JP2001327857A - マイクロ波乾燥装置 - Google Patents

マイクロ波乾燥装置

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JP2001327857A
JP2001327857A JP2000154400A JP2000154400A JP2001327857A JP 2001327857 A JP2001327857 A JP 2001327857A JP 2000154400 A JP2000154400 A JP 2000154400A JP 2000154400 A JP2000154400 A JP 2000154400A JP 2001327857 A JP2001327857 A JP 2001327857A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】マイクロ波の照射効率をよくしてマイクロ波乾
燥装置を小型化することにある。 【解決手段】内部に活性炭１５を収納する石英管７の外
周側にマイクロ波Ｍを透過する断熱部６を配置し、断熱
部６の外周側にマイクロ波Ｍを伝搬させる複数個の導波
管Ｐ１を取り付け、この導波管内に矩形形状の導波管空
間部２５ａを形成し、この導波管空間部２５ａの長手方
向が上記石英管の軸方向になるよう導波管を上記断熱部
の外周側に配置することにより、マイクロ波Ｍの照射効
率をよくしマイクロ波乾燥装置１を小型化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境衛生上の対策
から水処理プロセスで活性炭を用い濾過する工程におい
て、有機物を吸着した使用済の活性炭を抜き出して加熱
再生するリサイクルに関し、特に上下水道プロセスに使
用する活性炭のマイクロ波乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】河川等の取水源より取水し、濾過して浄
水を供給する上水道施設、或いは有機物を処理して河川
へ放流する下水道施設において２４時間運転が為されて
いる。
【０００３】これら各々の施設のプロセス内には活性炭
処理池があり、不純物の除去を行っている。その活性炭
は粒径１ｍｍ程度で、内部の比表面積は１、０００ｍ2
／ｇと吸着面積が大きいのが特徴である。故に使用中に
内部に有機物等の不純物を吸着し、吸着能力が低下し比
表面積が５００ｍ2／ｇ程度となると、老廃炭と称し再
生処理して再利用している。
【０００４】その再生設備とは日本水道協会編「活性炭
処理施設」（Ｓ６３−３月発行）にも述べられているよ
うに、大容量の再生設備はヘルショフ炉（多段式落下焼
成法）で、中容量の再生設備は回転キルン炉（乾燥キル
ン炉と焼成キルン炉）で行っていた。ヘルショフ炉は都
市ガスによる外部再生設備で設備面積が大きく、特に排
ガス処理の付帯設備が大きい。また回転キルン炉も都市
ガスを用いており、乾燥キルン炉では老廃炭の粒子の内
部における水分を除去する為に内部加熱キルン炉を通
し、次に外部加熱キルン炉により再生温度にして再生炭
を製造している。排ガス処理の付帯設備もヘルショフ炉
と同様に大きくなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
再生設備は付帯設備も含めて据付面積が大きく小型化が
できなかった。その理由は、 （１）都市ガスは安価であるがＮＯｘ、ＳＯｘ等の排ガ
ス処理が必要となる。
【０００６】（２）キルン炉などに老廃炭を投入した
り、再生炭を収納する設備が大きい。
【０００７】また再生設備を小型化するタイプとして特
開昭５１−４３３９４号公報及び特開昭５１−４３３９
５号公報にはマイクロ波を乾燥に利用する例が提案され
ている。この公報には縦型の反応容器とこの内部に活性
炭を収納する再生容器を配置し、反応容器の外周側に導
波管を配置し、導波管の一端にマイクロ波発振器を接続
し、マイクロ波発振器からのマイクロ波が導波管を伝搬
し活性炭に照射して、活性炭を乾燥し、活性炭を再生し
ている。
【０００８】しかしながら、この公報には活性炭を再生
するのみに止め、マイクロ波の照射効率をよくしてマイ
クロ波乾燥装置を小型化できると云う配慮がなされてい
ない。
【０００９】本発明の目的は、マイクロ波の照射効率を
よくして小型化したマイクロ波乾燥装置を提供すること
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の課題を解決する
ために、本発明のマイクロ波乾燥装置は、内部に被乾燥
物を収納する石英管の外周側に配置した断熱部と、この
断熱部の外部に配置したマイクロ波を発生する複数個の
マイクロ波発振器と、前記マイクロ波発振器と断熱部と
を接続すると共に、マイクロ波を伝搬させ被乾燥物にマ
イクロ波を照射する導波管とを備え、この導波管はその
内部に矩形形状の空間部が形成され、この空間部の長手
方向が上記石英管の軸方向になるよう導波管を上記断熱
部の外周側に配置することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図１ないし図７
を適用してなるマイクロ波乾燥装置１により説明する。
【００１２】リアクタータンク２は中間タンク２ｂと下
部タンク２ｃとに分割され、下部タンク２ｃ上に中間タ
ンク２ｂを積み重ねている。中間タンク２ｂには上部カ
バー９を配置している。下部タンク２ｃが支持台２ｚに
支持されている。これらのリアクタータンク２の両端に
フランジ３を形成し、フランジ間を固定手段４例えばボ
ルト、ナットで締め付けて各タンク２ｂ，２ｃ及び上部
カバー９を固定している。下部タンク２ｃと支持台２ｚ
の間に断熱材より成る支持板５を固定手段４により固定
している。下部タンク２ｃと中間タンク２ｂ及び上部カ
バー９には断熱材より成る断熱部６を配置している。断
熱部６ついては下部タンク２ｃに対応する突起断熱部６
aは中間タンク２ｂに対応する断熱部６より厚く構成さ
れている。断熱部６の内側に石英管７を配置し、断熱部
６と石英管７の間に空隙部８を形成している。
【００１３】空隙部８は石英管７と断熱部６との間に真
空ポンプにより１００Ｔｏｒｒ程度真空状態とすること
で、石英管内の熱が外部に放散することを防止してもよ
い。またリアクタータンク２及び断熱部６を周方向に複
数個に分割することで、石英管７の劣化寿命で石英管７
を交換時に側面側より分割した断熱部６を取り外し、石
英管７を取り付けることが容易になり、リアクタータン
ク内面の断熱部６の固定作業も容易となり、製作費を安
くできる利点がある。断熱部６の材質はマイクロ波の透
過性が高いＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2等を用いることで、断熱
部６におけるマイクロ波のエネルギー損失を少なくでき
る。
【００１４】上部カバー９の内側には断熱材より成る断
熱部６を配置している。上部カバー９の頂上より石英管
内に連通する通路１１を形成している。通路１１の上部
カバー９の頂上には駆動部１２例えばモータにより直進
運動をするロッド１２ａを設け、ロッド１２ａの先端に
設けた栓１２ｂを通路１１に挿入している。駆動部１２
を駆動して栓１２ｂを通路内に移動出来るようにしてい
る。通路１１の途中に排ガス通路１３Ｚ及び活性炭供給
路１４を形成している。排ガス通路１３Ｚは排ガス１３
ａを処理する排ガス処理装置１３に接続している。
【００１５】排ガス処理装置１３は排ガス１３ａを処理
するための熱交換器１３ｂ、逆止弁１３ｃ、触媒燃焼反
応器１３ｄ、排気ファン１３ｅが接続されている。石英
管７の排気側から排気された水蒸気及び排ガス１３ａを
熱交換器１３ｂで冷却して水蒸気を除去し、排ガス１３
ａを触媒燃焼反応器１３ｄで排ガス１３ａの不純物を除
去し、無害ガスとして排気する。活性炭供給路１４は活
性炭入口弁１４ａを介してホッパー１４ｂに連通してい
る。ホッパー１４ｂは活性炭１５を収納する。駆動部１
２を駆動して、活性炭供給路１４を塞いでいる栓１２ｂ
を移動し、活性炭供給路１４を開放すると、活性炭１５
が活性炭供給路１４を流れ石英管内に落下する。
【００１６】図２，図３に示すように石英管７の下端部
はガス吐出板１６により支持され、ガス吐出板１６は断
熱部６の突起断熱部６aに支持されている。石英管７の
上端は開口部７ａを形成し、開口端には円形形状の中央
側の内部支持板１７と外周側の外部支持板１８との間を
複数の連絡板１９で固定している。複数の連絡板の外側
は開口部７ａ及び石英管７に連通している。反射管２１
を内部支持板１７の貫通穴１７Ａに挿入し、反射管２１
に設けたフランジを内部支持板１７で支持し、反射管２
１を石英管内に吊るしている。導波管例えばＰ１Ａより
反射されたマイクロ波Ｍは活性炭１５を照射する。反射
管２１は石英管７及び活性炭１５を透過したマイクロ波
Ｍを反射管２１により反射し、マイクロ波Ｍを再び活性
炭１５に照射する働きをする。反射管２１の反射部材と
してステンレス部材を使用した。また反射管２１は石英
管の開口部端間を支持板で連絡し、支持板に形成した貫
通穴に反射管２１を挿入し、反射管２１の端部を支持板
に支持し、支持板より石英管内に反射部を吊してもよ
い。いずれの場合も反射管２１の端部を蓋として使用
し、反射管内に温度センサ２６ａを配置できるようにし
ている。
【００１７】即ち、マイクロ波Ｍにより活性炭１５が昇
温されるが、その温度を一定値に制御部２６で制御して
いる。いま、反射管２１内にリード線２６Ｚに接続した
温度センサ２６ａを複数個取り付けている。温度センサ
２６ａは反射管２１の外周側で活性炭１５の温度を計
る。この測定温度値はリード線２６Ｚを介して外部に引
き出されて変換器２６ｂで測定温度値を電圧信号に変換
し、測定温度値を温度設定変換器２６ｃの設定温度値と
を比較器２６ｄで比較し、測定温度値が設定温度値より
低い時には、マイクロ波発振器２５の出力を上昇し、マ
イクロ波Ｍの出力を増す。また温度設定変換器２６ｃの
設定温度値より測定温度値が高い時には、マイクロ波発
振器２５の出力を下げて、マイクロ波Ｍの出力を下げ
る。
【００１８】これらの制御プログラムはＭＰＵ２６ｅに
あるが、マイクロ波Ｍの出力の増減の他に、弁類の開閉
制御も行っている。特に重要な機能は活性炭１５が昇温
と共に、賦活用供給ガス３０の流量制御がある。即ち、
初期の立ち上げ時にＮ2ガス部３０ａより乾燥した窒素
ガス３１が弁Ｍ3を開いて供給され、ガス吐出板１６よ
り活性炭内に入って、排気ガス処理装置１３で排気され
ながら、石英管内に残留する空気を除去する。次に、マ
イクロ波Ｍにより活性炭１５を温度上昇させて約５００
℃以上で水蒸気３０ｂが弁Ｍ4を開いて供給され、８０
０℃で水蒸気反応を促進し、賦活工程を行う制御プログ
ラムである。
【００１９】ガス吐出板１６は外端を断熱部６の突起断
熱部６aに支持されており、また石英管７の下端はガス
吐出板１６に支持されている。ガス吐出板１６はこの外
端側から中央に向かって傾斜面１６ａを形成している。
傾斜面１６ａにはガス貫通孔１６ｂを形成していると共
に、傾斜面１６ａの中央から下側に円筒部１６ｃが伸び
ている。円筒部１６ｃは支持板５に支持された排出管２
２内に挿入されている。円筒部１６ｃと排出管２２とは
連通していると共に、排出管２２に設けた排出弁２２ａ
を介して、冷却スクリュー２３に連通している。排出弁
２２ａを閉じている時には活性炭１５が石英管内に貯留
され、排出弁２２ａを開くと石英管内の活性炭１５を冷
却スクリュー２３に排出することができる。冷却スクリ
ュー２３の駆動部２３ａを駆動して、石英管内の賦活処
理された活性炭１５は冷却スクリュー内を移動して、排
出水槽２４に活性炭１５を排出する（排出）。
【００２０】断熱部６の外周側には図４，図５，図６，
図７のように周方向に沿って３個の導波管Ｐ１Ａ，Ｐ１
Ｂ，Ｐ１Ｃを１２０°間隔で接続している。各導波管Ｐ
１Ａ，Ｐ１Ｂ，Ｐ１Ｃにはマイクロ波発振器２５が接続
されている。マイクロ波発振器２５からのマイクロ波Ｍ
は導波管内を伝搬する。導波管例えばＰ１Ａの内部にマ
イクロ波Ｍを伝搬する矩形形状の導波管空間部２５ａを
形成している。この導波管空間部２５ａの長手方向の導
波管一方面ａとこの直角方向の導波管他方面ｂを断熱部
６の長手方向Ｈと周方向Ｓとに配置する。
【００２１】断熱部６の長手方向Ｈに４段の導波管Ｐ
１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を配置している。このうち１段目
及び３段目の導波管Ｐ１，Ｐ３を奇数段目の導波管と称
する。２段目及び４段目の導波管Ｐ２，Ｐ４を偶数段目
の導波管と称する。例えば１段目の導波管Ｐ１は周方向
Ｓに導波管Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ，Ｐ１Ｃを１２０°間隔で３
個配置している。２段目の導波管Ｐ２は周方向Ｓに導波
管Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ，Ｐ２Ｃを１２０°間隔で３個配置し
ている。尚、２段目の導波管Ｐ２と３段目の導波管Ｐ３
との関係、及び３段目の導波管Ｐ３と４段目の導波管Ｐ
４との関係は上述と同じように配置されるので、説明を
省略する。
【００２２】以上の実施例によれば、次のような効果が
得られる。
【００２３】（１）導波管例えばＰ１Ａの内部に形成し
た導波管空間部２５ａの長手方向の導波管一方面ａとこ
の直角方向の導波管他方面ｂを断熱部６の長手方向Ｈと
周方向Ｓに配置した。この結果、図６に示すように導波
管一方面ａを断熱部６の長手方向Ｈに配置する場合と、
断熱部６の導波管他方面ｂを長手方向Ｈに配置する場合
とを比べれば、導波管一方面ａの場合は空間部内面を伝
搬するマイクロ波Ｍを石英管７の長手方向Ｈへの拡がり
が、導波管他方面ｂに比べて広いので、マイクロ波Ｍを
有効に利用できる。このことは導波管一方面ａを断熱部
６の長手方向Ｈに配置すれば、マイクロ波Ｍの効率が良
くなったぶんだけ断熱部６及び石英管７の長手方向Ｈを
有効に利用することができる。この場合、マイクロ波Ｍ
の端面拡がり角度θは約３０°である。
【００２４】また図７に示すように導波管空間部２５ａ
の導波管他方面ｂを断熱部６の周方向Ｓに配置した場合
と、断熱部６の導波管一方面ａを周方向Ｓに配置した場
合とを比べれば、導波管一方面ａの場合にはマイクロ波
Ｍを石英管外に照射し、マイクロ波Ｍを有効に利用でき
ない。これに対して、導波管他方面ｂの場合は空間部内
面を伝搬するマイクロ波Ｍを石英管内に照射できるの
で、マイクロ波Ｍを有効に利用できる。このことは導波
管他方面ｂを断熱部６の周方向Ｓに配置すれば、マイク
ロ波Ｍの効率が良くなったぶんだけ断熱部６及び石英管
７の周方向Ｓを縮小することができる。
【００２５】このように導波管内の導波管空間部２５ａ
の導波管一方面ａと導波管他方面ｂを断熱部６の長手方
向Ｈと周方向Ｓに配置し、マイクロ波Ｍを活性炭１５に
照射する照射効率を良くし、乾燥時間を速めると共に、
マイクロ波Ｍの効率が良くなった分だけ長手方向Ｈと周
方向Ｓを縮小したマイクロ波乾燥装置１を実現すること
ができる。
【００２６】（２）断熱部６の長手方向に配置した複数
段の導波管は、奇数段の導波管Ｐ１，Ｐ３及び偶数段の
導波管Ｐ２，Ｐ４とよりなる。この奇数段の導波管Ｐ
１，Ｐ３と偶数段の導波管Ｐ２，Ｐ４との関係は奇数段
の導波管Ｐ１Ａと偶数段の導波管Ｐ２Ａとが隣接して周
方向に配置されている。即ち、１段目の導波管Ｐ１と２
段目の導波管Ｐ２とが対応する周方向Ｓの石英管内のマ
イクロ波Ｍを照射する照射面には、導波管Ｐ１Ａ，Ｐ２
Ａ，Ｐ１Ｂ，Ｐ２Ｂ，Ｐ１Ｃ，Ｐ２Ｃを周方向Ｓに沿っ
て６０°間隔で６個配置したことになる。このため石英
管内にマイクロ波Ｍを均一に照射できるので、活性炭１
５を均一に乾燥できる。
【００２７】（３）支持板に支持された反射管２１は、
中央の貫通穴１７Ａに挿入し、導波管例えばＰ１Ａから
照射してきたマイクロ波Ｍは活性炭１５を透過し、反射
管２１に当たり、反射管２１で反射されたマイクロ波Ｍ
は再び活性炭１５を透過することにより、マイクロ波Ｍ
を有効に利用し、石英管内の活性炭１５を乾燥する乾燥
時間を速くすることができるので、活性炭１５の乾燥作
業を短縮できる。また反射管２１の外径寸法を変えると
こにより、反射管２１と導波管Ｐ１Ａのマイクロ波照射
口との距離を調整し、マイクロ波の電力値は活性炭１５
を均一に乾燥できるように調整し、活性炭１５の乾燥む
らを防止する。
【００２８】次に本発明のマイクロ波乾燥装置１を適用
して活性炭内の老廃物質を処理する一運転例を説明す
る。
【００２９】排出弁２２ａを閉じた後、駆動部１２を駆
動して、活性炭供給路１４を塞いでいる栓１２ｂを移動
し、活性炭供給路１４を開放すると共に、ホッパー１４
ｂ内から無数の孔に有機物つまり老廃物質を有する活性
炭１５を石英管内に落下し、石英管内に活性炭１５を充
填する（活性炭充填）。
【００３０】活性炭１５の充填が完了すると、活性炭入
口弁１４ａを閉じ真空ポンプ（図示せず）を運転し、石
英管７と断熱部６間の空隙部８を真空状態とする。また
活性炭投入ロッド１２ａを下げ、パージガス及び排ガス
１３ａが活性炭入口弁１４ａの方へ流出しないようにす
る。活性炭投入ロッド１２ａを下げた後、排ガス処理を
行えるようにする。
【００３１】Ｎ2ガス部３０ａを運転し、傾斜面１６ａ
のガス貫通孔１６ｂを経て石英管７内に窒素ガス３１を
供給しながら、マイクロ波発振器２５を運転し、活性炭
１５を加熱する（加温−炭化工程）。活性炭１５を昇温
する過程においてはＮ2ガス部３０ａから傾斜面１６ａ
のガス貫通孔１６ｂを経て窒素ガス３１を供給する。窒
素ガス３１の供給により活性炭１５の温度上昇に伴う酸
化反応も防止できる。また活性炭１５の細孔内に吸着し
た老廃物質が炭化して生じる排出ガス１３ａを窒素ガス
３１により、強制的に排出することで、マイクロ波Ｍに
よる排出ガス１３ａのイオン化を防止できるので、石英
管７の寿命を長くすることができる。
【００３２】また下部から窒素ガス３１を供給するため
下部の熱を上部へ伝達できるため、上段例えば４段目の
導波管Ｐ４のマイクロ波発振器２５の出力を小さくする
ことができるため、昇温に伴うマイクロ波電力を節約す
ることがきる。
【００３３】活性炭１５の温度が約８００℃に達すると
マイクロ波発振器２５の出力を調整することで温度を維
持しながら、弁Ｍ４を開き、水蒸気供給装置３０ｂから
活性炭１５内に水蒸気を供給し、水蒸気で炭化した老廃
物質を水蒸気で酸化させガス化し離脱させる水蒸気賦活
反応を進める（水蒸気賦活）。水蒸気賦活反応を所定時
間行った後、マイクロ波発振器２５、Ｎ2ガス部３０
ａ、水蒸気供給装置３０ｂを停止し、排出弁２２ａを開
くと共に、冷却スクリュー２３の駆動部２３ａを駆動し
て、石英管内の賦活された活性炭１５は冷却スクリュー
内を移動して、排出水槽２４に活性炭１５を排出する
（排出）。上記活性炭の充填、（加温−炭化工程）、蒸
気賦活、排出を１サイクルとして運転を行う。
【００３４】この実施例によれば、次の効果を得ること
ができる。
【００３５】（４）断熱部６の長手方向に沿って複数段
にマイクロ波発振器２５を配置し、石英管７の供給側か
ら排気側に排ガス１３ａを流す。排ガス１３ａの温度は
供給側に比べて排気側の方が高いから、排気側に配置さ
れた例えば４段目の導波管Ｐ４に接続したマイクロ波発
振器２５は供給側に配置された例えば１段目の導波管Ｐ
１に接続したマイクロ波発振器に比べて、出力を小さく
したマイクロ波発振器を配置することができるので、昇
温に伴うマイクロ波電力を節約できる。また４段目のマ
イクロ波発振器２５は１段目のマイクロ波発振器より重
量が軽くなり、耐震性を向上することが出来る。特に石
英管７及び断熱部６を縦型に配置した場合に効果が大き
い。
【００３６】（５）石英管内の活性炭１５は１００℃〜
１２０℃で含有水分が放出され、５００℃程度で付着老
廃物質が炭化してガス放出するが、活性炭１５の上側の
空間ではマイクロ波Ｍにより排出ガス１３ａがイオン化
し、時々放電現象を生ずる。その放電衝撃で石英管７を
劣化させないように内部支持板１７がアース接地されて
いるので、石英管７の寿命が長くり交換時期が長くな
る。
【００３７】（６）反射管内に配置した温度センサ２６
ａで石英管内の活性炭１５の温度を測定し、活性炭１５
の温度が設定温度範囲の時に水蒸気供給装置３０ｂから
水蒸気を供給する。即ち、温度センサ２６ａで測定した
温度は制御部２６に入力され、制御部２６からの制御値
がマイクロ波発振器２５と水蒸気供給装置３０ｂとに入
力され、この制御値によりマイクロ波発振器２５及び水
蒸気供給装置３０ｂからは設定どうりのマイクロ波Ｍ及
び水蒸気が出力されるので、水蒸気及びマイクロ波電力
を経済的に使用できる。
【００３８】
【発明の効果】以上のような本発明によれば、活性炭へ
のマイクロ波の照射効率を良くして、マイクロ波乾燥装
置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるマイクロ波乾燥装置を
示す概略断面図。
【図２】図１の石英管の開口部付近の断面図。
【図３】図１の中間断熱部及び下部断熱部付近の部分断
面図。
【図４】図１の断熱部とマイクロ波発振器とに導波管を
配置した断面図。
【図５】図４の導波管の断面図。
【図６】図１のマイクロ波の伝搬経路を示す部分側面
図。
【図７】図１のマイクロ波の伝搬経路を示す部分断面
図。
【符号の説明】
１…マイクロ波乾燥装置、２…リアクタータンク、２ｂ
…中間タンク、２ｃ…下部タンク、２ｚ…支持台、６…
断熱部、７…石英管、７ａ…開口端、９…上部カバー、
１１…通路、１３…排ガス処理装置、１４…活性炭供給
路、１４ｂ…ホッパー、１５…活性炭、１６…ガス吐出
板、１７Ａ…貫通孔、２１…反射管、２３…冷却スクリ
ュー、２４…排出水槽、２５…マイクロ波発振器、２５
ａ…導波管空間部、２６…制御部、２６ａ…温度セン
サ、３０…賦活用活性ガス、３１…窒素ガス、ａ…導波
管一方面、ｂ…導波管他方面、Ｈ…長手方向、Ｍ…マイ
クロ波、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４…導波管、Ｐ１Ａ，Ｐ
１Ｂ，Ｐ１Ｃ，Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ，Ｐ２Ｃ…導波管、Ｓ…
周方向、θ…角度。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２６Ｂ 17/14 Ｆ２６Ｂ 17/14 Ｚ 21/10 21/10 Ａ 23/08 23/08 Ｃ Ｈ０５Ｂ 6/64 Ｈ０５Ｂ 6/64 Ｈ 6/70 6/70 Ｅ (72)発明者 塩野 繁男 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分事業所内 (72)発明者 山下 正幸 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分事業所内 (72)発明者 岡田 昭彦 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分事業所内 (72)発明者 坂口 功 大阪府大阪市中央区大手通一丁目３番５号 財団法人大阪府水道サ−ビス公社内 (72)発明者 筒馬 賢一 大阪府大阪市中央区大手通一丁目３番５号 財団法人大阪府水道サ−ビス公社内 Ｆターム(参考） 3K090 AA02 AB14 BA08 BB09 BB14 CA02 EB40 3L113 AA07 AB03 AC12 AC20 AC28 AC67 AC86 BA02 CA08 CB07 CB19 CB23 DA01 DA09 DA10 4G046 HA09 HC15 HC18 HC26 4G066 AA05A AA05B GA03 GA06 4G075 AA37 BA05 BD14 CA02 CA26 EA07 FB20

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 内部に被乾燥物を収納する石英管と、こ
    の石英管の外周側に配置した断熱部と、この断熱部の外
    部に配置したマイクロ波を発生する複数個のマイクロ波
    発振器と、前記マイクロ波発振器と断熱部とを接続する
    と共に、マイクロ波を伝搬させ被乾燥物にマイクロ波を
    照射する導波管とを備えたマイクロ波乾燥装置におい
    て、上記導波管はその内部に矩形形状の空間部が形成さ
    れ、この空間部の長手方向が上記石英管の軸方向になる
    ように、上記断熱部の外周側に配置されていることを特
    徴とするマイクロ波乾燥装置。
  2. 【請求項２】 内部に被乾燥物を収納する石英管と、こ
    の石英管の外周側に配置した断熱部と、この断熱部の外
    部に配置したマイクロ波を発生する複数個のマイクロ波
    発振器と、前記マイクロ波発振器と断熱部とを接続する
    と共に、マイクロ波を伝搬させ被乾燥物にマイクロ波を
    照射する導波管とを備えたマイクロ波乾燥装置におい
    て、上記導波管を上記石英管の周方向に複数個配置し、
    更に前記石英管の軸方向に沿って複数段配置し、この複
    数段の導波管の奇数段目の導波管は偶数段目の複数の導
    波管の周方向間隔の中間近傍に配置することを特徴とす
    るマイクロ波乾燥装置。
  3. 【請求項３】 内部に被乾燥物を収納する石英管と、こ
    の石英管の外周側に配置した断熱部と、この断熱部の外
    部に配置したマイクロ波を発生する複数個のマイクロ波
    発振器と、前記マイクロ波発振器と断熱部とを接続する
    と共に、マイクロ波を伝搬させ被乾燥物にマイクロ波を
    照射する導波管とを備えたマイクロ波乾燥装置におい
    て、上記石英管はその一端に形成した開口部端間を連絡
    し、且つ貫通穴を有する支持板と、前記貫通穴に挿入さ
    れ、かつ支持板に支持されマイクロ波を反射する反射管
    とを備えていることを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
  4. 【請求項４】 内部に被乾燥物を収納する石英管と、こ
    の石英管の外周側に配置した断熱部と、この断熱部の外
    部に配置したマイクロ波を発生する複数個のマイクロ波
    発振器と、前記マイクロ波発振器と断熱部とを接続する
    と共に、マイクロ波を伝搬させ被乾燥物にマイクロ波を
    照射する導波管とを備えたマイクロ波乾燥装置におい
    て、上記断熱部の長手方向に配置された複数段の導波管
    と、断熱部の供給側に配置されたガス供給器からのガス
    を石英管の供給口から排気口側に排気ガスを排気し、排
    気側のマイクロ波発振器の出力を供給口側のマイクロ波
    発振器の出力より小さいマイクロ波発振器を使用するこ
    とを特徴とするマイクロ波乾燥装置。
  5. 【請求項５】 上記石英管はその一端に形成した開口部
    端間を連絡し、且つ貫通穴を有する支持板と、前記貫通
    穴に挿入され、かつ支持板に支持されたマイクロ波を反
    射する反射管とを備え、前記反射管内に配置した温度セ
    ンサと、この温度センサの測定温度により、上記断熱部
    の供給側に配置したガス供給器からの水蒸気ガスの供給
    量とマイクロ波発振器からのマイクロ波を制御する制御
    部を設けた請求項２に記載したマイクロ波乾燥装置。
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