JP2001328200A - Transparent conductive film - Google Patents

Transparent conductive film

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JP2001328200A
JP2001328200A JP2000188433A JP2000188433A JP2001328200A JP 2001328200 A JP2001328200 A JP 2001328200A JP 2000188433 A JP2000188433 A JP 2000188433A JP 2000188433 A JP2000188433 A JP 2000188433A JP 2001328200 A JP2001328200 A JP 2001328200A
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film
conductive
conductive film
resin
fine particles
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Japanese (ja)
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Kiminori Tamai
公則 玉井
Tadayoshi Iijima
忠良 飯島
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Original Assignee
TDK Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent conductive film which has a low surface electric resistance value and is excellent in conductivity and also in transparency and suitable for an antistatic use particularly, making the most of a coating method which facilitates forming of a conductive film of a large area and the equipment for which is simple, has high productivity and can be manufactured at a low cost. SOLUTION: The transparent conductive film is constituted by forming on a substrate a conductive layer containing particulates of an antimony-doped tin oxide(ATO). The surface electric resistance value of the film is 103-106 Ω/(square) and the visible light transmittance thereof is 75% or above.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は透明導電フィルムに
関する。本発明の透明導電フィルムは、おもに帯電防止
用として、CRT前面パネル、建材用ガラス、車両用ガ
ラス、半導体クリーンルーム樹脂板等に好適に適用され
る。
[0001] The present invention relates to a transparent conductive film. The transparent conductive film of the present invention is suitably applied to a CRT front panel, a building material glass, a vehicle glass, a semiconductor clean room resin plate, etc., mainly for antistatic purposes.

【0002】[0002]

【従来の技術】支持体上に導電性材料を含む層を形成し
た透明導電フィルムは、おもにスパッタリング法によっ
て製造されている。スパタッリング法には種々の手段が
あり、例えば、真空中で直流または高周波放電で発生し
た不活性ガスイオンをターゲット表面に加速衝突させ、
ターゲットを構成する原子を表面から叩き出し、支持体
表面に沈着させ透明導電層を形成する手段などが挙げら
れる。
2. Description of the Related Art A transparent conductive film in which a layer containing a conductive material is formed on a support is mainly produced by a sputtering method. There are various means in the sputtering method, for example, accelerated collision of inert gas ions generated by DC or high-frequency discharge in a vacuum to the target surface,
Means include a method in which atoms constituting the target are knocked out from the surface and deposited on the surface of the support to form a transparent conductive layer.

【0003】スパッタリング法は、ある程度大きな面積
のものでも、表面電気抵抗の低い導電層を形成すること
ができる点で優れる。しかし、装置が大掛かりで成膜速
度が遅い等の問題点がある。今後、導電層の大面積化が
進むにつれ、装置の大規模化が予想される。装置の大規
模化は、制御精度により一層の高度化が要求されるとい
った技術面での問題や、製造コスト増大などの製造効率
面での問題を生じる。また、現在、ターゲット数をふや
すことで成膜速度の向上を図っているが、これも装置の
大規模化の一因となっている。
[0003] The sputtering method is excellent in that a conductive layer having a low surface electric resistance can be formed even with a relatively large area. However, there is a problem that the apparatus is large and the film forming speed is low. In the future, as the area of the conductive layer increases, the scale of the device is expected to increase. Increasing the scale of the apparatus causes a technical problem that a higher degree of control is required for the control accuracy, and a problem in manufacturing efficiency such as an increase in manufacturing cost. At present, the number of targets is increased to increase the film formation rate, but this also contributes to the increase in the scale of the apparatus.

【0004】塗布法による透明導電フィルムの製造も試
みられている。従来の塗布法では、導電性微粒子をバイ
ンダー樹脂中に分散させた導電性塗料を支持体上に塗
布、乾燥し、導電層を形成している。塗布法は、スパッ
タリング法に比べ、大面積の導電層を容易に形成しやす
く、装置が簡便で生産性が高く、製造コストも低い。塗
布法による導電フィルムにおいては、導電層中に存在す
る導電性微粒子どうしが互いに接触することにより電気
経路を形成し、これにより導電性が発現される。
[0004] Production of a transparent conductive film by a coating method has also been attempted. In a conventional coating method, a conductive paint in which conductive fine particles are dispersed in a binder resin is coated on a support and dried to form a conductive layer. In the coating method, a large-area conductive layer is easily formed, the apparatus is simple, the productivity is high, and the manufacturing cost is low as compared with the sputtering method. In a conductive film formed by a coating method, conductive particles formed in a conductive layer come into contact with each other to form an electrical path, thereby exhibiting conductivity.

【0005】従来、塗布法による透明導電フィルムの製
造においては、バインダー樹脂を大量に用いなければ導
電層を成膜することができないとされていた。そのた
め、バインダー樹脂によって導電性微粒子どうしの接触
が妨げられ、得られる透明導電フィルムの電気抵抗値が
高くなる(導電性に劣る)という問題があり、その用途
が限られていた。また、バインダー樹脂を用いない場合
には、導電性物質を高温で焼結させなければ実用に耐え
る導電層の形成ができないとされていた。
Conventionally, in the production of a transparent conductive film by a coating method, it has been considered that a conductive layer cannot be formed unless a large amount of a binder resin is used. Therefore, there is a problem that contact between the conductive fine particles is hindered by the binder resin, and the resulting transparent conductive film has a high electric resistance value (poor in conductivity), and its use has been limited. Further, it is said that when a binder resin is not used, a conductive layer that can withstand practical use cannot be formed unless the conductive material is sintered at a high temperature.

【0006】従来の塗布法として、例えば特開平9−1
09259号公報には、導電性粉末とバインダー樹脂と
からなる導電性塗料を転写用プラスチックフィルム上に
塗布、乾燥し、導電層を形成する第1工程、導電層表面
を平滑面に加圧(5〜100kg/cm)、加熱(7
0〜180℃)処理する第2工程、この導電層をプラス
チックフィルム若しくはシート上に積層し、熱圧着させ
る第3工程からなる帯電防止透明導電フィルム若しくは
シートの製造法が開示されている。
As a conventional coating method, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-1
No. 09259 discloses a first step of applying a conductive paint composed of a conductive powder and a binder resin on a transfer plastic film and drying the conductive paint to form a conductive layer. 100100 kg / cm 2 ), heating (7
A method for producing an antistatic transparent conductive film or sheet comprising a second step of treating (0 to 180 ° C.) and a third step of laminating this conductive layer on a plastic film or sheet and thermocompression bonding is disclosed.

【0007】上記製造法では、大量のバインダー樹脂を
含む導電性塗料を用いている。すなわち、導電性粉末と
して無機質導電性粉末を用いる場合、バインダー100
重量部に対して導電性粉末100〜500重量部、有機
質導電性粉末を用いる場合、バインダー100重量部に
対して導電性粉末0.1〜30重量部である。このよう
にバインダー樹脂を大量に用いるため、上記公報に示さ
れる技術では電気抵抗値の低い透明導電フィルムを得る
ことができない。バインダー樹脂が最も少ない場合であ
っても、無機質導電性粉末500重量部に対してバイン
ダー100重量部であり、これは、同号公報に開示のバ
インダーの密度から体積に換算すると、導電性粉末10
0に対してバインダー110程度の量である。
In the above manufacturing method, a conductive paint containing a large amount of a binder resin is used. That is, when an inorganic conductive powder is used as the conductive powder, the binder 100
When the conductive powder is used in an amount of 100 to 500 parts by weight and the organic conductive powder is used in an amount of 0.1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder. Since a large amount of binder resin is used, a transparent conductive film having a low electric resistance cannot be obtained by the technique disclosed in the above publication. Even in the case where the amount of the binder resin is the least, the binder is 100 parts by weight with respect to 500 parts by weight of the inorganic conductive powder.
The amount is about 110 for the binder with respect to 0.

【0008】また特開平8−199096号公報には、
錫ドープ酸化インジウム(ITO)粉末、溶媒、カップ
リング剤、金属の有機酸塩若しくは無機酸塩からなる、
バインダーを含まない導電膜形成用塗料をガラス板に塗
布し、300℃以上の温度で焼成する透明導電膜被覆ガ
ラス板の製造法が開示されている。この方法では、バイ
ンダーを用いないので、導電膜の電気抵抗値は低くな
る。しかし、300℃以上の温度での焼成工程を行う必
要があるため、樹脂フィルムのような支持体上に導電膜
を形成することは困難である。樹脂フィルムは中〜高温
で変形、溶融、炭化、あるいは燃焼してしまう。樹脂フ
ィルムの種類によっても異なるが、例えばポリエチレン
テレフタレート(PET)フィルムでは130℃前後の
温度が加熱の限界と考えられる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-199096 discloses that
Consisting of tin-doped indium oxide (ITO) powder, solvent, coupling agent, metal organic or inorganic acid salt,
There is disclosed a method for producing a transparent conductive film-coated glass plate, in which a conductive film forming paint containing no binder is applied to a glass plate and fired at a temperature of 300 ° C. or higher. In this method, since no binder is used, the electric resistance value of the conductive film is reduced. However, since it is necessary to perform the baking step at a temperature of 300 ° C. or higher, it is difficult to form a conductive film on a support such as a resin film. The resin film is deformed, melted, carbonized, or burns at medium to high temperatures. Although it varies depending on the type of resin film, for example, a temperature of about 130 ° C. is considered to be the limit of heating in a polyethylene terephthalate (PET) film.

【0009】塗布法以外の製造法として、例えば特開平
6−13785号公報に、導電性物質(金属または合
金)粉体より構成された骨格構造の空隙の少なくとも一
部、好ましくは空隙の全部に樹脂が充填された粉体圧縮
層と、その下側の樹脂層とからなる導電性皮膜が開示さ
れている。それによると、板材に皮膜を形成する場合、
まず、樹脂、粉体物質(金属または合金)および被処理
部材である板材を皮膜形成媒体(直径数mmのスチール
ボール)とともに容器内で振動または攪拌すると、被処
理部材表面に樹脂層が形成され、続いて粉体物質がこの
樹脂層の粘着力により樹脂層に捕捉・固定される。さら
に振動または攪拌を受けている皮膜形成媒体が、振動ま
たは攪拌を受けている粉体物質に打撃力を与え、粉体圧
縮層がつくられる。しかしながら、この技術においても
また、粉体圧縮層の固定効果を得るためにかなりの量の
樹脂が必要とされることから、電気抵抗値の低い導電性
皮膜を得るのが難しい。また、塗布法に比べ製法が煩雑
である。
As a manufacturing method other than the coating method, for example, Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. Hei 6-13785 discloses that at least a part, preferably all of the voids of a skeleton structure composed of a conductive substance (metal or alloy) powder are used. There is disclosed a conductive film composed of a powder compression layer filled with a resin and a resin layer below the powder compression layer. According to that, when forming a film on a plate material,
First, when a resin, a powdery substance (metal or alloy) and a plate material as a member to be processed are vibrated or stirred in a container together with a film forming medium (steel balls having a diameter of several mm), a resin layer is formed on the surface of the member to be processed. Subsequently, the powder material is captured and fixed to the resin layer by the adhesive force of the resin layer. Further, the vibrating or agitating film-forming medium exerts a striking force on the vibrating or agitating powder material to form a powder compaction layer. However, even in this technique, since a considerable amount of resin is required to obtain the effect of fixing the powder compression layer, it is difficult to obtain a conductive film having a low electric resistance value. Also, the production method is more complicated than the coating method.

【0010】さらに他の製造法として、特開平9−10
7195号公報に、導電性短繊維をPVCなどのフィル
ム上にふりかけて堆積させ、これを加圧処理して、導電
性短繊維−樹脂一体化層を形成する方法が開示されてい
る。導電性短繊維とは、ポリエチレンテレフタレートな
どの短繊維にニッケルめっきなどを被着処理したもので
ある。加圧操作は、樹脂マトリックス層が熱可塑性を示
す温度条件下で行うことが好ましく、175℃、20k
g/cmという高温加熱・低圧条件が開示されてい
る。
[0010] Still another production method is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-10 / 1990.
No. 7195 discloses a method of forming a conductive short fiber-resin integrated layer by sprinkling conductive short fibers on a film such as PVC and depositing the same, followed by pressure treatment. The conductive short fiber is a short fiber such as polyethylene terephthalate obtained by applying a nickel plating or the like to the short fiber. The pressing operation is preferably performed under a temperature condition at which the resin matrix layer shows thermoplasticity.
A high temperature heating and low pressure condition of g / cm 2 is disclosed.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、大面積の導
電フィルムを容易に形成しやすく、装置が簡便で生産性
が高く、低コストで製造可能な塗布法の利点を活かしつ
つ、安価で地球資源的に豊富な材料を用いて、表面電気
抵抗値が低く導電性に優れるとともに、透明性に優れた
透明導電フィルムを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a conductive film having a large area can be easily formed, the apparatus is simple, the productivity is high, and the advantages of the coating method that can be manufactured at low cost can be obtained at a low cost. An object of the present invention is to provide a transparent conductive film having low surface electric resistance, excellent conductivity, and excellent transparency using materials abundant in earth resources.

【0012】例えば、錫ドープ酸化インジウム(IT
O)は、酸化物の中では電気抵抗が非常に低いため、現
在、導電材料として用いられているが、インジウムは資
源として少なく高価であることから、ITOに比べ電気
抵抗は高いが資源として豊富な錫(Sn)を含むATO
を用いて、ITOに迫る電気抵抗を実現することは工業
的に好ましい。
For example, tin-doped indium oxide (IT
O) is currently used as a conductive material because of its extremely low electrical resistance among oxides. However, indium is a small resource and is expensive, so its electrical resistance is higher than ITO but abundant as a resource. ATO containing pure tin (Sn)
It is industrially preferable to realize an electric resistance close to that of ITO by using GaN.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、以下の本発明が提供される。
In order to solve the above problems, the following inventions are provided.

【0014】(1)アンチモンドープ酸化錫(ATO)
微粒子を含有する導電層を支持体上に形成した透明導電
フィルムであって、表面電気抵抗値が10〜10Ω
/□、可視光透過率が75%以上である、透明導電フィ
ルム。
(1) Antimony-doped tin oxide (ATO)
A transparent conductive film in which a conductive layer containing fine particles is formed on a support, and has a surface electric resistance of 10 3 to 10 6 Ω.
/ □, a transparent conductive film having a visible light transmittance of 75% or more.

【0015】(2)ヘイズ値が1〜10%である、上記
透明導電フィルム。
(2) The transparent conductive film having a haze value of 1 to 10%.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0017】本発明の透明導電フィルムは、支持体上に
導電層を形成してなる。導電層はアンチモンドープ酸化
錫(ATO)微粒子を含有する。本発明では「導電層中
にアンチモンドープ酸化錫(ATO)微粒子を含有す
る」ことから、導電層中に例えばATOの結晶膜が生成
されている態様のものなどは本発明に含まれない。導電
層の厚さは特に限定されるものでなく、透明導電フィル
ムとしての用途、目的等によって一概にいえるものでな
いが、0.1〜10μm程度が好ましい。
The transparent conductive film of the present invention is obtained by forming a conductive layer on a support. The conductive layer contains antimony-doped tin oxide (ATO) fine particles. In the present invention, since the conductive layer contains antimony-doped tin oxide (ATO) fine particles, for example, an embodiment in which an ATO crystal film is formed in the conductive layer is not included in the present invention. The thickness of the conductive layer is not particularly limited, and cannot be said unconditionally depending on the use and purpose as the transparent conductive film, but is preferably about 0.1 to 10 μm.

【0018】支持体としては、特に限定されることな
く、樹脂フィルム、ガラス、セラミックス等の各種のも
のを用いることができるが、透明性が高く、可撓性のも
のが好ましい。これらの点から樹脂フィルムが好ましく
用いられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチ
レンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィル
ム、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン
フィルム、ポリカーボネートフィルム、アクリルフィル
ム、ノルボルネンフィルム(JSR(株)製「アート
ン」、等)等が挙げられる。中でもPETフィルムが特
に好ましい。なお、支持体の厚さは、特に限定されるも
のでないが、10〜200μm程度のものが好ましい。
The support is not particularly limited, and various supports such as a resin film, glass, and ceramics can be used, but a support having high transparency and flexibility is preferable. From these points, a resin film is preferably used. Examples of the resin film include a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyolefin film such as polyethylene or polypropylene, a polycarbonate film, an acrylic film, a norbornene film ("ARTON" manufactured by JSR Corporation) and the like. Among them, a PET film is particularly preferred. The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably about 10 to 200 μm.

【0019】上記構成の本発明透明導電フィルムは、そ
の表面電気抵抗値が10〜10Ω/□、可視光透過
率が75%以上であるという特性を有する。
The transparent conductive film of the present invention having the above-mentioned structure has such characteristics that the surface electric resistance value is 10 3 to 10 6 Ω / □ and the visible light transmittance is 75% or more.

【0020】本発明では、表面電気抵抗値を三菱油化
(株)製Loresta AP(MCP−T400)を
用いて測定した。測定サンプルは導電フィルムを5cm
×5cmの大きさに切り出して用いた。
In the present invention, the surface electric resistance was measured using Loresta AP (MCP-T400) manufactured by Mitsubishi Yuka Co., Ltd. The measurement sample is a conductive film of 5 cm
It was cut out into a size of × 5 cm and used.

【0021】また、可視光透過率は、測定すべき対象に
ついて分光光度計により可視光領域の透過率を測定して
得た値である。本発明における上記可視光透過率は、導
電層と支持体とを含む導電フィルム全体としての可視光
透過率を示す。
The visible light transmittance is a value obtained by measuring the transmittance of the object to be measured in the visible light region with a spectrophotometer. The visible light transmittance in the present invention indicates the visible light transmittance of the entire conductive film including the conductive layer and the support.

【0022】上記可視光透過率は、より好ましくは80
%以上である。なお、上限は95%程度である。
The visible light transmittance is more preferably 80.
% Or more. The upper limit is about 95%.

【0023】また上記本発明の透明導電フィルムは、好
ましくはヘイズ値が1〜10%であり、より好ましくは
1〜5%である。ここでヘイズ値(曇値)とは、光源か
らの全光線透過率に対し直進光線を除いた拡散光線の透
過率の割合をいう。したがってヘイズ値が低くなればそ
れだけ透明性が高くなる。ヘイズ値はJIS K 71
05に規定される下記数1式により求めることができ
る。
The transparent conductive film of the present invention preferably has a haze value of 1 to 10%, more preferably 1 to 5%. Here, the haze value (cloudiness value) refers to the ratio of the transmittance of the diffused light excluding the straight light to the total light transmittance of the light source. Therefore, the lower the haze value, the higher the transparency. Haze value is JIS K71
It can be obtained by the following equation (1) defined in Equation (5).

【0024】[0024]

【数1】H=Td/Tt (ただし、Hはヘイズ、Ttは全光線透過率、Tdは拡
散透過率を示す) 上記のような特性を有する本発明透明導電フィルムとし
ては、例えば、支持体上に、ATO微粒子等の導電性微
粒子を含有する層を圧縮して得られる導電性微粒子圧縮
層を形成してなるものが好ましい態様として例示される
が、上記態様に限定されるものでないことはもちろんで
ある。
H = Td / Tt (where H is the haze, Tt is the total light transmittance, and Td is the diffuse transmittance) Examples of the transparent conductive film of the present invention having the above characteristics include a support On the above, a layer formed by compressing a layer containing conductive fine particles such as ATO fine particles to form a conductive fine particle compression layer is exemplified as a preferred embodiment, but it is not limited to the above embodiment. Of course.

【0025】本発明透明導電フィルムの製造は、特にそ
の製造方法が限定されるものでないが、例えば以下の方
法により好ましく製造される。
The method for producing the transparent conductive film of the present invention is not particularly limited, but is preferably produced, for example, by the following method.

【0026】すなわち、導電性微粒子を分散した塗料を
支持体上に塗布、乾燥して導電性微粒子含有層を形成し
た後、該導電性微粒子含有層を圧縮して導電性微粒子圧
縮層を得ることを含む、透明導電性フィルムの製造方法
である。
That is, a coating material in which conductive fine particles are dispersed is applied on a support, dried to form a conductive fine particle-containing layer, and then the conductive fine particle-containing layer is compressed to obtain a conductive fine particle-compressed layer. And a method for producing a transparent conductive film.

【0027】導電性微粒子としては、本発明ではアンチ
モンドープ酸化錫(ATO)微粒子が必須成分として用
いられる。ATO微粒子の粒子径は、導電フィルムの用
途に応じて必要とされる散乱の度合いにより異なり、ま
た、粒子の形状により異なり一概にはいえないが、一般
に1μm以下であり、0.5μm以下が好ましく、5〜
100nmがより好ましい。
As the conductive fine particles, antimony-doped tin oxide (ATO) fine particles are used as an essential component in the present invention. The particle diameter of the ATO fine particles varies depending on the degree of scattering required according to the application of the conductive film, and also varies depending on the shape of the particles, and cannot be unconditionally determined, but is generally 1 μm or less, preferably 0.5 μm or less. , 5
100 nm is more preferred.

【0028】導電性微粒子を分散する液体(分散媒)と
しては、特に限定されることなく、公知の各種分散媒を
用いることができる。例えば、ヘキサン等の飽和炭化水
素類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メタ
ノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のア
ルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイ
ソブチルケトン、ジイソブチルケトン等のケトン類;酢
酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;テトラヒドロフ
ラン、ジオキサン、ジエチルエーテル等のエーテル類;
N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン
(NMP)、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド
類;エチレンクロライド、クロルベンゼン等のハロゲン
化炭化水素等を挙げることができる。なかでも極性を有
する分散媒が好ましく、特にメタノール、エタノール等
のアルコール類や、NMP等のアミド類などの水と親和
性のあるものは、分散剤を使用しなくても分散性が良好
であることから、好ましく用いられる。これら分散媒は
1種または2種以上を用いることができる。また、分散
媒の種類により、分散剤を用いてもよい。
The liquid (dispersion medium) in which the conductive fine particles are dispersed is not particularly limited, and various known dispersion media can be used. For example, saturated hydrocarbons such as hexane; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; alcohols such as methanol, ethanol, propanol and butanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and diisobutyl ketone; And esters such as butyl acetate; ethers such as tetrahydrofuran, dioxane and diethyl ether;
Amides such as N, N-dimethylformamide, N-methylpyrrolidone (NMP) and N, N-dimethylacetamide; halogenated hydrocarbons such as ethylene chloride and chlorobenzene; Among them, a dispersion medium having polarity is preferable. Particularly, alcohols such as methanol and ethanol, and those having an affinity for water such as amides such as NMP have good dispersibility even without using a dispersant. Therefore, it is preferably used. One or more of these dispersion media can be used. In addition, a dispersant may be used depending on the type of the dispersion medium.

【0029】分散媒として水も用いることができる。水
を用いる場合には、支持体が親水性である必要がある。
樹脂フィルムは通常、疎水性であるため水をはじきやす
く、均一な層が得られにくい。支持体が樹脂フィルムの
場合、水にアルコールを混合したり、あるいは支持体の
表面を親水性にする必要がある。
Water can also be used as a dispersion medium. When water is used, the support needs to be hydrophilic.
Since the resin film is usually hydrophobic, it easily repels water, and it is difficult to obtain a uniform layer. When the support is a resin film, it is necessary to mix alcohol with water or to make the surface of the support hydrophilic.

【0030】用いる分散媒の量は、特に制限されず、導
電性微粒子の分散液(塗料、導電性塗料)が塗布に適し
た適度な粘度を有するようにすればよい。具体的には、
導電性微粒子100重量部に対して分散媒100〜10
0,000重量部程度が好ましいが、導電性微粒子と分
散媒の種類に応じて適宜変更し得る。
The amount of the dispersion medium to be used is not particularly limited as long as the dispersion of the conductive fine particles (paint, conductive paint) has an appropriate viscosity suitable for application. In particular,
Dispersion medium 100 to 10 per 100 parts by weight of conductive fine particles
The amount is preferably about 000 parts by weight, but can be appropriately changed depending on the types of the conductive fine particles and the dispersion medium.

【0031】導電性微粒子の分散媒中への分散は、例え
ばサンドグラインダーミル法など、公知の分散手段によ
り行うことができる。分散に際しては、導電性微粒子の
凝集をほぐすために、ジルコニアビーズ等のメディアを
用いることも好ましい。また、分散の際にゴミ等の不純
物が混入しないよう注意する。
The dispersion of the conductive fine particles in the dispersion medium can be performed by a known dispersion means such as a sand grinder mill method. At the time of dispersion, it is also preferable to use a medium such as zirconia beads in order to loosen aggregation of the conductive fine particles. In addition, care should be taken not to mix impurities such as dust during dispersion.

【0032】導電性微粒子を分散した液(塗料)は、バ
インダー用の樹脂を、分散前の体積で表して、前記導電
性微粒子の体積を100としたとき、25未満の範囲で
用いるのが好ましく、より好ましくは20未満であり、
特に好ましくは3.7未満であり、最も好ましくは0で
ある。樹脂は、導電フィルムの散乱を少なくする作用が
あるが、一方で、導電フィルムの電気抵抗値を高くして
しまう。絶縁性の樹脂によって導電性微粒子どうしの接
触が阻害され、樹脂量が多い場合には微粒子どうしの接
触を妨げ、微粒子相互間の電子移動が阻害されるからで
ある。したがって、透明性の向上と導電性微粒子相互間
の導電性の確保の双方を考慮して、樹脂は上記体積範囲
内で用いるのが好ましい。
The liquid (coating material) in which the conductive fine particles are dispersed is preferably used in a range of less than 25 when the volume of the conductive fine particles is 100, where the volume of the resin for the binder is represented by the volume before dispersion. , More preferably less than 20,
Particularly preferably, it is less than 3.7, and most preferably 0. The resin has an effect of reducing the scattering of the conductive film, but on the other hand, increases the electric resistance value of the conductive film. This is because the insulating resin inhibits the contact between the conductive fine particles, and when the amount of the resin is large, the contact between the fine particles is prevented, and the electron transfer between the fine particles is inhibited. Therefore, the resin is preferably used within the above-mentioned volume range in consideration of both improvement of transparency and securing of conductivity between the conductive fine particles.

【0033】なお、上記導電性微粒子の体積とバインダ
ー樹脂の体積は、みかけの体積ではなく、真体積であ
る。真体積は、JIS Z 8807に基づきピクノメ
ーター等の機器を使用して密度を求め、(用いる材料の
重量)/(用いる材料の密度)から算出される。このよ
うに、樹脂の使用量を重量ではなく体積で規定するの
は、圧縮後に得られる導電層において、導電性微粒子に
対して樹脂がどのようにして存在するのかを考えた場合
により現実を反映するからである。
The volume of the conductive fine particles and the volume of the binder resin are not apparent volumes but true volumes. The true volume is determined by using a device such as a pycnometer based on JIS Z 8807, and calculating from (weight of material used) / (density of material used). In this way, defining the amount of resin to be used by volume rather than weight reflects the reality by considering how the resin is present with respect to the conductive fine particles in the conductive layer obtained after compression. Because you do.

【0034】従来の塗布法においては、後述するような
本製造方法での塗膜への強い圧縮を行わないので、塗膜
の機械的強度を得るためにバインダーとしての樹脂を多
く含有させる必要があった。バインダーとしての役割を
果たし得る量の樹脂を含むと、導電性微粒子同士の接触
がバインダーにより阻害され、微粒子間の電子移動が阻
害され導電性が低下する。
In the conventional coating method, since strong compression of the coating film in the present production method as described later is not performed, it is necessary to contain a large amount of resin as a binder in order to obtain the mechanical strength of the coating film. there were. When an amount of resin that can serve as a binder is contained, contact between the conductive fine particles is hindered by the binder, electron transfer between the fine particles is hindered, and conductivity decreases.

【0035】なお、上記樹脂としては、特に限定される
ことなく、透明性に優れる熱可塑性樹脂またはゴム弾性
を有するポリマーを、1種または2種以上を混合して用
いることができる。樹脂の例としては、フッ素系ポリマ
ー、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルアルコ
ール、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシプロピ
ルセルロース、再生セルロースジアセチルセルロース、
ポリ塩化ビニル、ポリビニルピロリドン、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、SBR、ポリブタジエン、ポリエ
チレンオキシド等が挙げられる。
The resin is not particularly limited, and a thermoplastic resin having excellent transparency or a polymer having rubber elasticity can be used alone or in combination of two or more. Examples of the resin, fluorine-based polymer, silicone resin, acrylic resin, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, regenerated cellulose diacetyl cellulose,
Examples thereof include polyvinyl chloride, polyvinylpyrrolidone, polyethylene, polypropylene, SBR, polybutadiene, and polyethylene oxide.

【0036】フッ素系ポリマーとしては、ポリテトラフ
ルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、
フッ化ビニリデン−三フッ化エチレン共重合体、エチレ
ン−テトラフルオロエチレン共重合体、プロピレン−テ
トラフルオロエチレン共重合体等が挙げられる。また主
鎖の水素をアルキル基で置換した含フッ素系ポリマーも
用いることができる。樹脂の密度が大きいものほど、用
いる量が増大してもそれに比して体積の増大がみられな
いことから、本発明の要件を満たしやすい。
Examples of the fluorine-based polymer include polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride (PVDF),
Examples thereof include vinylidene fluoride-ethylene trifluoride copolymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, and propylene-tetrafluoroethylene copolymer. Further, a fluorine-containing polymer in which hydrogen in the main chain is substituted with an alkyl group can also be used. As the density of the resin increases, the volume does not increase even when the amount used increases, so that the requirements of the present invention are easily satisfied.

【0037】導電性微粒子の分散液には、導電性を損な
わない範囲内で、各種添加剤を配合してもよい。これら
添加剤としては、例えば紫外線吸収剤、界面活性剤、分
散剤等が挙げられる。
Various additives may be added to the dispersion of the conductive fine particles as long as the conductivity is not impaired. Examples of these additives include an ultraviolet absorber, a surfactant, and a dispersant.

【0038】次いで、上記導電性微粒子の分散液(塗
料)を支持体上に塗布、乾燥し、導電性微粒子含有層を
形成する。
Next, a dispersion (coating material) of the conductive fine particles is coated on a support and dried to form a conductive fine particle-containing layer.

【0039】上記支持体上への導電性微粒子分散液(塗
料)の塗布は、特に限定されることなく、公知の方法に
より行うことができる。例えばリバースロール法、ダイ
レクトロール法、ブレード法、ナイフ法、エクストルー
ジョンノズル法、カーテン法、グラビアロール法、バー
コート法、ディップ法、キスコート法、スクイズ法など
の塗布法によって行うことができる。また、噴霧、吹き
付けなどにより、支持体上へ分散液を付着させることも
可能である。
The application of the conductive fine particle dispersion (paint) onto the support is not particularly limited, and can be performed by a known method. For example, it can be performed by a coating method such as a reverse roll method, a direct roll method, a blade method, a knife method, an extrusion nozzle method, a curtain method, a gravure roll method, a bar coat method, a dip method, a kiss coat method, and a squeeze method. Further, the dispersion liquid can be attached to the support by spraying or spraying.

【0040】乾燥温度は分散に用いた分散媒の種類によ
るが、10〜150℃程度が好ましい。10℃未満では
空気中の水分の結露が起こりやすく、一方、150℃を
超えると樹脂フィルム(支持体)が変形する場合があ
る。また、乾燥の際に不純物が前記微粒子の表面に付着
しないように注意する。
The drying temperature depends on the type of dispersion medium used for dispersion, but is preferably about 10 to 150 ° C. If the temperature is lower than 10 ° C, dew condensation of moisture in the air is likely to occur, while if the temperature is higher than 150 ° C, the resin film (support) may be deformed. Also, care should be taken so that impurities do not adhere to the surface of the fine particles during drying.

【0041】塗布、乾燥後の導電性微粒子含有層の厚み
は、次工程の圧縮条件や、最終的に得られる導電フィル
ムの用途にもよるが、0.1〜10μm程度とすればよ
い。
The thickness of the conductive fine particle-containing layer after coating and drying may be about 0.1 to 10 μm, depending on the compression conditions in the next step and the use of the finally obtained conductive film.

【0042】このように、導電性微粒子を分散媒に分散
させて塗布し、乾燥すると、均一な層を形成しやすい。
これら導電性微粒子の分散液を塗布して乾燥させると、
分散液中にバインダーが存在しなくても微粒子は層を形
成する。バインダーを含有しなくとも層を形成すること
ができる理由は必ずしも明確ではないが、乾燥させて塗
膜中の液が少なくなってくると、毛管力のため、微粒子
が互いに集まり、さらに、微粒子であるということは比
表面積が大きく凝集力も強いことから、層が形成される
のではないかと考えられる。しかしながら、この段階で
の層の強度は弱い。また、導電フィルムにおいては抵抗
値が高く、抵抗値のばらつきも大きい。
As described above, when the conductive fine particles are dispersed in a dispersion medium, applied, and dried, a uniform layer is easily formed.
When applying and drying a dispersion of these conductive fine particles,
The fine particles form a layer even when no binder is present in the dispersion. The reason why a layer can be formed without containing a binder is not always clear, but when the liquid in the coating film is dried by drying, the fine particles gather together due to capillary force, and further, the fine particles It is considered that a layer is formed because the specific surface area is large and the cohesive force is strong. However, the strength of the layer at this stage is weak. Further, the resistance value of the conductive film is high, and the variation of the resistance value is large.

【0043】次に、形成された導電性微粒子含有層を圧
縮し、導電性微粒子圧縮層を得る。圧縮することによ
り、塗膜の強度を向上させることができる。すなわち、
圧縮することで導電性微粒子相互間の接触点がふえて接
触面が増加し、このため塗膜強度が上がる。微粒子はも
ともと凝集しやすい性質があるので圧縮することで強固
な層となる。導電フィルムにおいては、塗膜強度が上が
るとともに、電気抵抗が低下する。
Next, the formed layer containing conductive fine particles is compressed to obtain a compressed layer of conductive fine particles. By compressing, the strength of the coating film can be improved. That is,
The compression increases the contact points between the conductive fine particles and increases the contact surface, thereby increasing the strength of the coating film. Since the fine particles originally have a property of easily aggregating, they become a strong layer by being compressed. In a conductive film, the strength of the coating film increases and the electrical resistance decreases.

【0044】圧縮は、支持体に形成された層に対し、4
4N/mm以上の圧縮力で行うことが好ましく、より
好ましくは135N/mm以上であり、特には180
N/mm以上である。44N/mm未満では導電性
微粒子含有層を十分に圧縮することができず、導電性に
優れた導電フィルムが得られ難い。圧縮力が高いほど塗
膜強度が向上し、支持体との密着性が向上する。導電フ
ィルムにおいては、より導電性に優れたフィルムが得ら
れ、また、塗膜の強度が向上し、塗膜と支持体との密着
性も強固となる。圧縮力を高くするほど装置に要求され
る耐圧も上がるでの、一般には1000N/mmまで
の圧縮力が適当である。また、圧縮を常温(15〜40
℃)付近の温度で行うことが好ましい。常温付近の温度
における圧縮操作は、本発明の利点の一つである。
The compression is applied to the layer formed on the support by 4
The compression is preferably performed with a compression force of 4 N / mm 2 or more, more preferably 135 N / mm 2 or more, and particularly preferably 180 N / mm 2 or more.
N / mm 2 or more. If it is less than 44 N / mm 2 , the conductive fine particle-containing layer cannot be sufficiently compressed, and it is difficult to obtain a conductive film having excellent conductivity. The higher the compressive force, the higher the coating film strength and the better the adhesion to the support. In the conductive film, a film having more excellent conductivity can be obtained, the strength of the coating film is improved, and the adhesion between the coating film and the support becomes strong. Since the higher the compression force, the higher the pressure resistance required for the device, the compression force up to 1000 N / mm 2 is generally appropriate. In addition, compress at normal temperature (15-40
C.). The compression operation at a temperature near normal temperature is one of the advantages of the present invention.

【0045】圧縮手段は、特に限定されるものでなく、
シートプレス、ロールプレス等により行うことができる
が、ロールプレス機を用いて行うのが好ましい。ロール
プレスは、ロールとロールの間に圧縮すべきフィルムを
挟んで圧縮し、ロールを回転させる方法である。ロール
プレスは均一に高圧がかけられ、また、ロール・トゥー
・ロールで生産できることから生産性に優れ好適であ
る。
The compression means is not particularly limited.
Although it can be performed by a sheet press, a roll press, or the like, it is preferable to use a roll press machine. The roll press is a method of sandwiching a film to be compressed between rolls, compressing the roll, and rotating the roll. The roll press is suitable because it is uniformly applied with a high pressure and can be produced in a roll-to-roll manner because of its high productivity.

【0046】ロールプレス機のロール温度は常温(15
〜40℃)が好ましい。加温した雰囲気やロールを加温
した圧縮(ホットプレス)では、圧縮圧力を強くすると
樹脂フィルムが伸びてしまう等を不具合を生じる。加温
下で支持体の樹脂フィルムが伸びないようにするため、
圧縮圧力を弱くすると、塗膜の機械的強度が低下する。
導電フィルムにおいては、塗膜の機械的強度が低下し、
電気抵抗が上昇する。微粒子表面の水分の付着をできる
だけ少なくする必要があるような場合、雰囲気の相対湿
度を下げるために加温した雰囲気でもいいが、フィルム
が容易に伸びてしまわない温度範囲内とする。一般には
ガラス転移温度(二次転移温度)以下の温度範囲が好ま
しい。湿度の変動を考慮して、要求される湿度になる温
度より少し高めの温度にすればよい。ロールプレス機で
連続圧縮した場合、発熱によりロール温度が上昇しない
ように温度調節することも好ましい。
The roll temperature of the roll press machine is set to normal temperature (15
-40 ° C) is preferred. In a heated atmosphere or in compression (hot press) in which a roll is heated, if the compression pressure is increased, a problem such as expansion of the resin film occurs. In order to prevent the resin film of the support from stretching under heating,
When the compression pressure is reduced, the mechanical strength of the coating film decreases.
In conductive films, the mechanical strength of the coating decreases,
Electric resistance increases. When it is necessary to reduce the adhesion of moisture on the surface of the fine particles as much as possible, a heated atmosphere may be used to reduce the relative humidity of the atmosphere, but the temperature must be within a temperature range where the film does not easily elongate. Generally, the temperature range is preferably lower than the glass transition temperature (secondary transition temperature). The temperature may be set slightly higher than the temperature at which the required humidity is obtained in consideration of fluctuations in humidity. In the case of continuous compression by a roll press machine, it is also preferable to adjust the temperature so that the roll temperature does not rise due to heat generation.

【0047】なお、樹脂フィルムのガラス転移温度は、
動的粘弾性を測定して求められ、主分散の力学的損失が
ピークとなる温度をさす。例えば、PETフィルムにつ
いてみると、そのガラス転移温度はおよそ110℃前後
である。
The glass transition temperature of the resin film is
It is determined by measuring dynamic viscoelasticity and refers to the temperature at which the mechanical loss of the main dispersion peaks. For example, regarding a PET film, its glass transition temperature is around 110 ° C.

【0048】ロールプレス機のロールは、強い圧力をか
けることができるという点から金属ロールが好適であ
る。また、ロール表面が柔らかいと圧縮時に機能性微粒
子がロールに転写することがあるので、ロール表面を硬
質膜で処理することが好ましい。
The roll of the roll press machine is preferably a metal roll because a strong pressure can be applied. If the roll surface is soft, the functional fine particles may be transferred to the roll at the time of compression. Therefore, it is preferable to treat the roll surface with a hard film.

【0049】このようにして、導電性微粒子の圧縮層が
支持体上に形成される。導電性微粒子圧縮層の膜厚は、
用途にもよるが、0.1〜10μm程度とすればよい。
上記導電性微粒子の圧縮層は、分散液作成の際に用いら
れた導電性微粒子と樹脂との体積比に応じて、導電性微
粒子の体積を100としたとき、25未満の体積の樹脂
を含むのが好ましい。また、10μm程度の厚い圧縮層
を得るために、導電性微粒子の分散液の塗布、乾燥、圧
縮の一連の操作を繰り返し行ってもよい。さらに、本発
明において、支持体の両面に導電層を形成することもも
ちろん可能である。このようにして得られる透明導電層
は、優れた導電性を示し、従来のような多量のバインダ
ー樹脂を用いずに作成したにもかかわらず実用上十分な
膜強度を有し、支持体との密着性にも優れる。
Thus, a compressed layer of conductive fine particles is formed on the support. The thickness of the conductive fine particle compression layer is
Although it depends on the application, it may be about 0.1 to 10 μm.
The compressed layer of the conductive fine particles contains a resin having a volume of less than 25 when the volume of the conductive fine particles is 100, depending on the volume ratio of the conductive fine particles and the resin used in preparing the dispersion. Is preferred. In addition, in order to obtain a compressed layer having a thickness of about 10 μm, a series of operations of coating, drying, and compressing a dispersion of conductive fine particles may be repeatedly performed. Furthermore, in the present invention, it is of course possible to form conductive layers on both surfaces of the support. The transparent conductive layer obtained in this manner exhibits excellent conductivity, has a practically sufficient film strength despite being prepared without using a large amount of binder resin as in the conventional case, and Excellent adhesion.

【0050】なお、本発明導電フィルムには、所望によ
り導電層上に保護層としてのハードコート層を設けても
よい。ハードコート層はハードコート剤を必要に応じて
溶剤を溶解した液を導電層上に塗布、乾燥して硬化させ
ることにより形成することができる。
In the conductive film of the present invention, a hard coat layer as a protective layer may be provided on the conductive layer if desired. The hard coat layer can be formed by applying a solution obtained by dissolving a hard coat agent in a solvent as necessary, drying and curing the conductive layer.

【0051】ハードコート剤としては、特に制限される
ことなく、公知の各種ハードコート剤を用いることがで
きる。例えば、シリコーン系、アクリル系、メラミン系
等の熱硬化型ハードコート剤を用いることができる。こ
れらの中でも、シリコーン系ハードコート剤は、高い硬
度が得られる点で優れている。
The hard coating agent is not particularly limited, and various known hard coating agents can be used. For example, a thermosetting hard coat agent such as a silicone-based, acrylic-based, or melamine-based can be used. Among them, silicone-based hard coat agents are excellent in that high hardness can be obtained.

【0052】また、不飽和ポリエステル樹脂系、アクリ
ル系等のラジカル重合性ハードコート剤、エポキシ系、
ビニルエーテル系等のカチオン重合性ハードコート剤等
の紫外線硬化型ハードコート剤を用いてもよい。紫外線
硬化型ハードコート剤は、硬化反応性等の製造性の点か
ら好ましい。これらの中でも、硬化反応性、表面硬度を
考慮すると、アクリル系のラジカル重合性ハードコート
剤が望ましい。
Further, a radical polymerizable hard coating agent such as an unsaturated polyester resin or an acrylic resin, an epoxy resin,
An ultraviolet-curable hard coat agent such as a vinyl ether-based cationic polymerizable hard coat agent may be used. The UV-curable hard coat agent is preferable from the viewpoint of productivity such as curing reactivity. Among these, an acrylic radical polymerizable hard coat agent is desirable in consideration of curing reactivity and surface hardness.

【0053】本発明導電フィルムは、おもに帯電防止用
として、CRT前面パネル、建材用ガラス、車両用ガラ
ス、半導体クリーンルーム樹脂板等に好適に適用され、
例えば帯電防止処理されていない被着物に被着させてほ
こりの吸着を有効に防止することができる。
The conductive film of the present invention is suitably applied to a CRT front panel, a building glass, a vehicle glass, a semiconductor clean room resin plate, etc., mainly for antistatic purposes.
For example, it is possible to effectively prevent dust from being adsorbed by being adhered to an adherend that has not been subjected to an antistatic treatment.

【0054】[0054]

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもの
ではない。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0055】なお、以下の実施例において、各特性評価
は以下の方法により行った。
In the following Examples, each characteristic evaluation was performed by the following methods.

【0056】[表面電気抵抗]三菱油化(株)製Lor
esta AP(MCP−T400)を用いて測定し
た。測定サンプルは導電フィルムを5cm×5cmの大
きさに切り出して用いた。
[Surface electric resistance] Lor manufactured by Mitsubishi Yuka Co., Ltd.
It was measured using esta AP (MCP-T400). The measurement sample was prepared by cutting a conductive film into a size of 5 cm × 5 cm.

【0057】[90度ピール試験]導電膜と支持体との
密着性、および導電膜の強度を評価するため、90度ピ
ール試験を行った。図1を参照して説明する。
[90 degree peel test] A 90 degree peel test was performed to evaluate the adhesion between the conductive film and the support and the strength of the conductive film. This will be described with reference to FIG.

【0058】支持体(1b)の一方の面に導電膜(1
a)を形成し、該導電膜が形成された面とは反対側の面
に両面テープ(2)を貼り、これを大きさ25mm×1
00mmに切り出したものを試験用サンプル(1)とし
た。この試験用サンプル(1)の両面テープ面側をステ
ンレス板(3)上に貼着し、さらに、試験用サンプル
(1)が剥がれないようにその長手方向両端に固定用セ
ロハンテープ(4)を貼った(図1(a))。
The conductive film (1b) is formed on one surface of the support (1b).
a) is formed, and a double-sided tape (2) is attached to the surface opposite to the surface on which the conductive film is formed, and this is sized to 25 mm × 1.
A sample cut into 00 mm was used as a test sample (1). The double-sided tape surface side of this test sample (1) is stuck on a stainless steel plate (3), and cellophane tapes (4) for fixing are attached to both ends in the longitudinal direction so that the test sample (1) does not peel off. Affixed (FIG. 1 (a)).

【0059】次いで図1(b)に示すように、導電膜
(1a)面上に、セロハンテープ(幅12mm、日東電
工(株)製、No.29)(5)の一端を試験用サンプ
ル(1)の長辺と平行になるように貼り付けた。セロハ
ンテープ(5)と試験用サンプル(1)との張付面の長
さは50mmであった。セロハンテープ(5)の他端を
張力計(6)に取付け、セロハンテープ(5)の貼付面
と非貼付面(5a)とのなす角が90度になるようにセ
ットした。次いで張力計(6)により、セロハンテープ
(5)を100mm/分の速度で引っ張って剥がした。
このときテープ(5)を剥がす速度と試験用サンプル
(1)を貼り付けたステンレス板(3)が同じ速度で移
動するようし、セロハンテープ(5)の非貼付面(5
a)と試験用サンプル(1)面とが常に90°となるよ
うにした。張力計(6)にて剥がすときに要した力
(F)を計測した(図1(b))。
Next, as shown in FIG. 1B, one end of a cellophane tape (width: 12 mm, No. 29, manufactured by Nitto Denko Corporation) (5) was placed on the conductive film (1a) surface as a test sample ( 1) Pasted so as to be parallel to the long side. The length of the sticking surface between the cellophane tape (5) and the test sample (1) was 50 mm. The other end of the cellophane tape (5) was attached to a tensiometer (6), and the cellophane tape (5) was set so that the angle between the sticking surface and the non-sticking surface (5a) was 90 degrees. Next, the cellophane tape (5) was pulled off at a speed of 100 mm / min by a tensiometer (6) to peel it off.
At this time, the speed at which the tape (5) was peeled off and the stainless steel plate (3) on which the test sample (1) was adhered were moved at the same speed, and the non-adhering surface (5) of the cellophane tape (5) was moved.
The angle between a) and the test sample (1) face was always 90 °. The force (F) required for peeling was measured by a tensiometer (6) (FIG. 1 (b)).

【0060】試験後、剥がされた導電膜表面とセロハン
テープ表面を調べた。両方の表面に粘着剤がある場合
は、導電膜が破壊されたのではなく、セロハンテープの
粘着剤層が破壊されたこと、すなわち、粘着剤の強度が
剥がすときに要した力(F)の値であったということに
なり、導電膜の強度はその値(F)以上となる。
After the test, the peeled conductive film surface and the cellophane tape surface were examined. When the adhesive is present on both surfaces, the conductive layer was not destroyed, but the adhesive layer of the cellophane tape was destroyed, that is, the force (F) required when the strength of the adhesive was removed. Therefore, the strength of the conductive film is equal to or higher than the value (F).

【0061】本試験においては、粘着剤の強度上限が6
N/12mmであるため、評価結果として6N/12m
mと表示したものは、上記のように両方の表面に粘着剤
がある場合であって、密着性と導電膜の強度が6N/1
2mm以上であることを表す。これより小さい値の場合
は、導電膜表面に粘着剤がなくセロハンテープ表面に導
電膜が一部付着しており、その値において、導電膜中で
破壊が生じたことを表す。
In this test, the upper limit of the strength of the adhesive was 6
N / 12mm, the evaluation result is 6N / 12m
The symbol "m" indicates that the adhesive is present on both surfaces as described above, and the adhesiveness and the strength of the conductive film are 6N / 1.
2 mm or more. If the value is smaller than this value, it means that there is no adhesive on the surface of the conductive film and the conductive film is partially adhered to the surface of the cellophane tape.

【0062】[可視光透過率]分光光度計(日本分光
(株)製 V−570)に積分球(日本分光(株)製)
を組み合わせて、透明導電フィルムの可視光領域の透過
率を測定し、JIS R3106に準じて可視光透過率
を求めた。
[Visible light transmittance] Integrating sphere (manufactured by JASCO Corporation) on a spectrophotometer (V-570 manufactured by JASCO Corporation)
The transmittance of the transparent conductive film in the visible light region was measured, and the visible light transmittance was determined according to JIS R3106.

【0063】[ヘイズ]JIS K 7105に準拠
し、ヘイズメーター(TC−H3 DPK型:東京電色
(株)製)を用いて透明導電フィルムのヘイズ値を測定
した。
[Haze] The haze value of the transparent conductive film was measured using a haze meter (TC-H3 DPK type: manufactured by Tokyo Denshoku Co., Ltd.) according to JIS K 7105.

【0064】(実施例1)平均一次粒径20nm以下の
ATO微粒子(「SN−100P」、石原産業(株)
製)100重量部にエタノール300重量部を加え、メ
デイアをジルコニアビーズとして分散機にて分散した。
得られた分散液(塗布液)を50μm厚のPETフィル
ム上に、バーコーターを用いて塗布し、50℃の温風を
送って乾燥し、ATO含有塗膜を形成した。ATO含有
塗膜厚の厚みは約2.1μmであった。
Example 1 ATO fine particles having an average primary particle diameter of 20 nm or less (“SN-100P”, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.)
100 parts by weight) and 300 parts by weight of ethanol were added, and the medium was dispersed as zirconia beads using a disperser.
The obtained dispersion liquid (coating liquid) was applied on a PET film having a thickness of 50 μm using a bar coater, and dried by sending warm air at 50 ° C. to form an ATO-containing coating film. The thickness of the ATO-containing coating film thickness was about 2.1 μm.

【0065】次にこれをロールプレス機を用いて、上記
フィルムを、フィルム幅方向の単位長さあたりの圧力7
50N/mm、単位面積あたりの圧力395N/m
、5m/分の送り速度で圧縮し、圧縮されたATO
フィルムを得た。圧縮後のATO含有塗膜の厚みは約
1.3μmであった。
Next, using a roll press machine, the film is pressed at a pressure of 7 per unit length in the film width direction.
50N / mm, pressure 395N / m per unit area
compressed in m 2, 5 m / min feed rate, compressed ATO
A film was obtained. The thickness of the ATO-containing coating film after compression was about 1.3 μm.

【0066】圧縮されたATOフィルムについて、上記
に示す評価方法により特性評価を行ったところ、表面電
気抵抗値12.5×10Ω/□、可視光透過率84
%、ヘイズ値3.1%であった。90度ピール試験の結
果から塗膜強度を算出したところ、塗膜強度は6N/1
2mm以上であった。
The characteristics of the compressed ATO film were evaluated by the evaluation methods described above. The surface electric resistance was 12.5 × 10 3 Ω / □, and the visible light transmittance was 84.
% And a haze value of 3.1%. When the film strength was calculated from the results of the 90 degree peel test, the film strength was 6N / 1.
It was 2 mm or more.

【0067】(実施例2)実施例1のATOフィルムの
ATO含有塗膜上に膜厚3μmのシリコーン系ハードコ
ート層(GE東芝シリコーン(株)製 トスガード51
0)を設けた。
Example 2 A 3 μm thick silicone hard coat layer (GE Toshiba Silicone Co., Ltd., Tosguard 51) was formed on the ATO-containing coating film of the ATO film of Example 1.
0).

【0068】これについて上記に示す評価方法により特
性評価を行ったところ、可視光透過率85%、ヘイズ値
3.4%であった。90度ピール試験の結果から塗膜強
度を算出したところ、塗膜強度は6N/12mm以上で
あった。
This was evaluated for characteristics according to the evaluation methods described above. As a result, the visible light transmittance was 85% and the haze value was 3.4%. When the coating strength was calculated from the results of the 90 degree peel test, the coating strength was 6 N / 12 mm or more.

【0069】(実施例3〜6)実施例1において、塗膜
の厚み、圧縮力を変えた以外は、実施例1と同様にして
圧縮されたATOフィルムを作製し、それぞれ特性評価
を行った。結果を表1に示す。
(Examples 3 to 6) Compressed ATO films were produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the coating film and the compressive force were changed, and the characteristics were evaluated. . Table 1 shows the results.

【0070】[0070]

【表1】 [Table 1]

【0071】(比較例1)平均一次粒径20nm以下の
ATO微粒子(「SN−100P」、石原産業(株)
製)100重量部を、アクリル樹脂(「MT408−4
2」、固型分濃度(NV)=50%、大成化工(株)
製)100重量部と、メチルエチルケトン/トルエン/
シクロヘキサノン=1/1/1(重量比)の混合溶剤4
00重量部で分散し、これを塗布液(ATO/アクリル
樹脂=2:1、NV=25%)として用い、これを50
μm厚のPETフィルム上に、バーコーターを用いて塗
布し、50℃の温風を送って乾燥し、ATO含有塗膜を
形成した。ATO含有塗膜の厚みは約2.0μmであっ
た。
(Comparative Example 1) ATO fine particles having an average primary particle diameter of 20 nm or less (“SN-100P”, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.)
100 parts by weight of an acrylic resin (“MT408-4”).
2 ", solid content concentration (NV) = 50%, Taisei Kako Co., Ltd.
100 parts by weight) and methyl ethyl ketone / toluene /
Cyclohexanone = 1/1/1 (weight ratio) mixed solvent 4
00 parts by weight, and this was used as a coating solution (ATO / acrylic resin = 2: 1, NV = 25%).
It was applied on a PET film having a thickness of μm using a bar coater, and dried by blowing warm air at 50 ° C. to form an ATO-containing coating film. The thickness of the ATO-containing coating film was about 2.0 μm.

【0072】次にこれをロールプレス機を用いて、上記
フィルムを、フィルム幅方向の単位長さあたりの圧力7
50N/mm、単位面積あたりの圧力395N/m
、5m/分の送り速度で圧縮し、圧縮されたATO
フィルムを得た。圧縮後のATO塗膜(導電層)の厚み
は約1.3μmであった。
Then, using a roll press machine, the film is pressed at a pressure of 7 per unit length in the film width direction.
50N / mm, pressure 395N / m per unit area
compressed in m 2, 5 m / min feed rate, compressed ATO
A film was obtained. The thickness of the ATO coating film (conductive layer) after compression was about 1.3 μm.

【0073】圧縮されたATOフィルムについて、上記
に示す評価方法により特性評価を行ったところ、表面電
気抵抗値1.8×10Ω/□、可視光透過率85%、
ヘイズ値3.0%であった。90度ピール試験の結果か
ら塗膜強度を算出したところ、塗膜強度は6N/12m
m以上であった。
The characteristics of the compressed ATO film were evaluated according to the evaluation methods described above. As a result, the surface electric resistance was 1.8 × 10 6 Ω / □, the visible light transmittance was 85%,
The haze value was 3.0%. When the coating strength was calculated from the results of the 90 degree peel test, the coating strength was 6N / 12m.
m or more.

【0074】[0074]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、表
面電気抵抗値が低く、かつ可視光透過率が高く透明性に
優れた、支持体とその上に設けた導電層を含む透明導電
フィルムが得られる。本発明の透明導電フィルムは、お
もに帯電防止用として、CRT前面パネル、建材用ガラ
ス、車両用ガラス、半導体クリーンルーム樹脂板等に好
適に適用される。
As described above in detail, according to the present invention, a transparent material including a support and a conductive layer provided thereon, which has a low surface electric resistance value, a high visible light transmittance and an excellent transparency. A conductive film is obtained. The transparent conductive film of the present invention is suitably applied to a CRT front panel, a building material glass, a vehicle glass, a semiconductor clean room resin plate, etc., mainly for antistatic purposes.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例における90度ピール試験を説明するた
めの図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining a 90-degree peel test in an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 試験用サンプル 1a 導電膜 1b 支持体 2 両面テープ 3 ステンレス板 4 固定用セロハンテープ 5 セロハンテープ 5a セロハンテープ非貼付面 6 張力計 Reference Signs List 1 Test sample 1a Conductive film 1b Support 2 Double-sided tape 3 Stainless steel plate 4 Cellophane tape for fixing 5 Cellophane tape 5a Cellophane tape non-sticking surface 6 Tensiometer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4F100 AA28A AA29A AA33A AK01B AK42 AS00B AT00B BA02 CA21A DE01A EH462 EJ862 GB07 GB32 JG01A JG04 JN01 YY00 5G307 FA01 FA02 FB01 FC09 FC10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4F100 AA28A AA29A AA33A AK01B AK42 AS00B AT00B BA02 CA21A DE01A EH462 EJ862 GB07 GB32 JG01A JG04 JN01 YY00 5G307 FA01 FA02 FB01 FC09 FC10

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アンチモンドープ酸化錫(ATO)微粒
子を含有する導電層を支持体上に形成した透明導電フィ
ルムであって、表面電気抵抗値が10〜10Ω/
□、可視光透過率が75%以上である、透明導電フィル
ム。
1. A transparent conductive film in which a conductive layer containing antimony-doped tin oxide (ATO) fine particles is formed on a support, and has a surface electric resistance value of 10 3 to 10 6 Ω /.
□, a transparent conductive film having a visible light transmittance of 75% or more.
【請求項2】 ヘイズ値が1〜10%である、請求項1
記載の透明導電フィルム。
2. The method according to claim 1, wherein the haze value is 1 to 10%.
The transparent conductive film according to the above.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002194287A (en) * 2000-12-27 2002-07-10 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd Coating material for forming transparent electroconductive film and transparent electroconductive film and display
WO2008072900A1 (en) * 2006-12-12 2008-06-19 Top Engineering Co., Ltd. Transparent conductive membrane of high resistance touch panel of capacitance and manufacture method thereof

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