JP2001504922A - 空気式往復アクチュエータ及びその作動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 前進運動室（５）と後退運動室（７）とを画定するシリンダ（１）と、シリンダ内を往復可能で、前進運動室（５）と後退運動室（７）を分離するピストン（２）とを有する種類の空気式往復アクチュエータ（１−３）において、前進運動室（５）と後退運動室（７）がともに当初ゼロ圧力にある状態で気体様作動流体を流入口（４）から前進運動室（５）内に流入させることによって前方への始動ストロークが開始される。所定の大きさ（４）の背圧が後退運動室（７）に生じるまで、作動流体が、始動ストローク中流入口（４）から後退運動室（７）内に通される。その後、圧力制御弁ユニット（２０、２１）によって後退運動室（７）は自動的に閉鎖され、その結果、後退運動室（７）はピストン（２）の前方への動きを緩和するための緩衝室を形成して、始動ストローク中のピストンの超過速度を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】 空気式往復アクチュエータ及びその作動方法 本発明は空気式アクチュエータに関するものであり、より詳しくは、シリンダ 内を往復可能なピストンによって分割される２つのシリンダ室を画定するシリン ダを有する種類の往復アクチュエータに関するものである。 リニヤモータとも称されるこうしたアクチュエータの動作が開始されると、両 シリンダ室がゼロ圧力にあるアクチュエータのアイドル状態から出発して、作動 流体、即ち、空気あるいは他の気体をシリンダ室の一方に圧入することによって ピストンの第１ストロークすなわち始動ストロークが開始される。この時ピスト ンは、他方のシリンダ室内では背圧によって移動を妨げられないので、過度な速 度で移動しがちとなる。ピストンの第１ストロークが完了した後だけは、背圧が 存在することになるので、ピストンが超過速度になること、あるいは、こうした 過度な速度で移動することが防がれる。 こうしたピストンの超過速度を防止するために、作動流体を減圧した状態でア クチュエータの動作を開始し、作動が１サイクル以上終了した段階で圧力を通常 動作圧力に昇圧するということが一般的に行われている。 この方法でアクチュエータを作動させるのは、幾つかの点で不利である。例え ば、最初の１ストロークまたはそれ以上が通常無効になってしまい、第１ストロ ークの間に通常動作圧力に相当する力がアクチュエータから求められるような場 合、減圧下でのアクチュエータの初期動作は実行不可能となる可能性がある。さ らにまた、初期の減圧した動作圧力を通常動作圧力に変更するために圧力調整器 が必要となり、背圧を任意に変更してアクチュエータによって駆動される負荷の 変化に背圧を適合させることが難しくなる可能性もある。 本発明の第１の様相によれば、前進運動室と後退運動室とを画定するシリンダ と、該シリンダ内を往復可能で、前記前進運動室と前記後退運動室を分離するピ ストンとを有する種類の空気式往復アクチュエータを作動させる方法であって、 前記前進運動室と前記後退運動室が共に実質的にゼロ圧力にある状態で気体様作 動流体を流入口から前記前進運動室内に流入させることによって該前進運動室を 拡大させる方向への始動ストロークを開始する空気式往復アクチュエータを作動 させる方法において、所定の大きさの背圧が前記後退運動室に生じるまで、始動 ストローク中も作動流体を前記流入口から前記後退運動室内に流入させ、その後 該後退運動室を閉鎖し、それによって前記後退運動室が前記ピストンの動作を緩 和するための緩衝室を形成して、始動ストローク中の該ピストンの超過速度を防 止することを特徴とする空気式往復アクチュエータの作動方法が提供される。 第２の様相によれば、作動流体の流入口を有し、前進運動室と後退運動室とを 画定するシリンダと、該シリンダ内を往復可能で、前記前進運動室と前記後退運 動室を分離するピストンと、前記流入口と前記前進運動室との間に延在する第１ 流体路を経由して前記前進運動室に流出入する作動流体の流れを制御する弁装置 とを有する空気式アクチュエータにおいて、前記弁装置が圧力制御弁ユニットを 有し、該圧力制御弁ユニットは前記流入口と前記後退運動室との間に延在し、前 記流入口への所定の第１圧力の印加に応答して開放され作動流体を前記流入口か ら前記後退運動室に導入可能になっており、また前記第１圧力よりも低い所定の 第２圧力による前記後退運動室の加圧に応答して閉鎖され前記後退運動室からの 作動流体の流れを遮断可能となっていることを特徴とする空気式アクチュエータ が提供される。 本発明による方法とアクチュエータの好適な実施例は、従属クレームに記載の 特徴を有する。 本発明は、往復作業機械やドアを開閉するための機械に使用するためのアクチ ュエータや、空気圧ばねとして使用するためのアクチュエータや、空気圧緩衝器 など、様々な用途のアクチュエータに適用可能である。 本発明によると、全作動圧力が直ちに前進運動室に印加された場合にも、第１ すなわち始動ストローク中のピストンの超過速度は効果的に回避される。 本発明によると、後退運動室に生じる背圧を迅速かつ簡単な手段によって異な る負荷に適応するように調整して、より軽い負荷には低い背圧を生じ、逆の場合 には逆であるようにできる。望むならならば、この調整は、例えば、調整機構に 接続した負荷感知装置によって自動的に制御して、アクチュエータの動作中有効 にできる。 発明の更なる特徴と利点は、次の本発明のアクチュエータの具体例の詳細な説 明から明らかとなる。 図１は、本発明の原理を具体化する直線空気式アクチュエータの、主として縦 断面における側面図であり、 図２は、図１のアクチュエータの後端部をより大きな縮尺で示し、 図３は、図１の線III-IIについての横断面図であり、 図４及び図５は、図１におけるアクチュエータの後端部の拡大縦断面図であり 、自動圧力制御弁装置を示すものである。図４は、アクチュエータの動作の始動 ストロークのある相において作動流体が両シリンダ室内に導入されつつあるとこ ろを示しており、図５は、始動ストロークの後続の相において、後退運動室に所 望の背圧が発現した後に後退運動室内への作動流体の導入が停止している一方、 前進運動室内への作動流体の導入は継続している状態を示している。 図示の直線空気式アクチュエータあるいはモータは、シリンダ１と、シリンダ 内を往復可能なピストン２を備え、ピストン２は一端がシリンダから突出するピ ストン棒３を有する。作動流体、典型的には空気、の供給源から導入した流体管 路を接続するための単一流入口４が、シリンダの後端の後部シリンダヘッド８に 設けられている。この流入口４から、加圧作動流体を、以下前進運動室と称する シリンダ１の第１室５内に流すことができる。また、以下後退運動室と称する第 ２室７に対して常に開放され連通している流入口６が後部ヘッド８に設けられて いる。図４及び図５に、より詳細に示されているように、シリンダヘッド８は後 述の圧力制御弁ユニットを収容している。 図３に示すように、シリンダ１の壁９は、８つの星突起１０を持つ星形になっ ており、それらの突起はすべて、シリンダの全長に亘って延在する軸方向穴１１ の形を取る細長通路を有して形成される。穴の中の４つは、タイロッド１２を受 け入れるために使用され、残りの穴のうち１つ以上の穴１１ａは、特に、圧縮空 気の供給源用に１つしか接続を持っていないような種類のシリンダにおいては、 圧縮空気を伝えるために使用してもよい。シリンダ１の右側端にある前方シリン ダヘッド13は、ピストン棒３のための貫通孔を有している。そのシリンダヘッ ド１３に隣接して、開口１４がシリンダ１の後退運動室７を軸方向穴１１の最上 位穴１１ａに連通している。左側の後方シリンダヘッド８に隣接する同様の開口 １５は、前進運動室５を軸方向穴１１の最下位穴１１ｂに連通する。前方シリン タヘッド１３の手前で閉塞されている軸方向穴１１ｂは、前進運動室５の延長部 分を形成しており、その総体積を増加させている。 ピストン２の両側には制動ピストン１６、１７を形成する延長部分が設けられ ている。各制動ピストンはシリンダ１の両端において各制動シリンダ１８、１９ と協動する。制動ピストン・シリンダ装置１６、１８及び１７、１９は、シリン ダ端に隣接するピストン２のストロークを緩和するのに役立つ。 上述の圧力制御弁ユニットは、流入口４から後退運動室７内に圧入される作動 流体の流れを制御する２つの協動弁２０、２１を有している。弁２０は、後退運 動室７で所定の背圧が一旦達成されると、後退運動室７を作動流体の全圧から隔 離するように働き、弁２１は、当該背圧が達成されるまで後退運動室７内に作動 流体が流入するのを許するように働く。 弁２０内の弁小室は、弁部材２２を収容していて、弁部材２２は圧縮ばね２３ によって弁２１の方向に付勢され、それによって環状シールの形で関連弁座に係 合する閉位置の方向に偏奇させれている。弁部材２２の一方の側のスピゴット２ ４は弁２１の弁室内に延びている。弁２１の弁室には、弁部材２５が収容されい る。弁部材２５は、圧縮ばね２６によって弁２０の方向に付勢されており、弁室 の壁によって形成される関連弁座の方向に偏奇させられている。ばね２６の偏奇 力は、弁２１に付属する調整ねじ２７を回すことによって設定可能である。 作動流体のための流路２８は、流入口４から延び、制限オリフィス２９を経由 して弁２０の弁小室内に開口している。流入口４からは、二位置方向制御弁Ｖ内 に開口する流路Ｖ１も延びている。弁Ｖの第１位置においては、弁Ｖは作動流体 を流路Ｖ１から更なる流路Ｖ２内に導入し、最下位置の軸方向穴１１ｂ内に開口 する流出口３０を通過させる。さらに作動流体はこの流出口３０から開口１５を 経由して前進運動室５内に導入される。弁Ｖの第２位置では、弁Ｖは流路Ｖ２を 流路Ｖ３に連通して、作動流体を前進運動室５と穴１１ｂから排出する。 もちろん、三方二位置弁Ｖと関連流路Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３からなるこの構成は、 前進運動室５を加圧する手段と方法の一例示に過ぎない。 弁２０のディスク状弁部材２２の直径は、それを収容する弁小室の直径よりも 小さい。図４に示す弁部材２２の開位置では、弁小室に入る空気は、それゆえ、 関連環状弁座を経由し、そしてその後スピゴット２４の周りの環状隙間を経由し 、弁部材２２を通過して流れることができる。スピゴット２４は、弁２１の弁部 材２５が図４に示す閉位置にあるときに、弁部材２５がスピゴットの端部を圧迫 して弁部材２２を開位置に保持するような長さを有する。 流路３１は弁２１の弁室を軸方向シリンダ路１１ａに接続しており、したがっ て、開口１４を経由して後退運動室７に連通している。その結果、後退運動室７ は弁室と常に開放連通状態にある。 図示のアクチュエータの動作は次の通りである。 図４は、弁Ｖがその第１位置にあって両シリンダ室５、７が初期ゼロあるいは 非常に低い圧力状態で、加圧作動流体の流入口４への供給を開始することによっ て、始動ストローク、即ち、アクチュエータの反復動作の第１サイクルの前方ス トロークが開始された状態を示す。 作動流体は、矢印で示すように、流入口４から流路Ｖ１、Ｖ２を経由して軸方 向路１ｂ内に流入し、開口１５を経由して前進運動室５内に流入する。同時に、 作動流体は流路２８を経由して第２弁２０内に流れ、第２弁部材２２を通過して 第１弁２１の弁部材２５の前面に至る。当初は、作動流体の圧力はばね２６の偏 奇に打ち勝って、弁部材２５を関連弁座から僅かに変位させるのに十分であり、 作動流体は弁部材２５を通過して、矢印で示すように流路３１と軸方向シリンダ 路１１ａを経て後退運動室７内に流入できる。 したがって、前進運動室５と後退運動室７はともに加圧される。とはいえ、弁 ２０、２１を経由して作動流体を導入することで後退運動室７に生じる背圧は、 アクチュエータの通常動作において前進運動室に生じる最大圧力よりも実質的に 小さな値、例えば、その最大圧力の１０から２０パーセントに制限されることに なる。例えば、前進運動室の最大作動流体圧が７〜１０ｂａｒであるとき、弁２ ０と２１を経た作動流体の導入は、後退運動室７における背圧が１〜３ｂａｒの 範囲内の所望の値に達したときに打ちきっても良い。 後退運動室７に生じうる最大背圧は、弁２１によって決定される。即ち、調整 ねじ２７を設定し、それによってばね２６によって弁部材２５に印加される偏奇 力を設定することによって決定される。背圧が所望の設定値に達すると、第２弁 部材２５の前面に作用する圧力は、弁部材２５を関連弁座から十分に離れるよう 移動させ、それによって弁２０の偏奇ばね２３が第２弁部材２２を移動させて関 連弁座と封止係合させる。弁部材２２に作用する弁２０の弁小室における作動流 体の圧力は、この時、当該弁部材をその弁座に堅固に係合した状態を保つで、弁 ２０の下流に捕捉された作動流体が漏れ出すことはない。 作動流体の捕捉体積によって後退運動室７に生じる背圧は、パワーストローク を通してピストン２を前方に変位させてピストン棒３を伸ばす前方運動室５内の 圧力とは反対方向に作用する。こうして背圧は、ピストンが前方運動室５内の圧 力の作用下で超過速度となるのを防止する。 その後弁Ｖが前進運動室５から作動流体を排気する第２位置になると、後退運 動室７の作動流体の捕捉体積が後方あるいは後退ストロークを通してピストン２ を伸張変位させて、ピストン棒３を引き込む。その後弁Ｖが第１位置に戻されて 新たな前方パワーストロークを開始すると、背圧が既に存在しているので、背圧 を再度生じさせる必要はない。こうして、一旦後退運動室の背圧が所望の設定レ ベルにまで形成されると、弁２０は通常は閉鎖したままとなり、後退運動室を流 入口４から隔離する。 何らかの理由で後退運動室７の背圧が下がって、所望の設定圧力を下回ると、 あるいは、調整ねじ２７によって背圧の設定が引き上げられると、偏奇ばね２６ は弁部材２６をその関連弁座の方向に変位させ、第２弁２０の弁部材２２を再び 開放させ、背圧が所望の設定値になって第１弁２１が再閉鎖されるまで、弁２０ と２１を経由して追加作動流体を導入することになる。 アクチュエータによって移動させている負荷が変化する場合は、背圧が負荷に 適合するように最大背圧を調整してもよい。こうした調整は、アクチュエータが 動作中であっても、即座に且つ単純な方法で遂行することができる。すなわち、 最大背圧を減じるためには、調整ねじ２７を外側に回して偏奇ばね２６によって 印加される偏奇力を減じる。また逆の場合には、逆にする。背圧の適当な調整に よって、アクチュエータの最適な動作が達成でき、アクチュエータをドアの開閉 に用いたり、車両の空気ばねサスペンションとして用いたり、また他の幾つかの 用途に用いたりした場合に、動作圧力と背圧を最大限安全で快適なものに容易く 調整可能となる。 作動流体の前進運動室５内への導入を適当に制御するのに用いられる弁Ｖある いは他の弁は、ピストン２がシリンダ内で所定の距離を移動した時点でピストン の前方への運動を反転させるように構成されている。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年１月１８日（１９９９．１．１８） 【補正内容】 請求の範囲（補正後） １． 前進運動室（５）と後退運動室（７）とを画定するシリンダ（１）と、該 シリンダ（１）内を往復可能で、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７） を分離するピストン（２）とを有する種類の空気式往復アクチュエータ（１−３ ）を作動させる方法であって、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７）が 共に実質的にゼロ圧力にある状態で気体様作動流体を流入口（４）から前記前進 運動室内に流入させることによって該前進運動室を拡大させる方向への始動スト ロークを開始する空気式往復アクチュエータを作動させる方法において、 所定の大きさ（４）の背圧が前記後退運動室（７）に生じるまで、始動ストロ ーク中も作動流体を前記流入口（４）から前記後退運動室（７）内に流入させ、 その後該後退運動室（７）を閉鎖し、それによって前記後退運動室（７）が前 記ピストン（２）の動作を緩和するための緩衝室を形成して、始動ストローク中 の該ピストンの超過速度を防止すること、および 前記後退運動室（７）の圧力が前記所定の大きさに達したことに応答して前記 流入口（４）と前記後退運動室（７）の間の流路（２８、２９、３１）を閉鎖す ることができる圧力制御弁装置（２０、２１）を経由して前記作動流体の前記流 入口（４）から後退運動室（７）内への流入が行われることを特徴とする空気式 往復アクチュエータ（１−３）の作動方法。 ２． 始動ストロークの完了と同時に前記前進運動室（５）を脱気する一方、前 記後退運動室（７）の閉鎖状態を維持することによって、該後退運動室（７）を 拡大させることを特徴とする、請求項１に記載の方法。 ３． 作動流体の流入口（４）を有し、前進運動室（５）と後退運動室（７）と を画定するシリンダ（１）と、 該シリンダ内を往復可能で、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７）を 分離するピストン（２）と、 前記流入口（４）と前記前進運動室（５）との間に延在する第１流体路（Ｖ１ 、Ｖ２）を経由して前記前進運動室に流出入する作動流体の流れを制御する弁装 置（Ｖ、２０、２１）とを有する空気式アクチュエータにおいて、 前記弁装置（Ｖ、２０、２１）が圧力制御弁ユニット（２０、２１）を有し、 該圧力制御弁ユニットは前記流入口（４）と前記後退運動室（７）との間に延在 し、前記流入口（４）への所定の第１圧力の印加に応答して開放され作動流体を 前記流入口（４）から前記後退運動室に導入可能になっており、また前記第１圧 力よりも低い所定の第２圧力による前記後退運動室（７）の加圧に応答して閉鎖 され前記後退運動室（７）からの作動流体の流れを遮断可能となっていること、 および 前記圧力制御弁ユニット（２０、２１）が、 第１弁部材（２５）と、該第１弁部材（２５）に関係づけられた第１弁座と、 前記第１弁部材（２５）を前記第２弁座と封止係合する閉位置に偏奇させるばね （２６）とを有し、前記所定の第１圧力によってばね偏奇に対抗して開位置に変 位可能な第１弁（２１）と、 第２弁部材（２２）と、該第２弁部材（２２）に関係づけられた第２弁座と、 前第２弁部材（２２）を前記第２弁座と封止係合する閉位置に偏奇させるばね（ ２３）とを有する第２弁（２０）と、 前記第１弁部材（２６）が閉位置にある時には該第１弁部材によって前記第２ 弁部材（２２）を開位置に保持し、前記第１弁部材（２５）の開位置への変位に 応じて前記第２弁部材（２２）が閉位置に移動するのを許す弁作動部材（２４） とを有することを特徴とする空気式アクチュエータ。 ４． 前記弁作動部材（２４）が前記第１及び第２弁部材（２５、２２）間に位 置する押し棒を有し、前記第１及び第２ばね（２６、２３）が前記弁部材を互い に反対方向に偏奇させる、請求項３に記載の空気式アクチュエータ。 ５． 前記圧力制御弁ユニット（２１、２０）が前記第１圧力を変化させるため の弁調整装置（２７）を有する、請求項３または４に記載の空気式アクチュエー タ。 ６． 前記弁調製装置が前記第１ばね（２６）の偏奇を変化させるための調整ね じ（２７）を有する、請求項４に従属時の請求項５に記載の空気式アクチュエー タ。 ７． 前記シリンダ（１）の一端から突出するピストン棒（３）をピストンに設 けるとともに、該シリンダの他端にシリンダヘッド（８）を設け、前記圧力制御 弁ユニット（２１、２０）を該シリンダヘッド（８）に組み込んだ、請求項３か ら６のいずれか一つに記載の空気式アクチュエータ。 ８． 前記作動流体の流入口（４）を１つだけ有し、該流入口（４）を前記シリ ンダヘッド（８）に設け、前記第２流路（２８、２９、３１）と前記後退運動室 （７）に連通する軸方向に延在する経路（１１ａ）を前記シリンダ（１）の壁に 設けた、請求項８に記載の空気式アクチュエータ。 ９． 前記流入口（４）と前記前進運動室（５）に連通する軸方向に延在する経 路（１１ｂ）を少なくとも１つ前記シリンダ（１）の壁に設けた、請求項３から ９のいずれか一つに記載の空気式アクチュエータ。

───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 前進運動室（５）と後退運動室（７）とを画定するシリンダ（１）と、該 シリンダ（１）内を往復可能で、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７） を分離するピストン（２）とを有する種類の空気式往復アクチュエータ（１−３ ）を作動させる方法であって、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７）が 共に実質的にゼロ圧力にある状態で気体様作動流体を流入口（４）から前記前進 運動室内に流入させることによって該前進運動室を拡大させる方向への始動スト ロークを開始する空気式往復アクチュエータを作動させる方法において、 所定の大きさ（４）の背圧が前記後退運動室（７）に生じるまで、始動ストロ ーク中も作動流体を前記流入口（４）から前記後退運動室（７）内に流入させ、 その後該後退運動室（７）を閉鎖し、それによって前記後退運動室（７）が前 記ピストン（２）の動作を緩和するための緩衝室を形成して、始動ストローク中 の該ピストンの超過速度を防止することを特徴とする空気式往復アクチュエータ （１−３）の作動方法。 ２． 前記後退運動室（７）の圧力が前記所定の大きさに達したことに応答して 前記流入口（４）と前記後退運動室（７）の間の流路（２８、２９、３１）を閉 鎖することができる圧力制御弁装置（２０、２１）を経由して前記作動流体を前 記流入口（４）から後退運動室（７）内に流入させることを特徴とする、請求項 １に記載の方法。 ３． 始動ストロークの完了と同時に前記前進運動室（５）を脱気する一方、前 記後退運動室（７）の閉鎖状態を維持することによって、該後退運動室（７）を 拡大させることを特徴とする、請求項１あるいは２に記載の方法。 ４． 作動流体の流入口（４）を有し、前進運動室（５）と後退運動室（７）と を画定するシリンダ（１）と、 該シリンダ内を往復可能で、前記前進運動室（５）と前記後退運動室（７）を 分離するピストン（２）と、 前記流入口（４）と前記前進運動室（５）との間に延在する第１流体路（Ｖ１ 、Ｖ２）を経由して前記前進運動室に流出入する作動流体の流れを制御する弁装 置（Ｖ、２０、２１）とを有する空気式アクチュエータにおいて、 前記弁装置（Ｖ、２０、２１）か圧力制御弁ユニット（２０、２１）を有し、 該圧力制御弁ユニットは前記流入口（４）と前記後退運動室（７）との間に延在 し、前記流入口（４）への所定の第１圧力の印加に応答して開放され作動流体を 前記流入口（４）から前記後退運動室に導入可能になっており、また前記第１圧 力よりも低い所定の第２圧力による前記後退運動室（７）の加圧に応答して閉鎖 され前記後退運動室（７）からの作動流体の流れを遮断可能となっていることを 特徴とする空気式アクチュエータ。 ５． 前記圧力制御弁ユニット（２０、２１）が、 第１弁部材（２５）と、該第１弁部材（２５）に関係づけられた第１弁座と、 前記第１弁部材（２５）を前記第２弁座と封止係合する閉位置に偏奇させるばね （２６）とを有し、前記所定の第１圧力によってばね偏奇に対抗して開位置に変 位可能な第１弁（２１）と、 第２弁部材（２２）と、該第２弁部材（２２）に関係づけられた第２弁座と、 前記第２弁部材（２２）を前記第２弁座と封止係合する閉位置に偏奇させるばね とを有する第２弁（２０）と、 前記第１弁部材（２６）が閉位置にある時には該第１弁部材によって前記第２ 弁部材（２２）を開位置に保持し、前記第１弁部材（２５）の開位置への変位に 応じて前記第２弁部材（２２）が閉位置に移動するのを許す弁作動部材（２４） とを有する、請求項４に記載の空気式アクチュエータ。 ６． 前記弁作動部材（２４）が前記第１及び第２弁部材（２５、２２）間に位 置する押し棒を有し、前記第１及び第２ばね（２６、２３）が前記弁部材を互い に反対方向に偏奇させる、請求項５に記載の空気式アクチュエータ。 ７． 前記圧力制御弁ユニット（２１、２０）が前記第１圧力を変化させるため の弁調整装置（２７）を有する、請求項４から６のいずれか一つに記載の空気式 アクチュエータ。 ８． 前記弁調製装置が前記第１ばね（２６）の偏奇を変化させるための調整ね じ（２７）を有する、請求項６に従属時の請求項７に記載の空気式アクチュエー タ。 ９． 前記シリンダ（１）の一端から突出するピストン棒（３）をピストンに設 けるとともに、該シリンダの他端にシリンダヘッド（８）を設け、前記圧力制御 弁ユニット（２１、２０）を該シリンダヘッド（８）に組み込んだ、請求項４か ら８のいずれか一つに記載の空気式アクチュエータ。 １０． 前記作動流体の流入口（４）を１つだけ有し、該流入口（４）を前記シ リンダヘッド（８）に設け、前記第２流路（２８、２９、３１）と前記後退運動 室（７）に連通する軸方向に延在する経路（１１ａ）を前記シリンダ（１）の壁 に設けた、請求項９に記載の空気式アクチュエータ。 １１． 前記流入口（４）と前記前進運動室（５）に連通する軸方向に延在する 経路（１１ｂ）を少なくとも１つ前記シリンダ（１）の壁に設けた、請求項４か ら１０のいずれか一つに記載の空気式アクチュエータ。