JP2001330486A - 予め定められた気体の流れの方向への気体の流れの速度を測定するための光フローセンサおよびその方法 - Google Patents

予め定められた気体の流れの方向への気体の流れの速度を測定するための光フローセンサおよびその方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光フローセンサは、気体の流れの方向と平行
な方向に間隔をあけて設けられた複数の検出器を用いて
空気または他の気体の流れの速度を定量する。 【解決手段】 光ビームは気体の流れを横切って送信さ
れ、検出器に当たる。気体中の渦および微粒子によって
気体の流れの中で発生するシンチレーションはすべての
検出器で検出されるが、気体の流れの方向に検出器が縦
方向に分離されるためにわずかに異なるタイミングで検
出される。検出器の出力信号は調整され増幅されかつ変
換されてデジタルの形となる。次にデジタル信号プロセ
ッサ内のデジタル化された信号上で、時間的な相互相関
の分析が行なわれる。異なる検出器からの信号の間の時
間差は次に電子的に計算される。気体の流れの速度は次
に同じシンチレーション事象が各々の検出器によって検
出された時間差で、隣接した検出器の間の分離の距離を
除することによって判断される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の分野】この発明は、予め定められた気体の流れ
の方向と平行な方向に分離される複数の光検出器からの
デジタル化された信号を相互相関する光フローセンサに
関し、かつ予め定められた方向への気体の流れの速度を
定量する方法に関する。
【0002】
【先行技術の説明】正確な流量の測定は、気体排出物の
中の汚染物質を工業的かつ環境的に監視する際の最大の
問題の1つを示している。空中を伝わる汚染の問題は非
常に深刻となったため、あらゆる規模の事実上すべての
業界は気体の排出を制限する規制または法律の適用に従
って監視されている。気体の流れの中の汚染物質、有害
な気体および有毒ガスの濃度の定量は信頼するに足るレ
ベルに到達したが、率の監視、そしてそれによる気体の
流れの容量はこれまで比較的不正確であった。その結
果、いずれかの特定の設備から排出される汚染物質の総
合の範囲の定量はこれまで不確かであった。
【0003】流量を推定する現在の技術は、流れる気体
の経路たとえば産業処理プラントの煙突または煙道内に
侵入されるポイントセンサにしばしば依存している。そ
のような機器により到達した推定の流量は、工業的かつ
環境的に応用するにはしばしば不十分である。1つには
流れの媒体にセンサのヘッドを侵入させることにより流
量の測定結果を変えてしまうという問題がある。さら
に、監視される流れの媒体はしばしば非常に汚れており
かつ腐食性である。流れの媒体に感知ヘッドを直接接触
させることにより感知ヘッドがすぐに汚れてしまうこと
がしばしばであるため、センサのメンテナンスが大きな
問題となる。
【0004】超音波気体流測定装置の発明も試みられて
きた。しかしながら超音波気体流測定機器は非常に高価
でかつかなり不正確である。
【0005】汚染物質は気体排出物の中ではそれとわか
る色をしているか、または埃の粒子の塊であることが多
いため、ある距離から煙突および煙道を視覚的に監視し
て、気体排出物の流量を大まかに確認することが可能な
場合もある。しかしながら、このためには対象となる施
設が真直ぐ見通せなければならない。また、一酸化炭素
などの有毒な気体は無色である。さらに、夜間または天
候が不良な場合は視覚的な観察は不可能である。残念な
がら、監視される産業設備は昼間は排出される気体の量
を制限しても、気体排出物の量を観察できない夜間に排
出を増加させる結果に終わる可能性がある。
【0006】
【発明の概要】この発明は、気体の流れの速度の測定に
対して全く新しい試みを採用している。この発明は、煙
突などの気体の流れる通路の両側に設けられた光送信器
および光受信器を用いる。光ビームは気体の流れる通路
を横切って送信される。受信器は通路を通って流れる気
体の予め定められた方向と平行な方向に互いに縦方向に
分離された複数の光検出器を含む。気体の流れの中の微
粒子物質および渦は通路を横切って送信された光ビーム
中にシンチレーションを発生する。
【0007】これらのシンチレーションは通路の反対側
のすべての光検出器によって検出されるが、各々の光検
出器で同時に検出されるわけではない。むしろ、シンチ
レーションを発生する微粒子または渦は気体の流れの中
で下流に向かって移動するため、最上流部に設けられた
検出器はさらに下流に設けられた光検出器よりも時間的
に早くシンチレーションを検出する。この物理的な現象
は、鳥または風に乗って運ばれる破片が落とす影が移動
していくのと同様である。
【0008】1つの広い局面では、この発明は、予め定
められた気体の流れの方向での気体の流れの速度を測定
するための光フローセンサと考えられてもよい。この発
明の光フローセンサは、光送信器、光受信器、信号制御
利得増幅回路、アナログ/デジタル変換器およびデジタ
ル信号プロセッサを含む。光送信器は予め定められた気
体の流れの方向を横切るコリメートされた光ビームを生
成する。光受信器は、複数の受光レンズを含み、そのす
べては光送信器と光通信しかつ光ビームの経路内に設け
られる。受光レンズは、予め定められた気体の流れの方
向と平行な方向に互いに分離される。別個の光検出器が
各々の受光レンズに対して設けられる。各々の検出器は
光ビーム内で発生するシンチレーションに応答して変化
する電子出力を発生する。
【0009】別個の信号制御利得増幅回路が光検出器の
各々に結合される。別個のアナログ/デジタル変換器が
利得増幅回路の各々に結合され、利得増幅回路の各々か
らの出力を別個にデジタル化する。
【0010】デジタル信号プロセッサはすべての利得増
幅回路からの入力を受取るように結合される。デジタル
信号プロセッサはすべての検出器によって別個に検出さ
れたシンチレーション事象に対するデジタル化された出
力の時間的な相互不一致を判断する。デジタル信号プロ
セッサは予め定められた気体の流れの方向における経路
積分された流量を与える。
【0011】好ましくは、光送信器は単一のレーザダイ
オードまたはLED(発光ダイオード)を含み、かつ検
出器が2つだけ受信器の中で用いられる。また好ましく
は、光送信器は、レーザダイオードに焦点を合せた、直
径が約1インチのコリメーティングレンズを含み、受光
レンズの各々は直径が約2インチであって、その検出器
の上に焦点を合せている。この発明の好ましい実施例で
は、コリメーティングレンズはコリメートされた光ビー
ムを発生する。
【0012】別の広い局面では、この発明は、予め定め
られた気体の流れの方向への気体の流れの速度を測定す
るための光フローセンサと考えられてもよい。光フロー
センサは、送信器、受信器、信号制御利得増幅器、アナ
ログ/デジタル変換器およびデジタル信号プロセッサを
含む。送信器は、光源および気体の流れを横切るコリメ
ートされた光線を発生するための光線形成オプティクス
を含む。受信器は光ビームとの視線経路である中に設け
られる。受信器は複数の、焦点受光レンズを含む。受光
レンズは、予め定められた気体の流れの方向と平行な方
向に互いに間隔をあけられる。別個の検出器は受光レン
ズの各々に対して設けられる。各々の検出器は視線経路
内で発生するシンチレーション事象とともに変化する電
子出力を発生する。別個の信号制御利得増幅器が検出器
の各々に対して設けられる。別個のアナログ/デジタル
変換器が各々の検出器に結合されて、その出力をアナロ
グからデジタルの信号に変換する。デジタル信号プロセ
ッサは、検出器からのデジタル化された信号をシンチレ
ーション事象の検出の間の時間遅延の関数として相互相
関し、予め定められた気体の流れの方向に流れる気体の
速度を示す信号を発生する。
【0013】さらに別の広い局面では、この発明は、予
め定められた直線方向への気体の流れの速度を測定する
方法と考えられてもよい。この発明は以下のステップを
含む。すなわち、予め定められた直線方向の気体の流れ
の方向と交差しかつ気体の流れを横切る光視線経路に沿
って、ある量の気体を横切るコリメートされた光ビーム
を送信するステップ、予め定められた直線方向と平行な
方向に互いに間隔をあけて分離された複数のシンチレー
ション受信検出器を用いて、送信された光ビームを受取
るステップ、気体の流れの中で発生するシンチレーショ
ンに応答してシンチレーション受信検出器の各々からの
別個の出力信号を生成するステップ、出力信号の各々を
別個に増幅しかつデジタル化するステップ、別個の出力
信号の時間的な相互相関を判断するステップ、およびシ
ンチレーション受信検出器の互いからの分離の距離と別
個の出力信号の時間的な相互相関に基づき、予め定めら
れた直線方向に流れる気体の速度を示す、速度の出力信
号を与えるステップである。
【0014】この発明の方法は、また好ましくは、各々
の検出器からの信号の時間平均出力の大きさを計算する
ステップと、各々の検出器からの信号の大きさと時間平
均の出力の大きさを繰返し比較するステップと、時間平
均出力の大きさに対する信号の大きさに依存して各々の
検出器の信号に対して一連のシングルビットコードを生
成するステップと、別個の出力信号の時間的な相互相関
を判断するステップにおいて各々の検出器に対して一連
のシングルビットコードを用いるステップとを含む。
【0015】好ましくは、各々の検出器からの一連のシ
ングルビットコードは、分析されて各々の検出器からの
出力信号のピークを決定する。この情報を用いて、各々
の検出器により同一と確認できるシンチレーション事象
の検出の時間の差を確認する。
【0016】この発明の好ましい実施例では、検出器の
出力信号に対する信号対雑音比がデータの品質チェック
として計算される。また好ましくは、検出器の出力信号
はしきい値スクリーニングにかけられて、速度出力信号
の信頼性を向上させる。
【0017】この発明は、流れの媒体に侵入するセンサ
を用いずに、流れる流体のリアルタイムの流量を測定す
る全く新しい光学系を提供する。この発明はまた、昼夜
ともに無人で動作する比較的安価なかつ非常に信頼性の
高い流量測定システムを提供する。
【0018】この発明の動作の理論は、乱流により引起
された光源の光シンチレーションを用いた線平均流量の
測定を含む。円形開口Dtを備えた光源は、有限の円形
開口Drの2つの隣接した検出受信器を照射する。コル
モゴロフの乱流における2つの受信信号Cx(r)=<
κ(r1+r)κ(r1)>の対数振幅シンチレーション
の共変関数は、以下の式で表わされ、
【0019】
【数1】
【0020】この式ではJ0はゼロ次であり、J1は第1
種の1次ベッセル関数である。式1にr=0について示
されたように、経路平均乱流強度は大気中を伝播する光
波の増幅シンチレーションによって測定される。動作に
おいては、乱流の渦は光線を通過して、それを変調す
る。この光シンチレーションは受信器ユニット内の検出
器によって受取られる。
【0021】センサコンピュータは経路積分乱流屈折
率、Cn 2を計算する。送信開口および受信開口が等しい
とき(Dt=Dr=D)、経路平均乱流屈折率は以下の式
のようになる。
【0022】
【数2】
【0023】送信開口および受信開口が等しくないと
き、比例定数4.48のみを変更すればよい。式2で
は、DおよびLはメータであり、Cn 2はm-2/3である。
風の影響を組込むために、テーラーの仮説を用いて、r
を|r−vtL/z|と置換える。すると式1は以下の
ようになる。
【0024】
【数3】
【0025】この式ではtは時間遅延である。式3を導
出するにあたっては、Cn 2は光経路に沿って一定である
と仮定される。流量を測定するには、光波が流れの媒体
を介して伝播する際の光波の増幅シンチレーションの動
きによって経路平均流量が測定されることを式3は示し
ている。
【0026】動作において、乱流の渦は光線を通過し
て、それを変調する。この光シンチレーションは受信器
ユニットハウジング内に設けられた1対の隣接した検出
器によって受取られる。センサコンピュータは1対の受
信オプティクスによって受取られた信号の時間的な相互
相関[式3]を計算する。次に式3を用いて経路積分流
量が導出される。時間的な相互相関の決定はデジタル信
号プロセッサ(DSP)により実現され得る。二値領域
においてDSPを効率的に用いるためには、ワンビット
相関技術を用いて2つの検出器から検出された信号の時
間遅延共変関数を得ることが最良である。ワンビット相
関技術は、2つの検出された光シンチレーション信号か
ら流量を引出すデータ処理には十分である。DSPプロ
グラミングのためには、ワンビット動作はマルチビット
動作よりもはるかに速く、また必要とするメモリが少な
い。
【0027】2つの検出器から受取られたシンチレーシ
ョン信号の共変関数、すなわちCd(r,t)=C
x(r,t)−Cx(r,−t)の正と負の時間遅延の差
を取ることにより、両者の検出器に共通のすべてのノイ
ズが取除かれる。差分共変関数C d(r,t)の幅は経
路平均流量と反比例する。しかしながら、差分共変関数
d[r,log(t)]の幅は、Cd[r,log
(t)]が時間遅延の対数尺上に表示されるならば、経
路平均流量に依存しない。Cd[r,log(t)]の
増幅は信号対雑音比のみに依存し、流量の速度の関数で
はない。したがって、曲線Cd[r,log(t)]の
下の面積または振幅を、データ品質因子として用いてS
/Nのレベルを示すことができる。振幅または面積が大
きくなればS/Nもさらによくなる。このS/Nの量は
データ品質チェックとして用いられる。
【0028】センサにより、現場での動作において流量
をリアルタイムで連続的に測定することができる。機器
は周囲の音響および電磁ノイズに感応しない。従来のフ
ローセンサのほとんどとは異なり、測定された流量が温
度および圧力の両者に依存しない点がこの技術の1つの
重要な利点である。したがって、測定された速度は流れ
の媒体の周囲の圧力および温度にかかわらず真の測定値
である。
【0029】この発明は添付の図面を参照することによ
り、さらに明らかにかつ特定的に説明される。
【0030】
【方法の実施例および実現例の説明】図1は、たとえば
直径が約10フィートおよび長さが30フィートまたは
それ以上であってもよい細長い、縦方向に配向された煙
突12内の矢印10で示される、予め定められた直線方
向への気体の流れの速度を測定するための光フローセン
サの概略的な図である。図1には煙突12の短いセクシ
ョンのみが示される。
【0031】光フローセンサは送信器13を含み、送信
器は煙突のウィンドウ11の前に設けられたレーザダイ
オードまたはLED14を有し、かつトランスミッタド
ライバ16によって駆動される。送信器13は光学的透
明コリメーティングレンズ15を含む。受信器18は送
信器13と径方向に対向する煙突12の壁に沿って設け
られ、送信器13が発生した光ビーム24と視線通信す
る1対の受光レンズ20および22を含む。光線24は
煙突12の中央を横切って径方向に向けられ、気体の流
れ10の経路を横切る。光線24はレンズ20および2
2の両者の上に当たる。レンズ20および22はレンズ
15に対向して、煙突のウィンドウ21の後に固定さ
れ、予め定められた気体の流れの方向10と平行な方向
に互いに分離される。受光レンズ20および22の間の
分離の距離は、好ましくは各々のレンズ20および22
の直径よりも大きい。
【0032】受光レンズ20および22はそれぞれ検出
器D1およびD2の上に光学的に焦点合せされる。各々
の検出器D1およびD2は別個の信号制御利得増幅回路
への電子出力を発生する。利得増幅回路29は検出器D
1に結合され、利得増幅回路31は検出器D2に結合さ
れる。
【0033】利得増幅回路29および31はそれぞれプ
リアンプ回路30および32を含む。プリアンプ回路3
0および32はそれぞれバンドパスフィルタ回路34お
よび36に結合され、これらはそれぞれ別個の復調回路
38および40に結合される。復調回路38および40
はそれぞれ別個の低域フィルタ42および44に結合さ
れ、これらはそれぞれアナログ/デジタル変換回路46
および48に結合される。アナログ/デジタル変換器4
6および48は利得増幅回路29および31それぞれか
らの出力を別個にデジタル化し、これらのデジタル化さ
れた出力を信号S1およびS2としてデジタル信号プロ
セッサ50に伝える。
【0034】デジタル信号プロセッサ50は利得増幅回
路29および31の両者からの入力を受取るように結合
されて、検出器D1およびD2の両者により別個に検出
されたシンチレーション事象に対するデジタル化された
出力の時間的な相互相関を判断する。デジタル信号プロ
セッサ50は、予め定められた気体の流れ10の方向に
風速出力信号52として経路積分流量を与える。
【0035】送信器13はトランスミッタドライバ16
を含む。トランスミッタドライバ16はレーザダイオー
ドまたはLED14に変調された信号を与え、それによ
りレーザダイオード14は、直線方向の経路10に沿っ
て煙突12を流れる気体に行きわたるほどに十分な強さ
の光ビーム24を生成する。送信ダイオード14は光線
24を生成し、受信器18は光線24の他方の端部に設
けられる。気体の流れの中の乱流の渦は10の方向に煙
突12を通過し、かつ光ビーム24を通過する。これら
の渦は光線24を変調して、検出器D1およびD2によ
って受取られた信号の光シンチレーションを引起す。変
調された光は、好ましくは1対の同一のPINフォトダ
イオードである検出器D1およびD2によって検出され
る。
【0036】送信器13、受信器18ならびに利得増幅
回路29および31は、先行する米国特許第4,76
0,272号、第4,754,149号、第5,79
6,105号および第5,838,007号に説明され
たものと類似しており、そのすべてはここに引用により
援用される。
【0037】図3は、トランスミッタドライバ16およ
び光送信器13のためのインジケータドライバ回路を示
す概略図である。図3に示された構成要素の数値はこの
明細書の以下の表Aに記載されている。周囲のいずれの
光の影響も最小限にするために、送信ダイオード14は
トランスミッタドライバ16によって生成される周波数
で変調される。変調周波数はシンチレーション信号より
も高い周波数でなければならない。産業用の煙突および
煙道内に存在する通常の状況では、シンチレーションの
周波数は数百ヘルツよりも低い。したがって約10kH
zの変調周波数が適切である。
【0038】
【表1】
【0039】図3に示されたように、トランスミッタド
ライバ16内の波形整形回路U1−3はトランジスタQ
1を駆動し、次にそれはレーザダイオードまたはLED
14に駆動信号を与える。可変抵抗VR1はトランジス
タQ1のDCバイアスを調節する。トランジスタQ1は
電圧ドライバトランジスタというよりはむしろ電流ドラ
イバである。トランジスタQ1が導通すると、演算増幅
器U3−3は能動化されて電力を与え、かつ送信レーザ
ダイオードまたはLED14、ならびに接合プラグJ2
に接続されたインジケータLEDに信号を送信する。
【0040】検出器D1およびD2はそれぞれ受光レン
ズ20および22の焦点に設けられる。受光レンズ20
および22からの2つの光信号がそれぞれ2つの検出器
D1およびD2によって検出されて電子信号に変換され
る。受取られた検出器信号はプリアンプ30および32
で増幅され、それは図4に概略的に示されている。図4
に示された回路構成要素はこの明細書の以下の表Bに記
載されている。演算増幅器U1−4は検出器D1からの
信号を増幅する。同様に、演算増幅器U2−4は検出器
D2からの信号を増幅する。増幅された検出器出力信号
は次にそれぞれバンドパスフィルタU3−4およびU4
−4を介してフィルタ処理される。一旦検出器D1およ
びD2の出力がプリアンプされかつフィルタ処理される
と、それらはそれぞれ出力CHANNEL AおよびC
HANNEL Bとして与えられる。
【0041】
【表2】
【0042】出力CHANNEL AおよびCHANN
EL Bは図5および図6に概略的に示されたように別
個の復調回路38および40に供給され、そこでチップ
U1−5およびU2−5によって別個に復調され、かつ
それぞれ演算増幅器U3−5およびU4−5によって増
幅される。復調されかつ増幅された信号はそれぞれ入力
として、低域パスフィルタ回路の動作要素を形成する演
算増幅器U7−5およびU8−5に導かれる。フィルタ
処理された出力はそれぞれ図5および図6に信号BP1
_OUTおよびBP2_OUTとして現われる。図5お
よび図6に示された回路構成要素はこの明細書の以下の
表Cに特定されている。
【0043】
【表3】
【0044】利得増幅回路29および31もまた、検出
器出力の復調および低域パスフィルタ処理と同時に信号
の強さを測定する。増幅器U5−5およびU6−5は検
出器D1およびD2からの信号の強さと比例する出力を
与える。出力LN1_OUTおよびLN2_OUTはそ
れぞれ検出器D1およびD2からの信号の強さを示す。
何らかの異常な状況、たとえば光が遮られたりすると、
しきい値信号LN1_OUTまたはLN2_OUTのい
ずれかまたは両者の大きさは予め確立されたしきい値よ
り下に降下する。この状態はその後デジタル信号プロセ
ッサ50で検出される。検出器出力BP1_OUTおよ
びBP2_OUTの信号の強さがデジタル信号プロセッ
サ50内で設定されたしきい値よりも下であるときは、
データ信号BP1_OUTおよびBP2_OUTは破棄
される。
【0045】検出器D1およびD2からの復調されかつ
フィルタ処理された信号BP1_OUTおよびBP2_
OUTは、図1に示されたように利得増幅回路29およ
び31からアナログ/デジタル変換器46および48に
送信される。データ信号BP1_OUTおよびBP2_
OUTのデジタル化された形は、信号の強さの出力LN
1_OUTおよびLN2_OUTのデジタル化された形
とともに、図1中にそれぞれ集合的にS1およびS2と
符号を付される。
【0046】デジタル信号プロセッサ50の組織的な構
造は図7にブロック図の形で示される。図2はフローチ
ャートの形でデジタル信号プロセッサ50が実行する処
理のステップを示している。図7はブロック図の形で図
2のフローチャートの形で示されたステップを実行する
デジタル信号プロセッサ50の構成要素を示している。
デジタル信号プロセッサ50の中心には処理ユニットC
32がある。図2のアルゴリズムはプロセッサC32で
あるプロセッサチップ内で実現される。図7に示された
他のチップはプロセッサチップC32の動作を支持す
る。プロセッサチップC32はテキサスインスツルメン
ツ社が製造したチップモデルTMS320C32であっ
てもよい。チップFPGAはプロセッサC32のための
支持機能を実行するFPGA(field programable gate
array)であって、それが必要なデジタルの計算を行う
ことを可能にする。
【0047】図7のブロック図のすべての構成要素はさ
まざまな集積回路製造者から入手可能な商業的に入手可
能な電子構成要素である。余分のアナログポート70お
よび72はペン記録計および他のアナログの記録装置な
どのアナログ装置が用いる速度信号Vおよび信号対雑音
比信号S/Nのアナログ出力を提供する。
【0048】図2を参照すると、実行される第1のステ
ップが2つのデジタル化された入力信号S1およびS2
のそれぞれについて60および61で示されている。各
々の検出器D1およびD2からのS1およびS2のデジ
タル化されたデータ信号BP1_OUTおよびBP2_
OUTの時間平均出力の大きさはプロセッサチップC3
2で計算される。これらの平均信号はM1およびM2で
示される。各々の信号S1およびS2はある別々の間隔
をあけて、おそらくは7−10kspsの間隔をあけて
サンプリングされ、かつ平均してはるかに長いたとえば
1秒以上の間隔で平均を取られる。平均の信号M1およ
びM2を決定するのに用いられる信号のサンプルは各々
約10,000のサンプルを示してもよい。
【0049】各々の新たな信号S1およびS2のデータ
部分は次にそれぞれステップ62および63で平均の信
号M1およびM2と比較される。信号S1およびS2の
データ部分がそのそれぞれの平均よりも大きければ、そ
れらは+1の1ビットの値を与えられる。それらがその
それぞれの平均よりも小さければ、それらは0の1ビッ
トの値を与えられる。したがって各々の信号S1および
S2は+1または0のいずれかの1ビットの流れに変換
される。したがってこのステップは1ビット変換のステ
ップである。
【0050】信号S1およびS2の連続的な流れは、そ
の各々が+1または0のいずれかである二値信号の流れ
を示している。図2のステップ64は時間的な相互相関
のステップを示し、そこではビットの流れS1(1,
0)およびS2(1,0)は互いに比較されて、異なる
時点のどこでシンチレーション事象の一致が検出された
かを判断する。ステップ64で発生した時間微分出力は
図2のC(t)で示される。図2のC(t)の値は前述
の式3に従って計算される。
【0051】次に実行されるステップは図2のステップ
66に示されるピーク位置決定のステップである。ピー
ク位置決定のステップ66はシングルビットコードS1
(1,0)およびS2(1,0)の相互相関C(t)を
分析して検出器D1およびD2からの出力信号C(t)
内のピークを決定し、それにより各々の検出器D1およ
びD2により同一と確認できるシンチレーション事象の
検出の時間を確認するステップを含む。信号C(t)は
多かれ少なかれベル型の曲線の形状をしている。信号t
pはピークC(t)での時間遅延である。したがって信
号tpは検出器D1によって検出されたシンチレーショ
ンと検出器D2によって検出された同じシンチレーショ
ンの間の時間遅延を示す。
【0052】ステップ68は風速すなわち煙突12の中
の10の方向に流れる気流の量を定量するために行なわ
れる算術計算を示す。2つの検出器D1とD2の間の分
離rの距離は公知であるため、tpでrを除することに
より風速Vを計算することは簡単である。
【0053】この発明のシステムの適用は比較的狭いチ
ャネルを通る気体の流量を測定することに限定されるも
のではない。実際、同じ技術は非常に幅広い範囲にわた
り気体の流れを測定するのに用いられてもよい。たとえ
ば、検出器の大きさを変更することにより、図面に示さ
れかつ説明された実質的に同じシステムを空港の滑走路
で横風を測定するのに用いてもよい。同じ技術はまた、
化学的または薬学的な処理を制御するための透明な管を
通る液体の流れを測定するのに用いられてもよい。多数
の他の適用例もまた可能である。
【0054】この発明の回路および光構成要素の多数の
変更および修正は光センサシステムの分野の当業者には
容易に明らかになるであろう。多数の異なるプロセッサ
チップがプロセッサチップC32としてテキサスインス
ツルメンツ社のチップTMS320C32の代替として
用いられてもよく、図示されたアルテラ8282Aチッ
プの代わりに、いくつかの異なるチップがFPGAチッ
プとして用いられてもよい。したがって、この発明の範
囲は、示されかつ説明された方法の特定の実施例または
実現例に限定されるものではなく、むしろ添付の請求項
に規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の光フローセンサの好ましい実施例
の主要な構成要素の概略図である。
【図2】 デジタル信号プロセッサが実行するステップ
を図示するフローチャートの図である。
【図3】 図1に示された送信器の電気的な概略図であ
る。
【図4】 図1に示された受信器およびプリアンプの電
気的な概略図である。
【図5】 図1に示されたバンドパスフィルタ、復調
器、低域フィルタおよびアナログ/デジタル変換回路の
一部の電気的な概略図である。
【図6】 図1に示されたバンドパスフィルタ、復調
器、低域フィルタおよびアナログ/デジタル変換回路の
残余の部分の電気的な概略図である。
【図7】 図1に示されたデジタル信号プロセッサのブ
ロック図である。
【符号の説明】
13 送信器 18 受信器 20、22 受光レンズ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年1月22日(2001.1.2
2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 予め定められた気体の流れの方向への
気体の流れの速度を測定するための光フローセンサおよ
びその方法

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め定められた気体の流れの方向への気
    体の流れの速度を測定するための光フローセンサであっ
    て、 前記気体の流れを横切るコリメートされた光ビームを生
    成する光送信器と、 複数の受光レンズを含む光受信器とを含み、すべての受
    光レンズは前記光送信器と光通信する、前記光ビームの
    経路内に設けられ、かつ前記予め定められた気体の流れ
    の方向と平行な方向に互いに分離され、前記光受信器は
    前記受光レンズの各々に対して、前記光ビームで発生す
    るシンチレーションに応答して変化する電子出力を発生
    する別個の光検出器をさらに含み、光フローセンサは、 前記光検出器の各々に結合された別個の信号制御利得増
    幅回路と、 前記利得増幅回路の各々と結合されて前記利得増幅回路
    の各々からの出力を別個にデジタル化する別個のアナロ
    グ/デジタル変換器と、 デジタル信号プロセッサとを含み、デジタル信号プロセ
    ッサはすべての前記利得増幅回路からの入力を受取るよ
    うに結合されてすべての前記検出器により別個に検出さ
    れたシンチレーション事象に対する前記デジタル化され
    た出力の時間的な相互相関を判断し、かつそれから前記
    予め定められた気体の流れの方向への経路積分流量を与
    える、光フローセンサ。
  2. 【請求項2】 前記デジタル信号プロセッサは、各々の
    前記利得増幅回路からの前記デジタル化された出力の平
    均を別個に判断してそれから別個の時間平均を与える平
    均を計算する手段、およびコンパレータ手段をさらに含
    み、コンパレータ手段は、各々の利得増幅回路および前
    記平均計算手段からの前記デジタル化された出力を受取
    るように結合されて、前記平均と前記利得増幅器からの
    前記デジタル化された出力との比較を示すワンビットの
    デジタル出力の別個の流れを与える、請求項1に記載の
    光フローセンサ。
  3. 【請求項3】 前記平均計算手段は、約1秒の平均周期
    で約7から約20キロヘルツの率で前記利得増幅回路か
    らの前記デジタル化された出力をサンプリングするため
    のサンプリング手段を含むことをさらに特徴とする、請
    求項2に記載の光フローセンサ。
  4. 【請求項4】 前記デジタルプロセッサは、前記利得増
    幅回路の前記デジタル化された出力の時間的な相互相関
    におけるピークを決定しさらに、すべての前記検出器に
    対する前記ピーク間の時間差を決定するためのピーク決
    定手段をさらに含む、請求項2に記載の光フローセン
    サ。
  5. 【請求項5】 前記送信器は波形整形変調器をさらに含
    み、前記利得増幅回路の各々は、前記検出器のただ1つ
    からの前記電子出力を受取るように結合されたプリアン
    プと、前記プリアンプのただ1つからの出力を受取るよ
    うに結合された復調回路と、前記復調回路のただ1つか
    らの出力を受取るように結合されかつ前記アナログ/デ
    ジタル変換器のただ1つに入力を与えるように接続され
    た低域パスフィルタとを含む、請求項1に記載の光フロ
    ーセンサ。
  6. 【請求項6】 前記光受信器は、前記受光レンズ1対の
    みと検出器とを含む、請求項5に記載の光フローセン
    サ。
  7. 【請求項7】 前記デジタル信号プロセッサ内に各々の
    前記検出器からの信号を受取るための最小しきい値を確
    立するしきい値検出手段をさらに含む、請求項1に記載
    の光フローセンサ。
  8. 【請求項8】 前記送信器は単一のレーザダイオードを
    含む、請求項1に記載の光フローセンサ。
  9. 【請求項9】 前記送信器は単一の発光ダイオードを含
    む、請求項1に記載の光フローセンサ。
  10. 【請求項10】 前記光送信器は、前記レーザダイオー
    ドに焦点合せされた、直径が約1インチであるコリメー
    ティングレンズを含み、各々の前記受光レンズは直径が
    約2インチであって、かつ前記検出器の上に焦点合せさ
    れた、請求項1に記載の光フローセンサ。
  11. 【請求項11】 前記コリメーティングレンズは前記コ
    リメートされた光ビームを楕円形の断面内に発生し、そ
    の主軸は前記予め定められた気体の流れの方向と平行な
    方向に配向される、請求項9に記載の光フローセンサ。
  12. 【請求項12】 前記デジタル信号プロセッサは前記検
    出器からの前記電子出力の信号対雑音比を示す信号対雑
    音計算手段を含む、請求項1に記載の光フローセンサ。
  13. 【請求項13】 予め定められた気体の流れの方向への
    気体の流れの速度を測定するための光フローセンサであ
    って、 光源および前記気体の流れを横切るコリメートされた光
    線を発生するための光線形成オプティクスを含む送信器
    と、 前記光ビームと視線経路である中に設けられた受信器と
    を含み、前記受信器は、前記予め定められた気体の流れ
    の方向と平行な方向に互いに間隔をあけた複数の焦点合
    せ受光レンズと、前記視線経路内で発生するシンチレー
    ション事象とともに変化する電子出力を発生する、前記
    受光レンズの各々に対する別個の検出器とを含み、光フ
    ローセンサは、 前記検出器の各々に対する別個の信号制御利得増幅器
    と、 各々の前記利得増幅器に結合されて前記出力をアナログ
    からデジタルの信号に変換する別個のアナログ/デジタ
    ル変換器と、 シンチレーション事象の検出の間の時間遅延の関数とし
    て前記検出器からの前記デジタル化された信号を相互相
    関して前記予め定められた気体の流れの方向に流れる気
    体の速度を示す信号を発生するデジタル信号プロセッサ
    とを含む、光フローセンサ。
  14. 【請求項14】 前記デジタル信号プロセッサは、確実
    に前記信号制御利得増幅器の各々からの信号の少なくと
    も最小限の強さを確保するためのしきい値検出手段を含
    む、請求項13に記載の光フローセンサ。
  15. 【請求項15】 前記光線形成オプティクスは、コリメ
    ートされた光線を発出する送信レンズを含み、前記光線
    は前記予め定められた気体の流れの方向と垂直に整列さ
    れる、請求項13に記載の光フローセンサ。
  16. 【請求項16】 前記送信器は単一のレーザダイオード
    を含み、前記光線形成オプティクスは前記レーザダイオ
    ードに焦点合せされた単一の送信レンズを含み、前記受
    信器は前記検出器の2つのみと、前記受光レンズの2つ
    のみとを含み、その各々は前記2つのみの前記検出器の
    別個の1つの上に焦点合せされた、請求項13に記載の
    光フローセンサ。
  17. 【請求項17】 前記送信器は単一の光送出ダイオード
    を含み、前記光線形成オプティクスは前記光送出ダイオ
    ードの上に焦点合せされた単一の送信レンズを含み、前
    記受信器は前記検出器の2つのみと、前記受光レンズの
    2つのみを含み、その各々は前記2つのみの前記検出器
    の別個の1つに焦点合せされた、請求項13に記載の光
    フローセンサ。
  18. 【請求項18】 予め定められた直線方向への気体の流
    れの速度を測定する方法であって、 前記予め定められた直線方向への気体の流れを横切りか
    つ前記気体の流れを横切る光視線経路に沿ってある量の
    気体を横切るコリメートされた光ビームを送信するステ
    ップと、 前記予め定められた直線方向と平行な方向に互いに間隔
    をあけて分離された複数のシンチレーション受信検出器
    を用いて前記送信された光ビームを受信するステップ
    と、 前記気体の流れの中で発生するシンチレーションに応答
    して前記シンチレーション受信検出器の各々からの別個
    の出力信号を生成するステップと、 前記出力信号の各々を別個に増幅しかつデジタル化する
    ステップと、 前記別個の出力信号の時間的な相互相関を判断するステ
    ップと、 前記シンチレーション受信検出器の互いからの分離の距
    離および前記別個の出力信号の前記時間的な相互相関に
    基づいて、前記予め定められた直線方向に流れる気体の
    速度を示す速度出力信号を与えるステップとを含む、方
    法。
  19. 【請求項19】 各々の前記検出器からの信号の時間平
    均出力の大きさを計算するステップと、前記時間平均出
    力の大きさと前記検出器の各々からの信号の大きさを繰
    返し比較するステップと、前記時間平均出力の大きさと
    相関した信号の大きさに依存して各々の検出器の信号に
    対し一連のシングルビットコードを生成するステップ
    と、前記別個の出力信号の時間的な相互相関を判断する
    前記ステップにおいて前記検出器の各々に対して前記一
    連のシングルビットコードを用いるステップとをさらに
    含む、請求項18に記載の方法。
  20. 【請求項20】 前記検出器の各々からの前記一連のシ
    ングルビットコードを分析して前記検出器の各々からの
    前記出力信号のピークを決定してそれにより前記検出器
    の各々により同一と確認されるシンチレーション事象の
    検出の時間を確認するステップをさらに含む、請求項1
    9に記載の方法。
  21. 【請求項21】 前記検出器の前記出力信号に対する信
    号対雑音比をデータ品質チェックとして計算するステッ
    プをさらに含む、請求項18に記載の方法。
  22. 【請求項22】 前記検出器の前記出力信号をしきい値
    スクリーニングにかけて前記速度出力信号の信頼性を向
    上させるステップをさらに含む、請求項21に記載の方
    法。
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