JP2001324687A - Optical scanner - Google Patents

Optical scanner

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JP2001324687A
JP2001324687A JP2000144251A JP2000144251A JP2001324687A JP 2001324687 A JP2001324687 A JP 2001324687A JP 2000144251 A JP2000144251 A JP 2000144251A JP 2000144251 A JP2000144251 A JP 2000144251A JP 2001324687 A JP2001324687 A JP 2001324687A
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JP
Japan
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scanning
light beam
scanned
unit
adjusting
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2000144251A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Atsumi
広道 厚海
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanner capable of restraining generation of electric noise and improving the adjusting accuracy of the focal position of a light beam on a surface to be scanned. SOLUTION: A detection part 8 detects the formed image state of the light beam formed into an image by an image forming element 6, and a control part 10 arithmetically calculates the moving amount of correction lenses 3 and 4 in an optical axis direction based on a signal from the detection part 8. The control part 10 is equipped with a detecting element part 30, a counter 31, an amplifier circuit part 32 amplifying the signal from the detection part 8, a differentiation circuit 33, an A/D(analog/digital) conversion part 34 converting an analog signal into a digital signal, a CPU(central processing unit) 40 performing arithmetic processing and a driving part 41 for driving the correction lens. The detection part 8 and the control part 10 are formed adjacently.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光走査装置に係
り、特に、デジタルPPC、レーザプリンタ等の書込光
学系に使用される光走査装置に関する。
The present invention relates to an optical scanning device, and more particularly, to an optical scanning device used for a writing optical system such as a digital PPC and a laser printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、計測器、検査装置、デジタル複写
機やレーザプリンタ等の画像形成装置において光走査装
置が広く利用されている。この光走査装置の高密度化に
伴い被走査面(感光体)上でのビームスポット径の小径
化が望まれている。しかし、ビームスポット径を30μ
m位に絞ると、焦点商店の深度が1mm程度しかとれ
ず、部品精度や組み付け精度が厳しくなってしまう。そ
こで、従来からレーザビームの結像状態を検知して焦点
位置を調整する方法が種々提案されている。
2. Description of the Related Art In recent years, optical scanning apparatuses have been widely used in image forming apparatuses such as measuring instruments, inspection apparatuses, digital copiers and laser printers. With the increase in the density of the optical scanning device, it is desired to reduce the beam spot diameter on the surface to be scanned (photoconductor). However, when the beam spot diameter is 30μ
If it is narrowed down to the m level, the depth of the focus store can only be about 1 mm, and the precision of parts and assembly is severe. Therefore, conventionally, various methods have been proposed for adjusting the focal position by detecting the imaging state of the laser beam.

【0003】ところで、特許第2761723号には、
画像信号に応じて明滅するレーザ光を受光した際に、光
電変換素子がレーザ光を受光することにより出力する出
力値の最大出力値と最小出力値の差に応じて、適正なス
ポット径となるようにコリメータレンズの位置を調整す
る走査光学装置が記載されている。また、特開平10−
20225号公報には、走査されたレーザビームが通過
したことを検出する検出手段の結果に基づいて光学素子
を駆動し、レーザビームの集光位置を調整するレーザビ
ーム走査光学装置が記載されている。
[0003] By the way, Japanese Patent No. 2761723 discloses that
When a laser beam that blinks according to an image signal is received, an appropriate spot diameter is obtained according to a difference between a maximum output value and a minimum output value of an output value output by the photoelectric conversion element receiving the laser beam. Thus, a scanning optical device that adjusts the position of a collimator lens is described. In addition, Japanese Patent Application Laid-Open
Japanese Patent Application Publication No. 20225 describes a laser beam scanning optical device that drives an optical element based on a result of a detection unit that detects that a scanned laser beam has passed, and adjusts a focusing position of the laser beam. .

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特許第2761723号公報や特開平10−20225
号公報において提案されている光走査装置では、検知手
段と制御部が空間的に離れているため電気的なノイズが
発生しやすかった。また、光ビームの結像状態を検知す
る際、走査している光ビームを検知するため、プリント
スピードの高速化によって走査周波数が上がると、それ
に応じて検知手段の応答速度も上がり、走査周波数が高
く高周波になるとノイズなどの影響で検知精度が劣化し
やすかった。さらに、光源が複数の光束を放射する場合
の光走査装置において走査ピッチを検知する際、走査し
ている光ビームを検知するため、プリントスピードの高
速化によって走査周波数が上がるとそれに応じて、検知
手段の応答速度も上げなければならず、また、走査周波
数が高く高周波になるとノイズなどの影響で検知精度が
劣化しやすかった。
However, the above-mentioned Japanese Patent No. 2761723 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-20225 are not disclosed.
In the optical scanning device proposed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-270, electrical noise is likely to occur because the detection unit and the control unit are spatially separated. In addition, when detecting the imaging state of the light beam, since the scanning light beam is detected, if the scanning frequency is increased by increasing the printing speed, the response speed of the detection means is increased accordingly, and the scanning frequency is increased. At higher frequencies, detection accuracy was liable to deteriorate due to noise and the like. Furthermore, when the scanning pitch is detected by the optical scanning device when the light source emits a plurality of light beams, the light beam being scanned is detected. The response speed of the means must be increased, and when the scanning frequency is high and the frequency is high, the detection accuracy tends to deteriorate due to the influence of noise and the like.

【0005】そこで、本発明の第1の目的は、電気的な
ノイズの発生を抑えることができ、被走査面上の光ビー
ムの焦点位置の調整精度を向上することができる光走査
装置を提供することである。本発明の第2の目的は、複
数の光束を放射するLDアレーや複数のLDを合成した
マルチビームで光源を構成することができる光走査装置
を提供することである。
Therefore, a first object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of suppressing the generation of electrical noise and improving the accuracy of adjusting the focal position of a light beam on a surface to be scanned. It is to be. A second object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of forming a light source with an LD array that emits a plurality of light beams or a multi-beam obtained by combining a plurality of LDs.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、光ビームを放射する光源と、前記光源から放射され
た光ビームを偏向して被走査面上に集光させる走査手段
と、前記走査手段によって走査される光ビームの被走査
面上での結像状態の焦点位置を検知する焦点位置検知手
段と、前記焦点位置検知手段によって検知された焦点位
置に関する信号を演算処理し、この演算結果に基づいて
光ビームの焦点位置を調整する調整手段と、を備え、前
記焦点位置検知手段と前記調整手段とが隣接して形成さ
れることにより、前記第1の目的を達成する。
According to the present invention, a light source for emitting a light beam, scanning means for deflecting the light beam emitted from the light source and condensing it on a surface to be scanned, A focus position detecting means for detecting a focus position of the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned on the surface to be scanned; and a signal relating to the focus position detected by the focus position detecting means. Adjusting means for adjusting the focal position of the light beam based on the result, wherein the focal point detecting means and the adjusting means are formed adjacent to each other, thereby achieving the first object.

【0007】請求項2記載の発明では、請求項1記載の
発明において、光源が複数の光ビームを放射することに
より、前記第2の目的を達成する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the light source emits a plurality of light beams to achieve the second object.

【0008】請求項3記載の発明では、複数の光ビーム
を放射する光源と、前記光源から放射された光ビームを
偏向して被走査面上に集光させる走査手段と、前記走査
手段によって走査される複数の光ビームの被走査面上で
の走査ピッチを検知する走査ピッチ検知手段と、前記走
査ピッチ検知手段によって検知された走査ピッチに関す
る信号を演算処理し、この演算結果に基づいて走査ピッ
チを調整する調整手段と、を備え、前記走査ピッチ検知
手段と前記調整手段とが隣接して形成されていることに
より、前記第1の目的を達成する。
According to the third aspect of the present invention, a light source that emits a plurality of light beams, scanning means for deflecting the light beam emitted from the light source and condensing it on a surface to be scanned, and scanning by the scanning means Scanning pitch detecting means for detecting a scanning pitch of the plurality of light beams on the surface to be scanned, and a signal relating to the scanning pitch detected by the scanning pitch detecting means. The first object is achieved by providing an adjusting unit for adjusting the scanning pitch, wherein the scanning pitch detecting unit and the adjusting unit are formed adjacent to each other.

【0009】請求項4記載の発明では、複数の光ビーム
を放射する光源と、前記光源から放射された光ビームを
偏向して被走査面上に集光させる走査手段と、前記走査
手段によって走査される光ビームの被走査面上での結像
状態の焦点位置と前記走査手段によって走査される光ビ
ームの被走査面上での走査ピッチとを検知する検知手段
と、前記検知手段によって検知された焦点位置に関する
信号と走査ピッチに関する信号を演算処理し、この演算
結果に基づいて光ビームの焦点位置と走査ピッチを調整
する調整手段と、を備え、前記検知手段と、前記調整手
段とが隣接して形成されていることにより、前記第1の
目的を達成する。
According to a fourth aspect of the present invention, a light source for emitting a plurality of light beams, scanning means for deflecting a light beam emitted from the light source and condensing it on a surface to be scanned, and scanning by the scanning means Detecting means for detecting a focal position of an imaged state of the light beam on the surface to be scanned and a scanning pitch of the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned; and Adjusting means for processing the signal relating to the focal position and the signal relating to the scanning pitch, and adjusting the focal position and the scanning pitch of the light beam based on the computation result, wherein the detecting means and the adjusting means are adjacent to each other. The first object is achieved by being formed as described above.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図1ないし図6を参照して詳細に説明する。図
1は、第1の実施の形態の光走査装置の全体構成を、図
2は、第2の実施の形態の光走査装置の全体構成を示し
た図である。第1の実施の形態の光走査装置は、偏向器
5、結像素子6、被走査面7、検知部8、LD(半導体
レーザ)ユニット9および制御部10を備えている。ま
た、LDユニット9は、光源1、カップリングレンズ
2、補正レンズ3、4および移動機構11、12を備え
ている。補正レンズ3は、主走査方向のみパワーを持
ち、主走査方向の焦点位置を調整する素子である。補正
レンズ4は、副走査方向のみパワーを持ち、副走査方向
の焦点位置を調整する素子である。移動機構11、12
は、各補正レンズ3、4を光軸方向に移動する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of the optical scanning device according to the first embodiment, and FIG. 2 is a diagram illustrating an overall configuration of the optical scanning device according to the second embodiment. The optical scanning device according to the first embodiment includes a deflector 5, an imaging element 6, a surface to be scanned 7, a detection unit 8, an LD (semiconductor laser) unit 9, and a control unit 10. The LD unit 9 includes a light source 1, a coupling lens 2, correction lenses 3, 4, and moving mechanisms 11, 12. The correction lens 3 is an element that has power only in the main scanning direction and adjusts a focal position in the main scanning direction. The correction lens 4 is an element that has power only in the sub-scanning direction and adjusts the focal position in the sub-scanning direction. Moving mechanism 11, 12
Moves the correction lenses 3 and 4 in the optical axis direction.

【0011】検知部8は、結像素子6によって結像され
た光ビームの結像状態を検知し、制御部10は、検知部
8からの信号をもとに各補正レンズ3、4を光軸方向に
移動する量を演算する。また、制御部10は、図1では
各部の詳細を省略しているが、検知素子部30、カウン
タ31、検知部8からの信号を増幅する増幅回路部3
2、微分回路33、アナログ信号をデジタル信号に変換
するA/D(アナログ/デジタル)変換部34、演算処
理を行うCPU(中央処理装置)40および補正レンズ
を駆動するためのドライバ部41を備えた構成になって
いる(図2参照)。このように、検知部8と制御部10
を隣接して、または同一の回路基盤上に形成することに
より、電気的なノイズの発生を抑えることができる。
The detecting section 8 detects the image forming state of the light beam formed by the image forming element 6, and the control section 10 controls each of the correction lenses 3 and 4 based on the signal from the detecting section 8. Calculate the amount of movement in the axial direction. The control unit 10 omits details of each unit in FIG. 1, but the amplification circuit unit 3 amplifies signals from the detection element unit 30, the counter 31, and the detection unit 8.
2. A differentiation circuit 33, an A / D (analog / digital) conversion unit 34 for converting an analog signal into a digital signal, a CPU (central processing unit) 40 for performing arithmetic processing, and a driver unit 41 for driving a correction lens. (See FIG. 2). Thus, the detection unit 8 and the control unit 10
Are formed adjacent to each other or on the same circuit board, the occurrence of electrical noise can be suppressed.

【0012】第2の実施の形態の光走査装置では、図2
に示すように、ビーム検知ユニット28内に検知素子部
30、カウンタ31、増幅回路部32、微分回路33お
よびA/D変換部34が備えられており、CPU40と
ドライバ部41は本体基盤上に備えられている構成とな
っている。このように、制御部10は、検知部8である
検知素子部30、カウンタ31、増幅回路部32、微分
回路33、A/D変換部34と制御部10であるCPU
40およびドライバ部41の各部が図1のように全て一
体であるものに限られず、ノイズの発生しやすい増幅回
路部32や微分回路33だけで、その他の各部は別に本
体基盤に備えられるようにしてもよい。また、演算処理
を行うCPU40の機能を機械本体のCPUで行うよう
に組み込むことも可能である。
In the optical scanning device according to the second embodiment, FIG.
As shown in the figure, a detection element section 30, a counter 31, an amplification circuit section 32, a differentiation circuit 33, and an A / D conversion section 34 are provided in the beam detection unit 28, and the CPU 40 and the driver section 41 are mounted on the main body base. The configuration is provided. As described above, the control unit 10 includes the detection element unit 30 as the detection unit 8, the counter 31, the amplification circuit unit 32, the differentiation circuit 33, the A / D conversion unit 34, and the CPU as the control unit 10.
The components of the driver 40 and the driver 41 are not limited to those integrated as shown in FIG. 1, but only the amplifier circuit 32 and the differentiating circuit 33, which are likely to generate noise, are provided on the main body base separately. You may. Further, it is also possible to incorporate the function of the CPU 40 for performing the arithmetic processing so as to be performed by the CPU of the machine main body.

【0013】図3は、図2の光走査装置の構成を示した
ブロック図である。図3の破線で示した部分は、検知素
子部30、カウンタ31、増幅回路部32、微分回路3
3およびA/D変換部34を一体化した第2の実施の形
態の光走査装置の構成をブロック図として表している。
図3では、CPU40とドライバ部41は、図2と同様
に本体基盤上に備えられている。図3に示すように、カ
ウンタ31は走査ピッチ信号を、微分回路33およびA
/D変換部34はビーム検知信号を検出する。図1また
は図2のように検知部8と、検知部8からの信号をもと
に補正レンズ3、4を光軸方向に移動する量を演算する
制御部10を隣接して、または回路基盤上に一体的に形
成することで、電気的なノイズの発生を抑えることがで
きる。
FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the optical scanning device shown in FIG. The portions indicated by broken lines in FIG. 3 are the sensing element unit 30, the counter 31, the amplification circuit unit 32, and the differentiation circuit 3.
3 is a block diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a second embodiment in which the A / D converter 3 and the A / D converter 34 are integrated.
In FIG. 3, the CPU 40 and the driver unit 41 are provided on the main body base as in FIG. As shown in FIG. 3, the counter 31 outputs the scanning pitch signal to the differentiating circuit 33 and A
The / D converter 34 detects a beam detection signal. As shown in FIG. 1 or FIG. 2, a detection unit 8 and a control unit 10 for calculating the amount of movement of the correction lenses 3 and 4 in the optical axis direction based on a signal from the detection unit 8 are adjacent to each other, or a circuit board. By forming them integrally on top, generation of electrical noise can be suppressed.

【0014】次に、検知部および制御部における光ビー
ムの検知方法について説明する。図4は、光ビームの検
知を示した図である。PD(光ディスク)上に構成され
ているスリット上の開口を傾けることによってスリット
(検知素子)15上を光ビームB0が通過して走査する
と、図4(a)のような出力波形が観測される。図4
(a)〜(c)では、感光体7上の光ビームB0の集光
点がだんだんと絞られている結果を表している。ここ
で、あるスレッシュで切ったときの時間間隔をt1、ピ
ーク光量をP1とする。なお、図4では、光源1からの
光ビームが1つ(シングル)である場合の検知を示して
いる。図5は、補正レンズの移動量を示したグラフであ
る。図4に示すような、時間間隔t1またはピーク光量
P1をモニターし、このモニター結果に基づいて図5に
示すような補正レンズの移動量に対するtまたは1/P
をグラフ化することで光ビームの結像状態を検知するこ
とが可能となる。
Next, a method of detecting a light beam in the detection unit and the control unit will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating detection of a light beam. When the light beam B0 passes over the slit (detection element) 15 and scans by tilting the opening on the slit formed on the PD (optical disk), an output waveform as shown in FIG. 4A is observed. . FIG.
(A) to (c) show the result that the focal point of the light beam B0 on the photoconductor 7 is gradually narrowed. Here, it is assumed that a time interval when a certain threshold is cut is t1, and a peak light amount is P1. FIG. 4 shows the detection in the case where the number of light beams from the light source 1 is one (single). FIG. 5 is a graph showing the amount of movement of the correction lens. The time interval t1 or the peak light amount P1 as shown in FIG. 4 is monitored, and based on the monitoring result, t or 1 / P with respect to the movement amount of the correction lens as shown in FIG.
It is possible to detect the imaging state of the light beam by graphing.

【0015】次に、光源が複数の光束を放射するLDア
レーや、複数のLDを合成したマルチビームである場合
の検知部および制御部における光ビームの走査ピッチを
検知する方法について説明する。図6は、光ビームが複
数の場合の走査ピッチ検知を示した図である。図6
(a)では、垂直なスリット20と傾斜しているスリッ
ト21による走査ピッチ検知を表している。また、図6
(b)は、三角形状のスリット22による走査ピッチ検
知を表している。光ビームB1がスリット20、21を
通過する時間をT1、光ビームB2がスリット20、2
1を通過する時間をT2、光ビームの走査スピードを
v、スリット21の傾き角をθとする。このときの光ビ
ームの走査ピッチは、(T1×v−T2×v)×tan
θとなる。また、走査ピッチ検知としては、ここに述べ
た以外に、ラインCCD等で構成することもできる。
Next, a method of detecting the scanning pitch of the light beam in the detection unit and the control unit when the light source is an LD array that emits a plurality of light beams or a multi-beam obtained by combining a plurality of LDs will be described. FIG. 6 is a diagram illustrating scanning pitch detection when there are a plurality of light beams. FIG.
(A) shows scanning pitch detection by the vertical slit 20 and the inclined slit 21. FIG.
(B) shows scanning pitch detection by the triangular slit 22. The time when the light beam B1 passes through the slits 20 and 21 is T1, and the light beam B2 is
The time of passing through 1 is T2, the scanning speed of the light beam is v, and the inclination angle of the slit 21 is θ. The scanning pitch of the light beam at this time is (T1 × v−T2 × v) × tan
θ. In addition to the above description, the scanning pitch detection may be implemented by a line CCD or the like.

【0016】検知素子部30として図6のスリット2
0、21または22を用いた光ビームの走査ピッチを検
知する検知部8と、検知手段からの信号をもとに走査ピ
ッチ補正量を演算する制御部10とを一体化して形成す
ることで、電気的なノイズの発生を抑えることができ
る。また、光ビームの結像状態の検知部8を図6に示す
ようなスリット20で主走査方向の光ビームの結像状態
の検知、スリット21で副走査方向の光ビームの結像状
態の検知をするというように、走査ピッチ検知をするこ
とができる。なお、走査ピッチの調整は、LDアレーの
場合にはLDアレーを光軸回りに回転する機構を設ける
か、LDユニット9を光軸方向に移動する(図2参照)
ことで可能となる。また、複数のLDを合成したマルチ
ビームの場合には、LDユニット全体を光軸方向に移動
することで調整できる。
The slit 2 shown in FIG.
By integrally forming a detection unit 8 for detecting a scanning pitch of a light beam using 0, 21 or 22 and a control unit 10 for calculating a scanning pitch correction amount based on a signal from the detection unit, Generation of electrical noise can be suppressed. Also, the light beam imaging state detector 8 detects the light beam imaging state in the main scanning direction with a slit 20 as shown in FIG. 6, and the slit 21 detects the light beam imaging state in the sub-scanning direction. Thus, the scanning pitch can be detected. In the case of an LD array, a mechanism for rotating the LD array around the optical axis is provided, or the LD unit 9 is moved in the optical axis direction (see FIG. 2).
This is possible. In the case of a multi-beam obtained by combining a plurality of LDs, adjustment can be performed by moving the entire LD unit in the optical axis direction.

【0017】[0017]

【発明の効果】請求項1記載の発明では、走査手段によ
って走査される光ビームの被走査面上での結像状態の焦
点位置を検知する焦点位置検知手段と、焦点位置検知手
段によって検知された焦点位置に関する信号を演算処理
し、この演算結果に基づいて光ビームの焦点位置を調整
する調整手段とが隣接して形成されるので、電気的なノ
イズの発生を抑えることができ、被走査面上の光ビーム
の焦点位置を調整する調整精度を向上することができ
る。
According to the first aspect of the present invention, the focus position detecting means for detecting the focus position of the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned, and the focus position detecting means detect the focus position. The signal relating to the focal position is subjected to arithmetic processing, and the adjusting means for adjusting the focal position of the light beam based on the result of the arithmetic operation is formed adjacently, so that the occurrence of electrical noise can be suppressed, and The adjustment accuracy for adjusting the focal position of the light beam on the surface can be improved.

【0018】請求項2記載の発明では、光源が複数の光
ビームを放射するので、複数の光束を放射するLDアレ
ーや複数のLDを合成したマルチビームで光源を構成す
ることができる。
According to the second aspect of the present invention, since the light source emits a plurality of light beams, the light source can be constituted by an LD array emitting a plurality of light beams or a multi-beam obtained by combining a plurality of LDs.

【0019】請求項3記載の発明では、走査手段によっ
て走査される複数の光ビームの被走査面上での走査ピッ
チを検知する走査ピッチ検知手段と、走査ピッチ検知手
段によって検知された走査ピッチに関する信号を演算処
理し、この演算結果に基づいて走査ピッチを調整する調
整手段とが隣接して形成されているので、電気的なノイ
ズの発生を抑えることができ、被走査面上の光ビームの
焦点位置を調整する調整精度を向上することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a scanning pitch detecting means for detecting a scanning pitch of a plurality of light beams scanned by a scanning means on a surface to be scanned, and a scanning pitch detected by the scanning pitch detecting means. An adjusting means for processing the signal and adjusting the scanning pitch based on the result of the calculation is formed adjacently, so that it is possible to suppress the occurrence of electrical noise and to reduce the light beam on the surface to be scanned. Adjustment accuracy for adjusting the focal position can be improved.

【0020】請求項4記載の発明では、走査手段によっ
て走査される光ビームの被走査面上での結像状態の焦点
位置と前記走査手段によって走査される光ビームの被走
査面上での走査ピッチとを検知する検知手段と、検知手
段によって検知された焦点位置に関する信号と走査ピッ
チに関する信号を演算処理し、この演算結果に基づいて
光ビームの焦点位置と走査ピッチを調整する調整手段と
が隣接して形成されているので、コストを削減でき、電
気的なノイズの発生を抑え、被走査面上の光ビームの焦
点位置を調整する調整精度を向上することができる。
According to the fourth aspect of the present invention, the focus position of the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned and the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned. A detecting means for detecting the pitch, and an adjusting means for performing arithmetic processing on a signal relating to the focal position and a signal relating to the scanning pitch detected by the detecting means, and adjusting the focal position and the scanning pitch of the light beam based on the computation result. Since they are formed adjacent to each other, the cost can be reduced, the generation of electrical noise can be suppressed, and the adjustment accuracy for adjusting the focal position of the light beam on the surface to be scanned can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態の光走査装置の全体構成を示
した図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical scanning device according to a first embodiment.

【図2】第2の実施の形態の光走査装置の全体構成を示
した図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical scanning device according to a second embodiment.

【図3】図3は、図2の光走査装置の構成を示したブロ
ック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of the optical scanning device in FIG. 2;

【図4】光ビームの検知を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing detection of a light beam.

【図5】補正レンズの移動量を示したグラフである。FIG. 5 is a graph showing a movement amount of a correction lens.

【図6】光ビームが複数の場合の走査ピッチ検知を示し
た図である。
FIG. 6 is a diagram showing scanning pitch detection when there are a plurality of light beams.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 カップリングレンズ 3、4 補正レンズ 5 偏向器 6 結像素子 7 被走査面 8 検知部 9 LD(半導体レーザ)ユニット 10 制御部 11、12 移動機構 30 検知素子部 31 カウンタ 32 増幅回路部 33 微分回路 34 A/D(アナログ/デジタル)変換部 40 CPU(中央処理装置) 41 ドライバ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 2 Coupling lens 3, 4 Correction lens 5 Deflector 6 Imaging element 7 Scanned surface 8 Detection part 9 LD (semiconductor laser) unit 10 Control part 11, 12 Moving mechanism 30 Detection element part 31 Counter 32 Amplification circuit part 33 Differentiating circuit 34 A / D (analog / digital) conversion unit 40 CPU (central processing unit) 41 Driver unit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ビームを放射する光源と、 前記光源から放射された光ビームを偏向して被走査面上
に集光させる走査手段と、 前記走査手段によって走査される光ビームの被走査面上
での結像状態の焦点位置を検知する焦点位置検知手段
と、 前記焦点位置検知手段によって検知された焦点位置に関
する信号を演算処理し、この演算結果に基づいて光ビー
ムの焦点位置を調整する調整手段と、を備え、 前記焦点位置検知手段と前記調整手段とが隣接して形成
されることを特徴とする光走査装置。
A light source that emits a light beam; a scanning unit that deflects the light beam emitted from the light source and condenses the light beam on a surface to be scanned; A focus position detecting means for detecting the focus position in the above-mentioned image forming state; and a signal relating to the focus position detected by the focus position detecting means is arithmetically processed, and the focal position of the light beam is adjusted based on the arithmetic result. An optical scanning device, comprising: an adjusting unit, wherein the focus position detecting unit and the adjusting unit are formed adjacent to each other.
【請求項2】 光源が複数の光ビームを放射することを
特徴とする請求項1記載の光走査装置。
2. The optical scanning device according to claim 1, wherein the light source emits a plurality of light beams.
【請求項3】 複数の光ビームを放射する光源と、 前記光源から放射された光ビームを偏向して被走査面上
に集光させる走査手段と、 前記走査手段によって走査される複数の光ビームの被走
査面上での走査ピッチを検知する走査ピッチ検知手段
と、 前記走査ピッチ検知手段によって検知された走査ピッチ
に関する信号を演算処理し、この演算結果に基づいて走
査ピッチを調整する調整手段と、を備え、 前記走査ピッチ検知手段と前記調整手段とが隣接して形
成されていることを特徴とする光走査装置。
A light source that emits a plurality of light beams; a scanning unit that deflects the light beam emitted from the light source to converge on a surface to be scanned; and a plurality of light beams that are scanned by the scanning unit. Scanning pitch detecting means for detecting a scanning pitch on the surface to be scanned, an adjusting means for performing arithmetic processing on a signal relating to the scanning pitch detected by the scanning pitch detecting means, and adjusting the scanning pitch based on the calculation result; An optical scanning device, comprising: the scanning pitch detecting means and the adjusting means are formed adjacent to each other.
【請求項4】 複数の光ビームを放射する光源と、 前記光源から放射された光ビームを偏向して被走査面上
に集光させる走査手段と、 前記走査手段によって走査される光ビームの被走査面上
での結像状態の焦点位置と前記走査手段によって走査さ
れる光ビームの被走査面上での走査ピッチとを検知する
検知手段と、 前記検知手段によって検知された焦点位置に関する信号
と走査ピッチに関する信号を演算処理し、この演算結果
に基づいて光ビームの焦点位置と走査ピッチを調整する
調整手段と、を備え、 前記検知手段と、前記調整手段とが隣接して形成されて
いることを特徴とする光走査装置。
4. A light source that emits a plurality of light beams, a scanning unit that deflects the light beam emitted from the light source and condenses the light beam on a surface to be scanned, and a light beam that is scanned by the scanning unit. Detecting means for detecting a focal position of an image-formed state on a scanning surface and a scanning pitch of the light beam scanned by the scanning means on the surface to be scanned; and a signal relating to the focal position detected by the detecting means. Adjusting means for calculating a signal related to the scanning pitch and adjusting the focal position and the scanning pitch of the light beam based on the calculation result, wherein the detecting means and the adjusting means are formed adjacent to each other. An optical scanning device, comprising:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006171646A (en) * 2004-12-20 2006-06-29 Ricoh Co Ltd Multi-beam scanner, image forming apparatus furnished with the same, and color image forming apparatus
CN100380170C (en) * 2004-10-28 2008-04-09 佳能株式会社 Optical scanning apparatus and method for adjusting the same
US8493549B2 (en) 2006-03-27 2013-07-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100380170C (en) * 2004-10-28 2008-04-09 佳能株式会社 Optical scanning apparatus and method for adjusting the same
US7428088B2 (en) 2004-10-28 2008-09-23 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus and method for adjusting the same
JP2006171646A (en) * 2004-12-20 2006-06-29 Ricoh Co Ltd Multi-beam scanner, image forming apparatus furnished with the same, and color image forming apparatus
US8493549B2 (en) 2006-03-27 2013-07-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP5392468B2 (en) * 2006-03-27 2014-01-22 株式会社ニコン Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

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