JP2001356480A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項1】
CF2=CX12(ただし、X1は水素原子またはフッ素原子、X2は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数3以下のパーフルオロアルキル基または炭素数3以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す)で表される含フッ素モノマーのモノマー単位(a)、脂環型エチレン性モノマーのモノマー単位(b)、式1で表されるモノマーのモノマー単位のエステル結合を加水分解した後、生成する水酸基を酸によって水酸基に再生可能な基でブロックしたモノマー単位(c)を含む含フッ素ポリマー(A)、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物(B)および有機溶媒(C)を含むことを特徴とするレジスト組成物。
CH2=C(CF3)OCOR 式1
(式中、Rは炭素数1ないし6のアルキル基を表す。)
【請求項2】
CF 2 =CX 1 2 (ただし、X 1 は水素原子またはフッ素原子、X 2 は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数3以下のパーフルオロアルキル基または炭素数3以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す)で表される含フッ素モノマーのモノマー単位(a)、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位(b)、2−アシルオキシ−3,3,3−トリフルオロプロペンのモノマー単位を含む含フッ素ポリマー。
CF2=CX12(ただし、X1は水素原子またはフッ素原子、X2は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数3以下のパーフルオロアルキル基または炭素数3以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す)で表される含フッ素モノマーのモノマー単位(a)、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位(b)、式1に示す2−アシルオキシ−3,3,3−トリフルオロプロペンのモノマー単位のエステル結合を加水分解した後、生成した水酸基を酸により再生可能な基でブロックしたモノマー単位(c)を含む含フッ素ポリマー(A)、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物(B)および有機溶媒(C)を含むことを特徴とするレジスト組成物。
CH 2 =C(CF 3 )OCOR 式1
(式中、Rは炭素数1ないし6のアルキル基を表す。)
CF 2 =CX 1 2 (ただし、X 1 は水素原子またはフッ素原子、X 2 は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数3以下のパーフルオロアルキル基または炭素数3以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す)で表される含フッ素モノマーのモノマー単位(a)、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位(b)、2−アシルオキシ−3,3,3−トリフルオロプロペンのモノマー単位を含む含フッ素ポリマー。
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