JP2001319494A - Built-in self-test device for memory circuit - Google Patents

Built-in self-test device for memory circuit

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JP2001319494A
JP2001319494A JP2000137950A JP2000137950A JP2001319494A JP 2001319494 A JP2001319494 A JP 2001319494A JP 2000137950 A JP2000137950 A JP 2000137950A JP 2000137950 A JP2000137950 A JP 2000137950A JP 2001319494 A JP2001319494 A JP 2001319494A
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test
signal
circuit
timing
data
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Junya Tsuchida
淳也 土田
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Renesas Micro Systems Co Ltd
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Renesas Micro Systems Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a built-in self-test device for memory circuit which can test the timing specification such as setup time, hold-time, or the like prescribed for a memory to be tested by using plural timing signals having a prescribed phase difference. SOLUTION: The built-in self-test device 1 for memory circuit 23 is constituted of an address generator 5 for setting a test address, a data generator 6 for generating write-in test data, a sequence control circuit 2 for controlling these generators, and a comparator 7 for reading out written data and discriminating whether read-out data is correct or not, and, further, contains a PLL circuit 3 for generating plural timing signals having the prescribed phase difference, a timing signal selecting circuit 4 for selecting the prescribed timing from these timing signals, and an inverter 8a for inverting a signal 10 to be tested outputted from the sequence control circuit 2 with rise or fall timing of a control signal outputted from this circuit 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ回路用の組
込み自己試験装置に係わり、特に、所定の位相差を持つ
複数のタイミング信号を用いて、被試験メモリのタイミ
ングスペック試験を行うことを可能にしたメモリ回路用
の組込み自己試験装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a built-in self-test apparatus for a memory circuit, and more particularly, to a timing spec test of a memory under test using a plurality of timing signals having a predetermined phase difference. The present invention relates to a built-in self-test device for a memory circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】メモリ回路用の組込み自己試験装置は、
特に、一つ以上の組込みメモリを搭載する半導体集積装
置の試験容易化のために用いられている。従来、組込み
メモリを搭載するカスタムLSIなどにおいては、搭載
したメモリを外部から直接テストする手法が採られてい
た。近年、搭載するメモリブロック数、メモリブロック
端子数の増加が著しく、テストに要する外部端子数、テ
スト時間、テストパタン長増加などの問題が無視できな
くなってきている。このようなカスタムLSIではメモ
リ用組込み自己試験装置を搭載することにより、外部か
ら直接テストできないメモリのテストにおいて、高い故
障検出率を得ることができる。また、自己試験装置によ
り複数メモリの同時試験が可能となるため、テストパタ
ン長の削減、テスト時間の短縮が可能になる。自己試験
装置は少ないテスト信号により動作させることが可能で
あり、テストに必要なテスト端子数はメモリブロック数
およびメモリブロックの端子数に依存することなく、少
数で済ませることが出来る。
2. Description of the Related Art A built-in self-test apparatus for a memory circuit includes:
In particular, it is used for facilitating testing of a semiconductor integrated device having one or more embedded memories. Conventionally, in a custom LSI or the like equipped with an embedded memory, a method of directly testing the installed memory from the outside has been adopted. In recent years, the number of mounted memory blocks and the number of memory block terminals have increased remarkably, and problems such as the number of external terminals required for testing, test time, and increase in test pattern length cannot be ignored. By mounting a built-in memory self-test device in such a custom LSI, a high failure detection rate can be obtained in a memory test that cannot be directly tested from the outside. Further, since the self-test apparatus enables simultaneous testing of a plurality of memories, it is possible to reduce the test pattern length and the test time. The self-test device can be operated with a small number of test signals, and the number of test terminals required for the test can be reduced to a small number without depending on the number of memory blocks and the number of terminals of the memory blocks.

【0003】メモリ用のテストパタンとしては、マーチ
パタンが固定故障の全てを検出でき、しかも比較的パタ
ン長が短いことから、機能テスト用の標準パタンとして
よく用いられる。メモリ用自己試験装置においても、マ
ーチパタンを実行する自己試験装置は少ないハードウェ
ア量で実現できることから標準的に使用される。
As a test pattern for a memory, a march pattern can detect all fixed failures and has a relatively short pattern length, so that it is often used as a standard pattern for a function test. Also in the memory self-test apparatus, the self-test apparatus for executing the march pattern is used as a standard because it can be realized with a small amount of hardware.

【0004】このように、メモリ回路用の自己試験装置
は、一般的にメモリの機能試験のみを目的としており、
メモリブロックのインターフェース部分に規定されるセ
ットアップタイミングやホールドタイミングといったタ
イミングスペックと同等の条件で試験信号を発生させる
ことによりタイミングスペックの試験を行うことは考慮
されていない。
As described above, a self-test apparatus for a memory circuit is generally intended only for a function test of a memory.
No consideration is given to performing a test of a timing specification by generating a test signal under the same conditions as a timing specification such as a setup timing and a hold timing defined in an interface portion of a memory block.

【0005】しかしながら、近年、組込みメモリをその
実力の限界付近で高速に動作させることが増加してきて
おり、機能試験のみならず、製品出荷時に組込みメモリ
のセットアップタイミングやホールドタイミングといっ
たタイミングスペック試験を行うことが要求されてい
る。組込みメモリはCPUなどと共にカスタムLSIに
集積されて、CPUの記憶装置として使用されることが
多い。このような場合、組込みメモリが自身のタイミン
グスペックを満足するか否かに付いては、実際にCPU
と共に動作させて確認するか、組込みメモリ単体でタイ
ミングスペックの試験を行う必要がある。組込みメモリ
をCPUと共に動作させる場合には、実速度でCPUを
動作させる必要があり、テスト工程の煩雑化を招き、自
己試験装置を組込む利点が薄まる。そのため、自己試験
装置を使用し組込みメモリの機能試験のみならずタイミ
ングスペックに関しても試験を行うことが望まれてい
る。
However, in recent years, the speed at which embedded memories are operated at high speed near the limit of their ability has been increasing, and not only functional tests but also timing specification tests such as setup timing and hold timing of the embedded memories at the time of product shipment are performed. Is required. The embedded memory is often integrated with a CPU or the like in a custom LSI and used as a storage device of the CPU. In such a case, whether or not the embedded memory satisfies its own timing specification is actually determined by the CPU.
It is necessary to confirm the operation of the embedded memory and to perform a test of the timing specification with the embedded memory alone. When the built-in memory is operated together with the CPU, it is necessary to operate the CPU at the actual speed, which complicates the test process and diminishes the advantage of incorporating the self-test device. Therefore, it is desired to perform not only the function test of the built-in memory but also the timing specification using the self-test apparatus.

【0006】図11を用いて、従来技術について説明す
る。
The prior art will be described with reference to FIG.

【0007】図11は、自己試験装置1aとメモリ部2
2から構成されている。
FIG. 11 shows a self test apparatus 1a and a memory unit 2
2 is comprised.

【0008】メモリ部22は、クロック同期式メモリ2
3と、セレクタ24a〜24dとで構成される。メモリ
部22には、クロック27、アドレス26、入力データ
29、ライトイネーブル信号28等の通常入力信号束3
1に加えて、前記の各通常入力信号に見合ったテスト用
入力信号束30が入力される。
[0008] The memory unit 22 is a clock synchronous memory 2
3 and selectors 24a to 24d. A normal input signal bundle 3 such as a clock 27, an address 26, input data 29, a write enable signal 28, etc.
In addition to 1, a test input signal bundle 30 corresponding to each of the normal input signals is input.

【0009】テスト用入力信号束30は、テストアドレ
ス信号18、テストクロック19、テストライトイネー
ブル信号20およびテスト入力データ21である。テス
ト用入力信号束30は、同一機能の通常入力信号が接続
されるメモリ部内のセレクタに接続され、その出力はク
ロック同期式メモリ23へ接続される。即ち、テストア
ドレス18とアドレス26とは、セレクタ24aに接続
され、テストクロック19とクロック27とは、セレク
タ24bに接続され、テストライトイネーブル信号20
とライトイネーブル信号28とは、セレクタ24cに接
続され、テスト入力データ21と入力データ29とは、
セレクタ24dに接続される。セレクタ24a〜24d
の各出力は、クロック同期式メモリ23へ接続される。
セレクタ24a〜24dの選択動作は、メモリ部22に
外部から入力するTEST信号17により行なう。セレ
クタ24a〜24dは、TEST信号17の論理が
「1」の場合、テスト用入力信号束30を選択し、TE
ST信号17の論理が「0」の場合、通常入力信号束3
1を選択する。
The test input signal bundle 30 is a test address signal 18, a test clock 19, a test write enable signal 20, and test input data 21. The test input signal bundle 30 is connected to a selector in a memory unit to which a normal input signal of the same function is connected, and its output is connected to the clock synchronous memory 23. That is, the test address 18 and the address 26 are connected to the selector 24a, the test clock 19 and the clock 27 are connected to the selector 24b, and the test write enable signal 20
And write enable signal 28 are connected to selector 24c, and test input data 21 and input data 29 are
Connected to selector 24d. Selectors 24a to 24d
Are connected to a clock synchronous memory 23.
The selection operation of the selectors 24a to 24d is performed by the TEST signal 17 input to the memory unit 22 from the outside. When the logic of the TEST signal 17 is “1”, the selectors 24 a to 24 d select the test input signal bundle 30 and
When the logic of the ST signal 17 is “0”, the normal input signal bundle 3
Select 1.

【0010】TEST信号17が論理「0」になると、
自己試験装置1aは機能を停止し、セレクタ24a〜2
4dは通常信号束31を選択し、記載しないCPU等か
ら出力される通常信号束31により、メモリ部22が機
能する。TEST信号17が論理「1」になると、自己
試験装置1aは機能を開始し、セレクタ24a〜24d
はテスト信号束30を選択し、自己試験装置1aより供
給されるテスト信号束30によりメモリ部22が機能す
る。
When the TEST signal 17 becomes logic "0",
The self-test apparatus 1a stops functioning and the selectors 24a to 24a-2
4d selects the normal signal bundle 31, and the memory unit 22 functions by the normal signal bundle 31 output from a CPU or the like (not shown). When the TEST signal 17 becomes logic "1", the self-test apparatus 1a starts functioning and the selectors 24a to 24d
Selects the test signal bundle 30, and the memory unit 22 functions with the test signal bundle 30 supplied from the self-test apparatus 1a.

【0011】自己試験装置1aは、シーケンス制御回路
2、アドレス発生器5、データ発生器6、比較器7から
構成される。
The self test apparatus 1a comprises a sequence control circuit 2, an address generator 5, a data generator 6, and a comparator 7.

【0012】図11において、外部クロック16とTE
ST信号17とは、シーケンス制御回路2に接続され
る。TEST信号17が論理「0」になると、シーケン
ス制御回路2は機能を停止する。TEST信号17が論
理「1」になると、シーケンス制御回路2は、外部クロ
ック16に同期して機能する。
Referring to FIG. 11, an external clock 16 and TE
The ST signal 17 is connected to the sequence control circuit 2. When the TEST signal 17 becomes logic “0”, the sequence control circuit 2 stops functioning. When the TEST signal 17 becomes logic “1”, the sequence control circuit 2 functions in synchronization with the external clock 16.

【0013】シーケンス制御回路2が機能を開始する
と、外部クロック16に同期してテストクロック19を
出力する。テストクロック19は、メモリ部22のセレ
クタ24bを介しクロック同期式メモリ23へ供給され
る。また、シーケンス制御回路2が機能を開始すると、
外部クロック16に同期してテストライトイネーブル信
号20を出力する。テストライトイネーブル信号20
は、メモリ部22のセレクタ24cを介してクロック同
期式メモリ23へ供給される。更に、シーケンス制御回
路2が機能を開始すると、外部クロック16に同期して
アドレス制御信号41を出力する。
When the sequence control circuit 2 starts functioning, it outputs a test clock 19 in synchronization with the external clock 16. The test clock 19 is supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24b of the memory unit 22. When the sequence control circuit 2 starts functioning,
The test write enable signal 20 is output in synchronization with the external clock 16. Test write enable signal 20
Are supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24c of the memory unit 22. Further, when the sequence control circuit 2 starts functioning, it outputs an address control signal 41 in synchronization with the external clock 16.

【0014】アドレス制御信号41は、アドレス発生器
5へ供給される。更に、シーケンス制御回路2が機能を
開始すると、外部クロック16に同期してデータ制御信
号42を出力する。データ制御信号42は、データ発生
器6へ供給される。
The address control signal 41 is supplied to the address generator 5. Further, when the sequence control circuit 2 starts functioning, it outputs a data control signal 42 in synchronization with the external clock 16. The data control signal 42 is supplied to the data generator 6.

【0015】アドレス発生器5が、シーケンス制御回路
2よりアドレス制御信号が供給されると、アドレス制御
信号41のタイミングで、メモリ部22の構成に見合っ
た複数ビット幅のアドレスを発生し、テストアドレス信
号18を出力する。テストアドレス信号18は、メモリ
部22のセレクタ24aを介してクロック同期式メモリ
23へ供給される。
When an address control signal is supplied from the sequence control circuit 2, the address generator 5 generates an address having a plurality of bit widths corresponding to the configuration of the memory section 22 at the timing of the address control signal 41, and generates a test address. The signal 18 is output. The test address signal 18 is supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24a of the memory unit 22.

【0016】データ発生器6に、シーケンス制御回路2
よりデータ制御信号42が供給されると、データ発生器
6は、データ制御信号42のタイミングで、メモリ部2
2の構成に見合った複数ビット幅のテスト入力データを
出力する。テスト入力データ21は、メモリ部22のセ
レクタ24dを介してクロック同期式メモリ23へ供給
される。また、データ発生器6より発生する複数ビット
幅のデータは、期待値信号40として比較器7に供給す
る。
The data generator 6 includes a sequence control circuit 2
When the data control signal 42 is supplied, the data generator 6 operates the memory unit 2 at the timing of the data control signal 42.
2. Output test input data having a plurality of bits corresponding to the configuration of 2. The test input data 21 is supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24d of the memory unit 22. The data having a plurality of bit widths generated by the data generator 6 is supplied to the comparator 7 as an expected value signal 40.

【0017】比較器7は、メモリ部22より出力される
出力データとデータ発生器6より出力される期待値信号
40とを比較する。比較器7は、期待値データ40と出
力データとが一致した場合には論理「1」を、不一致の
場合には論理「0」を試験結果出力に出力する。
The comparator 7 compares the output data output from the memory unit 22 with the expected value signal 40 output from the data generator 6. The comparator 7 outputs a logic “1” to the test result output when the expected value data 40 matches the output data, and outputs a logic “0” to the test result output when they do not match.

【0018】図5を参照すると、比較器7は以下のよう
に構成されている。
Referring to FIG. 5, comparator 7 is configured as follows.

【0019】即ち、データのビット幅に応じた複数のE
XOR(Exclusive OR)ゲート32a〜3
2cとNORゲート33により構成される。
That is, a plurality of Es according to the data bit width
XOR (Exclusive OR) gates 32a-3
2c and a NOR gate 33.

【0020】EXORゲート32a〜32cには、期待
値信号40と出力データとが入力され、EXORゲート
32a〜32cの出力は、NORゲート33に入力され
る。NORゲート33の出力は、期待値信号40と出力
データとが一致する場合のみ論理「1」となり、不一致
の場合には論理「0」となる。
The expected value signal 40 and output data are input to the EXOR gates 32a to 32c, and the outputs of the EXOR gates 32a to 32c are input to the NOR gate 33. The output of the NOR gate 33 becomes logic "1" only when the expected value signal 40 matches the output data, and becomes logic "0" when they do not match.

【0021】TEST信号17が論理「0」の場合、メ
モリ部22のライト動作は、クロック27の立ち上りエ
ッジに同期して行われる。メモリ部22は、ライトイネ
ーブル信号28、アドレス26及び入力データ29をク
ロック27の立上りエッジでラッチし、ラッチしたアド
レスに入力データ29を書込む。また、メモリ部22の
リード動作は、クロック27の立ち上りエッジに同期し
て行われる。メモリ部22は、ライトイネーブル信号2
8、アドレス26をクロック27の立上りエッジでラッ
チし、ラッチしたアドレスに保持されているデータを出
力する。
When the TEST signal 17 is logic “0”, the write operation of the memory unit 22 is performed in synchronization with the rising edge of the clock 27. The memory unit 22 latches the write enable signal 28, the address 26, and the input data 29 at the rising edge of the clock 27, and writes the input data 29 to the latched address. The read operation of the memory unit 22 is performed in synchronization with the rising edge of the clock 27. The memory unit 22 has a write enable signal 2
8. Latch the address 26 at the rising edge of the clock 27 and output the data held at the latched address.

【0022】TEST信号17が論理「1」の場合、メ
モリ部22のライト動作は、テストクロック19の立ち
上りエッジに同期して行われる。メモリ部22は、テス
トライトイネーブル信号20、テストアドレス18及び
テスト入力データ21をテストクロック19の立上りエ
ッジでラッチし、テストアドレス18にテスト入力デー
タ21を書込む。また、メモリ部22のリード動作は、
テストクロック19の立ち上りエッジに同期して行われ
る。メモリ部22は、テストライトイネーブル信号2
0、テストアドレス18をテストクロック19の立上り
エッジでラッチし、テストアドレス18に保持されてい
るデータを出力する。
When the TEST signal 17 is logic “1”, the write operation of the memory unit 22 is performed in synchronization with the rising edge of the test clock 19. The memory unit 22 latches the test write enable signal 20, the test address 18, and the test input data 21 at the rising edge of the test clock 19, and writes the test input data 21 to the test address 18. The read operation of the memory unit 22 is performed as follows.
This is performed in synchronization with the rising edge of the test clock 19. The memory unit 22 includes a test write enable signal 2
0, the test address 18 is latched at the rising edge of the test clock 19, and the data held in the test address 18 is output.

【0023】図12を使用して、メモリ部22へライト
タイミング及びリードタイミングについて説明する。
The write timing and read timing for the memory section 22 will be described with reference to FIG.

【0024】図12の動作タイミング図において、tA
Sは、アドレス26またはテストアドレス18に要求さ
れるアドレスセットアップ期間、tAHは、アドレス2
6またはテストアドレス18に要求されるホールド期
間、tDSは、入力データ29またはテスト入力データ
21に要求されるセットアップ期間、tDHは、入力デ
ータ29またはテスト入力データ21に要求されるホー
ルド期間、tWSは、ライトイネーブル28またはテス
トライトイネーブル20に要求されるセットアップ期
間、tWHは、ライトイネーブル28またはテストライ
トイネーブル20に要求されるホールド期間を表わして
いる。tACCは、クロックの立ち上りエッジからのデ
ータアクセスタイムを示している。メモリ部22へのリ
ード動作及びライト動作時において、リードタイミング
とライトタイミングを満足するように行われなければ、
その動作は保証されない。
In the operation timing chart of FIG.
S is the address setup period required for the address 26 or the test address 18, and tAH is the address 2
6, or a hold period required for the test address 18, tDS is a setup period required for the input data 29 or the test input data 21, tDH is a hold period required for the input data 29 or the test input data 21, and tWS is a hold period required for the input data 29 or the test input data 21. , Write enable 28 or test write enable 20, and tWH represents a hold period required for write enable 28 or test write enable 20. tACC indicates a data access time from the rising edge of the clock. At the time of the read operation and the write operation to the memory unit 22, if it is not performed so as to satisfy the read timing and the write timing,
Its operation is not guaranteed.

【0025】次に、図12を用い、図11の動作につい
て説明する。
Next, the operation of FIG. 11 will be described with reference to FIG.

【0026】TEST信号17が論理「0」の期間、自
己試験装置は機能を停止し、メモリ部22のセレクタ2
4a〜24dは通常信号束31を選択する。TEST信
号17が論理「0」の期間は、メモリ部へのリード動作
及びライト動作は、通常信号束31を介して図示しない
CPU等から行う。TEST信号17が論理「1」にな
ると、自己試験装置1a内のシーケンス制御回路2が機
能を開始し、メモリ部22のセレクタ24a〜24d
は、テスト信号束30を選択する。
While the TEST signal 17 is at logic "0", the self test apparatus stops functioning and the selector 2 of the memory section 22
4a to 24d select the normal signal bundle 31. While the TEST signal 17 is at logic “0”, a read operation and a write operation to the memory unit are performed by a CPU (not shown) via the normal signal bundle 31. When the TEST signal 17 becomes logic "1", the sequence control circuit 2 in the self test apparatus 1a starts functioning, and the selectors 24a to 24d of the memory unit 22
Selects the test signal bundle 30.

【0027】図12は、TEST信号17が論理「1」
となった状態で、自己試験装置1aよりメモリ部22へ
のライト動作とリード動作、更にリード動作時に、期待
値データ40とメモリ部22より出力される出力データ
とを比較器7により比較した結果を出力する動作タイミ
ングの一例を示す図である。
FIG. 12 shows that the TEST signal 17 is a logical "1".
, The result of comparison between the expected value data 40 and the output data output from the memory unit 22 by the comparator 7 at the time of the write operation and the read operation from the self-test apparatus 1a to the memory unit 22 and the read operation. FIG. 9 is a diagram showing an example of an operation timing for outputting the "?"

【0028】図12のパタン1は、自己試験装置1aが
メモリ部22のアドレスA1に対しデータD1を書込む
タイミングを示す。パタン2は、パタン1において、自
己試験装置1aがメモリ部22へ書き込んだアドレスA
1からデータD1を読み出し、読み出した出力データと
期待値信号40とを比較した結果を出力するタイミング
を示している。
A pattern 1 in FIG. 12 shows a timing at which the self-test apparatus 1a writes data D1 to an address A1 of the memory unit 22. The pattern 2 is the address A written in the memory unit 22 by the self-test apparatus 1a in the pattern 1.
1 shows the timing at which data D1 is read from No. 1 and the result of comparing the read output data with the expected value signal 40 is output.

【0029】パタン1において、シーケンス制御回路2
は、外部クロック16と同一信号のテストクロック19
をメモリ部22へ供給する。
In pattern 1, sequence control circuit 2
Is a test clock 19 having the same signal as the external clock 16.
Is supplied to the memory unit 22.

【0030】パタン1の外部クロック16の立下りエッ
ジにおいて、シーケンス制御回路2は、テストライトイ
ネーブル信号20を論理「0」とし、次のテストクロッ
ク19の立上がりエッジにおけるメモリ部の動作をライ
ト動作に切替える。更に、パタン1の外部クロック16
の立下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、ア
ドレス制御信号41をアドレス発生器5に供給し、アド
レス発生器5においてアドレスA1を発生させ、テスト
アドレス18として出力する。更に、パタン1の外部ク
ロック16の立下りエッジにおいて、シーケンス制御回
路2は、データ制御信号42をデータ発生器6に供給
し、データ発生器6においてデータD1を発生させ、テ
スト入力データ21として出力する。
At the falling edge of the external clock 16 of the pattern 1, the sequence control circuit 2 sets the test write enable signal 20 to logic "0", and sets the operation of the memory unit at the next rising edge of the test clock 19 to the write operation. Switch. Further, the external clock 16 of pattern 1
The sequence control circuit 2 supplies the address control signal 41 to the address generator 5, generates the address A1 in the address generator 5, and outputs it as the test address 18. Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 1, the sequence control circuit 2 supplies the data control signal 42 to the data generator 6, and the data generator 6 generates the data D1 and outputs the data D1 as the test input data 21. I do.

【0031】パタン1のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1aはメモリ部22のアド
レスA1にデータD1を書き込む。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 1, the self test apparatus 1a writes the data D1 to the address A1 of the memory unit 22.

【0032】パタン2において、シーケンス制御回路2
は、外部クロック16と同一信号のテストクロック19
をメモリ部22へ供給する。
In pattern 2, the sequence control circuit 2
Is a test clock 19 having the same signal as the external clock 16.
Is supplied to the memory unit 22.

【0033】パタン2の外部クロック16の立下りエッ
ジにおいて、シーケンス制御回路2はテストライトイネ
ーブルを論理「1」とし、次のテストクロック19の立
上がりエッジにおけるメモリ部の動作をリード動作に切
替える。更に、パタン2の外部クロック16の立下りエ
ッジにおいて、シーケンス制御回路2は、アドレス制御
信号41をアドレス発生器5に供給し、アドレス発生器
5においてアドレスA1を発生させ、テストアドレス1
8へ出力する。更に、パタン2の外部クロック16の立
下りエッジにおいて、データ制御信号42をデータ発生
器6に供給し、データ発生器6においてデータD1を発
生させ、期待値信号40として出力する。
At the falling edge of the external clock 16 of the pattern 2, the sequence control circuit 2 sets the test write enable to logic "1", and switches the operation of the memory unit to the read operation at the next rising edge of the test clock 19. Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 2, the sequence control circuit 2 supplies the address control signal 41 to the address generator 5, and the address generator 5 generates the address A1, and the test address 1
8 is output. Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 2, a data control signal 42 is supplied to the data generator 6, the data generator 6 generates data D 1, and outputs it as an expected value signal 40.

【0034】パタン2のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1aは、メモリ部22のア
ドレスA1よりデータD1を読み出す。メモリ部22よ
り出力された出力データは、比較器7に入力され、比較
器7は期待値信号40と出力データとを比較し、比較結
果を試験結果出力として出力する。この時、期待値信号
と出力データとが一致していれば、試験結果出力はPA
SSを示す論理「1」となり、期待値信号と出力データ
とが不一致であれば、FAILを示す論理「0」とな
る。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 2, the self test apparatus 1a reads the data D1 from the address A1 of the memory unit 22. The output data output from the memory unit 22 is input to the comparator 7, which compares the expected value signal 40 with the output data, and outputs the comparison result as a test result output. At this time, if the expected value signal and the output data match, the test result output is PA
The logic becomes "1" indicating SS, and if the expected value signal and the output data do not match, the logic becomes "0" indicating FAIL.

【0035】[0035]

【発明が解決しようとする課題】外部クロックに同期し
て動作するため、自己試験装置1aより出力されるテス
ト信号束30は、シーケンス制御回路2の動作タイミン
グである外部クロック16の立上がりエッジもしくは立
下りエッジに同期したものとなる。その結果、メモリ部
22へ供給するテストクロック19に対するその他のテ
スト信号のセットアップ期間およびホールド期間は、外
部クロック19の半周期程度となる。このような構成で
メモリ部へ供給するテスト信号束30のタイミングを変
更するためには、外部クロック19の周波数を上げる
か、外部クロックのデューティー比を変更する必要があ
る。近年、メモリブロックの高性能化に伴い、タイミン
グスペックは数ナノ秒程度となっており、この条件と同
一のタイミングでメモリ部22へテスト信号を供給する
には、外部クロック周波数を数百MHzにする必要があ
る。また、外部クロックのデューティ比を変更するにし
ても、数ナノ秒のハイ幅もしくはロウ幅にする必要があ
る。通常、半導体デバイスを試験する場合にはLSIテ
スターを使用する。
Since the operation is performed in synchronization with the external clock, the test signal bundle 30 output from the self-test apparatus 1a has a rising edge or a rising edge of the external clock 16, which is the operation timing of the sequence control circuit 2. This is synchronized with the falling edge. As a result, the setup period and the hold period of the other test signals with respect to the test clock 19 supplied to the memory unit 22 are about half the period of the external clock 19. In order to change the timing of the test signal bundle 30 supplied to the memory unit in such a configuration, it is necessary to increase the frequency of the external clock 19 or change the duty ratio of the external clock. In recent years, as the performance of memory blocks has become higher, the timing specification has been on the order of several nanoseconds. To supply a test signal to the memory unit 22 at the same timing as this condition, the external clock frequency must be increased to several hundred MHz. There is a need to. Further, even if the duty ratio of the external clock is changed, it is necessary to set the high width or the low width to several nanoseconds. Usually, when testing a semiconductor device, an LSI tester is used.

【0036】高速なLSIテスターは高額であり、半導
体デバイスの試験に高速なLSIテスターを使用すれば
デバイスの単価に影響する。クロック信号のデューティ
ー比を変更する場合、LSIテスターでは複数のタイミ
ング発生系を使用してクロック信号に変調をかける。一
般的なLSIテスターではこのような複数のタイミング
発生系間のタイミングスキューは数ナノ秒程度であり、
クロック信号のデューティー比に数ナノ秒の精度を得る
ことは困難である。
A high-speed LSI tester is expensive. If a high-speed LSI tester is used for testing a semiconductor device, the unit price of the device is affected. When changing the duty ratio of the clock signal, the LSI tester modulates the clock signal using a plurality of timing generation systems. In a general LSI tester, the timing skew between such a plurality of timing generation systems is about several nanoseconds,
It is difficult to obtain an accuracy of several nanoseconds in the duty ratio of the clock signal.

【0037】また、高額なLSIテスターを使用するこ
とが可能となり、自己試験装置1aからメモリ部22へ
与えるテスト信号束31のセットアップタイミングまた
はホールドタイミングを所望のタイミングとすることが
出来たとしても、被測定信号のセットアップタイミン
グ、ホールドタイミングが所望のタイミングとなるの
は、被測定信号が変化するパタンのみである。このこと
は、自己試験装置がメモリ部へ与えるテストパタンに依
存してタイミングスペックの試験効率に違いが出るとい
うことである。すなわち、テスト時間の増加を招き、L
SIのテストコストが増大し、単価に影響する。
Further, even if an expensive LSI tester can be used and the setup timing or the hold timing of the test signal bundle 31 given from the self-test apparatus 1a to the memory unit 22 can be set to a desired timing, The setup timing and the hold timing of the signal under measurement become the desired timing only in the pattern in which the signal under measurement changes. This means that the test efficiency of the timing specification differs depending on the test pattern given to the memory unit by the self-test apparatus. That is, the test time increases, and L
The test cost of the SI increases, which affects the unit price.

【0038】メモリ部22に規定されるタイミングスペ
ックとしては、メモリ部22の出力データのデータアク
セスタイムといった出力信号の遅延時間を規定するもの
がある。
As the timing specifications defined in the memory unit 22, there is a timing specification that defines a delay time of an output signal such as a data access time of output data of the memory unit 22.

【0039】メモリ部22の出力データは比較器7に入
力されており、比較器7より出力される試験結果出力よ
り間接的に観測することは可能である。しかしながら、
試験結果出力を外部で観測する場合、比較器7における
ゲート遅延時間と、試験結果出力を外部へ出力するまで
の遅延時間が加算されてしまい、実際のデータアクセス
タイムよりも大きな遅延時間として観測されてしまう。
この場合、試験結果を外部へ出力するための遅延時間が
支配的となる。このため、余分に加算される遅延時間を
別途測定し、補正する必要があり、テスト工程の煩雑化
を招く。
The output data of the memory section 22 is input to the comparator 7, and can be indirectly observed from the test result output output from the comparator 7. However,
When the test result output is observed externally, the gate delay time in the comparator 7 and the delay time until the test result output is output to the outside are added, and the delay time is observed as a delay time larger than the actual data access time. Would.
In this case, the delay time for outputting the test result to the outside becomes dominant. For this reason, it is necessary to separately measure and correct the extra delay time to be added, which complicates the test process.

【0040】本発明の目的は、上記した点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、所定の位相
差を持つ複数のタイミング信号を用いて、被試験メモリ
に規定されるセットアップタイムやホールドタイム等の
タイミングスペックと同等の条件でテスト信号を与える
ことにより、高額なLSIテスターを使用することなく
被試験メモリのタイミングスペックを試験することが可
能となる新規なメモリ回路用の組込み自己試験装置を提
供するものである。
An object of the present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to use a plurality of timing signals having a predetermined phase difference to define a setup specified in a memory under test. By applying test signals under the same conditions as the timing specifications such as time and hold time, it is possible to test the timing specifications of the memory under test without using an expensive LSI tester. A self-test apparatus is provided.

【0041】[0041]

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention basically employs the following technical configuration to achieve the above object.

【0042】即ち、本発明に係わるメモリ回路用の組込
み自己試験装置の第1態様は、メモリ回路とこのメモリ
回路用の組込み自己試験装置とからなり、前記組込み自
己試験装置を、クロックとテスト開始信号を与えられて
制御信号を出力するシーケンス制御回路と、前記制御信
号を与えられてアドレス信号を発生し、前記メモリ回路
に出力するアドレス発生器と、前記制御信号を与えられ
てテストデータを発生し、前記メモリ回路に出力するデ
ータ発生器と、前記データ発生器が出力した前記テスト
データと、前記メモリ回路が前記テストデータを与えら
れて書き込んだ後読み出した出力データとを与えられて
比較し、前記テストデータと前記出力データとが相違す
るか否かの比較結果を出力する比較器とで構成したメモ
リ回路用の組込み自己試験装置において、所定の位相差
を有する複数のタイミング信号を生成するPLL回路
と、前記PLL回路の生成した複数のタイミング信号か
ら所定のタイミングを選択するタイミング信号選択回路
と、前記タイミング選択回路から出力された制御信号の
立ち上がり又は立ち下がりのタイミングで、前記メモリ
部へ与える被試験信号を反転させる反転器と、を設けた
ことを特徴とするものであり、叉、第2態様は、前記シ
ーケンス制御回路から出力される被試験信号は、前記メ
モリ回路の書込み・読出しを制御するライトイネーブル
信号であることを特徴とするものであり、叉、第3態様
は、前記反転器から出力される被試験信号は、前記メモ
リ回路のアドレスを指示するアドレス信号であることを
特徴とするものであり、叉、第4態様は、前記反転器か
ら出力される被試験信号は、前記メモリ回路の書き込み
データ信号であることを特徴とするものであり、叉、第
5態様は、前記反転器から出力される被試験信号は、前
記メモリ回路のライトイネーブル信号であることを特徴
とするものであり、叉、第6態様は、前記タイミング選
択回路から出力された第2の制御信号に基づき、前記メ
モリ回路から読み出した読出しデータをラッチするラッ
チを設けたことを特徴とするものであり、叉、第7態様
は、ものであり、叉、第8態様は、前記PLL回路は、
このPLL回路の電圧制御発振器の発振クロックと外部
クロックとの位相差を検出する位相比較回路と、前記位
相比較回路の検出した位相差に基づいて、前記電圧制御
発振器への入力電圧を制御するチャージポンプ回路と、
電流駆動能力が制御可能なN段の反転論理ゲートをリン
グ状に接続した電圧制御発振器とで構成し、前記反転論
理ゲートから前記反転器又はラッチ制御用の制御信号を
取り出したことを特徴とするものである。
That is, a first embodiment of the built-in self-test device for a memory circuit according to the present invention comprises a memory circuit and a built-in self-test device for the memory circuit. A sequence control circuit receiving a control signal and outputting a control signal; an address generator receiving the control signal to generate an address signal and outputting the address signal to the memory circuit; and generating a test data by receiving the control signal. Then, the data generator that outputs to the memory circuit, the test data that is output by the data generator, and the output data that is read after the memory circuit is provided with the test data after being supplied with the test data are provided and compared. And a comparator for outputting a comparison result as to whether or not the test data is different from the output data. In the self-test apparatus, a PLL circuit that generates a plurality of timing signals having a predetermined phase difference, a timing signal selection circuit that selects a predetermined timing from the plurality of timing signals generated by the PLL circuit, An inverter for inverting a signal under test supplied to the memory unit at a rising or falling timing of the output control signal. The signal under test output from the control circuit is a write enable signal for controlling writing / reading of the memory circuit, and a third mode is a signal under test output from the inverter. The test signal is an address signal designating an address of the memory circuit. The signal under test output from the inverter is a write data signal for the memory circuit, and the fifth aspect is that the signal under test output from the inverter is A sixth aspect is a write enable signal for the memory circuit, and a sixth aspect is a method for reading read data read from the memory circuit based on a second control signal output from the timing selection circuit. A latch for latching is provided. A seventh aspect is the present invention, and an eighth aspect is that the PLL circuit comprises:
A phase comparator for detecting a phase difference between an oscillation clock of a voltage controlled oscillator of the PLL circuit and an external clock; and a charge for controlling an input voltage to the voltage controlled oscillator based on the phase difference detected by the phase comparator. A pump circuit;
A voltage-controlled oscillator in which N stages of inverting logic gates whose current drive capability can be controlled is connected in a ring shape, and a control signal for controlling the inverter or the latch is extracted from the inverting logic gate. Things.

【0043】[0043]

【発明の実施の形態】本発明に係わるメモリ回路用の組
込み自己試験装置は、メモリ回路とこのメモリ回路用の
組込み自己試験装置とからなり、前記組込み自己試験装
置を、前記メモリ回路のテストアドレスを設定するため
のアドレス発生器と、前記メモリ回路にデータを書き込
む為のテストデータを生成せしめるデータ発生器と、前
記メモリ回路に書き込んだデータを読み出し、読み出し
たデータが正しいデータであるか否かを比較する比較器
と、前記アドレス発生器と前記データ発生器とを制御す
るシーケンス制御回路とで構成したメモリ回路用の組込
み自己試験装置において、所定の位相差を有する複数の
タイミング信号を生成するPLL回路と、前記PLL回
路の生成した複数のタイミング信号から所定のタイミン
グを選択するタイミング信号選択回路と、前記タイミン
グ選択回路から出力された制御信号の立ち上がり又は立
ち下がりのタイミングで、前記シーケンス制御回路から
出力される被試験信号を反転させる反転器とを設けたこ
とを特徴とするものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A built-in self-test device for a memory circuit according to the present invention comprises a memory circuit and a built-in self-test device for the memory circuit. An address generator for setting the data, a data generator for generating test data for writing data to the memory circuit, and reading the data written to the memory circuit to determine whether the read data is correct data And a plurality of timing signals having a predetermined phase difference are generated in a built-in self-test device for a memory circuit including a comparator for comparing the address generator and a sequence control circuit for controlling the address generator and the data generator. A PLL circuit and a timer for selecting a predetermined timing from a plurality of timing signals generated by the PLL circuit; A switching signal selecting circuit, and an inverter for inverting a signal under test output from the sequence control circuit at a rising or falling timing of a control signal output from the timing selecting circuit. Things.

【0044】従って、自己試験装置に供給する外部クロ
ックとは異なる複数のタイミングのテスト信号を出力す
ることが可能となり、被試験回路であるメモリ回路に対
して供給するテスト信号のセットアップ期間、ホールド
期間を任意に設定して試験することが可能となるのであ
る。
Therefore, it is possible to output a test signal at a plurality of timings different from the external clock supplied to the self-test apparatus, and to set up and hold the test signal supplied to the memory circuit as the circuit under test. Arbitrarily can be set for testing.

【0045】[0045]

【実施例】以下に、本発明に係わるメモリ回路用の組込
み自己試験装置の具体例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A specific example of a built-in self-test apparatus for a memory circuit according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0046】(第1の具体例)図1〜図7は、本発明に
係わるメモリ回路用の組込み自己試験装置の第1の具体
例を示す図であって、本発明は、メモリ回路23とこの
メモリ回路23用の組込み自己試験装置1とからなり、
前記組込み自己試験装置1を、前記メモリ回路23のテ
ストアドレスを設定するためのアドレス発生器5と、前
記メモリ回路23にデータを書き込む為のテストデータ
を生成せしめるデータ発生器6と、前記メモリ回路23
に書き込んだデータを読み出し、読み出したデータが正
しいデータであるか否かを比較する比較器7と、前記ア
ドレス発生器5と前記データ発生器6とを制御するシー
ケンス制御部2とで構成したメモリ回路用の組込み自己
試験装置において、所定の位相差を有する複数のタイミ
ング信号を生成するPLL回路3と、前記PLL回路3
の生成した複数のタイミング信号から所定のタイミング
を選択するタイミング信号選択回路4と、前記タイミン
グ選択回路4から出力された制御信号の立ち上がり又は
立ち下がりのタイミングで、前記シーケンス制御回路2
から出力される被試験信号(この具体例の場合、テスト
アドレス10)を反転させる反転器8aと、を含むこと
を特徴とするものである。
(First Specific Example) FIGS. 1 to 7 show a first specific example of a built-in self-test apparatus for a memory circuit according to the present invention. The built-in self-test device 1 for the memory circuit 23,
An address generator 5 for setting a test address of the memory circuit 23; a data generator 6 for generating test data for writing data to the memory circuit 23; 23
And a sequence controller 2 for controlling the address generator 5 and the data generator 6 for comparing the read data with the correct data. In a built-in self-test device for a circuit, a PLL circuit 3 for generating a plurality of timing signals having a predetermined phase difference;
A timing signal selection circuit 4 for selecting a predetermined timing from the plurality of timing signals generated by the timing control circuit 4 and the sequence control circuit 2 at the rising or falling timing of the control signal output from the timing selection circuit 4.
And an inverter 8a for inverting the signal under test (the test address 10 in this specific example) outputted from.

【0047】更に、図には、前記反転器8aが、排他的
論理和回路で構成したことを特徴とするメモリ回路用の
組込み自己試験装置が示されている。
Further, the figure shows a built-in self-test device for a memory circuit, wherein the inverter 8a is constituted by an exclusive OR circuit.

【0048】更に、図には、前記PLL回路3は、外部
クロック16と内部クロックφNとの位相差を検出する
位相比較回路34と、前記位相比較回路34の検出した
位相差に基づいて、電圧制御発振器36への入力電圧を
制御するチャージポンプ回路35と、電流駆動能力が制
御可能なN段の反転論理ゲート37a〜37nをリング
状に接続した電圧制御発振器36とで構成し、前記反転
論理ゲート37a〜37nから前記反転器8a制御用の
制御信号を取り出したしたことを特徴とするメモリ回路
用の組込み自己試験装置が示されている。
Further, in the figure, the PLL circuit 3 includes a phase comparison circuit 34 for detecting a phase difference between the external clock 16 and the internal clock φN, and a voltage based on the phase difference detected by the phase comparison circuit 34. A charge pump circuit 35 for controlling an input voltage to the control oscillator 36; and a voltage control oscillator 36 in which N stages of inverting logic gates 37a to 37n capable of controlling current driving capability are connected in a ring shape. There is shown a built-in self-test device for a memory circuit, wherein control signals for controlling the inverter 8a are extracted from gates 37a to 37n.

【0049】以下に、第1の具体例を更に詳細に説明す
る。
Hereinafter, the first specific example will be described in more detail.

【0050】図1において、1はメモリ用組込み自己試
験装置、2はメモリ部22である。図1の組込み自己試
験装置1は、シーケンス制御回路2、アドレス発生器
5、データ発生器6、比較器7、PLL回路3、タイミ
ング選択回路4、反転器8aから構成される。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a built-in self-test device for memory, and 2 denotes a memory unit 22. 1 includes a sequence control circuit 2, an address generator 5, a data generator 6, a comparator 7, a PLL circuit 3, a timing selection circuit 4, and an inverter 8a.

【0051】図1において、外部クロック16は、PL
L回路3に入力される。PLL回路3は、外部クロック
16に同期した位相の異なる複数の信号φ0〜φNを発
生する。PLL回路3より出力される位相の異なる複数
のタイミング信号φ0〜φNは、タイミング選択回路4
に入力される。タイミング選択回路4は、外部より入力
されるタイミング選択信号15に基づき、PLL回路3
より出力される複数のタイミング信号φ0〜φNから任
意のタイミング信号を選択して出力する。タイミング選
択回路4の出力は、反転器8aの反転制御信号として供
給される。また、タイミング選択回路4は、PLL回路
3より出力される位相の異なる複数のタイミング信号か
ら一つの信号φPをシーケンス制御回路2のシーケンス
制御クロックφPとして供給する。
In FIG. 1, the external clock 16 is
Input to the L circuit 3. The PLL circuit 3 generates a plurality of signals φ0 to φN having different phases synchronized with the external clock 16. The plurality of timing signals φ0 to φN having different phases output from the PLL circuit 3
Is input to The timing selection circuit 4 receives a PLL signal from the PLL circuit 3 based on a timing selection signal 15 input from the outside.
An arbitrary timing signal is selected and output from a plurality of timing signals φ0 to φN output therefrom. The output of the timing selection circuit 4 is supplied as an inversion control signal of the inverter 8a. Further, the timing selection circuit 4 supplies one signal φP from the plurality of timing signals having different phases output from the PLL circuit 3 as a sequence control clock φP of the sequence control circuit 2.

【0052】シーケンス制御回路2が、TEST信号1
7により機能を開始すると、シーケンス制御クロックφ
Pに同期してテストクロック19を出力する。テストク
ロック19は、メモリ部22のセレクタ24bを介して
同期式メモリ23へ供給される。また、シーケンス制御
回路2が機能を開始すると、シーケンス制御クロックφ
Pに同期してテストライトイネーブル信号20を出力す
る。テストライトイネーブル信号20は、メモリ部22
のセレクタ24cを介してクロック同期式メモリ23へ
供給される。更に、シーケンス制御回路2が機能を開始
すると、シーケンス制御クロックφPに同期して、アド
レス制御信号41を出力する。アドレス制御信号41は
アドレス発生器5へ供給される。更に、シーケンス制御
回路2が機能を開始すると、シーケンス制御クロックφ
Pに同期してデータ制御信号42を出力する。データ制
御信号42はデータ発生器6へ供給される。
The sequence control circuit 2 outputs the TEST signal 1
7 starts the sequence control clock φ
The test clock 19 is output in synchronization with P. The test clock 19 is supplied to the synchronous memory 23 via the selector 24b of the memory unit 22. When the sequence control circuit 2 starts functioning, the sequence control clock φ
The test write enable signal 20 is output in synchronization with P. The test write enable signal 20 is transmitted to the memory unit 22
Is supplied to the clock synchronous memory 23 through the selector 24c. Further, when the sequence control circuit 2 starts functioning, it outputs an address control signal 41 in synchronization with the sequence control clock φP. The address control signal 41 is supplied to the address generator 5. Further, when the sequence control circuit 2 starts functioning, the sequence control clock φ
The data control signal 42 is output in synchronization with P. The data control signal 42 is supplied to the data generator 6.

【0053】アドレス発生器5に、シーケンス制御回路
2からアドレス制御信号41が供給されると、アドレス
制御信号41に応じ、メモリ部22の構成に見合った複
数ビット幅のアドレスを発生し、反転器8aへ供給す
る。
When an address control signal 41 is supplied from the sequence control circuit 2 to the address generator 5, an address having a plurality of bit widths corresponding to the configuration of the memory section 22 is generated in accordance with the address control signal 41, and 8a.

【0054】反転器8aは、タイミング選択回路4の出
力を受け、アドレス発生器5より入力される信号を反転
操作し、テストアドレス18として出力する。具体的に
は、反転制御信号の論理「0」の期間は、反転器8aの
入力信号の反転論理を出力し、反転制御信号の論理が
「1」の期間は、反転器8aの入力信号をそのまま出力
する。反転器8aより出力するテストアドレス18は、
メモリ部22のセレクタ24aを介してクロック同期式
メモリ23へ供給される。
The inverter 8 a receives the output of the timing selection circuit 4, inverts the signal input from the address generator 5, and outputs the result as a test address 18. Specifically, during the period when the logic of the inversion control signal is “0”, the inversion logic of the input signal of the inverter 8a is output, and when the logic of the inversion control signal is “1”, the input signal of the inverter 8a is output. Output as is. The test address 18 output from the inverter 8a is
The data is supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24a of the memory unit 22.

【0055】データ発生器6に、シーケンス制御回路2
よりデータ制御信号42が供給されると、データ制御信
号42に応じ、メモリ部22の構成に見合った複数ビッ
ト幅のデータを発生し、テスト入力データ21を出力す
る。テスト入力データ21は、メモリ部22のセレクタ
24dを介してクロック同期式メモリ23へ供給され
る。また、データ発生器6より発生する複数ビット幅の
データが、期待値信号40として比較器7に供給され
る。
The data generator 6 includes the sequence control circuit 2
When the data control signal 42 is supplied, data having a plurality of bit widths corresponding to the configuration of the memory unit 22 is generated according to the data control signal 42, and the test input data 21 is output. The test input data 21 is supplied to the clock synchronous memory 23 via the selector 24d of the memory unit 22. Further, data having a plurality of bit widths generated by the data generator 6 is supplied to the comparator 7 as an expected value signal 40.

【0056】比較器7は、メモリ部22より出力される
出力データとデータ発生器6より接続される期待値信号
40とを比較する。比較器7は期待値データ40と出力
データが一致した場合には論理「1」を、不一致の場合
には論理「0」を試験結果出力に出力する。
The comparator 7 compares the output data output from the memory unit 22 with the expected value signal 40 connected from the data generator 6. The comparator 7 outputs a logic “1” to the test result output when the expected value data 40 and the output data match, and outputs a logic “0” to the test result output when they do not match.

【0057】図2を参照すると、PLL回路3は以下の
ように構成されている。
Referring to FIG. 2, PLL circuit 3 is configured as follows.

【0058】即ち、位相比較回路34とチャージポンプ
回路35と電圧制御発振回路36とから構成される。外
部クロック16は位相比較回路34に入力され、位相比
較回路34で外部クロック16と内部クロックφNの位
相差を検出し、位相差に応じてチャージポンプ回路35
を駆動して電圧制御発振回路36への入力電圧を制御す
る。電圧制御発振回路36は、電圧により電流駆動能力
が制御可能な多段の反転論理ゲート37a〜37nがリ
ング上に接続されている。この電圧制御発振回路36の
各段より取り出される信号φ0〜φNの周波数は、外部
クロック16の周波数とほぼ同一になる。各段の遅延時
間は、外部クロックの周波数と反転論理ゲートの段数で
決まり、外部クロック16の1周期を反転論理ゲートの
段数で割ったものと等しくなる。
That is, it comprises a phase comparison circuit 34, a charge pump circuit 35, and a voltage controlled oscillation circuit 36. The external clock 16 is input to a phase comparison circuit 34. The phase comparison circuit 34 detects a phase difference between the external clock 16 and the internal clock φN.
To control the input voltage to the voltage controlled oscillation circuit 36. The voltage-controlled oscillation circuit 36 has multi-stage inverted logic gates 37a to 37n whose current drive capability can be controlled by a voltage connected to a ring. The frequencies of the signals φ0 to φN extracted from each stage of the voltage controlled oscillation circuit 36 are substantially the same as the frequency of the external clock 16. The delay time of each stage is determined by the frequency of the external clock and the number of inverted logic gate stages, and is equal to one cycle of the external clock 16 divided by the number of inverted logic gate stages.

【0059】図3を参照すると、PLL回路3のタイミ
ング図が示されている。φ0〜φNは電圧制御発振回路
の各段より出力される信号で、特に、信号φPは、信号
φ0より外部クロック16と位相がほぼ180度ずれた
信号である。信号φNは外部クロック16と同一のタイ
ミングで変化する。
Referring to FIG. 3, a timing chart of the PLL circuit 3 is shown. φ0 to φN are signals output from each stage of the voltage controlled oscillation circuit. In particular, the signal φP is a signal whose phase is shifted from the external clock 16 by almost 180 degrees from the signal φ0. The signal φN changes at the same timing as the external clock 16.

【0060】次に、タイミング選択回路4は図4のよう
に構成されている。
Next, the timing selection circuit 4 is configured as shown in FIG.

【0061】即ち、PLL回路3より出力される信号φ
0〜φNの複数のタイミング信号を入力する複数の3ス
テートバッファ5a〜5cと、タイミング選択信号15
を入力し、複数の3ステートバッファ5a〜5cから一
つの3ステートバッファの選択信号をアクティブにする
デコーダ回路4aにより構成されている。
That is, the signal φ output from the PLL circuit 3
A plurality of 3-state buffers 5a to 5c for inputting a plurality of timing signals 0 to φN;
And a decoder circuit 4a for activating a selection signal of one three-state buffer from a plurality of three-state buffers 5a to 5c.

【0062】又、反転器8aは、図6のように構成され
ている。即ち、複数ビット幅の入力信号を反転させるた
めの複数のEXNOR(Exclusive NOR)
ゲート8aa〜8acにより構成され、EXNORゲー
トの入力には、タイミング選択回路4からの反転制御信
号とアドレス発生器5からのアドレス信号10が入力さ
れるように構成されている。EXNORゲートは、反転
制御信号の論理が「1」の場合は、入力信号をそのまま
出力し、反転制御信号が「0」の場合は、入力信号の反
転論理を出力する。
The inverter 8a is configured as shown in FIG. That is, a plurality of EXNORs (Exclusive NOR) for inverting an input signal having a plurality of bit widths.
The gates 8aa to 8ac are configured such that an inversion control signal from the timing selection circuit 4 and an address signal 10 from the address generator 5 are input to the inputs of the EXNOR gate. The EXNOR gate outputs the input signal as it is when the logic of the inverted control signal is “1”, and outputs the inverted logic of the input signal when the inverted control signal is “0”.

【0063】次に、第1の具体例の動作について図7を
参照して説明する。
Next, the operation of the first specific example will be described with reference to FIG.

【0064】図7は、メモリ部22に要求されるアドレ
スセットアップ期間tASが電圧制御発振回路36の反
転論理ゲート1段分の遅延時間に相当するものとし、自
己試験装置1がメモリ部22へ供給するテストクロック
19の立ち上りエッジよりも反転論理ゲート1段分早い
タイミングで、テストアドレス18を出力し、アドレス
セットアップ期間tASの試験を行う場合のタイミング
である。
FIG. 7 shows that the address setup period tAS required for the memory unit 22 corresponds to a delay time of one stage of the inverted logic gate of the voltage controlled oscillation circuit 36, and the self test apparatus 1 supplies the memory unit 22 with the address setup period tAS. This is a timing when the test address 18 is output at a timing earlier than the rising edge of the test clock 19 by one stage of the inverted logic gate and the test of the address setup period tAS is performed.

【0065】図7においては、シーケンス制御回路2に
は、シーケンス制御クロックとして信号φPが供給さ
れ、反転器8aの反転制御信号として、タイミング選択
信号15の入力により信号φPよりも反転論理ゲート1
段分早いタイミングの信号φNが供給された例のタイミ
ング図を示している。
In FIG. 7, a signal .phi.P is supplied to the sequence control circuit 2 as a sequence control clock, and as an inversion control signal of the inverter 8a, the inverted logic gate 1 is inverted from the signal .phi.P by the input of the timing selection signal 15.
FIG. 9 shows a timing chart of an example in which the signal φN at a timing earlier by the stage is supplied.

【0066】図7のパタン1は、自己試験装置1がメモ
リ部22のアドレスA1に対しデータD1を書込むタイ
ミングを示す。パタン2は、パタン1において、自己試
験装置1がメモリ部22へ書き込んだアドレスA1から
データD1を読み出し、期待値信号40と比較した結果
を出力するタイミングを示す。
A pattern 1 in FIG. 7 shows a timing at which the self-test apparatus 1 writes data D1 to the address A1 of the memory unit 22. The pattern 2 indicates the timing at which the self test apparatus 1 reads the data D1 from the address A1 written to the memory unit 22 in the pattern 1 and outputs the result of comparison with the expected value signal 40.

【0067】パタン1において、シーケンス制御回路2
はシーケンス制御クロックφPと同一信号のテストクロ
ック19をメモリ部22へ供給する。
In pattern 1, sequence control circuit 2
Supplies a test clock 19 of the same signal as the sequence control clock φP to the memory unit 22.

【0068】パタン1のシーケンス制御クロックφPの
立下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、テス
トライトイネーブル信号20を論理「0」とし、次のテ
ストクロック19の立上がりエッジにおけるメモリ部2
2の動作をライト動作に切替える。更に、パタン1の外
部クロック16の立下りエッジにおいて、シーケンス制
御回路2は、アドレス制御信号41をアドレス発生器5
に供給し、アドレス発生器5においてアドレスA1を発
生させ、反転器8aに供給する。反転器8aは反転制御
信号φNの論理「1」の期間は、アドレスA1をそのま
ま出力し、反転制御信号φNの論理「0」の期間は、ア
ドレスA1の論理を反転させてメモリ部22へ出力す
る。更に、パタン1のシーケンス制御クロックφPの立
下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、データ
制御信号42をデータ発生器6に供給し、データ発生器
6においてデータD1を発生させる。データ発生器6
は、テスト入力データ21としてデータD1を出力す
る。
At the falling edge of sequence control clock φP of pattern 1, sequence control circuit 2 sets test write enable signal 20 to logic “0” and sets memory unit 2 at the next rising edge of test clock 19.
2 is switched to a write operation. Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 1, the sequence control circuit 2 sends the address control signal 41 to the address generator 5
The address A5 is generated by the address generator 5 and supplied to the inverter 8a. The inverter 8a outputs the address A1 as it is during the logic “1” of the inversion control signal φN, and inverts the logic of the address A1 and outputs it to the memory unit 22 during the logic “0” of the inversion control signal φN. I do. Further, at the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 1, the sequence control circuit 2 supplies the data control signal 42 to the data generator 6, and the data generator 6 generates data D1. Data generator 6
Outputs data D1 as test input data 21.

【0069】パタン1のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1は、メモリ部22のアド
レスA1にデータD1を書き込む。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 1, the self test apparatus 1 writes the data D1 to the address A1 of the memory unit 22.

【0070】パタン1において、反転制御信号の立上り
エッジからテストクロック19の立上りエッジの期間
が、アドレスセットアップ期間になる。テストクロック
19はPLL回路3より出力される信号φPと等しく、
反転制御信号は、信号φNと等しい。したがって、パタ
ン1のアドレスセットアップ期間は、反転論理ゲート1
段分となり、メモリ部22が要求するアドレスセットア
ップ期間tASと等しい。一方、テストクロック19の
立上りエッジから反転制御信号φNの立ち下がりエッジ
の期間がアドレスホールド期間となる。この時、パタン
1のライト動作時に、メモリ部22が要求するテストア
ドレス18のセットアップ期間およびホールド期間を満
足しない場合には、パタン1において不正なアドレスに
テスト入力データD1が書込まれる。
In pattern 1, the period from the rising edge of the inversion control signal to the rising edge of test clock 19 is the address setup period. Test clock 19 is equal to signal φP output from PLL circuit 3,
The inversion control signal is equal to the signal φN. Therefore, during the address setup period of pattern 1, the inverted logic gate 1
The number of stages is equal to the address setup period tAS requested by the memory unit 22. On the other hand, a period from the rising edge of the test clock 19 to the falling edge of the inversion control signal φN is an address hold period. At this time, if the setup period and the hold period of the test address 18 required by the memory unit 22 are not satisfied during the write operation of the pattern 1, the test input data D1 is written to the incorrect address in the pattern 1.

【0071】パタン2においても、シーケンス制御回路
2は、シーケンス制御クロックφPと同一信号のテスト
クロック19をメモリ部22へ供給する。
Also in the pattern 2, the sequence control circuit 2 supplies a test clock 19 of the same signal as the sequence control clock φP to the memory unit 22.

【0072】パタン2のシーケンス制御クロックφPの
立下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2はテスト
ライトイネーブル信号20を論理「1」とし、次のテス
トクロック19の立上がりエッジにおけるメモリ部22
の動作をリード動作に切替える。更に、パタン2のシー
ケンス制御クロックφPの立下りエッジにおいて、シー
ケンス制御回路2は、アドレス制御信号41をアドレス
発生器5に供給し、アドレス発生器5においてアドレス
A1を発生させ、反転器8aに供給する。反転器8a
は、反転制御信号φNの論理「1」の期間はアドレスA
1をそのまま出力し、反転制御信号φNの論理「0」の
期間はアドレスA1の論理を反転させてメモリ部22へ
出力する。更に、パタン2のシーケンス制御クロックφ
Pの立下りエッジにおいて、データ制御信号42をデー
タ発生器6に供給し、又、データ発生器6においてデー
タD1を発生させ、期待値信号40として出力する。
At the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 2, the sequence control circuit 2 sets the test write enable signal 20 to logic “1”, and the memory unit 22 at the next rising edge of the test clock 19
Is switched to the read operation. Further, at the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 2, the sequence control circuit 2 supplies the address control signal 41 to the address generator 5, generates the address A1 in the address generator 5, and supplies it to the inverter 8a. I do. Inverter 8a
Means that during the period of the logic “1” of the inversion control signal φN, the address A
1 is output as it is, and during the period of the logic “0” of the inversion control signal φN, the logic of the address A1 is inverted and output to the memory unit 22. Further, the sequence control clock φ of pattern 2
At the falling edge of P, a data control signal 42 is supplied to the data generator 6, and the data generator 6 generates data D1 and outputs it as an expected value signal 40.

【0073】パタン2のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1は、メモリ部22のアド
レスA1よりデータD1を読み出す。メモリ部22より
出力された出力データは、比較器7に入力され、比較器
7は期待値信号40と出力データとを比較し、比較結果
を試験結果出力として出力する。この時、期待値信号4
0と出力データとが一致していれば、試験結果出力はP
ASSを示す論理「1」となり、期待値信号40と出力
データとが不一致であれば、FAILを示す論理「0」
となる。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 2, the self-test apparatus 1 reads the data D1 from the address A1 of the memory unit 22. The output data output from the memory unit 22 is input to the comparator 7, which compares the expected value signal 40 with the output data, and outputs the comparison result as a test result output. At this time, the expected value signal 4
If 0 and the output data match, the test result output is P
The logic becomes "1" indicating ASS, and if the expected value signal 40 does not match the output data, the logic "0" indicates FAIL.
Becomes

【0074】パタン2において、反転制御信号の立上り
エッジからテストクロック19の立上りエッジの期間が
アドレスセットアップ期間になる。テストクロック19
は、PLL回路3より出力される信号φPと等しく、反
転制御信号は信号φNと等しい。したがって、パタン2
のアドレスセットアップ期間は、反転論理ゲート1段分
となり、メモリ部22が要求するアドレスセットアップ
期間tASと等しい。一方、テストクロック19の立上
りエッジから反転制御信号φNの立ち下がりエッジの期
間がアドレスホールド期間となる。パタン2のリード動
作時に、メモリ部22が要求するテストアドレス18の
セットアップ期間とホールド期間とを満足しない場合に
は、パタン2において不正なアドレスより読み出しが行
われる。
In pattern 2, the period from the rising edge of the inversion control signal to the rising edge of test clock 19 is the address setup period. Test clock 19
Is equal to the signal φP output from the PLL circuit 3, and the inversion control signal is equal to the signal φN. Therefore, pattern 2
The address setup period is equivalent to one stage of the inverted logic gate, and is equal to the address setup period tAS requested by the memory unit 22. On the other hand, a period from the rising edge of the test clock 19 to the falling edge of the inversion control signal φN is an address hold period. If the setup period and the hold period of the test address 18 required by the memory unit 22 are not satisfied during the read operation of the pattern 2, the read is performed from the incorrect address in the pattern 2.

【0075】パタン1において、不正なアドレスに対す
るライト動作が行われた場合と、パタン2において不正
なアドレスよりリード動作が行われた場合、比較器7に
不正な出力データが入力され、試験結果出力信号はFA
IL状態となる。
In the case where a write operation for an illegal address is performed in pattern 1 and the case where a read operation is performed from an illegal address in pattern 2, incorrect output data is input to the comparator 7 and the test result is output. The signal is FA
The state becomes the IL state.

【0076】パタン1及びパタン2では、反転器の反転
制御信号として信号φNを選択し、アドレスセットアッ
プ期間tASの試験を行ったが、タイミング選択回路4
により異なるタイミング信号を選択し、アドレスホール
ド期間を変更すれば、メモリ部22のアドレスホールド
期間tAHについても同様に試験可能である。
In the patterns 1 and 2, the signal φN was selected as the inversion control signal of the inverter, and the test of the address setup period tAS was performed.
Therefore, if the different timing signal is selected and the address hold period is changed, the test can be similarly performed for the address hold period tAH of the memory unit 22.

【0077】このように、第1の具体例による自己試験
装置1は、メモリ部22へ出力するテストクロック19
に対して他のテスト信号のセットアップ期間、ホールド
期間をPLL回路内部の反転論理ゲート一段分遅延時間
の精度で変更可能とした。この反転論理ゲート一段分の
遅延時間は、外部クロック16の周波数とPLL回路3
の電圧制御発振回路36の反転論理ゲート段数により決
まるから、外部クロック16の周波数と反転論理ゲート
段数のみから、反転論理ゲート1段の遅延時間を決める
ことが可能である。すなわち、反転論理ゲート段数のみ
ならず、外部クロック16の周波数を変更することによ
っても反転論理ゲート1段の遅延時間は制御することが
出来る。反転論理ゲート1段当たりの遅延時間とメモリ
部22に要求されるタイミングスペックから、適切なタ
イミング信号を選択することにより、自己試験装置1よ
りメモリ部22へ供給するテストクロック19とそれ以
外のテスト信号とのタイミング関係を、メモリ部22に
要求されるタイミングスペックと同等の条件に設定する
ことが可能となる。このような状態で自己試験装置を動
作させ、書込み動作または読み出し動作を行い、読み出
し動作において所望の出力データを得ることが出来ない
場合、比較回路より試験結果出力信号がFAIL状態と
なる。
As described above, the self-test apparatus 1 according to the first specific example has the test clock 19 output to the memory unit 22.
In contrast, the setup period and the hold period of another test signal can be changed with the accuracy of the delay time of one stage of the inversion logic gate in the PLL circuit. The delay time of one stage of the inverted logic gate is determined by the frequency of the external clock 16 and the PLL circuit 3.
Is determined by the number of inverted logic gate stages of the voltage controlled oscillation circuit 36, so that the delay time of one inverted logic gate stage can be determined only from the frequency of the external clock 16 and the number of inverted logic gate stages. That is, the delay time of one stage of the inverted logic gate can be controlled by changing the frequency of the external clock 16 as well as the number of stages of the inverted logic gate. By selecting an appropriate timing signal from the delay time per one stage of the inverted logic gate and the timing specification required for the memory unit 22, the test clock 19 supplied from the self-test apparatus 1 to the memory unit 22 and the other tests The timing relationship with the signal can be set to the same condition as the timing specification required for the memory unit 22. In such a state, the self-test apparatus is operated to perform the write operation or the read operation. If the desired output data cannot be obtained in the read operation, the test result output signal from the comparison circuit becomes the FAIL state.

【0078】従って、自己試験装置1より出力されるP
ASS/FAIL状態により、メモリ部22のタイミン
グスペックを試験することができる。
Therefore, P output from the self-test device 1
The timing specification of the memory unit 22 can be tested based on the ASS / FAIL state.

【0079】更に、テスト信号出力タイミングを設定す
るのみならず、テスト信号出力前後のテスト信号論理を
反転させているので、テスト信号出力タイミングでは必
ずテスト信号が変化する。よって、テストパタンに依存
することなく、容易にタイミングスペック試験が可能と
なるという効果もある。
Furthermore, not only the test signal output timing is set, but the test signal logic before and after the test signal output is inverted, so that the test signal always changes at the test signal output timing. Therefore, there is an effect that the timing specification test can be easily performed without depending on the test pattern.

【0080】(第2の具体例)図8〜図11は、本発明
に係わるメモリ回路用の組込み自己試験装置の第2の具
体例を示す図であり、これらの図を用いて、第2の具体
例を更に詳細に説明する。
(Second Specific Example) FIGS. 8 to 11 are diagrams showing a second specific example of a built-in self-test apparatus for a memory circuit according to the present invention. Will be described in more detail.

【0081】図8において、アドレス発生器5より出力
されるアドレス発生器出力10は、反転器8aへ入力さ
れる。反転器8aは、反転制御信号100を受け、アド
レス発生器出力10の反転操作を行い、テストアドレス
18としてメモリ部22へ供給する。シーケンス制御回
路2より出力されるライトイネーブル出力12は、反転
器8bへ入力される。反転器8bは、反転制御信号20
0を受け、ライトイネーブル出力12の反転操作を行
い、テストライトイネーブル信号20としてメモリ部2
2へ供給する。データ発生器6より出力されるデータ発
生器出力信号13は、反転器8cへ入力される。反転器
8cは、反転制御信号300を受け、データ発生器出力
信号13の反転操作を行い、テスト入力データ21とし
てメモリ部22へ供給する。また、メモリ部22より出
力される出力データ信号は、ラッチ9を介して比較器7
に入力する。
In FIG. 8, the address generator output 10 output from the address generator 5 is input to the inverter 8a. The inverter 8a receives the inversion control signal 100, performs an inversion operation on the address generator output 10, and supplies the result to the memory unit 22 as the test address 18. The write enable output 12 output from the sequence control circuit 2 is input to the inverter 8b. The inverter 8b outputs the inversion control signal 20
0, an inversion operation of the write enable output 12 is performed, and a test write enable signal 20 is output to the memory unit 2.
Supply to 2. The data generator output signal 13 output from the data generator 6 is input to the inverter 8c. The inverter 8 c receives the inversion control signal 300, performs an inversion operation of the data generator output signal 13, and supplies the result as test input data 21 to the memory unit 22. The output data signal output from the memory unit 22 is output to the comparator 7 via the latch 9.
To enter.

【0082】又、タイミング選択信号15a〜15d
は、タイミング選択回路4aに接続する。タイミング選
択回路4aは、タイミング選択信号15aに応じてPL
L回路3より供給される複数のタイミング信号φ0〜φ
Nよりタイミング信号を選択し、反転制御信号100と
して反転器8aに供給する。また、タイミング選択回路
4aは、タイミング選択信号15bに応じてPLL回路
3より供給される複数のタイミング信号φ0〜φNより
タイミング信号を選択し、反転制御信号200として反
転器8bに供給する。更に、タイミング選択回路4a
は、タイミング選択信号15cに応じてPLL回路3よ
り供給される複数のタイミング信号φ0〜φNよりタイ
ミング信号を選択し、反転制御信号300として反転器
8cに供給する。更に、タイミング選択回路4aは、タ
イミング選択信号4dに応じてPLL回路3より供給さ
れる複数のタイミング信号φ0〜φNよりタイミング信
号を選択し、ラッチクロックとしてラッチ9に供給す
る。
The timing selection signals 15a to 15d
Is connected to the timing selection circuit 4a. The timing selection circuit 4a outputs a PL in accordance with the timing selection signal 15a.
A plurality of timing signals φ0 to φ supplied from the L circuit 3
A timing signal is selected from N and supplied to the inverter 8a as an inversion control signal 100. Further, the timing selection circuit 4a selects a timing signal from a plurality of timing signals φ0 to φN supplied from the PLL circuit 3 according to the timing selection signal 15b, and supplies it to the inverter 8b as an inversion control signal 200. Further, the timing selection circuit 4a
Selects a timing signal from a plurality of timing signals φ0 to φN supplied from the PLL circuit 3 in accordance with the timing selection signal 15c, and supplies the selected timing signal as an inversion control signal 300 to the inverter 8c. Further, the timing selection circuit 4a selects a timing signal from a plurality of timing signals φ0 to φN supplied from the PLL circuit 3 according to the timing selection signal 4d, and supplies the selected timing signal to the latch 9 as a latch clock.

【0083】ラッチ9は、タイミング選択回路4aより
供給されるラッチクロックの立上りエッジにより、出力
データ信号をラッチする。
The latch 9 latches the output data signal at the rising edge of the latch clock supplied from the timing selection circuit 4a.

【0084】タイミング選択回路4aは、図9のように
構成さている。
The timing selection circuit 4a is configured as shown in FIG.

【0085】即ち、PLL回路3より出力されるφ0〜
φNの複数のタイミング信号を入力する複数の3ステー
トバッファ5aa〜5ecと、タイミング選択信号15
a〜15dを入力し、複数の3ステートバッファ5aa
〜5ecから所定の3ステートバッファの選択信号をア
クティブにするデコーダ回路4aa〜4adより構成さ
れる。
That is, φ0 output from the PLL circuit 3
a plurality of three-state buffers 5aa to 5ec for inputting a plurality of timing signals of φN;
a to 15d and a plurality of three-state buffers 5aa
.. 5ec to make a selection signal of a predetermined three-state buffer active.

【0086】タイミング選択回路4aは、外部より供給
されるタイミング選択信号15aをデコーダ回路4aa
に入力し、デコーダ回路4aaで複数の3ステートバッ
ファ5aa〜5acに供給されるタイミング信号φ0〜
φNの複数のタイミング信号から一つのタイミング信号
を選択し、反転制御信号100として出力する。また、
タイミング選択回路4aは、外部より供給されるタイミ
ング選択信号15bをデコーダ回路4abに入力し、デ
コーダ回路4abにより複数の3ステートバッファ5b
a〜5bcに供給される複数のタイミング信号φ0〜φ
Nから一つのタイミング信号を選択し、反転制御信号2
00として出力する。更に、タイミング選択回路4a
は、外部より供給されるタイミング選択信号15cをデ
コーダ回路4acに接続し、デコーダ回路により複数の
トライステートバッファ5ca〜5ccに供給される複
数のタイミング信号φ0〜φNから一つのタイミング信
号を選択し、反転制御信号300として出力する。更
に、タイミング選択回路4aは、外部より供給されるタ
イミング選択信号15dをデコーダ回路4adに入力
し、デコーダ回路4adにより複数の3ステートバッフ
ァ5da〜5dcに供給される複数のタイミング信号φ
0〜φNから一つのタイミング信号を選択し、ラッチ信
号として出力する。更に、タイミング選択回路4aは、
デコーダ回路を使用せずに、PLL回路3より出力され
る複数のタイミング信号φ0〜φNの中から選択したタ
イミング信号(例えば、φP)をシーケンス制御クロッ
クとして出力する。このような構成にすれば、タイミン
グ選択回路4a内でタイミング信号を選択する過程にお
いて、タイミング信号に発生する遅延時間をシーケンス
制御クロックにも与えることができ、シーケンス制御ク
ロックと出力するタイミング信号とのスキューを解消す
ることが可能である。
The timing selection circuit 4a outputs the timing selection signal 15a supplied from the outside to the decoder circuit 4aa.
And the timing signals φ0 to φ0 supplied to the plurality of three-state buffers 5aa to 5ac by the decoder circuit 4aa.
One timing signal is selected from a plurality of timing signals of φN and output as an inversion control signal 100. Also,
The timing selection circuit 4a inputs a timing selection signal 15b supplied from the outside to the decoder circuit 4ab, and the decoder circuit 4ab controls the plurality of three-state buffers 5b.
a to 5bc supplied to a plurality of timing signals φ0 to φ5
N, one timing signal is selected, and the inversion control signal 2
Output as 00. Further, the timing selection circuit 4a
Connects the timing selection signal 15c supplied from the outside to the decoder circuit 4ac, selects one timing signal from the plurality of timing signals φ0 to φN supplied to the plurality of tristate buffers 5ca to 5cc by the decoder circuit, Output as the inversion control signal 300. Further, the timing selection circuit 4a inputs a timing selection signal 15d supplied from the outside to the decoder circuit 4ad, and outputs a plurality of timing signals φ supplied to the plurality of three-state buffers 5da to 5dc by the decoder circuit 4ad.
One timing signal is selected from 0 to φN and output as a latch signal. Further, the timing selection circuit 4a
A timing signal (for example, φP) selected from a plurality of timing signals φ0 to φN output from the PLL circuit 3 is output as a sequence control clock without using a decoder circuit. With such a configuration, in the process of selecting the timing signal in the timing selection circuit 4a, the delay time generated in the timing signal can be given to the sequence control clock, and the delay between the sequence control clock and the output timing signal can be controlled. It is possible to eliminate skew.

【0087】このタイミング選択回路4a、反転器8a
〜8d及びラッチ9を用いた場合における、自己試験装
置1bの動作のタイミング図は、図10のようになる。
The timing selection circuit 4a and the inverter 8a
FIG. 10 is a timing chart of the operation of the self-test device 1b when the latches 9 to 8d are used.

【0088】図10は、この具体例において、メモリ部
22に要求されるアドレスセットアップ期間tAS、デ
ータセットアップ期間tDS、ライトイネーブルホール
ド期間tWH、データアクセスタイムtACCの試験を
行う場合のタイミング図である。
FIG. 10 is a timing chart for testing the address setup period tAS, data setup period tDS, write enable hold period tWH, and data access time tACC required for the memory section 22 in this specific example.

【0089】図10においては、メモリ部22に要求さ
れるアドレスセットアップ期間tASは、電圧制御発振
回路36の反転論理ゲート1段分の遅延時間に相当する
ものとする。また、メモリ部22に要求されるデータセ
ットアップ期間tDSは、電圧制御発振回路36の反転
論理ゲート2段分の遅延時間に相当するものとする。更
に、メモリ部22に要求されるライトイネーブルホール
ド期間tWHは、電圧制御発振回路36の反転論理ゲー
ト2段分の遅延時間に相当するものとする。また、メモ
リ部22に要求されるデータアクセスタイムtACC
は、電圧制御発振回路36の反転論理ゲート1段分の遅
延時間に相当するものとする。
In FIG. 10, it is assumed that the address setup period tAS required for the memory section 22 corresponds to a delay time of one stage of the inversion logic gate of the voltage controlled oscillation circuit 36. It is assumed that the data setup period tDS required for the memory unit 22 corresponds to a delay time corresponding to two stages of the inverted logic gates of the voltage controlled oscillation circuit 36. Further, it is assumed that the write enable hold period tWH required for the memory unit 22 corresponds to a delay time corresponding to two stages of the inverted logic gates of the voltage controlled oscillation circuit 36. The data access time tACC required for the memory unit 22
Is equivalent to the delay time of one stage of the inverted logic gate of the voltage controlled oscillation circuit 36.

【0090】図10においては、シーケンス制御回路2
のシーケンス制御クロックとして、信号φPが供給さ
れ、更に、反転器8aの反転制御信号100として、タ
イミング選択信号15aの入力により信号φPよりも反
転論理ゲート1段分早いタイミングのφNが供給され、
反転器8bの反転制御信号200として、タイミング選
択信号15bの入力により信号φPよりも反転論理ゲー
ト2段分遅いタイミングの信号φ2が供給され、反転器
8cの反転制御信号300として、タイミング選択信号
15cの入力により信号φPよりも反転論理ゲート二段
分早いタイミングのφN−2が供給され、ラッチのラッ
チクロック400として、タイミング選択信号15dの
入力により信号φPよりも反転論理ゲート一段分遅いタ
イミングの信号φ1が供給された例のタイミング図を示
している。
In FIG. 10, the sequence control circuit 2
, A signal φP is supplied as a sequence control clock, and φN at a timing earlier by one stage than the signal φP by an input of the timing selection signal 15a is supplied as an inversion control signal 100 of the inverter 8a.
As the inversion control signal 200 of the inverter 8b, a signal φ2 at a timing two stages later than the signal φP by the input of the timing selection signal 15b is supplied as the inversion control signal 200, and as the inversion control signal 300 of the inverter 8c, the timing selection signal 15c , A signal φN−2 at a timing two stages earlier than the signal φP by the inverted logic gate is supplied. As a latch clock 400 for the latch, a signal at a timing one stage later than the signal φP by the inverted logic gate by the input of the timing selection signal 15d FIG. 4 shows a timing chart of an example in which φ1 is supplied.

【0091】図10のパタン1は、自己試験装置1b
が、メモリ部22のアドレスA1に対しデータD1を書
込むタイミングを示す。パタン2は、パタン1において
自己試験装置1bがメモリ部22へ書き込んだアドレス
A1からデータD1を読み出し、期待値信号40と比較
した結果を出力するタイミングを示す。
The pattern 1 shown in FIG.
Shows the timing at which the data D1 is written to the address A1 of the memory unit 22. The pattern 2 indicates the timing at which the self-test apparatus 1b reads the data D1 from the address A1 written to the memory unit 22 in the pattern 1 and outputs the result of comparison with the expected value signal 40.

【0092】パタン1において、シーケンス制御回路2
は、シーケンス制御クロックφPと同一信号のテストク
ロック19をメモリ部22へ供給する。
In pattern 1, sequence control circuit 2
Supplies the test clock 19 of the same signal as the sequence control clock φP to the memory unit 22.

【0093】パタン1のシーケンス制御クロックφPの
立下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、次の
テストクロック19の立上がりエッジにおけるメモリ部
22の動作をライト動作に切替えるために、ライトイネ
ーブル出力12を論理「0」とし、反転器8bへ供給す
る。反転器8bは、反転制御信号200(φ2)の論理
「0」の期間は、ライトイネーブル出力12をそのまま
出力し、反転制御信号200(φ2)の論理「1」の期
間は、ライトイネーブル出力12を反転させて、テスト
ライトイネーブル信号20としてメモリ部22へ出力す
る。
At the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 1, the sequence control circuit 2 sets the write enable output 12 to the logic level in order to switch the operation of the memory section 22 to the write operation at the next rising edge of the test clock 19. It is set to "0" and supplied to the inverter 8b. The inverter 8b outputs the write enable output 12 as it is during the logic “0” of the inversion control signal 200 (φ2), and outputs the write enable output 12 during the logic “1” period of the inversion control signal 200 (φ2). And outputs it to the memory unit 22 as the test write enable signal 20.

【0094】更に、パタン1の外部クロック16の立下
りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、アドレス
制御信号41をアドレス発生器5に供給し、アドレス発
生器5においてアドレスA1を発生させ、反転器8aに
供給する。反転器8aは、反転制御信号100(φN)
の論理「0」の期間はアドレスA1を反転させ、反転制
御信号100(φN)の論理「1」の期間は、アドレス
A1をメモリ部22へ出力する。更に、パタン1のシー
ケンス制御クロックφPの立下りエッジにおいて、シー
ケンス制御回路2は、データ制御信号42をデータ発生
器6に供給し、データ発生器6においてデータD1を発
生させ、反転器8cに供給する。反転器8cは、反転制
御信号3(φN−2)の論理「0」の期間は、データD
1を反転させ、反転制御信号3(φN−2)の論理
「1」の期間は、データD1をメモリ部22へ出力す
る。
Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 1, the sequence control circuit 2 supplies an address control signal 41 to the address generator 5, and the address generator 5 generates the address A1, and the inverter 8a To supply. The inverter 8a outputs an inversion control signal 100 (φN)
During the period of logic "0", the address A1 is inverted, and during the period of logic "1" of the inversion control signal 100 (φN), the address A1 is output to the memory unit 22. Further, at the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 1, the sequence control circuit 2 supplies the data control signal 42 to the data generator 6, generates the data D1 in the data generator 6, and supplies the data D1 to the inverter 8c. I do. The inverter 8c outputs the data D during the period of the logic “0” of the inversion control signal 3 (φN−2).
1 is inverted, and the data D1 is output to the memory unit 22 during the period of the logic “1” of the inversion control signal 3 (φN−2).

【0095】パタン1のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1は、メモリ部22のアド
レスA1にデータD1を書き込む。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 1, the self test apparatus 1 writes the data D1 to the address A1 of the memory unit 22.

【0096】パタン1において、反転制御信号の立上り
エッジからテストクロック19の立上りエッジの期間が
アドレスセットアップ期間になる。テストクロック19
は、PLL回路3より出力されるφPと等しく、反転制
御信号100は、φNと等しい。したがって、パタン1
のアドレスセットアップ期間は、反転論理ゲート1段分
となり、メモリ部22が要求するアドレスセットアップ
期間tASと等しい。
In pattern 1, the period from the rising edge of the inversion control signal to the rising edge of test clock 19 is the address setup period. Test clock 19
Is equal to φP output from the PLL circuit 3, and the inversion control signal 100 is equal to φN. Therefore, pattern 1
The address setup period is equivalent to one stage of the inverted logic gate, and is equal to the address setup period tAS requested by the memory unit 22.

【0097】また、反転制御信号300は、φN−2と
等しいので、パタン1のデータセットアップ期間は反転
論理ゲート2段分となり、メモリ部22が要求するデー
タセットアップ期間tDSと等しい。更に、反転制御信
号200はφ2と等しいので、パタン1のライトイネー
ブルホールド期間は、反転論理ゲート2段分となり、メ
モリ部22が要求するライトイネーブルホールド期間t
WHと等しい。
Since the inversion control signal 300 is equal to φN−2, the data setup period of the pattern 1 is equal to two stages of inversion logic gates, and is equal to the data setup period tDS required by the memory unit 22. Further, since the inversion control signal 200 is equal to φ2, the write enable hold period of the pattern 1 corresponds to two stages of inversion logic gates, and the write enable hold period t required by the memory unit 22
Equal to WH.

【0098】この時、パタン1のライト動作時に、メモ
リ部22が要求するセットアップ期間やホールド期間の
ライトタイミングを満足しない場合には、パタン1にお
いて不正なアドレスにテスト入力データD1が書込まれ
る。
At this time, if the write timing of the setup period or the hold period required by the memory unit 22 is not satisfied during the write operation of the pattern 1, the test input data D1 is written to an incorrect address in the pattern 1.

【0099】パタン2において、シーケンス制御回路2
は、シーケンス制御クロックφPと同一信号のテストク
ロック19をメモリ部22へ供給する。
In pattern 2, the sequence control circuit 2
Supplies the test clock 19 of the same signal as the sequence control clock φP to the memory unit 22.

【0100】パタン2のシーケンス制御クロックφPの
立下りエッジにおいて、シーケンス制御回路2は、次の
テストクロック19の立上がりエッジにおけるメモリ部
22の動作をリード動作に切替えるために、ライトイネ
ーブル出力12を論理「1」とし、反転器8bへ供給す
る。反転器8bは、反転制御信号200(φ2)の論理
「0」の期間は、ライトイネーブル出力12の反転論理
を、反転制御信号200(φ2)の論理「1」の期間
は、ライトイネーブル出力12をそのままテストライト
イネーブル信号20としてメモリ部22へ出力する。更
に、パタン2の外部クロック16の立下りエッジにおい
て、シーケンス制御回路2は、アドレス制御信号41を
アドレス発生器5に供給し、アドレス発生器5において
アドレスA1を発生させ、反転器8aに供給する。反転
器8aは、反転制御信号100(φN)の論理「0」の
期間は、アドレスA1を反転させ、反転制御信号100
(φN)の論理「1」の期間は、アドレスA1をメモリ
部22へ出力する。更に、パタン2のシーケンス制御ク
ロックφPの立下りエッジにおいて、データ制御信号4
2をデータ発生器6に供給し、データ発生器6において
データD1を発生させ、同時に、期待値信号40を出力
する。
At the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 2, the sequence control circuit 2 sets the write enable output 12 to the logical level in order to switch the operation of the memory unit 22 to the read operation at the next rising edge of the test clock 19. "1" is supplied to the inverter 8b. The inverter 8b performs the inversion logic of the write enable output 12 during the period of the logic “0” of the inversion control signal 200 (φ2), and the write enable output 12 during the period of the logic “1” of the inversion control signal 200 (φ2). Is output to the memory unit 22 as the test write enable signal 20 as it is. Further, at the falling edge of the external clock 16 of the pattern 2, the sequence control circuit 2 supplies the address control signal 41 to the address generator 5, generates the address A1 in the address generator 5, and supplies it to the inverter 8a. . The inverter 8a inverts the address A1 during the period of the logic “0” of the inversion control signal 100 (φN),
During the period of logic “1” of (φN), the address A1 is output to the memory unit 22. Further, at the falling edge of the sequence control clock φP of the pattern 2, the data control signal 4
2 is supplied to the data generator 6, and the data generator 6 generates data D1, and at the same time, outputs the expected value signal 40.

【0101】パタン2のテストクロック19の立上りエ
ッジにおいて、自己試験装置1bは、メモリ部22のア
ドレスA1よりデータD1を読み出す。メモリ部22よ
り出力された出力データは、ラッチ9へと供給される。
ラッチ9は、ラッチクロック400(φ1)の立上りエ
ッジで出力データを取り込み、比較器入力信号14とし
て出力する。比較器7は、期待値信号40と比較器入力
信号14とを比較し、比較結果を試験結果出力として出
力する。この時、期待値信号40と比較器入力信号14
とが一致していれば、試験結果出力はPASSを示す論
理「1」となり、期待値信号40と比較器入力信号14
とが不一致であれば、FAILを示す論理「0」とな
る。
At the rising edge of the test clock 19 of the pattern 2, the self test apparatus 1b reads the data D1 from the address A1 of the memory unit 22. Output data output from the memory unit 22 is supplied to the latch 9.
The latch 9 captures output data at the rising edge of the latch clock 400 (φ1) and outputs it as a comparator input signal 14. The comparator 7 compares the expected value signal 40 with the comparator input signal 14 and outputs the comparison result as a test result output. At this time, the expected value signal 40 and the comparator input signal 14
And the test result output becomes logic “1” indicating PASS, the expected value signal 40 and the comparator input signal 14
If they do not match, the logic becomes "0" indicating FAIL.

【0102】パタン2において、反転制御信号の立上り
エッジからテストクロック19の立上りエッジの期間
が、アドレスセットアップ期間になる。テストクロック
19はPLL回路3より出力されるφPと等しく、反転
制御信号100は、φNと等しい。したがって、パタン
2のアドレスセットアップ期間は、反転論理ゲート1段
分となり、メモリ部22が要求するアドレスセットアッ
プ期間tASと等しい。また、反転制御信号200はφ
2と等しいので、パタン2のライトイネーブルホールド
期間は、反転論理ゲート2段分となり、メモリ部22が
要求するライトイネーブルホールド期間tWHと等し
い。更に、ラッチクロック400はφ1と等しいので、
パタン2の出力データラッチタイミングは、テストクロ
ック19の立上りタイミングより反転論理ゲート1段分
遅くなり、メモリ部22が要求するデータアクセスタイ
ムtACCと等しい。
In the pattern 2, the period from the rising edge of the inversion control signal to the rising edge of the test clock 19 is the address setup period. The test clock 19 is equal to φP output from the PLL circuit 3, and the inversion control signal 100 is equal to φN. Therefore, the address setup period of the pattern 2 is equivalent to one stage of the inverted logic gate, and is equal to the address setup period tAS required by the memory unit 22. The inversion control signal 200 is φ
Therefore, the write enable hold period of the pattern 2 is equal to two stages of the inverted logic gates, and is equal to the write enable hold period tWH required by the memory unit 22. Further, since the latch clock 400 is equal to φ1,
The output data latch timing of the pattern 2 is delayed by one stage of the inverted logic gate from the rising timing of the test clock 19, and is equal to the data access time tACC required by the memory unit 22.

【0103】パタン2のリード動作時に、メモリ部22
が要求するセットアップ期間やホールド期間等のリード
タイミングを満足しない場合には、パタン2において不
正なアドレスより読み出しが行われる。更に、メモリ部
22に要求されるデータアクセスタイムを満足しない場
合には、比較器7に不正なデータが入力される。
At the time of the read operation of the pattern 2, the memory section 22
Does not satisfy the required read timing such as the setup period and the hold period, the pattern 2 is read from an incorrect address. Further, when the data access time required for the memory unit 22 is not satisfied, incorrect data is input to the comparator 7.

【0104】このように、この具体例では、さらに、タ
イミング選択回路4aより出力される複数の異なるタイ
ミング信号を反転器8a〜8cの制御信号として供給し
た。
As described above, in this example, a plurality of different timing signals output from the timing selection circuit 4a are further supplied as control signals for the inverters 8a to 8c.

【0105】その結果、自己試験装置1bはテストアド
レス18、テスト入力データ21、テストライトイネー
ブル信号20のテスト信号を、タイミング選択信号15
a〜15cに応じて、異なる出力タイミングでメモリ部
22へ供給することが可能となり、適切なタイミング選
択信号を与えることにより、自己試験装置1bは、メモ
リ部22に要求されるタイミングスペックと同等な条件
でテスト信号を出力することが可能となった。
As a result, the self-test apparatus 1b transmits the test signals of the test address 18, the test input data 21, and the test write enable signal 20 to the timing selection signal 15
a to 15c can be supplied to the memory unit 22 at different output timings, and by providing an appropriate timing selection signal, the self-test apparatus 1b enables the self-test apparatus 1b to have the same timing specifications as those required for the memory unit 22. Test signals can be output under certain conditions.

【0106】従って、自己試験装置1bより、メモリ部
22に要求されるタイミングスペックと同等な条件でテ
スト信号を出力し、メモリ部22へのリード動作および
ライト動作を行うことにより、メモリ部22に要求され
るタイミングスペックを満足するか否かを、比較器7よ
り出力される試験結果信号のPASSまたはFAIL状
態により確認することが可能になるという効果が得られ
た。
Therefore, a test signal is output from the self-test apparatus 1b under the same conditions as the timing specifications required for the memory unit 22, and a read operation and a write operation to the memory unit 22 are performed. It is possible to confirm whether or not the required timing specifications are satisfied based on the PASS or FAIL state of the test result signal output from the comparator 7.

【0107】更に、この具体例では、比較器7に入力す
る出力データ信号を、タイミング選択回路4aより供給
されるラッチクロック400でラッチし、ラッチ後の出
力データ14を比較器7に供給した。このため、メモリ
部22の出力データを比較器7に取込むタイミングを設
定することが可能になった。
Further, in this embodiment, the output data signal input to the comparator 7 is latched by the latch clock 400 supplied from the timing selection circuit 4a, and the latched output data 14 is supplied to the comparator 7. Therefore, it is possible to set the timing at which the output data of the memory unit 22 is taken into the comparator 7.

【0108】その結果、メモリ部22に要求されるデー
タアクセスタイムtACCと同等なタイミングのラッチ
クロックを選択し、メモリ部22のリード動作時の出力
データを正常にラッチ出来るか否かにより、データアク
セスタイムを試験することが出来る。ラッチした出力デ
ータが正常ならば比較器7よりPASSが出力され、ラ
ッチした出力データが異常ならば比較器7よりFAIL
が出力される。
As a result, a latch clock having a timing equivalent to the data access time tACC required for the memory unit 22 is selected, and data access is determined depending on whether output data during a read operation of the memory unit 22 can be normally latched. Time can be tested. If the latched output data is normal, the comparator 7 outputs PASS. If the latched output data is abnormal, the comparator 7 outputs FAIL.
Is output.

【0109】従って、比較器7より出力される試験結果
信号のPASSまたはFAIL状態によりメモリ部22
のデータアクセスタイムを確認することが可能になると
いう効果も得られる。
Therefore, the memory section 22 is determined by the PASS or FAIL state of the test result signal output from the comparator 7.
The data access time can be confirmed.

【0110】[0110]

【発明の効果】本発明に係わるメモリ回路用の組込み自
己試験装置は、上述のように構成したので、高速なLS
Iテスターを使用することなく、被試験メモリ回路に規
定されるセットアップタイムやホールドタイム等のタイ
ミングスペックの試験が可能となった。
Since the built-in self-test device for a memory circuit according to the present invention is constructed as described above, a high-speed LS
Without using an I tester, it is possible to test timing specifications such as a setup time and a hold time specified for a memory circuit under test.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わるメモリ回路用の組込み自己試験
装置の第1の具体例を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a first specific example of a built-in self-test device for a memory circuit according to the present invention.

【図2】図1のPLL回路の詳細な構成図である。FIG. 2 is a detailed configuration diagram of the PLL circuit of FIG. 1;

【図3】図2の各信号のタイミングを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the timing of each signal in FIG. 2;

【図4】図1のタイミング選択回路の詳細な構成図であ
る。
FIG. 4 is a detailed configuration diagram of a timing selection circuit of FIG. 1;

【図5】図1の比較器の詳細な構成図である。FIG. 5 is a detailed configuration diagram of the comparator of FIG. 1;

【図6】図1の反転器の詳細な構成図である。FIG. 6 is a detailed configuration diagram of the inverter of FIG. 1;

【図7】第1の具体例の動作を説明するタイミング図で
ある。
FIG. 7 is a timing chart for explaining the operation of the first specific example;

【図8】本発明の第2の具体例のブロック図である。FIG. 8 is a block diagram of a second specific example of the present invention.

【図9】第2の具体例のタイミング選択回路の詳細な構
成図である。
FIG. 9 is a detailed configuration diagram of a timing selection circuit according to a second specific example.

【図10】第2の具体例の動作を説明するタイミング図
である。
FIG. 10 is a timing chart for explaining the operation of the second specific example;

【図11】従来技術のブロック図である。FIG. 11 is a block diagram of a conventional technique.

【図12】図11の動作を説明するタイミング図であ
る。
FIG. 12 is a timing chart for explaining the operation of FIG. 11;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 自己試験装置 2 シーケンス制御回路 3 PLL回路 4 タイミング選択回路 5 アドレス発生器 6 データ発生器 7 比較器 8a〜8c 反転器 13 データ発生器出力信号 14 比較器入力信号 18 テストアドレス 19 テストクロック 20 テストライトイネーブル 21 テスト入力データ 22 メモリ部 23 クロック同期式メモリ 24a〜24d セレクタ 40 期待値信号 41 アドレス制御信号 42データ制御信号 100、200、300、400 反転制御信号 φ0〜φN タイミング信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Self-test apparatus 2 Sequence control circuit 3 PLL circuit 4 Timing selection circuit 5 Address generator 6 Data generator 7 Comparator 8a-8c Inverter 13 Data generator output signal 14 Comparator input signal 18 Test address 19 Test clock 20 Test Write enable 21 Test input data 22 Memory unit 23 Clock synchronous memory 24a to 24d Selector 40 Expected value signal 41 Address control signal 42 Data control signal 100, 200, 300, 400 Inversion control signal φ0 to φN Timing signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AA07 AB01 AB06 AC03 AC09 AD06 AD07 AE07 AE08 AE10 AE11 AG03 AG07 AH03 AK01 AL02 5B018 GA03 HA31 JA12 JA21 MA01 PA01 5L106 DD22 DD23 GG03 GG05 GG07 9A001 BB03 BB06 LL06  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G032 AA07 AB01 AB06 AC03 AC09 AD06 AD07 AE07 AE08 AE10 AE11 AG03 AG07 AH03 AK01 AL02 5B018 GA03 HA31 JA12 JA21 MA01 PA01 5L106 DD22 DD23 GG03 GG05 GG07 9A001 BB03 BB06 LL

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 メモリ回路とこのメモリ回路用の組込み
自己試験装置とからなり、前記組込み自己試験装置を、 クロックとテスト開始信号を与えられて制御信号を出力
するシーケンス制御回路と、 前記制御信号を与えられてアドレス信号を発生し、前記
メモリ回路に出力するアドレス発生器と、 前記制御信号を与えられてテストデータを発生し、前記
メモリ回路に出力するデータ発生器と、 前記データ発生器が出力した前記テストデータと、前記
メモリ回路が前記テストデータを与えられて書き込んだ
後読み出した出力データとを与えられて比較し、前記テ
ストデータと前記出力データとが相違するか否かの比較
結果を出力する比較器とで構成したメモリ回路用の組込
み自己試験装置において、 所定の位相差を有する複数のタイミング信号を生成する
PLL回路と、 前記PLL回路の生成した複数のタイミング信号から所
定のタイミングを選択するタイミング信号選択回路と、 前記タイミング選択回路から出力された制御信号の立ち
上がり又は立ち下がりのタイミングで、前記メモリ部へ
与える被試験信号を反転させる反転器と、 を設けたことを特徴とするメモリ回路用の組込み自己試
験装置。
1. A sequence control circuit comprising a memory circuit and a built-in self-test device for the memory circuit, the sequence control circuit receiving a clock and a test start signal and outputting a control signal; , An address generator for generating an address signal and outputting the address signal to the memory circuit; a data generator for receiving the control signal to generate test data and outputting the test data to the memory circuit; The output test data and the output data read and written after the memory circuit is supplied with the test data are given and compared, and a comparison result as to whether the test data is different from the output data A built-in self-test device for a memory circuit comprising a comparator for outputting a plurality of timing signals having a predetermined phase difference. A PLL circuit to generate; a timing signal selection circuit to select a predetermined timing from a plurality of timing signals generated by the PLL circuit; and a memory at a rising or falling timing of a control signal output from the timing selection circuit. A built-in self-test device for a memory circuit, comprising: an inverter for inverting a signal under test applied to the section.
【請求項2】 前記シーケンス制御回路から出力される
被試験信号は、前記メモリ回路の書込み・読出しを制御
するライトイネーブル信号であることを特徴とする請求
項1に記載のメモリ回路用の組込み自己試験装置。
2. The built-in memory for a memory circuit according to claim 1, wherein the signal under test output from the sequence control circuit is a write enable signal for controlling writing / reading of the memory circuit. Testing equipment.
【請求項3】 前記反転器から出力される被試験信号
は、前記メモリ回路のアドレスを指示するアドレス信号
であることを特徴とする請求項1乃至2のいずれかに記
載のメモリ回路用の組込み自己試験装置。
3. The built-in memory circuit according to claim 1, wherein the signal under test output from the inverter is an address signal indicating an address of the memory circuit. Self test equipment.
【請求項4】 前記反転器から出力される被試験信号
は、前記メモリ回路の書き込みデータ信号であることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のメモリ回
路用の組込み自己試験装置。
4. The built-in self-test device for a memory circuit according to claim 1, wherein the signal under test output from the inverter is a write data signal of the memory circuit. .
【請求項5】 前記反転器から出力される被試験信号
は、前記メモリ回路のライトイネーブル信号であること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のメモリ
回路用の組込み自己試験装置。
5. The built-in self-test device for a memory circuit according to claim 1, wherein the signal under test output from the inverter is a write enable signal for the memory circuit. .
【請求項6】 前記タイミング選択回路から出力された
第2の制御信号に基づき、前記メモリ回路から読み出し
た読出しデータをラッチするラッチを設けたことを特徴
とする請求項1乃至5のいずれかに記載のメモリ回路用
の組込み自己試験装置。
6. A latch according to claim 1, further comprising a latch for latching read data read from said memory circuit based on a second control signal output from said timing selection circuit. A built-in self-test device for the described memory circuit.
【請求項7】 前記反転器が、排他的論理和回路で構成
したことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載
のメモリ回路用の組込み自己試験装置。
7. The built-in self-test device for a memory circuit according to claim 1, wherein said inverter is constituted by an exclusive OR circuit.
【請求項8】 前記PLL回路は、このPLL回路の電
圧制御発振器の発振クロックと外部クロックとの位相差
を検出する位相比較回路と、前記位相比較回路の検出し
た位相差に基づいて、前記電圧制御発振器への入力電圧
を制御するチャージポンプ回路と、電流駆動能力が制御
可能なN段の反転論理ゲートをリング状に接続した電圧
制御発振器とで構成し、前記反転論理ゲートから前記反
転器又はラッチ制御用の制御信号を取り出したことを特
徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のメモリ回路
用の組込み自己試験装置。
8. The PLL circuit includes: a phase comparison circuit that detects a phase difference between an oscillation clock of a voltage controlled oscillator of the PLL circuit and an external clock; and a voltage comparison circuit that detects the voltage difference based on the phase difference detected by the phase comparison circuit. A charge pump circuit that controls the input voltage to the control oscillator, and a voltage control oscillator in which N stages of inverting logic gates whose current drive capability can be controlled are connected in a ring shape, and the inverter or 8. The built-in self-test device for a memory circuit according to claim 1, wherein a control signal for latch control is extracted.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100356806B1 (en) * 2000-12-28 2002-10-18 주식회사 하이닉스반도체 Dq comparator for built in self test of sdram
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