JP2002005159A - フォイル軸受 - Google Patents

フォイル軸受

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JP2002005159A
JP2002005159A JP2000187089A JP2000187089A JP2002005159A JP 2002005159 A JP2002005159 A JP 2002005159A JP 2000187089 A JP2000187089 A JP 2000187089A JP 2000187089 A JP2000187089 A JP 2000187089A JP 2002005159 A JP2002005159 A JP 2002005159A
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JP
Japan
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foil
bearing
rotating shaft
upper foil
underfoil
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Application number
JP2000187089A
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English (en)
Inventor
Koji Horikawa
浩司 堀川
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/024Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. radial foil bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C27/00Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
    • F16C27/02Sliding-contact bearings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 アッパーフォイルのコーティングの磨耗が少
なく、かつ軸受の冷却が効果的に行い得て寿命が長いフ
ォイル軸受を提供する。 【解決手段】 アンダーフォイルUF1とアンダーフォ
イルUF2の保持部FX1、FX2における軸受用孔H
の内周面に凹部J1を設ける。したがって、回転軸Sの
低速時にアッパーフォイルAFとの摺接が存在するも、
アンダーフォイルUF1は凹部J1に侵入するまでたわ
み、このアンダーフォイルUF1に沿ってアッパーフォ
イルAFもたわむので回転軸SとアッパーフォイルAF
の接触圧は小さくなる。また、凹部J1を介して冷却ガ
スの流通が円滑に行われる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アッパーフォイル
とアンダーフォイルの組み合わせにて回転軸を非接触に
て支承するフォイル軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のフォイル軸受は、ターボ型高速
回転機器すなわちたとえばターボ型コンプレッサやター
ボ型ドライポンプおよびターボ分子ポンプなどの回転機
器における高速回転軸の軸受として使用される。
【0003】このフォイル軸受は、図4に示すとおり、
ステータたとえばハウジングKに穿設された軸受用孔H
の内周面に配置された複数個のアンダーフォイルUF1
〜UF5と、これらアンダーフォイルUF1〜UF5に
よって支持されるアッパーフォイルAFとを有し、この
アッパーフォイルAFと軸受される回転軸Sとの間に発
生される動圧にて、この回転軸Sを軸受用孔Hに対し非
接触にて支承するものである。
【0004】この図4はフォイル軸受の構成をわかりや
すく説明するため、実際よりもこれら両方のフォイルを
分厚くし、軸受用孔Hと回転軸Sとの間隙も拡大して示
している。また図示例の場合、アンダーフォイルUF1
〜UF5は5個で、それぞれ軸受用孔Hの内周に等間隔
に配置されている。すなわち、図示例では72度の角度
ごとにフォイル保持用の溝M1〜M5が形成され、この
それぞれの溝にアンダーフォイルUF1〜UF5のそれ
ぞれの一端に付設された保持部FX1〜FX5が挿入さ
れている。これらアンダーフォイルUF1〜UF5は弾
力性を有し、他端は軸受用孔Hの他の内面に係止された
状態となっている。このようにそれぞれのアンダーフォ
イルUF1〜UF5は、それぞれの両端がステータK側
すなわち軸受用孔Hの内周面に係止された形で配置され
ている。なお、回転軸Sを囲撓するようにアッパーフォ
イルAFが設置されているが、このアッパーフォイルA
Fは、その保持部AX1、AX2が保持用の溝B1、B
2に挿入されて固定保持されている。
【0005】以上のような構成において、フォイル軸受
は図3に示すような原理に基づいて回転軸Sを非接触で
支承する。すなわち、図3に示すとおり、回転軸Sが矢
印D方向に高速回転されると、アッパーフォイルAFと
回転軸Sの外周面との間に形成される楔形状空間に空気
(ガス)が矢印G方向から押し込まれ、アッパーフォイ
ルAFと回転軸Sとの間の楔状空間に動圧Fが発生す
る。この動圧Fは、図3に示されるようにアッパーフォ
イルAFの位置により、その大きさに差異が生じるが、
一定の外周面域において発生しアッパーフォイルAFを
ステータK側に付勢し、気体膜を形成する。この気体膜
を介して回転軸Sを浮上させ、非接触状態で回転軸Sが
支承される。この時アンダーフォイルUF1はアッパー
フォイルAFを弾力にて適正に支持し、軸受としての剛
性とプリロードを与える。
【0006】このようにフォイル軸受は、回転軸Sをス
テータK側に対して非接触状態により支承し、軸受する
ことを特徴とするものであるが、空気(ガス)の圧入に
より固体とガスとの摩擦によって発熱し、軸受全体とし
てはかなりの高温体となる。この発熱による温度上昇
は、フォイルに熱による変形や損傷を生じさせ軸受の寿
命を低下させることから、この上昇を抑えるため軸受内
部の隙間すなわちステータ側(ハウジング)K、アンダ
ーフォイルUF1〜UF5、アッパーフォイルAFおよ
び回転軸Sの間の微小隙間に冷却ガス(フロンガスな
ど)を流通させるようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したとおり、
フォイル軸受は回転軸Sが回転している運転中において
は、この回転軸Sを非接触にして支承し、回転軸Sの高
速回転を保障する。しかし、回転軸Sの停止時および起
動開始時や停止する終了時の低速時においては、動圧F
の発生は小さく、アッパーフォイルAFを押さえつけな
がら接触していく。この時、アンダーフォイルUF1は
図5に示すように、軸受用孔Hの内周面に沿ってたわ
み、アンダーフォイルUF1の円弧状中心近辺をアッパ
ーフォイルAFが押さえつける形となり、回転軸Sの外
周面はアッパーフォイルAFに摺接する。この摺接によ
って、アッパーフォイルAFの表面は、焼き付き現象が
生じ損傷するので、通常アッパーフォイルAFの摺接面
側にはテフロン(登録商標)などのコーティングが施さ
れている。
【0008】しかしながら、運転の停止、開始の繰り返
しによって、回転軸Sが摺接するアッパーフォイルAF
の接触部分の磨耗は進行し、コーティングの剥離が起こ
る。特に回転軸SとアッパーフォイルAFとの接触位置
は、アンダーフォイルUF1とアッパーフォイルAFと
の接触位置(支持点位置)でもあり、特定の個所(1カ
所)に集中して接触面積も小さく接触圧が大きく、この
部位の焼付、剥離が激しくなる。また、回転軸Sを含む
回転体にアンバランスが存在する場合、このアンバラン
スによって振れ回りが生じ、上記接触点における磨耗が
より増大する。そのために、アッパーフォイルAFの交
換等のメンテナンスが必要となる。
【0009】フォイル軸受におけるもう一つの問題は、
軸受全体の温度上昇を抑えるための冷却ガスの流通が悪
く冷却が充分に行われにくいことである。この冷却ガス
の流通は、図4に示す構成において、軸受用孔Hと回転
軸Sとの間隔に冷却ガスを流すことになるが、この間隔
は非常に小さく、高圧でガス流通を行わないと効果がな
い。冷却ガスとしてフロン等のガスの場合、高圧による
流通が可能であるが高価である。
【0010】しかし、高圧で流通できるガスの種類はフ
ロンガス等で制限があり、また経済的にも問題があり、
ガス種を特定しないとなると窒素ガスなどの不活性ガス
の使用では高圧流通が困難である。このように、高圧で
流通できるフロンガス等は高価であり、公害上の問題も
あり、他方、他のガスではフォイル軸受の内部は間隔が
非常に狭く、冷却が充分に行えないという欠点がある。
したがって、フォイル軸受の昇温を抑えることができ
ず、フォイル軸受の耐久性が低下するという問題を有し
ている。本発明はこのような問題を解決するフォイル軸
受を提供せんとするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明が提供するフォイ
ル軸受は、上記課題を解決するために、アンダーフォイ
ルの両端が係止されるそれぞれの係止位置の間における
前記軸受用孔の内周面に凹部を設けたものである。
【0012】したがって、回転軸の停止時、アンダーフ
ォイルはこの凹部にたわみ込むすなわち凹部の内方域ま
で深く曲げ変形され、そのためにアッパーフォイルがこ
の凹部の両端地点にて支持される形となって、回転軸も
このアッパーフォイルの複数地点において支えられるこ
とになる。そのため運転起動時等における摺接において
は、回転軸とアッパーフォイルの摺接地点が特定の1カ
所に集中することは解消される。また、この凹部の存在
によって冷却ガスの流通路が確保される。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面に示される実施例にし
たがって本発明を説明する。図1は本発明によるフォイ
ル軸受の構成を示す断面図で、図4と同様回転軸Sを垂
直に断面して示す図である。この図において図4に示す
符号と同一の符号は図4に示す部品、構造と同一であ
り、その作動、機能も同一であるので、詳細な説明は省
略する。
【0014】図1に示すとおり、本発明のフォイル軸受
においては、アンダーフォイルUF1〜UF5の各保持
部FX1〜FX5を固定保持するそれぞれの溝M1〜M
5間にて軸受用孔Hの内周面に凹部J1〜J5が設けら
れている。この各凹部J1〜J5は各アンダーフォイル
UF1〜UF5のそれぞれ両端が軸受用孔Hの内周面に
係止される係止位置間に位置しているが、この点に大き
な特徴がある。
【0015】このような構成においては、回転軸Sが高
速回転している場合は、回転軸SはアッパーフォイルA
Fと非接触であり、各アンダーフォイルUF1〜UF5
とこの凹部J1〜J5は互いに干渉することはない。し
たがって、各凹部J1〜J5はフォイル軸受におけるガ
ス通気孔として機能する。したがって、冷却ガスを流通
させるとき、冷却ガスはこの各凹部J1〜J5を流通
し、フォイル軸受の冷却機能が向上する。
【0016】また、回転軸Sの回転が起動時あるいは停
止時のような低速回転時においては、回転軸Sを含む回
転体(系)のアンバランスによる遠心力によって、アン
ダーフォイルUF1〜UF5がこの各凹部J1〜J5の
空間域まで深く曲げ変形される。図2はこの状態を拡大
して示す図で、アンダーフォイルUF1の変形状況が代
表的に示されている。この図2に示すように、アンダー
フォイルUF1は、この凹部J1の両端部の段部(2
点)位置にて支持される形となり、凹部J1にたわみ込
むことになるが、このアンダーフォイルUF1に沿って
アッパーフォイルAFも同様にたわむことになる。その
ため、アッパーフォイルAFの曲率半径は回転軸Sの半
径より小さくなり、回転軸SはアッパーフォイルAFに
対して2点で支承されることになる。すなわち、アッパ
ーフォイルAFへの回転軸Sの接触面積が増大する。こ
のことから回転軸SとアッパーフォイルAFの接触面圧
も低減されることになり、アッパーフォイルAFのコー
ティングの磨耗が低減する。
【0017】このように本発明においては、アンダーフ
ォイルUF1〜UF5がそれぞれその両端が係止される
とともに凹部の空間にたわみ込むようになっていること
により、従来の問題が解決されるわけであるが、この凹
部の長さや深さについては上記作用から当然に一定の条
件がある。
【0018】すなわち、凹部の長さについてはアンダー
フォイルの全長域に亘るような長いものではもちろん発
明の作用は機能せずアンダーフォイルの中心部が凹部に
たわみ込むことができる程度の長さとなる。あまり短す
ぎてもたわみ込むことができないのでたわみ込むことが
可能な一定の範囲の長さがある。深さについても上記同
様たわみ込みができる程度となる。また、凹部の位置は
アンダーフォイルの長さの中間地点に凹部の中心が位置
するよう設定されることが望ましい。
【0019】本発明が提供するフォイル軸受の特徴は以
上詳述したとおりであるが、上記ならびに図示例に限定
されるものではなく、本発明の特徴を生かした種々の変
形例を包含するものである。まず、軸受用孔Hの内周面
に形成される凹部J1〜J5の個数であるが、1アンダ
ーフォイルに対しては1個とするのが望ましいものの、
すべてのアンダーフォイルに対してそれぞれ凹部J1〜
J5を設けることに限定されない。すなわち、回転軸S
の停止時は自重によりその下方位にあるアンダーフォイ
ルにて支持されるわけであるから、この支持するアンダ
ーフォイルが位置している部位に凹部が設けられておれ
ば基本的には本発明の所期の目的は達成されることにな
る。このような事情から図1に示すようにすべてのアン
ダーフォイルUF1〜UF5に対応して凹部J1〜J5
を設けることに限定されず、アンダーフォイルUF1〜
UF5が5個あっても凹部は、下方位に1個のみ設けて
もよい。
【0020】なお、アンダーフォイルUF1〜UF5の
個数について、図示例では5個等間隔に配設した例を示
したが、動圧にて回転軸Sの浮上支承が可能であれば4
個でも、あるいは3個でもよい。さらにアンダーフォイ
ルUF1〜UF5やアッパーフォイルAFそのものの形
状、そしてこれを固定保持するための保持部の形状等に
ついても図示例は一例で、この図示例に限定されるもの
ではない。保持溝の形状についても同様である。
【0021】
【発明の効果】本発明が提供するフォイル軸受は以上詳
述したとおりであるから、回転軸の回転数が低い時にお
けるアッパーフォイルとの摺接があってもその磨耗は少
なく、コーティングの寿命が長くなって耐久性の高いフ
ォイル軸受を提供する。と同時に冷却ガスの流通が軸受
用孔の内周面に設けた凹部によって円滑に行われ、冷却
効果も大きくてフォイル軸受の昇温化が抑制され、この
面でも寿命が長くなり耐久性のあるフォイル軸受を提供
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるフォイル軸受の構成を示す断面図
である。
【図2】本発明によるフォイル軸受の動作原理を示す図
である。
【図3】フォイル軸受の動作原理を説明するための図で
ある。
【図4】従来のフォイル軸受の構成を示す図である。
【図5】従来のフォイル軸受の問題点を説明するための
図である。
【符号の説明】
K…ステータ側 S…回転軸 UF1〜UF5…アンダーフォイル AF…アッパーフォイル FX1〜FX5、AX1、AX2…保持部 M1〜M5、B1、B2…溝 J1〜J5…凹部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステータ側に穿設された軸受用孔の内周
    面にその一端が保持され配置されたアンダーフォイル
    と、このアンダーフォイルに支持されるアッパーフォイ
    ルとを有し、このアッパーフォイルと軸受される回転軸
    との間に発生される動圧にて前記回転軸を非接触にて支
    持する軸受において、前記アンダーフォイルの両端が係
    止されるそれぞれの係止位置間における前記軸受用孔の
    内周面に凹部を設け、回転軸の停止時に前記アンダーフ
    ォイルがこの凹部にたわみ込むことにより回転軸がアッ
    パーフォイルの複数地点にて支承されるようにしたこと
    を特徴とするフォイル軸受。
JP2000187089A 2000-06-22 2000-06-22 フォイル軸受 Pending JP2002005159A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103671544A (zh) * 2013-12-19 2014-03-26 湖南大学 径向弹性空气轴承
CN103671545A (zh) * 2013-12-19 2014-03-26 湖南大学 径向弹性空气轴承
EP2942537A1 (en) * 2014-04-15 2015-11-11 Honeywell International Inc. Bearing sleeve for air bearing
KR20160102303A (ko) 2014-02-18 2016-08-29 가부시키가이샤 아이에이치아이 래디얼 포일 베어링

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103671544A (zh) * 2013-12-19 2014-03-26 湖南大学 径向弹性空气轴承
CN103671545A (zh) * 2013-12-19 2014-03-26 湖南大学 径向弹性空气轴承
CN103671544B (zh) * 2013-12-19 2016-05-18 湖南大学 径向弹性空气轴承
CN103671545B (zh) * 2013-12-19 2016-06-08 湖南大学 径向弹性空气轴承
KR20160102303A (ko) 2014-02-18 2016-08-29 가부시키가이샤 아이에이치아이 래디얼 포일 베어링
US9915286B2 (en) 2014-02-18 2018-03-13 Ihi Corporation Radial foil bearing
EP2942537A1 (en) * 2014-04-15 2015-11-11 Honeywell International Inc. Bearing sleeve for air bearing
US9360042B2 (en) 2014-04-15 2016-06-07 Honeywell International Inc. Bearing sleeve for air bearing

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