JP2001319777A - Organic electroluminescence element and its manufacturing method - Google Patents

Organic electroluminescence element and its manufacturing method

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JP2001319777A
JP2001319777A JP2001034256A JP2001034256A JP2001319777A JP 2001319777 A JP2001319777 A JP 2001319777A JP 2001034256 A JP2001034256 A JP 2001034256A JP 2001034256 A JP2001034256 A JP 2001034256A JP 2001319777 A JP2001319777 A JP 2001319777A
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淳二 城戸
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic electroluminescence element in which injection efficiency of hole is enhanced by making a work function of positive electrode large and in which a low voltage of element driving voltage is made possible. SOLUTION: This is concerning the organic electroluminescence element which is formed by being equipped with an organic luminous layer 3 between a positive electrode 6 and a negative electrode 1. In this material, the work function becomes larger by the acid treatment not less than 0.5 eV than that before the treatment as for the positive electrode 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種ディスプレ
ー、表示装置、液晶用バックライト等に用いられる有機
エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device used for various displays, display devices, backlights for liquid crystals, and the like, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】エレクトロルミネッセンス素子とは、固
体蛍光体物質の電界発光を利用した発光デバイスであ
り、現在、無機系材料を発光体として用いた無機エレク
トロルミネッセンス素子が実用化され、液晶ディスプレ
イのバックライトやフラットパネルディスプレイ等への
応用展開が一部で図られている。しかし、無機エレクト
ロルミネッセンス素子は発光させるための電圧が100
V以上と高く、しかも青色発光が難しいため、RGB3
原色によるフルカラー化が困難である。
2. Description of the Related Art An electroluminescent element is a light emitting device utilizing the electroluminescence of a solid phosphor substance. At present, an inorganic electroluminescent element using an inorganic material as a light emitter has been put to practical use, and the back light of a liquid crystal display has been developed. Some applications are being developed for lights and flat panel displays. However, an inorganic electroluminescence element requires a voltage of 100 to emit light.
V or higher, and it is difficult to emit blue light.
It is difficult to achieve full color by primary colors.

【0003】一方、有機材料を用いたエレクトロルミネ
ッセンス素子に関する研究も古くから注目され、様々な
検討が行われてきたが、発光効率が非常に悪いことから
本格的な実用化研究には至らなかった。しかし、198
7年にコダック社のC.W.Tangらにより、有機材
料をホール輸送層と発光層の2層に分けた機能分離型の
積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンスが提案
され、このものでは10V以下の低電圧にも関わらず、
1000cd/m2以上の高い発光輝度が得られること
が明らかになった。そしてこれ以降、有機エレクトロル
ミネッセンス素子が注目されはじめ、活発な研究が行わ
れるようになった。
On the other hand, research on electroluminescent devices using organic materials has been attracting attention for a long time, and various studies have been made. However, since the luminous efficiency is very poor, full-scale practical research has not been achieved. . However, 198
In 7 years, Kodak C.I. W. Tang et al. Proposed an organic electroluminescence having a function-separated stacked structure in which an organic material was divided into two layers, a hole transport layer and a light-emitting layer. In this case, despite the low voltage of 10 V or less,
It was found that a high emission luminance of 1000 cd / m 2 or more was obtained. Since then, organic electroluminescence devices have begun to attract attention, and active research has been conducted.

【0004】このような研究開発がなされた結果、有機
エレクトロルミネッセンス素子は、10V程度の低電圧
で100〜100000cd/m2程度の高輝度の面発
光が可能となり、また蛍光物質の種類を選択することに
より青色から赤色までの発光が可能となった。
[0004] As a result of such research and development, organic electroluminescent devices can emit high-intensity surface light of about 100 to 100000 cd / m 2 at a low voltage of about 10 V, and select the type of fluorescent substance. As a result, light emission from blue to red became possible.

【0005】しかし、フルカラーディスプレー、照明用
発光素子としての応用展開を考えた場合、素子駆動電圧
の低電圧化を行い、更なる高効率化を図ることが必要で
ある。このような素子駆動電圧の低電圧化を実現するた
めには、陽極からのホール及び陰極からの電子の発光層
への注入効率を高める必要がある。そして陽極からのホ
ール注入効率を高める方法として、陽極の仕事関数を大
きくして、ホール輸送層とのエネルギー障壁を小さくす
る方法が挙げられる。
However, when considering application development as a full-color display and a light emitting element for illumination, it is necessary to lower the element driving voltage to further increase the efficiency. In order to realize such a low device drive voltage, it is necessary to increase the efficiency of injecting holes from the anode and electrons from the cathode into the light emitting layer. As a method of increasing the hole injection efficiency from the anode, there is a method of increasing the work function of the anode and reducing the energy barrier with the hole transport layer.

【0006】ここで、一般に陽極材料として用いられる
ITO(インジウム−スズ酸化物)の場合、通常使用さ
れている有機溶剤等で洗浄を行った場合には、4.7〜
4.8eV程度の仕事関数になっている。これは、陽極
の表面に有機溶剤等による残留炭素分などの汚れが残っ
ているためであると考えられている。このため、洗浄工
程の後、UV−O3洗浄や、酸素プラズマ処理等の処理
を行なう場合もある。
Here, in the case of ITO (indium-tin oxide) which is generally used as an anode material, when it is washed with a commonly used organic solvent or the like, 4.7 to 4.7% is used.
The work function is about 4.8 eV. This is considered to be due to contamination such as residual carbon due to an organic solvent or the like remaining on the surface of the anode. For this reason, after the cleaning step, processing such as UV-O 3 cleaning or oxygen plasma processing may be performed.

【0007】一方、陽極の仕事関数を大きくする方法と
して、陽極表面を酸処理する方法が特開平4−1479
5号公報や、特開平9−120890号公報で試みられ
ている。
On the other hand, as a method of increasing the work function of the anode, a method of treating the surface of the anode with an acid is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-1479.
No. 5, JP-A-9-120890.

【0008】すなわち特開平4−14795号公報で
は、陽極の表面を酸処理し、その後有機溶剤で洗浄乾燥
することによって、陽極の仕事関数を酸処理前の陽極材
料の仕事関数よりも0.1〜0.3eV程度大きくし、
このように陽極の仕事関数を大きくすることで素子の駆
動電圧の低電圧化を図っている。
In JP-A-4-14795, the surface of the anode is treated with an acid and then washed and dried with an organic solvent so that the work function of the anode is 0.1% lower than that of the anode material before the acid treatment. About 0.3 eV,
By increasing the work function of the anode in this way, the drive voltage of the element is reduced.

【0009】また、特開平9−120890号公報で
は、陽極の表面を研磨処理し、次いで酸処理し、さらに
有機溶剤による洗浄・乾燥を行うことによって、陽極表
面の平坦化、最表面への細孔形成を行い、素子の駆動電
圧の低電圧化及び寿命改善を図っている。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-120890, the surface of the anode is polished, then treated with an acid, and then washed and dried with an organic solvent, thereby flattening the anode surface and thinning the outermost surface. Holes are formed to reduce the driving voltage of the element and improve the life.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、これら特開平
4−14795号公報や特開平9−120890号公報
に開示されるものでは、陽極を酸処理した後、有機溶剤
等による洗浄を行っているため、陽極の表面に有機溶剤
等による残留炭素分が残り、仕事関数の増大効果は不十
分なものであった。
However, in those disclosed in JP-A-4-14795 and JP-A-9-120890, after the anode is treated with an acid, the anode is washed with an organic solvent or the like. Therefore, a residual carbon content due to an organic solvent or the like remains on the surface of the anode, and the effect of increasing the work function is insufficient.

【0011】また、有機エレクトロルミネッセンス素子
を連続駆動した場合、輝度が減少していき、さらに素子
の抵抗が増大するという課題もあった。
In addition, when the organic electroluminescent element is driven continuously, there is a problem that the luminance decreases and the resistance of the element further increases.

【0012】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、陽極の仕事関数を大きくしてホールの注入効率を
高め、素子駆動電圧の低電圧化を可能とし、さらに連続
駆動時の寿命特性や色度の安定性を改善できると共に抵
抗増大を極力抑えた有機エレクトロルミネッセンス素子
及びその製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and has an effect that the work function of the anode is increased to increase the hole injection efficiency, the device driving voltage can be reduced, and the life during continuous driving is further improved. It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of improving stability of characteristics and chromaticity and suppressing an increase in resistance as much as possible, and a method for manufacturing the same.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
有機エレクトロルミネッセンス素子は、陽極と陰極の間
に有機発光層を備えて形成される有機エレクトロルミネ
ッセンス素子において、陽極は酸処理によって仕事関数
が処理前よりも0.5eV以上大きくなっているもので
あることを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an organic electroluminescent device comprising an organic light emitting layer provided between an anode and a cathode. The function is characterized in that the function is 0.5 eV or more larger than before the processing.

【0014】本発明の請求項2に係る有機エレクトロル
ミネッセンス素子は、陽極と陰極の間に有機発光層を備
えて形成される有機エレクトロルミネッセンス素子にお
いて、陽極は酸処理されていると共にその酸を保持した
状態の陽極に有機発光層及び陰極が積層されており、陽
極は酸処理によって仕事関数が処理前よりも0.5eV
以上大きくなっていることを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an organic electroluminescent element having an organic light emitting layer between an anode and a cathode, wherein the anode is subjected to an acid treatment and retains its acid. An organic light-emitting layer and a cathode are laminated on the anode in a state where the anode has been treated.
It is characterized in that it is larger.

【0015】また請求項3の発明は、上記請求項1又は
2において、酸処理に用いる酸は無機プロトン酸である
ことを特徴とするものである。
The invention of claim 3 is characterized in that, in claim 1 or 2, the acid used for the acid treatment is an inorganic protonic acid.

【0016】また請求項4の発明は、上記請求項1又は
2において、酸処理に用いる酸は有機酸であることを特
徴とするものである。
[0016] In a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the acid used for the acid treatment is an organic acid.

【0017】また請求項5の発明は、上記請求項1又は
2において、酸処理に用いる酸は高分子有機酸であり、
陽極の表面に高分子有機酸が膜状に保持されていること
を特徴とするものである。
The invention of claim 5 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the acid used for the acid treatment is a high molecular weight organic acid,
It is characterized in that a high molecular organic acid is held in a film on the surface of the anode.

【0018】また請求項6の発明は、上記請求項5にお
いて、高分子有機酸の膜厚は1Å〜100Åであること
を特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect, the film thickness of the high molecular weight organic acid is 1 to 100 °.

【0019】また請求項7の発明は、上記請求項1乃至
6において、酸処理に用いる酸はpHが6以下であるこ
とを特徴とするものである。
The invention of claim 7 is characterized in that, in the above-mentioned claims 1 to 6, the pH of the acid used for the acid treatment is 6 or less.

【0020】また請求項8の発明は、上記請求項1乃至
7において、陽極の表面はシランカップリング剤で処理
されていることを特徴とするものである。
An eighth aspect of the present invention is characterized in that in any one of the first to seventh aspects, the surface of the anode is treated with a silane coupling agent.

【0021】本発明の請求項9に係る有機エレクトロル
ミネッセンス素子の製造方法は、陽極に有機発光層を積
層し、この有機発光層に陰極を積層して有機エレクトロ
ルミネッセンス素子を製造する方法において、陽極に有
機発光素子を積層して形成するにあたって、陽極を酸処
理した後、陽極の表面に酸を保持したまま有機発光層の
形成を行なうことを特徴とするものである。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: laminating an organic light emitting layer on an anode; and laminating a cathode on the organic light emitting layer. When an organic light emitting element is laminated and formed, the anode is subjected to an acid treatment, and then the organic light emitting layer is formed while holding the acid on the surface of the anode.

【0022】また請求項10発明は、請求項9におい
て、酸処理する前に、陽極をプラズマ処理することを特
徴とするものである。
A tenth aspect of the present invention is characterized in that, in the ninth aspect, the anode is subjected to a plasma treatment before the acid treatment.

【0023】また請求項11の発明は、請求項9又は1
0において、陽極を酸処理した後、1週間以内に有機発
光層の形成を行なうことを特徴とするものである。
The invention of claim 11 is the invention of claim 9 or 1
0, the organic light emitting layer is formed within one week after the acid treatment of the anode.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0025】本発明に係る有機エレクトロルミネッセン
ス素子は、図1に示すように、基板7に、陽極6、ホー
ル輸送層4、有機発光層3、電子輸送層2、陰極1をこ
の順に積層して設けた構造に形成されるものである。そ
して、陽極6に正電圧を、陰極1に負電圧を印加する
と、電子輸送層2を介して有機発光層3に注入された電
子と、ホール輸送層4を介して有機発光層3に注入され
たホールとが、有機発光層3内にて再結合して発光が起
こるものである。
As shown in FIG. 1, the organic electroluminescent device according to the present invention comprises an anode 6, a hole transport layer 4, an organic light emitting layer 3, an electron transport layer 2, and a cathode 1, which are laminated in this order on a substrate 7. It is formed in the provided structure. When a positive voltage is applied to the anode 6 and a negative voltage is applied to the cathode 1, electrons injected into the organic light emitting layer 3 via the electron transport layer 2 and electrons injected into the organic light emitting layer 3 via the hole transport layer 4. The holes are recombined in the organic light emitting layer 3 to emit light.

【0026】ここで本発明では、陽極6の表面を酸で処
理した後、この酸処理の後に水や溶剤などで洗浄するこ
とを行なわないで、酸の層5を陽極6の表面に保持した
状態で、陽極6にホール輸送層4、有機発光層3、電子
輸送層2、陰極1を積層して設けることによって、有機
エレクトロルミネッセンス素子を製造するようにしてい
る。このように、陽極6の表面を酸処理した後に洗浄を
行わないので、有機溶剤などによる残留炭素等の汚れを
極小化することができると共に電気2重層が損なわれこ
とがなく、陽極6の仕事関数を陽極材料よりも大きく
し、陽極6からのホール注入効率を高めることができ、
素子駆動電圧の低電圧化を達成することができるのであ
る。
Here, in the present invention, after the surface of the anode 6 is treated with an acid, the acid layer 5 is held on the surface of the anode 6 without performing washing with water or a solvent after the acid treatment. In this state, the hole transport layer 4, the organic light-emitting layer 3, the electron transport layer 2, and the cathode 1 are stacked on the anode 6 to provide an organic electroluminescent device. As described above, since the surface of the anode 6 is not washed after the acid treatment, dirt such as residual carbon due to an organic solvent or the like can be minimized, and the electric double layer is not damaged. The function can be made larger than the anode material, and the hole injection efficiency from the anode 6 can be increased,
This makes it possible to reduce the element drive voltage.

【0027】このように酸処理によって陽極6の仕事関
数を大きくするにあたって、本発明では、陽極6の表面
の仕事関数が処理前の仕事関数よりも0.5eV以上大
きくなっていることが必要である。陽極6の仕事関数が
0.5eV以上大きくなっていないと、陽極6の仕事関
数を大きくすることによってホールの注入効率を高める
効果が不充分になり、素子駆動電圧の低電圧化の目的を
十分に達成することができない。陽極6の仕事関数は大
きいほど望ましいので、仕事関数を大きくすることの上
限は特に設定されないが、酸処理によって陽極6の仕事
関数を大きくすることには限界があるので、仕事関数を
大きくすることの実質的な上限は1.3eV程度であ
る。
In order to increase the work function of the anode 6 by the acid treatment as described above, in the present invention, it is necessary that the work function of the surface of the anode 6 is larger than the work function before the treatment by 0.5 eV or more. is there. If the work function of the anode 6 is not increased by 0.5 eV or more, the effect of increasing the hole injection efficiency by increasing the work function of the anode 6 becomes insufficient, and the purpose of lowering the element drive voltage is not sufficient. Can not be achieved. Since the work function of the anode 6 is preferably as large as possible, the upper limit for increasing the work function is not particularly set. However, there is a limit in increasing the work function of the anode 6 by acid treatment. Is about 1.3 eV.

【0028】上記のように陽極6を酸処理するにあたっ
て、酸としては、一般的な無機プロトン酸や有機酸を用
いることができる。無機プロトン酸としては、硝酸、塩
酸、硫酸、リン酸、ヨウ化水素酸、フッ化水素酸、臭化
水素酸、又はこれらの混合物等を用いることができる
が、これに限定されるものではない。また、有機酸とし
ては、酢酸、シュウ酸、安息香酸、ギ酸、クエン酸、コ
ハク酸、又はこれらの混合物等を用いることができる
が、これに限定されるものではない。
In the acid treatment of the anode 6 as described above, a common inorganic proton acid or organic acid can be used as the acid. Examples of the inorganic protonic acid include, but are not limited to, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydroiodic acid, hydrofluoric acid, hydrobromic acid, and a mixture thereof. . In addition, as the organic acid, acetic acid, oxalic acid, benzoic acid, formic acid, citric acid, succinic acid, a mixture thereof, or the like can be used, but the organic acid is not limited thereto.

【0029】陽極6を酸で処理する方法としては、上記
の酸の溶液に陽極6を所定時間浸積する方法や、酸の溶
液の蒸気に陽極6を所定時間さらす方法などを挙げるこ
とができる。陽極6を処理する酸のpHは6以下である
ことが望ましい。pHが6を超えるものであると、陽極
6の仕事関数を大きくする効果を十分に期待することは
できない。pHの下限は特に設定されるものではない
が、pH0.01程度を下限とするのが好ましい。また
酸処理の時間は、酸のpHや酸の温度によっても異なる
が、通常は1秒から1時間の範囲であり、この範囲内で
適宜選択すればよい。さらに、陽極6の酸処理を行なっ
た後、1週間以内に、陽極6にホール輸送層4や有機発
光層3などを積層して設けるようにするのが好ましい。
陽極6を酸処理した後に放置すると、陽極6の表面は徐
々に汚染されるので、陽極6を酸処理した後はできるだ
け早くホール輸送層4や有機発光層3などを設けるのが
好ましいものであり、1週間を経過すると、陽極6を酸
処理したことによる効果を十分に得ることができなくな
るおそれがある。
Examples of the method of treating the anode 6 with an acid include a method of immersing the anode 6 in the above-mentioned acid solution for a predetermined time and a method of exposing the anode 6 to the vapor of the acid solution for a predetermined time. . The pH of the acid for treating the anode 6 is desirably 6 or less. If the pH exceeds 6, the effect of increasing the work function of the anode 6 cannot be sufficiently expected. The lower limit of the pH is not particularly set, but the lower limit is preferably about pH 0.01. The acid treatment time varies depending on the pH of the acid and the temperature of the acid, but is usually in the range of 1 second to 1 hour, and may be appropriately selected within this range. Furthermore, it is preferable that the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 3, and the like be laminated on the anode 6 within one week after the acid treatment of the anode 6.
If the anode 6 is left after being acid-treated, the surface of the anode 6 is gradually contaminated. Therefore, it is preferable to provide the hole transport layer 4, the organic light-emitting layer 3, and the like as soon as possible after the anode 6 is acid-treated. After one week, the effect of the acid treatment of the anode 6 may not be sufficiently obtained.

【0030】また本発明において他の酸として、高分子
有機酸を用いることも可能である。高分子有機酸はその
膜を陽極6の表面に形成することができるので、陽極6
の表面に固定化することが容易であり、酸処理によって
陽極6の仕事関数を大きくすることに関して安定した特
性を得ることができるものである。高分子有機酸として
は、酸性を示すイオン解離性高分子を用いることができ
る。具体的には、ポリスチレンスルホン酸やポリビニル
スルホン酸等のスルホン酸化合物、ポリアクリル酸、ポ
リメタクリル酸、ポリメタリン酸及びこれらのユニット
を含有するポリマー等を用いることができるが、これに
限定されるものではない。
In the present invention, a high molecular organic acid can be used as another acid. Since the high molecular weight organic acid can form a film on the surface of the anode 6, the anode 6
Is easily fixed to the surface of the anode 6, and stable characteristics can be obtained with respect to increasing the work function of the anode 6 by the acid treatment. As the high molecular weight organic acid, an ion dissociable polymer exhibiting acidity can be used. Specifically, sulfonic acid compounds such as polystyrene sulfonic acid and polyvinyl sulfonic acid, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polymethacrylic acid, and polymers containing these units can be used, but are not limited thereto. is not.

【0031】これら高分子有機酸を水や有機溶剤に溶か
した状態で陽極6上にコーティングすることによって、
図2に示すように陽極6の表面に、高分子有機酸の薄膜
5bを形成することができる。ここで、高分子有機酸の
薄膜5bの膜厚は、1Å以上、100Å以下であること
が望ましい。膜厚が100Åを超えると、高分子有機酸
の薄膜5bが絶縁層として働いて素子に電流が流れ難く
なる問題が発生するおそれがある。また、膜厚を1Å未
満にすると、酸で処理することによる本発明の狙いの効
果を充分に得ることができない。
By coating these high molecular organic acids on the anode 6 in a state of being dissolved in water or an organic solvent,
As shown in FIG. 2, a thin film 5b of a high molecular organic acid can be formed on the surface of the anode 6. Here, the thickness of the high molecular organic acid thin film 5b is desirably 1 ° or more and 100 ° or less. If the film thickness exceeds 100 °, there is a possibility that a problem may occur in that the thin film 5b of the high molecular weight organic acid acts as an insulating layer, making it difficult for current to flow through the device. On the other hand, if the film thickness is less than 1 °, the desired effect of the present invention by treating with an acid cannot be sufficiently obtained.

【0032】また、陽極6の表面をさらにシランカップ
リング剤で処理するのが好ましい。そしてこのようにシ
ランカップリング剤で処理したその上にホール輸送層4
や有機発光層3などの有機層を形成することで、有機層
と陽極6との密着性を上げることができ、陽極6を酸処
理することによる効果を一層高めることが可能になるも
のである。ここで、シランカップリング剤としては、一
般的に用いられるエポキシ基、メルカプト基、アミノ基
を反応基に有するものを用いることができる。具体的に
は、2−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリ
メトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエ
トキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)
3−アミノプロピルメチルジメトキシラン、3−アミノ
プロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−3−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピ
ルトリメトキシシラン等を用いることができるが、特に
これに限定されない。このシランカップリング剤処理
は、酸と上記シランカップリング剤の混合物を陽極6の
表面に塗布することによって、酸処理と同時に行うよう
にすることができる。
Preferably, the surface of the anode 6 is further treated with a silane coupling agent. Then, the hole transport layer 4 is further treated on the silane coupling agent.
By forming an organic layer such as the organic light emitting layer 3 and the like, the adhesion between the organic layer and the anode 6 can be increased, and the effect of the acid treatment of the anode 6 can be further enhanced. . Here, as the silane coupling agent, those generally used having an epoxy group, a mercapto group, or an amino group as a reactive group can be used. Specifically, 2- (3,4 epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (Aminoethyl)
3-Aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like can be used, but are not particularly limited thereto. This silane coupling agent treatment can be performed simultaneously with the acid treatment by applying a mixture of an acid and the silane coupling agent to the surface of the anode 6.

【0033】更に、陽極6を酸処理するに先立って、陽
極6の表面を酸素プラズマ処理することで、より効果的
に酸処理の効果を引き出すことが可能である。これは、
酸素プラズマ処理によって、陽極6の表面が親水化さ
れ、陽極6の表面を酸水溶液などを用いて水系の酸処理
をするにあたって酸処理の親和性が高まり、より強固に
陽極6の表面に酸が固定化されるためである。
Further, by subjecting the surface of the anode 6 to oxygen plasma treatment prior to the acid treatment of the anode 6, the effect of the acid treatment can be more effectively brought out. this is,
The surface of the anode 6 is hydrophilized by the oxygen plasma treatment, and the affinity of the acid treatment is increased when the surface of the anode 6 is subjected to an aqueous acid treatment using an aqueous acid solution or the like, so that the acid is more strongly applied to the surface of the anode 6. This is because it is fixed.

【0034】次に、本発明の有機エレクトロルミネッセ
ンス素子を構成する有機層及び電極について説明する。
但し、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、
酸処理を行い、酸を保持した状態の陽極6を用いるよう
にした点に特徴を有するものであり、陽極6上に形成す
る有機層などの構成に関しては、従来から有機エレクト
ロルミネッセンス素子の作製に使用されている公知のも
のを適宜使用することができ、以下のものに限定されな
いのはいうまでもない。
Next, the organic layers and electrodes constituting the organic electroluminescence device of the present invention will be described.
However, the organic electroluminescence device of the present invention
It is characterized in that an acid treatment is performed to use the anode 6 in a state where the acid is held. Regarding the configuration of the organic layer formed on the anode 6, the conventional method has been used for producing an organic electroluminescent element. Known ones used can be appropriately used, and it is needless to say that the present invention is not limited to the following ones.

【0035】まず、陽極6は上記のように素子中にホー
ルを注入するための電極であり、仕事関数の大きい金
属、合金、電気伝導性化合物、あるいはこれらの混合物
からなる電極材料を用いることが好ましく、仕事関数が
4eV以上のものを用いるのがよい。このような陽極6
の材料として具体的には、金などの金属、CuI、IT
O(インジウム−スズ酸化物:インジウムチンオキサイ
ド)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料を挙げるこ
とができる。陽極6は、これらの電極材料を、ガラスや
透明樹脂等などの透明材料で形成される基板7の表面
に、真空蒸着法やスパッタリング法等の方法により薄膜
に形成することによって作製することができるものであ
る。また、有機発光層3における発光を陽極6を透過さ
せて外部に照射する場合には、陽極6の光透過率を70
%以上にすることが好ましい。さらに、陽極6のシート
抵抗は数百Ω/□以下とすることが好ましく、特に好ま
しくは100Ω/□以下とするものである。ここで、陽
極6の膜厚は、陽極6の光透過率、シート抵抗等の特性
を上記のように制御するために、材料により異なるが、
500nm以下、好ましくは10〜200nmの範囲に
設定するのがよい。
First, the anode 6 is an electrode for injecting holes into the element as described above. It is possible to use an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound having a large work function, or a mixture thereof. Preferably, a material having a work function of 4 eV or more is used. Such an anode 6
Specifically, as a material of the metal, metal such as gold, CuI, IT
Conductive transparent materials such as O (indium-tin oxide: indium tin oxide), SnO 2 , and ZnO can be given. The anode 6 can be manufactured by forming these electrode materials into a thin film on a surface of a substrate 7 formed of a transparent material such as glass or transparent resin by a method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method. Things. When the light emitted from the organic light emitting layer 3 is transmitted through the anode 6 and irradiated to the outside, the light transmittance of the anode 6 is set to 70%.
% Is preferable. Further, the sheet resistance of the anode 6 is preferably several hundred Ω / □ or less, particularly preferably 100 Ω / □ or less. Here, the thickness of the anode 6 varies depending on the material in order to control the characteristics of the anode 6 such as light transmittance and sheet resistance as described above.
It is good to set it to 500 nm or less, preferably in the range of 10 to 200 nm.

【0036】一方、有機発光層3中に電子を注入するた
めの電極である陰極1は、仕事関数の小さい金属、合
金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物からなる電極
材料を用いることが好ましく、仕事関数が5eV以下の
ものであることが好ましい。このような陰極1の電極材
料としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、
リチウム、マグネシウム、アルミニウム、マグネシウム
−銀混合物、マグネシウム−インジウム混合物、アルミ
ニウム−リチウム合金、Al/Al23混合物、Al/
LiF混合物などを挙げることができる。この陰極1
は、例えばこれらの電極材料を、真空蒸着法やスパッタ
リング法等の方法により、薄膜に形成することによって
作製することができる。また、有機発光層3における発
光を陰極1を透過させて外部に照射する場合には、陰極
1の光透過率を10%以上にすることが好ましい。この
場合の陰極1の膜厚は、陰極1の光透過率等の特性を上
記のように制御するために、材料により異なるが、通常
500nm以下、好ましくは100〜200nmの範囲
とするのがよい。
On the other hand, for the cathode 1, which is an electrode for injecting electrons into the organic light emitting layer 3, it is preferable to use an electrode material composed of a metal, an alloy, an electrically conductive compound and a mixture thereof having a small work function. The work function is preferably 5 eV or less. Such electrode materials for the cathode 1 include sodium, sodium-potassium alloy,
Lithium, magnesium, aluminum, magnesium - silver mixture, a magnesium - indium mixture, an aluminum - lithium alloy, Al / Al 2 O 3 mixture, Al /
LiF mixtures and the like can be mentioned. This cathode 1
Can be manufactured by forming these electrode materials into a thin film by a method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method. When light emitted from the organic light-emitting layer 3 is transmitted through the cathode 1 and irradiated to the outside, the light transmittance of the cathode 1 is preferably set to 10% or more. In this case, the thickness of the cathode 1 varies depending on the material in order to control the characteristics such as the light transmittance of the cathode 1 as described above, but it is usually 500 nm or less, preferably 100 to 200 nm. .

【0037】そして有機発光層3に使用できる発光材料
またはドーピング材料としては、アントラセン、ナフタ
レン、ピレン、テトラセン、コロネン、ペリレン、フタ
ロペリレン、ナフタロペリレン、ジフェニルブタジエ
ン、テトラフェニルブタジエン、クマリン、オキサジア
ゾール、ビスベンゾキサゾリン、ビススチリル、シクロ
ペンタジエン、キノリン金属錯体、トリス(8−ヒドロ
キシキノリナート)アルミニウム錯体、トリス(4−メ
チル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、トリス
(5−フェニル−8−キノリナート)アルミニウム錯
体、アミノキノリン金属錯体、ベンゾキノリン金属錯
体、トリ−(p−ターフェニル−4−イル)アミン、1
−アリール−2,5−ジ(2−チエニル)ピロール誘導
体、ピラン、キナクリドン、ルブレン、ジスチルベンゼ
ン誘導体、ジスチルアリーレン誘導体、及び各種蛍光色
素等があるが、これに限定されるものではない。またこ
れらの化合物のうちから選択される発光材料を80〜9
9.9重量部、ドーピング材料0.1〜20重量部含む
ようにすることも好ましい。有機発光層3の厚みは0.
5〜500nm、更に好ましくは0.5〜200nmと
するものである。
The light emitting material or doping material usable for the organic light emitting layer 3 includes anthracene, naphthalene, pyrene, tetracene, coronene, perylene, phthaloperylene, naphthaloperylene, diphenylbutadiene, tetraphenylbutadiene, coumarin, oxadiazole, bisbenzo. Xazoline, bisstyryl, cyclopentadiene, quinoline metal complex, tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolinato) aluminum complex, tris (5-phenyl-8-quinolinato) aluminum complex, Aminoquinoline metal complex, benzoquinoline metal complex, tri- (p-terphenyl-4-yl) amine, 1
-Aryl-2,5-di (2-thienyl) pyrrole derivative, pyran, quinacridone, rubrene, distilbenzene derivative, distilarylene derivative, various fluorescent dyes, and the like, but are not limited thereto. The light emitting material selected from these compounds is 80 to 9
It is also preferable to include 9.9 parts by weight and 0.1 to 20 parts by weight of the doping material. The thickness of the organic light emitting layer 3 is equal to 0.
The thickness is 5 to 500 nm, more preferably 0.5 to 200 nm.

【0038】またホール輸送層4を構成するホール輸送
材料としては、ホールを輸送する能力を有し、陽極6か
らのホール注入効果を有するとともに、有機発光層3ま
たは発光材料に対して優れたホール注入効果を有し、ま
た電子のホール輸送層4への移動を防止し、かつ薄膜形
成能力の優れた化合物を挙げることができる。具体的に
はフタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、ポ
ルフィリン誘導体、N,N’−ビス(3−メチルフェニ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン
(TPD)や4,4’−ビス[N−(ナフチル)−N−
フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NPD)等の芳香
族ジアミン化合物、オキサゾール、オキサジアゾール、
トリアゾール、イミダゾール、イミダゾロン、スチルベ
ン誘導体、ピラゾリン誘導体、テトラヒドロイミダゾー
ル、ポリアリールアルカン、ブタジエン、4,4’,
4”−トリス(N−(3−メチルフェニル)N−フェニ
ルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)、
及びポリビニルカルバゾール、ポリシラン、ポリエチレ
ンジオキサイドチオフェン(PEDOT)等の導電性高
分子等の高分子材料が挙げられるが、これらに限定され
るものではない。
The hole transporting material constituting the hole transporting layer 4 has the ability to transport holes, has the effect of injecting holes from the anode 6, and has excellent hole transporting properties with respect to the organic light emitting layer 3 or the light emitting material. Compounds that have an injection effect, prevent the transfer of electrons to the hole transport layer 4, and have excellent thin film forming ability can be given. Specifically, phthalocyanine derivatives, naphthalocyanine derivatives, porphyrin derivatives, N, N'-bis (3-methylphenyl)-(1,1'-biphenyl) -4,4'-diamine (TPD) and 4,4 ' -Bis [N- (naphthyl) -N-
Aromatic diamine compounds such as phenyl-amino] biphenyl (α-NPD), oxazole, oxadiazole,
Triazole, imidazole, imidazolone, stilbene derivative, pyrazoline derivative, tetrahydroimidazole, polyarylalkane, butadiene, 4,4 ′,
4 "-tris (N- (3-methylphenyl) N-phenylamino) triphenylamine (m-MTDATA),
And polymer materials such as polyvinylcarbazole, polysilane, and conductive polymers such as polyethylenedioxidethiophene (PEDOT), but are not limited thereto.

【0039】また電子輸送層2を構成する電子輸送材料
としては、電子を輸送する能力を有し、陰極1からの電
子注入効果を有するとともに、有機発光層3または発光
材料に対して優れた電子注入効果を有し、さらにホール
の電子輸送層2への移動を防止し、かつ薄膜形成能力の
優れた化合物を挙げることができる。具体的には、フル
オレン、バソフェナントロリン、バソクプロイン、アン
トラキノジメタン、ジフェノキノン、オキサゾール、オ
キサジアゾール、トリアゾール、イミダゾール、アント
ラキノジメタン等やそれらの化合物、金属錯体化合物も
しくは含窒素五員環誘導体である。具体的には、金属錯
体化合物としては、トリス(8−ヒドロキシキノリナー
ト)アルミニウム、トリ(2−メチル−8−ヒドロキシ
キノリナート)アルミニウム、トリス(8−ヒドロキシ
キノリナート)ガリウム、ビス(10−ヒドロキシベン
ゾ[h]キノリナート)ベリリウム、ビス(10−ヒド
ロキシベンゾ[h]キノリナート)亜鉛、ビス(2−メ
チル−8−キノリナート)(o−クレゾラート)ガリウ
ム、ビス(2−メチル−8−キノリナート)(1−ナフ
トラート)アルミニウム等があるが、これらに限定され
るものではない。また含窒素五員環誘導体としては、オ
キサゾール、チアゾール、オキサジアゾール、チアジア
ゾールもしくはトリアゾール誘導体が好ましい。具体的
には、2,5−ビス(1−フェニル)−1,3,4−オ
キサゾール、2,5−ビス(1−フェニル)−1,3,
4−チアゾール、2,5−ビス(1−フェニル)−1,
3,4−オキサジアゾール、2−(4’−tert−ブ
チルフェニル)−5−(4”−ビフェニル)1,3,4
−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−
1,3,4−オキサジアゾール、1,4−ビス[2−
(5−フェニルチアジアゾリル)]ベンゼン、2,5−
ビス(1−ナフチル)−1,3,4−トリアゾール、3
−(4−ビフェニルイル)−4−フェニル−5−(4−
t−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール等が
あるが、これらに限定されるものではない。さらに、ポ
リマー有機エレクトロルミネッセンス素子に使用される
ポリマー材料も使用することができる。例えば、ポリパ
ラフェニレン及びその誘導体、フルオレン及びその誘導
体等である。
The electron transporting material constituting the electron transporting layer 2 has the ability to transport electrons, has the effect of injecting electrons from the cathode 1, and has an excellent electron transporting property with respect to the organic light emitting layer 3 or the light emitting material. Compounds that have an injection effect, further prevent holes from moving to the electron transport layer 2, and have excellent thin film forming ability can be given. Specifically, fluorene, bathophenanthroline, bathocuproine, anthraquinodimethane, diphenoquinone, oxazole, oxadiazole, triazole, imidazole, anthraquinodimethane and the like and compounds thereof, a metal complex compound or a nitrogen-containing five-membered ring derivative. is there. Specifically, as the metal complex compound, tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum, tri (2-methyl-8-hydroxyquinolinato) aluminum, tris (8-hydroxyquinolinato) gallium, bis ( 10-hydroxybenzo [h] quinolinato) beryllium, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinato) zinc, bis (2-methyl-8-quinolinato) (o-cresolate) gallium, bis (2-methyl-8-quinolinate) ) (1-Naphtholate) aluminum and the like, but are not limited thereto. As the nitrogen-containing five-membered ring derivative, an oxazole, thiazole, oxadiazole, thiadiazole or triazole derivative is preferable. Specifically, 2,5-bis (1-phenyl) -1,3,4-oxazole, 2,5-bis (1-phenyl) -1,3,3
4-thiazole, 2,5-bis (1-phenyl) -1,
3,4-oxadiazole, 2- (4′-tert-butylphenyl) -5- (4 ″ -biphenyl) 1,3,4
-Oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl)-
1,3,4-oxadiazole, 1,4-bis [2-
(5-phenylthiadiazolyl)] benzene, 2,5-
Bis (1-naphthyl) -1,3,4-triazole, 3
-(4-biphenylyl) -4-phenyl-5- (4-
(t-butylphenyl) -1,2,4-triazole and the like, but are not limited thereto. Further, a polymer material used for a polymer organic electroluminescence device can also be used. For example, polyparaphenylene and its derivatives, fluorene and its derivatives, and the like.

【0040】[0040]

【実施例】次に、本発明を実施例によって具体的に説明
する。
Next, the present invention will be described specifically with reference to examples.

【0041】(実施例1)厚み0.7mmのガラス基板
7上に、ITO(インジウム−スズ酸化物)をスパッタ
リングしてシート抵抗7Ω/□の陽極6を形成したIT
Oガラス基板(三容真空社製)を用いた。そしてまず、
これをアセトン、純水、イソプロピルアルコールでそれ
ぞれ15分間超音波洗浄したのち乾燥させた。
(Example 1) An ITO (indium-tin oxide) was sputtered on a glass substrate 7 having a thickness of 0.7 mm to form an anode 6 having a sheet resistance of 7Ω / □.
An O glass substrate (manufactured by Sanyo Vacuum Corporation) was used. And first,
This was ultrasonically washed with acetone, pure water, and isopropyl alcohol for 15 minutes each, and then dried.

【0042】次に、このITOガラス基板を、硝酸水溶
液(pH<1、濃度60〜61質量%)の蒸気に室温で
10分間曝し、陽極6の表面を酸処理した。ここで、酸
処理をする前のITOからなる陽極6の表面の仕事関数
は4.80eVであった。そして酸処理をすることによ
って陽極6の仕事関数は5.70eVになり、仕事関数
は0.90eV大きくなった。尚、仕事関数の測定は、
紫外線光電子分析装置(理研計器(株)製「AC−1」)
を用いて行った。
Next, the ITO glass substrate was exposed to a vapor of a nitric acid aqueous solution (pH <1, concentration: 60 to 61% by mass) at room temperature for 10 minutes to acid-treat the surface of the anode 6. Here, the work function of the surface of the anode 6 made of ITO before the acid treatment was 4.80 eV. By performing the acid treatment, the work function of the anode 6 became 5.70 eV, and the work function was increased by 0.90 eV. The work function is measured as
Ultraviolet photoelectron analyzer ("AC-1" manufactured by Riken Keiki Co., Ltd.)
This was performed using

【0043】次に、酸処理をしてから1分後に、洗浄を
行なうことなく、ITOガラス基板を真空蒸着装置にセ
ットし、133.322×10-6Pa(1×10-6To
rr)の真空条件下、4,4’−ビス[N−(ナフチ
ル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NP
D)((株)同仁化学研究所製)を、1〜2Å/sの蒸
着速度で蒸着し、厚み400Åのホール輸送層4を形成
した。
Next, one minute after the acid treatment, the ITO glass substrate was set in a vacuum evaporation apparatus without washing, and the substrate was set to 133.322 × 10 −6 Pa (1 × 10 −6 To
rr) under vacuum conditions, 4,4'-bis [N- (naphthyl) -N-phenyl-amino] biphenyl (α-NP
D) (manufactured by Dojindo Laboratories Inc.) was deposited at a deposition rate of 1 to 2 Å / s to form a hole transport layer 4 having a thickness of 400 Å.

【0044】次に、トリス(8−ヒドロキシキノリナー
ト)アルミニウム錯体((株)同仁化学研究所製「Al
q3」)を1〜2Å/sの蒸着速度で蒸着し、厚み40
0Åの有機発光層3兼電子輸送層2を形成した。
Next, a tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum complex (“Al” manufactured by Dojin Chemical Laboratory Co., Ltd.)
q3 ”) at a deposition rate of 1-2 ° / s and a thickness of 40
An organic light emitting layer 3 and an electron transport layer 2 of 0 ° were formed.

【0045】この後、まずLiFを0.5〜1.0Åの
蒸着速度で厚み5Å蒸着し、続いて、Alを10Å/s
の蒸着速度で厚み1500Å蒸着することによって、陰
極1を形成した。
Thereafter, LiF is first deposited at a thickness of 5 ° at a deposition rate of 0.5 to 1.0 °, and then Al is deposited at a rate of 10 ° / s.
The cathode 1 was formed by vapor deposition at a vapor deposition rate of 1500 °.

【0046】次に、この各層を形成したITOガラス基
板を露点−76℃以下のドライ窒素雰囲気のグローブボ
ックスに入れて、大気に暴露することなく搬送した。一
方、通気性を有する袋に吸水剤として酸化バリウムの粉
末を入れて吸水材10を作製し、この吸水材10をガラ
ス製の封止板11に接着剤で貼り付けておくと共に、封
止板11の外周部には予め紫外線硬化樹脂製のシール剤
12を塗布しておき、グローブボックス内において上記
の各層1〜6を形成したITOガラス基板7に封止板1
1をシール剤12で張り合わせて、UV照射でシール剤
12を硬化させることによって、図3に示すような有機
エレクトロルミネッセンス素子を得た。
Next, the ITO glass substrate on which these layers were formed was placed in a glove box in a dry nitrogen atmosphere having a dew point of -76 ° C. or less, and was transported without being exposed to the atmosphere. On the other hand, barium oxide powder as a water-absorbing agent is put in a bag having air permeability to produce a water-absorbing material 10, and this water-absorbing material 10 is attached to a glass sealing plate 11 with an adhesive. A sealant 12 made of an ultraviolet curable resin is previously applied to the outer peripheral portion of the sealing member 11, and the sealing plate 1 is attached to the ITO glass substrate 7 on which the above layers 1 to 6 are formed in a glove box.
3 were bonded together with a sealant 12, and the sealant 12 was cured by UV irradiation to obtain an organic electroluminescence device as shown in FIG.

【0047】(実施例2)酸としてpH=3の塩酸水溶
液を用い、室温でこの塩酸水溶液にITOガラス基板を
3分間浸積して乾燥することによって、陽極6の表面を
酸処理するようにした。このように酸処理をすることに
よって陽極6の仕事関数は5.65eVになり、仕事関
数は0.85eV大きくなった。その他は実施例1と同
様にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得た。
(Example 2) An aqueous solution of hydrochloric acid having a pH of 3 was used as an acid, and an ITO glass substrate was immersed in the aqueous solution of hydrochloric acid for 3 minutes at room temperature and dried, so that the surface of the anode 6 was acid-treated. did. By performing the acid treatment in this manner, the work function of the anode 6 became 5.65 eV, and the work function was increased by 0.85 eV. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0048】(実施例3)酸処理に用いる酸として酢酸
水溶液(pH=4)を用い、この酢酸水溶液の蒸気にI
TOガラス基板を室温で10分間曝すことによって、陽
極6の表面を酸処理するようにした。このように酸処理
をすることによって陽極6の仕事関数は5.60eVに
なり、仕事関数は0.80eV大きくなった。その他は
実施例1と同様にして有機エレクトロルミネッセンス素
子を得た。
Example 3 An aqueous acetic acid solution (pH = 4) was used as the acid for the acid treatment,
The surface of the anode 6 was acid-treated by exposing the TO glass substrate at room temperature for 10 minutes. By performing the acid treatment in this way, the work function of the anode 6 became 5.60 eV, and the work function was increased by 0.80 eV. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0049】(実施例4)ポリスチレンスルホン酸(M
W=100000)0.01gを、水10gとメタノー
ル7.9gの混合溶液に溶解させ、高分子有機酸溶液
(pH=2)を得た。この溶液をITOガラス基板の陽
極6上に滴下し、スピンコーターで2000rpm、1
分間の条件でスピンコートすることによって、高分子有
機酸膜5bを50Åの厚みで形成した。このように酸処
理をすることによって陽極6の仕事関数は5.68eV
になり、仕事関数は0.88eV大きくなった。その他
は実施例1と同様にして、有機エレクトロルミネッセン
ス素子を得た。
Example 4 Polystyrenesulfonic acid (M
(W = 100000) was dissolved in a mixed solution of 10 g of water and 7.9 g of methanol to obtain a polymer organic acid solution (pH = 2). This solution was dropped on the anode 6 of the ITO glass substrate, and the spin coater was used at 2000 rpm and 1 rpm.
The polymer organic acid film 5b was formed to a thickness of 50 ° by spin coating under the conditions of minutes. By performing the acid treatment in this manner, the work function of the anode 6 is 5.68 eV.
And the work function increased by 0.88 eV. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0050】(実施例5)ITOガラス基板を1分間、
酸素プラズマ処理した。このように酸素プラズマ処理し
た後、実施例1と同様にして酸処理を行った。このよう
に酸処理をすることによって陽極6の仕事関数は5.7
4eVになり、仕事関数は0.94eV大きくなった。
その他は実施例1と同様にして有機エレクトロルミネッ
センス素子を得た。
Example 5 An ITO glass substrate was placed for 1 minute.
Oxygen plasma treatment was performed. After the oxygen plasma treatment, an acid treatment was performed in the same manner as in Example 1. By performing the acid treatment in this manner, the work function of the anode 6 becomes 5.7.
4 eV, and the work function increased by 0.94 eV.
Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0051】(実施例6)硝酸(pH<1)1gと3−
アミノプロピルトリエトキシシラン(日本ユニカー社製
「A1100」)1gを混合した。この混合溶液にIT
Oガラス基板を10秒間ディッピングした後、乾燥処理
を行うことによって、陽極6の表面を酸処理すると共に
カップリング剤処理した。このように酸処理をすること
によって陽極6の仕事関数は5.69eVになり、仕事
関数は0.89eV大きくなった。その他は実施例1と
同様にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得た。
Example 6 1 g of nitric acid (pH <1) and 3-g
1 g of aminopropyltriethoxysilane ("A1100" manufactured by Nippon Unicar) was mixed. Add IT
After dipping the O glass substrate for 10 seconds, the surface of the anode 6 was subjected to an acid treatment and a coupling agent treatment by performing a drying treatment. By performing the acid treatment in this manner, the work function of the anode 6 became 5.69 eV, and the work function was increased by 0.89 eV. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0052】(実施例7)実施例1と同様にして陽極6
の表面を酸処理した。このように酸処理をすることによ
って陽極6の仕事関数は5.72eVになり、仕事関数
は0.92eV大きくなった。このように酸処理してか
ら1分後に、洗浄を行なうことなく、ITOガラス基板
の陽極6上にPEDOT(バイエル社製)を、2500
rpm、1分間の条件でスピンコーティングして、厚み
400Åの導電性高分子バファー層としてホール輸送層
4を形成し、窒素雰囲気下、150℃、15分間乾燥処
理した。後は実施例1と同様にして有機発光層3兼電子
輸送層2及び陰極1を形成して、有機エレクトロルミネ
ッセンス素子を得た。
(Example 7) The anode 6 was produced in the same manner as in Example 1.
Was acid treated. By performing the acid treatment in this manner, the work function of the anode 6 became 5.72 eV, and the work function was increased by 0.92 eV. One minute after the acid treatment as described above, PEDOT (manufactured by Bayer Corporation) was placed on the anode 6 of the ITO glass substrate for 2500 minutes without washing.
The hole transport layer 4 was formed as a conductive polymer buffer layer having a thickness of 400 ° by spin coating under the conditions of rpm and 1 minute, and dried at 150 ° C. for 15 minutes in a nitrogen atmosphere. Thereafter, the organic light-emitting layer 3 and the electron transport layer 2 and the cathode 1 were formed in the same manner as in Example 1 to obtain an organic electroluminescence device.

【0053】(実施例8)有機発光層を次のように形成
するようにした他は、実施例1と同様にして有機エレク
トロルミネッセンス素子を得た。すなわち、ITOガラ
ス基板に上記α−NPDを1〜2Å/sの蒸着速度で蒸
着し、厚み300Åのホール輸送層4を形成した。そし
て黄色発光層として、α−NPDにルブレン(アクロス
社製)を1質量%ドープしたものを100Åの厚みで積
層し、次に青色発光層として、ジスチリルビフェニル誘
導体(DPVBi:出光興産製)に末端にカルバゾリル
基を有するDSA誘導体(BCzVBi:出光興産製)
を4質量%ドープしたものを500Åの厚みで積層し
た。この後、電子輸送層として、バソフェナントロリン
((株)同仁化学研究所製)とCsをモル比1:1で2
00Åの厚みに共蒸着し、続いて、Alを10Å/sの
蒸着速度で厚み1500Å蒸着することによって陰極1
を形成した。
Example 8 An organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 1, except that the organic light emitting layer was formed as follows. That is, the α-NPD was deposited on an ITO glass substrate at a deposition rate of 1 to 2 ° / s to form a hole transport layer 4 having a thickness of 300 °. Then, as a yellow light emitting layer, a layer obtained by doping rubrene (manufactured by Across Corporation) at 1% by mass to α-NPD with a thickness of 100 ° is laminated, and then as a blue light emitting layer, a distyrylbiphenyl derivative (DPVBi: manufactured by Idemitsu Kosan) DSA derivative having a carbazolyl group at the terminal (BCzVBi: manufactured by Idemitsu Kosan)
Was doped at a thickness of 500 °. Thereafter, as an electron transport layer, bathophenanthroline (manufactured by Dojindo Laboratories Inc.) and Cs were mixed at a molar ratio of 1: 1 to 2
The cathode 1 was deposited by co-evaporation at a thickness of 00 °, followed by deposition of Al at a thickness of 1500 ° at a deposition rate of 10 ° / s.
Was formed.

【0054】(比較例1)実施例1において、ITOガ
ラス基板を酸処理しなかったこと以外、実施例1と同様
にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得た。
Comparative Example 1 An organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 1, except that the ITO glass substrate was not subjected to the acid treatment.

【0055】(比較例2)実施例1と同様にしてITO
ガラス基板を酸処理した後、純水、アセトン、イソプロ
ピルアルコールでそれぞれ15分間超音波洗浄し、乾燥
した。このように酸処理をしても洗浄をおこなうことに
よって、陽極6の仕事関数は4.95eVになり、仕事
関数は0.15eV大きくなっただけである。その他は
実施例1と同様にして有機エレクトロルミネッセンス素
子を得た。
(Comparative Example 2)
After acid treatment of the glass substrate, the substrate was ultrasonically washed with pure water, acetone and isopropyl alcohol for 15 minutes each, and dried. Even if the acid treatment is performed, the work function of the anode 6 becomes 4.95 eV and the work function is increased only by 0.15 eV by performing the cleaning. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0056】(比較例3)実施例1と同様にしてITO
ガラス基板を酸処理した後、室温で10日間放置した。
このように酸処理をしても10日間放置することによっ
て、陽極6の仕事関数は5.05Vになり、仕事関数は
0.25eV大きくなっただけである。その他は実施例
1と同様にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得
た。
(Comparative Example 3) ITO in the same manner as in Example 1
After acid treatment of the glass substrate, it was left at room temperature for 10 days.
Even if the acid treatment is performed, the work function of the anode 6 becomes 5.05 V and the work function is increased only by 0.25 eV after being left for 10 days. Otherwise in the same manner as in Example 1, an organic electroluminescence device was obtained.

【0057】(比較例4)実施例7において、ITOガ
ラス基板を酸処理しなかったこと以外、実施例7と同様
にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得た。
Comparative Example 4 An organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 7, except that the ITO glass substrate was not subjected to the acid treatment.

【0058】(比較例5)実施例8において、ITOガ
ラス基板を酸処理しなかったこと以外、実施例8と同様
にして有機エレクトロルミネッセンス素子を得た。
Comparative Example 5 An organic electroluminescent device was obtained in the same manner as in Example 8, except that the ITO glass substrate was not subjected to the acid treatment.

【0059】上記の実施例1〜実施例8及び比較例1〜
比較例5で作製した有機エレクトロルミネッセンス素子
を電源(KEYTHLEY236モデル)に接続し、素
子の輝度を輝度計(ミノルタ社製「LS−110」)で
測定した。また、輝度が1cd/m2になる電圧を発光
開始電圧として測定すると共に、6V電流密度を測定し
た。さらに、作製した素子を10mA/cm2の定電流
で連続駆動させて寿命試験を行ない、輝度が半減するま
での半減寿命を測定し、また半減寿命後の駆動電圧の変
化を測定した。これらの結果及び仕事関数を表1に示
す。
The above Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to
The organic electroluminescent device produced in Comparative Example 5 was connected to a power supply (KEYTHLEY236 model), and the luminance of the device was measured with a luminance meter (“LS-110” manufactured by Minolta). Further, a voltage at which the luminance became 1 cd / m 2 was measured as a light emission starting voltage, and a 6 V current density was measured. Further, a life test was performed by continuously driving the fabricated device at a constant current of 10 mA / cm 2 , a half life until the luminance was reduced to half, and a change in driving voltage after the half life was measured. Table 1 shows the results and the work function.

【0060】[0060]

【表1】 [Table 1]

【0061】表1にみられるように、各実施例のもので
は陽極の仕事関数が酸処理によって0.5eV以上大き
くなっており、また各比較例のものよりも、発光開始電
圧が低く、輝度が高くなっており、さらに半減寿命が長
く、抵抗増大が小さいことが確認される。
As shown in Table 1, in each of the examples, the work function of the anode was increased by 0.5 eV or more by the acid treatment, and the light emission starting voltage and the luminance were lower than those of the comparative examples. , The half-life is long, and the increase in resistance is small.

【0062】また、実施例8及び比較例5の白色発光素
子については、寿命試験前後の100cd/m2での色
度座標を浜松ホトニクス社製「マルチチャンネルアナラ
イザーPMA−10」で測定した。結果を表2に示す
For the white light emitting devices of Example 8 and Comparative Example 5, the chromaticity coordinates at 100 cd / m 2 before and after the life test were measured with a “multi-channel analyzer PMA-10” manufactured by Hamamatsu Photonics. The results are shown in Table 2.

【0063】[0063]

【表2】 [Table 2]

【0064】表2にみられるように、実施例8のものは
比較例5のものよりも色度の安定性が高いことが確認さ
れる。
As can be seen from Table 2, it is confirmed that Example 8 has higher chromaticity stability than Comparative Example 5.

【0065】[0065]

【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に係る有
機エレクトロルミネッセンス素子は、陽極と陰極の間に
有機発光層を備えて形成される有機エレクトロルミネッ
センス素子において、陽極は酸処理によって仕事関数が
処理前よりも0.5eV以上大きくなっているので、陽
極からのホールの注入効率を高めることができ、素子駆
動電圧の低電圧化を可能にすることができるものであ
り、さらに連続駆動時の寿命特性や色度の安定性を改善
できると共に抵抗増大を極力抑えることができるもので
ある。
As described above, the organic electroluminescent device according to the first aspect of the present invention is an organic electroluminescent device formed by providing an organic light emitting layer between an anode and a cathode. Since the function is 0.5 eV or more larger than that before the processing, the efficiency of hole injection from the anode can be increased, and the device drive voltage can be reduced. It is possible to improve the life characteristics and the chromaticity stability at the time and suppress the increase in resistance as much as possible.

【0066】また本発明の請求項2に係る有機エレクト
ロルミネッセンス素子は、陽極と陰極の間に有機発光層
を備えて形成される有機エレクトロルミネッセンス素子
において、陽極は酸処理されていると共にその酸を保持
した状態の陽極に有機発光層及び陰極が積層されている
ので、陽極からのホールの注入効率を高めることがで
き、素子駆動電圧の低電圧化を可能にすることができる
ものであり、さらに連続駆動時の寿命特性や色度の安定
性を改善できると共に抵抗増大を極力抑えることができ
るものである。
The organic electroluminescent device according to claim 2 of the present invention is an organic electroluminescent device formed by providing an organic light emitting layer between an anode and a cathode. Since the organic light-emitting layer and the cathode are stacked on the held anode, the efficiency of hole injection from the anode can be increased, and the device drive voltage can be reduced. It is possible to improve the life characteristics and chromaticity stability during continuous driving and to suppress the increase in resistance as much as possible.

【0067】また請求項3の発明は、酸処理に用いる酸
は無機プロトン酸であることを特徴とするので、酸処理
によって陽極の仕事関数を大きくする効果を有効に得る
ことができるものである。
The invention according to claim 3 is characterized in that the acid used for the acid treatment is an inorganic protonic acid, so that the effect of increasing the work function of the anode can be effectively obtained by the acid treatment. .

【0068】また請求項4の発明は、酸処理に用いる酸
は有機酸であることを特徴とするので、酸処理によって
陽極の仕事関数を大きくする効果を有効に得ることがで
きるものである。
Further, the invention of claim 4 is characterized in that the acid used in the acid treatment is an organic acid, so that the effect of increasing the work function of the anode can be effectively obtained by the acid treatment.

【0069】また請求項5の発明は、酸処理に用いる酸
は高分子有機酸であり、陽極の表面に高分子有機酸が膜
状に保持されていることを特徴とするので、高分子有機
酸は膜を陽極の表面に形成して固定化することが容易で
あり、酸処理によって陽極の仕事関数を大きくする効果
を安定して得ることができるものである。
The invention of claim 5 is characterized in that the acid used for the acid treatment is a high molecular organic acid, and the high molecular organic acid is held in a film on the surface of the anode. Acid is easy to form and fix a film on the surface of the anode, and can stably obtain the effect of increasing the work function of the anode by the acid treatment.

【0070】また請求項6の発明は、高分子有機酸の膜
厚は1Å〜100Åであることを特徴とするので、高分
子有機酸によって陽極の仕事関数を大きくする効果を有
効に得ることができるものである。
Further, the invention of claim 6 is characterized in that the film thickness of the high molecular organic acid is 1 ° to 100 °, so that the effect of increasing the work function of the anode by the high molecular organic acid can be effectively obtained. You can do it.

【0071】また請求項7の発明は、酸処理に用いる酸
はpHが6以下であることを特徴とするので、酸処理に
よって陽極の仕事関数を大きくする効果を有効に得るこ
とができるものである。
The invention of claim 7 is characterized in that the acid used for the acid treatment has a pH of 6 or less, so that the effect of increasing the work function of the anode by the acid treatment can be effectively obtained. is there.

【0072】また請求項8の発明は、陽極の表面はシラ
ンカップリング剤で処理されていることを特徴とするの
で、シランカップリング剤によって陽極と有機発光層な
どの有機層との密着性を高めることができ、酸処理によ
って陽極の仕事関数を大きしたことによる効果を有効に
得ることができるものである。
The invention of claim 8 is characterized in that the surface of the anode is treated with a silane coupling agent, so that the silane coupling agent improves the adhesion between the anode and an organic layer such as an organic light emitting layer. The acid treatment can effectively increase the work function of the anode by the acid treatment.

【0073】本発明の請求項9に係る有機エレクトロル
ミネッセンス素子の製造方法は、陽極に有機発光素子を
積層して形成するにあたって、陽極を酸処理した後、陽
極の表面に酸を保持したまま有機発光層の形成を行なう
ようにしたので、洗浄による残留炭素などの汚れの問題
をなくして、陽極の仕事関数を0.5eV以上大きくす
ることができ、陽極からのホール注入効率を著しく向上
させることができるものであって、素子駆動電圧の低電
圧化を可能にすることができるものであり、さらに連続
駆動時の寿命特性や色度の安定性を改善できると共に抵
抗増大を極力抑えることができるものである。
According to a ninth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an organic electroluminescent device, when the organic light emitting device is laminated on the anode, the anode is subjected to an acid treatment, and then the organic light emitting device is kept on the surface of the anode while holding the acid. Since the light emitting layer is formed, the work function of the anode can be increased by 0.5 eV or more without the problem of contamination such as residual carbon due to cleaning, and the efficiency of hole injection from the anode can be significantly improved. It is possible to reduce the element drive voltage, and it is also possible to improve the life characteristics and chromaticity stability at the time of continuous driving and suppress the increase in resistance as much as possible. Things.

【0074】また請求項10発明は、酸処理する前に、
陽極をプラズマ処理するようにしたので、酸素プラズマ
処理によって陽極の表面が親水化して酸処理の親和性を
高め、強固に陽極の表面に酸を固定化することができ、
酸処理による陽極の仕事関数を大きくする効果を有効に
得ることができるものである。
Further, the invention according to claim 10 is that, before the acid treatment,
Since the anode is subjected to plasma treatment, the surface of the anode is made hydrophilic by oxygen plasma treatment to increase the affinity of the acid treatment, and the acid can be firmly immobilized on the anode surface,
The effect of increasing the work function of the anode by the acid treatment can be effectively obtained.

【0075】また請求項11の発明は、陽極を酸処理し
た後、1週間以内に有機発光層の形成を行なうようにし
たので、酸処理による陽極の仕事関数を大きくする効果
を有効に得ることができるものである。
According to the eleventh aspect of the present invention, since the organic light emitting layer is formed within one week after the acid treatment of the anode, the effect of increasing the work function of the anode by the acid treatment can be effectively obtained. Can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の一例の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an example of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態の他の一例の概略図であ
る。
FIG. 2 is a schematic diagram of another example of the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態のさらに一例の断面図であ
る。
FIG. 3 is a sectional view of still another example of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 陰極 2 電子輸送層 3 有機発光層 4 ホール輸送層 5 酸処理層 5b 高分子有機酸の薄膜 6 陽極 7 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cathode 2 Electron transport layer 3 Organic light emitting layer 4 Hole transport layer 5 Acid treatment layer 5b High molecular organic acid thin film 6 Anode 7 Substrate

フロントページの続き (72)発明者 城戸 淳二 奈良県北葛城郡広陵町馬見北9−4−3 (72)発明者 近藤 行廣 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 岸上 泰久 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 3K007 AB02 AB04 AB06 AB11 AB18 BB01 BB04 CA01 CB01 CB03 CC00 DA01 DB03 EB00 FA01Continued on the front page (72) Inventor Junji Kido 9-4-3, Mamikita, Koryo-cho, Kitakatsuragi-gun, Nara Prefecture (72) Inventor Yukihiro Kondo 1048 Odakadoma, Kazuma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works, Ltd. (72) Invention Person Yasuhisa Kishigami 1048 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Works, Ltd. (reference) 3K007 AB02 AB04 AB06 AB11 AB18 BB01 BB04 CA01 CB01 CB03 CC00 DA01 DB03 EB00 FA01

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 陽極と陰極の間に有機発光層を備えて形
成される有機エレクトロルミネッセンス素子において、
陽極は酸処理によって仕事関数が処理前よりも0.5e
V以上大きくなっているものであることを特徴とする有
機エレクトロルミネッセンス素子。
1. An organic electroluminescent device formed by providing an organic light emitting layer between an anode and a cathode,
The work function of the anode is 0.5e lower than that before treatment by acid treatment.
An organic electroluminescence device characterized in that it is larger than V.
【請求項2】 陽極と陰極の間に有機発光層を備えて形
成される有機エレクトロルミネッセンス素子において、
陽極は酸処理されていると共にその酸を保持した状態の
陽極に有機発光層及び陰極が積層されていることを特徴
とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
2. An organic electroluminescent device formed by providing an organic light emitting layer between an anode and a cathode,
An organic electroluminescent device, wherein an anode is subjected to an acid treatment and an organic light emitting layer and a cathode are laminated on the anode holding the acid.
【請求項3】 酸処理に用いる酸は無機プロトン酸であ
ることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレク
トロルミネッセンス素子。
3. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the acid used for the acid treatment is an inorganic protonic acid.
【請求項4】 酸処理に用いる酸は有機酸であることを
特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミ
ネッセンス素子。
4. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the acid used for the acid treatment is an organic acid.
【請求項5】 酸処理に用いる酸は高分子有機酸であ
り、陽極の表面に高分子有機酸が膜状に保持されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクト
ロルミネッセンス素子。
5. The organic electroluminescence according to claim 1, wherein the acid used for the acid treatment is a polymer organic acid, and the polymer organic acid is held in a film on the surface of the anode. element.
【請求項6】 高分子有機酸の膜厚は1Å〜100Åで
あることを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子。
6. The organic electroluminescent device according to claim 5, wherein the thickness of the high molecular weight organic acid is 1 ° to 100 °.
【請求項7】 酸処理に用いる酸はpHが6以下である
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の有
機エレクトロルミネッセンス素子。
7. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the acid used for the acid treatment has a pH of 6 or less.
【請求項8】 陽極の表面はシランカップリング剤で処
理されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれ
かに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
8. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the surface of the anode is treated with a silane coupling agent.
【請求項9】 陽極に有機発光層を積層し、この有機発
光層に陰極を積層して有機エレクトロルミネッセンス素
子を製造する方法において、陽極に有機発光素子を積層
して形成するにあたって、陽極を酸処理した後、陽極の
表面に酸を保持したまま有機発光層の形成を行なうこと
を特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造
方法。
9. A method for manufacturing an organic electroluminescent device by laminating an organic light emitting layer on an anode and laminating a cathode on the organic light emitting layer, the method comprising: A method for producing an organic electroluminescent device, comprising forming an organic light-emitting layer while holding an acid on the surface of an anode after the treatment.
【請求項10】 酸処理する前に、陽極をプラズマ処理
することを特徴とする請求項9に記載の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子の製造方法。
10. The method of claim 9, wherein the anode is subjected to a plasma treatment before the acid treatment.
【請求項11】 陽極を酸処理をした後、1週間以内に
有機発光層の形成を行なうことを特徴とする請求項9又
は10に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製
造方法。
11. The method for producing an organic electroluminescent device according to claim 9, wherein the organic light emitting layer is formed within one week after acid treatment of the anode.
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