JP2001317699A - Purging method for gas charging pipe, and gas supply system - Google Patents
Purging method for gas charging pipe, and gas supply systemInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はガス充填管のパージ
方法およびガス供給装置に係わり、特にガスボンベが取
り付けられたガス供給ラインにおけるガス充填管におい
て、ガスボンベを取り換える際に窒素ガス（以下、Ｎ
2 、と称す）によりパージ（置換）する方法およびこの
パージを有効に行うガス供給装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas filling pipe purging method and a gas supply apparatus, and more particularly to a method for purging nitrogen gas (hereinafter, referred to as N) when replacing a gas cylinder in a gas supply pipe in a gas supply line to which the gas cylinder is attached.
2 relates to purge (substituted) gas supply device to effectively perform the method and the purging by the called).
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より危険性の高いガス、毒性の高い
ガス、腐食性の高いガス等を使用する際に用いるガス供
給装置は図４に示すように、ガスボンベ１からこれらの
ガスを供給するための手動弁２，エア弁３，圧力計４，
レギュレータ５，エア弁６，圧力計７およびガス充填管
８よりなるガス供給ライン１００と、手動弁９，圧力計
１０，流量計１１，エア弁１２，バキュームジェネレー
タ１３，エア弁１４及びエア弁１５からなる真空引きラ
イン２００と、手動弁１６およびエア弁１７からなるＮ
2 パージライン３００と、エア弁１８からなるリークチ
ェックＮ2 ライン４００との配管系統をを具備して構成
されている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, a gas supply device used when a gas having a higher risk, a gas having a higher toxicity, a gas having a higher corrosiveness or the like is supplied from a gas cylinder 1 as shown in FIG. Manual valve 2, air valve 3, pressure gauge 4,
A gas supply line 100 including a regulator 5, an air valve 6, a pressure gauge 7, and a gas filling pipe 8, a manual valve 9, a pressure gauge 10, a flow meter 11, an air valve 12, a vacuum generator 13, an air valve 14, and an air valve 15. And a vacuum line 200 comprising a manual valve 16 and an air valve 17
It is provided with a piping system of two purge lines 300 and a leak check N 2 line 400 including the air valve 18.
【０００３】これは、ガスボンベ交換時にガス充填管内
の残ガスを大気に放出させることなく安全に交換できる
ようガス充填管内をＮ2 にてパージした後にガスボンベ
を取り外すことができるようにすると同時に、ガスボン
ベ交換後にガス充填管内の大気を排気したのちガスを供
給できるようにするための機能が必要であるからであ
る。[0003] In this method, the gas cylinder can be removed after purging the gas cylinder with N 2 so that the remaining gas in the gas cylinder can be safely exchanged without releasing the residual gas into the atmosphere at the time of gas cylinder exchange. This is because a function for exhausting the atmosphere in the gas filling pipe after the replacement and then supplying the gas is required.
【０００４】このような配管系統を有するガス供給装置
において、ガスボンベ交換前の残ガスパージ時は、常温
にて手動弁９，エア弁１２，エア弁１４及びエア弁６を
開いてガス充填管内を真空に引きし、さらに手動弁９，
エア弁１２，エア弁１４，エア弁６，エア弁１７および
手動弁１６を開いてガス充填管８の内部のＮ2 パージを
繰り返すサイクルパージを行ない残ガスを排気し、さら
にガスボンベ１を取り外し時は常温にて手動１６，エア
弁１７及びエア弁１８を開きガス充填管８の内部ををＮ
2 にてブローしながらガスボンベ１を取り外し、素早く
新しいガスボンベ１を取り付けることにより、残ガスの
大気放出およびガス充填管内の大気混入を最小限に抑え
るようにして使用していた。In the gas supply apparatus having such a piping system, when purging the residual gas before replacing the gas cylinder, the manual valve 9, the air valve 12, the air valve 14, and the air valve 6 are opened at room temperature to evacuate the gas filling pipe. And the manual valve 9,
When the air valve 12, the air valve 14, the air valve 6, the air valve 17 and the manual valve 16 are opened, a cycle purge is repeatedly performed in which the N 2 purge inside the gas filling pipe 8 is performed, residual gas is exhausted, and the gas cylinder 1 is further removed. Opens the air valve 17, the air valve 17 and the air valve 18 at room temperature, and
The gas cylinder 1 was removed while being blown at 2 , and a new gas cylinder 1 was quickly attached, so that the residual gas was released to the atmosphere and the air mixed in the gas filling pipe was minimized.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年ガ
ス供給装置の自動化が進み、上記サイクルパージを自動
で実施することができるようになったことで、作業者が
常にガス供給装置の前に待機する必要がなくなったため
サイクルパージ終了からガスボンベ取り外しまでの時間
が長くなる傾向にあり、ガス充填管のサイクルパージ実
施後、時間をおいたのちガスボンベを取り外すと、ガス
充填管内の残ガスが大気中に放出されてガス漏洩検知器
が作動することが生じる。このようにガス充填管内の残
ガスが大気中に放出されるので安全上の問題が発生する
ようになった。However, in recent years, the automation of the gas supply device has been advanced and the above-mentioned cycle purge can be automatically performed, so that the operator always waits in front of the gas supply device. There is a tendency that the time from the end of cycle purge to the removal of the gas cylinder tends to be longer because it is no longer required. Then, the gas leak detector operates. As described above, since the residual gas in the gas filling pipe is released into the atmosphere, a safety problem has arisen.
【０００６】これは、常温にてガス充填管の残ガスパー
ジを実施すると、ガス充填管内の残ガス濃度は一時的に
低下するが、配管内壁に吸着しているガスを完全に置換
することができないため、時間の経過に従い配管内壁に
吸着していた残ガスが脱離して配管内を満たすためと考
えられる。[0006] This is because, when the residual gas purge of the gas filling tube is performed at room temperature, the concentration of the residual gas in the gas filling tube temporarily decreases, but the gas adsorbed on the inner wall of the pipe cannot be completely replaced. Therefore, it is considered that the residual gas adsorbed on the inner wall of the pipe is desorbed and fills the inside of the pipe over time.
【０００７】したがって本発明の目的は、ガス充填管内
の残ガスを充分に置換し、かつ、たとえ残ガスが存在し
ていても配管を大気に解放する際にこの残ガスの大気放
出を抑制した有効なガス充填管のパージ方法およびガス
供給装置を提供することである。Accordingly, an object of the present invention is to sufficiently replace the residual gas in the gas filling pipe and to suppress the release of the residual gas to the atmosphere when releasing the pipe to the atmosphere even if the residual gas exists. An object of the present invention is to provide an effective gas filling pipe purging method and a gas supply device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ガスが
充填されたガス充填管を大気に開放するする際に前記充
填されたガスをＮ2 により置換するガス充填管のパージ
方法において、前記ガス充填管を加熱状態にして真空引
き及び前記置換を行い、しかる後、前記管を冷却状態に
して前記開放を行うガス充填管のパージ方法にある。Feature of the present invention, in order to solve the problem] is the method of purging gas filling tube to replace the filled gas with N 2 when opening the gas filling tube filled with gas to the atmosphere, A method for purging a gas-filled tube is described in which the gas-filled tube is evacuated and replaced while the gas-filled tube is heated, and then the tube is opened in a cooled state.
【０００９】ここで前記ガス充填管は、ガス供給装置の
ガス供給ラインにおいてガスボンベに接続されている管
であることができる。この場合、前記パージ方法を前記
ガスボンベの交換時に行うことが好ましい。さらに、前
記加熱状態および冷却状態において、温度制御機構によ
り所定の温度に制御されていることが好ましい。Here, the gas filling pipe may be a pipe connected to a gas cylinder in a gas supply line of a gas supply device. In this case, it is preferable that the purging method is performed when the gas cylinder is replaced. Further, in the heating state and the cooling state, it is preferable that the temperature is controlled to a predetermined temperature by a temperature control mechanism.
【００１０】本発明の他の特徴は、ガスボンベと、ガス
供給ラインとを具備し、前記ガス供給ラインのガス充填
管部が前記ガスボンベに接続しているガス供給装置にお
いて、前記ガス充填管部には加熱機構および冷却機構が
結合しているガス供給装置にある。ここで、前記ガス充
填管部の温度を制御する温度制御機構を有することが好
ましい。Another feature of the present invention is a gas supply device comprising a gas cylinder and a gas supply line, wherein a gas filling pipe of the gas supply line is connected to the gas cylinder. Is in the gas supply device to which the heating and cooling mechanisms are coupled. Here, it is preferable to have a temperature control mechanism for controlling the temperature of the gas filling tube.
【００１１】あるいは本発明の他の特徴は、第１の手動
弁と、第１のエア弁と、第１の圧力計と、レギュレータ
と、第２のエア弁と、第２の圧力計と、ガス充填管部と
を有し、前記ガス充填管がガスボンベに接続しているガ
ス供給ラインを具備するガス供給装置において、前記ガ
ス充填管部には加熱機構および冷却機構が結合している
ガス供給装置にある。ここでさらに、真空引きライン、
Ｎ2 パージライン及びリークチェックＮ2 ラインが前記
ガス充填管に接続していることが好ましい。この場合、
前記真空引きラインは第２の手動弁と、第３の圧力計
と、流量計と、第３のエア弁と、バキュームジェネレー
タと、第４のエア弁と、前記ガス充填管に接続する第５
のエア弁とを具備して構成され、Ｎ2 パージラインは第
３の手動弁と、前記ガス充填管に接続する第６のエア弁
とを具備して構成され、リークチェックＮ2 ラインは前
記ガス充填管に接続する第７のエア弁を具備して構成さ
れることができる。Another feature of the present invention is that a first manual valve, a first air valve, a first pressure gauge, a regulator, a second air valve, a second pressure gauge, And a gas supply line having a gas supply line connected to a gas cylinder, the gas supply tube having a heating mechanism and a cooling mechanism coupled to the gas filling pipe. In the device. Here, furthermore, a vacuum line,
It is preferable that an N 2 purge line and a leak check N 2 line are connected to the gas filling pipe. in this case,
The vacuum line includes a second manual valve, a third pressure gauge, a flow meter, a third air valve, a vacuum generator, a fourth air valve, and a fifth line connected to the gas filling pipe.
The N 2 purge line is provided with a third manual valve and a sixth air valve connected to the gas filling pipe, and the leak check N 2 line is provided with It can be configured to include a seventh air valve connected to the gas filling tube.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を説
明する。図１は実施の形態のガス供給装置を示すガス配
管系統図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a gas piping system diagram showing a gas supply device according to an embodiment.
【００１３】ガス供給ライン１００は、手動弁２，エア
弁３，圧力計４，レギュレータ５，エア弁６，圧力計７
およびガス充填管８を有して構成され、ガス充填管８が
ガスボンベ１に接続している。また、危険性の高いガ
ス、毒性の高いガス、腐食性の高いガス等を充填したガ
スボンベ１は、図２に示すように、いわゆるボンベ立て
であるシリンダーキャビネット２１内に裁置されてお
り、その固定手段２２により固定されている。The gas supply line 100 includes a manual valve 2, an air valve 3, a pressure gauge 4, a regulator 5, an air valve 6, and a pressure gauge 7.
And a gas filling pipe 8. The gas filling pipe 8 is connected to the gas cylinder 1. A gas cylinder 1 filled with a highly dangerous gas, a highly toxic gas, a highly corrosive gas or the like is placed in a cylinder cabinet 21 which is a so-called cylinder stand, as shown in FIG. It is fixed by fixing means 22.
【００１４】真空引きライン２００は、手動弁９，圧力
計１０，流量計１１，エア弁１２，バキュームジェネレ
ータ１３，エア弁１４及びエア弁１５を有して構成さ
れ、エア弁１５がガス充填管８に接続している。The evacuation line 200 includes a manual valve 9, a pressure gauge 10, a flow meter 11, an air valve 12, a vacuum generator 13, an air valve 14, and an air valve 15. The air valve 15 is a gas filling pipe. 8 is connected.
【００１５】Ｎ2 パージライン３００は、手動弁１６お
よびエア弁１７を有して構成され、エア弁１７がガス充
填管８に接続している。The N 2 purge line 300 has a manual valve 16 and an air valve 17, and the air valve 17 is connected to the gas filling pipe 8.
【００１６】リークチェックＮ2 ライン４００は、ガス
充填管８に接続するエア弁１８を有して構成されてい
る。The leak check N 2 line 400 has an air valve 18 connected to the gas filling pipe 8.
【００１７】本発明ではさらに、図１の太線で示すガス
ボンベ交換時に大気開放されるガス充填管部８に、ガス
配管を加熱および冷却するための機構１９、ガス配管の
温度を測定する温度計２０及び温度調節器２１を設置し
当該部の温度制御を可能としたガス配管系統を有してい
る。Further, in the present invention, a gas filling pipe section 8 which is opened to the atmosphere at the time of gas cylinder replacement shown by a thick line in FIG. 1 has a mechanism 19 for heating and cooling the gas pipe, and a thermometer 20 for measuring the temperature of the gas pipe. And a gas piping system in which a temperature controller 21 is installed to enable temperature control of the section.
【００１８】ガス配管を加熱および冷却するための機構
１９は、例えば図３に示すように、ガス充填管８に巻き
付けたヒータ３１，冷却水パイプ３２，ヒータ３１を通
電するヒータ電源３３および冷却水パイプ３２に冷却水
を流す冷却水駆動部３４を具備して構成され、ヒータ電
源３３および冷却水駆動部３４は温度調節器２１からの
信号により制御される。As shown in FIG. 3, for example, a mechanism 19 for heating and cooling the gas pipe includes a heater 31 wound around the gas filling pipe 8, a cooling water pipe 32, a heater power supply 33 for energizing the heater 31, and a cooling water. The cooling water drive unit 34 for flowing cooling water through the pipe 32 is provided, and the heater power supply 33 and the cooling water drive unit 34 are controlled by signals from the temperature controller 21.
【００１９】次に、このガス供給装置においてガスボン
ベ１を交換する方法について説明する。Next, a method of replacing the gas cylinder 1 in the gas supply device will be described.
【００２０】ガスボンベ交換前の残ガスパージ時は、先
ず、ガス充填管８を加熱機構３１，３２を用いて所定の
温度に加熱したのち、加熱状態で手動弁９，エア弁１
２，エア弁１４及びエア弁６を開いてガス充填管内を真
空に引きする。At the time of purging the residual gas before replacing the gas cylinder, first, the gas filling pipe 8 is heated to a predetermined temperature using the heating mechanisms 31 and 32, and then the manual valve 9 and the air valve 1 are heated.
2. Open the air valve 14 and the air valve 6 to evacuate the gas filling tube.
【００２１】次に、手動弁９，エア弁１２，エア弁１
４，エア弁６，エア弁１７およびエア弁１６を開いて加
熱状態のガス充填管８の内部のＮ2 パージを繰り返すサ
イクルパージを行ない残ガスを排気する。Next, the manual valve 9, the air valve 12, the air valve 1
4, the air valve 6, the air valve 17 and the air valve 16 are opened, and the N 2 purge in the gas filling pipe 8 in a heated state is repeatedly cycle-purged to exhaust remaining gas.
【００２２】しかる後に行うガスボンベ取り外し時は、
サイクルパージ時に加熱した配管８を冷却機構３２，３
４を用いて所定の温度に冷却し、冷却状態で手動弁１
６，エア弁１７及びエア弁１８を開きガス充填管８の内
部をＮ2 にてブローしながらガスボンベを取り外し、素
早く新しいガスボンベを取り付ける。When removing the gas cylinder after that,
The piping 8 heated during the cycle purge is cooled by the cooling mechanisms 32, 3
4 and cooled to a predetermined temperature.
6, remove the gas cylinder while blowing the inside of the gas filling tube 8 opens the air valve 17 and air valve 18 in N 2, attached quickly new gas cylinder.
【００２３】以上はガス供給装置のガス充填管部のパー
ジに本発明を適用した場合を説明したが、本発明のパー
ジ方法は、通常はガスを流しているがメンテナンス等で
定期的に大気開放することのある部位、例えば気相成長
装置の反応炉等についても適用が可能である。The case where the present invention is applied to the purging of the gas filling pipe section of the gas supply apparatus has been described above. The purging method of the present invention normally supplies a gas but periodically releases the gas to the atmosphere for maintenance or the like. The present invention is also applicable to a part that may perform such as a reaction furnace of a vapor phase growth apparatus.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように本発明を用いること
により、ガスボンベを取り外す時に大気放出されるガス
量を抑制する効果が得られる。このような効果が得られ
るる理由は二点ある。As described above, by using the present invention, the effect of suppressing the amount of gas released to the atmosphere when the gas cylinder is removed can be obtained. There are two reasons why such an effect can be obtained.
【００２５】一点目は、配管内の残ガス置換効率は配管
内壁に吸着しているガスの脱離が影響するため、配管真
空引き時及び配管窒素パージ時にガス充填管を加熱する
ことにより配管内壁からのガスの脱離を促進させ、これ
によりＮ2 との置換を充分に行うことができるようにな
るためである。The first point is that the residual gas replacement efficiency in the pipe is affected by the desorption of the gas adsorbed on the pipe inner wall. This is because the desorption of the gas from the gas is promoted, whereby the substitution with N 2 can be sufficiently performed.
【００２６】二点目は、仮に残ガスパージ時に配管内壁
からのガスの脱離が完全に行なえなかったとしても、ボ
ンベ取り外し時に配管を逆に冷却することにより配管内
壁からのガスの脱離を抑制し、大気中に放出されるガス
の量を減少させることができるためである。The second point is that even if the gas cannot be completely removed from the inner wall of the pipe when the residual gas is purged, the removal of the gas from the inner wall of the pipe is suppressed by cooling the pipe in reverse when the cylinder is removed. However, this is because the amount of gas released into the atmosphere can be reduced.
【図１】本発明の実施の形態のガス供給装置を示すガス
配管系統図である。FIG. 1 is a gas piping system diagram showing a gas supply device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１において用いるシリンダーキャビネットを
例示する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a cylinder cabinet used in FIG. 1;
【図３】図１における加熱および冷却するための機構を
例示する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a mechanism for heating and cooling in FIG. 1;
【図４】従来技術のガス供給装置を示すガス配管系統図
である。FIG. 4 is a gas piping system diagram showing a conventional gas supply device.
【符号の説明】 １ ガスボンベ ２ 手動弁 ３ エア弁 ４ 圧力計 ５ レギュレータ ６ エア弁 ７ 圧力計 ８ ガス充填管 ９ 手動弁 １０ 圧力計 １１ 流量計 １２ エア弁 １３ バキュームジェネレータ １４ エア弁 １５ エア弁 １６ 手動弁 １７ エア弁 １８ エア弁 １９ 加熱および冷却するための機構 ２１ シリンダーキャビネット ２２ 固定手段 ３１ ヒータ ３２ 冷却水パイプ ３３ ヒータ電源 ３４ 冷却水駆動部 １００ ガス供給ライン ２００ 真空引きライン ３００ Ｎ2 パージライン ４００ リークチェックＮ2 ライン[Description of Signs] 1 gas cylinder 2 manual valve 3 air valve 4 pressure gauge 5 regulator 6 air valve 7 pressure gauge 8 gas filling tube 9 manual valve 10 pressure gauge 11 flow meter 12 air valve 13 vacuum generator 14 air valve 15 air valve 16 manual valve 17 air valve 18 air valve 19 mechanism for heating and cooling 21 cylinder cabinet 22 fixing means 31 a heater 32 a cooling water pipe 33 heater power supply 34 cooling water driving unit 100 gas supply line 200 vacuum line 300 N 2 purge line 400 Leak check N 2 line
Claims (9)
放するする際に前記充填されたガスを窒素ガスにより置
換するガス充填管のパージ方法において、前記ガス充填
管を加熱状態にして真空引き及び前記置換を行い、しか
る後、前記管を冷却状態にして前記開放を行うことを特
徴とするガス充填管のパージ方法。1. A method for purging a gas-filled tube, wherein the gas-filled tube is replaced with nitrogen gas when the gas-filled tube filled with the gas is opened to the atmosphere. A method for purging a gas-filled pipe, wherein the pipe is drawn and the replacement is performed, and then the pipe is cooled and the opening is performed.
供給ラインにおいてガスボンベに接続されている管であ
ることを特徴とする請求項１記載のガス充填管のパージ
方法。2. The method according to claim 1, wherein the gas filling pipe is a pipe connected to a gas cylinder in a gas supply line of a gas supply device.
時に行うことを特徴とする請求項２記載のガス充填管の
パージ方法。3. The method according to claim 2, wherein the purging method is performed when the gas cylinder is replaced.
温度制御機構により所定の温度に制御されていることを
特徴とする請求項１記載のガス充填管のパージ方法。4. In the heating state and the cooling state,
2. The method according to claim 1, wherein the temperature is controlled to a predetermined temperature by a temperature control mechanism.
し、前記ガス供給ラインのガス充填管部が前記ガスボン
ベに接続しているガス供給装置において、前記ガス充填
管部には加熱機構および冷却機構が結合していることを
特徴とするガス供給装置。5. A gas supply device comprising a gas cylinder and a gas supply line, wherein a gas filling tube of the gas supply line is connected to the gas cylinder, wherein the gas filling tube has a heating mechanism and a cooling mechanism. Is connected to the gas supply device.
制御機構を有することを特徴とする請求項５記載のガス
供給装置。6. The gas supply device according to claim 5, further comprising a temperature control mechanism for controlling a temperature of the gas filling pipe.
の圧力計と、レギュレータと、第２のエア弁と、第２の
圧力計と、ガス充填管部とを有し、前記ガス充填管がガ
スボンベに接続しているガス供給ラインを具備するガス
供給装置において、前記ガス充填管部には加熱機構およ
び冷却機構が結合していることを特徴とするガス供給装
置。7. A first manual valve, a first air valve, and a first air valve.
A gas supply line comprising a pressure gauge, a regulator, a second air valve, a second pressure gauge, and a gas filling pipe, wherein the gas filling pipe is connected to a gas cylinder. A gas supply device, wherein a heating mechanism and a cooling mechanism are connected to the gas filling tube.
及びリークチェック窒素ガスラインが前記ガス充填管に
接続していることを特徴とする請求項７記載のガス供給
装置。8. The gas supply device according to claim 7, wherein a vacuum line, a nitrogen gas purge line, and a leak check nitrogen gas line are connected to the gas filling pipe.
第３の圧力計と、流量計と、第３のエア弁と、バキュー
ムジェネレータと、第４のエア弁と、前記ガス充填管に
接続する第５のエア弁とを具備して構成され、窒素ガス
パージラインは第３の手動弁と、前記ガス充填管に接続
する第６のエア弁とを具備して構成され、リークチェッ
ク窒素ガスラインは前記ガス充填管に接続する第７のエ
ア弁を具備して構成されていることを特徴とする請求項
８記載のガス供給装置。9. The system according to claim 9, wherein the evacuation line includes a second manual valve;
A third pressure gauge, a flow meter, a third air valve, a vacuum generator, a fourth air valve, and a fifth air valve connected to the gas filling pipe; The gas purge line includes a third manual valve and a sixth air valve connected to the gas filling pipe, and the leak check nitrogen gas line includes a seventh air valve connected to the gas filling pipe. The gas supply device according to claim 8, wherein the gas supply device is configured as follows.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009097573A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Air Liquide Japan Ltd | Gas supply system |
| KR101205351B1 (en) | 2011-01-21 | 2012-11-28 | 삼성중공업 주식회사 | Lng bunkering vessel |
| CN104390135A (en) * | 2014-09-29 | 2015-03-04 | 万达集团股份有限公司 | Negative-pressure and inert gas displacement method for large-scale spherical tank |
| CN109958883A (en) * | 2019-03-18 | 2019-07-02 | 海洋石油工程（青岛）有限公司 | LNG pipeline marine transportation to extremely cold district guard method |
| CN112524479A (en) * | 2020-11-27 | 2021-03-19 | 广州特种承压设备检测研究院 | Hydrogen storage cylinder gas replacement system, method, device and storage medium |
-
2000
- 2000-05-10 JP JP2000137234A patent/JP2001317699A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009097573A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Air Liquide Japan Ltd | Gas supply system |
| KR101205351B1 (en) | 2011-01-21 | 2012-11-28 | 삼성중공업 주식회사 | Lng bunkering vessel |
| CN104390135A (en) * | 2014-09-29 | 2015-03-04 | 万达集团股份有限公司 | Negative-pressure and inert gas displacement method for large-scale spherical tank |
| CN109958883A (en) * | 2019-03-18 | 2019-07-02 | 海洋石油工程（青岛）有限公司 | LNG pipeline marine transportation to extremely cold district guard method |
| CN109958883B (en) * | 2019-03-18 | 2020-12-08 | 海洋石油工程（青岛）有限公司 | Method for protecting liquefied natural gas pipeline from marine transportation to extremely cold region |
| CN112524479A (en) * | 2020-11-27 | 2021-03-19 | 广州特种承压设备检测研究院 | Hydrogen storage cylinder gas replacement system, method, device and storage medium |
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