JP2001336797A - クリーンルーム内における防爆装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 清浄空気の取り入れ口を有する各種クリーン
ルーム内において、既存設備が有する点火源となる電気
機器類を取り囲むようにチャンバ７を設け、前記清浄空
気の取り入れ口近傍から前記チャンバ７内に清浄空気を
供給して増圧し、常に前記チャンバ７内が外部より陽圧
となるようにしたクリーンルーム内における防爆装置。 【効果】 非防爆型である既設の設備そのものは全く変
更せずに内圧防爆に対応した設備とすることができ、改
造に要する費用を抑制することができるという効果を得
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
に設置される設備を防爆仕様とすることができるクリー
ンルーム内における防爆装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術として、薬品等の調合設備
は、クリーンルーム内において液タンク、熱交換器、サ
ニタリーポンプ、必要に応じてニーダー等を備えてお
り、調合された薬品は別のクリーンルームに設置された
フィラに供給される。薬品として爆発性ガスを発生する
ような揮発性のアルコール類を取り扱う場合、その爆発
性ガスがクリーンルーム内に充満し、爆発の危険性が増
すことになる。そのため、クリーンルーム内にある点火
源となる電気機器を有する装置は爆発性ガスから隔離し
た防爆仕様にしなければならない。すなわち、上記した
調合設備のうちサニタリーポンプには電動モータが付い
ているので、防爆化が必要となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術においては、一般に、防爆仕様のポンプなどは非
防爆のものと比較して点火源となる恐れがある部分を周
囲の雰囲気から隔離する構造となっているのでサイズが
大きい。そのため既存の設備を防爆仕様に改造する場
合、ポンプのサイズが異なるために接続配管までも交換
しなければならなくなり、非常に大掛かりな作業となる
という問題があった。また、クリーンルーム内に新たに
設備を設置する場合にも、高価な防爆型のポンプを使用
しなければならなかった。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑み、クリー
ンルーム内に設置された既存の設備を交換することな
く、防爆対応とすることができ、また、クリーンルーム
内に新たに設置される防爆対応の設備に要する費用を抑
制することができるようにしたクリーンルーム内におけ
る防爆装置を提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図ったもので、清浄空気の取り入れ口を有するクリ
ーンルーム内において、設置される設備が有する点火源
となる電気機器類を取り囲むようにチャンバを設け、前
記清浄空気の取り入れ口近傍から前記チャンバ内に清浄
空気を供給して増圧し、常に前記チャンバ内が外部より
陽圧にするという技術手段を採用した。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面で詳細に
説明する。

【０００７】先ず、図４に基づいてクリーンルーム２０
内に設けられる非防爆仕様の調合設備について概略説明
する。調合タンク１内に一旦蓄えられた薬液はサニタリ
ーポンプ２によって熱交換器３を経て別のクリーンルー
ム２０内に設置されるフィラ（図面上は省略）に送液さ
れる。また、熱交換器３に使用された蒸気は回収タンク
４に一旦供給され貯留された後、ポンプ５によって埋設
された配管６を通って室外に排出されるように構成され
ている。これらの設備がクリーンルーム２０内に設置さ
れ、このクリーンルーム２０の天井部には、外部から清
浄空気を導入するＨＥＰＡフィルタ１９が数台備え付け
られている。

【０００８】次に、本発明の第一実施例について、図１
および図２に基づいて、クリーンルーム２０内の調合設
備について説明する。一旦調合タンク１に蓄えられた薬
液はサニタリーポンプ２によって熱交換器３を経て、隣
接する別のクリーンルーム２０内にあるフィラ（図面上
は省略）に送液される。また、熱交換器３に使用された
蒸気は回収タンク４に一旦供給され貯留された後、ポン
プ５によって埋設された配管６を通って室外に排出され
る。この基本構成は図４に示した非防爆仕様の場合とな
んら異なるところはないものである。

【０００９】このような設備において、爆発性ガスを発
生する揮発性のアルコール類を取り扱う場合に、設備を
防爆仕様に変更しなければならない。

【００１０】防爆仕様とする場合について詳しく説明す
ると、点火源となる電動モータが付属される送液用のサ
ニタリーポンプ２および蒸気排出用ポンプ５はそれぞれ
耐火チャンバ７，８によって囲まれ、外部の雰囲気と遮
断される。また、ＨＥＰＡフィルタ１９近傍に空気取り
入れ口１０を設けるようにしたダクト９がブロア１１の
吸入口に接続されるとともに、ブロア１１の排出口から
耐火チャンバ７へダクト１２が接続される。ダクト１２
の途中から分岐するようにして耐火チャンバ８にダクト
１３が接続される。これより、ＨＥＰＡフィルタ１９か
ら出た清浄空気は、ブロア１１の駆動によって耐火チャ
ンバ７および８内に供給されるようになっている。

【００１１】また、ブロア１１は防爆型、又は安全増防
爆型のものがクリーンルーム２０内に設けられ、ブロア
制御盤１４によってその駆動が制御される。なお、ブロ
ア制御盤１４内には点火源となるリレー等が用いられて
いるため、防爆型とする必要があり、外部から加圧空気
が供給されることによって内圧防爆型となっている。

【００１２】耐火チャンバ７は、ステンレスからなる枠
にパッキンを介してポリカーボネイトからなるパネルが
取り付けられている構造のものである。耐火チャンバ７
には、清浄空気が供給されるダクト９との接続口から離
れた位置にブロア１１による清浄空気の供給量より排気
量が少となるような大きさの排気口１５が設けられてい
る。また、耐火チャンバ７には差圧計１６が取り付けら
れていて、耐火チャンバ７の外部と内部との圧力差を監
視するようになっている。耐火チャンバ８にも同様な排
気口１５が設けられ、かつ差圧計１６が取り付けられて
いる。差圧計１６については、接点式のものを用いるこ
とによって、チャンバの内圧が低下した異常状態となっ
た場合に自動的に警報を鳴らしたり、クリーンルーム２
０内の換気を行うように制御することも可能である。

【００１３】なお、符号１７、１８はブロア制御盤１４
とブロア１１、差圧計１６とを結ぶ電気配線であり、防
爆対応型となっている。

【００１４】以上のような設備において、ブロア１１を
駆動すると、ＨＥＰＡフィルタ１９からクリーンルーム
２０内に導入されたばかりの清浄空気がダクト９の空気
取り入れ口１０から吸引されて、耐火チャンバ７および
８内に供給される。そして、清浄空気によって満たされ
た耐火チャンバ７および８内の圧力は差圧計１６によっ
て監視され、常にチャンバ外部より陽圧になるようにブ
ロア１１がブロア制御盤１４によって制御される。この
ため、耐火チャンバ７内は常に清浄空気で満たされ爆発
性のガスが浸入することはなく、点火源である電動モー
タは爆発性ガスから隔離されることになる。

【００１５】この第一実施例の変形例として、非防爆型
の汎用ブロアを用いて、サニタリーポンプとは別にブロ
ア自体を耐火チャンバで囲んで、ブロアから排出される
空気の一部をこの耐火チャンバ内に戻すようにして陽圧
とするようにしても良い。

【００１６】また、ブロア制御盤１４には外部の空気源
から加圧空気を供給しているが、防爆型ブロア１１の下
流の加圧空気を供給するようにしても良い。

【００１７】なお、熱交換器２は蒸気式のものを使用す
る場合には電気部分はないので、特に防爆化を考慮する
必要はないものである。

【００１８】また、図３に示す第二実施例は、非防爆型
の汎用ブロア２１を採用し、このブロア自体を耐火チャ
ンバ２２内に設置したものである。その他の構成は、第
一実施例と同一なので詳細な説明は省略する。

【００１９】このようにいずれの実施例においても、既
存の非防爆型のサニタリーポンプをそのまま使用して、
防爆化に対応した設備とすることができるものである。
また、本実施例は薬品の調合設備について適用した例で
あるが、これに限定されるものではなく、フィラに殺菌
用洗浄水を送液する設備などにも適用可能である。

【００２０】以上、既存の設備を防爆化に対応した設備
に変更する場合について説明したが、クリーンルーム内
に新たに設備を設置する場合にも、非防爆型のサニタリ
ーポンプを使用することができる。さらに、アイソレー
タの中で爆発性ガスを発生するような液体を取り扱う場
合等にも適用できる。

【００２１】

【発明の効果】本発明は、以上の構成を採用した結果、
次のような効果を得ることができる。 （１）クリーンルーム内の非防爆設備を防爆設備に変更
する場合、非防爆型である既設の設備そのものは全く変
更せずに内圧防爆に対応した設備とすることができ、改
造に要する費用を抑制することができる。 （２）クリーンルーム内に新設される防爆設備について
も、適宜非防爆型の装置を用いることができ、費用を低
減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例を示すクリーンルーム内に
おける防爆構造の概略説明図である。

【図２】本発明の第一実施例における要部斜視図であ
る。

【図３】本発明の第二実施例における要部斜視図であ
る。

【図４】クリーンルーム内における非防爆仕様の概略説
明図である。

【符号の説明】

１‥‥調合タンク ２‥‥サニタ
リーポンプ ３‥‥熱交換器 ４‥‥回収タ
ンク ５‥‥ポンプ ６‥‥配管 ７‥‥耐火チャンバ ８‥‥耐火チ
ャンバ ９‥‥ダクト １０‥‥空気取
り入れ口 １１‥‥ブロア １２‥‥ダク
ト １３‥‥ダクト １４‥‥ブロ
ア制御盤 １５‥‥排気口 １６‥‥差圧
計 １７‥‥電気配線 １８‥‥電気
配線 １９‥‥ＨＥＰＡフィルタ ２０‥‥クリ
ーンルーム ２１‥‥非防爆型の汎用ブロア ２２‥‥耐火
チャンバ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 清浄空気の取り入れ口を有するクリーン
   ルーム内において、設置される設備が有する点火源とな
   る電気機器類を取り囲むようにチャンバを設け、前記清
   浄空気の取り入れ口近傍から前記チャンバ内に清浄空気
   を供給して増圧し、常に前記チャンバ内が外部より陽圧
   となるように構成したことを特徴とするクリーンルーム
   内における防爆装置。