JP2001507425A - 組込み中間部品をもつマイクロポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 マイクロポンプは、少なくとも１つの基板（１）と、少なくとも１つの上部板（２）と、この２つの板（１，２）の間に置かれ、かつマイクロポンプの少なくとも入口とマイクロポンプの少なくとも出口に接続したポンプ室（４）を形成している中間板（３）とを備えている。このポンプ室は、中間板（３）に機械加工された可動壁（５）を備えている。上部板には、可動壁（５）の少なくとも一部で凹部（８）とつながっている少なくとも１つの開口（12）が設けられている。上部板（２）の自由面に接着された駆動装置（６，７，13）が、ポンプ室（４）の容量に周期的な変動をもたらすように、前記可動壁（５）を移動するのに用いられる。本発明によれば、駆動装置（６，７，13）は、可動領域（11）と前記凹部（８）とを区画形成するように、機械加工が可能な材料の駆動板（７）によって形成される。上部板（２）から形成された中間部品（13）は、可動壁（５）と接触するように、駆動板（７）に固定される。

Description

【発明の詳細な説明】 組込み中間部品をもつマイクロポンプ 本発明は、マイクロポンプ及びその製造方法に関するものであって、このマイ クロポンプは、少なくとも１つの基板と、少なくとも１つの上部板と、ポンプ室 を区画形成するためにこれらの２つの板の間に置かれ、機械加工できる材料から 作られている中間板と、マイクロポンプの少なくとも１つの入口にポンプ室を接 続するための、少なくとも１つの流体入口制御部材と、マイクロポンプの少なく とも１つの出口にポンプ室を接続するための、少なくとも１つの流体出口制御部 材とを具備しており、このポンプ室が中間板内に機械加工された可動壁を備えて いて、前記可動壁が、ポンプ室内で前記流体の吸引又は送給の間に２つの反対方 向に動くことができ、上部板に、少なくとも一部の可動壁に凹部をつないでいる 少なくとも１つの開口が設けられ、上部板の自由面に固定された駆動手段が、ポ ンプ室の容量の周期的な変動をもたらすように、前記可動壁を移動するように設 けられている。 “ピンタイプ”と呼ばれる従来のマイクロポンプでは、駆動手段の構成要素の １つは、ポンプ室の可動壁に接触して圧電装置を置くようにされている中間部品 によって構成されている。マイクロ機械加工によるこの中間部品の製造及びマイ クロポンプ装置内のその組立は、信頼性がありかつ規則正しく作動するマイクロ ポンプを得るために、高度の精確性を必要とする。 そのようなマイクロポンプは、例えばウェストンブリッジ社の国際特許出願WO 9518307に記載されている。図１は、この文献に記載されているマイクロポンプ の１つの実施の形態を示している。この マイクロポンプは、基板82と、中間板86と、上部板88と、圧電装置80と協働する 駆動要素87と、駆動要素87にその平らな頭部で結合した引き出しピンの形をした 中間部品84とを備えている。 マイクロポンプの正確な作動に必要であるそのような中間部品84を使用するこ とが、このマイクロポンプを製造する際に、かなりの複雑さをもたらしている。 本発明の目的は、製造が簡単な中間部品を提供し、信頼がおけかつ規則的に作 動するマイクロポンプを提供することである。 本発明によれば、この目的は、駆動手段が、可動領域と前記凹部とを区画形成 するために、機械加工できる材料から構成されている駆動板によって形成され、 上部板から得られる中間部品が、可動壁と接触するように駆動板上に固定されて いることによって達成される。 上部板からの中間部品の製造によって、下記に説明するようにこの中間部品が マイクロポンプ内で完全に一体化されているので、マイクロポンプの他の全ての 構成要素とは独立して、中間部品を製造することが避けられる。 本発明は、例示による以下の２つの実施の形態の記載によって一層容易に理解 でき、副次的な特徴及びその利点が明らかになるであろう。 図１は、断面図で示された従来技術のマイクロポンプである。 図２は、本発明の第１の実施の形態のマイクロポンプを、概略でかつ部分的に 示している断面図である。 図３は、図２と同様の図で、本発明の第２の実施の形態のマイクロポンプを示 している。 図４Ａ〜４Ｄは、好適な製造方法によるマイクロポンプの製造段階を示してい る。 図５Ａ〜５Ｆは、本発明のマイクロポンプの製造方法の異なった段階を示して いる。 図２と３に示された２つの好適な実施の形態のマイクロポンプの概略でかつ部 分的な断面図は、図１のＡの範囲で決められたマイクロポンプの中央部分を単に 示しているにすぎない。 図２を参照すると、このマイクロポンプの中央部分は、基板１と好ましくはパ イレックス（商標）のようなガラスからなる上部板２とを備えている。これらの ２つの板１と２との間に、基板１と一緒にポンプ室４を区画形成する中間板３が 置かれている。中間板３の中央部分は、可動壁５を構成していて、マイクロポン プの上に置かれている圧電装置６の作動によって、ポンプ室４の容量を変動でき るようになっている。 駆動板７が圧電装置６と上部板２との間に置かれて固定され、駆動板７と上部 板２との間に凹部８を形成している。 上部板２の自由面９は、凹部８の片側で駆動板７の一部に、好ましくはアノー ド溶接（アノデックウェルディング）によって固着される。凹部８の反対の側で 、駆動板７の自由面10は、凹部８の中央部分と一致して、圧電装置に結合されて いる。駆動板７の中央部分は、圧電装置６と凹部８の中央部分との間で可動壁11 を構成している。 凹部８は、上部板２のレベルで、上部板２と同じ原部材から作られた中間部品 13を囲んでいる環状につながっている開口12まで延びている。 凹部８はまた、環状の形をしていて、中間部品13に固定されている可動領域11 の一部を囲んでいる。環状開口12の周囲で、上部板２は、可動壁５（停止を形成 する領域16）と固着ではなく、単に接触していて、この接触地帯より上へ可動壁 ５が動くのを阻止している 。そのような固着は、好ましくは上部板２の停止を形成する領域16を覆っている 保護層によって避けられる。例えば、この層は酸化ケイ素より作られる。 環状の中間凹部14はまた、上部板２と中間板３との間を区別していて、この中 間凹部は、中間板３の材料の除去により形成されており、上部板２の別の側で凹 部８の一部と一致して配置され、環状開口12に対して外側に位置している。 停止を形成している領域16が可動壁５の上昇の動きを制限しているのと同じ方 法で、ポンプ室４に対向して位置している可動壁５の面上に固定された停止体17 は、可動壁５の下降の動きを制限している。 上部板２と中間板３とが、中間凹部14に対して外側に位置する接触領域で、好 ましくはアノード溶接によって互いに固着されている。中間板３と駆動板７とは 、好ましくはシリコンのような半導体によって構成されている。 特に圧電装置６よりなる駆動手段と、中間部品13及び可動壁５とは、好ましく は同心軸となるように位置付けされている。 中間部品13と上部板２とは、同じ当初の板から形成されるので、マイクロポン プ装置の製造がかなり簡単となり、このマイクロポンプを構成している異なった 構成要素間の許容性及び適合性の問題をかなり少なくしかつ無くしてさえいる。 事実上、中間部品13の厚さは、上部板２の厚さと強制的に同一となっており、そ のため組立中のマイクロポンプ装置の部品間の調整が、高精度の正確さで行える 。 図２に示された第１の好適な実施の形態では、中間板３と駆動板７とが、凹部 ８と環状開口12及び中間凹部14とよりなる密封空間を定め、部分真空（パーシャ ルバキューム）がこの密封空間内に確立 できるようになっている。 上述の空間の密封性によって、マイクロポンプを構成している部品（駆動板７ の可動領域11と、上部板２と、中間部品13及び可動壁５）間の非常に高い精確な 調整が可能となる。中間部品13と上部板２の厚さ間の厳密な同一性が、部品間で 良好な調整を達成するのに非常に重要な特性であり、このことによって、上述の 空間を密封することができる。 有利な特性によれば、密封空間８，12，14の部分真空の存在によって、上部板 ２の方向でポンプ室４の可動壁５を引っ張ることができる。 部分真空が密封空間８，12，14内で確立されるなら、そのような固着レベルで 残留応力を生じないように、中間部品13を可動壁５に固定しないことが好ましい 。 図３に示される第２の好適な実施の形態によれば、密封空間８，12，14は部分 真空下に置かれないで、導管15がこの密封空間をマイクロポンプの外部へと接続 している。この導管15は、好ましくは駆動板７の上部部分に形成され、凹部８と 連通し、図３に示されるマイクロポンプの一部の外側と凹部８とを接続しており 、それにより上記で規定された空間が、導管15が開放している外部空間の圧力と 等しい圧力となる。この圧力は大気圧である。 ポンプの外側と密封空間８，12，14とを接続している導管15が設けられる場合 は、もし圧電装置６の方向で可動壁５を引っ張ることが望まれるなら、中間部品 13を可動壁５に固定することが必要であり、そのような固定はアノード溶接によ って可能である。 本発明の３つの好適なマイクロポンプの製造方法を、以下に説明する。 提供されている３つの製造方法のどの方法も、最初に、駆動板７ と、上部板２と、駆動装置と、中間板３が基板１に固定されている中間板３／基 板１の組立体と、を供給する必要があり、ポンプ室４は、例えば従来の中間板３ の機械加工によって、これら中間板３と基板１の間に形成される。 本発明の第１のマイクロポンプの製造方法によれば、以下の段階が実行される 。 ａ）凹部８を形成するために、駆動板７を機械加工すること、 ｂ）上部板２に駆動板７を固定すること、 ｃ）環状開口12と中間部品13とを形成するために、上部板２を機械加工するこ と、 ｄ）中間板３／基板１の組立体に、上部板２／駆動板７の組立体を固定するこ と、及び ｅ）駆動板７に圧電装置６のような駆動装置を固定すること。 第１の製造方法の場合には、製造技術の非常に有利な解決策として、環状開口 12の機械加工が、電蝕加工又はEDM(放電加工)法や、超音波加工又はUD（超音波 穴明け）法や、ガラスの化学的侵食（ケミカルアタック）によって行われる。 第２のマイクロポンプの製造方法によれば、環状開口12と中間部品13を２つの 段階で機械加工することによって、マイクロポンプの作動が一層信頼のおけるも のにするために、マイクロポンプの異なった構成要素の大きさで、より良好な正 確性を得ることが可能となる。 この第２の製造方法によれば、以下の段階が実行される。 ａ）凹部８を形成するために、駆動板７を機械加工すること、 ｂ）環状開口12と中間部品13とを部分的に形成するために、上部板２を機械加 工すること、 ｃ）上部板２に駆動板７を固定すること、 ｄ）環状開口12と中間部品13とを最終的に形成するために、上部板２を機械加 工すること、 ｅ）中間板３／基板1の組立体に、上部板２／駆動板７の組立体を固定するこ と、 ｆ）駆動板７に圧電装置６のような駆動装置を固定すること。 ここで、上部板２の部分的な機械加工が、電蝕加工(EDM)法又は超音波加工（U D）法により行われるのが有利である。 更に、環状開口12と中間部品13の形成は、最終的に上部板２の化学的侵食によ って行われる。 一方、図４Ａ〜４Ｄに示されるように、第２のマイクロポンプの製造方法の枠 内において、上部板２の面を機械加工することで、環状開口12と中間部品13の形 成（段階ｂ）を始める前に、上部板２の面上に１つ以上の金属層を設けることも 可能である。実際に、１つ又は複数の金属層が、上部板２の２つの面の一方又は 他方に設けられてもよい。開口12と中間部品13の部分的な形成が行われる面又は この開口が最終的に形成される機械加工される面ではあるが、いずれにせよ、前 記１つ又は複数の金属層は、駆動板７の反対側の面上に設けられる。 図４Ａに示されるように、クロム層２ａ及びその上の銅層２ｂが、上部板２上 に設けられる。それから（図４Ｂ）、上部板２が、環状開口12と中間部品13を部 分的に形成するように機械加工される。そのような部分的な機械加工は、上部板 ２の全厚さに渡って行われない。第２の製造方法の段階ｃ）に対応している図４ Ｃに見られるように、既に機械加工された凹部８を有している駆動板７が、金属 層が設けられている上部板の反対側で、例えばアノード溶接によって上部板２に 固定される。図４Ｄは、第２の製造方法の段階ｄ）を示しており、かつ上部板２ の付加の機械加工によって、中間部品13 を囲んでいる環状開口12を最終的に形成でき、その結果、環状開口12が凹部８と 連通し、中間部品13が可動領域11の中央領域のレベルで、駆動板７に固着してい る。 第３の製造方法によれば、以下の段階が実行される。 ａ）上部板２ａの面に保持層18を設けること（図５Ｂ）、 ｂ）環状開口12及び中間部品13を形成するために、保持層18に接触する面と反 対の面上で上部板２を機械加工し、かつ保持層もまた部分的に機械加工されるこ と（図５Ｃ）、 ｃ）保持層18に接触する面と反対の上部板の面に、駆動板７を固定すること（ 図５Ｄ）、 ｄ）保持層18を除去すること（図５Ｅ）、 ｅ）中間板３／基板１の組立体に上部板２／駆動板７を固定すること（図５Ｆ ）、 ｆ）駆動板７に圧電装置のような駆動装置を固定すること。 この第３の製造方法によれば、保持層18によって環状開口12と中間部品13の形 成を１段階の機械加工で行える一方で、上部板２と中間部品13とを製造過程中に 同一線上に保つことができる。 好ましくは保持層はポリマー体又は金属であり、かつマイクロポンプを構成す る板は、場合によっては、アノード溶接によって一緒に固着される。 上述した３つの製造方法は、図２と３に示されるように、第１又は第２の実施 の形態のマイクロポンプを形成するのに適している。 図２に示される第１の実施の形態のマイクロポンプの場合では、上述の段階に 加えて、部分真空が、凹部８と環状開口12及び中間凹部14によって形成される密 封空間内に確立されることが好ましいが、必ずしも必要ではない。 図３に示される第２の実施の形態の場合では、上述の段階に加え て、凹部８と環状開口12及び中間凹部14とによって形成される密封空間をマイク ロポンプの外部へとつなげている導管15が機械加工され、この空間は、中間板３ と駆動板７によって区画形成されている。好ましくは、上部板２／駆動板７の組 立体を中間板３／基板１の組立体に固定する間に、中間部品13は、例えばアノー ド溶接によって、可動壁５に固着される。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１０年１２月９日（１９９８．１２．９） 【補正内容】 請求の範囲 １．マイクロポンプが、 少なくとも１つの基板（１）と、少なくとも１つの上部板（２）及びこれらの ２つの板（１，２）の間に置かれ、ポンプ室（４）を区画形成するために機械加 工可能な材料から作られた中間板（３）と、 ポンプ室（４）をマイクロポンプの少なくとも１つの入口に接続するための少 なくとも１つの流体入口制御部材と、 ポンプ室（４）をマイクロポンプの少なくとも１つの出口に接続するための少 なくとも１つの流体出口制御部材と、 を具備しており、 このポンプ室が、中間板（３）に機械加工された可動壁（５）を備えていて、 前記可動壁（５）が、ポンプ室（４）内の前記流体の吸引又は送給中に２つの反 対方向に動くようにされていて、上部板には、凹部（８）を可動壁の少なくとも 一部につなげている少なくとも１つの開口（12）が設けられており、上部板（２ ）の自由面（９）に固定された駆動手段（６，７，13）が、ポンプ室（４）の容 量の周期的な変動をもたらすように、前記可動壁（５）を動かすように設けられ ているマイクロポンプにおいて、 駆動手段（６，７，13）が、可動領域（11）と前記凹部（８）とを区画形成す るために、機械加工可能な材料によって構成される駆動板（７）によって形成さ れ、上部板（２）に機械加工された中間部品（13）が、可動壁（５）と接触する ように、駆動板（７）に固定されていることを特徴とするマイクロポンプ。 ２．中間部品（13）が可動壁（５）に固定されていることを特徴とする請求項 １に記載のマイクロポンプ。 ３．中間板（３）と駆動板（７）とが、密封空間（８，12，14）を区画形成し ていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロポンプ。 ４．部分的な真空が、密封空間（８，12，14）内に確立されていることを特徴 とする請求項３に記載のマイクロポンプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，Ｍ Ｗ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ， ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，Ｅ Ｓ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ，ＩＤ ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ， ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，Ｍ Ｇ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ， ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 メルフェール，ディディール スイス国，セアッシュ―1092 ベルモン, シュマン ドゥ リュイレ ３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1．マイクロポンプが、 少なくとも１つの基板（１）と、少なくとも１つの上部板（２）及びこれら２ つの板（１，２）の間に置かれ、ポンプ室（４）を区画形成するために、機械加 工できる材料から作られた中間板（３）と、 ポンプ室（４）をマイクロポンプの少なくとも１つの入口に接続するための少 なくとも１つの流体入口制御部材と、 ポンプ室（４）をマイクロポンプの少なくとも１つの出口に接続するための少 なくとも１つの流体出口制御部材と、 を具備しており、 このポンプ室が、中間板（３）に機械加工された可動壁（５）を備え、前記可 動壁（５）が、ポンプ室（４）内の前記流体の吸引又は送給中に２つの反対方向 に動くことができて、上部板には、凹部（８）を可動壁（５）の少なくとも一部 につなげている少なくとも１つの開口（12）が設けられており、上部板（２）の 自由面（９）上に固定された駆動手段（６，７，13）が、ポンプ室（４）の容量 の周期的な変動をもたらすように、可動壁（５）を動かすようになっているマイ クロポンプにおいて、 駆動手段（６，７，13）が、可動領域（11）と前記凹所（８）とを区画形成す るために、機械加工が可能な材料によって構成される駆動板（７）によって形成 され、上部板（２）から得られた中間部品（13）が、可動壁（５）と接触するよ うに、駆動板（７）に固定されていることを特徴とするマイクロポンプ。 ２．中間部品（13）が可動壁（５）に固定されることを特徴とする請求項１に 記載のマイクロポンプ。 ３．中間板（３）と駆動板（７）とが密封空間（８，12，14）を区画形成する ことを特徴とする請求項１に記載のマイクロポンプ。 ４．部分真空が、密封空間（８，12，14）内に確立されることを特徴とする請 求項３に記載のマイクロポンプ。 ５．導管（15）が、密封空間（８，12，14）をマイクロポンプの外部につない でいることを特徴とする請求項２に記載のマイクロポンプ。 ６．手段（16，17）が、可動壁（５）の移動を制限していることを特徴とする 請求項１〜５のいずれか１項に記載のマイクロポンプ。 ７．駆動手段（６，７，13）が、圧電装置（６）から構成されていることを特 徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のマイクロポンプ。 ８．基板（１）及び上部板（２）が、パイレックス（商標）のようなガラスに より構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のマイ クロポンプ。 ９．中間板（３）及び駆動板（７）が、シリコンのような金属により構成され ていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のマイクロポンプ。 10．駆動手段（６）と、中間部品（13）及び可動壁（５）とが、同軸心をもつ ように位置付けされていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載 のマイクロポンプ。 11．請求項1に記載のマイクロポンプを製造する方法において、この製造方法 が、以下の段階、 ａ）凹部（８）を形成するために、駆動板（７）を機械加工すること、 ｂ）上部板（２）に駆動板（７）を固定すること、 ｃ）環状開口（12）と中間部品（13）とを形成するために、上部板（２）を機 械加工すること、 ｄ）中間板（３）／基板（1）の組立体に上部板（２）／駆動板（７）の組立 体を固定すること、及び ｅ）駆動板（７）に圧電装置のような駆動装置を固定すること、を実行するこ とを特徴とするマイクロポンプの製造方法。 12．環状開口（12）の機械加工が、電蝕加工法又はEDM(放電加工)法か、超音 波加工法又はUD（超音波穴明け）法か又はガラスの化学的侵食によって行われる ことを特徴とする請求項11に記載のマイクロポンプの製造方法。 13．請求項１に記載のマイクロポンプを製造する方法において、この製造方法 が、以下の段階、 ａ）凹部（８）を形成するために、駆動板（７）を機械加工すること、 ｂ）環状開口（12）及び中間部品（13）を部分的に形成するように、上部板（ ２）を機械加工すること、 ｃ）上部板（２）に駆動板（７）を固定すること、 ｄ）環状開口（12）と中間部品（13）を最終的に形成するように、上部板（２ ）を機械加工すること、 ｅ）中間板（３）／基板（１）の組立体に上部板（２）／駆動板（７）の組立 体を固定すること、及び ｆ）駆動板（７）に圧電装置（６）のような駆動装置を固定すること、 を実行することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。 14．環状開口（12）の機械加工が、電蝕加工法又はEDM(放電加工)法か、超音 波加工法又はUD（超音波穴明け）法によって行われることを特徴とする請求項13 に記載のマイクロポンプの製造方法。 15．環状開口（12）及び中間部品（13）の最終的な形成が、上部板（２）の化 学的侵食によってなされることを特徴とする請求項13又は14に記載のマイクロポ ンプの製造方法。 16．環状開口（12）と中間部品（13）の形成を始める前に、１つ又はそれ以上 の金属層（２ａ，２ｂ）が上部板（２）の面に設けられ、この１つ又は複数の金 属層が、環状開口（12）及び中間部品（13）を形成した後に除去されることを特 徴とする請求項13に記載のマイクロポンプの製造方法。 17．１つ又は複数の金属層が上部板（２）の面に設けられ、環状開口（12）と 中間部品（13）の部分的な形成を受けることを特徴とする請求項16に記載のマイ クロポンプの製造方法。 18．１つ又は複数の金属層が、環状開口（12）と中間部品（13）の最終的な形 成期間中に機械加工される上部板（２）の面に設けられることを特徴とする請求 項16に記載のマイクロポンプの製造方法。 19．クロム層（２ａ）の上に銅層（２ｂ）が設けられていることを特徴とする 請求項16，17又は18に記載のマイクロポンプの製造方法。 20．請求項１に記載のマイクロポンプを製造する方法において、この製造方法 が、 ａ）上部板（２）の面上に保持層（18）を設けること、 ｂ）環状開口（12）と中間部品（13）とを形成するために、保持層（18）に接 触する面とは反対の面で上部板（２）を機械加工し、保持層（18）もまた一部で はあるが機械加工されること、 ｃ）保持層（18）と接触する面と反対の上部板（２）の面に、駆動板（７）を 固定すること、 ｄ）保持層（18）を除去すること、 ｅ）中間板（３）／基板（１）の組立体に上部板（２）／駆動板（７）の組立 体を固定すること、 ｆ）駆動板（７）に圧電装置（６）のような駆動装置を固定すること、 を実行することを特徴とするマイクロポンプの製造方法。 21．保持層（18）が、ポリマー体又は金属であることを特徴とする請求項18に 記載のマイクロポンプの製造方法。 22．前記板がアノード溶接によって固着されていることを特徴とする請求項11 〜19のいずれか１項に記載のマイクロポンプの製造方法。 23．中間板（３）／基板（１）の組立体に上部板（２）／駆動板（７）の組立 体を固着する間に、中間部品（13）が可動壁（５）に固着されることを特徴とす る請求項11〜20のいずれか１項に記載のマイクロポンプの製造方法。 24．導管（15）が機械加工され、中間板と駆動板（７）とで区画形成される密 封空間（８，12，14）をマイクロポンプの外部へとつないでいることを特徴とす る請求項21に記載のマイクロポンプの製造方法。 25．部分真空が密封空間（８，12，14）内に確立されることを特徴とする請求 項11〜22のいずれか１項に記載のマイクロポンプの製造方法。