JP2001347130A - ガス処理装置およびガス処理方法 - Google Patents
ガス処理装置およびガス処理方法Info
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- JP2001347130A JP2001347130A JP2000170722A JP2000170722A JP2001347130A JP 2001347130 A JP2001347130 A JP 2001347130A JP 2000170722 A JP2000170722 A JP 2000170722A JP 2000170722 A JP2000170722 A JP 2000170722A JP 2001347130 A JP2001347130 A JP 2001347130A
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- adsorption
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- adsorption tank
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 活性炭素繊維材の吸着能力を従来よりも有効
に利用できるようにするとともに、被処理ガスからの有
機溶剤の回収効率を上げる。 【解決手段】 活性炭素繊維材を吸着エレメントとした
吸着処理状態と脱着状態を交互に切り替えるガス処理装
置において、脱着時に凝集したドレンが逆流しないよう
に吸着槽の底部の排出管入り口にバッフルを設け、凝縮
液の逆流による活性炭素繊維材の濡れを防止する。
に利用できるようにするとともに、被処理ガスからの有
機溶剤の回収効率を上げる。 【解決手段】 活性炭素繊維材を吸着エレメントとした
吸着処理状態と脱着状態を交互に切り替えるガス処理装
置において、脱着時に凝集したドレンが逆流しないよう
に吸着槽の底部の排出管入り口にバッフルを設け、凝縮
液の逆流による活性炭素繊維材の濡れを防止する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、繊維活性炭（以下
ＡＣＦと記す）を吸着剤として、有機物の吸着を行うと
同時に、吸着した有機物を脱着させることを可能とした
ガス吸脱着装置及びこの装置を用いた処理方法に関する
ものである。
ＡＣＦと記す）を吸着剤として、有機物の吸着を行うと
同時に、吸着した有機物を脱着させることを可能とした
ガス吸脱着装置及びこの装置を用いた処理方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、有害大気汚染物質に対する排出濃
度規制が強化されてきており、ガス処理装置からの排ガ
スの濃度を低減することが望まれている。
度規制が強化されてきており、ガス処理装置からの排ガ
スの濃度を低減することが望まれている。
【０００３】従来、上記ガス処理装置は、活性炭繊維素
材で被処理ガス（つまり排ガス）の有機溶剤を吸着する
１対以上の吸着槽と、各吸着槽に対する被処理ガス供給
手段と脱着用ガス供給手段とを設け、前記吸着槽に被処
理ガスを供給する吸着処理状態と、脱着用ガスを供給す
る脱着処理状態とに切り替える切り替え手段を設けて構
成してあった。
材で被処理ガス（つまり排ガス）の有機溶剤を吸着する
１対以上の吸着槽と、各吸着槽に対する被処理ガス供給
手段と脱着用ガス供給手段とを設け、前記吸着槽に被処
理ガスを供給する吸着処理状態と、脱着用ガスを供給す
る脱着処理状態とに切り替える切り替え手段を設けて構
成してあった。
【０００４】上記のガス処理装置はＡＣＦが使用されて
いる。ＡＣＦは低濃度の有機ガスを吸着する機能に優
れ、古くから吸着剤として使われている。たとえば、Ａ
ＣＦを支持体に固定し、または自己支持にて円筒状に構
成し、芯材内にたて型に配設した装置が特開昭５１−３
８２７８号公報、特公報６４−１１３２６号に提案され
ている。また、実公平７−２０２８，２０２９，２０３
０にも同様な吸脱着装置が提案されている。これらは、
いずれも、ＡＣＦを格納している芯材に蒸気を噴出し、
ＡＣＦに吸着された有機物を脱着させるものである。
いる。ＡＣＦは低濃度の有機ガスを吸着する機能に優
れ、古くから吸着剤として使われている。たとえば、Ａ
ＣＦを支持体に固定し、または自己支持にて円筒状に構
成し、芯材内にたて型に配設した装置が特開昭５１−３
８２７８号公報、特公報６４−１１３２６号に提案され
ている。また、実公平７−２０２８，２０２９，２０３
０にも同様な吸脱着装置が提案されている。これらは、
いずれも、ＡＣＦを格納している芯材に蒸気を噴出し、
ＡＣＦに吸着された有機物を脱着させるものである。
【０００５】ＡＣＦの含水率はＡＣＦの吸着能力に大き
く影響し、含水率が高くなると、吸着能力は極端に低下
する。このため、前記提案においては、蒸気の噴出方向
を上または下から、あるいは芯材の中央内部方向からな
どいろいろ工夫が凝らされている。しかし、芯材下部の
ＡＣＦにどうしても運転開始時など、噴出する蒸気中の
ドレンが飛散しＡＣＦに水分が含まれて、ガス吸着能を
低下させるという問題があった。
く影響し、含水率が高くなると、吸着能力は極端に低下
する。このため、前記提案においては、蒸気の噴出方向
を上または下から、あるいは芯材の中央内部方向からな
どいろいろ工夫が凝らされている。しかし、芯材下部の
ＡＣＦにどうしても運転開始時など、噴出する蒸気中の
ドレンが飛散しＡＣＦに水分が含まれて、ガス吸着能を
低下させるという問題があった。
【０００６】さらにまた、上記に示したガス吸着エレメ
ントを用いたガス処理装置において、長期にわたり吸脱
着が安定して連続運転することは困難とされていた。即
ち、ガスの吸着したエレメントに蒸気を噴出させ、吸着
したガスを脱着させることを交互に繰り返して使用する
場合、特に低沸点溶剤などは外気の温度などに影響著し
く受け、溶剤回収部へ繋がる配管から凝縮液が逆流する
ことがしばしばある。この逆流により、ガス処理エレメ
ント内のＡＣＦに凝縮液が接触し、吸着能力を大きく低
下させる問題があり、連続運転にも支障をきたしてい
た。
ントを用いたガス処理装置において、長期にわたり吸脱
着が安定して連続運転することは困難とされていた。即
ち、ガスの吸着したエレメントに蒸気を噴出させ、吸着
したガスを脱着させることを交互に繰り返して使用する
場合、特に低沸点溶剤などは外気の温度などに影響著し
く受け、溶剤回収部へ繋がる配管から凝縮液が逆流する
ことがしばしばある。この逆流により、ガス処理エレメ
ント内のＡＣＦに凝縮液が接触し、吸着能力を大きく低
下させる問題があり、連続運転にも支障をきたしてい
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ＡＣＦを用
いて有機ガス、特に低沸点溶剤の吸脱着を、高い効率で
かつ連続的に行うことを可能としたガス吸脱着装置及び
この装置を用いた処理方法に関するものである。
いて有機ガス、特に低沸点溶剤の吸脱着を、高い効率で
かつ連続的に行うことを可能としたガス吸脱着装置及び
この装置を用いた処理方法に関するものである。
【０００８】
【発明を解決するための手段】脱着を行っている時吸着
槽内にて凝縮した液は吸着槽下部の槽ドレンラインを通
りセパレータへ排出され、未凝縮の蒸気と溶剤は脱着ガ
スラインを通りコンデンサーへ行き凝縮した後、槽ドレ
ンラインに合流しセパレータへ排出される。例えば、第
１図の吸着槽Ｂ（連続運転のため、Ａ槽が吸着槽として
運転している時は、Ｂ槽は脱着槽となる）の下部から凝
縮液が槽ドレンライン８を通ってセパレータ１２に送ら
れるが、この時槽ドレンライン８中に滞留していた溶剤
を加熱するため溶剤が沸騰し、その結果溶剤を含んだ凝
縮液が逆流する。外気温が低く、被処理ガスが低沸点溶
剤の場合などは、この傾向が顕著となる。
槽内にて凝縮した液は吸着槽下部の槽ドレンラインを通
りセパレータへ排出され、未凝縮の蒸気と溶剤は脱着ガ
スラインを通りコンデンサーへ行き凝縮した後、槽ドレ
ンラインに合流しセパレータへ排出される。例えば、第
１図の吸着槽Ｂ（連続運転のため、Ａ槽が吸着槽として
運転している時は、Ｂ槽は脱着槽となる）の下部から凝
縮液が槽ドレンライン８を通ってセパレータ１２に送ら
れるが、この時槽ドレンライン８中に滞留していた溶剤
を加熱するため溶剤が沸騰し、その結果溶剤を含んだ凝
縮液が逆流する。外気温が低く、被処理ガスが低沸点溶
剤の場合などは、この傾向が顕著となる。
【０００９】本発明は、この凝縮液の逆流を防止するた
めに、吸着槽の開口部にバッフルを設置し、槽内への凝
縮液の逆流を防止するものである。バッフルとは、図２
に例が示されるように、平板に支柱を立て、排出口の上
に取りつけられたものである。この支柱の間は、自由に
蒸気、被処理ガス及び凝縮液の通過ができるもので、槽
内の圧バランス、気体の流れに影響を与えない。外気温
度が下がり、吸着槽内の凝縮液の量が増え逆流し吸着槽
内に入っても、このバッフルにあたり、ＡＣＦまでの凝
縮液の飛散を防止出来る。よって、ＡＣＦを被処理液で
濡らすこともなく、連続運転を可能とするものである。
めに、吸着槽の開口部にバッフルを設置し、槽内への凝
縮液の逆流を防止するものである。バッフルとは、図２
に例が示されるように、平板に支柱を立て、排出口の上
に取りつけられたものである。この支柱の間は、自由に
蒸気、被処理ガス及び凝縮液の通過ができるもので、槽
内の圧バランス、気体の流れに影響を与えない。外気温
度が下がり、吸着槽内の凝縮液の量が増え逆流し吸着槽
内に入っても、このバッフルにあたり、ＡＣＦまでの凝
縮液の飛散を防止出来る。よって、ＡＣＦを被処理液で
濡らすこともなく、連続運転を可能とするものである。
【００１０】バッフルの形状としては、上記以外に傘状
でもよく、また半球状でもよく、排出口に対して円錐
状、または末広がり状の形状が好ましい。また、排出口
の上部でＡＣＦの下部に位置するように支柱によって設
置される。材質としては、被処理ガスに含まれる有機溶
剤に溶解しないものなら何でもよい。また、支柱により
吸着槽より取り外しができるように設置され、掃除など
の時には、取り外して操作を容易にできる。
でもよく、また半球状でもよく、排出口に対して円錐
状、または末広がり状の形状が好ましい。また、排出口
の上部でＡＣＦの下部に位置するように支柱によって設
置される。材質としては、被処理ガスに含まれる有機溶
剤に溶解しないものなら何でもよい。また、支柱により
吸着槽より取り外しができるように設置され、掃除など
の時には、取り外して操作を容易にできる。
【００１１】有機ガスとしては、特に低沸点溶剤にその
効果が顕著である。通常これらのガスは蒸気と一緒に芯
材外へ排出されるが、芯材の外において冷却とともに水
層と溶剤層の２層に分離が起こる。一般に有機溶剤の方
の比重が大きく、２層の下側に貯まる。従って、芯材の
下部のガス排出口から凝縮液の逆流が発生した場合は主
に水が吹き上がり、ＡＣＦを濡らして水分を含むことに
なって、吸着能力を低下させてしまう。
効果が顕著である。通常これらのガスは蒸気と一緒に芯
材外へ排出されるが、芯材の外において冷却とともに水
層と溶剤層の２層に分離が起こる。一般に有機溶剤の方
の比重が大きく、２層の下側に貯まる。従って、芯材の
下部のガス排出口から凝縮液の逆流が発生した場合は主
に水が吹き上がり、ＡＣＦを濡らして水分を含むことに
なって、吸着能力を低下させてしまう。
【００１２】ここで言う有機ガスとは、塩化メチレン、
トリクロロエタン、トリクロロエチレン、四塩化炭素、
クロロホルム等の有機溶剤を指し、特に本発明において
は塩化メチレンなどの低沸点溶剤が適する。
トリクロロエタン、トリクロロエチレン、四塩化炭素、
クロロホルム等の有機溶剤を指し、特に本発明において
は塩化メチレンなどの低沸点溶剤が適する。
【００１３】このバッフル設置によりＡＣＦの凝縮液に
よる濡れもなくなり、常にＡＣＦは乾燥状態を維持する
ことが可能となり、吸脱着槽内の温度、相対湿度の制御
も容易になり、吸着効率が一層向上した。
よる濡れもなくなり、常にＡＣＦは乾燥状態を維持する
ことが可能となり、吸脱着槽内の温度、相対湿度の制御
も容易になり、吸着効率が一層向上した。
【００１４】さらに、芯材のＡＣＦは常時水分と接触す
ることがなくなり、吸着能力は維持されることから,吸
着槽として、また脱着槽とし連続的に切り替えが可能と
なった。この結果、本発明の装置は運転、停止時のスム
ースな操作とともに連続的に有機ガスの吸脱着が可能と
なり操作性に優れるとともに、長期期間にわたっての運
転も可能となった。
ることがなくなり、吸着能力は維持されることから,吸
着槽として、また脱着槽とし連続的に切り替えが可能と
なった。この結果、本発明の装置は運転、停止時のスム
ースな操作とともに連続的に有機ガスの吸脱着が可能と
なり操作性に優れるとともに、長期期間にわたっての運
転も可能となった。
【００１５】本発明においてＡＣＦとはアクリロニトリ
ル（ＰＡＮ）系繊維、レーヨン系、石炭ピッチ系、フェ
ノール樹脂系、石油ピッチ系など原料繊維を既存の方法
にて処理して得られた比表面積３００〜３０００ｍ2／
ｇ、繊維直径が２〜３０μｍ程度、繊維長さが０．５〜
１０ｍｍ程度、細孔半径が８〜２０Å程度、の繊維状活
性炭を使用するのが好ましい。
ル（ＰＡＮ）系繊維、レーヨン系、石炭ピッチ系、フェ
ノール樹脂系、石油ピッチ系など原料繊維を既存の方法
にて処理して得られた比表面積３００〜３０００ｍ2／
ｇ、繊維直径が２〜３０μｍ程度、繊維長さが０．５〜
１０ｍｍ程度、細孔半径が８〜２０Å程度、の繊維状活
性炭を使用するのが好ましい。
【００１６】また、この対策により、蒸気の噴出口は芯
材の上下、または芯材中央のいずれの位置でもよく、上
側の場合は、蒸気の自然落下の観点から優れ、下側の場
合はＡＣＦ下部のＡＣＦの濡れが少なく、中央の場合は
均一に蒸気が行き渡りやすいという点で優れ、装置の配
置する条件によって自由に選択することが可能となっ
た。
材の上下、または芯材中央のいずれの位置でもよく、上
側の場合は、蒸気の自然落下の観点から優れ、下側の場
合はＡＣＦ下部のＡＣＦの濡れが少なく、中央の場合は
均一に蒸気が行き渡りやすいという点で優れ、装置の配
置する条件によって自由に選択することが可能となっ
た。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施形態を図１
にて説明する。有機溶剤を含んだ溶剤混合ガス（被処理
ガス）Ｘはプレフィルター１（コンデンサー１０、セパ
レータ１２内に滞留しているガスは＊３，＊４を通って
再度このプレフィルター１に戻される）を通り、送風機
２にて吸着槽３（この時吸着槽４には、溶剤混合ガスに
送ることはなく、自動ダンパー６で封鎖されている。吸
着槽４内では、蒸気を噴出して、すでに吸着エレメント
５に吸着されたガスを脱着している状態である）に送ら
れ、吸着エレメント５でガス吸着が行なわれ、清浄空気
Ｙとして、吸着槽３の排気口１４より系外に排出され
る。凝縮液は、吸着槽４下部の槽ドレンライン８を通っ
てセパレータ１２に送られる。未凝縮の蒸気及び溶剤は
脱着ガスライン９を通って、コンデンサー１０へ送られ
る。コンデンサー１０からは高濃度の有機溶剤を含んだ
凝縮液が回収ライン１１を通り槽ドレンライン８に合流
してセパレータ１２へ送られる。
にて説明する。有機溶剤を含んだ溶剤混合ガス（被処理
ガス）Ｘはプレフィルター１（コンデンサー１０、セパ
レータ１２内に滞留しているガスは＊３，＊４を通って
再度このプレフィルター１に戻される）を通り、送風機
２にて吸着槽３（この時吸着槽４には、溶剤混合ガスに
送ることはなく、自動ダンパー６で封鎖されている。吸
着槽４内では、蒸気を噴出して、すでに吸着エレメント
５に吸着されたガスを脱着している状態である）に送ら
れ、吸着エレメント５でガス吸着が行なわれ、清浄空気
Ｙとして、吸着槽３の排気口１４より系外に排出され
る。凝縮液は、吸着槽４下部の槽ドレンライン８を通っ
てセパレータ１２に送られる。未凝縮の蒸気及び溶剤は
脱着ガスライン９を通って、コンデンサー１０へ送られ
る。コンデンサー１０からは高濃度の有機溶剤を含んだ
凝縮液が回収ライン１１を通り槽ドレンライン８に合流
してセパレータ１２へ送られる。
【００１８】この時、低沸点溶剤が混合された混合ガス
の場合に、特に外部温度が低下すればするほどこの槽ド
レンライン８に流れ込む量が多くなることにより、凝縮
液の吸着槽への逆流が顕著になり、吸着槽４に噴出し、
ＡＣＦを濡らしてしまう。このため本発明は槽ドレンラ
イン８の入り口、即ち吸着槽３，４の底部配管入り口に
バッフル１６を設けることにより、吸着槽３，４下部へ
の凝縮液の逆流を防止したものである。この結果、吸着
槽３、４を切り替え連続運転しても、常時系外に排出さ
れるガス濃度は低濃度でかつ一定化することが可能とな
った。
の場合に、特に外部温度が低下すればするほどこの槽ド
レンライン８に流れ込む量が多くなることにより、凝縮
液の吸着槽への逆流が顕著になり、吸着槽４に噴出し、
ＡＣＦを濡らしてしまう。このため本発明は槽ドレンラ
イン８の入り口、即ち吸着槽３，４の底部配管入り口に
バッフル１６を設けることにより、吸着槽３，４下部へ
の凝縮液の逆流を防止したものである。この結果、吸着
槽３、４を切り替え連続運転しても、常時系外に排出さ
れるガス濃度は低濃度でかつ一定化することが可能とな
った。
【００１９】バッフルの詳細を図２に拡大して示した。
支柱１７と逆流防止板１８から構成される。凝縮液の逆
流は、この逆流防止板にて防止できる。凝縮液はこの支
柱の間より槽ドレンラインに送られる。
支柱１７と逆流防止板１８から構成される。凝縮液の逆
流は、この逆流防止板にて防止できる。凝縮液はこの支
柱の間より槽ドレンラインに送られる。
【００２０】吸着エレメント５に吸着された溶剤は、吸
着槽４にて蒸気Ｗ１をエレメントに噴出させて、溶剤の
脱着を行う。蒸気の量は蒸気調整自動弁７にて制御され
る。また、この蒸気は吸着槽４の上部または、下部（図
１中の点線）より槽内に噴出される。
着槽４にて蒸気Ｗ１をエレメントに噴出させて、溶剤の
脱着を行う。蒸気の量は蒸気調整自動弁７にて制御され
る。また、この蒸気は吸着槽４の上部または、下部（図
１中の点線）より槽内に噴出される。
【００２１】この結果、溶剤混合ガスＸは清浄空気Ｙと
して系外に放出されるとともに、溶剤Ｚとして回収され
る。脱着用の蒸気Ｗ１は回収水Ｗ２として回収される。
して系外に放出されるとともに、溶剤Ｚとして回収され
る。脱着用の蒸気Ｗ１は回収水Ｗ２として回収される。
【００２２】以下に実施例を示す。塩化メチレンを９０
００ｐｐｍ含む４０℃の溶剤混合ガスを、風量７０Ｎｍ
3／分で送風機2より吸着槽３に送風した。吸着槽４で8
分間脱着を行い、その後自動ダンパー６で吸着槽３への
送風を封鎖し、次に吸着槽３の吸着エレメント５内に蒸
気を噴出した。この処置と同時に吸着槽４の自動ダンパ
ー６を開放し、今度は、この吸着槽４でガス吸着を行っ
た。この吸着と脱着の操作を繰り返し１０回以上実施し
た。系外に排出されるガスの濃度は、島津製作所製の総
炭化水素計の測定器を用いて測定した。
００ｐｐｍ含む４０℃の溶剤混合ガスを、風量７０Ｎｍ
3／分で送風機2より吸着槽３に送風した。吸着槽４で8
分間脱着を行い、その後自動ダンパー６で吸着槽３への
送風を封鎖し、次に吸着槽３の吸着エレメント５内に蒸
気を噴出した。この処置と同時に吸着槽４の自動ダンパ
ー６を開放し、今度は、この吸着槽４でガス吸着を行っ
た。この吸着と脱着の操作を繰り返し１０回以上実施し
た。系外に排出されるガスの濃度は、島津製作所製の総
炭化水素計の測定器を用いて測定した。
【００２３】バッフル１６をつけない場合についても同
様の条件で実施した。連続運転した時の排出ガス濃度を
図３，４に示した。
様の条件で実施した。連続運転した時の排出ガス濃度を
図３，４に示した。
【００２４】図４のグラフからわかるように、系外に排
出されるガス濃度は吸着槽３，４交互の切り替え運転に
おいても、安定し、かつ低濃度であることが明らかであ
る。連続運転してもガス濃度の変動も殆どない。これに
対して、バッフルのない場合は、図３から明らかなよう
にガス濃度の変動は大きい。
出されるガス濃度は吸着槽３，４交互の切り替え運転に
おいても、安定し、かつ低濃度であることが明らかであ
る。連続運転してもガス濃度の変動も殆どない。これに
対して、バッフルのない場合は、図３から明らかなよう
にガス濃度の変動は大きい。
【００２５】
【発明の効果】以上に説明したごとく、バッフルを設置
することにより低沸点溶剤を含む混合ガスの吸脱着が連
続的に安定に高効率に行えることが可能となり、産業界
に寄与すること大である。
することにより低沸点溶剤を含む混合ガスの吸脱着が連
続的に安定に高効率に行えることが可能となり、産業界
に寄与すること大である。
【図１】ガス吸着処理装置の基本処理フロー図例
【図２】バッフル１６の拡大図例
【図３】バッフル１６を設けない場合の排出ガス濃度
【図４】バッフル１６を設けた場合の排出ガス濃度
１ ：プレフィルター ２ ：送風機 ３ ：吸着槽（４が吸着槽として機能する時） ４ ：脱着槽（３が吸着槽として機能する時） ５ ：吸着エレメント ６ ：自動ダンパー ７ ：蒸気調整自動弁 ８ ：槽ドレンライン ９ ：脱着ガスライン １０：コンデンサー １１：回収液ライン １２：セパレータ １３：戻りガスライン １４：排気口 １５：蒸気ライン １６：バッフル（１７，１８の総称） １７：支柱 １８：逆流防止板 Ｘ ：溶剤混合ガス（被処理ガス） Ｙ ：清浄空気 Ｚ ：回収溶剤 Ｗ１：蒸気 Ｗ２：回収水 Ｗ３：冷却水
Claims (3)
- 【請求項１】活性炭素繊維素材で被処理ガスを吸着処理
する吸着槽を設け、前記吸着槽に対する被処理ガス供給
手段と脱着用ガス供給手段とを設けるとともに、前記吸
着槽に被処理ガスを供給する吸着処理状態と、脱着用ガ
スを供給する脱着用処理状態とに切り替え手段を設けた
ガス処理装置において、前記吸着槽の下部から溶剤回収
部（セパレータ）に繋がる配管（槽ドレンライン）の入
り口にバッフルを設けたことを特徴とするガス吸着処理
装置。 - 【請求項２】筒状の芯材の上部または下部または中央部
にスチーム噴出口を設けたガス吸着エレメントを用いる
ことを特徴とした請求項１記載のガス処理装置。 - 【請求項３】請求項１乃至２記載のいずれかのガス処理
装置を用いて、有機溶剤含有ガスを処理する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000170722A JP2001347130A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | ガス処理装置およびガス処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000170722A JP2001347130A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | ガス処理装置およびガス処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001347130A true JP2001347130A (ja) | 2001-12-18 |
Family
ID=18673391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000170722A Withdrawn JP2001347130A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | ガス処理装置およびガス処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001347130A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010214266A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Fujifilm Corp | 揮発性有機溶媒の回収設備及び方法 |
| CN109731440A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-05-10 | 上海锅炉厂有限公司 | 一种同心双筒吸附处理装置 |
-
2000
- 2000-06-07 JP JP2000170722A patent/JP2001347130A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010214266A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Fujifilm Corp | 揮発性有機溶媒の回収設備及び方法 |
| CN109731440A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-05-10 | 上海锅炉厂有限公司 | 一种同心双筒吸附处理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070525 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080624 |