形成した後、その上に撥水剤を塗布す
し、そして表面研磨を行う。もちろん表面研磨をした後
に撥水剤を塗布してもよい。熱処理により部品が膨張し
表面が荒れるので、シャフトとスリーブとのミクロン単
位の間隙を精度よく保持するために表面研磨を行う。こ
の表面研磨により摺動部の表面層は除去されるので、耐
食性は著しく向上する。一方、タップ穴やめくら穴、通
気孔、オイルを維持する溝などは表面研磨できない。そ
こで表面研磨できないこれらの部分に撥水剤を塗布して
耐食性を向上させるのである。熱処理、撥水剤塗布およ
び表面研磨の各処理については前記説明したとおりであ
る。そして必要により最後に潤滑流体を保持する部分の
端部にシール剤として撥油剤を塗布する。
A method of manufacturing an FDB part according to claim 6 will be described. First, a stainless steel as a base material is formed into an FDB part such as a shaft or a sleeve. Next, necessary screw holes and dynamic pressure grooves are formed. Examples of the method of forming the dynamic pressure groove include cutting and electrolytic processing. However, according to the electrolytic processing of forming a dynamic pressure groove by electrolytically eluting a metal material, fine burrs, scrapes, or chips are generated. No, this method is recommended. Next, after a heat treatment is performed to form a hard heat treatment layer on the steel surface, a water repellent is applied thereon, and the surface is polished. Of course, a water repellent may be applied after the surface is polished. Since the parts expand and the surface becomes rough due to the heat treatment, the surface is polished in order to accurately maintain the micron gap between the shaft and the sleeve. Since the surface layer of the sliding portion is removed by this surface polishing, the corrosion resistance is significantly improved. On the other hand, tapped holes, blind holes, ventilation holes, oil retaining grooves, etc. cannot be polished. Therefore, a water-repellent agent is applied to these portions where the surface cannot be polished to improve the corrosion resistance. The respective processes of heat treatment, application of a water repellent, and surface polishing are as described above. Then, if necessary, an oil repellent is applied as a sealant to the end of the portion for holding the lubricating fluid.

【0032】次に請求項7のモータについて説明する。
請求項7のモータは、流体動圧軸受を備えたモータであ
って、該流体動圧軸受の部品であるスリーブ部材および
軸部材の少なくとも一方が、前記説明した請求項1〜5
のいずれかに記載のものであることが大きな特徴であ
る。このような構成により本発明のモータでは、錆微粉
が発生せず高速で安定した回転を長期間持続することが
できる。スリーブ部材および軸部材の双方が前記のFDB
部品であることが望ましいが、一方に前記のFDB部品を
用い、他方に銅系材料からなる部品あるいは銅系材料上
にニッケルメッキを施した部品を用いてもよい。
Next, the motor of claim 7 will be described.
The motor according to claim 7 is a motor provided with a fluid dynamic pressure bearing, wherein at least one of a sleeve member and a shaft member, which are parts of the fluid dynamic pressure bearing, are as described above.
It is a significant feature that any one of the above. With such a configuration, in the motor of the present invention, stable high-speed rotation can be maintained for a long time without generating rust fine powder. Both the sleeve member and the shaft member are the FDB
It is desirable to use a component, but it is also possible to use the FDB component on one side and a component made of a copper-based material or a nickel-plated component on a copper-based material on the other.

【0033】以下、図に基づいて本発明のモータについ
て詳述する。図1は、本発明のモータの一実施形態であ
って、記録ディスク駆動用の流体軸受モータの概略断面
図である。モータ1は、ブラケット2と、このブラケッ
ト2の中央開口部に一方の端部が外嵌固定されるシャフ
ト4、このシャフト4に対して相対的に回転自在に保持
されたロータ6とを備える。ブラケット2にはステータ
12が固定され、ロータ6にはステータ12に対向した
位置にロータマグネット10が設けられ、ステータ12
とロータマグネット10との間で回転駆動力が発生す
る。
Hereinafter, the motor of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view of a fluid bearing motor for driving a recording disk, which is an embodiment of the motor of the present invention. The motor 1 includes a bracket 2, a shaft 4 whose one end is externally fixed to a central opening of the bracket 2, and a rotor 6 rotatably held relative to the shaft 4. A stator 12 is fixed to the bracket 2, and a rotor magnet 10 is provided on the rotor 6 at a position facing the stator 12.
A rotational driving force is generated between the motor and the rotor magnet 10.

【0034】シャフト4の上部及び下部には半径方向外
方に突出する円盤状の上部スラストプレート4aと下部
スラストプレート4bがあり、これらのスラストプレー
ト間のシャフト外側面には、気体介在部22が形成され
ている。
A disk-shaped upper thrust plate 4a and a lower thrust plate 4b projecting outward in the radial direction are provided at the upper and lower portions of the shaft 4, and a gas intervening portion 22 is provided on the outer surface of the shaft between these thrust plates. Is formed.

【0035】一方ロータ6は、その外周部に記録ディス
クDが載置されるロータハブ6aと、ロータ6の内周側
に位置し、潤滑油8が保持される微小間隙を介してシャ
フト4に支持されるスリーブ6bとを備えている。さら
にスリーブ6bには、上部および下部スラストプレート
の外側に蓋をする形で、上部カウンタプレート7aおよ
び下部カウンタプレート7bが設けられている。
On the other hand, the rotor 6 is supported on the shaft 4 via a rotor hub 6a on which the recording disk D is mounted on the outer peripheral portion and an inner peripheral side of the rotor 6 via a minute gap in which the lubricating oil 8 is held. And a sleeve 6b. Further, the sleeve 6b is provided with an upper counter plate 7a and a lower counter plate 7b so as to cover the outer sides of the upper and lower thrust plates.

【0036】ここで、シャフト4及び上・下部スラスト
プレート4a,4bが本発明における軸部材、スリーブ
6bが本発明のスリーブ部材に相当する。これら軸部材
およびスリーブ部材の双方又はどちらか一方が、銅を主
成分とする基材表面にニッケルを主体とするメッキ層を
形成したものである。そして後述するように、スリーブ
6bの内周部貫通孔6cの上部・下部内面にはヘリング
ボーン状の動圧溝24、上部スラストプレート4aの下
面および下部スラストプレート4bの上面にはスパイラ
ル状の動圧溝14が、電解加工によりがそれぞれ形成さ
れている。
Here, the shaft 4 and the upper and lower thrust plates 4a and 4b correspond to the shaft member of the present invention, and the sleeve 6b corresponds to the sleeve member of the present invention. Both or either one of the shaft member and the sleeve member is obtained by forming a plating layer mainly composed of nickel on the surface of a base material mainly composed of copper. As described later, a herringbone-shaped dynamic pressure groove 24 is formed on the upper and lower inner surfaces of the inner peripheral portion through hole 6c of the sleeve 6b, and a spiral dynamic pressure groove is formed on the lower surface of the upper thrust plate 4a and the upper surface of the lower thrust plate 4b. The pressure grooves 14 are respectively formed by electrolytic processing.

【0037】シャフト4の中央部に設けられた気体介在
部22の上部に隣接するシャフト4の外周部から、上部
スラストプレートの下面、外周面および上面外周部に至
る部分には、対向するスリーブ6bの内周部貫通孔6c
の上部から上部カウンタプレート7aの下面に至る部分
との間に、微小間隙が形成され、潤滑油8が保持されて
いる。そして上部スラストプレート4aの下面および下
部スラストプレート4bの上面には、ロータ6の回転に
ともない潤滑油8中に動圧を発生するスパイラル状の動
圧溝14が形成されている。動圧溝14は、モータ回転
時にロータ部を軸線方向に保持する支持力を発生すると
同時に、潤滑油8を矢印Aの方向に押し戻す作用を奏す
る。さらにスリーブ6bの内周部貫通孔6cの上部・下
部内面の潤滑油保持部には、ヘリングボーン状の動圧溝
24が形成されている。動圧溝24は、モータ回転時に
ロータ部を半径方向に保持する支持力を発生すると同時
に、潤滑油8を矢印Bの方向に押し上げる作用を奏す
る。
An opposing sleeve 6b extends from the outer peripheral portion of the shaft 4 adjacent to the upper portion of the gas intervening portion 22 provided at the central portion of the shaft 4 to the lower surface, the outer peripheral surface, and the outer peripheral portion of the upper thrust plate. Inner peripheral through hole 6c
A small gap is formed between the upper part of the upper counter plate 7a and the lower part of the upper counter plate 7a, and the lubricating oil 8 is held. On the lower surface of the upper thrust plate 4a and on the upper surface of the lower thrust plate 4b, a spiral dynamic pressure groove 14 for generating a dynamic pressure in the lubricating oil 8 with the rotation of the rotor 6 is formed. The dynamic pressure groove 14 has a function of generating a supporting force for holding the rotor portion in the axial direction when the motor rotates, and at the same time, has an effect of pushing the lubricating oil 8 back in the direction of arrow A. Further, a herringbone-shaped dynamic pressure groove 24 is formed in the lubricating oil holding portion on the upper and lower inner surfaces of the inner peripheral portion through hole 6c of the sleeve 6b. The dynamic pressure groove 24 has a function of generating a supporting force for holding the rotor portion in the radial direction when the motor rotates, and at the same time, has an effect of pushing up the lubricating oil 8 in the direction of arrow B.

【0038】これら動圧溝により生じる微小間隙内の潤
滑油8の動圧圧力分布は、上部スラストプレートの下面
内周部Pで最も高くなる。この結果、潤滑油8内に溶け
込んでいた空気が気泡化すると、その気泡は前記内周部
Pの外側に拡散排除され、下方の気体介在部22空隙部
または上方の上部カウンタプレート7a下面空隙部に至
る。そしてこれらの空隙部は、直接または外気連通孔2
0により大気に解放されているので、ここから気泡は外
気に解放され、気泡の膨張に起因する潤滑油漏れは防止
される。
The distribution of the dynamic pressure of the lubricating oil 8 in the minute gap generated by these dynamic pressure grooves is highest at the inner peripheral portion P of the lower surface of the upper thrust plate. As a result, when the air dissolved in the lubricating oil 8 becomes bubbles, the bubbles are diffused and eliminated to the outside of the inner peripheral portion P, and the lower gas intervening portion 22 or the upper counter plate 7a lower surface gap is removed. Leads to. These gaps are directly or externally open air communication holes 2.
Since the air is released to the atmosphere by 0, the air bubbles are released to the outside air from here, and lubricating oil leakage due to expansion of the air bubbles is prevented.

【0039】更に前記潤滑油保持部の端部であるカウン
タプレート7aの下面と上部スラストプレート4a上面
との間には、シャフト方向に向かう程その間隙が徐々に
広がるテーパシール部が形成され、テーパシール部の端
部には撥油剤が塗布されている。同様に、前記潤滑油保
持部の他端部であるシャフト4中央部の気体介在部22
の上部にも、シャフト4の外周面とスリーブ6bの内周
面との間で、潤滑油保持部から軸方向下方に離れる程そ
の間隙が徐々に広がるテーパシール部が形成され、テー
パシール部の端部には撥油剤が塗布されている。これら
の両端に形成されたテーパシール部により、潤滑油内部
に生じる動圧力、大気圧、テーパシール部の表面張力が
バランスした位置に潤滑油は保持される。テーパシール
部に塗布された撥油剤は、潤滑油がシャフトやスリーブ
の金属表面を伝って拡散する、いわゆるオイルマイグレ
ーションを防止する作用も有する。これらの潤滑油保持
構造により、潤滑油漏れがなくかつ負荷支持力の高い流
体軸受構造を実現している。
Further, a taper seal portion is formed between the lower surface of the counter plate 7a, which is the end of the lubricating oil holding portion, and the upper surface of the upper thrust plate 4a. An oil repellent is applied to the end of the seal. Similarly, the gas intervening portion 22 at the center of the shaft 4, which is the other end of the lubricating oil holding portion,
A taper seal portion is formed between the outer peripheral surface of the shaft 4 and the inner peripheral surface of the sleeve 6b so that the gap gradually increases as the distance from the lubricating oil holding portion to the lower side in the axial direction increases. An oil repellent is applied to the end. By the taper seal portions formed at both ends, the lubricating oil is held at a position where the dynamic pressure, the atmospheric pressure, and the surface tension of the taper seal portion generated inside the lubricating oil are balanced. The oil repellent applied to the tapered seal portion also has a function of preventing so-called oil migration, in which lubricating oil diffuses along the metal surface of the shaft or sleeve. With these lubricating oil holding structures, a fluid bearing structure with no leakage of lubricating oil and high load supporting force is realized.

【0040】同様の微小間隙、動圧溝、潤滑油保持部の
構造が、シャフト4の中央部に設けられた気体介在部2
2の下部から下部スラストプレート4bおよび下部カウ
ンタプレート7bに、上下逆配置で形成されており、こ
の下部動圧軸受部によりロータ部は一層安定に支持され
る。
A similar structure of the minute gap, the dynamic pressure groove, and the lubricating oil holding portion is provided in the gas intervening portion 2 provided in the center of the shaft 4.
2, the lower thrust plate 4b and the lower counter plate 7b are formed upside down so that the rotor portion is more stably supported by the lower dynamic pressure bearing portion.

【0041】またこのような構造の流体軸受モータは、
毎分2万回転前後の高速回転においても、回転遠心力に
よる潤滑油8の外周方向への発散が、上部および下部カ
ウンタプレート7a、7bにより効果的に防止され、一
層高速で安定した回転を実現することができる。
The hydrodynamic bearing motor having such a structure is
The upper and lower counter plates 7a and 7b effectively prevent the lubricating oil 8 from escaping outward due to the rotational centrifugal force even at a high speed of about 20,000 revolutions per minute, thereby realizing even higher speed and stable rotation. can do.

【0042】次に請求項8のディスク装置について説明
する。このディスク装置は、スピンドルモータの回転部
に装着された記録媒体に対して、情報の書き込み及び/
又は読み出しを情報アクセス手段により行う装置であっ
て、当該スピンドルモータとして請求項7のモータを用
いることを特徴とすものである。
Next, a disk device according to claim 8 will be described. This disk device writes and / or writes information on a recording medium mounted on a rotating section of a spindle motor.
Alternatively, an apparatus for performing reading by the information access means, wherein the motor according to claim 7 is used as the spindle motor.

【0043】図2に、本発明のディスク装置の一実施態
様である概略説明図を示す。ハウジング71の内部に
は、各種情報をデジタル形式で高密度に記憶するディス
ク板(記録媒体)73を回転自在に支持したスピンドル
モータ72と、ディスク板73に対して情報の読み書き
を行う情報アクセス手段77が配置されている。この情
報アクセス手段77は、ディスク板73上の情報を読み
書きするヘッド76と、ヘッド76を支えるアーム75
と、ヘッド76およびアーム75をディスク板73上の
所要の位置に移動させるアクチュエータ部74から少な
くとも構成されている。そしてスピンドルモータ72と
して請求項8のモータが用いられている。
FIG. 2 is a schematic explanatory view showing one embodiment of the disk drive of the present invention. Inside a housing 71, a spindle motor 72 rotatably supporting a disk plate (recording medium) 73 for storing various information in a digital format at high density, and information access means for reading and writing information from and to the disk plate 73 77 are arranged. The information access means 77 includes a head 76 for reading and writing information on the disk plate 73, and an arm 75 for supporting the head 76.
And an actuator unit 74 for moving the head 76 and the arm 75 to required positions on the disk plate 73. The motor of claim 8 is used as the spindle motor 72.

【0044】なお、ディスク板に記憶できる情報密度は
近年飛躍的に向上し、ディスク板の設置環境として塵・
埃などの極度に少ないクリーンな環境が必須となってい
る。したがって、ハウジング71の内部を外気から遮断
した高度にクリーンな空間とするためは、その内部構成
部品である情報アクセス手段77及びスピンドルモータ
72として、その内部で使用されている潤滑油のミスト
等が外部に漏れない機構のものを使用するのが望まし
い。
The information density that can be stored on a disk plate has been dramatically improved in recent years, and dust and
A clean environment with extremely little dust is essential. Therefore, in order to make the inside of the housing 71 a highly clean space insulated from the outside air, the information access means 77 and the spindle motor 72, which are the internal components thereof, use the mist of the lubricating oil used therein. It is desirable to use a mechanism that does not leak to the outside.

【0045】[0045]

【実施例】以下、実施例および比較例によって本発明を
さらに詳細に説明するが、本発明はこれらにより何ら限
定されるものではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

【0046】(試験用サンプルの作製)ステンレス鋼
(SUS304Se)を円柱状に加工し、その上面にタ
ップ穴を形成したサンプルを4つ作製した(サンプル
A,B,C,D)。サンプルAとBについては、処理温
度530℃、処理時間20時間、アンモニアガス中で塩
浴窒化処理して、ステンレス鋼表面に窒化物層を形成し
た。窒化処理後のサンプルA及びBの表面硬度Hvは
1,000であった。一方窒化処理しなかったサンプル
C、Dの表面硬度Hvは200であった。次にサンプル
A及びCについては、撥油剤であるペルフルオロアルキ
ルカルボン酸塩を浸漬法により表面塗布し撥水剤層を形
成した。
(Preparation of Test Samples) Stainless steel (SUS304Se) was processed into a cylindrical shape, and four samples having tapped holes formed on the upper surface thereof were prepared (samples A, B, C, and D). Samples A and B were subjected to a salt bath nitriding treatment in an ammonia gas at a treatment temperature of 530 ° C. for a treatment time of 20 hours to form a nitride layer on the stainless steel surface. The surface hardness Hv of the samples A and B after the nitriding treatment was 1,000. On the other hand, the surface hardness Hv of the samples C and D not subjected to the nitriding treatment was 200. Next, for samples A and C, a perfluoroalkylcarboxylate as an oil repellent was applied on the surface by a dipping method to form a water repellent layer.

【0047】(表面硬度・耐食性評価)サンプルA,
B,C,Dの表面硬度を測定するとともに、それらサン
プルを温度80℃、湿度90%の温湿度条件下で168
時間放置し、サンプル表面の錆発生の有無を目視により
判定した。結果を表1に示す。
(Evaluation of surface hardness and corrosion resistance)
The surface hardness of B, C and D was measured, and the samples were subjected to 168 at a temperature of 80 ° C. and a humidity of 90%.
The sample was left for a while, and the presence or absence of rust on the sample surface was visually determined. Table 1 shows the results.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】表1によれば、窒化処理して鋼表面に窒化
物層を形成し、さらにその上に撥水剤層を形成したサン
プルAは、表面硬度Hvが1,000と高く、錆びの発
生も見られなかった。一方、窒化物層は形成したが撥水
剤層を形成しなかったサンプルBでは、表面硬度Hvは
1,000と高かったものの耐食性試験において錆が発
生した。窒化物層を形成しなかったサンプルC、Dは、
表面硬度Hvは200と低かったが、撥水剤層の有無に
拘わらずどちらのサンプルも錆は発生しなかった。
According to Table 1, Sample A in which a nitride layer was formed on the steel surface by nitriding treatment and a water-repellent agent layer was further formed thereon had a high surface hardness Hv of 1,000 and showed a high rust resistance. No outbreaks were seen. On the other hand, in Sample B in which the nitride layer was formed but the water repellent layer was not formed, although the surface hardness Hv was as high as 1,000, rust was generated in the corrosion resistance test. Samples C and D in which no nitride layer was formed were:
Although the surface hardness Hv was as low as 200, rust did not occur in either sample regardless of the presence or absence of the water repellent layer.

【0050】[0050]

【発明の効果】請求項1の流体動圧軸受部品では、ステ
ンレス鋼の表面に熱処理層を有し、その上の少なくとも
一部に撥水剤層をさらに有する構成としたので、FDB部
品の表面硬度を向上させつつ腐食による品質低下を防止
することができる。また熱処理後の表面硬度Hvが60
0以上であると耐摩耗性が向上する。前記熱処理層が窒
化処理層であり、表面からの深さが30μmのところで
の硬度Hvが600以上であると、FDBとしての性能を
一層維持・向上させることができる。そしてまた前記撥
水剤としてフッ素系撥水剤を用いると、より優れた防錆
効果が得られ、中でも末端にカルボキシル基を有するも
のを用いると、非常に優れた防錆硬化が得られる。請求
項6の製造方法では、ステンレス鋼の表面を熱処理する
工程、撥水剤を塗布する工程、表面研磨する工程を有す
るので、表面硬度が高く、且つ耐食性に優れた流体動圧
軸受部材を効率的に製造することができる。請求項7の
モータでは、請求項1〜5のいずれかに記載の流体動圧
軸受部品を用いるので、長期間にわたって高速で安定し
た回転を実現できる。請求項8のディスク装置では、ス
ピンドルモータとして前記のモータを用いるので、装置
の長寿命化を図ることができる。
According to the fluid dynamic pressure bearing component of the present invention, the heat treatment layer is formed on the surface of stainless steel, and the water repellent layer is further provided on at least a part of the surface. It is possible to prevent deterioration in quality due to corrosion while improving hardness. The surface hardness Hv after the heat treatment is 60
When it is 0 or more, the wear resistance is improved. When the heat-treated layer is a nitrided layer and the hardness Hv at a depth of 30 μm from the surface is 600 or more, the performance as an FDB can be further maintained and improved. Further, when a fluorine-based water repellent is used as the water repellent, a more excellent rust preventive effect can be obtained, and when a compound having a terminal carboxyl group is used, very excellent rust preventive hardening can be obtained. In the manufacturing method according to the sixth aspect, since a step of heat-treating the surface of the stainless steel, a step of applying a water repellent, and a step of polishing the surface are provided, the fluid dynamic pressure bearing member having high surface hardness and excellent corrosion resistance can be efficiently manufactured. It can be manufactured in a special way. In the motor according to the seventh aspect, since the fluid dynamic pressure bearing component according to any one of the first to fifth aspects is used, stable rotation at high speed over a long period of time can be realized. In the disk device according to the eighth aspect, since the motor is used as the spindle motor, the life of the device can be extended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のモータの概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a motor of the present invention.

【図2】 本発明のディスク装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a disk device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 モータ 4 シャフト 6b スリーブ(スリーブ部材) 8 潤滑油(潤滑流体) 14、24 動圧溝 16 被加工材 44 工具電極 44a 露出電極 71 ハウジング 72 スピンドルモータ 73 ディスク板(記録媒体) 77 情報アクセス手段 Reference Signs List 1 motor 4 shaft 6b sleeve (sleeve member) 8 lubricating oil (lubricating fluid) 14, 24 dynamic pressure groove 16 workpiece 44 tool electrode 44a exposed electrode 71 housing 72 spindle motor 73 disk plate (recording medium) 77 information access means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 33/12 313 G11B 33/12 313B 313C H02K 5/16 H02K 5/16 Z 7/08 7/08 A // F16C 33/12 F16C 33/12 Z (72)発明者 岩崎 泰史 京都府京都市右京区西京極堤外町10 日本 電産株式会社中央研究所内 Fターム(参考) 3J011 AA08 AA20 BA02 CA02 DA01 DA02 JA02 5D109 BA14 BA20 BB13 BB17 BB31 5H605 BB05 BB09 BB10 BB14 BB19 CC04 DD09 EB02 EB06 EB28 5H607 AA00 AA12 BB01 BB07 BB09 BB14 BB17 BB25 CC01 DD16 GG12 GG15 KK10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 33/12 313 G11B 33/12 313B 313C H02K 5/16 H02K 5/16 Z 7/08 7/08 A // F16C 33/12 F16C 33/12 Z (72) Inventor Yasushi Iwasaki 10 Nishikyogoku Tsutomachi, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto F-term in the Central Research Laboratory of Nidec Corporation (reference) 3J011 AA08 AA20 BA02 CA02 DA01 DA02 JA02 5D109 BA14 BA20 BB13 BB17 BB31 5H605 BB05 BB09 BB10 BB14 BB19 CC04 DD09 EB02 EB06 EB28 5H607 AA00 AA12 BB01 BB07 BB09 BB14 BB17 BB25 CC01 DD16 GG12 GG15 KK10

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ステンレス鋼の表面に熱処理層を有し、
その上の少なくとも一部に撥水剤層をさらに有すること
を特徴とする流体動圧軸受部品。
1. A heat treatment layer on a surface of stainless steel,
A fluid dynamic bearing component, further comprising a water repellent layer on at least a portion thereof.
【請求項2】 前記熱処理層の表面硬度Hvが600以
上である請求項1記載の流体動圧軸受部品。
2. The fluid dynamic bearing component according to claim 1, wherein the heat treatment layer has a surface hardness Hv of 600 or more.
【請求項3】 前記熱処理層が窒化処理層であり、表面
からの深さが30μmのところでの硬度Hvが800以
上である請求項1又は2記載の流体動圧軸受部品。
3. The fluid dynamic bearing component according to claim 1, wherein the heat treatment layer is a nitriding layer, and has a hardness Hv of 800 or more at a depth of 30 μm from the surface.
【請求項4】 前記撥水剤がフッ素系撥水剤である請求
項1〜3のいずれかに記載の流体動圧軸受部品。
4. The fluid dynamic bearing component according to claim 1, wherein the water repellent is a fluorine-based water repellent.
【請求項5】 前記フッ素系撥水剤が末端にカルボキシ
ル基を有するものである請求項4記載の流体動圧軸受部
品。
5. The fluid dynamic bearing component according to claim 4, wherein the fluorine-based water repellent has a carboxyl group at a terminal.
【請求項6】 所定形状に加工したステンレス鋼の表面
を熱処理する工程、撥水剤を塗布する工程、表面を研磨
する工程を含むことを特徴とする流体動圧軸受部品の製
造方法。
6. A method of manufacturing a fluid dynamic bearing component, comprising a step of heat treating a surface of stainless steel processed into a predetermined shape, a step of applying a water repellent, and a step of polishing the surface.
【請求項7】 スリーブ部材と、該スリーブ部材に対し
て相対的に回転自在である軸部材と、該スリーブ部材と
該軸部材との間に充填された潤滑流体とを有する流体動
圧軸受を備えたモータであって、前記スリーブ部材およ
び前記軸部材の少なくとも一方は、請求項1〜5のいず
れかに記載の流体動圧軸受部品であることを特徴とする
モータ。
7. A fluid dynamic bearing comprising a sleeve member, a shaft member rotatable relative to the sleeve member, and a lubricating fluid filled between the sleeve member and the shaft member. A motor comprising: at least one of the sleeve member and the shaft member is the fluid dynamic bearing component according to claim 1.
【請求項8】 情報を記録できる円盤状記録媒体が装着
されるディスク装置において、ハウジングと、該ハウジ
ングの内部に固定されたスピンドルモータと、前記記録
媒体の所要位置に情報の書き込み及び/又は読み出しの
ための情報アクセス手段とを備えたディスク装置であっ
て、 前記スピンドルモータとして請求項7記載のモータを用
いることを特徴とするディスク装置。
8. A disk drive on which a disk-shaped recording medium capable of recording information is mounted, a housing, a spindle motor fixed inside the housing, and writing and / or reading of information at a required position of the recording medium. 8. A disk device comprising: an information access unit for the disk drive, wherein the motor according to claim 7 is used as the spindle motor.
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