JP2001326434A - Insulating board for printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents

Insulating board for printed wiring board and its manufacturing method

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JP2001326434A
JP2001326434A JP2000143768A JP2000143768A JP2001326434A JP 2001326434 A JP2001326434 A JP 2001326434A JP 2000143768 A JP2000143768 A JP 2000143768A JP 2000143768 A JP2000143768 A JP 2000143768A JP 2001326434 A JP2001326434 A JP 2001326434A
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Japan
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ylidene
insulating substrate
wiring board
printed wiring
norbornene
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Naoki Kanda
直樹 神田
Yasuhiro Wakizaka
康尋 脇坂
Tomoo Sugawara
智雄 菅原
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Zeon Corp
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Nippon Zeon Co Ltd
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  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method that can obtain an insulating board for a printed-wiring board that contains less halogen by using norbornene- based monomer for stably carrying out ring opening polymerization with high catalytic activity and formation. SOLUTION: In this method for manufacturing the insulating board for the printed-wiring board, reaction liquid concentrate containing at least the norbornene-based monomer, and a complex where a carbene compound containing a hetero atom is subjected to configuration is put into a formation die for massive polymerization.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種の通信機器、
電気機器、電子機器などに用いられるプリント配線基板
用の絶縁基板およびその製造方法に関する。
The present invention relates to various communication devices,
The present invention relates to an insulating substrate for a printed wiring board used for electric equipment, electronic equipment, and the like, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、各種工業用に用いられるプリント
基板は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル
樹脂などの熱硬化性樹脂を、紙やガラス布等に含浸、乾
燥後、所要枚数を積層し、さらに銅箔を重ねて積層成形
してなる積層板を基板としてエッチング等により電気回
路を形成してプリント基板を得ていた。しかし、この方
法は、含浸、乾燥、積層成形、切断等の製造工程が長
く、生産効率が悪いという問題を有していた。また、重
合体が極性基を含有するため、誘電率が大きいなど電気
特性が不十分であった。こうした問題を克服するため
に、プリント配線基板の製造や電子・電気部品の樹脂封
止において、メタセシス重合触媒を用いてノルボルネン
系モノマーを開環重合および成形を同時に行わせる反応
射出成形法(RIM)を適用することが提案されてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, printed boards used for various industries are manufactured by impregnating a thermosetting resin such as an epoxy resin, a phenol resin, or a polyester resin into paper or glass cloth, drying, and laminating a required number of sheets. Further, a printed circuit board is obtained by forming an electric circuit by etching or the like using a laminated plate formed by laminating and forming a copper foil as a substrate. However, this method has a problem that production steps such as impregnation, drying, lamination molding, and cutting are long and production efficiency is poor. In addition, since the polymer contains a polar group, the electric properties were insufficient such as a large dielectric constant. To overcome these problems, in the production of printed wiring boards and resin encapsulation of electronic and electrical components, the reaction injection molding method (RIM), in which ring-opening polymerization and molding of norbornene-based monomers are simultaneously performed using a metathesis polymerization catalyst. It has been proposed to apply

【0003】例えば、特開昭62−52987号公報に
は、ノルボルネン系モノマーをモリブデン含有化合物ま
たはタングステン含有化合物とハロゲン化アルキルアル
ミニウムとからなるメタセシス重合触媒系を用いて重合
する反応射出成形してプリント配線基板を製造する方法
が記載されている。特開昭62−105610号公報に
は、ノルボルネン系モノマーをモリブデン含有化合物ま
たはタングステン含有化合物とハロゲン化アルキルアル
ミニウムとからなるメタセシス重合触媒系を用いて反応
射出成形することにより、電気・電子部品を樹脂封止す
る方法が開示されている。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-52987 discloses reaction injection molding in which a norbornene-based monomer is polymerized using a metathesis polymerization catalyst system comprising a molybdenum-containing compound or a tungsten-containing compound and an alkyl aluminum halide. A method for manufacturing a wiring board is described. Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-105610 discloses that an electric / electronic component is made of a resin by subjecting a norbornene-based monomer to reaction injection molding using a metathesis polymerization catalyst system comprising a molybdenum-containing compound or a tungsten-containing compound and an alkyl aluminum halide. A method of sealing is disclosed.

【0004】一方、特開平10−147633号公報に
は、メタセシス重合触媒として、ルテニウムまたはオス
ミウムのホスフィン錯体およびアルキンからなる触媒組
成物が記載され、該組成物をメタセシス重合に用いて樹
脂(メタセシスポリマー)を製造すること、電気または
電子部品のための封入樹脂用に該組成物を使用すること
などが開示されている。さらにまた、特開平10−14
7634号公報には、メタセシス重合触媒として、ルテ
ニウムまたはオスミウムのホスフィン錯体およびヒドロ
キシル基含有アルキンからなる触媒組成物が記載され、
該組成物をメタセシスポリマーの製造に用いること、電
気または電子部品のための封入樹脂用に該組成物を使用
することなどが開示されている。
On the other hand, JP-A-10-147633 describes, as a metathesis polymerization catalyst, a catalyst composition comprising a phosphine complex of ruthenium or osmium and an alkyne. The composition is used for metathesis polymerization and a resin (metathesis polymer) is used. ), The use of the composition for encapsulating resins for electrical or electronic components, and the like. Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-14
No. 7634 describes a catalyst composition comprising a phosphine complex of ruthenium or osmium and a hydroxyl group-containing alkyne as a metathesis polymerization catalyst,
The use of the composition for the production of metathesis polymers, the use of the composition for encapsulating resins for electrical or electronic components, etc. are disclosed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開昭62−52987号公報や特開昭62−10561
0号公報に記載されるようなモリブデン系またはタング
ステン系のメタセシス触媒を用いる方法においては、低
圧のRIM法により後硬化反応を施すことなく一挙にプ
リント配線基板や電気・電子部品の樹脂封止体が得られ
るという利点はあるものの、メタセシス触媒が空気中の
水分や酸素で失活し易いという問題があった。また、共
触媒であるハロゲン化アルキルアルミニウムなどに由来
するハロゲンが樹脂中に比較的多量に含まれるために、
銅箔やリード線等の金属部分の腐食が起こり易い、イオ
ンマイグレーションによる絶縁不良が起こり易いなどと
いう問題点もあった。一方、前記特開平10−1476
33号公報や特開平10−147634号公報に記載さ
れるようなルテニウムまたはオスミウムのホスフィン錯
体は、水分や酸素のような触媒失活成分に対して比較的
安定である利点はあるものの、触媒の活性が低いので、
成形体を得るためには予備硬化反応と後硬化反応とを施
す必要があるという工程の煩雑さがあった。本発明の目
的は、ハロゲン含有量が著しく少ないプリント配線基板
用絶縁基板、およびこうしたプリント配線基板用絶縁基
板を高い生産性で製造する方法を提供することである。
However, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-52987 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-10561
In the method using a molybdenum-based or tungsten-based metathesis catalyst as described in Japanese Patent Publication No. 0, a resin encapsulant for a printed wiring board or an electric or electronic component is formed at a stroke without performing a post-curing reaction by a low-pressure RIM method. However, there is a problem that the metathesis catalyst is easily deactivated by moisture or oxygen in the air. Further, since a relatively large amount of halogen derived from a cocatalyst such as alkyl aluminum halide is contained in the resin,
There are also problems such as corrosion of metal parts such as copper foil and lead wires and insulation failure due to ion migration. On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-1476
The phosphine complex of ruthenium or osmium as described in JP-A-33-33 and JP-A-10-147634 has an advantage of being relatively stable to a catalyst deactivating component such as moisture or oxygen, but has a merit that the catalyst Low activity
In order to obtain a molded article, there is a complicated process in which a pre-curing reaction and a post-curing reaction must be performed. An object of the present invention is to provide an insulating substrate for a printed wiring board having a significantly low halogen content, and a method for manufacturing such an insulating substrate for a printed wiring board with high productivity.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、特定のル
テニウム錯体が触媒として極めて高活性であり、これを
用いて成形型内で開環重合および成形を同時に行えば、
後硬化反応を施すことなく絶縁基板が得られ、また、得
られた絶縁基板中のハロゲン含量を著しく小さくなるこ
とを見出して、本発明を完成させるに到った。かくし
て、本発明によれば、(1)ノルボルネン系モノマーと
ルテニウムにヘテロ原子含有カルベン化合物が配位して
なる錯体とを少なくとも含有する反応原液を成形型内に
入れて塊状重合させることを特徴とするプリント配線基
板用絶縁基板の製造方法、(2)前記絶縁基板のハロゲ
ン含有量が100ppm以下であることを特徴とする上
記(1)記載のプリント配線基板用絶縁基板の製造方
法、(3)前記絶縁基板が、電子素子を収納するための
凹部を有する上記(1)または(2)記載のプリント配
線基板用絶縁基板の製造方法、(4)電子素子が内部に
配設してある成形型内に、前記反応原液を入れて塊状重
合させることを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれ
かに記載のプリント配線基板用絶縁基板の製造方法、お
よび、(5)ポリノルボルネン系樹脂からなり、ハロゲ
ン含有量が100ppm以下であるプリント配線基板用
絶縁基板、が提供される。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that a specific ruthenium complex has extremely high activity as a catalyst, and that ring-opening polymerization and molding can be carried out simultaneously in a mold using this.
The inventors have found that an insulating substrate can be obtained without performing a post-curing reaction, and that the halogen content in the obtained insulating substrate is significantly reduced, thereby completing the present invention. Thus, according to the present invention, (1) a reaction solution containing at least a norbornene-based monomer and a complex obtained by coordinating a heteroatom-containing carbene compound with ruthenium is put into a mold and subjected to bulk polymerization. (2) The method for producing an insulating substrate for a printed wiring board according to the above (1), wherein the halogen content of the insulating substrate is 100 ppm or less, (3) The method for manufacturing an insulating substrate for a printed wiring board according to the above (1) or (2), wherein the insulating substrate has a concave portion for accommodating an electronic element, (4) a mold in which the electronic element is disposed. The method for producing an insulating substrate for a printed wiring board according to any one of the above (1) to (3), wherein the undiluted reaction solution is put into the inside and subjected to bulk polymerization, and (5). Consists Li norbornene resin, printed wiring board insulating substrate halogen content is 100ppm or less, is provided.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、詳細に説明する。本発明に係るプリント配線基板用
絶縁基板は、ノルボルネン系モノマーと特定のメタセシ
ス重合触媒とを少なくとも含有する反応原液を型内に入
れて塊状重合することにより製造される。 (ノルボルネン系モノマー)本発明で使用可能なノルボ
ルネン系モノマーは、ノルボルネン環構造を有するモノ
マーで、置換および未置換の二環以上の多環モノマーで
ある。その具体例としては、ノルボルネン、ノルボルナ
ジエン、メチルノルボルネン、ジメチルノルボルネン、
エチルノルボルネン、塩素化ノルボルネン、エチリデン
ノルボルネン、クロロメチルノルボルネン、トリメチル
シリルノルボルネン、フェニルノルボルネン、シアノノ
ルボルネン、ジシアノノルボルネン、メトキシカルボニ
ルノルボルネン、ピリジルノルボルネン、ナヂック酸無
水物、ナヂック酸イミドなどの二環ノルボルネン類;ジ
シクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエンや
そのアルキル、アルケニル、アルキリデン、アリール置
換体などの三環ノルボルネン類;ジメタノヘキサヒドロ
ナフタレン、ジメタノオクタヒドロナフタレンやそのア
ルキル、アルケニル、アルキリデン、アリール置換体な
どの四環ノルボルネン類;トリシクロペンタジエンなど
の五環ノルボルネン類、ヘキサシクロヘプタデセンなど
の六環ノルボルネン類;ジノルボルネン、二個のノルボ
ルネン環を炭化水素鎖またはエステル基などで結合した
化合物;これらのアルキル、アリール置換体などのノル
ボルネン環を含む化合物などが挙げられる。
Embodiments of the present invention will be described below in detail. The insulating substrate for a printed wiring board according to the present invention is manufactured by putting a stock solution containing at least a norbornene-based monomer and a specific metathesis polymerization catalyst into a mold and performing bulk polymerization. (Norbornene-based monomer) The norbornene-based monomer that can be used in the present invention is a monomer having a norbornene ring structure, and is a substituted or unsubstituted polycyclic monomer having two or more rings. Specific examples thereof include norbornene, norbornadiene, methylnorbornene, dimethylnorbornene,
Bicyclic norbornenes such as ethyl norbornene, chlorinated norbornene, ethylidene norbornene, chloromethyl norbornene, trimethylsilyl norbornene, phenyl norbornene, cyano norbornene, dicyano norbornene, methoxycarbonyl norbornene, pyridyl norbornene, nadic anhydride, nadimide and the like; dicyclo Tricyclic norbornenes such as pentadiene, dihydrodicyclopentadiene and their alkyl, alkenyl, alkylidene, and aryl-substituted products; tetracyclic compounds such as dimethanohexahydronaphthalene, dimethanooctahydronaphthalene and their alkyl, alkenyl, alkylidene, and aryl-substituted products Norbornenes; pentacyclic norbornenes such as tricyclopentadiene, and hexacyclic norbornenes such as hexacycloheptadecene S; di norbornene compound bound in such hydrocarbon chain or an ester group of two norbornene rings; these alkyl, such as a compound containing a norbornene ring, such as aryl-substituted products thereof.

【0008】前記ノルボルネン系モノマーは単独でも二
種以上を使用してもよいが、二種以上の使用が好まし
い。二種以上使用する場合には、熱可塑性樹脂となる1
つの二重結合を有するモノマーと、熱硬化性樹脂となる
複数の二重結合を有するモノマーとを適宜組合せると、
種々の物性を有する樹脂を入手することができる。ま
た、二種以上のモノマーを併用すると、凝固点温度が高
いモノマーでも、単独のモノマーを使用する場合と比較
して凝固点降下により液状として取扱えるという利点が
ある。また、上記ノルボルネン系モノマー50重量%以
上と、シクロブテン、シクロペンテン、シクロオクテ
ン、シクロドデセンなどの単環シクロオレフィンまたは
置換基を有する単環シクロオレフィンの誘導体とを共重
合する態様であってもよい。
The above norbornene monomers may be used alone or in combination of two or more, but the use of two or more is preferred. When two or more kinds are used, they become thermoplastic resins.
When appropriately combining a monomer having two double bonds and a monomer having a plurality of double bonds to be a thermosetting resin,
Resins having various physical properties can be obtained. Further, when two or more monomers are used in combination, there is an advantage that even a monomer having a high freezing point temperature can be handled as a liquid by lowering the freezing point as compared with a case where a single monomer is used. Further, an embodiment in which 50% by weight or more of the norbornene-based monomer is copolymerized with a monocyclic cycloolefin such as cyclobutene, cyclopentene, cyclooctene, or cyclododecene or a derivative of a monocyclic cycloolefin having a substituent may be used.

【0009】(メタセシス重合触媒)本発明において使
用される触媒は、ルテニウムにヘテロ原子含有カルベン
化合物が少なくとも1つ配位してなる錯体であれば特に
限定されないが、通常、下記化学式1の式aまたは式b
で表わされるルテニウムカルベン錯体である。
(Metathesis Polymerization Catalyst) The catalyst used in the present invention is not particularly limited as long as it is a complex in which at least one heteroatom-containing carbene compound is coordinated with ruthenium. Or equation b
Is a ruthenium carbene complex represented by

【0010】[0010]

【化1】 Embedded image

【0011】(式aおよび式bのR およびR は、
互いに独立に水素、またはハロゲン原子、酸素原子、窒
素原子、硫黄原子、リン原子、けい素原子を含んでもよ
い炭素数1〜20の炭化水素基を示す。X およびX
は互いに独立な任意のアニオン性配位子を示す。L
はヘテロ原子含有カルベン化合物を示し、L はヘ
テロ原子含有カルベン化合物または任意の中性の電子供
与性化合物を示すR、R 、X 、X 、L
よびL のうちの2個、3個、4個、5個または6個
は、互いに結合して多座キレート化配位子を形成しても
よい。) 本発明において、ヘテロ原子とは、周期律表第15族ま
たは第16族の原子のことで、具体的には、窒素原子、
酸素原子、リン原子、硫黄原子、ヒ素原子、セレン原子
などを挙げることができる。なかでも窒素原子、酸素原
子、リン原子または硫黄原子が安定なカルベン化合物を
得るためには好ましく、窒素原子が特に好ましい。
(R 1 and R 2 in the formulas a and b are
And each independently represents hydrogen or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may contain a halogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, a phosphorus atom and a silicon atom. X 1 and X
2 represents any independent anionic ligand. L
1 represents a hetero atom-containing carbene compounds, L 2 is one of R 1, R 2, X 1 , X 2, L 1 and L 2 showing the hetero atom-containing carbene compound or an electron donor compound any neutral Two, three, four, five or six may be joined together to form a polydentate chelating ligand. In the present invention, a hetero atom is an atom belonging to Group 15 or 16 of the periodic table, and specifically includes a nitrogen atom,
Examples thereof include an oxygen atom, a phosphorus atom, a sulfur atom, an arsenic atom, and a selenium atom. Among them, a nitrogen atom, an oxygen atom, a phosphorus atom or a sulfur atom is preferable for obtaining a stable carbene compound, and a nitrogen atom is particularly preferable.

【0012】カルベン化合物とは、メチレン遊離基を有
する化合物の総称で、(>C:)で表わされるような電
荷のない2価の炭素原子を持つ化合物のことである。一
般的にカルベン化合物は、反応中に生じる不安定な中間
体として存在するが、ヘテロ原子を有することにより比
較的安定な化合物として単離することができる。
The carbene compound is a general term for compounds having a methylene free radical, and is a compound having an uncharged divalent carbon atom represented by (> C :). Generally, a carbene compound exists as an unstable intermediate generated during the reaction, but can be isolated as a relatively stable compound due to having a hetero atom.

【0013】ヘテロ原子含有カルベン化合物の例として
は、下記化学式2の式cまたは式dで示される化合物が
挙げられる。
Examples of the carbene compound containing a hetero atom include a compound represented by the formula (c) or (d) of the following chemical formula 2.

【0014】[0014]

【化2】 Embedded image

【0015】(上記式cおよび式dのR 、R
互いに独立な水素、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原
子、硫黄原子、リン原子またはけい素原子を含んでもよ
い炭素数1〜20の炭化水素基を示す。) 前記式cの具体例としては、1,3−ジイソプロピルイ
ミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジシクロヘキシ
ルイミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジ(メチル
フェニル)イミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジ
(メチルナフチル)イミダゾリジン−2−イリデン、
1,3−ジメシチルイミダゾリジン−2−イリデン、
1,3−ジアダマンチルイミダゾリジン−2−イリデ
ン、1,3−ジフェニルイミダゾリジン−2−イリデ
ン、1,3,4,5−テトラメチルイミダゾリジン−2
−イリデンなどが挙げられる。
(R 3 and R 4 in the above formulas c and d each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, a phosphorus atom or a carbon atom having 1 to 20 carbon atoms which may contain a silicon atom. Specific examples of the formula c include 1,3-diisopropylimidazolidin-2-ylidene, 1,3-dicyclohexylimidazolidin-2-ylidene, and 1,3-di (methylphenyl) imidazo. Lysine-2-ylidene, 1,3-di (methylnaphthyl) imidazolidin-2-ylidene,
1,3-dimesitylimidazolidine-2-ylidene,
1,3-diadamantylimidazolidine-2-ylidene, 1,3-diphenylimidazolidine-2-ylidene, 1,3,4,5-tetramethylimidazolidine-2
-Ylidene and the like.

【0016】前記式dの具体例としては、1,3−ジイ
ソプロピル−4−イミダゾリン−2−イリデン、1,3
−ジシクロヘキシル−4−イミダゾリン−2−イリデ
ン、1,3−ジ(メチルフェニル)−4−イミダゾリン
−2−イリデン、1,3−ジ(メチルナフチル)−4−
イミダゾリン−2−イリデン、1,3−ジメシチル−4
−イミダゾリン−2−イリデン、1,3−ジアダマンチ
ル−4−イミダゾリン−2−イリデン、1,3−ジフェ
ニル−4−イミダゾリン−2−イリデン、1,3,4,
5−テトラメチル−4−イミダゾリン−2−イリデン、
1,3,4,5−テトラフェニル−4−イミダゾリン−
2−イリデンなどが挙げられる。
Specific examples of the formula d include 1,3-diisopropyl-4-imidazoline-2-ylidene, 1,3
-Dicyclohexyl-4-imidazoline-2-ylidene, 1,3-di (methylphenyl) -4-imidazoline-2-ylidene, 1,3-di (methylnaphthyl) -4-
Imidazoline-2-ylidene, 1,3-dimesityl-4
-Imidazoline-2-ylidene, 1,3-diadamantyl-4-imidazoline-2-ylidene, 1,3-diphenyl-4-imidazoline-2-ylidene, 1,3,4,
5-tetramethyl-4-imidazoline-2-ylidene,
1,3,4,5-tetraphenyl-4-imidazoline-
2-ylidene and the like.

【0017】また、前記式cおよび式dで示される化合
物のほかに、1,3,4−トリフェニル−2,3,4,
5−テトラヒドロ−1H−1,2,4−トリアゾール−
5−イリデン、3−(2,6−ジイソプロピルフェニ
ル)−2,3,4,5−テトラヒドロチアゾール−2−
イリデン、1,3−ジシクロヘキシルヘキサヒドロピリ
ミジン−2−イリデン、N,N,N’,N’−テトライ
ソプロピルホルムアミジニリデン、1,3,4−トリフ
ェニル−4,5−ジヒドロ−1H−1,2,4−トリア
ゾール−5−イリデン、3−(2,6−ジイソプロピル
フェニル)−2,3−ジヒドロチアゾール−2−イリデ
ンなども本発明にかかるヘテロ原子含有カルベン化合物
の例として挙げることができる。
In addition to the compounds represented by the formulas c and d, 1,3,4-triphenyl-2,3,4,4
5-tetrahydro-1H-1,2,4-triazole-
5-ylidene, 3- (2,6-diisopropylphenyl) -2,3,4,5-tetrahydrothiazole-2-
Ylidene, 1,3-dicyclohexylhexahydropyrimidine-2-ylidene, N, N, N ', N'-tetraisopropylformamidinylidene, 1,3,4-triphenyl-4,5-dihydro-1H-1 , 2,4-Triazole-5-ylidene, 3- (2,6-diisopropylphenyl) -2,3-dihydrothiazole-2-ylidene and the like can also be mentioned as examples of the heteroatom-containing carbene compound according to the present invention. .

【0018】特に好ましいヘテロ原子含有カルベン化合
物としては、カルベンに隣接するヘテロ原子が嵩高い置
換基を有する飽和環状化合物が挙げられ、その具体例と
しては、1,3−ジイソプロピルイミダゾリジン−2−
イリデン、1,3−ジシクロヘキシルイミダゾリジン−
2−イリデン、1,3−ジ(メチルフェニル)イミダゾ
リジン−2−イリデン、1,3−ジ(メチルナフチル)
イミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジメシチルイ
ミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジアダマンチル
イミダゾリジン−2−イリデン、1,3−ジフェニルイ
ミダゾリジン−2−イリデン、1,3,4,5−テトラ
フェニルイミダゾリジン−2−イリデン、1,3,4−
トリフェニル−2,3,4,5−テトラヒドロ−1H−
1,2,4−トリアゾール−5−イリデン、3−(2,
6−ジイソプロピルフェニル)−2,3,4,5−テト
ラヒドロチアゾール−2−イリデン、1,3−ジシクロ
ヘキシルヘキサヒドロピリミジン−2−イリデンなどが
挙げられる。
A particularly preferred heteroatom-containing carbene compound is a saturated cyclic compound in which the heteroatom adjacent to the carbene has a bulky substituent, and specific examples thereof include 1,3-diisopropylimidazolidin-2-
Ilidene, 1,3-dicyclohexylimidazolidine-
2-ylidene, 1,3-di (methylphenyl) imidazolidin-2-ylidene, 1,3-di (methylnaphthyl)
Imidazolidine-2-ylidene, 1,3-dimesitylimidazolidine-2-ylidene, 1,3-diadamantylimidazolidine-2-ylidene, 1,3-diphenylimidazolidine-2-ylidene, 1,3,3 4,5-tetraphenylimidazolidine-2-ylidene, 1,3,4-
Triphenyl-2,3,4,5-tetrahydro-1H-
1,2,4-triazole-5-ylidene, 3- (2,
6-diisopropylphenyl) -2,3,4,5-tetrahydrothiazol-2-ylidene, 1,3-dicyclohexylhexahydropyrimidine-2-ylidene, and the like.

【0019】前記式aおよび式bのアニオン(陰イオ
ン)性配位子、X およびX は、中心金属から引き
離されたときに負の電荷を持つ配位子であればいかなる
ものでもよい。例えば、フッ素原子、臭素原子、塩素原
子、要素原子などのハロゲン原子、水素、アセチルアセ
トナト基、ジケトネート基、置換シクロペンタジエニル
基、置換アリル基、アルケニル基、アルキル基、アリー
ル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカ
ルボニル基、カルボキシル基、アルキルまたはアリール
スルフォネート基、アルキルチオ基、アルケニルチオ
基、アリールチオ基、アルキルスルホニル基、アルキル
スルフィニル基などを挙げることができる。好ましくは
ハロゲン原子であり、より好ましくは塩素原子である。
The anionic (anionic) ligands X 1 and X 2 of the above formulas a and b may be any ligands having a negative charge when separated from the central metal. . For example, fluorine atom, bromine atom, chlorine atom, halogen atom such as element atom, hydrogen, acetylacetonato group, diketonate group, substituted cyclopentadienyl group, substituted allyl group, alkenyl group, alkyl group, aryl group, alkoxy group , An aryloxy group, an alkoxycarbonyl group, a carboxyl group, an alkyl or aryl sulfonate group, an alkylthio group, an alkenylthio group, an arylthio group, an alkylsulfonyl group, and an alkylsulfinyl group. Preferably it is a halogen atom, more preferably a chlorine atom.

【0020】また、前記式aおよび式bのL に関す
る中性の電子供与性化合物としては、中心金属から引き
離されたときに中性の電荷を持つ配位子、すなわちルイ
ス塩基であればいかなるものでもよい。その具体例とし
ては、酸素、水、カルボニル、アミン類、ピリジン類、
エ−テル類、ニトリル類、エステル類、ホスフィン類、
ホスフィナイト類、ホスファイト類、スチビン類、スル
ホキシド類、チオエーテル類、アミド類、芳香族化合
物、環状ジオレフィン類、オレフィン類、イソシアニド
類、チオシアネ−ト類などが挙げられる。好ましくはホ
スフィン類であり、特にトリアルキルホスフィンやトリ
アリールホスフィンなどが好ましい。
Further, examples of the formula a and the electron donor compound neutral regarding L 2 of the formula b, ligand having a neutral charge when separated from the central metal, i.e. any if Lewis base It may be something. Specific examples thereof include oxygen, water, carbonyl, amines, pyridines,
Ethers, nitriles, esters, phosphines,
Examples include phosphinite, phosphite, stibine, sulfoxide, thioether, amide, aromatic compound, cyclic diolefin, olefin, isocyanide, thiocyanate, and the like. Preferred are phosphines, and particularly preferred are trialkylphosphines and triarylphosphines.

【0021】前記式aおよび式bのR およびR
しては、水素;炭素数1〜20のアルキル基、アリール
基、カルボキシル基、アルキルチオ基、アリールチオ
基、アルキルスルホニル基、アルキルスルフィニル基、
アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルスルホニル
基またはアルキルスルフィニル基;炭素数2〜20のア
ルケニル基、アルキニル基、アルケニルオキシ基、アル
キニルオキシ基、アリールオキシ基、またはアルコキシ
カルボニル基などが挙げられる。
R 1 and R 2 in the formulas a and b are hydrogen; an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group, a carboxyl group, an alkylthio group, an arylthio group, an alkylsulfonyl group, an alkylsulfinyl group,
An alkylthio group, an arylthio group, an alkylsulfonyl group, or an alkylsulfinyl group; an alkenyl group, an alkynyl group, an alkenyloxy group, an alkynyloxy group, an aryloxy group, or an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms;

【0022】前記式aで表わされる錯体化合物として
は、例えば、(1,3−ジシクロヘキシルイミダゾリジ
ン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)
ベンジリデンルテニウムジクロリド、(1,3−ジシク
ロヘキシル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリ
シクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジ
クロリド、(1,3−ジメシチルイミダゾリジン−2−
イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリ
デンルテニウムジクロリド、(1,3−ジメシチルイミ
ダゾリジン−2−イリデン)(トリフェニルホスフィ
ン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、(1,3−ジ
メシチル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリシ
クロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジク
ロリド、(1,3−ジメシチル−4−イミダゾリン−2
−イリデン)(トリフェニルホスフィン)ベンジリデン
ルテニウムジクロリド、[1,3−ジ(メチルフェニ
ル)イミダゾリジン−2−イリデン](トリシクロヘキ
シルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、
[1,3−ジ(メチルナフチル)イミダゾリジン−2−
イリデン](トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリ
デンルテニウムジクロリド、(1,3,4,5−テトラ
フェニルイミダゾリジン−2−イリデン)(トリシクロ
ヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリ
ド、(1,3−ジシクロヘキシルヘキサヒドロピリミジ
ン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)
ベンジリデンルテニウムジクロリドなどのヘテロ原子含
有カルベン化合物と中性の電子供与性化合物が配位した
ルテニウム錯体化合物;ビス(1,3−ジイソプロピル
イミダゾリジン−2−イリデン)ベンジリデンルテニウ
ムジクロリド、ビス(1,3−ジシクロヘキシルイミダ
ゾリジン−2−イリデン)ベンジリデンルテニウムジク
ロリド、ビス(1,3−ジイソプロピル−4−イミダゾ
リン−2−イリデン)ベンジリデンルテニウムジクロリ
ド、ビス(1,3−ジシクロヘキシル−4−イミダゾリ
ン−2−イリデン)ベンジリデンルテニウムジクロリド
などの2つのヘテロ原子含有カルベン化合物が配位した
ルテニウム錯体化合物などが挙げられる。
Examples of the complex compound represented by the formula a include (1,3-dicyclohexylimidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine).
Benzylidene ruthenium dichloride, (1,3-dicyclohexyl-4-imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) benzylidene ruthenium dichloride, (1,3-dimesitylimimidazolidin-2-yl)
(Ylidene) (tricyclohexylphosphine) benzylideneruthenium dichloride, (1,3-dimesitylimidazolidine-2-ylidene) (triphenylphosphine) benzylideneruthenium dichloride, (1,3-dimesityl-4-imidazoline-2-ylidene) (Tricyclohexylphosphine) benzylidene ruthenium dichloride, (1,3-dimesityl-4-imidazoline-2)
-Ylidene) (triphenylphosphine) benzylidene ruthenium dichloride, [1,3-di (methylphenyl) imidazolidine-2-ylidene] (tricyclohexylphosphine) benzylidene ruthenium dichloride,
[1,3-di (methylnaphthyl) imidazolidine-2-
[Ylidene] (tricyclohexylphosphine) benzylideneruthenium dichloride, (1,3,4,5-tetraphenylimidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) benzylideneruthenium dichloride, (1,3-dicyclohexylhexahydropyrimidine-2-yl) Ylidene) (tricyclohexylphosphine)
Ruthenium complex compound in which a heteroatom-containing carbene compound such as benzylidene ruthenium dichloride and a neutral electron-donating compound are coordinated; bis (1,3-diisopropylimidazolidin-2-ylidene) benzylidene ruthenium dichloride, bis (1,3- Dicyclohexylimidazolidine-2-ylidene) benzylidene ruthenium dichloride, bis (1,3-diisopropyl-4-imidazoline-2-ylidene) benzylidene ruthenium dichloride, bis (1,3-dicyclohexyl-4-imidazoline-2-ylidene) benzylidene ruthenium Ruthenium complex compounds in which two heteroatom-containing carbene compounds such as dichloride are coordinated are exemplified.

【0023】前記式bで表わされる錯体化合物として
は、例えば、(1,3−ジシクロヘキシルイミダゾリジ
ン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)
フェニルビニリデンルテニウムジクロリド、(1,3−
ジメシチルイミダゾリジン−2−イリデン)(トリシク
ロヘキシルホスフィン)t−ブチルビニリデンルテニウ
ムジクロリド、(1,3−ジメシチル−4−イミダゾリ
ン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)
フェニルビニリデンルテニウムジクロリド、[1,3−
ジ(メチルフェニル)イミダゾリジン−2−イリデン]
(トリシクロヘキシルホスフィン)t−ブチルビニリデ
ンルテニウムジクロリド、[1,3−ジ(メチルナフチ
ル)イミダゾリジン−2−イリデン](トリシクロヘキ
シルホスフィン)フェニルビニリデンルテニウムジクロ
リド、(1,3,4,5−テトラフェニルイミダゾリジ
ン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)
t−ブチルビニリデンルテニウムジクロリド、(1,3
−ジシクロヘキシルヘキサヒドロピリミジン−2−イリ
デン)(トリシクロヘキシルホスフィン)フェニルビニ
リデンルテニウムジクロリドなどのヘテロ原子含有カル
ベン化合物1つと中性の電子供与性化合物が配位したル
テニウム錯体化合物;ビス(1,3−ジイソプロピルイ
ミダゾリジン−2−イリデン)フェニルビニリデンルテ
ニウムジクロリド、ビス(1,3−ジシクロヘキシルイ
ミダゾリジン−2−イリデン)t−ブチルビニリデンル
テニウムジクロリド、ビス(1,3−ジイソプロピル−
4−イミダゾリン−2−イリデン)t−ブチルビニリデ
ンルテニウムジクロリド、ビス(1,3−ジシクロヘキ
シル−4−イミダゾリン−2−イリデン)フェニルビニ
リデンルテニウムジクロリドなどのヘテロ原子含有カル
ベン化合物2つが配位したルテニウム錯体化合物などが
挙げられる。
Examples of the complex compound represented by the above formula b include (1,3-dicyclohexylimidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine)
Phenylvinylidene ruthenium dichloride, (1,3-
Dimesityl imidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) t-butylvinylidene ruthenium dichloride, (1,3-dimesityl-4-imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine)
Phenylvinylidene ruthenium dichloride, [1,3-
Di (methylphenyl) imidazolidine-2-ylidene]
(Tricyclohexylphosphine) t-butylvinylideneruthenium dichloride, [1,3-di (methylnaphthyl) imidazolidine-2-ylidene] (tricyclohexylphosphine) phenylvinylideneruthenium dichloride, (1,3,4,5-tetraphenyl Imidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine)
t-butylvinylidene ruthenium dichloride, (1,3
-Dicyclohexylhexahydropyrimidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) phenylvinylideneruthenium dichloride or other heteroatom-containing carbene compound and a ruthenium complex compound in which a neutral electron-donating compound is coordinated; bis (1,3-diisopropyl) Imidazolidine-2-ylidene) phenylvinylideneruthenium dichloride, bis (1,3-dicyclohexylimidazolidine-2-ylidene) t-butylvinylideneruthenium dichloride, bis (1,3-diisopropyl-
Ruthenium complex compound in which two heteroatom-containing carbene compounds such as 4-imidazoline-2-ylidene) t-butylvinylidene ruthenium dichloride and bis (1,3-dicyclohexyl-4-imidazoline-2-ylidene) phenylvinylidene ruthenium dichloride are coordinated And the like.

【0024】さらに、前記式aまたは式bで表わされる
錯体化合物を、ジ−μ−クロロビス[(p−シメン)ク
ロロルテニウム]、ジ−μ−クロロビス[(p−シメ
ン)クロロオスミウム]、ジクロロ(ペンタメチルシク
ロペンタジエニル)ロジウムダイマーなどの複核金属錯
体と反応させて得られる、複核ルテニウム−カルベン錯
体化合物も挙げることができる。かかる触媒の使用量、
すなわちノルボルネン系モノマーに対する触媒の比は、
触媒中の金属ルテニウム対ノルボルネン系モノマーのモ
ル比として、通常1:2,000〜2,000,00
0、好ましくは1:5,000〜1,000,000、
より好ましくは1:10,000〜1:500,000
である。
Further, the complex compound represented by the formula a or b is converted to di-μ-chlorobis [(p-cymene) chlororuthenium], di-μ-chlorobis [(p-cymene) chloroosmium], dichloro ( A dinuclear ruthenium-carbene complex compound obtained by reacting with a dinuclear metal complex such as (pentamethylcyclopentadienyl) rhodium dimer can also be mentioned. The amount of such catalyst used,
That is, the ratio of the catalyst to the norbornene monomer is
The molar ratio of the metal ruthenium to the norbornene monomer in the catalyst is usually 1: 2,000 to 2,000,000.
0, preferably 1: 5,000 to 1,000,000,
More preferably, from 1: 10,000 to 1: 500,000.
It is.

【0025】触媒は必要に応じて、少量の不活性溶剤に
溶解して使用することができる。かかる溶媒としては、
例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの鎖状脂肪
族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチル
シクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、トリメチル
シクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ジエチルシク
ロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ビシクロヘプタ
ン、トリシクロデカン、ヘキサヒドロインデンシクロヘ
キサン、シクロオクタンなどの脂環式炭化水素;ニトロ
メタン、ニトロベンゼン、アセトニトリルなどの含窒素
炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族
炭化水素;ジエチルエ−テル、テトラヒドロフランなど
のエ−テル化合物;ジクロロメタン、クロロホルムなど
の塩素化炭化水素などの溶媒を使用することができる。
これらの中では、工業的に汎用であるシクロヘキサン、
トルエン、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、クロ
ロホルムなどが好ましい。
The catalyst can be used by dissolving it in a small amount of an inert solvent, if necessary. Such solvents include:
For example, chain aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane and heptane; cyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, ethylcyclohexane, diethylcyclohexane, decahydronaphthalene, bicycloheptane, tricyclodecane, hexahydroindene Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane and cyclooctane; nitrogen-containing hydrocarbons such as nitromethane, nitrobenzene and acetonitrile; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; ether compounds such as diethyl ether and tetrahydrofuran; Solvents such as chlorinated hydrocarbons such as chloroform can be used.
Among these, cyclohexane, which is industrially widely used,
Preferred are toluene, tetrahydrofuran, dichloromethane, chloroform and the like.

【0026】(絶縁基板およびプリント配線基板の製
造)本発明のプリント配線基板用絶縁基板の製造方法
は、前記ノルボルネン系モノマーの開環重合および成形
を同時に行って一挙に絶縁基板を形成させるものであ
る。こうして絶縁基板を得た後、その上に導電体回路を
形成してプリント配線基板を作成することができる。本
発明の絶縁基板の厚さは、通常、0.1〜10.0m
m、好ましくは0.5〜5.0mmである。絶縁基板の
厚さが過度に薄いと電子素子を埋め込む場合に強度が小
さくなるおそれがあり、逆に、過度に厚いと小型のプリ
ント配線基板が得られにくくなる。一方、絶縁基板の平
面面積の大きさは特に限定されず、例えば8面、12面
の単位分の大きさの金型を使用して重合し、重合後に単
位面積に切断することができる。本発明の絶縁基板を構
成するポリノルボルネン系樹脂の重合方法は、前記のノ
ルボルネン系モノマーをメタセシス重合させる方法であ
る。特にレジントランスファーモールディング(RT
M)法や反応射出成形(RIM)法により、ノルボルネ
ン系モノマーを型内において塊状で開環重合する方法が
有用である。型は所定形状の成形物を得るために使用す
る。これらの方法は、実質的に塊状であればよく、少量
の不活性溶剤が存在していてもよい。かかる塊状重合に
おいては、モノマーや触媒を含有する反応液または触媒
液を混合して反応原液とし、直ちに重合反応させるため
の装置としてに、従来からRTM機やRIM機として公
知の成形機を使用することができる。
(Manufacture of Insulated Substrate and Printed Wiring Board) In the method of manufacturing an insulating substrate for a printed wiring board according to the present invention, ring-opening polymerization and molding of the norbornene-based monomer are simultaneously performed to form an insulating substrate at a stroke. is there. After obtaining the insulating substrate in this way, a conductor circuit can be formed thereon to form a printed wiring board. The thickness of the insulating substrate of the present invention is usually 0.1 to 10.0 m.
m, preferably 0.5 to 5.0 mm. If the thickness of the insulating substrate is too small, the strength may be reduced when the electronic element is embedded. Conversely, if the thickness is too large, it is difficult to obtain a small-sized printed wiring board. On the other hand, the size of the planar area of the insulating substrate is not particularly limited. For example, the insulating substrate can be polymerized using a mold having a unit size of 8 or 12 planes, and cut into unit areas after the polymerization. The method for polymerizing a polynorbornene-based resin constituting the insulating substrate of the present invention is a method of subjecting the above-described norbornene-based monomer to metathesis polymerization. Especially resin transfer molding (RT
It is useful to carry out ring-opening polymerization of norbornene-based monomers in bulk in a mold by the M) method or the reaction injection molding (RIM) method. The mold is used to obtain a molded product having a predetermined shape. These methods need only be substantially lumpy and may include small amounts of inert solvents. In such a bulk polymerization, a reaction solution or a catalyst solution containing a monomer or a catalyst is mixed into a reaction stock solution, and a molding machine conventionally known as an RTM machine or a RIM machine is used as a device for immediately performing a polymerization reaction. be able to.

【0027】RTM機は、一般的にモノマー配合液タン
ク、触媒配合液タンク、計量ポンプ、ミキサーなどから
なる。計量ポンプにより、モノマー配合液と触媒配合液
を容量比1000:1〜10:1でミキサーに送り込ん
で反応原液とし、次いで所定温度に加熱した型内に注入
し、そこで即座に塊状重合させて成形することができ
る。RTM機を用いた好ましい成形法は、ノルボルネン
系モノマーを含有するモノマー配合液と、ルテニウムに
ヘテロ原子含有カルベン化合物が少なくとも1つ配位し
てなる錯体触媒を少量の溶媒に溶解させた触媒配合液と
を用意し、これらを混合して成形する方法である。
The RTM machine generally comprises a monomer mixture tank, a catalyst mixture tank, a measuring pump, a mixer and the like. By a metering pump, the monomer mixture and the catalyst mixture are sent to a mixer at a volume ratio of 1000: 1 to 10: 1 to make a reaction stock solution, which is then poured into a mold heated to a predetermined temperature, where it is immediately bulk polymerized and molded. can do. A preferred molding method using an RTM machine is a catalyst compounding solution in which a monomer compounding solution containing a norbornene-based monomer and a complex catalyst in which at least one heteroatom-containing carbene compound is coordinated with ruthenium are dissolved in a small amount of solvent. Are prepared, and these are mixed and molded.

【0028】RIM機は、二種類以上の配合液をミキシ
ングヘッドに送り込み衝突エネルギーによって混合して
反応原液を調製し、次いで高温の成形型内に注入し、そ
こで即座に塊状重合させて成形品を得る機械である。R
IM機を用いた好ましい成形法は、ノルボルネン系モノ
マーを二つの部分に分け、三液目にルテニウムに少なく
とも1つのヘテロ原子含有カルベン化合物が配位してな
る錯体触媒を少量の溶媒に溶解させた液を使用し、これ
らの三液を衝突混合して反応原液を調製するとともに成
形する方法である。
In the RIM machine, two or more kinds of compounded liquids are sent to a mixing head and mixed by collision energy to prepare a reaction stock solution, which is then poured into a high-temperature mold, where it is immediately subjected to bulk polymerization to form a molded article. It is a machine to get. R
In a preferred molding method using an IM machine, a norbornene-based monomer is divided into two parts, and a complex catalyst in which at least one heteroatom-containing carbene compound is coordinated with ruthenium in a third liquid is dissolved in a small amount of a solvent. In this method, the three liquids are used, and the three liquids are subjected to collision mixing to prepare an undiluted reaction solution and to mold it.

【0029】本発明方法では、通常、割型構造すなわち
コア型とキャビティー型を有する成形型を用い、それら
の空隙部(キャビティー)にモノマーおよび触媒溶液か
らなる反応原液を注入して塊状重合を行なう。コア型と
キャビティー型は、目的とする成形品の形状にあった空
隙部を形成するように作成される。成形型の形状、材
質、大きさには、特に制限はない。低粘度の反応原液を
用い、比較的低温低圧で成形できるため、金属製の金型
だけではなく、各種合成樹脂、低融点合金など種々の材
料で作成されたものが使用できる。
In the method of the present invention, a mold having a split mold structure, that is, a mold having a core mold and a cavity mold is usually used, and a reaction stock solution comprising a monomer and a catalyst solution is injected into the gaps (cavities) to form bulk polymerization. Perform The core mold and the cavity mold are formed so as to form a void portion corresponding to the shape of a target molded product. There is no particular limitation on the shape, material and size of the mold. Since it is possible to mold at a relatively low temperature and a low pressure by using a low-viscosity reaction stock solution, not only a metal mold but also various materials such as various synthetic resins and low melting point alloys can be used.

【0030】前記のキャビティー内へ供給する前の反応
原液の温度は、好ましくは20〜80℃である。反応原
液の粘度は、例えば30℃において、通常、2〜100
0mPa・s、好ましくは、5〜300mPa・sであ
る。反応原液をキャビティー内に充填する際の充填圧力
(射出圧)は、通常0.01 〜10M Pa、好ましく
は0.02 〜5M Paである。充填圧力が低すぎる
と、キャビティー内周面に形成された転写面の転写が良
好に行われない傾向にあり、充填圧が高すぎると、成形
型の剛性を高くしなければならず経済的ではない。成形
温度は、通常、室温以上、好ましくは40〜200℃、
特に好ましくは50〜130℃である。型締圧力は通常
0.01〜10MPaの範囲内である。重合時間は適宜
選択すればよいが、通常、10秒〜20分、好ましくは
5分以内である。
The temperature of the reaction solution before it is fed into the cavity is preferably 20 to 80 ° C. The viscosity of the undiluted reaction solution is usually 2 to 100 at 30 ° C.
0 mPa · s, preferably 5 to 300 mPa · s. The filling pressure (injection pressure) when filling the reaction stock solution into the cavity is usually 0.01 to 10 MPa, preferably 0.02 to 5 MPa. If the filling pressure is too low, the transfer of the transfer surface formed on the inner peripheral surface of the cavity tends to be not performed well.If the filling pressure is too high, the rigidity of the mold must be increased to be economical. is not. The molding temperature is usually room temperature or higher, preferably 40 to 200 ° C,
Particularly preferably, it is 50 to 130 ° C. The mold clamping pressure is usually in the range of 0.01 to 10 MPa. The polymerization time may be appropriately selected, but is usually from 10 seconds to 20 minutes, preferably within 5 minutes.

【0031】前記したRTM機またはRIM機などで混
合した反応原液を、成形型の空隙部に注入すると、即座
に塊状重合反応を開始し、硬化する。重合反応は発熱反
応であり、硬化時間(キュアー時間)が長くなるにつれ
て、成形型内の成形品の温度は徐々に低下していく。塊
状重合させて得られた成形品は、通常、コア型に付着さ
せた状態で成形型を開いて成形体を脱型することができ
る。成形品のコア型への付着は、成形型温度を高くする
程、あるいはキュアー時間を長くする程、コア型に付着
する可能性が高くなる性質を利用して調節する。キュア
ー時間が短い場合には、成形型を開けると、成形品はキ
ャビティー型に付着して残る。キュアー時間が長くなる
と、成形品は、冷却されて収縮するため、コア型に付着
するようになる。しかし、コア型に付着させても、キュ
アー時間があまり長すぎると成形品の冷却による収縮が
かなりの程度まで進むため、過度に成形体が冷却しない
状態で、エアーエジェクターまたは成形型に設けた脱型
装置により脱型すればよい。
When the undiluted reaction solution mixed by the above-mentioned RTM machine or RIM machine is injected into the cavity of the molding die, the bulk polymerization reaction is immediately started and hardened. The polymerization reaction is an exothermic reaction, and the temperature of the molded article in the mold gradually decreases as the curing time (curing time) becomes longer. The molded product obtained by bulk polymerization can be usually released from the molded body by opening the molding die while being attached to the core mold. The adhesion of the molded article to the core mold is adjusted by using the property that the higher the mold temperature or the longer the curing time, the higher the possibility of adhesion to the core mold. When the curing time is short, when the mold is opened, the molded article adheres to the cavity mold and remains. When the curing time is long, the molded product is cooled and shrinks, and thus adheres to the core mold. However, even if it adheres to the core mold, if the curing time is too long, shrinkage due to cooling of the molded product will proceed to a considerable extent. What is necessary is just to remove | release from a mold device.

【0032】プリント配線基板を製造するには、上記方
法により平板状のポリノルボルネン系樹脂の絶縁基板を
形成した後、絶縁基板の上に、例えばスパッタなどの乾
式メッキや電解メッキ、無電解メッキなどの湿式メッキ
によって導電体層を形成させる。導電体回路は、例え
ば、上記メッキを全面に行った後にエッチングレジスト
を形成し、不要個所のメッキをエッチング除去すること
によって形成することができる。また、メッキレジスト
膜を形成した後、所定のレジストパターンを形成し、レ
ジストで覆われていない部分にのみ無電解メッキを行う
ことによって形成できる。さらに、無電解メッキを全面
に行い、メッキレジストを形成した後、レジストで覆わ
れていない部分を無電解メッキを行い、メッキレジスト
を除き、メッキレジストで覆われていた部分の無電解メ
ッキ層をエッチング除去することによって形成すること
ができる。導電体回路の厚さは、配線幅/配線間隔が5
0μm/50μm程度の微細さの場合には、15μm以
下の厚さが望ましい。
In order to manufacture a printed wiring board, after a flat polynorbornene-based resin insulating substrate is formed by the above-described method, dry plating such as sputtering, electrolytic plating, electroless plating, or the like is performed on the insulating substrate. A conductor layer is formed by wet plating. The conductor circuit can be formed, for example, by forming an etching resist after performing the above-described plating on the entire surface, and etching away unnecessary portions of the plating. Further, after the plating resist film is formed, a predetermined resist pattern is formed, and electroless plating is performed only on portions not covered with the resist. In addition, after performing electroless plating on the entire surface and forming a plating resist, electroless plating is performed on portions not covered with the resist, and the electroless plating layer of the portion covered with the plating resist is removed except for the plating resist. It can be formed by etching away. The thickness of the conductor circuit is as follows.
In the case of a fineness of about 0 μm / 50 μm, a thickness of 15 μm or less is desirable.

【0033】無電解メッキには、銅、ニッケル、スズな
どの無電解メッキが使用される。一般的な還元剤とし
て、無電解銅メッキ液に対しホルムアルデヒド、無電解
ニッケルメッキ液に対し次亜リン酸イオンやヒドラジン
などが選択される。電解メッキの場合は、銅、はんだ、
ニッケル、ロジウム、金などの金属を用いることができ
る。導電体回路を形成する方法は上記に限定されるもの
ではなく、絶縁基板の上にマスクを載せて金属を真空蒸
着する方法、金属粉を溶射する方法、銅箔などを接着さ
せた後エッチングする方法などが使用できる。また、こ
のようにして得られる基板を積層して必要な個所にマイ
クロドリルでスルーホールをあけ、ホール内壁に金属メ
ッキを施して各層間を導電化したり、あるいは積層する
前にバイアホールをあけて金属粉末を詰めた状態で積層
して各層間を導電化することも可能である。
For the electroless plating, an electroless plating of copper, nickel, tin or the like is used. As a general reducing agent, formaldehyde is used for the electroless copper plating solution, and hypophosphite ion or hydrazine is used for the electroless nickel plating solution. In the case of electrolytic plating, copper, solder,
Metals such as nickel, rhodium, and gold can be used. The method of forming the conductor circuit is not limited to the above, but a method of placing a mask on an insulating substrate, vacuum-depositing a metal, spraying a metal powder, bonding a copper foil or the like, and then etching. Methods can be used. Also, by laminating the substrates obtained in this way and drilling through holes at required places with a micro drill, applying metal plating to the inner wall of the hole to make each layer conductive, or drilling a via hole before laminating It is also possible to make the layers conductive by stacking them in a state filled with metal powder.

【0034】本発明のプリント配線基板用絶縁基板の製
造方法は、メタセシス触媒が空気中の水分や酸素による
失活を起こしにくいので高い生産性を安定に長期にわた
って維持することができる。これにより、液状原料から
一挙に絶縁基板を安定して生産性よく製造することがで
きる。また、本発明による絶縁基板の製造方法はハロゲ
ンを含有しない、またはごく微量しか含有しない重合主
副原料を用いて重合しているので、絶縁基板のハロゲン
含有量が、通常、100ppm以下、好ましくは50p
pm以下と少ない。そのため、本発明により得られるプ
リント配線基板用絶縁基板は、銅箔やリード線などの金
属部分の腐食が起こりにくく、また、イオンマイグレー
ションによる絶縁不良が起こりにくいので、極めて高性
能な電気・電子部品を形成することができる。更に、本
発明方法による絶縁基板は、誘電率も、通常、3以下と
十分に小さくなるので、高周波に対応した絶縁基板とし
て有用である。
In the method for manufacturing an insulating substrate for a printed wiring board according to the present invention, the metathesis catalyst is hardly deactivated by moisture or oxygen in the air, so that high productivity can be stably maintained for a long period of time. This makes it possible to manufacture the insulating substrate from the liquid raw material at once with high stability and high productivity. In addition, since the method for producing an insulating substrate according to the present invention does not contain halogen, or is polymerized using a polymerization main auxiliary material containing only a very small amount, the halogen content of the insulating substrate is usually 100 ppm or less, preferably 50p
pm or less. Therefore, the insulating substrate for a printed wiring board obtained by the present invention hardly causes corrosion of a metal portion such as a copper foil or a lead wire, and hardly causes insulation failure due to ion migration, so that an extremely high-performance electric / electronic component. Can be formed. Furthermore, the insulating substrate according to the method of the present invention also has a sufficiently small dielectric constant of usually 3 or less, and is therefore useful as an insulating substrate compatible with high frequencies.

【0035】本発明のプリント配線基板用絶縁基板の製
造法は、さらに半導体、抵抗、コンデンサなどの電子素
子を装着させたチップを製造する場合に一層有利とな
る。すなわち、成形型の天上部内側などに膨出部を設け
た成形型を使用してノルボルネン系モノマーを重合して
絶縁基板を作成することにより、絶縁基板となる成形品
の上層部に電子素子を収納するための凹部が形成できる
ので、従来のような、成形品を脱型してから凹部を掘削
する工程が不要となり、生産性が高い。また、成形型内
に、電子素子を予め配設してからノルボルネン系モノマ
ーおよび触媒溶液を注入して塊状重合することにより一
挙に電子素子を備えたプリント配線用絶縁基板を製造す
ることもできる。そのため、従来のような、絶縁基板の
凹部に電子素子を収納してから樹脂で封止する工程を省
くことも可能となり、生産性および製造コストの面で極
めて有利である。加えて、このように凹部の作成工程が
省略できると、プリント配線基板の一定の小型化も可能
になる。
The method of manufacturing an insulating substrate for a printed wiring board according to the present invention is more advantageous when manufacturing a chip on which electronic elements such as semiconductors, resistors, and capacitors are mounted. In other words, an electronic device is formed on the upper layer of a molded product that is to be an insulating substrate by polymerizing a norbornene-based monomer using a molding die having a bulged portion inside the top of the molding die to form an insulating substrate. Since the concave portion for storing can be formed, the step of excavating the concave portion after removing the molded product as in the related art is not required, and the productivity is high. In addition, an electronic element can be provided in a molding die in advance, and then a norbornene-based monomer and a catalyst solution can be injected and subjected to bulk polymerization to produce a printed wiring insulating substrate having the electronic element at once. For this reason, it is also possible to omit the step of accommodating the electronic element in the concave portion of the insulating substrate and then sealing it with a resin, which is extremely advantageous in terms of productivity and manufacturing cost. In addition, if the step of forming the concave portion can be omitted, the printed wiring board can be downsized to a certain extent.

【0036】[0036]

【実施例】実施例1 100mlの反応容器に、ベンジリデン(1,3−ジメ
シチルイミダゾリジン−2−イリデン)(トリシクロヘ
キシルホスフィン)ルテニウムジクロリドを5.1mg
(樹脂量全体に対してハロゲン濃度7ppm)と攪拌子
を入れ、トルエン0.3mlを加え、マグネチックスタ
ーラーで攪拌してルテニウム触媒を溶解させた。これ
に、ジシクロペンタジエン(10%のシクロペンタジエ
ン3量体を含む)を60ml加え攪拌し、温度を100
℃に保った金型内に圧送した。2分間重合した後金型を
開き、スルーホールつきの長さ100mm、幅100m
m、厚さ1.8mmの成形板(絶縁基板)を得た。次
に、この成形板の上下面およびスルーホール内部表面
に、フェノール樹脂50重量部、アクリロニトリル−ブ
タジエン共重合体50重量部、塩化パラジウム1重量部
およびブチルセロソルブ250重量部からなる接着剤を
厚さ0.05mmになるように塗布し、加熱後所要部分
をメッキレジスト印刷、無電解メッキしてプリント配線
基板を作成した。得られた絶縁基板の誘電率(1MH
z、JIS C 6481)は2.8であった。また、
原子吸光分析によって測定した塩素含有量は7.0pp
mであった。
EXAMPLE 1 5.1 mg of benzylidene (1,3-dimesitylimidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) ruthenium dichloride was placed in a 100 ml reaction vessel.
(A halogen concentration of 7 ppm based on the total amount of the resin) and a stirrer were added, and 0.3 ml of toluene was added, followed by stirring with a magnetic stirrer to dissolve the ruthenium catalyst. 60 ml of dicyclopentadiene (containing 10% of cyclopentadiene trimer) was added thereto, and the mixture was stirred.
It was pumped into a mold kept at ° C. After polymerization for 2 minutes, the mold is opened and the length with through hole is 100mm and the width is 100m
m, a molded plate (insulating substrate) having a thickness of 1.8 mm was obtained. Next, an adhesive composed of 50 parts by weight of a phenol resin, 50 parts by weight of an acrylonitrile-butadiene copolymer, 1 part by weight of palladium chloride and 250 parts by weight of butyl cellosolve was applied to the upper and lower surfaces of the molded plate and the inner surface of the through-hole. It was applied to a thickness of 0.05 mm, and after heating, required portions were printed with a plating resist and electrolessly plated to form a printed wiring board. The dielectric constant of the obtained insulating substrate (1 MH
z, JIS C 6481) was 2.8. Also,
The chlorine content measured by atomic absorption analysis is 7.0 pp
m.

【0037】実施例2 金型として、長さ300mm、幅300mm、厚さ1.
6mmの長方形のキャビティーを有し、長さ方向および
幅方向ともに30mm間隔で幅1mmの碁盤目模様の格
子線がキャビティ内部の天上全面で内側に0.3mm膨
出し、かつ、各碁盤目の中央に長さ1mm、幅1mmの
四角柱が内向きに1mm膨出して設けられた金型を用い
た。金型の温度は90℃とした。その他は実施例1と同
様に行ってプリント配線基板を得た。絶縁基板は、長さ
300mm、幅300mm、厚さ1.6mmの平板上面
に縦30mm、横30mm間隔の碁盤目があり、各目の
中央部に長さ1mm、幅1mm、高さ1mmの凹部を有
する形状であった。絶縁基板の誘電率は2.7、塩素含
有量は6.8ppmであった。
Example 2 A mold having a length of 300 mm, a width of 300 mm and a thickness of 1.
It has a rectangular cavity of 6 mm, a grid line of a grid pattern with a width of 1 mm at intervals of 30 mm in both the length direction and the width direction swells inward by 0.3 mm over the entire top surface inside the cavity, and A mold having a square pillar having a length of 1 mm and a width of 1 mm bulged inward by 1 mm in the center was used. The temperature of the mold was 90 ° C. Otherwise, the procedure was the same as in Example 1 to obtain a printed wiring board. The insulating substrate has a grid of 300 mm in length, 300 mm in width and 1.6 mm in thickness, and has a grid of 30 mm in length and 30 mm in width on the upper surface, and a concave portion of 1 mm in length, 1 mm in width and 1 mm in height at the center of each eye. It was a shape having. The dielectric constant of the insulating substrate was 2.7, and the chlorine content was 6.8 ppm.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明により、ノルボルネン系モノマー
を用いて安定して触媒活性が高いメタセシス重合を行
い、液状原料からハロゲン含有量の少ない絶縁基板を一
挙に製造することを特徴とするプリント配線基板の製造
方法が提供される。
According to the present invention, a printed wiring board characterized in that metathesis polymerization having a high catalytic activity is stably performed using a norbornene-based monomer, and an insulating substrate having a low halogen content is produced at once from a liquid raw material. Is provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B29K 45:00 B29K 45:00 B29L 31:34 B29L 31:34 (72)発明者 菅原 智雄 神奈川県川崎市川崎区夜光一丁目2番1号 日本ゼオン株式会社総合開発センター内 Fターム(参考) 4F206 AA12 AH37 JA01 JB12 4J032 CA34 CA38 CB01 CC07 CD02 CE05 CE06 CE22 CG07 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification FI FI Theme Court ゛ (Reference) // B29K 45:00 B29K 45:00 B29L 31:34 B29L 31:34 (72) Inventor Tomoo Sugawara Kanagawa 1-2-1, Yakko, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi F-term (reference) in the Zeon Corporation General Development Center 4F206 AA12 AH37 JA01 JB12 4J032 CA34 CA38 CB01 CC07 CD02 CE05 CE06 CE22 CG07

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ノルボルネン系モノマーとルテニウムに
ヘテロ原子含有カルベン化合物が配位してなる錯体とを
少なくとも含有する反応原液を成形型内に入れて塊状重
合させることを特徴とするプリント配線基板用絶縁基板
の製造方法。
1. An insulation for a printed wiring board, wherein a reaction stock solution containing at least a norbornene-based monomer and a complex obtained by coordinating ruthenium with a heteroatom-containing carbene compound is placed in a mold and subjected to bulk polymerization. Substrate manufacturing method.
【請求項2】 前記絶縁基板のハロゲン含有量が100
ppm以下であることを特徴とする請求項1記載のプリ
ント配線基板用絶縁基板の製造方法。
2. The method according to claim 2, wherein the insulating substrate has a halogen content of 100.
The method for producing an insulating substrate for a printed wiring board according to claim 1, wherein the amount is not more than ppm.
【請求項3】 前記絶縁基板が、電子素子を収納するた
めの凹部を有する請求項1または2記載のプリント配線
基板用絶縁基板の製造方法。
3. The method for manufacturing an insulating substrate for a printed wiring board according to claim 1, wherein said insulating substrate has a concave portion for accommodating an electronic element.
【請求項4】 電子素子が内部に配設してある成形型内
に、前記反応原液を入れて塊状重合させることを特徴と
する請求項1〜3のいずれかに記載のプリント配線基板
用絶縁基板の製造方法。
4. The insulation for a printed wiring board according to claim 1, wherein said undiluted reaction solution is put into a molding die in which an electronic element is disposed and bulk polymerization is performed. Substrate manufacturing method.
【請求項5】 ポリノルボルネン系樹脂からなり、ハロ
ゲン含有量が100ppm以下であるプリント配線基板
用絶縁基板。
5. An insulating substrate for a printed wiring board, comprising a polynorbornene-based resin and having a halogen content of 100 ppm or less.
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