JP2001328609A - Method and device for classifying plate-shaped member by thickness - Google Patents

Method and device for classifying plate-shaped member by thickness

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JP2001328609A
JP2001328609A JP2000149425A JP2000149425A JP2001328609A JP 2001328609 A JP2001328609 A JP 2001328609A JP 2000149425 A JP2000149425 A JP 2000149425A JP 2000149425 A JP2000149425 A JP 2000149425A JP 2001328609 A JP2001328609 A JP 2001328609A
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JP
Japan
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thickness
unit
plate
photomask
unit group
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000149425A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Otsu
大津  朗
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Coorstek KK
Original Assignee
Toshiba Ceramics Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Ceramics Co Ltd filed Critical Toshiba Ceramics Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the reliability for the classification and quality and also enhance productivity. SOLUTION: A device is provided with a first unit group 2 measuring the thickness of photomasks m1 as a subject to be classified and assorting photomasks m2 by thickness based on the measured results, a second unit group 3 sticking labels 31 on which data is printed on respective packaged materials (photomasks m3 packaged by a shrinkable film 26) after packaging a plurality of photomasks m2 having a same thickness assorted by the first unit group 2 as a unit, and a controller 4 driving the second unit group 3 and the first unit group 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
プロセスにおいて電子ビーム露光を行うためのフォトマ
スクを分類する場合に使用して好適な板状部材の厚さ別
分類装置および方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for classifying plate members by thickness suitable for use in classifying a photomask for performing electron beam exposure in a semiconductor manufacturing process, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体集積回路の高密度化・高集
積化に伴い、フォトリソグラフィ技術等のパターン微細
加工技術の研究用開発が急速な進展を見せてきている。
一般に、この種のフォトリソグラフィ技術を用い、例え
ば電子ビーム露光用のフォトマスクを製造するには、マ
スク本体(石英製のマスクガラス)における表面の中心
領域に電子ビーム非透過用薄膜を積層し、次にこの電子
ビーム非透過用薄膜およびマスク本体にドライエッチン
グ処理を施して電子ビーム透過孔形成用のパターン孔等
を形成した後、このパターン孔の内面等を含む電子ビー
ム照射領域に真空蒸着処理あるいはスパッタリング処理
を施してチャージアップ抑制用の導電性薄膜を積層する
ことにより行う。ところで、このような手法を用いて製
造されるフォトマスクにおいては、損傷や汚染のない状
態で厚さ別に分類して出荷されることが要求される。
2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in density and integration of semiconductor integrated circuits, research and development of pattern fine processing technology such as photolithography has been rapidly progressing.
Generally, in order to manufacture a photomask for electron beam exposure using this type of photolithography technology, for example, an electron beam non-transmissive thin film is laminated in a central region of the surface of a mask body (mask glass made of quartz), Next, the electron beam non-transmission thin film and the mask body are subjected to a dry etching process to form a pattern hole for forming an electron beam transmission hole, and then a vacuum deposition process is performed on an electron beam irradiation area including an inner surface of the pattern hole. Alternatively, it is performed by performing a sputtering process and laminating a conductive thin film for suppressing charge-up. By the way, in a photomask manufactured by using such a method, it is required that the photomask is shipped after being classified according to thickness without damage or contamination.

【0003】従来、この種のフォトマスクの厚さ別分類
は、次に示すようにして行われていた。すなわち、図1
0に示すように、先ず製造・検査後におけるフォトマス
ク(厚さ分類前のマスク)M1の厚さを超音波測定器1
00によって測定し、次にこの測定結果に基づいてフォ
トマスクM2を厚さ別に振り分けた後、これら振り分け
られた同一厚さのフォトマスクM2を複数枚ずつ台紙に
よって挟んで包装装置101によって包装してから、こ
れら各包装物(包装済みのフォトマスクM3)にプリン
タ102によって測定厚さ等のデータが印刷されたラベ
ルを貼付する。
Heretofore, this type of photomask has been classified according to thickness as follows. That is, FIG.
As shown in FIG. 0, first, the thickness of the photomask (mask before thickness classification) M1 after manufacturing / inspection is measured by the ultrasonic measuring device 1.
00, and then, based on the measurement result, the photomasks M2 are sorted by thickness, and then the sorted photomasks M2 of the same thickness are packaged by the packaging device 101 with a plurality of sheets sandwiched between mounts. Then, a label on which data such as the measured thickness is printed by the printer 102 is attached to each of the packages (packaged photomask M3).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の板状部
材の厚さ別分類方法においては、フォトマスクの厚さ測
定や包装が人手によって行われており、このため分類ミ
ス(出荷ラベルの貼り間違い)およびフォトマスク同士
の接触による損傷が発生し易く、分類上および品質上の
信頼性が低下するという問題があった。また、この種の
板状部材の厚さ別分類方法において、フォトマスクの厚
さ測定が人手によることは、厚さ測定精度を高めるため
に、測定箇所をマスク中央部の一点に加えてマスク周辺
部の四点(合計五点)とすると、厚さ測定に多大の時間
を費やし、生産性が低下するという問題もあった。
However, in the conventional method of classifying the thickness of a plate-shaped member, the thickness of the photomask is measured and packaged by hand. Incorrect) and damage due to contact between the photomasks is liable to occur, resulting in a problem that reliability in classification and quality is reduced. In this type of plate-like member thickness classification method, the fact that the thickness of the photomask is measured manually requires that the measurement location be added to one point in the center of the mask to improve the thickness measurement accuracy. If the number of parts is four (a total of five), there is a problem that a great deal of time is required for measuring the thickness and the productivity is reduced.

【0005】本発明は、このような技術的課題を解決す
るためになされたもので、二つのユニット群をコントロ
ーラによって駆動制御するというきわめて簡単な構成に
より、板状部材を厚さ別分類を自動的に行うことがで
き、もって分類上および品質上の信頼性を向上させると
ともに、生産性を向上させることができる板状部材の厚
さ別分類装置および方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve such a technical problem, and has an extremely simple structure in which two unit groups are driven and controlled by a controller. It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for classifying plate-shaped members according to thickness, which can be performed in a reliable manner, thereby improving the reliability in classification and quality, and improving the productivity.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
になされた板状部材の厚さ別分類装置は、分類対象とし
ての板状部材の厚さを複数箇所で測定しこの測定結果に
基づいて板状部材を厚さ別に振り分ける第一ユニット群
と、この第一ユニット群によって振り分けられた同一厚
さの板状部材を複数枚ずつ包装しこれら各包装物にデー
タが印刷されたラベルを貼付する第二ユニット群と、こ
の第二ユニット群および第一ユニット群を駆動制御する
コントローラとを備えている。
In order to achieve the above-mentioned object, a plate-like member thickness classifying device measures the thickness of a plate-like member to be classified at a plurality of locations, and based on the measurement result. A first unit group that sorts plate members by thickness, and a plurality of plate members of the same thickness sorted by this first unit group are wrapped, and a label with data printed is attached to each of these packages. And a controller for controlling the driving of the second unit group and the first unit group.

【0007】このように構成されているため、コントロ
ーラによる各ユニット群の駆動制御によってフォトマス
ク等の板状部材の厚さ測定や包装が自動的に行われる。
したがって、分類ミスおよび板状部材同士の接触による
損傷の発生を抑制することができるから、分類上および
品質上の信頼性を向上させることができる。また、厚さ
測定精度を高めるために、測定箇所を板状部材の中央部
一点に加えて周辺部四点としても、厚さ測定が自動によ
るものであるから、測定時間を短縮することができ、生
産性を向上させることができる。
[0007] With this configuration, the thickness measurement and packaging of a plate-like member such as a photomask are automatically performed by drive control of each unit group by the controller.
Therefore, the occurrence of damage due to classification errors and contact between the plate-like members can be suppressed, so that reliability in classification and quality can be improved. In addition, in order to increase the thickness measurement accuracy, the measurement location can be reduced to one point at the center of the plate-shaped member and four points at the periphery, because the thickness measurement is automatic, so the measurement time can be reduced. , Productivity can be improved.

【0008】さらに、第二ユニット群に振り分け済みの
板状部材を挟む二つの台紙を供給する台紙供給ユニット
を含ませることが望ましい。このように、第二ユニット
群に振り分け済みの板状部材を挟む二つの台紙を供給す
る台紙供給ユニットを含ませると、台紙供給ユニットに
よって供給される二つの台紙間に振り分け済みの包装済
み板状部材が自動的に挟まれる。
Further, it is desirable to include a backing sheet supply unit that supplies two backing sheets sandwiching the plate-like member that has been sorted to the second unit group. As described above, when the second unit group includes the mount supply unit that supplies the two mounts sandwiching the allocated plate-like member, the packaged plate that has been sorted between the two mounts supplied by the mount supply unit is included. The member is automatically sandwiched.

【0009】また、第二ユニット群に台紙供給ユニット
からの台紙付き板状部材を熱収縮フィルムで包装する包
装ユニットを含ませることが望ましい。このように、包
装ユニットによって熱収縮フィルムで台紙供給ユニット
からの台紙付き板状部材が自動的に包装される。
It is desirable that the second unit group include a packaging unit for packaging the plate-like member with the backing from the backing supply unit with a heat-shrinkable film. In this way, the wrapping unit automatically wraps the board-mounted member from the backing supply unit with the heat-shrinkable film.

【0010】さらに、第二ユニット群にラベルに板状部
材のデータを印刷するプリンタを有するラベル貼付ユニ
ットを含ませることが望ましい。このように、第二ユニ
ット群にラベルに板状部材のデータを印刷するプリンタ
を有するラベル貼付ユニットを含ませると、ラベル貼付
ユニットのプリンタによってラベルに板状部材のデータ
が自動的に印刷される。
Further, it is desirable that the second unit group include a label sticking unit having a printer for printing data of a plate-like member on a label. As described above, when the second unit group includes the label sticking unit having the printer for printing the data of the plate member on the label, the data of the plate member is automatically printed on the label by the printer of the label sticking unit. .

【0011】この他、第二ユニット群にラベル付きの包
装物を貯留するコンベアを有するバァファコンベアユニ
ットを含ませることが望ましい。このように、第二ユニ
ット群にラベル付きの包装物を貯留するコンベアを有す
るバッファコンベアユニットを含ませると、バッファコ
ンベアユニットのコンベアによってラベル付きの包装物
が自動的に貯留される。
In addition, it is desirable that the second unit group includes a buffer conveyor unit having a conveyor for storing labeled packages. As described above, when the second unit group includes the buffer conveyor unit having the conveyor for storing the labeled package, the labeled package is automatically stored by the conveyor of the buffer conveyor unit.

【0012】また、板状部材の厚さ別分類方法は、分類
対象としての板状部材の厚さを複数箇所で測定しこの測
定結果に基づいて板状部材を厚さ別に振り分ける第一工
程と、これら振り分けられた板状部材を複数枚ずつ包装
する第二工程と、これら各舗装物にデータが印刷された
ラベルを貼付する第三工程とを備え、これら各工程を駆
動制御するものである。このような方法であるため、各
工程の駆動制御によって厚さ測定、振り分け、包装およ
びラベル貼付が自動的に行われた板状部材を得ることが
できる。
The method of classifying plate members by thickness includes a first step of measuring the thickness of the plate member to be classified at a plurality of locations and sorting the plate members by thickness based on the measurement result. A second step of packaging a plurality of the divided plate-shaped members, and a third step of attaching a label printed with data to each of these pavements, and controls the driving of each of these steps. . With such a method, it is possible to obtain a plate-like member in which thickness measurement, sorting, packaging, and labeling are automatically performed by drive control in each step.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につき、
図面を参照して説明する。図1は本発明の第一実施形態
に係る板状部材の厚さ別分類装置を概略して示すブロッ
ク図、図2(a)および(b)は第一実施形態に係る板
状部材の厚さ別分類装置の全体を概略して示す平面図と
側面図、図3は本発明の第一実施形態に係る板状部材の
厚さ別分類装置における第一ユニットの振り分け装置を
概略して示す側面図(図1のA−A断面図)、図4は本
発明の第一実施形態に係る板状部材の厚さ別分類装置に
おける第一ユニットの振り分け棚を概略して示す側面図
(図1のB−B断面図)、図5は本発明の第一実施形態
に係る板状部材の厚さ別分類装置における第一ユニット
の払い出し装置を概略して示す斜視図である。これら図
1〜図5において、符号1で示す板状部材の厚さ別分類
装置は、第一ユニット2群、第二ユニット3群およびコ
ントローラ4を備えている。これにより、コントローラ
4が各ユニット群2、3を駆動制御すると、第一ユニッ
ト群2において検査済みのフォトマスクが厚さ別に振り
分けられ、この振り分け済みのフォトマスクが第二ユニ
ット群3において包装される。そして、包装済みのフォ
トマスク(熱収縮フィルム)にラベルが貼付出荷され
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
This will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram schematically showing an apparatus for classifying plate members according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 2A and 2B are diagrams showing the thickness of the plate members according to the first embodiment. FIG. 3 is a plan view and a side view schematically illustrating the entire sorting apparatus, and FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a sorting unit of a first unit in the sorting apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a side view (sectional view taken along the line AA in FIG. 1), and FIG. 4 is a side view schematically showing a sorting shelf of the first unit in the apparatus for classifying plate-like members according to the first embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view schematically showing a payout device of a first unit in the plate-like member thickness-sorting device according to the first embodiment of the present invention. In FIGS. 1 to 5, the apparatus for classifying the thickness of a plate-shaped member indicated by reference numeral 1 includes a first unit 2 group, a second unit 3 group, and a controller 4. As a result, when the controller 4 drives and controls each of the unit groups 2 and 3, the photomasks that have been inspected in the first unit group 2 are sorted by thickness, and the sorted photomasks are packaged in the second unit group 3. You. Then, a label is attached to the packaged photomask (heat-shrinkable film) and shipped.

【0014】「第一ユニット群」第一ユニット群2は、
供給ユニット5、測定ユニット6、振り分け・払い出し
ユニット7および台紙供給ユニット8からなり、フォト
マスクmの生産ラインにおける検査ステーションと出荷
ステーションとの間に配設されている。供給ユニット5
は、供給ステージ9およびXZロボット10を備えてい
る。これにより、作業者B1が供給ステージ9上にフォ
トマスクm1を供給すると、このフォトマスクm1がX
Z(水平・垂直)ロボット10を介して供給ステージ9
から測定ユニット6に供給される。
"First Unit Group" The first unit group 2
The photomask m includes a supply unit 5, a measurement unit 6, a sorting / dispensing unit 7, and a backing sheet supply unit 8, and is arranged between an inspection station and a shipping station on a photomask m production line. Supply unit 5
Has a supply stage 9 and an XZ robot 10. Thus, when the worker B1 supplies the photomask m1 on the supply stage 9, the photomask m1
Supply stage 9 via Z (horizontal / vertical) robot 10
Is supplied to the measurement unit 6 from

【0015】供給ステージ9は、フォトマスクm1の角
部に接し、水平方向に位置決めするL字状の位置決め手
段9aを有している。これにより、供給ステージ9上に
多数のフォトマスクm1が位置決め載置(積層)され
る。なお、図示しないが、供給ステージ9から測定ユニ
ット6にフォトマスクm1を供給する際、供給ステージ
9からの脱落発生を防止して一枚ずつ分離するために、
最上層フォトマスクとその直下のフォトマスク間に、ほ
ぼ水平にエアを供給することが望ましい。
The supply stage 9 has L-shaped positioning means 9a which is in contact with a corner of the photomask m1 and is positioned horizontally. As a result, a large number of photomasks m1 are positioned and mounted (laminated) on the supply stage 9. Although not shown, when the photomask m1 is supplied from the supply stage 9 to the measurement unit 6, in order to prevent the photomask m1 from dropping off from the supply stage 9 and separate them one by one,
It is desirable to supply air substantially horizontally between the uppermost photomask and the photomask immediately below.

【0016】XZロボット10は、駆動装置(図示せ
ず)によって駆動するロボットからなり、フォトマスク
m1を保持する搬送ハンド(真空チャック)10a,こ
の搬送ハンド10aを垂直方向に案内する垂直案内部材
10bおよびこの垂直案内部材10bを水平方向に案内
する水平案内部材10cを有している。これにより、X
Zロボット10が駆動すると、フォトマスクm1が搬送
ハンド10aで保持されながら、垂直案内部材10bお
よび水平案内部材10cでそれぞれ垂直方向と水平方向
に案内される。なお、マスク吸着時にフォトマスクm1
に衝撃を与えないようにマスク当接位置がセンサ(図示
せず)によって検出される。
The XZ robot 10 is a robot driven by a driving device (not shown), and has a transfer hand (vacuum chuck) 10a for holding the photomask m1, and a vertical guide member 10b for guiding the transfer hand 10a in the vertical direction. And a horizontal guide member 10c for guiding the vertical guide member 10b in the horizontal direction. This gives X
When the Z robot 10 is driven, the photomask m1 is guided by the vertical guide member 10b and the horizontal guide member 10c in the vertical and horizontal directions, respectively, while being held by the transfer hand 10a. It should be noted that the photomask m1 at the time of mask suction
The mask contact position is detected by a sensor (not shown) so as not to give an impact to the mask.

【0017】測定ユニット6は、測定ステージ11およ
び厚さ測定装置12を備え、供給ユニット5と振り分け
・払い出しユニット7との間に配設されている。これに
より、供給ユニット5から測定ステージ11上にフォト
マスクm2が供給されると、厚さ測定装置12において
フォトマスクm2の厚さが測定される。そして、測定ユ
ニット6の測定ステージ11から振り分け・払い出しユ
ニット7に搬出される。
The measuring unit 6 includes a measuring stage 11 and a thickness measuring device 12, and is disposed between the supply unit 5 and the sorting / dispensing unit 7. Thus, when the photomask m2 is supplied from the supply unit 5 onto the measurement stage 11, the thickness of the photomask m2 is measured by the thickness measurement device 12. Then, it is carried out from the measurement stage 11 of the measurement unit 6 to the distribution / delivery unit 7.

【0018】測定ステージ11は、駆動装置(図示せ
ず)によって回転するテーブルからなり、フォトマスク
m2を位置決め載置可能な四つのマスク載置部11a〜
11dを有している。これにより、測定ステージ11が
回転すると、この回転動作に伴い、各マスク載置部11
a〜11d上のフォトマスクm2が円周方向に移動す
る。即ち、フォトマスクm2は、マスク載置部11cに
供給された後、マスク載置部11bを経て、供給ユニッ
ト5近傍のマスク載置部11a(厚さ測定位置)移動す
る。そして、フォトマスクm1の厚さが厚さ測定装置1
2によって図6に示すように中央部一点および周辺部四
点において測定され、測定後のフォトマスクm2がマス
ク載置部10d(搬送待機位置)から振り分け・払い出
しユニット7に搬出される。なお、回転テーブルには、
図示しないが、厚さ測定装置12の上下測定子のうち下
方測定子が挿入可能な貫通孔が設けられ、フォトマスク
m1との裏面と接触可能に構成されている。
The measurement stage 11 comprises a table which is rotated by a driving device (not shown), and has four mask mounting portions 11a to 11m for positioning and mounting the photomask m2.
11d. As a result, when the measurement stage 11 rotates, each mask mounting portion 11
The photomask m2 on a to 11d moves in the circumferential direction. That is, after the photomask m2 is supplied to the mask placement unit 11c, the photomask m2 moves through the mask placement unit 11b and the mask placement unit 11a (thickness measurement position) near the supply unit 5. Then, the thickness of the photomask m1 is changed to the thickness measurement device 1
6, the photomask m2 is measured at one point in the center and four points in the periphery as shown in FIG. In addition, on the turntable,
Although not shown, a through-hole into which a lower measuring element of the upper and lower measuring elements of the thickness measuring device 12 can be inserted is provided, and is configured to be able to contact the back surface of the photomask m1.

【0019】前記厚さ測定装置12は、例えば電気マイ
クロ変位計からなり、マスク載置部11a上におけるフ
ォトマスクm1の上下各面側に位置する測定子12a、
12bおよびこれら両測定子12a、12bに回転カム
機構(図示せず)を介して連結する駆動装置(図示せ
ず)を有している。これにより、フォトマスクm2の測
定時に厚さ測定装置12が駆動すると、両測定子12
a、12bがフォトマスクm1の上下両面(五点)に接
触し、フォトマスクm1の厚さが測定される。
The thickness measuring device 12 comprises, for example, an electric micro-displacement meter, and has a measuring element 12a located on each of the upper and lower surfaces of the photomask m1 on the mask mounting portion 11a.
12b and a drive unit (not shown) connected to both the tracing styluses 12a and 12b via a rotary cam mechanism (not shown). As a result, when the thickness measuring device 12 is driven during the measurement of the photomask m2, both the measuring elements 12
a and 12b contact the upper and lower surfaces (five points) of the photomask m1, and the thickness of the photomask m1 is measured.

【0020】振り分け・払い出しユニット7は、振り分
け装置13、振り分け棚14および払い出し装置15を
備え、測定ユニット6に隣接して配設されている。これ
により、振り分け装置13が駆動すると、この駆動動作
に伴いマスク載置部11dからのフォトマスクm2が厚
さ別に振り分け棚14に振り分け配置される。そして、
払い出し装置15が駆動すると、この駆動動作に伴い振
り分け棚14からのフォトマスクm2が第二ユニット群
3に搬送される。
The distributing / dispensing unit 7 includes a distributing device 13, a distributing shelf 14, and a dispensing device 15, and is arranged adjacent to the measuring unit 6. Accordingly, when the sorting device 13 is driven, the photomask m2 from the mask placement unit 11d is sorted and arranged on the sorting shelf 14 according to the thickness according to the driving operation. And
When the payout device 15 is driven, the photomask m2 from the sorting shelf 14 is transported to the second unit group 3 with this driving operation.

【0021】振り分け装置13は、水平・垂直二方向に
移動する搬送ハンド(真空チャック)16a付きのXZ
ロボット16を有している。これにより、振り分け装置
13が水平・垂直二方向駆動すると、マスク載置部11
dからのフォトマスクm2が搬送ハンド16aに保持さ
れ、測定ユニット6による測定結果に基づいて厚さ別に
振り分け棚14の各指定位置に振り分け配置される。な
お、マスク吸着時にフォトマスクm2に衝撃を与えない
ようにマスク当接位置がセンサ(図示せず)によって検
出される。振り分け棚14は、図4に示すように3列×
3段(合計九個)の領域に収納可能な空間14a〜14
iを有し、振り分け装置13と払い出し装置15との間
に配設されている。これにより、フォトマスクm2が厚
さ測定値に応じて任意数のレベルに指定数量毎に振り分
けられる。払い出し装置15は、水平・垂直二方向に移
動する搬送ハンド(真空チャック)17a付きのXZロ
ボット17を有している。これにより、払い出し装置1
5が水平・垂直二方向に駆動すると、振り分け棚14に
おける各指定位置からのフォトマスクm2が搬送ハンド
17aに保持され、第二ユニット群3に搬送される。
The sorting device 13 is an XZ with a transfer hand (vacuum chuck) 16a that moves in two directions, horizontal and vertical.
It has a robot 16. Thus, when the sorting device 13 is driven in two directions, horizontal and vertical, the mask mounting portion 11
The photomask m2 from d is held by the transport hand 16a, and is sorted and arranged at each designated position on the sorting shelf 14 according to the thickness based on the measurement result by the measuring unit 6. Note that a mask contact position is detected by a sensor (not shown) so as not to give an impact to the photomask m2 when the mask is attracted. The distribution shelf 14 has three rows as shown in FIG.
Spaces 14a to 14 that can be stored in an area of three tiers (a total of nine)
i, and is disposed between the sorting device 13 and the payout device 15. As a result, the photomask m2 is sorted into an arbitrary number of levels for each designated quantity according to the thickness measurement value. The payout device 15 has an XZ robot 17 with a transfer hand (vacuum chuck) 17a that moves in two directions, horizontal and vertical. Thereby, the payout device 1
When 5 is driven in two horizontal and vertical directions, the photomask m2 from each designated position on the sorting shelf 14 is held by the transfer hand 17a and transferred to the second unit group 3.

【0022】「第二ユニット群」第二ユニット群3は、
台紙供給ユニット8、包装ユニット22、熱収縮ヒータ
ユニット23、ラベル貼付ユニット24およびバッファ
コンベアユニット25からなり、厚さ分類ステーション
(第一ユニット群)に隣接して配設されている。これに
より、第二ユニット群3が駆動すると、分類ステーショ
ンからのフォトマスクが複数枚毎に包装される。
"Second unit group" The second unit group 3
It comprises a backing sheet supply unit 8, a packaging unit 22, a heat shrinkage heater unit 23, a label sticking unit 24, and a buffer conveyor unit 25, and is arranged adjacent to the thickness classification station (first unit group). As a result, when the second unit group 3 is driven, the photomasks from the sorting station are wrapped in a plurality of sheets.

【0023】台紙供給ユニット8は、台紙カセット1
8、台紙搬送装置19および搬送コンベア20を備えて
いる。これにより、まず、台紙21aを搬送コンベア2
0上に供給した後、その上に第一ユニット群3(振り分
け・払い出しユニット7)からのフォトマスクを積層し
て複数枚とし、更に、その最上部のフォトマスク上に台
紙21bを供給する。これにより、前記フォトマスクが
上下二つの台紙21a、21bで挟まれる。
The backing paper supply unit 8 includes the backing paper cassette 1
8, a mount carrier 19 and a conveyor 20 are provided. As a result, first, the mount 21a is transported to the conveyor 2
After the photomask is supplied on the photomask 0, the photomasks from the first unit group 3 (distribution / dispensing unit 7) are stacked on the photomask to form a plurality of photomasks, and the backing paper 21b is supplied on the uppermost photomask. Thus, the photomask is sandwiched between the upper and lower mounts 21a and 21b.

【0024】台紙カセット18は、上下方向に多数の台
紙21a、21bを積層可能な収納空間18aを有し、
搬送コンベア20の側方に位置し、台紙搬送装置19の
移動領域内に配設されている。台紙搬送装置19は、台
紙21a、21bを保持し、水平・垂直二方向に移動す
る搬送ヘッド19aを有している。これにより、台紙搬
送装置19が駆動すると、この駆動動作に伴い搬送ヘッ
ド19aが水平・垂直二方向に移動し、この搬送ヘッド
19aに台紙カセット18の台紙21aを一枚ずつ保持
すると、台紙21aが搬送コンベア20上に配置され、
この台紙21a上に複数枚のフォトマスクm2を介して
台紙21bが配置される。
The mount cassette 18 has a storage space 18a in which a large number of mounts 21a and 21b can be stacked in the vertical direction.
It is located on the side of the conveyor 20 and is disposed in the movement area of the mount carrier 19. The mount transport device 19 has a transport head 19a that holds the mounts 21a and 21b and moves in two horizontal and vertical directions. Thus, when the mount transport device 19 is driven, the transport head 19a moves in the horizontal and vertical directions in accordance with the driving operation. When the transport head 19a holds the mounts 21a of the mount cassette 18 one by one, the mount 21a is removed. Placed on the conveyor 20;
The mount 21b is arranged on the mount 21a via a plurality of photomasks m2.

【0025】なお、台紙カセット18からの搬送コンベ
ア20への台紙21a、21bの供給は、センサ(図示
せず)によって一枚ずつ行われる。また、搬送コンベア
20上の台紙21aに対するフォトマスクm2の払い出
し装置15による供給は、センサ(図示せず)によって
検出してから行われる。搬送コンベア20は、搬送ハン
ド19a水平移動方向に駆動するコンベアからなり、払
い出し装置15の近傍に配設されている。これにより、
台紙供給ユニット8から包装ユニット22に上下両台紙
21a、21bが複数枚のフォトマスクm2を挟んだ状
態で搬送される。
The supply of the mounts 21a and 21b from the mount cassette 18 to the conveyor 20 is performed one by one by a sensor (not shown). The supply of the photomask m2 to the mount 21a on the conveyor 20 by the payout device 15 is performed after detection by a sensor (not shown). The transport conveyor 20 includes a conveyor that is driven in the horizontal movement direction of the transport hand 19a, and is disposed near the payout device 15. This allows
The upper and lower mounts 21a and 21b are transported from the mount supply unit 8 to the packaging unit 22 with a plurality of photomasks m2 sandwiched therebetween.

【0026】包装ユニット22は、台紙付きのフォトマ
スクm3を塩化ビニル製フィルム等の熱収縮フィルム2
6によって包装する包装装置27およびこの包装装置2
7による台紙付き・包装済みのフォトマスクm4を次工
程に搬送する搬送コンベア28を有し、台紙供給ユニッ
ト8と熱収縮ヒータユニット23との間に配設されてい
る。これにより、包装ユニット22が駆動すると、図7
に示すように熱収縮フィルム26で台紙付きのフォトマ
スクm3が包装され、この包装済みのフォトマスクm4
が包装装置27から熱収縮ヒータユニット23に搬送コ
ンベア28を介して搬送される。
The packaging unit 22 converts the photomask m3 with the backing sheet into a heat-shrinkable film 2 such as a vinyl chloride film.
6 and the packaging device 2
The photomask m4 provided with the backing and packaged by the backing 7 is provided with a transfer conveyor 28 for transferring the photomask m4 to the next step, and is provided between the backing sheet supply unit 8 and the heat shrink heater unit 23. Thus, when the packaging unit 22 is driven, FIG.
The photomask m3 with the mount is wrapped with the heat-shrinkable film 26 as shown in FIG.
Is transported from the packaging device 27 to the heat shrinkable heater unit 23 via the transport conveyor 28.

【0027】熱収縮ヒータユニット23は、フォトマス
クm4の熱収縮フィルム26を熱収縮させて強固に包装
(封止)する加熱装置29およびこの加熱装置29によ
る封止済みのフォトマスクm5を次工程に搬送する搬送
コンベア30(搬送コンベア20)を有し、包装ユニッ
ト22とラベル貼付ユニット24との間に配設されてい
る。これにより、熱収縮ヒータユニット23が駆動する
と、図8に示すように熱収縮フィルム26を熱収縮させ
てフォトマスクm4が強固に封止され、加熱装置29か
らラベル貼付ユニット24に搬送コンベア30を介して
搬送される。
The heat-shrinkable heater unit 23 includes a heating device 29 for heat-shrinking the heat-shrinkable film 26 of the photomask m4 to tightly wrap (seal) the photomask m5 sealed by the heating device 29 in the next step. , And is disposed between the packaging unit 22 and the label sticking unit 24. Thereby, when the heat-shrinkable heater unit 23 is driven, the heat-shrinkable film 26 is heat-shrinked as shown in FIG. 8 to tightly seal the photomask m4, and the transport conveyor 30 is transferred from the heating device 29 to the label sticking unit 24. Conveyed through.

【0028】ラベル貼付ユニット24は、マスクデータ
をラベル31に印刷するラベルプリンタ32、このラベ
ルプリンタ32による印刷済みのラベル31をフォトマ
スク内包の熱収縮フィルム26に貼付するラベル貼付装
置33およびこのラベル貼付装置33近傍で各フォトマ
スクm5を次工程に搬送する搬送コンベア34(搬送コ
ンベア20)を有し、熱収縮ヒータユニット23とバッ
ファコンベアユニット25との間に配設されている。こ
れにより、ラベル貼付ユニット24が駆動すると、マス
ク測定厚さおよび製品番号等のデータがラベル31に印
刷され、この印刷済みのラベル31が搬送コンベア34
上においてフォトマスクm4を内包する熱収縮フィルム
26に貼付され、バッファコンベアユニット25に搬送
される。
The label sticking unit 24 includes a label printer 32 for printing mask data on the label 31, a label sticking device 33 for sticking the label 31 printed by the label printer 32 to the heat-shrinkable film 26 in the photomask, and a label sticking unit 33. A transport conveyor 34 (transport conveyor 20) for transporting each photomask m5 to the next process is provided near the attaching device 33, and is disposed between the heat shrink heater unit 23 and the buffer conveyor unit 25. As a result, when the label attaching unit 24 is driven, data such as the mask measurement thickness and the product number are printed on the label 31, and the printed label 31 is transferred to the transport conveyor 34.
Above, it is affixed to the heat-shrinkable film 26 containing the photomask m4 and transported to the buffer conveyor unit 25.

【0029】バッファコンベアユニット25は、ラベル
貼付が完了した封止済みフォトマスクm5を搬送する搬
送コンベア35(搬送コンベア34)およびこの搬送コ
ンベア35上における指定数量(七組)の封止済みのフ
ォトマスクm5のうち最下流の封止済みフォトマスクm
5を位置検出するセンサ36を有し、ラベル貼付ユニッ
ト24に隣接して配設されている。これにより、バッフ
ァコンベアユニット25が駆動すると、搬送コンベア3
5上を封止済みフォトマスクm5が指定数量に達するま
で搬送される。そして、搬送コンベア35上に封止済み
フォトマスクm5が指定数量に達すると、最下流の封止
済みフォトマスクm5をセンサ36が検出して(ON状
態)バッファコンベアユニット25が一時停止する。こ
のとき、作業者によって搬送コンベア35上の封止済み
フォトマスクm5が回収される。なお、バッファコンベ
アユニット25は、センサ36がOFF状態となると、
再駆動される。
The buffer conveyor unit 25 includes a conveyor 35 (conveyor 34) for conveying the sealed photomask m5 on which the label has been attached, and a designated number (seven sets) of sealed photomasks on the conveyor 35. The most downstream sealed photomask m of the mask m5
5 has a sensor 36 for detecting the position, and is disposed adjacent to the label attaching unit 24. Thereby, when the buffer conveyor unit 25 is driven, the transport conveyor 3
5 is conveyed until the sealed photomask m5 reaches the designated quantity. Then, when the number of the sealed photomasks m5 reaches the designated number on the transport conveyor 35, the sensor 36 detects the most downstream sealed photomasks m5 (ON state), and the buffer conveyor unit 25 temporarily stops. At this time, the sealed photomask m5 on the conveyor 35 is collected by the operator. When the sensor 36 is turned off, the buffer conveyor unit 25
It is re-driven.

【0030】コントローラ4は、厚さ別分類シーケンス
プログラムが組み込まれたパーソナルコンピュータから
なり、第一ユニット群2および第二ユニット群3(各ユ
ニット)に接続されている。これにより、コントローラ
4が各ユニット群2、3におけるセンサからの検出信号
を受けて各ユニット群2、3に制御信号を出力し、この
出力信号に基づいて各ユニット群2、3が駆動制御され
る。なお、本実施形態においては、単一のパーソナルコ
ンピュータを用いて各ユニットを駆動制御する場合につ
いて説明したが、本発明はこれに限定されず、ユニット
数とパーソナルコンピュータを用いて各ユニットを駆動
制御しても勿論よい。
The controller 4 is composed of a personal computer in which a thickness-based classification sequence program is installed, and is connected to the first unit group 2 and the second unit group 3 (each unit). Thus, the controller 4 receives a detection signal from a sensor in each of the unit groups 2 and 3 and outputs a control signal to each of the unit groups 2 and 3, and the drive of each of the unit groups 2 and 3 is controlled based on the output signal. You. In the present embodiment, a case has been described where each unit is drive-controlled using a single personal computer. However, the present invention is not limited to this, and the number of units and drive control of each unit using a personal computer are described. Of course, you can.

【0031】次に、本発明の第一実施形態に係る板状部
材の厚さ別分類方法につき、図1〜ず8を用いて説明す
る。本板状部材の厚さ別分類は、「フォトマスクの供
給」、「フォトマスクの厚さ測定」、「フォトマスクの
振り分け・払い出し」、「台紙の供給」、「台紙付きフ
ォトマスクの包装」、「包装済みフォトマスクの封止」
および「ラベルの貼付」の各工程を順次経て行われる。
Next, a method of classifying plate-like members according to the first embodiment of the present invention by thickness will be described with reference to FIGS. The classification of this plate-shaped member by thickness is as follows: "Supply of photomask", "Measurement of thickness of photomask", "Distribution and dispensing of photomask", "Supply of mount", "Packaging of photomask with mount" , "Sealing of pre-packaged photomasks"
And the steps of “sticking a label”.

【0032】「フォトマスクの供給」予め供給ステージ
9上に多数のフォトマスクm1が位置決め載置(積層)
しておき、コントローラ4に入力して供給ユニット5の
XZロボット10を駆動させる。このとき、供給シーケ
ンスに基づき、XZロボット10の搬送ハンド10aが
水平・垂直方向に移動して供給ステージ9上のフォトマ
スクm1を一枚ずつ保持し、フォトマスクm1が測定ユ
ニット6の測定ステージ11(マスク載置部11c)に
供給される。
[Supply of Photomask] A large number of photomasks m1 are positioned and mounted (laminated) on the supply stage 9 in advance.
The XZ robot 10 of the supply unit 5 is driven by inputting to the controller 4. At this time, based on the supply sequence, the transport hand 10a of the XZ robot 10 moves in the horizontal and vertical directions to hold the photomasks m1 on the supply stage 9 one by one, and the photomask m1 is moved to the measurement stage 11 of the measurement unit 6. (Mask mounting portion 11c).

【0033】「フォトマスクの厚さ測定」まず、供給ス
テージ11におけるマスク載置部11c上のフォトマス
クm1を厚さ測定位置(マスク載置部11a)に移送す
る。このとき、測定シーケンスに基づき、厚さ測定装置
12が駆動し、フォトマスクm1の厚さ測定が開始され
る。すなわち、両回転カム機構が駆動し、この駆動動作
に伴い、両測定子12a、12bがフォトマスクm1の
表裏面に接触し、フォトマスクm1の厚さが五箇所で測
定される。なお、これら測定データおよび品種等の情報
はコントローラ4(メモり)に記憶される。次に、両測
定子をフォトマスクm1の表裏面から離間させてから、
測定済みのフォトマスクm2を搬送待機位置に移送す
る。
[Measurement of Photomask Thickness] First, the photomask m1 on the mask mounting portion 11c of the supply stage 11 is transferred to a thickness measuring position (mask mounting portion 11a). At this time, the thickness measurement device 12 is driven based on the measurement sequence, and the thickness measurement of the photomask m1 is started. That is, both rotating cam mechanisms are driven, and with this driving operation, the both tracing styluses 12a and 12b contact the front and back surfaces of the photomask m1, and the thickness of the photomask m1 is measured at five locations. The measurement data and the information such as the type are stored in the controller 4 (memory). Next, after separating both the probes from the front and back surfaces of the photomask m1,
The measured photomask m2 is transferred to the transfer standby position.

【0034】「フォトマスクの振り分け・払い出し」ま
ず、搬送待機位置におけるマスク載置部11d上のフォ
トマスクm2を振り分け装置13のXZロボット16に
よって振り分け棚14の空間14a〜14iに振り分け
移送する。このとき、振り分けシーケンスに基づき、コ
ントローラ4(メモり)からフォトマスクm2の厚さデ
ータが呼び出されるとともに、この厚さデータと予め記
憶された空間14a〜14iに対応する厚さデータとが
演算処理装置によって比較され、フォトマスクm2の収
納先としての空間が選択される。次に、振り分け棚14
における空間14a〜14i内のフォトマスクm2を払
い出し装置15のXZロボット17によって台紙供給ユ
ニット8(搬送コンベア20上の台紙21a)に移送す
る。このとき、払い出しシーケンスに基づき、各指定位
置におけるフォトマスクm2が所定の枚数ずつXZロボ
ット17の搬送ハンド17aによって保持される。
"Distribution / Discharge of Photomask" First, the photomask m2 on the mask mounting portion 11d at the transfer standby position is distributed and transferred to the spaces 14a to 14i of the distribution shelf 14 by the XZ robot 16 of the distribution device 13. At this time, based on the distribution sequence, the thickness data of the photomask m2 is called from the controller 4 (memory), and the thickness data and the thickness data corresponding to the previously stored spaces 14a to 14i are subjected to arithmetic processing. A comparison is made by the apparatus, and a space as a storage destination of the photomask m2 is selected. Next, the sorting shelf 14
The photomask m2 in the spaces 14a to 14i is transferred by the XZ robot 17 of the dispensing device 15 to the backing sheet supply unit 8 (backing sheet 21a on the conveyor 20). At this time, a predetermined number of photomasks m2 at each designated position are held by the transfer hand 17a of the XZ robot 17 based on the payout sequence.

【0035】「台紙の供給」台紙カセット18内から台
紙21aを搬送コンベア20上に移送載置した後、台紙
21a上にフォトマスクm2(払い出し装置15から台
紙21a上に移送されたもの)を介して台紙カセット1
8から台紙21bを移送載置する。このとき、台紙供給
シーケンスに基づき、台紙21a、21bが台紙搬送装
置19の搬送ヘッド19aによって一枚ずつ保持され、
それぞれ搬送コンベア20上とフォトマスクm2上に供
給される。そして、台紙付きのフォトマスクm3を搬送
コンベア20によって包装ユニット22の包装装置27
に移送する。
[Supply of Mount] After the mount 21a is transferred from the mount cassette 18 onto the conveyor 20 and then placed on the mount 21a via the photomask m2 (transferred from the dispenser 15 onto the mount 21a). Backing cassette 1
From 8, the mount 21 b is transferred and placed. At this time, the mounts 21a and 21b are held one by one by the transfer head 19a of the mount transfer device 19 based on the mount supply sequence.
These are supplied on the conveyor 20 and the photomask m2, respectively. Then, the photomask m3 with the mount is transported by the conveyor 20 to the packaging device 27 of the packaging unit 22.
Transfer to

【0036】「台紙付きフォトマスクの包装」まず、台
紙付きのフォトマスクm3を包装装置27によって包装
する。このとき、包装シーケンスに基づき、熱収縮フィ
ルム26にフォトマスクm3を両台紙21a,21bで
挟んだ状態で内包される。次に、包装済みのフォトマス
クm4を熱収縮ユニット23に搬送コンベア28によっ
て移送する。
[Packaging of Photomask with Mount] First, the photomask m3 with the mount is packaged by the packaging device 27. At this time, based on the packaging sequence, the photomask m3 is included in the heat-shrinkable film 26 in a state where the photomask m3 is sandwiched between the mounts 21a and 21b. Next, the packed photomask m4 is transferred to the heat shrinking unit 23 by the transfer conveyor 28.

【0037】「包装済みフォトマスクの封止」まず、包
装済みのフォトマスクm4を加熱装置29によって封止
する。このとき、熱収縮シーケンスに基づき、熱収縮フ
ィルム26を熱収縮させてフォトマスクm4の包装が強
固に行われる。次に、封止済みのフォトマスクm5を搬
送コンベア30によってラベル貼付ユニット24に移送
する。
[Sealing of Packaged Photomask] First, the packaged photomask m4 is sealed by the heating device 29. At this time, based on the heat shrink sequence, the heat shrink film 26 is heat shrunk to securely pack the photomask m4. Next, the sealed photomask m5 is transferred to the label sticking unit 24 by the transport conveyor 30.

【0038】「ラベルの貼付」まず、ラベル貼付装置3
3によって熱収縮フィルム26にラベル31を貼付す
る。このとき、ラベル貼付シーケンスに基づき、予めラ
ベルプリンタ32によってマスク測定厚さおよび製品番
号等のデータが印刷されたラベル31の熱収縮フィルム
26(フォトマスクm5を内包)への貼付が行われる。
次に、熱収縮フィルム26によって封止されたフォトマ
スクm5を搬送コンベア34によってバッファコンベア
ユニット25に移送する。
"Labeling" First, the labeling device 3
3, the label 31 is attached to the heat shrinkable film 26. At this time, based on the label sticking sequence, the label printer 32 sticks the label 31 on which the data such as the mask measurement thickness and the product number are printed in advance to the heat-shrinkable film 26 (including the photomask m5).
Next, the photomask m5 sealed with the heat shrinkable film 26 is transferred to the buffer conveyor unit 25 by the transfer conveyor 34.

【0039】このようにして、フォトマスクを厚さ別に
分類することができる。なお、フォトマスクm5の分類
後には、バッファコンベアユニット25を駆動させ、指
定数量のラベル貼付済フォトマスクm5を搬送コンベア
35上に貯留して出荷物として回収する。
In this way, the photomasks can be classified according to their thickness. After the classification of the photomasks m5, the buffer conveyor unit 25 is driven, and the designated number of photomasks m5 with the label attached are stored on the transport conveyor 35 and collected as shipment.

【0040】したがって、本実施形態においては、フォ
トマスクmの厚さ測定、包装(分類)を自動的に行うこ
とができるから、分類ミスおよびフォトマスク同士の接
触による損傷発生を防止することができる。また、本実
施形態において、フォトマスクmの厚さが自動測定が可
能であることは、フォトマスクmに対する測定箇所が増
加しても、人手による厚さ測定の場合と比較して測定時
間を確実に短縮することができる。
Therefore, in the present embodiment, the thickness measurement and packaging (classification) of the photomask m can be automatically performed, so that it is possible to prevent classification errors and damage caused by contact between the photomasks. . Further, in the present embodiment, the fact that the thickness of the photomask m can be automatically measured means that even if the number of measurement points on the photomask m increases, the measurement time can be more reliably measured than in the case of manual thickness measurement. Can be shortened.

【0041】また、本実施形態においては、生産ライン
が平面I字形状である場合について説明したが、本発明
はこれに限定されず、図9に示すような平面L字形状で
あってもよい。この場合、供給ユニット5、測定ユニッ
ト6、振り分け・払い出しユニット7および台紙供給ユ
ニット8が同一のライン上に配置され(XZロボット1
0はラインに対して45°傾斜して配置されている)、
このラインに直角なライン上に包装ユニット22、熱収
縮ユニット23、ラベル貼付ユニット24およびバッフ
ァコンベアユニット25が配置されている。また、振り
分け・払い出しユニット7の振り分け棚14は、3列×
3段(9分類)に限定されるものではなく、例えば、4
列×3段(12分類)の収納空間を有し、これら収納空
間数と同数の分類を行ってもよい。
Further, in this embodiment, the case where the production line has a plane I-shape has been described, but the present invention is not limited to this, and the production line may be a plane L-shape as shown in FIG. . In this case, the supply unit 5, the measurement unit 6, the sorting / dispensing unit 7, and the mount supply unit 8 are arranged on the same line (the XZ robot 1).
0 is inclined at 45 ° to the line),
The packaging unit 22, the heat shrinking unit 23, the label pasting unit 24, and the buffer conveyor unit 25 are arranged on a line perpendicular to this line. In addition, the distribution shelf 14 of the distribution / payout unit 7 has three rows ×
It is not limited to three stages (9 classifications).
It is possible to have storage spaces of three rows × 12 rows (12 classifications), and perform the same number of classifications as the number of these storage spaces.

【0042】この他、本実施形態においては、フォトマ
スクmの分類に適用する場合について説明したが、本発
明はこれに限定されず、各ユニットの構造(形状)を適
宜変更することにより、半導体デバイス用素材としての
ウェーハ等の分類にも実施形態と同様に適用可能であ
る。
In addition, in this embodiment, the case where the present invention is applied to the classification of the photomask m has been described. However, the present invention is not limited to this, and the structure (shape) of each unit can be appropriately changed to obtain a semiconductor. The present invention can be applied to the classification of a wafer or the like as a device material similarly to the embodiment.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、板
状部材を測定して厚さ別に振り分ける第一ユニット群
と、この第一ユニット群からの板状部材を包装してこの
板状部材にラベルを貼付する第二ユニット群と、この第
二ユニット群および第一ユニット群を駆動制御するコン
トローラとを備えたので、フォトマスクの厚さ測定、包
装が自動的に行われる。したがって、マスク分類ミスお
よびフォトマスク同士の接触による損傷発生を防止する
ことができるから、分類上および品質上の信頼性を向上
させることができる。また、フォトマスクの厚さが自動
測定が可能であることは、フォトマスクに対する測定箇
所が増加しても、人手による厚さ測定の場合と比較して
測定時間を確実に短縮することができるから、生産性を
向上させることもできる。
As described above, according to the present invention, a first unit group for measuring a plate-like member and distributing it according to the thickness, and a plate-like member from the first unit group are packaged to form a plate-like member. Since a second unit group for attaching a label to a member and a controller for controlling the driving of the second unit group and the first unit group are provided, the thickness measurement and packaging of the photomask are automatically performed. Therefore, it is possible to prevent mask classification errors and damage caused by contact between the photomasks, thereby improving classification and quality reliability. In addition, the fact that the thickness of the photomask can be automatically measured means that even if the number of measurement points on the photomask increases, the measurement time can be reliably reduced as compared with the case of manual thickness measurement. Also, productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明の第一実施形態に係る板状部材
の厚さ別分類装置を概略仕手示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram schematically showing a device for classifying plate-shaped members according to a first embodiment of the present invention by thickness.

【図2】図2(a)および(b)は本発明の第一実施形
態に係る板状部材の厚さ別分類装置の全体を示す平面図
と側面図である。
FIGS. 2 (a) and 2 (b) are a plan view and a side view showing the entire plate-like-member-thickness sorting apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図3】図3は、本発明の第一実施形態に係る板状部材
の厚さ別分類装置における第一ユニット群の振り分け装
置を概略して示す側面図である。
FIG. 3 is a side view schematically showing an apparatus for sorting the first unit group in the apparatus for classifying plate-shaped members according to the first embodiment of the present invention.

【図4】図4は、本発明の第一実施形態に係る板状部材
の厚さ別分類装置における第一ユニット群の振り分け棚
を概略して示す側面図である。
FIG. 4 is a side view schematically showing a distribution shelf of a first unit group in the plate-like member thickness classification apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図5】図5は、本発明の第一実施形態に係る板状部材
の厚さ別分類装置における払い出し装置を概略して示す
斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view schematically showing a payout device in the plate-like member thickness-sorting device according to the first embodiment of the present invention.

【図6】図6は、フォトマスクの測定箇所を説明するた
めに示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view shown to explain a measurement location of the photomask.

【図7】熱収縮フィルム(熱収縮前)によって包装され
たフォトマスクを示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a photomask packaged with a heat-shrinkable film (before heat-shrinkage).

【図8】図8は、熱収縮フィルム(熱収縮後)によって
封止されたフォトマスクを示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a photomask sealed with a heat-shrinkable film (after heat-shrinkage).

【図9】図9は、本発明の第二実施形態に係る板状部材
の厚さ別分類装置の全体を示す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing the entire device for classifying plate-like members by thickness according to the second embodiment of the present invention.

【図10】図10は、従来における板状部材の厚さ別分
類について説明するために示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view for explaining a conventional classification of plate members by thickness.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 板状部材の厚さ別分類装置 2 第一ユニット群 3 第二ユニット群 4 コントローラ 5 供給ユニット 6 測定ユニット 7 振り分け・払い出しユニット 8 台紙供給ユニット 9 供給ステージ 10 XZロボット 10a 搬送ハンド 10b 垂直案内部材 10c 水平案内部材 11 厚さ測定装置 11a〜11d マスク載置部 12 厚さ測定装置 13 振り分け装置 14 振り分け棚 14a〜14i 空間 15 払い出し装置 16 XZロボット 16a 搬送ハンド 17 XZロボット 17a 搬送ハンド 18 台紙カセット 19 台紙搬送装置 20 搬送コンベア 21a、21b 台紙 22 包装ユニット 23 熱収縮ヒータユニット 24 ラベル貼付ユニット 25 バッファコンベアユニット 26 熱収縮フィルム 27 包装装置 28 搬送コンベア DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Classification apparatus according to thickness of plate-shaped member 2 First unit group 3 Second unit group 4 Controller 5 Supply unit 6 Measurement unit 7 Sorting / dispensing unit 8 Base sheet supply unit 9 Supply stage 10 XZ robot 10a Transfer hand 10b Vertical guide member Reference Signs List 10c Horizontal guide member 11 Thickness measuring device 11a to 11d Mask placing part 12 Thickness measuring device 13 Sorting device 14 Sorting shelf 14a to 14i Space 15 Dispensing device 16 XZ robot 16a Transfer hand 17 XZ robot 17a Transfer hand 18 Mount cassette 19 Mount carrier 20 Transport conveyor 21a, 21b Mount 22 Packaging unit 23 Heat shrink heater unit 24 Label sticking unit 25 Buffer conveyor unit 26 Heat shrink film 27 Packaging device 28 Transport conveyor

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 分類対象としての板状部材の厚さを複数
箇所で測定し、この測定結果に基づいて板状部材を厚さ
別に振り分ける第一ユニット群と、 この第一ユニット群によって振り分けられた同一厚さの
板状部材を複数枚ずつ包装し、これら各包装物データが
印刷されたラベルを貼付する第二ユニット群と、 この第二ユニット群および前記第一ユニット群を駆動制
御するコントローラとを備えたことを特徴とする板状部
材の厚さ別分類装置。
1. A first unit group for measuring the thickness of a plate-like member as a classification target at a plurality of locations, and sorting the plate-like members by thickness based on a result of the measurement. A second unit group for packaging a plurality of plate members having the same thickness, and affixing a label on which each package data is printed, and a controller for driving and controlling the second unit group and the first unit group A classification device according to thickness of a plate-shaped member, comprising:
【請求項2】 前記第二ユニット群に、振り分け済みの
前記板状部材を挟む二つの台紙を供給する台紙供給ユニ
ットを含ませたことを特徴とする請求項1に記載された
板状部材の厚さ別分類装置。
2. The plate-like member according to claim 1, wherein the second unit group includes a mount supply unit that supplies two mounts sandwiching the sorted plate-like member. Sorting device by thickness.
【請求項3】 前記第二ユニット群に、前記台紙供給ユ
ニットからの台紙付き板状部材を熱収縮フィルムで包装
する包装ユニットを含ませたことを特徴とする請求項2
に記載された板状部材の厚さ別分類装置。
3. A packaging unit for packaging a plate-like member with a backing from the backing supply unit in a heat-shrinkable film in the second unit group.
2. The apparatus for classifying plate-shaped members according to thickness described in 1. above.
【請求項4】 前記第二ユニット群に、前記ラベルに板
状部材のデータを印刷するプリンタを有するラベル貼付
ユニットを含ませたことを特徴とする請求項1乃至3の
いずれかに記載された板状部材の厚さ別分類装置。
4. The label attaching unit according to claim 1, wherein the second unit group includes a label sticking unit having a printer for printing data of a plate member on the label. An apparatus for classifying plate members by thickness.
【請求項5】 前記第二ユニット群に、ラベル付きの前
記包装物を貯留するコンベアを有するバッファコンベア
ユニットを含ませたことを特徴とする請求項1乃至4の
いずれかに記載された板状部材の厚さ別分類装置。
5. The plate-like sheet according to claim 1, wherein the second unit group includes a buffer conveyor unit having a conveyor for storing the labeled package. Device for classifying member thickness.
【請求項6】 前記板状部材が、フォトマスクであるこ
とを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載
された板状部材の厚さ別分類装置。
6. The apparatus according to claim 1, wherein the plate member is a photomask.
【請求項7】 分類対象としての板状部材の厚さを複数
箇所で測定する第一工程と、 この測定結果に基づいて板状部材を厚さ別に振り分ける
第二工程と、 これら振り分けられた同一厚さの板状部材を複数枚ずつ
包装する第三工程と、 これら各包装物にデータが印刷されたラベルを貼付する
第四工程とを備え、 これら各工程を駆動制御することを特徴とする板状部材
の厚さ別分類方法。
7. A first step of measuring the thickness of a plate member as a classification target at a plurality of locations, and a second step of sorting the plate members by thickness based on a result of the measurement. A third step of packaging a plurality of plate-like members having a thickness, and a fourth step of attaching a label printed with data to each of these packages, and drive controlling each of these steps. A method for classifying plate members by thickness.
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