JP2001356480A5 - - Google Patents
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＦ2＝ＣＸ1Ｘ2（ただし、Ｘ1は水素原子またはフッ素原子、Ｘ2は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、式１で表されるモノマーのモノマー単位のエステル結合を加水分解した後、生成する水酸基を酸によって水酸基に再生可能な基でブロックしたモノマー単位（ｃ）を含む含フッ素ポリマー（Ａ）、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物（Ｂ）および有機溶媒（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）ＯＣＯＲ 式１
（式中、Ｒは炭素数１ないし６のアルキル基を表す。）
【請求項２】
ＣＦ 2 ＝ＣＸ 1 Ｘ 2 （ただし、Ｘ 1 は水素原子またはフッ素原子、Ｘ 2 は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、２−アシルオキシ−３，３，３−トリフルオロプロペンのモノマー単位を含む含フッ素ポリマー。
【請求項１】
ＣＦ2＝ＣＸ1Ｘ2（ただし、Ｘ1は水素原子またはフッ素原子、Ｘ2は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、式１で表されるモノマーのモノマー単位のエステル結合を加水分解した後、生成する水酸基を酸によって水酸基に再生可能な基でブロックしたモノマー単位（ｃ）を含む含フッ素ポリマー（Ａ）、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物（Ｂ）および有機溶媒（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）ＯＣＯＲ 式１
（式中、Ｒは炭素数１ないし６のアルキル基を表す。）
【請求項２】
ＣＦ 2 ＝ＣＸ 1 Ｘ 2 （ただし、Ｘ 1 は水素原子またはフッ素原子、Ｘ 2 は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、２−アシルオキシ−３，３，３−トリフルオロプロペンのモノマー単位を含む含フッ素ポリマー。
ＣＦ2＝ＣＸ1Ｘ2（ただし、Ｘ1は水素原子またはフッ素原子、Ｘ2は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、式１に示す２−アシルオキシ−３，３，３−トリフルオロプロペンのモノマー単位のエステル結合を加水分解した後、生成した水酸基を酸により再生可能な基でブロックしたモノマー単位（ｃ）を含む含フッ素ポリマー（Ａ）、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物（Ｂ）および有機溶媒（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
ＣＨ 2 ＝Ｃ（ＣＦ 3 ）ＯＣＯＲ 式１
（式中、Ｒは炭素数１ないし６のアルキル基を表す。）
ＣＨ 2 ＝Ｃ（ＣＦ 3 ）ＯＣＯＲ 式１
（式中、Ｒは炭素数１ないし６のアルキル基を表す。）
ＣＦ
2
＝ＣＸ
1
Ｘ
2
（ただし、Ｘ
1
は水素原子またはフッ素原子、Ｘ
2
は水素原子、フッ素原子、塩素原子、炭素数３以下のパーフルオロアルキル基または炭素数３以下のパーフルオロアルコキシ基、を表す）で表される含フッ素モノマーのモノマー単位（ａ）、脂環基型エチレン性モノマーのモノマー単位（ｂ）、２−アシルオキシ−３，３，３−トリフルオロプロペンのモノマー単位を含む含フッ素ポリマー。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000176604A JP4461575B2 (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | レジスト組成物 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001356480A JP2001356480A (ja) | 2001-12-26 |
| JP2001356480A5 true JP2001356480A5 (ja) | 2007-06-07 |
| JP4461575B2 JP4461575B2 (ja) | 2010-05-12 |
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ID=18678314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000176604A Expired - Fee Related JP4461575B2 (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | レジスト組成物 |
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| JP (1) | JP4461575B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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| JP4232632B2 (ja) | 2001-10-03 | 2009-03-04 | ダイキン工業株式会社 | 新規な含フッ素重合体およびそれを用いたレジスト組成物ならびに新規な含フッ素単量体 |
| JP2006335774A (ja) * | 2003-01-15 | 2006-12-14 | Daikin Ind Ltd | レジスト用含フッ素重合体の製造方法 |
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2000
- 2000-06-13 JP JP2000176604A patent/JP4461575B2/ja not_active Expired - Fee Related
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